WO2023148265A1 - Vorrichtung zur erzeugung einer plasma-aktivierten flüssigkeit, gerät und verfahren zur reinigung und/oder sterilisation - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung einer plasma-aktivierten flüssigkeit, gerät und verfahren zur reinigung und/oder sterilisation Download PDF

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Definitions

  • the present invention relates to a device for generating a plasma-activated liquid, a device that has such a device, and methods for cleaning and/or sterilization.
  • PAW plasma-activated water
  • a device for generating a plasma-activated liquid which has a first flat electrode and a second flat electrode, the first flat electrode and the second flat electrode being separated from one another by a discharge space.
  • the device also has a voltage source which is designed to apply a voltage between the first flat electrode and the second flat electrode, so that an electrical discharge is ignited in the discharge space between the first flat electrode and the second flat electrode.
  • the device has a liquid supply, which is designed to supply a liquid to the discharge space in such a way that the liquid forms a liquid film in the discharge space, which is exposed to the electrical discharge when the electrical discharge is ignited in the discharge space.
  • the liquid film can be formed on one of the flat electrodes or on a body arranged in the discharge space.
  • a thin cohesive layer of the liquid that wets the surface is referred to here as a liquid film.
  • a liquid film may differ in its flow properties from a bulky liquid.
  • a liquid can be called a liquid film if the thickness of the liquid is less than 1 mm.
  • species are activated in a gas in the discharge space, for example ozone, NOx and/or peroxides. These activated species can be delivered to the liquid film, thereby plasma activating the liquid in the liquid film.
  • a liquid film is particularly suitable for use in a device for generating a plasma-activated liquid, since the liquid film has a very large surface area, which is exposed to the electrical discharge in the discharge space, compared to a voluminous liquid.
  • discharge-induced plasma chemistry and energy transfer to the liquid film take place over a large surface area of the liquid film.
  • an exchange of activated species that are generated in the gas by the electrical discharge can occur at an interface between the liquid film and a gas. Since the liquid film has a large surface area, the exchange of the activated species can take place at a high exchange rate. A high exchange rate between the activated species is synonymous with a high efficiency of the device.
  • the use of the liquid film enables a plasma to produce activated liquid with a high concentration of activated species. Due to the low thickness of the liquid film, a di f fusion-limited exchange rate within the liquid is high and a new equilibrium of active species can quickly be established in the liquid.
  • a liquid film in a device for producing a plasma-activated liquid in which the liquid of the liquid film is plasma-activated makes it possible to construct a simple device with a less complex structure.
  • the liquid can be metered in a simple manner by appropriately adjusting the liquid supply and, if necessary, a liquid discharge.
  • the gas used can be metered by setting a flow rate of a gas supply and a gas discharge. A mixing ratio of liquid and gas in the discharge space can thus be controlled in a targeted manner.
  • the initial stoichiometry in the plasma-activated gas and liquid is easily controlled by a simple and robust dosing system.
  • An electrode can be referred to as "flat" if it is designed to initiate the electrical discharge at its surface.
  • a flat electrode can have a substantially two-dimensional surface to which a voltage can be applied.
  • the flat electrode can be planar and can accordingly be arranged essentially in one plane.
  • the flat electrode can also have a surface which is not planar but forms a surface of a three-dimensional body, for example a surface of a cylinder Liquid film can be formed.
  • the liquid film preferably has a thickness of 0.2 mm or less, preferably 0.1 mm or less.
  • the thickness of the liquid film can be between 50 nm and 0.2 mm, preferably between 100 nm and 0.1 mm.
  • liquid film having a thickness of less than 50 nm openings are easy to form in the film and the liquid film may not cover one of the planar electrodes or other body continuously, which may result in uneven electric discharge. Uneven discharge could damage the device or shorten the life of the device. This is preferably avoided by a liquid film with a thickness of at least 50 nm.
  • the surface area to volume ratio of the liquid film is sufficiently large to allow exchange of active species at the interface of the liquid Liquid films and the gas in the discharge space takes place with high ef fi ciency. Due to the small thickness of the liquid film of 0.2 mm or less, a diffusion-limited exchange rate within the liquid can be high and a new equilibrium of active species can quickly be established in the liquid.
  • the liquid film has a thickness in the preferred range of 100 nm to 0.1 mm, the formation of openings in the liquid film is impossible even on poorly wettable substrates and the efficiency of the plasma activation is very high.
  • the first flat electrode can have a dielectric layer that faces the discharge space.
  • the second flat electrode can have a dielectric layer that faces the discharge space. If at least one of the two flat electrodes has a dielectric layer, the electrical discharge is ignited as a dielectric barrier discharge.
  • the dielectric layer can cover that flat electrode on which the liquid film is arranged. As a result, direct contact of the liquid film with a conductive contact surface of the flat electrode can be avoided. Alternatively or additionally, the dielectric layer can cover one of the flat electrodes on which no liquid film is arranged. The dielectric layer can optimize the burning behavior during electrical discharge.
  • the dielectric layer of the first flat electrode and/or the dielectric layer of the second flat electrode can be porous and/or rough. Porous and rough layers are characterized by good wettability with a liquid. In particular, the liquid film can be produced on the dielectric layer. The porous or rough property of the layer ensures that the liquid film remains on the layer in order to be activated with plasma.
  • the roughness or porosity of the layer ensures that the electrode has good wettability and facilitates homogeneous dosing of the liquid and the distribution of the liquid to form a continuous liquid film. Due to the good wetting properties of a rough and/or porous electrode, a defined separation of liquid phase and gas phase can always be ensured.
  • the porous layer can have small cavities.
  • a layer may be considered porous herein if the void volume of the layer is at least 5% of the total volume of the layer, preferably 10% of the total volume, more preferably 20% of the total volume.
  • a layer is considered rough if the surface of the layer is uneven. Accordingly, the surface of the layer can have microscopic depressions and microscopic elevations that increase the surface area of the layer and facilitate the formation of the liquid film.
  • the liquid feed can be designed to feed the liquid into the discharge space in such a way that the liquid forms the liquid film on a surface of the first flat electrode that faces the discharge space.
  • this Surface of the first flat electrode formed by the dielectric layer Preferably this Surface of the first flat electrode formed by the dielectric layer.
  • the first flat electrode can have a transport layer of a porous material.
  • the transport layer can form the surface of the first flat electrode that faces the discharge space.
  • the porous material of the transport layer can be dielectric.
  • the liquid can both move within the transport layer and form the liquid film on the surface of the transport layer.
  • the transport layer has a high porosity, so that the liquid can be moved within the transport layer by capillary forces.
  • the liquid supply is preferably designed to supply a liquid to the transport layer, so that the liquid is moved through the transport layer and forms the liquid film on the surface of the transport layer.
  • the use of such a liquid supply which does not apply the liquid directly to the surface of the first electrode, but instead introduces it into the transport layer, enables the liquid to be dosed particularly precisely. Liquid can be continuously replenished via the liquid supply, so that a liquid film with a constant thickness remains on the surface of the transport layer.
  • a porous body In the discharge space, a porous body can be arranged, from the first flat electrode and from the second flat electrode is each separated by a gap.
  • the liquid supply can be designed to produce the liquid film on a surface of the porous body. Accordingly, no porous film is generated on the electrodes themselves.
  • the liquid film in the gap between the first electrode and the body and a liquid film in the gap between the second electrode and the body can each be plasma-activated.
  • a porous body can be arranged in the discharge space, which is separated from the first flat electrode and from the second flat electrode by a gap, with the liquid supply being designed to separate the liquid film on a surface of the to generate porous body facing the first electrode, and to generate another liquid film on a surface of the porous body, which faces the second electrode, wherein no liquid film is generated on the first electrode and the second electrode.
  • the porous body may be located in a gap between the first and second electrodes.
  • the device can have a reaction chamber in which the discharge space is arranged.
  • the reaction chamber can have a liquid outlet which is designed to dispense the plasma-activated liquid.
  • the liquid withdrawal can be a valve, for example. Fluid withdrawal may allow in a controlled manner plasma-activated liquid from the
  • the device can have a liquid reservoir that contains the liquid.
  • the liquid feed can be designed to remove the liquid from the liquid reservoir and feed it to the discharge space, with the device having a liquid return channel which is designed to return the liquid from the reaction chamber to the liquid reservoir.
  • the liquid can thus be used in a circuit and activated multiple times.
  • plasma-activated liquid can be collected in the liquid reservoir.
  • the place of production and the place of application can be different. It does not have to be used immediately after production, but storage and later use of the activated liquid are possible. Plasma-activated liquids retain their antibacterial activity over a period of several months.
  • the device can have a gas reservoir, with a gas supply being designed to remove a gas from the gas reservoir and supply it to the reaction chamber.
  • the device can be designed to activate the gas in the discharge space during the electrical discharge.
  • the gas can be circulated between the gas reservoir and the reaction chamber and can be activated several times in the process. Activated gas can be accumulated in the gas reservoir in this way.
  • the reaction chamber can have a gas outlet which is designed to release the activated gas.
  • the activated gas can be used for cleaning or sterilization, for example.
  • the device can have a recirculation channel that is designed to return the activated gas from the reaction chamber to the gas reservoir.
  • the liquid reservoir and the gas reservoir can be connected to one another and an outlet of the recirculation channel can be arranged in the liquid reservoir, so that activated gas discharged at the outlet of the recirculation channel flows through the liquid in the liquid reservoir.
  • the activated gas can be released in the form of bubbles.
  • the activated gas can release at least part of its active species to the liquid, which is thus enriched with the active species.
  • the first flat electrode and the second flat electrode can be planar or cylindrically symmetrical. If the first or the second flat electrode is cylindrically symmetrical, then the respective electrode forms a surface of a cylinder. This can be an inner or an outer surface of a hollow cylinder. a
  • the liquid can only be moved in the device using free convection.
  • the device can do without active pumping elements and only move the liquid by capillary forces and gravitation.
  • the device can thus operate in an energy-efficient manner. If the liquid film is produced on the first flat electrode or on the second flat electrode, the liquid film can cool the respective electrode. Overheating of the discharge space can thus be avoided.
