TW202219001A - 玻璃基板以及玻璃基板的製造方法 - Google Patents

Abstract

玻璃基板1為矩形形狀，具有沿著抽板方向X的第一邊2、及沿著與抽板方向X正交的寬度方向Y的第二邊3，且於沿著第二邊2的方向的多個位置設定呈矩形形狀的評價區域A～評價區域G，於多個評價區域A～G中的至少一個評價區域中，與第二邊3平行的兩條邊13a、13b的表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b的正負不同。

Description

玻璃基板以及玻璃基板的製造方法

本發明是有關於一種玻璃基板以及玻璃基板的製造方法。

近年來，例如伴隨構成液晶顯示器等的面板玻璃（panel glass）的大型化及薄板化，關於用於製作面板玻璃的玻璃基板，亦必然推進大型化或薄板化。此種玻璃基板的製造技術以日新月異的勢態進步，例如現狀為，對玻璃基板所要求的形狀精度的水準亦變得極高。

此處，為了評價玻璃基板的形狀精度，先前提出有各種評價方法。例如專利文獻1中提出有下述方法，即：於將玻璃基板載置於理想平面（例如平盤的上表面）的情形時，將沿著既定的邊的方向的、理想平面與玻璃基板的背面之間產生的最大遠離距離除以所述既定的邊的全長，使用藉此所得的翹曲率來評價玻璃基板的形狀精度。

另外，於專利文獻2中提出有下述方法，即：針對一片玻璃基板，設定呈矩形形狀且與抽板方向正交的方向的位置不同的多個評價區域，並且測定多個評價區域的表背撓曲差，藉此評價該玻璃基板的與抽板方向正交的方向的形狀。另外，提出有下述方法，即：對多個玻璃基板進行所述表背撓曲差的測定，分別求出多個玻璃基板間的、同一評價區域的表背撓曲差的變化量，藉此評價玻璃基板的與抽板方向正交的方向的、形狀的變化。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2013-199426號公報 專利文獻2：日本專利特開2019-137587號公報

[發明所欲解決之課題] 再者，玻璃基板於其製造步驟或在玻璃基板上形成電子元件而製造電子元件的步驟時，視需要而有時以自下方支持主表面（背面）的一部分的狀態進行搬送，或者以伴隨定位並經保持的狀態進行加工。此種情形時，即便於作為玻璃基板總體的變形而評價的翹曲或彎曲小的情況下，有時如所述般經支持的狀態下的、玻璃基板的自重所致的撓曲亦成為可能對搬送或加工造成影響的變形而出現。此種變形有導致與周邊設備的接觸等未預料的事態，故而於操作性的方面而言亦為應儘力避免的現象。

專利文獻2所記載的評價方法基於玻璃基板的與抽板方向正交的方向的表背撓曲差分佈來評價該方向的形狀或其變化（不均一），但即便為由該方法評價為所述形狀或其變化限於容許範圍內的玻璃基板，亦視搬送態樣或加工態樣不同，而有時由自重所致的撓曲成為可能對搬送或加工造成影響的變形而出現。

鑑於以上情況，本發明應解決的技術課題在於，基於針對玻璃基板的形狀的、新的評價，提供一種搬送時或加工時的操作性優異的玻璃基板。 [解決課題之手段]

所述課題的解決可藉由本發明的玻璃基板來達成。即，所述玻璃基板為矩形形狀，具有沿著抽板方向的第一邊、及沿著與抽板方向正交的寬度方向的第二邊，且所述玻璃基板於下述方面具有特徵，即：於沿著寬度方向的多個位置設定呈矩形形狀的評價區域，於多個評價區域中的至少一個評價區域中，與第二邊平行的兩條邊的表背撓曲差的正負不同

本發明者等人對玻璃基板內的撓曲分佈進行了潛心研究，結果獲得了下述見解，即：藉由適當評價迄今為止尚未考慮的抽板方向的撓曲分佈，從而可準確地把握抽板方向的形狀。另外，獲得了下述見解，即：抽板方向的形狀對搬送時或加工時的由自重所致的撓曲造成影響。本發明的玻璃基板是基於所述見解而成，其特徵在於，於玻璃基板的沿著與抽板方向正交的寬度方向的多個位置，設定呈矩形形狀的評價區域，於至少一個評價區域中，與沿著玻璃基板的寬度方向的第二邊平行的兩條邊的表背撓曲差的正負不同。如此般呈沿著評價區域的寬度方向的兩條邊的表背撓曲差的正負不同的形狀的玻璃基板成為下述形狀，即：撓曲方向於抽板方向顛倒。可謂玻璃基板於抽板方向具有波動的形狀。因此，若為所述形狀的玻璃基板，則可防止自重所致的撓曲於一個方向顯現的事態，抑制搬送時或加工時的變形。藉此，搬送時或加工時的玻璃基板的形狀穩定，故而可提高玻璃基板的操作性。

另外，本發明的玻璃基板中，於多個評價區域中的至少一個評價區域中，與第一邊平行的兩條邊的表背撓曲差的正負亦可不同。

若為如此般呈下述形狀的玻璃基板，即：不僅是評價區域的寬度方向，而且沿著評價區域的抽板方向的兩條邊的表背撓曲差的正負不同，則不僅於抽板方向而且於寬度方向亦具有波動的形狀。藉此，搬送時或加工時的玻璃基板的形狀更穩定，故而可進一步提高玻璃基板的操作性。

