WO2022030140A1

WO2022030140A1 - 電流センサ

Info

Publication number: WO2022030140A1
Application number: PCT/JP2021/024300
Authority: WO
Inventors: 詠史和田
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2020-08-03
Filing date: 2021-06-28
Publication date: 2022-02-10

Abstract

バスバー(１１０)は、被測定部、および、被測定部を囲み、絶縁シート(１６０)が固定された枠部(１７０)を含む。枠部(１７０)は、バスバー(１１０)と複数の信号端子とが並ぶ方向から見て、複数の信号端子と対向する対向枠部(１７２)を含む。枠部(１７０)の対向枠部(１７２)以外の部分に、測定対象の電流(Ｉ)が流れることを阻害する間隙(１７５)が設けられている。絶縁シート(１６０)は、バスバー(１１０)と絶縁シート(１６０)とが並ぶ方向から見て、被測定部、および枠部(１７０)の少なくとも一部を覆っている。バスバー(１１０)と複数の信号端子とが並ぶ方向における複数の信号端子側の絶縁シート(１６０)の縁(１６２ｃ)は、複数の信号端子側の対向枠部(１７０)の縁(１７２ｃ)上に、または、複数の信号端子側の対向枠部(１７２)の縁(１７２ｃ)より複数の信号端子から離れて、位置している。

Description

電流センサ

　本発明は、電流センサに関する。

　電流センサの構成を開示した先行文献として、特開２０１７－４９２６４号公報(特許文献１)、特開２０１３－２４５９４２号公報(特許文献２)、特開２０１７－１１６５４５号公報(特許文献３)および特開２０１８－１１６０４７号公報(特許文献４)がある。

　特許文献１に記載された電流センサは、リードフレームと、ダイと、絶縁構造とを含む。リードフレームは、１次電流を運搬するための電流導体を形成するように接続された電流リードを含む第１の部分と、信号リードを含む第２の部分とを有する。ダイは、相互接続によって第２のリードフレーム部分に結合されている。ダイは、１次電流に関連する磁界を感知し、感知した磁界に基づいて信号リードの１つにおいて出力を生成する磁界感知回路を含む。絶縁構造は、電流導体とダイとの間に配置されている。電流導体は、湾曲した周辺部分を有している。絶縁構造は、実質上半円状の形状を有し、すべての公差を含めて最低でも０．４ｍｍの張出し寸法だけ信号リードに向かう方向に電流導体の湾曲した周辺部分を越えて横方向に延びる湾曲部分を有している。

　特許文献２に記載された電流センサは、導体と、信号端子部と、支持部と、磁電変換素子と、絶縁部材とを備える。導体は、ギャップを有する。信号端子部は、リード端子を有する。支持部は、導体と電気的に絶縁するための間隙を有し、信号端子部と電気的に接続されている信号処理ＩＣを支持している。磁電変換素子は、導体のギャップに配置され、信号処理ＩＣと分離して電気的に接続可能に構成されるとともに、導体に流れる電流を検出する。絶縁部材は、磁電変換素子を支持する。絶縁部材は、絶縁テープまたは接着剤を塗布した絶縁シートである。

　特許文献３に記載された電流センサは、電流端子リードと、センサ端子リードと、リードフレームとを含む。リードフレームは、電流端子リードに一体的に連結された電流導体部によって構成されている。電流導体部には、半導体チップがアイソレータを介して取り付けられている。半導体チップは、ワイヤーボンドによってセンサ端子リードと接続されている。アイソレータは、半導体チップの縁部にわたって突出している。

　特許文献４に記載された電流センサは、リードフレームと、導体と、絶縁部材と、磁気センサと、信号処理チップとを含む。リードフレームは、導体の湾曲部を挟むように配置された突出部を有している。絶縁部材は、リードフレームの突出部と導体の湾曲部に接着されている。磁気センサは、導体およびリードフレームと離間して絶縁部材上に載置されている。信号処理チップは、ワイヤにより磁気センサと電気的に接続されている。

特開２０１７－４９２６４号公報特開２０１３－２４５９４２号公報特開２０１７－１１６５４５号公報特開２０１８－１１６０４７号公報

　特許文献１に記載された電流センサにおいては、絶縁構造が電流導体の周辺部分を越えて、０．４ｍｍ以上張出して配置されており、絶縁構造の張り出している部分が固定されていないため、絶縁構造が電流導体から剥がれる可能性がある。絶縁構造が電流導体から剥がれた場合、絶縁構造が剥がれた部分に空隙が形成され、当該空隙にて部分放電が発生して磁気センサの耐絶縁特性が劣化する可能性がある。

　特許文献２に記載された電流センサにおいては、導体の裏面に形成されている絶縁部材が導体と隣接していない部分を起点として導体から剥がれた場合、絶縁部材の剥がれた部分に空隙が形成され、当該空隙にて部分放電が発生して磁気センサの耐絶縁特性が劣化する可能性がある。

　特許文献３に記載された電流センサにおいては、アイソレータの側面に沿って半導体チップと電流導体部との間に沿面放電が発生して磁気センサの耐絶縁特性が劣化する可能性がある。

　特許文献４に記載された電流センサにおいては、導体と磁気センサとが絶縁部材の同一平面上に配置されているため、絶縁部材の表面に沿って導体から磁気センサに対して沿面放電が発生して磁気センサの耐絶縁特性が劣化する可能性がある。

　本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、部分放電および沿面放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる、電流センサを提供することを目的とする。