  • the liquid could be cooled by means of a cooling mechanism before being fed into the discharge space.
  • a further aspect relates to a device which has the device described above for generating a plasma-activated liquid.
  • the appliance can be a household appliance, for example a floor care appliance, a cleaning robot, a coffee machine, a dishwasher or a dryer. Alternatively, it can also be other devices, for example a device for water treatment or a medical device used in biomedicine.
  • a plasma-activated liquid and/or a plasma-activated gas can be generated with the device described above, with the liquid and/or the gas being used for cleaning and/or sterilization.
  • FIG. 1 shows a first exemplary embodiment of a device for generating a plasma-activated liquid.
  • FIG. 2 shows a second exemplary embodiment of the device.
  • FIG. 3 shows a third exemplary embodiment of the device.
  • FIG. 4 shows a fourth exemplary embodiment of the device.
  • FIG. 5 shows a fifth exemplary embodiment of the device.
  • FIG. 1 shows a first exemplary embodiment of a device for generating a plasma-activated liquid.
  • the device has a first flat electrode 1 and a second flat electrode 2 .
  • the two flat electrodes are separated from one another by a discharge space 3 .
  • the device also has a voltage source 4 which is connected to the first flat electrode 1 and to the second flat electrode 2 .
  • the voltage source 4 is designed to apply a voltage between the two flat electrodes 1 , 2 .
  • the voltage can be an AC voltage or a pulsed voltage. If the voltage source 4 applies a voltage between the two flat electrodes 1, 2, an electric field is created in the discharge space 3 between the two flat electrodes 1, 2, the field strength of which is sufficient to ignite an electric discharge.
  • the device has a liquid supply 5 which supplies a liquid to the discharge space 3 .
  • the liquid can be water or another process liquid, for example. In the exemplary embodiment shown in FIG. 1, the liquid is applied from the liquid supply 5 to a first end of a surface 6 of the first flat electrode 1 .
  • the liquid flows along the surface 6 of the first flat electrode 1 and forms a liquid film 7 on the surface 6 of the first flat electrode 1 .
  • the device At a second end of the surface 6 of the first flat electrode 1 , which is opposite the first end, the device has a liquid outlet 8 .
  • the liquid can be removed from the first flat electrode 1 at the liquid removal point 8 .
  • the liquid flows through the discharge space 3 as a liquid film 7 between the liquid supply 5 and the liquid removal 8 . In the discharge space 3, the liquid is exposed to the electrical discharge and thereby plasma-activated.
  • the first flat electrode 1 has a conductive contact surface 1a and a dielectric layer 1b.
  • the conductive contact surface la can be a metal surface.
  • the conductive contact surface la is connected to the voltage source 4, it being possible for the voltage source 4 to apply an electrical potential to the conductive contact surface la.
  • the dielectric layer 1b covers the conductive one
  • the liquid film 7 forms on the surface 6 of the dielectric layer.
  • the dielectric layer 1b acts as a barrier, so that the electrical discharge is ignited as a dielectric barrier discharge (DBD).
  • DBD dielectric barrier discharge
  • the dielectric layer 1b is preferably rough and/or porous.
  • a rough and/or porous layer is characterized by good wettability with the liquid.
  • the rough and/or porous design of the dielectric layer 1b ensures that the liquid film 7 can be formed on the dielectric layer and the dielectric layer remains wetted with the liquid.
  • the second flat electrode 2 has a conductive contact surface 2 a which is connected to the voltage source 4 .
  • the conductive contact surface 2a of the second flat electrode 2 is not covered by a dielectric layer.
  • the device also has a gas inlet 9 and a gas outlet 10 .
  • a gas is introduced from the gas supply 9 into the discharge space 3 and drawn off from the discharge space 3 by the gas extraction 10 .
  • a flow direction of the gas from the gas supply to the gas withdrawal can be opposite to a flow direction of the liquid from the liquid supply 5 to the liquid withdrawal 8 .
  • the gas can be air or another process gas.
  • the electrical discharge in the discharge space 3 causes chemical species, e.g. B. Ozone, NOx or peroxides generated .
  • the boundary surface of the liquid film 7 is in contact with the gas and takes off species generated from a gas phase of the gas at the interface.
  • the gas is enriched with the species generated by the electrical discharge and can also absorb vapor, for example water vapor, through exchange with the liquid film.
  • the liquid of the liquid film 7 enriched with the chemical species thus becomes a plasma-activated liquid.
  • the gas is also enriched with the chemical species and with water vapor and is therefore also plasma-activated.
  • the device thus produces a plasma-activated liquid and a plasma-activated gas.
  • FIG. 2 shows a second exemplary embodiment of the device for generating the plasma-activated liquid.
  • the first flat electrode 1 has a conductive contact surface 1a, a fluid distributor 11 and a porous transport layer 12, which are stacked one on top of the other, the porous transport layer 12 forming the surface 6 of the first flat electrode 1, which forms the discharge space 3 faces .
  • the fluid distributor 11 is connected to the liquid supply 5 .
  • the liquid supply 5 supplies the liquid to the fluid distributor 11 which is used to supply the liquid to the porous transport layer 12 .
  • the fluid distributor 11 can be a volume that is filled with liquid from the liquid supply 5 .
  • the fluid distributor 11 can thus be a vessel.
  • the fluid distributor 11 can be a structured volume which has, for example, a meandering or channel-shaped distributor structure.
  • the porous transport structure 12 sucks the liquid out of the fluid manifold 11 by capillary forces.
  • the liquid is moved through the transport layer 12 by capillary forces and spread out to form a liquid film 7 on the surface of the porous transport layer 12 .
  • the liquid can be constantly replenished via the fluid distributor 11 .
  • the liquid film 7 on the surface 6 of the porous transport structure is exposed to the electrical discharge in the discharge space 2 .
  • the liquid film 7 is plasma-activated, as described in connection with the first exemplary embodiment.
  • the second flat electrode 2 is coated with a dielectric layer 2b.
  • the dielectric layer 2 b forms a dielectric barrier with respect to the discharge space 3 , so that the electrical discharge is ignited as a dielectric barrier discharge.
  • the liquid in the liquid film 7 formed on the surface 6 of the first flat electrode 1 is activated by the dielectric barrier discharge and can be removed as activated liquid at the liquid outlet.
  • the liquid can, in particular, reach the liquid outlet 8 from the surface of the first flat electrode 1 as a result of the gravitational force.
  • the liquid in the fluid distributor 11 is located between the conductive contact surface la of the first flat electrode 1 and the second flat electrode.
  • the liquid in the fluid distributor 11 is thus in a current path in the event of an electrical discharge. So that the electrical discharge is not negatively influenced by the liquid, it is necessary for the liquid to have a certain conductivity.
  • FIG. 3 shows a third exemplary embodiment of the device.
  • the third exemplary embodiment is a modification of the second exemplary embodiment in which the position of the first flat electrode has been changed.
  • the first flat electrode is arranged between the fluid distributor 11 and the transport layer 12 .
  • the first flat electrode has openings through which the liquid passes from the fluid distributor 11 to the porous transport layer 12 .
  • the liquid in the fluid distributor 11 is not arranged in the current path in the event of an electrical discharge. Accordingly, in the third embodiment, there is no limitation on the liquid that can be used.
  • FIG. 4 shows a device for generating a plasma-activated liquid according to a fourth exemplary embodiment.
  • the fourth exemplary embodiment differs from the previous exemplary embodiment in that the liquid and the gas are each circulated. Another difference of the fourth embodiment from the first to third The exemplary embodiment consists in that the liquid film 7 is not formed on a surface of one of the two flat electrodes 1, 2, but on a porous body 13, which is arranged in the discharge space 3 and which is separated by a gap 14 from the first flat electrode 1 and is separated from the second flat electrode 2 .
  • the liquid film 7 could be formed on the porous body 13 in the discharge space 3 without the gas and/or the liquid being circulated.
  • the gas and/or the liquid could be circulated and the liquid film 7 could be formed on a surface of one of the two flat electrodes 1 , 2 .
  • the device shown in FIG. 4 has a reaction chamber 15 .
  • the first and the second flat electrodes 1 , 2 are arranged in the reaction chamber 15 .
  • the discharge space 3 between the two electrodes 1 , 2 is also arranged in the reaction chamber 15 .
  • the porous body 13 is arranged in the discharge space 3 .
  • the liquid supply 5 applies the liquid to the porous body 13 .
  • the liquid can be dripped onto the porous body 13 , for example.
  • the liquid supply 5 could have a hose whose outlet either rests against the porous body 13 or is enclosed by the porous body 13 .
  • the liquid is moved through the porous body 13 and along the surface of the porous body 13 by capillary forces and forms the liquid film 7 on the surface of the porous body 13 .
  • the electrical discharge is now ignited in the gap 14 between the first flat electrode 1 and the porous body 13 and in the gap 14 between the second flat electrode 2 and the porous body 13 .
  • chemical species e.g. B. Ozone, NOx or peroxides generated .
  • chemical species and water vapor are exchanged.
  • the liquid film is activated with the chemical species.
  • the gas is also enriched with the chemical species as well as with water vapor.
  • the liquid film 7 flows along the surface of the porous body 13 and, due to gravity, drips into a collection container 16 arranged under the porous body 13, in which plasma-activated liquid is collected.
  • the reaction chamber 15 is gas and liquid-tight in order to avoid the uncontrolled escape of plasma-activated gas, in particular ozone.
  • the reaction chamber 15 has the inlets and outlets for gas and liquid described below.
  • the reaction chamber 15 has the liquid outlet 8 via which the plasma-activated liquid can be removed from the collection container 16 .
  • the removed liquid can be further used for a desired purpose, for example cleaning, sterilization, activation, etc.
  • the reaction chamber 15 has the gas extraction 10 via which the activated gas can be extracted from the reaction chamber 15 . Also activated Gas can be used for cleaning, sterilization, activation or similar purposes.
  • the device shown in FIG. 4 also has a liquid reservoir 17 and a gas reservoir 18 .
  • the gas reservoir 18 and the liquid reservoir 17 can be connected to one another and, for example, can be formed in a single container.
