WO2022097656A1

WO2022097656A1 - 多層構造体およびその製造方法、ならびにそれを用いた保護シート及び電子デバイス

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Publication number: WO2022097656A1
Application number: PCT/JP2021/040462
Authority: WO
Inventors: 修平久詰; 竜也尾下
Original assignee: 株式会社クラレ
Priority date: 2020-11-04
Filing date: 2021-11-02
Publication date: 2022-05-12
Also published as: TW202235264A; CN116406329A; DE112021004939T5; US20230407454A1; JPWO2022097656A1; KR20230098854A

Abstract

基材（Ｘ）及び前記基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える積層体、並びに前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された、熱可塑性樹脂を主成分とする層（Ｚ）を備え、層（Ｙ）は、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応生成物（Ｄ）を含み、基材（Ｘ）の厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、層（Ｚ）の１層当たりの厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下であり、層（Ｙ）はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、接着層（Ｉ）はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、層（Ｚ）はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、ＩＳＯ１５１０６－５に準拠して測定した透湿度が１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である多層構造体。

Description

多層構造体およびその製造方法、ならびにそれを用いた保護シート及び電子デバイス

　本発明は、多層構造体およびその製造方法、ならびにそれを用いた保護シート及び電子デバイスに関する。

　太陽電池や表示装置を備える電子機器などの電子デバイスは、表面を保護する透光性の保護部材を必要とする。これらの電子デバイスの中でも、近年、フレキシブルな太陽電池や、フレキシブルなディスプレイが用いられるようになっている。フレキシブルな電子デバイスでは、厚いガラス板を用いることができないため、厚いガラス板に変わる保護シートが必要である。

　ガラス板に代わる保護シートとしては、バリア性、特に水蒸気バリア性に優れる保護シートを用いる必要がある。そのような保護シートとして、例えば、特許文献１には、ＰＥＴ等の基材（Ｘ）と、アルミニウムを含む化合物とリン酸との反応生成物を含む層（Ｙ）とを備え、前記反応生成物の平均粒子径が５～７０ｎｍである多層構造体が、ガスバリア性及び水蒸気バリア性に優れ、ダンプヒート試験後においてもその性能を維持できる保護シートとして使用できることが記載されている。

国際公開第２０１６／１０３７２０号

　近年、電子デバイスの保護シートに求められる水蒸気バリア性は非常に高く、上記従来の多層構造体では水蒸気バリア性が十分ではない場合がある。また、フレキシブルな電子デバイスにおいては、電子デバイスの封止材と保護シートとの接着性が重要であり、保護シートの表出面が封止材と積層されて得られる電子デバイスにおいては、高い剥離強度が求められる場合がある。水蒸気バリア性の高い要求性能を満たすために、水蒸気バリア性を有するフィルムを複数積層させたり、封止材との剥離強度の高いレベルでの要求性能を満たすために、保護シートの表出面に封止材との剥離強度を高めるフィルムを積層させる手段が考えられるが、その結果、保護シートの厚みが厚くなり、柔軟性が損なわれてしまう場合がある。電子デバイスの厚みを薄くするために、電子デバイスに用いられる封止材等の部材の薄膜化等も検討されているが、品質が高いフレキシブルな電子デバイスの実現のためには、厚みが薄く、かつ、高い水蒸気バリア性を有し、封止材との接着性に優れる部材が強く求められている。

　本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、水蒸気バリア性及び封止材との剥離強度に高いレベルで優れるとともに、柔軟性に優れた多層構造体およびその製造方法、ならびにそれを用いた保護シート及び電子デバイスを提供することである。

　本発明によれば、上記目的は
［１］基材（Ｘ）及び前記基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える積層体、並びに前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された、熱可塑性樹脂を主成分とする層（Ｚ）を備え、前記少なくとも２層の層（Ｙ）は、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応生成物（Ｄ）を含み、前記基材（Ｘ）の厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、前記層（Ｚ）の１層当たりの厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下であり、前記少なくとも２層の層（Ｙ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、前記積層体の両面に備えられる接着層（Ｉ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、前記積層体の両面に備えられる層（Ｚ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、ＩＳＯ１５１０６－５に準拠して測定した透湿度が１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である多層構造体；
［２］１６０℃で３０分間加熱した際の前記積層体のＭＤ方向の熱収縮率ＴＳが１．０％以下である、［１］の多層構造体；
［３］１６０℃で３０分間加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率において、前記積層体の熱収縮率ＴＳに対する前記層（Ｚ）の熱収縮率ＴＳ_Ｚの比（ＴＳ_Ｚ／ＴＳ）が２以上である、［１］または［２］の多層構造体；
［４］前記層（Ｚ）の少なくとも一方の表出面側に積層された易接着層（ＥＡ）をさらに備える、［１］～［３］いずれかの多層構造体；
［５］前記易接着層（ＥＡ）がアクリル系樹脂を含む、［４］の多層構造体；
［６］前記層（Ｚ）がポリステル系樹脂を含む、［１］～［５］のいずれかの多層構造体；
［７］基材（Ｘ）の両面に、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と、無機リン化合物（ＢＩ）と、溶媒とを含むコーティング液（Ｓ）を塗工し、前記溶媒を除去することで層（Ｙ）の前駆体層を形成する工程（Ｉ）、前記層（Ｙ）の前駆体層を熱処理して層（Ｙ）を形成する工程（ＩＩ）、および前記層（Ｙ）を形成する工程（ＩＩ）を経て得られた積層体に、接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）を積層させる工程（ＩＩＩ）を含む、［１］～［６］のいずれかの多層構造体の製造方法；
［８］［１］～［６］のいずれかの多層構造体を含む電子デバイスの保護シート；
［９］光電変換装置、情報表示装置、または照明装置の表面を保護する保護シートである、［８］の保護シート；
［１０］［８］または［９］の保護シートを有する電子デバイス；
［１１］フレキシブルな電子デバイスである、［１０］の電子デバイス；
　を提供することで達成される。

　本発明によれば、水蒸気バリア性及び封止材との剥離強度に高いレベルで優れるとともに、柔軟性に優れた多層構造体およびその製造方法、ならびにそれを用いた保護シート及び電子デバイスを提供できる。

図１は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスの一部断面図である。

　本明細書において、「バリア性」とは主に酸素バリア性及び水蒸気バリア性（透湿度が低い）の両方を意味し、「ガスバリア性」とは主に酸素バリア性を意味する。本明細書において「剥離強度」とは、実施例に記載される湿熱処理前後の剥離強度のことを意味する。本明細書において複数層備えられる層は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。本明細書において、各層等の「厚み」とは、任意の５ヶ所での測定値の平均（平均厚み）をいう。

　本発明の多層構造体は、基材（Ｘ）及び前記基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える積層体、並びに前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された、熱可塑性樹脂を主成分とする層（Ｚ）を備え、前記少なくとも２層の層（Ｙ）は、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応生成物（Ｄ）を含み、前記基材（Ｘ）の厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、前記層（Ｚ）の１層当たりの厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下でありＩＳＯ１５１０６－５：２０１５に準拠して測定した透湿度（水蒸気透過度）が１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である。本発明の多層構造体は、基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備えることで、バリア性が顕著に優れる傾向となり、透湿度を１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下に調整しやすくなる傾向となる。また、本発明の多層構造体は、多層構造体を構成する積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された層（Ｚ）を備えることで、封止材との剥離強度が顕著に優れる傾向となる。さらに、本発明の多層構造体は、全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下であることで、柔軟性に優れる傾向となる。なお、通常、層（Ｚ）の厚みを薄くした場合は、層（Ｚ）の熱収縮が生じ易くなり、これに起因して多層構造体の熱収縮率が大きくなり封止材との剥離強度が低下することが懸念される。しかし、本発明の多層構造体を構成する積層体の熱収縮率は、熱収縮し難い層（Ｙ）の存在により通常小さい値となり得るため、層（Ｚ）の厚みを薄くしても当該積層体に接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）が積層されてなる多層構造体の熱収縮が抑制される。そのため、層（Ｚ）の厚みを薄くしても封止材との剥離強度を維持することができる。また、層（Ｚ）の熱収縮率が一定範囲であるとアンカー効果により剥離強度が向上するため、層（Ｚ）はある程度大きい熱収縮率を有していることが好ましい。一方、層（Ｚ）の熱収縮率が大きすぎると多層構造体の熱収縮率が大きくなり、アンカー効果による剥離強度の向上よりも多層構造体の熱収縮による剥離強度の低下が支配的となる傾向となる。層（Ｚ）の厚みが５μｍ以上であれば、熱収縮率が適度な範囲に収まることなどにより、アンカー効果による剥離強度の向上効果が十分に奏される。以上のような理由により、本発明では全層厚みの合計を１２０μｍ以下としても、水蒸気バリア性及び封止材との剥離強度が高いレベルで優れる多層構造体を提供することができると推測される。

［基材（Ｘ）］
　基材（Ｘ）は、特に制限されず、様々な基材を使用できる。基材（Ｘ）の材質としては、特に制限されないが、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等の樹脂；布帛、紙類等の繊維集合体；金属酸化物等が挙げられる。中でも、熱可塑性樹脂または繊維集合体を含むことが好ましく、熱可塑性樹脂を含むことがより好ましい。基材（Ｘ）の形態は、特に制限されないが、フィルムまたはシート等の層状であることが好ましい。基材（Ｘ）としては、熱可塑性樹脂フィルム、紙、または無機蒸着層（Ｘ’）を積層した熱可塑性樹脂フィルムを含むことが好ましく、熱可塑性樹脂フィルムを含むものがより好ましく、熱可塑性樹脂フィルムであることがさらに好ましい。

　基材（Ｘ）に用いられる熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレート、ポリブチレンテレフタレートあるいはこれらの共重合体等のポリエステル系樹脂；ナイロン－６、ナイロン－６６、ナイロン－１２等のポリアミド系樹脂；ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体等の水酸基含有ポリマー；ポリスチレン；ポリ（メタ）アクリル酸エステル；ポリアクリロニトリル；ポリ酢酸ビニル；ポリカーボネート；ポリアリレート；再生セルロース；ポリイミド；ポリエーテルイミド；ポリスルフォン；ポリエーテルスルフォン；ポリエーテルエーテルケトン；アイオノマー樹脂等が挙げられる。基材（Ｘ）に用いられる熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン－６、およびナイロン－６６からなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましく、ポリエチレンテレフタレートがより好ましい。

　前記熱可塑性樹脂フィルムを基材（Ｘ）として用いる場合、基材（Ｘ）は延伸フィルムであってもよいし無延伸フィルムであってもよい。得られる多層構造体の加工適性（印刷やラミネート等）が優れることから、延伸フィルム、特に二軸延伸フィルムが好ましい。二軸延伸フィルムは、同時二軸延伸法、逐次二軸延伸法、およびチューブラ延伸法のいずれかの方法で製造された二軸延伸フィルムであってもよい。

　基材（Ｘ）に用いられる紙としては、例えば、クラフト紙、上質紙、模造紙、グラシン紙、パーチメント紙、合成紙、白板紙、マニラボール、ミルクカートン原紙、カップ原紙、アイボリー紙等が挙げられる。

　基材（Ｘ）として用いられる無機蒸着層（Ｘ’）を積層した熱可塑性樹脂フィルムとしては、通常、酸素や水蒸気に対するバリア性を有するフィルムであり、透明性を有するフィルムであることが好ましい。無機蒸着層（Ｘ’）を積層した熱可塑性樹脂フィルムに用いられる熱可塑性樹脂フィルムとしては、上述した基材（Ｘ）として例示された熱可塑性樹脂フィルムを用いることができる。無機蒸着層（Ｘ’）は無機物を蒸着することで形成できる。無機物としては、金属（例えば、アルミニウム）、金属酸化物（例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム）、金属窒化物（例えば、窒化ケイ素）、金属窒化酸化物（例えば、酸窒化ケイ素）、または金属炭化窒化物（例えば、炭窒化ケイ素）等が挙げられる。中でも、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム、または窒化ケイ素で形成される無機蒸着層（Ｘ’）が、透明性に優れる観点から好ましい。

　無機蒸着層（Ｘ’）の形成方法は、特に限定されず、真空蒸着法（例えば、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、分子線エピタキシー法等）、スパッタリング法やイオンプレーティング法等の物理気相成長法；熱化学気相成長法（例えば、触媒化学気相成長法）、光化学気相成長法、プラズマ化学気相成長法（例えば、容量結合プラズマ、誘導結合プラズマ、表面波プラズマ、電子サイクロトロン共鳴、デュアルマグネトロン、原子層堆積法等）、有機金属気相成長法等の化学気相成長法が挙げられる。

　無機蒸着層（Ｘ’）の厚みは、無機蒸着層を構成する成分の種類によって異なるが、０．００２～０．５μｍが好ましく、０．００５～０．２μｍがより好ましく、０．０１～０．１μｍがさらに好ましい。この範囲で、多層構造体のバリア性や機械的物性が良好になる厚みを選択すればよい。無機蒸着層（Ｘ’）の厚みが０．００２μｍ以上であると、酸素や水蒸気に対する無機蒸着層（Ｘ’）のバリア性が良好になる傾向となる。また、無機蒸着層（Ｘ’）の厚みが０．５μｍ以下であると、無機蒸着層（Ｘ’）の屈曲後のバリア性が維持される傾向となる。

