WO2022215345A1 - 台車昇降装置 - Google Patents

台車昇降装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2022215345A1
WO2022215345A1 PCT/JP2022/005178 JP2022005178W WO2022215345A1 WO 2022215345 A1 WO2022215345 A1 WO 2022215345A1 JP 2022005178 W JP2022005178 W JP 2022005178W WO 2022215345 A1 WO2022215345 A1 WO 2022215345A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
elevating
rail
maintenance step
lifting
lifting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2022/005178
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
▲イン▼ 崔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to US18/285,322 priority Critical patent/US20240182265A1/en
Priority to CN202280019849.6A priority patent/CN116963974A/zh
Priority to JP2023512838A priority patent/JP7485208B2/ja
Publication of WO2022215345A1 publication Critical patent/WO2022215345A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
    • B66B9/00—Kinds or types of lifts in, or associated with, buildings or other structures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
    • B66B5/00—Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators
    • B66B5/0087—Devices facilitating maintenance, repair or inspection tasks
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04G—SCAFFOLDING; FORMS; SHUTTERING; BUILDING IMPLEMENTS OR AIDS, OR THEIR USE; HANDLING BUILDING MATERIALS ON THE SITE; REPAIRING, BREAKING-UP OR OTHER WORK ON EXISTING BUILDINGS
    • E04G1/00—Scaffolds primarily resting on the ground
    • E04G1/15—Scaffolds primarily resting on the ground essentially comprising special means for supporting or forming platforms; Platforms
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3206—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a truck lifting device.
  • Patent Literature 1 discloses a traveling facility (carriage lifting device) that relays the movement of a carrier between a first rail and a second rail that are laid at positions with different heights. Regular maintenance is performed on such traveling equipment. Since the traveling equipment is located at a high place, the worker arranges an aerial work vehicle and mounts the lift of the aerial work vehicle to carry out the maintenance.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide a carriage lifting device capable of improving workability and reducing the size of the entire carriage system.
  • a trolley lifting device is a first lifting rail that is provided so as to be able to move up and down corresponding to each of two laying rails that are laid in parallel in the same plane while being suspended from the ceiling. and a second elevating rail, a first elevating drive section for elevating the first elevating rail, a second elevating drive section for elevating the second elevating rail, and a first surface orthogonal to the arrangement direction of the two laying rails.
  • first body portion supporting the first elevating rail along the first surface so as to be movable in the elevating direction; and a second surface facing the first surface in the arrangement direction;
  • a second main body part that supports the second elevating rail movably along the elevating direction, and a maintenance step that spans the first main body part and the second main body part and has a boarding surface on which a worker can board.
  • a pair of support frames that are bridged so as to sandwich the elevating space in which the first elevating rail and the second elevating rail extend in the extending direction of the first elevating rail and the second elevating rail. are placed.
  • the carriage lifting device with this configuration is provided with a support frame on which a maintenance step that a worker can get on when performing maintenance is suspended. Further, since the support frames are arranged so as to sandwich the elevating space, they do not interfere with elevating of the first elevating rail and the second elevating rail. As a result, maintenance work can be performed simply by placing the maintenance step on the support frame. In addition, if the operator gets on the above maintenance steps, the maintenance work can be performed without getting on the lift of the aerial work vehicle. Thereby, workability can be improved. Furthermore, in the carriage lifting device of this configuration, it is not necessary to secure an entrance space for the lift of the high lift work vehicle around the carriage lifting device. As a result, it is possible to reduce the overall size of the carriage system including the carriage lifting device.
  • the boarding surface is in an upright position perpendicular to the arrangement direction, so that the boarding surface is retracted from the lifting space, and the boarding surface is perpendicular to the vertical direction.
  • a maintenance step may be provided movably provided between an advance state in which the robot is advanced into the lifting space by being placed on the substrate.
  • the maintenance step is supported by the support frame at its upper end in the retracted state, and is slidable in the vertical direction with respect to the support frame in the standing posture, It may be provided so as to be rotatable so as to be in the advanced state when the lower end thereof is slid to the support frame.
  • the maintenance step in the advanced state, includes a first maintenance step provided to advance into the lifting space of the first lifting rail and a maintenance step provided to advance into the lifting space of the second lifting rail. and a second maintenance step provided as follows, wherein the first maintenance step and the second maintenance step may be arranged in a central portion between the first body portion and the second body portion in the retracted state. .
  • the maintenance step arranged in a standing posture between the first main body portion and the second main body portion is a wall that separates the elevating space of the first elevating rail and the elevating space of the second elevating rail. Become. As a result, even if one of the elevating space of the first elevating rail and the elevating space of the second elevating rail operates while the other of the first elevating rail and the second elevating rail operates, the safety of the operator is ensured. can be ensured.
  • a truck lifting device includes a control unit that controls a first lifting drive unit and a second lifting drive unit, a stopper attached to a support frame for maintaining a maintenance step in a retracted state, and a support frame. and a detection unit that detects whether or not the stopper is attached to the may be restricted to drive.
  • the support frame may be provided with a locking portion that locks the boarding surface of the maintenance step in the advanced state.
  • FIG. 1 is a plan view showing a part of a carriage system in which a carriage lifting device according to one embodiment is arranged.
  • FIG. 2 is a front view of the first lifting section of the carriage lifting device.
  • FIG. 3 is a front view of the second lifting section of the carriage lifting device.
  • FIG. 4 is a perspective view of the carriage lifting device in which the maintenance step is in a retracted state.
  • FIG. 5 is a perspective view of the carriage lifting device in which the maintenance step is advanced.
  • FIG. 6 is a block diagram showing the functional configuration of the truck lifting device.
  • FIG. 7 is a perspective view showing the maintenance step in the retracted state.
  • FIG. 8A is a perspective view when the maintenance step in the retracted state is pulled up.
  • FIG. 8(B) is an enlarged perspective view showing the vicinity of the lower end of the side surface of the maintenance step shown in FIG. 8(A).
  • FIG. 9A is a perspective view when the maintenance step in the retracted state is pulled up and then rotated.
  • FIG. 9(B) is an enlarged perspective view showing the vicinity of the lower end of the side surface of the maintenance step shown in FIG. 9(A).
  • FIG. 10A is a perspective view showing one maintenance step in the advanced state.
  • FIG. 10B is a perspective view showing an enlarged side portion of the support frame.
  • FIG. 11 is a perspective view showing the maintenance step in the advanced state.
  • a carriage system 1 shown in FIG. 1 using a carriage lifting device 20 of one embodiment is a system that conveys an article 90 using a carriage 10 that moves along a running rail 5 suspended from a ceiling or the like.
  • Examples of the article 90 include containers such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) that stores a plurality of semiconductor wafers, a reticle pod that stores glass substrates, and general parts.
  • the carriage system 1 includes traveling rails (laying rails) 5A that form a plurality of intrabays 3A in which equipment for processing articles 90, etc. are arranged, and traveling rails that form an interbay 3B that connects the plurality of intrabays 3A. 5B and.
  • the travel rail 5A that constitutes the intrabay 3A of this embodiment is laid at a position higher than the travel rail 5B that constitutes the interbay 3B.
  • the carriage lifting device 20 of this embodiment is provided at the end of the travel rail 5A that constitutes the intrabay 3A, and moves the carriage 10 between the travel rail 5A and the travel rail 5B. It is relayed by the second elevating rail 21B (see FIGS. 2 to 4).
  • the X direction, Y direction and Z direction that are orthogonal to each other are set in the drawings other than FIG.
  • the X direction is the extending direction of the running rail 5A, the running rail 5B, the first elevating rail 21A and the second elevating rail 21B
  • the Y direction is the arrangement direction of the running rail 5A (conveyance carriage).
  • the Z direction is the lifting direction of the first lifting rail 21A and the second lifting rail 21B
  • the Z direction is also the vertical direction.
  • the carriage 10 that is lifted and lowered by such a carriage lifting device 20 will be described.
  • the carriage 10 has a travel drive section 13, a horizontal drive section 14, a rotation drive section 15, an elevation drive section 17, an elevation device 18, and a holding device 19. ing.
  • the travel drive unit 13 moves the carriage 10 along the travel rails 5 .
  • the travel drive unit 13 is arranged in the space formed by the travel rails 5 .
  • the travel drive unit 13 drives rollers (not shown) that travel on the travel rail 5 .
  • a horizontal drive section 14 is connected to the lower portion of the travel drive section 13 via a shaft 13A.
  • the horizontal driving unit 14 moves the rotation driving unit 15, the lifting driving unit 17, and the lifting device 18 in a direction (Y direction) perpendicular to the extending direction (X direction) of the running rail 5 within a horizontal plane.
