WO2022071067A1 - 摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法 - Google Patents

摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法 Download PDF

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WO2022071067A1
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sliding member
microtexture
groove
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洋 中奥
拓己 貴島
達也 池田
政明 檜田
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/356—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the outer member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00

Definitions

  • the present disclosure relates to a sliding mechanism, a compressor, a method for manufacturing the sliding mechanism, and a method for manufacturing the compressor.
  • the blade guide groove (hereinafter referred to as “sliding member accommodating portion") and the blade (hereinafter referred to as “sliding member”) are covered with lubricating oil such as dents and grooves by masking and shot blasting.
  • lubricating oil such as dents and grooves by masking and shot blasting.
  • Patent Document 1 does not describe how a lubricating oil holding portion (hereinafter referred to as “groove portion”) is formed on the sliding surface of the sliding member accommodating portion by masking and shot blasting. Since the sliding member accommodating portion is a closed and narrow space, there is a problem that tools and devices cannot be inserted into the sliding member accommodating portion by these methods. Therefore, it is difficult to form a groove for holding the lubricating oil in the sliding member accommodating portion, and the sliding mechanism described in Patent Document 1 has a problem that the lubricating oil cannot be sufficiently held in the sliding member accommodating portion. there were.
  • the present disclosure has been made in order to solve the above-mentioned problems, and is a sliding mechanism, a compressor, a method for manufacturing a sliding mechanism, and a method for manufacturing a compressor that can hold lubricating oil in a sliding member accommodating portion.
  • the purpose is to provide.
  • the sliding mechanism includes a sliding member accommodating portion having a pair of facing sliding surfaces and a sliding member accommodating portion. It is provided with a sliding member slidably arranged between a pair of sliding surfaces via a lubricating oil. At least one of the pair of sliding surfaces of the sliding member accommodating portion extends in a direction intersecting the sliding direction of the sliding member and has a groove portion in which a discharge mark is formed.
  • the compressor according to the present disclosure is arranged in a cylindrical and hollow cylinder having a cylinder chamber, a suction hole for sucking the refrigerant, and a discharge hole for discharging the compressed refrigerant, and a cylinder chamber.
  • the cylinder is provided with a piston that sucks the refrigerant into the cylinder chamber with the eccentric rotation and discharges the compressed refrigerant, and the cylinder has the sliding mechanism described in the present disclosure.
  • the method for manufacturing a sliding mechanism includes a step of installing a process to be machined having a sliding member accommodating portion having a pair of sliding surfaces in a wire electric discharge machine, and a pair of sliding member accommodating portions.
  • a pair of sliding surfaces by the process of stretching a wire on a wire electric discharge machine in a direction parallel to the sliding surface and intersecting the sliding direction of the sliding member, and by discharging the wire and discharging the wire. It has a step of forming a groove on at least one of the above.
  • the method for manufacturing a compressor according to the present disclosure includes a step of installing a cylindrical and hollow cylinder having a sliding member accommodating portion having a pair of sliding surfaces in a wire electric discharge machine, and a sliding member. By the process of stretching the wire on the wire electric discharge machine in the direction parallel to the pair of sliding surfaces of the accommodating portion and intersecting the sliding direction of the sliding member, and by discharging the wire and discharging the wire. , A step of forming a groove on at least one of a pair of sliding surfaces.
  • the lubricating oil can be held in the sliding member accommodating portion.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a microtexture of the sliding mechanism according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a detailed view of a main part showing a wire feeding mechanism of the wire electric discharge machine according to the fifth embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a part of the compressor 100 according to the first embodiment.
  • the compressor 100 (described later) includes a piston 5, a spindle 6, and a cylindrical and hollow cylinder 7, which has a sliding mechanism 1a.
  • the sliding mechanism 1a includes a sliding member 2 having a sliding surface 21 and a sliding member accommodating portion 3a having a pair of sliding surfaces 31 facing each other.
  • the sliding member accommodating portion 3a is formed as a cavity from the inner diameter side to the outer diameter side of the cylinder 7. That is, the sliding member accommodating portion 3a is formed by communicating with the hollow inside of the cylinder 7.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a part of the compressor 100 according to the first embodiment.
  • the compressor 100 includes a piston 5, a spindle 6, and a cylindrical and hollow cylinder 7, which has a sliding mechanism 1a.
  • the sliding mechanism 1a includes a sliding member 2 having a sliding surface 21 and a sliding member accommodating portion 3a having a pair of sliding surfaces 31 facing each other.
  • the sliding member accommodating portion 3 has a sliding surface 31 on the inner diameter side of the cylinder 7, and the outer diameter side of the cylinder 7 is circular.
  • One end of the sliding member 2 is arranged between a pair of sliding surfaces 31 facing each other of the sliding member accommodating portion 3a, and the other end is in contact with the peripheral wall of the piston 5.
  • the portion where the sliding member 2 and the piston 5 are in contact with each other is referred to as a contact portion 51.
  • Lubricating oil (not shown in FIG. 1) is filled between the sliding member 2 and the sliding member accommodating portion 3a. Further, although not shown in FIG.
  • a microtexture 4a that is, a groove portion, which is a concave groove for holding the lubricating oil, is formed on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a.
  • the piston 5 rotates around the spindle 6.
  • the sliding member 2 is driven by the eccentric rotation of the piston 5 via the contact portion 51 with the piston 5, and slides in the sliding member accommodating portion 3a in the radial direction of the cylindrical cylinder 7.
  • FIG. 2 is an exploded schematic view showing the sliding mechanism 1a according to the first embodiment.
  • FIG. 2A is a schematic perspective view of the sliding mechanism 1a
  • FIG. 2B is a schematic front view of the sliding member accommodating portion 3a.
  • the sliding member accommodating portion 3a has a sliding surface 21 facing the sliding surface 21 of the sliding member 2 via a lubricating oil.
  • a microtexture 4a is formed on the sliding surface 31.
  • the microtexture 4a extends in a direction intersecting the sliding direction of the sliding member 2. In FIG. 2, the direction in which the microtexture 4a extends is orthogonal to the sliding direction of the sliding member 2.
  • the microtexture 4a has a fluid dynamic pressure effect of generating a positive pressure on the fluid film of the lubricating oil to levitate the sliding surface 21. Further, the microtexture 4a has a fluid holding effect in which the lubricating oil is held in the concave groove.
  • the microtexture 4a has an effect of collecting wear debris that suppresses the biting of the wear debris by collecting the wear debris generated in the process of sliding the sliding member 2 in the concave groove. Further, the microtexture 4a has an effect of suppressing solid contact and adhesive wear of the sliding member 2 and the sliding member accommodating portion 3a by holding the lubricating oil. By combining the above effects, the microtexture 4a is formed on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a, which leads to the improvement of the friction resistance property of the sliding mechanism 1a.
  • FIG. 3 is a schematic top view showing the operation of the sliding mechanism 1a according to the first embodiment.
  • a lubricating oil (not shown in FIG. 3) is interposed between the sliding member 2 and the sliding member accommodating portion 3a.
  • the sliding member 2 also slides in the direction opposite to the arrow AR1. At this time, the direction in which the lubricating oil flows is opposite to the arrow AR2 in FIG. 3, but the point where a force is applied to the sliding member 2 in the direction away from the sliding member accommodating portion 3a is that the sliding member 2 Is the same as the case where is slid in the direction of the arrow AR1.
  • the number of microtextures 4a formed in the sliding member accommodating portion 3a may be one on one sliding surface 31, but as shown in FIG. 2, a plurality of microtextures 4a may be formed on one sliding surface 31. good.
  • the spacing dimension p of each microtexture 4a may be arbitrarily set so as to be effective for retaining the oil film by the lubricating oil.
  • the width and depth of one microtexture 4a (hereinafter referred to as "groove width and groove depth", respectively) are, for example, a groove width dimension w of 10 to 60 ⁇ m and a groove depth dimension d of 2 to 10 ⁇ m. And it is sufficient.
  • the dimension of the interval dimension p of the microtexture 4a may be, for example, 100 to 500 ⁇ m.
  • the wire electric discharge machine that forms the microtexture 4a is originally used for cutting an object to be machined.
  • a wire electric discharge machine is used to form a microtexture 4a. Therefore, the conditions of use of the wire electric discharge machine in the present disclosure are different from the conditions of cutting of the wire electric discharge machine normally used.
  • the gap dimension W of the sliding member accommodating portion 3a, that is, the distance between the sliding surfaces 31 is, for example, 10 mm or less.
  • the microtexture 4a When the microtexture 4a is formed on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a, a laser machine or the like is installed from the inside of the sliding member accommodating portion 3a, that is, between the sliding surface 31 and the sliding surface 31. It needs to be arranged to form the microtexture 4a. However, the gap of the sliding member accommodating portion 3a is narrow, and even if an attempt is made to form a microtexture 4a on one of the sliding surfaces 31, a processing machine such as a machining center, laser processing, or a forming method such as photoetching may be used. The microtexture 4a cannot be formed because tools and devices cannot be inserted.
  • the wire 8 of the wire electric discharge machine is passed through a narrow gap of the sliding member accommodating portion 3a, and the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a is microtextured by electric discharge. 4a can be formed. Therefore, if the wire 8 can be passed through, the microtexture 4a can be formed even in a narrow gap where a laser beam machine or the like cannot be arranged.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a method of forming a microtexture 4a by a wire electric discharge machine.
  • FIG. 4A is a top view showing the positional relationship between the wire 8 of the wire electric discharge machine and the object to be machined, for example, the sliding member accommodating portion 3a of the cylinder 7, and
  • FIG. 4B is a sliding surface view. It is a side view which shows the positional relationship with the moving member accommodating part 3.
  • the sliding direction of the sliding member 2 is the X direction (arrow AR1 direction)
  • the extending direction of the microtexture 4a is the Y direction. That is, the Y direction in FIG. 4B is a direction orthogonal to the sliding direction of the sliding member 2.
  • FIG. 4A corresponds to the position of the microtexture 4a in FIG. 4B.
  • the arrow AR3 shown in FIG. 4 indicates the scanning direction of the wire 8.
  • FIG. 4C is a diagram showing an application state of a discharge pulse of a wire electric discharge machine, with the horizontal axis representing time and travel distance and the vertical axis representing voltage.
  • the horizontal axis of FIG. 4C corresponds to the dimension in the X direction of FIG. 4B, and corresponds to the position of the wire 8 of the wire electric discharge machine when a pulse is applied.
  • a method of forming a microtexture 4a using a wire electric discharge machine to manufacture a sliding mechanism 1 will be described. First, a sliding member accommodating portion 3a of the object to be machined is installed in a wire electric discharge machine (not shown in FIG. 4). Next, the wire 8 is stretched on the wire electric discharge machine. The positional relationship between the sliding member accommodating portion 3a and the wire 8 is set to a predetermined position, and an electric discharge is generated.
  • the wire 8 of the wire discharge processing machine extends in a direction parallel to the sliding member accommodating portion 3a and intersecting the scanning direction of the wire 8, that is, the sliding direction of the sliding member 2. It is arranged and moved in the arrow AR3 direction (X direction) at a constant speed.
  • a power source (not shown in FIG. 4) causes an electric discharge at a constant frequency to process the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a. That is, the microtexture 4a is formed in the sliding member accommodating portion 3a.
  • the movement of the wire 8 in the X direction may be stopped or the movement speed may be changed at the time of discharging.
  • the microtexture 4a which is a concave groove, is formed.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a microtexture 4a of the sliding mechanism 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram showing a cross section (hereinafter, referred to as “groove cross section”) of the sliding member accommodating portion 3a in a direction orthogonal to the extending direction of the wire 8 of the wire electric discharge machine.
  • the groove cross section of the microtexture 4 has a shape close to a parabola.
  • the groove width dimension w is, for example, 30 to 60 ⁇ m
  • the groove depth dimension d is, for example, 2 to 10 ⁇ m.
  • the serrated discharge marks 4d (described later) shown on the microtexture 4a are generally found on a machined surface machined by electric discharge machining.
  • FIG. 5 shows the microtexture 4a formed when the discharge setting time is 2 seconds. The longer the processing time, the smaller the size of the discharge mark 4d and the smaller the quantity, and the shape of the groove cross section. Tends to be smooth. Therefore, when forming the microtexture 4a, the optimum discharge time may be set from the allowable roughness of the groove cross section and the production time.
