WO2022039133A1 - 監視センサおよび監視センサの調整方法 - Google Patents

監視センサおよび監視センサの調整方法 Download PDF

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beam spring
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laser
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宙 井上
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株式会社小糸製作所
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    • G—PHYSICS
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    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems

Definitions

  • the present invention relates to a monitoring sensor.
  • a general LiDAR is a sensor that emits invisible light (infrared laser light) in front of it and acquires information such as the distance to the object and the shape of the object based on the emitted light and the reflected light.
  • the above-mentioned LiDAR is provided with a scanning mechanism for irradiating a wide target range with a laser beam.
  • This scanning mechanism drives a beam by resonating a beam spring having a beam structure using a resonance frequency. Therefore, if there are variations in the mass and shape of the beam spring, the resonance frequency will vary, which will affect the performance of LiDAR.
  • the present invention has been made in view of such a situation, and one of its exemplary purposes is to provide a new technique for improving the scanning accuracy by the scanning unit provided in the monitoring sensor.
  • the monitoring sensor has a light emitting unit, a scanning unit configured to periodically scan the periphery with the emitted light emitted from the light emitting unit, and reflection in the periphery. It is provided with a light receiving unit that receives reflected light that is emitted light.
  • the scanning unit includes an optical member that refracts or reflects emitted light and reflected light, a beam spring that supports the optical member, and an actuator that displaces the beam spring.
  • the beam spring is formed with a work area that can be laser machined in order to increase or decrease the mass of the constituent materials.
  • the mass of the beam spring can be easily adjusted. Therefore, the resonance frequency when the beam spring is displaced can be adjusted to a desired range, and the scanning accuracy by the scanning unit included in the monitoring sensor can be improved.
  • the area to be machined may be a thin-walled portion with a hole formed by laser machining. As a result, the mass of the beam spring can be easily reduced.
  • the work area may be gloss-treated or non-plated so that metal pieces can be easily joined by laser welding. This makes it possible to easily increase the mass of the beam spring.
  • Another aspect of the present invention is a method for adjusting a monitoring sensor.
  • a light emitting unit a scanning unit configured to periodically scan the periphery with the emitted light emitted from the light emitting unit, and a light receiving unit that receives the reflected light which is the emitted light reflected in the periphery are provided.
  • the scanning unit includes an adjustment step of adjusting a monitoring sensor having an optical member that refracts or reflects emitted and reflected light, a beam spring that supports the optical member, and an actuator that displaces the beam spring.
  • the adjusting step includes a laser processing step for increasing or decreasing the mass of the material constituting the beam spring.
  • the mass of the beam spring can be easily adjusted. Therefore, the resonance frequency when the beam spring is displaced can be adjusted to a desired range, and the scanning accuracy by the scanning unit included in the monitoring sensor can be improved.
  • the laser processing process may be a process of making a hole in the beam spring. As a result, the mass of the beam spring can be easily reduced.
  • the laser processing step may be a step of joining a metal piece to the beam spring by laser welding. This makes it possible to easily increase the mass of the beam spring.
  • the scanning accuracy of the scanning unit included in the monitoring sensor can be improved.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
  • FIG. 3A is a schematic diagram of the beam spring according to the first embodiment before adjustment
  • FIG. 3B is a schematic diagram of the beam spring according to the first embodiment after adjustment.
  • It is a schematic diagram after adjustment by another example of the beam spring which concerns on 1st Embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram showing the appearance of LiDAR.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
  • the LiDAR 10 shown in FIG. 1 includes a sensor unit 12, a housing 14 that covers the sensor unit 12, and a translucent cover 15 made of a material that allows light emitted from the sensor unit 12 to pass through.
  • the sensor unit 12 is composed of a light emitting unit 16, a scanning unit 18 configured to periodically scan the periphery with the emitted light emitted from the light emitting unit 16, and the emitted light reflected in the periphery. It has a light receiving unit 20 that receives a certain reflected light.
  • the light emitting unit 16 is, for example, a laser light source that emits infrared light.
  • the light receiving unit 20 is a photodetector such as a photodiode.
  • the scanning unit 18 includes a light emitting lens 22 that refracts light and emits light to the periphery, a light receiving lens 24 that receives and refracts reflected light from the periphery, a lens holder 26 that holds the light emitting lens 22 and the light receiving lens 24, and a lens holder. It has a beam spring 30 that supports 26 and is fixed so as to swing with respect to a base plate 28 that constitutes a part of the housing 14.
  • the beam spring 30 is a pair of plate-shaped metal members having a spring property.
  • the beam spring 30 is periodically oscillated (displaced) by the scanning actuator 32, and the lens holder 26 vibrates in the direction of the arrow accordingly.
  • the optical member may be not only the above-mentioned lens but also a reflective member that reflects emitted light or reflected light.
  • the light emitted from the light emitting unit 16 arranged on the rear focal plane of the light emitting lens 22 is parallelized and scanned forward. Further, when a part of the scanned light is reflected by an object and is incident on the light receiving lens 24, the light is detected by focusing on the light receiving unit 20 arranged on the rear focal plane of the light receiving lens 24. Then, the LiDAR 10 can scan the front one-dimensionally by the lens holder 26 reciprocating linearly as shown by the arrow, and can obtain information on the direction in which the object exists and the distance to the object. ..