  • the rotation drive section 15 rotates the elevation drive section 17 and the elevation device 18 in a horizontal plane.
  • the elevation drive unit 17 raises and lowers the elevation device 18 by winding up and extending the four belts.
  • the lifting device 18 is provided so as to be able to be lifted and lowered by the lifting drive unit 17 and functions as a lifting platform for the carriage 10 .
  • a holding device 19 holds an article 90 .
  • the carriage lifting device 20 of the carriage 10 is arranged at the end of two running rails 5A, 5A which are arranged in parallel with each other in the same plane and are laid in a state of being suspended from the ceiling.
  • the carriage is raised and lowered by raising and lowering 21A and the second raising and lowering rails 21B.
  • the carriage lifting device 20 includes a first lifting device 20A, a second lifting device 20B, a pair of support frames 40, 40, and two maintenance steps 50, 50 (second A first maintenance step 50A and a second maintenance step 50B), a stopper 60 (see FIG. 7), and a controller (control section) 80 are provided.
  • the first lifting device 20A includes a first lifting rail 21A, a first lifting portion 22A, a first body portion 24A, a first lifting drive portion 25A, and a first stopper unit 27A. ,have.
  • the first elevating rail 21A is one rail provided corresponding to each of the two running rails 5A, 5A.
  • the first elevating rail 21A moves vertically between the end of the running rail 5A and the end of the running rail 5B spaced vertically and horizontally from the running rail 5A.
  • the first elevating rail 21A has a position where the first elevating rail 21A is connected to the traveling rail 5A (that is, a position where the carriage 10 can travel between the traveling rail 5A and the first elevating rail 21A), and a first elevation rail 21A.
  • the rail 21A is provided movably between a position where the rail 21A is connected to the travel rail 5B (that is, a position where the carriage 10 can move between the travel rail 5B and the first elevating rail 21A).
  • the first elevating rail 21A is fixed to the first elevating section 22A.
  • the first elevating section 22A is attached to the first body section 24A extending in the vertical direction via a linear guide 23A. 22 A of 1st raising/lowering parts are provided so that the movement to a perpendicular direction is possible with respect to 24 A of 1st main-body parts.
  • the first body portion 24A supports the first lifting portion 22A and the first lifting drive portion 25A.
  • the first body portion 24A has a first surface FA perpendicular to the arrangement direction (Y direction) of the two running rails 5A, 5A, and moves the first elevating rail 21A in the elevating direction along the first surface FA. Support possible.
  • the first body portion 24A houses a controller 80, which will be described in detail later, and also has an emergency stop button 85 and the like.
  • the first elevation drive section 25A is supported by the first body section 24A.
  • the first elevation driving section 25A vertically moves the first elevation rail 21A by moving the first elevation section 22A along the first body section 24A (hereinafter simply referred to as "first elevation driving section 25A"). raises and lowers the first elevating rail 21A.”).
  • An example of the first elevation drive unit 25A is a servomotor.
  • the driving force of the first elevation driving section 25A is transmitted to the first elevation section 22A via the timing belt 26A.
  • the encoder is provided in 25 A of 1st raising/lowering drive parts. The encoder can detect states such as the amount of rotation, rotation speed, and rotation direction of the servomotor, for example.
  • the driving of the first elevation drive unit 25A is controlled by the controller 80 .
  • the first stopper unit 27A is provided at the end of the running rail 5A, the end of the running rail 5B, and the both ends of the first elevating rail 21A.
  • the first stopper unit 27A includes a stopper, a stopper drive section, a housing, and the like.
  • the first stopper unit 27A is connected when the end of the travel rail 5A and one end of the first elevating rail 21A are not in a connected state (the state in which the carriage 10 can move), and when the end of the travel rail 5B and the first elevating rail 21A are not connected.
  • the other end of the rail 21A is not in a connected state, the travel of the carriage 10 is restricted. This prevents the carriage 10 from falling from the end of the travel rail 5A, the end of the travel rail 5B, and the both instead of the first elevating rail 21A.
  • the second lifting device 20B includes a second lifting rail 21B, a second lifting portion 22B, a second body portion 24B, a second lifting driving portion 25B, and a second stopper unit 27B.
  • the second elevating rail 21B is the other rail provided corresponding to each of the two running rails 5A, 5A.
  • the controller 80 and the emergency stop button 85 provided on the first body portion 24A of the first lifting device 20A are not provided on the second body portion 24B of the second lifting device 20B. Except for this, the configuration of the second lifting device 20B matches the configuration of the first lifting device 20A.
  • each of the functional configurations of the second lifting rail 21B, the second lifting section 22B, the linear guide 23B, the second body section 24B, the second surface FB, the second lifting drive section 25B, the timing belt 26B, and the second stopper unit 27B. is common to the functional configuration of the first elevating rail 21A, the first elevating section 22A, the linear guide 23A, the first body section 24A, the first surface FA, the first elevating drive section 25A, the timing belt 26A, and the first stopper unit 27A. Therefore, detailed description of the configuration of the second lifting device 20B is omitted.
  • the first lifting device 20A moves the carriage 10 traveling in one direction (D1 direction) on the traveling rail 5B to the first lifting rail 21A as shown in FIG.
  • This is a lifting device exclusively for going up that moves upward to the connection position with the rail 5A.
  • the second lifting device 20B moves the carriage 10 traveling in one direction (D2 direction) on the traveling rail 5A to the second lifting rail 21B as shown in FIG. , to the connecting position with the running rail 5B.
  • the pair of support frames 40, 40 span the first body portion 24A and the second body portion 24B.
  • the pair of support frames 40, 40 are placed on the overhanging portion 28A provided on the first main body portion 24A and the overhanging portion 28B provided on the second main body portion 24B, thereby forming the first main body portion 24A and the second main body portion 24B. It is spanned over the two main body portions 24B.
  • a maintenance step 50 having a boarding surface 54 on which a worker can board is mounted on the pair of support frames 40 , 40 .
  • a pair of support frames 40, 40 are provided in an elevating space S1 in which the first elevating rail 21A elevates and the second elevating rail 21B elevates in the extending direction (X direction) of the first elevating rail 21A and the second elevating rail 21B. They are arranged so as to sandwich the elevating space S2. In other words, the pair of support frames 40, 40 do not hinder the elevation of the carriage 10 by the first elevating rails 21A and the elevation of the carriage 10 by the second elevating rails 21B.
  • the support frame 40 includes a flat plate portion 41, a mounting portion 43, a locking portion 45, an accommodating portion 47, a stopper 60, and switches (detecting portions) 70 and 70. and have
  • the flat plate portion 41 is a flat plate-like member having a placement surface 41a on which an operator can ride.
  • the mounting portion 43 is a portion on which the maintenance step 50 is mounted, and a plurality of (eg, four) mounting portions 43 are formed on the side portion 41 b of the flat plate portion 41 .
  • the mounting portion 43 is formed with a mounting surface 43a (see FIG. 10B) for supporting the maintenance step 50. As shown in FIG.
  • the maintenance step 50 is stretched over the support frame 40 by being placed on the placement portion 43 .
  • the locking part 45 is provided so as to be able to advance in the X direction so as to come into contact with the boarding surface 54 of the maintenance step 50 when the maintenance step 50 is placed on the support frame 40 (see FIG. 11). That is, the locking portion 45 locks the maintenance step 50 from above. The locking portion 45 prevents the maintenance step 50 from being lifted upward in the lifting direction of the first lifting rail 21A and the second lifting rail 21B.
  • the storage unit 47 stores two maintenance steps 50, 50 (first maintenance step 50A and second maintenance step 50B) in the retracted state.
  • the retracted state in the maintenance step 50 will be detailed later.
  • the housing portion 47 has a side portion 47a, a bottom portion 47b, a guide portion 47c, and a partition portion 47d.
  • the side portion 47a is formed so as to face the side end portion 52 of the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the bottom surface portion 47b is formed to face the lower end portion 53 of the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the bottom portion 47b supports the lower end portion 53 of the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the guide portion 47c is formed to face the bottom surface 55 of the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the guide portion 47c guides the bottom surface 55 of the maintenance step 50 movable from the advanced state to the retracted state and the bottom surface 55 of the maintenance step 50 movable from the retracted state to the advanced state.
  • the partition portion 47d is spanned between the pair of support frames 40,40.
  • the partition part 47d is arranged at a position sandwiched between the two maintenance steps 50, 50 (the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B) in the retracted state.
  • the stopper 60 is detachably provided with respect to the support frame 40 .
  • a stopper 60 is attached to the support frame 40 to maintain the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the stopper 60 has a flat plate portion 61 , a restricting portion 63 and a projecting portion 65 .
  • the flat plate portion 61 is formed in a rectangular shape when viewed from above. When attached to the support frame 40, the flat plate portion 61 covers the flat plate portion 41 of the support frame 40 and part of the upper end portion 51 of the maintenance step 50 in the retracted state.
  • the stopper 60 is fixed to the support frame 40 by screws 67 inserted into screw holes provided in the flat plate portion 61 .
