WO2022118665A1

WO2022118665A1 - スピンドル装置

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Publication number: WO2022118665A1
Application number: PCT/JP2021/042395
Authority: WO
Inventors: 照悦堀内
Original assignee: Ntn株式会社
Priority date: 2020-12-03
Filing date: 2021-11-18
Publication date: 2022-06-09
Also published as: US20240017364A1; JP2022088899A; CN116710667A

Abstract

スピンドル装置（１００）は、回転軸（１０）と、回転軸の中心軸（Ａ）の方向に延在している筒状の軸受ハウジング（２０）と、軸受ハウジングの内周面（２０ａ）に取り付けられ、かつ回転軸を回転可能に支持する軸受（５０）と、第１弾性部材（３０ａ）とを備えている。軸受ハウジングの内部には、軸受ハウジングの中心軸の方向に延在している第１流路（２１）及び第２流路（２２）が形成されている。軸受ハウジングの外周面（２０ｂ）には、軸受ハウジングの周方向に延在し、かつ第１流路及び第２流路に接続されている第１溝（２４）が形成されている。第１弾性部材は、第１溝の開口を閉塞している。

Description

スピンドル装置

　本発明は、スピンドル装置に関する。

　特許文献１（特開２０１４－５２０８１号公報）には、軸受装置が記載されている。特許文献１に記載の軸受装置は、回転軸と、ハウジングと、軸受と、冷却ジャケットとを有している。ハウジングは、回転軸の中心軸の方向に延在している筒状形状を有している。ハウジングの内周面には、軸受が取り付けられている。軸受は、回転軸を回転可能に支持している。ハウジングの外周面には、冷却油溝が形成されている。冷却ジャケットは、冷却油溝を覆うように、ハウジングの外周面に取り付けられている。

特開２０１４－５２０８１号公報

　特許文献１に記載の軸受装置では、回転軸が回転することにより、回転軸の周辺が発熱する。この発熱は、回転軸の周囲にある各部材の寸法を変化させる原因になり得る。特許文献１に記載の軸受装置では、冷却油溝及び冷却ジャケットで画されている流路に冷却油が流れることによりハウジングの冷却が行われるため、上記の寸法変化が抑制される。しかしながら、特許文献１に記載の軸受装置では、ハウジングの外周面に冷却ジャケットを取り付けることにより流路を構成するため、外径寸法が拡大してしまう。

　本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、冷却液を流す流路を形成するために外径寸法が増大することを抑制可能なスピンドル装置を提供するものである。

　本発明のスピンドル装置は、回転軸と、回転軸の中心軸の方向に延在している筒状の軸受ハウジングと、軸受ハウジングの内周面に取り付けられ、かつ回転軸を回転可能に支持する軸受と、第１弾性部材とを備える。軸受ハウジングの内部には、軸受ハウジングの中心軸の方向に延在している第１流路及び第２流路が形成されている。軸受ハウジングの外周面には、軸受ハウジングの周方向に延在し、かつ第１流路及び第２流路に接続されている第１溝が形成されている。第１弾性部材は、第１溝の開口を閉塞している。

　上記のスピンドル装置は、第１弾性部材を覆うように軸受ハウジングの外周面に取り付けられている第１カバーをさらに備えていてもよい。

　上記のスピンドル装置では、第１流路に接続されている第１溝の部分と第２流路に接続されている第１溝の部分との間に、仕切りが配置されていてもよい。

　上記のスピンドル装置では、第１流路及び第２流路が、軸受ハウジングの周方向において、互いに異なる位置にあってもよい。

　上記のスピンドル装置は、第２弾性部材をさらに備えていてもよい。軸受ハウジングの外周面には、軸受ハウジングの周方向に延在し、第１流路及び第２流路に接続され、かつ軸受ハウジングの中心軸の方向において第１溝と離間している第２溝が形成されていてもよい。第２弾性部材は、第２溝の開口を閉塞していてもよい。