  • FIG. 6 is a micrograph showing the microtexture 4a of the sliding mechanism 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a micrograph of the microtexture 4a observed from the wire 8 side.
  • the sliding member 2 slides in the direction of arrow AR1.
  • the discharge setting time at the time of forming the microtexture 4a in FIG. 6 is 5 seconds.
  • the discharge time may be lengthened within an allowable range of the processing time.
  • the machined surface is affected by heat, and the entire groove, that is, the surface of the concave groove of the microtexture 4a is an altered layer peculiar to electric discharge machining (Fig. 5) is formed.
  • the altered layer has a metallic structure such as pearlite or cementite as a layer different from the others.
  • a white layer or fine pores can be seen in the altered layer. Similar alteration layers peculiar to electric discharge machining can be seen in other materials.
  • the discharge mark 4d shown in FIG. 5 can also be seen on the machined surface.
  • the discharge mark 4d is a mark hit by a discharge, and is a surface where the machined surface is once melted and re-solidified, and is serrated and has a rough surface.
  • the altered layer and the discharge mark 4d can be observed with a scanning electron microscope or the like, and can be said to be a feature of the processed surface of the microtexture 4a in the present disclosure. Since the discharge mark 4d is fine, it may not be observed in the microtexture 4a.
  • the sliding mechanism 1 is slidably arranged between the sliding member accommodating portion 3a having the pair of sliding surfaces 31 facing each other and the pair of sliding surfaces 31 via the lubricating oil.
  • a microtexture 4a extending in a direction intersecting the sliding direction of the sliding member 2 is provided on at least one of the pair of sliding surfaces 31 of the sliding member accommodating portion 3a. It has.
  • the sliding mechanism 1a can form the microtexture 4a in the sliding member accommodating portion 3a having the pair of sliding surfaces 31 facing each other, so that the sliding member accommodating the sliding member 1a.
  • Lubricating oil can be held in the portion 3a.
  • the gap dimension W0 of the sliding member accommodating portion 3a is, for example, 10 mm or less as described above, and cannot be machined by a machining center, laser machining, photo etching, or the like. Even if it is narrow, the microtexture 4a can be easily machined on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a.
  • the microtexture 4a is formed on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3a in a state where the wire 8 and the sliding member accommodating portion 3 are not in contact with each other while maintaining a constant distance of 1 ⁇ m. Can be formed. Therefore, the groove width and groove depth of the microtexture 4a can be designed and formed with high accuracy in units of 1 ⁇ m.
  • the sliding mechanism 1a is machined by a wire electric discharge machine, there is no need to worry about wear replacement of machining tools such as machining centers. Therefore, the processing cost can be reduced.
  • the sliding mechanism 1a is machined by a wire electric discharge machine, it is not necessary to prepare shape specifications such as groove width dimension or pitch dimension of the microtexture 4a with a mold or a film. Further, if necessary, the groove width dimension and the pitch dimension of the microtexture 4a can be individually changed, so that a more optimum microtexture 4a can be obtained.
  • the sliding mechanism 1a is machined by a wire electric discharge machine, the machined surface of the microtexture 4a becomes rough due to electric discharge marks, and more lubricating oil can be retained.
  • the sliding mechanism 1a is machined by a wire electric discharge machine, unlike machining with a machining tool such as a machining center, no machining force is applied due to non-contact machining, and the sliding member accommodating portion 3a is a hard and brittle material. Even so, defects such as cracks are less likely to occur during machining, and the occurrence of defects can be suppressed.
  • the sliding mechanism 1a can suppress the loss due to the sliding of the sliding member 2, the life of the sliding member 2 and the sliding member accommodating portion 3a can be extended.
  • the sliding member accommodating portion 3a has a microtexture 4a, it is possible to improve the friction resistance property with the sliding member 2 facing the sliding member 2 via the lubricating oil, and the sliding resistance is increased. Can be suppressed.
  • FIG. 7 is a diagram showing a microtexture 4b of the sliding mechanism 1b according to the second embodiment.
  • the sliding member 2 slides in the direction of arrow AR1.
  • FIG. 7A is a micrograph of the microtexture 4b observed from the wire 8 side.
  • FIG. 7 (b) is a diagram schematically showing FIG. 7 (a).
  • the discharge setting time at the time of forming the microtexture 4b in FIG. 7 is 1 second.
  • the groove width of the microtexture 4b can be made non-uniform, and the groove width can be made in one microtexture 4b. It is possible to obtain a portion having a groove width dimension w1 having a narrow dimension and a portion having a groove width dimension w2 having a wide groove width dimension.
  • the portion of the groove width dimension w2 acts as an oil sump portion 41 in which the lubricating oil is collected, and the friction resistance property can be improved. .. That is, by shortening the discharge setting time, it is possible to intentionally make the groove width non-uniform and form the oil sump portion 41 having a wide groove width.
  • the oil pool portion 41 refers to a portion of the microtexture 4b that is recessed in the sliding direction of the sliding member 2.
  • the microtexture 4b has an oil sump portion 41 recessed in a direction intersecting the direction in which the microtexture 4b extends.
  • the sliding mechanism 1b can form the microtexture 4b in the sliding member accommodating portion 3a having the pair of opposed sliding surfaces 31, and thus accommodates the sliding member.
  • Lubricating oil can be held in the portion 3b.
  • more lubricating oil can be held in the microtexture 4b by the oil sump portion 41, so that the friction resistance property of the sliding mechanism 1b is improved. Can be improved.
  • the discharge setting time can be shortened as compared with the first embodiment, and since it is not necessary to process the oil sump portion 41 in a separate process, the processing time of the microtexture 4b can be shortened. Productivity can be improved.
  • the inventors have found that the groove width and the groove depth of the microtexture 4b react sensitively to the discharge time and change almost in proportion to the discharge time. Furthermore, the inventors have confirmed that the groove width of the microtexture 4b is approximately proportional to the wire diameter of the wire 8 and is about half of the wire diameter. From these, the control of the groove width and the groove depth of the microtexture 4b can be realized by the wire electric discharge machine having a wire 8 replacement function and a discharge time control function.
  • FIG. 8 is a schematic view showing the microtexture 4c of the sliding mechanism 1c according to the third embodiment.
  • the microtextures 4a and 4b extend in a direction orthogonal to the arrow AR1 direction, which is the sliding direction of the sliding member 2. That is, in the first and second embodiments, the angle in the extending direction of the microtextures 4a and 4b, that is, the angle in the extending direction of the wire 8 of the wire electric discharge machine is the arrow AR1 which is the sliding direction of the sliding member 2. It is 90 ° with respect to.
  • the angle of the microtexture 4c in the extending direction is formed so as to be inclined at an angle other than 90 ° with respect to the arrow AR1 which is the sliding direction of the sliding member 2.
  • the microtexture 4b can be formed at arbitrary intervals that are not constant by arbitrarily setting the frequency of the power supply during processing, and the micro is micro on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3c. It forms the texture 4c.
  • FIG. 9 is a schematic view showing the microtexture 4c1 of the sliding mechanism 1c according to the third embodiment. As shown in FIG. 9, a plurality of microtextures 4c1 extending at different angles with respect to the sliding direction of the sliding member 2 may be formed on the sliding surface 31 of the sliding member accommodating portion 3.
  • the sliding mechanism 1c can form the microtexture 4c or 4c1 on the sliding member accommodating portion 3c having the pair of sliding surfaces 31 facing each other, so that the sliding mechanism 1c slides.
  • Lubricating oil can be held in the member accommodating portion 3c.
  • the lubricating oil is brought along with the sliding.
  • the movement and circulation of the oil film can be easily promoted, and an oil film having better friction characteristics can be formed.
  • the angle with respect to the arrow AR1 which is the sliding direction of the sliding member 2 of each microtexture 4c and the interval between the microtextures 4c can be arbitrarily set. Therefore, the optimum microtexture 4c for forming an oil film can be obtained.
  • the sliding mechanism 1c can more hold the lubricating oil in the sliding member accommodating portion 3c.
  • FIG. 10 is a vertical sectional view showing the compressor 100 according to the fourth embodiment.
  • the compressor 100 is classified as a rotary type.
  • FIG. 11 is an enlarged plan view showing the compression mechanism unit 50 of the compressor 100 according to the fourth embodiment.
  • FIG. 12 is an enlarged view of a main part showing the compression mechanism part 50 according to the fourth embodiment.
  • the compressor 100 houses the motor unit 40 and the compression mechanism unit 50 in the closed container 110.
  • the motor unit 40 and the compression mechanism unit 50 are connected via a spindle 6.
  • Lubricating oil (not shown) is stored in the bottom of the closed container 110.
  • the compression mechanism unit 50 includes a cylinder 7, an upper bearing 9, a lower bearing 10, a spindle 6, and a piston 5.
  • the cylindrical and hollow cylinder 7 has a cylinder chamber 70 which is a circular space.
  • the cylinder chamber 70 is provided with a vane groove 30 as a sliding member accommodating portion that communicates with the cylinder chamber 70 and extends in the radial direction so as to penetrate in the axial direction of the cylinder.
  • a vane 20 as a sliding member is slidably arranged in the vane groove 30.
  • the vane groove 30 is provided with a back pressure chamber 7d for guiding the discharge pressure and the lubricating oil to the base of the vane groove 30.
  • the end on the inner diameter side of the cylinder 7 is pressed against the piston 5 by the spring 11 provided in the back pressure chamber 7d and in contact with the end on the outer diameter side of the cylinder 7.
  • the cylinder 7 is provided with a suction hole 7b through which the suction refrigerant from the suction pipe 12 provided in the compressor 100 passes through from the outer peripheral surface of the cylinder 7 to the cylinder chamber 70, and the suction hole 7b is provided. The refrigerant is sucked into the suction space 7e through the suction space 7e.
  • a discharge hole 7c is provided which communicates with the discharge space 7f provided on the inner circumference of the cylinder 7 and cuts out the inner peripheral surface of the cylinder 7. The discharge hole 7c leads to the discharge pipe 13.
  • the compression mechanism portion 50 has a vane 20 as a sliding member and a vane groove 30 as a sliding member accommodating portion, and the vane groove 30 has a microtexture 4. It is formed.
  • the vane groove 30 has a sliding surface 31 on the inner diameter side of the cylinder 7, and the outer diameter side of the cylinder 7 is circular.
  • the microtexture 4 refers to at least one of the microtextures 4a, 4b, and 4c described in the first to third embodiments.
  • the operation of the compressor 100 will be described.
  • the piston 5 is driven via the spindle 6.
  • the refrigerant is sucked into the cylinder chamber 70 with the eccentric rotation of the piston 5, the refrigerant is compressed and discharged.
  • the vane 20 functions as a partition wall separating the suction space 7e and the discharge space 7f in the cylinder chamber 70 in a state of being arranged inside the vane groove 30.
  • the vane 20 slides in the vane groove 30 with the eccentric rotation of the piston 5 in a state where the inner peripheral side of the cylinder 7 is in contact with the peripheral wall of the piston 5.
  • the microtexture 4 is formed on the inner wall of the vane groove 30 as the sliding member accommodating portion 3, that is, the sliding surface 31. This makes it possible to reduce the sliding resistance between the outer wall of the vane 20, that is, the sliding surface 21, and the inner wall of the vane groove 30, that is, the sliding surface 31 when the vane 20 slides in the vane groove 30.
  • the compressor 100 includes a cylindrical and hollow cylinder 7 having a cylinder chamber 70, a suction hole 7b for sucking the refrigerant, and a discharge hole 7c for discharging the compressed refrigerant.
  • the sliding mechanism 1 refers to at least one of the sliding mechanisms 1a, 1b, and 1c described in the first to third embodiments.
  • the method for manufacturing the compressor 100 includes a step of installing a cylindrical and hollow cylinder 7 having a vane groove 30 having a pair of sliding surfaces 31 in a wire electric discharge machine, and a vane groove 30.
  • the wire 8 is discharged and the discharged wire 8 is used. It has a step of forming a microtexture 4 on at least one of a pair of sliding surfaces 31.
  • the vane groove 30 on which the microtexture 4 is formed and the vane facing each other via the lubricating oil have the same effect as those described in the first to third embodiments.
  • the friction resistance of 20 can be improved, and an increase in sliding resistance can be suppressed.
  • the loss due to the sliding of the sliding mechanism 1 can be suppressed, and the life of the vane 20, the vane groove 30, and the compressor 100 can be extended.
