WO2023100423A1 - 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 - Google Patents

Abstract

樹脂成形装置（３０）は、上型（ＵＭ）と下型（ＬＭ）とを有する成形型（Ｃ）と、成形型（Ｃ）を型締めする型締め機構（３５）と、上型（ＵＭ）と下型（ＬＭ）との間に離型フィルム（Ｆ）を供給し、離型フィルム（Ｆ）を送り出す送出ロール（１１ａ）を含む送出機構（１１）と離型フィルム（Ｆ）を搬送するフィルム搬送機構（７）とを有するフィルム供給機構（１）と、フィルム供給機構（１）の作動を制御する制御部（６）と、を備え、制御部（６）は、フィルム搬送機構（７）が離型フィルム（Ｆ）を搬送するとき、フィルム搬送機構（７）が離型フィルム（Ｆ）を搬送する方向と同じ方向に送出ロール（１１ａ）を回転させる。

Description

樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法

　本開示は、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法に関する。

　チップが固定された基板は、一般的に樹脂封止することにより電子部品として用いられる。従来、基板を樹脂封止するための樹脂成形装置として、上型と下型との間に離型フィルムを供給するフィルム供給機構を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

　特許文献１に記載のフィルム供給機構は、巻出軸の近傍に設置したメジャーロールの径とメジャーロールの回転数から求められた離型フィルムの送出量を基に、離型フィルムの搬送方向とは反対方向に加える巻出軸のトルクを制御することにより、離型フィルムにテンションをかけている。

特開２０１８－０５１８４１号公報

　特許文献１に記載のフィルム供給機構は、離型フィルムの搬送方向とは反対方向に加える巻出軸のトルクを制御して離型フィルムにテンションをかけているため、離型フィルムにテンションが加えられすぎてフィルム幅が縮んでしまうといった問題があった。

　そこで、離型フィルムの形状を保持した状態で搬送可能な樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法が望まれている。

　本開示に係る樹脂成形装置の特徴構成は、上型と下型とを有する成形型と、前記成形型を型締めする型締め機構と、前記上型と前記下型との間に離型フィルムを供給し、前記離型フィルムを送り出す送出ロールを含む送出機構と前記離型フィルムを搬送するフィルム搬送機構とを有するフィルム供給機構と、前記フィルム供給機構の作動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送するとき、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送する方向と同じ方向に前記送出ロールを回転させる点にある。

　上記樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法の特徴は、前記フィルム供給機構により前記上型と前記下型との間に前記離型フィルムを供給するフィルム供給工程と、前記型締め機構により前記成形型を型締めする型締め工程と、前記成形型に成形前基板及び樹脂材料を供給して樹脂成形を行う成形工程と、を含み、前記フィルム供給工程では、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送するとき、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送する方向と同じ方向に前記送出ロールを回転させる点にある。

　本開示によれば、離型フィルムの形状を保持した状態で搬送可能な樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することができる。

　　図１は、樹脂成形ユニットの模式図である。
　　図２は、樹脂成形装置を示す模式図である。
　　図３は、フィルム供給機構の移動機構を示す模式図である。
　　図４は、樹脂成形品の製造方法を示す模式図である。
　　図５は、フィルム搬送機構の制御フロー図である。
　　図６は、別実施形態における樹脂成形装置を示す模式図である。

　以下に、本開示に係る樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法の実施形態について、図面に基づいて説明する。ただし、以下の実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。

　半導体チップが固定された基板（成形対象物）は樹脂封止することにより電子部品として用いられる。成形対象物を樹脂封止する技術としては、コンプレッション方式（圧縮成形）やトランスファ方式等が挙げられる。コンプレッション方式の１つとして、離型フィルムに液状樹脂（樹脂材料）を供給した後、成形型の下型に離型フィルムを吸着させ、離型フィルム上の液状樹脂に成形対象物を浸し入れて樹脂成形する方式が挙げられる。トランスファ方式の１つとして、成形型の下型に吸着された離型フィルム上に成形対象物を載置し、成形型のポットに粉粒体状樹脂を固めた樹脂タブレット（樹脂材料）を供給して加熱，溶融し、溶融樹脂をキャビティに供給して成形対象物を樹脂成形する方式が挙げられる。

　液状樹脂は、常温（室温）で液状の樹脂だけでなく、加熱により固形樹脂が溶融して液状となる溶融樹脂も含む。常温で液状となる液状樹脂は、熱可塑性樹脂でも熱硬化性樹脂でも良い。熱硬化性樹脂は、常温では液状樹脂であり、加熱すると粘度が低下し、更に加熱すると重合して硬化し、硬化樹脂となる。以下に説明するように、半導体チップが固定された成形前基板を樹脂成形して封止する場合には、熱硬化性樹脂を用いることが望ましい。

　粉粒体状樹脂は、粉粒体状の樹脂だけでなく、粉粒体状の樹脂を押し固めた固形樹脂で形成される樹脂タブレットを含んでおり、いずれも加熱により溶融して液状となる溶融樹脂となる。この粉粒体状樹脂は、熱可塑性樹脂でも熱硬化性樹脂でも良い。熱硬化性樹脂は、加熱すると粘度が低下し、更に加熱すると重合して硬化し、硬化樹脂となる。以下に説明するように、半導体チップが固定された成形前基板を樹脂成形して封止する場合には、熱硬化性樹脂を用いることが望ましい。

［全体構成］
　以下、トランスファ方式の樹脂成形装置を一例として説明する。図１には、本実施形態における樹脂成形装置３０を備えた樹脂成形ユニットＤの模式図が示されている。樹脂成形ユニットＤは、成形モジュール３と供給モジュール４と制御部６と搬送機構とを備えている。成形モジュール３は、成形対象物を樹脂封止するための樹脂成形装置３０を有している。制御部６は、少なくとも樹脂成形装置３０の作動を制御するソフトウェアとして、ＨＤＤやメモリ等のハードウェアに記憶されたプログラムを含んでおり、コンピュータのＡＳＩＣ，ＦＰＧＡ，ＣＰＵ又は他のハードウェアを含むプロセッサにより実行される。

　本実施形態における樹脂成形装置３０は、半導体チップが固定された成形前基板Ｓａを樹脂成形する装置であり、成形モジュール３に組み込まれている。なお、成形モジュール３を樹脂成形装置としても良いし、樹脂成形ユニットＤを樹脂成形装置としても良く、特に限定されない。

　成形モジュール３は、樹脂成形装置３０により、成形前基板Ｓａ（成形対象物）を樹脂封止して成形済基板Ｓｂ（樹脂成形品）を成形する。この成形モジュール３は、複数（本実施形態では２つ）設けられており、それぞれの成形モジュール３を独立して装着又は取り外しできる。樹脂成形装置３０の詳細は後述する。