  • the sensor unit 12 shown in FIG. 1 describes the case of one-dimensional scanning
  • two-dimensional scanning may be realized by combining a plurality of beam springs.
  • the LiDAR 10 drives the lens holder 26 corresponding to the beam by resonating the beam spring 30 constituting the sensor unit 12 having a beam structure using the resonance frequency.
  • FIG. 3A is a schematic diagram of the beam spring according to the first embodiment before adjustment
  • FIG. 3B is a schematic diagram of the beam spring according to the first embodiment after adjustment.
  • the beam spring 30 shown in FIG. 3A is configured to swing (displace) at the resonance frequency f while being fixed to the base plate 28.
  • the thickness of the beam spring 30 may deviate from the ideal value t by ⁇ t.
  • the beam spring 30 shown in FIG. 3A has a processed region 72 that can be laser-machined in order to increase or decrease the mass of the constituent material.
  • the work area 72 is a thin portion having a hole formed by laser processing or laser welding.
  • FIG. 3B it becomes easy to make a hole 74 in the machined region 72 by laser machining or laser welding. That is, the mass of the beam spring 30 can be easily adjusted. Therefore, the resonance frequency f when the beam spring 30 swings can be adjusted to a desired range, and the scanning accuracy by the scanning unit included in the monitoring sensor can be improved.
  • the machined region 72 of the present embodiment is a thin-walled portion having a hole by laser machining or laser welding, the mass of the beam spring 30 can be easily reduced.
  • the work area 72 may be one or a plurality. If it is known in advance how the resonance frequency changes when a hole is made in the machined region 72 in which place, laser machining or laser welding is performed even when the resonance frequency varies widely. Appropriate drilling can be done quickly.
  • FIG. 4 is a schematic view after adjustment according to another example of the beam spring according to the first embodiment.
  • the machined region 76 of the beam spring 30 shown in FIG. 4 is subjected to a gloss treatment or a non-plating treatment (treatment to prevent plating) so that the metal pieces 78 can be easily joined by laser processing (more specifically, laser welding). ) Has been.
  • the mass of the beam spring 30 can be easily increased, and the resonance frequency can be adjusted to an appropriate level.
  • metal pieces 78 having a plurality of weights and sizes. If it is known in advance which metal piece is joined to the work area 76 and how the resonance frequency changes, an appropriate metal by laser welding can be obtained even when the resonance frequency varies widely. Pieces can be joined quickly
  • the adjustment step of adjusting the scanning portion of the LiDAR 10 includes a laser processing step for increasing or decreasing the mass of the material constituting the beam spring.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of the beam spring according to the second embodiment.
  • an accelerometer 82 is provided on one surface on the tip end side of a long plate-shaped plate portion 80a corresponding to a leg portion of a beam structure, and an adjustment actuator 84 is provided on the other surface. There is.
  • the position where the accelerometer 82 and the adjusting actuator 84 are provided corresponds to the position of the antinode 85 in the resonance mode when the beam spring 80 is driven.
  • the actuator may be provided on one surface of the plate portion 80a, and the accelerometer may be provided on the other surface of the plate portion 80a.
  • the accelerometer 82 is, for example, a piezoelectric element using a single crystal of quartz or barium titanate.
  • As the adjusting actuator 84 an active type piezo element, a voice coil, and a passive type oil damper are used.
  • FIG. 6 is a block diagram of the resonance adjusting unit according to the second embodiment.
  • the resonance adjusting unit 86 has a control unit 88 that controls the movement of the adjusting actuator 84 so as to adjust the resonance frequency of the beam spring 80 based on the acceleration signal acquired from the accelerometer 82.
  • the control unit 88 controls the charge amplifier 90 that integrates the acceleration signal acquired from the accelerometer 82 to generate a speed signal, and the adjusting actuator 84 so that the resonance frequency approaches a desired value based on the generated speed signal. It has a control signal generation unit 92 that generates a control signal.
  • the control unit 88 may have an arithmetic processing unit such as a CPU, ROM, RAM, or a storage device, if necessary.
  • the LiDAR 10 is a control signal calculated based on the acceleration signal by detecting the vibration due to the resonance generated in the beam spring 80 with the accelerometer in the normal operation of driving the scanning actuator 32.
  • the adjustment actuator 84 By driving the adjustment actuator 84, the resonance frequency of the beam spring 80 is adjusted, and the scanning accuracy of the LiDAR 10 is improved.
  • the beam spring according to the present embodiment may be driven by feedforward control based on a control signal calculated based on the acceleration signal acquired from the accelerometer 82.
  • the present invention has been described above with reference to the above-described embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the configurations of the embodiments may be appropriately combined or substituted. Those are also included in the present invention. Further, it is also possible to appropriately rearrange the combinations and the order of processing in each embodiment based on the knowledge of those skilled in the art, and to add modifications such as various design changes to the embodiments. Additional embodiments may also be included within the scope of the invention.
  • the present invention can be used for a monitoring sensor.
  • LiDAR LiDAR, 12 sensor part, 16 light emitting part, 18 scanning part, 20 light receiving part, 22 light emitting lens, 24 light receiving lens, 26 lens holder, 28 base plate, 30 beam spring, 32 scanning actuator, 72 machined area, 74 holes , 76 Machining area, 78 metal pieces, 80 beam spring, 80a plate part, 84 adjustment actuator, 86 resonance adjustment part, 88 control part, 90 charge amplifier, 92 control signal generation part.