　本発明に基づく電流センサは、バスバーと、磁気センサチップと、複数の信号端子と、絶縁シートとを備える。バスバーには、測定対象の電流が流れる。磁気センサチップは、磁電変換素子を有する少なくとも１つの磁気センサを含む。複数の信号端子は、バスバーと間隔をあけて並んで配置され、磁気センサチップと電気的に接続されている。絶縁シートは、バスバー上に設けられ、磁気センサチップを支持する。バスバーは、測定対象の電流が流れることにより上記少なくとも１つの磁気センサが検出する磁界を発生する被測定部、および、被測定部を囲み、絶縁シートが固定された枠部を含む。枠部は、バスバーと複数の信号端子とが並ぶ方向から見て、複数の信号端子と対向する対向枠部を含む。枠部の対向枠部以外の部分に、測定対象の電流が流れることを阻害する間隙が設けられている。絶縁シートは、バスバーと絶縁シートとが並ぶ方向から見て、被測定部、および枠部の少なくとも一部を覆っている。バスバーと複数の信号端子とが並ぶ方向における複数の信号端子側の絶縁シートの縁は、上記複数の信号端子側の前記対向枠部の縁上に、または、上記複数の信号端子側の対向枠部の縁より複数の信号端子から離れて、位置している。

　本発明によれば、部分放電および沿面放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

本発明の実施の形態１に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図１の電流センサをＩＩ－ＩＩ線矢印方向から見た断面図である。図２の電流センサを矢印ＩＩＩ方向から見た平面図である。本発明の実施の形態１に係る電流センサが備える磁気センサの構成を示す平面図である。比較例に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図５の電流センサのＶＩ部を拡大して間隙に発生した空隙内で電気分極が生じた状態を示す上面図である。本発明の実施の形態１の第１変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態１の第２変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態１の第３変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態１の第４変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態１の第５変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態１の第６変形例に係る電流センサを示す斜視図である。本発明の実施の形態２に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図１３の電流センサをＸＩＶ－ＸＩＶ線矢印方向から見た断面図である。図１４の電流センサを矢印ＸＶ方向から見た平面図である。

　以下、本発明の各実施の形態に係る電流センサについて図を参照して説明する。以下の実施の形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。

　(実施の形態１)
　図１は、本発明の実施の形態１に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図２は、図１の電流センサをＩＩ－ＩＩ線矢印方向から見た断面図である。図３は、図２の電流センサを矢印ＩＩＩ方向から見た平面図である。図１においては、封止樹脂を透視して図示している。図２および図３においては、封止樹脂を図示していない。以下の説明においては、電流センサの長さ方向をＸ軸方向、電流センサの幅方向をＹ軸方向、電流センサの厚さ方向をＺ軸方向とする。

　図１～図３に示すように、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００は、バスバー１１０と、磁気センサチップ１４０と、複数の信号端子と、絶縁シート１６０とを備える。本発明の実施の形態１においては、電流センサ１００は、Ｘ軸方向において間隔をあけて並ぶ、第１信号端子１５１、第２信号端子１５２、第３信号端子１５３、第４信号端子１５４、第５信号端子１５５、第６信号端子１５６、第７信号端子１５７および第８信号端子１５８を備えている。ただし、信号端子の数は、８個に限られず、複数であればよい。

　図１に示すように、バスバー１１０には、測定対象の電流Ｉが流れる。本発明の実施の形態１においては、バスバー１１０は、Ｕ字状の折り返し部を含んでいる。なお、折り返し部の形状は、Ｖ字状または半円状であってもよい。

　具体的には、バスバー１１０は、第１流路部１１１と、第２流路部１１２と、第３流路部１１３と、第４流路部１１４と、第５流路部１１５とを含む。第１流路部１１１は、Ｘ軸方向の一方側に向けて延在する。第２流路部１１２は、第１流路部１１１のＸ軸方向の一方側の端部からＹ軸方向の一方側に延在する。第３流路部１１３は、第２流路部１１２のＹ軸方向の一方側の端部から延在して、Ｚ軸方向から見て半円状に湾曲している。第４流路部１１４は、第３流路部１１３の端部からＹ軸方向の他方側に延在する。第５流路部１１５は、第４流路部１１４のＹ軸方向の他方側の端部からＸ軸方向の一方側に向けて延在する。

　第２流路部１１２と第４流路部１１４とは、互いに隙間をあけて位置しつつ測定対象の電流Ｉが流れる方向が互いに逆方向である、１対の対向部を構成する。１対の対向部の一方が第２流路部１１２であり、１対の対向部の他方が第４流路部１１４である。１対の対向部は、被測定部に含まれる。被測定部は、バスバー１１０における、測定対象の電流Ｉが流れることにより後述する少なくとも１つの磁気センサが検出する磁界を発生する部分である。

　第１流路部１１１、第２流路部１１２、第３流路部１１３、第４流路部１１４および第５流路部１１５は、封止樹脂１９０に埋設されている。封止樹脂１９０は、エポキシ樹脂などの絶縁性樹脂である。

　バスバー１１０は、Ｘ軸方向において間隔をあけて並ぶ、第１電流端子１１６ａ、第２電流端子１１６ｂ、第３電流端子１１６ｃ、第４電流端子１１６ｄ、第５電流端子１１６ｅ、第６電流端子１１６ｆ、第７電流端子１１６ｇおよび第８電流端子１１６ｈを含む。第１電流端子１１６ａ、第２電流端子１１６ｂ、第３電流端子１１６ｃおよび第４電流端子１１６ｄの各々は、この順でＸ軸方向の他方側から一方側に並んで配置されるとともに第１流路部１１１に接続されている。第５電流端子１１６ｅ、第６電流端子１１６ｆ、第７電流端子１１６ｇおよび第８電流端子１１６ｈの各々は、この順でＸ軸方向の他方側から一方側に並んで配置されるとともに第５流路部１１５に接続されている。

