WO2023032293A1 - 走行車システム - Google Patents

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WO2023032293A1
WO2023032293A1 PCT/JP2022/011038 JP2022011038W WO2023032293A1 WO 2023032293 A1 WO2023032293 A1 WO 2023032293A1 JP 2022011038 W JP2022011038 W JP 2022011038W WO 2023032293 A1 WO2023032293 A1 WO 2023032293A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
traveling
traveling vehicle
plate
running
outer ring
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/011038
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
誠 小林
亮 石川
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
Priority to JP2023545045A priority Critical patent/JPWO2023032293A1/ja
Priority to CN202280056520.7A priority patent/CN117836584A/zh
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/04—Monorail systems
    • B61B13/06—Saddle or like balanced type
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
    • G01B5/10—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters of objects while moving

Definitions

  • This disclosure relates to a traveling vehicle system.
  • Patent Document 1 Conventionally, in the field of article transport vehicles, there have been known wheel diameter measuring devices that measure the diameter of wheels that roll on the running surface of rails (see Patent Documents 1 and 2, for example).
  • the device described in Patent Document 1 includes an optical sensor having a light-projecting part and a light-receiving part, and measures the diameter of the wheel using two belt-shaped detection lights spaced apart in the extending direction of the rail. are doing. More specifically, the size of the first band-shaped light portion in the extending direction blocked by the wheel is defined as the first numerical value, and the size of the second band-shaped light portion in the extending direction blocked by the wheel is defined as the first numerical value.
  • the diameter of the wheel is measured based on the distance between the first and second strips of light and the first and second numerical values.
  • Detected light passes through a through hole formed in the rail.
  • the device described in Patent Document 2 has two pairs of transmissive sensors. Each pair of transmissive sensors has an upper sensor and a lower sensor vertically spaced apart.
  • This disclosure describes a running wheel system that can easily and accurately measure the diameter of running rollers.
  • One aspect of the present disclosure is a traveling vehicle system in which a traveling vehicle having traveling rollers travels on a rail, comprising an upper measurement plate that contacts the traveling rollers from above, a lower measurement plate that contacts the traveling rollers from below, A measuring device is provided having a detector for detecting the height position of the upper and lower measuring plates.
  • the upper and lower measurement plates contact the traveling roller above and below the traveling roller.
  • the detector detects the height positions of the upper and lower measuring plates, thereby measuring the diameter of the running roller.
  • the diameter can be easily measured since it is only necessary to bring two plates into contact with the running rollers.
  • physical contact is used to detect the height position of the plate, so the diameter can be measured accurately.
  • the two upper and lower plates can be easily arranged at positions avoiding the rolling area (passing area) of the running rollers. Therefore, the configuration is much simpler than when two plates, left and right, are applied.
  • the lower measuring plate is urged upward to a standby position where it can contact the running rollers, and may be moved downward by the entry of the running rollers. This configuration eliminates the need for an actuator for moving the lower measurement plate up and down, making the structure simpler.
  • the upper measuring plate may be biased upward to a retracted position away from the running roller. According to this configuration, collision between the upper measuring plate and the running roller can be prevented.
  • the upper measurement plate and the lower measurement plate may contact the running rollers while the posture of the running vehicle is maintained by a portion of the running vehicle other than the running rollers. According to this configuration, deformation of the running roller due to the load can be prevented. Therefore, the diameter of the running roller can be measured more accurately.
  • Another part may be a running roller different from the running roller.
  • the configuration provided for running the running vehicle can be used to maintain the posture of the running vehicle and to easily and accurately measure the diameter of the running roller.
  • the measuring device may be incorporated in the middle of the rail or may be provided as an extension of the rail. According to this configuration, the diameter of the traveling roller can be measured after the traveling vehicle is moved along the rail to the position of the measuring device. There is no need to move the traveling vehicle to a place off the rail.
  • the diameter of the traveling roller can be easily and accurately measured.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a traveling vehicle system according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic front view of the traveling vehicle as seen from the traveling direction.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a traveling section of the traveling vehicle.
  • FIG. 4 is a plan view showing the measuring device built into the rail. 5 is an enlarged perspective view of the measuring device of FIG. 4.
  • FIG. 6 is a plan view showing an enlarged view of the measuring device of FIG. 4.
  • FIG. 7(a) to 7(c) are diagrams showing respective height positions when the upper measurement plate is moved up and down.
  • FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the running roller enters the measuring device and the upper and lower measuring plates are in contact with the running roller.
  • FIG. 9 is a plan view showing the positional relationship between the branch roller of the traveling vehicle and the upper measurement plate.
  • the traveling vehicle system 1 is a system that uses traveling vehicles 6 that can move along traveling rails 4 to transport articles 10 between placement sections 9 and 9 .
  • the article 10 includes, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod) for storing a plurality of semiconductor wafers, a container such as a reticle pod for storing a glass substrate, general parts, and the like.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • a traveling vehicle system 1 in which a traveling vehicle 6 travels along a one-way traveling rail 4 laid on a ceiling or the like will be described.
  • the traveling vehicle system 1 includes a traveling rail 4 , a plurality of traveling vehicles 6 , a plurality of placement sections 9 , and a measurement unit 110 .
  • the running rail 4 is, for example, a track laid near the ceiling, which is the overhead space of the worker.
  • the running rail 4 is suspended from the ceiling.
  • the running rail 4 is a predetermined running path for the running vehicle 6 to run.
  • the running rail 4 is supported by pillars 40A, 40A.
  • the running rail 4 has a main line running rail (main line route) 4A that circulates in one direction in a predetermined area, and an introduction running rail (introduction route) 4B that introduces the running vehicle 6 to the main line running rail 4A.
  • the running rail 4 has a rail main body 40 having a C-shaped cross section, which consists of a pair of lower surface portions 40B, a pair of side surface portions 40C, 40C, and a top surface portion 40D, a power supply portion 40E, and a magnetic plate 40F.
  • the lower surface portion 40 ⁇ /b>B extends in the traveling direction of the traveling vehicle 6 and constitutes the lower surface of the rail body 40 .
  • the lower surface portion 40B is a plate-like member on which an outer ring (traveling roller) 51 of the traveling vehicle 6 rolls to travel.
  • the side portion 40 ⁇ /b>C extends in the running direction of the traveling vehicle 6 and constitutes the side surface of the rail body 40 .
  • the top surface portion 40 ⁇ /b>D extends in the running direction of the traveling vehicle 6 and constitutes the top surface of the rail body 40 .
  • the power supply unit 40E is a part that supplies electric power to the power receiving core 57 of the traveling vehicle 6 and performs signal transmission/reception (superimposed communication) with the traveling vehicle 6 .
  • the power feeding portion 40E is fixed to each of the pair of side portions 40C, 40C and extends along the running direction.
  • the power supply unit 40E supplies power to the power receiving core 57 in a non-contact manner.
  • the magnetic plate 40F causes the LDM (Linear DC Motor) 59 of the traveling vehicle 6 to generate magnetic force for traveling or stopping.
  • the magnetic plate 40F is fixed to the top surface portion 40D and extends along the traveling direction.
  • the traveling vehicle 6 travels along the traveling rail 4 and conveys the article 10 .
  • the traveling vehicle 6 is configured so that the article 10 can be transferred.
  • the traveling vehicle 6 is an overhead traveling unmanned vehicle.
  • the number of traveling vehicles 6 provided in the traveling vehicle system 1 is not particularly limited, and is plural.
  • the traveling vehicle 6 is also called, for example, a transport vehicle, an overhead transport vehicle, an overhead transport vehicle, or a traveling vehicle.
  • the traveling vehicle 6 has a main body portion 7, a traveling portion 50, and a traveling vehicle controller (not shown).
  • the body portion 7 has a body frame 22 , a lateral feed portion 24 , a ⁇ drive 26 , an elevation drive portion 28 , an elevation table 30 , and front and rear frames 33 .
  • the traverse section 24 collectively traverses the ⁇ drive 26, the elevation drive section 28, and the elevation platform 30 in a direction perpendicular to the running direction of the travel rail 4.