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Abstract

監視センサは、発光部と、発光部から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部と、周辺で反射した出射光である反射光を受光する受光部と、を備える。走査部は、出射光および反射光を屈折または反射する光学部材と、光学部材を支持するビームスプリング３０と、ビームスプリングを変位させるアクチュエータ３２と、を有する。ビームスプリング３０は、構成する材料の質量を増減するためにレーザ加工されうる被加工領域７２が形成されている。

Description

監視センサおよび監視センサの調整方法
　本発明は、監視センサに関する。
　近年、自動車の運転支援システム、自動運転システムの開発が急速に進展している。こうしたシステムでは、自車の挙動を決定するために、自車周辺の他の車両の位置や速度を常時監視するセンサが重要である。このようなセンサとして、車両周囲の物体を検知および識別するためにレーザを用いたＬｉＤＡＲ（Light Detection and RangingまたはLaser Imaging Detection and Ranging）が考案されている（例えば、特許文献１参照）。
　一般的なＬｉＤＡＲは、その前方に非可視光（赤外レーザ光）を出射し、出射光と反射光とに基づいて、物体までの距離、物体の形状などの情報を取得するセンサである。
米国特許出願公開第２０２０／００１８８３５号明細書
　ところで、上述のＬｉＤＡＲは、目的となる広い範囲をレーザ光で照射するための走査機構を備えている。この走査機構は、梁の構造を持ったビームスプリングを、共振周波数を用いて共振させることで梁を駆動する。そのため、ビームスプリングの質量や形状にばらつきがあると、共振周波数がばらつくことになり、ＬｉＤＡＲの性能に影響を与える。
　本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その例示的な目的の一つは、監視センサが備える走査部による走査精度を向上する新たな技術を提供することにある。
　上記課題を解決するために、本発明のある態様の監視センサは、発光部と、発光部から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部と、周辺で反射した出射光である反射光を受光する受光部と、を備える。走査部は、出射光および反射光を屈折または反射する光学部材と、光学部材を支持するビームスプリングと、ビームスプリングを変位させるアクチュエータと、を有する。ビームスプリングは、構成する材料の質量を増減するためにレーザ加工されうる被加工領域が形成されている。
　この態様によると、ビームスプリングの質量を容易に調整することができる。そのため、ビームスプリングが変位する際の共振周波数を所望の範囲に調整することが可能となり、監視センサが備える走査部による走査精度を向上できる。
　被加工領域は、レーザ加工によって穴が空く薄肉部であってもよい。これにより、ビームスプリングの質量を容易に減らすことができる。
　被加工領域は、レーザ溶接によって金属片を接合しやすいように光沢処理または非メッキ処理されていてもよい。これにより、ビームスプリングの質量を容易に増やすことができる。
　本発明の別の態様は、監視センサの調整方法である。この方法は、発光部と、発光部から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部と、周辺で反射した出射光である反射光を受光する受光部と、を備え、走査部は、出射光および反射光を屈折または反射する光学部材と、光学部材を支持するビームスプリングと、ビームスプリングを変位させるアクチュエータと、を有する監視センサの調整を行う調整工程を含み、調整工程は、ビームスプリングを構成する材料の質量を増減するためのレーザ加工工程を含む。
　この態様によると、ビームスプリングの質量を容易に調整することができる。そのため、ビームスプリングが変位する際の共振周波数を所望の範囲に調整することが可能となり、監視センサが備える走査部による走査精度を向上できる。
　レーザ加工工程は、ビームスプリングに穴を空ける工程であってもよい。これにより、ビームスプリングの質量を容易に減らすことができる。
　レーザ加工工程は、レーザ溶接によってビームスプリングに金属片を接合する工程であってもよい。これにより、ビームスプリングの質量を容易に増やすことができる。
　なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
　本発明によれば、監視センサが備える走査部による走査精度を向上できる。