　供給モジュール４は、成形モジュール３に成形前基板Ｓａ及び樹脂タブレットＴを供給し、成形モジュール３から成形済基板Ｓｂを収容するためのものであり、基板供給機構４３と基板整列機構４４と樹脂供給機構４５と基板収容部４６とを含む。搬送機構に含まれるローダ４１とアンローダ４２とは、供給モジュール４内で待機する。基板供給機構４３は、ストックしている成形前基板Ｓａを基板整列機構４４に受け渡す。成形前基板Ｓａには、１つの半導体チップが、又は複数個の半導体チップが縦方向及び／又は横方向に整列して、固定されている。基板整列機構４４は、基板供給機構４３から受け渡された成形前基板Ｓａを搬送に適した状態にする。樹脂供給機構４５は、樹脂タブレットＴをストックしており、樹脂タブレットＴを搬送に適した状態に配置する。

　搬送機構は、樹脂封止前の半導体チップが固定された成形前基板Ｓａや樹脂タブレットＴを搬送するローダ４１と、樹脂封止後の成形済基板Ｓｂを搬送するアンローダ４２とを含んでいる。ローダ４１は、基板整列機構４４から成形前基板Ｓａを受け取り、また、樹脂供給機構４５から樹脂タブレットＴを受け取って、レール上を供給モジュール４から各成形モジュール３まで移動し、各成形モジュール３に成形前基板Ｓａと樹脂タブレットＴを受け渡すことができる。アンローダ４２は、成形済基板Ｓｂを成形モジュール３から取り出して、レール上を各成形モジュール３から基板収容部４６まで移動し、基板収容部４６に成形済基板Ｓｂを収容することができる。成形済基板Ｓｂでは、半導体チップが、溶融樹脂が固化した硬化樹脂により封止されている。

［樹脂成形装置の詳細］
　図２には、本実施形態における樹脂成形装置３０が示されている。樹脂成形装置３０は、水平面に載置されて重力により不動状態で固定された固定フレーム３Ａと、固定フレーム３Ａに支持された成形型Ｃと、固定フレーム３Ａに支持された可動プラテン３４と、可動プラテン３４を移動させて成形型Ｃを型締めする型締め機構３５と、離型フィルムＦを供給するフィルム供給機構１と、を備えている。なお、「固定フレーム３Ａに支持される」とは、固定フレーム３Ａに対して相対移動可能に固定フレーム３Ａにて直接的又は間接的に支えられている状態を意味し、以下同様である。

　固定フレーム３Ａは、平面視矩形状の下部固定盤３１及び上部固定盤３３が、複数のタイバー（不図示）又は板状部材（不図示）で連結されたフレーム本体が、カバー３２で覆われて構成されている。下部固定盤３１と上部固定盤３３の間には平面視矩形状の可動プラテン３４が設けられている。成形型Ｃは、上型ＵＭと下型ＬＭとを有する。上型ＵＭ及び下型ＬＭは、互いに対向して配置される金型等で構成されている。上型ＵＭ及び下型ＬＭには、ヒータ（不図示）が内蔵されており、ヒータにより成形型Ｃに供給される基板や樹脂タブレットを加熱することができる。また、下型ＬＭには、離型フィルムＦを真空ポンプ等により型面に吸着させる吸着機構（不図示）が設けられている。

　可動プラテン３４は、固定フレーム３Ａのタイバー又は板状部材に沿って上下に移動可能であり、下型ＬＭと上型ＵＭとの相対位置を変位させるように、下型ＬＭを上下に移動させる。下部固定盤３１の上には、可動プラテン３４を上下に移動させる型締め機構３５が設けられている。この型締め機構３５は、例えば、サーボモータ及びボールねじの組み合わせ、油圧シリンダ及びリンク機構の組み合わせ等で構成されている。型締め機構３５は、可動プラテン３４を上方に移動させることにより成形型Ｃの型締めを行い、可動プラテン３４を下方に移動させることにより成形型Ｃの型開きを行うことができる。

　フィルム供給機構１は、上型ＵＭと下型ＬＭとの間に離型フィルムＦを供給する。離型フィルムＦの材料としては、耐熱性、離型性、柔軟性、伸展性等の特性を有する樹脂材料が用いられ、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（エチレン／四フッ化エチレン共重合体）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＦＥＰ（四フッ化エチレン／六フッ化プロプレン共重合体）、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン等が用いられる。

　フィルム供給機構１は、離型フィルムＦを送り出す送出機構１１と、離型フィルムＦを搬送するフィルム搬送機構７と、離型フィルムＦを回収する回収機構１２と、離型フィルムＦの搬送経路における送出機構１１側（成形型Ｃと送出機構１１との間）及び回収機構１２側（成形型Ｃとニップロール１６との間）に配置された一対の移動機構１３，１３と、を有している。本実施形態では、離型フィルムＦを搬送するフィルム搬送機構７が、ニップロール１６を含んでいる。詳細は後述するが、制御部６が送出機構１１の回転速度Ｎａ及びニップロール１６の回転速度Ｎｃを制御することにより、離型フィルムＦに適度な張力（テンション）を加えながら離型フィルムＦが搬送される。

　送出機構１１は、使用前の離型フィルムＦを上型ＵＭと下型ＬＭとの間に送り出し可能であり、固定フレーム３Ａに固定されている。本実施形態における送出機構１１は、リールに巻かれた使用前の離型フィルムＦを送り出す送出ロール１１ａと、送出ロール１１ａを回転駆動させる第一モータＭ１（モータに相当）と、を含んでおり、送出ロール１１ａが開閉可能なケース１１ｂに収容されている。第一モータＭ１には、モータ軸（不図示）の回転量（回転位置）を検出する第一センサＳ１（センサに相当）が設けられている。ケース１１ｂを含む送出機構１１は、固定フレーム３Ａの外側で固定フレーム３Ａの側方に固定されている。なお、「固定フレーム３Ａに固定される」とは、固定フレーム３Ａに対して相対移動ができないように固定フレーム３Ａにて直接的又は間接的に支えられている状態を意味し、以下同様である。第一モータＭ１は、回転位置や回転速度を制御可能なサーボモータ等で構成されており、第一センサＳ１は、パルス数に応じてサーボモータ等の回転量を検出するエンコーダ（回転検出器）で構成されている。なお、「回転量」とは、モータ軸が何度動いたかを示す情報であり、３６０度の場合は１回転とする（以下、同様）。

