WO2022107899A1 - 電力供給回路及びそれを備えた軸受装置 - Google Patents

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Definitions

  • the present disclosure relates to a power supply circuit for passing a current from a DC voltage source to the first and second actuator coils, respectively, so that the first and second actuator coils non-contactly support an object by electromagnetic force.
  • a power supply circuit for passing a current from a DC voltage source to the first and second actuator coils, respectively, so that the first and second actuator coils non-contactly support an object by electromagnetic force.
  • Patent Document 1 discloses a bearing device including a power supply circuit in which a current flows from a DC voltage source to the plurality of actuator coils so that the plurality of actuator coils non-contactly support an object by electromagnetic force. ing.
  • the power supply circuit includes an H-bridge circuit for each actuator coil.
  • the H-bridge circuit comprises two legs, each leg having an upper arm switching element and a lower arm switching element connected in series with each other.
  • Patent Document 1 since an H-bridge circuit is provided for each actuator coil in the power supply circuit, the number of switching elements increases, the power supply circuit becomes large, and the cost rises.
  • the purpose of this disclosure is to reduce the cost while reducing the size of the power supply circuit.
  • the first aspect of the present disclosure is said from the DC voltage source (2) so that the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) non-contactly support the object (131) by electromagnetic force.
  • 21b) is turned on and off, and a control unit (23) for controlling the current flowing through the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) is provided, and the first and second actuator coils (161a, 161a,) are provided.
  • 1541 to 1544) are connected in series with each other, and are the midpoint of the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b), and the first and second.
  • Connection points (C1, C2) of the actuator coils (161a, 1541 to 1544) of the above are connected to each of the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b).
  • a freewheeling diode (22a, 22b) is provided in parallel, and the control unit (23) is directed to the first actuator coil (161a, 1541, 1542) so as to flow into the connection point (C1, C2).
  • the second actuator coil (161a, 1543, 1544) is characterized in that a current flows and the current flows in the direction of outflow from the connection points (C1, C2).
  • the common first leg (211) is used to control the currents of both the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544), so that the actuator coils (161a, 1541 to 1544) are used.
  • a second aspect of the present disclosure is, in the first aspect, a second aspect connected in series from the cathode side to the second lower arm side recirculation diode (22d) and the second lower arm side recirculation diode (22d).
  • a second leg (212) having two upper arm switching elements (21c) and connected to the DC voltage source (2), a third upper arm side freewheeling diode (22e), and the third upper arm side recirculation diode (22e).
  • a third leg (213) having a third lower arm switching element (21f) connected in series to the upper arm side freewheeling diode (22e) from the anode side and connected to the DC voltage source (2).
  • the first actuator coil (161a, 1541, 1542) is connected to the midpoint of the freewheeling diode (22d), and the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching are connected.
  • the second actuator coil (161a) is located between the midpoint of the element (21b) and the midpoint of the third upper arm side freewheeling diode (22e) and the third lower arm switching element (21f). , 1543, 1544) are connected.
  • the on / off of the first lower arm switching element (21b) and the second upper arm switching element (21c) is controlled with the first upper arm switching element (21a) turned off. Therefore, the amount of current flowing through the first actuator coil (161a, 1541, 1542) can be controlled.
  • the second is performed.
  • the amount of current flowing through the actuator coil (161a, 1543, 1544) can be controlled.
  • a third aspect of the present disclosure is characterized in that, in the second aspect, the first to third legs (211 to 213) are contained in the same package.
  • the power supply circuit (20a, 20b, 162) is smaller than the case where the first to third legs (211 to 213) are housed in two or more packages. Can be changed.
  • an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) module in which three legs are housed in the same package is generally commercially available at a low cost for three-phase alternating current. By using it as a leg (211 to 213), it is easy to reduce the cost of the power supply circuit (20a, 20b, 162).
  • the control by the control unit (23) is a triangular waveform having a first command value (CV1), an amplitude of A, and a minimum value of M.
  • the value of the first lower arm switching element (21b) is compared with the value of a first carrier wave (CW1), and the first command value (CV1) is equal to or higher than the value of the first carrier wave (CW1). If there is, it is turned on, if the first command value (CV1) is less than the value of the first carrier wave (CW1), it is turned off, and the first command value (CV1) and the amplitude are set to A.
  • the second upper arm switching element (21c) is compared with the value of the second carrier wave (CW2) in which the maximum value is M and the total value with the first carrier wave (CW1) is always 2M. Is turned on when the first command value (CV1) is equal to or greater than the value of the second carrier wave (CW2), and the first command value (CV1) is the value of the second carrier wave (CW2). If it is less than, it is turned off, and the second command value (CV2) is compared with the value of the third carrier wave (CW3), which is a triangular waveform having an amplitude of A and a minimum value of M.
  • CW3 is a triangular waveform having an amplitude of A and a minimum value of M.
  • the first upper arm switching element (21a) is turned on when the second command value (CV2) is equal to or higher than the value of the third carrier wave (CW3), and the second command value (CV2) is set. If it is less than the value of the third carrier wave (CW3), it is turned off, the second command value (CV2) and the amplitude are set to A, the maximum value is set to M, and the third carrier wave (CW3) is set.
  • the value of the fourth carrier wave (CW4) whose total value is always 2M is compared with that of the third lower arm switching element (21f), and the second command value (CV2) is the fourth.
  • the control is characterized in that the control is turned on when the value of the carrier wave (CW4) is equal to or higher than that of the carrier wave (CW4), and turned off when the value of the second command value (CV2) is less than the value of the fourth carrier wave (CW4). do.
  • control unit (23) has the first and second upper arm switching elements (21a, 21c) and the first and second command values (CV1, CV2) based on the first and second command values (CV1, CV2).
  • the on / off of the third lower arm switching element (21b, 21f) can be controlled.
  • the total of the first and second command values (CV1, CV2) is less than 2M + A
  • the third carrier wave (CW3) is the first carrier wave. It is characterized in that the phase of (CW1) is shifted by 180 degrees.
  • the sum of the first and second command values (CV1, CV2) is less than 2M + A, and the phase of the third carrier wave (CW3) is 180 degrees and the phase of the first carrier wave (CW1) is 180 degrees. Since it is staggered, the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) do not turn on at the same time. Therefore, it is possible to prevent a short circuit between the positive side and the negative side of the DC voltage source (2) caused by the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) being turned on at the same time.
  • a sixth aspect is a bearing device including the power supply circuit according to any one of the first to fifth aspects and the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544).
  • the object (131) is a drive shaft of a motor (13) that is driven to rotate, and the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) are both during the control by the control unit (23). It is characterized in that the actuator coils (161a, 1541 to 1544) are arranged so as to be able to act in opposite directions to each other.
  • both the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) are turned on, the positive side and the negative side of the DC voltage source (2) are short-circuited.
  • the currents of both the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) cannot be increased at the same time.
  • the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) are arranged so as to act electromagnetic forces in opposite directions, the first and second actuator coils (161a, 1541) are arranged. To move the object (131) in two opposite directions by the electromagnetic force of the first and second actuator coils (161a, 1541 to 1544) without increasing both currents of 1544) at the same time. Can be done.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a turbo compressor provided with a radial magnetic bearing device and a thrust magnetic bearing device according to the first embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the radial magnetic bearing body.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing the configurations of the first and second power supply circuits.
  • FIG. 4A shows a circuit of a first power supply circuit when only the first upper arm switching element, the first lower arm switching element, the second upper arm switching element, and the third lower arm switching element are turned on. It is a figure.
  • FIG. 4B is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the first upper arm switching element, the second upper arm switching element, and the third lower arm switching element are turned on.
  • FIG. 4A shows a circuit of a first power supply circuit when only the first upper arm switching element, the first lower arm switching element, the second upper arm switching element, and the third lower arm switching element are turned on.
  • FIG. 4B is a diagram
  • FIG. 4C is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the first upper arm switching element and the third lower arm switching element are turned on.
  • FIG. 4D is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the first lower arm switching element, the second upper arm switching element, and the third lower arm switching element are turned on.
  • FIG. 4E is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the second upper arm switching element and the third lower arm switching element are turned on.
  • FIG. 4F is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the third lower arm switching element is turned on.
  • FIG. 4G is a diagram corresponding to FIG. 4A when only the first lower arm switching element and the second upper arm switching element are turned on.
  • FIG. 4H is a diagram corresponding to FIG.
  • FIG. 4A when only the second upper arm switching element is turned on.
  • FIG. 4I is a diagram corresponding to FIG. 4A when all switching elements are turned off.
