WO2023167416A1 - 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치 - Google Patents
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 29
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B61B13/02—Rack railways
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B61—RAILWAYS
- B61F—RAIL VEHICLE SUSPENSIONS, e.g. UNDERFRAMES, BOGIES OR ARRANGEMENTS OF WHEEL AXLES; RAIL VEHICLES FOR USE ON TRACKS OF DIFFERENT WIDTH; PREVENTING DERAILING OF RAIL VEHICLES; WHEEL GUARDS, OBSTRUCTION REMOVERS OR THE LIKE FOR RAIL VEHICLES
- B61F9/00—Rail vehicles characterised by means for preventing derailing, e.g. by use of guide wheels
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
Definitions
- the present invention relates to a guide module and a drive device having the same, and more particularly, to a moving unit mounted on a pinion to prevent slipping when moving along a straight or curved trajectory of a rack, thereby preventing movement of the moving unit.
- the present invention relates to a guide module capable of smoothly guiding, thereby drawing out a stable operation of a moving unit, and a driving device having the same.
- the driving device may be applied to implement linear or curved motion in various industrial equipment including semiconductor equipment, flat display equipment such as LCD, PDP, and OLED.
- a moving unit which is a movement object constituting the driving device, may be linearly or curvedly moved according to the interaction between the rack and the pinion.
- the moving unit when the rack is linear, the moving unit can be moved linearly by interaction with the pinion, and when the rack is curved, the moving unit can be moved curvedly by interaction with the pinion.
- the technical problem to be achieved by the present invention is to smoothly guide the movement of the moving unit while preventing slipping when the moving unit mounted on the pinion moves along the straight or curved trajectory of the rack. It is to provide a guide module and a driving device having the same, which can derive a stable operation of.
- the moving unit mounted on the pinion moves along the straight or curved trajectory of the rack, it is possible to smoothly guide the movement of the moving unit while preventing slipping, thereby bringing out the stable operation of the moving unit.
- FIG. 1 is a perspective view of a driving device according to an embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is an enlarged view of area A of FIG. 1 .
- FIG. 3 is a view in which the module rails in FIG. 2 are removed.
- FIG. 4 is a view in which the moving unit is removed from FIG. 2 .
- Figure 5 is a bottom perspective view of Figure 4.
- FIG. 6 is a view in which the detachable block cover in FIG. 5 is removed.
- FIG. 7 is a layout view of a pinion and a rack.
- FIG. 8 is an enlarged view of region B of FIG. 4 in which a guide assembly for non-slip is disposed on a rail block.
- FIG. 9 is a view showing FIG. 8 from another angle.
- FIG. 10 is a view in which the rail block is removed from FIG. 8 .
- FIG. 10 is an exploded perspective view of FIG. 10;
- FIG. 12 is a perspective view of a unit guide unit.
- FIG. 13 is an exploded perspective view of FIG. 12;
- FIG. 14 is a perspective view of a roller support casing.
- FIG. 15 is a rear perspective view of FIG. 13;
- 16 is a perspective view of a driving device according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 17 is an enlarged view of area C of FIG. 16 .
- the pair of non-slip guide assemblies may have the same structure, and the non-slip guide assembly includes an upper roller, a lower roller, and a side roller that are guided in rolling contact with all of the top, bottom, and side surfaces of the rail block, respectively. It may include a plurality of unit guide units provided.
- the non-slip guide assembly may further include a unit connecting portion connecting the plurality of unit guide units into one body so that the plurality of unit guide units can move or rotate relative to each other on the rail block.
- the unit connection unit may include a main unit body provided to be connected to a pair of centrally disposed unit guide units among the plurality of unit guide units; and a plurality of individual unit connecting rods respectively individually connecting a pair of unit guide units disposed on one side and the other side of the plurality of unit guide units.
- the unit connection unit may include a pair of center bearings respectively coupled to both sides of the main unit body; a plurality of side bearings respectively provided at the center of the individual unit connecting rods; and a pair of link arms having both ends rotatably coupled to the center bearing and the side bearing, respectively.
- the unit guide unit may include a roller support casing rotatably supporting the upper roller, the lower roller, and the side roller; an upper flat guide having a flat shape connected to the upper roller so as not to slip when the upper roller rolls on the upper surface of the rail block and to be connected to the upper joint of the roller support casing in an adjustable gap; a lower flat guide having a flat shape connected to the lower roller so as not to slip when the lower roller rolls on the lower surface of the rail block and to be connected to the lower coupling hole of the roller support casing to adjust clearance; and a side flat guide having a flat shape connected to the side roller so as not to slip when the side roller rolls on the side of the rail block and connected to the side coupler of the roller support casing so as to be able to adjust the clearance.
- the unit guide unit includes: an upper guide fastening plate fastening the upper flat guide to the opposite side of the upper flat guide with the upper coupler interposed therebetween; a lower guide fastening plate fastening the lower flat guide to the opposite side of the lower flat guide with the lower coupler interposed therebetween; a side guide fastening plate fastening the side flat guide at the opposite side of the side flat guide with the side coupler interposed therebetween; and a plurality of fastening bolts fastening the upper guide fastening plate and the upper flat guide, the lower guide fastening plate and the lower flat guide, and the side guide fastening plate and the side flat guide to each other respectively.
- the unit guide unit may include an upper guide assembly unit for assembling the upper roller and the upper flat guide; a lower guide assembly unit for assembling the lower roller and the lower flat guide; and a side guide assembling unit for assembling the side roller and the side flat guide.
- the unit guide unit may further include a plurality of preload bolts fastened to the roller support casing and applying a preload for controlling a clearance between the upper roller, the lower roller, and the side roller.
- All of the module rails may further include a detachable block cover that covers and protects the rail block and is detachably coupled to the rail cover.
- the pair of module rails may be disposed on both sides with the rack interposed therebetween.
- the pinion is disposed on at least one side of the interacting rack and is connected to a moving unit moving along the trajectory of the rack together with the pinion to guide the movement of the moving unit.
- a pair of module rails having a rail block and disposed on one side of the rack to form the same trajectory as the rack; And one side is movably coupled to the pair of module rails, while connected to the moving unit together with the pinion to form one body, and moves along the trajectory of the module rail while preventing slipping, while the moving
- a guide module comprising a pair of non-slip guide assemblies for guiding the movement of the unit may be provided.
- the pair of non-slip guide assemblies may have the same structure, and the non-slip guide assembly includes an upper roller, a lower roller, and a side roller that are guided in rolling contact with all of the top, bottom, and side surfaces of the rail block, respectively.
- a plurality of unit guide units having; and a unit connecting portion connecting the plurality of unit guide units into one body so that the plurality of unit guide units can move or rotate relative to each other on the rail block.
- the unit connection unit may include a main unit body provided to be connected to a pair of centrally disposed unit guide units among the plurality of unit guide units; a plurality of individual unit connecting rods individually connecting a pair of unit guide units disposed on one side and the other side of the plurality of unit guide units; a pair of center bearings respectively coupled to both sides of the main unit body; a plurality of side bearings respectively provided at the center of the individual unit connecting rods; and a pair of link arms each having both ends freely rotatably coupled to the center bearing and the side bearing.
- the unit guide unit may include a roller support casing rotatably supporting the upper roller, the lower roller, and the side roller; an upper flat guide having a flat shape connected to the upper roller so as not to slip when the upper roller rolls on the upper surface of the rail block and to be connected to the upper joint of the roller support casing in an adjustable gap; a lower flat guide having a flat shape connected to the lower roller so as not to slip when the lower roller rolls on the lower surface of the rail block and to be connected to the lower coupling hole of the roller support casing to adjust clearance; and a side flat guide having a flat shape connected to the side roller so as not to slip when the side roller rolls on the side of the rail block and connected to the side coupler of the roller support casing so as to be able to adjust the clearance.
- the unit guide unit includes: an upper guide fastening plate fastening the upper flat guide to the opposite side of the upper flat guide with the upper coupler interposed therebetween; a lower guide fastening plate fastening the lower flat guide to the opposite side of the lower flat guide with the lower coupler interposed therebetween; a side guide fastening plate fastening the side flat guide at the opposite side of the side flat guide with the side coupler interposed therebetween; and a plurality of fastening bolts fastening the upper guide fastening plate and the upper flat guide, the lower guide fastening plate and the lower flat guide, and the side guide fastening plate and the side flat guide to each other respectively.
