WO2022065169A1 - ガラス基板、及びガラス基板の製造方法 - Google Patents

ガラス基板、及びガラス基板の製造方法 Download PDF

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WO2022065169A1
WO2022065169A1 PCT/JP2021/034007 JP2021034007W WO2022065169A1 WO 2022065169 A1 WO2022065169 A1 WO 2022065169A1 JP 2021034007 W JP2021034007 W JP 2021034007W WO 2022065169 A1 WO2022065169 A1 WO 2022065169A1
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glass substrate
glass
deflection
sides
difference
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PCT/JP2021/034007
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English (en)
French (fr)
Inventor
周作 玉村
Original Assignee
日本電気硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
    • C03B17/06—Forming glass sheets

Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate and a method for manufacturing a glass substrate.
  • Patent Document 1 when a glass substrate is placed on an ideal plane (for example, the upper surface of a surface plate), the maximum separation distance that occurs between the ideal plane and the back surface of the glass substrate in the direction along a predetermined side is described above.
  • a method for evaluating the shape accuracy of a glass substrate has been proposed using the warp ratio obtained by dividing by the total length of a predetermined side.
  • Patent Document 2 a plurality of evaluation regions having a rectangular shape and different positions in a direction orthogonal to the plate drawing direction are set for one glass substrate, and the difference in deflection between the front and back surfaces in the plurality of evaluation regions is measured. Therefore, a method of evaluating the shape of the glass substrate in the direction orthogonal to the plate drawing direction has been proposed. Further, the above-mentioned measurement of the front-back deflection difference is performed on a plurality of glass substrates, and the amount of change in the front-back deflection difference in the same evaluation region between the plurality of glass substrates is obtained, so that the glass substrate is orthogonal to the plate drawing direction. A method for evaluating the change in shape in the direction has been proposed.
  • the glass substrate is transported in a state where a part of the main surface (back surface) is supported from below as needed. Alternatively, it may be processed while being held with positioning. In such a case, even if the warp or bending evaluated as the deformation of the entire glass substrate is small, the bending due to the weight of the glass substrate in the supported state as described above affects the transport or processing. It sometimes appeared as a deformation to be obtained. This type of deformation may lead to unexpected situations such as contact with peripheral equipment, so it is an event that should be avoided as much as possible in terms of handleability.
  • Patent Document 2 evaluates the shape or its change (variation) in the direction based on the front and back deflection difference distribution in the direction orthogonal to the plate drawing direction of the glass substrate. Even if the glass substrate is evaluated to have the above shape or its change within the permissible range, depending on the transport mode or the processing mode, the bending due to its own weight appears as deformation that may affect the transport or processing. There was something.
  • this glass substrate is a rectangular glass substrate having a first side along the plate pulling direction and a second side along the width direction orthogonal to the plate pulling direction, and is along the width direction.
  • An evaluation area forming a rectangular shape is set at a plurality of positions, and the positive and negative of the front and back deflection differences between the two sides parallel to the second side are different in at least one evaluation area among the plurality of evaluation areas. Characterized.
  • the glass substrate according to the present invention is made based on the above-mentioned findings, and has at least one evaluation region having a rectangular shape set at a plurality of positions along the width direction orthogonal to the plate drawing direction of the glass substrate. In the evaluation region, the positive and negative of the front and back deflection difference between the two sides parallel to the second side along the width direction of the glass substrate are made different.
  • the glass substrate having a shape in which the positive and negative of the front and back deflection differences on the two sides along the width direction of the evaluation region are different has a shape in which the bending direction is reversed in the plate pulling direction. So to speak, the glass substrate has a wavy shape in the plate drawing direction. Therefore, if the glass substrate has the above-mentioned shape, it is possible to prevent the bending due to its own weight from becoming apparent in one direction and to suppress the deformation during transportation or processing. As a result, the shape of the glass substrate during transportation or processing is stable, and it is possible to improve the handleability of the glass substrate.
  • the positive and negative of the front-back deflection difference between the two sides parallel to the first side may be different in at least one evaluation area among the plurality of evaluation areas.
  • the glass substrate has a shape in which the positive and negative of the front and back deflection differences on the two sides along the plate pulling direction of the evaluation region are different not only in the width direction of the evaluation region, it is not only in the plate pulling direction but also in the width direction. Also has a wavy shape. As a result, the shape of the glass substrate during transportation or processing becomes more stable, and the handleability of the glass substrate can be further improved.
  • the side along the width direction of each evaluation region may be 370 mm, and the side along the plate drawing direction may be 470 mm.
  • the size of the evaluation area By setting the size of the evaluation area to the above-mentioned size, the shape of the glass substrate in the plate drawing direction can be accurately evaluated. That is, if the size of the evaluation region is too small, it is possible to avoid a situation in which one of the wavy peaks and valleys that should be originally evaluated is missing from the evaluation region. Further, if the size of the evaluation area is too large, it is possible to avoid a situation in which the wavy shape in the plate drawing direction is buried in one evaluation area.
  • the difference in deflection between the front and back sides of the two sides parallel to the first side is ⁇ 0.5 mm or more and +0.5 mm or less, and the second.
  • the difference in deflection between the front and back sides of the two sides parallel to the side of No. may be ⁇ 0.5 mm or more and +0.5 mm or less.
  • the glass substrate has a deflection difference between the front and back sides of each evaluation region within the above range, the shape is almost flat as a whole. Therefore, even if bending occurs due to its own weight during transportation or processing, the bending can be small.
  • the relatively short side of the first side and the second side is 1100 mm or more
  • the relatively long side is 1300 mm or more
  • the thickness dimension is 200 ⁇ m or more and 1000 ⁇ m or less. May be.
  • the present invention is suitable for a glass substrate of the above size.
  • this manufacturing method is a method for manufacturing a rectangular glass substrate having a first side along the boarding direction and a second side along the width direction orthogonal to the boarding direction, and is strip-shaped.
  • the method for manufacturing the glass substrate according to the present invention is based on the above-mentioned findings, and the first side and the second side and the second side from the glass substrate cut out from the molded strip-shaped glass. It is characterized in that a rectangular sample glass having two sides parallel to each other is sampled, and the difference in bending between the front and back sides of the sample glass along the plate drawing direction is measured. According to this method, the shape of the glass substrate in the plate-drawing direction can be known from the bending direction and the magnitude of the bending of the side along the plate-drawing direction of the sample glass.
  • the difference in deflection between the front and back sides may be measured on each of the two sides of the sample glass parallel to the first side in the measurement step.
  • the glass substrate to be evaluated has a shape in which the bending direction is reversed in the width direction, in other words, the glass. It is possible to evaluate whether or not the substrate has a wavy shape in the width direction. Therefore, it is possible to select a glass substrate that is not easily deformed during transportation or processing. Alternatively, by adjusting the manufacturing conditions, it becomes possible to stably manufacture a glass substrate having a wavy shape in the width direction.
  • the difference in deflection between the front and back sides may be measured on each of the two sides of the sample glass parallel to the second side in the measurement step.
  • the shape of the glass substrate in the width direction can be known from the bending direction and the magnitude of the bending of the sides along the width direction of the sample glass.
  • the number of sample glasses required for the measurement can be reduced. Therefore, it is possible to efficiently grasp the shape of the glass substrate in the width direction.
  • the positive / negative of the front / back deflection difference of the side parallel to the second side of the sample glass measured in the measurement step may be evaluated.
  • the glass substrate to be evaluated has a shape in which the bending direction is reversed in the plate pulling direction. Whether or not, in other words, whether or not the glass substrate has a wavy shape in the plate drawing direction can be evaluated. Therefore, it is possible to select a glass substrate that is not easily deformed during transportation or processing. Alternatively, by adjusting the manufacturing conditions, it becomes possible to stably manufacture a glass substrate having a wavy shape in the plate drawing direction.
  • FIG. 2 is a side view of another sample glass whose front and back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 2 as viewed from the direction of arrow A2. It is a cross-sectional view of B1-B1 along the plate pulling direction of the glass substrate shown in FIG. 2 when the bending shown in FIG. 3 occurs. It is a cross-sectional view of B1-B1 along the plate pulling direction of the glass substrate shown in FIG. 2 when the bending shown in FIGS. 4A and 4B occurs. It is a top view for demonstrating the measuring method of the front-back bending difference of the side along the plate drawing direction of the sample glass cut out from the glass substrate.
  • FIG. 1 is a side view of another sample glass whose front and back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 2 as viewed from the direction of arrow A2. It is a cross-sectional view of B1-B1 along the plate pulling direction of the glass substrate shown in FIG. 2 when the bending shown in FIG. 3 occurs. It is a
  • FIG. 7 is a side view of one sample glass whose front-back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 7 as viewed from the direction of arrow C1.
  • FIG. 7 is a side view of one sample glass whose front-back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 7 as viewed from the direction of arrow C2.
  • FIG. 7 is a side view of another sample glass whose front-back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 7 as viewed from the direction of arrow C1.
  • FIG. 7 is a side view of another sample glass whose front-back deflection difference is measured by the method shown in FIG. 7 as viewed from the direction of arrow C2.
  • FIG. 11 It is a vertical sectional view which shows the main part of the glass substrate manufacturing apparatus for manufacturing the glass substrate shown in FIG. It is a perspective view which shows the state of the glass ribbon in the slow cooling zone of FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the D1-D1 cutting line of the glass ribbon shown in FIG. 11. 11 is a cross-sectional view taken along the D2-D2 cutting line of the glass ribbon shown in FIG. 11. 11 is a vertical cross-sectional view of the glass ribbon shown in FIG. 11 along the E1-E1 cutting line. It is a graph which shows the evaluation result of the front-back deflection difference in the width direction in each evaluation area of the glass substrate which concerns on comparison with this invention.
  • FIG. 1 is a flat surface of the glass substrate 1 according to the present embodiment.