另外，本發明的玻璃基板中亦可為，各評價區域的沿著寬度方向的邊為370 mm，且沿著抽板方向的邊為470 mm。

藉由將評價區域的尺寸設定為所述大小，從而可準確地評價玻璃基板的抽板方向的形狀。即，可避免下述事態：評價區域的尺寸過小，導致原本應評價的波動形狀的山部與穀部中的一者從評價區域中缺失。另外，可避免下述事態：評價區域的尺寸過大，導致抽板方向的波動形狀埋沒於一個評價區域中。

另外，本發明的玻璃基板中亦可為，於多個評價區域全部中，與第一邊平行的兩條邊的表背撓曲差均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下，與第二邊平行的兩條邊的表背撓曲差均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下。

若為如此般各評價區域的表背撓曲差均限於所述範圍內的玻璃基板，則總體呈接近平坦的形狀。因此，即便於搬送時或加工時產生由自重所致的撓曲，該撓曲亦可較小。

另外，本發明的玻璃基板中亦可為，第一邊與第二邊中相對較短的邊為1100 mm以上且相對較長的邊為1300 mm以上，厚度尺寸為200 μm以上且1000 μm以下。

所述變形的問題於藉由抽板成形來製造所述尺寸的玻璃基板的情形時變顯著。因此，本發明適於所述尺寸的玻璃基板。

另外，所述課題的解決亦可藉由本發明的玻璃基板的製造方法來達成。即，該製造方法製造矩形形狀的玻璃基板，所述玻璃基板具有沿著抽板方向的第一邊、及沿著與抽板方向正交的寬度方向的第二邊，且所述製造方法於下述方面具有特徵，即包括：成形步驟，成形帶狀玻璃；切出步驟，自帶狀玻璃切出玻璃基板；採集步驟，自玻璃基板採集具有與第一邊及第二邊分別平行的兩條邊的、矩形形狀的試樣玻璃；以及測定步驟，測定試樣玻璃的與第一邊平行的邊的表背撓曲差。

本發明的玻璃基板的製造方法與本發明的玻璃基板同樣地，是基於上文所述的見解而成，其特徵在於，從自經成形的帶狀玻璃切出的玻璃基板，採集具有與第一邊及第二邊分別平行的兩條邊的、矩形形狀的試樣玻璃，測定所採集的試樣玻璃的、沿著抽板方向的邊的表背撓曲差。根據該方法，可由試樣玻璃的沿著抽板方向的邊的撓曲方向及撓曲的大小等來得知玻璃基板的抽板方向的形狀。藉此，例如可評價從下方支持玻璃基板的一部分的情形時的形狀穩定性，可篩選形狀穩定性為既定水準以上的玻璃基板。因此，根據本發明的玻璃基板的製造方法，可提供一種搬送時或加工時的操作性優異的玻璃基板。

另外，本發明的玻璃基板的製造方法中，亦可於測定步驟中，於與第一邊平行的試樣玻璃的兩條邊分別測定表背撓曲差。

藉由如此般對一個試樣玻璃測定兩條邊的表背撓曲差，從而可減少測定所需要的試樣玻璃的個數。因此，可高效率地把握玻璃基板的抽板方向的形狀。

另外，本發明的玻璃基板的製造方法中，亦可更包括：評價步驟，評價測定步驟中測定的試樣玻璃的、與第一邊平行的邊的表背撓曲差的正負。

藉由如此般評價與第一邊平行的邊的表背撓曲差的正負，從而可把握玻璃基板的抽板方向的局部的撓曲方向。另外，藉由評價平行的兩條邊的表背撓曲差的正負，從而可評價成為評價對象的玻璃基板是否呈撓曲方向於寬度方向顛倒的形狀，換言之，可評價該玻璃基板是否於寬度方向具有波動形狀。因此，可篩選於搬送時或加工時不易變形的玻璃基板。或者，可藉由調整製造條件，從而穩定地製造於寬度方向具有波動形狀的玻璃基板。

另外，本發明的玻璃基板的製造方法中，亦可於測定步驟中，於與第二邊平行的試樣玻璃的兩條邊分別測定表背撓曲差。

根據該方法，可除了玻璃基板的抽板方向的形狀以外，由試樣玻璃的沿著寬度方向的邊的撓曲方向及撓曲的大小等來得知玻璃基板的寬度方向的形狀。尤其藉由如所述般於沿著寬度方向的兩條邊分別測定表背撓曲差，從而可減少測定所需要的試樣玻璃的個數。因此，可高效率地把握玻璃基板的寬度方向的形狀。

另外，此時本發明的玻璃基板的製造方法中，亦可評價測定步驟中測定的試樣玻璃的、與第二邊平行的邊的表背撓曲差的正負。

藉由如此般評價沿著寬度方向的相互平行的兩條邊的表背撓曲差的正負，從而可評價成為評價對象的玻璃基板是否呈撓曲方向於抽板方向顛倒的形狀，換言之，可評價該玻璃基板是否於抽板方向具有波動形狀。因此，可篩選於搬送時或加工時不易變形的玻璃基板。或者，可藉由調整製造條件，從而穩定地製造於抽板方向具有波動形狀的玻璃基板。 [發明的效果]

