WO2022202005A1 - 薄膜形成用光硬化性組成物 - Google Patents

薄膜形成用光硬化性組成物 Download PDF

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WO2022202005A1
WO2022202005A1 PCT/JP2022/006464 JP2022006464W WO2022202005A1 WO 2022202005 A1 WO2022202005 A1 WO 2022202005A1 JP 2022006464 W JP2022006464 W JP 2022006464W WO 2022202005 A1 WO2022202005 A1 WO 2022202005A1
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meth
photocurable composition
acrylate
group
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PCT/JP2022/006464
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柚子 出野
陽介 大竹
Original Assignee
日産化学株式会社
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    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F251/00Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polysaccharides or derivatives thereof
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    • C08K9/04Ingredients treated with organic substances
    • C08K9/06Ingredients treated with organic substances with silicon-containing compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L51/00Compositions of graft polymers in which the grafted component is obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds; Compositions of derivatives of such polymers

Definitions

  • the present invention includes a monofunctional or polyfunctional (meth) acrylate having one or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule, a photoradical initiator, silica particles surface-modified with a specific silane coupling agent, and (
  • the present invention relates to a photocurable composition containing a polyrotaxane having a meth)acryloyloxy group.
  • a mold (generally called a stamper, template, etc.) in which irregularities with dimensions of several tens of nanometers to several hundreds of nanometers are engraved is pressed against a resin material and deformed mechanically to create a fine pattern of the mold. It is a technology that precisely transcribes Once the mold is made, nano-sized microstructures can be easily and repeatedly molded, making it more economical than conventional patterning techniques that use lithography and etching.
  • the imprint method is roughly classified into two according to the technique.
  • One is called a thermal imprinting method using a thermoplastic resin as shown in Patent Document 1
  • the other is called an optical imprinting method using a photocurable resin as shown in Patent Document 2.
  • the optical imprinting method uses an uncured product during pressing, so that the production time can be shortened, and since high pressure and high temperature heating are not required, it is a method that can be used for members that are vulnerable to heat. Owing to such good yield, the optical imprint method is widely used to create optical materials.
  • Examples of inventions using these methods include a curable composition for imprints, which has a low viscosity and causes less volatilization of components on a substrate during application, as disclosed in Patent Document 5.
  • Patent Document 5 when evaluating the refractory, since the residual rate of one polymerizable monomer alone is evaluated, the refractory of the curable composition containing two or more polymerizable monomers level is unknown. Moreover, the viscosity of the curable composition described in Patent Document 6 is very high, and when applied onto a substrate using a technique such as spin coating, there is a problem that the uniformity of the film surface is significantly reduced. There has been no particle-containing resin composition that can be used as an optical material with high transparency and that can be uniformly applied as a thin film by spin coating or the like, and its development has been desired. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a curable composition that solves the above problems.
  • the photocurable composition can be obtained by adding a predetermined amount of a specific monofunctional or polyfunctional (meth)acrylate to the photocurable composition. can be made into a composition that enables thin film coating such as spin coating. Furthermore, the present inventors have made it possible to form a pattern by imprinting on a cured product and molded article obtained from this photocurable composition.
  • the first aspect of the present invention contains the following components (a) to (d), and the content of the component (a) is It is a photocurable composition having an amount of 80 to 99 parts by mass and a viscosity of 1 mPa ⁇ s to 50 mPa ⁇ s at 25.0°C.
  • the photocurable composition of the present invention may further contain the following component (e).
  • R 3 represents a single bond, a linear alkylene group having 1 to 6 carbon atoms or a branched alkylene group having 3 to 6 carbon atoms
  • X 2 represents a single bond, an ester bond or an ether bond.
  • Q 1 represents an organic group having 2 to 12 carbon atoms containing at least one heteroatom or no heteroatom, or a heteroatom
  • p represents an integer of 2 to 6.
  • the heteroatoms above represent atoms other than carbon and hydrogen, such as nitrogen, oxygen, sulfur, and the like.
  • the photocurable composition of the present invention may further contain the following component (f) and/or the following component (g).
  • the component (a) is, for example, selected from the group consisting of the following components (a1), (a2) and (a3) below.
  • R4 represents a hydrogen atom or a methyl group
  • Q2 represents a linear or branched alkylene group having 4 to 10 carbon atoms.
  • the component (c) is, for example, silica particles surface-modified with a silane coupling agent in which X 1 in the formula (1) is a (meth)acryloyloxy group.
  • a second aspect of the present invention is a cured product of the photocurable composition having a film thickness of 1.0 ⁇ m to 10.0 ⁇ m.
  • a third aspect of the present invention is a method for producing a molded article, including the step of imprint-molding the photocurable composition.
  • a fourth aspect of the present invention is a method for producing a molded body of a photocurable composition, comprising a step of supplying the photocurable composition on a substrate, the photocurable composition, and the desired molding an imprinting step of bringing into contact with a mold having a body shape reversal pattern, a photocuring step of exposing the photocurable composition through the mold to form a photocured portion after the imprinting step, and A method for producing a molded article, including a mold release step of separating the photocured portion and the mold.
  • the step of supplying the photocurable composition is a step of applying the photocurable composition by a spin coating method, a slit scanning method, or an inkjet method.
  • a step of heating the photocured portion may be further included after the photocuring step and before, during, or after the releasing step.
  • the molded article is, for example, an optical film for flat panel displays.
  • the photocurable composition of the present invention contains the components (a) to (d) as essential components, optionally contains the component (e), and optionally contains the component (f) and/or the ( g) ingredients. Due to the presence of the component (a) and the component (b), a three-dimensional crosslinked body is formed when the photocurable composition is exposed to light, and a cured product is obtained. In addition, the present inventors have found that the viscosity of the composition is lowered by the component (a), thereby enabling pattern formation by imprinting while thin film coating such as spin coating is possible.
  • a silane coupling agent represented by the formula (1) as the component (c) i.e., a silane coupling agent having a hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
  • FIG. 1 is a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) photograph showing a molded article produced on a glass substrate using the photocurable composition prepared in Example 11.
  • FIG. 1 is a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) photograph showing a molded article produced on a glass substrate using the photocurable composition prepared in Example 11.
  • FIG. 1 is a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) photograph showing a molded article produced on a glass substrate using the photocurable composition prepared in Example 11.
  • the photocurable composition of the present invention has a viscosity at 25.0° C. of 1 mPa ⁇ s to 70 mPa ⁇ s, preferably 1 mPa ⁇ s to 50 mPa ⁇ s, more preferably 1 mPa ⁇ s to 45 mPa ⁇ s.
  • (a) component at least two monofunctional or polyfunctional (meth)acrylates having one or more (meth)acryloyloxy groups in one molecule
  • a monofunctional (meth)acrylate is referred to as the (a1) component
  • the bifunctional (meth)acrylate represented by the formula (3) is referred to as the (a3) component.
  • the photocurable composition of the present invention contains component (a2)
  • the cured product and molded article obtained from the photocurable composition have excellent adhesion to substrates.
  • the photocurable composition of the present invention contains the component (a3)
  • the cured product and molded article obtained from the photocurable composition are excellent in flexibility and have a polyrotaxane having a (meth)acryloyloxy group described later.
  • Excellent compatibility with The (a) component of the photocurable composition of the present invention excludes the (d) component described below.
  • component (a1) component monofunctional (meth)acrylate
  • component (a1) examples include 2-acryloyloxyethyl phthalate, 2-acryloyloxy 2-hydroxyethyl phthalate, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalate, 2-acryloyloxypropyl phthalate, 2-ethyl-2 -Butyl propanediol acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl carbitol (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate , 2-methoxyethyl (meth)acrylate, 3-methoxybutyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, acrylic acid dimer, benzyl (meth)acrylate, 1-naphthyl (meth)acrylate,
  • component (a2) component bifunctional urethane (meth)acrylate
  • component (a2) examples include U-2PPA, U-200PA, U-160TM, U-290TM, UA-4200, UA-4400, UA-122P, and UA-W2A (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.
  • the component (a2) may be used alone or in combination of two or more.
  • component (a3) component bifunctional (meth)acrylate represented by the formula (3)
  • the component (a3) include 1,3-butanediol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,5-pentanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, (Meth)acrylates, 3-methyl-1,5-pentanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, 1,7-heptanediol di(meth)acrylate, 1,8-octane diol di(meth)acrylate, 2-ethyl-1,3-hexanediol di(meth)acrylate, 1,8-nonanediol di(meth)acrylate, 1,9-nonanediol di(meth)acrylate, 2,4 ,4-tri
  • the component (a3) Commercially available products may be used as the component (a3). Specific examples include Viscoat #195, Viscoat #230, Viscoat #260 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), BD, NPG, and A-NPG. , HD-N, A-HD-N, NOD-N, A-NOD-N, A-IND, DOD-N, A-DOD-N (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), FA-121M , FA-124M, FA-125M, FA-129AS (manufactured by Showa Denko Materials Co., Ltd.), light ester 1.4BG, light ester NP, light ester 1.6HX, light ester 1.9ND, light acrylate 1 .6HX-A, light acrylate 1.9ND-A, light acrylate NP-A, light acrylate MPD-A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), HDDA (
  • the component (a3) may be used alone or in combination of two or more.
  • bifunctional (meth)acrylates that do not correspond to either the (a2) component or the (a3) component include, for example, cyclohexanediol di(meth)acrylate, cyclohexanedimethanol di( meth)acrylate, tricyclodecanedimethanol di(meth)acrylate, dioxane glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, polyethylene glycol Di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate, poly Tetramethylene glycol di(meth)acrylate, prop
  • the bifunctional (meth)acrylates that do not correspond to either the component (a2) or the component (a3) can be used singly or in combination of two or more.
  • trifunctional or higher (meth)acrylates include, for example, U-6LPA, U-10HA, U-10PA, UA-1100H, U-15HA, UA-53H, UA-33H , UA-7100 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), EBECRYL (registered trademark) 220, 8800, 294/25HD, 4220, 4513, 4738, 4740, 4820, 8311, 9260, 8701, 4265, 4587, 4666, 4680, 8210, 8405, 1290, 5129, 8301R, 4501, 2221, 8465, 1258, 4101, 4201, 8209, 1291, 8602, 225, KRM (registered trademark) 8667, 8296,
  • trifunctional or higher (meth)acrylate examples include Viscoat #295, #300 and #802 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), A-9300, A-9300-1CL, A-GLY-9E, A-GLY-20E, A-TMM-3, A-TMM-3L, A-TMM-3LM-N, TMPT, A-TMPT, AD-TMP, ATM-35E, A-TMMT, A-9550, A-DPH (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), Fancryl (registered trademark) FA-731A, FA-137M (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), light ester TMP, light acrylate (registered trademark) TMP-A, PE-3A, PE-4A, DPE-6A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), PETIA, PETRA, TMPTA, OTA480, EBECRYL (registered trademark)
  • the trifunctional or higher (meth)acrylates may be used alone or in combination of two or more.
  • the content of the component (a) in the photocurable composition of the present invention is 100 masses of the sum of the components (a), (b), (c) and (d) contained in the photocurable composition. 80 to 99 parts by mass, preferably 83.5 to 98 parts by mass, and more preferably 87 to 97 parts by mass. If the component (a) is less than 80 parts by mass, the composition may not be spin-coated. In addition, the cured product and molded product obtained from the photocurable composition cannot form an organic resin matrix having a sufficient crosslink density, and the cured product and molded product may become brittle due to their low crosslink density.
  • component (a) When a component selected from the group consisting of component (a1), component (a2) and component (a3) is included as component (a), the content thereof is included in the photocurable composition of the present invention (a)
  • the following formulas (4) to (6) or the following formulas (4), the following formulas (5) and All the relationships represented by the formula (7) are satisfied, and preferably the relationships of the following formulas (4′) to (6′) or the following formulas (4′), the following formulas (5′) and the following formulas (7′) are satisfied. All of them are satisfied, and more preferably, all of the following formulas (4'') to (6'') or the following formulas (4''), the following formulas (5'') and the following formulas (7'') are satisfied.
  • the content of the component (a1) is X parts by mass
  • the content of the component (a2) is Y parts by mass
  • the content of the component (a3) is Z parts by mass.
  • Formula (7) 86 parts by mass ⁇ (Y + Z)
  • (5') 0 parts by mass ⁇ Y ⁇ 20 parts by mass
  • the content of the component (a2) is more than 30 parts by mass, there is a possibility that the uniformity of the film surface cannot be maintained when the composition is spin-coated.
  • photoradical initiators examples include alkylphenones, benzophenones, dibenzoyls, anthraquinones, acylphosphine oxides, benzoyl benzoates, and oxime esters. and thioxanthones, and an intramolecular cleavage type photoradical polymerization initiator is particularly preferred.
  • OMNIRAD registered trademark
  • 127, 184, 369, 369E, 379EG 500, 651, 819, 784, 907, 1173, 2959, TPO H (manufactured by IGM Resins)
  • IRGACURE registered trademark
  • ESACURE KIP150, ESACURE KIP65LT, ESACURE KIP100F, KT37, KT55, KTO46 and KIP75 manufactured by Lamberti.
  • the content of component (b) in the photocurable composition of the present invention is 0.1 to 5 parts by mass, preferably 0.5 to 3 parts by mass. If the content of the component (b) is less than 0.1 parts by mass, the strength of the cured product and the molded product obtained from the photocurable composition may decrease. If the content of component (b) is more than 5 parts by mass, the heat resistance of the cured product and molded product may deteriorate.
  • the component (b) may be used alone or in combination of two or more.