  • the glass substrate 1 is manufactured by, for example, a down-draw method such as an overflow down-draw method or a slot down-draw method, or a known forming means with plate drawing such as a float method.
  • the strip-shaped glass is formed by the overflow downdraw method (details will be described later), and the glass substrate 1 having a predetermined shape and a predetermined size can be obtained by cutting out the strip-shaped glass.
  • the glass substrate 1 has a first side 2 along the plate pulling direction X and a second side 3 along the direction (that is, the width direction) Y orthogonal to the plate pulling direction X due to the above-mentioned molding method. It has a rectangular shape as a whole.
  • the size of the relatively short side of the first side 2 and the second side 3 is 1100 mm or more, and the size of the relatively long side is 1300 mm or more.
  • the size of both the first side 2 and the second side 3 is preferably 4000 mm or less.
  • the thickness dimension of the glass substrate 1 is preferably 1000 ⁇ m or less, and more preferably 700 ⁇ m or less.
  • the thickness dimension of the glass substrate 1 is preferably 200 ⁇ m or more, and more preferably 300 ⁇ m or more.
  • the plate pulling direction X of the glass substrate 1 is, for example, a streak by irradiating light from a light source (for example, xenon light) while adjusting the angle of the glass substrate 1 in a dark room and projecting the transmitted light onto the screen. It can be observed as a striped pattern. Therefore, even in the state of the glass substrate 1 after molding, the plate pulling direction X at the time of molding can be specified.
  • a light source for example, xenon light
  • the shape of the main surface 4 of the glass substrate 1 specifically, the shape of the main surface 4 in the direction along the width direction Y of the glass substrate 1 and the shape of the main surface 4 in the direction along the plate drawing direction X, respectively. It is evaluated using the difference between the front and back deflections.
  • FIG. 1 a plurality of evaluation regions A to G having different positions in the direction along the second side 3 are set for one glass substrate 1.
  • seven evaluation regions A, B, C, D, E, F, and G are set so as to have a positional relationship separated by equal intervals L in the direction along the second side 3.
  • each evaluation region A to G is set in an effective zone (not shown) in which a thin film pattern is formed in, for example, a film forming process in a process of manufacturing an electronic device, in one of the main surfaces 4 of the glass substrate 1. Will be done.
  • each of the evaluation areas A to G has a rectangular shape, and for example, the size of the side along the width direction Y is 370 mm, and the size of the side along the plate drawing direction X is 470 mm.
  • the shape and size of the evaluation areas A to G are set.
  • the shapes and sizes of the evaluation regions A to G mentioned here are examples, and for example, the size of the sides parallel to the first side 2 of the glass substrate 1 (sides 12a and 12b described later) is the first.
  • the size of the sides (sides 13a and 13b described later) that are 10% or more and 30% or less of the size of one side 2 and parallel to the second side 3 is 10 of the size of the second side 3.
  • each evaluation area A to G may be set so as to be% or more and 30% or less. If all the evaluation areas A to G cannot be set in one row along the width direction, such as when the width direction dimension of the effective zone is small, the evaluation areas A to G should be arranged in two rows along the width direction as shown in FIG. In addition, seven evaluation areas A to G may be set alternately for each column.
  • sample glass 11 having a position, shape, and size corresponding to each evaluation region A to G is collected from the glass substrate 1, and the number of evaluation regions A to G per glass substrate 1 (here, 7). (Sheet) sample glass 11 is obtained. At this time, one side 12a, 12b of the sample glass 11 is parallel to the plate drawing direction X of the glass substrate 1, and the other side 13a, 13b of the sample glass 11 is parallel to the width direction Y of the glass substrate 1. In addition, the sample glass 11 is collected from the glass substrate 1.
  • one main surface 11a of the sample glass 11 (for example, the main surface on the side that serves as a guarantee surface, here the main surface on the side included in one main surface 4 of the glass substrate 1). ) Is facing upward, and both ends of the sample glass 11 in the width direction Y are supported by a pair of support members 20, 20. At this time, the support span M of the sample glass 11 by the pair of support members 20 and 20 is set to a size of, for example, 350 mm.
  • the first side 13a (for example, the downstream side 13a in relation to the plate pulling direction X) of the two sides 13a and 13b along the width direction Y of the sample glass 11 is generated.
  • the magnitude of one deflection W31a (state shown by the solid line in FIG. 3A) is measured.
  • the sample glass 11 is turned upside down, and both ends of the sample glass 11 in the width direction Y are supported by a pair of support members 20 and 20 with the other main surface 11b of the sample glass 11 facing upward.
  • the state shown by the alternate long and short dash line in FIG. 3A Then, in this state, the magnitude of the second deflection W32a generated on one side 13a along the width direction Y of the sample glass 11 is measured.
  • the value W31a-W32a obtained by subtracting the second deflection W32a from the first deflection W31a is one side 13a along the width direction Y. Obtained as the difference between the front and back deflections.
  • the sample glass 11 is supported by a pair of support members 20, 20 with both ends of the sample glass 11 in the width direction Y facing upward with one main surface 11a of the sample glass 11 facing upward.
  • the size of the first deflection W31b (state shown by the solid line in FIG. 3B) generated on the other side 13b (the side 13b on the upstream side in relation to the plate pulling direction X) is measured.
  • the sample glass 11 is turned upside down, and both ends of the sample glass 11 in the width direction Y are supported by the pair of support members 20 and 20 with the other main surface 11b of the sample glass 11 facing upward.
  • the magnitude of the second deflection W32b (state shown by the alternate long and short dash line in FIG. 3B) generated on the other side 13b along the width direction Y of the sample glass 11 is measured.
  • the bending directions and the bending directions in the plurality of evaluation regions A to G over the entire width direction Y of the effective zone of the glass substrate 1 and the same are performed. You can know the size. For example, as shown in FIG. 3A, the first deflection W31a generated on one side 13a with one main surface 11a facing up occurs on one side 13a with the other main surface 11b facing up. When it is larger than the second bending W32a, the bending direction in the region corresponding to one side 13a of the sample glass 11 in the glass substrate 1 is the direction in which one main surface 11a is concave, and the size thereof is the first.
  • the value W31b-W32b obtained by subtracting the second deflection W32b from the first deflection W31b is the other along the width direction Y. Obtained as the difference in deflection between the front and back sides of the side 13b.
  • the positive / negative of the front / back deflection difference W31a-W32a of one side 13a and the front / back deflection difference W31b-W32b of the other side 13b obtained as described above are evaluated.
  • FIGS. 3A and 3B when the front and back deflection differences W31a-W32a on one side 13a and the front and back deflection differences W31b-W32b on the other side 13b are equal in positive and negative, the sample glass 11 in the glass substrate 1
  • the cross section of the portion (any one of the evaluation regions A to G) in the direction along the plate pulling direction X has a shape bent in one direction on the front and back.
  • the first deflection W31a (W31b) and the second deflection W32a (W32b) are measured on the two sides 13a and 13b along the width direction Y of the sample glass 11, respectively, on one side 13a.
  • the positive and negative of the front and back deflection difference W31a-W32a and the front and back deflection difference W31b-W32b on the other side 13b are evaluated, as shown in FIGS. 4A and 4B, the front and back deflection on one side 13a and the other side 13b.
  • the positive / negative of the difference W31a-W32a and W31b-W32b may be different (reversed). At this time, as shown in FIG.
  • the cross section of the portion of the glass substrate 1 from which the sample glass 11 is collected (any one of the evaluation regions A to G) in the direction along the plate drawing direction X has a bending direction. It has a shape that is reversed in the plate pulling direction X, so to speak, a wavy shape. As described above, the shape of the glass substrate 1 in the plate drawing direction X can be grasped.
  • sample glasses 11 corresponding to the evaluation regions A to G shown in FIG. 2 are prepared, and then the difference in deflection between the front and back sides of the sides 12a and 12b along the plate drawing direction X of each sample glass 11 is measured.
  • the sample glass 11 to be prepared may be the sample glass 11 used for evaluating the shape in the direction along the width direction Y.
  • both ends of the sample glass 11 in the plate pulling direction X are supported by a pair of support members 21 and 21 with one main surface 11a of the sample glass 11 facing upward.
  • the support span N of the sample glass 11 by the pair of support members 21 and 21 is set to a size of, for example, 450 mm.
  • the first deflection W21a (FIG. 7) generated on one side 12a (the left side 12a in FIG. 7) of the two sides 12a and 12b along the plate drawing direction X of the sample glass 11. Measure the size of (the state shown by the solid line in 8A). After that, the sample glass 11 is turned upside down, and both ends of the sample glass 11 in the plate pulling direction X are supported by a pair of support members 21 and 21 with the other main surface 11b of the sample glass 11 facing upward. (The state shown by the alternate long and short dash line in FIG. 8A). Then, in this state, the magnitude of the second deflection W22a generated on one side 12a along the plate pulling direction X of the sample glass 11 is measured.
  • the value W21a-W22a obtained by subtracting the second deflection W22a from the first deflection W21a is set on one side along the plate pulling direction X. Obtained as the difference in deflection between the front and back of 12a.
  • the sample glass is supported by a pair of support members 21 and 21 at both ends of the sample glass 11 in the plate pulling direction X with one main surface 11a of the sample glass facing upward.
  • the magnitude of the first deflection W21b (state shown by the solid line in FIG. 8B) generated on the other side 12b of 11 (the right side 12b in FIG. 7) is measured.
  • the sample glass 11 is turned upside down, and both ends of the sample glass 11 in the plate pulling direction X are supported by a pair of support members 21 and 21 with the other main surface 11b of the sample glass 11 facing upward. ..
  • the magnitude of the second deflection W22b (state shown by the alternate long and short dash line in FIG. 8B) generated on the other side 12b along the plate pulling direction X of the sample glass 11 is measured.
  • the bending direction of the plate pulling direction X in the plurality of evaluation areas A to G in the effective zone of the glass substrate 1 and the bending direction You can know its size.