根據以上內容，根據本發明，可基於針對玻璃基板的形狀的、新的評價，提供一種搬送時或加工時的操作性優異的玻璃基板。

以下，基於圖1～圖17對本發明的一實施形態進行說明。

圖1為本實施形態的玻璃基板1的平面面。該玻璃基板1例如是藉由溢流下拉（over-flow down-draw）法、流孔下拉法（slot down-draw）等下拉法或浮式法等公知的伴隨抽板的成形方法而製造。本實施形態中，藉由溢流下拉法來成形帶狀玻璃（詳情將於後述），自該帶狀玻璃進行切出，藉此以既定形狀獲得既定尺寸的玻璃基板1。

該玻璃基板1具有沿著由所述成形方法所致的抽板方向X的第一邊2、及沿著與抽板方向X正交的方向（即寬度方向）Y的第二邊3，總體呈矩形形狀。此處，較佳為第一邊2與第二邊3中相對較短的邊的大小為1100 mm以上，且相對較長的邊的大小為1300 mm以上。另一方面，較佳為第一邊2及第二邊3的大小均為4000 mm以下。玻璃基板1的厚度尺寸較佳為1000 μm以下，更佳為700 μm以下。另一方面，玻璃基板1的厚度尺寸較佳為200 μm以上，更佳為300 μm以上。

再者，關於玻璃基板1的抽板方向X，例如藉由在暗室一方面調整玻璃基板1的角度一方面自光源（例如氙燈）照射光，並將其透射光投影於屏幕，從而可作為條紋狀紋樣而觀測到。因此，即便為成形後的玻璃基板1的狀態，亦可確定成形時的抽板方向X。

玻璃基板1的主表面4的形狀、具體而言玻璃基板1的沿著寬度方向Y的方向的主表面4的形狀、及沿著抽板方向X的方向的主表面4的形狀分別是使用表背撓曲差來評價。

首先，對藉由表背撓曲差來評價玻璃基板1的沿著寬度方向Y的方向的主表面4的形狀的方法的一例進行說明。首先，如圖1所示，針對一片玻璃基板1，設定沿著第二邊3的方向的位置互不相同的多個評價區域A～G。本實施形態中，以成為於沿著第二邊3的方向隔開等間隔L的位置關係的方式來設定七個評價區域A、B、C、D、E、F、G。此時，各評價區域A～G是設定於玻璃基板1的其中一個主表面4中例如由製造電子元件的步驟的成膜步驟形成薄膜圖案的有效區（圖示省略）內。

此處，各評價區域A～G呈矩形形狀，例如以沿著寬度方向Y的邊的大小為370 mm，沿著抽板方向X的邊的大小為470 mm的方式，設定各評價區域A～G的形狀以及大小。再者，此處列舉的各評價區域A～G的形狀以及大小為一例，例如亦可以下述方式設定各評價區域A～G的大小，即：玻璃基板1的與第一邊2平行的邊（後述的邊12a、邊12b）的大小為第一邊2的大小的10%以上且30%以下，與第二邊3平行的邊（後述的邊13a、邊13b）的大小為第二邊3的大小的10%以上且30%以下。再者，於有效區的寬度方向尺寸小等無法將所有的評價區域A～G沿著寬度方向設定為一行的情形時，亦可如圖1所示，以沿著寬度方向成為兩行的方式，對各行交替設定七個評價區域A～G。

繼而，自玻璃基板1採集與各評價區域A～G對應的位置、形狀及大小的試樣玻璃11，針對一片玻璃基板1，獲取評價區域A～評價區域G的個數（此處為七片）的試樣玻璃11。此時，以試樣玻璃11的其中一條邊12a、邊12b與玻璃基板1的抽板方向X平行，且試樣玻璃11的另一條邊13a、邊13b與玻璃基板1的寬度方向Y平行的方式，自玻璃基板1採集試樣玻璃11。

如此準備既定片試樣玻璃11後，測定各試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的邊13a、邊13b的表背撓曲差。具體而言，如圖2所示，於使試樣玻璃11的其中一個主表面11a（例如成為保證面之側的主表面，此處為玻璃基板1的其中一個主表面4所含之側的主表面）向上的狀態下，藉由一對支持構件20、20來支持試樣玻璃11的寬度方向Y的兩端部。此時，一對支持構件20、20對試樣玻璃11的支持跨距M例如設定為350 mm的大小。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的兩條邊13a、13b中的一條邊13a（例如以與抽板方向X的關係而言，為下游側的邊13a）所產生的、第一撓曲W31a（圖3A中的實線所示的狀態）的大小。然後，使試樣玻璃11表背反轉，於使試樣玻璃11的另一個主表面11b向上的狀態下，藉由一對支持構件20、20來支持試樣玻璃11的寬度方向Y的兩端部（圖3A中的二點鏈線所示的狀態）。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的其中一條邊13a所產生的、第二撓曲W32a的大小。

如此，測定第一撓曲W31a及第二撓曲W32a後，獲取第一撓曲W31a減去第二撓曲W32a的值W31a－W32a，作為沿著寬度方向Y的其中一條邊13a的表背撓曲差。