  • the vane 20 that partitions the cylinder chamber 70 is heavily loaded with the high-pressure gas, and the sliding loss is large.
  • the vane 20 since the microtexture 4 is formed on the vane groove 30 side by the wire electric discharge machine, the vane 20 is always in contact with the high pressure gas and the oil film of the lubricating oil is easily peeled off.
  • the holding power of the oil film by the lubricating oil is excellent, and the sliding loss with the vane 20 can be reduced.
  • the performance of the compressor 100 can be improved and the wear of the vane 20 and the vane groove 30 can be suppressed.
  • the compressor 100 since the microtexture 4 is formed on the inner wall of the vane groove 30, the sliding resistance generated between the vane 20 and the vane groove 30 is reduced. Therefore, the moving speed when the vane 20 moves vertically downward is improved. Therefore, it is possible to suppress the formation of a gap between the lower end portion of the vane 20 and the peripheral wall of the piston 5, so that the compression efficiency of the compressor 100 is improved.
  • FIG. 13 is a detailed view of a main part showing the wire feeding mechanism 200 of the wire electric discharge machine according to the fifth embodiment.
  • the wire feeding mechanism 200 includes a wire 8, a wire reversing portion 14, and a holding portion 15 for holding the wire reversing portion.
  • the wire reversing portion 14 has a pulley shape and has a groove formed in the circumferential portion.
  • the groove of the wire reversing portion 14 is continuously formed on the side surface of the holding portion 15.
  • a method of forming a microtexture 4c on the vane groove 30 by using the wire feeding mechanism 200 will be described.
  • the wire feeding mechanism 200 is installed in the wire electric discharge machine.
  • the wire 8 is stretched along the grooves of the wire reversing portion 14 and the holding portion 15 of the wire feeding mechanism 200, and is connected to the wire electric discharge machine.
  • a cylinder 7 having a vane groove 30 is installed in the wire electric discharge machine.
  • the wire 8 is driven in the direction of the arrow AR4 while maintaining a constant tension along the wire feeding mechanism 200, and is discharged from the wire 8 to the vane groove 30.
  • the arrow AR4 direction indicates the downward direction on the paper in FIG. 13, it may be the upward direction. That is, the arrow AR4 direction may be the extending direction of the microtexture 4.
  • the cylinder chamber 70 of the new cylinder 7 is installed through the wire reversing portion 14 from the paper surface direction.
  • the fifth embodiment even when the vane groove 30 is in a closed space, the next vane is not inserted and cut each time the wire 8 is processed.
  • the microtexture 4 can be formed in the groove 30. Therefore, the time for forming the microtexture 4 with respect to the vane groove 30 can be shortened.
  • the wire reversing portion 14 may be configured to rotate to feed the wire 8, but may be configured to feed the wire 8 while being fixed.
  • microtextures 4 of the opposing sliding surfaces 31 are in the same vertical position, that is, in a symmetrical positional relationship, but it is not always necessary.
  • the sliding mechanism 1 is provided in the compressor 100 , but it may be provided in a journal bearing, a rotary pump, or the like.
  • FIG. 14 is an enlarged plan view showing a part of the compressor 100 according to the sixth embodiment.
  • FIG. 14 shows an enlarged view of the periphery of the vane 20.
  • a force is always applied to the vane 20 in the direction indicated by the arrow AR5 in FIG. This is because the piston 5 and the vane 20 slide by rotating the piston 5 in a certain direction (clockwise in FIG. 14).
  • the left side of the vane 20 is divided into the discharge side of the refrigerant and the right side is divided into the suction side, and the pressure difference of the refrigerant in the AR5 direction also exerts a force on the vane 20 in the AR5 direction.
  • the pressure applied to the vane groove 30 by the vane 20 is not uniform in the sliding direction, and the region corresponding to the end of the vane 20 on the sliding surface 31 is compared with the other regions on the sliding surface 31. High pressure is applied. That is, on the sliding surface 31, the regions 30a and 30b shown in FIG. 14 are subjected to higher pressure than the other regions.
  • FIG. 15 is a schematic view showing the microtexture 4e of the sliding mechanism 1 according to the sixth embodiment.
  • FIG. 15A shows an example in which the microtexture 4e is formed on the left side surface of the vane groove 30, and
  • FIG. 15B shows an example in which the microtexture 4e is formed on the right side surface of the vane groove 30.
  • An example is shown.
  • the microtexture 4e is in the other region in the region 30a on the outer diameter side of the cylinder 7 in the sliding direction. It is densely formed in comparison.
  • the microtexture 4e is densely formed in the region 30b on the inner side in the sliding direction, that is, on the inner diameter side of the cylinder 7, as compared with the other regions.
  • the microtexture 4e according to the present embodiment has a different distribution in the sliding direction.
  • FIG. 16 is a schematic view showing the microtextures 4e, 4f, and 4g of the sliding mechanism 1 according to the sixth embodiment.
  • FIG. 16A shows the cross section AA in FIG. 15A, in which microtextures 4e having the same groove width and groove depth are densely formed in the region 30a.
  • the microtexture 4f formed in the region 30a has a wider groove width and a deeper groove depth than the microtexture 4f formed in another region.
  • the microtexture 4g formed in the region 30a has a smaller groove width and a shallower groove depth than the microtexture 4g formed in the other regions. There is.
  • the combination of the groove width and the groove depth of the groove is a combination of the formation examples of the microtextures 4e, 4f, and 4g shown in FIGS. 16 (a), 16 (b), and 16 (c). You may.
  • the distribution of the microtexture described above is the same for the region 30b. It should be noted that the groove width and the groove depth of these grooves can be realized by the wire 8 replacement function and the discharge time control function of the wire electric discharge machine as described above.
  • Embodiment 7 As shown in FIG. 13 and the like, the wire 8 of the wire electric discharge machine runs in a space close to the vane groove 30 in a state of being stretched by a predetermined tension.
  • the method for manufacturing the sliding mechanism 1 according to the present embodiment uses a wire guide holding mechanism so that the wire 8 does not fluctuate in the formation of the sliding mechanism 1.
  • FIG. 17 is an explanatory diagram illustrating a method of processing the microtexture 4 on the sliding member accommodating portion 3 of the compression mechanism portion 50 according to the seventh embodiment.
  • 17 (a), 17 (b), and 17 (c) show a perspective view, a side view, and a top view, respectively.
  • FIG. 17B shows a view of the wire 8 from the center side of the cylinder 7, that is, from the main shaft 6 side along the X-axis direction shown in FIG. 17A, and is shown in FIG. 17C. Shows a view of the wire 8 seen from above the cylinder 7 along the Y-axis direction shown in FIG. 17 (a).
  • the wire guide 60a is connected to a wire guide holding mechanism (not shown) below the paper surface in FIG. 17 (c). Further, the guide portion 61a in contact with the wire 8 is a flat surface.
  • the guide portion 61a may be provided with a guide groove (not shown) having a groove depth of about half the cross section of the wire 8 extending in the Y direction so that the wire 8 does not fluctuate in the X direction during traveling. good.
  • the case where the guide groove is provided in the guide portion 61a is also referred to as a flat surface.
  • the wire 8 is subjected to a predetermined tension in the vertical direction, that is, in the Y-axis direction, and travels while being stretched to the left with respect to the wire guide 60a, that is, in the negative direction of the Z-axis.
  • the wire 8 is fixed without being separated from the wire guide 60a, in other words, the wire 8 can be accurately discharged to the vane groove 30 without changing the spatial position with the vane groove 30.
  • the microtexture 4e can be accurately formed by using the wire guide 60a.
  • rotational deviation around the Y axis in FIG. 17 corresponds to the deviation of the distance while the wire 8 is kept parallel to the sliding surface 31, so that it can be easily adjusted each time the discharge occurs.
  • wire guide 60a it is possible to configure the wire guide 60a and the wire feeding mechanism (not shown) separately from the electric discharge machine. Further, by using the wire guide 60a, it is also possible to use a die-sinking type electric discharge machine. Generally, wire electric discharge machines use pure water as the machining fluid during electric discharge, but on the other hand, die-sinking electric discharge machines use oil, so due to the difference in this machining fluid, the die-sinking electric discharge machines use wires. Higher precision machining is possible compared to electric discharge machines.
  • Embodiment 8 The microtexture 4 according to the present embodiment is formed on the sliding surface 31 by using the wire guide 60b as in the seventh embodiment.
  • the shape of the wire guide 60b used in the process of forming the microtexture 4 is different from that of the seventh embodiment.
  • the same components as those in the seventh embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 18 is an explanatory diagram showing a comparative example of the microtexture processing method according to the eighth embodiment.
  • FIG. 18A shows an example when the wire guide 60a is tilted. Specifically, the wire 8 is tilted together with the wire guide 60a in the direction of the arrow AR6 around the X axis, that is, in a direction in which parallelism with the sliding surface 31 cannot be maintained.
  • FIG. 18B shows the microtexture 4e1 formed on the sliding surface 31 in the above-mentioned state as a comparative example.
  • the microtexture 4e1 becomes wedge-shaped and is biased toward one side of the sliding surface 31 (plus side in the Y-axis direction in FIG. 18). That is, on one side of the sliding surface 31, the groove width and the groove depth of the microtexture 4e1 are large, and the groove width and the groove depth of the microtexture 4e1 toward the other side (minus side in the Y-axis direction in FIG. 18). It is formed in a discontinuous shape while the groove depth becomes smaller.
  • the wire guide 60b has a guide portion 61b formed in a convex shape.
  • the guide portion 61b has a curvature, for example, and is formed so as to have a gently convex shape.
  • the shape having a curvature is referred to as an arc shape.
  • FIG. 19 is an explanatory diagram showing a comparative example of the microtexture processing method according to the eighth embodiment.
  • FIG. 19A shows an example in which the wire guide 60b is tilted, as in FIG. Specifically, the wire 8 is tilted together with the wire guide 60b in the direction of the arrow AR6 around the X axis, that is, in a direction in which parallelism with the sliding surface 31 cannot be maintained.
  • FIG. 19B shows the microtexture 4e2 formed on the sliding surface 31 in the above-mentioned state as a comparative example.
  • the microtexture 4e2 is also formed unevenly toward one side of the sliding surface 31 (plus side in the Y-axis direction in FIG. 19), similarly to the microtexture 4e1 shown in FIG. 18B.
  • FIG. 20 is an explanatory diagram illustrating a method of processing the microtexture 4e3 into the sliding member accommodating portion 3 of the compression mechanism portion 50 according to the eighth embodiment.
  • FIG. 20A shows a state in which the position of the wire guide 60b shown in FIG. 19A is corrected.
  • FIG. 20B shows a microtexture 4e3 formed on the sliding surface 31 in a state where the position of the wire guide 60b shown in FIG. 20A is corrected.
  • the wire guide 60b is tilted in the direction of the arrow AR6 around the X axis in FIG. 20, since the guide portion 61b has a convex shape, it is moved in the direction of the arrow AR7 (Y-axis direction in FIG. 20). Then, the position of the microtexture 4e3 can be easily adjusted. In the example shown in FIG. 20, the wire guide 60b shown in FIG. 19A is moved to the minus side in the Y-axis direction.
  • the microtexture 4e3 can be formed on the sliding surface 31 without the need for adjusting the inclination in the AR6 direction.
  • the processing accuracy of the microtexture 4h is improved.
  • the groove depth dimension and the groove width dimension may be changed for each microtexture constituting the microtexture h.
  • FIG. 21 is a schematic view showing the microtexture 4h of the sliding mechanism 1 according to the eighth embodiment.
  • the microtexture 4h formed by using the wire guide 60b in which the guide portion 61b has a convex shape has a groove width and a groove depth at the center portion in the Y-axis direction of the sliding surface 31 shown in FIG. Is big.
  • the groove width of the microtexture 4h is narrow and the groove depth is shallow. Further, the microtexture 4h does not extend to the end of the sliding surface 31.
  • the lubricating oil is held in each of the microtexture 4h, and the amount of the lubricating oil discharged from the end of the microtexture 4h to the outside of the sliding surface 31 is small, and the effect of oil pooling can be obtained. This improves the lubricity of the sliding member 2.
  • a wire discharge grinding method is known as a processing method using a wire guide, but the wire discharge grinding method is a method of discharging between the apex of the convex portion of the wire guide and the workpiece. ..
  • the wire discharge grinding method is a method of discharging between the apex of the convex portion of the wire guide and the workpiece. ..