  • FIG. 5A is applied to the first command value, the first and second carrier waves, the on / off state of the first lower arm switching element and the second upper arm switching element, and the coils A and B for radial magnetic bearings. It is a timing chart showing a voltage.
  • FIG. 5B is applied to the second command value, the third and fourth carrier waves, the on / off state of the first upper arm switching element and the third lower arm switching element, and the coils C and D for radial magnetic bearings. It is a timing chart showing a voltage.
  • FIG. 1 shows a turbo compressor (1).
  • This turbo compressor (1) is provided in a refrigerant circuit (not shown) that performs a refrigeration cycle to compress the refrigerant.
  • the turbo compressor (1) includes a casing (11), an impeller (12), a motor (13), a pair of touch-down bearings (14), and a pair of radial magnetic fields according to the first embodiment of the present disclosure. It is equipped with a bearing device (15), a thrust magnetic bearing device (16), and a power conversion device (not shown).
  • the casing (11) is formed in a substantially cylindrical shape and is arranged so that the cylindrical axis is oriented horizontally.
  • the space inside the casing (11) is axially divided into an impeller chamber (S1) for accommodating the impeller (12) and an electric motor chamber (S2) for accommodating the motor (13) by a wall portion (111). It is partitioned.
  • the suction pipe (17) and the discharge pipe (18) are connected to the impeller chamber (S1).
  • the impeller (12) is formed by a plurality of blades so that the outer shape is substantially conical.
  • the impeller (12) is housed in the impeller room (S1).
  • the motor (13) is a permanent magnet synchronous motor, a bearingless motor, etc.
  • the motor (13) has a drive shaft (131) as an object, a stator (132), and a rotor (133).
  • One end of the drive shaft (131) is fixed to the center of the wide side surface of the impeller (12).
  • a disk portion (131a) is overhangingly formed at the other end of the drive shaft (131).
  • the rotor (133) is fixed to the drive shaft (131) and the stator (132) is fixed to the casing (11).
  • the rotor (133) and stator (132) are housed in the motor chamber (S2).
  • the motor (13) is rotationally driven by the power supply of a power converter (not shown).
  • one touchdown bearing (14) is provided near the impeller (12) of the drive shaft (131), and the other touchdown bearing (14) is the drive shaft (14). It is provided near the disk portion (131a) of 131).
  • These touchdown bearings (14) are configured to support the drive shaft (131) when the motor (13) is de-energized (ie, when the drive shaft (131) is not levitating). ..
  • Each radial magnetic bearing device (15) has a radial magnetic bearing main body (150) and first and second power supply circuits (20a, 20b).
  • the radial magnetic bearing body (150) is fixed to the inner peripheral wall of the casing (11) on both axial sides of the stator (132) and the rotor (133) of the motor (13).
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration example of the radial magnetic bearing main body (150).
  • the radial magnetic bearing body (150) is configured in a heteropolar type.
  • the radial magnetic bearing body (150) has a stator (151) having a back yoke portion (152) and eight teeth portions (153), and eight coils (1541a, 1541a,) wound around the eight teeth portions (153).
  • the eight coils (1541a, 1541b, 1542a, 1542b, 1543a, 1543b, 1544a, 1544b) are a pair of coils (1541a, 1541b, 1542a) wound around a pair of tooth portions (153) adjacent to each other in the circumferential direction.
  • 1542b, 1543a, 1543b, 1544a, 1544b) are connected to each other to form radial magnetic bearing coils AD (1541-1544) as first and second actuator coils.
  • the coils A to D (1541-1544) for radial magnetic bearings are arranged in order in the circumferential direction in the counterclockwise direction in FIG.
  • the magnetic flux flows in the winding direction of the radial magnetic bearing coils A to D (1541-1544) and the direction of the current flowing through the radial magnetic bearing coils A to D (1541-1544) in the direction of the arrow shown in FIG. It is set to occur.
  • the radial magnetic bearing coils A to D (1541-1544) have a radial load on the drive shaft (131) due to the electromagnetic force generated when a current is passed through the radial magnetic bearing coils A to D (1541-1544), respectively. Is non-contactly supported.
  • the radial magnetic bearing coil A (1541) and the radial magnetic bearing coil C (1543) are controlled by the control unit (23) of the first power supply circuit (20a) described later, and the radial magnetic bearing coils A and C are used.
  • the electromagnetic forces of (1541,1543) are arranged so as to face each other so that they can act in opposite directions.
  • the radial magnetic bearing coil B (1542) and the radial magnetic bearing coil D (1544) are controlled by the control unit (23) of the second power supply circuit (20b) described later, and the radial magnetic bearing coils B and D are used. (1542,1544) are arranged to face each other so that the electromagnetic forces can act in opposite directions.
  • the first power supply circuit (20a) is radial from the DC voltage source (2) so that the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543) non-contactly support the drive shaft (131) by electromagnetic force. A current is passed through the magnetic bearing coils A and C (1541,1543), respectively.
  • the second power supply circuit (20b) is radial from the DC voltage source (2) so that the radial magnetic bearing coils B and D (1542, 1544) non-contactly support the drive shaft (131) by electromagnetic force. A current is passed through the magnetic bearing coils B and D (1542, 1544), respectively.
  • the first and second power supply circuits (20a, 20b) include first to third legs (211,212,213) and a control unit (23), respectively, as shown in FIG. ing.
  • the first leg (211) includes a first upper arm switching element (21a), a first lower arm switching element (21b), a first upper arm side freewheeling diode (22a), and a first lower arm side. It has a freewheeling diode (22b).
  • the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) are connected in series with each other.
  • the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) have a first upper arm side recirculation diode (22a) and a first lower arm side recirculation diode (22b), respectively. It is connected (provided) in parallel.
  • the cathode of the first upper arm side freewheeling diode (22a) is connected to the positive side of the DC voltage source (2), and the anode of the first upper arm side freezing diode (22a) is the first lower arm switching element. It is connected to (21b).
  • the anode of the first lower arm side freewheeling diode (22b) is connected to the negative side of the DC voltage source (2), and the cathode of the first lower arm side freezing diode (22b) is the first upper arm switching element. It is connected to (21a). In this way, the first leg (211) is connected to the DC voltage source (2).
  • the second leg (212) includes a second upper arm switching element (21c), a second lower arm switching element (21d), a second upper arm side freewheeling diode (22c), and a second lower arm side. It has a freewheeling diode (22d).
  • the second upper arm switching element (21c) and the second lower arm switching element (21d) are connected in series with each other.
  • the second upper arm switching element (21c) and the second lower arm switching element (21d) have a second upper arm side recirculation diode (22c) and a second lower arm side recirculation diode (22d), respectively. They are connected in parallel.
  • the cathode of the second upper arm side freewheeling diode (22c) is connected to the positive side of the DC voltage source (2), and the anode of the second upper arm side freezing diode (22c) is the second lower arm switching element. It is connected to (21d).
  • the anode of the second lower arm side freewheeling diode (22d) is connected to the negative side of the DC voltage source (2), and the cathode of the second lower arm side freewheeling diode (22d) is the second upper arm switching element. It is connected to (21c).
  • the second upper arm switching element (21c) is connected to the second lower arm side freewheeling diode (22d) in series from the cathode side of the second lower arm side freezing diode (22d). In this way, the second leg (212) is connected to the DC voltage source (2).
  • the third leg (213) includes a third upper arm switching element (21e), a third lower arm switching element (21f), a third upper arm side freewheeling diode (22e), and a third lower arm side. It has a freewheeling diode (22f).
  • the third upper arm switching element (21e) and the third lower arm switching element (21f) are connected in series with each other.
  • the third upper arm switching element (21e) and the third lower arm switching element (21f) have a third upper arm side recirculation diode (22e) and a third lower arm side recirculation diode (22f), respectively. They are connected in parallel.
  • the cathode of the third upper arm side recirculation diode (22e) is connected to the positive side of the DC voltage source (2), and the anode of the third upper arm side recirculation diode (22e) is the third lower arm switching element. It is connected to (21f). That is, the third lower arm switching element (21f) is connected to the third upper arm side freewheeling diode (22e) in series from the anode side of the third upper arm side freezing diode (22e).
  • the anode of the third lower arm side recirculation diode (22f) is connected to the negative side of the DC voltage source (2), and the cathode of the third lower arm side recirculation diode (22f) is the third upper arm switching element. It is connected to (21e). In this way, the third leg (213) is connected to the DC voltage source (2).
  • the first to third legs (211 to 213) configured as described above are contained in the same package.
  • As the first to third legs (211 to 213) three legs contained in the package of the IGBT module for three-phase alternating current are used.