　基材（Ｘ）の厚みは、５μｍ以上１００μｍ以下であり、７μｍ以上８０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以上６０μｍ以下がさらに好ましい。層（Ｘ）の厚みが５μｍ未満であると機械的強度および加工性および剥離強度が悪化する傾向がある。また、層（Ｘ）の厚みが１００μｍを超えると、得られる多層構造体の柔軟性が悪化する傾向がある。

　基材（Ｘ）としては、１種の基材を単独で用いてもよく、２種以上の基材を組み合わせたものを用いてもよい。基材（Ｘ）を複数層有する場合は、それぞれの基材（Ｘ）は同一であっても異なっていてもよい。基材（Ｘ）を複数有する場合、上記の基材（Ｘ）の厚みは、基材（Ｘ）の１層当たりの厚みを表す。多層構造体の柔軟性等の観点から、基材（Ｘ）は１層のみであることが好ましい場合がある。

［層（Ｙ）］
　層（Ｙ）は、金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応生成物（Ｄ）を含む。本発明の多層構造体において、層（Ｙ）はバリア層として機能するため、本発明の多層構造体が基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備えることで、水蒸気バリア性に顕著に優れる傾向となる。本発明の多層構造体における層（Ｙ）の層数は、２層以上であれば特に限定されないが、本発明の多層構造体の柔軟性を良好にする観点からは、５層以下が好ましく、４層以下がより好ましく、３層以下がさらに好ましく、２層が特に好ましい場合がある。一方、より高いバリア性が求められる用途においては、層（Ｙ）の層数を増やすことが好ましい場合がある。前記２層以上の層（Ｙ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。

［アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）］
　金属酸化物（Ａ）を構成する金属原子（Ｍ）は、通常、周期表の２～１４族に属する金属原子から選ばれる少なくとも１種の金属原子であるが、少なくともアルミニウム原子を含む。金属原子（Ｍ）は、アルミニウム原子単独であることが好ましいが、アルミニウム原子とそれ以外の金属原子とを含んでもよい。なお、金属酸化物（Ａ）として、２種以上の金属酸化物（Ａ）を混合して用いてもよい。アルミニウム原子以外の金属原子としては、例えば、マグネシウム、カルシウムなどの周期表第２族の金属；亜鉛などの周期表第１２族の金属；周期表第１３属の金属；ケイ素などの周期表第１４族の金属；チタン、ジルコニウムなどの遷移金属などを挙げることができる。なお、ケイ素は半金属に分類される場合があるが、本明細書ではケイ素を金属に含めるものとする。アルミニウムと併用され得る金属原子（Ｍ）としては、取扱性や得られる多層構造体のガスバリア性が優れる観点から、チタン及びジルコニウムからなる群より選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。

　金属原子（Ｍ）に占めるアルミニウム原子の割合は５０モル％以上が好ましく、７０モル％以上がより好ましく、９０モル％以上がさらに好ましく、９５モル％以上であっても、実質的にアルミニウム原子のみからなってもよい。金属酸化物（Ａ）の例には、液相合成法、気相合成法、固体粉砕法等の方法によって製造された金属酸化物が含まれる。

　金属酸化物（Ａ）は、加水分解可能な特性基が結合した金属原子（Ｍ）を含有する化合物（Ｅ）（以下「化合物（Ｅ）」と略記する場合がある）の加水分解縮合物であってもよい。該特性基としては、例えば、ハロゲン原子、ＮＯ_３、置換基を有していてもよい炭素数１～９のアルコキシ基、置換基を有していてもよい炭素数６～９のアリールオキシ基、置換基を有していてもよい炭素数２～９のアシロキシ基、置換基を有していてもよい炭素数３～９のアルケニルオキシ基、置換基を有していてもよい炭素数５～１５のβ－ジケトナト基、または置換基を有していてもよい炭素数１～９のアシル基を有するジアシルメチル基等が挙げられる。化合物（Ｅ）の加水分解縮合物は、実質的に金属酸化物（Ａ）とみなすことが可能である。そのため、本明細書では、化合物（Ｅ）の加水分解縮合物を「金属酸化物（Ａ）」という場合がある。すなわち、本明細書において、「金属酸化物（Ａ）」は「化合物（Ｅ）の加水分解縮合物」と読み替えることができ、また、「化合物（Ｅ）の加水分解縮合物」を「金属酸化物（Ａ）」と読み替えることもできる。

［加水分解可能な特性基が結合した金属原子（Ｍ）を含有する化合物（Ｅ）］
　無機リン化合物（ＢＩ）との反応の制御が容易になり、得られる多層構造体のガスバリア性が優れることから、化合物（Ｅ）は後述するアルミニウム原子を含む化合物（Ｅａ）を含むことが好ましい。

　化合物（Ｅａ）としては、例えば、塩化アルミニウム、硝酸アルミニウム、酢酸アルミニウム、トリス（２，４－ペンタンジオナト）アルミニウム、トリメトキシアルミニウム、トリエトキシアルミニウム、トリ－ｎ－プロポキシアルミニウム、トリイソプロポキシアルミニウム、トリ－ｎ－ブトキシアルミニウム、トリ－ｓｅｃ－ブトキシアルミニウム、トリ－ｔｅｒｔ－ブトキシアルミニウム等が挙げられ、中でも、トリイソプロポキシアルミニウムおよびトリ－ｓｅｃ－ブトキシアルミニウムが好ましい。化合物（Ｅ）として、２種以上の化合物（Ｅａ）を併用してもよい。

　また、化合物（Ｅ）はアルミニウム以外の金属原子（Ｍ）を含む化合物（Ｅｂ）を含んでいてもよく、化合物（Ｅｂ）としては、例えば、テトラキス（２，４－ペンタンジオナト）チタン、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトライソプロポキシチタン、テトラ－ｎ－ブトキシチタン、テトラキス（２－エチルヘキソキシ）チタン等のチタン化合物；テトラキス（２，４－ペンタンジオナト）ジルコニウム、テトラ－ｎ－プロポキシジルコニウム、テトラ－ｎ－ブトキシジルコニウム等のジルコニウム化合物等が挙げられる。これらは、１種単独で使用しても、２種以上の化合物（Ｅｂ）を併用してもよい。

　化合物（Ｅ）に占める化合物（Ｅａ）の割合は特に限定されず、例えば８０モル％以上が好ましく、９０モル％以上がより好ましく、９５モル％以上がさらに好ましく、１００モル％であってもよい。

　化合物（Ｅ）が加水分解されることで、化合物（Ｅ）が有する加水分解可能な特性基の少なくとも一部が水酸基に変換される。さらに、その加水分解物が縮合することで、金属原子（Ｍ）が酸素原子（Ｏ）を介して結合された化合物が形成される。この縮合が繰り返されると、実質的に金属酸化物とみなしうる化合物が形成される。なお、このようにして形成された金属酸化物（Ａ）の表面には、通常、水酸基が存在する。

　本明細書においては、［金属原子（Ｍ）のみに結合している酸素原子（Ｏ）のモル数］／［金属原子（Ｍ）のモル数］の比が０．８以上である化合物を金属酸化物（Ａ）に含めるものとする。ここで、金属原子（Ｍ）のみに結合している酸素原子（Ｏ）は、Ｍ－Ｏ－Ｍで表される構造における酸素原子（Ｏ）であり、Ｍ－Ｏ－Ｈで表される構造における酸素原子（Ｏ）のように金属原子（Ｍ）と水素原子（Ｈ）に結合している酸素原子は除外される。金属酸化物（Ａ）における前記比は、０．９以上が好ましく、１．０以上がより好ましく、１．１以上がさらに好ましい。この比の上限は特に限定されないが、金属原子（Ｍ）の原子価をｎとすると、通常、ｎ／２で表される。

　前記加水分解縮合が起こるためには、化合物（Ｅ）が加水分解可能な特性基を有していることが重要である。それらの基が結合していない場合、加水分解縮合反応が起こらないもしくは極めて緩慢となるため、目的とする金属酸化物（Ａ）の調製が困難になる。

　化合物（Ｅ）の加水分解縮合物は、例えば、公知のゾルゲル法で採用される手法によって特定の原料から製造してもよい。該原料には、化合物（Ｅ）、化合物（Ｅ）の部分加水分解物、化合物（Ｅ）の完全加水分解物、化合物（Ｅ）が部分的に加水分解縮合してなる化合物、および化合物（Ｅ）の完全加水分解物の一部が縮合してなる化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種を使用できる。

　なお、後述の無機リン化合物（ＢＩ）含有物（無機リン化合物（ＢＩ）または無機リン化合物（ＢＩ）を含む組成物）との混合に供される金属酸化物（Ａ）は、リン原子を実質的に含有しないことが好ましい。

［無機リン化合物（ＢＩ）］
　無機リン化合物（ＢＩ）は、金属酸化物（Ａ）と反応可能な部位を有し、典型的には、かかる部位を複数有し、好適には２～２０個有する。かかる部位には、金属酸化物（Ａ）の表面に存在する官能基（例えば、水酸基）と縮合反応可能な部位が含まれ、例えば、リン原子に直接結合したハロゲン原子、リン原子に直接結合した酸素原子等が挙げられる。金属酸化物（Ａ）の表面に存在する官能基（例えば、水酸基）は、通常、金属酸化物（Ａ）を構成する金属原子（Ｍ）に結合している。

　無機リン化合物（ＢＩ）としては、例えば、リン酸、二リン酸、三リン酸、４分子以上のリン酸が縮合したポリリン酸、亜リン酸、ホスホン酸、亜ホスホン酸、ホスフィン酸、亜ホスフィン酸等のリンのオキソ酸、およびこれらの塩（例えば、リン酸ナトリウム）、ならびにこれらの誘導体（例えば、ハロゲン化物（例えば、塩化ホスホリル）、脱水物（例えば、五酸化二リン））等が挙げられ、１種単独で用いても２種以上を併用してもよい。中でも、後述するコーティング液（Ｓ）の安定性および得られる多層構造体のガスバリア性が向上する観点から、リン酸を単独で使用するか、リン酸とそれ以外の無機リン化合物（ＢＩ）を併用することが好ましい。リン酸とそれ以外の無機リン化合物（ＢＩ）とを併用する場合、無機リン化合物（ＢＩ）の５０モル％以上がリン酸であることが好ましい。

［反応生成物（Ｄ）］
　反応生成物（Ｄ）は、金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応で得られる。金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）とさらに他の化合物とが反応することで生成する化合物も反応生成物（Ｄ）に含まれる。

　層（Ｙ）の赤外吸収スペクトルにおいて、８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収波数は１０８０～１１３０ｃｍ^－１の範囲にあることが好ましい。例えば、金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）とが反応して反応生成物（Ｄ）となる過程において、金属酸化物（Ａ）に由来する金属原子（Ｍ）と無機リン化合物（ＢＩ）に由来するリン原子（Ｐ）とが酸素原子（Ｏ）を介してＭ－Ｏ－Ｐで表される結合を形成する。その結果、反応生成物（Ｄ）の赤外吸収スペクトルにおいて該結合由来の特性吸収帯が生じる。Ｍ－Ｏ－Ｐの結合に基づく特性吸収帯が１０８０～１１３０ｃｍ^－１の領域に見られる場合には、得られた多層構造体が優れたガスバリア性を発現する。特に、該特性吸収帯が、一般に各種の原子と酸素原子との結合に由来する吸収が見られる８００～１４００ｃｍ^－１の領域において最も強い吸収である場合には、得られた多層構造体がさらに優れたガスバリア性を発現する。すなわち、本発明の多層構造体は層（Ｙ）の赤外吸収スペクトルにおいて、８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収波数が１０８０～１１３０ｃｍ^－１の範囲にあることで、ＩＳＯ１５１０６－５に準拠して測定した透湿度が１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下に調整しやすくなる傾向となる。

　これに対し、化合物（Ｅ）または金属塩等の金属化合物と無機リン化合物（ＢＩ）とを予め混合した後に加水分解縮合させた場合には、金属化合物に由来する金属原子と無機リン化合物（ＢＩ）に由来するリン原子とがほぼ均一に混ざり合い反応した複合体が得られる。その場合、赤外吸収スペクトルにおいて、８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収波数が１０８０～１１３０ｃｍ^－１の範囲から外れるようになる。

　層（Ｙ）の赤外吸収スペクトルにおいて、８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収帯の半値幅は、得られる多層構造体のガスバリア性の観点から２００ｃｍ^－１以下が好ましく、１５０ｃｍ^－１以下がより好ましく、１００ｃｍ^－１以下がさらに好ましく、５０ｃｍ^－１以下が特に好ましい。

　層（Ｙ）の赤外吸収スペクトルは、フーリエ変換赤外分光光度計（パーキンエルマー株式会社製Ｓｐｅｃｔｒｕｍ　Ｏｎｅ）を用い、８００～１４００ｃｍ^－１を測定領域として、減衰全反射法で測定できる。ただし、前記方法で測定できない場合には、反射吸収法、外部反射法、減衰全反射法等の反射測定、多層構造体から層（Ｙ）をかきとり、ヌジョール法、錠剤法等の透過測定という方法で測定してもよいが、これらに限定されるものではない。