　上記のスピンドル装置は、軸受ハウジングの中心軸の方向に延在している筒状のモータハウジングと、モータと、第２カバーとをさらに備えていてもよい。モータは、モータハウジングの内周面に取り付けられているステータと、モータハウジングの径方向においてステータと対向するように回転軸に取り付けられているロータとを有していてもよい。モータハウジングの外周面には、モータハウジングの周方向に延在しており、かつ第２流路と流体的に接続されている少なくとも１以上の第３溝が形成されていてもよい。第２カバーは、少なくとも１以上の溝を覆うように、モータカバーの外周面に取り付けられていてもよい。

　上記のスピンドル装置では、少なくとも１以上の第３溝が、回転軸の中心軸の方向において互いに間隔を空けて配置されている複数の円周溝であってもよい。回転軸の中心軸の方向において隣り合う複数の円周溝のうちの２つは、互いに連結されていてもよい。

　上記のスピンドル装置では、軸受が、回転軸の中心軸の方向及び回転軸の中心軸に直交する方向における回転軸からの荷重を支持する静圧軸受であってもよい。

　本発明のスピンドル装置によると、冷却液を流す流路を形成するためにハウジングの外径寸法が増大することを抑制可能である。

スピンドル装置１００の第１断面図である。図１中のＩＩ－ＩＩにおける断面図である。図１中のＩＩＩ－ＩＩＩにおける断面図である。図１中のＩＶにおける拡大図である。スピンドル装置１００の第２断面図である。モータハウジング６０の第１斜視図である。図６中の方向ＶＩＩから見たモータハウジング６０の第２斜視図である。第１変形例に係るスピンドル装置１００の第１断面図である。第２変形例に係るスピンドル装置１００の第２断面図である。第４変形例に係るスピンドル装置１００の斜視図である。第５変形例に係るスピンドル装置１００の斜視図である。

　本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さない。

　（実施形態に係るスピンドル装置の構成）
　実施形態に係るスピンドル装置（以下「スピンドル装置１００」とする）の構成を説明する。

　図１は、スピンドル装置１００の第１断面図である。図２は、図１中のＩＩ－ＩＩにおける断面図である。図３は、図１中のＩＩＩ－ＩＩＩにおける断面図である。図２及び図３中では、軸受ハウジング２０以外の図示が省略されている。図４は、図１中のＩＶにおける拡大図である。図５は、スピンドル装置１００の第２断面図である。図１～図５に示されるように、スピンドル装置１００は、回転軸１０と、軸受ハウジング２０と、弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂと、カバー４０と、軸受スリーブ５０と、モータハウジング６０と、カバー７０と、モータ８０と、カバー９０とを有している。

　回転軸１０の中心軸を、中心軸Ａとする。回転軸１０は、中心軸Ａの方向において、第１端１０ａと、第２端１０ｂとを有している。第２端１０ｂは、第１端１０ａの反対側の端である。回転軸１０は、拡径部１１と、拡径部１２とを有している。拡径部１１は、第１端１０ａにある、拡径部１２は、第１端１０ａと第２端１０ｂとの間にある。拡径部１１と拡径部１２との間にある回転軸１０の部分を第１部分１３とし、拡径部１２よりも第２端１０ｂ側にある回転軸１０の部分を、第２部分１４とする。

　拡径部１１における回転軸１０の外径及び拡径部１２における拡径部１２の外径は、第１部分１３における回転軸１０の外径よりも大きい。拡径部１１における回転軸１０の外径及び拡径部１２における拡径部１２の外径は、第２部分１４における回転軸１０の外径よりも大きい。拡径部１１及び拡径部１２は、第１部分１３及び第２部分１４から、中心軸Ａに直交する方向に張り出している。拡径部１１、拡径部１２、第１部分１３及び第２部分１４は、中心軸Ａに直交する断面視において、円形形状である。