  • a coil A (1541) for a radial magnetic bearing is connected to the midpoint of the lower arm side freewheeling diode (22d).
  • the radial magnetic bearing coil C (1543) is connected to the middle point of the lower arm switching element (21f) of 3. That is, the midpoint of the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) and the connection point (C1) of the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543) are located. It is connected.
  • a coil B (1542) for a radial magnetic bearing is connected to the midpoint of the lower arm side freewheeling diode (22d).
  • the radial magnetic bearing coil D (1544) is connected to the midpoint of the lower arm switching element (21f) of 3. That is, the midpoint of the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) and the connection point (C2) of the radial magnetic bearing coils B and D (1542,1544) are located. It is connected.
  • FIG. 3 the direction of the current flowing through the radial magnetic bearing coils A to D (1541-1544) is indicated by an arrow Z.
  • a current flows through the radial magnetic bearing coils A and B (1541,1542) in the direction of flowing into the connection points (C1, C2), and the radial magnetic bearing coils C and D (1543). , 1544) is controlled so that the current flows in the direction of outflow from the connection points (C1, C2).
  • control unit (23) of the first power supply circuit (20a) executes the eight current control operations shown in FIGS. 4B to 4I.
  • the control unit (23) of the second power supply circuit (20b) also executes the same eight current control operations.
  • the control unit (23) of the first and second power supply circuits (20a, 20b) rotates with the stator (132) so that the position of the drive shaft (131) of the motor (13) is in the desired position.
  • One of the eight current control operations is selected and executed according to the detection value of the gap sensor (not shown) capable of detecting the gap between the child (133) and the child (133).
  • the control unit (23) does not turn on the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) at the same time.
  • control unit (23) always turns off the second lower arm switching element (21d) and the third upper arm switching element (21e).
  • the control unit (23) When maintaining the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) and increasing the current flowing through the radial magnetic bearing coil C (1543), as shown in FIG. 4B, the control unit (23) has a second control unit (23).
  • the first upper arm switching element (21a), the second upper arm switching element (21c), and the third lower arm switching element (21f) are turned on, and the first lower arm switching element (21b) is turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrows X and Y in FIG. 4B, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) is maintained and the radial magnetic bearing coil C (1543) is maintained. ) Increases the current flowing through.
  • the first upper arm switching element (21a) is used.
  • the third lower arm switching element (21f) is turned on, and the first lower arm switching element (21b) and the second upper arm switching element (21c) are turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrows X and Y in FIG. 4C, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) is reduced and the radial magnetic bearing coil C (1543) is used.
  • the current flowing through increases.
  • the first lower arm switching element (21b). ), The second upper arm switching element (21c), and the third lower arm switching element (21f) are turned on, and the first upper arm switching element (21a) is turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrows X and Y in FIG. 4D, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) increases and the radial magnetic bearing coil C (1543) The current flowing through is maintained.
  • the third lower arm switching element (21f). ) Is turned on, and the first upper arm switching element (21a), the first lower arm switching element (21b), and the second upper arm switching element (21c) are turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrow X and the arrow Y in FIG. 4F, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) is reduced and the radial magnetic bearing coil C (1543) is used. The current flowing through is maintained.
  • the second upper arm switching element (21c). Is turned on, and the first upper arm switching element (21a), the first lower arm switching element (21b), and the third lower arm switching element (21f) are turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrow X and the arrow Y in FIG. 4H, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) is maintained and the radial magnetic bearing coil C (1543) is maintained.
  • the first upper arm switching element (21a) , The first lower arm switching element (21b), the second upper arm switching element (21c), and the third lower arm switching element (21f) are turned off. That is, all switching elements (21a to 21f) are turned off.
  • the direction in which the current can flow is the direction indicated by the arrows X and Y in FIG. 4I, so that the current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) is reduced and the radial magnetic bearing coil C (1543) is used. The current flowing through is reduced.
  • control unit (23) of the first power supply circuit (20a) is the first with the second lower arm switching element (21d) and the third upper arm switching element (21e) turned off.
  • the amount of current flowing through the radial magnetic bearing coil A (1541) can be controlled.
  • control unit (23) of the first power supply circuit (20a) has the first upper arm switching element (21d) and the third upper arm switching element (21e) turned off.
  • the amount of current flowing through the radial magnetic bearing coil C (1543) can be controlled.
  • the control unit (23) of the first and second power supply circuits (20a, 20b) has a first command value (CV1) and a first carrier wave (CW1). ),
  • the first lower arm switching element (21b) is turned on when the first command value (CV1) is equal to or greater than the value of the first carrier wave (CW1), and the first command is given. If the value (CV1) is less than the value of the first carrier wave (CW1), control to turn it off is performed.
  • the first carrier wave (CW1) is a triangular waveform having an amplitude of A and a minimum value of M.
  • control unit (23) compares the value of the first command value (CV1) with the value of the second carrier wave (CW2), and sets the second upper arm switching element (21c) to the first command value. Control is performed to turn on when (CV1) is equal to or more than the value of the second carrier wave (CW2) and turn off when the value of the first command value (CV1) is less than the value of the second carrier wave (CW2). ..
  • the second carrier wave (CW2) is a triangular waveform in which the amplitude is A, the maximum value is M, and the total value with the first carrier wave (CW1) is always 2M.
  • the control unit (23) compares the value of the second command value (CV2) with the value of the third carrier wave (CW3), and the first upper arm switching element (21a). Is turned on when the second command value (CV2) is equal to or greater than the value of the third carrier wave (CW3), and when the second command value (CV2) is less than the value of the third carrier wave (CW3). Controls to turn off.
  • the third carrier wave (CW3) is a triangular waveform having an amplitude of A and a minimum value of M.
  • the third carrier wave (CW3) is 180 degrees out of phase with the first carrier wave (CW1).
  • control unit (23) compares the value of the second command value (CV2) with the value of the fourth carrier wave (CW4), and issues the third lower arm switching element (21f) to the second command. Control to turn on when the value (CV2) is greater than or equal to the value of the fourth carrier wave (CW4) and turn off when the value (CV2) is less than the value of the fourth carrier wave (CW4). conduct.
  • the fourth carrier wave (CW4) is a triangular waveform in which the amplitude is A, the maximum value is M, and the total value with the third carrier wave (CW3) is always 2M.
  • the first and second command values (CV1, CV2) are the stator (132) and the rotor (133) so that the total of the first and second command values (CV1, CV2) is less than 2M + A.
  • the carrier comparison value update timing is set every 40 ⁇ s according to the detection value of the gap sensor (not shown) that detects the gap between the two.
  • the period of the first to fourth carrier waves (CW1 to CW4) is 80 ⁇ s.
  • control unit (23) has the first and second upper arm switching elements (21a, 21c) and the first and third units based on the first and second command values (CV1, CV2).
  • the on / off of the lower arm switching element (21b, 21f) can be controlled.
  • the total of the first and second command values (CV1, CV2) is set to less than 2M + A, and the phase of the third carrier wave (CW3) is shifted by 180 degrees from the phase of the first carrier wave (CW1). Therefore, the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) do not turn on at the same time. Therefore, it is possible to prevent a short circuit between the positive side and the negative side of the DC voltage source (2) caused by the first upper arm switching element (21a) and the first lower arm switching element (21b) being turned on at the same time. Further, since the current flowing through the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543) can be continuously increased, the responsiveness can be improved.
  • the thrust magnetic bearing device (16) includes a pair of electromagnets for thrust magnetic bearings (161) and a third power supply circuit (162).
  • the electromagnets (161) for both thrust magnetic bearings are arranged on both sides of the disk portion (131a) in the axial direction.
  • Each thrust magnetic bearing electromagnet (161) has a thrust magnetic bearing coil (161a) as an actuator coil.
  • the thrust magnetic bearing coil (161a) non-contactly supports the disk portion (131a) of the drive shaft (131) by the electromagnetic force generated when a current is passed through the thrust magnetic bearing coil (161a).
  • the coils for both thrust magnetic bearings (161a) act on the electromagnetic forces of the coils for both thrust magnetic bearings (161a) in opposite directions during control by the control unit (23) of the third power supply circuit (162).
  • the third power supply circuit (162) has the same configuration as the first and second power supply circuits (20a, 20b).
  • the third power supply circuit (162) has both thrusts based on the detection value of the gap sensor (not shown) capable of detecting the gap between the disk portion (131a) and the electromagnet for thrust magnetic bearing (161). By controlling the current flowing through the magnetic bearing coil (161a), the axial position of the disk portion (131a) of the drive shaft (131) is controlled.