  • the processing method according to the present embodiment when the wire 8 in contact with the wire guide 60b discharges to the sliding surface 31, the discharge from the wire 8 is only from the convex apex of the wire guide 60b. Instead, discharge occurs in a part of the wire 8 where the distance from the sliding surface 31 is equal to or less than the discharge gap at the portion where the wire 8 abuts on the wire guide 60b. This makes it possible to form linear microtextures rather than dotted ones.
  • FIG. 22 is an explanatory diagram showing the wire guide 60b according to the eighth embodiment.
  • the length of the microtexture 4h shown in FIG. 21 in the Y-axis direction (hereinafter referred to as “groove length”) is, for example, 20 mm, 10 to 60 ⁇ m is appropriate for the deepest groove depth in the central portion. be. That is, the relationship between the groove length of the microtexture 4h and the groove depth is 1000: 0.5 to 1000: 3, and the groove depth of the microtexture 4h is a maximum of 0.3% of the groove length.
  • the radial dimension of the arc shape of the wire guide 60b is about 830 to 5000 mm. According to the study by the inventors, although it depends on the current conditions, the discharge gap is about 0.02 mm, and if the distance between the wire 8 and the sliding surface 31 is equal to or less than this discharge gap, a discharge occurs. Further, if the wire 8 is advanced in the groove depth direction together with the wire guide 60b, the groove length becomes longer.
  • the convex shape of the guide portion 61b is not limited to that described above. That is, the convex shape of the guide portion 61b has a curvature and is not limited to the arc shape formed so as to have a gentle convex shape.
  • FIG. 22 is an explanatory diagram showing the wire guide 60b according to the eighth embodiment.
  • FIG. 22 schematically shows a view of the possible cross-sectional shape of the wire guide 60b as viewed from the X-axis direction.
  • the convex shape of the guide portion 61b may be an arc shape shown in FIG. 22 (a), an elliptical shape shown in FIG. 22 (b), or a combination of a straight line and an arc shape shown in FIG. 22 (c).
  • FIG. 23 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the wire 8 and the sliding surface 31 according to the ninth embodiment.
  • FIG. 23A shows a cross section taken along the line BB shown in FIG. 17C
  • FIG. 23B shows a microtexture 4j formed on the sliding surface 31.
  • the angle in the extending direction of the microtexture 4j is the sliding direction of the sliding member 2. It is formed so as to be inclined at an angle other than 90 ° with respect to a certain arrow AR1.
  • the microtexture 4j is formed by inclining the wire guide in the direction of the arrow AR6 around the X axis or moving the wire guide 60b in the direction of the arrow AR7 (Y-axis direction shown in FIG. 24).
  • the position of the AR7 direction can be set arbitrarily.
  • FIG. 24 is an explanatory diagram showing the microtexture 4k of the sliding mechanism 1 according to the ninth embodiment.
  • FIGS. 24 (a) and 24 (b) show examples of microtextures 4k and 4 m formed on the sliding surface 31, respectively.
  • FIG. 24A shows an example in which the microtexture 4k is formed on the sliding surface 31 by aligning the angle at which the microtexture 4k is inclined and the direction in which the microtexture 4k is arranged.
  • FIG. 24B shows an example in which the microtexture 4m is formed on the sliding surface 31 at different angles at which the microtexture 4m is inclined.
  • the component in the same direction as the arrow AR1 which is the sliding direction in the direction in which the microtexture 4 m is inclined that is, the X-axis direction shown in FIG. 24 (b). Since it has a component, the movement and circulation of the lubricating oil easily proceed with the sliding of the sliding member, whereby an oil film having good friction characteristics can be formed.
  • the direction in which the microtextures 4k and 4m are inclined is the X-axis direction in the example shown in FIG. 24.
  • a portion having a small groove width and groove depth at the end of the microtexture that is, the vicinity of the center in the Y-axis direction on the sliding surface 31 is arranged so as to overlap in the AR1 direction.
  • the total area of the microtexture 4m is uniformly arranged in the AR7 direction (Y-axis direction), which is the width direction of the sliding surface 31, the retention of the oil film is stabilized in the entire sliding surface 31, and the friction characteristics are improved. You can get stability.

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Abstract

摺動部材収容部に潤滑油を保持できる摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法を提供する。　摺動機構に、対向する一対の摺動面（３１）を有する摺動部材収容部（３）と、潤滑油を介して、一対の摺動面（３１）の間に摺動自在に配置される摺動部材（２）と、を備え、摺動部材収容部（３）の一対の摺動面（３１）の少なくとも一方は、摺動部材（２）の摺動方向に対して交差する方向に延在し、放電痕（４ｄ）が形成された溝部（４）を備えたものであると、摺動部材収容部に潤滑油を保持できる。

Description

摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法
　本開示は、摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法に関する。
　圧縮機の摺動機構において、ブレード案内溝（以下、「摺動部材収容部」という）及びブレード（以下、「摺動部材」という）に、マスキング及びショットブラストによってくぼみや溝等の潤滑油の保持部を形成し、摺動部材収容部及び摺動部材の摺動壁（以下、「摺動面」という）の磨耗及び焼付きを抑制する技術が開示されている（例えば、特許文献１）。
特開２００１―１５３０６７号公報
　しかしながら、特許文献１には、摺動部材収容部の摺動面に、マスキング及びショットブラストによってどのように潤滑油の保持部（以下、「溝部」という）を形成するかは記載されていない。摺動部材収容部は閉じられた狭小な空間であることから、これらの方法では、工具や装置を摺動部材収容部に入れることができないという課題があった。そのため、摺動部材収容部に潤滑油を保持する溝部を形成することは困難であり、特許文献１に記載の摺動機構において、摺動部材収容部に潤滑油を十分に保持できないという課題があった。
　本開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、摺動部材収容部に潤滑油を保持できる摺動機構、圧縮機、摺動機構の製造方法及び圧縮機の製造方法を提供することを目的とする。
　本開示にかかる摺動機構は、対向する一対の摺動面を有する摺動部材収容部と、
　潤滑油を介して、一対の摺動面の間に摺動自在に配置される摺動部材と、を備え、