　回収機構１２は、樹脂成形に用いられた使用済みの離型フィルムＦを回収可能であり、固定フレーム３Ａに固定されている。本実施形態における回収機構１２は、使用済みの離型フィルムＦをリールに巻き取って回収する回収ロール１２ａと、回収ロール１２ａを回転駆動させるモータ（不図示）とを含んでおり、回収ロール１２ａが開閉可能なケース１２ｂに収容されている。ケース１２ｂを含む回収機構１２は、固定フレーム３Ａの外側で、固定フレーム３Ａの送出機構１１とは反対側の側方に固定されている。

　送出機構１１と成形型Ｃとの間には、複数（本実施形態では４つ）の送出ローラ１４ａ～１４ｄが、固定フレーム３Ａに回転可能に固定されている。複数の送出ローラ１４ａ～１４ｄは、送出機構１１と移動機構１３との間で送出機構１１側から順に配置される第一送出ローラ１４ａ及び第二送出ローラ１４ｂと、移動機構１３と成形型Ｃとの間に配置される上側の第三送出ローラ１４ｃ及び下側の第四送出ローラ１４ｄと、を含んでいる。成形型Ｃに最も近い位置にある一対の送出ローラ１４ｃ，１４ｄにより離型フィルムＦを挟んで離型フィルムＦが成形型Ｃの型面と平行になるように誘導している。

　回収機構１２と成形型Ｃとの間には、複数（本実施形態では４つ）の回収ローラ１５ａ～１５ｄが、固定フレーム３Ａに回転可能に固定されている。複数の回収ローラ１５ａ～１５ｄは、移動機構１３と成形型Ｃとの間に配置される上側の第一回収ローラ１５ａ及び下側の第二回収ローラ１５ｂと、移動機構１３と回収機構１２の間でニップロール１６側から順に配置される第三回収ローラ１５ｃ及び第四回収ローラ１５ｄと、を含んでいる。成形型Ｃに最も近い位置にある一対の回収ローラ１５ａ，１５ｂにより離型フィルムＦを挟んで離型フィルムＦが成形型Ｃの型面と平行になるように誘導している。

　移動機構１３は、上型ＵＭと下型ＬＭとの相対位置の変位に連動して移動することにより離型フィルムＦに適度な張力を加える移動ローラ１３ａを有している。移動ローラ１３ａは、固定フレーム３Ａに支持されている。本実施形態では、送出機構１１，回収機構１２，送出ローラ１４ａ～１４ｄ及び回収ローラ１５ａ～１５ｄが固定フレーム３Ａに固定されていることから、下型ＬＭの上下移動に連動して、移動ローラ１３ａが上下移動することにより、離型フィルムＦに適度な張力を加えることができる。移動機構１３の詳細は後述する。

　フィルム搬送機構７は、離型フィルムＦを押圧して保持するニップロール１６と、ニップロール１６の搬送ローラ１６ａを回転駆動させる第二モータＭ２と、を含んでおり、第二モータＭ２には、モータ軸（不図示）の回転量（回転位置）を検出する第二センサＳ２が設けられている。ニップロール１６は、離型フィルムＦの搬送経路における回収機構１２側（回収機構１２側の移動機構１３と回収機構１２との間）で固定フレーム３Ａに回転可能に固定されている。ニップロール１６は、第二モータＭ２の駆動力により回転して離型フィルムＦの搬送速度Ｖを調整する搬送ローラ１６ａと、搬送ローラ１６ａに向けて離型フィルムＦを押圧する押圧ローラ１６ｂとを含んでいる。搬送ローラ１６ａや押圧ローラ１６ｂの表面は、離型フィルムＦを保持するために摩擦係数の高いゴムや樹脂等で覆われている。第二モータＭ２は、回転位置や回転速度を制御可能なサーボモータ等で構成されており、第二センサＳ２は、パルス数に応じてサーボモータ等の回転量を検出するエンコーダ（回転検出器）で構成されている。

　フィルム供給機構１の作動は、制御部６により制御される。制御部６は、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出機構１１の送出ロール１１ａを回転させる。ここで、「離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる」とは、離型フィルムＦが送出ロール１１ａから送り出される送出ロール１１ａの送出点における回転接線方向が離型フィルムＦの搬送方向となるように、送出ロール１１ａを回転させることを言う。

　制御部６は、ニップロール１６の搬送ローラ１６ａの回転速度Ｎｃを制御することにより、離型フィルムＦの搬送速度Ｖを制御する。また、制御部６は、搬送ローラ１６ａが離型フィルムＦを搬送するとき、離型フィルムＦのフィルム幅が許容範囲内となるように、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御することにより、離型フィルムＦに加わる張力が適度なものとなる。具体的に述べると、制御部６は、フィルム搬送機構７による離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出機構１１による離型フィルムＦの送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるように送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する。例えば、制御部６は、離型フィルムＦの送出速度Ｖａが離型フィルムＦの搬送速度Ｖよりも若干小さくなるように、搬送速度Ｖと送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値が所定の速度差（α×Ｖ、例えばα＝０．１）になるよう、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する。なお、「所定の速度差」は、予め定めておくことができる。

　離型フィルムＦの搬送速度Ｖは、予め定められた設定値であり、式（１）のように、搬送ローラ１６ａ（ニップロール１６）の回転速度Ｎｃに搬送ローラ１６ａの周長（直径Ｄｃ×π）を乗算した値である。また、離型フィルムＦの送出速度Ｖａは、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａに送出ロール１１ａの周長（直径Ｄａ×π）を乗算することにより、式（２）のように算出される。搬送ローラ１６ａの回転速度Ｎｃは第二センサＳ２の出力値（回転量）を時間と第二減速比（搬送ローラ１６ａが１回転するときの第二モータＭ２の回転数）で除算して求められ、搬送ローラ１６ａの直径Ｄｃは不変である。このため、制御部６は、搬送速度Ｖが設定値となるように、第二センサＳ２の出力値に基づいて搬送ローラ１６ａの回転速度Ｎｃを一定速度に制御する。送出ロール１１ａの回転速度Ｎａは第一センサＳ１の出力値（回転量）を時間と第一減速比（送出ロール１１ａが１回転するときの第一モータＭ１の回転数）で除算して求められ、離型フィルムＦの送出量によって変化する送出ロール１１ａの直径Ｄａが分かれば、送出速度Ｖａを算出できる。

　上述したように、搬送速度Ｖと送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値を所定の速度差にするためには、送出ロール１１ａの直径Ｄａを求め、この直径Ｄａに応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化させる必要がある。そこで、制御部６が送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御するとき、制御部６は、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径（直径Ｄａ）に応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化させる。