  • the common first leg (211) of the first power supply circuit (20a) is used to control the current of the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543). It is not necessary to provide an H-bridge circuit for each of the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543). Therefore, by reducing the number of switching elements of the first power supply circuit (20a) used for controlling the current of the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543), the first power supply circuit (20a) can be made smaller. At the same time, the cost can be reduced.
  • the common first leg (211) of the second power supply circuit (20b) is used to control the current of the radial magnetic bearing coils B and D (1542,1544), the radial magnetic bearing coil. It is not necessary to provide an H bridge circuit for each of B and D (1542, 1544). Therefore, by reducing the switching elements of the second power supply circuit (20b) used for controlling the current of the radial magnetic bearing coils B and D (1542,1544), the second power supply circuit (20b) can be made smaller. At the same time, the cost can be reduced.
  • the thrust magnetic bearing coil (161a) is used since the common first leg (211) of the third power supply circuit (162) is used to control the current of the pair of thrust magnetic bearing coils (161a), the thrust magnetic bearing coil (161a) is used. ) It is not necessary to provide an H bridge circuit for each. Therefore, by reducing the number of switching elements of the third power supply circuit (162) used for controlling the current of the thrust magnetic bearing coil (161a), the third power supply circuit (162) can be miniaturized and the cost can be reduced. Can be reduced.
  • the first to third legs (211 to 213) are contained in one package, so that the case is to accommodate two or more packages.
  • the first to third power supply circuits (20a, 20b, 162) can be miniaturized as compared with the above.
  • the number of legs (211 to 213) provided in the first to third power supply circuits (20a, 20b, 162) is three, and the IGBT module containing the three legs in the same package is a three-phase alternating current. Since it is generally commercially available at a low cost, by using such a commercially available IGBT leg as the first to third legs (211 to 213), the first to third power supply circuits (20a, 20b) can be used. , 162) It is easy to reduce the cost.
  • the radial magnetic bearing coils A and C are arranged so as to act electromagnetic forces in opposite directions to each other.
  • the electromagnetic force of the radial magnetic bearing coils A and C (1541,1543) causes the drive shaft (131) to move in two directions opposite to each other (in the y-axis in FIG. 2). It can be moved in two directions along the line).
  • the positive side of the DC voltage source (2) is turned on. Since the negative side and the negative side are short-circuited, the currents of both the radial magnetic bearing coils B and D (1542,1544) cannot be increased at the same time. However, in the present embodiment, since the radial magnetic bearing coils B and D (1542, 1544) are arranged so as to act electromagnetic forces in opposite directions to each other, the radial magnetic bearing coils B and D (1542, 1544) are arranged.
  • the electromagnetic force of the radial magnetic bearing coils B and D causes the drive shaft (131) to be rotated in two directions opposite to each other (in the x-axis in FIG. 2). It can be moved in two directions along the line).
  • the drive shaft (131) can be moved in two directions along the opposite directions of the double-thrust magnetic bearing coil (161a) by the electromagnetic force of the double-thrust magnetic bearing coil (161a) without increasing the number.
  • a pair of first to third power supply circuits (20a, 20b, 162) are arranged so as to act electromagnetic forces in two opposite directions along a common axis.
  • the power was supplied to the coils (1541-1544, 161a), but the power may be supplied to a pair of coils arranged so as to apply an electromagnetic force in directions along different axes.
  • the second lower arm switching element (21d) and the third upper arm switching element (21e) are always controlled by the control unit (23). Since it is turned off, it does not have to be provided.
  • the first to third upper arm switching elements (21a, 21c, 21e) and the first to third lower parts are used.
  • the arm switching element (21b, 21d, 21f) is configured by an IGBT, it may be configured by a MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor).
  • the first to third upper arm side return diodes (22a, 22c, 22e) and the first to third lower arm side return diodes may be composed of a built-in diode of an IGBT or a parasitic diode of a MOSFET.
  • the present invention is applied to the coils A to D (1541-1544) for radial magnetic bearings that support the drive shaft (131) of the motor (13), but the present invention applies to the motor (13). It can also be applied to an actuator coil that non-contactly supports an object other than the drive shaft (131) by electromagnetic force.
  • a current is applied from a DC voltage source to the first and second actuator coils, respectively, so that the first and second actuator coils non-contactly support the object by electromagnetic force. It is useful for a flowing power supply circuit and a bearing device equipped with the circuit.

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Abstract

ラジアル磁気軸受用コイルＡ,Ｃ（1541,1543）を、互いに直列に接続し、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、ラジアル磁気軸受用コイルＡ,Ｃ（1541,1543）の接続点（C1）とを接続し、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）のそれぞれに、還流ダイオード（22a,22b）を並列に設け、制御部（23）に、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）には、接続点（C1）に流入する向きに電流が流れ、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）には、接続点（C1）から流出する向きに電流が流れるように、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）をオンオフさせる。

Description

電力供給回路及びそれを備えた軸受装置
　本開示は、第１及び第２のアクチュエータコイルが電磁力によって対象物を非接触で支持するように、直流電圧源から前記第１及び第２のアクチュエータコイルにそれぞれ電流を流す電力供給回路及びそれを備えた軸受装置に関する。
　特許文献１には、複数のアクチュエータコイルが電磁力によって対象物を非接触で支持するように、直流電圧源から前記複数のアクチュエータコイルにそれぞれ電流を流す電力供給回路を備えた軸受装置が開示されている。この軸受装置では、電力供給回路が、Ｈブリッジ回路をアクチュエータコイル毎に備えている。Ｈブリッジ回路は、２つのレグを備え、各レグは、互いに直列に接続された上アームスイッチング素子、及び下アームスイッチング素子を有するものである。