　バスバー１１０は、被測定部を囲む枠部１７０を含む。枠部１７０は、左側枠部１７１Ｌと、右側枠部１７１Ｒと、対向枠部１７２とにより構成されている。枠部１７０は、Ｚ軸方向から見て第２～第４流路部１１２～１１４と隙間をあけつつ第２～第４流路部１１２～１１４を囲んでいる。

　左側枠部１７１Ｌは、第１流路部１１１のＸ軸方向の他方側の端部と接続され、Ｙ軸方向の一方側に向けて直線状に延在している。対向枠部１７２は、左側枠部１７１ＬのＹ軸方向の一方側の端部と接続され、Ｘ軸方向の一方側に向けて直線状に延在している。右側枠部１７１Ｒは、対向枠部１７２のＸ軸方向の一方側の端部と接続され、Ｙ軸方向の他方側に向けて直線状に延在して第５流路部１１５のＸ軸方向の一方側の端部と接続されている。

　本実施の形態においては、枠部１７０は、直線状に延在する３つの辺から構成されているが、３つの辺からなる構成に限られず、２つの辺から構成されていてもよいし、４つ以上の辺から構成されていてもよい。また、枠部１７０は、曲線状に延在する部分を含んでいてもよい。

　枠部１７０の対向枠部１７２以外の部分に、枠部１７０に測定対象の電流Ｉが流れることを阻害する間隙１７５が設けられている。本実施の形態においては、間隙１７５は、右側枠部１７１ＲのＹ軸方向の中間に設けられている。なお、間隙１７５は、右側枠部１７１Ｒに設けられる場合に限られず、左側枠部１７１Ｌに設けられていてもよい。また、間隙１７５の数量は、１つに限られず、複数であってもよい。

　左側枠部１７１ＬのＹ軸方向の他方側の端部が第１流路部１１１と接続され、右側枠部１７１ＲのＹ軸方向の他方側の端部が第５流路部１１５と接続されていることにより、枠部１７０と被測定部とは互いに同電位になっている。なお、枠部１７０と被測定部とは互いに同電位になっていることが好ましいが、枠部１７０は、必ずしも被測定部と同電位でなくてもよい。

　バスバー１１０において、第１～第５流路部１１１～１１５、枠部１７０、および、第１～第８電流端子１１６ａ～１１６ｈの各々におけるＹ軸方向の一方側の端部は、封止樹脂１９０に埋設されている。第１～第８電流端子１１６ａ～１１６ｈの各々におけるＹ軸方向の一方側の端部以外の部分は、封止樹脂１９０に覆われておらず露出している。

　バスバー１１０は、銅などの電気抵抗率の低い材料で構成されている。本発明の実施の形態１においては、バスバー１１０は、プレス成形により形成されている。バスバー１１０は、エッチング、焼結、鍛造または切削などの方法によって形成されていてもよい。

　図１に示すように、第１信号端子１５１、第２信号端子１５２、第３信号端子１５３、第４信号端子１５４、第５信号端子１５５、第６信号端子１５６、第７信号端子１５７および第８信号端子１５８の各々は、バスバー１１０と間隔をあけて並んで配置されている。具体的には、第１～第８信号端子１５１～１５８は、バスバー１１０と第１～第８信号端子１５１～１５８とが並ぶ方向(Ｙ軸方向)から見て、対向枠部１７２と対向している。第１～第８信号端子１５１～１５８は、Ｘ軸方向の一方側に向けて間隔をあけつつこの順に並んで配置されている。

　間隙１７５と第１～第８信号端子１５１～１５８の各々との間は、枠部１７０によって遮られている。なお、第１～第８信号端子１５１～１５８の各々とバスバー１１０との間に発生して間隙１７５に作用する電界によって間隙１７５において後述する部分放電が発生しない範囲に間隙１７５が位置している場合は、間隙１７５と第１～第８信号端子１５１～１５８のうちの少なくとも１つとの間が枠部１７０によって遮られていなくてもよい。たとえば、バスバー１１０と第１～第８信号端子１５１～１５８とが並ぶ方向(Ｙ軸方向)から見て、右側枠部１７１ＲよりもＸ軸方向の一方側に第８信号端子１５８が位置して、間隙１７５と第８信号端子１５８との間が枠部１７０によって遮られていなくてもよい。

　第１～第８信号端子１５１～１５８の各々におけるＹ軸方向の他方側の端部は封止樹脂１９０に埋設されている。第１～第８信号端子１５１～１５８の各々におけるＹ軸方向の他方側の端部以外の部分は、封止樹脂１９０に覆われておらず露出している。第１～第８信号端子１５１～１５８は、封止樹脂１９０によってバスバー１１０と絶縁されている。

　本発明の実施の形態１においては、第１～第８信号端子１５１～１５８の各々における封止樹脂１９０に埋設されている部分のＺ軸方向における一方側の面と、第１流路部１１１、第２流路部１１２、第３流路部１１３、第４流路部１１４、第５流路部１１５および枠部１７０の各々のＺ軸方向における一方側の面とは、略同一平面上に位置している。ただし、第１～第８信号端子１５１～１５８の各々は、必ずしも、第１流路部１１１、第２流路部１１２、第３流路部１１３、第４流路部１１４、第５流路部１１５および枠部１７０の各々と略同一平面上に位置していなくてもよい。

　第１～第８信号端子１５１～１５８は、銅などの電気抵抗率の低い材料で構成されている。本発明の実施の形態１においては、第１～第８信号端子１５１～１５８は、プレス成形により形成されている。第１～第８信号端子１５１～１５８は、エッチング、焼結、鍛造または切削などの方法によって形成されていてもよい。