  • Component (c) silica particles having a primary particle diameter of 1 nm to 100 nm, surface-modified with at least one silane coupling agent represented by formula (1)
  • the silane coupling agent represented by the formula (1) which modifies the surface of the silica particles of the component (c) of the photocurable composition of the present invention, has m in the formula (1) of 1 to 14. It is characterized by being an integer, that is, having a linear hydrocarbon group with 1 to 14 carbon atoms in the molecule.
  • a silane coupling agent in which m in the formula (1) is 15 or more the crystallinity of the straight-chain hydrocarbon group becomes remarkable, and the silica particles surface-modified with the silane coupling agent may aggregate. .
  • Examples of the silane coupling agent represented by the formula (1) include methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-butyltrimethoxysilane, n-pentyltrimethoxysilane, n -hexyltrimethoxysilane, 3-(meth)acryloyloxypropyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, n-butyltriethoxysilane, n-pentyltriethoxysilane, n -hexyltriethoxysilane, 3-(meth)acryloyloxypropyltriethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, diethyldimethoxysilane, 3-(meth)acryloyloxypropy
  • silane coupling agent represented by the formula (1), specifically, KBM-502, KBM-503, KBE-502, KBE-503, KBM-5103, KBM-13. , KBE-13, KBM-22, KBE-22, KBM-3033, KBE-3033, KBM-3063, KBE-3063, KBM-5803, KBM-3103C and KBE-3083 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. ).
  • silane coupling agents represented by the formula (1) can be used singly or in combination of two or more.
  • silane coupling agent represented by the formula (1) and other silane coupling agents not represented by the formula (1) may be used in combination.
  • the other silane coupling agents include: isopropyltrimethoxysilane, isobutyltrimethoxysilane, cyclopentyltrimethoxysilane, cyclohexyltrimethoxysilane, isooctyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, allyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, p-tolyltrimethoxysilane, p- styryltrimethoxysilane, benzyltrimethoxysilane, 1-naphthyltrimethoxysilane, trimethoxy[3-(phenylamino)propyl]silane, [3-(N,N-dimethylamino)propyl]trimethoxysilane, 3-(2
  • silane coupling agents specifically, KBM-1003, KBE-1003, KBM-1403, KBM-602, KBM-603, KBM-903, KBE-903, KBM -573, KBM-6803, KBE-9007, KBM-9659, KBE-9659, KBM-802, KBM-803, KBM-103, KBE-103, KBM-202SS, X-12-1048, X-12-1050 , X-12-1154, X-12-1156, X-12-972F, X-12-1159L, X-40-9296, KR-503, KR-511, KR-513, KR-518, KR-519 and KPN-3504 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).
  • the other silane coupling agents may be used alone or in combination of two or more.
  • silane coupling agents When surface-modifying silica particles using a silane coupling agent represented by the formula (1) and optionally in combination with another silane coupling agent not represented by the formula (1), these silane coupling agents
  • the amount used satisfies all the relationships represented by the following formulas (8) and (9), and is preferably represented by the following formulas (8') and (9') per 1 g of the silica particles. It satisfies all the relationships, and more preferably satisfies all the relationships represented by the following formulas (8'') and (9'').
  • the usage amount of the silane coupling agent represented by the formula (1) is y millimoles
  • the usage amount of the other silane coupling agents not represented by the formula (1) is z millimoles.
  • Formula (8) 0.1 millimoles ⁇ (y+z) ⁇ 2 millimoles
  • Formula (9) 0.1 millimoles ⁇ y Formula (8′): 0.2 mmol ⁇ (y+z) ⁇ 1.5 mmol
  • the amount of the silane coupling agent represented by the formula (1) used is less than 0.1 millimoles, the affinity and adhesion between the surface of the silica particles and the organic resin will be insufficient, resulting in the photocurability of the present invention. There is a possibility that the transmittance of the cured product and the molded product obtained from the composition may be lowered.
  • the total amount of the silane coupling agent represented by the formula (1) and the other silane coupling agent not represented by the formula (1) is more than 2 millimoles, the silane coupling agent is added to the silica particles.
  • the silane coupling agent is excessively generated and not consumed for surface modification of the silica particles, the storage stability and mechanical properties of the cured product and molded article may deteriorate.
  • the silica particles of component (c) of the photocurable composition of the present invention have a primary particle size of 1 nm to 100 nm.
  • the primary particles are particles that constitute the powder, and the aggregated particles of the primary particles are called secondary particles.
  • the primary particle size calculated from the above relational expression is the average particle size and the diameter of the primary particles. If the primary particle size is less than 1 nm, the silica particles tend to aggregate, possibly deteriorating storage stability. If the primary particle size is larger than 100 nm, the transparency of the cured product and molded product may be impaired.
  • silica particles of the component (c) silica particles that are not surface-modified and the silane coupling agent are reacted by various known methods.
  • silica particles that are not surface-modified it is preferable to use, for example, silica particles dispersed in an organic solvent (organosilica sol).
  • organosilica sol such as CHO-ST-M, DMAC-ST, DMAC-ST-ZL, EAC-ST, EG-ST, EG-ST-ZL, EG-ST-XL30, IPA-ST, IPA-ST-L, IPA-ST-ZL, IPA-ST-UP, Methanol Silica Sol, MA-ST-M, MA-ST-L, MA-ST-ZL, MA-ST-UP, MEK -ST, MEK-ST-40, MEK-ST-L, MEK-ST-ZL, MEK-ST-UP, MIBK-ST, MIBK-ST-L, NMP-ST, NPC-ST-30, PMA-ST , PGM-ST, PGM-ST, PGM-ST-UP, and TOL-ST (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.).
  • organosilica sol a commercially available water-dispersed silica sol obtained by replacing water with an organic solvent by a known method such as vacuum distillation or ultrafiltration, or a commercially available powdery silica sol dispersed in an organic solvent may be used. .
  • the silica solid content concentration in the organosilica sol is not particularly limited, it is generally preferably 60% by mass or less.
  • the content of component (c) in the photocurable composition of the present invention is 100, the sum of components (a), (b), (c), and (d) contained in the photocurable composition. It is 0.5 to 13 parts by mass, preferably 1 to 11.5 parts by mass, and more preferably 1.5 to 10 parts by mass. If the content of the component (c) is less than 0.5 parts by mass, the adhesiveness and heat resistance of the cured product and molded product obtained from the photocurable composition may deteriorate. If the content of component (c) is more than 13 parts by mass, haze may occur in the cured product and the molded product, resulting in a decrease in transmittance.
  • the component (c) may be used alone or in combination of two or more.
  • a plurality of silica particles having different primary particle diameters may be combined, or a plurality of silica particles having different types and amounts of silane coupling agents used for surface modification may be combined.
  • the polyrotaxane having a (meth)acryloyloxy group that can be used as the (d) component of the photocurable composition of the present invention is a pseudopolyrotaxane in which the opening of the cyclic molecule is skewered by a linear molecule. is arranged with a blocking group so that the cyclic molecule does not leave, and the cyclic molecule has a (meth)acryloyloxy group.
  • a cyclic molecule, a linear molecule and a blocking group, which are constituents of the polyrotaxane, will be described.
  • Cyclic molecule The cyclic molecule of the polyrotaxane is not particularly limited as long as it is cyclic, has an opening, and is clathrated in a skewed manner by linear molecules.
  • the (meth)acryloyloxy group may be directly bonded to the cyclic molecule or via a spacer.
  • Said cyclic molecule is preferably selected from the group consisting of, for example, ⁇ -cyclodextrin, ⁇ -cyclodextrin and ⁇ -cyclodextrin.
  • linear molecule The linear molecule of the polyrotaxane is not particularly limited as long as it can be skewered in the opening of the cyclic molecule used.
  • linear molecule include polymers selected from the group consisting of polyethylene glycol, polyisoprene, polyisobutylene, polybutadiene, polypropylene glycol, polytetrahydrofuran, polydimethylsiloxane, polyethylene, polypropylene, polyvinyl alcohol and polyvinyl methyl ether. Preferred are polyethylene glycols.
  • the linear molecule has a weight average molecular weight of 1,000 or more, preferably 3,000 to 100,000, more preferably 6,000 to 50,000.
  • the combination of (cyclic molecule, linear molecule) is ( ⁇ -cyclodextrin-derived, polyethylene glycol-derived).
  • the blocking groups of the polyrotaxane are not particularly limited as long as they are groups arranged at both ends of the pseudopolyrotaxane and acting so that the cyclic molecule used does not detach.
  • the blocking group is preferably, for example, a blocking group selected from the group consisting of dinitrophenyl groups, cyclodextrins, adamantyl groups, trityl groups, fluoresceins, silsesquioxanes, and pyrenes, more preferably Adamantyl groups or cyclodextrins.
  • CELM registered trademark superpolymer SA1305P, SA1303P, SA1305P-10, SA2403P, SA2405P-10, SA3403P, SM1303P, SM2403P and 3403P [manufactured by ASM Co., Ltd. (former Advanced Soft Materials Co., Ltd.)].
  • the content thereof is the component (a), component (b), component (c), and component (d) contained in the photocurable composition. It is 0.5 to 7 parts by mass, preferably 1 to 5 parts by mass, per 100 parts by mass of the total components.
  • toughness can be imparted to the cured product and molded article obtained from the photocurable composition, and mechanical properties and thermal shock resistance can be improved.
  • the component (d) may be used alone or in combination of two or more.
  • polyfunctional thiol represented by the formula (2) examples include 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, bis (2-mercaptoethyl) ether, trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate), tris-[(3-mercaptopropionyloxy)-ethyl]-isocyanurate, tetraethylene glycol bis(3-mercaptopropionate) , dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy ) butane, 1,3,5-tris(3-
  • polyfunctional thiol compound represented by the formula (2) TMMP, TEMPIC, PEMP, EGMP-4, DPMP, TMMP II-20P, PEMP II-20P and PEPT (manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd.).
  • the content of component (e) in the photocurable composition of the present invention is 100, the sum of components (a), (b), (c), and (d) contained in the photocurable composition. It is 0 to 4 parts by mass, preferably 0.2 to 3 parts by mass.
  • the component (e) inhibition of polymerization due to oxygen during photocuring of the photocurable composition can be reduced, and radical reaction efficiency can be improved.
  • the transmittance of the cured product and the molded product obtained from the photocurable composition can be improved. If the content of the component (e) is more than 4 parts by mass, there is a risk that the cured product and the molded product will have reduced reliability, such as haze, when exposed to a high-humidity, high-temperature environment.
  • the component (e) may be used alone or in combination of two or more.
  • Phenolic antioxidants that can be used as the (f) component of the photocurable composition of the present invention include, for example, IRGANOX (registered trademark) 245, 1010, 1035, 1076, and 1135 (above, BASF Japan Co., Ltd.), SUMILIZER (registered trademark) GA-80, GP, MDP-S, BBM-S, WX-R (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), ADEKA STAB (registered trademark) AO- 20, AO-30, AO-40, AO-50, AO-60, AO-80 and AO-330 (manufactured by ADEKA Corporation).
  • the photocurable composition of the present invention contains component (f), its content is the component (a), component (b), component (c), and component (d) contained in the photocurable composition.
  • ) is 0.05 to 3 parts by mass, preferably 0.1 to 1 part by mass, per 100 parts by mass of the sum of the components.
  • the component (f) may be used alone or in combination of two or more.
  • sulfide antioxidant examples include ADEKA STAB (registered trademark) AO-412S and ADEKA STAB AO-503 (manufactured by ADEKA Corporation), IRGANOX (registered trademark) PS802, IRGANOX (registered trademark) PS800 (manufactured by BASF Japan Ltd.), and SUMILIZER (registered trademark) TP-D (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.).
  • the content thereof is the components (a), (b), (c), and (d) contained in the photocurable composition. It is 0.2 parts by mass to 1 part by mass, preferably 0.5 parts by mass to 0.7 parts by mass, per 100 parts by mass of the total components.
  • the component (g) may be used alone or in combination of two or more.
  • the photocurable composition of the present invention may optionally contain a chain transfer agent, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a leveling agent, a rheology modifier, and a silane coupling agent as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • Additives such as adhesion adjuvants, pigments, dyes, antifoaming agents, etc. can be contained.
  • the method for preparing the photocurable composition of the present invention is not particularly limited. Preparation methods include, for example, components (a), (b), (c) and (d), and if necessary, components (e), (f) and/or (g) in a predetermined ratio. to form a uniform solution.
  • the photocurable composition of the present invention prepared as a solution is preferably used after being filtered using a filter having a pore size of 0.1 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • a cured product can be obtained by exposing (photocuring) the photocurable composition of the present invention, and the cured product is also covered by the present invention.
  • the light for exposure is not particularly limited as long as the cured product can be obtained, and examples thereof include ultraviolet rays, electron beams and X-rays.
  • a light source for ultraviolet irradiation for example, sunlight, chemical lamps, low-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, metal halide lamps, xenon lamps, and UV-LEDs can be used.
  • post-baking may be applied to stabilize the physical properties of the cured product.
  • the post-baking method is not particularly limited, but is usually performed using a hot plate, an oven, or the like at 50° C. to 260° C. for 1 minute to 24 hours.
  • a cured product obtained by photocuring the photocurable composition of the present invention has a high transmittance of 90% or more at a wavelength of 410 nm. Therefore, the photocurable composition of the present invention can be suitably used as an optical film for flat panel displays.
  • molded articles can be easily produced from the photocurable composition of the present invention in parallel with the formation of a cured product, for example, by using an imprint method. A detailed process for manufacturing the compact will be described below.
  • the photocurable composition of the present invention is supplied (preferably applied, more preferably coated) onto a substrate to form a coating layer (pattern forming layer).