ＬｉＤＡＲの外観を示す図である。 図１のＡ－Ａ断面図である。 図３（ａ）は、第１の実施の形態に係るビームスプリングの調整前の模式図、図３（ｂ）は、第１の実施の形態に係るビームスプリングの調整後の模式図である。 第１の実施の形態に係るビームスプリングの他の例による調整後の模式図である。 第２の実施の形態に係るビームスプリングの模式図である。 第２の実施の形態に係る共振調整部のブロック図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下に述べる構成は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。
　（第１の実施の形態）
　はじめに、車両用の監視センサの一種である、光を用いたＬｉＤＥＲ（Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging）について説明する。図１は、ＬｉＤＡＲの外観を示す図である。図２は、図１のＡ－Ａ断面図である。
　図１に示すＬｉＤＡＲ１０は、センサ部１２と、センサ部１２を覆う筐体１４と、センサ部１２から出射する光が透過する材料で構成された透光カバー１５と、を備える。センサ部１２は、図２に示すように、発光部１６と、発光部１６から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部１８と、周辺で反射した出射光である反射光を受光する受光部２０と、を有する。発光部１６は、例えば、赤外光を発するレーザ光源である。また、受光部２０は、例えば、フォトダイオード等の光検出器である。
　走査部１８は、光を屈折し周辺へ出射する発光レンズ２２と、周辺からの反射光を受光し屈折する受光レンズ２４と、発光レンズ２２および受光レンズ２４を保持するレンズホルダ２６と、レンズホルダ２６を支持し、筐体１４の一部を構成するベースプレート２８に対して揺動するように固定されているビームスプリング３０と、を有する。ビームスプリング３０は、ばね性を有する一対のプレート状の金属部材である。ビームスプリング３０は、走査用アクチュエータ３２によって周期的に振幅（変位）し、それに伴いレンズホルダ２６が矢印方向に振動する。なお、光学部材としては、前述のレンズだけでなく、出射光や反射光を反射する反射部材であってもよい。
　これにより、発光レンズ２２の後焦点面に配置されている発光部１６から出射した光が平行化されながら前方を走査する。また、走査された光の一部が物体で反射され、受光レンズ２４に入射すると、受光レンズ２４の後焦点面に配置されている受光部２０に集束することで光が検出される。そして、ＬｉＤＡＲ１０は、レンズホルダ２６が矢印に示すように直線的に往復動することで、前方を一次元的に走査し、物体が存在する方向と物体までの距離との情報を得ることができる。なお、図１に示すセンサ部１２は、一次元的な走査の場合について説明しているが、複数のビームスプリングを組み合わせることで二次元的な走査を実現してもよい。
　上述のように、本実施の形態に係るＬｉＤＡＲ１０は、梁構造を持つセンサ部１２を構成するビームスプリング３０を、共振周波数を用いて共振することで、梁に相当するレンズホルダ２６を駆動する。共振周波数ｆは、ｆ＝（ｋ／ｍ）１／２で表され、ビームスプリング３０の形状（ばね定数ｋに影響）や質量（ｍ）によって変化する。そのため、ビームスプリングの加工精度によっては、共振周波数が所望の値からばらつくおそれがある。そこで、本願発明者が鋭意検討したところ、共振周波数のばらつきを減らす幾つかの手法に想到するに至った。
　（第１の実施の形態）
　本実施の形態では、ビームスプリングに固有の共振周波数を調整する例について説明する。図３（ａ）は、第１の実施の形態に係るビームスプリングの調整前の模式図、図３（ｂ）は、第１の実施の形態に係るビームスプリングの調整後の模式図である。
　図３（ａ）に示すビームスプリング３０は、ベースプレート２８に固定された状態で、共振周波数ｆで振幅（変位）するように構成されている。しかしながら、加工精度によっては、ビームスプリング３０の厚みが、理想値ｔからΔｔだけずれる場合があり得る。この場合、共振周波数ｆ’は、ｆ’＝（ｋ／（ｍ＋Δｍ））１／２となり、理想の共振周波数ｆに対してずれが生じる。
　そこで、図３（ａ）に示すビームスプリング３０は、構成する材料の質量を増減するためにレーザ加工されうる被加工領域７２が形成されている。被加工領域７２は、レーザ加工あるいはレーザ溶接によって穴が空く薄肉部である。これにより、図３（ｂ）に示すように、被加工領域７２にレーザ加工あるいはレーザ溶接により穴７４を空けやすくなる。つまり、ビームスプリング３０の質量を容易に調整することができる。そのため、ビームスプリング３０が振幅する際の共振周波数ｆを所望の範囲に調整することが可能となり、監視センサが備える走査部による走査精度を向上できる。また、本実施の形態の被加工領域７２が、レーザ加工あるいはレーザ溶接によって穴が空く薄肉部であった場合、ビームスプリング３０の質量を容易に減らすことができる。