  • the protruding portion 65 is formed on the rear surface of the flat plate portion 61, and contacts the switches 70, 70 so that the switches 70, 70 are turned on in the above-described mounting state.
  • the switches 70, 70 detect whether or not the stopper 60 is attached to the support frame 40.
  • the switches 70 , 70 are contact switches, for example, and are provided so as to be contactable by the projecting portion 65 of the stopper 60 as described above.
  • a controller 80 acquires the detection result of the stopper 60 by the switches 70 , 70 .
  • the maintenance step 50 includes a retracted state (see FIG. 4) in which the boarding surface 54 is evacuated from the elevation spaces S1 and S2 by setting the boarding surface 54 to a standing posture perpendicular to the Y direction (arrangement direction), ) in which it is placed on the support frame 40 so as to intersect perpendicularly with ), and an advanced state (see FIG. 5) in which it advances into the elevating spaces S1 and S2.
  • the maintenance step 50 includes a first maintenance step 50A provided to advance into the lifting space S1 of the first lifting rail 21A and a second maintenance step 50A provided to advance to the lifting space S2 of the second lifting rail 21B. and a maintenance step 50B.
  • the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B are arranged in the central portion between the first main body portion 24A and the second main body portion 24B in the retracted state.
  • the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B are collectively referred to as the maintenance step 50.
  • FIG. 1 the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B are collectively referred to as the maintenance step 50.
  • the maintenance step 50 includes an upper end portion 51 that becomes an upper end portion, side end portions 52 and 52 that become side end portions, and a lower end portion that becomes a lower end portion in the retracted state. It has a portion 53 , a boarding surface 54 on which a worker rides in the advanced state, a bottom surface 55 opposite to the boarding surface 54 , and a handle 59 .
  • a reinforcement portion 55A is arranged on the bottom surface 55 at a portion that contacts when the maintenance step 50 is placed on the support frame 40 .
  • the reinforcing portion 55A is a plate-like member extending along the side end portion 52.
  • the handle 59 is provided on the upper end portion 51, and the attachment portion to the upper end portion 51 is provided so as to be rotatable. This makes it easier for the operator to hold the maintenance step 50 in any rotational state.
  • the side ends 52, 52 are formed with grooves 52a.
  • the groove portion 52a is provided so as to be engaged with pins 49A and 49B provided on the side surface portion 41b of the support frame 40 via a flat plate 49.
  • the maintenance step 50 is supported at its upper end 51 by the pins 49A and 49B provided on the support frame 40 in the retracted state, and is slidable in the Z direction with respect to the support frame 40 in the upright posture. is provided.
  • the maintenance step 50 is rotatably provided so that when the lower end portion 53 is slid to the position of the support frame 40, the maintenance step 50 is in the advanced state (see FIG. 4).
  • the controller 80 shown in FIGS. 2 and 6 controls each part of the carriage lifting device 20 .
  • the controller 80 is provided in the first main body portion 24A of the carriage lifting device 20 .
  • the controller 80 has a CPU (Central Processing Unit), RAM (Random Access Memory), ROM (Read Only Memory), and the like.
  • hardware such as a CPU, RAM, and ROM cooperate with software such as programs to perform various controls.
  • the controller 80 restricts the driving of the first elevation drive section 25A and the second elevation drive section 25B when the switches 70, 70 detect that the stopper 60 is not attached. More specifically, when the stopper 60 is removed from the support frame 40 and the projecting portion 65 of the stopper 60 is not in contact with the switches 70, 70, the first elevation drive section 25A and the second elevation drive section 25B are driven. prohibited.
  • the operator mounts the support frame 40 of the truck lift 20 using, for example, a ladder or a passage accessible to the truck lift 20 .
  • a worker removes the stopper 60 fixed to the support frame 40 by the screw 67 . This makes it possible to move the maintenance step 50 upward.
  • the operator grasps the handle 59 of the maintenance step 50 in the retracted state shown in FIG. 7, and lifts the maintenance step 50 upward as shown in FIG. 8(A).
  • the operator slides the maintenance step 50 upward until the lower end of the groove 52a is locked by the pin 49A.
  • the operator rotates the maintenance step 50 to contact and support the mounting surface 43a of the mounting section 43 shown in FIG. 10(B).
  • the maintenance step 50 can be set to the advance state.
  • the operator holds the handle 59 of the maintenance step 50 shown in FIG.
  • the maintenance step 50 is rotated so that the As shown in FIG. 8A, the operator puts the maintenance step 50 in an upright state, moves the maintenance step 50 downward along the storage portion 47, and stores it in the storage portion 47 as shown in FIG.
  • a cushioning material (not shown) serving as a cushion is provided at a portion of the accommodation portion 47 that is in contact with the maintenance step 50 .
  • the carriage lifting device 20 of the above-described embodiment is provided with a pair of support frames 40, 40 over which a maintenance step 50 on which an operator can ride is suspended. Further, since the pair of support frames 40, 40 are arranged so as to sandwich the elevating spaces S1, S2, they do not hinder the elevation of the first elevating rail 21A and the second elevating rail 21B. As a result, maintenance work can be performed simply by placing the maintenance step 50 on the support frame 40 . In addition, the operator can perform maintenance work by getting on the maintenance step 50 without getting on the lift of the vehicle for work at height. Thereby, workability can be improved. Furthermore, in the carriage lifting device 20 having this configuration, there is no need to secure an entry space for the lift of the high lift work vehicle in the carriage lifting device 20 . As a result, the overall size of the carriage system including the carriage lifting device 20 can be made compact.
  • the maintenance step 50 of the above-described embodiment consists of a retracted state in which the boarding surface 54 is in a standing posture perpendicular to the Y direction (arrangement direction) and is retracted from the elevation spaces S1 and S2, and a state in which the boarding surface 54 is perpendicular to the ascending/descending direction. , and an advanced state in which it advances into the elevating spaces S1 and S2 by being placed on the support frame 40, and is provided so as to be movable between the advanced state.
  • an advanced state in which it advances into the elevating spaces S1 and S2 by being placed on the support frame 40, and is provided so as to be movable between the advanced state.
  • the maintenance step 50 of the above-described embodiment is supported by the support frame 40 at its upper end 51, and is vertically slidable with respect to the support frame 40 in an upright posture. It is rotatably provided so that when its lower end portion 53 is slid to the support frame 40, it will be in the advanced state as shown in FIG.
  • the maintenance step 50 having such a configuration, the operator can shift from the retracted state to the advanced state by a simple operation of pulling the maintenance step 50 upward and then tilting it toward the support frame 40 .
  • the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B of the above embodiment are arranged in the central portion between the first main body portion 24A and the second main body portion 24B in the retracted state.
  • the maintenance step 50 which is arranged in a standing posture between the first body portion 24A and the second body portion 24B, moves up and down the first lifting rail 21A as shown in FIGS. It becomes a wall that partitions the space S1 and the elevating space S2 of the second elevating rail 21B.
  • the carriage lifting device 20 of the above embodiment includes a stopper 60 attached to the support frame 40 to maintain the maintenance step 50 in the retracted state, and a stopper for the support frame 40. and switches 70, 70 for detecting whether or not 60 is attached.
  • the controller 80 restricts the driving of the first elevation driving section 25A and the second elevation driving section 25B when the switches 70, 70 detect that the stopper 60 is not attached.
  • the stopper 60 is removed by the operator, that is, when there is a high possibility that the operator is performing maintenance work on the carriage lifting device 20, the first lifting drive section 25A is moved to the first lifting rail. 21A and the second lifting drive section 25B are prohibited from lifting the second lifting rail 21B, the safety of the operator can be ensured.
  • a locking portion 45 for locking the maintenance step 50 on the boarding surface 54 side is provided. This prevents the maintenance step 50 from rising from the support frame 40 even if some force acts on the maintenance step 50 from below, thereby ensuring the safety of the operator.
  • the carriages 10, 10 traveling on the two traveling rails 5A, 5A and the traveling rails 5B, 5B arranged in the same plane travel in opposite directions.
  • the first lifting section 22A is used exclusively for going up
  • the second lifting section 22B is used as a lifting device exclusively for going down
  • the present invention is not limited to this.
  • the carriages 10, 10 running on the two running rails 5A, 5A and the running rails 5B, 5B arranged in the same plane run in the same direction, and the first lifting part 22A and the second lifting part 22A
  • the section 22B may be used exclusively for uplink or downlink.
  • the controller 80 is provided in the first main body portion 24A. You may make it connect so that communication may be carried out by a cable or radio
  • the first maintenance step 50A and the second maintenance step 50B in the retracted state are arranged in a standing posture between the first main body portion 24A and the second main body portion 24B.
  • the present invention is not limited to this.
  • the first maintenance step 50A may be retracted along the first main body portion 24A
  • the second maintenance step 50B may be retracted along the second main body portion 24B.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
  • Handcart (AREA)