　また、層（Ｙ）は、反応に関与していない金属酸化物（Ａ）および／または無機リン化合物（ＢＩ）を部分的に含んでいてもよい。

　層（Ｙ）において、金属酸化物（Ａ）を構成する金属原子（Ｍ）と無機リン化合物（ＢＩ）に由来するリン原子とのモル比は、［金属酸化物（Ａ）を構成する金属原子（Ｍ）］：［無機リン化合物（ＢＩ）に由来するリン原子］＝１．０：１．０～３．６：１．０の範囲にあることが好ましく、１．１：１．０～３．０：１．０の範囲にあることがより好ましい。この範囲内では優れたガスバリア性能が得られる。層（Ｙ）における該モル比は、層（Ｙ）を形成するための後述するコーティング液（Ｓ）における金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との混合比率によって調整できる。層（Ｙ）における該モル比は、通常、後述するコーティング液（Ｓ）における比と同じである。

　層（Ｙ）は、有機リン化合物（ＢＯ）及び重合体（Ｆ）からなる群より選ばれる少なくとも１種を含んでいてもよい。層（Ｙ）が、有機リン化合物（ＢＯ）及び重合体（Ｆ）からなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことで、本発明の多層構造体を屈曲した後でも良好なガスバリア性を維持できる傾向となる場合がある。以下、屈曲後もガスバリア性を維持できる性質を「耐屈曲性」と表現する場合がある。

［有機リン化合物（ＢＯ）］
　有機リン化合物（ＢＯ）は、複数のリン原子を有する重合体（ＢＯａ）または有機リン化合物（ＢＯｂ）であることが好ましい。

［複数のリン原子を有する重合体（ＢＯａ）］
　重合体（ＢＯａ）が有するリン原子を含む官能基としては、例えば、リン酸基、亜リン酸基、ホスホン酸基、亜ホスホン酸基、ホスフィン酸基、亜ホスフィン酸基、およびこれらから誘導される官能基（例えば、塩、（部分）エステル化合物、ハロゲン化物（例えば、塩化物）、脱水物）等が挙げられ、中でもリン酸基およびホスホン酸基が好ましく、ホスホン酸基がより好ましい。

　重合体（ＢＯａ）としては、例えば、アクリル酸６－［（２－ホスホノアセチル）オキシ］ヘキシル、メタクリル酸２－ホスホノオキシエチル、メタクリル酸ホスホノメチル、メタクリル酸１１－ホスホノウンデシル、メタクリル酸１，１－ジホスホノエチル等のホスホノ（メタ）アクリル酸エステル類の重合体；ビニルホスホン酸、２－プロペン－１－ホスホン酸、４－ビニルベンジルホスホン酸、４－ビニルフェニルホスホン酸等のビニルホスホン酸類の重合体；ビニルホスフィン酸、４－ビニルベンジルホスフィン酸等のビニルホスフィン酸類の重合体；リン酸化デンプン等が挙げられる。重合体（ＢＯａ）は、少なくとも１種のリン原子を含む官能基を有する単量体の単独重合体であってもよいし、２種以上の単量体の共重合体であってもよい。また、重合体（ＢＯａ）として、単一の単量体からなる重合体を２種以上併用してもよい。中でも、ホスホノ（メタ）アクリル酸エステル類の重合体およびビニルホスホン酸類の重合体が好ましく、ビニルホスホン酸類の重合体がより好ましく、ポリビニルホスホン酸がさらに好ましい。また、重合体（ＢＯａ）は、ビニルホスホン酸ハロゲン化物またはビニルホスホン酸エステル等のビニルホスホン酸誘導体を単独または共重合した後、加水分解することでも得ることができる。

　また、重合体（ＢＯａ）は、少なくとも１種のリン原子を含む官能基を有する単量体と他のビニル単量体との共重合体であってもよい。リン原子を含む官能基を有する単量体と共重合できる他のビニル単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、スチレン、核置換スチレン類、アルキルビニルエーテル類、アルキルビニルエステル類、パーフルオロアルキルビニルエーテル類、パーフルオロアルキルビニルエステル類、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、マレイミド、フェニルマレイミド等が挙げられ、中でも（メタ）アクリル酸エステル類、アクリロニトリル、スチレン、マレイミド、およびフェニルマレイミドが好ましい。

　優れた耐屈曲性を有する多層構造体を得るために、リン原子を含む官能基を有する単量体に由来する構成単位が重合体（ＢＯａ）の全構成単位に占める割合は、１０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、７０モル％以上がさらに好ましく、９０モル％以上が特に好ましく、１００モル％であってもよい。

　重合体（ＢＯａ）の分子量に特に制限はないが、数平均分子量が１０００～１０００００の範囲にあることが好ましい。数平均分子量がこの範囲にあると、本発明の多層構造体の耐屈曲性の改善効果と、後述するコーティング液（Ｓ）を使用する場合にコーティング液（Ｓ）の粘度安定性とを、高いレベルで両立できる。

　多層構造体の層（Ｙ）において、重合体（ＢＯａ）を含む場合、層（Ｙ）における無機リン化合物（ＢＩ）の質量Ｗ_ＢＩと重合体（ＢＯａ）の質量Ｗ_ＢＯａの比Ｗ_ＢＯａ／Ｗ_ＢＩが０．０１／９９．９９≦Ｗ_ＢＯａ／Ｗ_ＢＩ＜６．００／９４．００の関係を満たすものが好ましく、バリア性能に優れる点から、０．１０／９９．９０≦Ｗ_ＢＯａ／Ｗ_ＢＩ＜４．５０／９５．５０の関係を満たすものがより好ましく、０．２０／９９．８０≦Ｗ_ＢＯａ／Ｗ_ＢＩ＜４．００／９６．００の関係を満たすものがさらに好ましく、０．５０／９９．５０≦Ｗ_ＢＯａ／Ｗ_ＢＩ＜３．５０／９６．５０の関係を満たすものが特に好ましい。すなわち、Ｗ_ＢＯａは０．０１以上６．００未満の微量であるのに対して、Ｗ_ＢＩは９４．００より多く９９．９９以下という多量に用いるのが好ましい。なお、層（Ｙ）において無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）が反応している場合でも、反応生成物（Ｄ）を構成する無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）の部分を無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）とみなす。この場合、反応生成物（Ｄ）の形成に用いられた無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）の質量（反応前の無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）の質量）を、層（Ｙ）中の無機リン化合物（ＢＩ）および／または有機リン化合物（ＢＯａ）の質量に含める。

［有機リン化合物（ＢＯｂ）］
　有機リン化合物（ＢＯｂ）は、炭素数３以上２０以下のアルキレン鎖またはポリオキシアルキレン鎖を介して、少なくとも１つの水酸基が結合したリン原子と、極性基とが結合されている。有機リン化合物（ＢＯｂ）は金属酸化物（Ａ）、無機リン化合物（ＢＩ）、およびそれらの反応生成物（Ｄ）と比較して表面自由エネルギーが低く、層（Ｙ）の前駆体形成過程において表面側に偏析する。その結果、本発明の多層構造体の耐屈曲性や、層（Ｙ）と直接積層される層との接着性が向上する場合がある。

　有機リン化合物（ＢＯｂ）の具体例としては、例えば３－ヒドロキシプロピルホスホン酸、４－ヒドロキシブチルホスホン酸、５－ヒドロキシペンチルホスホン酸、６－ヒドロキシヘキシルホスホン酸、７－ヒドロキシヘプシルホスホン酸、８－ヒドロキシオクチルホスホン酸、９－ヒドロキシノニルホスホン酸、１０－ヒドロキシデシルホスホン酸、１１－ヒドロキシウンデシルホスホン酸、１２－ヒドロキシドデシルホスホン酸、１３－ヒドロキシドトリデシルホスホン酸、１４－ヒドロキシテトラデシルホスホン酸、１５－ヒドロキシペンタデシルホスホン酸、１６－ヒドロキシヘキサデシルホスホン酸、１７－ヒドロキシヘプタデシルホスホン酸、１８－ヒドロキシオクタデシルホスホン酸、１９－ヒドロキシノナデシルホスホン酸、２０－ヒドロキシイコシルホスホン酸、３－ヒドロキシプロピルジハイドロジェンホスフェート、４－ヒドロキシブチルジハイドロジェンホスフェート、５－ヒドロキシペンチルジハイドロジェンホスフェート、６－ヒドロキシヘキシルジハイドロジェンホスフェート、７－ヒドロキシヘプシルジハイドロジェンホスフェート、８－ヒドロキシオクチルジハイドロジェンホスフェート、９－ヒドロキシノニルジハイドロジェンホスフェート、１０－ヒドロキシデシルジハイドロジェンホスフェート、１１－ヒドロキシウンデシルジハイドロジェンホスフェート、１２－ヒドロキシドデシルジハイドロジェンホスフェート、１３－ヒドロキシドトリデシルジハイドロジェンホスフェート、１４－ヒドロキシテトラデシルジハイドロジェンホスフェート、１５－ヒドロキシペンタデシルジハイドロジェンホスフェート、１６－ヒドロキシヘキサデシルジハイドロジェンホスフェート、１７－ヒドロキシヘプタデシルジハイドロジェンホスフェート、１８－ヒドロキシオクタデシルジハイドロジェンホスフェート、１９－ヒドロキシノナデシルジハイドロジェンホスフェート、２０－ヒドロキシイコシルジハイドロジェンホスフェート、３－カルボキシプロピルホスホン酸、４－カルボキシブチルホスホン酸、５－カルボキシペンチルホスホン酸、６－カルボキシヘキシルホスホン酸、７－カルボキシヘプシルホスホン酸、８－カルボキシオクチルホスホン酸、９－カルボキシノニルホスホン酸、１０－カルボキシデシルホスホン酸、１１－カルボキシウンデシルホスホン酸、１２－カルボキシドデシルホスホン酸、１３－カルボキシドトリデシルホスホン酸、１４－カルボキシテトラデシルホスホン酸、１５－カルボキシペンタデシルホスホン酸、１６－カルボキシヘキサデシルホスホン酸、１７－カルボキシヘプタデシルホスホン酸、１８－カルボキシオクタデシルホスホン酸、１９－カルボキシノナデシルホスホン酸、２０－カルボキシイコシルホスホン酸等が挙げられる。これらは、１種を単独で使用しても、２種以上を併用してもよい。

　多層構造体の層（Ｙ）において、有機リン化合物（ＢＯｂ）を含む場合、層（Ｙ）における有機リン化合物（ＢＯｂ）のモル数Ｍ_ＢＯｂと無機リン化合物（ＢＩ）のモル数Ｍ_ＢＩとの比Ｍ_ＢＯｂ／Ｍ_ＢＩが１．０×１０^－４≦Ｍ_ＢＯｂ／Ｍ_ＢＩ≦２．０×１０^－２の関係を満たすものが好ましく、３．５×１０^－４≦Ｍ_ＢＯｂ／Ｍ_ＢＩ≦１．０×１０^－２の関係を満たすものがより好ましく、５．０×１０^－４≦Ｍ_ＢＯｂ／Ｍ_ＢＩ≦６．０×１０^－３の関係を満たすものがさらに好ましい。

　層（Ｙ）が有機リン化合物（ＢＯｂ）を含む場合、Ｘ線光電子分光分析法（ＸＰＳ法）により測定される多層構造体の層（Ｙ）の、基材（Ｘ）と接していない側の表面～５ｎｍにおけるＣ／Ａｌ比は０．１～１５．０の範囲にあることが好ましく、０．３～１０．０の範囲にあることがより好ましく、０．５～５．０の範囲にあることが特に好ましい。層（Ｙ）表面のＣ／Ａｌ比が上記範囲にあることで、層（Ｙ）と隣接する層との接着性が向上する場合がある。

　層（Ｙ）の厚みの合計は、０．０５～４．０μｍが好ましく、０．１～２．０μｍがより好ましい。層（Ｙ）を薄くすることで、印刷、ラミネート等の加工時における多層構造体の寸法変化を低く抑えることができる。また、多層構造体の柔軟性が増すため、その力学的特性を基材自体の力学的特性に近づけることもできる。本発明の多層構造体が２層以上の層（Ｙ）を有するため、ガスバリア性の観点から、層（Ｙ）１層当たりの厚みは０．０５μｍ以上が好ましく、耐屈曲性の観点から１．０μｍ以下が好ましい。層（Ｙ）の１層当たりの厚みは、層（Ｙ）の形成に用いられる後述するコーティング液（Ｓ）の濃度またはその塗工方法によって制御できる。層（Ｙ）の厚みは、多層構造体の断面を走査型電子顕微鏡または透過型電子顕微鏡で観察することで測定できる。

［重合体（Ｆ）］
　層（Ｙ）は、カルボニル基、水酸基、カルボキシ基、カルボン酸無水物基、およびカルボキシル基の塩からなる群より選ばれる少なくとも一種の官能基を有する重合体（Ｆ）を含んでいてもよい。重合体（Ｆ）は、水酸基およびカルボキシル基からなる群より選ばれる少なくとも１種の官能基を有する重合体であることが好ましい。層（Ｙ）が重合体（Ｆ）を含むと、耐屈曲性が良好になる場合がある。