  • the device has a liquid return channel 19 via which plasma-activated liquid can be removed from the collection container 15 and fed to the liquid reservoir 17 .
  • the liquid can accordingly be moved in a circuit, the liquid first being removed from the liquid reservoir 17 by the liquid feed 5 and being fed to the porous body 13 .
  • the liquid reaches the collection container 15 and is then either removed at the liquid removal point 8 and used or fed to the liquid reservoir 17 via the liquid return channel 19 . In this way, plasma-activated liquid can be accumulated in the liquid reservoir 17 .
  • Gas can be removed from the reaction chamber 15 via a recirculation channel 20 and fed to the gas reservoir 18 .
  • An outlet 21 of the recirculation channel 20 can be arranged in the liquid reservoir 17 .
  • the outlet 21 of the recirculation channel 20 have a bubble pattern which ensures that the recirculated gas rises through the liquid in the form of bubbles. At least part of the active species from the recirculated gas goes into solution and enriches the liquid in the liquid reservoir 17 .
  • the gas is circulated.
  • the gas is initially in the gas reservoir 18 and is removed from it by the gas supply 9 and fed to the discharge space 3 .
  • the gas is activated by the electrical discharge.
  • the gas is then either removed at the gas extraction point 10 or returned from the discharge space 3 to the gas reservoir 18 via the recirculation channel 10 .
  • the liquid circuit and the gas circuit can be controlled by means of elements whose functioning is controlled by differential pressures, in particular by means of pumps, valves and throttles.
  • the gas reservoir 18 and the liquid reservoir 17 can each be equipped with a replenishment mechanism 17a, 18a. New, fresh liquid can be supplied to the liquid reservoir via the replenishment mechanism 17a. New, fresh gas can be supplied to the gas reservoir 18 via the replenishment mechanism 18a. In this way, the withdrawal of liquid via the liquid withdrawal 8 and the withdrawal of gas via the gas withdrawal 10 can be compensated.
  • the chemical composition of the circulating liquids and gases can be adjusted via the replenishment mechanisms 17a, 18a.
  • a quantitative ratio between fresh, non-activated gas and activated gas can be adjusted in the desired manner.
  • a quantity ratio between fresh, non-activated liquid and activated liquid can also be set.
  • a pump can also be arranged in the container, which ensures that the liquid circulates in the liquid reservoir 17 .
  • FIG. 5 shows a cross section through a device according to a fifth exemplary embodiment.
  • the flat electrodes 1, 2 are each essentially two-dimensional surfaces that extend in one plane.
  • the first planar electrode 1 and the second planar electrode 2 are each curved into a cylindrical shape.
  • the first flat electrode 1 forms an inner cylinder and the second flat electrode forms an outer cylinder, the two cylinders being arranged concentrically to one another.
  • the outer cylinder encloses the inner cylinder.
  • the discharge space 3 is arranged in a cavity between the cylinder formed by the first flat electrode 1 and the cylinder formed by the second flat electrode 2 .
  • the discharge space 3 is ring-shaped or sleeve-shaped.
  • the fifth exemplary embodiment is based on the first exemplary embodiment.
  • the liquid film 7 is formed on the surface of the dielectric layer 1b facing the discharge space 3, as explained in connection with the first embodiment. Because the Both flat electrodes 1, 2 are each curved into three-dimensional cylinders, the area available for the liquid film is increased and a larger quantity of a plasma-activated liquid can be generated.
  • the second flat electrode 2 can form the inner cylinder and the first flat electrode 1 can form the outer cylinder.
  • first flat electrode 1 and the second flat electrode 2 can also each be curved into a cylindrical shape in the second, the third and the fourth exemplary embodiment.
  • first flat electrode 1 can form the inner cylinder and the second flat electrode 2 can form the outer cylinder.
  • first flat electrode 1 can form the outer cylinder and the second flat electrode 2 the inner cylinder.
  • the porous body 13 is annular in this alternative embodiment.
  • the ring-shaped porous body 13 is arranged in the ring-shaped discharge space 3 between the first flat electrode 1, which forms a cylinder, and the second flat electrode 2, which also forms a cylinder.
  • the plasma-activated liquid generated with the device according to one of the exemplary embodiments shown here can be used for various applications.
  • the liquid can be stored in a container and used as a regenerative cleaning agent.
  • the liquid retains its beneficial properties for cleaning and sterilization for several months.
  • the liquid can be put in a spray bottle and sprayed for use.
  • a sponge can be soaked with the liquid and the liquid can be applied over the sponge to an area to be treated.
  • the liquid can be used in a dispenser or in a rag.
  • the liquid can be used in a dry or humid chamber for the cleaning, care or sterilization of objects, for example in a dishwashing detergent, for the sterilization of a mouth and nose protector or braces.
  • the device can be integrated into a large number of household appliances in which the plasma-activated liquid can be used for cleaning, sterilization or activation.
  • the device can be used in a floor care device, a cleaning robot or a coffee machine for cleaning or descaling.
  • the device could be integrated into a dishwasher, a washing machine or a dryer, so that the advantageous properties of the plasma-activated liquid and the plasma-activated gas can be used.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit, aufweisend: eine erste flächige Elektrode (1) und eine zweite flächige Elektrode (2), wobei die erste flächige Elektrode (1) und die zweite flächige Elektrode (2) durch einen Entladungsraum (3) voneinander getrennt sind, eine Spannungsquelle (4), die dazu ausgestaltet ist, zwischen der ersten flächigen Elektrode (1) und der zweiten flächigen Elektrode (2) eine Spannung anzulegen, so dass in dem Entladungsraum (3) zwischen der ersten flächigen Elektrode (1) und der zweiten flächigen Elektrode (2) eine elektrische Entladung gezündet wird, und eine Flüssigkeitszufuhr (5), die dazu ausgestaltet ist, dem Entladungsraum (3) eine Flüssigkeit derart zuzuführen, dass die Flüssigkeit in dem Entladungsraum (3) einen Flüssigkeitsfilm (7) bildet, der der elektrischen Entladung ausgesetzt ist, wenn in dem Entladungsraum (3) die elektrische Entladung gezündet wird. Weitere Aspekte betreffen ein Gerät, das eine solche Vorrichtung aufweist, und Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation, bei denen die Vorrichtung verwendet wird.

Description

Beschreibung
Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit , Gerät und Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation
Die vorliegende Erfindung betri f ft eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit , ein Gerät , das eine derartige Vorrichtung aufweist , sowie Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation .
Die Übertragung der chemischen Reaktivität und der Energie eines gas förmigen Plasmas auf Wasser oder auf eine andere Flüssigkeit ist ein technischer Ansatz , der eine Flüssigkeit mit einer bemerkenswerten, vorübergehenden biologischen Breitbandaktivität erzeugen kann . Wird Wasser als Flüssigkeit genutzt , kann durch diesen Prozess sogenanntes Plasmaaktiviertes Wasser ( PAW) erzeugt werden . Die Eigenschaften von PAW machen es zu einer umweltfreundlichen Lösung für ein breites Spektrum biotechnologischer Anwendungen, zum Beispiel in der Wasseraufbereitung, der Reinigung von Oberflächen und in der Biomedi zin . Auch für verschiedene Haushaltsgeräte können die Eigenschaften von PAW vorteilhaft genutzt werden .
Die im Stand der Technik bekannten Systeme zur Erzeugung von Plasma-aktivierten Flüssigkeiten weisen j edoch oft eine hohe Komplexität auf und erlauben es darüber hinaus nicht , die Mischverhältnisse und die Dosierung einer Prozess flüssigkeit und eines Prozessgases einfach und zuverlässig einzustellen . Daraus resultiert , dass diese Systeme im Betrieb häufig instabil sind . Beispielsweise zeigt US 2004 / 0076543 Al ein System, in dem Plasma-behandeltes Wasser verwendet wird . Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es nunmehr, zumindest einen Nachteil des Stands der Technik zu überwinden . Eine weitere Aufgabe ist es , ein vorteilhaftes Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation anzugeben .
Die Aufgaben werden durch die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche gelöst . Die abhängigen Ansprüche betref fen vorteilhafte Aus führungsbeispiele und Weiterentwicklungen der Erfindung .
Es wird eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasmaaktivierten Flüssigkeit vorgeschlagen, die eine erste flächige Elektrode und eine zweite flächige Elektrode aufweist , wobei die erste flächige Elektrode und die zweite flächige Elektrode durch einen Entladungsraum voneinander getrennt sind . Die Vorrichtung weist ferner eine Spannungsquelle auf , die dazu ausgestaltet ist , zwischen der ersten flächigen Elektrode und der zweiten flächigen Elektrode eine Spannung anzulegen, so dass in dem Entladungsraum zwischen der ersten flächigen Elektrode und der zweiten flächigen Elektrode eine elektrische Entladung gezündet wird . Die Vorrichtung weist eine Flüssigkeits zufuhr auf , die dazu ausgestaltet ist , dem Entladungsraum eine Flüssigkeit derart zuzuführen, dass in dem Entladungsraum die Flüssigkeit einen Flüssigkeits film bildet , der der elektrischen Entladung ausgesetzt ist , wenn in dem Entladungsraum die elektrische Entladung gezündet wird .
Der Flüssigkeits film kann dabei auf einer der flächigen Elektroden oder auf einem in dem Entladungsraum angeordneten Körper ausgebildet werden . Als Flüssigkeits film wird hier eine dünne zusammenhängende Schicht der Flüssigkeit bezeichnet , die die Oberfläche benetzt . Ein Flüssigkeits film kann sich in seinen Fließeigenschaften von einer voluminösen Flüssigkeit unterscheiden . Eine Flüssigkeit kann dann als Flüssigkeits film bezeichnet werden, wenn die Dicke der Flüssigkeit kleiner als 1 mm ist .
Bei der elektrischen Entladung in dem Entladungsraum werden in einem Gas in dem Entladungsraum Spezies aktiviert , beispielsweise Ozon, NOx und/oder Peroxide . Diese aktivierten Spezies können an den Flüssigkeits film abgegeben werden, wodurch die Flüssigkeit in dem Flüssigkeits film Plasmaaktiviert wird .