Abstract

第一昇降レール（２１Ａ）及び第二昇降レール（２１Ｂ）と、第一昇降レール（２１Ａ）を昇降させる第一昇降駆動部（２５Ａ）と、第二昇降レール（２１Ｂ）を昇降させる第二昇降駆動部（２５Ｂ）と、第一面（ＦＡ）に沿って第一昇降レール（２１Ａ）を昇降方向に移動可能に支持する第一本体部（２４Ａ）と、第一面（ＦＡ）に対向する第二面（ＦＢ）に沿って第二昇降レール（２１Ｂ）を昇降方向に移動可能に支持する第二本体部（２４Ｂ）と、第一本体部（２４Ａ）及び第二本体部（２４Ｂ）に掛け渡されるメンテナンスステップ（５０）が掛け渡される一対の支持フレーム（４０，４０）とを備える。一対の支持フレーム（４０，４０）は、第一昇降レール（２１Ａ）及び第二昇降レール（２１Ｂ）の延在方向において、昇降空間（Ｓ１，Ｓ２）を挟むように配置されている。

Description

台車昇降装置
　本発明の一側面は、台車昇降装置に関する。
　例えば、特許文献１には、互いに高さが異なる位置に敷設された第一レールと第二レールとの間の搬送車の移動を中継する、走行設備（台車昇降装置）が開示されている。このような走行設備では、定期的なメンテナンスが実施される。走行設備は、高所に位置しているので、作業者は、高所作業車を手配し、高所作業車のリフトに搭乗してメンテナンスを実施する。
特開２０１９－２１４４３８号公報
　ところが、高所作業車を用いての作業は、メンテナンスしたい箇所ごとにリフトを移動させながら行われるので作業性に劣る。また、高所作業車を用いて作業を実施する場合、台車昇降装置の周囲にリフトの進入空間を確保しておく必要があるので、台車昇降装置を含む搬送台車システム全体のサイズが増大する。
　そこで、本発明の一側面の目的は、作業性を向上させることができると共に搬送台車システム全体のサイズをコンパクト化できる、台車昇降装置を提供することにある。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置は、天井に吊り下げられた状態で同一平面内において平行に敷設される二本の敷設レールのそれぞれに対応して昇降可能に設けられる、第一昇降レール及び第二昇降レールと、第一昇降レールを昇降させる第一昇降駆動部と、第二昇降レールを昇降させる第二昇降駆動部と、二本の敷設レールの配列方向に直交する第一面を有し、第一面に沿って第一昇降レールを昇降方向に移動可能に支持する第一本体部と、第一面に対して配列方向に対向する第二面を有し、第二面に沿って第二昇降レールを昇降方向に移動可能に支持する第二本体部と、第一本体部及び第二本体部に掛け渡されると共に、作業者が搭乗可能な搭乗面を有するメンテナンスステップが掛け渡される一対の支持フレームと、を備え、一対の支持フレームは、第一昇降レール及び第二昇降レールの延在方向において、第一昇降レール及び第二昇降レールが昇降する昇降空間を挟むように配置されている。
　この構成の台車昇降装置では、作業者がメンテナンスをするときに搭乗可能なメンテナンスステップが掛け渡される支持フレームが設けられている。そして、この支持フレームは、昇降空間を挟むように配置されているので第一昇降レール及び第二昇降レールの昇降を阻害することがない。これにより、支持フレームにメンテナンスステップを載置するだけで、メンテナンス作業が可能となる。また、作業者は、上記のメンテナンスステップに搭乗すれば、高所作業車のリフトに搭乗しなくても、メンテナンス作業が可能になる。これにより、作業性を向上させることができる。更に、この構成の台車昇降装置では、台車昇降装置の周囲に高所作業車のリフトの進入空間を確保しておく必要もない。これにより、台車昇降装置を含む搬送台車システム全体サイズのコンパクト化を図ることができる。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置では、搭乗面を配列方向に直交する起立姿勢にすることで昇降空間から退避させる退避状態と、搭乗面が鉛直方向と直交するように搭乗面を支持フレームに載置することで昇降空間に進出させる進出状態と、の間で可動可能に設けられている、メンテナンスステップを更に備えてもよい。この構成では、メンテナンス時に、例えば保管場所等からメンテナンスステップを持ってきて設置する手間を省くことができる。これにより、作業性がより一層向上する。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置では、メンテナンスステップは、退避状態においてその上端部が支持フレームに支持されると共に、起立姿勢で支持フレームに対して鉛直方向にスライド可能に設けられており、その下端部を支持フレームにまでスライドさせたときに、進出状態となるように回動可能に設けられていてもよい。この構成では、作業者は、メンテナンスステップを上方に引き上げた後、支持フレームに向けて倒すだけの簡易な作業で、退避状態から進出状態にすることができる。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置では、メンテナンスステップは、進出状態において、第一昇降レールの昇降空間に進出するように設けられる第一メンテナンスステップと、第二昇降レールの昇降空間に進出するように設けられる第二メンテナンスステップと、を有し、第一メンテナンスステップ及び第二メンテナンスステップは、退避状態において、第一本体部と第二本体部との間の中央部に配置されてもよい。この構成では、作業者が引き上げるメンテナンスステップのサイズを小さくすることができるので、作業者による取り扱いが容易となる。また、退避状態において、第一本体部と第二本体部との間に起立姿勢で配置されるメンテナンスステップは、第一昇降レールの昇降空間と第二昇降レールの昇降空間とを区画する壁となる。これにより、第一昇降レールの昇降空間及び第二昇降レールの昇降空間の一方で作業中に、第一昇降レール及び第二昇降レールの他方が仮に作動した場合であっても、作業者の安全を確保することができる。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置は、第一昇降駆動部及び第二昇降駆動部を制御する制御部と、メンテナンスステップを退避状態に維持するために支持フレームに取り付けられるストッパと、支持フレームに対するストッパの取り付けの有無を検知する検知部と、を更に備え、制御部は、検知部がストッパが取り付けられていないことを検知しているときに、第一昇降駆動部及び第二昇降駆動部が駆動することを規制してもよい。この構成では、作業者によってストッパが取り外された場合には、第一昇降駆動部及び第二昇降駆動部の昇降が禁止されるので、作業者の安全を確保することができる。
　本発明の一側面に係る台車昇降装置では、支持フレームには、進出状態にあるメンテナンスステップの搭乗面を係止する係止部が設けられていてもよい。この構成では、メンテナンスステップの下方から何らかの力が作用した場合であってもメンテナンスステップが支持フレームから浮き上がることが防止されるので、作業者の安全を確保することができる。
　本発明の一側面によれば、作業性を向上させることができると共に搬送台車システム全体のサイズをコンパクト化できる。
図１は、一実施形態に係る台車昇降装置が配備される搬送台車システムの一部を示す平面図である。 図２は、台車昇降装置の第一昇降部を正面に見た正面図である。 図３は、台車昇降装置の第二昇降部を正面に見た正面図である。 図４は、メンテナンスステップが退避状態にある台車昇降装置の斜視図である。 図５は、メンテナンスステップが進出状態にある台車昇降装置の斜視図である。 図６は、台車昇降装置の機能構成を示したブロック図である。 図７は、退避状態にあるメンテナンスステップを示した斜視図である。 図８（Ａ）は、退避状態にあるメンテナンスステップを引き上げたときの斜視図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示されるメンテナンスステップの側面部の下端部近傍を拡大して示した斜視図である。 図９（Ａ）は、退避状態にあるメンテナンスステップを引き上げた後、回動させたときの斜視図である。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示されるメンテナンスステップの側面部の下端部近傍を拡大して示した斜視図である。 図１０（Ａ）は、進出状態にある一方のメンテナンスステップを示した斜視図である。図１０（Ｂ）は、支持フレームの側面部を拡大して示した斜視図である。 図１１は、進出状態にあるメンテナンスステップを示した斜視図である。