  • the first deflection W21a generated on one side 12a with one main surface 11a facing up occurs on one side 12a with the other main surface 11b facing up.
  • the bending direction in the region corresponding to one side 12a of the sample glass 11 in the glass substrate 1 is the direction in which one main surface 11a is concave, and the size thereof is the first.
  • the value W21b-W22b obtained by subtracting the second deflection W22b from the first deflection W21b is the other along the plate pulling direction X. It is acquired as the difference in deflection between the front and back sides of the side 12b.
  • the first deflection W21a (W21b) and the second deflection W22a (W22b) are measured on the two sides 12a and 12b along the plate pulling direction X of the sample glass 11, respectively, and the first deflection W22a (W22b) is measured on one side 12a.
  • the positive and negative of the front and back deflection difference W21a-W22a and the front and back deflection difference W21b-W22b on the other side 12b are evaluated, as shown in FIGS. 9A and 9B, the front and back deflection on one side 12a and the other side 12b.
  • the positive / negative of the difference W21a-W22a and W21b-W22b may be different (reversed).
  • the cross section of the portion of the glass substrate 1 from which the sample glass 11 is collected (any one of the evaluation regions A to G) along the width direction Y is not shown, but the bending direction is the width direction.
  • the shape is reversed with Y (wavy shape). As described above, the shape of the glass substrate 1 in the width direction Y can be grasped.
  • the glass substrate 1 evaluated as described above has front and back deflection differences W21a-W22a and W21b-W22b on the two sides 12a and 12b parallel to the first side 2 in all of the plurality of evaluation areas A to G. Is preferably ⁇ 0.5 mm or more and +0.5 mm or less, and more preferably ⁇ 0.3 mm or more and 0.3 mm or less. Further, it is preferable that the front and back deflection differences W31a-W32a and W31b-W32b on the two sides 13a and 13b parallel to the second side 3 are all ⁇ 0.5 mm or more and +0.5 mm or less, preferably ⁇ 0. It is more preferably 3 mm or more and 0.3 mm or less.
  • one of the evaluation regions A to G of the glass substrate 1 along the width direction Y in at least one region.
  • the front and back deflection difference W31a-W32a of the side 13a and the front and back deflection difference W31b-W32b of the other side 13b are reversed, and the front and back deflection differences of the four sides 12a, 12b, 13a, 13b in all the evaluation areas A to G.
  • the absolute values of W21a-W22a, W21b-W22b, W31a-W32a, and W31b-W32b are all preferably 0.5 mm or less, and more preferably 0.3 mm or less.
  • FIG. 10 is a vertical sectional view showing a main part of a manufacturing apparatus 100 for enabling manufacturing of the glass substrate 1 according to the present embodiment.
  • the manufacturing apparatus 100 forms a glass ribbon 30 as a strip of glass to be a glass substrate 1 in a furnace 101 by an overflow down draw method.
  • the furnace 101 is provided with a molding zone 102 for performing a molding step, a slow cooling (annealing) zone 103 for performing an annealing step, and a cooling zone 104 for performing a cooling step in order from above.
  • a cutting zone (not shown) for performing the cutting process is provided on the downstream side of the above.
  • the molten glass 31 is supplied to the molded body 121 having a wedge-shaped cross-sectional shape, and the molten glass 31 overflowing from the top of the molded body 121 is merged at the lower end thereof and flows down in a band shape.
  • the glass ribbon 30 of the above is molded.
  • the glass ribbon 30 molded in the molding zone 102 is slowly cooled to suppress the occurrence of distortion inside the glass ribbon 30.
  • the cooling zone 104 the glass ribbon 30 slowly cooled in the slow cooling zone 103 is cooled to room temperature or near room temperature. Then, the glass ribbon 30 cooled in this way is cut to a predetermined size in a cutting zone (not shown), and the glass substrate 1 is continuously manufactured.
  • the slow cooling zone 103 and the cooling zone 104 are provided with a plurality of roller groups 106 in which rollers 105 rotating in the direction of the arrow in FIG. 10 are arranged at a plurality of locations along the transport path of the glass ribbon 30. ..
  • each roller group 106 is composed of two pairs of rollers 105 (that is, a total of four rollers 105) sandwiching both ends of the glass ribbon 30 in the width direction Y, and in this embodiment.
  • the two rollers 105 located on one side of the width direction Y of the glass ribbon 30 and the two rollers 105 located on the other side of the width direction Y are connected and fixed to the two roller shafts 107, respectively.
  • the roller 105 on one side and the roller 105 on the other side may not be connected and fixed to each other by the roller shaft 107, and the individual rollers 105 may be cantilevered and supported by the roller shaft 107.
  • a part of the glass ribbon 30 having a flat shape as a whole is slightly curved.
  • the glass ribbon 30 is curved on the central side in the width direction Y to form the curved portion 32 on the glass ribbon 30.
  • the direction of the unevenness of the curved portion 32 is reversed in the front and back directions at a predetermined position in the plate pulling direction X of the glass ribbon 30.
  • the first curved portion 33 which is located relatively upstream of the slow cooling zone 103 among the curved portions 32, has one of the central portions of the glass ribbon 30 in the width direction Y, as shown in FIG.
  • the shape is curved so that the main surface 30a side of the above surface is concave and the other main surface 30b side is convex.
  • the state shown by the alternate long and short dash line in FIG. 12 indicates the state of the glass ribbon 30 when the first curved portion 33 is not formed, that is, the state of the flat glass ribbon 30.
  • the second curved portion 34 which is located relatively downstream of the slow cooling zone 103 among the curved portions 32, has the central portion of the glass ribbon 30 in the width direction Y on one of the main surfaces.
  • the shape is curved so that the 30a side is convex and the other main surface 30b side is concave.
  • the first curved portion 33 and the second curved portion 34 that are continuous in the plate pulling direction X are convex toward the back surface (the other main surface 30b) of the glass ribbon 30 on the upstream side, and are on the downstream side.
  • the glass ribbon 30 has a shape in which the convex directions are reversed on the upstream side and the downstream side so as to be convex on the surface (one main surface 30a) side. That is, by providing the curved portion 32 (33, 34) having such a shape on the glass ribbon 30, the glass ribbon 30 has a curved shape along the plate pulling direction X as shown in FIG. 14, and is on the upstream side. And the direction of the convex side of each of the curved portions 33 and 34 on the downstream side is reversed on the front and back with the inverted portion 35 as a boundary.
  • the curved shape of the first curved portion 33 is repeatedly changed and the curved shape of the second curved portion 34 is repeatedly changed.
  • the first curved portion 33 is changed from a shape curved so that one main surface 30a side is concave to a shape curved so that one main surface 30a side is convex.
  • the second curved portion 34 is changed from a shape curved so that one main surface 30a side is convex to a shape curved so that one main surface 30a side is concave.
  • the first curved portion 33 is changed from a shape curved so that one main surface 30a side is convex to a shape curved so that one main surface 30a side is concave.
  • the second curved portion 34 is changed from a shape curved so that one main surface 30a side is concave to a shape curved so that one main surface 30a side is convex.
  • the curved shapes of the first curved portion 33 and the second curved portion 34 return to the shapes shown in FIGS. 11 to 14.
  • Such changes in the curved shape of the first curved portion 33 and the second curved portion 34 are repeated.
  • One cycle of such a change may be performed in, for example, 1 to 3 seconds.
  • the curved shapes of the first curved portion 33 and the second curved portion 34 may be changed by a mechanical external force.
  • a contact (not shown) may be abutted against the glass ribbon 30, and the contact may forcibly change the curved shapes of the first curved portion 33 and the second curved portion 34.
  • the front and back deflection differences W31a-W32a and W31b-W32b of the two sides 13a and 13b along the width direction Y and the front and back deflection differences W21a-W22a and W21b-W22b of the two sides 12a and 12b along the plate pulling direction X are It changes according to the bending amount dt (see FIGS. 12 and 13) of the first bending portion 33 and the second bending portion 34.
  • the front and back deflection differences W21a-W22a and W21b-W22b of the two sides 12a and 12b along X can be set to -0.5 mm or more and +0.5 mm or less.
  • FIGS. 15 to 17 show an example of the result of evaluating the shape accuracy of the glass substrate 1 manufactured as described above based on the difference between the front and back deflections described above.
  • FIG. 15 shows the evaluation results of the front-back deflection difference in the width direction Y in each evaluation region A to G of the glass substrate 1 according to the comparison with the present invention.
  • the difference in deflection between the front and back sides in the width direction Y shown in FIG. 15 is the sample glass 11 corresponding to the evaluation regions A to G from the glass substrate 1 to be evaluated.
  • the deflection W31a, W31b, W32a, W32b due to the weight generated on each of the two sides 13a and 13b along the width direction Y of the sample glass 11 collected was measured, and the deflection W31a measured on the same side 13a (13b) was measured.
  • FIG. 15 represents the distribution of the difference in deflection between the front and back sides measured on the side 13b on the upstream side of the sample glass 11, and the broken line in FIG. 15 shows the side 13a on the downstream side of the sample glass 11. It shows the distribution of the front-back deflection difference W31a-W32a obtained by measuring in.
  • FIG. 16 shows the evaluation results of the front-back deflection difference in the width direction Y in each evaluation region A to G of the glass substrate 1 according to the present invention.
  • the front-back deflection difference in the width direction Y shown in FIG. 16 is obtained by the same method as the front-back deflection difference shown in FIG. 15, except that the glass substrate 1 to be evaluated is different, and is graphed in the same manner. It was done.
  • FIG. 17 shows the evaluation results of the front-back deflection difference in the plate pulling direction Y in each of the evaluation regions A to G of the glass substrate 1 according to the present invention.
  • the difference in deflection between the front and back sides of the plate pulling direction X shown in FIG. 17 is the sample glass 11 corresponding to the evaluation regions A to G from the glass substrate 1 to be evaluated.
  • W21a, W21b, W22a, W22b due to their own weight generated on the two sides 12a and 12b along the plate pulling direction X of the collected sample glass 11 were measured, and the same side 12a (12b) was measured.