特開２００３－１３９１３６号公報
　前記特許文献１では、電力供給回路に、Ｈブリッジ回路をアクチュエータコイル毎に設けるので、スイッチング素子の数が多くなり、電力供給回路が大型化するとともに、コストが高騰する。
　本開示の目的は、電力供給回路を小型化するとともに、コストを低減することにある。
　本開示の第１の態様は、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）が電磁力によって対象物（131）を非接触で支持するように、直流電圧源（2）から前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）にそれぞれ電流を流す電力供給回路であって、互いに直列に接続された第１の上アームスイッチング素子（21a）、及び第１の下アームスイッチング素子（21b）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第１のレグ（211）と、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）をオンオフして、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）に流す電流を制御する制御部（23）とを備え、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）は、互いに直列に接続されたものであり、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の接続点（C1,C2）が接続され、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）のそれぞれには、還流ダイオード（22a,22b）が並列に備えられ、前記制御部（23）は、前記第１のアクチュエータコイル（161a,1541,1542）には、前記接続点（C1,C2）に流入する向きに電流が流れ、前記第２のアクチュエータコイル（161a,1543,1544）には、前記接続点（C1,C2）から流出する向きに電流が流れるように制御することを特徴とする。
　第１の態様では、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の両方の電流の制御に、共通の第１のレグ（211）を用いるので、アクチュエータコイル（161a,1541～1544）毎にＨブリッジ回路を設ける必要がない。したがって、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の電流の制御に用いる電力供給回路（20a,20b,162）のスイッチング素子を削減することにより、電力供給回路（20a,20b,162）を小型化するとともに、コストを削減できる。
　本開示の第２の態様は、第１の態様において、第２の下アーム側還流ダイオード（22d）、及び前記第２の下アーム側還流ダイオード（22d）にカソード側から直列に接続された第２の上アームスイッチング素子（21c）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第２のレグ（212）と、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）、及び前記第３の上アーム側還流ダイオード（22e）にアノード側から直列に接続された第３の下アームスイッチング素子（21f）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第３のレグ（213）とを備え、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第２の上アームスイッチング素子（21c）及び前記第２の下アーム側還流ダイオード（22d）の中点との間には、前記第１のアクチュエータコイル（161a,1541,1542）が接続され、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第３の上アーム側還流ダイオード（22e）及び前記第３の下アームスイッチング素子（21f）の中点との間には、前記第２のアクチュエータコイル（161a,1543,1544）が接続されることを特徴とする。
　第２の態様では、第１の上アームスイッチング素子（21a）をオフした状態で、第１の下アームスイッチング素子（21b）と第２の上アームスイッチング素子（21c）とのオンオフを制御することにより、第１のアクチュエータコイル（161a,1541,1542）に流れる電流の量を制御できる。
　また、第１の下アームスイッチング素子（21b）をオフした状態で、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第３の下アームスイッチング素子（21f）とのオンオフを制御することにより、第２のアクチュエータコイル（161a,1543,1544）に流れる電流の量を制御できる。
　本開示の第３の態様は、第２の態様において、前記第１～第３のレグ（211～213）は、同一パッケージ内に収められていることを特徴とする。
　第３の態様では、前記第１～第３のレグ（211～213）を１つのパッケージに収めるので、２つ以上のパッケージに収める場合に比べ、電力供給回路（20a,20b,162）を小型化できる。
　また、例えば３つのレグを同一パッケージに収めたＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）モジュールは三相交流用に一般に安価に市販されているので、このような市販のＩＧＢＴのレグを前記第１～第３のレグ（211～213）として用いることにより、電力供給回路（20a,20b,162）のコストを削減しやすい。
　第４の態様は、第２又は第３の態様において、前記制御部（23）による制御は、第１の指令値（CV1）と、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である第１の搬送波（CW1）の値とを比較し、前記第１の下アームスイッチング素子（21b）を、前記第１の指令値（CV1）が前記第１の搬送波（CW1）の値以上である場合にはオン、前記第１の指令値（CV1）が前記第１の搬送波（CW1）の値未満である場合にはオフし、前記第１の指令値（CV1）と、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ前記第１の搬送波（CW1）との合計値を常に２Ｍとする第２の搬送波（CW2）の値とを比較し、前記第２の上アームスイッチング素子（21c）を、前記第１の指令値（CV1）が前記第２の搬送波（CW2）の値以上である場合にはオン、前記第１の指令値（CV1）が前記第２の搬送波（CW2）の値未満である場合にはオフし、第２の指令値（CV2）と、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である第３の搬送波（CW3）の値とを比較し、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）を、前記第２の指令値（CV2）が前記第３の搬送波（CW3）の値以上である場合にはオン、前記第２の指令値（CV2）が前記第３の搬送波（CW3）の値未満である場合にはオフし、前記第２の指令値（CV2）と、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ前記第３の搬送波（CW3）との合計値を常に２Ｍとする第４の搬送波（CW4）の値との比較を行い、前記第３の下アームスイッチング素子（21f）を、前記第２の指令値（CV2）が前記第４の搬送波（CW4）の値以上である場合にはオン、前記第２の指令値（CV2）が前記第４の搬送波（CW4）の値未満である場合にはオフする制御であることを特徴とする。
　第４の態様では、制御部（23）は、第１及び第２の指令値（CV1,CV2）に基づいて、第１及び第２の上アームスイッチング素子（21a,21c）と、第１及び第３の下アームスイッチング素子（21b,21f）のオンオフを制御できる。
　第５の態様は、第４の態様において、前記第１及び第２の指令値（CV1,CV2）の合計は、２Ｍ＋Ａ未満であり、前記第３の搬送波（CW3）は、前記第１の搬送波（CW1）の位相を１８０度ずらしたものであることを特徴とする。
　第５の態様では、第１及び第２の指令値（CV1,CV2）の合計を、２Ｍ＋Ａ未満とし、かつ第３の搬送波（CW3）を、前記第１の搬送波（CW1）の位相を１８０度ずらしたものとしたので、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）が同時にオンすることがない。したがって、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）が同時にオンすることに起因する直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側との短絡を防止できる。
　第６の態様は、第１～第５の態様のいずれか１つの電力供給回路と、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）とを備えた軸受装置であって、前記対象物（131）は、回転駆動するモータ（13）の駆動軸であり、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）は、前記制御部（23）による前記制御中に両アクチュエータコイル（161a,1541～1544）の電磁力を互いに反対の方向に作用させることが可能なように配置されていることを特徴とする。
　第６の態様では、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）の両方をオンすると直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側とが短絡されるので、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の両方の電流を同時に増加させることはできない。本態様では、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）が互いに反対の方向に電磁力を作用させるように配置されているので、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の両方の電流を同時に増加させなくても、第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の電磁力により、対象物（131）を互いに反対の２方向に移動させることができる。
図１は、本開示の実施形態１に係るラジアル磁気軸受装置及びスラスト磁気軸受装置を備えたターボ圧縮機の構成を示す概略図である。 図２は、ラジアル磁気軸受本体の概略断面図である。。 図３は、第１及び第２の電力供給回路の構成を示す回路図である。 図４Ａは、第１の上アームスイッチング素子、第１の下アームスイッチング素子、第２の上アームスイッチング素子、及び第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの第１の電力供給回路の回路図である。 図４Ｂは、第１の上アームスイッチング素子、第２の上アームスイッチング素子、及び第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｃは、第１の上アームスイッチング素子、及び第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｄは、第１の下アームスイッチング素子、第２の上アームスイッチング素子、及び第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｅは、第２の上アームスイッチング素子、及び第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｆは、第３の下アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｇは、第１の下アームスイッチング素子、及び第２の上アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｈは、第２の上アームスイッチング素子だけをオンしたときの図４Ａ相当図である。 図４Ｉは、全てのスイッチング素子をオフしたときの図４Ａ相当図である。 図５Ａは、第１の指令値、第１及び第２の搬送波、第１の下アームスイッチング素子及び第２の上アームスイッチング素子のオンオフ状態、及びラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｂに印可される電圧を示すタイミングチャートである。 図５Ｂは、第２の指令値、第３及び第４の搬送波、第１の上アームスイッチング素子及び第３の下アームスイッチング素子のオンオフ状態、及びラジアル磁気軸受用コイルＣ，Ｄに印可される電圧を示すタイミングチャートである。
　以下、本開示の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
　図１は、ターボ圧縮機（1）を示す。このターボ圧縮機（1）は、冷凍サイクルを行う冷媒回路（図示せず）に設けられて冷媒を圧縮するものである。ターボ圧縮機（1）は、ケーシング（11）と、インペラ（12）と、モータ（13）と、１対のタッチダウン軸受（14）と、１対の本開示の実施形態１に係るラジアル磁気軸受装置（15）及びスラスト磁気軸受装置（16）と、電力変換装置（図示せず）とを備えている。
　ケーシング（11）は、略円筒状に形成され、円筒軸線が水平向きとなるように配置されている。ケーシング（11）内の空間は、インペラ（12）を収容するためのインペラ室（S1）と、モータ（13）を収容するための電動機室（S2）とに壁部（111）によって軸方向に区画されている。インペラ室（S1）には、吸入管（17）と、吐出管（18）とが接続される。
　インペラ（12）は、複数の羽根によって外形が略円錐形状となるように形成されている。インペラ（12）は、インペラ室（S1）に収容されている。