　送出ロール１１ａの直径Ｄａは、式（３）に示すように、離型フィルムＦの１回の搬送量に対する送出ロール１１ａの実回転量に比例する第一センサＳ１の出力値Ｒａと離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径（直径Ｄａｓ）との乗算値を、離型フィルムＦの１回の搬送量に対する離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの仮想回転量に比例する第一センサＳ１の出力値Ｒａｓで除算して求めることができる。離型フィルムＦの１回の搬送量は設定値である。離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径（直径Ｄａｓ）は不変の値であり、第一センサＳ１の出力値Ｒａは計測可能であり、第一センサＳ１の出力値Ｒａｓは離型フィルムＦの搬送量に対応する既定値であることから、送出ロール１１ａの直径Ｄａを算出することができる。なお、離型フィルムＦの搬送量は、上述した式（１）に示すように、第二センサＳ２の出力値を第二減速比で除算した値に搬送ローラ１６ａの周長（直径Ｄｃ×π）を乗算して算出しても良い。

　また、送出ロール１１ａの直径Ｄａは、式（４）に示すように、第一センサＳ１の出力値Ｒａが所定値（例えば１回転）となるときの離型フィルムＦの搬送量Ｌａ（ｍｍ）と、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径（直径Ｄａｓ）と、の乗算値を、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの回転量が上記と同じ所定値（１回転）となるときの離型フィルムＦの搬送量Ｌａｓ（ｍｍ）で除算して求めても良い。離型フィルムＦの搬送量Ｌａは、予め定められた搬送速度Ｖ（設定値）又は上述した式（１）に基づいて求められた搬送速度Ｖに、第一センサＳ１の出力値Ｒａが所定値となる時間をかけて算出することができる。換言すると、離型フィルムＦの搬送量Ｌａは、第一センサＳ１の出力値Ｒａが所定値となる時間に比例する設定値、又は、第一センサＳ１の出力値Ｒａが所定値となる時間に対応する第二センサＳ２の出力値を第二減速比で除算した値に、搬送ローラ１６ａの周長（直径Ｄｃ×π）を乗算して算出できる。離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径（直径Ｄａｓ）は不変の値であり、第一センサＳ１の出力値Ｒａ及び第二センサＳ２の出力値Ｒｃは計測可能であり、送出ロール１１ａの回転量が所定値（例えば１回転）となるときの離型フィルムＦの搬送量Ｌａｓは既定値であることから、送出ロール１１ａの直径Ｄａを算出することができる。

　その他に、送出ロール１１ａの直径Ｄａは、式（５）に示すように、予め定められた搬送速度Ｖ（設定値）又は上述した式（１）に基づいて求められた搬送速度Ｖに時間をかけて算出された離型フィルムＦの搬送量Ｌｆが、送出ロール１１ａが送り出す離型フィルムＦの送出量に近似されると仮定して、搬送量Ｌｆに第一センサＳ１の出力値Ｒａを除算すると共に第一減速比を乗算して推定することができる。この場合、送出機構１１によるフィルム搬送機構７による離型フィルムＦの搬送速度Ｖと離型フィルムＦの送出速度Ｖａとの差が小さくなるほど、推定精度が高まる。

　特に、上記式（３）又は式（４）で算出された送出ロール１１ａの直径Ｄａを、上述した式（２）に代入することで、離型フィルムＦの送出速度Ｖａを精度よく算出できる。これにより、制御部６は、フィルム搬送機構７による離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出機構１１による離型フィルムＦの送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるように、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａをリアルタイムに精度よく変化させることができる。

　図２～図３に示すように、送出機構１１側及び回収機構１２側にそれぞれ設けられる移動機構１３は、上述した移動ローラ１３ａと、移動ローラ１３ａを押圧するスプリング１３ｂと、移動ローラ１３ａを保持する保持プレート１３ｃと、移動ローラ１３ａ，スプリング１３ｂ及び保持プレート１３ｃを支持する支持フレーム１３ｄと、を有している。

　一対の移動ローラ１３ａ，１３ａは、離型フィルムＦの搬送経路における送出機構１１側及び回収機構１２側で、保持プレート１３ｃに固定されており、支持フレーム１３ｄを介して固定フレーム３Ａに支持されている。この移動ローラ１３ａは、型締め機構３５により下型ＬＭが上型ＵＭに対して相対移動（上下移動）する動作に連動して、上下に移動することができる。

　スプリング１３ｂは、圧縮ばね等で構成されており、離型フィルムＦに張力を付与する方向（下方向）に保持プレート１３ｃを介して移動ローラ１３ａを押圧している。スプリング１３ｂの押圧力は、離型フィルムＦに加えられる張力よりも大きく、送出機構１１及び回収機構１２が離型フィルムＦを保持する力（静止状態にある送出ロール１１ａ及び回収ロール１２ａに付与される回転トルクに半径を除算した値）よりも小さく設定されている。これにより、下型ＬＭが上下に移動するとき、送出機構１１及び回収機構１２により離型フィルムＦが保持された状態で、スプリング１３ｂが離型フィルムＦの張力に対抗して伸縮することができる。なお、「スプリング１３ｂの押圧力」は、スプリング１３ｂの押圧により移動ローラ１３ａに付与する力を意味する。

　保持プレート１３ｃは、移動ローラ１３ａを回転可能に保持し、支持フレーム１３ｄに支持されている。支持フレーム１３ｄは、固定フレーム３Ａに固定されており、上板１３ｄ１及び下板１３ｄ２の四隅を複数（本実施形態では４つ）の棒状部材１３ｄ３で連結して形成されている。保持プレート１３ｃは、棒状部材１３ｄ３が貫通する孔が設けられており、棒状部材１３ｄ３に沿って上下に移動可能である。スプリング１３ｂは、棒状部材１３ｄ３の外側に配置されており、一端が上板１３ｄ１の下面に接触し、他端が保持プレート１３ｃの上面に接触している。

［樹脂成形品の製造方法］
　図１～図２及び図４～図５を用いて、樹脂成形品の製造方法を説明する。樹脂成形品（成形済基板Ｓｂ）の製造方法は、フィルム供給機構１により上型ＵＭと下型ＬＭとの間に離型フィルムＦを供給するフィルム供給工程と、型締め機構３５により成形型Ｃを型締めする型締め工程と、成形型Ｃに成形前基板Ｓａ及び樹脂材料（樹脂タブレットＴを溶融させた樹脂）を供給して樹脂成形を行う成形工程と、を含んでいる。フィルム供給工程は、フィルム供給機構１が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム供給機構１が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる。このとき、制御部６は、離型フィルムＦのフィルム幅が許容範囲内となるように、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する。