- the unit guide unit may include an upper guide assembly unit for assembling the upper roller and the upper flat guide; a lower guide assembly unit for assembling the lower roller and the lower flat guide; and a side guide assembling unit for assembling the side roller and the side flat guide.
- the unit guide unit may further include a plurality of preload bolts fastened to the roller support casing and applying a preload for controlling a clearance between the upper roller, the lower roller, and the side roller.
- All of the module rails may further include a detachable block cover that covers and protects the rail block and is detachably coupled to the rail cover.
- the pair of module rails may be disposed on both sides with the rack interposed therebetween.
- FIG. 1 is a perspective view of a driving device according to an embodiment of the present invention
- FIG. 2 is an enlarged view of area A in FIG. 1
- FIG. 3 is a view in which the module rail is removed from FIG. 2
- FIG. 4 is a moving view in FIG. A drawing with the unit removed
- Figure 5 is a bottom perspective view of Figure 4
- Figure 6 is a view with the detachable block cover removed in Figure 5
- Figure 7 is a layout view of the pinion and rack
- Figure 8 is a guide assembly for non-slip rail block It is an enlarged view of area B of FIG. 4 disposed on the top
- FIG. 9 is a view showing FIG. 8 from another angle
- FIG. 10 is a view in which the rail block is removed from FIG. 8, FIG.
- FIG. 11 is an exploded perspective view of FIG. 10, 12 is a perspective view of a unit guide unit, FIG. 13 is an exploded perspective view of FIG. 12, FIG. 14 is a perspective view of a roller support casing, and FIG. 15 is a rear perspective view of FIG.
- the driving device according to the present embodiment can be applied to implement linear or curved motion in various industrial equipment, including, for example, semiconductor equipment, flat display equipment such as LCD, PDP, OLED, etc.
- the guide module 130 of the drive device according to the present embodiment guides the movement of the moving unit 120 when the moving unit 120 mounted on the pinion 100 moves along the trajectory of the rack 110. make it possible
- the driving device according to the present embodiment may be applied to other industrial sites other than semiconductor equipment or flat panel display equipment.
- a moving unit 120 is considered as a transport means widely applied to equipment processes such as semiconductor equipment or flat-panel display equipment, the moving unit 120 is mounted on the pinion 100, and then the pinion 100 and the rack ( 100), while moving along the trajectory of the rack 110, a corresponding process, that is, a transport process of carrying an object may be performed.
- the moving unit 120 can be moved while being stably guided when carrying an object. As long as the moving unit 120 mounted on the pinion 100 can be guided along the trajectory of the rack 110 together with the pinion 100 as in this embodiment, the moving unit 120 can achieve stable operation, In addition, it is possible to prevent degradation of durability due to overloading of the device. Therefore, it may be possible to apply practical equipment or facilities.
- the driving device capable of providing such an effect is mounted on the pinion 100 that interacts with the rack 110, and the moving unit moves along the trajectory of the rack 110 together with the pinion 100 ( 120) and a guide module that is disposed on both sides of the rack 110 and is connected to the moving unit 120 and guides the movement of the moving unit 120 moving along the trajectory of the rack 110 together with the pinion 100 (130).
- the driving device transmits power through interaction between the rack 110 and the pinion 100 . That is, when the pinion driving unit 105 (see FIG. 7) connected to the pinion 100 operates to rotate the pinion 100, the pinion 100 can be moved along the trajectory of the rack 110, and the moving unit 120 Since it is mounted on the pinion 100, the moving unit 120 can be moved along the trajectory of the rack 110 together with the pinion 100.
- the moving unit 120 may be a carrier that can be applied to equipment processes such as semiconductor equipment or flat-panel display equipment. Therefore, in the drawings of this embodiment, the moving unit 120 is shown as a plate having a certain thickness so that objects can be placed on the moving unit 120.
- the scope of the present invention is not limited to the shape of the drawings in that the moving unit 120 does not necessarily have to be a carrier and may be applied as an index, for example.
- the moving unit 120 forms a large area, there is a possibility that the moving unit 120 will shake when moving, so it is preferable to guide the moving unit 120 so that it does not shake. That is, when the size of the moving unit 120 is large as shown in FIG. 1 , the guide module 130 is disposed around the rack 110 to guide the movement of the moving unit 120 . In this case, when the moving unit 120 moves, a more stable operation such as not being shaken can be obtained.
- the drive device has a method in which the moving unit 120 moves by interaction between the pinion 100 and the rack 110. Therefore, prior to the description of the guide module 130, the pinion 100 and the rack 110 will be reviewed first.
- the pinion 100 is in contact with the rack 110 , that is, rotates while being circumscribed to the rack 110 and performs linear or curved motion along the trajectory of the rack 110 .
- the pinion 100 may be internally connected to the rack 110 .
- the pinion 100 may include a pinion body 101 having a disc shape and a plurality of power transmission pins 102 coupled to the pinion body 101 .
- the power transmission pin 102 has a circular arrangement structure in the pinion body 101, and rotates while being tooth-engaged with the rack 110.
- a pinion driving unit 105 is connected to the pinion 100 to rotate the power transmission pin 102 .
- the pinion driving unit 105 may be applied as a motor and gear parts, and serves to rotate the pinion 100.
- the pinion 100 When the pinion 100 is rotated by the pinion driving unit 105, the pinion 100 may move along the trajectory of the rack 110.
- the rack 110 forms a trajectory along which the pinion 100 moves.
- the rack 110 may have a closed-loop structure consisting of a combination of a rack straight portion 110a and a rack curved portion 110b.
- the rack straight portion 110a may be used, or only the rack curved portion 110b may be used.
- semiconductor equipment and the like often use a combination of the rack straight portion 110a and the rack curved portion 110b.
- the moving unit 120 is a structure that is mounted on the pinion 100 as described above and moves along the trajectory of the rack 110 together with the pinion 100 .
- the moving unit 120 is applied as a flat plate-like structure.
- the moving unit 120 may be connected to the pinion 100. That is, the moving unit 120 is assembled to the pinion drive unit 105 connected to the pinion 100 with a plurality of bolts. Therefore, the pinion 100, the pinion driving unit 105, and the moving unit 120 operate together as one body.
- a pair of non-slip guide assemblies 150 constituting the guide module 130 are also assembled to the moving unit 120 . As a result, in FIG. 1 , components other than the rack 110 and the module rail 140 are assembled into one body, and they move along the trajectory of the rack 110 while being guided by the module rail 140 .
- the guide module 130 is connected to the moving unit 120 and serves to guide the movement of the moving unit 120 moving along the trajectory of the rack 110 . It is also possible to implement a method in which the moving unit 120 is connected to the pinion 100 and the pinion 100 moves in the trajectory of the rack 110, but as described above, in this case, when the moving unit 120 moves Severe shaking may occur in the moving unit 120 . Therefore, the guide module 130 is applied so that the moving unit 120 can be stably moved and guided without being shaken.
- the guide module 130 is movably coupled to a pair of module rails 140 and one side of the pair of module rails 140, while being connected to the moving unit 120 together with the pinion 100 to form one body. , and includes a pair of anti-slip guide assemblies 150 for guiding the movement of the moving unit 120 while moving along the trajectory of the module rail 140 without slipping.
- the module rail 140 may include a rail block 141 and a detachable block cover 142 that covers and protects the rail block 141 and is detachably coupled to the rail block 141 .
- a pair of module rails 140 are disposed on both sides with the rack 110 interposed therebetween.
- the pair of non-slip guide assemblies 150 are parts that are movably coupled to the pair of module rails 140 and connected to the moving unit 120 together with the pinion 100 to form one body. That is, one module rail 140 is coupled with one non-slip guide assembly 150. Accordingly, the structure of the pair of non-slip guide assemblies 150 is identical to each other. All of the pair of non-slip guide assemblies 150 include a plurality of unit guide units 160 and a unit connecting portion 190 .
- the unit guide unit 160 is a means for moving on the rail block 141 of the module rail 140 by substantially mounting the rollers 161 to 163 . Although an example, six unit guide units 160 may be applied. The six unit guide units 160 have the same configuration and structure.
