WO2022190208A1

WO2022190208A1 - 感光性フィルム、感光性エレメント、及び、積層体の製造方法

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Publication number: WO2022190208A1
Application number: PCT/JP2021/009276
Authority: WO
Inventors: 真生成田; 敬司小野; 祐作渡邉; 真奈美桐生; 明子武田; 聡大友
Original assignee: 昭和電工マテリアルズ株式会社
Priority date: 2021-03-09
Filing date: 2021-03-09
Publication date: 2022-09-15
Also published as: TW202246897A; WO2022191127A1; CN117063121A; JPWO2022191127A1; KR20230154732A

Abstract

（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、及び、ジスチリルベンゼン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種と、（Ｅ）ナフタレン化合物と、を含有する、感光性フィルム。支持体２と、支持体２上に配置された感光性樹脂層３と、を備え、感光性樹脂層３が当該感光性フィルムである、感光性エレメント１。上述の感光性フィルムを用いて感光性樹脂層を基材上に配置する工程と、感光性樹脂層の一部を光硬化させる工程と、感光性樹脂層の未硬化部の少なくとも一部を除去して硬化物パターンを形成する工程と、基材における硬化物パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属層を形成する工程と、を備える、積層体の製造方法。

Description

感光性フィルム、感光性エレメント、及び、積層体の製造方法

　本開示は、感光性フィルム、感光性エレメント、積層体の製造方法等に関する。

　配線基板として用いることが可能な積層体の製造においては、所望の配線を得るためにレジストパターンが形成される。レジストパターンは、感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂層を露光及び現像することにより形成することができる。感光性樹脂組成物としては、各種組成物が検討されている。例えば、下記特許文献１では、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、特定の光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物が記載されている。感光性樹脂組成物をフィルム状に成形することにより感光性フィルムを得ることができる。

特開２０１９－０２８３９８号公報

　感光性フィルム又は感光性樹脂組成物を用いて、レジストパターンとして用いることが可能な硬化物パターンを形成するに際して、直線状のライン部分と、ライン部分に隣接する直線状のスペース部分と、を有する硬化物パターンを形成する場合がある。そして、ライン部分の幅（ライン幅）よりもスペース部分の幅（スペース幅）が小さい硬化物パターンを形成する場合においてライン部分及びスペース部分が良好に形成される特性として、優れた解像性が求められる。また、スペース幅よりもライン幅が小さい硬化物パターンを形成する場合においてライン部分及びスペース部分が良好に形成される特性として、優れた密着性が求められる。

　本開示の一側面は、ライン幅よりもスペース幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた解像性、及び、スペース幅よりもライン幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた密着性を得ることが可能な感光性フィルムを提供することを目的とする。本開示の他の一側面は、当該感光性フィルムを用いた感光性エレメントを提供することを目的とする。本開示の他の一側面は、上述の感光性フィルムを用いた積層体の製造方法を提供することを目的とする。

　本開示の一側面は、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、及び、ジスチリルベンゼン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種と、（Ｅ）ナフタレン化合物と、を含有する、感光性フィルムに関する。

　このような感光性フィルムによれば、ライン幅よりもスペース幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた解像性、及び、スペース幅よりもライン幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた密着性を得ることができる。

　本開示の他の一側面は、支持体と、当該支持体上に配置された感光性樹脂層と、を備え、前記感光性樹脂層が上述の感光性フィルムである、感光性エレメントに関する。

　本開示の他の一側面は、上述の感光性フィルムを用いて感光性樹脂層を基材上に配置する工程と、前記感光性樹脂層の一部を光硬化させる工程と、前記感光性樹脂層の未硬化部の少なくとも一部を除去して硬化物パターンを形成する工程と、前記基材における前記硬化物パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属層を形成する工程と、を備える、積層体の製造方法に関する。

　本開示の一側面によれば、ライン幅よりもスペース幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた解像性、及び、スペース幅よりもライン幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた密着性を得ることが可能な感光性フィルムを提供することができる。本開示の他の一側面によれば、当該感光性フィルムを用いた感光性エレメントを提供することができる。本開示の他の一側面によれば、上述の感光性フィルムを用いた積層体の製造方法を提供することができる。

感光性エレメントの一例を示す模式断面図である。積層体の製造方法の一例を示す模式図である。

　以下、本開示の実施形態について詳細に説明する。

　数値範囲の「Ａ以上」とは、Ａ、及び、Ａを超える範囲を意味する。数値範囲の「Ａ以下」とは、Ａ、及び、Ａ未満の範囲を意味する。本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値と任意に組み合わせることができる。本明細書に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてよい。「Ａ又はＢ」とは、Ａ及びＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。本明細書に例示する材料は、特に断らない限り、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート、及び、それに対応するメタクリレートの少なくとも一方を意味する。「（メタ）アクリル酸」等の他の類似の表現においても同様である。「アルキル基」は、特に断らない限り、直鎖状、分岐又は環状のいずれであってもよい。

　本明細書において、感光性樹脂組成物の固形分は、感光性樹脂組成物において、揮発する物質（水、溶媒等）を除いた不揮発分を指す。すなわち、当該固形分は、感光性樹脂組成物の乾燥において揮発せずに残る成分（溶媒以外の成分）を指し、室温（２５℃）で液状、水飴状又はワックス状の成分も含む。

＜感光性フィルム、感光性樹脂組成物及び硬化物＞
　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、及び、ジスチリルベンゼン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種と、（Ｅ）ナフタレン化合物と、を含有する。本実施形態に係る感光性フィルムは、本実施形態に係る感光性樹脂組成物をフィルム状に成形することにより得ることができる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物によれば、ライン幅よりもスペース幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた解像性、及び、スペース幅よりもライン幅が小さい硬化物パターンを形成する場合における優れた密着性を得ることができる。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物によれば、実施例に記載の評価において、１３μｍ以下の解像性を得ることができると共に、３μｍ以下の密着性を得ることができる。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物により得ることが可能な硬化物パターンの形状は、特に限られない。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物により優れた解像性及び密着性が得られる要因について、本発明者は下記のとおり推測している。但し、要因は下記の内容に限定されない。すなわち、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を併用するに際して（Ｄ）成分を用いることにより、（Ｄ）成分が良好に光吸収し充分量のエネルギーを（Ｃ）成分に供給するため感光性を良好に発現することができる（例えば、露光部において充分量のラジカルが発生すると共に未露光部へのラジカルの拡散が抑制されることにより感光性を良好に発現することができる）。また、（Ｅ）成分を用いることにより、（Ｄ）成分のこのような作用を増強することができる。そのため、優れた解像性及び密着性が得られる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物によれば、活性光線に対する優れた感度を得ることもできる。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物によれば、実施例に記載の評価において、１０８ｍＪ／ｃｍ^２以下の露光量を得ることができる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、光硬化性を有し、当該感光性フィルム又は感光性樹脂組成物を光硬化することで硬化物を得ることができる。本実施形態に係る硬化物は、本実施形態に係る感光性フィルム又は感光性樹脂組成物の硬化物（光硬化物）である。本実施形態に係る硬化物は、パターン状（硬化物パターン）であってよく、レジストパターンであってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び硬化物の厚さは、充分な厚さの配線を得るためのレジストパターンを得やすい観点から、１μｍ以上、３μｍ以上、５μｍ以上、７μｍ以上、１０μｍ以上、１５μｍ以上、１８μｍ以上、又は、１９μｍ以上であってよい。本実施形態に係る感光性フィルム及び硬化物の厚さは、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１００μｍ以下、５０μｍ以下、４０μｍ以下、３０μｍ以下、２５μｍ以下、２０μｍ以下、又は、１９μｍ以下であってよい。これらの観点から、本実施形態に係る感光性フィルム及び硬化物の厚さは、１～１００μｍ、５～１００μｍ、又は、１５～２５μｍであってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物において感光性が発現する波長は特に限定されない。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、例えば、３００ｎｍ以上、３４０ｎｍ以上、３５０ｎｍ以上、３５５ｎｍ以上、３６５ｎｍ以上、３７５ｎｍ以上、３９０ｎｍ以上、３９５ｎｍ以上、又は、４０５ｎｍ以上の波長の光に対する感光性を有してよい。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、例えば、５００ｎｍ以下、４４０ｎｍ以下、４４０ｎｍ未満、４３６ｎｍ以下、４２０ｎｍ以下、４１０ｎｍ以下、又は、４０５ｎｍ以下の波長の光に対する感光性を有してよい。後述の露光工程においては、これらの波長の範囲内にピークを有する活性光線を用いることができる。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、例えば、ネガ型の感光性フィルム及び感光性樹脂組成物として用いることができる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物における波長４０５ｎｍの光に対する吸光度（例えば、厚さ１９μｍの場合の吸光度）は、下記の範囲であってよい。波長４０５ｎｍの光に対する吸光度は、０を超えてよく、０．０１以上、０．０５以上、０．１以上、０．１５以上、０．２以上、０．２５以上、０．２７以上、又は、０．３以上であってよい。波長４０５ｎｍの光に対する吸光度は、０．５以下、０．４５以下、０．４以下、０．３５以下、０．３以下、又は、０．２７以下であってよい。これらの観点から、波長４０５ｎｍの光に対する吸光度は、０を超え０．５以下であってよい。