  • the ⁇ drive 26 rotates at least one of the elevation drive unit 28 and the elevation table 30 within a predetermined angle range in the horizontal plane.
  • the lift drive unit 28 lifts and lowers the lift table 30 by winding or unwinding a suspension member such as a belt, wire, or rope.
  • the lifting table 30 is provided with a chuck so that the article 10 can be freely grasped or released.
  • a pair of front and rear frames 33 are provided, for example, in front and rear in the traveling direction of the traveling vehicle 6 . The front and rear frames 33 prevent the article 10 from falling during transportation by making claws (not shown) appear and disappear.
  • the traveling unit 50 causes the traveling vehicle 6 to travel along the traveling rail 4 . That is, the traveling vehicle 6 travels on the lower surface portion 40B of the traveling rail 4 .
  • the traveling portion 50 has an outer ring 51 , an inner ring 55 , side rollers 52 , branch rollers 53 , a power receiving core 57 and an LDM 59 . 2, illustration of the inner ring 55 and the branch roller 53 is omitted.
  • two pairs of left and right outer rings 51 are provided in the front and rear.
  • the outer ring 51 is arranged at both the front and rear left and right ends of the running portion 50 .
  • two pairs of left and right inner rings 55 are provided in the front and rear.
  • the pair of left and right inner rings 55 are arranged between the pair of left and right outer rings 51 in each of the front and rear.
  • Three or more sets of the outer ring 51 and the inner ring 55 may be provided so as to be aligned in the front-rear direction, or only one set may be provided.
  • the outer ring 51 and the inner ring 55 are made of resin such as urethane, for example.
  • the outer ring 51 rolls on the pair of lower surface portions 40B, 40B of the running rail 4.
  • the side rollers 52 are arranged so as to sandwich the outer ring 51 in the front-rear direction.
  • the side rollers 52 are provided so as to be able to come into contact with the side surface portion 40C of the running rail 4 (or the side support portion 45 in FIG. 8, which will be described later).
  • the branch rollers 53 are arranged so as to vertically sandwich the side rollers 52 .
  • the side rollers 52 are provided so as to be able to come into contact with guides (not shown) arranged at connection portions, branch portions, or the like of the running rail 4 .
  • the power receiving cores 57 are arranged in the front and rear of the running portion 50 so as to sandwich the LDM 59 in the left-right direction.
  • the power receiving core 57 performs non-contact power reception with the power supply unit 40E arranged on the running rail 4 and non-contact transmission and reception of various signals with the traveling vehicle controller.
  • the LDM 59 is provided before and after the traveling portion 50 .
  • the LDM 59 generates magnetic force for running or stopping between the magnetic plate 40F arranged on the upper surface of the running rail 4 by an electromagnet.
  • the placing section 9 is arranged along the traveling rail 4 and provided at a position where the article 10 can be delivered by the traveling vehicle 6 .
  • the receiver 9 includes a buffer and a transfer port.
  • the buffer is a placement section on which the article 10 is temporarily placed. For example, when the article 10 being transported by the traveling vehicle 6 cannot be transferred to the target delivery port because another article 10 is placed on the target delivery port, the buffer This is a placement section for temporary placement.
  • the transfer port is a mounting for transferring the article 10 to a semiconductor processing apparatus (not shown) such as a cleaning apparatus, a film formation apparatus, a lithography apparatus, an etching apparatus, a heat treatment apparatus, and a planarization apparatus. Department. Note that the processing device is not particularly limited, and may be various devices.
  • the placement section 9 which is a buffer is arranged on the side of the running rail 4 .
  • the traveling vehicle 6 laterally feeds the elevation driving section 28 and the like by the lateral feeding section 24 and slightly raises and lowers the elevator table 30 to deliver the article 10 to and from the placing section 9 .
  • the placement section 9 may be arranged directly below the running rail 4 . In this case, the traveling vehicle 6 transfers the articles 10 to and from the placement section 9 by raising and lowering the elevator platform 30 .
  • the traveling vehicle controller is an electronic control unit consisting of a CPU (Central Processing Unit), ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), etc.
  • the traveling vehicle controller controls various operations in the traveling vehicle 6 . Specifically, the traveling vehicle controller controls the traveling section 50 , the lateral feeding section 24 , the ⁇ drive 26 , the elevation driving section 28 , and the platform 30 .
  • the traveling vehicle controller 35 can be configured as software in which, for example, a program stored in a ROM is loaded onto a RAM and executed by a CPU.
  • the traveling vehicle controller may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the traveling vehicle controller communicates with the system controller 90 (see FIG. 1) using the power supply section 40E (power supply line) of the traveling rail 4 or the like.
  • the system controller 90 is an electronic control unit consisting of a CPU, ROM, RAM, and the like.
  • the system controller 90 can be configured, for example, as software in which a program stored in the ROM is loaded onto the RAM and executed by the CPU.
  • the system controller 90 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the system controller 90 transmits a transport command to transport the article 10 to the traveling vehicle 6 .
  • the measurement units 110 are arranged on the main line running rail 4A and the lead-in running rail 4B.
  • the measurement unit 110 is arranged on the main line travel rail 4A, the measurement unit 110 is incorporated in the middle of the travel rail 4 . If the measuring unit 110 is arranged on the introductory running rail 4B, it is provided on the extension of the running rail 4 .
  • the measuring unit 110 has a dimension measuring device 80 that measures various dimensions of the traveling vehicle 6 and a diameter measuring device (measuring device) 100 that measures the diameter of the outer ring 51 .
  • the dimension measuring device 80 measures, for example, the height of the power receiving core 57 and the height of the LDM 59, the interval between the left and right side rollers 52, the inner position of the branch roller 53 in the left-right direction, and the like.
  • a non-contact distance sensor such as an optical or ultrasonic distance sensor, a transmission sensor, or the like is used.
  • the dimension measurement by the dimension measuring device 80 can be performed, for example, according to the configuration and procedure disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No.
  • the diameter measuring device 100 is installed specifically for measuring the diameter of the outer ring 51 .
  • Dimension measuring device 80 may be capable of measuring the diameter of outer ring 51 and/or the diameter of inner ring 55 . In that case, the dimension measuring device 80 may measure the longitudinal diameter or the vertical diameter of the outer ring 51 and/or the inner ring 55 using an optical distance sensor.
  • the dimension measuring device 80 and the diameter measuring device 100 are provided in pairs in the left-right direction. Furthermore, the dimension measuring device 80 and the diameter measuring device 100 are provided so that two sets are lined up with a predetermined interval in the front-rear direction. For example, when the dimension measuring device 80 is positioned on the right side of the front part of the traveling vehicle 6 and the diameter measuring device 100 is positioned on the left side of the front part, the diameter measuring device 100 is positioned on the right side of the rear part of the traveling vehicle 6, and the diameter measuring device 100 is positioned on the right side of the rear part. A dimension measuring device 80 is located on the left side of the . In other words, when a rectangle is assumed in plan view with the positions of the front and rear pairs of outer rings 51 (a total of four outer rings 51) as vertices, two diameter measuring devices 100 are arranged on the diagonal lines of the rectangle. .
  • FIG. 4 a pair of extended portions 40J are provided on the left and right outer sides of the lower surface portion 40B.
  • the extended portion 40J may be a plate-like member similar to the lower surface portion 40B.
  • the lower surface portion 40B and the extended portion 40J extend horizontally, for example.
  • the extended portion 40J may be installed such that the surface of the extended portion 40J is flush with the flat running surface 41 of the lower surface portion 40B.
  • the extended portion 40J is not limited to being flush with the lower surface portion 40B, and the extended portion 40J may form a step with the lower surface portion 40B.
  • the diameter measuring device 100 is installed over the extended portion 40J and the lower surface portion 40B.
  • the diameter measuring device 100 includes an upper measuring plate 61, a lower measuring plate 62, a plate position detector 60 for detecting the height positions of the upper measuring plate 61 and the lower measuring plate 62, and an actuator for moving the upper measuring plate 61 up and down. 70.
  • the upper measurement plate 61 is a plate-like member that contacts the outer ring 51 from above.
  • the lower measurement plate 62 is a plate-like member that contacts the outer ring 51 from below.