  • the difference between the deflections W21a and W22a (W21b, W22b).
  • the solid line in FIG. 17 represents the distribution of the front-back deflection difference W21b-W22b measured on the side 12b on one side in the width direction of the sample glass 11
  • the broken line in FIG. 17 represents the distribution of the sample glass 11. It shows the distribution of the front-back deflection difference W21a-W22a obtained by measuring on the side 12a on the other side in the width direction.
  • the positive and negative of the front-back deflection difference in the width direction Y are reversed in the predetermined evaluation regions B and C. From this, in at least the region corresponding to the evaluation regions B and C in the glass substrate 1 according to the present invention, the bending directions of the front and back sides are reversed between the downstream side and the upstream side, and FIG. It is inferred that it has a wavy shape as shown.
  • the positive and negative of the front and back deflection difference in the plate pulling direction X are reversed in the predetermined evaluation region A. From this, in at least the region corresponding to the evaluation region A of the glass substrate 1 according to the present invention, the bending directions of the front and back sides are reversed between one side and the other side in the width direction, and is shown in FIG. 6 in the width direction Y. It is inferred that it has a wavy shape like this.
  • the glass substrate and the method for manufacturing the glass substrate according to the present invention are not limited to the above embodiments, and various forms are adopted within the scope of the present invention. It is possible.
  • seven evaluation regions A to G are set for one glass substrate 1, and seven corresponding sample glasses 11 (the same number as the evaluation regions) are sampled. Not limited to this. For example, three to ten evaluation regions are set for one glass substrate 1, and the same number of sample glasses 11 as the set evaluation regions are collected from the glass substrate 1 to obtain the front-back deflection difference for each sample glass 11. May be good.
  • the size of the evaluation region (that is, the sample glass 11) is not limited to the above-exemplified dimensions, and for example, the size of the side along the width direction Y may be 250 mm or more and 600 mm or less. Further, the size of the side of the evaluation region (sample glass 11) along the plate drawing direction X may be 300 mm or more and 700 mm or less.
  • the support spans M and N are not limited to the above-exemplified dimensions, and may be set to, for example, 80 to 98% of the size of the side parallel to the width direction Y or the plate drawing direction X of the sample glass 11.
  • a case where a plurality of sample glasses 11 are collected from one glass substrate 1 corresponding to the evaluation regions A to G and the difference in bending between the front and back surfaces of each sample glass 11 is measured is illustrated. It is also possible to take other methods. For example, a plurality of glass substrates 1 manufactured on the same production line are acquired, and a number of sample glasses 11 corresponding to the evaluation region are collected from each acquired glass substrate 1. Then, the front and back deflection differences of the sides 12a, 12b, 13a, 13b of each sample glass 11 are acquired, and the average value or the maximum value of the plurality of front and back deflection differences acquired in the same evaluation region is obtained to obtain the evaluation region. You may evaluate the difference in deflection between the front and back sides.
  • the glass ribbon 30 is formed by the overflow downdraw method, but for example, the glass ribbon 30 is formed by another downdraw method such as a slot downdraw method or a redraw method or a float method. You may do so.
  • the glass substrate 1 according to the above description can be applied to, for example, a glass substrate or a cover glass of a display such as a liquid crystal display or an organic EL display.

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Abstract

ガラス基板１は、板引き方向Ｘに沿った第一の辺２と、板引き方向Ｘと直交する幅方向Ｙに沿った第二の辺３とを有する矩形状のガラス基板１であって、第二の辺２の方向に沿った複数の位置で矩形状をなす評価領域Ａ～Ｇを設定し、複数の評価領域Ａ～Ｇのうち少なくとも一つの評価領域で、第二の辺３と平行な二つの辺１３ａ，１３ｂにおける表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負が異なっている。

Description

ガラス基板、及びガラス基板の製造方法
　本発明は、ガラス基板、及びガラス基板の製造方法に関する。
　近年、例えば液晶ディスプレイ等を構成するパネルガラスの大型化及び薄肉化に伴って、パネルガラスの製作に用いられるガラス基板についても、必然的に大型化や薄肉化が推進されるに至っている。この種のガラス基板の製造技術は、日進月歩の勢いで進歩しており、例えばガラス基板に要求される形状精度のレベルも極めて高くなっているのが現状である。
　ここで、ガラス基板の形状精度を評価するために、従来、種々の評価手法が提案されている。例えば特許文献１には、理想平面（例えば定盤の上面）にガラス基板を載置した場合に、所定の辺に沿う方向における理想平面とガラス基板の裏面との間に生じる最大離反距離を上記所定の辺の全長で除算することで得られる反り率を用いて、ガラス基板の形状精度を評価する手法が提案されている。
　また、特許文献２には、一枚のガラス基板について、矩形状をなし板引き方向と直交する方向の位置が異なる複数の評価領域を設定すると共に、複数の評価領域における表裏撓み差を測定することで、当該ガラス基板の板引き方向と直交する方向の形状を評価する方法が提案されている。また、上述した表裏撓み差の測定を、複数のガラス基板について行い、複数のガラス基板間での同一評価領域における表裏撓み差の変化量をそれぞれ求めることで、ガラス基板の板引き方向に直交する方向の形状の変化を評価する方法が提案されている。
特開２０１３－１９９４２６号公報 特開２０１９－１３７５８７号公報