本實施形態中，繼而於使試樣玻璃11的其中一個主表面11a向上的狀態下，藉由一對支持構件20、20來支持試樣玻璃11的寬度方向Y的兩端部，於該狀態下測定試樣玻璃11的另一條邊13b（以與抽板方向X的關係而言，為上游側的邊13b）所產生的、第一撓曲W31b（圖3B中的實線所示的狀態）的大小。然後，使試樣玻璃11表背反轉，於使試樣玻璃11的另一個主表面11b向上的狀態下，藉由一對支持構件20、20來支持試樣玻璃11的寬度方向Y的兩端部。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的另一條邊13b所產生的、第二撓曲W32b（圖3B中的二點鏈線所示的狀態）的大小。

藉由對與各評價區域A～G對應的所有試樣玻璃11進行以上的作業，從而可得知跨玻璃基板1的有效區的寬度方向Y全域的、多個評價區域A～G的撓曲方向及其大小。例如，如圖3A所示，於使其中一個主表面11a向上的狀態下其中一條邊13a所產生的第一撓曲W31a大於使另一個主表面11b向上的狀態下其中一條邊13a所產生的第二撓曲W32a的情況下，玻璃基板1中與試樣玻璃11的其中一條邊13a對應的區域的撓曲方向為其中一個主表面11a凹陷的方向，其大小能以第一撓曲W31a減去第二撓曲W32a的值來評價。因此，藉由如所述般測定其中一條邊13a的撓曲，從而可把握玻璃基板1的寬度方向Y的形狀。

另外，如此般測定第一撓曲W31b及第二撓曲W32b後，獲取第一撓曲W31b減去第二撓曲W32b的值W31b－W32b，作為沿著寬度方向Y的另一條邊13b的表背撓曲差。

另外，此時評價如所述般求出的其中一條邊13a的表背撓曲差W31a－W32a、與另一條邊13b的表背撓曲差W31b－W32b的正負。如圖3A及圖3B所示，於其中一條邊13a的表背撓曲差W31a－W32a、與另一條邊13b的表背撓曲差W31b－W32b正負相等的情形時，玻璃基板1中採集試樣玻璃11的部分（評價區域A～評價區域G的任一個）的沿著抽板方向X的方向的剖面如圖5所示，成為向表背一個方向撓曲的形狀。

另一方面，於試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的兩條邊13a、13b分別測定第一撓曲W31a（W31b）及第二撓曲W32a（W32b），對其中一條邊13a的表背撓曲差W31a－W32a、與另一條邊13b的表背撓曲差W31b－W32b的正負進行評價的情形時，有時如圖4A及圖4B所示，於其中一條邊13a與另一條邊13b，表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b的正負不同（顛倒）。此時，玻璃基板1的採集試樣玻璃11的部分（評價區域A～評價區域G的任一個）的沿著抽板方向X的方向的剖面如圖6所示，呈撓曲方向於抽板方向X顛倒的形狀、所謂波動形狀。如以上般，可把握玻璃基板1的抽板方向X的形狀。

繼而，對藉由表背撓曲差來評價玻璃基板1的沿著抽板方向X的方向的形狀的方法的一例加以說明。

首先，準備與圖2所示的評價區域A～評價區域G對應的既定片試樣玻璃11後，測定各試樣玻璃11的沿著抽板方向X的邊12a、邊12b的表背撓曲差。此處，準備的試樣玻璃11可為評價沿著寬度方向Y的方向的形狀時所用的試樣玻璃11。具體而言，如圖7所示，於使試樣玻璃11的其中一個主表面11a向上的狀態下，藉由一對支持構件21、21來支持試樣玻璃11的抽板方向X的兩端部。此時，一對支持構件21、21對試樣玻璃11的支持跨距N例如設定為450 mm的大小。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著抽板方向X的兩條邊12a、12b中的一條邊12a（以圖7而言為左側的邊12a）所產生的、第一撓曲W21a（圖8A中的實線所示的狀態）的大小。然後，使試樣玻璃11表背反轉，於使試樣玻璃11的另一個主表面11b向上的狀態下，藉由一對支持構件21、21來支持試樣玻璃11的抽板方向X的兩端部（圖8A中的二點鏈線所示的狀態）。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著抽板方向X的其中一條邊12a所產生的、第二撓曲W22a的大小。

如此般測定第一撓曲W21a及第二撓曲W22a後，獲取第一撓曲W21a減去第二撓曲W22a的值W21a－W22a，作為沿著抽板方向X的其中一條邊12a的表背撓曲差。

本實施形態中，繼而於使試樣玻璃11的其中一個主表面11a向上的狀態下，藉由一對支持構件21、21來支持試樣玻璃11的抽板方向X的兩端部，於該狀態下測定試樣玻璃11的另一條邊12b（以圖7而言為右側的邊12b）所產生的、第一撓曲W21b（圖8B中的實線所示的狀態）的大小。然後，使試樣玻璃11表背反轉，於使試樣玻璃11的另一個主表面11b向上的狀態下，藉由一對支持構件21、21來支持試樣玻璃11的抽板方向X的兩端部。繼而，於該狀態下，測定試樣玻璃11的沿著抽板方向X的另一條邊12b所產生的、第二撓曲W22b（圖8B中的二點鏈線所示的狀態）的大小。