　本発明の実施の形態１においては、バスバー１１０、および、第１～第８信号端子１５１～１５８は、１枚の板金をプレス加工することにより形成されているため、１つの部材から形成されている。ただし、バスバー１１０、および、第１～第８信号端子１５１～１５８は、それぞれ異なる部材から形成されていてもよい。

　図１および図２に示すように、絶縁シート１６０は、バスバー１１０上に設けられている。絶縁シート１６０の一部は、枠部１７０に固定されている。絶縁シート１６０は、直方体状の形状を有しており、ＸＹ平面上に延在している。絶縁シート１６０は、ＸＹ平面において磁気センサチップ１４０よりも大きな面積を有している。バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見た絶縁シート１６０の形状は、矩形に限られず、円形、楕円形または矩形以外の多角形でもよい。

　絶縁シート１６０は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、被測定部、および枠部１７０の少なくとも一部を覆っている。本実施の形態においては、絶縁シート１６０のＸ軸方向の他方側の端部１６１Ｌは左側枠部１７１Ｌ上に位置し、絶縁シート１６０のＸ軸方向の一方側の端部１６１Ｒは右側枠部１７１Ｒ上に位置している。なお、絶縁シート１６０のＸ軸方向の端部は、左側枠部１７１Ｌおよび右側枠部１７１Ｒの各々よりも外側に延在していてもよい。

　絶縁シート１６０のＹ軸方向の一方側の端部１６２は、対向枠部１７２上に位置している。絶縁シート１６０のＹ軸方向の一方側の縁１６２ｃは、対向枠部１７２の複数の信号端子側の縁１７２ｃより、複数の信号端子から離れて位置している。すなわち、絶縁シート１６０のＹ軸方向の一方側の縁１６２ｃは、対向枠部１７２の複数の信号端子側の縁１７２ｃよりＹ軸方向の他方側に位置している。なお、絶縁シート１６０のＹ軸方向の一方側の縁１６２ｃは、対向枠部１７２の複数の信号端子側の縁１７２ｃ上に位置していてもよい。

　絶縁シート１６０は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、枠部１７０における被測定部の少なくとも一部を互いの間に挟むいずれかの位置を含む部分に固定されている。本実施の形態においては、絶縁シート１６０は、枠部１７０の全周および被測定部に、接合剤によって接合されている。絶縁シート１６０は、左側枠部１７１Ｌおよび対向枠部１７２の間、対向枠部１７２および右側枠部１７１Ｒの間、ならびに、左側枠部１７１Ｌおよび右側枠部１７１Ｒの間のうちの、少なくとも１つにおいて、第２～第４流路部１１２～１１４の少なくとも一部が挟まれるように固定される。絶縁シート１６０は、電気絶縁性を有する樹脂で構成されている。絶縁シート１６０は、封止樹脂１９０に埋設されている。

　図２および図３に示すように、磁気センサチップ１４０は、基板１４１を含む。本発明の実施の形態１においては、基板１４１は、シリコンで構成されている。ただし、基板１４１を構成する材料は、シリコンに限られず、他の半導体または絶縁体であってもよい。

　図１～図３に示すように、磁気センサチップ１４０は、磁電変換素子を有してバスバー１１０を流れる電流Ｉにより発生する磁界の強さを検出する少なくとも１つの磁気センサ、および、この少なくとも１つの磁気センサと電気的に接続された複数の接続端子を含む。本実施の形態においては、磁電変換素子は、磁気抵抗素子である。なお、磁電変換素子は、ホール素子であってもよい。

　図２および図３に示すように、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、磁気センサチップ１４０は、少なくとも１つの磁気センサとして、第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０を備えている。第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０の各々は、基板１４１上に設けられている。なお、本発明の実施の形態１においては、磁気センサの数は、２つに限られず、複数であればよい。

　図２および図３に示すように、第１磁気センサ１２０の磁気感度軸１２０ａは、Ｘ軸方向に沿っている。第２磁気センサ１３０の磁気感度軸１３０ａは、Ｘ軸方向に沿っている。図３に示すように、第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０の各々は、感磁抵抗Ｒ１および固定抵抗Ｒ２を含むブリッジ回路を有している。感磁抵抗Ｒ１は、Ｘ軸方向に沿う磁界が印加されると抵抗値が変化する。固定抵抗Ｒ２は、Ｘ軸方向に沿う磁界が印加されても抵抗値がほとんど変化しない。

　図４は、本発明の実施の形態１に係る電流センサが備える磁気センサの構成を示す平面図である。本発明の実施の形態１においては、第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０の各々は、磁気抵抗素子として、ＴＭＲ(Tunnel　Magneto　Resistance)素子を有している。図４に示すように、感磁抵抗Ｒ１においては、複数のＴＭＲ素子が直列に接続された感磁素子列１０が構成されている。固定抵抗Ｒ２においては、複数のＴＭＲ素子が直列に接続された基準素子列２０が構成されている。基準素子列２０を覆う、図示しない遮蔽構造が設けられている。遮蔽構造によって磁界が遮蔽されることにより、基準素子列２０のＴＭＲ素子には実質的に磁界が印加されない。

　なお、第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０の各々は、磁気抵抗素子として、ＴＭＲ素子に代えて、ＧＭＲ(Giant　Magneto　Resistance)素子またはＡＭＲ(Anisotropic　Magneto　Resistance)素子を有していてもよい。