　軸受ハウジング２０は、中心軸Ａの方向に延在している筒状になっている。中心軸Ａに直交する断面視において、軸受ハウジング２０は、円環形状である。軸受ハウジング２０は、内周面２０ａと、外周面２０ｂとを有している。軸受ハウジング２０の内部には、流路２１と、流路２２と、供給口２３とが形成されている。流路２１及び流路２２は、中心軸Ａの方向に延在している。供給口２３は、一方端において流路２１に接続されているとともに、他方端において軸受ハウジング２０の外部に接続されている。

　軸受ハウジング２０の周方向において、流路２１及び流路２２は、互いに異なる位置にある。例えば、流路２２は、中心軸Ａに直交する断面視において、中心軸Ａに関して点対称の位置にある。

　外周面２０ｂには、溝２４が形成されている。溝２４は、軸受ハウジング２０の周方向に延在している。溝２４は、流路２１及び流路２２に接続されている。溝２４は、例えば円周溝である。但し、溝２４は、円周溝に限られない。すなわち、溝２４は、軸受ハウジング２０の周方向に沿って外周面２０ｂを一周していなくてもよい。溝２４は、第１部分２４ａと、第２部分２４ｂとを有している。第１部分２４ａは、外周面２０ｂ側にある溝２４の部分である。第２部分２４ｂは、軸受ハウジング２０の径方向において第１部分２４ａよりも内側にある溝２４の部分である。中心軸Ａの方向における第１部分２４ａの幅は、中心軸Ａの方向における第２部分２４ｂの幅よりも大きい。中心軸Ａの方向における第２部分２４ｂの幅は、弾性部材３０ａの外径よりも小さい。溝２４は、第２部分２４ｂにおいて、流路２１及び流路２２に接続されている。

　外周面２０ｂには、溝２５が形成されている。溝２５は、軸受ハウジング２０の周方向に延在している。溝２５は、流路２１及び流路２２に接続されている。溝２５は、例えば円周溝である。但し、溝２５は、円周溝に限られない。すなわち、溝２５は、軸受ハウジング２０の周方向に沿って外周面２０ｂを一周していなくてもよい。溝２５は、第１部分２５ａと、第２部分２５ｂとを有している。第１部分２５ａは、外周面２０ｂ側にある溝２５の部分である。第２部分２５ｂは、軸受ハウジング２０の径方向において第１部分２５ａよりも内側にある溝２５の部分である。中心軸Ａの方向における第１部分２５ａの幅は、中心軸Ａの方向における第２部分２５ｂの幅よりも大きい。中心軸Ａの方向における第２部分２５ｂの幅は、弾性部材３０ｂの外径よりも小さい。溝２５は、第２部分２５ｂにおいて、流路２１及び流路２２に接続されている。溝２４及び溝２５は、中心軸Ａの方向において、互いに離間している。中心軸Ａの方向において、溝２４は、溝２５よりも第１端１０ａの近くにある。

　外周面２０ｂには、溝２６が形成されている。溝２６は、軸受ハウジング２０の周方向に延在している。溝２４及び溝２５は、溝２６の底面に形成されている。すなわち、溝２６の中心軸Ａの方向における一方端は溝２４よりも第１端１０ａの近くにあり、溝２６の中心軸Ａの方向における他方端は溝２５よりも第２端１０ｂの近くにある。

　弾性部材３０ａは、溝２４の開口を閉塞している。弾性部材３０ａは、溝２４内に配置されている。より具体的には、弾性部材３０ａは、第１部分２４ａ内に配置されている。弾性部材３０ｂは、溝２５の開口を閉塞している。弾性部材３０ｂは、溝２５内に配置されている。より具体的には、弾性部材３０ｂは、第１部分２５ａ内に配置されている。弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂは、例えば、環状の部材である。弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂは、例えばＯリングである。