　ところで、ガラス基板は、その製造工程やガラス基板上に電子デバイスを形成して電子デバイスを製造する工程において、必要に応じて主表面（裏面）の一部を下方から支持した状態で搬送され、又は位置決めを伴って保持された状態で加工されることがある。このような場合、ガラス基板全体の変形として評価される反りや曲がりが小さい場合であっても、上述のように支持された状態でのガラス基板の自重による撓みが、搬送又は加工に影響を及ぼし得る変形となって現れることがあった。この種の変形は、周辺設備との接触など予期しない事態を招くおそれがあるため、取り扱い性の面でも極力回避すべき事象である。
　特許文献２に記載の評価手法は、ガラス基板の板引き方向に直交する方向の表裏撓み差分布に基づいて当該方向の形状又はその変化（ばらつき）を評価するものであるが、たとえこの手法で上記形状又はその変化が許容範囲内に収まっていると評価されたガラス基板であっても、搬送態様又は加工態様によっては、自重による撓みが、搬送又は加工に影響を及ぼし得る変形となって現れることがあった。
　以上の事情に鑑み、ガラス基板の形状に対する新たな評価に基づいて、搬送時又は加工時の取り扱い性に優れたガラス基板を提供することを、解決すべき技術課題とする。
　前記課題の解決は、本発明に係るガラス基板により達成される。すなわち、このガラス基板は、板引き方向に沿った第一の辺と、板引き方向と直交する幅方向に沿った第二の辺とを有する矩形状のガラス基板であって、幅方向に沿った複数の位置で矩形状をなす評価領域を設定し、複数の評価領域のうち少なくとも一つの評価領域で、第二の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差の正負が異なっている点をもって特徴付けられる。
　本発明者らが、ガラス基板内の撓み分布について鋭意検討した結果、これまで考慮されることのなかった板引き方向の撓み分布を適正に評価することにより、板引き方向の形状を正確に把握し得ることを知見するに至った。また、板引き方向の形状が、搬送時又は加工時の自重による撓みに影響を及ぼすことを知見するに至った。本発明に係るガラス基板は、上述した知見に基づき成されたもので、ガラス基板の板引き方向と直交する幅方向に沿った複数の位置で矩形状をなす評価領域を設定し、少なくとも一つの評価領域で、ガラス基板の幅方向に沿った第二の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差の正負が異なるようにしたことを特徴とする。このように評価領域の幅方向に沿った二つの辺における表裏撓み差の正負が異なる形状をなすガラス基板は、板引き方向で撓み方向が逆転した形状をなす。いわば、ガラス基板が板引き方向に波打った形状を有する。そのため、上述した形状のガラス基板であれば、自重による撓みが一方向に顕在化する事態を防いで、搬送時又は加工時の変形を抑えることが可能となる。これにより、搬送時又は加工時におけるガラス基板の形状が安定するので、ガラス基板の取り扱い性を高めることが可能となる。
　また、本発明に係るガラス基板において、複数の評価領域のうち少なくとも一つの評価領域で、第一の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差の正負が異なっていてもよい。
　このように評価領域の幅方向だけでなく、評価領域の板引き方向に沿った二つの辺における表裏撓み差の正負が異なる形状をなすガラス基板であれば、板引き方向だけでなく幅方向にも波打った形状を有する。これにより、搬送時又は加工時におけるガラス基板の形状がより安定するので、ガラス基板の取り扱い性をさらに高めることが可能となる。
　また、本発明に係るガラス基板において、各評価領域の幅方向に沿った辺が３７０ｍｍで、板引き方向に沿った辺が４７０ｍｍであってもよい。
　評価領域のサイズを上述した大きさに設定することによって、ガラス基板の板引き方向の形状を正確に評価できる。すなわち、評価領域のサイズが小さ過ぎることにより、本来評価すべき波打ち形状の山部と谷部の一方が評価領域中から欠落する事態を回避することができる。また、評価領域のサイズが大き過ぎることにより、板引き方向の波打ち形状が一つの評価領域中に埋もれてしまう事態を回避することができる。
　また、本発明に係るガラス基板において、複数の評価領域全てにおいて、第一の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差が何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下であり、第二の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差が何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下であってもよい。
　このように各評価領域の表裏撓み差が何れも上述の範囲内に収まっているガラス基板であれば、全体としてフラットに近い形状をなす。そのため、搬送時又は加工時に自重による撓みが発生したとしても、当該撓みが小さくて済む。
　また、本発明に係るガラス基板において、第一の辺と第二の辺のうち相対的に短い辺が１１００ｍｍ以上で相対的に長い辺が１３００ｍｍ以上であり、厚み寸法が２００μｍ以上でかつ１０００μｍ以下であってもよい。
　上述した変形の問題は、上記サイズのガラス基板を板引き成形により製造する場合に顕著となる。そのため、本発明は、上記サイズのガラス基板に好適である。
　また、前記課題の解決は、本発明に係るガラス基板の製造方法によっても達成される。すなわち、この製造方法は、板引き方向に沿った第一の辺と、板引き方向と直交する幅方向に沿った第二の辺とを有する矩形状のガラス基板の製造方法であって、帯状ガラスを成形する成形工程と、帯状ガラスからガラス基板を切出す切出し工程と、ガラス基板から第一の辺及び第二の辺とそれぞれ平行な二つの辺を有する矩形状の試料ガラスを採取する採取工程と、試料ガラスの第一の辺と平行な辺の表裏撓み差を測定する測定工程とを備える点をもって特徴付けられる。
　本発明に係るガラス基板の製造方法は、本発明に係るガラス基板と同様に、上述した知見に基づき成されたもので、成形した帯状ガラスから切り出されたガラス基板から第一の辺及び第二の辺とそれぞれ平行な二つの辺を有する矩形状の試料ガラスを採取し、採取した試料ガラスの板引き方向に沿った辺の表裏撓み差を測定することを特徴とする。この方法によれば、試料ガラスの板引き方向に沿った辺の撓み方向及び撓みの大きさ等からガラス基板の板引き方向の形状を知ることができる。このことから、例えばガラス基板の一部を下方から支持した場合の形状安定性を評価することができ、形状安定性が所定レベル以上のガラス基板を選別することができる。従って、本発明に係るガラス基板の製造方法によれば、搬送時又は加工時における取り扱い性に優れたガラス基板を提供することが可能となる。
　また、本発明に係るガラス基板の製造方法において、測定工程で、第一の辺と平行な試料ガラスの二つの辺でそれぞれ表裏撓み差を測定してもよい。
　このように一つの試料ガラスにつき二つの辺の表裏撓み差を測定することにより、測定に必要な試料ガラスの数を減らすことができる。よって、効率よくガラス基板の板引き方向の形状を把握することが可能となる。
　また、本発明に係るガラス基板の製造方法において、測定工程で測定した試料ガラスの第一の辺と平行な辺の表裏撓み差の正負を評価する評価工程をさらに備えてもよい。
　このように第一の辺と平行な辺の表裏撓み差の正負を評価することにより、ガラス基板の板引き方向の部分的な撓み方向を把握することができる。また、平行な二つの辺の表裏撓み差の正負を評価することにより、評価対象となるガラス基板が、幅方向で撓み方向が逆転した形状をなすものであるか否か、言い換えると、当該ガラス基板が、幅方向に波打ち形状を有するものであるか否かを評価することができる。よって、搬送時又は加工時に変形しにくいガラス基板を選別することが可能となる。あるいは、製造条件の調整により、幅方向に波打ち形状を有するガラス基板を安定的に製造することが可能となる。
　また、本発明に係るガラス基板の製造方法において、測定工程で、第二の辺と平行な試料ガラスの二つの辺でそれぞれ表裏撓み差を測定してもよい。
　この方法によれば、ガラス基板の板引き方向の形状に加えて、試料ガラスの幅方向に沿った辺の撓み方向及び撓みの大きさ等からガラス基板の幅方向の形状を知ることができる。特に、上述のように幅方向に沿った二つの辺でそれぞれ表裏撓み差を測定することにより、測定に必要な試料ガラスの数を減らすことができる。よって、効率よくガラス基板の幅方向の形状を把握することが可能となる。
　また、この場合、本発明に係るガラス基板の製造方法において、測定工程で測定した試料ガラスの第二の辺と平行な辺の表裏撓み差の正負を評価してもよい。
　このように、幅方向に沿った互い平行な二つの辺の表裏撓み差の正負を評価することにより、評価対象となるガラス基板が、板引き方向で撓み方向が逆転した形状をなすものであるか否か、言い換えると、当該ガラス基板が、板引き方向に波打ち形状を有するものであるか否かを評価することができる。よって、搬送時又は加工時に変形しにくいガラス基板を選別することが可能となる。あるいは、製造条件の調整により、板引き方向に波打ち形状を有するガラス基板を安定的に製造することが可能となる。
　以上より、本発明によれば、ガラス基板の形状に対する新たな評価に基づいて、搬送時又は加工時の取り扱い性に優れたガラス基板を提供することが可能となる。
本発明の一実施形態に係るガラス基板の平面図である。 ガラス基板から切り出した試料ガラスの幅方向に沿った辺の表裏撓み差の測定方法を説明するための平面図である。 図２に示す方法で表裏撓み差が測定される一の試料ガラスを矢印Ａ１の向きから見た側面図である。 図２に示す方法で表裏撓み差が測定される一の試料ガラスを矢印Ａ２の向きから見た側面図である。 図２に示す方法で表裏撓み差が測定される他の試料ガラスを矢印Ａ１の向きから見た側面図である。 図２に示す方法で表裏撓み差が測定される他の試料ガラスを矢印Ａ２の向きから見た側面図である。 図３に示す撓みを生じる場合の図２に示すガラス基板の板引き方向に沿ったＢ１－Ｂ１断面図である。 図４Ａ及び図４Ｂに示す撓みを生じる場合の図２に示すガラス基板の板引き方向に沿ったＢ１－Ｂ１断面図である。 ガラス基板から切り出した試料ガラスの板引き方向に沿った辺の表裏撓み差の測定方法を説明するための平面図である。 図７に示す方法で表裏撓み差が測定される一の試料ガラスを矢印Ｃ１の向きから見た側面図である。 図７に示す方法で表裏撓み差が測定される一の試料ガラスを矢印Ｃ２の向きから見た側面図である。 図７に示す方法で表裏撓み差が測定される他の試料ガラスを矢印Ｃ１の向きから見た側面図である。 図７に示す方法で表裏撓み差が測定される他の試料ガラスを矢印Ｃ２の向きから見た側面図である。 図６に示すガラス基板を製造するためのガラス基板の製造装置の要部を示す縦断面図である。 図１０の徐冷ゾーンにおけるガラスリボンの状態を示す斜視図である。 図１１に示すガラスリボンのＤ１－Ｄ１切断線に沿った横断面図である。 図１１に示すガラスリボンのＤ２－Ｄ２切断線に沿った横断面図である。 図１１に示すガラスリボンのＥ１－Ｅ１切断線に沿った縦断面図である。 本発明との比較に係るガラス基板の各評価領域における幅方向の表裏撓み差の評価結果を表すグラフである。 本発明に係るガラス基板の各評価領域における幅方向の表裏撓み差の評価結果を表すグラフである。 本発明に係るガラス基板の各評価領域における板引き方向の表裏撓み差の評価結果を表すグラフである。
　以下、本発明の一実施形態を図１～図１７に基づいて説明する。
　図１は、本実施形態に係るガラス基板１の平面面である。このガラス基板１は、例えば、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法などのダウンドロー法や、フロート法などの公知の板引きを伴う成形手段により製造される。本実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によって帯状ガラスが成形され（詳細は後述する）、この帯状ガラスからの切り出しにより、所定形状で所定サイズのガラス基板１が得られる。