　摺動部材収容部の一対の摺動面の少なくとも一方は、摺動部材の摺動の方向に対して交差する方向に延在し、放電痕が形成された溝部を有するものである。
　本開示にかかる圧縮機は、内部にシリンダ室、冷媒が吸入される吸入孔、及び圧縮された冷媒が吐出される吐出孔を有する円筒状であり中空状のシリンダと、シリンダ室に配置され、偏心回転に伴ってシリンダ室に冷媒を吸入するとともに、圧縮された冷媒を吐出するピストンと、を備え、シリンダは、本開示に記載の摺動機構を有するものである。
　本開示にかかる摺動機構の製造方法は、ワイヤ放電加工機に、一対の摺動面を有する摺動部材収容部を有する被加工対象を設置する工程と、摺動部材収容部の、一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向と交差する方向に、ワイヤ放電加工機にワイヤを張架する工程と、ワイヤを放電させ、放電されたワイヤによって、一対の摺動面の少なくとも一方に溝部を形成する工程と、を有するものである。
　本開示にかかる圧縮機の製造方法は、ワイヤ放電加工機に、一対の摺動面を有する摺動部材収容部を有し、円筒状であり中空状のシリンダを設置する工程と、摺動部材収容部の、一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向と交差する方向に、ワイヤ放電加工機にワイヤを張架する工程と、ワイヤを放電させ、放電されたワイヤによって、一対の摺動面の少なくとも一方に溝部を形成する工程とを有するものである。
　本開示によれば、摺動部材収容部に潤滑油を保持できる。
実施の形態１にかかる圧縮機の一部を示す概略平面図。 実施の形態１にかかる摺動機構を示す分解概略図。 実施の形態１にかかる摺動機構の動作を示す概略上面図。 実施の形態１にかかるワイヤ放電加工機によるマイクロテクスチャの形成方法を説明する図。 実施の形態１にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す断面図。 実施の形態１にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す顕微鏡写真。 実施の形態２にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す図。 実施の形態３にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す概略図。 実施の形態３にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す概略図。 実施の形態４にかかる圧縮機を示す縦断面図。 実施の形態４にかかる圧縮機の圧縮機構部を示す拡大平面図。 実施の形態４にかかる圧縮機構部を示す要部拡大図。 実施の形態５にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ送り機構を示す要部詳細図。 実施の形態６にかかる圧縮機の一部を示す拡大平面図。 実施の形態６にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す概略図。 実施の形態６にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す概略図。 実施の形態７にかかる圧縮機構部の摺動部材収容部へのマイクロテクスチャの加工方法を説明する説明図。 実施の形態８にかかるマイクロテクスチャの加工方法の比較例を示す説明図。 実施の形態８にかかるマイクロテクスチャの加工方法の比較例を示す説明図。 実施の形態８にかかる圧縮機構部の摺動部材収容部へのマイクロテクスチャの加工方法を説明する説明図。 実施の形態８にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す概略図。 実施の形態８にかかるワイヤガイドを示す説明図。 実施の形態９にかかるワイヤと摺動面との位置関係を示す説明図。 実施の形態９にかかる摺動機構のマイクロテクスチャを示す説明図。
　以下に添付図面を参照しながら、本開示の好適な実施の形態について詳細に説明する。
なお、本開示は以下の記述に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。なお、図面において、装置の構成や部材の形状を示す図は、あくまで装置及び部材の概略的な構成及び形状を示すものである。各図面において図示される各部材の相対的な大きさ、及び相対的な位置は、必ずしも実際の部材間における大小関係及び位置関係を正確に表現するものではない。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１にかかる圧縮機１００の一部を示す概略平面図である。図１に示すように、圧縮機１００（後述する）は、ピストン５、主軸６、及び円筒状であり中空状のシリンダ７を備え、シリンダ７は、摺動機構１ａを有する。摺動機構１ａは、摺動面２１を有する摺動部材２と、対向する一対の摺動面３１を有する摺動部材収容部３ａとを備える。摺動部材収容部３ａは、シリンダ７の内径側から外径側に、空洞として形成される。すなわち、シリンダ７の内側の中空と連通して、摺動部材収容部３ａが形成される。図１において、摺動部材収容部３は、シリンダ７の内径側に摺動面３１を有し、シリンダ７の外径側は円形となっている。摺動部材２は、一端は摺動部材収容部３ａの対向する一対の摺動面３１の間に配置され、他端はピストン５の周壁と接している。摺動部材２とピストン５が接している箇所を、接触部５１とする。摺動部材２と摺動部材収容部３ａとの間には、潤滑油（図１に図示せず）が充填されている。さらに、図１には図示していないが、摺動部材収容部３ａの摺動面３１には、潤滑油を保持する凹状の溝であるマイクロテクスチャ４ａ、すなわち溝部が形成される。摺動部材収容部３ａの対向する一対の摺動面３１の間に摺動部材２が配置されているとき、摺動部材収容部３ａの摺動面３１と、摺動部材２の摺動面２１はそれぞれ対向している。
　ピストン５は、主軸６周りに回転する。摺動部材２は、ピストン５との接触部５１を介し、ピストン５の偏心回転に従動して、摺動部材収容部３ａ内を、円筒状のシリンダ７の径方向に摺動する。
　図２は、実施の形態１にかかる摺動機構１ａを示す分解概略図である。図２（ａ）は、摺動機構１ａの概略斜視図、図２（ｂ）は、摺動部材収容部３ａの概略正面図である。
　図２において、摺動部材収容部３ａは、摺動部材２の摺動面２１と潤滑油を介して対向する摺動面３１を有する。摺動面３１には、マイクロテクスチャ４ａが形成される。マイクロテクスチャ４ａは、摺動部材２の摺動方向と交差する方向に延在する。図２において、マイクロテクスチャ４ａが延在する方向は、摺動部材２の摺動方向と直交している。マイクロテクスチャ４ａは、潤滑油による流体膜に、正圧を発生させて摺動面２１を浮上させる流体動圧効果を有する。また、マイクロテクスチャ４ａは、凹状の溝に潤滑油が保持される流体保持効果を有する。また、マイクロテクスチャ４ａは、摺動部材２が摺動した過程で発生した摩耗粉を、凹状の溝に捕集することにより、摩耗粉の噛み込みを抑制する摩耗粉の捕集効果を有する。さらに、マイクロテクスチャ４ａは、潤滑油を保持することにより、摺動部材２及び摺動部材収容部３ａの固体接触及び凝着摩耗を抑制する効果を有する。以上の効果を総合して、マイクロテクスチャ４ａが摺動部材収容部３ａの摺動面３１に形成されることにより、摺動機構１ａの耐摩擦特性の向上につながる。
　図３は、実施の形態１にかかる摺動機構１ａの動作を示す概略上面図である。
　図３において、摺動部材２と摺動部材収容部３ａとの間には、潤滑油（図３に図示せず）が介在した状態である。図１における主軸６が回転すると、これに従動するピストン５の偏心回転に伴い、摺動部材２が摺動部材収容部３ａに対して摺動する。
　ここで、摺動部材２が、図３の矢印ＡＲ１方向に摺動する場合について説明する。摺動部材２が矢印ＡＲ１方向に摺動するとき、潤滑油は、摺動部材２の摺動方向と同じ方向へ流れる。そして、マイクロテクスチャ４ａ内へ流入した潤滑油は、矢印ＡＲ２に示すように、マイクロテクスチャ４ａの凹状の溝に沿って、摺動部材２へ近づく方向へ流れる。この潤滑油の流れによって、摺動部材２には、左右両方の摺動面２１で摺動部材収容部３ａから離れる方向へ力が加わる。これにより、摺動部材２の摺動面２１と摺動部材収容部３ａの摺動面３１との間に生じる摺動抵抗が低減される。
　なお、摺動部材２は、矢印ＡＲ１と反対方向にも摺動する。このとき、潤滑油が流れる方向は、図３の矢印ＡＲ２の反対方向になるが、摺動部材２に対して、摺動部材収容部３ａから離れる方向に力が加わる点は、摺動部材２が矢印ＡＲ１方向に摺動する場合と同様である。
　摺動部材収容部３ａに形成されるマイクロテクスチャ４ａの本数は、一方の摺動面３１に１本でもよいが、図２に示すように、一方の摺動面３１に複数本形成してもよい。それぞれのマイクロテクスチャ４ａの間隔寸法ｐは、潤滑油による油膜保持に有効であるように任意に設定すればよい。また、マイクロテクスチャ４ａの１本の幅及び深さ（以下、それぞれ「溝幅及び溝深さ」という）の寸法は、例えば溝幅寸法ｗを１０～６０μｍ、溝深さ寸法ｄを２～１０μｍとすればよい。マイクロテクスチャ４ａの間隔寸法ｐの寸法は、例えば１００～５００μｍとすればよい。
　ここで、本開示においてマイクロテクスチャ４ａを形成するワイヤ放電加工機は、本来は被加工対象の切断の用途に使われるものである。本開示においては、ワイヤ放電加工機を用いて、マイクロテクスチャ４ａを形成する。そのため、本開示におけるワイヤ放電加工機の用途の使用条件は、通常用いられるワイヤ放電加工機の切断の条件と異なる。摺動部材収容部３ａの間隙寸法Ｗ、すなわち、摺動面３１間の距離は、例えば１０ｍｍ以下である。
　マイクロテクスチャ４ａを摺動部材収容部３ａの摺動面３１に形成する場合、摺動部材収容部３ａの内側から、すなわち、摺動面３１と摺動面３１との間にレーザ加工機等を配置して、マイクロテクスチャ４ａを形成する必要がある。しかしながら、摺動部材収容部３ａの間隙は狭小であり、一方の摺動面３１に対してマイクロテクスチャ４ａを形成しようとしても、マシニングセンタ等の加工機、レーザ加工又はフォトエッチング等の形成方法では、工具や装置が入らず、マイクロテクスチャ４ａを形成することができない。
　本開示では、ワイヤ放電加工機を用いることによって、摺動部材収容部３ａの狭小な間隙にワイヤ放電加工機のワイヤ８を通し、放電によって摺動部材収容部３ａの摺動面３１にマイクロテクスチャ４ａを形成することができる。そのため、ワイヤ８を通すことができれば、例えばレーザ加工機等が配置できない狭小な間隙であっても、マイクロテクスチャ４ａを形成することができる。
　図４は、ワイヤ放電加工機によるマイクロテクスチャ４ａの形成方法を説明する図である。図４（ａ）は、ワイヤ放電加工機のワイヤ８と、被加工対象、例えばシリンダ７が有する摺動部材収容部３ａとの位置関係を示す上面図であり、図４（ｂ）は、摺動部材収容部３との位置関係を示す側面図である。図４（ｂ）において、摺動部材２が摺動方向をＸ方向（矢印ＡＲ１方向）とし、マイクロテクスチャ４ａが延在する方向をＹ方向とする。
すなわち、図４（ｂ）におけるＹ方向とは、摺動部材２の摺動方向と直交する方向である。図４（ａ）におけるマイクロテクスチャ４ａの位置と、図４（ｂ）におけるマイクロテクスチャ４ａの位置は対応している。図４に示す矢印ＡＲ３は、ワイヤ８の走査方向を示す。図４（ｃ）は横軸を時間及び移動距離、縦軸を電圧とした、ワイヤ放電加工機の放電パルスの印加状態を示す図である。図４（ｃ）の横軸は、図４（ｂ）のＸ方向寸法に対応しており、パルス印加時のワイヤ放電加工機のワイヤ８の位置と対応している。
　ワイヤ放電加工機を用いてマイクロテクスチャ４ａを形成し、摺動機構１を製造する方法について説明する。まず、ワイヤ放電加工機（図４に図示せず）に、被加工対象が有する摺動部材収容部３ａを設置する。次に、ワイヤ８を、ワイヤ放電加工機に張架する。摺動部材収容部３ａとワイヤ８との位置関係を所定の位置に設定し、放電を起こす。
　そして、ワイヤ放電加工機のワイヤ８を、摺動部材収容部３ａに対して平行、且つワイヤ８の走査方向、すなわち摺動部材２の摺動方向に対して交差する方向に延在するように配置され、一定速度で矢印ＡＲ３方向（Ｘ方向）に移動させる。電源（図４に図示せず）により、一定の周波数で放電を起こし、摺動部材収容部３ａの摺動面３１を加工する。すなわち、摺動部材収容部３ａにマイクロテクスチャ４ａを形成する。
　なお、加工の最適条件のため、放電時にはワイヤ８のＸ方向の移動を停止させたり、移動速度を変化させたりしてもよい。以上により、凹状の溝であるマイクロテクスチャ４ａが形成される。
　図５は、実施の形態１にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ａを示す断面図である。図５は、ワイヤ放電加工機のワイヤ８の延在方向に対して直交する方向の、摺動部材収容部３ａの断面（以下、「溝断面」という）を示す図である。