  • a coating method for supplying the photocurable composition of the present invention onto a substrate by coating generally well-known coating methods such as spin coating, dip coating, air knife coating, and curtain coating can be used. , a wire bar coating method, a gravure coating method, an extrusion coating method, and the like; a slit scan method; an inkjet method, and the like.
  • the film thickness of the coating layer made of the photocurable composition of the present invention is about 0.05 ⁇ m to 10 ⁇ m, although it varies depending on the intended use.
  • the photocurable composition of the present invention may be applied by multiple coating.
  • another organic layer such as a planarizing layer may be formed between the substrate and the coating layer made of the photocurable composition of the present invention.
  • the coating method in which the surface area (specific surface area) per unit volume of the composition remarkably increases during coating is the effect of the present invention. appears more prominently, which is preferable.
  • Preferable coating methods include a spin coating method, a slit scan method, and an inkjet method.
  • the method for supplying the photocurable composition onto the substrate is more preferably a spin coating method or an inkjet method.
  • the substrate is, for example, a semiconductor substrate such as silicon coated with a silicon oxide film, a semiconductor substrate such as silicon coated with a silicon nitride film or a silicon oxynitride film, a silicon nitride substrate, a quartz substrate, a glass substrate ( alkali-free glass, low-alkali glass, and crystallized glass), and a glass substrate having an ITO film formed thereon.
  • the method for producing a molded article of the present invention includes an imprinting step of pressing a mold against the surface of the coating layer (pattern forming layer) in order to transfer the pattern to the coating layer.
  • a fine pattern previously formed on the pressing surface of the mold can be transferred to the coating layer.
  • the material of the mold is not limited as long as it is a material that transmits light such as ultraviolet rays used in the photo-curing step described later. Quartz, borosilicate glass and calcium fluoride are mentioned.
  • the material of the mold is resin, it may be either non-photosensitive resin or photosensitive resin. Examples of the photosensitive resin include an imprint replica mold material disclosed in WO 2019/031359.
  • the mold may have a light-shielding film, and the material of the light-shielding film is not limited as long as it is a material that does not transmit light such as ultraviolet rays used in the photo-curing step described later.
  • Nickel, cobalt, titanium, tantalum, tungsten and molybdenum are included.
  • the mold is desirably used after being subjected to a mold release treatment by applying a mold release agent and drying it for a mold release step to be described later.
  • the release agent is available as a commercial product, for example, Novec (registered trademark) 1700, Novec 1710, Novec 1720 (manufactured by 3M Japan Ltd.), Fluorosurf (registered trademark) FG-5084, Novec (registered trademark) FG-5084, FG-5093 (manufactured by Fluoro Technology Co., Ltd.), Durasurf (registered trademark) DP-500, DP-200, DS-5400, DH-100, DH-405TH, DH-610, DS-5800, DS-5935 (manufactured by Harves Co., Ltd.), Polyflon (registered trademark) PTFE TC-7105GN, PTFE TC-7109BK, PTFE TC-7113LB, PTFE TC-7
  • the method for producing a molded article of the present invention includes, after the imprinting step, a photocuring step of exposing the photocurable composition through the mold to form a photocured portion.
  • the light for exposure is not particularly limited as long as it can form the photocured portion, but examples thereof include ultraviolet rays, electron beams and X-rays.
  • a light source for ultraviolet irradiation for example, sunlight, chemical lamps, low-pressure mercury lamps, high-pressure mercury lamps, metal halide lamps, xenon lamps, and UV-LEDs can be used.
  • the film thickness of the photocured portion is usually 1 ⁇ m to 10 ⁇ m, preferably 1.5 ⁇ m to 8 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 6 ⁇ m. If the mold is made of a material that transmits light such as ultraviolet rays and has a light-shielding film that does not transmit light such as ultraviolet rays, it is used as a mask in this step.
  • the heating temperature is preferably 30°C to 150°C, more preferably 40°C to 120°C, still more preferably 50°C to 110°C.
  • the heating time is preferably 10 seconds to 5 minutes, more preferably 20 seconds to 3 minutes, still more preferably 30 seconds to 2 minutes.
  • the method for producing a molded article of the present invention has a mold release step of separating the photocuring part and the mold.
  • a release method is not particularly limited as long as the photocured portion can be completely separated from the mold without being damaged or deformed.
  • the mold can be easily separated from the photo-cured portion by a mold release treatment in which the mold release agent is applied and dried.
  • a step of heating the photocured portion may be further included. to 260° C. and 1 minute to 24 hours.
  • the heating means is not particularly limited, but includes, for example, a hot plate and an oven.
  • the method for producing a molded article of the present invention may further include a step of forming an antireflection film on the surface of the photocured portion after the mold release step.
  • the antireflection film is formed on the surface of the photocured product in order to suppress reflection of light incident on the photocured product and improve transmittance.
  • Examples of the method for forming the antireflection film include a vacuum deposition method, a sputtering method, a CVD method, a mist method, a spin coating method, a dip coating method, and a spray coating method.
  • the antireflection film include inorganic films such as magnesium fluoride and silicon dioxide, and organic films such as organopolysiloxane.
  • Molded bodies (patterns) produced by such a method can be suitably used for interlayer insulating films, gate insulating films, spacers, protective films of semiconductor devices, polarizers of liquid crystal display devices, optical members, and the like.
  • Stirring and defoaming device Rotation/revolution mixer Awatori Mixer (registered trademark) ARE-310 manufactured by Thinky Co., Ltd.
  • Viscosity measuring device E-type viscometer TVE-22L manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.
  • UV exposure and imprinting device Meisho Kiko Co., Ltd.
  • hybrid nanoimprinter NM-0801HB (wavelength 365 nm) compatible with thermal and UV curing (5)
  • Transmittance measuring device UV-visible near-infrared spectrophotometer V-670 manufactured by JASCO Corporation Reference: Air (6)
  • Refractive index measuring device Metricon prism coupler MODEL2010/M (7)
  • Imprintability evaluation device field emission scanning electron microscope S-4800 manufactured by Hitachi High-Tech Co., Ltd.
  • V#150, V#160 and V#190 are monofunctional (meth)acrylates having one (meth)acryloyloxy group per molecule that can be used as the component (a1).
  • APG-100, UA-4200, V#230 and V#260 are polyfunctional (meth)acrylates having two or more (meth)acryloyloxy groups in one molecule, which can be used as the component (a). . All of these are bifunctional (meth)acrylates having two (meth)acryloyloxy groups in one molecule, and among these, UA-4200 is the bifunctional urethane (meth)acrylate of component (a2). and V#230 and V#260 are bifunctional (meth)acrylates represented by the formula (3) of the component (a3).
  • I184 is a photoradical initiator that can be used as the component (b).
  • the MOTMS is a silane coupling agent represented by the formula (1) that modifies the surface of the silica particles of the component (c).
  • Silica sol i (methanol-dispersed silica sol, primary particle diameter 20 nm to 25 nm, silica particle concentration 40% by mass) is a raw material for the silica particles of component (c), which has a primary particle diameter of 1 nm to 100 nm and is not surface-modified. It is an organosilica sol containing silica particles.
  • SA1305P Ethyl acetate dispersion of polyrotaxane having a cyclic molecule consisting of cyclodextrin, a linear molecule consisting of a polyethylene glycol chain, a blocking group consisting of an adamantyl group, and an acryloyloxy group via a spacer in the side chain of the cyclic molecule, solid content concentration of 50% by mass
  • SA1305P Ethyl acetate dispersion of polyrotaxane having a cyclic molecule consisting of cyclodextrin, a linear molecule consisting of a polyethylene glycol chain, a blocking group consisting of an adamantyl group, and an acryloyloxy group via a spacer in the side chain of the cyclic molecule, solid content concentration of 50% by mass
  • a polyrotaxane having a (meth)acryloyloxy group that can be used as the component (d).
  • PEPT is a polyfunctional thiol represented by the formula (2) that can be used as the component (e).
  • I245 is a phenolic antioxidant that can be used as the component (f).
  • Example 1 0.7 g of UA-4200 and 3.6 g of V#260 as the (a) component, 0.05 g of I184 as the (b) component, and the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the (c) component 0.45 g of the liquid (0.25 g in terms of MOTMS-modified silica particles) and 0.25 g (0.13 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) were blended. , and 25.0° C. for 15 hours, followed by stirring and defoaming for 10 minutes using the stirring and defoaming machine, thereby preparing a photocurable composition 1.
  • Example 2 0.1 g of UA-4200 and 4.2 g of V#260 as the component (a), and 0.55 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.30 g), and 0.15 g (0.075 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 2 was prepared.
  • Example 3 0.04 g of UA-4200 and 4.7 g of V#260 as the component (a), and 0.18 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.099 g), and 0.05 g (0.025 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 3 was prepared.
  • Example 4 1.1 g of UA-4200 and 2.8 g of V#160 as the component (a), and 0.73 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.40 g), and 0.39 g (0.20 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 4 was prepared.
  • Example 5 1.1 g of UA-4200 and 2.8 g of V#190 as the component (a), and 0.73 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.40 g), and 0.39 g (0.20 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 5 was prepared.
  • Example 6 0.4 g of UA-4200 and 4.2 g of V#190 as the component (a), and 0.27 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.15 g), and 0.15 g (0.075 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 6 was prepared.
  • Example 7 0.1 g of UA-4200 and 4.7 g of V#190 as the component (a), and 0.09 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.050 g), and 0.05 g (0.025 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a sexual composition 7 was prepared.
  • Example 8 0.03 g of UA-4200 and 4.1 g of V#260 as the (a) component, 0.05 g of I184 as the (b) component, and the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the (c) component 0.54 g of the liquid (0.30 g in terms of MOTMS-modified silica particles), 0.23 g of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) (0.12 g in terms of polyrotaxane), the (f ) component, 0.04 g of I245 was blended and mixed by shaking at 25.0° C. for 15 hours. Photocurable composition 8 was prepared by stirring and defoaming.
  • Example 9 0.05 g of UA-4200 and 3.6 g of V#260 as the component (a), and 0.90 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.50 g), and 0.38 g (0.19 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a photocurable composition 9 was prepared in the same manner as in Example 8, except that 0.10 g of PEPT was added as the component (e).
  • Example 10 0.02 g of UA-4200 and 4.4 g of V#260 as the component (a), and 0.36 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.20 g), and 0.15 g (0.075 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used. After mixing, a photocurable composition 10 was prepared in the same manner as in Example 8, except that 0.04 g of PEPT was added as the component (e).
  • Example 11 0.01 g of UA-4200 and 4.7 g of V#260 as the component (a), and 0.17 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.094 g), and 0.07 g (0.035 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used.
  • a photocurable composition 8 was prepared in the same manner as in Example 10, except that 0.02 g of PEPT was added as the component (e).
  • Example 12 0.02 g of UA-4200 and 4.4 g of V#150 as the component (a), and 0.36 g of the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1 as the component (c) (in terms of MOTMS-modified silica particles 0.20 g), and 0.15 g (0.075 g in terms of polyrotaxane) of the V#260 dispersion obtained in Production Example 2 as the component (d) was used. After mixing, a photocurable composition 12 was prepared in the same manner as in Example 8, except that 0.04 g of PEPT was added as the component (e).
  • Photocurable Compositions 1 to 21 prepared in Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 to 9 are shown in Tables 1 and 2 below.
  • “parts” means “parts by mass”.
  • the parts by mass of component (c) represent only the surface-modified silica particle component in the UA-4200 dispersion obtained in Production Example 1
  • the component (d) Parts by mass represent only the polyrotaxane component in the V#260 dispersion liquid obtained in Production Example 2 above.
  • the photocurable compositions prepared in Examples 1 to 12 had viscosities higher than 1 mPa ⁇ s and lower than 50 mPa ⁇ s at 25.0°C. All of the photocurable compositions could be spin-coated, had good film-forming properties, and could be measured for film thickness. The lower the viscosity of the photocurable composition, the better the film formability.
  • the photocurable compositions prepared in Comparative Examples 1 to 9 had viscosities higher than 50 mPa ⁇ s at 25.0°C. Although all of the photocurable compositions could be spin-coated, the film-forming property deteriorated, and the photocurable compositions prepared in Comparative Examples 1, 4, and 5 could not be measured for film thickness. there were.
  • a photocurable composition having a viscosity of more than 100 mPa ⁇ s at 25.0° C. did not allow the coating layer to spread uniformly, and further deteriorated the film formability.
  • a photocurable composition having a viscosity of more than 250 mPa ⁇ s at 25.0° C. did not spread as a coating layer, resulting in further deterioration in film-forming properties and making it impossible to measure the film thickness.
  • the photocurable composition prepared in Example 11 is coated with a solution obtained by diluting an adhesion aid (trade name: KBM-5803) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. with propylene glycol monomethyl ether acetate to 10% by mass and dried. This was sandwiched between a primer-treated glass substrate and a release-treated glass substrate on which Novec (registered trademark) 1720 (manufactured by 3M Japan Ltd.) was applied and dried. After that, the photocurable composition sandwiched between the primer-treated glass substrate and the release-treated glass substrate was pressed at 100 N using the hybrid nanoimprinter and exposed to UV at 6 J.
  • an adhesion aid trade name: KBM-5803
  • Novec registered trademark
  • the obtained cured product was heated on a hot plate at 100° C. for 10 minutes, and then peeled off from the release-treated glass substrate to prepare a cured product having a thickness of 5 ⁇ m.
  • the transmittance of the cured product at a wavelength of 410 nm was measured using the spectrophotometer. The results are shown in Table 4 below.