- the unit connecting portion 190 is a plurality of units so that the plurality of unit guide units 160 can move or rotate relative to each other on the rail block 141 as shown in FIGS. 8 to 11 . It is a means for connecting the guide unit 160 to one body. In other words, the unit connecting portion 190 is provided so that the six unit guide units 160 can move or rotate relative to each other.
- the unit connection unit 190 includes a main unit body 191 provided to be connected to a pair of unit guide units 160 disposed at the center of the plurality of unit guide units 160, and a plurality of unit guide units 160 It may include a plurality of individual unit connecting rods 192 that individually connect each pair of unit guide units 160 disposed on one side and the other side of the unit.
- the unit connection unit 190 includes a pair of center bearings 193 respectively coupled to both sides of the main unit body 191 and a plurality of side bearings 194 provided at the center of the individual unit connection units 192, respectively. And, a pair of link arms 195 having both ends freely rotatably coupled to the center bearing 193 and the side bearing 194 may be further included.
- the main unit body 191 is connected to a pair of unit guide units 160 disposed in the center, and the individual unit connecting rods 192 are connected to a pair of unit guide units 160 on both sides of the main unit body 192, while they By applying the center bearing 193 and the side bearing 194 and connecting them to the link arm 195, a relative movement or relative rotation operation with respect to the unit guide unit 160 can be obtained.
- a pair of unit guide units 160 disposed on one side and the other side of the plurality of unit guide units 160 also serve as steering.
- the unit guide unit 160 is a means for moving on the rail block 141 of the module rail 140 by substantially mounting rollers 161 to 163, and six of them have the same configuration.
- the unit guide unit 160 includes an upper roller 161 that is guided in rolling contact with both the upper, lower and side surfaces of the rail block 141 forming the module rail 140, respectively.
- a lower roller 162 and a side roller 163 are provided.
- the upper roller 161, the lower roller 162, and the side rollers 163 are all unpowered free-rotating rollers.
- the unit guide unit 160 includes a roller support casing 180 rotatably supporting the upper roller 161, the lower roller 162 and the side roller 163, and the roller support casing through the following configuration and structure ( 180) has a structure in which the upper roller 161, the lower roller 162, and the side roller 163 are rotatably coupled to each position.
- the upper flat guide 171, the lower flat guide 172, and the side rollers 161, the lower roller 162, and the side rollers 163 are rotatably coupled to the roller support casing 180 by position.
- a flat guide 173 is provided on the unit guide unit 160 .
- the upper flat guide 171 is a structure having a flat shape, and is connected to the upper roller 161 so as not to slip when the upper roller 161 rolls on the upper surface of the rail block 141, and is connected to the roller support casing 180. It is connected to the upper coupler 181 so as to be able to adjust the clearance.
- the lower flat guide 172 is also a structure having a flat shape, and is connected to the lower roller 162 so as not to slip when the lower roller 162 rolls on the lower surface of the rail block 141, and the roller support casing 180 It is connected to the lower coupler 182 to adjust the clearance.
- the side flat guide 173 is also a structure having a flat shape, and is connected to the side roller 163 so as not to slip when the side roller 163 rolls on the side of the rail block 141, and the roller support casing ( 180) is connected to the side coupler 183 to adjust the clearance.
- a lower guide assembly unit 166 and a side guide assembly unit 167 are provided.
- the upper guide assembly unit 165 is a means for assembling the upper roller 161 and the upper flat guide 171 using screws
- the lower guide assembly unit 166 is a means for assembling the lower roller 162 and the lower flat guide using screws. It is a means for assembling the guide 172
- the side guide assembly part 167 is also a means for assembling the side roller 163 and the side flat guide 173 using screws.
- upper guide assembly 165, the lower guide assembly 166, and the side guide assembly 167 are assembled with the upper roller 161, the lower roller 162, and the side rollers 163 and the upper flat guide. 171, upper guide fastening plate 174, lower guide fastening plate 175, side guide fastening plate ( 176) and fastening bolts 177 are provided.
- the upper guide fastening plate 174 is a means for fastening the upper flat guide 171 on the opposite side of the upper flat guide 171 with the upper coupler 181 of the roller support casing 180 interposed therebetween.
- the lower guide fastening plate 175 is a means for fastening the lower flat guide 172 on the opposite side of the lower flat guide 172 with the lower coupler 182 of the roller support casing 180 interposed therebetween.
- the side guide fastening plate 176 is a means for fastening the side flat guide 173 on the opposite side of the side flat guide 173 with the side coupler 183 of the roller support casing 180 interposed therebetween.
- the fastening bolt 177 is the upper guide fastening plate 174 and the upper flat guide 171, the lower guide fastening plate 175 and the lower flat guide 172, the side guide fastening plate 176 and the side flat guide ( 173) plays a role in concluding each corresponding one.
- the upper flat guide assembled with the upper roller 161, lower roller 162, and side roller 163 by the upper guide assembly unit 165, the lower guide assembly unit 166, and the side guide assembly unit 167 ( 171), the lower guide fastening plate 174, the lower guide fastening plate 175 and the side guide fastening plate 176 are placed on each of the lower flat guide 172 and the side flat guide 173, and the corresponding ones are also positioned
- the furnace fastening bolt 177 it is possible to eliminate the central separation phenomenon of the upper roller 161, the lower roller 162 and the side roller 163.
- the normal roller shaft structure has a high possibility of center separation during use, but in connecting the upper roller 161, the lower roller 162 and the side roller 163 to the roller support casing 180 as in the present embodiment
- the conventional problems are solved. can be resolved Therefore, when the guide module 130 to which the unit guide unit 160 is applied is applied, there is an advantage of minimizing slippage when turning (moving) in curves and straight curves.
- preload bolts 178 are further applied to the unit guide unit 160 of this embodiment.
- the preload bolts 178 are fastened to the roller support casing 180 and serve to apply a preload for adjusting the clearance between the upper roller 161 , the lower roller 162 and the side roller 163 .
- the pinion 100 is coupled to the rack 110, and the moving unit is attached to the plurality of guide modules 130 and the pinion 100 in a state where the guide module 130 is disposed around the rack 110.
- the moving unit 120 can be moved along the trajectory of the rack 110 when the pinion 100 rotates. At this time, since the guide module 130 is applied, the moving unit 120 is stable. movement can be drawn.
- the moving unit 120 mounted on the pinion 100 moves along the straight or curved trajectory of the rack 110, the moving unit prevents slipping from occurring. It is possible to guide the movement of the 120 smoothly, and thereby, it is possible to derive a stable operation of the moving unit 120.
- FIG. 16 is a perspective view of a driving device according to another embodiment of the present invention
- FIG. 17 is an enlarged view of region C of FIG. 16 .
- a pair of module rails 140 are disposed on both sides with the rack 110 interposed therebetween.
- a pair of module rails 240 are arranged on one side of the rack 210. That is, in the present embodiment, a pair of module rails 240 are applied, and the pair of module rails 240 are arranged on one side of the rack 210.
- this moving unit 120 includes the pinion 100 and a pair of anti-slip guide assemblies 150 as in the above-described embodiment. ) and can move along the trajectory of the rack 210 while forming one body. Since the structure, function, and role of the pair of non-slip guide assemblies 150 are the same as those of the foregoing embodiment, redundant description will be omitted. Even if this embodiment is applied, the effect of the present invention can be provided.
- the present invention can be used for industrial machinery, semiconductor or flat panel display manufacturing facilities, and various logistics transport facilities.
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Abstract
가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 구동장치는 직선 형태의 랙 직선부와 곡선 형태의 랙 곡선부 중 적어도 어느 하나의 조합으로 이루어지는 랙; 랙과 상호작용해서 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동하는 피니언; 피니언에 연결되고 피니언과 함께 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(moving unit); 및 무빙 유닛과 연결되고 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 가이드 모듈을 포함하며, 가이드 모듈은, 레일 블록을 구비하며, 랙의 일측에 배치되되 랙과 동일한 궤적을 형성하는 한 쌍의 모듈 레일; 및 일측이 한 쌍의 모듈 레일에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 피니언과 함께 무빙 유닛과 연결되어 한 몸체를 이루며, 모듈 레일의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리를 포함한다.