  • the plate position detector 60 has an upper detector 63 that detects the height position of the upper measurement plate 61 and a lower detector 64 that detects the height position of the lower measurement plate 62 .
  • the upper measuring plate 61 and the lower measuring plate 62 are vertically movable along a linear motion guide 66 fixed to, for example, a base portion 65 and extending in the vertical direction.
  • the base portion 65 is erected on the extended portion 40J.
  • the height of the base portion 65 in the vertical direction is higher than the height of the upper end surface 51 a of the outer ring 51 rolling on the running surface 41 .
  • the upper detector 63 is attached to the upper end of the base portion 65, for example.
  • a lower detector 64 is attached to the base portion 65 below the upper detector 63 .
  • the direct-acting guide 66 is fixed to the side portion of the base portion 65 facing the lower surface portion 40B.
  • Upper measurement plate 61 is biased upward by spring 77 of actuator 70 .
  • the upper measurement plate 61 is moved downward.
  • the upper measurement plate 61 is attached to the base portion 65 via a linear motion guide 66, and includes a vertical plate portion 61c slidable with respect to the base portion 65, and a vertical plate portion 61c extending from the vertical plate portion 61c above the lower surface portion 40B. and an operating piece 61e that extends rearward and horizontally from the vertical plate portion 61c and contacts the eccentric cam 75 of the actuator .
  • the vertical plate portion 61c, the horizontal plate portion 61a, and the operating piece 61e slide together in the vertical direction.
  • the actuator 70 includes a linear motion guide 70A that is fixed on the extended portion 40J and extends in the front-rear direction, and a slide portion 70B that can slide in the front-rear direction along the linear motion guide 70A.
  • a rack gear 74 extending in the front-rear direction is fixed on the slide portion 70B.
  • a spring 77 is provided between the linear motion guide 70A and the slide portion 70B to bias the slide portion 70B toward the linear motion guide 70A.
  • Spring 77 is, for example, an extension coil spring.
  • the fixed end 77a of the spring 77 is engaged with an engaging pin 70Aa erected on the linear guide 70A, and the moving end 77b of the spring 77 is engaged with an engaging pin 70Bb erected on the slide portion 70B. is stopped.
  • the slide portion 70B and the rack gear 74 slide together in the front-rear direction.
  • the actuator 70 includes a motor 71 having an output shaft 71a fixed on the extended portion 40J and extending in the left-right direction; and a gear 72 fixed to a rotating shaft 76 at an intermediate position between the motor 71 and the eccentric cam 75 .
  • the eccentric cam 75 and the gear 72 rotate together with the rotation of the rotating shaft 76 extending in the left-right direction.
  • Gear 72 meshes with rack gear 74 .
  • the actuator 70 may include a bearing portion 78 that stands on the extension portion 40J and supports the rotation shaft 76. As shown in FIG.
  • the actuator 70 may include an auxiliary receiving portion 79 erected on the extension portion 40J and through which the rotating shaft 76 passes.
  • the disc-shaped eccentric cam 75 is eccentrically attached to the rotating shaft 76.
  • the upper measurement plate 61 is urged to the retracted position P1 by the urging force of the spring 77, as shown in FIG. 7(a).
  • the contact surface 61k of the operating piece 61e comes into contact with the peripheral surface of the eccentric cam 75 and is pushed up by the eccentric cam 75.
  • the actuating piece 61 e is positioned farthest from the rotating shaft 76 .
  • the height of the horizontal plate portion 61a is higher than the height of the upper end surface 51a of the outer ring 51 on the running surface 41. As shown in FIG. That is, the upper measurement plate 61 is positioned at the retracted position P ⁇ b>1 away from the outer ring 51 .
  • FIG. 7(b) and 7(c) are diagrams for schematically explaining the relationship between the height position of the upper end surface 51a of the outer ring 51 and the state of the eccentric cam 75, and the outer ring 51 is a virtual It is indicated by a line and is shown superimposed on the position of the eccentric cam 75 .
  • the outer ring 51 is arranged at a position different from the eccentric cam 75 (for example, in front of the eccentric cam 75 and inside in the left-right direction) when viewed from the axial direction (horizontal direction) of the outer ring 51 and the eccentric cam 75 . be. Therefore, the horizontal plate portion 61a with which the upper end surface 51a of the outer ring 51 contacts is also arranged at a position different from that of the operating piece 61e (for example, further forward and inward in the left-right direction than the operating piece 61e).
  • the height of the lower surface of the horizontal plate portion 61a (the surface in contact with the outer ring 51) may be equal to or different from the height of the contact surface 61k of the operating piece 61e.
  • the upper measuring plate 61 When the rotating shaft 76 is further rotated by driving the motor 71, the upper measuring plate 61 is positioned at the contact position P3 where the horizontal plate portion 61a contacts the upper end surface 51a of the outer ring 51, as shown in FIG. 7(c). .
  • the contact surface 61k of the operating piece 61e is separated from the peripheral surface of the eccentric cam 75, and the height of the horizontal plate portion 61a is equal to the height of the upper end surface 51a of the outer ring 51.
  • the rotary shaft 76 rotates 180 degrees to move the upper measurement plate 61 from the retracted position P1 to the contact position P3.
  • the eccentric cam 75 is not limited to being disk-shaped, and may be of other shapes (non-circular shape, etc.) that can be employed in known eccentric cams.
  • the upper measurement plate 61 moves in conjunction with the rotation of the actuator 70 via the eccentric cam 75 .
  • the upper measurement plate 61 is raised to the retracted position P1 by the biasing force of the spring 77 when the power is turned off, and is lowered to the contact position P3 by the drive of the motor 71 .
  • the upper measurement plate 61 may be lowered from the retracted position to the contact position by directly pushing down the upper measurement plate 61 with an actuator such as a solenoid.
  • the lower end of a spring or the like may be directly attached to the upper measuring plate 61 to urge the upper measuring plate 61 upward from the contact position to the retracted position.
  • the lower surface portion 40B is provided with a rectangular inner ring support portion 40G projecting toward the other lower surface portion 40B at the position where the plate position detection portion 60 is provided.
  • a pair of oblique sides 61b are formed on the upper measurement plate 61 such that the width in the front-rear direction decreases as it approaches the inner ring support portion 40G in plan view. The function of the oblique side portion 61b will be described later.
  • the lower measuring plate 62 is not provided with an actuator.
  • the lower measurement plate 62 is biased upward by a spring 67 (see FIG. 8) attached to the base portion 65 .
  • Spring 67 is, for example, an extension coil spring.
  • the lower measuring plate 62 is moved downward by the entry of the outer ring 51 (traveling car 6). More specifically, as shown in FIG. 5, a rectangular opening 42 is formed in the lower surface portion 40B corresponding to the position where the base portion 65 is attached.
  • the lower measurement plate 62 is attached to the base portion 65 via a direct-acting guide 66, and is arranged in the opening 42 by extending horizontally from the vertical plate portion 62c that is slidable with respect to the base portion 65 and the vertical plate portion 62c. and a contact plate portion 62a.
  • the vertical plate portion 62c and the contact plate portion 62a slide together in the vertical direction.
  • FIGS. 8 and 9 show a diameter measuring device 100 different from the diameter measuring device 100 shown in FIGS. 5 and 6 (on the other diagonal line).
  • One diameter measuring device 100 and the other diameter measuring device 100 have, for example, symmetrical structures with respect to a virtual plane perpendicular to the left-right direction.
  • the lower measurement plate 62 is urged upward to the standby position where it can come into contact with the outer ring 51 in the initial state.
  • the upper surface of the contact plate portion 62a protrudes slightly above the running surface 41 of the lower surface portion 40B and is slightly higher than the running surface 41.
  • Inclined surfaces 62b are formed on the front and rear portions of the rectangular contact plate portion 62a. Due to the inclined surface 62b, the heights of the front and rear ends of the contact plate portion 62a in the initial state are slightly lower than the running surface 41.
  • the outer ring 51 rolling on the running surface 41 enters the area of the diameter measuring device 100, it can be placed smoothly on the contact plate portion 62a.