  • the photocurable composition prepared in Example 11 is coated with a solution obtained by diluting an adhesion aid (trade name: KBM-5803) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. with propylene glycol monomethyl ether acetate to 10% by mass and dried.
  • a glass substrate treated with a primer and Novec (registered trademark) 1720 (manufactured by 3M Japan Co., Ltd.) were applied and dried, and sandwiched between silicon molds subjected to release treatment. After that, the photocurable composition sandwiched between the primer-treated glass substrate and the release-treated silicon mold was pressed at 100 N using the hybrid nanoimprinter and exposed to UV at 6 J.
  • the obtained cured product is heated on a hot plate at 100° C. for 10 minutes, and then separated from the release-treated silicon mold to prepare a molded body (pattern) on the primer-treated glass substrate. did. Observation of the produced molded article using the field emission scanning electron microscope indicated that the molded article exhibited imprintability capable of forming a desired pattern. The results are shown in FIG. 1 and represented by “ ⁇ ” in Table 4.
  • the photocurable composition containing the component (a) to the component (d) of the present invention can be spin-coated, and the surface of the coating layer is uniform, and it can be used on a glass substrate.
  • the molded article produced in 1 was confirmed to have imprintability and exhibited high transmittance.

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Abstract

【課題】 薄膜に塗布可能な光硬化性組成物を提供する。 【解決手段】 下記(a)成分乃至(d)成分を含み、該(a)成分乃至(d)成分の和100質量部に対して該(a)成分の含有量は80質量部乃至99質量部であり、25.0℃における粘度が1mPa・s乃至50mPa・sである光硬化性組成物。 (a):(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する少なくとも1種の単官能又は多官能(メタ)アクリレート(但し、下記(d)成分を除く)(b):光ラジカル開始剤(c):少なくとも1種のシランカップリング剤で表面修飾された、一次粒子径が1nm乃至100nmのシリカ粒子(d):(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサン

Description

薄膜形成用光硬化性組成物
本発明は、(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する単官能又は多官能(メタ)アクリレート、光ラジカル開始剤、特定のシランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子、及び(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサンを含む光硬化性組成物に関する。本光硬化性組成物は低粘度化により、スピンコート等の薄膜塗布が可能でありながら、その光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体は、インプリントによるパターン形成が可能であり、また、高透明性を有し、ガラスと近いn550=1.50の屈折率を有する。
インプリント法は、寸法およそ数十nm~数百nmの凹凸を刻み込んだモールド(一般的にスタンパ、テンプレートなどと呼称)を、樹脂材料に押し付けて力学的に変形させて、金型の微細パターンを精密に転写する技術である。一度モールドを作製すれば、ナノサイズの微細構造を簡便に繰り返し成型できる事から、リソグラフィとエッチングを使う従来のパターン形成技術に比べて経済的である。
インプリント法は、その手法により2つに大別される。一方は特許文献1に示すような熱可塑性樹脂を用いる熱インプリント法、もう一方は特許文献2に示すような光硬化性樹脂を用いる光インプリント法と呼ばれる。特に、光インプリント法は押し付け時に未硬化物を用いるため、製造時間の短縮が図れると共に、高圧、高温加熱を必要としないため、熱に弱い部材にも使用可能な手法である。このような歩留まりの良さに起因し、光インプリント法は光学材料の創出に広く用いられている。
光インプリント法によるインプリントをさらに歩留まり良く行うためには、低粘度の硬化性組成物を基材上に塗布するのが一般的である。これにより、硬化性組成物がモールドに十分に充填されるようになる。基材上にインプリント用硬化性組成物を塗布する方法として、特許文献3及び4に示すように、スピンコート法、ディップコート法、インクジェット法等の公知の方法が挙げられる。
これらの手法を用いた発明の例として、特許文献5に示すような、低粘度かつ塗布時に基材上の成分の揮発が少ないインプリント用硬化性組成物が挙げられる。
一方、硬化物の耐熱性や密着性、光学特性等を向上させる手法として、シリカ粒子やジルコニア粒子等の無機微粒子を有機樹脂と複合させる技術が広く知られている。特許文献6に示す例では、特定の多官能重合性単量体、特定のシランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子及び多官能チオールを、それぞれ硬化性組成物に所定量配合することによって、硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の透過率を向上したことを報告している。
米国特許第5772905号明細書 米国特許第6334960号明細書 特許第5348433号公報 特許第5671377号公報 特開2014-170949号公報 国際公開第2020/129902号
特許文献5においては、難揮発性を評価する際、重合性単量体1種単独の残存率を評価しているため、重合性単量体を2種以上含む硬化性組成物の難揮発性の水準は不明である。
また、特許文献6に記載の硬化性組成物の粘度は非常に高く、スピンコート法等の手法を用いて基材上に塗布すると、膜表面の均一性が著しく低下するという問題があった。
光学材料として使用し得る高い透明性を有しながら、スピンコート法等で均一性を有する薄膜塗布を行うことが可能な粒子添加型樹脂組成物は未だ無く、その開発が望まれていた。本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、前記課題を解決する硬化性組成物を提供することを目的とする。
本発明者らは、前記課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、特定の単官能又は多官能(メタ)アクリレートを光硬化性組成物に所定量配合することによって、該光硬化性組成物をスピンコート等の薄膜塗布が可能な組成にすることを可能にした。さらに本発明者らは、この光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体について、インプリントによるパターン形成を可能にした。
すなわち、本発明の第一態様は、下記(a)成分乃至(d)成分を含み、該(a)成分乃至(d)成分の和100質量部に対して該(a)成分の含有量は80質量部乃至99質量部であり、25.0℃における粘度が1mPa・s乃至50mPa・sである光硬化性組成物である。
(a):(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する少なくとも2種の単官能又は多官能(メタ)アクリレート(但し、下記(d)成分を除く)
(b):光ラジカル開始剤
(c):下記式(1)で表される少なくとも1種のシランカップリング剤で表面修飾された、一次粒子径が1nm乃至100nmのシリカ粒子
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
(式中、Xは水素原子又は(メタ)アクリロイルオキシ基を表し、R及びRはそれぞれ独立して水素原子又は炭素原子数1乃至2のアルキル基を表し、mは1乃至14の整数を表し、nは0乃至2の整数を表す。)
(d):(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサン
本発明の光硬化性組成物はさらに、下記(e)成分を含有してもよい。
(e):下記式(2)で表される多官能チオール
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
(式中、Rは単結合、炭素原子数1乃至6の直鎖状アルキレン基又は炭素原子数3乃至6の分岐鎖状のアルキレン基を表し、Xは単結合、エステル結合又はエーテル結合を表し、Qはヘテロ原子を少なくとも1つ含むもしくはヘテロ原子を含まない炭素原子数2乃至12の有機基、又はヘテロ原子を表し、pは2乃至6の整数を表す。)
上記ヘテロ原子は、窒素、酸素、硫黄等の、炭素及び水素以外の原子を表す。
本発明の光硬化性組成物はさらに、下記(f)成分及び/又は下記(g)成分を含有してもよい。
(f):フェノール系酸化防止剤
(g):スルフィド系酸化防止剤
前記(a)成分は、例えば、下記(a1)成分、下記(a2)成分及び下記(a3)成分からなる群から選ばれる。
(a1):単官能(メタ)アクリレート
(a2):二官能ウレタン(メタ)アクリレート
(a3):下記式(3)で表される二官能(メタ)アクリレート
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
(式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Qは炭素原子数4乃至10の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す。)
前記(c)成分は、例えば、前記式(1)におけるXが(メタ)アクリロイルオキシ基のシランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子である。
本発明の第二態様は、膜厚が1.0μm乃至10.0μmである前記光硬化性組成物の硬化物である。
本発明の第三態様は、前記光硬化性組成物をインプリント成形する工程を含む、成形体の製造方法である。
本発明の第四態様は、光硬化性組成物の成形体の製造方法であって、基材上に前記光硬化性組成物を供給する工程、該光硬化性組成物と、目的とする成形体の形状の反転パターンを有するモールドとを接触させるインプリント工程、該インプリント工程の後、該モールドを介して該光硬化性組成物を露光して光硬化部を形成する光硬化工程、及び該光硬化部と該モールドとを分離する離型工程を含む、成形体の製造方法である。
前記光硬化性組成物を供給する工程は、該光硬化性組成物をスピンコート法、スリットスキャン法又はインクジェット法により塗布する工程である。
前記光硬化工程の後、前記離型工程の前、中途又は後に、前記光硬化部を加熱する工程をさらに含んでもよい。
前記成形体は、例えば、フラットパネルディスプレイ用光学フィルムである。
本発明の光硬化性組成物は、必須成分として前記(a)成分乃至前記(d)成分を含み、任意で前記(e)成分を含み、さらに任意で前記(f)成分及び/又は前記(g)成分を含む。前記(a)成分及び前記(b)成分の存在により、前記光硬化性組成物が露光された際に三次元架橋体が形成され、硬化物が得られる。また、(a)成分により、組成物が低粘度化することでスピンコート等の薄膜塗布が可能でありながら、インプリントによるパターン形成が可能となることを見出した。
さらに、前記(c)成分として前記式(1)で表されるようなシランカップリング剤、すなわち、炭素原子数が1乃至14の炭化水素基を有するシランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子を用いることで、該シリカ粒子の表面と有機樹脂との親和性・密着性を向上させる結果、シリカ粒子の分散性を高めて該硬化物及び成形体の透明性を高くすることができる。
図1は、実施例11で調製した光硬化性組成物を用いてガラス基板上に作製した成形体を示す、電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)写真である。
本発明の光硬化性組成物は、25.0℃における粘度が1mPa・s乃至70mPa・s、好ましくは1mPa・s乃至50mPa・s、より好ましくは1mPa・s乃至45mPa・sである。本発明の光硬化性組成物の各成分について、より詳細に説明する。なお、本発明において、(メタ)アクリロイルオキシ基とは、“CH=C(CH)-C(=O)O-”で表されるメタクリロイルオキシ基又は“CH=CH-C(=O)O-”で表されるアクリロイルオキシ基を示す。
[(a)成分:(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する少なくとも2種の単官能又は多官能(メタ)アクリレート]
本明細書では、本発明の光硬化性組成物の(a)成分として使用可能な、(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する単官能又は多官能(メタ)アクリレートの内、単官能(メタ)アクリレートを(a1)成分と称し、“-NH-C(=O)O-”で表されるウレタン結合を少なくとも1つ有する化合物[二官能ウレタン(メタ)アクリレート]を(a2)成分と称し、前記式(3)で表される二官能(メタ)アクリレートを(a3)成分と称する。本発明の光硬化性組成物が(a2)成分を含むとき、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体は、基材との密着性に優れる。本発明の光硬化性組成物が(a3)成分を含むとき、該光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体は、柔軟性に優れ、且つ後述の(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサンとの相溶性に優れる。本発明の光硬化性組成物の(a)成分は、後述する(d)成分を除くものである。
[(a1)成分:単官能(メタ)アクリレート]
前記(a1)成分としては、例えば、2-アクリロイロキシエチルフタレート、2-アクリロイロキシ2-ヒドロキシエチルフタレート、2-アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタレート、2-アクリロイロキシプロピルフタレート、2-エチル-2-ブチルプロパンジオールアクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシルカルビトール(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-メトキシエチル(メタ)アクリレート、3-メトキシブチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アクリル酸ダイマー、ベンジル(メタ)アクリレート、1-ナフチル(メタ)アクリレート、2-ナフチル(メタ)アクリレート、ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性(以下「EO変性」という。)クレゾール(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、エトキシ化フェニル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロヘンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イソミリスチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールベンゾエート(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、エピクロロヒドリン変性フェノキシアクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシヘキサエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシテトラエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール-ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、EO変性コハク酸(メタ)アクリレート、tert-ブチル(メタ)アクリレート、トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、EO変性トリブロモフェニル(メタ)アクリレート、トリドデシル(メタ)アクリレートが挙げられる。
[(a2)成分:二官能ウレタン(メタ)アクリレート]
前記(a2)成分としては、例えば、U-2PPA、U-200PA、U-160TM、U-290TM、UA-4200、UA-4400、UA-122P、UA-W2A(以上、新中村化学工業(株)製)、AH-600、UF-8001G(以上、共栄社化学(株)製)、EBECRYL(登録商標)210、同230、同270、同280/15IB、同284、同4491、同4683、同4858、同8307、同8402、同8411、同8413、同8804、同8807、同9270、同246/20HEMA、同1271、同286、同4859、同8409、同8809、同8810、同8811、KRM(登録商標)7735、同8961、同8191、(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、M-1100、M-1200(以上、東亞合成(株)製)、UV-2000B、UV-3000B、UV-3200B、UV-3300B、UV-3310B、UV-3500BA、UV-3520EA、UV-3700B、UV-6640B及びUV-6630B(以上、三菱ケミカル(株)製)が挙げられる。