　本実施形態によれば、硬化物パターン（例えばレジストパターン）の形成への感光性樹脂組成物、感光性フィルム又は感光性エレメントの応用を提供することができる。本開示の他の一側面によれば、配線基板の製造への感光性樹脂組成物、感光性フィルム又は感光性エレメントの応用を提供することができる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分としてバインダーポリマーを含有する。（Ａ）成分としては、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。アクリル系樹脂は、（メタ）アクリロイル基を有する化合物（（メタ）アクリル酸化合物）を単量体単位として有する樹脂であり、当該単量体単位を有するスチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂及びフェノール系樹脂はアクリル系樹脂に帰属する。（Ａ）成分は、フェノール性水酸基を有するバインダーポリマーを含まなくてよい。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、アクリル系樹脂を含んでよい。アクリル系樹脂の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分の全質量を基準として、５０質量％以上、５０質量％超、７０質量％以上、９０質量％以上、９５質量％以上、９８質量％以上、９９質量％以上、又は、実質的に１００質量％（（Ａ）成分が実質的にアクリル系樹脂からなる態様）であってよい。

　（メタ）アクリロイル基を有する化合物としては、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル等が挙げられる。（メタ）アクリル酸エステルとしては、（メタ）アクリル酸アルキル（（メタ）アクリル酸アルキルエステル。（メタ）アクリル酸シクロアルキルに該当する化合物を除く）、（メタ）アクリル酸シクロアルキル（（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル）、（メタ）アクリル酸アリール（（メタ）アクリル酸アリールエステル）、（メタ）アクリルアミド化合物（ジアセトンアクリルアミド等）、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、スチリル（メタ）アクリル酸などが挙げられる。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（メタ）アクリル酸を単量体単位として有してよい。（Ａ）成分が（メタ）アクリル酸を単量体単位として有する場合、（メタ）アクリル酸の単量体単位の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分を構成する単量体単位の全量を基準として下記の範囲であってよい。（メタ）アクリル酸の単量体単位の含有量は、１質量％以上、５質量％以上、１０質量％以上、１５質量％以上、２０質量％以上、又は、２５質量％以上であってよい。（メタ）アクリル酸の単量体単位の含有量は、５０質量％以下、５０質量％未満、４５質量％以下、４０質量％以下、３５質量％以下、又は、３０質量％以下であってよい。これらの観点から、（メタ）アクリル酸の単量体単位の含有量は、１～５０質量％であってよい。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（メタ）アクリル酸アルキルを単量体単位として有してよい。（メタ）アクリル酸アルキルのアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられ、アルキル基は、各種構造異性体であってよい。（メタ）アクリル酸アルキルのアルキル基の炭素数は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１～４、１～３、２～３、又は、１～２であってよい。

　（メタ）アクリル酸アルキルのアルキル基は、置換基を有してよい。置換基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、カルボン酸塩基、アルデヒド基、アルコキシ基（無置換のアルコキシ基（酸素原子に結合した無置換のアルキル基を有する構造）、又は、置換アルコキシ基（ヒドロキシアルコキシ基等））、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルカノイル基（炭素数２～１２のアルカノイル基等）、オキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミノ基、エポキシ基、フリル基、シアノ基、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、スルホンアミド基などが挙げられる。（Ａ）成分としては、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸２，２，２－トリフルオロエチル、（メタ）アクリル酸２，２，３，３－テトラフルオロプロピル、α－クロロ（メタ）アクリル酸、α－ブロモ（メタ）アクリル酸等が挙げられる。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルを単量体単位として有してよい。（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルとしては、（メタ）アクリル酸ヒドロキシメチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシペンチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル等が挙げられる。

　（Ａ）成分が（メタ）アクリル酸アルキルを単量体単位として有する場合における（メタ）アクリル酸アルキルの単量体単位の含有量、又は、（Ａ）成分が（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルを単量体単位として有する場合における（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルの単量体単位の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分を構成する単量体単位の全量を基準として下記の範囲であってよい。上述の単量体単位の含有量は、０．１質量％以上、０．５質量％以上、１質量％以上、２質量％以上、又は、３質量％以上であってよい。上述の単量体単位の含有量は、２０質量％以下、１５質量％以下、１０質量％以下、８質量％以下、５質量％以下、又は、３質量％以下であってよい。これらの観点から、上述の単量体単位の含有量は、０．１～２０質量％であってよい。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（メタ）アクリル酸アリールを単量体単位として有してよい。（メタ）アクリル酸アリールとしては、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸ナフチル等が挙げられる。

　（Ａ）成分が（メタ）アクリル酸アリールを単量体単位として有する場合、（メタ）アクリル酸アリールの単量体単位の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分を構成する単量体単位の全量を基準として下記の範囲であってよい。（メタ）アクリル酸アリールの単量体単位の含有量は、１質量％以上、５質量％以上、１０質量％以上、１５質量％以上、又は、２０質量％以上であってよい。（メタ）アクリル酸アリールの単量体単位の含有量は、５０質量％以下、５０質量％未満、４５質量％以下、４０質量％以下、３５質量％以下、３０質量％以下、２５質量％以下、又は、２０質量％以下であってよい。これらの観点から、（メタ）アクリル酸アリールの単量体単位の含有量は、１～５０質量％であってよい。

　（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、スチレン化合物（（メタ）アクリロイル基を有する化合物を除く）を単量体単位として有してよい。スチレン化合物としては、スチレン、スチレン誘導体等が挙げられる。スチレン誘導体は、ビニルトルエン、α－メチルスチレン等が挙げられる。（Ａ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（メタ）アクリル酸及びスチレン化合物を単量体単位として有してよく、（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキル及びスチレン化合物を単量体単位として有してよく、（メタ）アクリル酸アリール及びスチレン化合物を単量体単位として有してよい。

　（Ａ）成分がスチレン化合物を単量体単位として有する場合、スチレン化合物の単量体単位の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分を構成する単量体単位の全量を基準として下記の範囲であってよい。スチレン化合物の単量体単位の含有量は、１０質量％以上、２０質量％以上、２５質量％以上、３０質量％以上、３０質量％超、３５質量％以上、４０質量％以上、４５質量％以上、４７質量％以上、又は、５０質量％以上であってよい。スチレン化合物の単量体単位の含有量は、９０質量％以下、８５質量％以下、８０質量％以下、７５質量％以下、７０質量％以下、６５質量％以下、６０質量％以下、５５質量％以下、又は、５０質量％以下であってよい。これらの観点から、スチレン化合物の単量体単位の含有量は、１０～９０質量％であってよい。

　（Ａ）成分は、その他の単量体を単量体単位として有してよい。このような単量体としては、ビニルアルコールのエーテル類（ビニル－ｎ－ブチルエーテル等）、（メタ）アクリロニトリル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノエステル（マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等）、フマール酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸などが挙げられる。

　（Ａ）成分の酸価は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の酸価は、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ超、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、又は、１７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であってよい。（Ａ）成分の酸価は、２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、２４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、２３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、２１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、又は、１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の酸価は、８０～２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであってよい。（Ａ）成分の酸価は、（Ａ）成分を構成する単量体単位（例えば（メタ）アクリル酸の単量体単位）の含有量により調整できる。（Ａ）成分の酸価は、実施例に記載の方法で測定することができる。

　（Ａ）成分の重量平均分子量（Ｍｗ）は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の重量平均分子量は、１００００以上、２００００以上、２５０００以上、３００００以上、又は、３５０００以上であってよい。（Ａ）成分の重量平均分子量は、１０００００以下、８００００以下、７００００以下、７００００未満、６５０００以下、６００００以下、５００００以下、４００００以下、又は、３５０００以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の重量平均分子量は、１００００～１０００００、２００００～５００００、又は、３００００～４００００であってよい。

　（Ａ）成分の数平均分子量（Ｍｎ）は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の数平均分子量は、５０００以上、１００００以上、１２０００以上、１５０００以上、又は、１６０００以上であってよい。（Ａ）成分の数平均分子量は、５００００以下、４００００以下、３５０００以下、３００００以下、２５０００以下、２００００以下、又は、１６０００以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の数平均分子量は、５０００～５００００、１００００～２５０００、又は、１５０００～２００００であってよい。

　（Ａ）成分の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の分散度は、１．０以上、１．５以上、１．８以上、２．０以上、又は、２．１以上であってよい。（Ａ）成分の分散度は、３．０以下、２．８以下、２．５以下、２．３以下、又は、２．２以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の分散度は、１．０～３．０であってよい。

　重量平均分子量及び数平均分子量は、例えば、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により標準ポリスチレンの検量線を用いて測定することができる。より具体的には、実施例に記載の条件で測定することができる。分子量の低い化合物について、上述の重量平均分子量及び数平均分子量の測定方法で測定困難な場合には、他の方法で分子量を測定し、その平均値を算出することもできる。

　（Ａ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の含有量は、フィルムの成形性に優れる観点から、１０質量％以上、２０質量％以上、３０質量％以上、４０質量％以上、４５質量％以上、又は、５０質量％以上であってよい。（Ａ）成分の含有量は、９０質量％以下、８０質量％以下、７５質量％以下、７０質量％以下、６５質量％以下、６０質量％以下、又は、５５質量％以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の含有量は、１０～９０質量％であってよい。

　（Ａ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ａ）成分の含有量は、フィルムの成形性に優れる観点から、１０質量部以上、２０質量部以上、３０質量部以上、４０質量部以上、４５質量部以上、５０質量部以上、又は、５５質量部以上であってよい。（Ａ）成分の含有量は、９０質量部以下、８０質量部以下、７５質量部以下、７０質量部以下、６５質量部以下、又は、６０質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ａ）成分の含有量は、１０～９０質量部、又は、４０～７０質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分として光重合性化合物（アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、ジスチリルベンゼン化合物、又は、ナフタレン化合物に該当する化合物を除く）を含有する。光重合性化合物は、光により重合する化合物である。（Ｂ）成分は、エチレン性不飽和結合を有する化合物であってよく、（メタ）アクリロイル基を有する化合物（（メタ）アクリル酸化合物）であってよい。