Description
본 발명은, 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 피니언에 탑재된 무빙 유닛이 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동할 때 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛의 이동을 원활하게 가이드할 수 있으며, 이로 인해 무빙 유닛의 안정적인 동작을 끌어낼 수 있는, 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치에 관한 것이다.
구동장치는 반도체 장비, LCD, PDP, OLED 등의 평면디스플레이 장비 등을 비롯한 다양한 산업 장비에 직선 혹은 곡선운동을 구현시키기 위해 적용될 수 있다.
이때, 구동장치를 이루는 운동 대상체인 무빙 유닛(moving unit)은 랙과 피니언의 상호작용에 따라 직선 혹은 곡선운동될 수 있다. 예컨대, 랙이 직선형인 경우에는 피니언과의 상호작용으로 무빙 유닛의 직선운동이 가능하고, 랙이 곡선형인 경우에는 피니언과의 상호작용으로 무빙 유닛의 곡선운동이 가능하다.
따라서, 이러한 구조와 기능을 토대로 하여 랙과 피니언, 그리고 무빙 유닛을 적절하게 조합함으로써 무빙 유닛의 직선 혹은 곡선운동을 구현시킬 수 있으며, 이를 토대로 다양한 산업 장비, 설비를 해당 공정에 맞게 사용할 수 있다. 예컨대, 무빙 유닛에 물건을 올려두고 운반시키는 등의 운반 공정에 사용할 수 있다.
한편, 랙과 피니언의 조합에 있어서 만약, 피니언이 단독으로 랙의 궤적을 따라 직선운동 또는 곡선운동하는 경우라면 피니언의 중량이 크지 않기 때문에 피니언의 구동에 별다른 장애 요인이 없다.
그렇지만, 전술한 것처럼 피니언에 고중량체인 무빙 유닛이 탑재됨은 물론 그 위에 물건이 놓이고 랙과 피니언의 작용으로 무빙 유닛이 이동, 동작되어야 하는 경우에는 무빙 유닛의 이동을 가이드하기 위한 수단이 요구된다. 만약, 무빙 유닛의 이동을 가이드하지 않게 되면 무빙 유닛의 안정적인 동작을 끌어내기 어려우며, 특히 고중량체인 무빙 유닛 혹은 그 위에 올려진 물건의 이동 시 랙이나 피니언에 많은 부하가 걸리게 되어 장치의 내구성이 떨어질 수밖에 없기 때문이다.
하지만, 랙과 피니언의 상호작용으로 구동장치를 구현하는 종래기술의 경우에는 피니언에 탑재되는 무빙 유닛의 이동을 가이드하기 위한 수단, 예컨대 가이드 모듈이 적용된 바 없거나 설사 가이드 모듈이 개시되어 있더라도 그 구조적인 한계로 인해 곡선 궤적에서 직선 궤적으로, 혹은 직선 궤적에서 곡선 궤적으로 이동하는 이른 바 직곡 궤적 이동 시 미끄럼이 발생할 수 있다는 점에서 이를 보완하기 위한 기술 개발이 필요한 실정이다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 피니언에 탑재된 무빙 유닛이 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동할 때 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛의 이동을 원활하게 가이드할 수 있으며, 이로 인해 무빙 유닛의 안정적인 동작을 끌어낼 수 있는, 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 피니언에 탑재된 무빙 유닛이 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동할 때 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛의 이동을 원활하게 가이드할 수 있으며, 이로 인해 무빙 유닛의 안정적인 동작을 끌어낼 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이다.
도 3은 도 2에서 모듈 레일을 제거한 도면이다.
도 4는 도 2에서 무빙 유닛을 제거한 도면이다.
도 5는 도 4의 저면 사시도이다.
도 6은 도 5에서 착탈식 블록 커버를 제거한 도면이다.
도 7은 피니언과 랙의 배치도이다.
도 8은 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리가 레일 블록 상에 배치된 도 4의 B 영역의 확대도이다.
도 9는 도 8을 다른 각도도 도시한 도면이다.
도 10은 도 8에서 레일 블록를 제거한 도면이다.
도 11은 도 10의 분해 사시도이다.
도 12는 단위 가이드 유닛의 사시도이다.
도 13은 도 12의 분해 사시도이다.
도 14는 롤러 서포트 케이싱의 사시도이다.
도 15는 도 13의 배면 사시도이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구동장치의 사시도이다.
도 17은 도 16의 C 영역의 확대도이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 직선 형태의 랙 직선부와 곡선 형태의 랙 곡선부 중 적어도 어느 하나의 조합으로 이루어지는 랙; 상기 랙과 상호작용해서 상기 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동하는 피니언; 상기 피니언에 연결되고 상기 피니언과 함께 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(moving unit); 및 상기 무빙 유닛과 연결되고 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 가이드 모듈을 포함하며, 상기 가이드 모듈은, 레일 블록을 구비하며, 상기 랙의 일측에 배치되되 상기 랙과 동일한 궤적을 형성하는 한 쌍의 모듈 레일; 및 일측이 상기 한 쌍의 모듈 레일에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 상기 피니언과 함께 상기 무빙 유닛과 연결되어 한 몸체를 이루며, 상기 모듈 레일의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치가 제공될 수 있다.
상기 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리의 구조가 서로 동일할 수 있으며, 상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는, 상기 레일 블록의 상면, 하면 및 측면 모두에 각각 구름 접촉해서 가이드되는 상부 롤러, 하부 롤러 및 측부 롤러를 구비하는 복수 개의 단위 가이드 유닛을 포함할 수 있다.
상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는, 상기 레일 블록 상에서 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛이 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛을 한 몸체로 연결하는 유닛 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 유닛 연결부는, 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛과 연결되게 마련되는 메인 유닛 바디; 및 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛을 각각 개별적으로 연결하는 복수 개의 개별 유닛 연결대를 포함할 수 있다.
상기 유닛 연결부는, 상기 메인 유닛 바디의 양측에 각각 결합하는 한 쌍의 센터 베어링; 상기 개별 유닛 연결대들의 중심부에 각각 마련되는 복수 개의 사이드 베어링; 및 양단부가 상기 센터 베어링 및 상기 사이드 베어링에 각각 자유회전 가능하게 결합하는 한 쌍의 링크암을 더 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 서포트 케이싱; 상기 상부 롤러가 상기 레일 블록의 상면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 상부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 상부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 상부 편평 가이드; 상기 하부 롤러가 상기 레일 블록의 하면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 하부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 하부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 하부 편평 가이드; 및 상기 측부 롤러가 상기 레일 블록의 측면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 측부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 측부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 측부 편평 가이드를 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 결합구를 사이에 두고 상기 상부 편평 가이드의 반대편에서 상기 상부 편평 가이드를 체결하는 상부 가이드 체결 플레이트; 상기 하부 결합구를 사이에 두고 상기 하부 편평 가이드의 반대편에서 상기 하부 편평 가이드를 체결하는 하부 가이드 체결 플레이트; 상기 측부 결합구를 사이에 두고 상기 측부 편평 가이드의 반대편에서 상기 측부 편평 가이드를 체결하는 측부 가이드 체결 플레이트; 및 상기 상부 가이드 체결 플레이트와 상기 상부 편평 가이드, 상기 하부 가이드 체결 플레이트와 상기 하부 편평 가이드, 상기 측부 가이드 체결 플레이트와 상기 측부 편평 가이드를 각각 해당하는 것끼리 체결하는 복수 개의 체결 볼트를 더 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 롤러와 상기 상부 편평 가이드를 조립하는 상부 가이드 조립부; 상기 하부 롤러와 상기 하부 편평 가이드를 조립하는 하부 가이드 조립부; 및 상기 측부 롤러와 상기 측부 편평 가이드를 조립하는 측부 가이드 조립부를 더 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 롤러 서포트 케이싱에 체결되고 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러의 유격 조절을 위한 예압을 걸어주는 복수 개의 예압 볼트를 더 포함할 수 있다.