前記(a2)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(a3)成分:前記式(3)で表される二官能(メタ)アクリレート]
前記(a3)成分としては、例えば、1,3-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、3-メチル-1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,7-ヘプタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、2-エチル-1,3-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4,4-トリメチル-1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4-ジエチル-1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2-ブチル-2-エチル-1,3-プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、及び1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。
前記(a3)成分として市販品を用いてもよく、具体的には、ビスコート#195、ビスコート#230、ビスコート#260(以上、大阪有機化学工業(株)製)、BD、NPG、A-NPG、HD-N、A-HD-N、NOD-N、A-NOD-N、A-IND、DOD-N、A-DOD-N(以上、新中村化学工業(株)製)、FA-121M、FA-124M、FA-125M、FA-129AS(以上、昭和電工マテリアルズ(株)製)、ライトエステル1.4BG、ライトエステルNP、ライトエステル1.6HX、ライトエステル1.9ND、ライトアクリレート1.6HX-A、ライトアクリレート1.9ND-A、ライトアクリレートNP-A、ライトアクリレートMPD-A(以上、共栄社化学(株)製)、HDDA(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、HDDA、L-C9A及びND-DA(以上、第一工業製薬(株)製)が挙げられる。
前記(a3)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
前記多官能(メタ)アクリレートの内、前記(a2)成分及び前記(a3)成分いずれにも該当しない二官能(メタ)アクリレートとしては、例えば、シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ジオキサングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性(以下「PO変性」という。)ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、EO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、PO変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、EO変性水添ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート及びヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。
前記(a2)成分及び前記(a3)成分いずれにも該当しない二官能(メタ)アクリレートとして市販品を用いてもよく、具体的には、ビスコート#310HP、ビスコート#335HP(以上、大阪有機化学工業(株)製)、DCP、A-DCP、A-DOG、2G、3G、4G、9G、14G、23G、A-200、A-400、A-600、A-1000、APG-100、APG-200、APG-400、APG-700、3PG、9PG、A-1206PE、A-0612PE、A-0412PE、A-1000PER、A-3000PER、A-PTMG-65、ABE-300、A-BPE-4、A-BPE-10、A-BPE-20、A-BPE-30、A-BPP-3(以上、新中村化学工業(株)製)、FA-222A、FA-220M、FA-240M、FA-240A、FA-P240A、FA-P270A、FA-023M、FA-PTG9M、FA-PTG9A、FA-320M、FA-321M、FA-3218M、FA-321A、FA-324A(以上、昭和電工マテリアルズ(株)製)、ライトエステル2EG、同3EG、同4EG、同9EG、同14EG、同BP-2EMK、ライトアクリレート(登録商標)DCP-A、同3EG-A、同4EG-A、同9EG-A、同14EG-A、同PTMGA-250、同BP-4EAL、同BP-4PA、同HPP-A(以上、共栄社化学(株)製)、DPGDA、TPGDA、IRR 214-K、EBECRYL(登録商標)11、同130、同145、同150(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、PE-200、PE-300、PE-400、PE-600、PEM-1000、BPEM-4、BPE-4、BPEM-10、BPE-10、BPE-20、HBPE-4、HBPEM-10及びHPN(第一工業製薬(株)製)が挙げられる。
前記(a2)成分及び前記(a3)成分いずれにも該当しない二官能(メタ)アクリレートは1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
前記多官能(メタ)アクリレートの内、三官能以上の(メタ)アクリレートとしては、例えば、U-6LPA、U-10HA、U-10PA、UA-1100H、U-15HA、UA-53H、UA-33H、UA-7100(以上、新中村化学工業(株)製)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、UA-510H(以上、共栄社化学(株)製)、EBECRYL(登録商標)220、同8800、同294/25HD、同4220、同4513、同4738、同4740、同4820、同8311、同9260、同8701、同4265、同4587、同4666、同4680、同8210、同8405、同1290、同5129、同8301R、同4501、同2221、同8465、同1258、同4101、同4201、同8209、同1291、同8602、同225、KRM(登録商標)8667、同8296、同8528、同8200、同8200AE、同8530、同8904、同8531BA、同8452(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、UV-2750B、UV-7000B、UV-7510B、UV-1700B、UV-6300B、UV-7550B、UV-7600B、UV-7605B、UV-7610B、UV-7620EA、UV-7630B、UV-7640B及びUV-7650B(以上、三菱ケミカル(株)製)等のウレタン(メタ)アクリレートが挙げられる。
前記三官能以上の(メタ)アクリレートの他の例としては、ビスコート#295、同#300、同#802(以上、大阪有機化学工業(株)製)、A-9300、A-9300-1CL、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、TMPT、A-TMPT、AD-TMP、ATM-35E、A-TMMT、A-9550、A-DPH(以上、新中村化学工業(株)製)、ファンクリル(登録商標)FA-731A、FA-137M(以上、日立化成(株)製)、ライトエステルTMP、ライトアクリレート(登録商標)TMP-A、同PE-3A、同PE-4A、同DPE-6A(以上、共栄社化学(株)製)、PETIA、PETRA、TMPTA、OTA480、EBECRYL(登録商標)160S、同40、同EBECRYL(登録商標)140、同1142、PETA、DPHA(以上、ダイセル・オルネクス(株)製)、TMPTM、TMPT、TMP-2P、TMP-3P、TMP-3、PET-3、PETA-4、TEICA、MF-001、MF-101(以上、第一工業製薬(株)製)、M-305、M-306、M-309、M-310、M-313、M-315、M-321、M-350、M-360、M-400、M-402、M-403、M-404、M-405、M-406、M-408、M-450、M-460及びM-471(以上、東亞合成(株)製)が挙げられる。
前記三官能以上の(メタ)アクリレートは1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
本発明の光硬化性組成物の(a)成分の含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分の和100質量部に対して、80質量部乃至99質量部、好ましくは83.5質量部乃至98質量部、より好ましくは87質量部乃至97質量部である。前記(a)成分が80質量部より少ないと、前記組成物をスピンコートできない虞がある。また前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体が十分な架橋密度を有する有機樹脂マトリクスを形成できず、該硬化物及び成形体は架橋密度が小さいため脆性化する虞がある。
前記(a)成分として(a1)成分、(a2)成分及び(a3)成分からなる群から選ばれる成分を含む場合、その含有量は、本発明の光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分の和100質量部に対して、下記式(4)乃至下記式(6)又は下記式(4)、下記式(5)及び下記式(7)で表される関係をすべて満たし、好ましくは下記式(4´)乃至(6´)又は下記式(4´)、下記式(5´)及び下記式(7´)の関係をすべて満たし、より好ましくは下記式(4´´)乃至(6´´)又は下記式(4´´)、下記式(5´´)及び下記式(7´´)の関係をすべて満たす。ここで、前記(a1)成分の含有量をX質量部、前記(a2)成分の含有量をY質量部、前記(a3)成分の含有量をZ質量部とする。
式(4):80質量部≦(X+Y+Z)≦99質量部
式(5):0質量部≦Y≦30質量部
式(6):80質量部≦(X+Y)≦99質量部
式(7):86質量部≦(Y+Z)
式(4´):83.5質量部≦(X+Y+Z)≦98質量部
式(5´):0質量部≦Y≦20質量部
式(6´):83.5質量部≦(X+Y)≦98質量部
式(7´):87質量部≦(Y+Z)
式(4´´):87質量部≦(X+Y+Z)≦97質量部
式(5´´):0質量部≦Y≦10質量部
式(6´´):87質量部≦(X+Y)≦97質量部
式(7´´):88質量部≦(Y+Z)
前記(a2)成分の含有量が30質量部より多いと、前記組成物をスピンコートした際に膜表面の均一性を保持できない虞がある。
[(b)成分:光ラジカル開始剤]
本発明の光硬化性組成物の(b)成分として使用可能な光ラジカル開始剤として、例えば、アルキルフェノン類、ベンゾフェノン類、ジベンゾイル類、アントラキノン類、アシルホスフィンオキシド類、ベンゾイルベンゾエート類、オキシムエステル類及びチオキサントン類が挙げられ、特に、分子内開裂型の光ラジカル重合開始剤が好ましい。前記光ラジカル開始剤として市販品を用いてもよく、例えば、OMNIRAD(登録商標)127、同184、同369、同369E、同379EG、同500、同651、同819、同784、同907、同1173、同2959、同TPO H(以上、IGM Resins社製)、IRGACURE(登録商標)OXE01、同OXE02、同OXE03、同OXE04、CGI1700、同CGI1750、同CGI1850、同CG24-61(以上、BASFジャパン(株)製)、ESACURE KIP150、同KIP65LT、同KIP100F、同KT37、同KT55、同KTO46及び同KIP75(以上、Lamberti社製)が挙げられる。
本発明の光硬化性組成物の(b)成分の含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(c)成分及び(d)成分の和100質量部に対して、0.1質量部乃至5質量部、好ましくは0.5質量部乃至3質量部である。前記(b)成分の含有量が0.1質量部より少ないと、前記光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の強度が低下する虞がある。前記(b)成分の含有量が5質量部より多いと、該硬化物及び成形体の耐熱性が悪化する虞がある。
前記(b)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(c)成分:前記式(1)で表される少なくとも1種のシランカップリング剤で表面修飾された、一次粒子径が1nm乃至100nmのシリカ粒子]
本発明の光硬化性組成物の(c)成分のシリカ粒子の表面を修飾する、前記式(1)で表されるシランカップリング剤は、該式(1)中のmが1乃至14の整数であること、すなわち炭素原子数1乃至14の直鎖状炭化水素基を分子内に有することが特徴である。具体的には、炭素原子数1乃至14の直鎖状アルキル基がケイ素原子と結合したアルコキシシラン化合物、又は炭素原子数1乃至14の直鎖状アルキレン基を介して(メタ)アクリロイルオキシ基がケイ素原子と結合したアルコキシシラン化合物である。前記式(1)中のmが15以上のシランカップリング剤の場合、直鎖状炭化水素基の結晶性が顕著となり、該シランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子が凝集する虞がある。
前記式(1)で表されるシランカップリング剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、n-プロピルトリメトキシシラン、n-ブチルトリメトキシシラン、n-ペンチルトリメトキシシラン、n-ヘキシルトリメトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n-プロピルトリエトキシシラン、n-ブチルトリエトキシシラン、n-ペンチルトリエトキシシラン、n-ヘキシルトリエトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリエチルメトキシシラン、3-(メタ)アクリロイルオキシプロピルジメチルメトキシシラン、n-オクチルトリメトキシシラン、n-オクチルトリエトキシシラン、n-オクチルメチルジメトキシシラン、n-オクチルエチルジメトキシシラン、n-オクチルメチルジエトキシシラン、n-オクチルエチルジエトキシシラン、n-オクチルジメチルメトキシシラン、n-オクチルジエチルメトキシシラン、n-オクチルジメチルエトキシシラン、n-オクチルジエチルエトキシシラン、n-デシルトリメトキシシラン、n-デシルトリエトキシシラン、n-ドデシルトリメトキシシラン、n-ドデシルトリエトキシシラン、n-テトラデシルトリメトキシシラン、n-テトラデシルトリエトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルトリメトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルトリエトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルメチルジメトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルエチルジメトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルメチルジエトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルエチルジエトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルジメチルメトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルジエチルメトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルジメチルエトキシシラン、8-(メタ)アクリロイルオキシオクチルジエチルエトキシシラン、10-(メタ)アクリロイルオキシデシルトリメトキシシラン、10-(メタ)アクリロイルオキシデシルトリエトキシシラン、12-(メタ)アクリロイルオキシドデシルトリメトキシシラン、12-(メタ)アクリロイルオキシドデシルトリエトキシシラン、14-(メタ)アクリロイルオキシテトラデシルトリメトキシシラン、及び14-(メタ)アクリロイルオキシテトラデシルトリエトキシシランが挙げられる。
前記式(1)で表されるシランカップリング剤として市販品を用いてもよく、具体的には、KBM-502、KBM-503、KBE-502、KBE-503、KBM-5103、KBM-13、KBE-13、KBM-22、KBE-22、KBM-3033、KBE-3033、KBM-3063、KBE-3063、KBM-5803、KBM-3103C及びKBE-3083(以上、信越化学工業(株)製)が挙げられる。
前記式(1)で表されるシランカップリング剤は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、前記式(1)で表されるシランカップリング剤と該式(1)で表されないその他のシランカップリング剤とを併用してもよく、該その他のシランカップリング剤としては、例えば、イソプロピルトリメトキシシラン、イソブチルトリメトキシシラン、シクロペンチルトリメトキシシラン、シクロヘキシルトリメトキシシラン、イソオクチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、p-トリルトリメトキシシラン、p-スチリルトリメトキシシラン、ベンジルトリメトキシシラン、1-ナフチルトリメトキシシラン、トリメトキシ[3-(フェニルアミノ)プロピル]シラン、 [3-(N,N-ジメチルアミノ)プロピル]トリメトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルトリメトキシシラン、8-(2-アミノエチルアミノ)オクチルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリメトキシシラン、トリス[3-(トリメトキシシリル)プロピル]イソシアヌレート、イソプロピルトリエトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、シクロペンチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシラン、イソオクチルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、p-トリルトリエトキシシラン、p-スチリルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-メルカプトプロピルトリエトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、トリス[3-(トリエトキシシリル)プロピル]イソシアヌレート等のトリアルコキシシラン類、ジイソブチルジメトキシシラン、シクロペンチルメチルジメトキシシラン、ジシクロペンチルジメトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジ-p-トリルジメトキシシラン、3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ジイソブチルジエトキシシラン、シクロペンチルメチルジエトキシシラン、ジシクロペンチルジエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジエトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジ-p-トリルジエトキシシラン、3-(2-アミノエチルアミノ)プロピルメチルジメトキシシラン、3-アミノプロピルメチルジエトキシシラン、3-メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等のジアルコキシシラン類、ビニルジメチルメトキシシラン、フェニルジメチルメトキシシラン、ジフェニルメチルメトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン等のモノアルコキシシラン類、及び多官能基型シランカップリング剤が挙げられる。