　（Ｂ）成分としては、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物（ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物を除く）、ＥＯ変性ジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ジ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性ジ（メタ）アクリレート、ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート（ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等）、ＥＯ変性ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート、フタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキル、分子内に少なくとも１つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物（オキセタン化合物等）などが挙げられる。「ＥＯ変性」とは、ポリオキシエチレン基を有する化合物であることを意味する。「ＰＯ変性」とは、ポリオキシプロピレン基を有する化合物であることを意味する。「ＥＯ・ＰＯ変性」とは、ポリオキシエチレン基及び／又は（ポリ）オキシプロピレン基を有する化合物であることを意味する。

　（Ｂ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物を含んでよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物としては、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン（２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン等）、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンなどが挙げられる。（Ｂ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンを含んでよく、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンを含んでよい。

　ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の分子量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。分子量は、１００以上、２００以上、３００以上、４００以上、４５０以上、５００以上、６００以上、７００以上、又は、８００以上であってよい。分子量は、１００００以下、１００００未満、８０００以下、６０００以下、５０００以下、３０００以下、２０００以下、１５００以下、１０００以下、９００以下、８００以下、７００以下、６００以下、又は、５００以下であってよい。これらの観点から、分子量は、１００～１００００であってよい。

　ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ｂ）成分の全質量を基準として下記の範囲であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、５０質量％以上、５０質量％超、６０質量％以上、７０質量％以上、８０質量％以上、８５質量％以上、又は、９０質量％以上であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１００質量％以下であり、１００質量％未満、９９質量％以下、９８質量％以下、９７質量％以下、９５質量％以下、９２質量％以下、又は、９１質量％以下であってよい。これらの観点から、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、５０～１００質量％であってよい。

　ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１質量部以上、５質量部以上、１０質量部以上、２０質量部以上、３０質量部以上、又は、４０質量部以上であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１００質量部未満、９０質量部以下、８０質量部以下、７０質量部以下、６０質量部以下、５０質量部以下、又は、４０質量部以下であってよい。これらの観点から、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１質量部以上１００質量部未満であってよい。

　（Ｂ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ポリオキシアルキレン基（２以上のアルキレン基がエーテル結合で連結した基）を有する（メタ）アクリル酸化合物を含んでよく、ポリオキシエチレン基及びポリオキシプロピレン基からなる群より選ばれる少なくとも一種を有する（メタ）アクリル酸化合物を含んでよい。

　ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の分子量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。分子量は、１００以上、２００以上、３００以上、４００以上、５００以上、６００以上、７００以上、８００以上、９００以上、１０００以上、又は、１１００以上であってよい。分子量は、１００００以下、１００００未満、８０００以下、６０００以下、５０００以下、３０００以下、２０００以下、１５００以下、又は、１２００以下であってよい。これらの観点から、分子量は、１００～１００００であってよい。

　ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ｂ）成分の全質量を基準として下記の範囲であってよい。ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、０質量％を超えてよく、１質量％以上、２質量％以上、３質量％以上、５質量％以上、８質量％以上、又は、９質量％以上であってよい。ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、５０質量％以下、５０質量％未満、４０質量％以下、３０質量％以下、２０質量％以下、１５質量％以下、又は、１０質量％以下であってよい。これらの観点から、ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、０質量％を超え５０質量％以下であってよい。

　ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、０．１質量部以上、０．５質量部以上、１質量部以上、２質量部以上、３質量部以上、又は、４質量部以上であってよい。ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、５０質量部以下、３０質量部以下、１０質量部以下、８質量部以下、６質量部以下、５質量部以下、又は、４質量部以下であってよい。これらの観点から、ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、０．１～５０質量部であってよい。

　（Ｂ）成分が、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物と、ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物と、を含む場合、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物１００質量部に対して下記の範囲であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１質量部以上、２質量部以上、３質量部以上、５質量部以上、８質量部以上、又は、１０質量部以上であってよい。ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１００質量部以下、１００質量部未満、８０質量部以下、５０質量部以下、３０質量部以下、２０質量部以下、又は、１０質量部以下であってよい。これらの観点から、ビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物の含有量は、１～１００質量部であってよい。

　（Ｂ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として下記の範囲であってよい。（Ｂ）成分の含有量は、１０質量％以上、１５質量％以上、２０質量％以上、２５質量％以上、３０質量％以上、３５質量％以上、又は、４０質量％以上であってよい。（Ｂ）成分の含有量は、９０質量％以下、８０質量％以下、７０質量％以下、６５質量％以下、６０質量％以下、５５質量％以下、５０質量％以下、又は、４５質量％以下であってよい。これらの観点から、（Ｂ）成分の含有量は、１０～９０質量％であってよい。

　（Ｂ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｂ）成分の含有量は、１０質量部以上、２０質量部以上、２５質量部以上、３０質量部以上、３５質量部以上、又は、４０質量部以上であってよい。（Ｂ）成分の含有量は、９０質量部以下、８０質量部以下、７０質量部以下、６０質量部以下、５５質量部以下、５０質量部以下、又は、４５質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｂ）成分の含有量は、１０～９０質量部、又は、３０～６０質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ｃ）成分として光重合開始剤（アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、ジスチリルベンゼン化合物、又は、ナフタレン化合物に該当する化合物を除く）を含有する。

　（Ｃ）成分としては、ヘキサアリールビイミダゾール化合物；ベンゾフェノン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－１－ブタノン、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル－２－（ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルホリノ－プロパノン－１等の芳香族ケトン；アルキルアントラキノン等のキノン化合物；ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルフォスフィンオキサイド；ビス（２，６－ジメチルベンゾイル）－２，４，４－トリメチル－ペンチルフォスフィンオキサイド；（２，４，６－トリメチルベンゾイル）エトキシフェニルフォスフィンオキサイドなどが挙げられる。

　（Ｃ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ヘキサアリールビイミダゾール化合物を含んでよい。ヘキサアリールビイミダゾール化合物におけるアリール基は、フェニル基等であってよい。ヘキサアリールビイミダゾール化合物におけるアリール基に結合する水素原子は、ハロゲン原子（塩素原子等）により置換されていてよい。

　ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体であってよい。２，４，５－トリアリールイミダゾール二量体としては、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ビス－（ｍ－メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体等が挙げられる。ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、２－（ｏ－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体を含んでよく、２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾールを含んでよい。

　ヘキサアリールビイミダゾール化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ｃ）成分の全量を基準として、５０質量％以上、５０質量％超、７０質量％以上、９０質量％以上、９５質量％以上、９８質量％以上、９９質量％以上、又は、実質的に１００質量％（（Ｃ）成分が実質的にヘキサアリールビイミダゾール化合物からなる態様）であってよい。

　（Ｃ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として下記の範囲であってよい。（Ｃ）成分の含有量は、０．１質量％以上、０．５質量％以上、１質量％以上、２質量％以上、３質量％以上、４質量％以上、５質量％以上、又は、５．５質量％以上であってよい。（Ｃ）成分の含有量は、２０質量％以下、１５質量％以下、１２質量％以下、１０質量％以下、８質量％以下、７質量％以下、又は、６質量％以下であってよい。これらの観点から、（Ｃ）成分の含有量は、０．１～２０質量％であってよい。

　（Ｃ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｃ）成分の含有量は、０．１質量部以上、０．５質量部以上、１質量部以上、２質量部以上、３質量部以上、４質量部以上、５質量部以上、５．５質量部以上、又は、６質量部以上であってよい。（Ｃ）成分の含有量は、２０質量部以下、１５質量部以下、１２質量部以下、１０質量部以下、８質量部以下、７質量部以下、又は、６質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｃ）成分の含有量は、０．１～２０質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ｄ）成分として、アントラセン化合物（アントラセン環を有する化合物；ナフタレン化合物に該当する化合物を除く）、ピラゾリン化合物（ピラゾリン環を有する化合物；アントラセン化合物又はナフタレン化合物に該当する化合物を除く）、及び、ジスチリルベンゼン化合物（スチリル基が２つ結合したベンゼン環を有する化合物；アントラセン化合物、ピラゾリン化合物又はナフタレン化合物に該当する化合物を除く）からなる群より選ばれる少なくとも一種を含有する。（Ｄ）成分は、増感剤（光増感剤）として用いることができる。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、アントラセン化合物を含有しない態様であってもよく、ピラゾリン化合物を含有しない態様であってもよく、ジスチリルベンゼン化合物を含有しない態様であってもよい。（Ｄ）成分の分子量は、１００００未満であってよい。

　（Ｄ）成分がアントラセン化合物を含むことにより、特に優れた解像性を得ることができる。アントラセン化合物は、アントラセン環に結合する置換基を有してよく、アントラセン環の９位及び１０位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合する置換基を有してよい。置換基としては、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、アリール基（フェニル基、アラルキル基（ベンジル基、フェネチル基等）、ベンゾイル基、スチリル基など）、ビニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、カルボン酸塩基、アルデヒド基、アルコキシ基（無置換のアルコキシ基、又は、置換アルコキシ基（ヒドロキシアルコキシ基等））、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルカノイル基（炭素数２～１２のアルカノイル基等）、オキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミノ基、エポキシ基、フリル基、シアノ基、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、スルホンアミド基などが挙げられる。