　供給口２３から供給される冷却液は、流路２１に供給される。流路２１を流れて溝２５に達した冷却液の一部は、溝２５を通って流路２２に流れる。流路２１を流れて溝２５に達した冷却液の残部は、そのまま流路２２を流れる。流路２２を流れて溝２４に達した冷却液は、溝２４を通って流路２２を流れ、溝２５を流れて流路２２に達した冷却液と合流する。なお、溝２４の開口は弾性部材３０ａにより閉塞され、溝２５の開口は弾性部材３０ｂにより閉塞されているため、冷却液が軸受ハウジング２０の外部に漏れ出ることが抑制されている。

　カバー４０は、外周面２０ｂに取り付けられている。より具体的には、溝２６内に配置されている。カバー４０の厚さは、好ましくは、溝２６の深さ以下である。カバー４０が外周面２０ｂに取り付けられていることにより、冷却液の圧力により弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂがそれぞれ溝２４及び溝２５から外れてしまうことが抑制されている。

　軸受スリーブ５０は、第１部材５１と、第２部材５２とを有している。第１部材５１及び第２部材５２は、中心軸Ａの方向に延在している筒状になっている。第１部材５１及び第２部材５２は、中心軸Ａに直交する断面視において円環形状である。第１部材５１は、中心軸Ａの方向において、第１端５１ａと、第２端５１ｂとを有している。第２端５１ｂは、第１端５１ａの反対側にある。第１端５１ａは第１端１０ａ側にあり、第２端５１ｂは第２端１０ｂ側にある。第２部材５２は、中心軸Ａの方向において、第１端５２ａと、第２端５２ｂとを有している。第２端５２ｂは、第１端５２ａの反対側にある。第１端５２ａは第２端１０ｂ側にあり、第２端５２ｂは第１端１０ａ側にある。

　第１部材５１及び第２部材５２は、第２端５１ｂ及び第２端５２ｂが互いに間隔を空けて対向するように、中心軸Ａの方向に並んでいる。第１部材５１は、内周面５１ｃと、外周面５１ｄと、端面５１ｅとを有している。端面５１ｅは、第１部材５１の第１端５１ａ側の端面である。端面５１ｅは、微小な間隔を空けて、拡径部１１に対向している。第２部材５２は、内周面５２ｃと、外周面５２ｄと、端面５２ｅとを有している。端面５２ｅは、第２部材５２の第１端５２ａ側の端面である。端面５２ｅは、微小な間隔を空けて、拡径部１２に対向している。

　第１部材５１は、拡径部５１ｆを有している。第１部材５１は、拡径部５１ｆにおいて中心軸Ａに直交する方向に張り出している。好ましくは、拡径部５１ｆにおける第１部材５１の外径は、拡径部１１における回転軸１０の外径に等しい。第２部材５２は、拡径部５２ｆを有している。第２部材５２は、拡径部５２ｆにおいて中心軸Ａに直交する方向に張り出している。好ましくは、拡径部５２ｆにおける第２部材５２の外径は、拡径部１１における回転軸１０の外径に等しい。

　軸受スリーブ５０は、内周面２０ａに取り付けられている。より具体的には、外周面５１ｄ及び外周面５２ｄが、内周面２０ａに接触している。また、拡径部５１ｆ及び拡径部５２ｆが、中心軸Ａの方向において、軸受ハウジング２０を挟み込んでいる。内周面５１ｃ及び内周面５２ｃは、微小な間隔を空けて、回転軸１０（第１部分１３）の外周面と対向している。

　第１部材５１の内部には流路５３が形成されており、第２部材５２の内部には流路５４が形成されている。軸受ハウジング２０の内部には、流路２７及び流路２８が形成されている。流路５３及び流路５４は、流路２７に接続されている。流路５３は、内周面５１ｃ及び端面５１ｅにおいて、開口している。流路５４は、内周面５２ｃ及び端面５２ｅにおいて、開口している。流路２７は、流路５３及び流路５４とは反対側において、軸受ハウジング２０の外部と接続されている。