  • the lower measuring plate 62 is moved downward by the entry of the outer ring 51 .
  • the contact plate portion 62 a moves downward against the biasing force of the spring 67 while being in contact with the lower end surface of the outer ring 51 .
  • the upper detector 63 and lower detector 64 are ranging sensors.
  • contact linear sensors may be employed as the upper detector 63 and the lower detector 64, for example.
  • the upper detector 63 can detect the height position of the upper measurement plate 61 (for example, the horizontal plate portion 61a).
  • the lower detector 64 can detect the height position of the lower measurement plate 62 (for example, the contact plate portion 62a).
  • the upper detector 63 and the lower detector 64 detect the height positions of the upper measuring plate 61 and the lower measuring plate 62, for example, the traveling vehicle controller of the traveling vehicle 6, the system controller 90, or the traveling vehicle system 1.
  • a detection signal indicating the height position is transmitted to another control device (not shown).
  • the traveling vehicle controller, the system controller 90 , or the control device obtains the height positions of the upper measurement plate 61 and the lower measurement plate 62 and calculates the diameter of the outer ring 51 .
  • the controller of the diameter measuring device 100 detects the arrival of the traveling vehicle 6 using a sensor (not shown).
  • the inner ring 55 of the traveling vehicle 6 (part separate from the traveling roller, another traveling roller) is placed on the inner ring support portion 40G and supported by the inner ring support portion 40G.
  • the outer ring 51 has entered onto the contact plate portion 62 a of the lower measuring plate 62 .
  • the contact plate portion 62 a is moved slightly downward, and the upper surface of the contact plate portion 62 a is substantially aligned with the height of the running surface 41 . Since the inner ring support portion 40G receives the weight (load) of the traveling vehicle 6 via the inner ring 55, no large load is applied to the contact plate portion 62a.
  • the motor 71 is driven to move the upper measurement plate 61 downward. Then, the contact plate portion 62a is in contact with the lower end surface of the outer ring 51 and the horizontal plate portion 61a is in contact with the upper end surface 51a of the outer ring 51, and the height position is detected by the upper detector 63 and the lower detector 64. , the diameter is calculated by a control device or the like. The timing for calculating the diameter may be after a predetermined time has elapsed after the traveling vehicle 6 arrives, or when the detection values of the upper detector 63 and lower detector 64 have stabilized.
  • the branch roller 53 (see FIG. 3) of the traveling vehicle 6 is not positioned at a predetermined position, and the left (or right, direction approaching the upper measurement plate 61) There are cases where it protrudes to The height of the branch roller 53 may interfere with the horizontal plate portion 61a of the upper measurement plate 61 while the outer ring 51 is rolling on the lower surface portion 40B. That is, the branch roller 53 is positioned within the vertical movable range (the range from the retracted position P1 to the contact position P3) of the horizontal plate portion 61a. In the example shown in FIG. 9, the branch roller 53 is positioned at a predetermined position and does not protrude.
  • the traveling vehicle 6 moves while the branch roller 53 is in contact with the oblique side portion 61b of the horizontal plate portion 61a. can be pulled into Even if the oblique side portion 61b formed on the horizontal plate portion 61a interferes with the diverting roller 53, the interference state is eliminated and the diameter of the outer ring 51 can be measured without any trouble.
  • the upper measurement plate 61 and the lower measurement plate 62 contact the outer ring 51 above and below the outer ring 51 .
  • the diameter of the outer ring 51 is measured by detecting the height positions of the upper measuring plate 61 and the lower measuring plate 62 with the upper detector 63 and the lower detector 64 .
  • the diameter of the outer ring 51 can be easily measured.
  • physical contact is used to detect the height position of the plate, so the diameter can be measured accurately.
  • the two upper and lower plates are arranged at positions avoiding the rolling region (passing region) of the outer ring 51 . Therefore, the configuration is much simpler than when two plates, left and right, are applied.
  • the lower measurement plate 62 is urged upward to a standby position where it can contact the outer ring 51, and is moved downward by the entry of the outer ring 51. Therefore, an actuator for vertically moving the lower measuring plate 62 is not required, and the diameter measuring device 100 has a simpler structure.
  • the upper measurement plate 61 is urged upward to the contact position P3 away from the outer ring 51 . Therefore, even if the actuator 70 for vertically moving the upper measuring plate 61 fails, collision between the upper measuring plate 61 and the outer ring 51 can be prevented.
  • the upper measurement plate 61 and the lower measurement plate 62 contact the outer ring 51 while the posture of the traveling vehicle 6 is maintained by the inner ring 55 . Therefore, deformation of the outer ring 51 due to a load such as the weight of the traveling vehicle 6 can be prevented. Therefore, the diameter of the outer ring 51 can be measured more accurately.
  • the posture of the traveling vehicle 6 is maintained by using the inner ring 55, which is a configuration originally provided for the traveling vehicle 6 to travel. Therefore, the diameter of the outer ring 51 can be easily and accurately measured.
  • the diameter measuring device 100 is incorporated in the middle of the running rail 4 or provided on the extension of the running rail 4 . Therefore, the diameter of the outer ring 51 may be measured after the traveling vehicle 6 is moved along the traveling rail 4 to the position of the diameter measuring device 100 . There is no need to move the traveling vehicle 6 to a place away from the traveling rail 4. ⁇
  • the present invention is not limited to the above embodiments.
  • the diameter of the outer ring 51 is measured, but the diameter measuring device 100 may measure the diameter of the inner ring 55 .
  • Either one of the outer ring 51 and the inner ring 55 may be omitted from the traveling vehicle 6 .
  • either the outer ring 51 or the inner ring 55 corresponds to the traveling roller to be measured.
  • a portion of the traveling wheel 6 other than the traveling roller (the outer ring 51 or the inner ring 55) is supported by any part of the rail body 40 (the traveling rail 4), thereby Posture may be maintained.
  • Deformation of the traveling roller (outer ring 51 or inner ring 55) is prevented by maintaining the posture of the traveling vehicle 6 and applying the self weight (load) of the traveling vehicle 6 to the other portion. Therefore, the diameter of the running roller can be measured accurately.
  • the upper measuring plate 61 is urged to the retracted position P1 by the urging force of the spring 77 (see FIG. 7A) when the power is turned off.
  • biasing means may be provided instead of using the spring 77.
  • a pulley and a weight may be used to urge the upper measurement plate 61 upward.
  • Other known biasing means may be applied to upper measurement plate 61 .
  • the configuration for urging the lower measurement plate 62 upward is not limited to the spring 67 either. Instead of using the spring 67, a pulley and a weight or the like may be used to urge the lower measurement plate 62 upward.
  • Other known biasing means may be applied to lower measurement plate 62 .
  • one detector may detect the height positions of the upper measurement plate 61 and the lower measurement plate 62 .
  • the shapes of the upper measurement plate 61 and the lower measurement plate 62 can be changed as appropriate.
  • Actuator 70 for upper measuring plate 61 may be omitted.
  • the upper measurement plate 61 stands by while being urged downward, and is pushed up (moved upward) by the entry of the outer ring 51 (running roller). good too.
  • the diameter measuring device 100 may be provided at a location away from the running rail 4.
  • the traveling vehicle 6 is caused to travel by driving the traveling unit 50 during measurement by the measurement unit 110.