　図５に示すとおり、マイクロテクスチャ４の溝断面は、放物線に近い形状になる。例えば、φ７０μｍのワイヤ８を使用した場合、溝幅寸法ｗは、例えば３０～６０μｍ、溝深さ寸法ｄは、例えば２～１０μｍとなる。また、マイクロテクスチャ４ａ上に示す鋸歯状の放電痕４ｄ（後述する）は、放電加工によって加工された加工面に一般的に見られるものである。図５は、放電設定時間が２秒の場合に形成されたマイクロテクスチャ４ａを示したものであるが、加工時間が長いほど放電痕４ｄの大きさが小さくなるとともに数量が減り、溝断面の形状は平滑になる傾向がある。従って、マイクロテクスチャ４ａの形成時には、溝断面の許容粗度と生産時間とから、最適な放電時間を設定すればよい。
　図６は、実施の形態１にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ａを示す顕微鏡写真である。図６は、マイクロテクスチャ４ａをワイヤ８側から観察した顕微鏡写真である。
図６において、摺動部材２は、矢印ＡＲ１方向に摺動する。図６におけるマイクロテクスチャ４ａ形成時の放電設定時間は５秒である。一般的に、放電時間が長い方が、溝幅寸法ｗが均一になる傾向がある。従って、溝幅寸法ｗの均一性を重視する場合は、加工時間が許容できる範囲で、放電時間を長くすればよい。
　ところで、ワイヤ放電加工機等の放電加工機で加工を行った際、加工面は熱影響を受け、溝全体、すなわちマイクロテクスチャ４ａの凹状の溝の表面には、放電加工特有の変質層（図５に図示せず）が形成される。例えば材料が鉄系の場合、変質層には、他と異なる層として、パーライト又はセメンタイト等の金属組織構成が見られる。また、例えば材料がアルミ系の場合、変質層には、白層又は微細空孔等が見られる。他の材料でも同様の放電加工特有の変質層が見られる。また、加工面には、図５で示した放電痕４ｄも見られる。放電痕４ｄは放電が当たった痕で、加工面が一度融解し再凝固した面であり、鋸歯状であり、表面が粗い。変質層及び放電痕４ｄは、走査型電子顕微鏡等で観察可能であり、本開示におけるマイクロテクスチャ４ａの加工面の特徴と言える。なお、放電痕４ｄは微細なため、マイクロテクスチャ４ａにおいて観察されない場合もある。
　上述のように、摺動機構１は、対向する一対の摺動面３１を有する摺動部材収容部３ａと、潤滑油を介して、一対の摺動面３１の間に摺動自在に配置される摺動部材２と、を備え、摺動部材収容部３ａの一対の摺動面３１の少なくとも一方は、摺動部材２の摺動方向に対して交差する方向に延在するマイクロテクスチャ４ａを有するものである。
　以上のように、ワイヤ放電加工機を用いることにより、摺動機構１ａは、対向する一対の摺動面３１を有する摺動部材収容部３ａに、マイクロテクスチャ４ａを形成できるため、摺動部材収容部３ａに潤滑油を保持できる。
　また、摺動機構１は、ワイヤ放電加工機により加工されるため、上述のとおり摺動部材収容部３ａの間隙寸法Ｗ０が、例えば１０ｍｍ以下で、マシニングセンタ、レーザ加工又はフォトエッチング等では加工できないほど狭小でも、摺動部材収容部３ａの摺動面３１に容易にマイクロテクスチャ４ａを加工することができる。
　また、ワイヤ放電加工機は、１μｍ単位の一定の距離を保ちながら、ワイヤ８と摺動部材収容部３とが非接触の状態で、摺動部材収容部３ａの摺動面３１にマイクロテクスチャ４ａを形成できる。したがって、マイクロテクスチャ４ａの溝幅及び溝深さを、１μｍ単位の高精度で設計し、形成することができる。
　また、摺動機構１ａは、ワイヤ放電加工機により加工されるため、マシニングセンタ等の加工工具の摩耗交換を気にする必要がない。そのため、加工コストを低減できる。
　また、摺動機構１ａは、ワイヤ放電加工機により加工されるため、マイクロテクスチャ４ａの溝幅寸法又はピッチ寸法等の形状仕様を、金型又はフィルム等で用意する必要がない。また、必要によっては、個別にマイクロテクスチャ４ａの溝幅寸法及びピッチ寸法を変えることも可能であるため、より最適なマイクロテクスチャ４ａを得ることができる。
　また、摺動機構１ａは、ワイヤ放電加工機により加工されるため、マイクロテクスチャ４ａの加工面は放電痕により粗くなり、より多くの潤滑油を保持することができる。
　また、摺動機構１ａは、ワイヤ放電加工機により加工されるため、マシニングセンタ等の加工工具による加工と異なり、非接触加工のため加工力がかからず、摺動部材収容部３ａが硬脆材料であっても加工時にクラック等の欠陥が入りにくく、欠陥の発生を抑制できる。
　また、摺動機構１ａは、摺動部材２の摺動に伴う損失を抑制できるため、摺動部材２及び摺動部材収容部３ａの長寿命化を図ることができる。
　また、摺動機構１ａは、摺動部材収容部３ａがマイクロテクスチャ４ａを有するため、潤滑油を介して対向する摺動部材２との耐摩擦特性を向上させることができ、摺動抵抗の増加を抑制することができる。
実施の形態２．
　図７は、実施の形態２にかかる摺動機構１ｂのマイクロテクスチャ４ｂを示す図である。図７において、摺動部材２は、矢印ＡＲ１方向に摺動する。図７（ａ）は、マイクロテクスチャ４ｂをワイヤ８側から観察した顕微鏡写真である。図７（ｂ）は、図７（ａ）を模式的に示した図である。図７におけるマイクロテクスチャ４ｂ形成時の放電設定時間は１秒である。実施の形態１の図６におけるマイクロテクスチャ４ａよりも、放電設定時間を短くすることにより、マイクロテクスチャ４ｂの溝幅を不均一にすることができ、１本のマイクロテクスチャ４ｂの中で、溝幅寸法が狭い溝幅寸法ｗ１の部分と、溝幅寸法が広い溝幅寸法ｗ２の部分とを得ることができる。
　マイクロテクスチャ４ｂにおいて、溝幅寸法ｗ２が溝幅寸法ｗ１よりもおおよそ２０％以上大きくすれば、溝幅寸法ｗ２の部分が、潤滑油が溜まる油溜まり部４１として作用し、耐摩擦特性を向上できる。すなわち、放電設定時間を短くすることにより、意図的に溝幅を不均一にし、溝幅の広い油溜まり部４１を形成することができる。油溜まり部４１は、マイクロテクスチャ４ｂにおいて、摺動部材２の摺動方向に窪んだ部分を指す。
　上述のように、マイクロテクスチャ４ｂは、マイクロテクスチャ４ｂが延在する方向と交差する方向に窪んだ油溜まり部４１を有する。
　以上のように、ワイヤ放電加工機を用いることにより、摺動機構１ｂは、対向する一対の摺動面３１を有する摺動部材収容部３ａに、マイクロテクスチャ４ｂを形成できるため、摺動部材収容部３ｂに潤滑油を保持できる。
　また、実施の形態１と同様の効果に加え、実施の形態２では、油溜まり部４１によって、より多くの潤滑油をマイクロテクスチャ４ｂに保持するができるため、摺動機構１ｂの耐摩擦特性が向上できる。
　また、実施の形態２は、実施の形態１よりも放電設定時間を短くできるとともに、油溜まり部４１を別工程で加工する必要がないため、マイクロテクスチャ４ｂの加工時間を短くすることができ、生産性を向上できる。
　また、発明者らは、マイクロテクスチャ４ｂの溝幅及び溝深さが、放電時間に敏感に反応し、放電時間にほぼ比例して変化することを見出した。さらに、発明者らは、マイクロテクスチャ４ｂの溝幅は、ほぼワイヤ８のワイヤ径に比例し、ワイヤ径の半分程度であることを確認した。これらから、マイクロテクスチャ４ｂの溝幅及び溝深さの制御は、ワイヤ放電加工機が、ワイヤ８の交換機能及び放電時間の制御機能を有することにより実現可能である。
実施の形態３．
　図８は、実施の形態３にかかる摺動機構１ｃのマイクロテクスチャ４ｃを示す概略図である。実施の形態１及び２において、マイクロテクスチャ４ａ及び４ｂは、摺動部材２の摺動方向である矢印ＡＲ１方向と直交する方向に延在している。すなわち、実施の形態１及び２において、マイクロテクスチャ４ａ及び４ｂの延在方向の角度、すなわちワイヤ放電加工機のワイヤ８の延在方向の角度は、摺動部材２の摺動方向である矢印ＡＲ１に対して９０°である。一方、実施の形態３では、マイクロテクスチャ４ｃの延在方向の角度は、摺動部材２の摺動方向である矢印ＡＲ１に対して９０°以外の角度に傾斜して形成される。さらに、図８では、加工時における電源の周波数を任意に設定することにより、一定ではない任意の間隔でマイクロテクスチャ４ｂを形成できることを用いて、摺動部材収容部３ｃの摺動面３１にマイクロテクスチャ４ｃを形成している。
　図９は、実施の形態３にかかる摺動機構１ｃのマイクロテクスチャ４ｃ１を示す概略図である。図９に示すように、摺動部材収容部３の摺動面３１に、摺動部材２の摺動方向に対して異なる角度で延在する複数のマイクロテクスチャ４ｃ１を形成してもよい。
　以上のように、ワイヤ放電加工機を用いることにより、摺動機構１ｃは、対向する一対の摺動面３１を有する摺動部材収容部３ｃに、マイクロテクスチャ４ｃ又は４ｃ１を形成できるため、摺動部材収容部３ｃに潤滑油を保持できる。
　また、実施の形態１と同様の効果に加え、実施の形態３では、マイクロテクスチャ４ｃ又は４ｃ１の方向に摺動方向である矢印ＡＲ１と同一方向の成分があるため、摺動に連れて潤滑油の移動及び循環が進みやすく、より摩擦特性のよい油膜を形成できる。
　また、複数のマイクロテクスチャ４ｃを形成する場合、１本１本のマイクロテクスチャ４ｃの摺動部材２の摺動方向である矢印ＡＲ１に対する角度及び各マイクロテクスチャ４ｃの間隔を任意に設定することができるため、油膜形成に最適なマイクロテクスチャ４ｃを得ることができる。
　なお、実施の形態３において、図９に示すように、マイクロテクスチャ４ｃ１同士が交差する場合、摺動機構１ｃは、より摺動部材収容部３ｃに潤滑油を保持できる。
実施の形態４．
　図１０は、実施の形態４にかかる圧縮機１００を示す縦断面図である。圧縮機１００は、ロータリ型に分類される。図１１は、実施の形態４にかかる圧縮機１００の圧縮機構部５０を示す拡大平面図である。図１２は、実施の形態４にかかる圧縮機構部５０を示す要部拡大図である。
　図１０において、圧縮機１００は、密閉容器１１０内に、電動機部４０及び圧縮機構部５０を収納している。電動機部４０及び圧縮機構部５０は、主軸６を介して連結されている。また、密閉容器１１０内の底部には、潤滑油（図示せず）が貯蓄されている。
　圧縮機構部５０は、図１０及び図１１に示すように、シリンダ７と、上軸受９及び下軸受１０と、主軸６と、ピストン５と、を備える。円筒状であり中空状のシリンダ７は、図１１に示すように、円形の空間であるシリンダ室７０を有する。シリンダ室７０には、シリンダ室７０に連通し、径方向に延びる摺動部材収容部としてのベーン溝３０が、シリンダの軸方向に貫通して設けられている。ベーン溝３０には、摺動部材としてのベーン２０が摺動自在に配置されている。また、ベーン溝３０には、ベーン溝３０の基部に吐出圧及び潤滑油を導く背圧室７ｄが設けられている。ベーン２０において、背圧室７ｄに設けられるとともにシリンダ７の外径側の端部に接するバネ１１によって、シリンダ７の内径側の端部は、ピストン５に押し付けられている。
　また、シリンダ７には、圧縮機１００に設けられた吸入管１２からの吸入冷媒が通る吸入孔７ｂが、シリンダ７の外周面からシリンダ室７０に貫通して設けられており、吸入孔７ｂを介して、吸入空間７ｅに冷媒を吸入する。また、シリンダ７の内周に設けられた排出空間７ｆから連通して、シリンダ７の内周面を切り欠いた吐出孔７ｃが設けられている。吐出孔７ｃは、吐出管１３に通じている。
　さらに、圧縮機構部５０は、図１２に示すように、摺動部材としてのベーン２０と、摺動部材収容部としてのベーン溝３０と、を有し、ベーン溝３０には、マイクロテクスチャ４が形成されている。図１２において、ベーン溝３０は、シリンダ７の内径側に摺動面３１を有し、シリンダ７の外径側は円形となっている。ここで、マイクロテクスチャ４とは、実施の形態１～３で説明したマイクロテクスチャ４ａ、４ｂ及び４ｃの少なくともいずれかを指すものである。
　次に、圧縮機１００の動作について説明する。密閉容器１１０内において電動機部４０が運転されると、主軸６を介してピストン５が駆動される。ピストン５の偏心回転に伴って冷媒がシリンダ室７０内に吸入されると、冷媒は圧縮され、吐出される。ベーン２０は、ベーン溝３０の内側に配置された状態で、シリンダ室７０内における吸入空間７ｅと排出空間７ｆとを隔てる隔壁として機能する。ベーン２０は、シリンダ７の内周側がピストン５の周壁に当接した状態で、ピストン５の偏心回転に伴ってベーン溝３０内を摺動する。
　ここで、摺動部材収容部３としてのベーン溝３０の内壁、すなわち、摺動面３１には、マイクロテクスチャ４が形成されている。これにより、ベーン２０がベーン溝３０内を摺動する際のベーン２０の外壁、すなわち摺動面２１と、ベーン溝３０の内壁、すなわち摺動面３１との摺動抵抗を低減できる。
　以上のように、圧縮機１００は、内部にシリンダ室７０、冷媒が吸入される吸入孔７ｂ、及び圧縮された前記冷媒が吐出される吐出孔７ｃを有する円筒状であり中空状のシリンダ７と、シリンダ室７０に配置され、偏心回転に伴ってシリンダ室７０に冷媒を吸入するとともに、圧縮された冷媒を吐出するピストン５と、を備え、シリンダ７は、摺動機構１を有するものである。ここで、摺動機構１とは、実施の形態１～３で説明した摺動機構１ａ、１ｂ及び１ｃの少なくともいずれかを指すものである。