　流路５３及び流路５４には、流路２７を介して空気が供給される。流路５３に供給された空気は内周面５１ｃ及び端面５１ｅから噴出し、流路５４に供給された空気は内周面５２ｃ及び端面５２ｅから噴出する。この空気の圧力により、回転軸１０が中心軸Ａ回りに回転している状態で、中心軸Ａの方向及び中心軸Ａに直交する方向において回転軸１０に加わる荷重が支持される。すなわち、スピンドル装置１００では、回転軸１０が、静圧軸受により中心軸Ａ回りに回転可能に支持されている。なお、内周面５１ｃ、端面５１ｅ、内周面５２ｃ及び端面５２ｅから噴出した空気は、第１部材５１と第２部材５２との間の空間及び流路２８を通って、軸受ハウジング２０の外部に排出される。

　モータハウジング６０は、中心軸Ａの方向に延在している筒状になっている。モータハウジング６０は、中心軸Ａに直交する断面視において、円環形状である。中心軸Ａの方向におけるモータハウジング６０の一方端は、カバー７０により閉塞されている。カバー７０には、貫通穴７１が形成されている。貫通穴７１は、厚さ方向（中心軸Ａの方向）に沿ってカバー７０を貫通している。中心軸Ａの方向におけるモータハウジング６０の他方端は、軸受ハウジング２０に取り付けられている。拡径部１２及び第２部分１４は、モータハウジング６０の内部にある。貫通穴７１からは、第２端１０ｂが突出している。

　モータハウジング６０は、内周面６０ａと、外周面６０ｂとを有している。図６は、モータハウジング６０の第１斜視図である。図７は、図６中の方向ＶＩＩから見たモータハウジング６０の第２斜視図である。図６及び図７に示されるように、外周面６０ｂには、複数の溝６１が形成されている。溝６１は、モータハウジング６０の周方向に沿って形成されている円周溝である。中心軸Ａの方向において隣り合う２つの溝６１は、間隔を空けて配置されている。

　隣り合う２つの溝６１の間にある外周面６０ｂには、切り欠き６２が形成されている。隣り合う２つの溝６１は、切り欠き６２により互いに接続されている。切り欠き６２は、例えば、中心軸Ａの方向に沿って形成されている。

　中心軸Ａの方向におけるモータハウジング６０の一方端側から数えて奇数番目に配置されている切り欠き６２を切り欠き６２ａとし、中心軸Ａの方向におけるモータハウジング６０の一方端側から数えて偶数番目に配置されている切り欠き６２を切り欠き６２ｂとする。切り欠き６２ａは中心軸Ａの方向に沿って列をなすように並んでおり、切り欠き６２ｂは中心軸Ａの方向に沿って列をなすように並んでいる。切り欠き６２ａの列は、モータハウジング６０の周方向において、切り欠き６２ｂの列とは異なる位置にある。より具体的には、切り欠き６２ａの列は、中心軸Ａに関して、切り欠き６２ｂの列と点対称の位置にある。

　モータハウジング６０の内部には、流路６３が形成されている。流路６３は、中心軸Ａの方向に延在している。流路６３は、一方端において溝６１に接続されており、他方端において流路２２に接続されている。これにより、溝６１は、流路２２と流体的に接続されている。

　モータ８０は、ステータ８１と、ロータ８２とを有している。ステータ８１は、内周面６０ａに取り付けられている。ステータ８１は、例えば、モータハウジング６０の周方向に沿って配置されている複数のコイル体により構成されている。ロータ８２は、モータハウジング６０の径方向においてステータ８１と対向するように、回転軸１０（第２部分１４）に取り付けられている。ロータ８２は、例えば、永久磁石である。モータ８０は、モータドライバ回路（図示せず）からの信号によりステータ８１を構成している複数のコイル体がモータハウジング６０の周方向に沿って順次励磁されることにより、ロータ８２を回転させる。この回転に伴い、ロータ８２が取り付けられている回転軸１０が中心軸Ａ回りに回転する。モータ８０は、例えば、インダクションモータ又はＰＭ（Permanent　Magnet）モータである。モータ８０がインダクションモータである場合、ロータ８２は電磁鋼板であり、モータ８０がＰＭモータである場合、ロータ８２は永久磁石である。

