WO2022137218A1 - 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치 - Google Patents

반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치 Download PDF

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WO2022137218A1
WO2022137218A1 PCT/IB2021/062321 IB2021062321W WO2022137218A1 WO 2022137218 A1 WO2022137218 A1 WO 2022137218A1 IB 2021062321 W IB2021062321 W IB 2021062321W WO 2022137218 A1 WO2022137218 A1 WO 2022137218A1
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WO
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article
mobile device
transport
standard
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Prior art date
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PCT/IB2021/062321
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English (en)
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Inventor
이금렬
배진우
장남일
이현철
남준식
이준형
Original Assignee
하나 마이크론㈜
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor post-processing system, and more particularly, to a standard collaborative mobile device for semiconductor post-processing.
  • the pre-process is the process of processing the semiconductor original plate (wafer), and the post-process is the operation of cutting and electrically connecting the wafer.
  • the post-process is an assembly process and is again divided into a front-end process and a back-end process.
  • the front-end process consists largely of cutting, gluing, and wire bonding. Processes including lead sealing, molding, and glob top methods), trimming forming, (solder plating), marking (marking product function, manufacturing date, manufacturer information, etc.), testing, tape and reel, etc. is made of
  • a mobile device may be used for a semiconductor post-process, and development thereof is in progress but insufficient.
  • the present invention was created to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a standard collaborative mobile device for semiconductor post-processing.
  • Another object of the present invention is to provide a standard collaborative mobile device for semiconductor post-processing that transports articles by using the transport route of the article and the operating state information of other mobile devices.
  • a standard collaboration mobile device includes: a communication unit for receiving a transport route of an article and operating state information of another mobile device; a control unit configured to determine transport of the article based on the transport route of the article and operation state information of another mobile device; a manipulation unit configured in the form of a robot arm to transport the article located on the movement trajectory to the facility; and a moving unit that moves in the work space based on the transport route of the article and the operating state information of other mobile devices.
  • the controller may determine transport of the article based on at least one of a Line of Balance (LOB) priority and a Shortest Operation Time (SOP) priority.
  • LOB Line of Balance
  • SOP Shortest Operation Time
  • the controller may recognize a lot number of the article, and the operation unit may load the article into the facility according to the lot number of the article.
  • the controller may determine the priority of transporting the article based on the type of article and the waiting time, and determine the transport of the article according to the transport priority.
  • the controller may determine transport of the article matched to the equipment based on a priority of the process end time of the equipment for the article and a transport priority of the article.
  • it may include wheels and a driving motor connected to the wheels, and may be movable in the work space by avoiding obstacles according to a movement command.
  • the robot arm shape may be configured as a multi-joint handler (Handler).
  • the operation status information of the other mobile device may include a lot number of another article transported by the other mobile device and an identifier of a facility to which the other article is transported.
  • control unit is configured such that the lot number of the article and the lot number of another article carried by the other mobile device are the same, and the identifier of the equipment in which the other article is transported and the identifier of the equipment in which the article is transported are the same.
  • the transport of the article may be determined based on the amount of work on the article in the facility.
  • a plurality of mobile devices can efficiently perform standard collaboration by transporting an article using the transport route of the article and operation state information of another mobile device.
  • FIG. 1 is a view showing a standard collaborative moving body system for a semiconductor post-process according to an embodiment of the present invention.
  • FIGS. 2A and 2B are diagrams illustrating a standard collaborative mobile device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an implementation example of a standard collaboration mobile device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a view showing an operation screen of a standard collaboration mobile device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a functional configuration of a standard collaboration mobile device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a view showing a standard collaborative moving body system 100 for a semiconductor post-process according to an embodiment of the present invention.
  • 2A and 2B are diagrams illustrating a standard collaborative mobile device 110 according to an embodiment of the present invention.
  • the standard collaborative moving body system 100 for semiconductor post-processing may include at least one standard collaborative moving body device 110 , a server 120 , and a semiconductor process facility 130 .
  • the standard collaboration mobile device 110 may transport the article to the semiconductor processing facility 130 .