상기 모듈 레일 모두는, 상기 레일 블록을 커버링해서 보호하되 상기 레일 커버에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 블록 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 모듈 레일이 상기 랙을 사이에 두고 양측에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 피니언 상호작용하는 랙의 적어도 어느 일측에 배치되고 상기 피니언과 함께 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(moving unit)과 연결되어 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 것으로서, 레일 블록을 구비하며, 상기 랙의 일측에 배치되되 상기 랙과 동일한 궤적을 형성하는 한 쌍의 모듈 레일; 및 일측이 상기 한 쌍의 모듈 레일에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 상기 피니언과 함께 상기 무빙 유닛과 연결되어 한 몸체를 이루며, 상기 모듈 레일의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈이 제공될 수 있다.
상기 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리의 구조가 서로 동일할 수 있으며, 상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는, 상기 레일 블록의 상면, 하면 및 측면 모두에 각각 구름 접촉해서 가이드되는 상부 롤러, 하부 롤러 및 측부 롤러를 구비하는 복수 개의 단위 가이드 유닛; 및 상기 레일 블록 상에서 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛이 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛을 한 몸체로 연결하는 유닛 연결부를 포함할 수 있다.
상기 유닛 연결부는, 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛과 연결되게 마련되는 메인 유닛 바디; 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛을 각각 개별적으로 연결하는 복수 개의 개별 유닛 연결대; 상기 메인 유닛 바디의 양측에 각각 결합하는 한 쌍의 센터 베어링; 상기 개별 유닛 연결대들의 중심부에 각각 마련되는 복수 개의 사이드 베어링; 및 양단부가 상기 센터 베어링 및 상기 사이드 베어링에 각각 자유회전 가능하게 결합하는 한 쌍의 링크암을 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 서포트 케이싱; 상기 상부 롤러가 상기 레일 블록의 상면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 상부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 상부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 상부 편평 가이드; 상기 하부 롤러가 상기 레일 블록의 하면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 하부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 하부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 하부 편평 가이드; 및 상기 측부 롤러가 상기 레일 블록의 측면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 측부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 측부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 측부 편평 가이드를 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 결합구를 사이에 두고 상기 상부 편평 가이드의 반대편에서 상기 상부 편평 가이드를 체결하는 상부 가이드 체결 플레이트; 상기 하부 결합구를 사이에 두고 상기 하부 편평 가이드의 반대편에서 상기 하부 편평 가이드를 체결하는 하부 가이드 체결 플레이트; 상기 측부 결합구를 사이에 두고 상기 측부 편평 가이드의 반대편에서 상기 측부 편평 가이드를 체결하는 측부 가이드 체결 플레이트; 및 상기 상부 가이드 체결 플레이트와 상기 상부 편평 가이드, 상기 하부 가이드 체결 플레이트와 상기 하부 편평 가이드, 상기 측부 가이드 체결 플레이트와 상기 측부 편평 가이드를 각각 해당하는 것끼리 체결하는 복수 개의 체결 볼트를 더 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 상부 롤러와 상기 상부 편평 가이드를 조립하는 상부 가이드 조립부; 상기 하부 롤러와 상기 하부 편평 가이드를 조립하는 하부 가이드 조립부; 및 상기 측부 롤러와 상기 측부 편평 가이드를 조립하는 측부 가이드 조립부를 더 포함할 수 있다.
상기 단위 가이드 유닛은, 상기 롤러 서포트 케이싱에 체결되고 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러의 유격 조절을 위한 예압을 걸어주는 복수 개의 예압 볼트를 더 포함할 수 있다.
상기 모듈 레일 모두는, 상기 레일 블록을 커버링해서 보호하되 상기 레일 커버에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 블록 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 모듈 레일이 상기 랙을 사이에 두고 양측에 배치될 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이며, 도 3은 도 2에서 모듈 레일을 제거한 도면이고, 도 4는 도 2에서 무빙 유닛을 제거한 도면이며, 도 5는 도 4의 저면 사시도이고, 도 6은 도 5에서 착탈식 블록 커버를 제거한 도면이며, 도 7은 피니언과 랙의 배치도이고, 도 8은 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리가 레일 블록 상에 배치된 도 4의 B 영역의 확대도이며, 도 9는 도 8을 다른 각도도 도시한 도면이고, 도 10은 도 8에서 레일 블록를 제거한 도면이며, 도 11은 도 10의 분해 사시도이고, 도 12는 단위 가이드 유닛의 사시도이며, 도 13은 도 12의 분해 사시도이고, 도 14는 롤러 서포트 케이싱의 사시도이며, 도 15는 도 13의 배면 사시도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 구동장치는 예컨대, 반도체 장비, LCD, PDP, OLED 등의 평면디스플레이 장비 등을 비롯한 다양한 산업 장비에 직선 혹은 곡선운동을 구현시키기 위해 적용될 수 있으며, 본 실시예에 따른 구동장치의 가이드 모듈(130)은 피니언(100)에 탑재된 무빙 유닛(120, moving unit)이 랙(110)의 궤적을 따라 이동할 때 무빙 유닛(120)의 이동을 가이드할 수 있도록 한다. 물론, 본 실시예에 따른 구동장치는 반도체 장비 또는 평면디스플레이 장비 외의 다른 산업현장에 적용될 수도 있다.
예컨대, 반도체 장비 또는 평면디스플레이 장비 등의 설비 공정에 널리 적용되는 운반 수단을 무빙 유닛(120)이라 간주하면, 무빙 유닛(120)은 피니언(100)에 탑재된 후, 피니언(100)과 랙(100)의 상호작용으로 랙(110)의 궤적을 따라 이동되면서 해당 공정, 즉 물건을 실어 나르는 운반 공정을 수행할 수 있다.
이때, 종래와 달리 본 실시예에서는 무빙 유닛(120)이 물건을 실어 나를 때 안정적으로 가이드되면서 이동될 수 있다. 본 실시예처럼 피니언(100)에 탑재된 무빙 유닛(120)이 피니언(100)과 함께 랙(110)의 궤적을 따라 이동할 때 가이드될 수만 있으면 무빙 유닛(120)의 안정적인 동작을 끌어낼 수 있으며, 또한 장치에 과부하가 걸려 내구성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다. 따라서 실질적인 장비 혹은 설비 적용이 가능해질 수 있다.
이러한 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 구동장치는 랙(110)과 상호작용하는 피니언(100)에 탑재되며, 피니언(100)과 함께 랙(110)의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(120)과, 랙(110)의 양측에 배치되고 무빙 유닛(120)과 연결되며, 피니언(100)과 함께 랙(110)의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(120)의 이동을 가이드하는 가이드 모듈(130)을 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 구동장치는 랙(110)과 피니언(100)의 상호작용으로 동력을 전달한다. 즉 피니언(100)에 연결되는 피니언 구동부(105, 도 7 참조)가 동작해서 피니언(100)을 회전시키면 피니언(100)은 랙(110)의 궤적을 따라 이동될 수 있는데, 무빙 유닛(120)은 피니언(100)에 탑재되기 때문에 무빙 유닛(120)은 피니언(100)과 함께 랙(110)의 궤적을 따라 이동될 수 있게 되는 것이다.
앞서 기술한 것처럼 무빙 유닛(120)은 반도체 장비 또는 평면디스플레이 장비 등의 설비 공정에 적용될 수 있는 운반체일 수 있다. 따라서 본 실시예의 도면에는 무빙 유닛(120) 상에 물건이 놓일 수 있도록 무빙 유닛(120)을 일정한 두께의 플레이트로 도시하였다. 하지만, 무빙 유닛(120)이 반드시 운반체일 필요는 없고, 예컨대 인덱스 등으로 적용될 수도 있다는 점에서 본 발명의 권리범위가 도면의 형상에 제한되지 않는다.
도면에 도시된 것처럼 무빙 유닛(120)이 넓은 면적을 이루면 무빙 유닛(120)의 이동 시 무빙 유닛(120)이 흔들릴 우려가 있기 때문에, 무빙 유닛(120)이 흔들리지 않게 가이드하는 것이 바람직하다. 즉 도 1처럼 무빙 유닛(120)의 사이즈가 큰 경우에는 가이드 모듈(130)이 랙(110)의 주변에 배치되어 무빙 유닛(120)의 이동을 가이드할 수 있다. 이러한 경우, 무빙 유닛(120)이 이동할 때, 흔들리지 않는 등 보다 안정적인 동작을 끌어낼 수 있다.