藉由對與各評價區域A～G對應的所有試樣玻璃11進行以上的作業，從而可得知玻璃基板1的有效區內的多個評價區域A～G的、抽板方向X的撓曲方向及其大小。例如，如圖8A所示，於使其中一個主表面11a向上的狀態下其中一條邊12a所產生的第一撓曲W21a大於使另一個主表面11b向上的狀態下其中一條邊12a所產生的第二撓曲W22a的情形時，玻璃基板1中與試樣玻璃11的其中一條邊12a對應的區域的撓曲方向為其中一個主表面11a凹陷的方向，其大小能以第一撓曲W21a減去第二撓曲W22a的值來評價。因此，藉由如所述般測定其中一條邊12a的撓曲，從而可把握玻璃基板1的抽板方向X的形狀。

另外，如此般測定第一撓曲W21b及第二撓曲W22b後，獲取第一撓曲W21b減去第二撓曲W22b的值W21b－W22b，作為沿著抽板方向X的另一條邊12b的表背撓曲差。

此時，可評價如所述般求出的其中一條邊12a的表背撓曲差W21a－W22a、與另一條邊12b的表背撓曲差W21b－W22b的正負。如圖8A及圖8B所示，於其中一條邊12a的表背撓曲差W21a－W22a、與另一條邊12b的表背撓曲差W21b－W22b正負相等的情形時，玻璃基板1的採集試樣玻璃11的部分（評價區域A～評價區域G的任一個）的沿著寬度方向Y的方向的剖面雖省略圖示，但呈向表背一個方向撓曲的形狀。

另一方面，於試樣玻璃11的沿著抽板方向X的兩條邊12a、12b分別測定第一撓曲W21a（W21b）及第二撓曲W22a（W22b），評價其中一條邊12a的表背撓曲差W21a－W22a、與另一條邊12b的表背撓曲差W21b－W22b的正負的情形時，有時如圖9A及圖9B所示，於其中一條邊12a與另一條邊12b，表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b的正負不同（顛倒）。此時，玻璃基板1的採集試樣玻璃11的部分（評價區域A～評價區域G的任一個）的沿著寬度方向Y的方向的剖面雖省略圖示，但呈撓曲方向於寬度方向Y顛倒的形狀（波動形狀）。如以上般，可把握玻璃基板1的寬度方向Y的形狀。

另外，如所述般評價的玻璃基板1較佳為於多個評價區域A～G全部中，與第一邊2平行的兩條邊12a、12b的表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下，更佳為-0.3 mm以上且0.3 mm以下。另外，較佳為與第二邊3平行的兩條邊13a、13b的表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下，更佳為-0.3 mm以上且0.3 mm以下。即，於與上文所述的表背撓曲差的正負一起而考慮玻璃基板1的操作性的情形時，較佳為玻璃基板1的各評價區域A～G中至少一個區域的沿著寬度方向Y的其中一條邊13a的表背撓曲差W31a－W32a與另一條邊13b的表背撓曲差W31b－W32b的正負顛倒，且所有評價區域A～G中四邊12a、12b、13a、13b的表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b、表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b的絕對值均為0.5 mm以內，更佳為0.3 mm以內。

繼而，對具備以上的構成的玻璃基板1的製造方法的一例加以說明。

圖10為表示製造裝置100的要部的縱剖面圖，所述製造裝置100可製造本實施形態的玻璃基板1。該製造裝置100藉由溢流下拉法而於爐101內成形成為玻璃基板1的、帶狀玻璃形式的玻璃肋30。

詳細而言，於爐101內自上方起依序設有進行成形步驟的成形區102、進行退火步驟的緩冷（退火）區103、及進行冷卻步驟的冷卻區104，於冷卻區104的下游側設有進行切斷步驟的切斷區（圖示省略）。

成形區102中，對具有楔狀的剖面形狀的成形體121供給熔融玻璃31，並且使自該成形體121的頂部溢出的熔融玻璃31於其下端部合流並流下，藉此形成帶狀的玻璃肋30。緩冷區103中，藉由將成形區102中成形的玻璃肋30緩冷，從而抑制其內部產生應變。冷卻區104中，將經緩冷區103緩冷的玻璃肋30冷卻至室溫或室溫附近。繼而，將如此經冷卻的玻璃肋30於未圖示的切斷區中切斷為既定的大小，連續地製造玻璃基板1。

於緩冷區103及冷卻區104，於沿著玻璃肋30的搬送路徑的多處，設有多個輥群106，該多個輥群106是配置沿圖10中的箭頭方向旋轉的輥105而成。各個輥群106如圖11所示，包含分別夾持玻璃肋30的寬度方向Y的兩端部的兩對輥105（即共計四個輥105），本實施形態中，位於玻璃肋30的寬度方向Y其中一側的兩個輥105、及位於寬度方向Y的另一側的兩個輥105分別連結固定於兩根輥軸107。當然，亦可不利用輥軸107將其中一側的輥105與另一側的輥105相互連結固定，而以輥軸107單側支持各個輥105。

緩冷區103中，如圖11所示，使總體為平坦形狀的玻璃肋30的一部分稍許彎曲。詳細而言，使玻璃肋30於寬度方向Y的中央側彎曲而於玻璃肋30形成彎曲部32。另外，於玻璃肋30的抽板方向X的既定位置，使彎曲部32的凹凸的方向於表背方向反轉。