  • the mobile device 110 may load a waiting item, that is, a material, and deliver it to the semiconductor processing facility 130 according to a delivery command from the server 120 .
  • the standard collaboration mobile device 110 may include a manipulation unit 112 and a moving unit 114 .
  • the manipulation unit 112 is formed in the form of a robot arm, and can transport an article located on a movement trajectory of the robot arm to the semiconductor processing facility 130 .
  • the moving unit 114 is movably installed on the ground, and a driving motor is connected to the wheel to move forward, backward, left, and right directions in the work space according to a movement command.
  • the moving unit 114 may autonomously travel through a movement path programmed according to a movement command, and if necessary, it may move according to an input by a user to move the standard collaboration mobile device 110 . have.
  • the manipulation unit 112 and the mobile unit 114 may perform communication for standard process collaboration by the server 120 through IoT communication or wireless communication.
  • the manipulation unit 112 may receive a transport route of the article from the server 120 .
  • the mobile unit 114 may receive operation state information of another mobile device from the server 120 .
  • the server 120 may control the standard process collaboration for the standard collaboration mobile device 110 through a semiconductor post-process specialized scheduling algorithm for the semiconductor process facility 130 .
  • the semiconductor processing facility 130 may perform a semiconductor post-process using the article.
  • the semiconductor processing facility 130 may perform various semiconductor post-processes such as cutting, chip bonding, metal connection, molding, and testing.
  • the semiconductor processing facility 130 may include a wire bonding facility and a die attach facility, but is not limited thereto, and may include various semiconductor post-processing facilities.
  • 3 is a diagram showing an implementation example of the standard collaboration mobile device 110 according to an embodiment of the present invention.
  • 4 is a view showing an operation screen of the standard collaboration mobile device 110 according to an embodiment of the present invention.
  • the standard collaborative mobile device 110 includes a robot arm 401 , an electric gripper 402 , an operation switch 403 , an operation screen 404 , an electric box 405 , and an obstacle detection sensor 406 . , a bumper sensor 407 , a charging pad 408 , a battery 409 , an RFID antenna 410 , and a WiFi antenna 411 .
  • the robot arm 401 may be formed in a form in which a plurality of joints are connected to have a motion trajectory similar to an arm motion.
  • the electric gripper 402 may be coupled to one end of the robot arm 401 to grip the article to perform transfer and loading operations of the article.
  • the operation switch 403 may include a power on/off, start, stop, initialization, mode change, and emergency button of the standard collaboration mobile device 110 .
  • the operation screen 404 may represent a control screen of the standard collaboration mobile device 110 .
  • the operation screen 404 may indicate a driving mode, location information, state information, alarm display, and driving direction of the standard collaboration mobile device 110 .
  • the status display may include, but is not limited to, the driving speed, the battery status, and the sensor status of the standard collaborative mobile device 110 .
  • the operation screen 404 may indicate information and control information processed in the standard collaboration mobile device 110 .
  • the operation screen 404 may include a liquid crystal display (LCD), a light emitting diode (LED) display, an organic light emitting diode (OLED) display, and a microelectromechanical system (MEMS). It may include at least one of an Electro Mechanical Systems) display and an electronic paper display.
  • LCD liquid crystal display
  • LED light emitting diode
  • OLED organic light emitting diode
  • MEMS microelectromechanical system
  • It may include at least one of an Electro Mechanical Systems) display and an electronic paper display.
  • the battlefield box 405 may include electrical components related to the standard collaborative mobile device 110 .
  • the obstacle detection sensor 406 may detect an obstacle in the vicinity of the standard collaborative mobile device 110 .
  • the obstacle detection sensor 406 may include various sensors such as a lidar sensor, a radar sensor, a camera, and an ultrasonic sensor.
  • the bumper sensor 407 may detect a collision of the standard collaborative mobile device 110 .
  • the charging pad 408 may include a port for charging the battery 409 of the standard collaboration mobile device 110 .
  • the RFID antenna 410 and the WiFi antenna 411 may perform communication between the standard collaboration mobile device 110 and the server 120 and other mobile devices.