  • the traveling vehicle 6 is caused to travel (move) by another device or the like. may

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Abstract

走行車システムでは、走行ローラを有する走行車がレール上を走行する。走行車システムには、走行ローラに上方から接触する上部測定プレートと、走行ローラに下方から接触する下部測定プレートと、上部測定プレート及び下部測定プレートの高さ位置を検出する検出器と、を有する測定装置が設けられている。

Description

走行車システム
　本開示は、走行車システムに関する。
　従来、物品搬送車の分野において、レールの走行面上を転動する車輪の径を計測する車輪径計測装置が知られている（例えば特許文献１，２参照）。特許文献１に記載された装置は、投光部と受光部とを有する光センサを備えており、レールの延在方向に離間する２本の帯状の検出光を用いて、車輪の径を計測している。より具体的には、第１帯状光部のうち車輪によって遮光された延在方向の大きさを第１数値とし、第２帯状光部のうち車輪によって遮光された延在方向の大きさを第２数値とし、第１及び第２帯状光の離間距離と第１及び第２数値とに基づいて、車輪の径が計測される。検出光は、レールに形成された貫通孔を通る。特許文献２に記載された装置は、２対の透過型センサを有する。各対の透過型センサは、上下方向に離間して配置された上部センサと下部センサとを有する。
特開２０２０－１９７４７３号公報 特開２０２１－０４６２８７号公報
　上記した従来の技術では、投光部と受光部をそれぞれ複数設ける必要があり、計測装置の構成が複雑になる傾向にある。また検出光の光路上に車輪とは異なる物体（異物等）が存在したり、光センサにゴミが付着したりすると、車輪（走行ローラ）の直径を正確に測定できない可能性もある。
　本開示は、走行ローラの直径を簡単かつ正確に測定することができる走行車システムを説明する。
　本開示の一態様は、走行ローラを有する走行車がレール上を走行する走行車システムであって、走行ローラに上方から接触する上部測定プレートと、走行ローラに下方から接触する下部測定プレートと、上部測定プレート及び下部測定プレートの高さ位置を検出する検出器と、を有する測定装置が設けられている。
　この走行車システムによれば、走行ローラの上方及び下方において、上部測定プレート及び下部測定プレートが走行ローラに接触する。検出器によって上部測定プレート及び下部測定プレートの高さ位置が検出されることにより、走行ローラの直径が測定される。このように、２枚のプレートを走行ローラに接触させるだけでよいため、直径を簡単に測定することができる。光学式の測定とは異なり、物理的な接触を利用してプレートの高さ位置を検出しているため、直径を正確に測定することができる。また、上下２枚のプレートは、走行ローラの転動領域（通過領域）を避けた位置に容易に配置され得る。したがって、左右２枚のプレートを適用する場合等よりも、より一層、構成が簡素化される。
　下部測定プレートは、走行ローラに接触可能な待機位置まで上方に付勢されており、走行ローラの進入によって下方に移動させられてもよい。この構成によれば、下部測定プレートを上下動させるアクチュエータが不要となり、より簡素な構造とすることができる。
　上部測定プレートは、走行ローラから離間する退避位置まで上方に付勢されていてもよい。この構成によれば、上部測定プレートと走行ローラの衝突を防止することができる。
　走行車のうちの走行ローラとは別の部分により走行車の姿勢が維持された状態で、上部測定プレート及び下部測定プレートが走行ローラに接触してもよい。この構成によれば、荷重によって、走行ローラが変形することを防止できる。よって、走行ローラの直径をより正確に測定することができる。
　別の部分は、走行ローラとは別の走行ローラであってもよい。走行車の走行のために備わっている構成を利用して走行車の姿勢を維持し、走行ローラの直径を簡単かつ正確に測定することができる。
　測定装置はレールの途中に組み込まれているか、又は、レールの延長上に設けられていてもよい。この構成によれば、測定装置の位置まで、レールに沿って走行車を移動させた後に、走行ローラの直径を測定すればよい。走行車をレールから外れた場所に移動させる必要がない。
　本開示の走行車システムによれば、走行ローラの直径を簡単かつ正確に測定することができる。
図１は、一実施形態に係る走行車システムを示す概略平面図である。 図２は、走行車を走行方向から見た概略正面図である。 図３は、走行車の走行部を示す斜視図である。 図４は、レールに組み込まれた測定装置を示す平面図である。 図５は、図４の測定装置を拡大して示す斜視図である。 図６は、図４の測定装置を拡大して示す平面図である。 図７（ａ）～図７（ｃ）は、上部測定プレートを上下動させたときの各高さ位置を示す図である。 図８は、走行ローラが測定装置内に進入し、上部測定プレート及び下部測定プレートが走行ローラに接触している状態を示す斜視図である。 図９は、走行車の分岐ローラと上部測定プレートの位置関係を示す平面図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」「下」の語は、鉛直方向に対応し、「前」「後」の語は走行車の進行方向に対応し、「左」「右」の語は上下方向及び前後方向と直交する方向に対応する。
　図１及び図２に示されるように、走行車システム１は、走行レール４に沿って移動可能な走行車６を用いて、物品１０を載置部９，９間で搬送するシステムである。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。ここでは、例えば、工場等において、走行車６が天井等に敷設された一方通行の走行レール４に沿って走行する走行車システム１を例に挙げて説明する。走行車システム１は、走行レール４、複数の走行車６、複数の載置部９、及び測定ユニット１１０を備える。
　走行レール４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設された軌道である。走行レール４は、天井から吊り下げられている。走行レール４は、走行車６を走行させるための予め定められた走行路である。走行レール４は、支柱４０Ａ，４０Ａにより支持される。走行レール４は、所定のエリアを一方向に巡回する本線走行レール（本線経路）４Ａと、本線走行レール４Ａに走行車６を導入させる導入走行レール（導入経路）４Ｂと、を有する。
　走行レール４は、一対の下面部４０Ｂと一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃと天面部４０Ｄとからなる断面Ｃ字形状のレール本体４０と、給電部４０Ｅと、磁気プレート４０Ｆと、を有する。下面部４０Ｂは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体４０の下面を構成する。下面部４０Ｂは、走行車６の外輪（走行ローラ）５１が転動して走行する板状部材である。側面部４０Ｃは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体４０の側面を構成する。天面部４０Ｄは、走行車６の走行方向に延在し、レール本体４０の上面を構成する。
　給電部４０Ｅは、走行車６の受電コア５７に電力を供給すると共に、走行車６と信号の送受信（重畳通信）を行なう部位である。給電部４０Ｅは、一対の側面部４０Ｃ，４０Ｃのそれぞれに固定され、走行方向に沿って延在している。給電部４０Ｅは、受電コア５７に対して非接触の状態で電力を供給する。磁気プレート４０Ｆは、走行車６のＬＤＭ（Linear　DC　Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４０Ｆは、天面部４０Ｄに固定され、走行方向に沿って延在している。
　走行車６は、走行レール４に沿って走行し、物品１０を搬送する。走行車６は、物品１０を移載可能に構成されている。走行車６は、天井走行式無人走行車である。走行車システム１が備える走行車６の台数は、特に限定されず、複数である。走行車６は、例えば搬送車、天井走行車、天井搬送車（overhead transport vehicle）、又は、走行台車とも称される。走行車６は、本体部７と、走行部５０と、走行車コントローラ（図示せず）と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、前後フレーム３３と、を有する。
　横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、走行レール４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をベルト、ワイヤ及びロープ等の吊持材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。前後フレーム３３は、例えば走行車６の走行方向の前後に一対設けられている。前後フレーム３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