　このガラス基板１は、上記の成形方法に起因する板引き方向Ｘに沿った第一の辺２と、板引き方向Ｘと直交する方向（すなわち幅方向）Ｙに沿った第二の辺３とを有し、全体として矩形状をなす。ここで、第一の辺２と第二の辺３のうち相対的に短い辺の大きさは１１００ｍｍ以上であり、かつ相対的に長い辺の大きさは１３００ｍｍ以上であることが好ましい。一方で、第一の辺２と第二の辺３の大きさは何れも４０００ｍｍ以下であることが好ましい。ガラス基板１の厚み寸法は１０００μｍ以下であることが好ましく、７００μｍ以下であることがより好ましい。一方で、ガラス基板１の厚み寸法は、２００μｍ以上であることが好ましく、３００μｍ以上であることがより好ましい。
　なお、ガラス基板１の板引き方向Ｘは、例えば、暗室でガラス基板１の角度を調整しながら光源（例えばキセノンライト）から光を照射し、その透過光をスクリーンに投影することで、筋状の縞模様として観測できる。従って、成形後のガラス基板１の状態であっても、成形時の板引き方向Ｘを特定できる。
　ガラス基板１の主表面４の形状、具体的にはガラス基板１の幅方向Ｙに沿った向きにおける主表面４の形状と、板引き方向Ｘに沿った向きにおける主表面４の形状は、それぞれ表裏撓み差を用いて評価される。
　最初に、ガラス基板１の幅方向Ｙに沿った向きにおける主表面４の形状を表裏撓み差により評価する方法の一例を説明する。まず図１に示すように、一枚のガラス基板１に対して、第二の辺３に沿った方向の位置が互いに異なる複数の評価領域Ａ～Ｇを設定する。本実施形態では、第二の辺３に沿った方向で等間隔Ｌに離れた位置関係となるように７つの評価領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇを設定する。この際、各評価領域Ａ～Ｇは、ガラス基板１の一方の主表面４のうち例えば電子デバイスを製造する工程の成膜工程で薄膜パターンが形成される有効ゾーン（図示は省略）内に設定される。
　ここで、各評価領域Ａ～Ｇは矩形状をなしており、例えば幅方向Ｙに沿った辺の大きさが３７０ｍｍ、板引き方向Ｘに沿った辺の大きさが４７０ｍｍとなるように、各評価領域Ａ～Ｇの形状並びに大きさを設定する。なお、ここで挙げた各評価領域Ａ～Ｇの形状並びに大きさは一例であり、例えばガラス基板１の第一の辺２に平行な辺（後述する辺１２ａ，１２ｂ）の大きさが、第一の辺２の大きさの１０％以上でかつ３０％以下で、第二の辺３に平行な辺（後述する辺１３ａ，１３ｂ）の大きさが、第二の辺３の大きさの１０％以上でかつ３０％以下となるように、各評価領域Ａ～Ｇの大きさを設定してもよい。なお、有効ゾーンの幅方向寸法が小さいなど、全ての評価領域Ａ～Ｇを幅方向に沿って一列で設定できない場合には、図１に示すように、幅方向に沿って二列になるように、７つの評価領域Ａ～Ｇを各列に対し交互に設定してもよい。
　そして、各評価領域Ａ～Ｇに対応する位置、形状、及び大きさの試料ガラス１１をガラス基板１から採取し、一枚のガラス基板１につき評価領域Ａ～Ｇの数の分（ここでは７枚）の試料ガラス１１を取得する。この際、試料ガラス１１の一方の辺１２ａ，１２ｂがガラス基板１の板引き方向Ｘと平行で、かつ試料ガラス１１の他方の辺１３ａ，１３ｂがガラス基板１の幅方向Ｙと平行になるように、試料ガラス１１をガラス基板１から採取する。
　このようにして所定枚の試料ガラス１１を用意した後、各試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った辺１３ａ，１３ｂの表裏撓み差を測定する。具体的には、図２に示すように、試料ガラス１１の一方の主表面１１ａ（例えば保証面となる側の主表面、ここではガラス基板１の一方の主表面４に含まれる側の主表面）を上向きにした状態で試料ガラス１１の幅方向Ｙの両端部を一対の支持部材２０，２０により支持する。この際、一対の支持部材２０，２０による試料ガラス１１の支持スパンＭは、例えば３５０ｍｍの大きさに設定される。そして、この状態において、試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った二つの辺１３ａ，１３ｂのうち一方の辺１３ａ（例えば板引き方向Ｘとの関係でいえば下流側の辺１３ａ）に生じた第一の撓みＷ３１ａ（図３Ａ中の実線で示す状態）の大きさを測定する。然る後、試料ガラス１１を表裏反転させて、試料ガラス１１の他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で試料ガラス１１の幅方向Ｙの両端部を一対の支持部材２０，２０により支持する（図３Ａ中の二点鎖線で示す状態）。そして、この状態において、試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った一方の辺１３ａに生じた第二の撓みＷ３２ａの大きさを測定する。
　このようにして、第一の撓みＷ３１ａ及び第二の撓みＷ３２ａを測定した後、第一の撓みＷ３１ａから第二の撓みＷ３２ａを減じた値Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａを幅方向Ｙに沿った一方の辺１３ａの表裏撓み差として取得する。
　本実施形態では、次に、試料ガラス１１の一方の主表面１１ａを上向きにした状態で試料ガラス１１の幅方向Ｙの両端部を一対の支持部材２０，２０により支持した状態で、試料ガラス１１の他方の辺１３ｂ（板引き方向Ｘとの関係でいえば上流側の辺１３ｂ）に生じた第一の撓みＷ３１ｂ（図３Ｂ中の実線で示す状態）の大きさを測定する。然る後、試料ガラス１１を表裏反転させて、試料ガラス１１の他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で試料ガラス１１の幅方向Ｙの両端部を一対の支持部材２０，２０により支持する。そして、この状態において、試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った他方の辺１３ｂに生じた第二の撓みＷ３２ｂ（図３Ｂ中の二点鎖線で示す状態）の大きさを測定する。
　以上の作業を、各評価領域Ａ～Ｇに対応する全ての試料ガラス１１に対して行うことで、ガラス基板１の有効ゾーンの幅方向Ｙ全域にわたる複数の評価領域Ａ～Ｇにおける撓み方向及びその大きさを知ることができる。例えば図３Ａに示すように、一方の主表面１１ａを上向きにした状態で一方の辺１３ａに生じた第一の撓みＷ３１ａが、他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で一方の辺１３ａに生じた第二の撓みＷ３２ａよりも大きい場合、ガラス基板１のうち試料ガラス１１の一方の辺１３ａに対応する領域における撓み方向は一方の主表面１１ａが凹となる向きで、その大きさは第一の撓みＷ３１ａから第二の撓みＷ３２ａを減じた値で評価することができる。よって、上述のように一方の辺１３ａの撓みを測定することにより、ガラス基板１の幅方向Ｙの形状が把握可能となる。
　また、このようにして、第一の撓みＷ３１ｂ及び第二の撓みＷ３２ｂを測定した後、第一の撓みＷ３１ｂから第二の撓みＷ３２ｂを減じた値Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂを幅方向Ｙに沿った他方の辺１３ｂの表裏撓み差として取得する。
　また、この場合、上述のようにして求めた一方の辺１３ａの表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａと、他方の辺１３ｂの表裏撓み差Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負を評価する。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、一方の辺１３ａにおける表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａと、他方の辺１３ｂにおける表裏撓み差Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂとで、正負が等しい場合、ガラス基板１のうち試料ガラス１１が採取された部分（評価領域Ａ～Ｇの何れか一つ）の板引き方向Ｘに沿った向きの断面は、図５に示すように、表裏一方向に撓んだ形状をなす。
　その一方で、試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った二つの辺１３ａ，１３ｂでそれぞれ第一の撓みＷ３１ａ（Ｗ３１ｂ）と、第二の撓みＷ３２ａ（Ｗ３２ｂ）を測定して、一方の辺１３ａにおける表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａと、他方の辺１３ｂにおける表裏撓み差Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負を評価した場合、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、一方の辺１３ａと他方の辺１３ｂとで、表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負が異なる（逆転する）ことがある。この際、ガラス基板１の試料ガラス１１が採取された部分（評価領域Ａ～Ｇの何れか一つ）の板引き方向Ｘに沿った向きの断面は、図６に示すように、撓み方向が板引き方向Ｘで逆転した形状、いわば波立ち形状をなす。以上のようにして、ガラス基板１の板引き方向Ｘの形状が把握可能となる。
　次に、ガラス基板１の板引き方向Ｘに沿った向きの形状を表裏撓み差により評価する方法の一例を説明する。
　まず、図２に示す評価領域Ａ～Ｇに対応する所定枚の試料ガラス１１を用意した後、各試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った辺１２ａ，１２ｂの表裏撓み差を測定する。ここで、用意する試料ガラス１１は、幅方向Ｙに沿った向きの形状を評価する際に用いた試料ガラス１１でよい。具体的には、図７に示すように、試料ガラス１１の一方の主表面１１ａを上向きにした状態で試料ガラス１１の板引き方向Ｘの両端部を一対の支持部材２１，２１により支持する。この際、一対の支持部材２１，２１による試料ガラス１１の支持スパンＮは、例えば４５０ｍｍの大きさに設定される。そして、この状態において、試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った二つの辺１２ａ，１２ｂのうち一方の辺１２ａ（図７でいえば左側の辺１２ａ）に生じた第一の撓みＷ２１ａ（図８Ａ中の実線で示す状態）の大きさを測定する。然る後、試料ガラス１１を表裏反転させて、試料ガラス１１の他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で試料ガラス１１の板引き方向Ｘの両端部を一対の支持部材２１，２１により支持する（図８Ａ中の二点鎖線で示す状態）。そして、この状態において、試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った一方の辺１２ａに生じた第二の撓みＷ２２ａの大きさを測定する。
　このようにして、第一の撓みＷ２１ａ及び第二の撓みＷ２２ａを測定した後、第一の撓みＷ２１ａから第二の撓みＷ２２ａを減じた値Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａを板引き方向Ｘに沿った一方の辺１２ａの表裏撓み差として取得する。