　なお、被加工領域７２は、一つであっても複数であってもよい。予め、どの場所の被加工領域７２に穴を空けた場合に、共振周波数がどのように変化するか知見を得ておけば、共振周波数のばらつきが大きな場合であっても、レーザ加工あるいはレーザ溶接による適切な穴空けを迅速に行うことができる。
　図４は、第１の実施の形態に係るビームスプリングの他の例による調整後の模式図である。図４に示すビームスプリング３０の被加工領域７６は、レーザ加工（より詳細には、レーザ溶接）によって金属片７８を接合しやすいように光沢処理または非メッキ処理（メッキされないようにするための処理）されている。これにより、ビームスプリング３０の質量を容易に増やすことができ、適切な共振周波数に調整できる。
　なお、金属片７８は、複数の重さや大きさのものを準備しておくとよい。予め、被加工領域７６にどの金属片を接合した場合に、共振周波数がどのように変化するか知見を得ておけば、共振周波数のばらつきが大きな場合であっても、レーザ溶接による適切な金属片の接合を迅速に行うことができる
　このように、本実施の形態では、ＬｉＤＡＲ１０の走査部の調整を行う調整工程は、ビームスプリングを構成する材料の質量を増減するためのレーザ加工工程を含む。
　（第２の実施の形態）
　本実施の形態では、ビームスプリングに設けた加速度計から得られた情報に基づいて、共振周波数を調整する調整アクチュエータをフィードバック制御で駆動する。図５は、第２の実施の形態に係るビームスプリングの模式図である。
　図５に示すビームスプリング８０は、梁構造の脚部分に相当する長板状のプレート部８０ａの先端側の一方の面に加速度計８２が設けられ、他方の面に調整アクチュエータ８４が設けられている。なお、加速度計８２および調整アクチュエータ８４が設けられている位置は、ビームスプリング８０が駆動された際の共振モードの腹８５の位置に相当する。
　なお、アクチュエータがプレート部８０ａの一方の面、加速度計がプレート部８０ａの他方の面に設けられていてもよい。加速度計８２は、例えば、水晶の単結晶やチタン酸バリウムを用いた圧電素子である。調整アクチュエータ８４は、アクティブタイプのピエゾ素子やボイスコイル、パッシブタイプのオイルダンパが用いられる。
　図６は、第２の実施の形態に係る共振調整部のブロック図である。図６に示すように、共振調整部８６は、加速度計８２から取得した加速度信号に基づいてビームスプリング８０の共振周波数を調整するように調整アクチュエータ８４の動きを制御する制御部８８を有する。制御部８８は、加速度計８２から取得した加速度信号を積分し速度信号を生成するチャージアンプ９０と、生成された速度信号に基づいて共振周波数が所望の値に近づくように調整アクチュエータ８４を制御する制御信号を生成する制御信号生成部９２と、を有する。また、制御部８８は、必要に応じて、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等の演算処理装置や記憶装置を有していてもよい。
　このように、本実施の形態に係るＬｉＤＡＲ１０は、走査用アクチュエータ３２を駆動させる通常の動作で、ビームスプリング８０に生じる共振による振動を加速度計で検出し、加速度信号に基づいて算出された制御信号により調整アクチュエータ８４を駆動することで、ビームスプリング８０の共振周波数が調整され、ＬｉＤＡＲ１０による走査精度が向上する。
　なお、本実施の形態に係るビームスプリングは、加速度計８２から取得した加速度信号に基づいて算出された制御信号に基づいてフィードフォワード制御で駆動されてもよい。これにより、当初のビームスプリングが質量の誤差や形状の公差によって所望の共振周波数からずれて共振している場合でも、フィードフォワード制御により、走査部による走査精度を向上できる。
　以上、本発明を上述の各実施の形態を参照して説明したが、本発明は上述の各実施の形態に限定されるものではなく、各実施の形態の構成を適宜組み合わせたものや置換したものについても本発明に含まれるものである。また、当業者の知識に基づいて各実施の形態における組合せや処理の順番を適宜組み替えることや各種の設計変更等の変形を実施の形態に対して加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれうる。
　本発明は、監視センサに利用できる。
　１０　ＬｉＤＡＲ、　１２　センサ部、　１６　発光部、　１８　走査部、　２０　受光部、　２２　発光レンズ、　２４　受光レンズ、　２６　レンズホルダ、　２８　ベースプレート、　３０　ビームスプリング、　３２　走査用アクチュエータ、　７２　被加工領域、　７４　穴、　７６　被加工領域、　７８　金属片、　８０　ビームスプリング、　８０ａ　プレート部、　８４　調整アクチュエータ、　８６　共振調整部、　８８　制御部、　９０　チャージアンプ、　９２　制御信号生成部。