　モータ（13）は、永久磁石同期モータ、ベアリングレスモータ等である。モータ（13）は、対象物としての駆動軸（131）と、固定子（132）と、回転子（133）とを有している。駆動軸（131）の一端は、インペラ（12）の幅広側の面の中心に固定されている。駆動軸（131）の他端には、円盤部（131a）が張出形成されている。回転子（133）は、駆動軸（131）に固定され、固定子（132）は、ケーシング（11）に固定されている。回転子（133）及び固定子（132）は、電動機室（S2）に収容されている。モータ（13）は、図示しない電力変換装置の電力供給によって回転駆動する。
　１対のタッチダウン軸受（14）のうち、一方のタッチダウン軸受（14）は、駆動軸（131）のインペラ（12）近傍に設けられ、他方のタッチダウン軸受（14）は、駆動軸（131）の円盤部（131a）近傍に設けられている。これらのタッチダウン軸受（14）は、モータ（13）が非通電であるとき（すなわち、駆動軸（131）が浮上していないとき）に駆動軸（131）を支持するように構成されている。
　各ラジアル磁気軸受装置（15）は、ラジアル磁気軸受本体（150）と、第１及び第２の電力供給回路（20a,20b）とを有している。ラジアル磁気軸受本体（150）は、モータ（13）の固定子（132）及び回転子（133）の軸方向両側で、ケーシング（11）の内周壁に固定されている。
　図２は、ラジアル磁気軸受本体（150）の構成例を示す横断面図である。同図に示すように、ラジアル磁気軸受本体（150）は、ヘテロポーラ型に構成されている。ラジアル磁気軸受本体（150）は、バックヨーク部（152）及び８つのティース部（153）を有する固定子（151）と、８つのティース部（153）に巻回された８つのコイル（1541a,1541b,1542a,1542b,1543a,1543b,1544a,1544b）とを有する。８つのコイル（1541a,1541b,1542a,1542b,1543a,1543b,1544a,1544b）は、周方向に隣り合う１対のティース部（153）に巻回された１対のコイル（1541a,1541b,1542a,1542b,1543a,1543b,1544a,1544b）毎に互いに接続されて第１及び第２のアクチュエータコイルとしてのラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）を構成する。ラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）は、図２における反時計回り方向に周方向に順に並んでいる。ラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）の巻回方向、及びラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）に流れる電流の向きは、図２に示した矢印の方向に磁束が発生するように設定されている。ラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）は、それぞれ、そのラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）に電流を流したときに生じる電磁力によって駆動軸（131）のラジアル荷重を非接触で支持する。ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）及びラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）は、後述する第１の電力供給回路（20a）の制御部（23）による制御中にラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の電磁力を互いに反対の方向に作用させることが可能なように互いに対向させて配置されている。ラジアル磁気軸受用コイルＢ（1542）及びラジアル磁気軸受用コイルＤ（1544）は、後述する第２の電力供給回路（20b）の制御部（23）による制御中にラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の電磁力を互いに反対の方向に作用させることが可能なように互いに対向させて配置されている。
　第１の電力供給回路（20a）は、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）が電磁力によって駆動軸（131）を非接触で支持するように、直流電圧源（2）からラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）にそれぞれ電流を流す。
　第２の電力供給回路（20b）は、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）が電磁力によって駆動軸（131）を非接触で支持するように、直流電圧源（2）からラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）にそれぞれ電流を流す。
　具体的には、第１及び第２の電力供給回路（20a,20b）は、それぞれ、図３に示すように、第１～第３のレグ（211,212,213）と、制御部（23）とを備えている。
　第１のレグ（211）は、第１の上アームスイッチング素子（21a）、第１の下アームスイッチング素子（21b）、第１の上アーム側還流ダイオード（22a）、及び第１の下アーム側還流ダイオード（22b）を有している。第１の上アームスイッチング素子（21a）、及び第１の下アームスイッチング素子（21b）は、互いに直列に接続されている。第１の上アームスイッチング素子（21a）、及び第１の下アームスイッチング素子（21b）には、第１の上アーム側還流ダイオード（22a）及び第１の下アーム側還流ダイオード（22b）がそれぞれ並列に接続され（備えられ）ている。第１の上アーム側還流ダイオード（22a）のカソードは、直流電圧源（2）のプラス側に接続され、第１の上アーム側還流ダイオード（22a）のアノードは、第１の下アームスイッチング素子（21b）に接続されている。第１の下アーム側還流ダイオード（22b）のアノードは、直流電圧源（2）のマイナス側に接続され、第１の下アーム側還流ダイオード（22b）のカソードは、第１の上アームスイッチング素子（21a）に接続されている。このように、第１のレグ（211）は、直流電圧源（2）に接続されている。
　第２のレグ（212）は、第２の上アームスイッチング素子（21c）、第２の下アームスイッチング素子（21d）、第２の上アーム側還流ダイオード（22c）、及び第２の下アーム側還流ダイオード（22d）を有している。第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第２の下アームスイッチング素子（21d）は、互いに直列に接続されている。第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第２の下アームスイッチング素子（21d）には、第２の上アーム側還流ダイオード（22c）及び第２の下アーム側還流ダイオード（22d）がそれぞれ並列に接続されている。第２の上アーム側還流ダイオード（22c）のカソードは、直流電圧源（2）のプラス側に接続され、第２の上アーム側還流ダイオード（22c）のアノードは、第２の下アームスイッチング素子（21d）に接続されている。第２の下アーム側還流ダイオード（22d）のアノードは、直流電圧源（2）のマイナス側に接続され、第２の下アーム側還流ダイオード（22d）のカソードは、第２の上アームスイッチング素子（21c）に接続されている。つまり、第２の上アームスイッチング素子（21c）は、第２の下アーム側還流ダイオード（22d）に、当該第２の下アーム側還流ダイオード（22d）のカソード側から直列に接続されている。このように、第２のレグ（212）は、直流電圧源（2）に接続されている。
　第３のレグ（213）は、第３の上アームスイッチング素子（21e）、第３の下アームスイッチング素子（21f）、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）、及び第３の下アーム側還流ダイオード（22f）を有している。第３の上アームスイッチング素子（21e）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）は、互いに直列に接続されている。第３の上アームスイッチング素子（21e）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）には、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）及び第３の下アーム側還流ダイオード（22f）がそれぞれ並列に接続されている。第３の上アーム側還流ダイオード（22e）のカソードは、直流電圧源（2）のプラス側に接続され、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）のアノードは、第３の下アームスイッチング素子（21f）に接続されている。つまり、第３の下アームスイッチング素子（21f）は、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）に、当該第３の上アーム側還流ダイオード（22e）のアノード側から直列に接続されている。第３の下アーム側還流ダイオード（22f）のアノードは、直流電圧源（2）のマイナス側に接続され、第３の下アーム側還流ダイオード（22f）のカソードは、第３の上アームスイッチング素子（21e）に接続されている。このように、第３のレグ（213）は、直流電圧源（2）に接続されている。
　上述のように構成された第１～第３のレグ（211～213）は、同一パッケージ内に収められている。第１～第３のレグ（211～213）として、３相交流用のＩＧＢＴモジュールのパッケージ内に収められた３つのレグが用いられる。
　第１の電力供給回路（20a）では、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、第２の上アームスイッチング素子（21c）及び第２の下アーム側還流ダイオード（22d）の中点との間には、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）が接続されている。第１の電力供給回路（20a）では、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）及び第３の下アームスイッチング素子（21f）の中点との間には、前記ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）が接続されている。つまり、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の接続点（C1）とが接続されている。
　第２の電力供給回路（20b）では、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、第２の上アームスイッチング素子（21c）及び第２の下アーム側還流ダイオード（22d）の中点との間には、ラジアル磁気軸受用コイルＢ（1542）が接続されている。第２の電力供給回路（20b）では、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、第３の上アーム側還流ダイオード（22e）及び第３の下アームスイッチング素子（21f）の中点との間には、前記ラジアル磁気軸受用コイルＤ（1544）が接続されている。つまり、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の接続点（C2）とが接続されている。
　図３中において、ラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）に流れる電流の向きを矢印Ｚで示す。制御部（23）は、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｂ（1541,1542）には、前記接続点（C1,C2）に流入する向きに電流が流れ、ラジアル磁気軸受用コイルＣ，Ｄ（1543,1544）には、前記接続点（C1,C2）から流出する向きに電流が流れるように制御する。
　詳しくは、第１の電力供給回路（20a）の制御部（23）は、図４Ｂ～図４Ｉに示す８つの電流制御動作を実行する。第２の電力供給回路（20b）の制御部（23）も同様の８つの電流制御動作を実行する。第１及び第２の電力供給回路（20a,20b）の制御部（23）は、モータ（13）の駆動軸（131）の位置が所望の位置となるように、固定子（132）と回転子（133）との間のギャップを検出可能なギャップセンサ（図示せず）の検出値に応じて、前記８つの電流制御動作のうちのいずれか１つを選択して実行する。
　なお、図４Ａに示すように、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）を同時にオンすると、直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側とが短絡されるので、制御部（23）は、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）を同時にオンしない。