　カバー９０は、溝６１を覆うように、外周面６０ｂに取り付けられている。カバー９０の内周面と溝６１とにより、流路が画されている。カバー９０には、排出口９１が形成されている。排出口９１は、カバー９０の内周面と溝６１とにより画される流路と連通するように、カバー９０を貫通している。カバー９０の内周面と溝６１とにより画される流路には、流路２２を流れた冷却液が流路６３を経由して供給される。この流路を流れた冷却液は、排出口９１から排出される。これにより、モータ８０の冷却が行われる。

　（実施形態に係るスピンドル装置の効果）
　スピンドル装置１００の効果を説明する。

　スピンドル装置１００では、軸受スリーブ５０を冷却するための冷却液を流す流路が、流路２１、流路２２、溝２４、溝２５、弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂにより画されている。流路２１及び流路２２は、軸受ハウジング２０の内部に形成されている。溝２４及び溝２５は、外周面２０ｂに形成されている。弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂは、それぞれ溝２４及び溝２５内に配置されている。そのため、スピンドル装置１００では、軸受スリーブ５０を冷却するための冷却液を流す流路を構成することにより、外径寸法が拡大されない。

　軸受スリーブを冷却するための冷却液を流す流路を構成するためにスピンドル装置の外径寸法が増大してしまう場合、軸受ハウジングの外径寸法を小さくすることにより、スピンドル装置の外径寸法を維持する必要がある。この場合、軸受ハウジングの外径寸法を小さくすることに伴って、軸受スリーブの外径も小さくなり、軸受スリーブが支持できるアキシャル荷重（回転軸の中心軸の方向の荷重）が減少してしまう。

　しかしながら、スピンドル装置１００では、軸受スリーブ５０を冷却する冷却液を流す流路を構成するために外径寸法が増大しないため、軸受ハウジング２０の外径寸法を小さくする必要がない。その結果、スピンドル装置１００によると、軸受スリーブ５０が支持することが可能なアキシャル荷重を維持することができる。

　スピンドル装置１００では、弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂを覆うように外周面２０ｂにカバー４０が取り付けられているため、冷却液の圧力により弾性部材３０ａ及び弾性部材３０ｂが外れてしまうことが抑制されている。なお、カバー４０は、溝２６内に配置されているとともに、カバー４０の厚さが溝２６の深さ以下であるため、外周面２０ｂにカバー４０を取り付けることにより、スピンドル装置１００の外形寸法は増大しない。

　溝２４が第１部分２４ａと第２部分２４ｂを有している（溝２５が第１部分２５ａと第２部分２５ｂとを有している）場合、弾性部材３０ａ（弾性部材３０ｂ）が第１部分２４ａと第２部分２４ｂとの間の段差（第１部分２５ａと第２部分２５ｂとの間の段差）で止まるため、弾性部材３０ａ（弾性部材３０ｂ）の設置位置が安定化される。

　スピンドル装置１００では、流路２１及び流路２２が、中心軸Ａに直交する断面視において中心軸Ａに関して点対称の位置にある。そのため、流路２１を流れている冷却液の流れを、溝２４及び溝２５において、２つの方向に分岐させることができる。

　スピンドル装置１００では、外周面６０ｂに、切り欠き６２により連結され、かつ流路２２に流体的に連結されている複数の溝６１が形成されている。また、スピンドル装置１００では、外周面６０ｂにカバー９０が取り付けられている。そのため、スピンドル装置１００によると、軸受スリーブ５０を冷却した冷却液により、モータ８０をさらに冷却することができる。