한편, 앞서도 기술한 것처럼 본 실시예에 따른 구동장치는 피니언(100)과 랙(110)의 상호작용으로 무빙 유닛(120)이 이동하는 방식을 갖는다. 따라서 가이드 모듈(130)의 설명에 앞서 피니언(100)과 랙(110)에 대해 먼저 살펴보도록 한다.
피니언(100)은 도 4 내지 도 7에 도시돈 것처럼 랙(110)에 접하여, 즉 랙(110)에 외접되어 회전되면서 랙(110)의 궤적을 따라 직선운동 또는 곡선운동을 수행한다. 물론, 피니언(100)이 랙(110)에 내접될 수도 있다.
피니언(100)은 원반 형상을 하는 피니언 바디(101)와, 피니언 바디(101)에 결합하는 다수의 동력전달핀(102)을 포함할 수 있다. 동력전달핀(102)은 피니언 바디(101)에서 원 형상의 배열 구조를 가지며, 랙(110)에 치형 맞물림되어 회전된다.
동력전달핀(102)의 회전을 위해 피니언(100)에는 피니언 구동부(105)가 연결된다. 피니언 구동부(105)는 모터와 기어 부품으로 적용될 수 있으며, 피니언(100)을 회전시키는 역할을 한다. 피니언 구동부(105)에 의해 피니언(100)이 회전되면 피니언(100)은 랙(110)의 궤적을 따라 이동될 수 있다.
랙(110)은 피니언(100)이 이동하는 궤적을 이룬다. 도 1 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 랙(110)은 랙 직선부(110a) 및 랙 곡선부(110b)의 조합으로 이루어진 폐루프 구조를 가질 수 있다. 물론, 설비에 따라 랙 직선부(110a)만을 사용할 수도 있고, 혹은 랙 곡선부(110b)만을 사용할 수도 있을 것이다. 하지만, 반도체 설비 등에서는 랙 직선부(110a)와 랙 곡선부(110b)의 조합을 사용하는 경우가 많다.
무빙 유닛(120)은 앞서 기술한 것처럼 피니언(100)에 탑재되며, 피니언(100)과 함께 랙(110)의 궤적을 따라 이동하는 구조물이다. 본 실시예서는 평평한 판상형 구조물로 무빙 유닛(120)을 적용하고 있다.
본 실시예에서 무빙 유닛(120)은 피니언(100)과 연결될 수 있다. 즉 피니언(100)과 연결되는 피니언 구동부(105)에 무빙 유닛(120)이 다수의 볼트로 조립된다. 따라서 피니언(100), 피니언 구동부(105) 및 무빙 유닛(120)은 하나의 몸체로서 함께 동작한다. 그뿐만 아니라 무빙 유닛(120)에는 가이드 모듈(130)을 이루는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150) 역시 함께 조립된다. 결국, 도 1에서 랙(110)과 모듈 레일(140)을 제외한 나머지 구성들이 한 몸체로 조립되며, 이들이 랙(110)의 궤적을 따라 이동하는 한편, 모듈 레일(140)로 가이드된다.
한편, 가이드 모듈(130)은 무빙 유닛(120)과 연결되고 랙(110)의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(120)의 이동을 가이드하는 역할을 한다. 피니언(100)에 무빙 유닛(120)을 연결하고 피니언(100)이 랙(110)의 궤적으로 이동하는 방식으로도 구현이 가능하지만, 앞서 기술한 것처럼 이럴 경우에는 무빙 유닛(120)의 이동 시 무빙 유닛(120)에 흔들림이 심하게 발생할 수 있다. 따라서, 무빙 유닛(120)이 흔들리지 않고 안정적으로 이동, 가이드될 수 있게 가이드 모듈(130)이 적용된다.
가이드 모듈(130)은 한 쌍의 모듈 레일(140)과, 일측이 한 쌍의 모듈 레일(140)에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 피니언(100)과 함께 무빙 유닛(120)과 연결되어 한 몸체를 이루며, 모듈 레일(140)의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛(120)의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150)를 포함한다.
모듈 레일(140)은 레일 블록(141)과, 레일 블록(141)을 커버링해서 보호하되 레일 블록(141)에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 블록 커버(142)를 포함할 수 있다. 본 실시예의 경우, 한 쌍의 모듈 레일(140)이 랙(110)을 사이에 두고 양측에 배치된다.
한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150)는 일측이 한 쌍의 모듈 레일(140)에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 피니언(100)과 함께 무빙 유닛(120)과 연결되어 한 몸체를 이루는 부품이다. 즉 모듈 레일(140) 하나에 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150) 하나가 결합하는 형태를 취한다. 따라서, 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150)의 구조가 서로 동일하다. 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150) 모두는 복수 개의 단위 가이드 유닛(160)와, 유닛 연결부(190)를 포함한다.
단위 가이드 유닛(160)은 실질적으로 롤러(161~163)를 탑재해서 모듈 레일(140)의 레일 블록(141) 상에서 이동하는 수단이다. 실시예이지만, 단위 가이드 유닛(160)은 6개가 적용될 수 있다. 6개의 단위 가이드 유닛(160)은 구성, 구조가 모두 같다.
유닛 연결부(190)에 대해 먼저 살펴보면, 유닛 연결부(190)는 도 8 내지 도 11에 도시된 것처럼 레일 블록(141) 상에서 복수 개의 단위 가이드 유닛(160)이 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 복수 개의 단위 가이드 유닛(160)을 한 몸체로 연결하는 수단이다. 다시 말해, 6개의 단위 가이드 유닛(160)이 서로 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 유닛 연결부(190)가 마련된다.
이러한 유닛 연결부(190)는 복수 개의 단위 가이드 유닛(160) 중 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛(160)과 연결되게 마련되는 메인 유닛 바디(191)와, 복수 개의 단위 가이드 유닛(160) 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛(160)을 각각 개별적으로 연결하는 복수 개의 개별 유닛 연결대(192)를 포함할 수 있다.
그뿐만 아니라 유닛 연결부(190)는 메인 유닛 바디(191)의 양측에 각각 결합하는 한 쌍의 센터 베어링(193)과, 개별 유닛 연결대(192)들의 중심부에 각각 마련되는 복수 개의 사이드 베어링(194)과, 양단부가 센터 베어링(193) 및 사이드 베어링(194)에 각각 자유회전 가능하게 결합하는 한 쌍의 링크암(195)을 더 포함할 수 있다.
이처럼 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛(160)에 메인 유닛 바디(191)가 연결되고, 그 양측의 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛(160)에 개별 유닛 연결대(192)가 연결되는 한편 이들에 센터 베어링(193)과 사이드 베어링(194)을 적용해서 링크암(195)으로 연결함으로써 단위 가이드 유닛(160)에 대한 상대이동 또는 상대회전 동작을 끌어낼 수 있다. 특히, 복수 개의 단위 가이드 유닛(160) 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛(160)은 조향 역할을 겸한다.
단위 가이드 유닛(160)은 실질적으로 롤러(161~163)를 탑재해서 모듈 레일(140)의 레일 블록(141) 상에서 이동하는 수단으로서, 6개가 동일한 구성을 갖는다.
단위 가이드 유닛(160)은 도 8 내지 도 15에 도시된 것처럼, 모듈 레일(140)을 형성하는 레일 블록(141)의 상면, 하면 및 측면 모두에 각각 구름 접촉해서 가이드되는 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)를 구비한다. 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163) 모두가 무동력 자유 회전 롤러이다.
단위 가이드 유닛(160)은 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)를 회전 가능하게 지지하는 롤러 서포트 케이싱(180)을 포함하며, 아래 구성, 구조를 통해 롤러 서포트 케이싱(180)에 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)가 위치별로 회전 가능하게 결합하는 구조를 취한다.
롤러 서포트 케이싱(180)에 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)가 위치별로 회전 가능하게 결합할 수 있도록, 상부 편평 가이드(171), 하부 편평 가이드(172) 및 측부 편평 가이드(173)가 단위 가이드 유닛(160)에 마련된다.
상부 편평 가이드(171)는 편평한 형상을 하는 구조물로서, 상부 롤러(161)가 레일 블록(141)의 상면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상부 롤러(161)에 연결되고 롤러 서포트 케이싱(180)의 상부 결합구(181)에 유격 조절 가능하게 연결된다.