　（Ｄ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記一般式（ｄ１）で表される化合物を含んでよい。

［式（ｄ１）中、Ｒ^ｄ１０及びＲ^ｄ１１は、それぞれ独立に、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、フェニル基、ベンジル基、アルカノイル基（例えば炭素数２～１２のアルカノイル基）、又は、ベンゾイル基を表す。Ｒ^ｄ１２、Ｒ^ｄ１３、Ｒ^ｄ１４、Ｒ^ｄ１５、Ｒ^ｄ１６、Ｒ^ｄ１７、Ｒ^ｄ１８及びＲ^ｄ１９は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基（例えば炭素数１～１２のアルキル基）、ハロゲノ基、シアノ基、カルボキシ基、フェニル基、アルコキシカルボニル（例えば炭素数２～６のアルコキシカルボニル基）、又は、ベンゾイル基を示す。］

　式（ｄ１）において、アルキル基の炭素数が２以上（例えば２～１２）の場合、アルキル基は、主鎖の炭素原子間に酸素原子を有してよく、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。シクロアルキル基は、環の中に酸素原子を有してよく、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。フェニル基、ベンジル基及びベンゾイル基のそれぞれは、アルキル基（例えば炭素数１～６のアルキル基）、ヒドロキシ基、ハロゲノ基、シアノ基、カルボキシ基、フェニル基、アルコキシ基（例えば炭素数１～６のアルコキシ基）、フェノキシ基、及び、アルコキシカルボニル基（例えば炭素数２～６のアルコキシカルボニル基）からなる群より選ばれる少なくとも一種で置換されていてもよい。Ｒ^ｄ１２、Ｒ^ｄ１３、Ｒ^ｄ１４、Ｒ^ｄ１５、Ｒ^ｄ１６、Ｒ^ｄ１７、Ｒ^ｄ１８及びＲ^ｄ１９は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、水素原子であってよい。

　アントラセン化合物は、分子内にヒドロキシ基を有さなくてよく、アントラセン環に結合するヒドロキシアルコキシ基を有さなくてよい。アントラセン化合物は、分子内にＣＯＯ基（Ｃ（＝Ｏ）Ｏ基）を有さなくてよく、アントラセン環に結合するＣＯＯ基（Ｃ（＝Ｏ）Ｏ基を有さなくてよい。アントラセン化合物は、アントラセン環の９位及び１０位以外の位置に置換基を有さなくてよい。

　（Ｄ）成分は、アントラセン化合物として、分子内にヒドロキシ基を有するアントラセン化合物を含まなくてよく、アントラセン環に結合するヒドロキシアルコキシ基を有するアントラセン化合物を含まなくてよい。（Ｄ）成分は、アントラセン化合物として、分子内にＣＯＯ基（Ｃ（＝Ｏ）Ｏ基）を有するアントラセン化合物を含まなくてよく、アントラセン環に結合するＣＯＯ基（Ｃ（＝Ｏ）Ｏ基）を有するアントラセン化合物を含まなくてよい。（Ｄ）成分は、アントラセン化合物として、アントラセン環の９位及び１０位以外の位置に置換基を有するアントラセン化合物を含まなくてよい。（Ｄ）成分は、アントラセン化合物として、アントラセン環に結合する酸素原子数２以上の置換基を有するアントラセン化合物を含まなくてよい。

　アルコキシ基の炭素数は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。例えば、上記式（ｄ１）において、Ｒ^ｄ１０及びＲ^ｄ１１からなる群より選ばれる少なくとも一種がアルキル基である場合、ＯＲ^ｄ１０又はＯＲ^ｄ１１のアルコキシ基の炭素数は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。アルコキシ基の炭素数は、１以上、２以上、３以上、又は、４以上であってよい。アルコキシ基の炭素数は、１０以下、８以下、６以下、５以下、又は、４以下であってよい。これらの観点から、アルコキシ基の炭素数は、１～１０であってよい。

　アントラセン化合物としては、１－メチルアントラセン、２－メチルアントラセン、９－メチルアントラセン、２－エチルアントラセン、２－ブチルアントラセン、９－ビニルアントラセン、９－フェニルアントラセン、１－アミノアントラセン、２－アミノアントラセン、９－（メチルアミノメチル）アントラセン、９－アセチルアントラセン、９－アントラアルデヒド、９，１０－ジメチルアントラセン、９，１０－ジエトキシアントラセン、９，１０－ジプロポキシアントラセン、９，１０－ジブトキシアントラセン、９，１０－ジ（２－エチルヘキシルオキシ）アントラセン、９，１０－ジフェニルアントラセン、２－ブロモ－９，１０－ジフェニルアントラセン、９－（４－ブロモフェニル）－１０－フェニルアントラセン、１０－メチル－９－アントラアルデヒド、１，４，９，１０－テトラヒドロキシアントラセン等が挙げられる。

　アントラセン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、アントラセン環に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物（例えば、アントラセン環に結合する２つの無置換のアルコキシ基を有するジアルコキシアントラセン化合物）を含んでよく、アントラセン環の９位及び１０位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物を含んでよく、９，１０－ジブトキシアントラセンを含んでよい。（Ｄ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、アントラセン化合物として、アントラセン環の９位及び１０位に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物以外の化合物を含まなくてよい。すなわち、（Ｄ）成分におけるアントラセン化合物が、アントラセン環の９位及び１０位に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物からなる態様であってよい。

　アントラセン環に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物の含有量、又は、アントラセン環の９位及び１０位に結合する無置換のアルコキシ基を有するアントラセン化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、アントラセン化合物の全質量（感光性フィルム又は感光性樹脂組成物に含まれるアントラセン化合物の全質量）を基準として、５０質量％以上、５０質量％超、７０質量％以上、９０質量％以上、９５質量％以上、９８質量％以上、９９質量％以上、又は、実質的に１００質量％（アントラセン化合物が、実質的に、アントラセン環に結合する無置換のアルコキシ基を有する化合物からなる態様）であってよく、５０～１００質量％であってよい。

　（Ｄ）成分がピラゾリン化合物を含むことにより、優れた感度を得やすい。ピラゾリン化合物としては、１－ピラゾリン化合物、２－ピラゾリン化合物、及び、３－ピラゾリン化合物が挙げられる。ピラゾリン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、２－ピラゾリン化合物を含んでよい。

　ピラゾリン化合物は、ピラゾリン環に結合する置換基を有してよく、ピラゾリン環の１位、３位及び５位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合する置換基を有する化合物を含んでよい。置換基としては、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、アリール基（フェニル基、アラルキル基（ベンジル基、フェネチル基等）、ベンゾイル基、スチリル基など）、ビニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、カルボン酸塩基、アルデヒド基、アルコキシ基（無置換のアルコキシ基、又は、置換アルコキシ基（ヒドロキシアルコキシ基等））、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルカノイル基（炭素数２～１２のアルカノイル基等）、オキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミノ基、エポキシ基、フリル基、シアノ基、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、スルホンアミド基などが挙げられる。アリール基のベンゼン環は、置換基を有してよく、置換基としては、アルキル基、アルコキシ基（メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基等）、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、スルホンアミド基などが挙げられる。置換基は、アルキルエステル基（例えば炭素数１～６のアルキルエステル基）、アルキルアミノ基（例えば炭素数１～２０のアルキルアミノ基）等であってもよい。

　（Ｄ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記一般式（ｄ２１）で表される化合物、及び、下記一般式（ｄ２２）で表される化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種を含んでよい。

［式（ｄ２１）中、Ｒ^ｄ２１１、Ｒ^ｄ２１２及びＲ^ｄ２１３は、それぞれ独立に、アルコキシ基（例えば炭素数１～１０のアルコキシ基）、又は、アルキル基（例えば炭素数１～３のアルキル基）を示し、ｄ２１１、ｄ２１２及びｄ２１３は、それぞれ独立に、０～５の整数を示す。ｄ２１１が２以上の場合において複数存在するＲ^ｄ２１１は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよく、ｄ２１２が２以上の場合において複数存在するＲ^ｄ２１２は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよく、ｄ２１３が２以上の場合において複数存在するＲ^ｄ２１３は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよい。］

　式（ｄ２１）において、Ｒ^ｄ２１１、Ｒ^ｄ２１２及びＲ^ｄ２１３の少なくとも一つは、アルコキシ基（例えば炭素数１～１０のアルコキシ基）、又は、アルキル基（例えば炭素数１～３のアルキル基）であってよい。Ｒ^ｄ２１２及びＲ^ｄ２１３からなる群より選ばれる少なくとも一種は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、アルコキシ基であってよく、メトキシ基、エトキシ基又はプロポキシ基であってよい。ｄ２１１は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０であってよい。ｄ２１２及びｄ２１３からなる群より選ばれる少なくとも一種は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０、１、２又は３であってよく、１であってよい。ｄ２１１、ｄ２１２及びｄ２１３の総和は、０～６又は１～６であってよい。

［式（ｄ２２）中、Ｒ^ｄ２２１及びＲ^ｄ２２２は、それぞれ独立に、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、アルコキシ基（例えば炭素数１～６のアルコキシ基）、アミノ基、ハロゲノ基、カルボキシ基、シアノ基、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、又は、スルホンアミド基を示し、ｄ２２１及びｄ２２２は、それぞれ独立に、０～５の整数を示す。ｄ２２１が２以上の場合において複数存在するＲ^ｄ２２１は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよく、ｄ２２２が２以上の場合において複数存在するＲ^ｄ２２２は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよい。］

　式（ｄ２２）において、Ｒ^ｄ２２１は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ハロゲノ基であってよく、フルオロ基、クロロ基、又は、ブロモ基であってよい。Ｒ^ｄ２２２は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、スルホンアミド基であってよい。ｄ２２１及びｄ２２２からなる群より選ばれる少なくとも一種は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０、１、２又は３であってよく、１であってよい。