前記その他のシランカップリング剤として市販品を用いてもよく、具体的には、KBM-1003、KBE-1003、KBM-1403、KBM-602、KBM-603、KBM-903、KBE-903、KBM-573、KBM-6803、KBE-9007、KBM-9659、KBE-9659、KBM-802、KBM-803、KBM-103、KBE-103、KBM-202SS、X-12-1048、X-12-1050、X-12-1154、X-12-1156、X-12-972F、X-12-1159L、X-40-9296、KR-503、KR-511、KR-513、KR-518、KR-519及びKPN-3504(以上、信越化学工業(株)製)が挙げられる。
前記その他のシランカップリング剤は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
前記式(1)で表されるシランカップリング剤を用い、さらに任意で前記式(1)で表されないその他のシランカップリング剤を併用してシリカ粒子を表面修飾する際、これらシランカップリング剤の使用量は、該シリカ粒子1g当たり、下記式(8)及び下記式(9)で表される関係を全て満たし、好ましくは下記式(8´)及び下記式(9´)で表される関係を全て満たし、さらに好ましくは下記式(8´´)及び下記式(9´´)で表される関係を全て満たす。ここで、前記式(1)で表されるシランカップリング剤の使用量をyミリモル、前記式(1)で表されないその他のシランカップリング剤の使用量をzミリモルとする。
式(8):0.1ミリモル≦(y+z)≦2ミリモル
式(9):0.1ミリモル≦y
式(8´):0.2ミリモル≦(y+z)≦1.5ミリモル
式(9´):0.2ミリモル≦y
式(8´´):0.3ミリモル≦(y+z)≦1ミリモル
式(9´´):0.3ミリモル≦y
前記式(1)で表されるシランカップリング剤の使用量が0.1ミリモルより少ないと、シリカ粒子の表面と有機樹脂との親和性・密着性が不十分となり、本発明の光硬化性組成物から得られる硬化物及び成形体の透過率が低下したりする虞がある。前記式(1)で表されるシランカップリング剤及び前記式(1)で表されないその他のシランカップリング剤の合計使用量が2ミリモルより多いと、該シランカップリング剤がシリカ粒子に対して過剰となり、該シリカ粒子の表面修飾に消費されない該シランカップリング剤が顕著に生じることで、前記硬化物及び成形体の保存安定性や機械特性が悪化する虞がある。
本発明の光硬化性組成物の(c)成分のシリカ粒子は、一次粒子径が1nm乃至100nmである。ここで、一次粒子とは、粉体を構成する粒子であり、この一次粒子が凝集した粒子を二次粒子という。前記一次粒子径は、ガス吸着法(BET法)により測定される前記シリカ粒子の比表面積(単位質量あたりの表面積)S、該シリカ粒子の密度ρ、及び一次粒子径Dとの間に成り立つ関係式:D=6/(ρS)から算出することができる。前記関係式から算出される一次粒子径は、平均粒子径であり、一次粒子の直径である。一次粒子径が1nmより小さいと、シリカ粒子が凝集しやすくなり、保存安定性が悪化する虞がある。一次粒子径が100nmより大きいと、硬化物の及び成形体の透明性が損なわれる虞がある。
前記(c)成分のシリカ粒子は、表面修飾されていないシリカ粒子と前記シランカップリング剤とを、各種公知の方法により反応させたものを用い得る。前記表面修飾されていないシリカ粒子としては、例えば、該シリカ粒子を有機溶媒に分散させたもの(オルガノシリカゾル)を用いることが好ましい。
前記オルガノシリカゾルとして市販品を用いてもよく、例えば、CHO-ST-M、DMAC-ST、DMAC-ST-ZL、EAC-ST、EG-ST、EG-ST-ZL、EG-ST-XL30、IPA-ST、IPA-ST-L、IPA-ST-ZL、IPA-ST-UP、メタノールシリカゾル、MA-ST-M、MA-ST-L、MA-ST-ZL、MA-ST-UP、MEK-ST、MEK-ST-40、MEK-ST-L、MEK-ST-ZL、MEK-ST-UP、MIBK-ST、MIBK-ST-L、NMP-ST、NPC-ST-30、PMA-ST、PGM-ST、PGM-ST、PGM-ST-UP、及びTOL-ST(以上、日産化学(株)製)が挙げられる。
前記オルガノシリカゾルとして、市販の水分散シリカゾルを減圧蒸留や限外濾過といった公知の方法で水を有機溶媒に置換したもの、市販の粉末状シリカ粒子を有機溶媒に分散させたものを用いてもよい。
前記オルガノシリカゾル中のシリカ固形分濃度は特に限定されないが、一般に60質量%以下が好ましい。
本発明の光硬化性組成物の(c)成分の含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分、及び(d)成分の和100質量部に対して、0.5質量部乃至13質量部、好ましくは1質量部乃至11.5質量部、より好ましくは1.5質量部乃至10質量部である。前記(c)成分の含有量が0.5質量部より少ないと、前記光硬化性組成物から得られた硬化物及び成形体の密着性及び耐熱性が悪化する虞がある。前記(c)成分の含有量が13質量部より多いと、前記硬化物及び成形体にヘイズが生じ、透過率が低下する虞がある。
前記(c)成分は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。例えば、一次粒子径の異なる複数のシリカ粒子を組み合わせてもよいし、表面修飾に用いたシランカップリング剤の種類や量が異なる複数のシリカ粒子を組み合わせてもよい。
[(d)成分:(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサン]
本発明の光硬化性組成物の(d)成分として使用可能な(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサンは、環状分子の開口部が直鎖状分子によって串刺し状に包接された擬ポリロタキサンの両端に前記環状分子が脱離しないように封鎖基を配置され、該環状分子が(メタ)アクリロイルオキシ基を有する。前記ポリロタキサンの構成要素である、環状分子、直鎖状分子及び封鎖基について、説明する。
<d-1.環状分子>
前記ポリロタキサンの環状分子は、環状であり且つ開口部を有し、直鎖状分子によって串刺し状に包接されるものであれば、特に限定されない。前記(メタ)アクリロイルオキシ基は、前記環状分子に直接結合していても、スペーサーを介して結合していてもよい。前記スペーサーとしては、特に限定されないが、例えば、アルキレン基、(ポリ)アルキレングリコール基、ヒドロキシアルキレン基、ウレタン結合[-NH-C(=O)O-]、エステル結合[-C(=O)O-]及びカーボネート結合[-O-C(=O)O-]からなる群から選択される1つ又は2つ以上を組み合わせたものが挙げられる。前記環状分子として、例えば、α-シクロデキストリン、β-シクロデキストリン及びγ-シクロデキストリンからなる群から選択するのが好ましい。
<d-2.直鎖状分子>
前記ポリロタキサンの直鎖状分子は、用いる環状分子の開口部に串刺し状に包接され得るものであれば、特に限定されない。前記直鎖状分子としては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリイソプレン、ポリイソブチレン、ポリブタジエン、ポリプロピレングリコール、ポリテトラヒドロフラン、ポリジメチルシロキサン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール及びポリビニルメチルエーテルからなる群から選択されるポリマーが好ましく、特にポリエチレングリコールが好ましい。
前記直鎖状分子は、その重量平均分子量が1,000以上、好ましくは3,000~100,000、より好ましくは6,000~50,000である。前記ポリロタキサンにおいて、(環状分子、直鎖状分子)の組合せが、(α-シクロデキストリン由来、ポリエチレングリコール由来)であるのが特に好ましい。
<d-3.封鎖基>
前記ポリロタキサンの封鎖基は、擬ポリロタキサンの両端に配置され、用いる環状分子が脱離しないように作用する基であれば、特に限定されない。前記封鎖基として、例えば、ジニトロフェニル基類、シクロデキストリン類、アダマンチル基類、トリチル基類、フルオレセイン類、シルセスキオキサン類、及びピレン類からなる群から選ばれる封鎖基が好ましく、より好ましくはアダマンチル基類又はシクロデキストリン類である。前記封鎖基は、例えば[-NH-C(=O)-]を介して、前記直鎖状分子と結合している。
前記ポリロタキサンとして市販品を用いてもよく、具体的には、セルム(登録商標)スーパーポリマーSA1305P、同SA1303P、同SA1305P-10、同SA2403P、同SA2405P-10、同SA3403P、同SM1303P、同SM2403P及び同3403P[以上、(株)ASM(旧アドバンスト・ソフトマテリアルズ(株))製]が挙げられる。
本発明の光硬化性組成物が(d)成分を含む場合、その含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分、及び(d)成分の和100質量部に対して、0.5質量部乃至7質量部、好ましくは1質量部乃至5質量部である。前記(d)成分を配合することで、前記光硬化性組成物から得られた硬化物及び成形体に靭性を付与させ、機械特性や耐熱衝撃性を向上させることができる。
前記(d)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(e)成分:前記式(2)で表される多官能チオール]
本発明の光硬化性組成物の(e)成分として使用可能な、前記式(2)で表される多官能チオールとしては、例えば、1,2-エタンジチオール、1,3-プロパンジチオール、ビス(2-メルカプトエチル)エーテル、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリス-[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)-エチル]-イソシアヌレート、テトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチリルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6-(1H,3H,5H)-トリオン、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、及びペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピル)エーテルが挙げられる。
前記式(2)で表される多官能チオール化合物として市販品を用いてもよく、例えば、カレンズMT(登録商標)PE1、同NR1、同BD1、TPMB、TEMB(以上、昭和電工(株)製)、TMMP、TEMPIC、PEMP、EGMP-4、DPMP、TMMP II-20P、PEMP II-20P及びPEPT(以上、SC有機化学(株)製)が挙げられる。
本発明の光硬化性組成物の(e)成分の含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分、及び(d)成分の和100質量部に対し、0質量部乃至4質量部、好ましくは0.2質量部乃至3質量部である。前記(e)成分を配合することで、前記光硬化性組成物の光硬化時の酸素による重合阻害が低減され、ラジカル反応効率を向上させることができる。また、前記光硬化性組成物から得られた硬化物及び成形体の透過率を向上させることができる。前記(e)成分の含有量が4質量部より多いと、前記硬化物及び成形体が高湿・高温環境下に晒された際にヘイズが生じる等、信頼性が悪化する虞がある。
前記(e)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(f)成分:フェノール系酸化防止剤]
本発明の光硬化性組成物の(f)成分として使用可能なフェノール系酸化防止剤としては、例えば、IRGANOX(登録商標)245、同1010、同1035、同1076、同1135(以上、BASFジャパン(株)製)、SUMILIZER(登録商標)GA-80、同GP、同MDP-S、同BBM-S、同WX-R(以上、住友化学(株)製)、アデカスタブ(登録商標)AO-20、同AO-30、同AO-40、同AO-50、同AO-60、同AO-80及び同AO-330(以上、(株)ADEKA製)が挙げられる。
本発明の光硬化性組成物が(f)成分を含有する場合、その含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分、及び(d)成分の和100質量部に対し、0.05質量部乃至3質量部、好ましくは0.1質量部乃至1質量部である。
前記(f)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
[(g)成分:スルフィド系酸化防止剤]
本発明の光硬化性組成物の(g)成分として使用可能なスルフィド系酸化防止剤としては、例えば、アデカスタブ(登録商標)AO-412S、同AO-503(以上、(株)ADEKA製)、IRGANOX(登録商標)PS802、同PS800(以上、BASFジャパン(株)製)、及びSUMILIZER(登録商標)TP-D(住友化学(株)製)が挙げられる。
本発明の光硬化性組成物が(g)成分を含む場合、その含有量は、該光硬化性組成物に含まれる(a)成分、(b)成分、(c)成分、及び(d)成分の和100質量部に対し、0.2質量部乃至1質量部、好ましくは0.5質量部乃至0.7質量部である。
前記(g)成分は1種単独で、又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
<その他添加剤>
さらに本発明の光硬化性組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、連鎖移動剤、紫外線吸収剤、光安定化剤、レベリング剤、レオロジー調整剤、シランカップリング剤等の接着補助剤、顔料、染料、消泡剤などの添加剤を含有することができる。
<光硬化性組成物の調製方法>
本発明の光硬化性組成物の調製方法は、特に限定されない。調製方法としては、例えば、(a)成分、(b)成分、(c)成分及び(d)成分、並びに必要により(e)成分、(f)成分及び/又は(g)成分を所定の割合で混合し、均一な溶液とする方法が挙げられる。
また、溶液に調製した本発明の光硬化性組成物は、孔径が0.1μm乃至10μmのフィルターなどを用いてろ過した後、使用することが好ましい。
<硬化物>
本発明の光硬化性組成物を、露光(光硬化)して、硬化物を得ることができ、本発明は該硬化物も対象とする。露光する光線としては、前記硬化物を得ることができる限り特に限定されないが、例えば、紫外線、電子線及びX線が挙げられる。紫外線照射に用いる光源としては、例えば、太陽光線、ケミカルランプ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、及びUV-LEDが使用できる。また、露光後、前記硬化物の物性を安定化させるためにポストベークを施してもよい。前記ポストベークの方法としては、特に限定されないが、通常、ホットプレート、オーブン等を使用して、50℃乃至260℃、1分間乃至24時間の範囲で行われる。
本発明の光硬化性組成物を光硬化することにより得られる硬化物は、波長410nmにおいて透過率が90%以上と高いものである。そのため、本発明の光硬化性組成物は、フラットパネルディスプレイ用光学フィルムとして好適に使用することができる。
<成形体>
本発明の光硬化性組成物は、例えばインプリント法を使用することによって、硬化物の形成と並行して各種成形体(パターン)を容易に製造することができる。以下、成形体の製造に関して詳細なプロセスを記載する。
<塗布工程>
本発明の成形体の製造方法は、本発明の光硬化性組成物を基材上に供給して(好ましくは適用して、より好ましくは塗布して)、塗布層(パターン形成層)を形成する工程を行う。本発明の光硬化性組成物を基材上に塗布により供給する際の塗布方法としては、一般によく知られた塗布方法、例えば、スピンコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストルージョンコート法、などのコート法;スリットスキャン法;インクジェット法などが挙げられる。
また、本発明の光硬化性組成物からなる塗布層の膜厚は、使用する用途により異なるが、0.05μm~10μm程度である。また、本発明の光硬化性組成物を、多重塗布により塗布してもよい。さらに、基材と本発明の光硬化性組成物からなる塗布層との間には、例えば平坦化層等の他の有機層などを形成してもよい。これにより、塗布層と基材とが直接接しないことから、基材に対するごみの付着や基材の損傷等を防止することができる。尚、本発明の光硬化性組成物によって形成される成形体(パターン)は、基材上に有機層を設けた場合であっても、有機層との密着性に優れる。
本発明の光硬化性組成物を用いる成形体の製造方法では、前記塗布方法の中でも、塗布時に組成物の一定体積当たりの表面積(比表面積)が顕著に増加する塗布方法が、本発明の効果がより顕著に現れるため、好ましい。好ましい塗布方法としては、スピンコート法、スリットスキャン法、インクジェット法を挙げることができる。本発明の成形体の製造方法では、光硬化性組成物を基材上に供給する方法がスピンコート法又はインクジェット法であることがより好ましい。
また、前記基材は、例えば、酸化珪素膜で被覆されたシリコン等の半導体基板、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜で被覆されたシリコン等の半導体基板、窒化珪素基板、石英基板、ガラス基板(無アルカリガラス、低アルカリガラス、結晶化ガラスを含む)、ITO膜が形成されたガラス基板が挙げられる。