　そして、圧縮機１００の製造方法は、ワイヤ放電加工機に、一対の摺動面３１を有するベーン溝３０を有し、円筒状であり中空状のシリンダ７を設置する工程と、ベーン溝３０の、一対の摺動面３１に対して平行且つベーン２０の摺動方向と交差する方向に、ワイヤ放電加工機にワイヤ８を張架する工程と、ワイヤ８を放電させ、放電されたワイヤ８によって、一対の摺動面３１の少なくとも一方にマイクロテクスチャ４を形成する工程とを有するものである。
　圧縮機１００は、摺動機構１を有しているため、実施の形態１～３に記載の効果と同様に、マイクロテクスチャ４が形成されたベーン溝３０と、潤滑油を介して対向するベーン２０の耐摩擦特性を向上させることができ、摺動抵抗の増加を抑制できる。
　また、摺動機構１の摺動に伴う損失を抑制でき、ベーン２０、ベーン溝３０及び圧縮機１００の長寿命化を図ることができる。
　また、シリンダ室７０を仕切っているベーン２０は、高圧ガスにより大きな負荷がかかっており、摺動損失が大きい。しかしながら、摺動機構１を備えた圧縮機１００は、ワイヤ放電加工機によりベーン溝３０側にマイクロテクスチャ４が形成されているため、常に高圧ガスと接して潤滑油の油膜が剥離しやすいベーン２０の外壁のみにマイクロテクスチャ４が形成されている場合よりも、潤滑油による油膜の保持力に優れ、ベーン２０との摺動損失を低減できる。これにより、圧縮機１００の性能を向上させ、ベーン２０及びベーン溝３０の摩耗を抑制できる。
　また、ベーン２０とベーン溝３０との間に生じる摺動抵抗が大きくなると、ベーン２０が鉛直下方へ移動する際の移動速度が低下してしまい、ベーン２０の移動がピストン５の偏心回転に追従できず、ベーン２０の下端部とピストン５の周壁との間に空隙が発生してしまうおそれある。この場合、吸入空間７ｅと排出空間７ｆとが繋がってしまうため、圧縮機１００の圧縮効率が低下してしまう。
　これに対して、圧縮機１００では、ベーン溝３０の内壁に、マイクロテクスチャ４が形成されているため、ベーン２０とベーン溝３０との間に生じる摺動抵抗が低減される。そのため、ベーン２０が鉛直下方へ移動する際の移動速度が向上する。したがって、ベーン２０の下端部とピストン５の周壁との間に空隙が生じることを抑制できるので、圧縮機１００の圧縮効率が改善される。
　また、圧縮機１００の圧縮効率が改善されることにより、環境負荷の低減を図ることができる。
　なお、実施の形態４において、マイクロテクスチャ４をワイヤ放電加工機によって形成する際、図１１に示すように被加工対象であるシリンダ７が有するベーン溝３０が閉空間にある場合、加工前にワイヤ８をベーン溝３０の開口部に挿入する必要がある。また、加工後はワイヤ８を切断して、次の被加工対象であるシリンダ７が有するベーン溝３０で、再度、ワイヤ８を通す必要がある。しかしながら、これらの操作は、ワイヤ放電加工機では一般的に自動化されており、実施の妨げになるものではない。
実施の形態５．
　図１３は、実施の形態５にかかるワイヤ放電加工機のワイヤ送り機構２００を示す要部詳細図である。ワイヤ送り機構２００は、ワイヤ８と、ワイヤ反転部１４と、ワイヤ反転部を保持する保持部１５と、を備える。ワイヤ反転部１４は、プーリ形状で、円周部に溝が形成されている。ワイヤ反転部１４の溝は、保持部１５の側面に連続して形成される。
ワイヤ送り機構２００を用いることにより、ワイヤ放電加工機のワイヤ８の挿入及び切断をせずに、連続してベーン溝３０にマイクロテクスチャ４ｃを形成することができる。
　ベーン溝３０に対して、ワイヤ送り機構２００を用いてマイクロテクスチャ４ｃを形成する方法について説明する。まず、ワイヤ送り機構２００をワイヤ放電加工機に設置する。次に、ワイヤ８を、ワイヤ送り機構２００のワイヤ反転部１４及び保持部１５の溝に沿って張架するとともに、ワイヤ放電加工機に接続する。そして、ワイヤ放電加工機に、ベーン溝３０を有するシリンダ７を設置する。
　ワイヤ８は、ワイヤ送り機構２００に沿って一定の張力を保ちながら、矢印ＡＲ４方向に駆動されるとともに、ワイヤ８からベーン溝３０に対して放電する。なお、矢印ＡＲ４方向は、図１３では紙面下方向を指しているが、上方向でもよい。すなわち、矢印ＡＲ４方向は、マイクロテクスチャ４の延在方向とすればよい。
　ベーン溝３０に対するマイクロテクスチャ４の形成が終了すると、新たなシリンダ７のシリンダ室７０を、紙面上方向からワイヤ反転部１４に通して設置する。
　これにより、実施の形態１～４に記載の効果に加え、実施の形態５では、ベーン溝３０が閉空間にある場合でも、加工の都度、ワイヤ８を挿入及び切断することなく、次のベーン溝３０にマイクロテクスチャ４を形成することができる。したがって、ベーン溝３０に対するマイクロテクスチャ４を形成する時間を短縮することができる。
　なお、実施の形態５において、ワイヤ反転部１４は、ワイヤ８を送るために回転する構成としてもよいが、固定したままワイヤ８を送る構成でもよい。
　なお、本開示において、対向する摺動面３１のマイクロテクスチャ４は、それぞれ同じ上下位置、すなわち左右対称の位置関係にあるが、必ずしもその必要はない。
　また、本開示において、圧縮機１００に摺動機構１を設ける例を示したが、ジャーナル軸受又はロータリポンプ等に設けてもよい。
実施の形態６．
　図１４は、実施の形態６にかかる圧縮機１００の一部を示す拡大平面図である。図１４には、ベーン２０の周囲を拡大して示している。ベーン２０には、図１４中の矢印ＡＲ５に示す方向に常に力がかかる。これは、ピストン５が一定方向（図１４では時計回り）に回転することで、ピストン５とベーン２０が摺動するためである。また、図１４においてベーン２０の左側が冷媒の吐出側、右側が吸入側に分かれており、ＡＲ５方向に冷媒の圧力差が生じることによっても、ベーン２０には、ＡＲ５方向に力がかかる。
　そのため、ベーン２０によりベーン溝３０にかかる圧力は、摺動方向において均一ではなく、摺動面３１におけるベーン２０の端部に相当する領域には、摺動面３１における他の領域に比して高い圧力がかかる。すなわち、摺動面３１において、図１４に示す領域３０ａ、領域３０ｂには、他の領域に比して高い圧力がかかる。
　このことから、マイクロテクスチャ４は、領域３０ａ及び領域３０ｂに形成すると好ましい。図１５は、実施の形態６にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ｅを示す概略図である。図１５（ａ）には、マイクロテクスチャ４ｅを、ベーン溝３０の左側面に形成した例を示しており、図１５（ｂ）には、マイクロテクスチャ４ｅを、ベーン溝３０の右側面に形成した例を示している。図１５（ａ）、（ｂ）のそれぞれに示すように、ベーン溝３０の一方の側面においては、摺動方向外側、すなわちシリンダ７の外径側の領域３０ａにマイクロテクスチャ４ｅが他の領域に比して密に形成さている。また、ベーン溝３０の他方の側面においては、摺動方向内側、すなわちシリンダ７の内径側の領域３０ｂにマイクロテクスチャ４ｅが他の領域に比して密に形成されている。このように、本実施の形態にかかるマイクロテクスチャ４ｅは、摺動方向において分布が異なる。
　また、マイクロテクスチャ４ｅの分布は、マイクロテクスチャ４ｅの溝幅又は溝深さを変えることで変化させてもよい。図１６は、実施の形態６にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ｅ、４ｆ、４ｇを示す概略図である。図１６（ａ）は、図１５（ａ）における断面Ａ－Ａを示しており、同じ溝幅と溝深さのマイクロテクスチャ４ｅが、領域３０ａに密に形成されている。
　図１６（ｂ）に示すように、領域３０ａに形成されたマイクロテクスチャ４ｆは、他の領域に形成されたマイクロテクスチャ４ｆよりも溝幅が広く、溝深さが深いものになっている。一方、図１６（ｃ）に示すように、領域３０ａに形成されたマイクロテクスチャ４ｇは、他の領域に形成されたマイクロテクスチャ４ｇに比して、溝幅が小さく、溝深さが浅くなっている。
　このようにすると、領域３０ａにおいて潤滑油の保持量と保持力が増し、摺動抵抗の小さい摺動機構を得ることができる。溝の溝幅、溝深さの大小の組み合わせは、図１６（ａ）、図１６（ｂ）、及び図１６（ｃ）に示すマイクロテクスチャ４ｅ、４ｆ、４ｇの形成例を組み合わせたものであってもよい。上述したマイクロテクスチャの分布については、領域３０ｂについても同様である。なお、これらの溝の溝幅、溝深さの大小は、前述のようにワイヤ放電加工機のワイヤ８の交換機能及び放電時間の制御機能により実現可能である。
実施の形態７．
　ワイヤ放電加工機のワイヤ８は図１３等に示されるように、ベーン溝３０に近接する空間を予め定められた張力に張架された状態で走行している。本実施の形態にかかる摺動機構１の製造方法は、摺動機構１の形成において、ワイヤ８が変動しないようにワイヤガイド保持機構を用いるものである。
　図１７は、実施の形態７にかかる圧縮機構部５０の摺動部材収容部３へのマイクロテクスチャ４の加工方法を説明する説明図である。図１７（ａ）、図１７（ｂ）、及び図１７（ｃ）にはそれぞれ、斜視図、側面図、及び上面図を示している。なお、図１７（ｂ）は、シリンダ７の中心側、つまり、主軸６側から図１７（ａ）に示すＸ軸方向に沿ってワイヤ８を見た図を示しており、図１７（ｃ）には、シリンダ７の上方から図１７（ａ）に示すＹ軸方向に沿ってワイヤ８を見た図を示している。
　ワイヤガイド６０ａは、図１７（ｃ）における紙面下方で、図示しないワイヤガイド保持機構に接続されている。また、ワイヤ８と接触するガイド部６１ａは平面である。ガイド部６１ａには、ワイヤ８が走行時にＸ方向に変動しないように、ワイヤ８の断面の半分程度の溝深さを有するガイド溝（図示せず）をＹ方向に延在させて設けてもよい。なお、説明のため、ガイド部６１ａにガイド溝を設ける場合も、平面と称する。
　図１７（ｂ）において、ワイヤ８は上下方向、すなわちＹ軸方向に予め定められた張力が加わり、ワイヤガイド６０ａに対して左方向、すなわちＺ軸マイナス方向に張架されながら走行する。このようにすると、ワイヤ８はワイヤガイド６０ａから離れずに固定され、換言すればベーン溝３０との空間的位置を変動させることなく、精度良くベーン溝３０に放電することが可能となる。これにより、ワイヤ８の振動及びワイヤ８の形状等により、ワイヤ８の空間的位置が数μｍ程度変動する場合においても、ワイヤガイド６０ａを用いることによりマイクロテクスチャ４ｅを正確に形成できる。
　なお、図１７におけるＹ軸回りの回転ずれについては、ワイヤ８が摺動面３１と並行を保った状態での距離のずれに相当するため、放電の都度、容易に調整することができる。
　また、ワイヤガイド６０ａを用いることにより、ワイヤガイド６０ａとワイヤ送り機構（図示せず）を放電加工機とは別に構成することも可能である。また、ワイヤガイド６０ａを用いることにより、放電加工機は型彫りタイプのものを使用することも可能である。一般にワイヤ放電加工機は放電時の加工液として純水を使用するが、一方で、型彫り放電加工機は油を使用するので、この加工液の違いにより、型彫り放電加工機の方がワイヤ放電加工機に比してより高精度な加工が可能となる。
実施の形態８．
　本実施の形態にかかるマイクロテクスチャ４は、実施の形態７と同様に、ワイヤガイド６０ｂを用いて摺動面３１に形成される。本実施の形態において、実施の形態７とは、マイクロテクスチャ４の形成工程に用いられるワイヤガイド６０ｂの形状が異なる。実施の形態７と同じ構成要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。
　図１８は、実施の形態８にかかるマイクロテクスチャの加工方法の比較例を示す説明図である。図１８（ａ）には、ワイヤガイド６０ａが傾いた場合の例を示している。具体的には、ワイヤ８がワイヤガイド６０ａと共にＸ軸回りの矢印ＡＲ６方向、すなわち摺動面３１との平行が保てない方向に傾いた状態を示している。
　図１８（ｂ）は、前述の状態で摺動面３１に形成されるマイクロテクスチャ４ｅ１を比較例として示している。この場合、マイクロテクスチャ４ｅ１は楔形になり摺動面３１の一方の側（図１８におけるＹ軸方向プラス側）に偏る。すなわち、摺動面３１の一方の側においては、マイクロテクスチャ４ｅ１の溝幅及び溝深さは大きく、他方の側（図１８におけるＹ軸方向マイナス側）に向かって、マイクロテクスチャ４ｅ１の溝幅及び溝深さが小さくなりながら途切れた形状に形成される。
　本実施の形態にかかるワイヤガイド６０ｂは、凸形状に形成されたガイド部６１ｂを有する。なお、ガイド部６１ｂは、例えば、曲率を有し、なだらかな凸形状となるように形成されている。以下、曲率を有する形状を円弧形状と称する。ワイヤガイド６０ｂを用いる場合は、ワイヤガイド６０ｂの傾きの中心がワイヤガイド６０ｂの円弧形状の中心と一致していれば、ガイド部６１ｂを円弧形状に沿って動かせばよいため、上述したような傾きの影響は現れない。つまり、傾きの中心が一致せずとも、ガイド部６１ｂが凸形状であるワイヤガイド６０ｂを用いる場合は、ガイド部６１ａが平面であるワイヤガイド６０ａを用いる場合に比して、傾きの影響は現れにくい。