Für die Verwendung in einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit eignet sich ein Flüssigkeits film besonders gut , da der Flüssigkeits film im Vergleich einer voluminösen Flüssigkeit eine sehr große Oberfläche besitzt , die der elektrischen Entladung in dem Entladungsraum ausgesetzt ist . Bei einer elektrischen Entladung in dem Entladungsraum finden eine durch die Entladung induzierte Plasmachemie und eine Energieübertragung auf den Flüssigkeits film auf einer großen Oberfläche des Flüssigkeits filmes statt .
Bei einer elektrischen Entladung im Entladungsraum kann es an einer Grenz fläche zwischen dem Flüssigkeits films und einem Gas zu einem Austausch von aktivierten Spezies kommen, die in dem Gas durch die elektrische Entladung erzeugt werden . Da der Flüssigkeits film eine große Oberfläche aufweist , kann der Austausch der aktivierten Spezies mit einer hohen Austauschrate erfolgen . Eine hohe Austauschrate zwischen der aktivierten Spezies ist gleichbedeutend mit einer hohen Ef fi zienz der Vorrichtung . Die Verwendung des Flüssigkeits films ermöglicht es , in kurzer Zeit eine Plasma- aktivierte Flüssigkeit mit einer hohen Konzentration an aktivierten Spezies zu erzeugen . Durch die geringe Dicke des Flüssigkeits films ist eine di f fusionslimitierte Austauschrate innerhalb der Flüssigkeit hoch und ein neues Gleichgewicht von aktiven Spezies kann sich in der Flüssigkeit schnell einstellen .
Die Verwendung eines Flüssigkeits films in einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit , bei der die Flüssigkeit des Flüssigkeits films Plasma-aktiviert wird, ermöglicht es ferner, eine einfache Vorrichtung mit einem wenig komplexen Aufbau zu konstruieren . Durch eine entsprechende Einstellung der Flüssigkeits zufuhr und gegebenenfalls einer Flüssigkeitsabfuhr kann die Flüssigkeit auf einfache Weise dosiert werden . Analog kann über eine Einstellung einer Fließrate einer Gas zufuhr und einer Gasabfuhr das verwendete Gas dosiert werden . Somit lässt sich ein Mischverhältnis von Flüssigkeit und Gas in dem Entladungsraum gezielt steuern . Die Ausgangsstöchiometrie in dem Plasma-aktivierten Gas und in der Plasma-aktivierten Flüssigkeit lässt sich durch ein einfaches und robustes Dosiersystem leicht steuern . Durch eine Wahl einer Temperatur des Gesamtprozesses in dem Entladungsraum kann der Dampfdruck der Flüssigkeit in der Gasphase eingestellt werden und so in dem Entladungsraum die Zusammensetzung der unter Energiezufuhr entstehenden Spezies variiert werden . Die leicht regelbaren Parameter Temperatur, Fließrate der Flüssigkeit und Fließrate des Gases können es somit ermöglichen, die Plasma-Aktivierung der Flüssigkeit zu kontrollieren und die Art der generierten aktiverten Spezies zu steuern . Eine Elektrode kann als „flächig" bezeichnet werden, wenn sie dazu ausgestaltet ist, die elektrische Entladung an ihrer Oberfläche auszulösen. Eine flächige Elektrode kann eine im Wesentlichen zweidimensionale Fläche aufweisen, an der eine Spannung angelegt werden kann. Die flächige Elektrode kann planar sein und kann dementsprechend im Wesentlichen in einer Ebene angeordnet sein. Die flächige Elektrode kann jedoch auch eine Fläche haben, die nicht planar ist, sondern einen Oberfläche eines dreidimensionalen Körpers bildet, z.B. eine Oberfläche eines Zylinders. Eine flächige Elektrode weist eine Fläche auf, auf der der Flüssigkeitsfilm gebildet werden kann .
Vorzugsweise weist der Flüssigkeitsfilm eine Dicke von 0,2 mm oder weniger auf, vorzugsweise von 0,1 mm oder weniger. Die Dicke des Flüssigkeitsfilms kann zwischen 50 nm und 0,2 mm liegen, vorzugsweise zwischen 100 nm und 0,1 mm.
Bei einem Flüssigkeitsfilm, der eine Dicke von weniger als 50 nm aufweist, können sich leicht Öffnungen in dem Film bilden und der Flüssigkeitsfilm könnte eine der flächigen Elektroden oder einen anderen Körper nicht durchgängig bedecken, was zu einer ungleichmäßigen elektrischen Entladung führen könnte. Durch eine ungleichmäßige Entladung könnte die Vorrichtung beschädigt werden oder die Lebensdauer der Vorrichtung verkürzt werden. Dieses wird vorzugsweise durch einen Flüssigkeitsfilm mit einer Dicke von zumindest 50 nm vermieden .
Bei einem Flüssigkeitsfilm, der eine Dicke von 0,2 mm oder weniger aufweist, ist das Verhältnis von Oberfläche zu Volumen des Flüssigkeitsfilms ausreichend groß, so dass ein Austausch von aktiven Spezies an der Grenzfläche des Flüssigkeits films und des Gases im Entladungsraum mit hoher Ef fi zienz erfolgt . Durch die geringe Dicke des Flüssigkeits films von 0 , 2 mm oder weniger kann eine di f fusionslimitierte Austauschrate innerhalb der Flüssigkeit hoch sein und ein neues Gleichgewicht von aktiven Spezies kann sich in der Flüssigkeit schnell einstellen .
Weist der Flüssigkeits film eine Dicke in dem bevorzugten Bereich von 100 nm bis 0 , 1 mm auf , ist die Bildung von Öf fnungen in dem Flüssigkeits film selbst auf schlecht benetzbaren Untergründen ausgeschlossen und die Ef fi zienz der Plasma-Aktivierung ist sehr hoch .
Die erste flächige Elektrode kann eine dielektrische Schicht aufweisen, die dem Entladungsraum zugewandt ist . Alternativ oder ergänzend kann die zweite flächige Elektrode eine dielektrische Schicht aufweisen, die dem Entladungsraum zugewandt ist . Weist zumindest eine der beiden flächigen Elektroden eine dielektrische Schicht auf , wird die elektrische Entladung als dielektrische Barriereentladung gezündet .
Die dielektrische Schicht kann dabei diej enige flächige Elektrode bedecken, auf der der Flüssigkeits film angeordnet ist . Dadurch kann ein direkter Kontakt des Flüssigkeits films mit einer leitfähigen Kontakt fläche der flächigen Elektrode vermieden werden . Alternativ oder ergänzend kann die dielektrische Schicht eine der flächigen Elektroden bedecken, auf der kein Flüssigkeits film angeordnet ist . Dabei kann die dielektrische Schicht das Brennverhalten bei der elektrischen Entladung optimieren . Die dielektrische Schicht der ersten flächigen Elektrode und/oder die dielektrische Schicht der zweiten flächigen Elektrode können porös und/oder rau sein . Poröse und raue Schichten zeichnen sich durch eine gute Benetzbarkeit mit einer Flüssigkeit aus . Insbesondere kann der Flüssigkeits film auf der dielektrischen Schicht erzeugt werden . Durch die poröse oder raue Eigenschaft der Schicht kann sichergestellt werden, dass der Flüssigkeits film auf der Schicht verbleibt , um mit Plasma aktiviert zu werden . Die Rauigkeit oder Porosität der Schicht sorgt dafür, dass die Elektrode eine gute Benetzbarkeit aufweist und erleichtert eine homogene Dosierung der Flüssigkeit und die Verteilung der Flüssigkeit zu einem durchgehenden Flüssigkeits film . Durch die guten Benet zungseingenschaf ten einer rauen und/oder porösen Elektrode kann stets eine definierte Trennung von flüssiger Phase und Gasphase sichergestellt werden .
Die poröse Schicht kann kleine Hohlräume aufweisen . Eine Schicht kann hier als porös angesehen werden, sofern das Hohlraumvolumen der Schicht zumindest 5 % des Gesamtvolumens der Schicht beträgt , vorzugsweise 10 % des Gesamtvolumens , insbesondere 20 % des Gesamtvolumens . Eine Schicht wird als rau angesehen, wenn die Oberfläche der Schicht uneben ist . Dementsprechend kann die Oberfläche der Schicht mikroskopische Vertiefungen und mikroskopische Erhöhungen aufweisen, die die Oberfläche der Schicht vergrößern und die Bildung des Flüssigkeits films erleichtern .
Die Flüssigkeits zufuhr kann dazu ausgestaltet sein, die Flüssigkeit derart in den Entladungsraum zuzuführen, dass die Flüssigkeit an einer Oberfläche der ersten flächigen Elektrode , die dem Entladungsraum zugewandt ist , den Flüssigkeits film ausbildet . Vorzugsweise wird diese Oberfläche der ersten flächigen Elektrode von der dielektrischen Schicht gebildet . Dadurch, dass der Flüssigkeits film auf der Elektrode ausgebildet wird, kann eine einfache und wenig komplexe Vorrichtung konstruiert werden, bei der eine große Oberfläche des Flüssigkeits films der Entladung direkt ausgesetzt ist .
Die erste flächige Elektrode kann eine Transportschicht eines porösen Materials aufweisen . Die Transportschicht kann die Oberfläche der ersten flächigen Elektrode ausbilden, die dem Entladungsraum zugewandt ist . Dabei kann das poröse Material der Transportschicht dielektrisch sein . Die Flüssigkeit kann sich sowohl innerhalb der Transportschicht bewegen als auch an der Oberfläche der Transportschicht den Flüssigkeits film ausbilden . Die Transportschicht weist eine hohe Porosität auf , sodass die Flüssigkeit innerhalb der Transportschicht durch Kapillarkräfte bewegt werden kann .