<インプリント工程>
本発明の成形体の製造方法は、塗布層(パターン形成層)にパターンを転写するために、塗布層の表面にモールドを圧接するインプリント工程を含む。これにより、モールドの押圧表面にあらかじめ形成された微細なパターンを、塗布層に転写することができる。前記モールドの材料は、後述する光硬化工程で使用する紫外線等の光を透過する材料である限り限定されないが、例えば、ポリメチルメタクリレート等の(メタ)アクリル樹脂、シクロオレフィンポリマー(COP)樹脂、石英、硼珪酸ガラス及びフッ化カルシウムが挙げられる。前記モールドの材料が樹脂である場合、非感光性樹脂、感光性樹脂いずれであってもよい。前記感光性樹脂として、例えば、国際公開第2019/031359号に開示されているインプリント用レプリカモールド材料が挙げられる。また、前記モールドは遮光膜を有してもよく、該遮光膜の材料は、後述する光硬化工程で使用する紫外線等の光を透過しない材料である限り限定されないが、例えば、アルミニウム、クロム、ニッケル、コバルト、チタン、タンタル、タングステン及びモリブデンが挙げられる。
前記モールドは、後述する離型工程のために、離型剤を塗布し乾燥することで離型処理した後に使用することが望ましい。前記離型剤は、市販品として入手が可能であり、例えば、Novec(登録商標)1700、同1710、同1720(以上、スリーエムジャパン(株)製)、フロロサーフ(登録商標)FG-5084、同FG-5093(以上、(株)フロロテクノロジー製)、デュラサーフ(登録商標)DP-500、同DP-200、同DS-5400、同DH-100、同DH-405TH、同DH-610、同DS-5800、同DS-5935(以上、(株)ハーベス製)、ポリフロン(登録商標)PTFE TC-7105GN、同PTFE TC-7109BK、同PTFE TC-7113LB、同PTFE TC-7400CR、同PTFE TC-7405GN、同PTFE TC-7408GY、同PTFE TC-7409BK、同PTFE TC-7609M1、同PTFE TC-7808GY、同PTFE TC-7809BK、同PTFE TD-7139BD、オプツール(登録商標)DAC-HP、同DSX-E、オプトエース(登録商標)WP-140、ダイフリー(登録商標)GW-4000、同GW-4010、同GW-4500、同GW-4510、同GW-8000、同GW-8500、同MS-175、同GF-700、同GF-750、同MS-600、同GA-3000、同GA-9700、同GA-9750(以上、ダイキン工業(株)製)、メガファック(登録商標)F-553、同F-555、同F-558、同F-561(以上、DIC(株)製)、SFE-DP02H、SNF-DP20H、SFE-B002H、SNF-B200A、SCV-X008、SFEX008、SNF-X800、SR-4000A、S-680、S-685、MR F-6441-AL、MR F-6711-AL、MR F-6758-AL、MR F-6811-AL、及びMR EF-6521-AL(以上、AGCセイミケミカル(株)製)が挙げられる。前記離型剤として、上記市販品以外に、例えば国際公開第2019/031312号に開示されているモールド用離型剤が挙げられる。
<光硬化工程>
本発明の成形体の製造方法は、前記インプリント工程の後、前記モールドを介して前記光硬化性組成物を露光して光硬化部を形成する光硬化工程を有する。露光する光線としては、前記光硬化部を形成することができる限り特に限定されないが、例えば、紫外線、電子線及びX線が挙げられる。紫外線照射に用いる光源としては、例えば、太陽光線、ケミカルランプ、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、及びUV-LEDが使用できる。前記光硬化部の膜厚は、通常1μm乃至10μmであり、好ましくは1.5μm乃至8μmであり、より好ましくは2μm乃至6μmである。前記モールドは、紫外線等の光を透過する材料から作製され、且つ該紫外線等の光を透過しない遮光膜を有する場合、本工程ではマスクとして使用される。
<加熱工程>
本発明の成形体の製造方法においては、前記光硬化工程の後、後述する離型工程の前に、加熱工程を含むことが好ましい。本加熱工程を含むことにより、本発明の効果がより顕著に現れる。加熱温度は30℃乃至150℃が好ましく、より好ましくは40℃乃至120℃、更に好ましくは50℃乃至110℃である。加熱時間は10秒乃至5分が好ましく、より好ましくは20秒乃至3分、更に好ましくは30秒乃至2分である。
<離型工程>
本発明の成形体の製造方法は、前記光硬化部と前記モールドとを分離する離型工程を有する。離型方法は、前記光硬化部が損傷及び変形することなく、前記モールドから完全に分離することができる限り、特に限定されない。前記モールドは、前記離型剤を塗布し乾燥する離型処理によって、前記光硬化部と該モールドとの分離が容易となる。前記光硬化工程の後、本離型工程の前、中途又は後に、前記光硬化部を加熱する工程をさらに有してもよく、その場合、該光硬化部の加熱条件は、例えば、50℃乃至260℃、1分乃至24時間の範囲から適宜選択される。また、加熱手段としては、特に限定されないが、例えば、ホットプレート及びオーブンが挙げられる。
<反射防止膜形成工程>
本発明の成形体の製造方法は、前記離型工程の後、前記光硬化部の表面に反射防止膜を形成する工程をさらに有してもよい。前記反射防止膜は、前記光硬化物に入射する光の反射を抑制し、透過率を向上させるために、該光硬化物の表面に形成される。前記反射防止膜の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、ミスト法、スピンコート法、ディップコート法及びスプレーコート法が挙げられる。また、前記反射防止膜として、フッ化マグネシウム、二酸化ケイ素等の無機膜、及びオルガノポリシロキサン等の有機膜が挙げられる。
このような方法によって製造された成形体(パターン)は、半導体素子の層間絶縁膜、ゲート絶縁膜、スペーサー、保護膜、液晶表示素子の偏光子、光学部材などに好適に用いることができる。
以下、実施例を挙げて、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。なお、下記実施例及び比較例において、試料の調製及び物性の分析に用いた装置及び条件は、以下の通りである。
(1)撹拌脱泡
装置:(株)シンキー製 自転・公転ミキサーあわとり練太郎(登録商標)ARE-310
(2)粘度測定
装置:東機産業(株)製 E型粘度計TVE-22L
(3)膜厚測定
装置:Filmetrics(株)製 膜厚測定器F-20(n=1.50)
(4)UV露光及びインプリント
装置:明昌機工(株)製 熱式・UV硬化式対応ハイブリッドナノインプリンターNM-0801HB(波長365nm)
(5)透過率測定
装置:日本分光(株)製 紫外可視近赤外分光光度計V-670
リファレンス:空気
(6)屈折率測定
装置:メトリコン社 プリズムカプラMODEL2010/M
(7)インプリント性評価
装置:(株)日立ハイテク製 電界放出型走査電子顕微鏡S-4800
各製造例、実施例及び比較例において使用した化合物の供給元は以下の通りである。
APG-100:新中村化学工業(株)製 商品名:NKエステル APG-100
UA-4200:新中村化学工業(株)製 商品名:NKオリゴ UA-4200
V#150:大阪有機化学工業(株)製 商品名:ビスコート#150
V#160:大阪有機化学工業(株)製 商品名:ビスコート#160
V#190:大阪有機化学工業(株)製 商品名:ビスコート#190
V#230:大阪有機化学工業(株)製 商品名:ビスコート#230
V#260:大阪有機化学工業(株)製 商品名:ビスコート#260
I184:IGM Resins社製 商品名:OMNIRAD(登録商標)184
MOTMS:信越化学工業(株)製 商品名:KBM-5803
シリカゾルi:日産化学(株)製 商品名:MA-ST-M
PEPT:SC有機化学(株)製 商品名:PEPT
SA1305P:(株)ASM(旧アドバンスト・ソフトマテリアルズ(株))製 商品名:セルム(登録商標)スーパーポリマーSA1305P
I245:BASFジャパン(株)製 商品名:IRGANOX(登録商標)245
V#150、V#160及びV#190は、前記(a1)成分として使用可能な、(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ有する単官能(メタ)アクリレートである。
APG-100、UA-4200、V#230及びV#260は、前記(a)成分として使用可能な、(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に2つ以上有する多官能(メタ)アクリレートである。これらのすべては、(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に2つ有する二官能(メタ)アクリレートであり、さらにこれらの内、UA-4200は前記(a2)成分の二官能ウレタン(メタ)アクリレートであり、V#230及びV#260は前記(a3)成分の前記式(3)で表される二官能(メタ)アクリレートである。
I184は、前記(b)成分として使用可能な、光ラジカル開始剤である。
前記MOTMSは、前記(c)成分のシリカ粒子の表面を修飾する、前記式(1)で表されるシランカップリング剤である。
シリカゾルi(メタノール分散シリカゾル、一次粒子径20nm乃至25nm、シリカ粒子の濃度40質量%)は、前記(c)成分のシリカ粒子の原料である、一次粒子径が1nm乃至100nmの表面修飾されていないシリカ粒子を含むオルガノシリカゾルである。
SA1305P(環状分子がシクロデキストリン、直鎖状分子がポリエチレングリコール鎖、封鎖基がアダマンチル基からなり、該環状分子の側鎖にスペーサーを介してアクリロイルオキシ基を有するポリロタキサンの酢酸エチル分散液、固形分濃度50質量%)は、前記(d)成分として使用可能な、(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサンである。
PEPTは、前記(e)成分として使用可能な、前記式(2)で表される多官能チオールである。
I245は、前記(f)成分として使用可能な、フェノール系酸化防止剤である。
[製造例1]
100mLナスフラスコに、シリカゾルiを50g、MOTMSを5g(シリカ粒子1g当たり0.8ミリモル)秤量し、65℃のオイルバスにて計6時間、加水分解縮合反応を行った。続いて、200mLナスフラスコに、得られたMOTMS修飾シリカ粒子のメタノール分散液(固形分濃度45質量%)を40g、UA-4200を15g秤量し、撹拌して均一化した後、エバポレーターを用いて、60℃、減圧度133.3Pa以下の条件でメタノールを留去し、MOTMS修飾シリカ粒子のUA-4200分散液(該MOTMS修飾シリカ粒子の濃度55質量%)を得た。
[製造例2]
100mLナスフラスコに、V#260を20g、SA1305Pを40g秤量し、撹拌して均一化した後、エバポレーターを用いて、50℃、減圧度133.3Pa以下の条件で酢酸エチルを留去し、前記ポリロタキサンのV#260分散液(該ポリロタキサンの濃度50質量%)を得た。
後述する実施例及び比較例の光硬化性組成物の調製において、前記(c)成分の表面修飾されたシリカ粒子を配合する際は、前記製造例1で得られたUA-4200分散液として配合し、前記(d)成分のポリロタキサンを配合する際は、前記製造例2で得られたV#260分散液として配合した。
[実施例1]
前記(a)成分としてUA-4200を0.7g及びV#260を3.6g、前記(b)成分としてI184を0.05g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.45g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.25g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.25g(ポリロタキサン換算で0.13g)、それぞれ配合し、25.0℃で15時間振とうさせ混合した後、前記撹拌脱泡機を用いて10分間撹拌脱泡することで、光硬化性組成物1を調製した。
[実施例2]
前記(a)成分としてUA-4200を0.1g及びV#260を4.2g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.55g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.30g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.15g(ポリロタキサン換算で0.075g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物2を調製した。
[実施例3]
前記(a)成分としてUA-4200を0.04g及びV#260を4.7g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.18g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.099g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.05g(ポリロタキサン換算で0.025g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物3を調製した。
[実施例4]
前記(a)成分としてUA-4200を1.1g及びV#160を2.8g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.73g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.40g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.39g(ポリロタキサン換算で0.20g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物4を調製した。
[実施例5]
前記(a)成分としてUA-4200を1.1g及びV#190を2.8g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.73g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.40g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.39g(ポリロタキサン換算で0.20g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物5を調製した。
[実施例6]
前記(a)成分としてUA-4200を0.4g及びV#190を4.2g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.27g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.15g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.15g(ポリロタキサン換算で0.075g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物6を調製した。
[実施例7]
前記(a)成分としてUA-4200を0.1g及びV#190を4.7g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.09g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.050g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.05g(ポリロタキサン換算で0.025g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物7を調製した。
[実施例8]
前記(a)成分としてUA-4200を0.03g及びV#260を4.1g、前記(b)成分としてI184を0.05g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.54g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.30g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.23g(ポリロタキサン換算で0.12g)、前記(f)成分としてI245を0.04gそれぞれ配合し、25.0℃で15時間振とうさせ混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.06g添加し、前記撹拌脱泡機を用いて10分間撹拌脱泡することで、光硬化性組成物8を調製した。
[実施例9]
前記(a)成分としてUA-4200を0.05g及びV#260を3.6g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.90g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.50g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.38g(ポリロタキサン換算で0.19g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.10g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物9を調製した。
[実施例10]
前記(a)成分としてUA-4200を0.02g及びV#260を4.4g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.36g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.20g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.15g(ポリロタキサン換算で0.075g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.04g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物10を調製した。
[実施例11]
前記(a)成分としてUA-4200を0.01g及びV#260を4.7g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.17g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.094g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.07g(ポリロタキサン換算で0.035g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.02g添加する以外は実施例10と同様の手順にて、光硬化性組成物8を調製した。