本實施形態中，彎曲部32中位於相對較靠緩冷區103的上游側的第一彎曲部33如圖12所示，呈使玻璃肋30的寬度方向Y的中央部以其中一個主表面30a側凹陷且另一個主表面30b側凸起的方式彎曲的形狀。再者，圖12中的一點鏈線所示的狀態表示未形成第一彎曲部33的情形的玻璃肋30的狀態，即平坦的玻璃肋30的狀態。

另一方面，彎曲部32中位於相對較靠緩冷區103的下游側的第二彎曲部34如圖13所示，呈使玻璃肋30的寬度方向Y的中央部以其中一個主表面30a側凸起且另一個主表面30b側凹陷的方式彎曲的形狀。

該些於抽板方向X連續的第一彎曲部33與第二彎曲部34如圖11所示，以於上游側向玻璃肋30的背面（另一個主表面30b）側凸起，於下游側向玻璃肋30的表面（其中一個主表面30a）側凸起的方式，呈凸起方向於上游側與下游側反轉的形狀。即，藉由將此種形狀的彎曲部32（33、34）設於玻璃肋30，從而如圖14所示，玻璃肋30呈沿著抽板方向X彎曲的形狀，上游側與下游側的各彎曲部33、34的凸起側的方向以反轉部35為界而表背反轉。

本實施形態的製造方法中，使第一彎曲部33的彎曲形狀反覆變化，並且使第二彎曲部34的彎曲形狀反覆變化。具體而言，首先使第一彎曲部33自以其中一個主表面30a側凹陷的方式彎曲的形狀，變化為以其中一個主表面30a側凸起的方式彎曲的形狀。另外，使第二彎曲部34自以其中一個主表面30a側凸起的方式彎曲的形狀，變化為以其中一個主表面30a側凹陷的方式彎曲的形狀。繼而，使第一彎曲部33自以其中一個主表面30a側凸起的方式彎曲的形狀，變化為以其中一個主表面30a側凹陷的方式彎曲的形狀。另外，使第二彎曲部34自以其中一個主表面30a側凹陷的方式彎曲的形狀，變化為以其中一個主表面30a側凸起的方式彎曲的形狀。藉此，第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀回到圖11～圖14所示的形狀。反覆進行此種第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀的變化。此種變化的一循環例如只要以1秒～3秒進行即可。

若為自此種玻璃肋30切出的玻璃基板1，則於如所述般藉由表背撓曲差來評價沿著抽板方向X的方向的形狀的情形時，如圖4A及圖4B所示，沿著寬度方向Y的兩邊13a、13b的表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b的正負顛倒。即，如圖6所示，於抽板方向X呈波動的形狀。因此，根據該呈波動形狀的玻璃基板1，可防止由自重所致的撓曲於一個方向顯現的事態，抑制搬送時或加工時的變形。藉此，搬送時或加工時的玻璃基板1的形狀穩定，故而可提高玻璃基板1的操作性。

此處，作為使玻璃肋30的第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀變化的方法，例如可列舉如下方法。

例如，第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀亦可藉由機械外力而變化。具體而言，例如亦可使未圖示的接觸件觸碰玻璃肋30，藉由該接觸件使第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀強制變化。

若為自所述第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲形狀反覆變化的玻璃肋30切出的玻璃基板1，則沿著抽板方向X的兩邊12a、12b的表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b的正負亦顛倒。

沿著寬度方向Y的兩邊13a、13b的表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b及沿著抽板方向X的兩邊12a、12b的表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b對應於第一彎曲部33及第二彎曲部34的彎曲量dt（參照圖12及圖13）而變化。即，若減小彎曲量dt，例如若將彎曲量dt設為1 mm～20 mm，則可將沿著寬度方向Y的兩邊13a、13b的表背撓曲差W31a－W32a、表背撓曲差W31b－W32b及沿著抽板方向X的兩邊12a、12b的表背撓曲差W21a－W22a、表背撓曲差W21b－W22b設為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下。

將藉由上文所述的表背撓曲差來評價如以上般製造的玻璃基板1的形狀精度的結果的一例示於圖15～圖17。

圖15表示與本發明的比較的玻璃基板1的各評價區域A～G的寬度方向Y的表背撓曲差的評價結果。此處，圖15所示的寬度方向Y的表背撓曲差如圖2及圖3A（圖3B）所示，自成為評價對象的玻璃基板1採集與評價區域A～評價區域G對應的試樣玻璃11，測定所採集的試樣玻璃11的沿著寬度方向Y的兩條邊13a、13b各自所產生的由自重所致的撓曲W31a、撓曲W31b、撓曲W32a、撓曲W32b，以於相同的邊13a（13b）測定的撓曲W31a、撓曲W32a（W31b、W32b）之差來表示。另外，圖15中的實線表示於試樣玻璃11的上游側的邊13b測定所得的表背撓曲差的分佈，圖15中的虛線表示於試樣玻璃11的下游側的邊13a測定所得的表背撓曲差W31a－W32a的分佈。

另外，圖16表示本發明的玻璃基板1的各評價區域A～G的寬度方向Y的表背撓曲差的評價結果。此處，圖16所示的寬度方向Y的表背撓曲差除了成為評價對象的玻璃基板1不同的方面以外，利用與圖15所示的表背撓曲差完全相同的方法獲取，且以相同態樣而圖表化。