　走行部５０は、走行車６を走行レール４に沿って走行させる。すなわち、走行車６は、走行レール４の下面部４０Ｂ上を走行する。図３に示されるように、走行部５０は、外輪５１、内輪５５、サイドローラ５２、分岐ローラ５３、受電コア５７及びＬＤＭ５９を有する。なお図２では、内輪５５及び分岐ローラ５３の図示は省略されている。
　走行車６では、例えば、左右一対の外輪５１が、前後に２組設けられている。外輪５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。また左右一対の内輪５５が、前後に２組設けられている。前後のそれぞれにおいて、左右一対の内輪５５は、左右一対の外輪５１の間に配置されている。なお、外輪５１及び内輪５５は、前後方向に並ぶように３組以上が設けられてもよく、１組のみが設けられてもよい。外輪５１及び内輪５５は、例えば、ウレタン等の樹脂製である。
　外輪５１は、走行レール４の一対の下面部４０Ｂ，４０Ｂを転動する。サイドローラ５２は、外輪５１を前後方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行レール４の側面部４０Ｃ（又は後述する図８の側方支持部４５）に接触可能に設けられている。分岐ローラ５３は、サイドローラ５２を上下方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、走行レール４の接続部又は分岐部等に配置されているガイド（図示せず）に接触可能に設けられている。
　受電コア５７は、走行部５０の前後において、左右方向にＬＤＭ５９を挟むように配置されている。受電コア５７は、走行レール４に配置された給電部４０Ｅとの間での非接触による受電と、走行車コントローラとの間での非接触による各種信号の送受信と、を行う。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、電磁石によって走行レール４の上面に配置された磁気プレート４０Ｆとの間で、走行又は停止のための磁力を発生させる。
　図１に示されるように、載置部９は、走行レール４に沿って配置され、走行車６によって物品１０の受け渡しが可能となる位置に設けられている。載置部９には、バッファ及び受渡ポートが含まれる。バッファは、物品１０が一時的に載置される載置部である。バッファは、例えば、目的とする受渡ポートに他の物品１０が載置されている等の理由により、走行車６が搬送している物品１０をその受渡ポートに移載できない場合に、物品１０が仮置きされる載置部である。受渡ポートは、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置（図示せず）に対して物品１０の受け渡しを行うための載置部である。なお、処理装置は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。
　例えば、バッファである載置部９は、走行レール４の側方に配置されている。この場合、走行車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。なお、図示はしないが載置部９は、走行レール４の直下に配置されてもよい。この場合、走行車６は、昇降台３０を昇降させることにより、載置部９との間で物品１０を受け渡しする。
　走行車コントローラは、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）等からなる電子制御ユニットである。走行車コントローラは、走行車６における各種動作を制御する。具体的には、走行車コントローラは、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。走行車コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。走行車コントローラは、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。走行車コントローラは、走行レール４の給電部４０Ｅ（給電線）等を利用して、システムコントローラ９０（図１参照）と通信を行う。
　システムコントローラ９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。システムコントローラ９０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。システムコントローラ９０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。システムコントローラ９０は、走行車６に物品１０を搬送させる搬送指令を送信する。
　図１に示されるように、測定ユニット１１０は、本線走行レール４Ａと、導入走行レール４Ｂとにそれぞれ配置されている。測定ユニット１１０が本線走行レール４Ａに配置される場合、測定ユニット１１０は、走行レール４の途中に組み込まれる。測定ユニット１１０が導入走行レール４Ｂに配置される場合、走行レール４の延長上に設けられる。
　図４に示されるように、測定ユニット１１０は、走行車６の各種寸法を測定する寸法測定装置８０と、外輪５１の直径を測定する直径測定装置（測定装置）１００とを有する。寸法測定装置８０は、例えば、受電コア５７の高さとＬＤＭ５９の高さ、左右のサイドローラ５２の間隔、及び分岐ローラ５３の左右方向における内側位置等を測定する。寸法測定装置８０における測定には、例えば、光学式若しくは超音波式等の非接触式の距離センサ、又は透過型センサ等が用いられる。寸法測定装置８０における寸法の測定は、例えば特開２０２１－０４６２８７号公報（上記特許文献２）に開示された構成及び手順に従って実施することができる。一方、直径測定装置１００は、外輪５１の直径を測定することに特化して設置されている。寸法測定装置８０が、外輪５１の直径及び／又は内輪５５の直径を測定可能であってもよい。その場合には、寸法測定装置８０は、光学式の距離センサにより、外輪５１及び／又は内輪５５の前後方向の直径、又は上下方向の直径等を測定してもよい。
　寸法測定装置８０及び直径測定装置１００は、左右方向において対をなす位置に設けられている。さらに、寸法測定装置８０及び直径測定装置１００は、前後方向に所定の間隔をあけて２組が並ぶように設けられている。例えば、走行車６の前部の右側に寸法測定装置８０が位置し、前部の左側に直径測定装置１００が位置するとき、走行車６の後部の右側に直径測定装置１００が位置し、後部の左側に寸法測定装置８０が位置する。言い換えれば、平面視において、前後２組の外輪５１（計４つの外輪５１）の位置を頂点とする長方形を想定した場合に、２つの直径測定装置１００が、その長方形の対角線上に配置される。
　続いて、図４～図６を参照して、直径測定装置１００について詳細に説明する。図４に示されるように、下面部４０Ｂの左右の外方側には、一対の拡張部４０Ｊが設けられている。拡張部４０Ｊは、下面部４０Ｂと同様の板状部材であってもよい。下面部４０Ｂ及び拡張部４０Ｊは、例えば水平に延在する。拡張部４０Ｊは、拡張部４０Ｊの表面が下面部４０Ｂの平坦な走行面４１と面一となるように設置されてもよい。しかし、拡張部４０Ｊが下面部４０Ｂと面一な構成に限られず、拡張部４０Ｊが、下面部４０Ｂとの間に段差を形成してもよい。
　図４～図６に示されるように、直径測定装置１００は、拡張部４０Ｊと下面部４０Ｂとにわたって設置されている。直径測定装置１００は、上部測定プレート６１と、下部測定プレート６２と、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の高さ位置を検出するプレート位置検出部６０と、上部測定プレート６１を上下動させるアクチュエータ７０とを有する。
　図５及び図６に示されるように、上部測定プレート６１は、外輪５１に上方から接触する板状部材である。下部測定プレート６２は、外輪５１に下方から接触する板状部材である。プレート位置検出部６０は、上部測定プレート６１の高さ位置を検出する上部検出器６３と、下部測定プレート６２の高さ位置を検出する下部検出器６４とを有する。
　直径測定装置１００では、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２は、例えばベース部６５に固定され上下方向に延びる直動ガイド６６に沿って、上下動自在となっている。ベース部６５は、拡張部４０Ｊ上に立設されている。ベース部６５の上下方向の高さは、走行面４１上を転動する外輪５１の上端面５１ａの高さよりも高い。上部検出器６３は、例えばベース部６５の上端部に取り付けられている。例えば、上部検出器６３の下方において、下部検出器６４がベース部６５に取り付けられている。直動ガイド６６は、ベース部６５の下面部４０Ｂに面する側部に固定されている。