  • the standard collaborative mobile device 110 has more configurations than the configurations described in FIG. 3, or fewer configurations than the configurations described in FIG. 3 are not essential.
  • 5 is a view showing the functional configuration of the standard collaboration mobile device 110 according to an embodiment of the present invention.
  • the standard collaboration mobile device 110 may include a communication unit 510 , a control unit 520 , a manipulation unit 530 , and a moving unit 540 .
  • the communication unit 510 may receive information on a transport route of an article and operation state information of another mobile device.
  • the communication unit 510 may include at least one of a wired communication module and a wireless communication module.
  • the communication unit 510 may include at least one of an RFID antenna 410 and a WiFi antenna 411 . All or part of the communication unit 510 may be referred to as a 'transmitter', 'receiver', or 'transceiver'.
  • the controller 520 may determine the transport of the article based on the transport route of the article and operation state information of other mobile devices.
  • the controller 520 may include at least one processor or microprocessor, or may be a part of the processor. Also, the controller 520 may be referred to as a communication processor (CP). The controller 520 may control the operation of the standard collaboration mobile device 110 according to various embodiments of the present invention.
  • CP communication processor
  • the manipulation unit 530 may be formed in the form of a robot arm, and may transport an article located on a movement trajectory to the facility.
  • the facility may include a facility for a semiconductor back-end process.
  • the robot arm shape of the manipulation unit 530 may be configured as a multi-joint handler (Handler).
  • the moving unit 540 may move in the work space based on the transport route of the article and the operation state information of other mobile devices.
  • the moving unit 540 includes wheels and a driving motor connected to the wheels, and works by avoiding obstacles according to a movement command through a user input input to the server 120 or the standard collaboration mobile device 110 . can move in space.
  • the controller 520 may determine transport of the goods based on at least one of a line of balance (LOB) priority and a shortest operation time (SOP) priority.
  • LOB line of balance
  • SOP shortest operation time
  • the LOB priority may mean the distribution priority of the amount of work for each process for the article
  • the SOP priority may mean the shortest working time priority for the article.
  • the controller 520 may recognize a lot number of the article, and the manipulation unit 530 may load the article into the facility according to the lot number of the article.
  • the controller 520 may determine the priority of transporting the article based on the type of article and the waiting time, and may determine the transport of the article according to the transport priority.
  • the controller 520 may determine the transport of the article matched to the equipment based on the priority of the process end time of the equipment for the article and the transport priority of the article.
  • the operation status information of the other mobile device may include a lot number of another article carried by the other mobile device and an identifier of a facility to which the other article is transported.
  • the controller 520 when the lot number of the article is the same as the lot number of the other article carried by the other mobile device, the controller 520 is the same as the identifier of the equipment in which the other article is transported and the identifier of the equipment in which the article is transported. , it is possible to determine the transport of goods based on the amount of work performed on the goods in the facility.
  • the communication unit 510 and the control unit 520 may be included in each of the manipulation unit 530 and the moving unit 540 , or may be included in the standard collaboration mobile device 110 as a separate configuration.
  • the standard collaboration mobile device 110 may include a communication unit 510 , a control unit 520 , a manipulation unit 530 , and a moving unit 540 .
  • the standard collaboration mobile device 110 is not essential to the configurations described in FIG. 5, so it has more configurations than those described in FIG. 5, or to be implemented with fewer configurations. can
  • At least one step may be omitted or added in each figure described herein, may be performed in the reverse order, or may be performed simultaneously.

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Abstract

본 발명은 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치는 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 수신하는 통신부; 상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 상기 물품의 운반을 결정하는 제어부; 로봇암 형태로 이루어져, 운동 궤적에 위치한 상기 물품을 설비로 운반하는 조작부; 및 상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 작업공간에서 이동하는 이동부;를 포함할 수 있다.

Description

반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치
본 발명은 반도체 후공정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체를 만들기 위해서는 여러 공정 과정을 거쳐야 하는데, 크게는 전공정과 후공정으로 나뉜다.