[実施例12]
前記(a)成分としてUA-4200を0.02g及びV#150を4.4g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.36g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.20g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.15g(ポリロタキサン換算で0.075g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.04g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物12を調製した。
[比較例1]
前記(a)成分としてUA-4200を2.0g及びV#260を0.9g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を1.36g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.75g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.74g(ポリロタキサン換算で0.37g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物13を調製した。
[比較例2]
前記(a)成分としてUA-4200を1.3g及びV#260を2.3g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.91g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.50g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.49g(ポリロタキサン換算で0.25g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物14を調製した。
[比較例3]
前記(a)成分としてUA-4200を1.1g及びAPG-100を2.8g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.73g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.40g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.39g(ポリロタキサン換算で0.20g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物15を調製した。
[比較例4]
前記(a)成分としてUA-4200を1.1g及びV#230を2.8g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.73g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.40g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.39g(ポリロタキサン換算で0.20g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物16を調製した。
[比較例5]
前記(a)成分としてUA-4200を0.09g及びV#260を2.1g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を1.80g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.99g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.76g(ポリロタキサン換算で0.38g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.20g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物17を調製した。
[比較例6]
前記(a)成分としてUA-4200を0.09g及びV#150を2.1g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を1.80g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.99g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.76g(ポリロタキサン換算で0.38g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.20g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物18を調製した。
[比較例7]
前記(a)成分としてUA-4200を1.1g、V#230を2.6g及びAPG-100を0.20g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.73g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.40g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.39g(ポリロタキサン換算で0.20g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物19を調製した。
[比較例8]
前記(a)成分としてUA-4200を1.7g、V#230を2.7g及びAPG-100を0.10g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液を0.36g(MOTMS修飾シリカ粒子換算で0.20g)、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.20g(ポリロタキサン換算で0.10g)使用する以外は実施例1と同様の手順にて、光硬化性組成物20を調製した。
[比較例9]
前記(a)成分としてUA-4200を1.3g、V#260を2.7g、前記(c)成分として製造例1で得たUA-4200分散液は添加せず、前記(d)成分として製造例2で得たV#260分散液を0.79g(ポリロタキサン換算で0.40g)使用する以外は実施例8と同様の手順にて、溶液を混合した後、前記(e)成分としてPEPTを0.20g添加する以外は実施例8と同様の手順にて、光硬化性組成物21を調製した。
前記実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した、光硬化性組成物1乃至光硬化性組成物21の成分を、下記表1及び表2に示す。なお、下記表1及び表2中、「部」は「質量部」を表す。また、下記表1及び表2中、(c)成分の質量部は、前記製造例1で得られたUA-4200分散液中の表面修飾されたシリカ粒子成分のみを表し、(d)成分の質量部は、前記製造例2で得られたV#260分散液中のポリロタキサン成分のみを表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
[粘度測定]
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した各光硬化性組成物を、ディスポーサルシリンジで1mL採取し、粘度計のカップに注入した。その後、回転速度10rpm、1.0rpm及び0.5rpmで粘度計のコーンロータを回転させ、2分後の光硬化性組成物の粘度を、前記E型粘度計を用いて測定した。その結果を下記表3に示す。
[膜厚測定]
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した各光硬化性組成物を、1/4にカットした4インチシリコンウエハーにキャストし、1000rpmで30秒間スピンコートした。前記シリコンウエハー上に得られた光硬化性組成物の塗布層の膜厚を、前記膜厚測定器を用いて測定した。さらに、スピンコート直後の製膜性も目視により観察した。膜厚測定が不可能の場合“-”で表し、塗布層の表面が均一で製膜性が良好の場合“○”で表し、塗布層の一部に干渉ムラ又は液ムラが観察された場合“△”で表し、塗布層が広がらない(伸びない)且つ該塗布層に大きな液ムラが観察された場合“×”で表し、その結果を下記表3に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
実施例1乃至実施例12で調製した光硬化性組成物は、25.0℃における粘度が1mPa・sより高く、50mPa・sより低かった。該光硬化性組成物は全てスピンコート可能であり、製膜性も良好で膜厚測定が可能であった。該光硬化性組成物は、その粘度が低いほど、より良い製膜性を示した。
比較例1乃至比較例9で調製した光硬化性組成物は、25.0℃における粘度が50mPa・sより高かった。該光硬化性組成物は全てスピンコート可能であったものの、製膜性が悪化し、比較例1、比較例4及び比較例5で調製した光硬化性組成物は膜厚測定が不可能であった。25.0℃における粘度が100mPa・sを超える光硬化性組成物は塗布層が均一に広がらず、さらに製膜性が悪化した。25.0℃における粘度が250mPa・sを超える光硬化性組成物は塗布層が広がらず、より一層製膜性が悪化し、膜厚測定が不可能であった。
[透過率測定]
実施例11で調製した光硬化性組成物を、信越化学工業(株)製接着補助剤(商品名:KBM-5803)をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで10質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することでプライマー処理したガラス基板、及びNovec(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したガラス基板で挟み込んだ。その後、前記プライマー処理したガラス基板及び離型処理したガラス基板に挟まれた光硬化性組成物を、前記ハイブリッドナノインプリンターを用いて100Nで押し付け、6JでUV露光した。露光後、得られた硬化物を、100℃のホットプレートで10分間加熱した後、前記離型処理したガラス基板から剥離することで5μm厚の硬化物を作製した。前記硬化物の波長410nmにおける透過率を、前記分光光度計を用いて測定した。その結果を下記表4に示す。
[屈折率測定]
前記透過率測定と同様の手順にて作製した硬化物の屈折率を、前記屈折率測定装置を用いて測定した。その結果を下記表4に示す。
[インプリント性確認]
実施例11で調製した光硬化性組成物を、信越化学工業(株)製接着補助剤(商品名:KBM-5803)をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで10質量%に希釈した溶液を塗布し乾燥することでプライマー処理したガラス基板、及びNovec(登録商標)1720(スリーエムジャパン(株)製)を塗布し乾燥することで離型処理したシリコン製モールドで挟み込んだ。その後、前記プライマー処理したガラス基板及び離型処理シリコンモールドに挟まれた光硬化性組成物を、前記ハイブリッドナノインプリンターを用いて100Nで押し付け、6JでUV露光した。露光後、得られた硬化物を、100℃のホットプレートで10分間加熱した後、前記離型処理したシリコン製モールドから剥離することで前記プライマー処理したガラス基板上に成形体(パターン)を作製した。作製された成形体は、前記電界放出型走査電子顕微鏡を用いて観察したところ、目的のパターンが形成されるインプリント性を示した。その結果を図1に示し、表4に“○”で表す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
以上より、本発明の前記(a)成分乃至前記(d)成分を含む光硬化性組成物は、スピンコート可能であり、塗布層の表面は均一性が有りながら、これを用いてガラス基板上に作製した成形体は、インプリント性が確認され、高い透過率を示した。

Claims (10)

  1. 下記(a)成分乃至(d)成分を含み、該(a)成分乃至(d)成分の和100質量部に対して該(a)成分の含有量は80質量部乃至99質量部であり、25.0℃における粘度が1mPa・s乃至50mPa・sである光硬化性組成物。
    (a):(メタ)アクリロイルオキシ基を1分子中に1つ以上有する少なくとも2種の単官能又は多官能(メタ)アクリレート(但し、下記(d)成分を除く)
    (b):光ラジカル開始剤
    (c):下記式(1)で表される少なくとも1種のシランカップリング剤で表面修飾された、一次粒子径が1nm乃至100nmのシリカ粒子
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    (式中、Xは水素原子、 又は(メタ)アクリロイルオキシ基を表し、R及びRはそれぞれ独立して水素原子又は炭素原子数1又は2のアルキル基を表し、mは1乃至14の整数を表し、nは0乃至2の整数を表す。)
    (d):(メタ)アクリロイルオキシ基を有するポリロタキサン
  2. さらに、下記(e)成分、(f)成分及び下記(g)成分からなる群から選ばれる少なくとも1つの成分を含む、請求項1に記載の光硬化性組成物。
    (e):下記式(2)で表される多官能チオール
    (f):フェノール系酸化防止剤
    (g):スルフィド系酸化防止剤
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
    (式中、Rは単結合、炭素原子数1乃至6の直鎖状アルキレン基又は炭素原子数3乃至6の分岐鎖状のアルキレン基を表し、Xは単結合、エステル結合又はエーテル結合を表し、Qはヘテロ原子を少なくとも1つ含むもしくはヘテロ原子を含まない炭素原子数2乃至12の有機基、又はヘテロ原子を表し、pは2乃至6の整数を表す。)
  3. 前記(a)成分は下記(a1)成分、下記(a2)成分及び下記(a3)成分からなる群から選ばれる、請求項1又は請求項2に記載の光硬化性組成物。
    (a1):単官能(メタ)アクリレート
    (a2):二官能ウレタン(メタ)アクリレート
    (a3):下記式(3)で表される二官能(メタ)アクリレート
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
    (式中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Qは炭素原子数4乃至10の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す。)
  4. 前記(c)成分は、前記式(1)におけるXが(メタ)アクリロイルオキシ基を表すシランカップリング剤で表面修飾されたシリカ粒子である、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。
  5. 膜厚が1.0μm乃至10.0μmである、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の光硬化性組成物の硬化物。
  6. 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の光硬化性組成物をインプリント成形する工程を含む、成形体の製造方法。
  7. 光硬化性組成物の成形体の製造方法であって、基材上に請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の光硬化性組成物を供給する工程、該光硬化性組成物と、目的とする成形体の形状の反転パターンを有するモールドとを接触させるインプリント工程、該インプリント工程の後、該モールドを介して該光硬化性組成物を露光して光硬化部を形成する光硬化工程、及び該光硬化部と該モールドとを分離する離型工程を含む、成形体の製造方法。
  8. 前記光硬化性組成物を供給する工程は、該光硬化性組成物をスピンコート法、スリットスキャン法又はインクジェット法により塗布する工程である、請求項7に記載の成形体の製造方法。
  9. 前記光硬化工程の後、前記離型工程の前、中途又は後に、前記光硬化部を加熱する工程をさらに含む、請求項7又は請求項8に記載の成形体の製造方法。
  10. 前記成形体がフラットパネルディスプレイ用光学フィルムである、請求項6乃至請求項9のいずれか一項に記載の成形体の製造方法。
     
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016171187A1 (ja) * 2015-04-21 2016-10-27 住友化学株式会社 光硬化性樹脂組成物、これを用いる硬化膜の製造方法及び該硬化膜を含む積層体
WO2016194988A1 (ja) * 2015-06-02 2016-12-08 富士フイルム株式会社 ハードコートフィルム、画像表示素子の前面板、抵抗膜式タッチパネル、静電容量式タッチパネルおよび画像表示装置
JP2018501191A (ja) * 2014-11-04 2018-01-18 ディーダブリューエス エス.アール.エル. ステレオリソグラフィ方法および組成物
WO2020003863A1 (ja) * 2018-06-27 2020-01-02 日産化学株式会社 インプリント用光硬化性組成物
JP2020015827A (ja) * 2018-07-26 2020-01-30 株式会社ネオス 硬化性樹脂組成物及び自己修復性材料
WO2020255829A1 (ja) * 2019-06-19 2020-12-24 住友電気工業株式会社 樹脂組成物、光ファイバのセカンダリ被覆材料、光ファイバ及び光ファイバの製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018501191A (ja) * 2014-11-04 2018-01-18 ディーダブリューエス エス.アール.エル. ステレオリソグラフィ方法および組成物
WO2016171187A1 (ja) * 2015-04-21 2016-10-27 住友化学株式会社 光硬化性樹脂組成物、これを用いる硬化膜の製造方法及び該硬化膜を含む積層体
WO2016194988A1 (ja) * 2015-06-02 2016-12-08 富士フイルム株式会社 ハードコートフィルム、画像表示素子の前面板、抵抗膜式タッチパネル、静電容量式タッチパネルおよび画像表示装置
WO2020003863A1 (ja) * 2018-06-27 2020-01-02 日産化学株式会社 インプリント用光硬化性組成物
JP2020015827A (ja) * 2018-07-26 2020-01-30 株式会社ネオス 硬化性樹脂組成物及び自己修復性材料
WO2020255829A1 (ja) * 2019-06-19 2020-12-24 住友電気工業株式会社 樹脂組成物、光ファイバのセカンダリ被覆材料、光ファイバ及び光ファイバの製造方法

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