　上部測定プレート６１に関連する構成について説明する。上部測定プレート６１は、アクチュエータ７０のバネ７７によって上方に付勢されている。モータ７１の駆動により、上部測定プレート６１は、下方に移動させられる。より詳細には、上部測定プレート６１は、直動ガイド６６を介してベース部６５に取り付けられ、ベース部６５に対してスライド可能な垂直板部６１ｃと、垂直板部６１ｃから下面部４０Ｂの上方に水平に張り出す水平板部６１ａと、垂直板部６１ｃから後方かつ水平方向に延びてアクチュエータ７０の偏心カム７５に当接する作動片６１ｅとを含む。垂直板部６１ｃ、水平板部６１ａ及び作動片６１ｅは、一体となって上下方向にスライドする。
　アクチュエータ７０は、拡張部４０Ｊ上に固定され前後方向に延びる直動ガイド７０Ａと、直動ガイド７０Ａに沿って前後方向にスライド可能なスライド部７０Ｂとを含む。スライド部７０Ｂ上には、前後方向に延びるラックギヤ７４が固定されている。図６に示されるように、直動ガイド７０Ａとスライド部７０Ｂとの間には、直動ガイド７０Ａに対してスライド部７０Ｂを近づける方向に付勢するバネ７７が設けられている。バネ７７は、例えば引張コイルバネである。例えば、バネ７７の固定端７７ａが、直動ガイド７０Ａに立設された係止ピン７０Ａａに係止され、バネ７７の移動端７７ｂが、スライド部７０Ｂに立設された係止ピン７０Ｂｂに係止されている。スライド部７０Ｂ及びラックギヤ７４は、一体となって前後方向にスライドする。
　アクチュエータ７０は、拡張部４０Ｊ上に固定され左右方向に延びる出力軸７１ａを有するモータ７１と、カップリング７３を介して出力軸７１ａに連結された回転軸７６と、回転軸７６の先端に固定された偏心カム７５と、モータ７１及び偏心カム７５の間の中間位置において回転軸７６に固定されたギヤ７２とを含む。偏心カム７５及びギヤ７２は、左右方向に延びる回転軸７６の回転と共に回転する。ギヤ７２は、ラックギヤ７４と噛み合っている。モータ７１の駆動により回転軸７６及びギヤ７２が回転すると、ラックギヤ７４及びスライド部７０Ｂが、バネ７７の付勢力に抗して、直動ガイド７０Ａの係止ピン７０Ａａから遠ざかる方向に移動する。なお、アクチュエータ７０は、拡張部４０Ｊ上に立設されて回転軸７６を支持する軸受け部７８を含んでもよい。アクチュエータ７０は、拡張部４０Ｊ上に立設されて回転軸７６が貫通する補助受け部７９を含んでもよい。
　図７（ａ）～図７（ｃ）に示されるように、円板状の偏心カム７５は、回転軸７６に偏心して取り付けられている。初期状態すなわちモータ７１の電源が遮断されている状態においては、上部測定プレート６１は、図７（ａ）に示されるように、バネ７７の付勢力により退避位置Ｐ１まで付勢されている。このとき、作動片６１ｅの接触面６１ｋは偏心カム７５の周面に接触し、偏心カム７５によって押し上げられている。作動片６１ｅは、回転軸７６から最も遠い位置に位置する。上部測定プレート６１が退避位置Ｐ１に位置するとき、水平板部６１ａの高さは、走行面４１上の外輪５１の上端面５１ａの高さよりも高い。すなわち、上部測定プレート６１は、外輪５１から離間する退避位置Ｐ１に位置する。
　モータ７１の駆動により回転軸７６が回転すると、図７（ｂ）に示されるように、上部測定プレート６１は、その自重により、偏心カム７５の周面に接触した状態で下降する。上部測定プレート６１は、下降途中である中間位置Ｐ２に位置する。中間位置Ｐ２では、作動片６１ｅの接触面６１ｋが偏心カム７５の周面に接触しているが、水平板部６１ａの高さは、走行面４１上の外輪５１の上端面５１ａの高さよりも高い。なお、図７（ｂ）及び図７（ｃ）は、外輪５１の上端面５１ａの高さ位置と偏心カム７５の状態との関係を模式的に説明するための図であり、外輪５１は仮想線で示され、偏心カム７５の位置に重畳するように図示されている。実際には、外輪５１及び偏心カム７５の軸方向（左右方向）から見て、外輪５１は、偏心カム７５とは異なる位置に（例えば偏心カム７５よりも前方且つ左右方向の内側に）配置される。したがって、外輪５１の上端面５１ａが接触する水平板部６１ａも、作動片６１ｅとは異なる位置に（例えば作動片６１ｅよりも前方且つ左右方向の内側に）配置される。水平板部６１ａの下面（外輪５１に接触する面）の高さは、作動片６１ｅの接触面６１ｋの高さと等しくてもよいが、異なっていてもよい。
　モータ７１の駆動により回転軸７６が更に回転すると、図７（ｃ）に示されるように、上部測定プレート６１は、水平板部６１ａが外輪５１の上端面５１ａに接触する接触位置Ｐ３に位置する。接触位置Ｐ３では、作動片６１ｅの接触面６１ｋが偏心カム７５の周面から離間しており、水平板部６１ａの高さは、外輪５１の上端面５１ａの高さと等しくなる。例えば、上部測定プレート６１を退避位置Ｐ１から接触位置Ｐ３まで移動させるために、回転軸７６は１８０度回転する。なお、偏心カム７５は円板状である場合に限られず、公知の偏心カムに採用され得る他の形状（非円形の形状等）であってもよい。
　上記構成により、上部測定プレート６１は、偏心カム７５を介してアクチュエータ７０の回転駆動に連動して移動する。上部測定プレート６１は、電源遮断時にはバネ７７の付勢力により退避位置Ｐ１まで上昇しており、モータ７１の駆動によって接触位置Ｐ３まで下降する。なお、上部測定プレート６１をソレノイド等のアクチュエータで直接押し下げることによって、上部測定プレート６１を退避位置から接触位置に下降させるようにしてもよい。また、上部測定プレート６１にバネ等の下端を直接取り付けることによって、接触位置から退避位置に上昇するように上部測定プレート６１を上方に付勢するようにしてもよい。
　図４に示されるように、下面部４０Ｂには、プレート位置検出部６０が設けられた位置において、他方の下面部４０Ｂに向けて張り出す矩形の内輪支持部４０Ｇが設けられている。上部測定プレート６１には、平面視において、内輪支持部４０Ｇに近付くにつれて前後方向の幅が小さくなるよう、一対の斜辺部６１ｂ（図６参照）が形成されている。斜辺部６１ｂの機能については後述する。
　続いて、下部測定プレート６２に関連する構成について説明する。下部測定プレート６２には、アクチュエータは設けられていない。下部測定プレート６２は、ベース部６５に取り付けられたバネ６７（図８参照）によって上方に付勢されている。バネ６７は、例えば引張コイルバネである。下部測定プレート６２は、外輪５１（走行車６）の進入によって下方に移動させられる。より詳細には、図５に示されるように、下面部４０Ｂには、ベース部６５が取り付けられた位置に対応して、矩形の開口部４２が形成されている。下部測定プレート６２は、直動ガイド６６を介してベース部６５に取り付けられ、ベース部６５に対してスライド可能な垂直板部６２ｃと、垂直板部６２ｃから水平に張り出して開口部４２内に配置される接触板部６２ａとを含む。垂直板部６２ｃ及び接触板部６２ａは、一体となって上下方向にスライドする。
　なお、図８及び図９では、図５及び図６で示された直径測定装置１００とは異なる（対角線上に位置する他方の）直径測定装置１００が示されている。一方の直径測定装置１００と他方の直径測定装置１００とは、例えば、左右方向に直交する仮想平面に関して対称な構造を有する。
　図５に示されるように、下部測定プレート６２は、初期状態において、外輪５１に接触可能な待機位置まで上方に付勢されている。この状態で、接触板部６２ａの上面は、下面部４０Ｂの走行面４１よりも僅かに上方に突出しており、走行面４１よりも僅かに高い。長方形状の接触板部６２ａの前部及び後部には、傾斜面６２ｂが形成されている。傾斜面６２ｂにより、初期状態における接触板部６２ａの前端及び後端の高さが、走行面４１よりも僅かに低くなっている。この構成により、走行面４１上を転動する外輪５１が、直径測定装置１００の領域に進入した際、接触板部６２ａ上にスムーズに載ることができるようになっている。
　下部測定プレート６２は、外輪５１の進入によって下方に移動させられる。接触板部６２ａは、外輪５１の下端面に接触した状態で、バネ６７の付勢力に抗して下方に移動する。
　上部検出器６３及び下部検出器６４は、測距センサである。例えば、上部検出器６３及び下部検出器６４として、例えば接触式リニアセンサが採用され得る。上部検出器６３は、上部測定プレート６１（例えば水平板部６１ａ）の高さ位置を検出可能である。下部検出器６４は、下部測定プレート６２（例えば接触板部６２ａ）の高さ位置を検出可能である。上部検出器６３及び下部検出器６４は、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の高さ位置を検出すると、例えば、走行車６の走行車コントローラ、システムコントローラ９０、又は走行車システム１に備えられた別の制御装置（図示せず）に、高さ位置を示す検出信号を送信する。走行車コントローラ、システムコントローラ９０又は制御装置は、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の高さ位置を取得し、外輪５１の直径を算出する。
　続いて、図８を参照して、直径測定装置１００における外輪５１の直径の測定方法について説明する。まず、直径測定装置１００の制御装置が、図示しないセンサにより、走行車６の到着を検出する。図８に示されるように、走行車６の内輪５５（走行ローラとは別の部分，別の走行ローラ）が、内輪支持部４０Ｇ上に載り、内輪支持部４０Ｇによって支持されている。これにより、走行車６の上下方向における姿勢が維持されている。外輪５１は下部測定プレート６２の接触板部６２ａ上に進入している。接触板部６２ａは僅かに下方に移動させられており、接触板部６２ａの上面は、走行面４１の高さにほぼ揃っている。内輪支持部４０Ｇが内輪５５を介して走行車６の自重（荷重）を受けているので、接触板部６２ａには、大きな荷重は加わっていない。