　重合体（Ｆ）としては、ポリエチレングリコール；ポリビニルアルコール、炭素数４以下のα－オレフィン単位を１～５０モル％含有する変性ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール（ポリビニルブチラールなど）などのポリビニルアルコール系重合体；セルロース、デンプンなどの多糖類；ポリヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ポリ（メタ）アクリル酸、エチレン－アクリル酸共重合体などの（メタ）アクリル酸系重合体；エチレン－無水マレイン酸共重合体の加水分解物、スチレン－無水マレイン酸共重合体の加水分解物、イソブチレン－無水マレイン酸交互共重合体の加水分解物などのマレイン酸系重合体などが挙げられる。中でも、ポリエチレングリコールまたはポリビニルアルコール系重合体が好ましい。

　重合体（Ｆ）は、重合性基を有する単量体の単独重合体であってもよいし、２種以上の単量体の共重合体であってもよいし、カルボニル基、水酸基、カルボキシル基、カルボン酸無水物基、およびカルボキシル基の塩からなる群より選ばれる少なくとも一種の官能基を有する単量体と該基を有しない単量体との共重合体であってもよい。なお、重合体（Ｆ）として、２種以上の重合体（Ｆ）を混合して用いてもよい。

　重合体（Ｆ）の分子量は特に制限されないが、より優れたガスバリア性および機械的強度を有する多層構造体を得るために、重合体（Ｆ）の重量平均分子量は５０００以上が好ましく、８０００以上がより好ましく、１００００以上がさらに好ましい。重合体（Ｆ）の重量平均分子量の上限は特に限定されず、例えば、１５０００００である。

　多層構造体の外観を良好に保つ観点から、層（Ｙ）における重合体（Ｆ）の含有量は、層（Ｙ）の質量を基準として、５０質量％未満が好ましく、２０質量％以下がより好ましく、１０質量％以下がさらに好ましく、５質量％以下であっても、２質量％以下であっても、０質量％であってもよい。重合体（Ｆ）は、層（Ｙ）中の成分と反応していても、反応していなくてもよい。

　層（Ｙ）は、他の成分をさらに含んでいてもよい。層（Ｙ）に含まれ得る他の成分としては、例えば、炭酸塩、塩酸塩、硝酸塩、炭酸水素塩、硫酸塩、硫酸水素塩、ホウ酸塩等の無機酸金属塩、シュウ酸塩、酢酸塩、酒石酸塩、ステアリン酸塩等の有機酸金属塩、シクロペンタジエニル金属錯体（例えば、チタノセン）、シアノ金属錯体（例えば、プルシアンブルー）等の金属錯体、層状粘土化合物、架橋剤、重合体（ＢＯａ）及び重合体（Ｆ）以外の高分子化合物、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤等が挙げられる。多層構造体中の層（Ｙ）における前記の他の成分の含有率は２０質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、５質量％以下がさらに好ましく、３質量％以下であっても、１質量％以下であっても、０質量％（他の成分を含まない）であってもよい。

　本発明の多層構造体を構成する積層体は有機リン化合物（ＢＯ）及び重合体（Ｆ）からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む層（Ｗ）を、層（Ｙ）の基材（Ｘ）とは反対側の面上に直接積層されていてもよい。層（Ｗ）を備えることで、耐屈曲性が向上したり、後述する接着層（Ｉ）との密着性が向上する場合がある。また、本発明の多層構造体を構成する積層体は、基材（Ｘ）と層（Ｙ）の間に接着層（ＡＣ）を備えていてもよい。接着層（ＡＣ）を備えることで、基材（Ｘ）と層（Ｙ）間の接着性を高めることができる場合がある。

［層（Ｗ）］
　上記積層体が層（Ｗ）を備える場合、層（Ｗ）は層（Ｙ）と直接積層していることが好ましい。層（Ｗ）に含まれ得る有機リン化合物（ＢＯ）及び重合体（Ｆ）の好適な態様は、上述した通りである。

　層（Ｗ）は、他の成分をさらに含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、炭酸塩、塩酸塩、硝酸塩、炭酸水素塩、硫酸塩、硫酸水素塩、ホウ酸塩等の無機酸金属塩、シュウ酸塩、酢酸塩、酒石酸塩、ステアリン酸塩等の有機酸金属塩、シクロペンタジエニル金属錯体（例えば、チタノセン）、シアノ金属錯体（例えば、プルシアンブルー）等の金属錯体、層状粘土化合物、架橋剤、重合体（ＢＯａ）及び重合体（Ｆ）以外の高分子化合物、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤等が挙げられる。層（Ｗ）における前記他の成分の含有率は２０質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、５質量％以下がさらに好ましく、２質量％以下であっても、１質量％以下であっても、０質量％（他の成分を含まない）であってもよい。

　上記積層体が層（Ｗ）を備える場合、その厚さは、本発明の多層構造体の耐屈曲性がより良好になる観点から、０．００５μｍ以上であることが好ましい。層（Ｗ）の厚さの上限は特に限定されないが、１．０μｍ以上では耐屈曲性の改善効果は飽和に達するため、層（Ｗ）の厚さの上限を１．０μｍとすることが経済的に好ましい。

［接着層ＡＣ］
　接着層（ＡＣ）を構成する接着剤としては、基材（Ｘ）と層（Ｙ）との接着性を有していれば特に限定されないが、ポリウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤等が挙げられる。これらの接着剤に、公知のシランカップリング剤等の少量の添加剤を加えることによって、さらに接着性を高めることができる場合がある。シランカップリング剤としては、例えば、イソシアネート基、エポキシ基、アミノ基、ウレイド基、メルカプト基等の反応性基を有するシランカップリング剤が挙げられる。

　ポリウレタン系接着剤としては、公知のものを使用することができるが、ポリイソシアネート成分とポリオール成分とを混合し反応させる２液型ポリウレタン系接着剤を用いることが好ましい。２液型ポリウレタン系接着剤としては、市販品を用いることができ、例えば、三井化学株式会社製のタケラック（登録商標）、タケネート（登録商標）等が挙げられる。

　ポリエステル系接着剤としては、公知のものを使用することができ、市販品としては、例えば、エリーテル（登録商標）ＫＴ－０５０７、ＫＴ－８７０１、ＫＴ－８８０３、ＫＴ－９２０４、ＫＡ－５０３４、ＫＡ－３５５６、ＫＡ－１４４９、ＫＡ－５０７１Ｓ、ＫＺＡ－１４４９Ｓ、（以上、ユニチカ株式会社製）、バイロナール（登録商標）ＭＤ－１２００、バイロナールＭＤ－１４８０（以上、東洋紡績株式会社製）、ペスレジンＡ１２４ＧＰ、ペスレジンＡ６８４Ｇ（高松油脂株式会社製）等が挙げられる。ポリエステル系接着剤に対し、ビニルアルコール系樹脂、特にポリビニルアルコールを添加することで、より接着性を高められる場合がある。ビニルアルコール系樹脂とポリエステル系樹脂を同時に用いる場合、その質量比（ビニルアルコール系樹脂／ポリエステル系樹脂）は１／９９以上５０／５０以下であることが、良好な接着性を維持しつつ、より高い剥離強度を示す観点から好ましい。ポリエステル系樹脂は、ビニルアルコール系樹脂との親和性の観点からカルボキシル基を有するポリエステル系樹脂であることが好ましい。また、接着剤として使用する際は、ポリエステル系樹脂が水性分散体であることが好ましい。ポリエステル系樹脂が水性分散体であることで、ポリビニルアルコール系樹脂との親和性が、より良好になる傾向となる。接着層（ＡＣ）の厚みは０．００１～１０．０μｍが好ましく、０．０１～５．０μｍがより好ましい。

［積層体］
　本発明の多層構造体を構成する積層体は、基材（Ｘ）及び基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える。層（Ｙ）は、基材（Ｘ）の両面に配置されていれば、基材（Ｘ）と直接積層されていても、他の層を介して積層されていてもよいが、本発明の多層構造体の封止材との剥離強度を良好に発揮する観点からは、層（Ｙ）が基材（Ｘ）の両面に直接積層されているか、または、層（Ｙ）が接着層（ＡＣ）を介して基材（Ｘ）の両面に積層されていることが好ましい。また、上記積層体は、層（Ｙ）の表出面側に、層（Ｗ）を直接積層してもよい。層（Ｙ）の表出面側に層（Ｗ）を備えると、本発明の多層構造体の耐屈曲性を高めたり、後述する接着層（Ｉ）との接着性を高められる場合がある。

　上記積層体の具体例を以下に示すが、各具体例は複数組み合わされた構成、例えば、（１）の構成を接着層（Ｉ）を介して積層した構成（層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ）／接着層（Ｉ）／層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ））であってもよいし、各層は複数層設けられていてもよい。ここで、「／」とは、直接積層していることを意味し、「／／」とは、直接積層しているか、または、接着層（ＡＣ）を介して積層されていることを意味する。
（１）層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ）
（２）層（Ｗ）／層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ）／層（Ｗ）
（３）層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ）／／基材（Ｘ）／／層（Ｙ）

　上記積層体は、１６０℃で３０分間加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率ＴＳが小さくなる傾向となる。この理由は定かではないが、下記２つの理由があると推定している。（１）熱可塑性樹脂等と比べると低い熱収縮率を有する層（Ｙ）を備えるため。（２）後述の製造方法で説明する通り、上記積層体の製造に際する高温での熱処理により熱収縮が起こるため、これにより得られる積層体の熱収縮率が小さくなるため。上記積層体のＭＤ方向の１６０℃で３０分加熱した際の熱収縮率ＴＳは１．０％以下が好ましく、０．７０％以下がより好ましく、０．５０％以下がさらに好ましく、０．４０％以下が特に好ましい。熱収縮率ＴＳが１．０％以下であると、本発明の多層構造体の剥離強度、特に湿熱処理後の剥離強度を高めることができる傾向となる。また、基材（Ｘ）が薄いと、熱収縮率ＴＳが大きくなる傾向にある。熱収縮率ＴＳは、０．０５％以上であってもよい。

［層（Ｚ）］
　本発明の多層構造体は、前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された、熱可塑性樹脂を主成分とする層（Ｚ）を備え、両面に備えられる層（Ｚ）はそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。ここで、「主成分とする」とは、層（Ｚ）に占める熱可塑性樹脂の割合が５０質量％を超えることを意味する。本発明の多層構造体は、層（Ｚ）を備えることで、封止材との剥離強度を高めることができ、さらに、層（Ｚ）の厚みを５μｍ以上１００μｍ以下とすることで、本発明の多層構造体の柔軟性を高めることができる。層（Ｚ）を構成する熱可塑性樹脂は特に限定されないが、層（Ｚ）は封止材との剥離強度が高い熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。封止材との剥離強度が高い熱可塑性樹脂としては、封止材の種類によって異なるため、特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状オレフィン共重合体等のポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレートあるいはこれらの共重合体等のポリエステル系樹脂；ナイロン－６、ナイロン－６６、ナイロン－１２等のポリアミド系樹脂；ポリビニルアルコール、エチレン－ビニルアルコール共重合体等の水酸基含有ポリマー；ポリスチレン；ポリ（メタ）アクリル酸エステル；ポリアクリロニトリル；ポリ酢酸ビニル；ポリカーボネート；ポリアリレート；再生セルロース；ポリイミド；ポリエーテルイミド；ポリスルフォン；ポリエーテルスルフォン；ポリエーテルエーテルケトン；アイオノマー樹脂等が挙げられる。層（Ｚ）に用いられる熱可塑性樹脂としては、透明性の観点から、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ナイロン－６、およびナイロン－６６からなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましく、封止材としてエチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）を用いた場合に良好な剥離強度を発揮できる観点からはポリエチレンテレフタレートがより好ましい。

　熱可塑性樹脂が層（Ｚ）を占める割合は５０質量％超であり、７０質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましく、９５質量％以上がさらに好ましく、層（Ｚ）は実質的に熱可塑性樹脂のみから構成されていてもよく、層（Ｚ）は熱可塑性樹脂のみから構成されていてもよい。

　層（Ｚ）は、フィルム形状であることが好ましい。層（Ｚ）は延伸フィルムであってもよいし無延伸フィルムであってもよい。得られる多層構造体の加工適性（印刷やラミネート等）が優れることから、延伸フィルム、特に二軸延伸フィルムが好ましい。二軸延伸フィルムは、同時二軸延伸法、逐次二軸延伸法、およびチューブラ延伸法のいずれかの方法で製造された二軸延伸フィルムであってもよい。

　層（Ｚ）の１層当たりの厚みは５μｍ以上であり、７μｍ以上が好ましく、１０μｍ以上がより好ましい。また、層（Ｚ）の１層当たりの厚みは１００μｍ以下であり、８０μｍ以下が好ましく、６０μｍ以下がより好ましく、４０μｍ以下がさらに好ましく、３０μｍ以下が好ましい場合もある。層（Ｚ）の１層当たりの厚みが５μｍ未満であると、得られる多層構造体の機械的強度、加工性および剥離強度が悪化する傾向がある。一方、層（Ｚ）の１層当たりの厚みが１００μｍを超えると、得られる多層構造体の柔軟性が悪化する傾向がある。