　図１９は、実施の形態８にかかるマイクロテクスチャの加工方法の比較例を示す説明図である。図１９（ａ）には、図１８と同様に、ワイヤガイド６０ｂが傾いた場合の例を示している。具体的には、ワイヤ８がワイヤガイド６０ｂと共にＸ軸回りの矢印ＡＲ６方向、すなわち摺動面３１との平行が保てない方向に傾いた状態を示している。
　図１９（ｂ）は、前述の状態で摺動面３１に形成されるマイクロテクスチャ４ｅ２を比較例として示している。この場合、マイクロテクスチャ４ｅ２においても、図１８（ｂ）に示すマイクロテクスチャ４ｅ１と同様に、摺動面３１の一方の側（図１９におけるＹ軸方向プラス側）に偏って形成される。
　しかしながら、ガイド部６１ｂが凸形状であるワイヤガイド６０ｂを用いる場合は、摺動面３１の一方の側に偏ってマイクロテクスチャ４ｅ２が形成された状態から補正が可能である。
　図２０は、実施の形態８にかかる圧縮機構部５０の摺動部材収容部３へのマイクロテクスチャ４ｅ３の加工方法を説明する説明図である。図２０（ａ）には、図１９（ａ）に示したワイヤガイド６０ｂの位置を補正した状態を示している。また、図２０（ｂ）には、図２０（ａ）に示すワイヤガイド６０ｂの位置を補正した状態で摺動面３１に形成されるマイクロテクスチャ４ｅ３を示している。
　ワイヤガイド６０ｂに、図２０中Ｘ軸回りの矢印ＡＲ６方向に傾きが生じた場合であっても、ガイド部６１ｂが凸形状であるため、矢印ＡＲ７方向（図２０におけるＹ軸方向）へ移動させれば、マイクロテクスチャ４ｅ３の位置を容易に調整することができる。なお、図２０に示す例においては、図１９（ａ）に示すワイヤガイド６０ｂをＹ軸方向マイナス側へ移動させている。
　図２０に示すように、ワイヤガイド６０ｂの矢印ＡＲ６方向の傾きの中心をワイヤガイド６０ｂの円弧形状の中心と一致させれば、ガイド部６１ａが平面であるワイヤガイド６０ａを用いた場合に必要となる、ＡＲ６方向の傾きの調整を不要としながら、摺動面３１にマイクロテクスチャ４ｅ３を形成できる。
　上述のように、凸形状のワイヤガイド６０ｂを用いれば、マイクロテクスチャ４ｈの加工精度が向上する。なお、マイクロテクスチャｈを構成する各マイクロテクスチャで、溝深さ寸法や溝幅寸法は変化させてもよい。
　図２１は、実施の形態８にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ｈを示す概略図である。図２１に示すように、ガイド部６１ｂが凸形状であるワイヤガイド６０ｂを用いて形成されたマイクロテクスチャ４ｈは、図２１に示す、摺動面３１におけるＹ軸方向中央部で溝幅及び溝深さが大きい。一方、摺動面３１のＹ軸方向における端部側では、マイクロテクスチャ４ｈの溝幅は狭く、溝深さは浅い。また、マイクロテクスチャ４ｈは、摺動面３１の端部まで延在しない。これによりマイクロテクスチャ４ｈのそれぞれに潤滑油が保持され、マイクロテクスチャ４ｈの端部から潤滑油が摺動面３１の外部に排出される量が少なく、油溜まりの効果が得られる。これにより、摺動部材２の潤滑性が良好になる。
　ここで、ワイヤガイドを用いる加工方法として、ワイヤ放電研削法（ＷＥＤＧ）が知られているが、ワイヤ放電研削法はワイヤガイドの凸部の頂点と被加工物との間を放電させる方法である。一方で、本実施の形態にかかる加工方法においては、ワイヤガイド６０ｂに当接するワイヤ８が摺動面３１に放電する場合、ワイヤ８からの放電は、ワイヤガイド６０ｂの凸形状の頂点からだけでなく、ワイヤ８がワイヤガイド６０ｂに当接する部分で摺動面３１との距離が放電ギャップ以下となるワイヤ８の一部の範囲で放電が発生する。これにより、点状ではなく線状のマイクロテクスチャの形成が可能になる。
　図２２は、実施の形態８にかかるワイヤガイド６０ｂを示す説明図である。図２１に示すマイクロテクスチャ４ｈのＹ軸方向の長さ（以下、「溝長さ」という）を、例えば２０ｍｍとした場合、中央部の最も溝深さが深い部分は、１０～６０μｍが適当である。すなわち、マイクロテクスチャ４ｈの溝長さと溝深さの関係は、１０００：０．５～１０００：３であり、マイクロテクスチャ４ｈの溝深さは溝長さの最大０．３％となる。なお、弦長２０ｍｍで、矢高に相当する溝深さ０．０１～０．０６ｍｍの関係から、ワイヤガイド６０ｂの円弧形状の半径寸法は約８３０～５０００ｍｍとなる。発明者らの検討によれば、電流条件にもよるが、放電ギャップは約０．０２ｍｍであり、ワイヤ８と摺動面３１との距離が、この放電ギャップ以下であれば放電が発生する。さらにワイヤ８をワイヤガイド６０ｂと共に溝深さ方向に進行させれば溝長さも長くなる。
　なお、本実施の形態において、ガイド部６１ｂの凸形状は、上述したものに限定されることはない。すなわち、ガイド部６１ｂの凸形状は、曲率を有し、なだらかな凸形状となるように形成された円弧形状に限定されることはない。図２２は、実施の形態８にかかるワイヤガイド６０ｂを示す説明図である。図２２は、ワイヤガイド６０ｂの取り得る断面形状を、Ｘ軸方向から見た図を模式的に示している。ガイド部６１ｂの凸形状は、図２２（ａ）に示す円弧形状、図２２（ｂ）に示す楕円形状、又は図２２（ｃ）に示す直線と円弧形状を組み合わせたいずれであってもよい。
実施の形態９．
　図２３は、実施の形態９にかかるワイヤ８と摺動面３１との位置関係を示す説明図である。図２３（ａ）には、図１７（ｃ）に示すＢ－Ｂ断面を示しており、図２３（ｂ）は、摺動面３１に形成されたマイクロテクスチャ４ｊを示している。実施の形態３と同様に、ワイヤ８を図２３（ａ）に示すＺ軸回りの矢印ＡＲ８方向に傾ければ、マイクロテクスチャ４ｊの延在方向の角度は、摺動部材２の摺動方向である矢印ＡＲ１に対し、９０°以外の角度に傾斜して形成される。また、実施の形態８と同様に、ワイヤガイドをＸ軸回りの矢印ＡＲ６方向に傾斜させる、又はワイヤガイド６０ｂを矢印ＡＲ７方向（図２４に示すＹ軸方向）に移動させることにより、マイクロテクスチャ４ｊのＡＲ７方向の位置を任意に設定することができる。
　本実施の形態にかかるマイクロテクスチャ４ｋ、４ｍは、上述の方法を組み合わせることにより、摺動面３１に形成可能である。図２４は、実施の形態９にかかる摺動機構１のマイクロテクスチャ４ｋを示す説明図である。
　図２４（ａ）及び図２４（ｂ）にはそれぞれ、摺動面３１に形成されたマイクロテクスチャ４ｋ、４ｍの例を示している。図２４（ａ）には、マイクロテクスチャ４ｋが傾斜する角度と、マイクロテクスチャ４ｋが並ぶ方向とを揃えて、摺動面３１にマイクロテクスチャ４ｋが形成された例を示している。また、図２４（ｂ）には、マイクロテクスチャ４ｍが傾斜する角度を異ならせて、摺動面３１にマイクロテクスチャ４ｍが形成された例を示している。
　図２４（ａ）に示す例について、マイクロテクスチャ４ｋが傾斜している方向に、摺動方向である矢印ＡＲ１と同一方向の成分、すなわち図２４（ａ）に示すＸ軸方向成分を有するため、摺動部材２の摺動に伴う、潤滑油の移動及び循環が進行しやすく、これにより摩擦特性の良い油膜を形成できる。
　また、図２４（ｂ）に示す例についても同様に、マイクロテクスチャ４ｍが傾斜している方向に、摺動方向である矢印ＡＲ１と同一方向の成分、すなわち図２４（ｂ）に示すＸ軸方向成分を有するため、摺動部材の摺動に伴う、潤滑油の移動及び循環が進行しやすく、これにより摩擦特性の良い油膜を形成できる。なお、マイクロテクスチャ４ｋ、４ｍが傾斜している方向とは、図２４に示す例においては、Ｘ軸方向である。
　さらに、図２４（ｂ）に示す例について、マイクロテクスチャの端部で溝幅と溝深さの小さい部分、つまり摺動面３１におけるＹ軸方向中心付近を、ＡＲ１方向に重ねて配置することにより、摺動面３１の幅方向であるＡＲ７方向（Ｙ軸方向）にマイクロテクスチャ４ｍの総面積は均一に配置されることになり、油膜の保持が摺動面３１全体で安定化し、摩擦特性の安定性を得られる。
１　摺動機構、２　摺動部材、３　摺動部材収容部、４　マイクロテクスチャ（溝部）、５　ピストン、６　主軸、７　シリンダ、８　ワイヤ、９　上軸受、１０　下軸受、
１１　バネ、１２　吸入管、１３　吐出管、１４　ワイヤ反転部、１５　保持部、
２０　ベーン、２１、３１　摺動面、３０　ベーン溝、４０　電動機部、
４１　油溜まり部、５０　圧縮機構部、５１　接触部、１００　圧縮機、
１１０　密閉容器、２００　ワイヤ送り機構、４ｄ　放電痕、６０　ワイヤガイド、
６１　ガイド部。

Claims (18)

  1. 　対向する一対の摺動面を有する摺動部材収容部と、
    　潤滑油を介して、前記一対の摺動面の間に摺動自在に配置される摺動部材と、を備え、
    　前記摺動部材収容部の前記一対の摺動面の少なくとも一方は、前記摺動部材の摺動の方向に対して交差する方向に延在し、放電痕が形成された溝部を有する、
    摺動機構。
  2. 　前記溝部は、前記摺動部材の摺動方向に対して直交する方向に延在する、
    請求項１に記載の摺動機構。
  3. 　前記溝部は、前記摺動部材の摺動方向に対して傾斜する方向に延在する、
    請求項１に記載の摺動機構。
  4. 　前記摺動部材収容部の前記一対の摺動面の少なくとも一方は、前記摺動部材の摺動方向に対して異なる角度で延在する複数の前記溝部を有する、
    請求項１に記載の摺動機構。
  5. 　前記溝部は、前記溝部が延在する方向と交差する方向に窪んだ油溜まり部を有する、
    請求項１～４のいずれか一項に記載の摺動機構。
  6. 　前記溝部は、摺動方向における分布が異なる、
    請求項１～５のいずれか一項に記載の摺動機構。
  7. 　前記溝部は、溝深さの最も深い部分の寸法が、延在方向の溝長さの１％以下である、
    請求項１～６のいずれか一項に記載の摺動機構。
  8. 　内部にシリンダ室、冷媒が吸入される吸入孔、及び圧縮された前記冷媒が吐出される吐出孔を有する円筒状であり中空状のシリンダと、
    　前記シリンダ室に配置され、偏心回転に伴って前記シリンダ室に前記冷媒を吸入するとともに、圧縮された前記冷媒を吐出するピストンと、を備え、
    　前記シリンダは、請求項１～７のいずれか一項に記載の摺動機構を有する、
    圧縮機。
  9. 　ワイヤ放電加工機に、一対の摺動面を有する摺動部材収容部を有する被加工対象を設置する工程と、
    　前記摺動部材収容部の、前記一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向と交差する方向に、前記ワイヤ放電加工機にワイヤを張架する工程と、
    　前記ワイヤを放電させ、放電された前記ワイヤによって、前記一対の摺動面の少なくとも一方に溝部を形成する工程と、を有する、
    摺動機構の製造方法。
  10. 　前記ワイヤは、前記ワイヤ放電加工機に、前記一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向と直交する方向に張架される、
    請求項９に記載の摺動機構の製造方法。
  11. 　前記ワイヤは、前記ワイヤ放電加工機に、前記一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向に対して傾斜させて張架される、
    請求項９に記載の摺動機構の製造方法。
  12. 　前記一対の摺動面の少なくとも一方には複数の前記溝部が形成され、
    　複数の前記溝部は、前記ワイヤを、前記ワイヤ放電加工機に、前記一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向に対して異なる角度で張架して形成される、
    請求項９に記載の摺動機構の製造方法。
  13. 　前記ワイヤ放電加工機は、前記ワイヤ、前記ワイヤの延伸方向を反転させるワイヤ反転部及び反転した前記ワイヤを保持する保持部を有するワイヤ送り機構を備え、
    　前記ワイヤ放電加工機に、前記ワイヤを反転部及び前記保持部を介して張架する工程と、を有する、
    請求項９～１２のいずれか一項に記載の摺動機構の製造方法。
  14. 　前記ワイヤ放電加工機は、前記ワイヤの交換機能及び放電時間の制御機能を備える、
    請求項９～１３のいずれか一項に記載の摺動機構の製造方法。
  15. 　前記ワイヤは、ワイヤガイドのガイド部と接触して固定される、
    請求項９に記載の摺動機構の製造方法。
  16. 　前記ワイヤガイドのガイド部は、前記ワイヤと接触する面が平面である
    請求項１５に記載の摺動機構の製造方法。
  17. 　前記ワイヤガイドのガイド部は、前記ワイヤと接触する面が凸形状である
    請求項１５に記載の摺動機構の製造方法。
  18. 　ワイヤ放電加工機に、一対の摺動面を有する摺動部材収容部を有し、円筒状であり中空状のシリンダを設置する工程と、
    　前記摺動部材収容部の、前記一対の摺動面に対して平行且つ摺動部材の摺動方向と交差する方向に、前記ワイヤ放電加工機にワイヤを張架する工程と、
    　前記ワイヤを放電させ、放電された前記ワイヤによって、前記一対の摺動面の少なくとも一方に溝部を形成する工程と、を有する、
    圧縮機の製造方法。
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