　以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　一実施形態の台車昇降装置２０が用いられる、図１に示される搬送台車システム１は、天井等に吊り下げられる走行レール５に沿って移動する搬送台車１０を用いて、物品９０を搬送するシステムである。物品９０（図２参照）の例には、複数の半導体ウエハを格納するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。搬送台車システム１は、物品９０の処理装置等が配置される複数のイントラベイ３Ａを構成する走行レール（敷設レール）５Ａと、複数のイントラベイ３Ａ間を接続するインターベイ３Ｂを構成する走行レール５Ｂと、を有している。本実施形態のイントラベイ３Ａを構成する走行レール５Ａは、インターベイ３Ｂを構成する走行レール５Ｂよりも高い位置に敷設されている。本実施形態の台車昇降装置２０は、イントラベイ３Ａを構成する走行レール５Ａの端部に設けられ、走行レール５Ａと走行レール５Ｂとの間の搬送台車１０の移動を第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂ（図２～４参照）によって中継する。
　説明の便宜のため、図６を除く図面において、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向を設定した。Ｘ方向は、図１に示されるように、走行レール５Ａ、走行レール５Ｂ、第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの延在方向であり、Ｙ方向は走行レール５Ａの配列方向（搬送台車１０の幅方向）であり、Ｚ方向は第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの昇降方向であり、Ｚ方向は鉛直方向でもある。
　このような台車昇降装置２０によって昇降される搬送台車１０について説明する。図２に示されるように、搬送台車１０は、走行駆動部１３と、水平駆動部１４と、回転駆動部１５と、昇降駆動部１７と、昇降装置１８と、保持装置１９と、を有している。
　走行駆動部１３は、搬送台車１０を走行レール５に沿って移動させる。走行駆動部１３は、走行レール５によって形成される空間に配置されている。走行駆動部１３は、走行レール５を走行するローラ（図示しない）を駆動する。走行駆動部１３の下部には、軸１３Ａを介して水平駆動部１４が接続されている。水平駆動部１４は、回転駆動部１５、昇降駆動部１７及び昇降装置１８を水平面内で走行レール５の延在方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に移動させる。回転駆動部１５は、水平面内で昇降駆動部１７及び昇降装置１８を回転させる。昇降駆動部１７は、四本のベルトの巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１８を昇降させる。昇降装置１８は、昇降駆動部１７によって昇降可能に設けられており、搬送台車１０における昇降台として機能している。保持装置１９は、物品９０を保持する。
　次に、搬送台車１０の台車昇降装置２０について説明する。台車昇降装置２０は、同一平面内において互いに平行に配置されると共に天井に吊り下げられた状態で敷設される二本の走行レール５Ａ，５Ａの端部に配置され、鉛直方向に第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂを昇降させることによって搬送台車を昇降させる。
　図２～図４に示されるように、台車昇降装置２０は、第一昇降装置２０Ａと、第二昇降装置２０Ｂと、一対の支持フレーム４０，４０と、二枚のメンテナンスステップ５０，５０（第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂ）と、ストッパ６０（図７参照）と、コントローラ（制御部）８０と、を備えている。
　図２に示されるように、第一昇降装置２０Ａは、第一昇降レール２１Ａと、第一昇降部２２Ａと、第一本体部２４Ａと、第一昇降駆動部２５Ａと、第一ストッパユニット２７Ａと、を有している。
　第一昇降レール２１Ａは、二本の走行レール５Ａ，５Ａのそれぞれに対応して設けられる一方のレールである。第一昇降レール２１Ａは、走行レール５Ａの端部と、走行レール５Ａから鉛直方向及び水平方向に間隔をあけて配置される走行レール５Ｂの端部との間を鉛直方向に移動する。第一昇降レール２１Ａは、第一昇降レール２１Ａが走行レール５Ａに接続される位置（すなわち、走行レール５Ａと第一昇降レール２１Ａとの間を搬送台車１０が往来できる位置）と、第一昇降レール２１Ａが走行レール５Ｂに接続される位置（すなわち、走行レール５Ｂと第一昇降レール２１Ａとの間を搬送台車１０が往来できる位置）との間を移動可能に設けられている。第一昇降レール２１Ａは、第一昇降部２２Ａに固定されている。
　第一昇降部２２Ａは、リニアガイド２３Ａを介して鉛直方向に延在する第一本体部２４Ａに取り付けられている。第一昇降部２２Ａは、第一本体部２４Ａに対して鉛直方向に移動可能に設けられている。第一本体部２４Ａは、第一昇降部２２Ａ及び第一昇降駆動部２５Ａを支持する。第一本体部２４Ａは、二本の走行レール５Ａ，５Ａの配列方向（Ｙ方向）に直交する第一面ＦＡを有し、第一面ＦＡに沿って第一昇降レール２１Ａを昇降方向に移動可能に支持する。また、第一本体部２４Ａは、後段にて詳述するコントローラ８０を格納すると共に、緊急停止ボタン８５等が配置される。
　第一昇降駆動部２５Ａは、第一本体部２４Ａに支持されている。第一昇降駆動部２５Ａは、第一本体部２４Ａに沿って第一昇降部２２Ａを移動させることによって第一昇降レール２１Ａを鉛直方向に沿って昇降させる（以後、単に「第一昇降駆動部２５Ａが第一昇降レール２１Ａを昇降させる」と記載する。）。第一昇降駆動部２５Ａの例は、サーボモータである。第一昇降駆動部２５Ａの駆動力は、タイミングベルト２６Ａを介して、第一昇降部２２Ａに伝達される。第一昇降駆動部２５Ａには、エンコーダが設けられている。エンコーダは、例えば、サーボモータの回転量、回転速度及び回転方向等の状態を検出することができる。第一昇降駆動部２５Ａは、コントローラ８０によってその駆動が制御される。
　第一ストッパユニット２７Ａは、走行レール５Ａの端部、走行レール５Ｂの端部及び第一昇降レール２１Ａの両端部に設けられている。第一ストッパユニット２７Ａは、ストッパ、ストッパ駆動部及び筐体等を含んで構成されている。第一ストッパユニット２７Ａは、走行レール５Ａの端部と第一昇降レール２１Ａの一端とが接続状態（搬送台車１０が移動可能な状態）にないとき、及び走行レール５Ｂの端部と第一昇降レール２１Ａの他端とが接続状態にないときに、搬送台車１０の走行を規制する。これにより、搬送台車１０が走行レール５Ａの端部、走行レール５Ｂの端部及び第一昇降レール２１Ａの両端部から落下することを防止する。
　図３に示されるように、第二昇降装置２０Ｂは、第二昇降レール２１Ｂと、第二昇降部２２Ｂと、第二本体部２４Ｂと、第二昇降駆動部２５Ｂと、第二ストッパユニット２７Ｂと、を有している。第二昇降レール２１Ｂは、二本の走行レール５Ａ，５Ａのそれぞれに対応して設けられる他方のレールである。なお、第一昇降装置２０Ａの第一本体部２４Ａに設けられていたコントローラ８０及び緊急停止ボタン８５（図４参照）が、第二昇降装置２０Ｂの第二本体部２４Ｂに設けられていない点を除き、第二昇降装置２０Ｂの構成は、第一昇降装置２０Ａの構成に一致する。すなわち、第二昇降レール２１Ｂ、第二昇降部２２Ｂ、リニアガイド２３Ｂ、第二本体部２４Ｂ、第二面ＦＢ、第二昇降駆動部２５Ｂ、タイミングベルト２６Ｂ及び第二ストッパユニット２７Ｂの機能構成のそれぞれは、第一昇降レール２１Ａ、第一昇降部２２Ａ、リニアガイド２３Ａ、第一本体部２４Ａ、第一面ＦＡ、第一昇降駆動部２５Ａ、タイミングベルト２６Ａ、第一ストッパユニット２７Ａの機能構成と共通するので、第二昇降装置２０Ｂの構成の詳細な説明は省略する。
　第一昇降装置２０Ａは、図１に示されるように、走行レール５Ｂを第一昇降レール２１Ａまで一方向（Ｄ１方向）に走行してくる搬送台車１０を、図４に示されるように、走行レール５Ａとの接続位置まで上方に移動させる上り専用の昇降装置である。一方、第二昇降装置２０Ｂは、図１に示されるように、走行レール５Ａを第二昇降レール２１Ｂまで一方向（Ｄ２方向）に走行してくる搬送台車１０を、図４に示されるように、走行レール５Ｂとの接続位置まで下方に移動させる下り専用の昇降装置である。
　図４及び図５に示されるように、一対の支持フレーム４０，４０は、第一本体部２４Ａ及び第二本体部２４Ｂに掛け渡される。一対の支持フレーム４０，４０は、第一本体部２４Ａに設けられる張出部２８Ａと第二本体部２４Ｂに設けられる張出部２８Ｂとに載置されることで、第一本体部２４Ａ及び第二本体部２４Ｂに掛け渡されている。一対の支持フレーム４０，４０には、作業者が搭乗可能な搭乗面５４を有する、メンテナンスステップ５０が載置される。