　図１に示すように、予め、ローダ４１を、樹脂タブレットＴの収容空間を断熱した状態で加熱しておき、成形型Ｃも加熱しておく。そして、基板供給機構４３から取り出した成形前基板Ｓａをローダ４１に載置する。また、樹脂供給機構４５により整列された樹脂タブレットＴを、ローダ４１の樹脂タブレットＴの収容空間に収容する。そして、ローダ４１は、成形前基板Ｓａ及び樹脂タブレットＴを成形モジュール３まで搬送し、樹脂タブレットＴを下型ＬＭのポット内に収容する。樹脂タブレットＴをポット内に収容することにより、下型ＬＭに内蔵されたヒータが樹脂タブレットＴを加熱して、溶融樹脂となる。

　また、フィルム供給機構１は、上型ＵＭと下型ＬＭとの間に使用前の離型フィルムＦを供給する（図４（ａ）、フィルム供給工程）。フィルム供給工程では、図２に示す樹脂成形装置３０を用いて、図５に示すように、フィルム供給機構１の作動が制御される。送出ロール１１ａに新たなフィルムロールをセットして離型フィルムＦを交換した場合（図５の♯５１Ｙｅｓ）、離型フィルムＦの搬送を開始し、制御部６は、搬送速度Ｖが設定値となるように第二センサＳ２の出力値に基づいて搬送ローラ１６ａの回転速度Ｎｃを一定速度に制御する（図５の♯５２）。同時に、制御部６は、予め定められた駆動条件（例えば、離型フィルムＦを交換する前における送出ロール１１ａの回転速度Ｎａ、又は、予め定められた送出ロール１１ａの回転速度Ｎａ）に基づいて第一モータＭ１を制御して、ニップロール１６の搬送ローラ１６ａと送出機構１１の送出ロール１１ａとを同じ方向に回転駆動させる（図５の♯５３）。次いで、制御部６は、送出ロール１１ａの回転を停止すると共に、搬送ローラ１６ａ及び回収ロール１２ａの回転を停止する（図５の♯５４）。

　次いで、制御部６は、送出ロール１１ａの径を、上述した式（３）又は式（４）により、予め定められた駆動条件で送出ロール１１ａを回転駆動させたときの第一センサＳ１の出力値と離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径とに基づいて算出する（図５の♯５５）。また、制御部６は、搬送速度Ｖ（設定値）と送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値が所定の速度差となる、離型フィルムＦの送出速度Ｖａを算出する（図５の♯５６）。例えば、制御部６は、搬送速度Ｖ（設定値）と送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値が所定の速度差（α×Ｖ、例えばα＝０．１）となるように、離型フィルムＦの送出速度Ｖａを算出する。図５の♯５２～♯５４に示す試運転をすることにより、離型フィルムＦを交換した場合における送出ロール１１ａの径が判明すると共に、次回のフィルム搬送時における離型フィルムＦの送出速度Ｖａを設定できる。

　次いで、離型フィルムＦを交換した場合（図５の♯５１Ｙｅｓ）の試運転をした後、又は、離型フィルムＦを交換してから２回目以降の運転時（図５の♯５１Ｎｏ）には、制御部６は、第一モータＭ１及び第二モータＭ２を制御して、ニップロール１６の搬送ローラ１６ａと送出機構１１の送出ロール１１ａとを同じ方向に回転駆動させる（図５の♯５７，♯５８）。離型フィルムＦを搬送する際、制御部６は、搬送速度Ｖが設定値となるように第二センサＳ２の出力値に基づいて搬送ローラ１６ａの回転速度Ｎｃを一定速度に制御する。

　このように、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる。このため、離型フィルムＦを搬送する方向と反対方向に送出ロール１１ａを回転させる場合に比べて、離型フィルムＦに張力Ｆａが加えられすぎてフィルム幅が縮んでしまうといった不都合を防止できる。その結果、型締め機構３５を作動させたときに離型フィルムＦの形状が適正なものとなって成形精度が向上し、離型フィルムＦが破損して回収不能となり装置が停止するといった不都合も無い。

　次いで、制御部６は、フィルム搬送機構７による離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出機構１１による離型フィルムＦの送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるよう、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径に応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化させながら、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する（図５の♯５９）。つまり、図５の♯５５～♯５６や後述する図５の♯６２～♯６３で算出された送出ロール１１ａの径及び送出速度Ｖａに基づいて、上述した式（２）により、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する。離型フィルムＦが所定量搬送されたとき、制御部６は、送出ロール１１ａの回転を停止すると共に、搬送ローラ１６ａ及び回収ロール１２ａの回転を停止して、離型フィルムＦに付与される張力Ｆａ，Ｆｂを維持する（図５の♯６０）。なお、詳細な説明は省略するが、フィルム供給工程において、制御部６は、回収機構１２の作動も制御して、離型フィルムＦに所定の張力を加えた状態で、離型フィルムＦを回収する。

　このように、離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるよう、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径に応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化すれば、送出ロール１１ａの離型フィルムＦの巻き量が変動しても、離型フィルムＦに張力Ｆａを一定にできる。その結果、離型フィルムＦに張力Ｆａが加えられすぎてフィルム幅が縮んでしまうといった不都合を防止できる。

　使用前の離型フィルムＦを上型ＵＭと下型ＬＭとの間に供給した後、後述する型締め工程を実行する。型締め工程を実行した後に離型フィルムＦの供給を継続する場合（図５の♯６１Ｙｅｓ）、制御部６は、送出ロール１１ａの径を、上述した式（３）又は式（４）により、前回のフィルム搬送時における第一センサＳ１の出力値と離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径とに基づいて算出する（図５の♯６２）。また、制御部６は、搬送速度Ｖ（設定値）と送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値が所定の速度差となる、離型フィルムＦの送出速度Ｖａを算出する（図５の♯６３）。例えば、制御部６は、搬送速度Ｖ（設定値）と送出速度Ｖａとの差（Ｖ－Ｖａ）の値が所定の速度差（α×Ｖ、例えばα＝０．１）となるように、離型フィルムＦの送出速度Ｖａを算出する。引き続き図５の♯５７～♯６０を繰り返して、送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを制御する。なお、制御部６は、離型フィルムＦの搬送中に、送出ロール１１ａの径や離型フィルムＦの送出速度Ｖａをリアルタイムで算出しても良い。

　図５の♯５１～♯６０を実行することにより使用前の離型フィルムＦを上型ＵＭと下型ＬＭとの間に供給した後、型締め機構３５により可動プラテン３４を上方に移動させて下型ＬＭを上型ＵＭの方向に移動させ、使用前の離型フィルムＦを下型ＬＭに密着させる（図４（ｂ））。このとき、スプリング１３ｂが離型フィルムＦの張力Ｆａに対抗して若干縮小する。そして、吸着機構により離型フィルムＦを下型ＬＭの型面に吸着させ、離型フィルムＦ上に成形前基板Ｓａを供給する。なお、使用前の離型フィルムＦを下型ＬＭに密着させる際の下型ＬＭの移動量は、上型ＵＭと下型ＬＭとの間に成形前基板Ｓａを供給できるスペースがあれば良く、予め設定されている。