　図１～図３に示すように、絶縁シート１６０は、磁気センサチップ１４０を支持する。本発明の実施の形態１においては、絶縁シート１６０のＺ軸方向の一方側の面と、基板１４１のＺ軸方向の他方側の面とが、図示しないダイアタッチフィルムまたは接着剤によって互いに接合されていることにより、磁気センサチップ１４０が絶縁シート１６０に固定されている。なお、基板１４１のＺ軸方向の他方側の面は、磁気センサチップ１４０のＺ軸方向の他方側の面を構成している。

　絶縁シート１６０の縁は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、磁気センサチップ１４０の縁から０．４ｍｍ以上外側に位置している。具体的には、図１および図２に示すように、絶縁シート１６０は、絶縁シート１６０の縁と磁気センサチップ１４０の縁との距離Ｌが、ＸＹ平面上においていずれの方向においても０．４ｍｍ以上となっている。

　磁気センサチップ１４０の縁と導体との沿面距離を０．４ｍｍ以上確保することにより、ＵＬ６０９５０－１規格(Underwriters　Laboratories　Inc.による製品安全規格)における強化絶縁の規格を満足することができる。この強化絶縁の規格を満足することにより、磁気センサチップ１４０の沿面放電に対する耐絶縁特性を向上させることができる。

　図３に示すように、上記少なくとも１つの磁気センサは、Ｚ軸方向から見て、バスバー１１０の被測定部と重なる位置に配置されている。本発明の実施の形態１においては、Ｚ軸方向から見て、第１磁気センサ１２０は第２流路部１１２と重なる位置に配置されており、第２磁気センサ１３０は第４流路部１１４と重なる位置に配置されている。

　図２に示すように、上記の配置により、バスバー１１０に電流Ｉが流れた際に、第１磁気センサ１２０には、第２流路部１１２の周囲に発生する磁界１１２ｅが、磁気感度軸１２０ａに沿う方向に作用し、第２磁気センサ１３０には、第４流路部１１４の周囲に発生する磁界１１４ｅが、磁気感度軸１３０ａに沿う方向に作用する。

　なお、磁電変換素子がホール素子である場合は、Ｚ軸方向から見て、第２流路部１１２と第４流路部１１４との間において、第１磁気センサ１２０は第２流路部１１２の近くに配置され、第２磁気センサ１３０は第４流路部１１４の近くに配置されている。この場合も、バスバー１１０に電流Ｉが流れた際に、第１磁気センサ１２０は、第２流路部１１２の周囲に発生する磁界１１２ｅを検出することができ、第２磁気センサ１３０は、第４流路部１１４の周囲に発生する磁界１１４ｅを検出することができる。

　図３に示すように、磁気センサチップ１４０は、配線１５０によって第１磁気センサ１２０および第２磁気センサ１３０と電気的に接続された、第１接続端子１４２、第２接続端子１４３、第３接続端子１４４および第４接続端子１４５を備えている。

　具体的には、第１接続端子１４２は、電源と接続される電源端子Ｖｃｃであり、第１磁気センサ１２０の感磁抵抗Ｒ１および第２磁気センサ１３０の固定抵抗Ｒ２の各々と接続されている。第４接続端子１４５は、接地電位を有する接地端子ＧＮＤであり、第１磁気センサ１２０の固定抵抗Ｒ２および第２磁気センサ１３０の感磁抵抗Ｒ１の各々と接続されている。

　第２接続端子１４３は、第１磁気センサ１２０の出力端子Ｖ＋であり、第１磁気センサ１２０の感磁抵抗Ｒ１と固定抵抗Ｒ２との間の中点に接続されている。第３接続端子１４４は、第２磁気センサ１３０の出力端子Ｖ－であり、第２磁気センサ１３０の固定抵抗Ｒ２と感磁抵抗Ｒ１との間の中点に接続されている。

　図１に示すように、複数の信号端子は、磁気センサチップ１４０と電気的に接続されている。具体的には、第１信号端子１５１と第１接続端子１４２とがボンディングワイヤ１８０によって電気的に接続され、第３信号端子１５３と第２接続端子１４３とがボンディングワイヤ１８０によって電気的に接続され、第６信号端子１５６と第３接続端子１４４とがボンディングワイヤ１８０によって電気的に接続され、第８信号端子１５８と第４接続端子１４５とがボンディングワイヤ１８０によって電気的に接続されている。なお、第１～第４接続端子１４２～１４５の各々は、１対１で対応して第１～第８信号端子１５１～１５８に接続されていれば、第１～第８信号端子１５１～１５８のうちいずれに接続されていてもよい。

　磁気センサチップ１４０およびボンディングワイヤ１８０は、封止樹脂１９０に埋設されている。よって、磁気センサチップ１４０とバスバー１１０との間は、封止樹脂１９０および絶縁シート１６０によって絶縁されている。

　以下、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００の動作について説明する。
　図１に示すように、測定対象の電流Ｉは、第２流路部１１２をＹ軸方向の一方側に向けて流れ、第４流路部１１４をＹ軸方向の他方側に向けて流れる。そのため、図２に示すように、第２流路部１１２を測定対象の電流Ｉが流れることにより発生した磁界１１２ｅは、第１磁気センサ１２０に対してＸ軸方向の一方側に向けて作用する。一方、第４流路部１１４を測定対象の電流Ｉが流れることにより発生した磁界１１４ｅは、第２磁気センサ１３０に対してＸ軸方向の他方側に向けて作用する。

　そのため、バスバー１１０を流れる測定対象の電流Ｉにより発生する磁界の強さについて、第１磁気センサ１２０の検出値の位相と、第２磁気センサ１３０の検出値の位相とは、逆相となる。よって、第１磁気センサ１２０の検出した磁界の強さを正の値とすると、第２磁気センサ１３０の検出した磁界の強さは負の値となる。第１磁気センサ１２０の検出値と第２磁気センサ１３０の検出値とを差動増幅回路で処理することにより、外部磁界の影響をキャンセルしつつ、バスバー１１０を流れる測定対象の電流Ｉを算出することができる。