전공정은 반도체 원판(웨이퍼)을 가공하는 과정이고 후공정은 웨이퍼를 절단하고 전기적으로 연결하는 작업이다.
후공정은 조립공정으로서 다시 프론트엔드 공정과 백엔드 공정으로 나뉘는데, 프론트엔드 공정은 크게는 절단, 접착, 와이어 결합 등으로 이루어지며, 백엔드 공정은 인캡슐레이션(와이어 본딩된 반도체를 보호하기 위해 뚜껑을 씌우는 공정으로서 리드 실링, 몰드, 글롭 탑 방식이 있음), 트리밍 포밍, (솔더플레이팅), 마킹(제품의 기능, 제조연월일, 제조자 등의 정보 마킹), 테스트, 테이프 엔 릴 등을 포함하는 공정으로 이루어진다.
이 경우, 반도체 후공정을 위하여 이동체 장치가 사용될 수 있으며, 이에 대한 개발이 진행 중이나 미흡한 실정이다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 이용하여 물품을 운반하는 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치는, 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 수신하는 통신부; 상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 상기 물품의 운반을 결정하는 제어부; 로봇암 형태로 이루어져, 운동 궤적에 위치한 상기 물품을 설비로 운반하는 조작부; 및 상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 작업공간에서 이동하는 이동부;를 포함할 수 있다.
실시예에서, 상기 제어부는, LOB(Line of Balance) 우선순위 및 SOP(Shortest Operation Time) 우선순위 중 적어도 하나에 기반하여 상기 물품의 운송을 결정할 수 있다.
실시예에서, 상기 제어부는, 상기 물품의 로트(LOT) 번호를 인식하고, 상기 조작부는, 상기 물품의 로트 번호에 따라 상기 물품을 상기 설비에 로딩(loading)할 수 있다.
실시예에서, 상기 제어부는, 상기 물품의 유형(type)과 대기 시간에 기반하여 상기 물품의 운송 우선 순위를 결정하고, 상기 운송 우선 순위에 따라 상기 물품의 운반을 결정할 수 있다.
실시예에서, 상기 제어부는, 상기 물품에 대한 상기 설비의 공정 종료 시간의 우선 순위와 상기 물품의 운송 우선 순위에 기반하여 상기 설비에 매칭된 물품의 운반을 결정할 수 있다.
실시예에서, 바퀴 및 상기 바퀴에 연결된 구동모터를 포함하며, 이동명령에 따라 장애물을 회피하여 상기 작업공간에서 이동 가능할 수 있다.
실시예에서, 상기 로봇암 형태는, 다관절 핸들러(Handler)로 구성될 수 있다.
실시예에서, 상기 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보는, 상기 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호 및 상기 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자를 포함할 수 있다.
실시예에서, 상기 제어부는, 상기 물품의 로트 번호와 상기 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호가 동일하고, 상기 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자와 상기 물품이 운반되는 설비의 식별자가 동일한 경우, 상기 설비의 물품에 대한 작업량에 기반하여 상기 물품의 운반을 결정할 수 있다.
상기한 목적들을 달성하기 위한 구체적인 사항들은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술될 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자(이하, "통상의 기술자")에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해서 제공되는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 이용하여 물품을 운반함으로써, 다수의 이동체 장치가 효율적으로 표준협업을 수행할 수 있다.
본 발명의 효과들은 상술된 효과들로 제한되지 않으며, 본 발명의 기술적 특징들에 의하여 기대되는 잠정적인 효과들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 후공정용 표준협업 이동체 시스템을 도시한 도면이다.
도 2a 및 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치의 구현 예를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치의 조작화면을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치의 기능적 구성을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예들을 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 이를 상세히 설명하고자 한다.
청구범위에 개시된 발명의 다양한 특징들은 도면 및 상세한 설명을 고려하여 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 명세서에 개시된 장치, 방법, 제법 및 다양한 실시예들은 예시를 위해서 제공되는 것이다. 개시된 구조 및 기능상의 특징들은 통상의 기술자로 하여금 다양한 실시예들을 구체적으로 실시할 수 있도록 하기 위한 것이고, 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 개시된 용어 및 문장들은 개시된 발명의 다양한 특징들을 이해하기 쉽게 설명하기 위한 것이고, 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 후공정용 표준협업 이동체 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 후공정용 표준협업 이동체 시스템(100)을 도시한 도면이다. 도 2a 및 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치(110)를 도시한 도면이다.