　溝６１がモータハウジング６０の周方向に延在している円周溝である場合、溝６１を形成するための加工が容易である。切り欠き６２ａの列及び切り欠き６２ｂの列が中心軸Ａに関して点対称の位置にある場合、外周面６０ｂに満遍なく冷却液を供給することができるため、モータ８０の冷却効率が改善する。

　（第１変形例）
　図８は、第１変形例に係るスピンドル装置１００の第１断面図である。図９は、第２変形例に係るスピンドル装置１００の第２断面図である。図８には、図１中のＩＩ－ＩＩに相当する位置における断面が示されている。図９には、図１中のＩＩＩ－ＩＩＩに相当する位置における断面が示されている。図８及び図９に示されるように、溝２４及び溝２５には、それぞれ、仕切り部２４ｃ及び仕切り部２５ｃが設けられている。

　第１変形例に係るスピンドル装置１００では、流路２１及び流路２２が、中心軸Ａに直交する断面視において、中心軸Ａ及び流路２１の中心を結んだ直線と中心軸Ａ及び流路２２の中心を結んだ直線とが９０°以下の角度をなすように配置されている。この角度は、好ましくは、４５°以下である。

　仕切り部２４ｃは、軸受ハウジング２０の周方向において、流路２１と流路２２との間に配置されている。仕切り部２４ｃは、溝２４の底面から軸受ハウジング２０の径方向に沿って突出している。仕切り部２５ｃは、軸受ハウジング２０の周方向において、流路２１と流路２２との間に配置されている。仕切り部２５ｃは、溝２５の底面から軸受ハウジング２０の径方向に沿って突出している。これにより、溝２４及び溝２５を流れる冷却液の流れが、一方向の流れになる。なお、仕切り部２４ｃ及び仕切り部２５ｃは、軸受ハウジング２０の一部であってもよく、軸受ハウジング２０とは別の部材であってもよい。

　（第２変形例）
　第２変形例に係るスピンドル装置１００では、溝６１は、円周溝ではなく、螺旋溝であってもよい。なお、第２変形例に係るスピンドル装置１００では、外周面６０ｂに切り欠き６２が形成されない。

　（第３変形例）
　第３変形例に係るスピンドル装置１００では、軸受スリーブ５０の代わりに、回転軸１０を中心軸Ａ回りに回転可能に支持する１又は複数の転がり軸受が用いられてもよい。なお、第３実施形態に係るスピンドル装置１００では、軸受ハウジング２０の内部には、流路２７が形成されない。

　（第４変形例及び第５変形例）
　図１０は、第４変形例に係るスピンドル装置１００の斜視図である。図１０に示されるように、カバー４０は、板状の部材であり、外周面２０ｂ（溝２６）に巻き付けられていてもよい。この場合、カバー４０の取り付けを容易に行うことができる。図１１は、第５変形例に係るスピンドル装置１００の斜視図である。図１１に示されるように、カバー４０は、周方向において複数の部分に分割されていてもよい。例えば、カバー４０は、周方向において、分割カバー４０ａ及び分割カバー４０ｂの２つに分割されていてもよい。但し、カバー４０の分割数は、２に限られない。この場合、カバー４０の取り付けを容易に行うことができる。

　以上のように本発明の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上述の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。