　ピラゾリン化合物としては、１－フェニル－３－（４－イソプロピルスチリル）－５－（４－イソプロピルフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－ｔｅｒｔ－ブチル－スチリル）－５－（４－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（４－メトキシスチリル）－５－（４－メトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（３，５－ジメトキシスチリル）－５－（３，５－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（３，４－ジメトキシスチリル）－５－（３，４－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，６－ジメトキシスチリル）－５－（２，６－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，５－ジメトキシスチリル）－５－（２，５－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，３－ジメトキシスチリル）－５－（２，３－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、１－フェニル－３－（２，４－ジメトキシスチリル）－５－（２，４－ジメトキシフェニル）－ピラゾリン、４－［［３－（４－クロロフェニル）－４，５－ジヒドロ－１Ｈ－ピラゾール］－１－イル］ベンゼンスルホンアミド等が挙げられる。

　ピラゾリン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ピラゾリン環に結合するアリール基を有する化合物（ピラゾリン環に結合する２つ以上（例えば２～３つ）のアリール基を有する化合物等）を含んでよく、ピラゾリン環の１位、３位及び５位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合するアリール基を有する化合物を含んでよく、ピラゾリン環の１位、３位及び５位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合するフェニル基（置換基を有してよいフェニル基）を有する化合物を含んでよく、１－フェニル－３－（４－メトキシスチリル）－５－（４－メトキシフェニル）－ピラゾリン、及び、４－［［３－（４－クロロフェニル）－４，５－ジヒドロ－１Ｈ－ピラゾール］－１－イル］ベンゼンスルホンアミドからなる群より選ばれる少なくとも一種を含んでよい。

　（Ｄ）成分がジスチリルベンゼン化合物を含むことにより、特に優れた感度を得ることができる。ジスチリルベンゼン化合物において、スチリル基のベンゼン環、及び、スチリル基が２つ結合したベンゼン環は、置換基を有してよい。置換基としては、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、アリール基（フェニル基、アラルキル基（ベンジル基、フェネチル基等）、ベンゾイル基など）、ビニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、カルボン酸塩基、アルデヒド基、アルコキシ基（無置換のアルコキシ基、又は、置換アルコキシ基（ヒドロキシアルコキシ基等））、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルカノイル基（炭素数２～１２のアルカノイル基等）、オキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミノ基、エポキシ基、フリル基、シアノ基、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、スルホンアミド基などが挙げられる。

　（Ｄ）成分は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記一般式（ｄ３）で表される化合物を含んでよい。

［式（ｄ３）中、Ｒ^ｄ３１、Ｒ^ｄ３２及びＲ^ｄ３３は、シアノ基を示し、ｄ３１及びｄ３２は、それぞれ独立に、０～５の整数を示し、ｄ３３は、０～４の整数を示す。］

　式（ｄ３）において、ｄ３１及びｄ３２からなる群より選ばれる少なくとも一種は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１、２、３、４又は５であってよく、１であってよい。ｄ３３は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０、１、２又は３であってよく、０であってよい。

　ジスチリルベンゼン化合物としては、ジスチリルベンゼン、ジシアノジスチリルベンゼン化合物等が挙げられる。ジシアノジスチリルベンゼン化合物としては、４’－（２－シアノスチリル）－２－スチルベンカルボニトリル、４’－（２－シアノスチリル）－３－スチルベンカルボニトリル、４’－（２－シアノスチリル）－４－スチルベンカルボニトリル、１，４－ビス（４－シアノスチリル）ベンゼン等が挙げられる。ジスチリルベンゼン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ジシアノジスチリルベンゼン化合物を含んでよく、４’－（２－シアノスチリル）－３－スチルベンカルボニトリルを含んでよい。

　（Ｄ）成分の含有量（アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、及び、ジスチリルベンゼン化合物の総量。以下同様）、アントラセン化合物の含有量、ピラゾリン化合物の含有量、又は、ジスチリルベンゼン化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として下記の範囲であってよい。（Ｄ）成分の含有量は、０．０１質量％以上、０．０５質量％以上、０．１質量％以上、０．２質量％以上、０．２５質量％以上、０．３質量％以上、０．４質量％以上、０．５質量％以上、又は、０．６質量％以上であってよい。（Ｄ）成分の含有量は、５質量％以下、３質量％以下、１質量％以下、０．８質量％以下、０．７質量％以下、０．６質量％以下、０．５質量％以下、０．４質量％以下、０．３質量％以下、又は、０．２５質量％以下であってよい。これらの観点から、（Ｄ）成分の含有量は、０．０１～５質量％、又は、０．１～１質量％であってよい。

　（Ｄ）成分の含有量、アントラセン化合物の含有量、ピラゾリン化合物の含有量、又は、ジスチリルベンゼン化合物の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｄ）成分の含有量は、０．０１質量部以上、０．０５質量部以上、０．１質量部以上、０．２質量部以上、０．２５質量部以上、０．３質量部以上、０．４質量部以上、０．５質量部以上、０．６質量部以上、又は、０．６５質量部以上であってよい。（Ｄ）成分の含有量は、５質量部以下、３質量部以下、１質量部以下、０．８質量部以下、０．７質量部以下、０．６５質量部以下、０．６質量部以下、０．５質量部以下、０．４質量部以下、０．３質量部以下、又は、０．２５質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｄ）成分の含有量は、０．０１～５質量部、又は、０．１～１質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ｅ）成分として、ナフタレン化合物（ナフタレン環を有する化合物）を含有する。（Ｅ）成分は、増感助剤（光増感助剤）として用いることができる。（Ｅ）成分の分子量は、１００００未満であってよい。

　ナフタレン化合物は、ナフタレン環に結合する置換基を有してよく、ナフタレン環の１位及び４位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合する置換基を有してよい。置換基としては、アルキル基（炭素数１～２０のアルキル基（非環状アルキル基）、炭素数５～１２のシクロアルキル基等）、アリール基（フェニル基、アラルキル基（ベンジル基、フェネチル基等）、ベンゾイル基、スチリル基など）、ビニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、カルボン酸塩基、アルデヒド基、アルコキシ基（無置換のアルコキシ基、又は、置換アルコキシ基（ヒドロキシアルコキシ基等））、カルボニル基、アルコキシカルボニル基、アルカノイル基（炭素数２～１２のアルカノイル基等）、オキシカルボニル基、カルボニルオキシ基、アミノ基、エポキシ基、フリル基、シアノ基、ハロゲノ基（フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等）、ニトロ基、アセチル基、スルホニル基、スルホンアミド基、アリールオキシ基（フェノキシ基等）などが挙げられる。ナフタレン化合物は、ナフタレン環の１位及び４位以外の位置に置換基を有さなくてよい。

　ナフタレン化合物は、オキサゾール骨格を有しないナフタレン化合物であってよい。ナフタレン化合物は、ビニルナフタレン化合物とは異なる化合物であってよい。ナフタレン化合物は、エチレン性不飽和結合を有しないナフタレン化合物であってよい。ナフタレン化合物は、アントラセン環を有しないナフタレン化合物であってよい。

　ナフタレン化合物におけるアルコキシ基の炭素数は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記の範囲であってよい。アルコキシ基の炭素数は、１以上、又は、２以上であってよい。アルコキシ基の炭素数は、アルコキシ基の炭素数は、１０以下、８以下、６以下、５以下、４以下、３以下、又は、２以下であってよい。これらの観点から、アルコキシ基の炭素数は、１～１０であってよい。

　ナフタレン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、下記一般式（ｅ）で表される化合物を含んでよい。

［式（ｅ）において、Ｒ^ｅ１及びＲ^ｅ２は、それぞれ独立に、ハロゲノ基、アルキル基（例えば炭素数１～８のアルキル基）、アラルキル基、アルコキシ基、又は、アリールオキシ基を示し、Ｒ^ｅ３及びＲ^ｅ４は、それぞれ独立に、アルキル基、又は、グリシジル基を示し、ｅ１は、０～２の整数を示し、ｅ２は、０～４の整数を示す。ｅ１が２の場合において複数存在するＲ^ｅ１は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよく、ｅ２が２以上の場合において複数存在するＲ^ｅ２は、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよい。］

　式（ｅ）において、Ｒ^ｅ１、Ｒ^ｅ２、Ｒ^ｅ３及びＲ^ｅ４のアルキル基は、酸素原子が置換していてもよい炭素数１～９のアルキル基であってよい。このようなアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、ｉ－プロピル基、ｎ－ブチル基、ｉ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、２－エチルヘキシル基、ｎ－ノニル基、２－ヒドロキシエチル基、３－ヒドロキシエチル基、２－ヒドロキシプロピル基、２－メトキシエトキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－フェノキシエトキシ基等が挙げられる。Ｒ^ｅ１及びＲ^ｅ２において、ハロゲノ基としては、フルオロ基、クロロ基、ブロモ基等が挙げられ、アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基等が挙げられ、アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられ、アリールオキシ基としては、フェノキシ基等が挙げられる。

　ナフタレン化合物としては、１－メトキシナフタレン、１－エトキシナフタレン、１－プロポキシナフタレン、１－ブトキシナフタレン、１，４－ジメトキシナフタレン、１－エトキシ－４－メトキシナフタレン、１，４－ジエトキシナフタレン、１，４－ビス（ｎ－プロポキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－ブトキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｉ－ブトキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－ペンチルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｉ－ペンチルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－ヘキシルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－ヘプチルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－オクチルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（２－エチルヘキシルオキシ）ナフタレン、１，４－ビス（ｎ－ノニルオキシ）ナフタレン、１，４－ジベンジルオキシナフタレン、１，４－ジフェネチルオキシナフタレン、１，４－ジグリシジルオキシナフタレン、１，４－ビス（２－メチルグリシジルオキシ）ナフタレン、１－ナフトール、２－ナフトール、１－（２－ヒドロキシエトキシ）ナフタレン、２－（２－ヒドロキシエトキシ）ナフタレン等が挙げられる。