하부 편평 가이드(172) 역시, 편평한 형상을 하는 구조물로서, 하부 롤러(162)가 레일 블록(141)의 하면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 하부 롤러(162)에 연결되고 롤러 서포트 케이싱(180)의 하부 결합구(182)에 유격 조절 가능하게 연결된다.
그리고, 측부 편평 가이드(173) 역시, 편평한 형상을 하는 구조물로서, 측부 롤러(163)가 레일 블록(141)의 측면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 측부 롤러(163)에 연결되고 롤러 서포트 케이싱(180)의 측부 결합구(183)에 유격 조절 가능하게 연결된다.
이러한 상부 편평 가이드(171), 하부 편평 가이드(172) 및 측부 편평 가이드(173)를 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)에 각각 조립하기 위해 상부 가이드 조립부(165), 하부 가이드 조립부(166) 및 측부 가이드 조립부(167)가 마련된다.
상부 가이드 조립부(165)는 나사를 이용해서 상부 롤러(161)와 상부 편평 가이드(171)를 조립하는 수단이고, 하부 가이드 조립부(166)는 나사를 이용해서 하부 롤러(162)와 하부 편평 가이드(172)를 조립하는 수단이며, 측부 가이드 조립부(167)는 역시, 나사를 이용해서 측부 롤러(163)와 측부 편평 가이드(173)를 조립하는 수단이다.
그리고, 상부 가이드 조립부(165), 하부 가이드 조립부(166) 및 측부 가이드 조립부(167)에 의해 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)와 조립된 상부 편평 가이드(171), 하부 편평 가이드(172) 및 측부 편평 가이드(173) 각각을 롤러 서포트 케이싱(180)에 조립하기 위해 상부 가이드 체결 플레이트(174), 하부 가이드 체결 플레이트(175), 측부 가이드 체결 플레이트(176) 및 체결 볼트(177)가 마련된다.
상부 가이드 체결 플레이트(174)는 롤러 서포트 케이싱(180)의 상부 결합구(181)를 사이에 두고 상부 편평 가이드(171)의 반대편에서 상부 편평 가이드(171)를 체결하는 수단이다.
하부 가이드 체결 플레이트(175)는 롤러 서포트 케이싱(180)의 하부 결합구(182)를 사이에 두고 하부 편평 가이드(172)의 반대편에서 하부 편평 가이드(172)를 체결하는 수단이다.
측부 가이드 체결 플레이트(176)는 롤러 서포트 케이싱(180)의 측부 결합구(183)를 사이에 두고 측부 편평 가이드(173)의 반대편에서 측부 편평 가이드(173)를 체결하는 수단이다.
그리고, 체결 볼트(177)는 상부 가이드 체결 플레이트(174)와 상부 편평 가이드(171), 하부 가이드 체결 플레이트(175)와 하부 편평 가이드(172), 측부 가이드 체결 플레이트(176)와 측부 편평 가이드(173)를 각각 해당하는 것끼리 체결하는 역할을 한다.
이처럼 상부 가이드 조립부(165), 하부 가이드 조립부(166) 및 측부 가이드 조립부(167)에 의해 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)와 조립된 상부 편평 가이드(171), 하부 편평 가이드(172) 및 측부 편평 가이드(173) 각각에 상부 가이드 체결 플레이트(174), 하부 가이드 체결 플레이트(175) 및 측부 가이드 체결 플레이트(176)를 배치하고 해당하는 것끼리 또한 위치로 체결 볼트(177)로 체결함으로써 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)의 중심부 이격 현상을 없앨 수 있다. 즉 통상의 롤러 샤프트 구조는 사용 중에 중심부 이격 현상이 발생할 소지가 높지만, 본 실시예처럼 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)를 롤러 서포트 케이싱(180)에 연결함에 있어서 상부 가이드 체결 플레이트(174)와 상부 편평 가이드(171), 하부 가이드 체결 플레이트(175)와 하부 편평 가이드(172), 측부 가이드 체결 플레이트(176)와 측부 편평 가이드(173)를 적용함으로써 종래 문제점을 해소할 수 있다. 따라서, 이러한 단위 가이드 유닛(160)이 적용된 가이드 모듈(130)을 적용할 경우, 곡선 및 직곡 선회(이동) 때 미끄럼을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 본 실시예의 단위 가이드 유닛(160)에는 예압 볼트(178)들이 더 적용된다. 예압 볼트(178)들은 롤러 서포트 케이싱(180)에 체결되고 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)의 유격 조절을 위한 예압을 걸어주는 역할을 한다.
이상 설명한 바와 같이, 랙(110)에 피니언(100)이 결합하고, 랙(110)의 주변으로 가이드 모듈(130)이 배치된 상태에서 다수의 가이드 모듈(130)과 피니언(100)에 무빙 유닛(120)이 결합함으로써, 피니언(100)의 회전 시 무빙 유닛(120)이 랙(110)의 궤적을 따라 이동될 수 있는데, 이때 가이드 모듈(130)이 적용되기 때문에 무빙 유닛(120)의 안정적인 이동을 끌어낼 수 있다.
특히, 전술한 단위 가이드 유닛(160)의 효율적인 구조, 즉 상부 롤러(161), 하부 롤러(162) 및 측부 롤러(163)에 대한 효율적인 조립구조로 인해 무빙 유닛(120)의 곡선 및 직곡 선회 때 미끄럼을 최소화할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 피니언(100)에 탑재된 무빙 유닛(120)이 랙(110)의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동할 때 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 무빙 유닛(120)의 이동을 원활하게 가이드할 수 있으며, 이로 인해 무빙 유닛(120)의 안정적인 동작을 끌어낼 수 있게 된다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구동장치의 사시도이고, 도 17은 도 16의 C 영역의 확대도이다.
전술한 실시예의 경우, 도 1에 도시돈 것처럼 한 쌍의 모듈 레일(140)이 랙(110)을 사이에 두고 양측에 배치되었다.
하지만, 본 실시예의 경우에는 한 쌍의 모듈 레일(240)이 랙(210)의 일측 영역에 편배치된다. 즉 본 실시예에서도 모듈 레일(240)이 한 쌍으로 적용되는데, 이러한 한 쌍의 모듈 레일(240)이 랙(210)의 일측 영역에 편배치된다.
피니언(100)과 상호작용하는 랙(210)은 전술한 실시예와 그 궤적이 다르기 때문에 도면 참조부호를 달리 부여했다.
그리고, 도 16 및 도 17에서는 무빙 유닛(120, 도 2 참조)의 구성을 생략했는데, 이러한 무빙 유닛(120)은 전술한 실시예처럼 피니언(100)과, 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150)와 함께 한 몸체를 이루면서 랙(210)의 궤적을 따라 이동할 수 있다. 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리(150)에 대한 구조와 기능, 역할은 전술한 실시예와 동일하므로 중복 설명은 생략한다. 본 실시예가 적용되더라도 본 발명의 효과를 제공할 수 있다.
이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
본 발명은 산업용 기계 장치, 반도체 혹은 평면디스플레이 제조 설비, 그리고 각종 물류 이송 설비 등에 이용될 수 있다.