　一対の支持フレーム４０，４０は、第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの延在方向（Ｘ方向）において、第一昇降レール２１Ａが昇降する昇降空間Ｓ１及び第二昇降レール２１Ｂが昇降する昇降空間Ｓ２を挟むように配置されている。言い換えれば、一対の支持フレーム４０，４０は、第一昇降レール２１Ａによる搬送台車１０の昇降及び第二昇降レール２１Ｂによる搬送台車１０の昇降を阻害しない。
　支持フレーム４０は、図４～図７に示されるように、平板部４１と、載置部４３と、係止部４５と、収容部４７と、ストッパ６０と、スイッチ（検知部）７０，７０と、を有している。平板部４１は、作業者が搭乗可能な載置面４１ａが形成された平板状の部材である。載置部４３は、メンテナンスステップ５０が載置される部分であり、平板部４１の側面部４１ｂに複数（例えば、四つ）形成されている。載置部４３は、メンテナンスステップ５０を支持する載置面４３ａ（図１０（Ｂ）参照）が形成されている。メンテナンスステップ５０は載置部４３に載置されることで、支持フレーム４０に掛け渡される。
　係止部４５は、メンテナンスステップ５０が支持フレーム４０に載置されたときに、メンテナンスステップ５０の搭乗面５４に接触するように、Ｘ方向に進出可能に設けられている（図１１参照）。すなわち、係止部４５は、メンテナンスステップ５０を上方から係止する。係止部４５は、第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの昇降方向において、メンテナンスステップ５０が下方から上方に浮き上がることを防止する。
　収容部４７は、退避状態にある二枚のメンテナンスステップ５０，５０（第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂ）を収容する。なお、メンテナンスステップ５０における退避状態については、後段にて詳述する。収容部４７は、側面部４７ａと、底面部４７ｂと、ガイド部４７ｃと、仕切部４７ｄと、を有している。側面部４７ａは、退避状態にあるメンテナンスステップ５０の側端部５２に対向するように形成されている。底面部４７ｂは、退避状態にあるメンテナンスステップ５０の下端部５３に対向するように形成されている。底面部４７ｂは、退避状態にあるメンテナンスステップ５０の下端部５３を支持する。ガイド部４７ｃは、退避状態にあるメンテナンスステップ５０の底面５５に対向するように形成されている。ガイド部４７ｃは、進出状態から退避状態に可動するメンテナンスステップ５０の底面５５及び退避状態から進出状態に可動するメンテナンスステップ５０の底面５５をガイドする。仕切部４７ｄは、一対の支持フレーム４０，４０に掛け渡される。仕切部４７ｄは、退避状態において、二枚のメンテナンスステップ５０，５０（第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂ）に挟まれる位置に配置されている。
　図７及び図８（Ａ）に示されるように、ストッパ６０は、支持フレーム４０に対して取り外し可能に設けられている。ストッパ６０は、メンテナンスステップ５０を退避状態に維持するために支持フレーム４０に取り付けられる。ストッパ６０は、平板部６１と、規制部６３と、突出部６５と、を有している。平板部６１は、上方から見た平面視において矩形に形成されている。平板部６１は、支持フレーム４０に取り付けたとき、支持フレーム４０の平板部４１及び退避状態にあるメンテナンスステップ５０の上端部５１の一部を覆う。ストッパ６０は、平板部６１に設けられたネジ孔に挿入されるネジ６７によって、支持フレーム４０に対して固定される。突出部６５は、平板部６１の裏面に形成されており、上述した取り付け状態において、スイッチ７０，７０がオンの状態となるようにスイッチ７０，７０に接触する。
　スイッチ７０，７０は、支持フレーム４０に対するストッパ６０の取り付けの有無を検知する。スイッチ７０，７０は、例えば接触式のスイッチであり、上述したようにストッパ６０の突出部６５によって接触可能に設けられている。スイッチ７０，７０によるストッパ６０の検出結果は、コントローラ８０によって取得される。
　メンテナンスステップ５０は、搭乗面５４がＹ方向（配列方向）に直交する起立姿勢にすることで昇降空間Ｓ１，Ｓ２から退避させる退避状態（図４参照）と、搭乗面５４がＺ方向（昇降方向）と直交するように支持フレーム４０に載置させることで昇降空間Ｓ１，Ｓ２に進出する進出状態（図５参照）と、の間で可動可能に設けられている。メンテナンスステップ５０は、進出状態において、第一昇降レール２１Ａの昇降空間Ｓ１に進出するように設けられる第一メンテナンスステップ５０Ａと、第二昇降レール２１Ｂの昇降空間Ｓ２に進出するように設けられる第二メンテナンスステップ５０Ｂと、を有する。第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂは、退避状態において、第一本体部２４Ａと第二本体部２４Ｂとの間の中央部に配置されている。以下、第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂをメンテナンスステップ５０と総称する。
　メンテナンスステップ５０は、図５、図７及び図８（Ａ）に示されるように、退避状態において上端部分となる上端部５１、側端部分となる側端部５２，５２及び下端部分となる下端部５３と、進出状態において作業者が搭乗する部分である搭乗面５４及び搭乗面５４とは反対側の底面５５と、取っ手５９と、を有している。底面５５には、メンテナンスステップ５０が支持フレーム４０に載置されたときに接触する部分に補強部５５Ａが配置されている。補強部５５Ａは側端部５２に沿って延在する平板状の部材である。取っ手５９は上端部５１に設けられており、上端部５１への取り付け部分が回動可能に設けられている。これにより、作業者は、メンテナンスステップ５０がどのような回動状態であっても把持し易くなる。
　図８（Ｂ）及び図９（Ｂ）に示されるように、側端部５２，５２には溝部５２ａが形成されている。溝部５２ａは、支持フレーム４０の側面部４１ｂに平板４９を介して設けられるピン４９Ａ，４９Ｂに係合するように設けられている。このような構成において、メンテナンスステップ５０は、退避状態においてその上端部５１が支持フレーム４０に設けられるピン４９Ａ，４９Ｂに支持されると共に、起立姿勢で支持フレーム４０に対してＺ方向にスライド可能に設けられている。メンテナンスステップ５０は、下端部５３を支持フレーム４０の位置にまでスライドさせたときに、進出状態（図４参照）となるように回動可能に設けられている。
　図２及び図６に示されるコントローラ８０は、台車昇降装置２０における各部を制御する。本実施形態では、コントローラ８０は、台車昇降装置２０の第一本体部２４Ａに設けられている。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）及びＲＯＭ（Read　Only　Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。
　コントローラ８０は、スイッチ７０，７０によってストッパ６０が取り付けられていないことを検知しているときに、第一昇降駆動部２５Ａ及び第二昇降駆動部２５Ｂが駆動することを規制する。より詳細には、ストッパ６０が支持フレーム４０から取り外され、ストッパ６０の突出部６５がスイッチ７０，７０に接触していないときに、第一昇降駆動部２５Ａ及び第二昇降駆動部２５Ｂが駆動することを禁止する。
　上述した構成の支持フレーム４０及びメンテナンスステップ５０において、作業者が、メンテナンスステップ５０を退避状態から進出状態とするための手順について説明する。作業者は、例えば、はしご又は台車昇降装置２０にアクセス可能な通路を利用して、台車昇降装置２０の支持フレーム４０に搭乗する。作業者は、支持フレーム４０にネジ６７によって固定されているストッパ６０を取り外す。これにより、メンテナンスステップ５０を上方に移動させることが可能となる。
　作業者は、支持フレーム４０に搭乗した状態で、図７に示される退避状態のメンテナンスステップ５０の取っ手５９を把持し、図８（Ａ）に示されるように、メンテナンスステップ５０を上方に引き上げる。作業者は、図８（Ｂ）に示されるように、溝部５２ａの下端がピン４９Ａに係止されるまで、メンテナンスステップ５０を上方にスライドさせる。次に、作業者は、図９（Ａ）に示されるように、メンテナンスステップ５０を回動させ、図１０（Ｂ）に示される載置部４３の載置面４３ａに接触支持させる。これにより、図１０（Ａ）に示されるように、メンテナンスステップ５０を進出状態にすることができる。