　本実施形態では、次に、試料ガラス１１の一方の主表面１１ａを上向きにした状態で試料ガラス１１の板引き方向Ｘの両端部を一対の支持部材２１，２１により支持した状態で、試料ガラス１１の他方の辺１２ｂ（図７でいえば右側の辺１２ｂ）に生じた第一の撓みＷ２１ｂ（図８Ｂ中の実線で示す状態）の大きさを測定する。然る後、試料ガラス１１を表裏反転させて、試料ガラス１１の他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で試料ガラス１１の板引き方向Ｘの両端部を一対の支持部材２１，２１により支持する。そして、この状態において、試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った他方の辺１２ｂに生じた第二の撓みＷ２２ｂ（図８Ｂ中の二点鎖線で示す状態）の大きさを測定する。
　以上の作業を、各評価領域Ａ～Ｇに対応する全ての試料ガラス１１に対して行うことで、ガラス基板１の有効ゾーン内の複数の評価領域Ａ～Ｇにおける板引き方向Ｘの撓み方向及びその大きさを知ることができる。例えば図８Ａに示すように、一方の主表面１１ａを上向きにした状態で一方の辺１２ａに生じた第一の撓みＷ２１ａが、他方の主表面１１ｂを上向きにした状態で一方の辺１２ａに生じた第二の撓みＷ２２ａよりも大きい場合、ガラス基板１のうち試料ガラス１１の一方の辺１２ａに対応する領域における撓み方向は一方の主表面１１ａが凹となる向きで、その大きさは第一の撓みＷ２１ａから第二の撓みＷ２２ａを減じた値で評価することができる。よって、上述のように一方の辺１２ａの撓みを測定することにより、ガラス基板１の板引き方向Ｘにおける形状が把握可能となる。
　また、このようにして、第一の撓みＷ２１ｂ及び第二の撓みＷ２２ｂを測定した後、第一の撓みＷ２１ｂから第二の撓みＷ２２ｂを減じた値Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂを板引き方向Ｘに沿った他方の辺１２ｂの表裏撓み差として取得する。
　この場合、上述のようにして求めた一方の辺１２ａの表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａと、他方の辺１２ｂの表裏撓み差Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂの正負を評価することができる。図８Ａ及び図８Ｂに示すように、一方の辺１２ａにおける表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａと、他方の辺１２ｂにおける表裏撓み差Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂとで、正負が等しい場合、ガラス基板１の試料ガラス１１が採取された部分（評価領域Ａ～Ｇの何れか一つ）の幅方向Ｙに沿った向きの断面は、図示は省略するが、表裏一方向に撓んだ形状をなす。
　一方で、試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った二つの辺１２ａ，１２ｂでそれぞれ第一の撓みＷ２１ａ（Ｗ２１ｂ）と、第二の撓みＷ２２ａ（Ｗ２２ｂ）を測定して、一方の辺１２ａにおける表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａと、他方の辺１２ｂにおける表裏撓み差Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂの正負を評価した場合、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、一方の辺１２ａと他方の辺１２ｂとで、表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂの正負が異なる（逆転する）ことがある。この場合、ガラス基板１の試料ガラス１１が採取された部分（評価領域Ａ～Ｇの何れか一つ）の幅方向Ｙに沿った向きの断面は、図示は省略するが、撓み方向が幅方向Ｙで逆転した形状（波立ち形状）をなす。以上のようにして、ガラス基板１の幅方向Ｙの形状が把握可能となる。
　また、上述のようにして評価されるガラス基板１は、複数の評価領域Ａ～Ｇ全てにおいて、第一の辺２と平行な二つの辺１２ａ，１２ｂにおける表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂが何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下であることが好ましく、－０．３ｍｍ以上でかつ０．３ｍｍ以下であることがより好ましい。また、第二の辺３と平行な二つの辺１３ａ，１３ｂにおける表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂが何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下であることが好ましく、－０．３ｍｍ以上でかつ０．３ｍｍ以下であることがより好ましい。すなわち、先に述べた表裏撓み差の正負と合わせてガラス基板１の取り扱い性を考慮した場合、ガラス基板１の各評価領域Ａ～Ｇのうち少なくとも一つの領域における幅方向Ｙに沿った一方の辺１３ａの表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａと他方の辺１３ｂの表裏撓み差Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負が逆転しており、かつ全ての評価領域Ａ～Ｇにおいて四辺１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂ，Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの絶対値が何れも０．５ｍｍ以内であることが好ましく、０．３ｍｍ以内であることがより好ましい。
　次に、以上の構成を備えたガラス基板１の製造方法の一例を説明する。
　図１０は、本実施形態に係るガラス基板１を製造可能とするための製造装置１００の要部を示す縦断面図である。この製造装置１００は、オーバーフローダウンドロー法によって、炉１０１内で、ガラス基板１となる帯状ガラスとしてのガラスリボン３０を成形するものである。
　詳細には、炉１０１内には、上方から順に、成形工程を行う成形ゾーン１０２、アニール工程を行う徐冷（アニール）ゾーン１０３、冷却工程を行う冷却ゾーン１０４が設けられており、冷却ゾーン１０４の下流側に切断工程を行う切断ゾーン（図示は省略）が設けられている。
　成形ゾーン１０２では、楔状の断面形状を有する成形体１２１に溶融ガラス３１を供給すると共に、この成形体１２１の頂部から溢れ出た溶融ガラス３１をその下端部で合流させて流下させることで、帯状のガラスリボン３０を成形する。徐冷ゾーン１０３では、成形ゾーン１０２で成形されたガラスリボン３０を徐冷することで、その内部に歪が発生するのを抑制する。冷却ゾーン１０４では、徐冷ゾーン１０３で徐冷されたガラスリボン３０を室温又は室温付近まで冷却する。そして、このように冷却されたガラスリボン３０が図示しない切断ゾーンで所定の大きさに切断されて、ガラス基板１が連続的に製造される。
　徐冷ゾーン１０３と冷却ゾーン１０４には、ガラスリボン３０の搬送経路に沿った複数箇所に、図１０中の矢印方向に回転するローラ１０５を配置してなる複数のローラ群１０６が設けられている。個々のローラ群１０６は、図１１に示すように、ガラスリボン３０の幅方向Ｙの両端部をそれぞれ挟持する二対のローラ１０５（すなわち計四個のローラ１０５）によって構成され、この実施形態では、ガラスリボン３０の幅方向Ｙの一方側に位置する二個のローラ１０５と、幅方向Ｙの他方側に位置する二個のローラ１０５とがそれぞれ、二本のローラ軸１０７に連結固定されている。もちろん、一方側のローラ１０５と、他方側のローラ１０５とを、ローラ軸１０７で相互に連結固定せず、個々のローラ１０５をローラ軸１０７で片持支持してもかまわない。
　徐冷ゾーン１０３では、図１１に示すように、全体として平坦な形状のガラスリボン３０の一部をわずかに湾曲させている。詳細には、ガラスリボン３０を幅方向Ｙの中央側で湾曲させてガラスリボン３０に湾曲部３２を形成している。また、ガラスリボン３０の板引き方向Ｘの所定位置で湾曲部３２の凹凸の向きを表裏方向で反転させている。
　本実施形態において、湾曲部３２のうち相対的に徐冷ゾーン１０３の上流側に位置する第一湾曲部３３は、図１２に示すように、ガラスリボン３０の幅方向Ｙの中央部を、一方の主表面３０ａ側が凹で他方の主表面３０ｂ側が凸となるように湾曲させた形状をなす。なお、図１２中の一点鎖線で示す状態は、第一湾曲部３３を形成しない場合のガラスリボン３０の状態、すなわち、平坦なガラスリボン３０の状態を示している。
　一方、湾曲部３２のうち相対的に徐冷ゾーン１０３の下流側に位置する第二湾曲部３４は、図１３に示すように、ガラスリボン３０の幅方向Ｙの中央部を、一方の主表面３０ａ側が凸で他方の主表面３０ｂ側が凹となるように湾曲させた形状をなす。
　これら板引き方向Ｘで連続する第一湾曲部３３と第二湾曲部３４は、図１１に示すように、上流側ではガラスリボン３０の裏面（他方の主表面３０ｂ）側に凸となり、下流側ではガラスリボン３０の表面（一方の主表面３０ａ）側に凸となるように、上流側と下流側で凸となる向きが反転した形状をなしている。すなわち、このような形状の湾曲部３２（３３，３４）をガラスリボン３０に設けることで、図１４に示すように、ガラスリボン３０は板引き方向Ｘに沿って湾曲した形状をなし、上流側と下流側のそれぞれの湾曲部３３，３４の凸となる側の向きが、反転部３５を境に表裏反転している。
　本実施形態に係る製造方法では、第一湾曲部３３の湾曲形状を繰り返して変化させると共に第二湾曲部３４の湾曲形状を繰り返して変化させる。具体的には、まず第一湾曲部３３を、一方の主表面３０ａ側が凹となるように湾曲させた形状から一方の主表面３０ａ側が凸となるように湾曲させた形状に変化させる。また、第二湾曲部３４を、一方の主表面３０ａ側が凸となるように湾曲させた形状から一方の主表面３０ａ側が凹となるように湾曲させた形状に変化させる。続いて、第一湾曲部３３を、一方の主表面３０ａ側が凸となるように湾曲させた形状から一方の主表面３０ａ側が凹となるように湾曲させた形状に変化させる。また、第二湾曲部３４を、一方の主表面３０ａ側が凹となるように湾曲させた形状から一方の主表面３０ａ側が凸となるように湾曲させた形状に変化させる。これにより、第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状は図１１～図１４に示す形状に戻る。このような第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状の変化を繰り返す。このような変化の１サイクルは、例えば１～３秒で行えばよい。
　このようなガラスリボン３０から切り出されたガラス基板１であれば、上述の如く、板引き方向Ｘに沿った向きの形状を表裏撓み差により評価した場合、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、幅方向Ｙに沿った二辺１３ａ，１３ｂの表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂの正負が逆転する。すなわち、図６に示すように、板引き方向Ｘに波打った形状をなす。よって、この波打った形状をなすガラス基板１によれば、自重による撓みが一方向に顕在化する事態を防いで、搬送時又は加工時の変形を抑えることが可能となる。これにより、搬送時又は加工時におけるガラス基板１の形状が安定するので、ガラス基板１の取り扱い性を高めることが可能となる。
　ここで、ガラスリボン３０の第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状を変化させる方法としては、例えば、次のような手段が挙げられる。
　例えば、第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状は、機械的な外力により変化させてもよい。具体的には、例えば、ガラスリボン３０に図示しない接触子を突き当てて、その接触子によって第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状を強制的に変化させてもよい。