Claims (6)

  1. 　発光部と、
    　前記発光部から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部と、
    　前記周辺で反射された前記出射光である反射光を受光する受光部と、を備え、
    　前記走査部は、前記出射光および前記反射光を屈折または反射する光学部材と、前記光学部材を支持するビームスプリングと、前記ビームスプリングを変位させるアクチュエータと、を有し、
    　前記ビームスプリングは、構成する材料の質量を増減するためにレーザ加工されうる被加工領域が形成されていることを特徴とする監視センサ。
  2. 　前記被加工領域は、前記レーザ加工によって穴が空く薄肉部であることを特徴とする請求項１に記載の監視センサ。
  3. 　前記被加工領域は、レーザ溶接によって金属片を接合しやすいように光沢処理または非メッキ処理されていることを特徴とする請求項１に記載の監視センサ。
  4. 　発光部と、前記発光部から出射した出射光で周辺を周期的に走査するように構成された走査部と、前記周辺で反射された前記出射光である反射光を受光する受光部と、を備え、前記走査部は、前記出射光および前記反射光を屈折または反射する光学部材と、前記光学部材を支持するビームスプリングと、前記ビームスプリングを変位させるアクチュエータと、を有する監視センサの調整を行う調整工程を含み、
    　前記調整工程は、前記ビームスプリングを構成する材料の質量を増減するためのレーザ加工工程を含むことを特徴とする監視センサの調整方法。
  5. 　前記レーザ加工工程は、前記ビームスプリングに穴を空ける工程であることを特徴とする請求項４に記載の監視センサの調整方法。
  6. 　前記レーザ加工工程は、レーザ溶接によって前記ビームスプリングに金属片を接合する工程であることを特徴とする請求項４に記載の監視センサの調整方法。
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JP2007079256A (ja) * 2005-09-15 2007-03-29 Fuji Xerox Co Ltd 光偏向器の共振周波数調整方法
JP2009031364A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Ricoh Co Ltd 光走査装置及びこれを搭載する画像形成装置

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