圖17表示本發明的玻璃基板1的各評價區域A～G的抽板方向Y的表背撓曲差的評價結果。此處，圖17所示的抽板方向X的表背撓曲差如圖7及圖8A（圖8B）所示，自成為評價對象的玻璃基板1採集與評價區域A～評價區域G對應的試樣玻璃11，測定所採集的試樣玻璃11的沿著抽板方向X的兩條邊12a、12b各自所產生的由自重所致的撓曲W21a、撓曲W21b、撓曲W22a、撓曲W22b，以於相同的邊12a（12b）測定的撓曲W21a、撓曲W22a（W21b、W22b）之差來表示。另外，圖17中的實線表示於試樣玻璃11的寬度方向其中一側的邊12b測定所得的表背撓曲差W21b－W22b的分佈，圖17中的虛線表示於試樣玻璃11的寬度方向另一側的邊12a測定所得的表背撓曲差W21a－W22a的分佈。

如圖15所示，對於與本發明的比較的玻璃基板1而言，於任一評價區域A～G中，於下游側的邊13a與上游側的邊13，寬度方向Y的表背撓曲差的正負均一致，或者其中一者實質上為零。

相對於此，如圖16所示，對於本發明的玻璃基板1而言，於既定的評價區域B、評價區域C中，寬度方向Y的表背撓曲差的正負顛倒。藉此推測，本發明的玻璃基板1中至少與評價區域B、評價區域C對應的區域中，於下游側與上游側，表背的撓曲方向顛倒，於抽板方向X如圖6所示呈波動形狀。

另外，如圖17所示，對於本發明的玻璃基板1而言，於既定的評價區域A中，抽板方向X的表背撓曲差的正負顛倒。藉此推測，本發明的玻璃基板1中至少與評價區域A對應的區域中，於寬度方向其中一側與另一側，表背的撓曲方向顛倒，於寬度方向Y如圖6所示呈波動形狀。

另外，如圖16及圖17所示，對於本發明的玻璃基板1而言，得知於多個評價區域A～G全部中，與寬度方向Y平行的下游側的邊13a與上游側的邊13b的表背撓曲差的絕對值、及與抽板方向X平行的寬度方向其中一側的邊12a與另一側的邊12b的表背撓曲差的絕對值均限於0.2 mm以內。

以上，對本發明的一實施形態進行了說明，但本發明的玻璃基板及玻璃基板的製造方法不限定於所述實施形態，可於本發明的範圍內採取各種形態。

例如，所述實施形態中，例示了對一片玻璃基板1設定七個評價區域A～G，採集對應的七片（與評價區域為相同數量）的試樣玻璃11的情形，但當然不限於此。例如也可對一片玻璃基板1設定三個～十個評價區域，自玻璃基板1採集與所設定的評價區域相同數量的試樣玻璃11，針對各試樣玻璃11獲取表背撓曲差。

另外，關於評價區域（即試樣玻璃11）的尺寸，亦不限定於所述例示的尺寸，例如沿著寬度方向Y的邊的大小亦可為250 mm以上且600 mm以下。另外，評價區域（試樣玻璃11）的沿著抽板方向X的邊的大小亦可為300 mm以上且700 mm以下。支持跨距M、支持跨距N亦不限定於所述例示的尺寸，例如亦可設定為試樣玻璃11的與寬度方向Y或抽板方向X平行的邊的大小的80%～98%。

另外，所述實施形態中，例示了自一片玻璃基板1與評價區域A～評價區域G對應地採集多個試樣玻璃11，並測定各試樣玻璃11的表背撓曲差的情形，但亦可採取除此以外的方法。例如亦可獲取由同一製造線所製造的多片玻璃基板1，自所獲取的各玻璃基板1採集與評價區域相應的數量的試樣玻璃11。繼而，獲取各試樣玻璃11的各邊12a、12b、13a、13b的表背撓曲差，求出於同一評價區域獲取的多個表背撓曲差的平均值或最大值，藉此評價該評價區域的表背撓曲差。

另外，所述實施形態中，對藉由溢流下拉法來成形玻璃肋30的情形進行了說明，但例如亦可藉由流孔下拉法或重拉（redraw）法等其他下拉法或浮式法來成形玻璃肋30。

另外，以上說明的玻璃基板1例如可適用於液晶顯示器或有機電致發光（Electroluminescence，EL）顯示器等顯示器的玻璃基板或蓋玻璃。

1:玻璃基板 2:沿著抽板方向的邊 3:沿著寬度方向的邊 4、30a、30b:主表面 11:試樣玻璃 11a、11b:主表面 12a、12b:沿著抽板方向的邊 13a、13b:沿著寬度方向的邊 20、20、21、21:支持構件 30:玻璃肋 31:熔融玻璃 32、33、34:彎曲部 35:反轉部 100:製造裝置 101:爐 102:成形區 103:緩冷區 104:冷卻區 105:輥 106:輥群 107:輥軸 121:成形體 A、B、C、D、E、F、G:評價區域 L:等間隔 M、N:支持跨距 W21a、W21b、W22a、W22b:沿著抽板方向的邊的撓曲 W31a、W31b、W32a、W32b:沿著寬度方向的邊的撓曲 X:抽板方向 Y:寬度方向