Claims (20)
- 직선 형태의 랙 직선부와 곡선 형태의 랙 곡선부 중 적어도 어느 하나의 조합으로 이루어지는 랙;상기 랙과 상호작용해서 상기 랙의 직선 혹은 곡선 궤적을 따라 이동하는 피니언;상기 피니언에 연결되고 상기 피니언과 함께 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(moving unit); 및상기 무빙 유닛과 연결되고 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 가이드 모듈을 포함하며,상기 가이드 모듈은,레일 블록을 구비하며, 상기 랙의 일측에 배치되되 상기 랙과 동일한 궤적을 형성하는 한 쌍의 모듈 레일; 및일측이 상기 한 쌍의 모듈 레일에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 상기 피니언과 함께 상기 무빙 유닛과 연결되어 한 몸체를 이루며, 상기 모듈 레일의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제1항에 있어서,상기 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리의 구조가 서로 동일하며,상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는, 상기 레일 블록의 상면, 하면 및 측면 모두에 각각 구름 접촉해서 가이드되는 상부 롤러, 하부 롤러 및 측부 롤러를 구비하는 복수 개의 단위 가이드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제2항에 있어서,상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는, 상기 레일 블록 상에서 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛이 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛을 한 몸체로 연결하는 유닛 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제3항에 있어서,상기 유닛 연결부는,상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛과 연결되게 마련되는 메인 유닛 바디; 및상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛을 각각 개별적으로 연결하는 복수 개의 개별 유닛 연결대를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제4항에 있어서,상기 유닛 연결부는,상기 메인 유닛 바디의 양측에 각각 결합하는 한 쌍의 센터 베어링;상기 개별 유닛 연결대들의 중심부에 각각 마련되는 복수 개의 사이드 베어링; 및양단부가 상기 센터 베어링 및 상기 사이드 베어링에 각각 자유회전 가능하게 결합하는 한 쌍의 링크암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제2항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 서포트 케이싱;상기 상부 롤러가 상기 레일 블록의 상면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 상부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 상부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 상부 편평 가이드;상기 하부 롤러가 상기 레일 블록의 하면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 하부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 하부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 하부 편평 가이드; 및상기 측부 롤러가 상기 레일 블록의 측면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 측부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 측부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 측부 편평 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제6항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 결합구를 사이에 두고 상기 상부 편평 가이드의 반대편에서 상기 상부 편평 가이드를 체결하는 상부 가이드 체결 플레이트;상기 하부 결합구를 사이에 두고 상기 하부 편평 가이드의 반대편에서 상기 하부 편평 가이드를 체결하는 하부 가이드 체결 플레이트;상기 측부 결합구를 사이에 두고 상기 측부 편평 가이드의 반대편에서 상기 측부 편평 가이드를 체결하는 측부 가이드 체결 플레이트; 및상기 상부 가이드 체결 플레이트와 상기 상부 편평 가이드, 상기 하부 가이드 체결 플레이트와 상기 하부 편평 가이드, 상기 측부 가이드 체결 플레이트와 상기 측부 편평 가이드를 각각 해당하는 것끼리 체결하는 복수 개의 체결 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제6항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 롤러와 상기 상부 편평 가이드를 조립하는 상부 가이드 조립부;상기 하부 롤러와 상기 하부 편평 가이드를 조립하는 하부 가이드 조립부; 및상기 측부 롤러와 상기 측부 편평 가이드를 조립하는 측부 가이드 조립부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치
- 제6항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 롤러 서포트 케이싱에 체결되고 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러의 유격 조절을 위한 예압을 걸어주는 복수 개의 예압 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제1항에 있어서,상기 모듈 레일 모두는,상기 레일 블록을 커버링해서 보호하되 상기 레일 커버에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 블록 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 제1항에 있어서,상기 한 쌍의 모듈 레일이 상기 랙을 사이에 두고 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 구동장치.
- 피니언 상호작용하는 랙의 적어도 어느 일측에 배치되고 상기 피니언과 함께 상기 랙의 궤적을 따라 이동하는 무빙 유닛(moving unit)과 연결되어 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 것으로서,레일 블록을 구비하며, 상기 랙의 일측에 배치되되 상기 랙과 동일한 궤적을 형성하는 한 쌍의 모듈 레일; 및일측이 상기 한 쌍의 모듈 레일에 각각 이동 가능하게 결합하는 한편 상기 피니언과 함께 상기 무빙 유닛과 연결되어 한 몸체를 이루며, 상기 모듈 레일의 궤적을 따라 이동하되 미끄럼이 발생하지 않게끔 하면서 상기 무빙 유닛의 이동을 가이드하는 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제12항에 있어서,상기 한 쌍의 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리의 구조가 서로 동일하며,상기 미끄럼 방지용 가이드 어셈블리는,상기 레일 블록의 상면, 하면 및 측면 모두에 각각 구름 접촉해서 가이드되는 상부 롤러, 하부 롤러 및 측부 롤러를 구비하는 복수 개의 단위 가이드 유닛; 및상기 레일 블록 상에서 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛이 상대이동 또는 상대회전 가능하도록 상기 복수 개의 단위 가이드 유닛을 한 몸체로 연결하는 유닛 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제13항에 있어서,상기 유닛 연결부는,상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 중앙에 배치되는 한 쌍의 단위 가이드 유닛과 연결되게 마련되는 메인 유닛 바디;상기 복수 개의 단위 가이드 유닛 중 일측과 타측에 배치되는 한 쌍씩의 단위 가이드 유닛을 각각 개별적으로 연결하는 복수 개의 개별 유닛 연결대;상기 메인 유닛 바디의 양측에 각각 결합하는 한 쌍의 센터 베어링;상기 개별 유닛 연결대들의 중심부에 각각 마련되는 복수 개의 사이드 베어링; 및양단부가 상기 센터 베어링 및 상기 사이드 베어링에 각각 자유회전 가능하게 결합하는 한 쌍의 링크암을 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제13항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 서포트 케이싱;상기 상부 롤러가 상기 레일 블록의 상면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 상부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 상부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 상부 편평 가이드;상기 하부 롤러가 상기 레일 블록의 하면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 하부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 하부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 하부 편평 가이드; 및상기 측부 롤러가 상기 레일 블록의 측면에서 구름 회전할 때, 미끄러지지 않도록 상기 측부 롤러에 연결되고 상기 롤러 서포트 케이싱의 측부 결합구에 유격 조절 가능하게 연결되는 편평한 형상의 측부 편평 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제15항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 결합구를 사이에 두고 상기 상부 편평 가이드의 반대편에서 상기 상부 편평 가이드를 체결하는 상부 가이드 체결 플레이트;상기 하부 결합구를 사이에 두고 상기 하부 편평 가이드의 반대편에서 상기 하부 편평 가이드를 체결하는 하부 가이드 체결 플레이트;상기 측부 결합구를 사이에 두고 상기 측부 편평 가이드의 반대편에서 상기 측부 편평 가이드를 체결하는 측부 가이드 체결 플레이트; 및상기 상부 가이드 체결 플레이트와 상기 상부 편평 가이드, 상기 하부 가이드 체결 플레이트와 상기 하부 편평 가이드, 상기 측부 가이드 체결 플레이트와 상기 측부 편평 가이드를 각각 해당하는 것끼리 체결하는 복수 개의 체결 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제15항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 상부 롤러와 상기 상부 편평 가이드를 조립하는 상부 가이드 조립부;상기 하부 롤러와 상기 하부 편평 가이드를 조립하는 하부 가이드 조립부; 및상기 측부 롤러와 상기 측부 편평 가이드를 조립하는 측부 가이드 조립부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제15항에 있어서,상기 단위 가이드 유닛은,상기 롤러 서포트 케이싱에 체결되고 상기 상부 롤러, 상기 하부 롤러 및 상기 측부 롤러의 유격 조절을 위한 예압을 걸어주는 복수 개의 예압 볼트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제12항에 있어서,상기 모듈 레일 모두는,상기 레일 블록을 커버링해서 보호하되 상기 레일 커버에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 블록 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
- 제12항에 있어서,상기 한 쌍의 모듈 레일이 상기 랙을 사이에 두고 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 가이드 모듈.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220026809A KR20230129777A (ko) | 2022-03-02 | 2022-03-02 | 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치 |
KR10-2022-0026809 | 2022-03-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2023167416A1 true WO2023167416A1 (ko) | 2023-09-07 |
Family
ID=87883960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/KR2023/000848 WO2023167416A1 (ko) | 2022-03-02 | 2023-01-18 | 가이드 모듈 및 그를 구비하는 구동장치 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20230129777A (ko) |
WO (1) | WO2023167416A1 (ko) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003191837A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-09 | Nippon Yusoki Co Ltd | 有軌道台車 |
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KR101320122B1 (ko) * | 2011-10-28 | 2013-10-18 | 현대제철 주식회사 | 사이드 롤러 장치 |
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-
2022
- 2022-03-02 KR KR1020220026809A patent/KR20230129777A/ko not_active Application Discontinuation
-
2023
- 2023-01-18 WO PCT/KR2023/000848 patent/WO2023167416A1/ko active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230129777A (ko) | 2023-09-11 |
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