　ナフタレン化合物は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、ナフタレン環に結合するアルコキシ基を有する化合物（例えば、ナフタレン環に結合する２つのアルコキシ基を有する化合物）を含んでよく、ナフタレン環の１位及び４位からなる群より選ばれる少なくとも一種に結合するアルコキシ基を有する化合物を含んでよく、１，４－ジエトキシナフタレンを含んでよい。

　（Ｅ）成分の含有量は、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として下記の範囲であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた密着性及び感度を得やすい観点から、０．０１質量％以上、０．０５質量％以上、０．１質量％以上、０．１５質量％以上、０．１９質量％以上、０．２質量％以上、０．４質量％以上、０．５質量％以上、０．８質量％以上、０．９質量％以上、１質量％以上、１．５質量％以上、２質量％以上、又は、２．３質量％以上であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１０質量％以下、８質量％以下、５質量％以下、３質量％以下、２．５質量％以下、２．３質量％以下、２質量％以下、１．５質量％以下、１質量％以下、０．９質量％以下、０．８質量％以下、０．５質量％以下、０．４質量％以下、又は、０．２質量％以下であってよい。これらの観点から、（Ｅ）成分の含有量は、０．０１～１０質量％、又は、０．１～５質量％であってよい。

　（Ｅ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた密着性及び感度を得やすい観点から、０．０１質量部以上、０．０５質量部以上、０．１質量部以上、０．１５質量部以上、０．２質量部以上、０．３質量部以上、０．５質量部以上、０．８質量部以上、１質量部以上、１．５質量部以上、２質量部以上、２．５質量部以上、又は、２．６質量部以上であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１０質量部以下、５質量部以下、３質量部以下、２．６質量部以下、２．５質量部以下、２質量部以下、１．５質量部以下、１質量部以下、０．８質量部以下、０．５質量部以下、０．３質量部以下、又は、０．２質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｅ）成分の含有量は、０．０１～１０質量部、又は、０．１～５質量部であってよい。

　（Ｅ）成分の含有量は、（Ｄ）成分１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた密着性及び感度を得やすい観点から、１質量部以上、５質量部以上、１０質量部以上、３０質量部以上、４０質量部以上、５０質量部以上、７０質量部以上、８０質量部以上、９０質量部以上、１００質量部以上、１５０質量部以上、２００質量部以上、３００質量部以上、又は、４００質量部以上であってよい。（Ｅ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、１０００質量部以下、８００質量部以下、５００質量部以下、４００質量部以下、３００質量部以下、２００質量部以下、１５０質量部以下、１００質量部以下、９０質量部以下、８０質量部以下、７０質量部以下、５０質量部以下、又は、４０質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｅ）成分の含有量は、１～１０００質量部、又は、１０～５００質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、（Ｆ）成分として重合禁止剤（（Ａ）～（Ｅ）成分のいずれかに該当する化合物を除く）を含有してよい。（Ｆ）成分は、レジストパターン形成時の未露光部における重合を抑制し、解像性を向上させやすい。重合禁止剤としては、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール（例えば４－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール）、ヒンダードアミン（例えば２，２，６，６－テトラメチル－４－ヒドロキシピペリジン－１－オキシル）、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル等が挙げられる。

　（Ｆ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して下記の範囲であってよい。（Ｆ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０．００１質量部以上、０．００３質量部以上、０．００５質量部以上、０．０１質量部以上、又は、０．０１５質量部以上であってよい。（Ｆ）成分の含有量は、優れた解像性及び密着性を得やすい観点から、０．１質量部以下、０．０５質量部以下、０．０４質量部以下、０．０３質量部以下、又は、０．０２質量部以下であってよい。これらの観点から、（Ｆ）成分の含有量は、０．００１～０．１質量部であってよい。

　本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、有機溶剤を含有してよい。有機溶剤としては、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等が挙げられる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、上述した成分以外のその他の成分（（Ａ）～（Ｅ）成分のいずれかに該当する化合物を除く）を含有してよい。その他の成分としては、水素供与体（ビス［４－（ジメチルアミノ）フェニル］メタン、ビス［４－（ジエチルアミノ）フェニル］メタン、ロイコクリスタルバイオレット、Ｎ－フェニルグリシン等）、染料（マラカイトグリーン等）、増感剤、トリブロモフェニルスルホン、光発色剤、熱発色防止剤、可塑剤（ｐ－トルエンスルホンアミド等）、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などが挙げられる。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物において、熱ラジカル重合開始剤の含有量は、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として、０．５質量％以下、０．５質量％未満、０．１質量％以下、０．０１質量％以下、又は、０．００１質量％以下であってよい。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、熱ラジカル重合開始剤を含有しなくてよい（上述の含有量が実質的に０質量％であってよい）。

　本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物において、ビニル重合体（例えば、エポキシ基を有する側鎖を含むビニル重合体）、及び、オキセタン化合物（例えば、置換基を有していてもよいオキセタン環を２以上有するオキセタン化合物）からなる群より選ばれる少なくとも一種の含有量は、感光性フィルムの全量、又は、感光性樹脂組成物の全量（固形分全量）を基準として、２０質量％以下、２０質量％未満、１０質量％以下、１質量％以下、０．１質量％以下、０．０１質量％以下、又は、０．００１質量％以下であってよい。本実施形態に係る感光性フィルム及び感光性樹脂組成物は、ビニル重合体（例えば、エポキシ基を有する側鎖を含むビニル重合体）、及び、オキセタン化合物（例えば、置換基を有していてもよいオキセタン環を２以上有するオキセタン化合物）からなる群より選ばれる少なくとも一種を含有しなくてよい（上述の含有量が実質的に０質量％であってよい）。

＜感光性エレメント＞
　本実施形態に係る感光性エレメントは、支持体と、当該支持体上に配置された感光性樹脂層と、を備え、感光性樹脂層が、本実施形態に係る感光性フィルムである。本実施形態に係る感光性エレメントは、感光性樹脂層上に配置された保護層を備えてよい。本実施形態に係る感光性エレメントは、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等を備えてよい。感光性エレメントは、シート状であってよく、巻芯にロール状に巻き取られた感光性エレメントロールの形態であってよい。

　図１は、感光性エレメントの一例を示す模式断面図である。図１に示すように、感光性エレメント１は、支持体（支持フィルム）２と、支持体２上に配置された感光性樹脂層（感光性フィルム）３と、感光性樹脂層３上に配置された保護層（保護フィルム）４と、を備えている。感光性樹脂層３は、本実施形態に係る感光性樹脂組成物からなる。

　感光性エレメント１は、例えば、次の手順で得ることができる。まず、支持体２上に感光性樹脂層３を形成する。感光性樹脂層３は、例えば、有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物を塗布して形成された塗布層を乾燥することにより形成できる。次いで、感光性樹脂層３上に保護層４を配置する。

　支持体及び保護層のそれぞれは、耐熱性及び耐溶剤性を有するポリマーフィルムであってよく、ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム等）、ポリオレフィンフィルム（ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等）、炭化水素系ポリマー（ポリオレフィンフィルムを除く）などであってよい。保護層を構成するフィルムの種類と、支持体を構成するフィルムの種類とは、互いに同一であってよく、互いに異なっていてもよい。

　支持体の厚さは、支持体を感光性樹脂層から剥離する際の支持体の破損を抑制しやすい観点から、１μｍ以上、５μｍ以上、１０μｍ以上、又は、１５μｍ以上であってよい。支持体の厚さは、支持体を介して露光する場合に好適に露光しやすい観点から、１００μｍ以下、５０μｍ以下、３０μｍ以下、又は、２０μｍ以下であってよい。

　保護層の厚さは、保護層を剥がしながら感光性樹脂層及び支持体を基材上にラミネートする際の保護層の破損を抑制しやすい観点から、１μｍ以上、５μｍ以上、１０μｍ以上、又は、１５μｍ以上であってよい。保護層の厚さは、生産性が向上しやすい観点から、１００μｍ以下、５０μｍ以下、又は、３０μｍ以下であってよい。

＜積層体の製造方法＞
　本実施形態に係る積層体の製造方法は、本実施形態に係る感光性エレメント又は感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を基材（例えば基板）上に配置する感光性樹脂層配置工程と、感光性樹脂層の一部を光硬化させる（露光する）露光工程と、感光性樹脂層の未硬化部（未露光部）の少なくとも一部を除去して硬化物パターンを形成する現像工程と、基材における硬化物パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属層を形成する金属層形成工程と、を備える。本実施形態に係る積層体は、本実施形態に係る積層体の製造方法により得られ、配線基板（例えばプリント配線板）であってよい。本実施形態に係る積層体は、基材と、当該基材上に配置された硬化物パターン（本実施形態に係る硬化物）と、基材における硬化物パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に配置された金属層と、を備える態様であってもよい。

　感光性樹脂層配置工程では、本実施形態に係る感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を基材上に配置する。例えば、感光性樹脂層は、感光性エレメントから保護層を除去した後、感光性エレメントの感光性樹脂層を加熱しながら基材に圧着することによって形成してよく、感光性樹脂組成物を基材上に塗布及び乾燥することによって形成してよい。