　次いで、型締め機構３５により可動プラテン３４を更に上方に移動させて上型ＵＭと下型ＬＭとを近接移動させて成形型Ｃを型締めする（図４（ｃ）、型締め工程）。このとき、送出機構１１及び回収機構１２により離型フィルムＦが保持された状態で、スプリング１３ｂが離型フィルムＦの張力Ｆａに対抗して図４（ｂ）の状態から図４（ｃ）の状態まで縮小することにより、一対の移動ローラ１３ａ，１３ａが上方に移動して、離型フィルムＦに付与される張力Ｆａが適度なものとなる。本実施形態では、スプリング１３ｂの押圧力が、離型フィルムＦに付与される張力Ｆａよりも大きく、送出機構１１及び回収機構１２が離型フィルムＦを保持する力よりも小さく設定されているため、複雑な制御機構を設けなくても、離型フィルムＦに適度な力を加えることができる。その結果、離型フィルムＦが変形して、成形精度が低下したり、離型フィルムＦの搬送ラインがずれたりするといった不都合がない。また、型締め動作等により一対の送出ローラ１４ｃ，１４ｄと一対の回収ローラ１５ａ，１５ｂとの間で離型フィルムＦが移動した場合、一対の移動ローラ１３ａ，１３ａが連動して移動することにより離型フィルムＦの長さの変動を吸収する。
その結果、第二送出ローラ１４ｂより送出ロール１１ａ側と、搬送ローラ１６ａより回収ロール１２ａ側とでは、離型フィルムＦがほとんど移動しない。よって、離型フィルムＦの搬送ラインがずれるといった不都合がない。

　次いで、下型ＬＭに収容された樹脂タブレットＴが溶融した樹脂を、不図示の押出機構によりキャビティＭＣに流通させることにより成形前基板Ｓａを樹脂成形して、成形済基板Ｓｂを製造する（図４（ｃ）、成形工程）。樹脂成形後、可動プラテン３４を下方に移動させて成形型Ｃの型開きを行う。このとき、スプリング１３ｂが離型フィルムＦの張力Ｆａに対抗して伸長することにより、一対の移動ローラ１３ａ，１３ａが下方に移動して、離型フィルムＦに付与される張力Ｆａが適度なものとなる。そして、成形済基板ＳｂをキャビティＭＣから離型させてアンローダ４２により基板収容部４６に収容する（図１も参照）。

　次の成形前基板Ｓａが下型ＬＭに供給されるまでに、搬送ローラ１６ａを駆動させることにより、使用済の離型フィルムＦを成形型Ｃから除去して、使用前の離型フィルムＦを成形型Ｃに供給するフィルム供給工程を実行し、このフィルム供給工程，上述した型締め工程及び成形工程を繰り返し実行する。そして、送出機構１１の送出ロール１１ａに離型フィルムＦが不足した場合や、回収機構１２の回収ロール１２ａにて離型フィルムＦをこれ以上巻き取ることができなくなった場合、ケース１１ｂ，１２ｂを開けて送出ロール１１ａ又は回収ロール１２ａを交換する（図２も参照）。

　本実施形態では、送出機構１１及び回収機構１２が固定フレーム３Ａの両側方にそれぞれ固定されているため、離型フィルムＦの交換作業を固定フレーム３Ａの外部で行うことが可能となり、離型フィルムＦを交換し易い。また、固定フレーム３Ａの外部に送出機構１１及び回収機構１２を設けることにより、送出機構１１及び回収機構１２の設置スペースを確保し易いため、離型フィルムＦの必要量に応じて、送出機構１１及び回収機構１２の大きさを変更可能であり、利便性が高い。

　以下、上述した実施形態と同様の部材については、理解を容易にするため、同一の用語、符号を用いて説明する。

［別実施形態］
　図６には、別実施形態に係る樹脂成形装置３０が示されている。上述した実施形態では、下型ＬＭに離型フィルムＦを吸着させたが、本実施形態では、上型ＵＭに離型フィルムＦを吸着させる。つまり、上型ＵＭには、離型フィルムＦを真空ポンプ等により型面に吸着させる吸着機構（不図示）が設けられている。

　樹脂成形装置３０は、固定フレーム３Ａと、固定フレーム３Ａに支持された成形型Ｃと、固定フレーム３Ａに支持された可動プラテン３４と、可動プラテン３４を移動させて成形型Ｃを型締めする型締め機構３５と、離型フィルムＦを供給するフィルム供給機構１と、を備えている。本実施形態における樹脂成形装置３０は、上述した移動機構１３を備えておらず、送出機構１１及びフィルム搬送機構７を同時に上下移動させる上下移動機構８を備えている。上下移動機構８は、固定フレーム３Ａに支持された可動部材（不図示）をモータやエアシリンダ等（不図示）の駆動力を用いて上下移動させる。この可動部材が送出機構１１及びフィルム搬送機構７に接続されており、上下移動機構８が送出機構１１及びフィルム搬送機構７を同時に上下移動させる。フィルム搬送機構７は、上述したニップロール１６や回収機構１２で構成されている。

　上下移動機構８は、型締め機構３５が下型ＬＭを上昇させる前に、送出機構１１及びフィルム搬送機構７を上昇させて、上型ＵＭに離型フィルムＦを供給する。このように、型締め機構３５が下型ＬＭを上昇させる前に送出機構１１及びフィルム搬送機構７を上昇させる上下移動機構８を設ければ、型締め機構３５の作動時には、この移動ローラ１３ａにより離型フィルムＦの張力が適度なものとなる。フィルム搬送機構７の作動形態は、上述した実施形態と同様であるため、説明を省略する。

［その他の実施形態］＜１＞上述した実施形態では、下型ＬＭ又は上型ＵＭに離型フィルムＦを吸着させたが、上型ＵＭ及び下型ＬＭに離型フィルムＦを吸着させても良い。

＜２＞上述した実施形態では、送出機構１１や回収機構１２を固定フレーム３Ａの両側方に固定したが、送出機構１１や回収機構１２を固定フレーム３Ａの内部に固定しても良い。

＜３＞上述した実施形態では、スプリング１３ｂにより移動ローラ１３ａを押圧したが、シリンダに供給される流体により移動ローラ１３ａを押圧しても良い。シリンダを用いる場合は、下型ＬＭと上型ＵＭとの相対移動に連動して、移動ローラ１３ａに対する押圧力を変更させても良い。