　層（Ｚ）においては、１６０℃で３０分間加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率ＴＳ_ｚは０．５０％以上が好ましく、０．８０％以上がより好ましく、０．９０％以上がさらに好ましい。ＴＳ_ｚが０．５０％以上であると、封止材との接着性が高まる傾向となる。また、熱収縮率ＴＳ_ｚは４．０％以下であっても、３．０％以下であっても、２．０％以下であってもよく、１．４％以下であってもよい。なお、層（Ｚ）が薄いと、熱収縮率ＴＳ_ｚが大きくなる傾向にある。本発明の多層構造体を形成する積層体の熱収縮率ＴＳが低い場合、熱収縮率ＴＳ_ｚが高い値であっても、本発明の多層構造体の湿熱処理後の剥離強度が維持できる傾向となる。

［接着層（Ｉ）］
　本発明の多層構造体は、上記積層体と層（Ｚ）との間に接着層（Ｉ）を備える、上記積層体の両面に備えられる接着層（Ｉ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。本発明の多層構造体は、上記積層体と層（Ｚ）との間に接着層（Ｉ）を備えることで、上記積層体と層（Ｚ）との接着性を高めることができるため、封止材との剥離強度を十分に発揮できる傾向となる。接着層（Ｉ）は、加熱等の硬化、光等の硬化等透明で、接着力が強いものであればよく、例えば、イソシアネート等の硬化、加熱等の硬化、光等の硬化等を用いて接着する接着剤、または粘着剤等を使用してもよい。接着層（Ｉ）を構成する接着剤としては、上記積層体と層（Ｚ）との接着性を有していれば特に限定されないが、ウレタン系接着剤、エステル系接着剤、アクリル系接着剤等を用いることができる。中でも、ウレタン系接着剤が好ましく、ポリイソシアネート成分とポリオール成分とを混合し反応させる２液反応型ポリウレタン系接着剤がより好ましい。

　接着層（Ｉ）の１層当たりの厚みは０．５μｍ～２０μｍが好ましく、０．５μｍ～１５μｍがより好ましく、１μｍ～１０μｍがさらに好ましい。接着層（Ｉ）の１層当たりの厚みが０．５μｍ以上であると接着性が向上する傾向があり、２０μｍ以下であると得られる多層構造体の柔軟性が向上する傾向となる。

［易接着層（ＥＡ）］
　本発明の多層構造体は、封止材との剥離強度を高める観点から、層（Ｚ）の少なくとも一方の表出面側に易接着層（ＥＡ）が積層されていることが好ましく、両方の層（Ｚ）の表出面側に易接着層（ＥＡ）を備えていることがより好ましい。ここで、「易接着層」とは、封止材との剥離強度を高める層を意味する。層（Ｚ）の「表出面」とは、層（Ｚ）が有する２つの面において、積層体が位置する側の面とは反対側の面であり、易接着層が設けられていない場合に露出する面である。易接着層（ＥＡ）が積層されていることで、高温高湿下でも層間剥離強度を維持できる傾向となる。例えば、本発明の多層構造体を太陽電池保護シートに用いることによって、高温高湿度環境に長時間曝されても出力低下の小さい太陽電池モジュールを提供できる。

　易接着層（ＥＡ）としては、特に限定されず、例えば、アクリル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂を含むことができる。中でも、アクリル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂及びポリウレタン系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、アクリル系樹脂を含むことがより好ましい。

　易接着層（ＥＡ）を設ける方法の一態様としては、架橋性主剤樹脂、架橋剤等及び溶剤（有機系媒体を主溶剤とするか、または、水性媒体を主溶剤とする）を含有する接着剤を層（Ｚ）上に設け、乾燥することにより作製する方法が挙げられ、かかる接着剤としては、公知のものを使用することができ、市販品としては、例えば、ダイナレオ（登録商標）（トーヨーケム株式会社製）、アローベース（登録商標）ＳＤ－１２００、ＳＢ－１２００、ＳＥ－１２００（以上、ユニチカ株式会社製）、ペスレジンＡ１２４ＧＰ、ペスレジンＡ６８４Ｇ（高松油脂株式会社製）等が挙げられる。

　易接着層（ＥＡ）がアクリル系樹脂を含む場合、アクリル系樹脂の数平均分子量は１７，０００～２５０，０００であることが好ましい。数平均分子量が上記範囲にあることで、封止材との剥離強度および耐湿熱性が良好となる傾向がある。

　本発明の易接着層（ＥＡ）は、無機粒子や有機粒子を含んでいてもよい。これらの粒子を含むことにより、接着耐久性が向上する場合がある。無機粒子としては、金属のケイ酸塩もしくは炭酸塩があげられる。具体的には、マグネシウム、アルミニウム、カルシウム、バリウム、亜鉛、鉄、リチウム、チタンなどの金属のケイ酸塩や炭酸塩が挙げられる。有機粒子としては、融点もしくは軟化点が１５０℃以上のものを好ましく用いることができる。有機系粒子の融点もしくは軟化点が１５０℃よりも低いと、真空ラミネート工程で粒子が軟化し、封止材との接着を妨げる恐れがある。有機系粒子の具体例としては、ポリメチルメタアクリレート樹脂、ポリスチレン樹脂、ナイロン（登録商標）樹脂、メラミン樹脂、グアナミン樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、シリコン樹脂、メタクリレート樹脂、アクリレート樹脂などのポリマー粒子、あるいは、セルロースパウダー、ニトロセルロースパウダー、木粉、古紙粉、籾殻粉、澱粉などが挙げられる。無機粒子や有機粒子は、１種類を用いてもよいし、２種類以上を併用して用いてもよい。また、易接着層（ＥＡ）は、本発明の効果を阻害しない範囲で耐候性を高める添加剤（酸化防止剤、紫外線安定剤、金属不活性化剤等）を含んでいてもよい。

　易接着層（ＥＡ）の１層当たりの厚みは０．０１～１０μｍが好ましく、０．０５～８μｍがより好ましく、０．０５～５μｍがさらに好ましい。易接着層（ＥＡ）の１層当たりの厚みが上記範囲であることで、封止材との剥離強度および得られる多層構造体の柔軟性が良好となる傾向がある。

　易接着層（ＥＡ）を複数層備える場合、易接着層（ＥＡ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。

　本発明の多層構造体は、基材（Ｘ）ではない配置で無機蒸着層を含んでもよい。無機蒸着層の好適な態様は前述した無機蒸着層（Ｘ’）の好適な態様と同様である。

　本発明の多層構造体の厚み（全層の厚みの合計）は１５μｍ以上であり、１７μｍ以上が好ましく、２０μｍ以上がさらに好ましく、３０μｍ以上が特に好ましい。また、本発明の多層構造体の厚みは１２０μｍ以下であり、１１０μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下がさらに好ましく、９０μｍ以下が特に好ましい。厚みが１５μｍ以上であると機械的強度が良好になるとともに、多層構造体作製時の加工性が良好になる傾向がある。また、厚みが１２０μｍ以下であると多層構造体の柔軟性が良好になる傾向がある。

　１６０℃で３０分間加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率において、積層体の熱収縮率ＴＳに対する層（Ｚ）の熱収縮率ＴＳ_Ｚの比（ＴＳ_Ｚ／ＴＳ）が２以上であることが好ましく、２．５以上であることがより好ましく、３．０以上であることがさらに好ましく、３．５以上、４．０以上又は４．５以上であることがよりさらに好ましい場合もある。前記比（ＴＳ_Ｚ／ＴＳ）が２以上であることで、多層構造体の寸法安定性と封止材との剥離強度が良好になる傾向がある。この理由は定かではないが、ＴＳが低いことで多層構造体の寸法安定性が良好となり、ＴＳ_Ｚが高いことで収縮時に多層構造体と封止材との界面におけるアンカー効果が向上することにより、剥離強度が向上すると推定している。前記比（ＴＳ_ｚ／ＴＳ）は、２０以下であっても、１０以下であってもよい。

　本発明の多層構造体の４０℃９０％ＲＨにて測定した透湿度は１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下であり、８．０×１０^－３ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下が好ましく、５．０×１０^－３ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下がより好ましい。透湿度はＩＳＯ１５１０６－５：２０１５に準拠して、ＴＥＣＨＮＯＬＯＸ社製ＤＥＬＴＡＰＥＲＭにて測定することができる。上記透湿度は、１．０×１０^－５ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以上であっても、１．０×１０^－４ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以上であっても、５．０×１０^－４ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以上であってもよい。上記透湿度を１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下とする手段としては、例えば、層（Ｙ）を少なくとも２層設けること、層（Ｙ）の赤外吸収スペクトルにおいて８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収波数を１０８０～１１３０ｃｍ^－１の範囲となるようにすること、透湿度が低い層を設けること等が挙げられる。

　本発明の多層構造体は、後述する通り電子デバイス等の封止材と直接積層していることが好ましい。本発明の多層構造体の実施例に記載される剥離強度試験において測定される湿熱処理前の剥離強度は１０００ｇｆ／１５ｍｍ以上が好ましく、２０００ｇｆ／１５ｍｍ以上がより好ましく、３０００ｇｆ／１５ｍｍ以上がさらに好ましい。また、湿熱処理後の剥離強度は、３００ｇｆ／１５ｍｍ以上が好ましく、１５００ｇｆ／１５ｍｍ以上がより好ましく、２０００ｇｆ／１５ｍｍ以上がさらに好ましく、２５００ｇｆ／１５ｍｍ以上が特に好ましい。なお、湿熱処理前の剥離強度は６０００ｇｆ／１５ｍｍ以下であってもよい。また、湿熱処理後の剥離強度は５０００ｇｆ／１５ｍｍ以下であってもよい。

［多層構造体の構成］
　本発明の多層構造体は、基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える積層体を有しており、前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された層（Ｚ）を備えており、全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下であれば特に限定されず、他の層を備えていてもよく、基材（Ｘ）、層（Ｙ）接着層（Ｉ）及び層（Ｚ）のみからなってもよく、基材（Ｘ）、層（Ｙ）、層（Ｗ）、接着層（Ｉ）及び層（Ｚ）のみからなってもよい。本発明の多層構造体の構成の具体例を以下に示すが、それぞれの具体例は複数組み合わされた構成であってもよい。ここで、「／」とは、直接積層していることを意味する。なお、積層体の好適な態様は上述の通りである。
（１）層（Ｚ）／接着層（Ｉ）／積層体／接着層（Ｉ）／層（Ｚ）、
（２）易接着層（ＥＡ）／層（Ｚ）／接着層（Ｉ）／積層体／接着層（Ｉ）／層（Ｚ）／易接着層（ＥＡ）

［多層構造体の製造方法］
　本発明の多層構造体について説明した事項は本発明の製造方法に適用できるため、重複する説明を省略する場合がある。また、本発明の製造方法について説明した事項は、本発明の多層構造体に適用できる。

　本発明の多層構造体の製造方法としては、例えば、金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）と溶媒とを含むコーティング液（Ｓ）を基材（Ｘ）の両面に塗工し、溶媒を除去することで層（Ｙ）の前駆体層を形成する工程（Ｉ）と、層（Ｙ）の前駆体層を熱処理して層（Ｙ）を形成する工程（ＩＩ）と、工程（ＩＩ）を経て得られた積層体を、接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）と積層させる工程（ＩＩＩ）とを含む製造方法が挙げられる。また、易接着層（ＥＡ）を備える多層構造体を製造する場合、層（Ｚ）の表面上に易接着層（ＥＡ）を積層させる工程（ＩＶ）を含んでいてもよい。さらに、有機リン化合物（ＢＯ）または重合体（Ｆ）を含む多層構造体を製造する場合、工程（Ｉ）に用いるコーティング液（Ｓ）に有機リン化合物（ＢＯ）または重合体（Ｆ）を含ませてもよく、有機リン化合物（ＢＯ）または重合体（Ｆ）を含むコーティング液（Ｔ）を用意し、工程（Ｉ）で得られた層（Ｙ）の前駆体層表面または工程（ＩＩ）で得られる層（Ｙ）表面に塗工する工程（ＩＶ）を含んでいてもよい。なお、基材（Ｘ）と層（Ｙ）との間に接着層（ＡＣ）を設ける場合、工程（Ｉ）の前に基材（Ｘ）上に接着層（ＡＣ）を設ける工程を含んでいてもよい。

［工程（Ｉ）］
　工程（Ｉ）では、金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）と溶媒とを含むコーティング液（Ｓ）を基材（Ｘ）上に塗工した後、溶媒を除去し層（Ｙ）の前駆体層を形成する。コーティング液（Ｓ）は、金属酸化物（Ａ）、無機リン化合物（ＢＩ）および溶媒を混合することで得られる。

　コーティング液（Ｓ）を調整する具体的手段としては、金属酸化物（Ａ）の分散液と、無機リン化合物（ＢＩ）を含む溶液とを混合する方法；金属酸化物（Ａ）の分散液に無機リン化合物（ＢＩ）を添加し、混合する方法等が挙げられる。これらの混合時の温度は、５０℃以下が好ましく、３０℃以下がより好ましく、２０℃以下がさらに好ましい。コーティング液（Ｓ）は、他の化合物（例えば、有機リン化合物（ＢＯ）や重合体（Ｆ））を含んでいてもよく、必要に応じて、酢酸、塩酸、硝酸、トリフルオロ酢酸、およびトリクロロ酢酸からなる群から選ばれる少なくとも１種の酸化合物（Ｑ）を含んでいてもよい。