　露光工程では、感光性樹脂層上にマスクを配置した状態で活性光線を照射して、感光性樹脂層におけるマスクが配置された領域以外の領域を露光して光硬化させてよく、マスクを用いずに、ＬＤＩ露光法、ＤＬＰ露光法等の直接描画露光法により活性光線を所望のパターンで照射して感光性樹脂層の一部を露光して光硬化させてよい。活性光線の光源としては、紫外光源又は可視光源を用いてよく、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、ガスレーザ（アルゴンレーザ等）、固体レーザ（ＹＡＧレーザ等）、半導体レーザなどが挙げられる。

　現像工程における現像方法は、例えば、ウェット現像又はドライ現像であってよい。ウェット現像は、感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いて、例えば、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング、スクラッビング、揺動浸漬等の方法により行うことができる。現像液は、感光性樹脂組成物の構成に応じて適宜選択され、アルカリ現像液又は有機溶剤現像液であってよい。

　アルカリ現像液は、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ；リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ；リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩；ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩；ホウ砂；メタケイ酸ナトリウム；水酸化テトラメチルアンモニウム；エタノールアミン；エチレンジアミン；ジエチレントリアミン；２－アミノ－２－ヒドロキシメチル－１，３－プロパンジオール；１，３－ジアミノ－２－プロパノール；モルホリンなどの塩基を含む水溶液であってよい。

　有機溶剤現像液は、１，１，１－トリクロロエタン、Ｎ－メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ－ブチロラクトン等の有機溶剤を含有してよい。

　金属層形成工程における金属層は、例えば金属銅層であってよい。金属層は、例えば、めっき処理を施すことにより形成できる。めっき処理は、電解めっき処理及び無電解めっき処理の一方又は両方であってよい。

　本実施形態に係る積層体の製造方法は、現像工程の後に、６０～２５０℃の加熱、又は、０．２～１０Ｊ／ｃｍ^２での露光を行うことによりレジストパターンを更に硬化させる工程を備えてよい。

　本実施形態に係る積層体の製造方法は、金属層形成工程の後に、硬化物パターンを除去する工程を備えてよい。硬化物パターンは、例えば、強アルカリ性水溶液を用いて、浸漬方式、スプレー方式等の現像を行うことにより除去できる。

　図２は、積層体の製造方法の一例（配線基板の製造方法）を示す模式図である。積層体の製造方法の一例では、まず、図２（ａ）に示すように、絶縁層１０ａと、絶縁層１０ａ上に配置された導体層１０ｂとを備える基材（例えば回路形成用基板）１０を用意する。導体層１０ｂは、例えば金属銅層であってよい。

　次いで、図２（ｂ）に示すように、基材１０の導体層１０ｂ上に感光性樹脂層１２を配置する（感光性樹脂層配置工程）。感光性樹脂層配置工程では、本実施形態に係る感光性エレメント又は感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層１２を基材１０の導体層１０ｂ上に配置する。

　次いで、図２（ｃ）に示すように、感光性樹脂層１２上にマスク１４を配置した状態で活性光線Ｌを照射して、感光性樹脂層１２におけるマスク１４が配置された領域以外の領域を露光して光硬化させる。

　次いで、マスク１４を除去した後、図２（ｄ）に示すように、感光性樹脂層における光硬化部以外の領域（未硬化部）を現像により基材１０上から除去して、光硬化部（感光性樹脂層の硬化物）からなるレジストパターン１２ａを形成する。

　次いで、図２（ｅ）に示すように、基材１０の導体層１０ｂにおけるレジストパターン１２ａが形成されていない部分に配線層（金属層）１６を形成する。配線層１６は、導体層１０ｂと同種の材料で形成されていてよく、異種の材料で形成されていてもよい。

　次いで、図２（ｆ）に示すように、レジストパターン１２ａを除去すると共に、レジストパターン１２ａに対応する位置に設けられている導体層１０ｂを除去することにより導体層１０ｃを形成する。これにより、絶縁層１０ａ上に配置された導体層１０ｃ及び配線層１６を備える配線基板１８が得られる。導体層１０ｂは、エッチング処理により除去できる。エッチング液は、導体層１０ｂの種類に応じて適宜選択され、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素エッチング液等であってよい。

　以下、実施例により本開示を更に具体的に説明するが、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。

＜バインダーポリマーの合成＞
　メタクリル酸２７質量部、メタクリル酸２－ヒドロキシエチル３質量部、メタクリル酸ベンジル２０質量部、スチレン５０質量部、及び、アゾビスイソブチロニトリル０．９質量部を混合することにより溶液（ａ）を調製した。メチルセロソルブ３０質量部及びトルエン２０質量部の混合液５０質量部にアゾビスイソブチロニトリル０．５質量部を溶解することにより溶液（ｂ）を調製した。撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えるフラスコに、メチルセロソルブ３０質量部及びトルエン２０質量部の混合液を５００ｇ投入した後、フラスコ内に窒素ガスを吹き込みながら撹拌し、８０℃まで昇温させた。一定の滴下速度で溶液（ａ）を上述のフラスコ内に４時間かけて滴下した後、フラスコ内の溶液を８０℃にて２時間撹拌した。次いで、一定の滴下速度で溶液（ｂ）を上述のフラスコ内に１０分間かけて滴下した後、フラスコ内の溶液を８０℃にて３時間撹拌した。さらに、フラスコ内の溶液を３０分間かけて９０℃まで昇温させ、９０℃にて２時間保温した後、撹拌を止め、室温（２５℃）まで冷却することによりバインダーポリマーの溶液を得た。バインダーポリマーの溶液の不揮発分（固形分）は４９質量％であった。

　バインダーポリマーの酸価は１７６ｍｇＫＯＨ／ｇであった。酸価は次の手順で測定した。まず、三角フラスコにバインダーポリマーを秤量した。次いで、混合溶剤（質量比：トルエン／メタノール＝７０／３０）を加えてバインダーポリマーを溶解した後、指示薬としてフェノールフタレイン溶液を添加した。そして、０．１ｍｏｌ／Ｌ（Ｎ／１０）水酸化カリウム溶液（アルコール溶液）を用いて滴定することにより酸価を得た。

　バインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００であり、数平均分子量（Ｍｎ）は１６０００であった。重量平均分子量及び数平均分子量は、下記条件のゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。

（ＧＰＣ条件）
　ポンプ：日立　Ｌ－６０００型（株式会社日立製作所製、商品名）
　カラム：以下の計３本（昭和電工マテリアルズ株式会社製、商品名）
　　　Ｇｅｌｐａｃｋ　ＧＬ－Ｒ４４０
　　　Ｇｅｌｐａｃｋ　ＧＬ－Ｒ４５０
　　　Ｇｅｌｐａｃｋ　ＧＬ－Ｒ４００Ｍ
　溶離液：テトラヒドロフラン
　測定温度：４０℃
　注入量：２００μＬ
　流量：２．０５ｍＬ／分
　検出器：日立　Ｌ－３３００型ＲＩ（株式会社日立製作所製、商品名）

＜感光性樹脂組成物の調製＞
（実施例１）
　上述のバインダーポリマーの溶液（バインダーポリマー（不揮発分）：５６質量部）と、２，２－ビス（４－（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（ＥＯ平均１０ｍｏｌ付加物、分子量：８０４）のプロピレングリコールモノメチルエーテル（昭和電工マテリアルズ株式会社製、商品名：ＦＡ－３２１Ｍ）３５質量部と、２，２－ビス（４－（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン（ＥＯ基：５．２（合計値）、分子量：４７８、共栄社化学株式会社製、商品名：ＢＰ－２ＥＭ）５質量部と、（ＰＯ）（ＥＯ）（ＰＯ）変性ジメタクリレート（ＥＯ平均６ｍｏｌ及びＰＯ平均１２ｍｏｌ付加物（合計値）、分子量：１１１４、昭和電工マテリアルズ株式会社製、商品名：ＦＡ－０２４Ｍ）４質量部と、光重合開始剤（２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾール、ＢＣＩＭ、Ｈａｍｐｆｏｒｄ社製）６質量部と、増感剤Ａ（９，１０－ジブトキシアントラセン、ＤＢＡ、川崎化成工業株式会社製）０．６５０質量部と、増感助剤（１，４－ジエトキシナフタレン、川崎化成工業株式会社製、商品名：ＵＶＳ－２１７１）０．２質量部と、重合禁止剤（４－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ＤＩＣ株式会社製、商品名：ＤＩＣ－ＴＢＣ）０．０１５質量部と、発色剤（ロイコクリスタルバイオレット、ＬＣＶ、山田化学工業株式会社製）０．５質量部と、染料（マラカイトグリーン、ＭＫＧ、大阪有機化学工業株式会社製）０．０２質量部と、添加剤（カルボキシベンゾトリアゾール、５－アミノ－１Ｈ－テトラゾール、及び、メトキシプロパノールの混合物；サンワ化成株式会社製、商品名：ＳＦ－８０８Ｈ）０．５質量部と、トルエン１６質量部と、メタノール６質量部と、アセトン１０質量部と、を混合することにより感光性樹脂組成物を調製した。

（実施例２～４）
　増感助剤の使用量を表１の使用量に変更したことを除き実施例１と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（実施例５）
　０．６５０質量部の増感剤Ａを０．２３４質量部の増感剤Ｂ（１－フェニル－３－（４－メトキシスチリル）－５－（４－メトキシフェニル）－ピラゾリン、株式会社日本化学工業所製、商品名：ＰＺ－５０１Ｄ）に変更したことを除き実施例１と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（実施例６）
　０．６５０質量部の増感剤Ａを０．４００質量部の増感剤Ｃ（４－［［３－（４－クロロフェニル）－４，５－ジヒドロ－１Ｈ－ピラゾール］－１－イル］ベンゼンスルホンアミド、タナテックスケミカルズジャパン製、商品名：Ｂｌａｎｋｏｐｈｏｒ　ＭＡＮ　０１）に変更したことを除き実施例１と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（実施例７）
　増感剤Ａを増感剤Ｄ（４’－（２－シアノスチリル）－３－スチルベンカルボニトリル、ＢＯＣ　Ｓｃｉｅｎｃｅｓ製、商品名：Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ　Ｂｒｉｇｈｔｅｎｅｒ　ＥＲ－ＩＩＩ）に変更したことを除き実施例１と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（比較例１）
　増感助剤を使用しなかったことを除き実施例１と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（比較例２）
　増感助剤を使用しなかったことを除き実施例５と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（比較例３）
　増感助剤を使用しなかったことを除き実施例６と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