圖1為本發明的一實施形態的玻璃基板的平面圖。 圖2為用以說明自玻璃基板切出的試樣玻璃的沿著寬度方向的邊的表背撓曲差的測定方法的平面圖。 圖3A為自箭頭A1的方向觀看利用圖2所示的方法測定表背撓曲差的一個試樣玻璃的側面圖。 圖3B為自箭頭A2的方向觀看利用圖2所示的方法測定表背撓曲差的一個試樣玻璃的側面圖。 圖4A為自箭頭A1的方向觀看利用圖2所示的方法測定表背撓曲差的另一試樣玻璃的側面圖。 圖4B為自箭頭A2的方向觀看利用圖2所示的方法測定表背撓曲差的另一試樣玻璃的側面圖。 圖5為產生圖3A及圖3B所示的撓曲的情形時的、圖2所示的玻璃基板的沿著抽板方向的B1-B1剖面圖。 圖6為產生圖4A及圖4B所示的撓曲的情形時的、圖2所示的玻璃基板的沿著抽板方向的B1-B1剖面圖。 圖7為用以說明自玻璃基板切出的試樣玻璃的沿著抽板方向的邊的表背撓曲差的測定方法的平面圖。 圖8A為自箭頭C1的方向觀看利用圖7所示的方法測定表背撓曲差的一個試樣玻璃的側面圖。 圖8B為自箭頭C2的方向觀看利用圖7所示的方法測定表背撓曲差的一個試樣玻璃的側面圖。 圖9A為自箭頭C1的方向觀看利用圖7所示的方法測定表背撓曲差的另一試樣玻璃的側面圖。 圖9B為自箭頭C2的方向觀看利用圖7所示的方法測定表背撓曲差的另一試樣玻璃的側面圖。 圖10為表示用以製造圖6所示的玻璃基板的、玻璃基板的製造裝置的要部的縱剖面圖。 圖11為表示圖10的緩冷區的玻璃肋的狀態的立體圖。 圖12為圖11所示的玻璃肋的沿著D1-D1切斷線的橫剖面圖。 圖13為圖11所示的玻璃肋的沿著D2-D2切斷線的橫剖面圖。 圖14為圖11所示的玻璃肋的沿著E1-E1切斷線的縱剖面圖。 圖15為表示與本發明的比較的玻璃基板的各評價區域的寬度方向的表背撓曲差的評價結果的圖表。 圖16為表示本發明的玻璃基板的各評價區域的寬度方向的表背撓曲差的評價結果的圖表。 圖17為表示本發明的玻璃基板的各評價區域的抽板方向的表背撓曲差的評價結果的圖表。

11:試樣玻璃

11a、11b:主表面

13a、13b:沿著寬度方向的邊

Claims (10)

1. 一種玻璃基板，為矩形形狀，具有沿著抽板方向的第一邊、及沿著與所述抽板方向正交的寬度方向的第二邊，且 於沿著所述第二邊的方向的多個位置設定呈矩形形狀的評價區域，所述多個評價區域中的至少一個評價區域中，與所述第二邊平行的兩條邊的表背撓曲差的正負不同。
2. 如請求項1所述的玻璃基板，其中於所述多個評價區域中的至少一個評價區域中，與所述第一邊平行的兩條邊的表背撓曲差的正負不同。
3. 如請求項1或請求項2所述的玻璃基板，其中所述各評價區域的沿著寬度方向的邊為370 mm，沿著抽板方向的邊為470 mm。
4. 如請求項1至請求項3中任一項所述的玻璃基板，其中於所述多個評價區域全部中， 與所述第一邊平行的兩條邊的表背撓曲差均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下， 與所述第二邊平行的兩條邊的表背撓曲差均為-0.5 mm以上且+0.5 mm以下。
5. 如請求項1至請求項4中任一項所述的玻璃基板，其中所述第一邊與所述第二邊中相對較短的邊為1100 mm以上，相對較長的邊為1300 mm以上，厚度尺寸為200 μm以上且1000 μm以下。
6. 一種玻璃基板的製造方法，製造矩形形狀的玻璃基板，所述玻璃基板具有沿著抽板方向的第一邊、及沿著與所述抽板方向正交的寬度方向的第二邊，且所述玻璃基板的製造方法包括： 成形步驟，成形帶狀玻璃； 切出步驟，自所述帶狀玻璃切出所述玻璃基板； 採集步驟，自所述玻璃基板採集具有與所述第一邊及所述第二邊分別平行的兩條邊的、矩形形狀的試樣玻璃；以及 測定步驟，測定所述試樣玻璃的與所述第一邊平行的邊的表背撓曲差。
7. 如請求項6所述的玻璃基板的製造方法，其中於所述測定步驟中，於與所述第一邊平行的所述試樣玻璃的兩條邊分別測定所述表背撓曲差。
8. 如請求項6或請求項7所述的玻璃基板的製造方法，更包括： 評價步驟，評價所述測定步驟中測定的所述試樣玻璃的、與所述第一邊平行的邊的表背撓曲差的正負。
9. 如請求項6至請求項8中任一項所述的玻璃基板的製造方法，其中於所述測定步驟中，於與所述第二邊平行的所述試樣玻璃的兩條邊分別測定所述表背撓曲差。
10. 如請求項9所述的玻璃基板的製造方法，更包括： 評價步驟，評價所述測定步驟中測定的所述試樣玻璃的、與所述第二邊平行的邊的表背撓曲差的正負。

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