　金属酸化物（Ａ）の分散液は、例えば、公知のゾルゲル法で採用されている手法に従い、例えば、化合物（Ｅ）、水、および必要に応じて酸触媒や有機溶媒を混合し、化合物（Ｅ）を縮合または加水分解縮合することによって調製できる。化合物（Ｅ）を縮合または加水分解縮合することによって金属酸化物（Ａ）の分散液を得た場合、必要に応じて、得られた分散液に対して特定の処理（前記酸化合物（Ｑ）の存在下の解膠等）を行ってもよい。金属酸化物（Ａ）の分散液の調製に使用する溶媒は特に限定されないが、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類；水；またはこれらの混合溶媒が好ましい。

　無機リン化合物（ＢＩ）を含む溶液に用いる溶媒としては、無機リン化合物（ＢＩ）の種類に応じて適宜選択すればよいが、水を含むことが好ましい。無機リン化合物（ＢＩ）の溶解の妨げにならない限り、溶媒は有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類）を含んでいてもよい。

　コーティング液（Ｓ）の固形分濃度は、該コーティング液の保存安定性および基材に対する塗工性の観点から１～２０質量％が好ましく、２～１５質量％がより好ましく、３～１０質量％がさらに好ましい。前記固形分濃度は、例えば、コーティング液（Ｓ）の溶媒留去後に残存した固形分の質量を、処理に供したコーティング液（Ｓ）の質量で除して算出できる。

　コーティング液（Ｓ）は、ブルックフィールド型回転粘度計（ＳＢ型粘度計：ローターＮｏ．３、回転速度６０ｒｐｍ）で測定された粘度が、塗工時の温度において３０００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましく、２５００ｍＰａ・ｓ以下であることがより好ましく、２０００ｍＰａ・ｓ以下であることがさらに好ましい。当該粘度が３０００ｍＰａ・ｓ以下であることによって、コーティング液（Ｓ）のレベリング性が向上し、外観により優れる多層構造体を得ることができる。また、コーティング液（Ｓ）の粘度としては、５０ｍＰａ・ｓ以上が好ましく、１００ｍＰａ・ｓ以上がより好ましく、２００ｍＰａ・ｓ以上がさらに好ましい。

　コーティング液（Ｓ）において、アルミニウム原子とリン原子とのモル比は、アルミニウム原子：リン原子＝１．０：１．０～３．６：１．０の範囲にあることが好ましく、１．１：１．０～３．０：１．０の範囲にあることがより好ましく、１．１１：１．００～１．５０：１．００の範囲にあることが特に好ましい。アルミニウム原子とリン原子とのモル比は、コーティング液（Ｓ）の乾固物の蛍光Ｘ線分析を行い、算出できる。

　コーティング液（Ｓ）の塗工方法は、特に限定されず、公知の方法を採用できる。塗工方法としては、例えば、キャスト法、ディッピング法、ロールコーティング法、グラビアコート法、スクリーン印刷法、リバースコート法、スプレーコート法、キスコート法、ダイコート法、メタリングバーコート法、チャンバードクター併用コート法、カーテンコート法、バーコート法等が挙げられる。

　コーティング液（Ｓ）塗工後の溶媒の除去方法（乾燥処理）に特に制限はなく、公知の乾燥方法を適用できる。乾燥方法としては、例えば、熱風乾燥法、熱ロール接触法、赤外線加熱法、マイクロ波加熱法等が挙げられる。

　乾燥温度は、基材（Ｘ）の流動開始温度より低いことが好ましい。コーティング液（Ｓ）の塗工後の乾燥温度は、例えば、６０～１８０℃程度であってもよく、６０℃以上１４０℃未満がより好ましく、７０℃以上１３０℃未満がさらに好ましく、８０℃以上１２０℃未満が特に好ましい。乾燥時間は、特に限定されないが、１秒以上１時間未満が好ましく、５秒以上１５分未満がより好ましく、５秒以上３００秒未満がさらに好ましい。特に、乾燥温度が１００℃以上の場合（例えば、１００～１４０℃）は、乾燥時間は１秒以上４分未満が好ましく、５秒以上４分未満がより好ましく、５秒以上３分未満がさらに好ましい。乾燥温度が１００℃を下回る場合は（例えば、６０～９９℃）、乾燥時間は３分以上１時間未満が好ましく、６分以上３０分未満がより好ましく、８分以上２５分未満がさらに好ましい。コーティング液（Ｓ）の乾燥処理条件が上記範囲にあると、より良好なガスバリア性を有する多層構造体が得られる傾向となる。上記乾燥を経て溶媒が除去されることで、層（Ｙ）の前駆体層が形成される。

　基材（Ｘ）の両面に層（Ｙ）を積層するために、コーティング液（Ｓ）を基材（Ｘ）の一方の面に塗布した後、溶媒を除去することによって第１の層（第１の層（Ｙ）の前駆体層）を形成し、次いで、コーティング液（Ｓ）を基材（Ｘ）の他方の面に塗布した後、溶媒を除去することによって第２の層（第２の層（Ｙ）の前駆体層）を形成することができる。それぞれの面に塗布するコーティング液（Ｓ）の組成は同一であってもよいし、異なってもよい。基材（Ｘ）の両面に一度にコーティング液（Ｓ）を塗工し、溶媒を除去することによって、２つの層（Ｙ）の前駆体層を同時に形成してもよい。

［工程（ＩＩ）］
　工程（ＩＩ）では、工程（ＩＩ）で形成された層（Ｙ）の前駆体層を熱処理して層（Ｙ）を形成する。工程（ＩＩ）では、反応生成物（Ｄ）が生成する反応が進行する。該反応を充分に進行させるため、熱処理の温度は１４０℃以上が好ましく、１７０℃以上がより好ましく、１８０℃以上がさらに好ましく、１９０℃以上が特に好ましい。熱処理温度が低いと、充分な反応率を得るのにかかる時間が長くなり、生産性が低下する原因となる。熱処理の温度は、基材（Ｘ）の種類等によって異なるが、例えば、ポリアミド系樹脂からなる熱可塑性樹脂フィルムを基材（Ｘ）として用いる場合には、熱処理の温度は２７０℃以下が好ましい。また、ポリエステル系樹脂からなる熱可塑性樹脂フィルムを基材（Ｘ）として用いる場合には、熱処理の温度は２４０℃以下が好ましい。熱処理は、空気雰囲気下、窒素雰囲気下、アルゴン雰囲気下等で実施してもよい。熱処理時間は、１秒～１時間が好ましく、１秒～１５分がより好ましく、５～３００秒がさらに好ましい。

　工程（ＩＩ）は、第１熱処理工程（ＩＩ－１）と第２熱処理工程（ＩＩ－２）を含むことが好ましい。熱処理を２段階以上で行う場合、２段階目の熱処理（以下、第２熱処理）の温度は、１段階目の熱処理（以下、第１熱処理）の温度より高いことが好ましく、第１熱処理の温度より１５℃以上高いことがより好ましく、２０℃以上高いことがさらに好ましく、３０℃以上高いことが特に好ましい。

　また、工程（ＩＩ）の熱処理温度（２段階以上の熱処理の場合は、第１熱処理温度）は、良好な特性を有する多層構造体が得られる点から、工程（Ｉ）の乾燥温度より高いことが好ましく、３０℃以上高いことが好ましく、５０℃以上高いことがより好ましく、５５℃以上高いことがさらに好ましく、６０℃以上高いことが特に好ましい。

　工程（ＩＩ）の熱処理を２段階以上で行う場合、第１熱処理の温度が１４０℃以上２００℃未満であることが好ましく、かつ第２熱処理の温度が１８０℃以上２７０℃以下であることがより好ましく、第２熱処理の温度は第１熱処理温度よりも高いことが好ましく、１５℃以上高いことがより好ましく、２５℃以上高いことがさらに好ましい。特に、熱処理温度が２００℃以上の場合、熱処理時間は０．１秒～１０分が好ましく、０．５秒～１５分がより好ましく、１秒～３分がさらに好ましい。熱処理温度が２００℃を下回る場合は、熱処理時間は１秒～１５分が好ましく、５秒～１０分がより好ましく、１０秒～５分がさらに好ましい。

［工程（ＩＩＩ）］
　工程（ＩＩＩ）では、工程（ＩＩ）を経て得られた積層体を、接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）と積層させる。積層体を、接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）と積層させる方法は公知の方法で行うことができる。例えば層（Ｚ）または積層体上に２液型接着剤を塗工して溶媒の除去し接着層（Ｉ）を形成した後に、公知の方法によりラミネートすることで積層させることができる。

　積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）を積層させるために、例えば層（Ｚ）上に２液型接着剤を塗工して溶媒の除去し、公知の方法によりラミネートした後、もう一つの層（Ｚ）上に２液型接着剤を塗工して溶媒の除去し、公知の方法により積層体の他の面にラミネートすることにより積層させることができる。それぞれの面に塗布する接着剤の組成は同一であってもよいし、異なってもよい。２つの接着層（Ｉ）を同時に積層させてもよく、２つの層（Ｚ）を同時に積層させてもよい。

　［工程（ＩＶ）］
　本発明の多層構造体が易接着層（ＥＡ）を有する場合、工程（ＩＩＩ）の前または後に工程（ＩＶ）が行われる。工程（ＩＶ）では、層（Ｚ）上にコーティング液（Ｔ）を塗布した後、溶媒を除去することにより易接着層（ＥＡ）を形成する。コーティング液（Ｔ）は市販の部材（例えば接着剤等）をそのまま用いてもよいし、溶媒と混合してもよい。

　コーティング液（Ｔ）に用いられる部材としては、上述した易接着層（ＥＡ）に例示される接着剤を好適に用いることができる。コーティング液（Ｔ）に用いられる溶媒は特に限定されず、その主成分により適宜選択すればよい。主成分が有機溶剤への溶解性が高い場合は酢酸エチル、酢酸ブチル、トルエン、メチルエチルケトン、メタノール、エタノール等の有機溶剤が使用可能である。また、主成分が水溶性あるいは水分散性の場合、水、または、水／アルコール混合溶媒等が使用可能である。これらの溶媒は単独で使用してもよいし、２種以上を混合してもよい。

　コーティング液（Ｔ）における固形分濃度は、溶液の保存安定性や塗工性の観点から、０．０１～６０質量％が好ましく、０．１～５０質量％がより好ましく、０．２～４０質量％がさらに好ましい。固形分濃度は、コーティング液（Ｓ）に関して記載した方法と同様の方法によって求めることができる。

　コーティング液（Ｓ）の塗工と同様に、コーティング液（Ｔ）を塗工する方法は特に限定されず、公知の方法を採用できる。

　工程（ＩＶ）におけるコーティング液（Ｔ）塗工後の溶媒の除去方法（乾燥処理）の条件は、工程（Ｉ）におけるコーティング液（Ｓ）塗工後の乾燥処理条件と同様の方法を適用できる。

　工程（ＩＶ）は工程（ＩＩＩ）の前に行われても、後に行われてもよい。工程（ＩＶ）が工程（ＩＩＩ）の前に行われる場合は、あらかじめ層（Ｚ）上に易接着層（ＥＡ）を積層した後に層（Ｚ）の易接着層（ＥＡ）が積層されていない面が接着層（Ｉ）と接するように工程（ＩＩＩ）を行う。工程（ＩＶ）が工程（ＩＩＩ）の後に行われる場合は層（Ｚ）の表出面上に易接着層（ＥＡ）が積層されるように工程（ＩＶ）を行う。

［工程（Ｖ）］
　前記製造方法において有機リン化合物（ＢＯ）、重合体（Ｆ）および／またはその他成分を用いる場合、有機リン化合物（ＢＯ）、重合体（Ｆ）および／またはその他成分並びに溶媒を混合することによって得たコーティング液（Ｕ）を工程（Ｉ）で得た層（Ｙ）の前駆体層、工程（ＩＩ）で得た層（Ｙ）または工程（ＩＩ－１）後の層（Ｙ）の前駆体層上に塗工し、乾燥処理を経る工程（Ｖ）を有してもよい。工程（Ｖ）を工程（ＩＩ－１）の後に行う場合は、工程（Ｖ）の乾燥処理後に工程（ＩＩ－２）を行うことが好ましい。

　コーティング液（Ｕ）に用いられる溶媒は、有機リン化合物（ＢＯ）、重合体（Ｆ）および／またはその他成分の種類に応じて適宜選択すればよいが、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類；水；またはそれらの混合溶媒であることが好ましい。

　コーティング液（Ｕ）における固形分濃度は、溶液の保存安定性や塗工性の観点から、０．０１～６０質量％が好ましく、０．１～５０質量％がより好ましく、０．２～４０質量％がさらに好ましい。固形分濃度は、コーティング液（Ｓ）に関して記載した方法と同様の方法によって求めることができる。

　コーティング液（Ｓ）の塗工と同様に、コーティング液（Ｕ）を塗工する方法は特に限定されず、公知の方法を採用できる。

　工程（Ｖ）におけるコーティング液（Ｕ）塗工後の溶媒の除去方法（乾燥処理）の条件は、工程（Ｉ）におけるコーティング液（Ｓ）塗工後の乾燥処理条件と同様の方法を適用できる。