Vorzugsweise ist die Flüssigkeits zufuhr dabei dazu ausgestaltet , eine Flüssigkeit der Transportschicht zuzuführen, sodass die Flüssigkeit durch die Transportschicht bewegt wird und den Flüssigkeits film an der Oberfläche der Transportschicht ausbildet . Die Verwendung einer derartigen Flüssigkeits zufuhr, die die Flüssigkeit nicht unmittelbar auf die Oberfläche der ersten Elektrode aufbringt , sondern diese in die Transportschicht einführt , ermöglicht eine besonders genaue Dosierung der Flüssigkeit . Über die Flüssigkeits zufuhr kann dabei laufend Flüssigkeit nachdosiert werden, sodass ein Flüssigkeits film mit einer konstanten Dicke auf der Oberfläche der Transportschicht bestehen bleibt .
In dem Entladungsraum kann ein poröser Körper angeordnet sein, der von der ersten flächigen Elektrode und von der zweiten flächigen Elektrode j eweils durch ein Spalt getrennt ist . Die Flüssigkeits zufuhr kann dazu ausgestaltet sein, den Flüssigkeits film auf einer Oberfläche des porösen Körpers zu erzeugen . Dementsprechend wird kein poröser Film auf den Elektroden selbst erzeugt . Der Flüssigkeits film in dem Spalt zwischen der ersten Elektrode und dem Körper sowie ein Flüssigkeits film in dem Spalt zwischen der zweiten Elektrode und dem Körper können j eweils Plasma-aktiviert werden . Durch die Verwendung des zusätzlichen porösen Körpers kann in diesem Aus führungsbeispiel somit in einem einzigen Entladungsraum eine größere Menge an Plasma-aktivierter Flüssigkeit erzeugt werden .
In einer Aus führungs form kann in dem Entladungsraum ein poröser Körper angeordnet sein, der von der ersten flächigen Elektrode und von der zweiten flächigen Elektrode j eweils durch einen Spalt getrennt ist , wobei die Flüssigkeits zufuhr dazu ausgestaltet ist , den Flüssigkeits film auf einer Oberfläche des porösen Körpers zu erzeugen, die der ersten Elektrode zugewandt ist , und einen weiteren Flüssigkeits film auf einer Oberfläche des porösen Körpers zu erzeugen, die der zweiten Elektrode zugewandt ist , wobei auf der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode kein Flüssigkeits film erzeugt wird . Der poröse Körper kann in einem Spalt zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angeordnet sein .
Die Vorrichtung kann eine Reaktionskammer aufweisen, in der der Entladungsraum angeordnet ist . Die Reaktionskammer kann eine Flüssigkeitsentnahme aufweisen, die zur Abgabe der Plasma-aktivierten Flüssigkeit ausgestaltet ist . Bei der Flüssigkeitsentnahme kann es sich beispielsweise um ein Ventil handeln . Die Flüssigkeitsentnahme kann es ermöglichen, in kontrollierter Weise Plasma-aktivierte Flüssigkeit aus der
Reaktionskammer zu entnehmen .
Die Vorrichtung kann ein Flüssigkeitsreservoir aufweisen, das die Flüssigkeit enthält . Die Flüssigkeits zufuhr kann dazu ausgestaltet sein, die Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsreservoir zu entnehmen und dem Entladungsraum zuzuführen, wobei die Vorrichtung einen Flüssigkeits- Rückführkanal aufweist , der dazu ausgestaltet ist , die Flüssigkeit aus der Reaktionskammer in das Flüssigkeitsreservoir zurückzuführen . Die Flüssigkeit kann somit in einem Kreislauf verwendet werden und mehrfach aktiviert werden . Zudem kann in dem Flüssigkeitsreservoir Plasma-aktivierte Flüssigkeit angesammelt werden . Bei Plasmaaktivierten Flüssigkeiten können der Produktionsort und der Ort der Anwendung verschieden sein . Die Verwendung muss nicht unmittelbar nach der Herstellung erfolgen, sondern eine Lagerung und eine spätere Verwendung der aktivierten Flüssigkeit sind möglich . Plasma-aktivierte Flüssigkeiten behalten ihre antibakterielle Wirkung über einen Zeitraum von mehreren Monaten .
Die Vorrichtung kann ein Gasreservoir aufweisen, wobei eine Gas zufuhr dazu ausgestaltet ist , ein Gas aus dem Gasreservoir zu entnehmen und der Reaktionskammer zuzuführen . Die Vorrichtung kann dazu ausgestaltet sein, das Gas in dem Entladungsraum bei der elektrischen Entladung zu aktivieren . Das Gas kann zwischen dem Gasreservoir und der Reaktionskammer in einem Kreislauf geführt werden und dabei mehrfach aktiviert werden . In dem Gasreservoir kann auf diese Weise aktiviertes Gas angesammelt werden . Die Reaktionskammer kann eine Gasentnahme aufweisen, die zur Abgabe des aktivierten Gases ausgestaltet ist . Das aktivierte Gas kann beispielsweise zur Reinigung oder Sterilisation verwendet werden .
Die Vorrichtung kann einen Rezirkulationskanal aufweisen, der dazu ausgestaltet ist , das aktivierte Gas aus der Reaktionskammer in das Gasreservoir zurückzuführen .
Das Flüssigkeitsreservoir und das Gasreservoir können miteinander verbunden sein und ein Ausgang des Rezirkulationskanals kann in dem Flüssigkeitsreservoir angeordnet sein, sodass am Ausgang des Rezirkulationskanals abgegebenes aktiviertes Gas durch die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir strömt . Beispielsweise kann das aktivierte Gas in Form von Blasen abgegeben werden . Bei dem Durchströmen der Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir kann das aktivierte Gas zumindest einen Teil seiner aktiven Spezies an die Flüssigkeit abgeben, die somit mit den aktiven Spezies angereichert wird .
Die erste flächige Elektrode und die zweite flächige Elektrode können planar oder zylindersymmetrisch sein . I st die erste oder die zweite flächige Elektrode zylindersymmetrisch, so formt die j eweilige Elektrode eine Oberfläche eines Zylinders . Es kann sich dabei um eine innere oder eine äußere Oberfläche eines Hohl zylinders handeln . a
Die Flüssigkeit kann in der Vorrichtung nur unter Nutzung der freien Konvektion bewegt werden . Beispielsweise kann die Vorrichtung auf aktive pumpende Elemente verzichten und die Flüssigkeit nur durch Kapillarkräfte und Gravitation bewegen . Somit kann die Vorrichtung energieef fi zient arbeiten . Wird der Flüssigkeits film auf der ersten flächigen Elektrode oder auf der zweiten flächigen Elektrode erzeugt , kann der Flüssigkeits film die j eweilige Elektrode kühlen . Eine Überhitzung des Entladungsraumes kann somit vermieden werden . Zusätzlich könnte die Flüssigkeit vor der Zuführung in den Entladungsraum mittels eines Kühlmechanismus gekühlt werden .
Ein weiterer Aspekt betri f ft ein Gerät , das die oben beschriebene Vorrichtung zur Erzeugung von einer Plasmaaktivierten Flüssigkeit aufweist . Bei dem Gerät kann es sich um ein Haushaltsgerät , beispielsweise ein Bodenpflegegerät , einen Reinigungsroboter, eine Kaf feemaschine , eine Spülmaschine oder einen Trockner handeln . Alternativ kann es sich auch um andere Geräte handeln, zum Beispiel ein Gerät zur Wasseraufbereitung oder ein in der Biomedi zin verwendetes medi zinisches Gerät handeln .
Weitere Aspekte betref fen ein Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation . Bei diesem Verfahren kann mit der oben beschriebenen Vorrichtung eine Plasma-aktivierte Flüssigkeit und/oder ein Plasma-aktiviertes Gas erzeugt werden, wobei die Flüssigkeit und/oder das Gas zur Reinigung und/oder Sterilisation verwendet werden .
Im Folgenden werden bevorzugte Aus führungsbeispiele der vorliegenden Erfindung anhand der Figuren erläutert .
Figur 1 zeigt ein erstes Aus führungsbeispiel einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit . Figur 2 zeigt ein zweites Aus führungsbeispiel der Vorrichtung .
Figur 3 zeigt ein drittes Aus führungsbeispiel der Vorrichtung .
Figur 4 zeigt ein viertes Aus führungsbeispiel der Vorrichtung .
Figur 5 zeigt ein fünftes Aus führungsbeispiel der Vorrichtung .
Figur 1 zeigt ein erstes Aus führungsbeispiel einer Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit . Die Vorrichtung weist eine erste flächige Elektrode 1 und eine zweite flächige Elektrode 2 auf . Die beiden flächigen Elektroden sind durch einen Entladungsraum 3 voneinander getrennt .
Ferner weist die Vorrichtung eine Spannungsquelle 4 auf , die mit der ersten flächigen Elektrode 1 und mit der zweiten flächigen Elektrode 2 verbunden ist . Die Spannungsquelle 4 ist dazu ausgestaltet , zwischen den beiden flächigen Elektroden 1 , 2 eine Spannung anzulegen . Bei der Spannung kann es sich um eine Wechselspannung oder um eine gepulste Spannung handeln . Wird von der Spannungsquelle 4 eine Spannung zwischen den beiden flächigen Elektroden 1 , 2 angelegt , entsteht in dem Entladungsraum 3 zwischen den beiden flächigen Elektroden 1 , 2 ein elektrisches Feld, dessen Feldstärke zur Zündung einer elektrischen Entladung ausreicht . Die Vorrichtung weist eine Flüssigkeits zufuhr 5 auf , die dem Entladungsraum 3 eine Flüssigkeit zuführt . Bei der Flüssigkeit kann es sich beispielsweise um Wasser oder um eine andere Prozess flüssigkeit handeln . Bei dem in Figur 1 gezeigten Aus führungsbeispiel wird die Flüssigkeit von der Flüssigkeits zufuhr 5 auf ein erstes Ende einer Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 aufgebracht . Die Flüssigkeit fließt an der Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 entlang und bildet dabei auf der Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 einen Flüssigkeits film 7 .