　以下、本発明の実施の形態１に対する比較例について説明する。図５は、比較例に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図６は、図５の電流センサのＶＩ部を拡大して間隙に発生した空隙内で電気分極が生じた状態を示す上面図である。

　図５に示すように、比較例に係る電流センサ９００においては、間隙１７５は対向枠部１７２に設けられている。このように間隙１７５が第１～第８信号端子１５１～１５８と対向した位置に設けられており、間隙１７５に空隙Ｖが発生している場合、第１～第８信号端子１５１～１５８と対向枠部１７２との間に発生する電界が空隙Ｖに作用することにより部分放電が生じる可能性がある。

　具体的には、図６に示すように、間隙１７５に発生した空隙Ｖに電界が作用した場合、空隙Ｖの内部で電気分極が生じて部分放電が発生する可能性がある。この部分放電が繰り返し発生した場合、絶縁シート１６０もしくは封止樹脂１９０にクラックが発生して、磁気センサの耐絶縁特性が低下する。

　一方、図１に示すように、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、間隙１７５は対向枠部１７２ではない右側枠部１７１Ｒに設けられており、かつ、間隙１７５と第１～第８信号端子１５１～１５８との間は枠部１７０によって遮られている。これにより、間隙１７５に空隙Ｖが発生した場合においても、空隙Ｖに作用する電界を低減できるため、部分放電の発生を抑制することができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、バスバー１１０に被測定部を囲う枠部１７０を設け、絶縁シート１６０を枠部１７０に固定することにより、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。これにより、絶縁シート１６０のバスバー１１０からの剥がれを抑制して、空隙の形成を抑制することができる。その結果、部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、バスバー１１０に被測定部を囲う枠部１７０を設けて、枠部１７０上に絶縁シート１６０を設けることにより、絶縁シート１６０を被測定部上のみに設ける場合と比較して絶縁シート１６０の面積を大きくすることができる。これにより、被測定部より面積の大きい磁電変換素子を用いる場合でも０．４ｍｍ以上の沿面距離を容易に確保することができる。そのため、沿面放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、枠部１７０に間隙１７５を設けることにより、被測定部のみに電流Ｉを流すことができるため、効率良く被測定電流を検出することができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、第１～第８信号端子１５１～１５８と対向する対向枠部１７２以外の枠部１７０に間隙１７５を設けることにより、間隙１７５に作用する電界を低減できるため、間隙１７５に空隙Ｖが形成された場合においても部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、絶縁シート１６０がバスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、枠部１７０における被測定部の少なくとも一部を互いの間に挟むいずれかの位置を含む部分に固定されることにより、枠部１７０に対して絶縁シート１６０を安定して固定することができる。これにより、バスバー１１０からの絶縁シート１６０の剥がれを効果的に抑制することができ、ひいては、部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、バスバー１１０において、被測定部と枠部１７０とが接続されることによって、被測定部と枠部１７０とが互いに同電位であることにより、間隙１７５を挟んだ右側枠部１７１Ｒ同士が同電位となるため、被測定部と枠部１７０との電位が異なるときよりも間隙１７５に作用する電界を低減して、間隙１７５に空隙Ｖが形成された場合においても部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、間隙１７５と第１～第８信号端子１５１～１５８の各々との間が枠部１７０によって遮られていることにより、間隙１７５に作用する電界を低減できるため、間隙１７５に空隙Ｖが形成された場合においても部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶＺ軸方向から見て、絶縁シート１６０の縁が、磁気センサチップ１４０の縁から０．４ｍｍ以上外側に位置していることにより、ＵＬ６０９５０－１規格における強化絶縁の規格を満たすことができるため、沿面放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００においては、バスバー１１０の被測定部は、互いに隙間をあけて位置しつつ測定対象の電流Ｉが流れる方向が互いに逆方向である、１対の対向部を含み、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶＺ軸方向から見て、第１磁気センサ１２０は１対の対向部のうちの一方である第２流路部１１２と重なる位置に配置され、第２磁気センサ１３０は１対の対向部のうちの他方である第４流路部１１４と重なる位置に配置されている。

　これにより、バスバー１１０を流れる測定対象の電流Ｉにより発生する磁界の強さについて、第１磁気センサ１２０の検出値の位相と第２磁気センサ１３０の検出値の位相とが逆相となるため、第１磁気センサ１２０の検出値と第２磁気センサ１３０の検出値とを差動増幅回路で処理することにより、外部磁界の影響をキャンセルしつつ、バスバー１１０を流れる測定対象の電流Ｉを高精度に検出することができる。

　以下、本発明の実施の形態１の変形例について説明する。本発明の実施の形態１に係る電流センサの変形例は、バスバーおよび絶縁シートの構成が実施の形態１に係る電流センサ１００と異なるため、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００と同様である構成については説明を繰り返さない。

　図７は、本発明の実施の形態１の第１変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図７に示すように、第１変形例に係る電流センサ１００ａにおける絶縁シート１６０は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、被測定部、右側枠部１７１Ｒおよび対向枠部１７２に固定されている。絶縁シート１６０は、左側枠部１７１Ｌを覆っていない。なお、絶縁シート１６０は、被測定部、左側枠部１７１Ｌおよび対向枠部１７２に固定されていてもよい。