도 1을 참고하면, 반도체 후공정용 표준협업 이동체 시스템(100)은 적어도 하나의 표준협업 이동체 장치(110), 서버(120) 및 반도체 공정 설비(130)를 포함할 수 있다.
표준협업 이동체 장치(110)는 물품을 반도체 공정 설비(130)로 운반할 수 있다. 일 실시예에서, 이동체 장치(110)는 서버(120)의 배송 명령에 따라, 대기 중인 물품, 즉, 자재를 적재하여 반도체 공정 설비(130)에 배송할 수 있다.
일 실시예에서, 도 2a 및 2b를 참고하면, 표준협업 이동체 장치(110)는 조작부(112) 및 이동부(114)를 포함할 수 있다.
조작부(112)는 로봇암 형태로 이루어져, 로봇암의 운동 궤적에 위치한 물품을 반도체 공정 설비(130)로 운반할 수 있다.
이동부(114)는 지면에 이동 가능하게 설치되며, 바퀴에 구동모터가 연결되어 이동명령에 따라 작업공간에는 전, 후, 좌, 우 방향으로 이동할 수 있다.
일 실시예에서, 이동부(114)는 이동명령에 따라 프로그래밍된 이동 경로를 통해 자율 주행될 수 있으며, 필요에 따라서는 사용자에 의한 입력에 따라 이동하여 표준협업 이동체 장치(110)를 이동시킬 수 있다.
일 실시예에서, 조작부(112)와 이동부(114)는 IoT 통신 또는 무선통신을 통해 서버(120)에 의해 표준 공정 협업에 대한 통신을 수행할 수 있다. 예를 들어, 조작부(112)는 서버(120)로부터 물품의 운송 경로를 수신할 수 있다. 또한, 이동부(114)는 서버(120)로부터 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 수신할 수 있다.
서버(120)는 반도체 공정 설비(130)에 대한 반도체 후공정 특화 스케줄링 알고리즘을 통해 표준협업 이동체 장치(110)에 대한 표준 공정 협업을 제어할 수 있다.
반도체 공정 설비(130)는 물품을 이용하여 반도체 후공정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 반도체 공정 설비(130)는 절단, 칩접착, 금속 연결, 성형, 테스트 등의 다양한 반도체 후공정을 수행할 수 있다.
예를 들어, 반도체 공정 설비(130)는 와이어 본딩(wire bonding) 설비 및 다이 어태치(die attach) 설비를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다양한 반도체 후공정 설비를 포함할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치(110)의 구현 예를 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치(110)의 조작화면을 도시한 도면이다.
도 3을 참고하면, 표준협업 이동체 장치(110)는 로봇암(401), 전동그리퍼(402), 조작스위치(403), 조작화면(404), 전장함(405), 장애물 감지 센서(406), 범퍼 센서(407), 충전 패드(408), 배터리(409), RFID 안테나(410) 및 WiFi 안테나(411)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 로봇암(401)은 팔 동작과 유사한 운동궤적을 가지기 위해 다수개의 관절이 연결된 형태로 이루어질 수 있다.
전동그리퍼(402)는 로봇암(401)의 일단에 결합되어, 물품을 파지하여 물품의 이재 및 적재 동작을 수행할 수 있다.
조작스위치(403)는 표준협업 이동체 장치(110)의 전원 온/오프(ON/OFF), 시작, 멈춤, 초기화, 모드 변경, 긴급비상버튼을 포함할 수 있다.