An einem zweiten Ende der Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 , das dem ersten Ende gegenüberliegt , weist die Vorrichtung eine Flüssigkeitsentnahme 8 auf . An der Flüssigkeitsentnahme 8 kann die Flüssigkeit von der ersten flächigen Elektrode 1 entnommen werden . Zwischen der Flüssigkeits zufuhr 5 und der Flüssigkeitsentnahme 8 fließt die Flüssigkeit als Flüssigkeits film 7 durch den Entladungsraum 3 . In dem Entladungsraum 3 wird die Flüssigkeit der elektrischen Entladung ausgesetzt und dadurch Plasma-aktiviert .
Die erste flächige Elektrode 1 weist eine leitfähige Kontakt fläche la und eine dielektrische Schicht 1b auf . Bei der leitfähigen Kontakt fläche la kann es sich um eine Metall fläche handeln . Die leitfähige Kontakt fläche la ist mit der Spannungsquelle 4 verbunden, wobei von der Spannungsquelle 4 ein elektrisches Potential an die leitfähige Kontakt fläche la angelegt werden kann .
Die dielektrische Schicht 1b bedeckt die leitfähige
Kontakt fläche la derart , dass die dielektrische Schicht die
Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 ausbildet , die zu dem Entladungsraum 3 weist . Der Flüssigkeits film 7 bildet sich an der Oberfläche 6 der dielektrischen Schicht . Bei der elektrischen Entladung wirkt die dielektrische Schicht 1b als Barriere , so dass die elektrische Entladung als dielektrische Barriereentladung ( DBD) gezündet wird .
Die dielektrische Schicht 1b ist vorzugsweise rau und/oder porös . Eine raue und/oder poröse Schicht zeichnet sich durch eine gute Benetzbarkeit mit der Flüssigkeit aus . Durch die raue und/oder poröse Ausgestaltung der dielektrischen Schicht 1b wird sichergestellt , dass der Flüssigkeits film 7 auf der dielektrischen Schicht ausgebildet werden kann und die dielektrische Schicht mit der Flüssigkeit benetzt bleibt .
Die zweite flächige Elektrode 2 weist eine leitfähige Kontakt fläche 2a auf , die mit der Spannungsquelle 4 verbunden ist . Die leitfähige Kontakt fläche 2a der zweiten flächigen Elektrode 2 ist nicht von einer dielektrischen Schicht bedeckt .
Die Vorrichtung weist ferner eine Gas zufuhr 9 und eine Gasentnahme 10 auf . Ein Gas wird von der Gas zufuhr 9 in den Entladungsraum 3 eingeführt und von der Gasentnahme 10 aus dem Entladungsraum 3 abgezogen . Dabei kann eine Fließrichtung des Gases von der Gas zufuhr zur Gasentnahme entgegengesetzt zu einer Fließrichtung der Flüssigkeit von der Flüssigkeits zufuhr 5 zur Flüssigkeitsentnahme 8 sein . Bei dem Gas kann es sich um Luft oder ein anderes Prozessgas handeln .
Durch die elektrische Entladung in dem Entladungsraum 3 werden in dem Gas in dem Entladungsraum 3 chemische Spezies , z . B . Ozon, NOx oder Peroxiden, erzeugt . Die Grenz fläche des Flüssigkeits films 7 ist in Kontakt mit dem Gas und nimmt aus einer Gasphase des Gases an der Grenz fläche erzeugte Spezies auf . Das Gas wird durch die elektrische Entladung mit den erzeugten Spezies angereichter und kann zusätzlich durch den Austausch mit dem Flüssigkeits film Dampf aufnehmen, zum Beispiel Wasserdampf .
Die Flüssigkeit des mit den chemischen Spezies angereicherten Flüssigkeits films 7 wird somit zu einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit . Das Gas wird ebenfalls mit den chemischen Spezies sowie mit Wasserdampf angereichert und ist somit ebenfalls Plasma-aktiviert . Die Vorrichtung erzeugt somit eine Plasam-aktivierte Flüssigkeit und ein Plasma-aktiviertes Gas .
Figur 2 zeigt ein zweites Aus führungsbeispiel der Vorrichtung zur Erzeugung der Plasma-aktivierten Flüssigkeit .
Gemäß dem zweiten Aus führungsbeispiel weist die erste flächige Elektrode 1 eine leitfähige Kontakt fläche la, einen Fluidverteiler 11 und eine poröse Transportschicht 12 auf , die übereinander gestapelt sind, wobei die poröse Transportschicht 12 die Oberfläche 6 der erste flächigen Elektrode 1 ausbildet , die dem Entladungsraum 3 zugewandt ist .
Der Fluidverteiler 11 ist mit der Flüssigkeits zufuhr 5 verbunden . Die Flüssigkeits zufuhr 5 gibt die Flüssigkeit an den Fluidverteiler 11 , der über den die Flüssigkeit der porösen Transportschicht 12 zugeführt wird . Bei dem Fluidverteiler 11 kann es sich um ein Volumen handeln, das von der Flüssigkeits zufuhr 5 mit Flüssigkeit gefüllt wird . In seiner einfachsten Ausgestaltung kann der Fluidverteiler 11 somit ein Gefäß sein . In alternativen Aus führungs formen kann der Fluidverteiler 11 ein strukturiertes Volumen sein, das beispielsweise eine mäanderf örmige oder kanal förmige Verteilerstruktur aufweist .
Die poröse Transportstruktur 12 saugt die Flüssigkeit durch Kappilarkräf te aus dem Fluidverteiler 11 . In der porösen Transportschicht 12 wird die Flüssigkeit durch Kappilarkräf te durch die Transportschicht 12 hindurch bewegt und zu einem Flüssigkeits film 7 an der Oberfläche der porösen Transportschicht 12 ausgebreitet . Über den Fluidverteiler 11 kann die Flüssigkeit dabei stetig nachdosiert werden . Der Flüssigkeits film 7 an der Oberfläche 6 der porösen Transportstruktur ist der elektrischen Entladung im Entladungsraum 2 ausgesetzt . Dadurch wird der Flüssigkeits film 7 , wie in Zusammenhang mit dem ersten Aus führungsbeispiel beschrieben, Plasma-aktiviert .
Bei dem in Figur 2 gezeigten Aus führungsbeispiel ist die zweite flächige Elektrode 2 mit einer dielektrischen Schicht 2b beschichtet . Die dielektrische Schicht 2b bildet dabei eine dielektrische Barriere gegenüber dem Entladungsraum 3 , so dass die elektrische Entladung als dielektrische Barriereentladung gezündet wird . Die Flüssigkeit des an der Oberfläche 6 der ersten flächigen Elektrode 1 ausgebildeten Flüssigkeits film 7 wird durch die dielektrische Barriereentladung aktiviert und kann als aktivierte Flüssigkeit an der Flüssigkeitsentnahme entnommen werden . Die Flüssigkeit kann insbesondere durch die Gravitationskraft von der Oberfläche der ersten flächigen Elektrode 1 zu der Flüssigkeitsentnahme 8 gelangen .
Die Flüssigkeit in dem Fluidverteiler 11 befindet sich zwischen der leitfähigen Kontakt fläche la der ersten flächigen Elektrode 1 und der zweiten flächigen Elektrode . Somit befindet sich die Flüssigkeit in dem Fluidverteiler 11 bei einer elektrischen Entladung in einem Strompfad . Damit die elektrische Entladung durch die Flüssigkeit nicht negativ beeinflusst wird, ist es erforderlich, dass die Flüssigkeit eine gewisse Leitfähigkeit besitzt .
Figur 3 zeigt ein drittes Aus führungsbeispiel der Vorrichtung . Das dritte Aus führungsbeispiel ist eine Abwandlung des zweiten Aus führungsbeispiels , bei der die Position der ersten flächigen Elektrode verändert wurde .
In dem dritten Aus führungsbeispiel ist die erste flächige Elektrode zwischen dem Fluidverteiler 11 und der Transportschicht 12 angeordnet . Die erste flächige Elektrode weist dabei Öf fnungen auf , durch die die Flüssigkeit von dem Fluidverteiler 11 zu der porösen Transportschicht 12 gelangt .
Die Flüssigkeit in dem Fluidverteiler 11 ist in dem dritten Aus führungsbeispiel bei einer elektrischen Entladung nicht in dem Strompfad angeordnet . Dementsprechend gibt es in dem dritten Aus führungsbeispiel keine Einschränkung hinsichtlich der verwendbaren Flüssigkeit .
Figur 4 zeigt eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasmaaktivierten Flüssigkeit gemäß einem vierten Aus führungsbeispiel .
Das vierte Aus führungsbeispiel unterscheidet sich von dem vorherigen Aus führungsbeispielen dadurch, dass die Flüssigkeit und das Gas j eweils in einem Kreislauf geführt werden . Ein weiterer Unterschied des vierten Aus führungsbeispiels von dem ersten bis dritten Aus führungsbeispiel besteht darin, dass der Flüssigkeits film 7 nicht auf einer Oberfläche einer der beiden flächigen Elektroden 1 , 2 ausgebildet wird, sondern auf einem porösen Körper 13 , der in dem Entladungsraum 3 angeordnet ist und der j eweils durch einen Spalt 14 von der ersten flächigen Elektrode 1 und von der zweiten flächigen Elektrode 2 getrennt ist .
Beide Unterschiede sind getrennt voneinander zu betrachten und können j eweils einzeln auch bei alternativen Ausgestaltungen der Aus führungsbeispiele aus Figur 1 , Figur 2 oder Figur 3 vorgesehen sein . Insbesondere könnte der Flüssigkeits film 7 auf dem porösen Körper 13 im Entladungsraum 3 ausgebildet werden, ohne dass das Gas und/oder die Flüssigkeit in einem Kreislauf geführt wird . Alternativ könnte das Gas und/oder die Flüssigkeit in einem Kreislauf geführt werden und der Flüssigkeits film 7 könnte auf einer Oberfläche einer der beiden flächigen Elektroden 1 , 2 ausgebildet werden .