　本発明の実施の形態１の第１変形例に係る電流センサ１００ａにおいては、被測定部の少なくとも一部を挟む右側枠部１７１Ｒおよび対向枠部１７２の各々に絶縁シート１６０が固定されているため、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。これにより、絶縁シート１６０のバスバー１１０からの剥がれを抑制して、空隙の形成を抑制することができる。その結果、部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　本発明の実施の形態１の第１変形例に係る電流センサ１００ａにおいては、実施の形態１に係る電流センサ１００と比較して絶縁シート１６０を小さくすることができるため、絶縁シート１６０の材料費を抑制しつつ磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　図８は、本発明の実施の形態１の第２変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図８に示すように、第２変形例に係る電流センサ１００ｂにおける絶縁シート１６０は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、被測定部、左側枠部１７１Ｌおよび右側枠部１７１Ｒに固定されている。絶縁シート１６０は、対向枠部１７２を覆っていない。

　本発明の実施の形態１の第２変形例に係る電流センサ１００ｂにおいては、被測定部の少なくとも一部を挟む左側枠部１７１Ｌおよび右側枠部１７１Ｒの各々に絶縁シート１６０が固定されているため、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。

　図９は、本発明の実施の形態１の第３変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図９に示すように、第３変形例に係る電流センサ１００ｃにおける絶縁シート１６０は、バスバー１１０と絶縁シート１６０とが並ぶ方向(Ｚ軸方向)から見て、被測定部、左側枠部１７１Ｌおよび右側枠部１７１Ｒに固定されている。絶縁シート１６０は、対向枠部１７２を覆っていない。絶縁シート１６０のＸ軸方向の他方側の端部１６１Ｌは、左側枠部１７１ＬよりＸ軸方向の他方側に延在している。絶縁シート１６０のＸ軸方向の一方側の端部１６１Ｒは、右側枠部１７１ＲよりＸ軸方向の一方側に延在している。

　本発明の実施の形態１の第３変形例に係る電流センサ１００ｃにおいては、仮に、絶縁シート１６０のＸ軸方向の他方側の端部１６１Ｌまたは絶縁シート１６０のＸ軸方向の一方側の端部１６１Ｒと枠部１７０との間に空隙が形成された場合においても、空隙と第１～第８信号端子１５１～１５８の各々との間が対向枠部１７２によって遮られていることにより、空隙に作用する電界を低減できるため、部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　図１０は、本発明の実施の形態１の第４変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図１０に示すように、第４変形例に係る電流センサ１００ｄにおける枠部１７０の内縁１７０ｃは、被測定部の外縁のＵ字形状に沿うＵ字形状を有している。

　本発明の実施の形態１の第４変形例に係る電流センサ１００ｄにおいても、実施の形態１に係る電流センサ１００と同様に、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。

　図１１は、本発明の実施の形態１の第５変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図１１に示すように、第５変形例に係る電流センサ１００ｅにおける枠部１７０は、左側枠部１７１Ｌおよび対向枠部１７２により構成されている。すなわち、枠部１７０は、右側枠部１７１Ｒを含まない。なお、枠部１７０は、右側枠部１７１Ｒおよび対向枠部１７２により構成され、左側枠部１７１Ｌを含まなくてもよい。

　本発明の実施の形態１の第５変形例に係る電流センサ１００ｅにおいても、被測定部の少なくとも一部を挟む左側枠部１７１Ｌおよび対向枠部１７２の各々に絶縁シート１６０が固定されているため、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。

　図１２は、本発明の実施の形態１の第６変形例に係る電流センサを示す斜視図である。図１２に示すように、第６変形例に係る電流センサ１００ｆにおける枠部１７０の内縁１７０ｃおよび外縁の各々は、被測定部の外縁のＵ字形状に沿うＵ字形状を有している。絶縁シート１６０の外縁は、枠部１７０の外縁の形状に沿うＵ字形状を有している。

　本発明の実施の形態１の第６変形例に係る電流センサ１００ｆにおいても、実施の形態１に係る電流センサ１００と同様に、絶縁シート１６０をバスバー１１０に安定して取り付けることができる。

　(実施の形態２)
　以下、本発明の実施の形態２に係る電流センサについて図を参照して説明する。本発明の実施の形態２に係る電流センサは、バスバーの形状および磁気センサの構成が本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００と異なるため、本発明の実施の形態１に係る電流センサ１００と同様である構成については説明を繰り返さない。

　図１３は、本発明の実施の形態２に係る電流センサの構成を示す斜視図である。図１４は、図１３の電流センサをＸＩＶ－ＸＩＶ線矢印方向から見た断面図である。図１５は、図１４の電流センサを矢印ＸＶ方向から見た平面図である。図１３～図１５においては、封止樹脂を図示していない。

　図１３～図１５に示すように、本発明の実施の形態２に係る電流センサ２００は、バスバー２１０を備える。バスバー２１０は、被測定部である第１流路部２１１と、第１電流端子２１６と、第１流路部２１１を囲む枠部とを含む。枠部は、左側枠部２７１Ｌと、右側枠部２７１Ｒと、対向枠部２７２と、他方側枠部２７３とを含む。

　第１流路部２１１は、Ｘ軸方向の一方側において第１電流端子２１６と接続されて、Ｘ軸方向の他方側に向けて延在する。左側枠部２７１Ｌは、第１流路部２１１のＸ軸方向の他方側の端部に接続され、この端部からＹ軸方向の一方側および他方側に延在する。対向枠部２７２は、左側枠部２７１ＬのＹ軸方向の一方側の端部に接続され、Ｘ軸方向の一方側に延在する。他方側枠部２７３は、左側枠部２７１ＬのＹ軸方向の他方側の端部に接続され、Ｘ軸方向の一方側に延在する。右側枠部２７１Ｒは、対向枠部２７２および他方側枠部２７３の各々のＸ軸方向の一方側の端部に接続され、各々の端部から第１流路部２１１に向かってＹ軸方向に延在する。右側枠部２７１Ｒは、第１流路部２１１のＹ軸方向の一方側および他方側の各々において、間隙２７５を有している。