［電子デバイス］
　本発明の多層構造体を用いた電子デバイスは、電子デバイス本体と、電子デバイス本体の表面を保護する保護シートとを備える。本発明の電子デバイスの保護シートは、本発明の多層構造体を含む。本発明の電子デバイスの保護シートは、本発明の多層構造体のみによって構成されていてもよいし、本発明の多層構造体と他の部材とによって構成されてもよい。

　本発明の電子デバイスは、光電変換装置、情報表示装置、または照明装置であってもよい。光電変換装置の例には、各種の太陽電池、およびその他の光電変換装置が含まれる。情報表示装置の例には、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、プラズマディスプレイ、電子ペーパー、およびその他の情報表示装置が含まれる。照明装置の例には、ＬＥＤ照明、有機ＥＬ照明、およびその他の照明装置が含まれる。

　本発明の電子デバイスは、フレキシブルな電子デバイスとして特に好ましく用いることができる。ここで、フレキシブルな電子デバイスとは、柔軟性を有する電子デバイスを意味し、屈曲させても機能を維持できる電子デバイスのことをいう。フレキシブルな電子デバイスであるかどうかは、例えば、実施例記載のように、シート状の電子デバイスを内径７ｃｍのロール状となるように丸めた際に、層間剥離や折れが生じるかどうかで判断できる。

　多層構造体を含む保護シートは、ガスバリア性および水蒸気バリア性に優れる。また、前記保護シートは、高い透明性を有する。そのため、多層構造体を含む保護シートを用いることによって、過酷な環境下でも劣化が少なく光の透過性が高い電子デバイスが得られる。

　多層構造体は、ＬＣＤ用基板フィルム、有機ＥＬ用基板フィルム、電子ペーパー用基板フィルム等基板フィルムと称されるフィルムとしても使用できる。その場合、多層構造体は、基板と保護シートとを兼ねてもよい。また、保護シートの保護対象となる電子デバイスは、前記した例示に限定されず、例えば、ＩＣタグ、光通信用デバイス、燃料電池等であってもよい。

　保護シートは、多層構造体の一方の表面に配置された表面保護層を含んでもよい。表面保護層としては、傷がつきにくい樹脂からなる層が好ましい。また、太陽電池のように室外で利用されることがあるデバイスの表面保護層は、耐候性（例えば、耐光性）が高い樹脂からなることが好ましい。また、光を透過させる必要がある面を保護する場合には、透光性が高い表面保護層が好ましい。表面保護層（表面保護フィルム）の材料としては、例えば、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、エチレン－テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリテトラフルオロエチレン、４－フッ化エチレン－パークロロアルコキシ共重合体、４－フッ化エチレン－６－フッ化プロピレン共重合体、２－エチレン－４－フッ化エチレン共重合体、ポリ３－フッ化塩化エチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル等が挙げられる。中でも、エチレン－テトラフルオロエチレン共重合体を備えることが、耐候性、透光性の観点から好ましい。

　表面保護層の耐久性を高めるために、表面保護層に各種の添加剤（例えば、紫外線吸収剤）を添加してもよい。耐候性が高い表面保護層の好ましい一例は、紫外線吸収剤が添加されたアクリル樹脂層である。紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、サリシレート系、シアノアクリレート系、ニッケル系、トリアジン系の紫外線吸収剤が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、他の安定剤、光安定剤、酸化防止剤等を併用してもよい。

　保護シートの構成は特に限定されないが、例えば、下記のような構成が好適に用いられる場合がある。
（１）多層構造体
（２）ＥＴＦＥ層／接着層／多層構造体
　上記接着層としては、ＥＶＡが好適に用いられる。

　電子デバイス本体は、封止材によって封止されていることが好ましい。封止材は、電子デバイスの保護部材として機能することができる。封止材に特に限定はなく、電子デバイスの封止材として一般的に用いられているものを用いてもよい。封止材としては、特に限定されないがエチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリオレフィンエラストマー、ポリビニルブチラール、アイオノマーなどがあげられ、コストの観点からＥＶＡが好適に用いられる。

　本発明の電子デバイスの保護シートは、封止材に直接接合されていることが、得られる電子デバイスの厚みを薄くし柔軟性を向上できる観点、及び電子デバイス製造時の工程の簡略化の観点から好ましい。電子デバイス本体を封止する封止材に保護シートを接合する場合、保護シートは、封止材との接着性が高い接合用樹脂層を含むことが好ましい。すなわち、本発明の多層構造体と封止材とが直接積層されていることが好ましい。特に、封止材がエチレン－酢酸ビニル共重合体からなる場合、本発明の多層構造体の表出面には易接着層（ＥＡ）が設けられていることが好ましい。なお、保護シートを構成する各層は、公知の接着剤や上述した接着層を用いて接着してもよい。

　本発明の電子デバイスの一例について、一部断面図を図１に示す。図１の電子デバイス４０は、電子デバイス本体４１と、電子デバイス本体４１を封止するための封止材４２と、電子デバイス本体４１の表面を保護するための保護シート（多層構造体を含む）４３と、を備える。封止材４２は、電子デバイス本体４１の表面全体を覆う。保護シート４３は、電子デバイス本体４１の一方の表面上に、封止材４２を介して配置されている。保護シート４３が配置された表面とは反対側の表面にも、保護シートが配置されてもよい。その場合、その反対側の表面に配置される保護シートは、保護シート４３と同じものであってもよいし異なっていてもよい。保護シート４３は電子デバイス４１の表面を保護できるよう配置されていればよく、封止材４２等の他の部材を介して電子デバイス本体４１上に配置されていても、電子デバイス本体４１の表面に直接配置されていてもよい。

　電子デバイス本体４１としては、特に限定されず、例えば、太陽電池等の光電変換装置；有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、電子ペーパー等の情報表示装置；有機ＥＬ発光素子等の照明装置等が挙げられる。封止材４２は、電子デバイス本体４１の種類および用途等に応じて適宜付加される任意の部材である。封止材４２としては、エチレン－酢酸ビニル共重合体、ポリビニルブチラール等が挙げられる。

　電子デバイス本体４１の好ましい一例は、太陽電池である。太陽電池としては、例えば、シリコン系太陽電池、化合物半導体太陽電池、有機太陽電池、ペロブスカイト型太陽電池等が挙げられる。シリコン系太陽電池としては、例えば、単結晶シリコン太陽電池、多結晶シリコン太陽電池、非晶質シリコン太陽電池等が挙げられる。化合物半導体太陽電池としては、例えば、ＩＩＩ－Ｖ族化合物半導体太陽電池、ＩＩ－ＶＩ族化合物半導体太陽電池、ＣＩＳ、ＣＩＧＳ等の多元系化合物半導体太陽電池等が挙げられる。有機太陽電池としては、例えば、有機薄膜太陽電池や色素増感型太陽電池等が挙げられる。また、太陽電池は、複数のユニットセルが直列接続された集積形の太陽電池であってもよいし、集積形の太陽電池でなくてもよい。

　電子デバイス本体４１は、その種類によっては、いわゆるロール・ツー・ロール方式で作製することが可能である。ロール・ツー・ロール方式では、送り出しロールに巻かれたフレキシブルな基板（例えば、ステンレス基板、樹脂基板等）が送り出され、この基板上に素子を形成することによって電子デバイス本体４１が作製され、この電子デバイス本体４１が巻き取りロールで巻き取られる。この場合、保護シート４３も、可撓性を有する長尺のシートの形態、より具体的には長尺のシートの捲回体の形態として準備しておくとよい。一例では、送り出しロールから送り出された保護シート４３は、巻き取りロールに巻き取られる前の電子デバイス本体４１上に積層され、電子デバイス本体４１とともに巻き取られる。他の一例では、巻き取りロールに巻き取った電子デバイス本体４１を改めてロールから送り出し、保護シート４３と積層してもよい。本発明の好ましい一例では、電子デバイス自体が可撓性を有する。

　保護シート４３は、本発明の多層構造体を含む。保護シート４３は、多層構造体のみから構成されていてもよい。あるいは、保護シート４３は、多層構造体と、多層構造体に積層された他の部材（例えば、他の層（Ｊ））とを含んでもよい。保護シート４３は、電子デバイスの表面の保護に適した層状の積層体であって前記多層構造体を含んでいる限り、その厚さおよび材料に特に制限はない。

　本発明の電子デバイスの構成は特に限定されないが、フレキシブルな電子デバイスとして安定的に使用できる観点からは、次に示す態様が好ましい場合がある。
（１）保護シート／封止材／電子デバイス本体／封止材／保護シート
（２）保護シート／接着層／封止材／電子デバイス本体／封止材／接着層／保護シート
　上記封止材としては、ＥＶＡが好適に用いられる。また、接着層としては、接着層（Ｉ）と同様のものを用いてよい。

　次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されず、多くの変形が本発明の技術的思想の範囲内で当分野において通常の知識を有する者により可能である。以下の実施例および比較例における分析および評価は以下のとおり行った。

　＜実施例および比較例で使用した材料＞
・ＰＥＴ１２：二軸延伸ポリエチレンレテフタレートフィルム；東レ株式会社製、「ルミラー（商標）Ｐ６０」（商品名）、厚み１２μｍ
・ＰＥＴ２５：二軸延伸ポリエチレンレテフタレートフィルム；東レ株式会社製、「ルミラー（商標）Ｓ１０５」（商品名）、厚み２５μｍ
・ＰＥＴ５０：二軸延伸ポリエチレンレテフタレートフィルム；東レ株式会社製、「ルミラー（商標）Ｔ６０」（商品名）、厚み５０μｍ
・ＰＥＴ７５：二軸延伸ポリエチレンレテフタレートフィルム；東レ株式会社製、「ルミラー（商標）Ｔ６０」（商品名）、厚み７５μｍ
・ＰＥＴ２：二軸延伸ポリエチレンレテフタレートフィルム；東レ株式会社製、「ルミラー（商標）＃２－Ｆ５１」（商品名）、厚み２μｍ
・ダイナレオ（登録商標）ＰＲＣ－００２：アクリル系コート剤；トーヨーケム株式会社製、「ダイナレオ（登録商標）ＰＲＣ－００２」（商品名）、固形分濃度２０～３０％
・ＥＶＡ５００：エチレン－酢酸ビニル共重合体シート（太陽電池用封止シート）、酢酸ビニル単位含有量１０．５モル％、エチレン単位含有量８９．５モル％、厚み５００μｍ
・ＥＶＡ１００：エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、酢酸ビニル単位含有量１０．５モル％、エチレン単位含有量８９．５モル％、厚み１００μｍ
・ＥＴＦＥ２５：エチレン－テトラフルオロエチレン共重合体フィルム、厚み２５μｍ

［評価方法］

（１）赤外吸収スペクトルの測定
　実施例及び比較例で得られた積層体の層（Ｙ）について、フーリエ変換赤外分光光度計を用い、減衰全反射法で測定した。測定条件は以下の通りとした。
　　装置：パーキンエルマー株式会社製Ｓｐｅｃｔｒｕｍ　Ｏｎｅ
　　測定モード：減衰全反射法
　　測定領域：８００～１４００ｃｍ^－１

（２）ＭＤ方向収縮率
　実施例及び比較例で得られた積層体及び層（Ｚ）を１２ｃｍ×１２ｃｍに切り出し、その中央部に１マスが約１ｃｍとなるように６ｃｍ×６ｃｍの格子を書き、ＭＤ方向に平行な格子の長さをノギスにて測定した。続いて、この多層構造体を１６０℃の乾燥機内に３０分間静置し、取り出した後に再度ＭＤ方向に平行な格子の長さをノギスにて測定した。多層構造体を乾燥機内に静置前後のそれぞれのマスの長さの変化よりそれぞれのマスの収縮率を算出し、これらを平均することにより、ＭＤ方向の収縮率を算出し、多層構造体のＭＤ方向の熱収縮率をＴＳ、多層構造体を構成する層（Ｚ）のＭＤ方向の熱収縮率をＴＳ_Ｚとし、ＭＤ方向の熱収縮率の比（ＴＳ_Ｚ／ＴＳ）を算出した。

（３）厚み
　収束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて実施例及び比較例で得られた多層構造体を切削し、断面観察用の切片を作製した。作製した切片を試料台座にカーボンテープで固定し、加速電圧３０ｋＶで３０秒間白金イオンスパッタを行った。電界放出形透過型電子顕微鏡を用いて多層構造体の断面を観察し、各層の厚み及び多層構造体の厚みを算出した。測定条件は以下の通りとした。
　　装置：日本電子株式会社製ＪＥＭ－２１００Ｆ
　　加速電圧：２００ｋＶ
　　倍率：２５０，０００倍

（４）透湿度
　実施例及び比較例で得られた多層構造体を、水蒸気透過量測定装置に取り付け、ＩＳＯ１５１０６－５：２０１５に準拠して、差圧法により透湿度（水蒸気透過度）を測定した。測定条件は以下の通りとした。
　　装置：ＴＥＣＨＮＯＬＯＸ社製ＤＥＬＴＡＰＥＲＭ
　　温度：４０℃
　　水蒸気供給側の湿度：９０％ＲＨ