조작화면(404)은 표준협업 이동체 장치(110)의 제어 화면을 나타낼 수 있다. 일 실시예에서, 도 4를 참고하면, 조작화면(404)은 표준협업 이동체 장치(110)의 운행 모드, 위치 정보, 상태 정보, 알람 표시, 주행 방향을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 상태 표시는, 표준협업 이동체 장치(110)의 주행속도, 배터리 현황, 센서 현황을 포함할 수 있으며, 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에서, 조작화면(404)은 표준협업 이동체 장치(110)에서 처리되는 정보 및 제어 정보를 나타낼 수 있다. 예를 들면, 조작화면(404)은 액정 디스플레이(LCD; Liquid Crystal Display), 발광 다이오드(LED; Light Emitting Diode) 디스플레이, 유기 발광 다이오드(OLED; Organic LED) 디스플레이, 마이크로 전자기계 시스템(MEMS; Micro Electro Mechanical Systems) 디스플레이 및 전자 종이(electronic paper) 디스플레이 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
전장함(405)은 표준협업 이동체 장치(110)의 전장 관련 부품을 포함할 수 있다.
장애물 감지 센서(406)는 표준협업 이동체 장치(110)의 주변의 장애물을 감지할 수 있다. 예를 들어, 장애물 감지 센서(406)는 라이다 센서, 레이다 센서, 카메라, 초음파 센서 등 다양한 센서를 포함할 수 있다.
범퍼 센서(407)는 표준협업 이동체 장치(110)의 충돌을 감지할 수 있다. 충전 패드(408)는 표준협업 이동체 장치(110)의 배터리(409)를 충전하기 위한 포트를 포함할 수 있다.
RFID 안테나(410) 및 WiFi 안테나(411)는 표준협업 이동체 장치(110)와 서버(120) 및 다른 이동체 장치와의 통신을 수행할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시 예들에서 표준협업 이동체 장치(110)는 도 3에 설명된 구성들이 필수적인 것은 아니어서, 도 3에 설명된 구성들보다 많은 구성들을 가지거나, 또는 그보다 적은 구성들을 가지는 것으로 구현될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치(110)의 기능적 구성을 도시한 도면이다.
도 5를 참고하면, 표준협업 이동체 장치(110)는 통신부(510), 제어부(520), 조작부(530) 및 이동부(540)를 포함할 수 있다.
통신부(510)는 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 수신할 수 있다.
일 실시예에서, 통신부(510)는 유선 통신 모듈 및 무선 통신 모듈 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 통신부(510)는 RFID 안테나(410) 및 WiFi 안테나(411) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 통신부(510)의 전부 또는 일부는 '송신부', '수신부' 또는 '송수신부(transceiver)'로 지칭될 수 있다.
제어부(520)는 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여 물품의 운반을 결정할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 적어도 하나의 프로세서 또는 마이크로(micro) 프로세서를 포함하거나, 또는, 프로세서의 일부일 수 있다. 또한, 제어부(520)는 CP(communication processor)라 지칭될 수 있다. 제어부(520)는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 표준협업 이동체 장치(110)의 동작을 제어할 수 있다.
조작부(530)는 로봇암(robot arm) 형태로 이루어져, 운동 궤적에 위치한 물품을 설비로 운반할 수 있다. 예를 들어, 설비는 반도체 후공정용 설비를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 조작부(530)의 로봇암 형태는 다관절 핸들러(Handler)로 구성될 수 있다.
이동부(540)는 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여 작업공간에서 이동할 수 있다.
일 실시예에서, 이동부(540)는 바퀴 및 바퀴에 연결된 구동모터를 포함하며, 서버(120) 또는 표준협업 이동체 장치(110)에 입력되는 사용자 입력을 통한 이동명령에 따라 장애물을 회피하여 작업공간에서 이동할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 LOB(Line of Balance) 우선순위 및 SOP(Shortest Operation time) 우선순위 중 적어도 하나에 기반하여 물품의 운송을 결정할 수 있다.