　上記の実施形態は、加工機用のエアスピンドル装置に特に有利に適用される。

　１００　スピンドル装置、１０　回転軸、１０ａ　第１端、１０ｂ　第２端、１１　拡径部、１２　拡径部、１３　第１部分、１４　第２部分、２０　軸受ハウジング、２０ａ　内周面、２０ｂ　外周面、２１　流路、２２　流路、２３　供給口、２４　溝、２４ａ　第１部分、２４ｂ　第２部分、２４ｃ　仕切り部、２５　溝、２５ａ　第１部分、２５ｂ　第２部分、２５ｃ　仕切り部、２６　溝、２７　流路、２８　流路、３０ａ　弾性部材、３０ｂ　弾性部材、４０　カバー、４０ａ　分割カバー、４０ｂ　分割カバー、５０　軸受スリーブ、５１　第１部材、５１ａ　第１端、５１ｂ　第２端、５１ｃ　内周面、５１ｄ　外周面、５１ｅ　端面、５１ｆ　拡径部、５２　第２部材、５２ａ　第１端、５２ｂ　第２端、５２ｃ　内周面、５２ｄ　外周面、５２ｅ　端面、５２ｆ　拡径部、５３　流路、５４　流路、６０　モータハウジング、６０ａ　内周面、６０ｂ　外周面、６１　溝、６２　切り欠き、６２ａ　切り欠き、６２ｂ　切り欠き、６３　流路、７０　カバー、７１　貫通穴、８０　モータ、８１　ステータ、８２　ロータ、９０　カバー、９１　排出口。

Claims

　回転軸と、
　前記回転軸の中心軸の方向に延在している筒状の軸受ハウジングと、
　前記軸受ハウジングの内周面に取り付けられ、かつ前記回転軸を回転可能に支持する軸受と、
　第１弾性部材とを備え、
　前記軸受ハウジングの内部には、前記軸受ハウジングの前記中心軸の方向に延在している第１流路及び第２流路が形成されており、
　前記軸受ハウジングの外周面には、前記軸受ハウジングの周方向に延在し、かつ前記第１流路及び前記第２流路に接続されている第１溝が形成されており、
　前記第１弾性部材は、前記第１溝の開口を閉塞している、スピンドル装置。
　前記第１弾性部材を覆うように前記軸受ハウジングの前記外周面に取り付けられている第１カバーをさらに備える、請求項１に記載のスピンドル装置。
　前記第１流路に接続されている前記第１溝の部分と前記第２流路に接続されている前記第１溝の部分との間には、仕切りが配置されている、請求項１又は請求項２に記載のスピンドル装置。
　前記第１流路及び前記第２流路は、前記軸受ハウジングの周方向において、互いに異なる位置にある、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載のスピンドル装置。
　第２弾性部材をさらに備え、
　前記軸受ハウジングの前記外周面には、前記軸受ハウジングの周方向に延在し、前記第１流路及び前記第２流路に接続され、かつ前記軸受ハウジングの前記中心軸の方向において前記第１溝と離間している第２溝が形成されており、
　前記第２弾性部材は、前記第２溝の開口を閉塞している、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載のスピンドル装置。
　前記軸受ハウジングの前記中心軸の方向に延在している筒状のモータハウジングと、
　モータと、
　第２カバーとをさらに備え、
　前記モータは、前記モータハウジングの内周面に取り付けられているステータと、前記モータハウジングの径方向において前記ステータと対向するように前記回転軸に取り付けられているロータとを有し、
　前記モータハウジングの前記外周面には、前記モータハウジングの周方向に延在しており、かつ前記第２流路と流体的に接続されている少なくとも１以上の第３溝が形成されており、
　前記第２カバーは、前記少なくとも１以上の第３溝を覆うように、前記モータハウジングの外周面に取り付けられている請求項１～請求項５のいずれか１項に記載のスピンドル装置。
　前記少なくとも１以上の第３溝は、前記回転軸の前記中心軸の方向において互いに間隔を空けて配置されている複数の円周溝であり、
　前記回転軸の前記中心軸の方向において隣り合う前記複数の円周溝のうちの２つは、互いに連結されている、請求項６に記載のスピンドル装置。
　前記軸受は、前記回転軸の前記中心軸の方向及び前記回転軸の前記中心軸に直交する方向における前記回転軸からの荷重を支持する静圧軸受である、請求項１～請求項７のいずれか１項に記載のスピンドル装置。