　前述の第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲形状の変化を繰り返したガラスリボン３０から切り出されたガラス基板１であれば、板引き方向Ｘに沿った二辺１２ａ，１２ｂの表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂの正負も逆転する。
　幅方向Ｙに沿った二辺１３ａ，１３ｂの表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂ、及び、板引き方向Ｘに沿った二辺１２ａ，１２ｂの表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂは、第一湾曲部３３及び第二湾曲部３４の湾曲量ｄｔ（図１２及び図１３参照）に応じて変化する。つまり、湾曲量ｄｔを小さくすれば、例えば湾曲量ｄｔを１ｍｍ～２０ｍｍにすれば、幅方向Ｙに沿った二辺１３ａ，１３ｂの表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａ，Ｗ３１ｂ－Ｗ３２ｂ、及び、板引き方向Ｘに沿った二辺１２ａ，１２ｂの表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａ，Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂを－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下にできる。
　以上のようにして製造されたガラス基板１の形状精度を、上述した表裏撓み差により評価した結果の一例を図１５～図１７に示す。
　図１５は、本発明との比較に係るガラス基板１の各評価領域Ａ～Ｇにおける幅方向Ｙの表裏撓み差の評価結果を表している。ここで、図１５に示す幅方向Ｙの表裏撓み差は、図２及び図３Ａ（図３Ｂ）に示すように、評価対象となるガラス基板１から評価領域Ａ～Ｇに対応する試料ガラス１１を採取し、採取した試料ガラス１１の幅方向Ｙに沿った二つの辺１３ａ，１３ｂにそれぞれ生じた自重による撓みＷ３１ａ，Ｗ３１ｂ，Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂを測定し、同じ辺１３ａ（１３ｂ）で測定した撓みＷ３１ａ，Ｗ３２ａ（Ｗ３１ｂ，Ｗ３２ｂ）の差で表したものである。また、図１５中の実線は、試料ガラス１１の上流側の辺１３ｂで測定して得た表裏撓み差の分布を表しており、図１５中の破線は、試料ガラス１１の下流側の辺１３ａで測定して得た表裏撓み差Ｗ３１ａ－Ｗ３２ａの分布を表している。
　また、図１６は、本発明に係るガラス基板１の各評価領域Ａ～Ｇにおける幅方向Ｙの表裏撓み差の評価結果を表している。ここで、図１６に示す幅方向Ｙの表裏撓み差は、評価対象となるガラス基板１が異なる点を除き、図１５に示す表裏撓み差と全て同じ方法で取得し、かつ同じ態様でグラフ化したものである。
　図１７は、本発明に係るガラス基板１の各評価領域Ａ～Ｇにおける板引き方向Ｙの表裏撓み差の評価結果を表している。ここで、図１７に示す板引き方向Ｘの表裏撓み差は、図７及び図８Ａ（図８Ｂ）に示すように、評価対象となるガラス基板１から評価領域Ａ～Ｇに対応する試料ガラス１１を採取し、採取した試料ガラス１１の板引き方向Ｘに沿った二つの辺１２ａ，１２ｂにそれぞれ生じた自重による撓みＷ２１ａ，Ｗ２１ｂ，Ｗ２２ａ，Ｗ２２ｂを測定し、同じ辺１２ａ（１２ｂ）で測定した撓みＷ２１ａ，Ｗ２２ａ（Ｗ２１ｂ，Ｗ２２ｂ）の差で表したものである。また、図１７中の実線は、試料ガラス１１の幅方向一方側の辺１２ｂで測定して得た表裏撓み差Ｗ２１ｂ－Ｗ２２ｂの分布を表しており、図１７中の破線は、試料ガラス１１の幅方向他方側の辺１２ａで測定して得た表裏撓み差Ｗ２１ａ－Ｗ２２ａの分布を表している。
　図１５に示すように、本発明との比較に係るガラス基板１では、何れの評価領域Ａ～Ｇにおいても、下流側の辺１３ａと上流側の辺１３ｂとで幅方向Ｙの表裏撓み差の正負が一致、あるいは一方が実質的に零となっている。
　これに対して、図１６に示すように、本発明に係るガラス基板１では、所定の評価領域Ｂ，Ｃにおいて、幅方向Ｙの表裏撓み差の正負が逆転している。このことから、本発明に係るガラス基板１のうち少なくとも評価領域Ｂ，Ｃに対応する領域では、下流側と上流側とで表裏の撓み方向が逆転しており、板引き方向Ｘで図６に示す如き波打ち形状をなしていることが推察される。
　また、図１７に示すように、本発明に係るガラス基板１では、所定の評価領域Ａにおいて、板引き方向Ｘの表裏撓み差の正負が逆転している。このことから、本発明に係るガラス基板１のうち少なくとも評価領域Ａに対応する領域では、幅方向一方側と他方側とで表裏の撓み方向が逆転しており、幅方向Ｙで図６に示す如き波打ち形状をなしていることが推察される。
　また、図１６及び図１７に示すように、本発明に係るガラス基板１では、複数の評価領域Ａ～Ｇ全てにおいて、幅方向Ｙに平行な下流側の辺１３ａと上流側の辺１３ｂにおける表裏撓み差の絶対値、及び板引き方向Ｘに平行な幅方向一方側の辺１２ａと他方側の辺１２ｂにおける表裏撓み差の絶対値が何れも０．２ｍｍ以内に収まっていることが分かる。　
　以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明に係るガラス基板、及びガラス基板の製造方法は、上記実施形態には限定されることなく、本発明の範囲内で種々の形態を採ることが可能である。
　例えば、上記実施形態では、一枚のガラス基板１につき、７つの評価領域Ａ～Ｇを設定し、対応する７枚（評価領域と同数）の試料ガラス１１を採取した場合を例示したが、もちろんこれには限られない。例えば一枚のガラス基板１につき３つ～１０つの評価領域を設定し、設定した評価領域と同数の試料ガラス１１をガラス基板１から採取して各々の試料ガラス１１につき表裏撓み差を取得してもよい。
　また、評価領域（すなわち試料ガラス１１）のサイズについても上記例示の寸法には限定されず、例えば幅方向Ｙに沿った辺の大きさが２５０ｍｍ以上でかつ６００ｍｍ以下であってもよい。また、評価領域（試料ガラス１１）の板引き方向Ｘに沿った辺の大きさが３００ｍｍ以上でかつ７００ｍｍ以下であってもよい。支持スパンＭ、Ｎも上記例示の寸法には限定されず、例えば試料ガラス１１の幅方向Ｙ又は板引き方向Ｘに平行な辺の大きさの８０～９８％に設定してもよい。
　また、上記実施形態では、一枚のガラス基板１から評価領域Ａ～Ｇに対応して複数の試料ガラス１１を採取して、各試料ガラス１１の表裏撓み差を測定した場合を例示したが、これ以外の手法をとることも可能である。例えば同一の製造ラインで製造された複数枚のガラス基板１を取得し、取得した各ガラス基板１から評価領域に応じた数の試料ガラス１１を採取する。そして、各試料ガラス１１の各辺１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの表裏撓み差を取得し、同一の評価領域で取得した複数の表裏撓み差の平均値又は最大値を求めることで、当該評価領域における表裏撓み差を評価してもかまわない。
　また、上記実施形態では、オーバーフローダウンドロー法によりガラスリボン３０を成形する場合を説明したが、例えば、スロットダウンドロー法やリドロー法などの他のダウンドロー法又はフロート法によりガラスリボン３０を成形するようにしてもよい。
　また、以上の説明に係るガラス基板１は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのディスプレイのガラス基板やカバーガラスに適用可能である。
１　　　ガラス基板
２　　　板引き方向に沿った辺
３　　　幅方向に沿った辺
４　　　主表面
１１　　試料ガラス
１１ａ，１１ｂ　主表面
１２ａ，１２ｂ　板引き方向に沿った辺
１３ａ，１３ｂ　幅方向に沿った辺
２０，２０，２１，２１　支持部材
３０　　ガラスリボン
３０ａ，３０ｂ　主表面
３１　　溶融ガラス
３２，３３，３４　湾曲部
３５　　反転部
１００　製造装置
１０１　炉
１０２　成形ゾーン
１０３　徐冷ゾーン
１０４　冷却ゾーン
１０５　ローラ
１０６　ローラ群
１０７　ローラ軸
１２１　成形体
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ　評価領域
Ｍ，Ｎ　支持スパン
Ｗ２１ａ，Ｗ２１ｂ，Ｗ２２ａ，Ｗ２２ｂ　板引き方向に沿った辺の撓み
Ｗ３１ａ，Ｗ３１ｂ，Ｗ３２ａ，Ｗ３２ｂ　幅方向に沿った辺の撓み
Ｘ　　　板引き方向
Ｙ　　　幅方向

Claims (10)

  1. 　板引き方向に沿った第一の辺と、前記板引き方向と直交する幅方向に沿った第二の辺とを有する矩形状のガラス基板であって、
    　前記第二の辺の方向に沿った複数の位置で矩形状をなす評価領域を設定し、前記複数の評価領域のうち少なくとも一つの評価領域で、前記第二の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差の正負が異なっているガラス基板。
  2. 　前記複数の評価領域のうち少なくとも一つの評価領域で、前記第一の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差の正負が異なっている請求項１に記載のガラス基板。
  3. 　前記各評価領域の幅方向に沿った辺が３７０ｍｍで、板引き方向に沿った辺が４７０ｍｍである請求項１又は２に記載のガラス基板。
  4. 　前記複数の評価領域全てにおいて、
    　前記第一の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差が何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下であり、
    　前記第二の辺と平行な二つの辺における表裏撓み差が何れも－０．５ｍｍ以上でかつ＋０．５ｍｍ以下である請求項１～３の何れか一項に記載のガラス基板。
  5. 　前記第一の辺と前記第二の辺のうち相対的に短い辺が１１００ｍｍ以上で相対的に長い辺が１３００ｍｍ以上であり、厚み寸法が２００μｍ以上でかつ１０００μｍ以下である請求項１～４の何れか一項に記載のガラス基板。
  6. 　板引き方向に沿った第一の辺と、前記板引き方向と直交する幅方向に沿った第二の辺とを有する矩形状のガラス基板の製造方法であって、
    　帯状ガラスを成形する成形工程と、
    　前記帯状ガラスから前記ガラス基板を切出す切出し工程と、
    　前記ガラス基板から前記第一の辺及び前記第二の辺とそれぞれ平行な二つの辺を有する矩形状の試料ガラスを採取する採取工程と、
    　前記試料ガラスの前記第一の辺と平行な辺の表裏撓み差を測定する測定工程とを備えるガラス基板の製造方法。
  7. 　前記測定工程で、前記第一の辺と平行な前記試料ガラスの二つの辺でそれぞれ前記表裏撓み差を測定する請求項６に記載のガラス基板の製造方法。
  8. 　前記測定工程で測定した前記試料ガラスの前記第一の辺と平行な辺の表裏撓み差の正負を評価する評価工程をさらに備える請求項６又は７に記載のガラス基板の製造方法。
  9. 　前記測定工程で、前記第二の辺と平行な前記試料ガラスの二つの辺でそれぞれ前記表裏撓み差を測定する請求項６～８の何れか一項に記載のガラス基板の製造方法。
  10. 　前記測定工程で測定した前記試料ガラスの前記第二の辺と平行な辺の表裏撓み差の正負を評価する評価工程をさらに備える請求項９に記載のガラス基板の製造方法。
PCT/JP2021/034007 2020-09-24 2021-09-15 ガラス基板、及びガラス基板の製造方法 WO2022065169A1 (ja)

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