（比較例４）
　増感助剤を使用しなかったことを除き実施例７と同様に行うことにより感光性樹脂組成物を調製した。

＜感光性エレメントの作製＞
　支持体として厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製、商品名「ＦＢ－４０」）を用意した。厚さが均一になるように上述の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布した後、７０℃及び１１０℃の熱風対流式乾燥器で順次乾燥することにより感光性樹脂層（感光性フィルム。乾燥後の厚さ：１９μｍ）を形成した。保護層としてポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社製、商品名「ＮＦ－１５」）をこの感光性樹脂層に貼り合わせることにより、支持体、感光性樹脂層及び保護層が順に備える感光性エレメントを得た。

＜評価＞
（吸光度の評価）
　紫外可視分光光度計（株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名：Ｕ－３３１０　Ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）を用いて、上述の感光性エレメントの感光性樹脂層における波長４０５ｎｍの吸光度（Ａｂｓ）を測定した。リファレンスには、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリエチレンフィルムを用いた。結果を表１に示す。

（積層体の作製）
　ガラスエポキシ材の両面に配置された銅箔（厚さ：１８μｍ）を備える銅張積層板（基板、昭和電工マテリアルズ株式会社製、商品名：ＭＣＬ－Ｅ－６７）に対して、酸洗及び水洗後、空気流で乾燥した。次いで、銅張積層板を８０℃に加温した後、保護層を剥離しながら、感光性樹脂層が銅表面に接するように上述の感光性エレメントをラミネートすることにより、銅張積層板、感光性樹脂層、及び、支持体を順に備える積層体を得た。ラミネートは、１１０℃のヒートロールを用いて、０．４ＭＰａの圧着圧力、１．５ｍ／分のロール速度で行った。

（感度の評価）
　上述の積層体の支持体上に４１段ステップタブレット（昭和電工マテリアルズ株式会社製）を載置した後、波長４０５ｎｍの青紫色レーザダイオードを光源とする直描露光機（ビアメカニクス株式会社製、商品名：ＤＥ－１ＵＨ）により、４１段ステップタブレットの現像後の残存段数が１５段となる露光量（照射エネルギー量）で、支持体を介して感光性樹脂層を露光した。このときの露光量（単位：ｍＪ／ｃｍ^２）により感度（光感度）を評価した。結果を表１に示す。露光量が少ないほど、感度が良好であることを意味する。

（解像性の評価）
　上述の積層体の支持体上に４１段ステップタブレット（昭和電工マテリアルズ株式会社製）を載置した後、波長４０５ｎｍの青紫色レーザダイオードを光源とする直描露光機（ビアメカニクス株式会社製、商品名：ＤＥ－１ＵＨ）により、ライン幅（Ｌ）／スペース幅（Ｓ）（以下、「Ｌ／Ｓ」と記す。）が３ｘ／ｘ（ｘ＝１～２０、単位：μｍ、１μｍ間隔）である描画パターンを用いて、４１段ステップタブレットの現像後の残存段数が１５段となる露光量（照射エネルギー量）で、支持体を介して感光性樹脂層に対し、Ｏｆｆｓｅｔをかけずに露光（描画）を行った。露光後３分以内に、加熱オーブンを用いて８０℃３０秒間の条件で露光後加熱（ＰＥＢ：Ｐｏｓｔ－Ｅｘｐｏｓｕｒｅ－Ｂａｋｅ）を行った。

　露光後、積層体から支持体を剥離し、感光性樹脂層を露出させ、１質量％炭酸ナトリウム水溶液を３０℃にて最小現像時間の２倍の時間スプレーすることにより、未露光部を除去した。現像後、スペース部分（未露光部）が残渣なく除去され、且つ、ライン部分（露光部）が蛇行及び欠けを生じることなく形成されたレジストパターンにおけるスペース幅のうちの最小値（単位：μｍ）により解像性を評価した。結果を表１に示す。この数値が小さいほど解像性が良好であることを意味する。

　上述の最小現像時間は次の手順で事前に評価した。まず、上述の積層体を正方形状（５ｃｍ×５ｃｍ）に切断した後、支持体を剥離することにより試験片を得た。次に、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて、試験片における未露光の感光性樹脂層を０．１５ＭＰａの圧力でスプレー現像し、未露光の感光性樹脂層が除去されたことを目視で確認できる最短の時間を最小現像時間（ＭＤ）として得た。ノズルは、フルコーンタイプを使用した。上述の試験片とノズル先端との距離は６ｃｍであり、試験片の中心とノズルの中心とが一致するように配置した。

（密着性の評価）
　上述の積層体の支持体上に４１段ステップタブレット（昭和電工マテリアルズ株式会社製）を載置した後、波長４０５ｎｍの青紫色レーザダイオードを光源とする直描露光機（ビアメカニクス株式会社製、商品名：ＤＥ－１ＵＨ）により、Ｌ／Ｓがｘ／３ｘ（ｘ＝１～２０、単位：μｍ、１μｍ間隔）である描画パターンを用いて、４１段ステップタブレットの現像後の残存段数が１５段となる露光量（照射エネルギー量）で、支持体を介して感光性樹脂層に対し、Ｏｆｆｓｅｔをかけずに露光（描画）を行った。露光後３分以内に、加熱オーブンを用いて８０℃３０秒間の条件で露光後加熱（ＰＥＢ：Ｐｏｓｔ－Ｅｘｐｏｓｕｒｅ－Ｂａｋｅ）を行った。

　露光後、積層体から支持体を剥離し、感光性樹脂層を露出させ、１質量％炭酸ナトリウム水溶液を３０℃にて最小現像時間の２倍の時間スプレーすることにより、未露光部を除去した。現像後、スペース部分（未露光部）が残渣なく除去され、且つ、ライン部分（露光部）が蛇行及び欠けを生じることなく形成されたレジストパターンにおけるライン幅のうちの最小値（単位：μｍ）により密着性を評価した。結果を表１に示す。この数値が小さいほど密着性が良好であることを意味する。

　１…感光性エレメント、２…支持体、３，１２…感光性樹脂層、４…保護層、１０…基材、１０ａ…絶縁層、１０ｂ，１０ｃ…導体層、１２ａ…レジストパターン、１４…マスク、１６…配線層、１８…配線基板、Ｌ…活性光線。

Claims

　（Ａ）バインダーポリマーと、
　（Ｂ）光重合性化合物と、
　（Ｃ）光重合開始剤と、
　（Ｄ）アントラセン化合物、ピラゾリン化合物、及び、ジスチリルベンゼン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種と、
　（Ｅ）ナフタレン化合物と、を含有する、感光性フィルム。
　前記（Ａ）成分が（メタ）アクリル酸アリール及びスチレン化合物を単量体単位として有する、請求項１に記載の感光性フィルム。
　前記（Ａ）成分におけるスチレン化合物の単量体単位の含有量が、前記（Ａ）成分を構成する単量体単位の全量を基準として４０質量％以上である、請求項１又は２に記載の感光性フィルム。
　前記（Ａ）成分の重量平均分子量が２００００～５００００である、請求項１～３のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｂ）成分がビスフェノールＡ型（メタ）アクリル酸化合物を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｂ）成分が、ポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリル酸化合物を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｂ）成分の含有量が、前記（Ａ）成分及び前記（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して３０～６０質量部である、請求項１～６のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｄ）成分がアントラセン化合物を含み、
　前記アントラセン化合物の全質量を基準として、アントラセン環の９位及び１０位に結合する無置換のアルコキシ基を有するアントラセン化合物の含有量が５０～１００質量％である、請求項１～７のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｄ）成分が、アントラセン環の９位及び１０位に結合する無置換のアルコキシ基を有するアントラセン化合物以外のアントラセン化合物を含まない、請求項８に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｄ）成分が、ピラゾリン環に結合する２つ以上のアリール基を有する化合物を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｄ）成分がジシアノジスチリルベンゼン化合物を含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｄ）成分の含有量が、前記（Ａ）成分及び前記（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して０．１～１質量部である、請求項１～１１のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｅ）成分が、ナフタレン環に結合する２つのアルコキシ基を有する化合物を含む、請求項１～１２のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｅ）成分の含有量が、前記（Ａ）成分及び前記（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して０．１～５質量部である、請求項１～１３のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　前記（Ｅ）成分の含有量が、前記（Ｄ）成分１００質量部に対して１０～５００質量部である、請求項１～１４のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
　支持体と、当該支持体上に配置された感光性樹脂層と、を備え、
　前記感光性樹脂層が、請求項１～１５のいずれか一項に記載の感光性フィルムである、感光性エレメント。
　請求項１～１５のいずれか一項に記載の感光性フィルムを用いて感光性樹脂層を基材上に配置する工程と、
　前記感光性樹脂層の一部を光硬化させる工程と、
　前記感光性樹脂層の未硬化部の少なくとも一部を除去して硬化物パターンを形成する工程と、
　前記基材における前記硬化物パターンが形成されていない部分の少なくとも一部に金属層を形成する工程と、を備える、積層体の製造方法。