　次に、作業者が、メンテナンスステップ５０を進出状態から退避状態とするための手順について説明する。作業者は、支持フレーム４０又は対象のメンテナンスステップ５０とは異なるメンテナンスステップ５０に搭乗した状態で、図１０（Ａ）に示されるメンテナンスステップ５０の取っ手５９を把持し、図９（Ａ）に示されるように、メンテナンスステップ５０を回動させる。作業者は、図８（Ａ）に示されるように、メンテナンスステップ５０を起立状態とし、収容部４７に沿ってメンテナンスステップ５０を下方に移動させ、図７に示されるように収容部４７に収容させる。収容部４７においてメンテナンスステップ５０が接触する部分にはクッションとなる緩衝材（図示せず）が設けられている。これにより、メンテナンスステップ５０を可動させるときのメンテナンスステップ５０と収容部４７との衝突時の衝撃が緩和され、メンテナンスステップ５０の破損が防止される。作業者は、例えば、はしご又は台車昇降装置２０にアクセス可能な通路を利用して、台車昇降装置２０から退避する。
　次に、台車昇降装置２０の作用効果について説明する。図４に示されるように、上記実施形態の台車昇降装置２０には、作業者がメンテナンスをするときに搭乗可能なメンテナンスステップ５０が掛け渡される一対の支持フレーム４０、４０が設けられている。そして、一対の支持フレーム４０、４０は、昇降空間Ｓ１，Ｓ２を挟むように配置されているので第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの昇降を阻害することがない。これにより、支持フレーム４０にメンテナンスステップ５０を載置するだけで、メンテナンス作業が可能となる。また、作業者は、高所作業車のリフトに搭乗しなくても、メンテナンスステップ５０に搭乗すれば、メンテナンス作業が可能になる。これにより、作業性を向上させることができる。更に、この構成の台車昇降装置２０では、台車昇降装置２０に高所作業車のリフトの進入空間を確保しておく必要もない。これにより、台車昇降装置２０を含む搬送台車システム全体のサイズのコンパクト化が図れる。
　上記実施形態のメンテナンスステップ５０は、搭乗面５４がＹ方向（配列方向）に直交する起立姿勢にすることで昇降空間Ｓ１，Ｓ２から退避させる退避状態と、搭乗面５４が昇降方向と直交するように支持フレーム４０に載置させることで昇降空間Ｓ１，Ｓ２に進出する進出状態と、の間で可動可能に設けられている。これにより、メンテナンス時に、保管場所等からメンテナンスステップ５０を持ってきて設置する手間を省くことができる。これにより、作業性がより一層向上する。
　上記実施形態のメンテナンスステップ５０は、図７に示されるような退避状態において、その上端部５１が支持フレーム４０に支持されると共に、起立姿勢で支持フレーム４０に対して鉛直方向にスライド可能に設けられており、その下端部５３を支持フレーム４０にまでスライドさせたときに、図１１に示されるような進出状態となるように回動可能に設けられている。このような構成のメンテナンスステップ５０では、作業者は、メンテナンスステップ５０を上方に引き上げた後、支持フレーム４０に向けて倒すだけの簡易な作業で、退避状態から進出状態にすることができる。
　上記実施形態の第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂは、図７に示されるように、退避状態において、第一本体部２４Ａと第二本体部２４Ｂとの間の中央部に配置されている。第一昇降レール２１Ａの昇降空間Ｓ１と第二昇降レール２１Ｂの昇降空間Ｓ２とを、第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂの二つのメンテナンスステップ５０を設けることで、一つのメンテナンスステップ５０のサイズを小さくすることができるので、作業者による取り扱いが容易となる。
　また、退避状態において、第一本体部２４Ａと第二本体部２４Ｂとの間に起立姿勢で配置されるメンテナンスステップ５０は、図４及び図７に示されるように、第一昇降レール２１Ａの昇降空間Ｓ１と第二昇降レール２１Ｂの昇降空間Ｓ２とを区画する壁となる。これにより、第一昇降レール２１Ａの昇降空間Ｓ１及び第二昇降レール２１Ｂの昇降空間Ｓ２の一方で作業中に、第一昇降レール２１Ａ及び第二昇降レール２１Ｂの他方が仮に作動した場合であっても、作業者の安全を確保することができる。
　上記実施形態の台車昇降装置２０は、図４、図６及び図１１に示されるように、メンテナンスステップ５０を退避状態に維持するために支持フレーム４０に取り付けられるストッパ６０と、支持フレーム４０に対するストッパ６０の取り付けの有無を検知するスイッチ７０，７０と、を備えている。コントローラ８０は、スイッチ７０，７０によってストッパ６０が取り付けられていないことを検知しているときに、第一昇降駆動部２５Ａ及び第二昇降駆動部２５Ｂが駆動することを規制している。この構成では、作業者によってストッパ６０が取り外された場合、すなわち作業者が台車昇降装置２０においてメンテナンス作業を実施している可能性が高い場合には、第一昇降駆動部２５Ａが第一昇降レール２１Ａを昇降させること及び第二昇降駆動部２５Ｂが第二昇降レール２１Ｂを昇降させることが禁止されるので、作業者の安全を確保することができる。
　上記実施形態の台車昇降装置２０では、図１０に示されるように、メンテナンスステップ５０の搭乗面５４側を係止する係止部４５が設けられている。これにより、メンテナンスステップ５０の下方から何らかの力が作用した場合であってもメンテナンスステップ５０が支持フレーム４０から浮き上がることが防止されるので、作業者の安全を確保することができる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態の台車昇降装置２０では、同一平面内に配置される二本の走行レール５Ａ，５Ａ及び走行レール５Ｂ，５Ｂを走行する搬送台車１０，１０が互いに反対方向に走行し、また、第一昇降部２２Ａが上り専用であり、第二昇降部２２Ｂが下り専用の昇降装置として用いられる例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、同一平面内に配置される二本の走行レール５Ａ，５Ａ及び走行レール５Ｂ，５Ｂを走行する搬送台車１０，１０が互いに同方向に走行し、また、第一昇降部２２Ａ及び第二昇降部２２Ｂを上り専用又は下り専用として用いてもよい。
　上記実施形態及び変形例の台車昇降装置２０では、コントローラ８０が第一本体部２４Ａに設けられている例を挙げて説明したが、コントローラ８０を台車昇降装置２０から離れた位置に設け、両者を有線又は無線によって通信可能に接続するようにしてもよい。
　上記実施形態及び変形例の台車昇降装置２０では、退避状態の第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂが第一本体部２４Ａと第二本体部２４Ｂとの間に起立姿勢で配置される例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、第一メンテナンスステップ５０Ａが第一本体部２４Ａに沿うように退避され、第二メンテナンスステップ５０Ｂが第二本体部２４Ｂに沿うように退避されてもよい。
　上記実施形態及び変形例の台車昇降装置２０では、第一メンテナンスステップ５０Ａ及び第二メンテナンスステップ５０Ｂの二枚のメンテナンスステップが設けられる例を挙げて説明したが、一枚のメンテナンスステップ５０が設けられる構成であってもよい。
　上記実施形態及び変形例の台車昇降装置２０では、退避状態と進出状態との間で可動するメンテナンスステップ５０が収容されている例を挙げて説明したが、保管場所等に保管されているメンテナンスステップ５０を、メンテナンス時に載置するようにしてもよい。この場合であっても、高所作業車のリフトに搭乗して作業することに比べ、メンテナンス作業の作業性を向上させることができる。
　上記実施形態では、メンテナンス時に、はしご等を用いて支持フレーム４０に搭乗する例を挙げて説明したが、例えば、台車昇降装置２０の支持フレーム４０にアクセス可能なはしごやスロープが常備されていてもよい。
　１…搬送台車システム、５Ａ…走行レール（敷設レール）、１０…搬送台車、２０…台車昇降装置、２０Ａ…第一昇降装置、２０Ｂ…第二昇降装置、２１Ａ…第一昇降レール、２１Ｂ…第二昇降レール、２２Ａ…第一昇降部、２２Ｂ…第二昇降部、２４Ａ…第一本体部、２４Ｂ…第二本体部、２５Ａ…第一昇降駆動部、２５Ｂ…第二昇降駆動部、４０…支持フレーム、４１…平板部、４５…係止部、５０…メンテナンスステップ、５０Ａ…第一メンテナンスステップ、５０Ｂ…第二メンテナンスステップ、５４…搭乗面、６０…ストッパ、７０…スイッチ（検知部）、８０…コントローラ（制御部）、８５…緊急停止ボタン、９０…物品、Ｓ１，Ｓ２…昇降空間、ＦＡ…第一面、ＦＢ…第二面。