Die in Figur 4 gezeigte Vorrichtung weist eine Reaktionskammer 15 auf . In der Reaktionskammer 15 sind die erste und die zweite flächige Elektrode 1 , 2 angeordnet . Der Entladungsraum 3 zwischen den beiden Elektroden 1 , 2 ist ebenfalls in der Reaktionskammer 15 angeordnet . In dem Entladungsraum 3 ist der poröse Körper 13 angeordnet . Die Flüssigkeits zufuhr 5 trägt die Flüssigkeit auf den porösen Körper 13 auf . Dazu kann der poröse Körper 13 beispielsweise mit der Flüssigkeit betröpfelt werden . Alternativ könnte die Flüssigkeits zufuhr 5 einen Schlauch aufweisen, dessen Auslass entweder an dem porösen Körper 13 anliegt oder von dem porösen Körper 13 umschlossen ist . Die Flüssigkeit wird durch Kappilarkräf te durch den porösen Körper 13 hindurch und an der Oberfläche des porösen Körpers 13 entlang bewegt und bildet auf der Oberfläche des porösen Körpers 13 den Flüssigkeits film 7 . Die elektrische Entladung wird nunmehr in dem Spalt 14 zwischen der ersten flächigen Elektrode 1 und dem porösen Körper 13 sowie in dem Spalt 14 zwischen der zweiten flächigen Elektrode 2 und dem porösen Körper 13 gezündet . Durch die elektrische Entladung in dem Entladungsraum 3 werden in dem Gas chemische Spezies , z . B . Ozon, NOx oder Peroxiden, erzeugt . An der Grenz fläche zwischen dem Flüssigkeits film und dem Gas kommt es zu dem Austausch von chemischen Spezies und von Wasserdampf . Dabei wird der Flüssigkeits film mit den chemischen Spezies aktiviert . Das Gas wird ebenfalls mit den chemischen Spezies sowie mit Wasserdampf angereichert .
Der Flüssigkeits film 7 fließt entlang der Oberfläche des porösen Körpers 13 und tropft aufgrund der Gravität in einen unter dem porösen Körper 13 angeordneten Sammelbehälter 16 , in dem Plasma-aktivierte Flüssigkeit gesammelt wird .
Die Reaktionskammer 15 ist gas- und flüssigkeitsdicht , um den unkontrollierten Austritt von Plasma-aktiviertem Gas , insbesondere von Ozon, zu vermeiden . Die Reaktionskammer 15 weist j edoch die im Folgenden beschriebenen Ein- und Auslässe für Gas und Flüssigkeit auf . Die Reaktionskammer 15 weist die Flüssigkeitsentnahme 8 auf , über die Plasma-aktivierte Flüssigkeit aus dem Sammelbehälter 16 entnommen werden kann . Die entnommene Flüssigkeit kann für einen gewünschten Zweck weiter verwendet werden, beispielsweise zur Reinigung, Sterilisation, Aktivierung usw . Die Reaktionskammer 15 weist die Gasentnahme 10 auf , über die das aktivierte Gas aus der Reaktionskammer 15 entnommen werden kann . Auch das aktivierte Gas kann zur Reinigung, Sterilisation, Aktivierung oder ähnlichen Zwecken verwendet werden .
Die in Figur 4 gezeigte Vorrichtung weist ferner ein Flüssigkeitsreservoir 17 und ein Gasreservoir 18 auf . Dabei können das Gasreservoir 18 und das Flüssigkeitsreservoir 17 miteinander verbunden sein und beispielsweise in einem einzigen Behälter ausgebildet sein .
Die Vorrichtung weist einen Flüssigkeits-Rückführkanal 19 auf , über den Plasma-aktivierte Flüssigkeit aus dem Sammelbehälter 15 entnommen werden kann und dem Flüssigkeitsreservoir 17 zugeführt werden kann . Die Flüssigkeit kann dementsprechend in einem Kreislauf bewegt werden, wobei die Flüssigkeit zunächst aus dem Flüssigkeitsreservoir 17 von der Flüssigkeits zufuhr 5 entnommen wird und dem porösen Körper 13 zugeführt wird . Nach der Plasmaaktivierung im Entladungsraum 3 gelangt die Flüssigkeit in den Sammelbehälter 15 und wird anschließend entweder an der Flüssigkeitsentnahme 8 entnommen und verwendet oder über den Flüssigkeits-Rückführkanal 19 dem Flüssigkeitsreservoir 17 zugeführt . Auf diese Weise kann Plasma-aktivierte Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir 17 angesammelt werden .
Über einen Rezirkulationskanal 20 kann Gas aus der Reaktionskammer 15 entnommen werden und dem Gasreservoir 18 zugeführt werden . Dabei kann ein Auslass 21 des Rezirkulationskanals 20 in dem Flüssigkeitsreservoir 17 angeordnet sein . Das Gas , das aus dem Entladungsraum 3 in das Gasreservoir 18 zurückgeführt wird, durchströmt dementsprechend zunächst das Flüssigkeitsreservoir 17 . Beispielsweise kann der Auslass 21 des Rezirkulationskanals 20 einen Bläschenbilder aufweisen, der dafür sorgt , dass das zurückgeführte Gas in Form von Bläschen durch die Flüssigkeit auf steigt . Dabei geht zumindest ein Teil der aktiven Spezies aus dem zurückgeführten Gas in Lösung und reichert die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir 17 an .
Das Gas wird in einem Kreislauf geführt . Das Gas befindet sich zunächst in dem Gasreservoir 18 und wird von der Gas zufuhr 9 aus diesem entnommen und dem Entladungsraum 3 zugeführt . In dem Entladungsraum 3 wird das Gas durch die elektrische Entladung aktiviert . Anschließend wird das Gas entweder an der Gasentnahme 10 entnommen oder aus dem Entladungsraum 3 über den Rezirkulationskanal 10 zu dem Gasreservoir 18 zurückgeführt .
Die Steuerung des Flüssigkeitskreislaufs und des Gaskreislaufs können dabei mittels Elementen vorgenommen werden, deren Funktionsweise durch Di f ferenzdrücke gesteuert wird, insbesondere mittels Pumpen, Ventilen und Drosseln .
Das Gasreservoir 18 und das Flüssigkeitsreservoir 17 können j eweils mit einem Nachdosiermechanismus 17a, 18a ausgestattet sein . Über den Nachdosiermechanismus 17a kann neue , frische Flüssigkeit dem Flüssigkeitsreservoir zugeführt werden . Über den Nachdosiermechanismus 18a kann neues , frisches Gas dem Gasreservoir 18 zugeführt werden . Auf diese Weise können die Entnahme von Flüssigkeit über die Flüssigkeitsentnahme 8 sowie die Entnahme von Gas über die Gasentnahme 10 ausgeglichen werden .
Über die Nachdosiermechanismen 17a, 18a kann die chemische Zusammensetzung der zirkulierenden Flüssigkeiten und Gase eingestellt werden . Dabei kann ein Mengenverhältnis zwischen frischem, nicht aktivierten Gas und aktiviertem Gas in gewünschter Weise eingestellt werden . Auch ein Mengenverhältnis zwischen frischer, nicht aktivierter Flüssigkeit und aktivierter Flüssigkeit kann eingestellt werden .
In dem Behälter kann ferner eine Pumpe angeordnet sein, die dafür sorgt , dass die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir 17 zirkuliert .
Figur 5 zeigt einen Querschnitt durch eine Vorrichtung gemäß einem fünften Aus führungsbeispiel . In dem ersten bis vierten Aus führungsbeispiel sind die flächigen Elektroden 1 , 2 j eweils im Wesentlichen zweidimensionale Flächen, die sich in einer Ebene erstrecken . In dem fünften Aus führungsbeispiel sind die erste flächige Elektrode 1 und die zweite flächige Elektrode 2 j eweils zu einer Zylinderform gekrümmt . Die erste flächige Elektrode 1 bildet dabei einen inneren Zylinder und die zweite flächige Elektrode bildet einen äußeren Zylinder, wobei die beiden Zylinder konzentrisch zueinander angeordnet sind . Der äußere Zylinder umschließt den inneren Zylinder .
Der Entladungsraum 3 ist in einem Hohlraum zwischen dem von der ersten flächigen Elektrode 1 gebildeten Zylinder und dem von der zweiten flächigen Elektrode 2 gebildeten Zylinder angeordnet . Der Entladungsraum 3 ist dabei ringförmig oder hülsenf örmig .
Das fünfte Aus führungsbeispiel basiert dabei auf dem ersten Aus führungsbeispiel . Der Flüssigkeits film 7 wird auf der Oberfläche der dielektrischen Schicht 1b erzeugt , die dem Entladungsraum 3 zugewandt ist , wie in Zusammenhang mit dem ersten Aus führungsbeispiel erläutert wurde . Dadurch, dass die beide flächigen Elektroden 1 , 2 j eweils zu dreidimensionalen Zylindern gekrümmt sind, wird die für den Flüssigkeits film zur Verfügung stehende Fläche vergrößert und es kann eine größere Menge einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit erzeugt werden .
In einer alternativen Aus führungs form kann die zweite flächige Elektrode 2 den inneren Zylinder bilden und die erste flächige Elektrode 1 kann den äußeren Zylinder bilden .
Ferner können die erste flächige Elektrode 1 und die zweite flächige Elektrode 2 auch bei dem zweiten, dem dritten und dem vierten Aus führungsbeispiel j eweils zu einer Zylinderform gekrümmt sein . Dabei kann entweder die erste flächige Elektrode 1 den inneren Zylinder und die zweite flächige Elektrode 2 den äußeren Zylinder bilden . Alternativ kann die erste flächige Elektrode 1 den äußeren Zylinder und die zweite flächige Elektrode 2 den inneren Zylinder bilden .
Bei dem vierten Aus führungsbeispiel ist der poröse Körper 13 in dieser alternativen Aus führungs form ringförmig . Der ringförmige poröse Körper 13 ist dabei in dem ringförmigen Entladungsraum 3 zwischen der ersten flächigen Elektrode 1 , die einen Zylinder bildet , und der zweiten flächigen Elektrode 2 , die ebenfalls einen Zylinder bildet , angeordnet .