여기서, LOB 우선순위는 물품에 대한 각 공정별 작업량의 분배 우선순위를 의미하고, SOP 우선순위는 물품에 대한 최단 작업 시간 우선순위를 의미할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 물품의 로트(LOT) 번호를 인식하고, 조작부(530)는 물품의 로트 번호에 따라 물품을 설비에 로딩(loading)할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 물품의 유형(type)과 대기 시간에 기반하여 물품의 운송 우선 순위를 결정하고, 운송 우선 순위에 따라 물품의 운반을 결정할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 물품에 대한 설비의 공정 종료 시간의 우선 순위와 물품의 운송 우선 순위에 기반하여 설비에 매칭된 물품의 운반을 결정할 수 있다.
일 실시예에서, 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보는, 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호 및 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 제어부(520)는 물품의 로트 번호와 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호가 동일하고, 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자와 물품이 운반되는 설비의 식별자가 동일한 경우, 설비의 물품에 대한 작업량에 기반하여 물품의 운반을 결정할 수 있다.
일 실시예에서, 통신부(510)와 제어부(520)는 조작부(530) 및 이동부(540) 각각에 포함되거나, 별도의 구성으로 표준협업 이동체 장치(110)에 포함될 수 있다.
도 5를 참고하면, 표준협업 이동체 장치(110)는 통신부(510), 제어부(520), 조작부(530) 및 이동부(540)를 포함할 수 있다. 본 발명의 다양한 실시 예들에서 표준협업 이동체 장치(110)는 도 5에 설명된 구성들이 필수적인 것은 아니어서, 도 5에 설명된 구성들보다 많은 구성들을 가지거나, 또는 그보다 적은 구성들을 가지는 것으로 구현될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 통상의 기술자라면 본 발명의 본질적인 특성이 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능할 것이다.
본 명세서에 개시된 다양한 실시예들은 순서에 관계없이 수행될 수 있으며, 동시에 또는 별도로 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 본 명세서에서 설명되는 각 도면에서 적어도 하나의 단계가 생략되거나 추가될 수 있고, 역순으로 수행될 수도 있으며, 동시에 수행될 수도 있다.
본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라, 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예들에 의하여 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.

Claims (9)

  1. 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보를 수신하는 통신부;
    상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 상기 물품의 운반을 결정하는 제어부;
    로봇암 형태로 이루어져, 운동 궤적에 위치한 상기 물품을 설비로 운반하는 조작부; 및
    상기 물품의 운송 경로 및 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보에 기반하여, 작업공간에서 이동하는 이동부;
    를 포함하는,
    표준협업 이동체 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    LOB(Line of Balance) 우선순위 및 SOP(Shortest Operation Time) 우선순위 중 적어도 하나에 기반하여 상기 물품의 운송을 결정하는,
    표준협업 이동체 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 물품의 로트(LOT) 번호를 인식하고,
    상기 조작부는, 상기 물품의 로트 번호에 따라 상기 물품을 상기 설비에 로딩(loading)하는,
    표준협업 이동체 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 물품의 유형(type)과 대기 시간에 기반하여 상기 물품의 운송 우선 순위를 결정하고,
    상기 운송 우선 순위에 따라 상기 물품의 운반을 결정하는,
    표준협업 이동체 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 물품에 대한 상기 설비의 공정 종료 시간의 우선 순위와 상기 물품의 운송 우선 순위에 기반하여 상기 설비에 매칭된 물품의 운반을 결정하는,
    표준협업 이동체 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 이동부는,
    바퀴 및 상기 바퀴에 연결된 구동모터를 포함하며, 이동명령에 따라 장애물을 회피하여 상기 작업공간에서 이동 가능한,
    표준협업 이동체 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 로봇암 형태는, 다관절 핸들러(Handler)로 구성되는,
    표준협업 이동체 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 다른 이동체 장치의 운영 상태 정보는,
    상기 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호 및 상기 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자를 포함하는,
    표준협업 이동체 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 물품의 로트 번호와 상기 다른 이동체 장치에 의해 운반되는 다른 물품의 로트 번호가 동일하고, 상기 다른 물품이 운반되는 설비의 식별자와 상기 물품이 운반되는 설비의 식별자가 동일한 경우, 상기 설비의 물품에 대한 작업량에 기반하여 상기 물품의 운반을 결정하는,
    표준협업 이동체 장치.
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