　また、図４Ｂ～図４Ｉに示す電流制御動作において、制御部（23）は、第２の下アームスイッチング素子（21d）と第３の上アームスイッチング素子（21e）を常にオフにする。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を維持し、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を増加させる場合には、図４Ｂに示すように、制御部（23）は、第１の上アームスイッチング素子（21a）、第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオンし、第１の下アームスイッチング素子（21b）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｂ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が維持されるとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が増加する。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を減らし、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を増加させる場合には、図４Ｃに示すように、第１の上アームスイッチング素子（21a）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオンするとともに、第１の下アームスイッチング素子（21b）及び第２の上アームスイッチング素子（21c）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｃ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が減少するとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が増加する。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を増やし、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を維持する場合には、図４Ｄに示すように、第１の下アームスイッチング素子（21b）、第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオンするとともに、第１の上アームスイッチング素子（21a）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｄ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が増加するとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が維持される。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を維持し、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を維持する場合には、図４Ｅに示すように、第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオンするとともに、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第１の下アームスイッチング素子（21b）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｅ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が維持されるともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が維持される。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を減らし、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を維持する場合には、図４Ｆに示すように、第３の下アームスイッチング素子（21f）をオンするとともに、第１の上アームスイッチング素子（21a）、第１の下アームスイッチング素子（21b）、及び第２の上アームスイッチング素子（21c）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｆ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が減少するとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が維持される。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を増やし、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を減らす場合には、図４Ｇに示すように、第１の下アームスイッチング素子（21b）、及び第２の上アームスイッチング素子（21c）をオンするとともに、第１の上アームスイッチング素子（21a）及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｇ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が増加するとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が減少する。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を維持し、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を減らす場合には、図４Ｈに示すように、第２の上アームスイッチング素子（21c）をオンするとともに、第１の上アームスイッチング素子（21a）、第１の下アームスイッチング素子（21b）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｈ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が維持されるとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が減少する。
　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流を減らし、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流を減らす場合には、図４Ｉに示すように、第１の上アームスイッチング素子（21a）、第１の下アームスイッチング素子（21b）、第２の上アームスイッチング素子（21c）、及び第３の下アームスイッチング素子（21f）をオフする。つまり、全てのスイッチング素子（21a～21f）をオフする。これにより、電流を流せる向きが、図４Ｉ中矢印Ｘ及び矢印Ｙで示す向きとなるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流が減少するとともに、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流が減少する。
　このように、第１の電力供給回路（20a）の制御部（23）は、第２の下アームスイッチング素子（21d）及び第３の上アームスイッチング素子（21e）をオフした状態で、第１の下アームスイッチング素子（21b）と第２の上アームスイッチング素子（21c）とのオンオフを制御することにより、ラジアル磁気軸受用コイルＡ（1541）に流れる電流の量を制御できる。
　また、第１の電力供給回路（20a）の制御部（23）は、第２の下アームスイッチング素子（21d）及び第３の上アームスイッチング素子（21e）をオフした状態で、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第３の下アームスイッチング素子（21f）とのオンオフを制御することにより、ラジアル磁気軸受用コイルＣ（1543）に流れる電流の量を制御できる。
　具体的には、第１及び第２の電力供給回路（20a,20b）の制御部（23）は、図５Ａに示すように、第１の指令値（CV1）と、第１の搬送波（CW1）の値とを比較し、第１の下アームスイッチング素子（21b）を、第１の指令値（CV1）が第１の搬送波（CW1）の値以上である場合にはオン、第１の指令値（CV1）が第１の搬送波（CW1）の値未満である場合にはオフする制御を行う。第１の搬送波（CW1）は、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である。
　また、制御部（23）は、第１の指令値（CV1）と、第２の搬送波（CW2）の値とを比較し、第２の上アームスイッチング素子（21c）を、第１の指令値（CV1）が第２の搬送波（CW2）の値以上である場合にはオン、第１の指令値（CV1）が第２の搬送波（CW2）の値未満である場合にはオフする制御を行う。第２の搬送波（CW2）は、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ第１の搬送波（CW1）との合計値を常に２Ｍとする三角波形である。
　また、制御部（23）は、図５Ｂに示すように、第２の指令値（CV2）と、第３の搬送波（CW3）の値とを比較し、第１の上アームスイッチング素子（21a）を、第２の指令値（CV2）が第３の搬送波（CW3）の値以上である場合にはオン、第２の指令値（CV2）が第３の搬送波（CW3）の値未満である場合にはオフする制御を行う。第３の搬送波（CW3）は、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である。第３の搬送波（CW3）は、第１の搬送波（CW1）の位相を１８０度ずらしたものである。
　また、制御部（23）は、第２の指令値（CV2）と、第４の搬送波（CW4）の値との比較を行い、第３の下アームスイッチング素子（21f）を、第２の指令値（CV2）が第４の搬送波（CW4）の値以上である場合にはオン、第２の指令値（CV2）が第４の搬送波（CW4）の値未満である場合にはオフする制御を行う。第４の搬送波（CW4）は、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ第３の搬送波（CW3）との合計値を常に２Ｍとする三角波形である。
　第１及び第２の指令値（CV1,CV2）は、当該第１及び第２の指令値（CV1,CV2）の合計が２Ｍ＋Ａ未満となるように、固定子（132）と回転子（133）との間のギャップを検出するギャップセンサ（図示せず）の検出値に応じて、４０μｓ毎のキャリア比較値更新タイミングに設定される。
　第１～第４の搬送波（CW1～CW4）の周期は、８０μｓである。
　このように、制御部（23）は、第１及び第２の指令値（CV1,CV2）に基づいて、第１及び第２の上アームスイッチング素子（21a,21c）と、第１及び第３の下アームスイッチング素子（21b,21f）のオンオフを制御できる。
　また、第１及び第２の指令値（CV1,CV2）の合計を、２Ｍ＋Ａ未満とし、かつ第３の搬送波（CW3）を、第１の搬送波（CW1）の位相を１８０度ずらしたものとしたので、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）が同時にオンすることがない。したがって、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）が同時にオンすることに起因する直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側との短絡を防止できる。また、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）に流れる電流を連続的に増加させることができるので、応答性を良くできる。
　スラスト磁気軸受装置（16）は、１対のスラスト磁気軸受用電磁石（161）と、第３の電力供給回路（162）とを備えている。両スラスト磁気軸受用電磁石（161）は、円盤部（131a）の軸方向両側に配設されている。各スラスト磁気軸受用電磁石（161）は、アクチュエータコイルとしてのスラスト磁気軸受用コイル（161a）を有している。スラスト磁気軸受用コイル（161a）は、当該スラスト磁気軸受用コイル（161a）に電流を流したときに生じる電磁力によって駆動軸（131）の円盤部（131a）を非接触で支持する。両スラスト磁気軸受用コイル（161a）は、第３の電力供給回路（162）の制御部（23）による制御中に当該両スラスト磁気軸受用コイル（161a）の電磁力を互いに反対の方向に作用させることが可能なように対向配置されている。第３の電力供給回路（162）は、第１及び第２の電力供給回路（20a,20b）と同様の構成を有している。第３の電力供給回路（162）は、円盤部（131a）とスラスト磁気軸受用電磁石（161）との間のギャップを検出可能なギャップセンサ（図示せず）の検出値に基づいて、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）に流す電流を制御することにより、駆動軸（131）の円盤部（131a）の軸方向の位置を制御する。
　したがって、本実施形態によると、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の電流の制御に、第１の電力供給回路（20a）の共通の第１のレグ（211）を用いるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）毎にＨブリッジ回路を設ける必要がない。したがって、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の電流の制御に用いる第１の電力供給回路（20a）のスイッチング素子を削減することにより、第１の電力供給回路（20a）を小型化するとともに、コストを削減できる。
　同様に、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の電流の制御に、第２の電力供給回路（20b）の共通の第１のレグ（211）を用いるので、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）毎にＨブリッジ回路を設ける必要がない。したがって、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の電流の制御に用いる第２の電力供給回路（20b）のスイッチング素子を削減することにより、第２の電力供給回路（20b）を小型化するとともに、コストを削減できる。
　同様に、１対のスラスト磁気軸受用コイル（161a）の電流の制御に、第３の電力供給回路（162）の共通の第１のレグ（211）を用いるので、スラスト磁気軸受用コイル（161a）毎にＨブリッジ回路を設ける必要がない。したがって、スラスト磁気軸受用コイル（161a）の電流の制御に用いる第３の電力供給回路（162）のスイッチング素子を削減することにより、第３の電力供給回路（162）を小型化するとともに、コストを削減できる。