（５）剥離強度
　実施例及び比較例で得られた多層構造体２枚およびＥＶＡ５００用い、下記条件で真空ラミネートし、多層構造体／ＥＶＡ５００／多層構造体の測定サンプルを作成した。
（真空ラミネート条件）
　　真空ラミネート装置：日清紡メカトロニクス株式会社製１５２２Ｎ
　　真空引き時間：８分間
　　温度：１６０℃
　　時間：３０分間
　　圧力：３０ｋＰａ
　得られた測定サンプルから、長さ方向（ＭＤ方向）１３ｃｍ、幅方向（ＴＤ方向）１０ｍｍの試験片を切出し、切出した試験片について、湿熱処理前後の剥離強度の測定を行った。剥離強度は、ＪＩＳ　Ｋ　６８５４－３：１９９９に準じて、Ｔ型剥離強度を測定（幅１０ｍｍあたりの接着力）した。剥離強度を下記条件で５回測定し、その平均値を求めた。なお、本測定方法により剥離する界面は、本測定サンプルにおいて剥離強度が一番弱い界面であり、比較例６を除く全てのサンプルにおいてＥＶＡ層と多層構造体との界面で剥離していることを確認した。比較例６については、基材（Ｘ）と層（Ｙ）との界面で剥離していることを確認した。
（Ｔ型剥離試験の条件）
　　装置：株式会社島津製作所製オートグラフＡＧＳ－Ｈ
　　剥離速度：２５０ｍｍ／分
　　温度：２３℃
　　湿度：５０％ＲＨ
（湿熱処理条件）
装置：エスペック株式会社製　恒温恒湿器ＰＲ－４Ｊ
温度：８５℃
湿度：８５％ＲＨ
時間：３００時間

（６）ロール成形性（柔軟性）
　実施例及び比較例で得られた多層構造体を縦（ＭＤ方向）２９．７ｃｍ、横（ＴＤ方向）２１ｃｍに切り出し、直径が２ｃｍのロール状になるように縦方向に丸めた後、内径３８ｃｍ、肉厚１．１ｍｍ、切幅１．１ｍｍの輪ゴム（株式会社共和製オーバンド＃１６）をロールの中央に配置した。その後丸めた力を開放し、輪ゴムのみでロール形状が保持される状態とした。続いて、両端の直径を測定した。本測定を５回行い、合計１０点の平均値を算出した。この値が４．２ｃｍ未満であったものをＡ、４．２ｃｍ以上４．５ｃｍ未満まで広がったものをＢ、４．５ｃｍ以上まで広がったものをＣとした。

＜コーティング液（Ｓ－１）の製造例＞
　蒸留水２３０質量部を撹拌しながら７０℃に昇温した。その蒸留水に、トリイソプロポキシアルミニウム８８質量部を１時間かけて滴下し、液温を徐々に９５℃まで上昇させ、発生するイソプロパノールを留出させることによって加水分解縮合を行った。得られた液体に、６０質量％の硝酸水溶液４．０質量部を添加し、９５℃で３時間撹拌することによって加水分解縮合物の粒子の凝集体を解膠させた。その後、その液体を、固形分濃度が酸化アルミニウム換算で１０質量％になるように濃縮し、溶液を得た。こうして得られた溶液２２．５０質量部に対して、蒸留水５４．２９質量部およびメタノール１８．８０質量部を加え、均一になるように撹拌することによって、分散液を得た。続いて、液温を１５℃に維持した状態で分散液を撹拌しながら８５質量％のリン酸水溶液４．４１質量部を滴下して加えた。さらに、メタノール溶液１８．８０質量部を滴下して加え、粘度が１，５００ｍＰａ・ｓになるまで１５℃で撹拌を続け、目的のコーティング液（Ｓ－１）を得た。該コーティング液（Ｓ－１）における、アルミニウム原子とリン原子とのモル比は、アルミニウム原子：リン原子＝１．１５：１．００であった。

＜コーティング液（Ｔ－１）の製造例＞
　ダイナレオ（登録商標）ＰＲＣ－００２を１０質量部と酢酸エチル９０質量部と混合し、室温で３０分撹拌することで、固形分濃度３．０％のコーティング液（Ｔ－１）を得た。

＜実施例１＞
　基材（Ｘ）として、ＰＥＴ２５を用い、この基材の一方の面上に、乾燥後の厚みが０．４μｍとなるようにバーコーターを用いてコーティング液（Ｓ－１）を塗工した。塗工後のフィルムを、１２０℃で３分間乾燥後、１８０℃で１分間熱処理して、基材上に層（Ｙ）の前駆体層を形成した。次に、基材の他方の面上に、乾燥後の厚みが０．４μｍとなるようにバーコーターを用いてコーティング液（Ｓ－１）を塗工した。塗工後のフィルムを、１２０℃で３分間乾燥後、１８０℃で１分間熱処理して、基材上に層（Ｙ）の前駆体層を形成した。得られた層（Ｙ）の前駆体層を形成したフィルムを、２１０℃で１分間の熱処理し、層（Ｙ）（０．４μｍ）／ＰＥＴ２５（２５μｍ）／層（Ｙ）（０．４μｍ）の積層体（１）を得た。得られた積層体（１）の層（Ｙ）について、上記評価方法（１）に記載の方法に従って赤外吸収スペクトルを測定し両面の層（Ｙ）の８００～１４００ｃｍ^－１の領域における最大吸収波数（Ｉｍａｘ）を評価した。また、得られた積層体（１）について、上記評価方法（２）に記載の方法に従ってＭＤ方向の熱収縮率ＴＳを測定した。結果を表１に示す。

　層（Ｚ）として、ＰＥＴ１２を準備した。２枚のＰＥＴ１２のそれぞれの表面上に接着層（Ｉ）を形成した。該接着層（Ｉ）上に積層体（１）をラミネートし、４０℃で５日間静置してエージングし、ＰＥＴ１２／接着層（Ｉ）／積層体（１）／接着層（Ｉ）／ＰＥＴ１２という構造を有する多層構造体（１－１）を得た。前記接着層（Ｉ）は、乾燥後の厚みが３μｍとなるようにバーコーターを用いて２液型接着剤（三井化学株式会社製の「タケラック」（登録商標）の「Ａ－５２０」（銘柄）と三井化学株式会社製の「タケネート」（登録商標）の「Ａ－５０」（銘柄））を塗工し、乾燥させることで形成した。なお、用いた層（Ｚ）について、上記評価方法（２）に記載の方法に従ってＭＤ方向の熱収縮率ＴＳ_Ｚを測定した。結果を表１に示す。

　多層構造体（１－１）上に乾燥後の厚みが０．３μｍとなるようにバーコーターを用いてコーティング液（Ｔ－１）を塗工した。塗工後のフィルムを、１４０℃で１分間乾燥させることで、易接着層（ＥＡ）を積層させた。さらに、多層構造体（１－１）の他方の面にも厚みが０．３μｍとなるようにバーコーターを用いてコーティング液（Ｔ－１）を塗工した。塗工後のフィルムを、１４０℃で１分間乾燥させることで、易接着層（ＥＡ）／多層構造体（１－１）／易接着層（ＥＡ）という構造を有する多層構造体（１－２）を得た。

　多層構造体（１－２）について、前記評価方法（３）～（６）に記載の方法に従って、厚み、透湿度、ロール成形性、及び湿熱処理前後のＥＶＡ層との剥離強度を評価した。結果を表２に示す。

＜実施例２～９および比較例１～６＞
　基材（Ｘ）、層（Ｚ）の種類および層構成を表１および２に従って変更したこと以外は実施例１と同様の方法によって積層体及び多層構造体を作製し評価した。結果を表１及び表２に示す。　

＜実施例１０＞
　１６０℃の乾燥機内に３分間静置したＰＥＴ１２を層（Ｚ）として用いたこと以外は実施例１と同様の方法によって積層体及び多層構造体を作製し評価した。結果を表１及び表２に示す。　

＜実施例１１＞　層（Ｚ）としてＰＥＴ１２及びＰＥＴ２５を用いて、ＰＥＴ１２（層（Ｚ１））／接着層（Ｉ）／積層体（１）／接着層（Ｉ）／ＰＥＴ２５（層（Ｚ２））の層構成を有する多層構造体（１０－１）を作製した以外は、実施例１と同様の方法で積層体及び多層構造体を作製し評価した。結果を表１及び表２に示す。　

＜比較例７＞
　コーティング液（Ｓ－１）を塗工後に１２０℃で３分間乾燥後、１８０℃で１分間の熱処理および２１０℃で１分間の熱処理を行わなかったこと以外は実施例１と同様の方法によって多層構造体を作製し評価した。

＜実施例１２＞
　実施例１で作製した多層構造体（１－２）、ＥＶＡ１００、ＥＴＦＥ２５、及びＣＩＧＳ系太陽電池セルを用いて上記評価方法（５）に記載の条件で真空ラミネートすることにより、ＥＴＦＥ２５／ＥＶＡ１００／多層構造体（１－１）／ＥＶＡ１００／ＣＩＧＳ系太陽電池セル／ＥＶＡ１００／多層構造体（１－１）という構成の太陽電池（全層厚み５２０μｍ）を作製した。

　得られた太陽電池について、内径が７ｃｍのロール状になるように丸め、紐で固定し、２３℃５０％ＲＨ条件下及び８５℃８５％ＲＨ条件下で、それぞれ１か月間保管したところ、太陽電池は層間剥離の発生なく良好な外観を保持した。また、得られた太陽電池を８５℃、８５％ＲＨの雰囲気下に３００時間保管前後の光電変換効率を測定したところ低下率は１０％未満であった。

＜比較例８＞
　比較例３で作製した多層構造体（易接着層（ＥＡ）／ＰＥＴ５０／接着層（Ｉ）／層（Ｙ）／ＰＥＴ２５／層（Ｙ）／接着層（Ｉ）／ＰＥＴ５０／易接着層（ＥＡ））（厚み１３２．４μｍ）を用いたこと以外は実施例９と同様の方法で、ＥＴＦＥ２５／ＥＶＡ１００／比較例３の多層構造体／ＥＶＡ１００／ＣＩＧＳ系太陽電池セル／ＥＶＡ１００／多層構造体（Ｃ３－１）という構成の太陽電池（全層厚み６７２μｍ）を作製した。得られた太陽電池について、内径が７ｃｍのロール状になるように丸めたところ、太陽電池を中心に層間剥離や折れによる外観不良が発生した。

４０　電子デバイス
４１　電子デバイス本体
４２　封止材
４３　保護シート（多層構造体を含む）

Claims

　基材（Ｘ）及び前記基材（Ｘ）の両面に配置された少なくとも２層の層（Ｙ）を備える積層体、並びに前記積層体の両面に接着層（Ｉ）を介して積層された、熱可塑性樹脂を主成分とする層（Ｚ）を備え、
　前記少なくとも２層の層（Ｙ）は、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と無機リン化合物（ＢＩ）との反応生成物（Ｄ）を含み、
　前記基材（Ｘ）の厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、
　前記層（Ｚ）の１層当たりの厚みが５μｍ以上１００μｍ以下であり、
　全層の厚みの合計が１５μｍ以上１２０μｍ以下であり、
　前記少なくとも２層の層（Ｙ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、
　前記積層体の両面に備えられる接着層（Ｉ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、
　前記積層体の両面に備えられる層（Ｚ）は、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、
　ＩＳＯ１５１０６－５に準拠して測定した透湿度が１．０×１０^－２ｇ／ｍ^２・ｄａｙ以下である多層構造体。
　１６０℃で３０分間加熱した際の前記積層体のＭＤ方向の熱収縮率ＴＳが１．０％以下である、請求項１に記載の多層構造体。
　１６０℃で３０分間加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率において、前記積層体の熱収縮率ＴＳに対する前記層（Ｚ）の熱収縮率ＴＳ_Ｚの比（ＴＳ_Ｚ／ＴＳ）が２以上である、請求項１または２に記載の多層構造体。
　前記層（Ｚ）の少なくとも一方の表出面側に積層された易接着層（ＥＡ）をさらに備える、請求項１～３いずれか１項に記載の多層構造体。
　前記易接着層（ＥＡ）がアクリル系樹脂を含む、請求項４に記載の多層構造体。
　前記層（Ｚ）がポリステル系樹脂を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の多層構造体。
　基材（Ｘ）の両面に、アルミニウム原子を含む金属酸化物（Ａ）と、無機リン化合物（ＢＩ）と、溶媒とを含むコーティング液（Ｓ）を塗工し、前記溶媒を除去することで層（Ｙ）の前駆体層を形成する工程（Ｉ）、
　前記層（Ｙ）の前駆体層を熱処理して層（Ｙ）を形成する工程（ＩＩ）、および
　前記層（Ｙ）を形成する工程（ＩＩ）を経て得られた積層体に、接着層（Ｉ）を介して層（Ｚ）を積層させる工程（ＩＩＩ）を含む、請求項１～６のいずれか１項に記載の多層構造体の製造方法。
　請求項１～６のいずれか１項に記載の多層構造体を含む電子デバイスの保護シート。
　光電変換装置、情報表示装置、または照明装置の表面を保護する保護シートである、請求項８に記載の保護シート。
　請求項８または９に記載の保護シートを有する電子デバイス。
　フレキシブルな電子デバイスである、請求項１０に記載の電子デバイス。