＜４＞上述した実施形態において、送出機構１１側及び回収機構１２側にそれぞれ設けられる一対の移動ローラ１３ａ，１３ａに加えて、更に移動ローラ１３ａを設けても良い。

＜５＞上述した実施形態における送出機構１１は、離型フィルムＦを送り出し可能な機構であれば、如何なる構造であっても良い。同様に、上述した実施形態における回収機構１２は、離型フィルムＦを回収可能な機構であれば、如何なる構造であっても良い。つまり、型締め動作等により一対の送出ローラ１４ｃ，１４ｄと一対の回収ローラ１５ａ，１５ｂとの間で離型フィルムＦが移動しても、第二送出ローラ１４ｂより送出側及び搬送ローラ１６ａより回収側で離型フィルムＦが移動しないように、離型フィルムＦを保持して適度な張力を付与する機構を設ければ良い。

＜６＞上述した実施形態におけるニップロール１６に代えて、又はニップロール１６に加えて、回収機構１２がフィルム搬送機構７を構成しても良い。この場合、回収ロール１２ａの径が変化しないように、離型フィルムＦが回収機構１２とは別の機構にて回収されることとなる。また、ニップロール１６を成形型Ｃよりも送出機構１１側に設けても良いし、成形型Ｃよりも送出機構１１側や回収機構１２側に複数のニップロール１６を設けても良い。

＜７＞上述した実施形態では、トランスファ方式の樹脂成形装置３０として説明したが、コンプレッション方式の樹脂成形装置３０にも適用することができる。樹脂成形装置３０にて樹脂成形される基板は、たとえば、半導体製基板（シリコンウェハ等）、金属製基板（リードフレーム等）、ガラス製基板、セラミック製基板、樹脂製基板又は配線基板である。

［上記実施形態の概要］
　以下、上述の実施形態において説明した樹脂成形装置３０及び樹脂成形品の製造方法の概要について説明する。

（１）樹脂成形装置３０の特徴構成は、上型ＵＭと下型ＬＭとを有する成形型Ｃと、成形型Ｃを型締めする型締め機構３５と、上型ＵＭと下型ＬＭとの間に離型フィルムＦを供給し、離型フィルムＦを送り出す送出ロール１１ａを含む送出機構１１と離型フィルムＦを搬送するフィルム搬送機構７とを有するフィルム供給機構１と、フィルム供給機構１の作動を制御する制御部６と、を備え、制御部６は、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる点にある。

　本構成では、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる。このため、離型フィルムＦを搬送する方向と反対方向に送出ロール１１ａを回転させる場合に比べて、離型フィルムＦに張力が加えられすぎてフィルム幅が縮んでしまうといった不都合を防止できる。その結果、型締め機構３５を作動させたときに離型フィルムＦの形状が適正なものとなって成形精度が向上し、離型フィルムＦが破損して回収不能となり装置が停止するといった不都合も無い。このように、離型フィルムＦの形状を保持した状態で搬送可能な樹脂成形装置３０となっている。

（２）制御部６は、フィルム搬送機構７による離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出機構１１による離型フィルムＦの送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるよう、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径に応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化させても良い。

　このように、離型フィルムＦの搬送速度Ｖと送出速度Ｖａとの差が所定の速度差になるよう、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径に応じて送出ロール１１ａの回転速度Ｎａを変化すれば、送出ロール１１ａの離型フィルムＦの巻き量が変動しても、離型フィルムＦに張力を一定にできる。その結果、離型フィルムＦに張力が加えられすぎてフィルム幅が縮んでしまうといった不都合を防止できる。

（３）制御部６は、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径に基づいて算出しても良い。

　このように、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径は変動しないため、この径に基づいて、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を算出すれば、算出処理を簡素化できる。

（４）送出機構１１は、送出ロール１１ａを回転駆動させるモータ（第一モータＭ１）と、第一モータＭ１の回転量を検出するセンサ（第一センサＳ１）と、を含んでおり、制御部６は、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を、第一センサＳ１の出力値と離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径との乗算値を、離型フィルムＦの搬送量に対する離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａにおける第一センサＳ１の出力値で除算して求めても良い。

　このように離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を求めれば、算出速度が速くなるため、送出ロール１１ａの回転速度をリアルタイムに制御することができる。

（５）送出機構１１は、送出ロール１１ａを回転駆動させるモータ（第一モータＭ１）と、第一モータＭ１の回転量を検出するセンサ（第一センサＳ１）と、を含んでおり、制御部６は、離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を、第一センサＳ１の出力値が所定値となるときの離型フィルムＦの搬送量と、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの径と、の乗算値を、離型フィルムＦが巻かれていない状態の送出ロール１１ａの回転量が所定値となるときの離型フィルムＦの搬送量で除算して求めても良い。

　このように離型フィルムＦが巻かれた送出ロール１１ａの径を求めれば、算出速度が速くなるため、送出ロール１１ａの回転速度をリアルタイムに制御することができる。

（６）成形型Ｃを支持する固定フレーム３Ａと、離型フィルムＦの搬送経路における送出機構１１側及びフィルム搬送機構７側で固定フレーム３Ａに支持され、型締め機構３５が上型ＵＭと下型ＬＭとの相対位置を変位させるとき、相対位置の変位に連動して移動する一対の移動ローラ１３ａと、を更に備えても良い。

　このように、送出機構１１側及びフィルム搬送機構７側で、上型ＵＭと下型ＬＭとの相対位置の変位に連動して移動する一対の移動ローラ１３ａを設けているので、型締め機構３５の作動時には、この移動ローラ１３ａにより離型フィルムＦの張力が適度なものとなる。

（７）移動ローラ１３ａは、スプリング１３ｂにより離型フィルムＦに張力を付与する方向に押圧されていても良い。

　このように、移動ローラ１３ａがスプリング１３ｂにより押圧されていれば、複雑な制御機構を設けなくても、離型フィルムＦに付与される張力を適度なものとすることができる。

（８）スプリング１３ｂの押圧力は、離型フィルムＦに付与される張力Ｆａよりも大きく、回収機構１２が離型フィルムＦを保持する力よりも小さく設定されていても良い。

　このようにスプリング１３ｂの押圧力を設定すれば、型締め機構３５の作動時に、送出機構１１による離型フィルムＦの保持を行いながら、移動ローラ１３ａにより離型フィルムＦの張力を適度なものとすることができる。

（９）成形型Ｃを支持する固定フレーム３Ａと、固定フレーム３Ａに支持され、送出機構１１及びフィルム搬送機構７を同時に上下移動させる上下移動機構８と、を更に備え、上下移動機構８は、型締め機構３５が下型ＬＭを上昇させる前に、送出機構１１及びフィルム搬送機構７を上昇させて、上型ＵＭに離型フィルムＦを供給しても良い。