　したがって、外輪５１にも大きな荷重は加わっておらず、外輪５１が荷重によって変更することが防止されている。この状態で、モータ７１が駆動されて、上部測定プレート６１が下方に移動させられる。そして、外輪５１の下端面に接触板部６２ａが接触し、５１の上端面５１ａに水平板部６１ａが接触した状態で、上部検出器６３及び下部検出器６４による高さ位置の検出が行われ、制御装置等による直径の算出が行われる。直径の演算を行うタイミングは、走行車６の到着後、所定時間が経過した後でもよいし、上部検出器６３及び下部検出器６４による検出値が安定した時でもよい。
　走行車６が直径測定装置１００の位置に進入した際、走行車６の分岐ローラ５３（図３参照）が所定位置に位置せず、左方（又は右方。上部測定プレート６１に近付く方向）に突出している場合がある。下面部４０Ｂ上を外輪５１が転動している状態で、分岐ローラ５３の高さは、上部測定プレート６１の水平板部６１ａに干渉し得る。すなわち、水平板部６１ａの上下方向の可動範囲（退避位置Ｐ１から接触位置Ｐ３までの範囲）に、分岐ローラ５３が位置する。図９に示される例では、分岐ローラ５３は所定位置に位置しており、突出していない。万一、分岐ローラ５３が突出している場合には、分岐ローラ５３が水平板部６１ａの斜辺部６１ｂに接触しながら走行車６が移動することで、分岐ローラ５３を右方（又は左方）に引っ込ませることができる。水平板部６１ａに形成された斜辺部６１ｂは、万一分岐ローラ５３との干渉が生じた場合でも、その干渉状態を解消させて外輪５１の直径を支障なく測定することを可能とする。
　本実施形態の走行車システム１によれば、外輪５１の上方及び下方において、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２が外輪５１に接触する。上部検出器６３及び下部検出器６４によって上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の高さ位置が検出されることにより、外輪５１の直径が測定される。このように、２枚のプレートを外輪５１に接触させるだけでよいため、外輪５１の直径を簡単に測定することができる。従来のような光学式の測定とは異なり、物理的な接触を利用してプレートの高さ位置を検出しているため、直径を正確に測定することができる。また、上下２枚のプレートは、外輪５１の転動領域（通過領域）を避けた位置に配置されている。したがって、左右２枚のプレートを適用する場合等よりも、より一層、構成が簡素化されている。
　下部測定プレート６２は、外輪５１に接触可能な待機位置まで上方に付勢されており、外輪５１の進入によって下方に移動させられる。よって、下部測定プレート６２を上下動させるアクチュエータが不要となっており、直径測定装置１００がより簡素な構造となっている。
　上部測定プレート６１は、初期状態において、外輪５１から離間する接触位置Ｐ３まで上方に付勢されていている。よって、上部測定プレート６１を上下動させるアクチュエータ７０が故障した場合等であっても、上部測定プレート６１と外輪５１の衝突を防止することができる。
　内輪５５により走行車６の姿勢が維持された状態で、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２が外輪５１に接触する。よって、走行車６の自重等の荷重によって、外輪５１が変形することを防止できる。よって、外輪５１の直径をより正確に測定することができる。
　走行車６の走行のために本来備わっている構成である内輪５５を利用して、走行車６の姿勢が維持される。よって、外輪５１の直径を簡単かつ正確に測定することができる。
　直径測定装置１００は、走行レール４の途中に組み込まれているか、又は、走行レール４の延長上に設けられている。よって、直径測定装置１００の位置まで、走行レール４に沿って走行車６を移動させた後に、外輪５１の直径を測定すればよい。走行車６を走行レール４から外れた場所に移動させる必要がない。
　以上、本開示の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。例えば、上記実施形態では外輪５１の直径を測定する例を説明したが、直径測定装置１００は、内輪５５の直径を測定してもよい。走行車６において、外輪５１及び内輪５５の何れか一方が省略されてもよい。その場合には、外輪５１及び内輪５５の何れか他方が測定対象の走行ローラに相当する。その場合に、走行車６のうちの走行ローラ（外輪５１又は内輪５５）とは別の部分が、レール本体４０（走行レール４）の何れかの部分に支持されることにより、走行車６の姿勢が維持されてもよい。走行車６の姿勢が維持され、走行車６の自重（荷重）が上記別の部分に加わることで、走行ローラ（外輪５１又は内輪５５）の変形は防止される。よって、当該走行ローラの直径を正確に測定することができる。
　上記実施形態では、電源遮断時に、上部測定プレート６１がバネ７７の付勢力により退避位置Ｐ１まで付勢される（図７（ａ）参照）例について説明したが、上部測定プレート６１を上方に付勢する別の手段（付勢手段）が設けられてもよい。例えば、バネ７７を用いず、滑車と錘等を用いて上部測定プレート６１を上方に付勢してもよい。その他公知の付勢手段が、上部測定プレート６１に対して適用されてもよい。下部測定プレート６２を上方に付勢するための構成についても、バネ６７に限られない。バネ６７を用いず、滑車と錘等を用いて下部測定プレート６２を上方に付勢してもよい。その他公知の付勢手段が、下部測定プレート６２に対して適用されてもよい。
　上記実施形態では、別の走行ローラである内輪５５により走行車６の姿勢が維持される例について説明したが、走行ローラとは違う走行車６の別の部分により、走行車６の姿勢が維持されてもよい。
　検出器として、上部検出器６３及び下部検出器６４が別々に設けられる例について説明したが、１つの検出器が、上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の高さ位置を検出してもよい。
　上部測定プレート６１及び下部測定プレート６２の形状は、適宜に変更可能である。上部測定プレート６１に対するアクチュエータ７０が省略されてもよい。上部測定プレート６１が、上記実施形態の下部測定プレート６２と同様、下方に付勢された状態で待機しており、外輪５１（走行ローラ）の進入によって押し上げられて（上方に移動させられて）もよい。
　直径測定装置１００は、走行レール４から外れた場所に設けられてもよい。
　上記実施形態では、走行車６を吊り下げて走行させるための走行レール４に適用した例を説明したが、本発明は、地面に配置される走行レール内を走行車が走行する走行車システムにも適用することが可能である。上記実施形態では、測定ユニット１１０による測定の際、走行車６を走行部５０の駆動により走行させたが、これに代えてもしくは加えて、他の装置等により走行車６を走行（移動）させてもよい。
　１…走行車システム、４…走行レール（レール）、６…走行車、４０Ｂ…下面部、４１…走行面、４２…開口部、５１…外輪（走行ローラ）、５５…内輪（別の走行ローラ）、６１…上部測定プレート、６２…下部測定プレート、６３…上部検出器、６４…下部検出器、６７…バネ、７０…アクチュエータ、７１…モータ、７２…ギヤ、７３…カップリング、７４…ラックギヤ、７５…偏心カム、７６…回転軸、１００…直径測定装置（測定装置）、１１０…測定ユニット、Ｐ１…退避位置、Ｐ３…接触位置。

Claims (6)

  1. 　走行ローラを有する走行車がレール上を走行する走行車システムであって、
    　前記走行ローラに上方から接触する上部測定プレートと、
    　前記走行ローラに下方から接触する下部測定プレートと、
    　前記上部測定プレート及び前記下部測定プレートの高さ位置を検出する検出器と、を有する測定装置が設けられている、走行車システム。
  2. 　前記下部測定プレートは、前記走行ローラに接触可能な待機位置まで上方に付勢されており、前記走行ローラの進入によって下方に移動させられる、請求項１に記載の走行車システム。
  3. 　前記上部測定プレートは、前記走行ローラから離間する退避位置まで上方に付勢されている、請求項１又は２に記載の走行車システム。
  4. 　前記走行車のうちの前記走行ローラとは別の部分により前記走行車の姿勢が維持された状態で、前記上部測定プレート及び前記下部測定プレートが前記走行ローラに接触する、請求項１～３の何れか一項に記載の走行車システム。
  5. 　前記別の部分は、前記走行ローラとは別の走行ローラである、請求項４に記載の走行車システム。
  6. 　前記測定装置は前記レールの途中に組み込まれているか、又は、前記レールの延長上に設けられている、請求項１～５の何れか一項に記載の走行車システム。
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