Die mit der Vorrichtung gemäß einem der hier gezeigten Aus führungsbeispiele erzeugte Plasma-aktivierte Flüssigkeit kann für verschiedene Anwendungen genützt werden . Die Flüssigkeit kann beispielsweise in einem Behälter gespeichert werden und als regeneratives Putzmittel genutzt werden . Die Flüssigkeit behält dabei ihre zur Reinigung und Sterilisation vorteilhaften Eigenschaften über mehrere Monate . Die Flüssigkeit kann in eine Sprühflasche eingefüllt werden und zur Verwendung versprüht werden . Ein Schwamm kann mit der Flüssigkeit getränkt werden und die Flüssigkeit kann über den Schwamm auf einer zu behandelnden Fläche aufgebracht werden . Ferner kann die Flüssigkeit in einem Dosierspender oder in einem Lappen verwendet werden . Die Flüssigkeit kann in einer trockenen oder feuchten Kammer zur Reinigung, Pflege oder Sterilisation von Gegenständen verwendet werden, beispielsweise in einem Geschirrreiniger, zur Sterilisation eines Mund-Nase-Schutzes oder einer Zahnspange .
Die Vorrichtung kann in eine Viel zahl von Haushaltsgeräten integriert werden, in denen die Plasma-aktivierte Flüssigkeit zur Reinigung, Sterilisation oder Aktivierung genutzt werden kann . Beispielsweise kann die Vorrichtung in einem Bodenpflegegerät , einem Reinigungsroboter oder einer Kaf feemaschine zur Reinigung oder Entkalkung verwendet werden . Die Vorrichtung könnte in eine Spülmaschine , eine Waschmaschine oder einem Trockner integriert werden, so dass die vorteilhaften Eigenschaften der Plasma-aktivierten Flüssigkeit und des Plasma-aktivierten Gases genutzt werden können .
Bezugs zeichenliste
1 erste flächige Elektrode la leitfähige Kontakt fläche
1b dielektrische Schicht
2 zweite flächige Elektrode
2a leitfähige Kontakt fläche
2b dielektrische Schicht
3 Entladungsraum
4 Spannungsquelle
5 Flüssigkeits zufuhr
6 Oberfläche der ersten flächigen Elektrode
7 Flüssigkeits film
8 Flüssigkeitsentnahme
9 Gas zufuhr
10 Gasentnahme
11 Fluidverteiler
12 Transportschicht
13 poröser Körper
14 Spalt
15 Reaktionskammer
16 Sammelbehälter
17 Flüssigkeitsreservoir
17a Nachdosiermechanismus
18 Gasreservoir
18a Nachdosiermechanismus
19 Flüssigkeits-Rückführkanal
20 Rezirkulationskanal
21 Auslass

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Erzeugung einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit, aufweisend: eine erste flächige Elektrode (1) und eine zweite flächige Elektrode (2) , wobei die erste flächige Elektrode (1) und die zweite flächige Elektrode (2) durch einen Entladungsraum (3) voneinander getrennt sind, eine Spannungsquelle (4) , die dazu ausgestaltet ist, zwischen der ersten flächigen Elektrode (1) und der zweiten flächigen Elektrode (2) eine Spannung anzulegen, so dass in dem Entladungsraum (3) zwischen der ersten flächigen Elektrode (1) und der zweiten flächigen Elektrode (2) eine elektrische Entladung gezündet wird, und eine Flüssigkeitszufuhr (5) , die dazu ausgestaltet ist, dem Entladungsraum (3) eine Flüssigkeit derart zuzuführen, dass die Flüssigkeit in dem Entladungsraum (3) einen Flüssigkeitsfilm (7) bildet, der der elektrischen Entladung ausgesetzt ist, wenn in dem Entladungsraum (3) die elektrische Entladung gezündet wird .
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsfilm (7) durch die elektrische Entladung Plasma-aktiviert wird.
3. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Flüssigkeitsfilm (7) eine Dicke zwischen 50 nm und 0,2 mm aufweist.
4. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste flächige Elektrode (1) eine dielektrische Schicht (1b) aufweist, die dem Entladungsraum (3) zugewandt ist, und/ oder wobei zweite flächige Elektrode (2) eine dielektrische Schicht (2b) aufweist, die dem Entladungsraum (3) zugewandt ist. Vorrichtung gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei die dielektrische Schicht (1b) der ersten flächigen Elektrode (1) porös und/oder rau ist, und/ oder wobei die dielektrische Schicht (2b) der zweiten flächigen Elektrode (2) porös und/oder rau ist. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Flüssigkeitszufuhr (5) dazu ausgestaltet ist, die Flüssigkeit derart in den Entladungsraum (3) zuzuführen, dass die Flüssigkeit an einer Oberfläche (6) der ersten flächigen Elektrode (1) , die dem Entladungsraum (3) zugewandt ist, den Flüssigkeitsfilm (7) ausbildet. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste flächige Elektrode (1) eine Transportschicht (12) eines porösen Materials aufweist, die die Oberfläche (6) der ersten flächigen Elektrode (1) ausbildet, die dem Entladungsraum (3) zugewandt ist. Vorrichtung gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei die Flüssigkeitszufuhr (5) dazu ausgestaltet ist, eine Flüssigkeit der Transportschicht (12) zuzuführen, so dass die Flüssigkeit durch die Transportschicht (12) bewegt wird und den Flüssigkeitsfilm (7) an der Oberfläche (6) der ersten flächigen Elektrode (1) ausbildet . Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei in dem Entladungsraum (3) ein poröser Körper (13) angeordnet ist, der von der ersten flächigen Elektrode (1) und von der zweiten flächigen Elektrode (2) jeweils durch einen Spalt (14) getrennt ist, wobei die Flüssigkeitszufuhr (5) dazu ausgestaltet ist, den Flüssigkeitsfilm (7) auf einer Oberfläche des porösen Körpers (13) zu erzeugen. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei in dem Entladungsraum (3) ein poröser Körper (13) angeordnet ist, der von der ersten flächigen Elektrode (1) und von der zweiten flächigen Elektrode (2) jeweils durch einen Spalt (14) getrennt ist, wobei die Flüssigkeitszufuhr (59 dazu ausgestaltet ist, den Flüssigkeitsfilm (7) auf einer Oberfläche des porösen Körpers (13) zu erzeugen, die der ersten Elektrode (1) zugewandt ist, und einen weiteren Flüssigkeitsfilm auf einer Oberfläche des porösen Körpers (13) zu erzeugen, die der zweiten Elektrode (2) zugewandt ist, wobei auf der ersten Elektrode (1) und der zweiten Elektrode (2) kein Flüssigkeitsfilm erzeugt wird. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Vorrichtung eine Reaktionskammer (15) aufweist, in der der Entladungsraum (3) angeordnet ist, wobei die Reaktionskammer (15) eine Flüssigkeitsentnahme (8) aufweist, die zur Abgabe einer Plasma-aktivierten Flüssigkeit ausgestaltet ist. Vorrichtung gemäß dem vorherigen Anspruch, wobei die Vorrichtung ein Flüssigkeitsreservoir (17) aufweist, das die Flüssigkeit enthält, wobei die Flüssigkeitszufuhr (5) dazu ausgestaltet ist, die Flüssigkeit aus dem Flüssigkeitsreservoir (17) zu entnehmen und die Flüssigkeit dem Entladungsraum (3) zuzuführen, wobei die Vorrichtung einen Rückführkanal (19) aufweist, der dazu ausgestaltet ist, die Flüssigkeit aus der Reaktionskammer (15) in das Flüssigkeitsreservoir (17) zurück zu führ en . Vorrichtung gemäß Anspruch 11 oder Anspruch 12, wobei die Vorrichtung ein Gasreservoir (18) aufweist, wobei eine Gaszufuhr (9) dazu ausgestaltet ist, ein Gas aus dem Gasreservoir (18) zu entnehmen und das Gas der Reaktionskammer (15) zuzuführen, wobei die Vorrichtung dazu ausgestaltet ist, das Gas in dem Entladungsraum (3) bei der elektrischen Entladung zu aktivieren . Vorrichtung gemäß Anspruch 13, wobei die Vorrichtung einen Rezirkulationskanal (20) aufweist, der dazu ausgestaltet ist, das Plasmaaktivierte Gas aus der Reaktionskammer (15) in das Gasreservoir (18) zurückzuführen. Vorrichtung gemäß den Ansprüchen 12 und 14, wobei das Flüssigkeitsreservoir (17) und das Gasreservoir
(18) miteinander verbunden sind und ein Ausgang (21) des Rezirkulationskanals (20) in dem Flüssigkeitsreservoir (17) angeordnet ist, so dass am Ausgang (21) des Rezirkulationskanals (20) abgegebenes Plasma-aktiviertes Gas durch die Flüssigkeit in dem Flüssigkeitsreservoir (17) strömt. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 15, wobei die Reaktionskammer (15) eine Gasentnahme (10) aufweist, die zur Abgabe eines Plasma-aktivierten Gases ausgestaltet ist. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die erste flächige Elektrode (1) planar oder zylindersymmetrisch ist, und/ oder wobei die zweite flächige Elektrode (2) planar oder zylindersymmetrisch ist. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Vorrichtung keine aktiv pumpenden Elemente aufweist und die Flüssigkeit in der Vorrichtung nur durch Kappilarkräf te und Gravitation bewegt wird. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Flüssigkeitsfilm (7) die erste flächige Elektrode (1) und/oder die zweite flächige Elektrode (2) kühlt . Gerät aufweisend eine Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19. Gerät gemäß Anspruch 20, wobei es sich bei dem Gerät um ein Haushaltsgerät, beispielsweise ein Bodenpflegegerät, einen Reinigungsroboter, eine Kaf feemaschine , eine Spülmaschine oder einen Trockner, handelt oder wobei es sich bei dem Gerät um ein Gerät zur Wasseraufbereitung oder ein medi zinisches Gerät handelt . Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation, bei dem mit einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19 eine Plasma-aktivierte Flüssigkeit erzeugt wird und bei dem die Plasma-aktivierte Flüssigkeit zur Reinigung und/oder Sterilisation verwendet wird . Verfahren zur Reinigung und/oder Sterilisation, bei dem mit einer Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 19 ein aktiviertes Gas erzeugt wird und bei dem das aktivierte Gas zur Reinigung und/oder Sterilisation verwendet wird .
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