　また、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）のそれぞれにおいて、第１～第３のレグ（211～213）を１つのパッケージに収めるので、２つ以上のパッケージに収める場合に比べ、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）を小型化できる。
　また、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）に設けられるレグ（211～213）の数は３つであり、３つのレグを同一パッケージに収めたＩＧＢＴモジュールは三相交流用に一般に安価に市販されているので、このような市販のＩＧＢＴのレグを第１～第３のレグ（211～213）として用いることにより、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）のコストを削減しやすい。
　また、第１の電力供給回路（20a）において、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）を同時にオンすると直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側とが短絡されるので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の両方の電流を同時に増加させることはできない。しかし、本実施形態では、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）が互いに反対の方向に電磁力を作用させるように配置されているので、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の両方の電流を同時に増加させなくても、ラジアル磁気軸受用コイルＡ，Ｃ（1541,1543）の電磁力により、駆動軸（131）を互いに反対の２方向（図２中y軸に沿う２方向）に移動させることができる。
　同様に、第２の電力供給回路（20b）においても、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）の両方をオンすると直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側とが短絡されるので、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の両方の電流を同時に増加させることはできない。しかし、本実施形態では、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）が互いに反対の方向に電磁力を作用させるように配置されているので、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の両方の電流を同時に増加させなくても、ラジアル磁気軸受用コイルＢ，Ｄ（1542,1544）の電磁力により、駆動軸（131）を互いに反対の２方向（図２中x軸に沿う２方向）に移動させることができる。
　同様に、第３の電力供給回路（162）においても、第１の上アームスイッチング素子（21a）と第１の下アームスイッチング素子（21b）の両方をオンすると直流電圧源（2）のプラス側とマイナス側とが短絡されるので、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）の電流を同時に増加させることはできない。しかし、本実施形態では、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）が互いに反対の方向に電磁力を作用させるように配置されているので、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）の両方の電流を同時に増加させなくても、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）の電磁力により、駆動軸（131）を、両スラスト磁気軸受用コイル（161a）対向方向に沿う２方向に移動させることができる。
　なお、本実施形態では、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）が、それぞれ、共通の軸に沿う互いに反対の２方向に電磁力を作用させるように配置された１対のコイル（1541～1544、161a）に電力を供給したが、異なる軸に沿う方向に電磁力を作用させるように配置された１対のコイルに電力を供給するようにしてもよい。
　また、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）において、第２の下アームスイッチング素子（21d）及び第３の上アームスイッチング素子（21e）は、制御部（23）によって常にオフされるので、設けなくてもよい。
　また、本実施形態では、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）において、第１～第３の上アームスイッチング素子（21a,21c,21e）及び第１～第３の下アームスイッチング素子（21b,21d,21f）をＩＧＢＴで構成したが、ＭＯＳＦＥＴ（Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor）で構成してもよい。
　また、第１～第３の電力供給回路（20a,20b,162）において、第１～第３の上アーム側還流ダイオード（22a,22c,22e）、及び第１～第３の下アーム側還流ダイオード（22b,22d,22f）は、ＩＧＢＴの内蔵ダイオードや、ＭＯＳＦＥＴの寄生ダイオードによって構成してもよい。
　また、本実施形態では、モータ（13）の駆動軸（131）を支持するラジアル磁気軸受用コイルＡ～Ｄ（1541～1544）に本発明を適用したが、本発明は、モータ（13）の駆動軸（131）以外の対象物を電磁力によって非接触で支持するアクチュエータコイルにも適用できる。
　以上説明したように、本開示は、第１及び第２のアクチュエータコイルが電磁力によって対象物を非接触で支持するように、直流電圧源から前記第１及び第２のアクチュエータコイルにそれぞれ電流を流す電力供給回路及びそれを備えた軸受装置について有用である。
２　　　直流電圧源
１３　　　モータ 
１５　　　ラジアル磁気軸受装置 
１６　　　スラスト磁気軸受装置 
２０ａ　　第１の電力供給回路 
２０ｂ　　第２の電力供給回路 
２１ａ　　第１の上アームスイッチング素子 
２１ｂ　　第１の下アームスイッチング素子 
２１ｃ　　第２の上アームスイッチング素子 
２１ｆ　　第３の下アームスイッチング素子 
２２ａ　　第１の上アーム側還流ダイオード 
２２ｂ　　第１の下アーム側還流ダイオード
２２ｄ　　第２の下アーム側還流ダイオード
２２ｅ　　第３の上アーム側還流ダイオード
２３　　　制御部 
１３１　　　駆動軸（対象物） 
１６１ａ　　スラスト磁気軸受用コイル（第１及び第２のアクチュエータコイル） 
１６２　　　第３の電力供給回路 
２１１　　　第１のレグ 
２１２　　　第２のレグ 
２１３　　　第３のレグ
１５４１　　　ラジアル磁気軸受用コイルＡ（第１のアクチュエータコイル）
１５４２　　　ラジアル磁気軸受用コイルＢ（第１のアクチュエータコイル）
１５４３　　　ラジアル磁気軸受用コイルＣ（第２のアクチュエータコイル） 
１５４４　　　ラジアル磁気軸受用コイルＤ（第２のアクチュエータコイル）
Ｃ１、Ｃ２　　　接続点 
ＣＶ１　　　第１の指令値 
ＣＶ２　　　第２の指令値
ＣＷ１　　　第１の搬送波
ＣＷ２　　　第２の搬送波
ＣＷ３　　　第３の搬送波
ＣＷ４　　　第４の搬送波

Claims (6)

  1. 　第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）が電磁力によって対象物（131）を非接触で支持するように、直流電圧源（2）から前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）にそれぞれ電流を流す電力供給回路であって、
    　互いに直列に接続された第１の上アームスイッチング素子（21a）、及び第１の下アームスイッチング素子（21b）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第１のレグ（211）と、
    　前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）をオンオフして、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）に流す電流を制御する制御部（23）とを備え、
    　前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）は、互いに直列に接続されたものであり、
    　前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）の接続点（C1,C2）が接続され、
    　前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）のそれぞれには、還流ダイオード（22a,22b）が並列に備えられ、
    　前記制御部（23）は、前記第１のアクチュエータコイル（161a,1541,1542）には、前記接続点（C1,C2）に流入する向きに電流が流れ、前記第２のアクチュエータコイル（161a,1543,1544）には、前記接続点（C1,C2）から流出する向きに電流が流れるように制御することを特徴とする電力供給回路。
  2. 　請求項１に記載の電力供給回路において、
    　第２の下アーム側還流ダイオード（22d）、及び前記第２の下アーム側還流ダイオード（22d）にカソード側から直列に接続された第２の上アームスイッチング素子（21c）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第２のレグ（212）と、
    　第３の上アーム側還流ダイオード（22e）、及び前記第３の上アーム側還流ダイオード（22e）にアノード側から直列に接続された第３の下アームスイッチング素子（21f）を有し、前記直流電圧源（2）に接続された第３のレグ（213）とを備え、
    　前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第２の上アームスイッチング素子（21c）及び前記第２の下アーム側還流ダイオード（22d）の中点との間には、前記第１のアクチュエータコイル（161a,1541,1542）が接続され、
    　前記第１の上アームスイッチング素子（21a）及び前記第１の下アームスイッチング素子（21b）の中点と、前記第３の上アーム側還流ダイオード（22e）及び前記第３の下アームスイッチング素子（21f）の中点との間には、前記第２のアクチュエータコイル（161a,1543,1544）が接続されることを特徴とする電力供給回路。
  3. 　請求項２に記載の電力供給回路において、
    　前記第１～第３のレグ（211～213）は、同一パッケージ内に収められていることを特徴とする電力供給回路。
  4. 　請求項２又は３に記載の電力供給回路において、
    　前記制御部（23）による制御は、第１の指令値（CV1）と、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である第１の搬送波（CW1）の値とを比較し、前記第１の下アームスイッチング素子（21b）を、前記第１の指令値（CV1）が前記第１の搬送波（CW1）の値以上である場合にはオン、前記第１の指令値（CV1）が前記第１の搬送波（CW1）の値未満である場合にはオフし、
    　前記第１の指令値（CV1）と、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ前記第１の搬送波（CW1）との合計値を常に２Ｍとする第２の搬送波（CW2）の値とを比較し、前記第２の上アームスイッチング素子（21c）を、前記第１の指令値（CV1）が前記第２の搬送波（CW2）の値以上である場合にはオン、前記第１の指令値（CV1）が前記第２の搬送波（CW2）の値未満である場合にはオフし、
    　第２の指令値（CV2）と、振幅をＡとし、かつ最小値をＭとする三角波形である第３の搬送波（CW3）の値とを比較し、前記第１の上アームスイッチング素子（21a）を、前記第２の指令値（CV2）が前記第３の搬送波（CW3）の値以上である場合にはオン、前記第２の指令値（CV2）が前記第３の搬送波（CW3）の値未満である場合にはオフし、
    　前記第２の指令値（CV2）と、振幅をＡとし、最大値をＭとし、かつ前記第３の搬送波（CW3）との合計値を常に２Ｍとする第４の搬送波（CW4）の値との比較を行い、前記第３の下アームスイッチング素子（21f）を、前記第２の指令値（CV2）が前記第４の搬送波（CW4）の値以上である場合にはオン、前記第２の指令値（CV2）が前記第４の搬送波（CW4）の値未満である場合にはオフする制御であることを特徴とする電力供給回路。
  5. 　請求項４に記載の電力供給回路において、
    　前記第１及び第２の指令値（CV1,CV2）の合計は、２Ｍ＋Ａ未満であり、
    　前記第３の搬送波（CW3）は、前記第１の搬送波（CW1）の位相を１８０度ずらしたものであることを特徴とする電力供給回路。
  6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の電力供給回路と、
    　前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）とを備えた軸受装置であって、
    　前記対象物（131）は、回転駆動するモータ（13）の駆動軸であり、
    　前記第１及び第２のアクチュエータコイル（161a,1541～1544）は、前記制御部（23）による前記制御中に両アクチュエータコイル（161a,1541～1544）の電磁力を互いに反対の方向に作用させることが可能なように配置されていることを特徴とする軸受装置。
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