Claims (6)

  1. 　天井に吊り下げられた状態で同一平面内において平行に敷設される二本の敷設レールのそれぞれに対応して昇降可能に設けられる、第一昇降レール及び第二昇降レールと、
    　前記第一昇降レールを昇降させる第一昇降駆動部と、
    　前記第二昇降レールを昇降させる第二昇降駆動部と、
    　前記二本の敷設レールの配列方向に直交する第一面を有し、前記第一面に沿って前記第一昇降レールを昇降方向に移動可能に支持する第一本体部と、
    　前記第一面に対して前記配列方向に対向する第二面を有し、前記第二面に沿って前記第二昇降レールを昇降方向に移動可能に支持する第二本体部と、
    　前記第一本体部及び前記第二本体部に掛け渡されると共に、作業者が搭乗可能な搭乗面を有するメンテナンスステップが掛け渡される一対の支持フレームと、を備え、
    　一対の前記支持フレームは、前記第一昇降レール及び前記第二昇降レールの延在方向において、前記第一昇降レール及び前記第二昇降レールが昇降する昇降空間を挟むように配置されている、台車昇降装置。
  2. 　前記搭乗面を前記配列方向に直交する起立姿勢にすることで前記昇降空間から退避させる退避状態と、前記搭乗面が前記昇降方向と直交するように前記支持フレームに前記搭乗面を載置することで前記昇降空間に進出させる進出状態と、の間で可動可能に設けられている、前記メンテナンスステップを更に備える、請求項１記載の台車昇降装置。
  3. 　前記メンテナンスステップは、前記退避状態においてその上端部が前記支持フレームに支持されると共に、前記起立姿勢で前記支持フレームに対して前記昇降方向にスライド可能に設けられており、その下端部を前記支持フレームにまでスライドさせたときに、前記進出状態となるように回動可能に設けられている、請求項２記載の台車昇降装置。
  4. 　前記メンテナンスステップは、前記進出状態において、
    　　前記第一昇降レールの昇降空間に進出するように設けられる第一メンテナンスステップと、
    　　前記第二昇降レールの昇降空間に進出するように設けられる第二メンテナンスステップと、を有し、
    　前記第一メンテナンスステップ及び前記第二メンテナンスステップは、前記退避状態において、前記第一本体部と前記第二本体部との間の中央部に配置されている、請求項３記載の台車昇降装置。
  5. 　前記第一昇降駆動部及び前記第二昇降駆動部を制御する制御部と、
    　前記メンテナンスステップを前記退避状態に維持するために前記支持フレームに取り付けられるストッパと、
    　前記支持フレームに対する前記ストッパの取り付けの有無を検知する検知部と、を更に備え、
    　前記制御部は、前記検知部によって前記ストッパが取り付けられていないことを検知しているときに、前記第一昇降駆動部及び前記第二昇降駆動部が駆動することを規制する、請求項２～４の何れか一項記載の台車昇降装置。
  6. 　前記支持フレームには、前記進出状態にある前記メンテナンスステップの前記搭乗面を係止する係止部が設けられている、請求項２～５の何れか一項記載の台車昇降装置。
PCT/JP2022/005178 2021-04-07 2022-02-09 台車昇降装置 Ceased WO2022215345A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18/285,322 US20240182265A1 (en) 2021-04-07 2022-02-09 Carriage lifting/lowering device
CN202280019849.6A CN116963974A (zh) 2021-04-07 2022-02-09 台车升降装置
JP2023512838A JP7485208B2 (ja) 2021-04-07 2022-02-09 台車昇降装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021-065363 2021-04-07
JP2021065363 2021-04-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022215345A1 true WO2022215345A1 (ja) 2022-10-13

Family

ID=83546301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/005178 Ceased WO2022215345A1 (ja) 2021-04-07 2022-02-09 台車昇降装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20240182265A1 (ja)
JP (1) JP7485208B2 (ja)
CN (1) CN116963974A (ja)
TW (1) TWI868440B (ja)
WO (1) WO2022215345A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240156946A (ko) 2023-04-24 2024-10-31 가부시키가이샤 다이후쿠 승강 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1018578A (ja) * 1996-07-05 1998-01-20 Kawada Kogyo Kk 部分作業足場とこれを用いたジョイント足場の架設方法
JP2002370807A (ja) * 2001-06-11 2002-12-24 Shinko Electric Co Ltd 高層収納棚
JP2009073624A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JP2019214438A (ja) * 2018-06-11 2019-12-19 村田機械株式会社 搬送車の走行設備

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2913618B2 (ja) * 1996-08-01 1999-06-28 川崎重工業株式会社 補助レール付台車装置
JP2006066723A (ja) * 2004-08-27 2006-03-09 Murata Mach Ltd 搬送車システム
JP5429559B2 (ja) * 2010-02-01 2014-02-26 株式会社ダイフク 倉庫設備
TWI447058B (zh) * 2011-11-30 2014-08-01 華亞科技股份有限公司 天車輸送系統及其運轉方法
JP5713203B2 (ja) * 2012-03-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP6443264B2 (ja) * 2015-08-12 2018-12-26 株式会社ダイフク 物品収納設備

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1018578A (ja) * 1996-07-05 1998-01-20 Kawada Kogyo Kk 部分作業足場とこれを用いたジョイント足場の架設方法
JP2002370807A (ja) * 2001-06-11 2002-12-24 Shinko Electric Co Ltd 高層収納棚
JP2009073624A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JP2019214438A (ja) * 2018-06-11 2019-12-19 村田機械株式会社 搬送車の走行設備

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240156946A (ko) 2023-04-24 2024-10-31 가부시키가이샤 다이후쿠 승강 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TWI868440B (zh) 2025-01-01
JPWO2022215345A1 (ja) 2022-10-13
TW202246148A (zh) 2022-12-01
CN116963974A (zh) 2023-10-27
US20240182265A1 (en) 2024-06-06
JP7485208B2 (ja) 2024-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102276842B1 (ko) 층간 반송 설비
KR102073777B1 (ko) 물품 수납 설비
EP3159922B1 (en) Carrier transport system and transport method
KR102397716B1 (ko) 물품 반송 장치
KR102700083B1 (ko) 그리퍼 장치, 반송차, 및 반송 방법
KR20120055493A (ko) 기판 컨테이너 보관 시스템
WO2019061773A1 (zh) 回流线体及具有该回流线体的锁螺丝平台
KR102700084B1 (ko) 그리퍼 장치, 반송차, 및 반송 방법
KR20120050931A (ko) 기판 컨테이너 보관 시스템과 연결하기 위한 일체형 시스템
CN105584768A (zh) 物品搬送车
JP2016003069A (ja) コンテナ昇降搬送装置
WO2022215345A1 (ja) 台車昇降装置
TWI836071B (zh) 貯藏庫系統
CN116605602A (zh) 保管架及搬送车系统
JP2023097422A (ja) 移送装置及び移送方法
JP4929535B2 (ja) 高層収納棚
KR102801572B1 (ko) 물품 반송 설비
TW202442571A (zh) 保管系統
JP7070522B2 (ja) ストッカ
KR102761419B1 (ko) 물품 반송 설비
CN211847001U (zh) 一种双电机升降机械伸展装置
KR102624073B1 (ko) 반도체 웨이퍼 캐리어 운송용 oht의 카트 적재 시스템
KR20260021191A (ko) 물류 이송 설비 및 천정형 보관 장치
JP2025140604A (ja) 搬送車
KR102844484B1 (ko) 여러 타입의 웨이퍼카세트 혼용이 가능한 로드포트모듈

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22784330

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023512838

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202280019849.6

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18285322

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11202306651Q

Country of ref document: SG

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22784330

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 11202306651Q

Country of ref document: SG

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 11202306651Q

Country of ref document: SG