　このように、型締め機構３５が下型ＬＭを上昇させる前に送出機構１１及びフィルム搬送機構７を上昇させる上下移動機構８を設ければ、型締め機構３５の作動時には、この移動ローラ１３ａにより離型フィルムＦの張力が適度なものとなる。

（１０）上記（１）から（９）のいずれかの樹脂成形装置３０を用いた樹脂成形品（成形済基板Ｓｂ）の製造方法の特徴は、フィルム供給機構１により上型ＵＭと下型ＬＭとの間に離型フィルムＦを供給するフィルム供給工程と、型締め機構３５により成形型Ｃを型締めする型締め工程と、成形型Ｃに成形前基板Ｓａ及び樹脂材料（樹脂タブレットＴを溶融させた樹脂）を供給して樹脂成形を行う成形工程と、を含み、フィルム供給工程では、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送するとき、フィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させる点にある。

　本方法では、離型フィルムＦの搬送時にフィルム搬送機構７が離型フィルムＦを搬送する方向と同じ方向に送出ロール１１ａを回転させるため、フィルム幅が縮んでしまうといった不都合を防止できる。その結果、型締め機構３５を作動させたときに離型フィルムＦの形状が適正なものとなって成形精度が向上し、離型フィルムＦが破損して回収不能となり装置が停止するといった不都合も無い。このように、離型フィルムＦの形状を保持した状態で搬送可能な樹脂成形方法となっている。

　なお、上述した実施形態（別実施形態を含む、以下同じ）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することが可能である。また、本明細書において開示された実施形態は例示であって、本開示の実施形態はこれに限定されず、本開示の目的を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。

　本開示は、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法に利用可能である。

１　　　　：フィルム供給機構
３Ａ　　　：固定フレーム
６　　　　：制御部
７　　　　：フィルム搬送機構
８　　　　：上下移動機構
１１　　　：送出機構
１１ａ　　：送出ロール
１３　　　：移動機構
１３ａ　　：移動ローラ
１３ｂ　　：スプリング
３０　　　：樹脂成形装置
３５　　　：型締め機構
Ｃ　　　　：成形型
Ｄａ　　　：直径（離型フィルムが巻かれた送出ロールの径）
Ｄａｓ　　：直径（離型フィルムが巻かれていない状態の送出ロールの径）
Ｆ　　　　：離型フィルム
ＬＭ　　　：下型
Ｍ１　　　：第一モータ（モータ）
Ｎａ　　　：回転速度
Ｓ１　　　：第一センサ（センサ）
Ｓａ　　　：成形前基板
ＵＭ　　　：上型
Ｖ　　　　：搬送速度
Ｖａ　　　：送出速度

Claims (10)

1. 　上型と下型とを有する成形型と、
   　前記成形型を型締めする型締め機構と、
   　前記上型と前記下型との間に離型フィルムを供給し、前記離型フィルムを送り出す送出ロールを含む送出機構と前記離型フィルムを搬送するフィルム搬送機構とを有するフィルム供給機構と、
   　前記フィルム供給機構の作動を制御する制御部と、を備え、
   　前記制御部は、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送するとき、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送する方向と同じ方向に前記送出ロールを回転させる樹脂成形装置。
2. 　前記制御部は、前記フィルム搬送機構による前記離型フィルムの搬送速度と前記送出機構による前記離型フィルムの送出速度との差が所定の速度差になるよう、前記離型フィルムが巻かれた前記送出ロールの径に応じて前記送出ロールの回転速度を変化させる請求項１に記載の樹脂成形装置。
3. 　前記制御部は、前記離型フィルムが巻かれた前記送出ロールの径を、前記離型フィルムが巻かれていない状態の前記送出ロールの径に基づいて算出する請求項２に記載の樹脂成形装置。
4. 　前記送出機構は、前記送出ロールを回転駆動させるモータと、当該モータの回転量を検出するセンサと、を含んでおり、
   　前記制御部は、前記離型フィルムが巻かれた前記送出ロールの径を、前記センサの出力値と前記離型フィルムが巻かれていない状態の前記送出ロールの径との乗算値を、前記離型フィルムの搬送量に対する前記離型フィルムが巻かれていない状態の前記送出ロールにおける前記センサの出力値で除算して求める請求項３に記載の樹脂成形装置。
5. 　前記送出機構は、前記送出ロールを回転駆動させるモータと、当該モータの回転量を検出するセンサと、を含んでおり、
   　前記制御部は、前記離型フィルムが巻かれた前記送出ロールの径を、前記センサの出力値が所定値となるときの前記離型フィルムの搬送量と、前記離型フィルムが巻かれていない状態の前記送出ロールの径と、の乗算値を、前記離型フィルムが巻かれていない状態の前記送出ロールの回転量が前記所定値となるときの前記離型フィルムの搬送量で除算して求める請求項３に記載の樹脂成形装置。
6. 　前記成形型を支持する固定フレームと、
   　前記離型フィルムの搬送経路における前記送出機構側及び前記フィルム搬送機構側で前記固定フレームに支持され、前記型締め機構が前記上型と前記下型との相対位置を変位させるとき、当該相対位置の変位に連動して移動する一対の移動ローラと、を更に備えた請求項１から５のいずれか一項に記載の樹脂成形装置。
7. 　前記移動ローラは、スプリングにより前記離型フィルムに張力を付与する方向に押圧されている請求項６に記載の樹脂成形装置。
8. 　前記スプリングの押圧力は、前記離型フィルムに付与される張力よりも大きく、前記送出機構が前記離型フィルムを保持する力よりも小さく設定されている請求項７に記載の樹脂成形装置。
9. 　前記成形型を支持する固定フレームと、
   　前記固定フレームに支持され、前記送出機構及び前記フィルム搬送機構を同時に上下移動させる上下移動機構と、を更に備え、
   　前記上下移動機構は、前記型締め機構が前記下型を上昇させる前に、前記送出機構及び前記フィルム搬送機構を上昇させて、前記上型に前記離型フィルムを供給する請求項１から５のいずれか一項に記載の樹脂成形装置。
10. 　請求項１から９のいずれか一項に記載の樹脂成形装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
    　前記フィルム供給機構により前記上型と前記下型との間に前記離型フィルムを供給するフィルム供給工程と、
    　前記型締め機構により前記成形型を型締めする型締め工程と、
    　前記成形型に成形前基板及び樹脂材料を供給して樹脂成形を行う成形工程と、を含み、
    　前記フィルム供給工程では、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送するとき、前記フィルム搬送機構が前記離型フィルムを搬送する方向と同じ方向に前記送出ロールを回転させる樹脂成形品の製造方法。
     

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