　第１流路部２１１、左側枠部２７１Ｌ、右側枠部２７１Ｒ、対向枠部２７２および他方側枠部２７３は、封止樹脂１９０に埋設されている。第１電流端子２１６のＸ軸方向の一方側の端部は、封止樹脂１９０に覆われておらず露出している。

　第１流路部２１１、左側枠部２７１Ｌ、右側枠部２７１Ｒ、対向枠部２７２および他方側枠部２７３のＺ軸方向における一方側の面の各々は、同一平面上に位置している。

　絶縁シート１６０は、第１流路部２１１、左側枠部２７１Ｌ、右側枠部２７１Ｒ、対向枠部２７２および他方側枠部２７３のＺ軸方向における一方側の面の各々の上において固定されている。

　本発明の実施の形態２に係る電流センサ２００においては、図１４および図１５に示すように、磁気センサチップ１４０は、少なくとも１つの磁気センサとして、第１磁気センサ２２０を備えている。第１磁気センサ２２０は、基板１４１上に設けられている。なお、本発明の実施の形態２においては、磁気センサの数は、１つに限られず、複数であってもよい。第１磁気センサ２２０は、磁電変換素子として、磁気抵抗素子を有している。

　図１４および図１５に示すように、第１磁気センサ２２０の磁気感度軸２２０ａは、Ｙ軸方向に沿っている。図１５に示すように、第１磁気センサ２２０は、感磁抵抗Ｒ１、固定抵抗Ｒ２、固定抵抗Ｒ３および感磁抵抗Ｒ４を含むホイートストンブリッジ回路を有している。感磁抵抗Ｒ１および感磁抵抗Ｒ４の各々は、Ｘ軸方向に沿う磁界が印加されると抵抗値が変化し、固定抵抗Ｒ２および固定抵抗Ｒ３の各々は、Ｘ軸方向に沿う磁界が印加されても抵抗値がほとんど変化しない。感磁抵抗Ｒ４は、感磁抵抗Ｒ１とは逆相の信号を出力する。固定抵抗Ｒ３は、固定抵抗Ｒ２と同様の構成を有している。

　図１５に示すように、バスバー２１０と絶縁シート１６０とが並ぶＺ軸方向から見て、第１磁気センサ２２０は、第１流路部２１１と重なる位置に配置されている。

　上記の配置により、バスバー２１０に電流Ｉが流れた際に、図１４に示すように、第１磁気センサ２２０には、第１流路部２１１の周囲に発生する磁界２１０ｅが、磁気感度軸２２０ａに沿う方向に作用する。

　本発明の実施の形態２に係る電流センサ２００においては、バスバー２１０と絶縁シート１６０とが並ぶＺ軸方向から見て、第１磁気センサ２２０は第１流路部２１１と重なる位置に配置されている。これにより、第１磁気センサ２２０には、第１流路部２１１の周囲に発生する磁界２１０ｅが、磁気感度軸２２０ａに沿う方向に作用する。その結果、第１磁気センサ２２０によって、バスバー２１０を流れる測定対象の電流Ｉを高感度で検出することができる。

　本発明の実施の形態２に係る電流センサ２００においても、被測定部の少なくとも一部を挟む対向枠部２７２および他方側枠部２７３の各々に絶縁シート１６０が固定されているため、絶縁シート１６０をバスバー２１０に安定して取り付けることができる。これにより、絶縁シート１６０のバスバー２１０からの剥がれを抑制して、空隙の形成を抑制することができる。その結果、部分放電の発生を抑制して磁気センサの耐絶縁特性を向上させることができる。

　なお、上記の各実施の形態に係る電流センサは、オープンループ方式の電流センサでもよいし、クローズドループ方式の電流センサでもよい。

　上述した実施形態の説明において、組み合わせ可能な構成を相互に組み合わせてもよい。

　今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１０　感磁素子列、２０　基準素子列、１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｃ，１００ｄ，１００ｅ，１００ｆ，２００，９００　電流センサ、１１１，２１１　第１流路部、１１２　第２流路部、１１３　第３流路部、１１４　第４流路部、１１５　第５流路部、１１２ｅ，１１４ｅ，２１０ｅ　磁界、１１６ａ　第１電流端子、１１６ａ，２１６　第１電流端子、１１６ａ　第８電流端子、１１６ａ，１１６ｈ　第８電流端子、１１６ｂ　第２電流端子、１１６ｃ　第３電流端子、１１６ｄ　第４電流端子、１１６ｅ　第５電流端子、１１６ｆ　第６電流端子、１１６ｇ　第７電流端子、１２０，２２０　第１磁気センサ、１２０ａ，１３０ａ，２２０ａ　磁気感度軸、１３０　第２磁気センサ、１４０　磁気センサチップ、１４１　基板、１４２　第１接続端子、１４３　第２接続端子、１４４　第３接続端子、１４５　第４接続端子、１５０　配線、１５１　第１信号端子、１５２　第２信号端子、１５３　第３信号端子、１５４　第４信号端子、１５５　第５信号端子、１５６　第６信号端子、１５７　第７信号端子、１５８　第８信号端子、１６０　絶縁シート、１６１Ｌ，１６１Ｒ，１６２　端部、１６２ｃ，１７２ｃ　縁、１７０　枠部、１７０ｃ　内縁、１７１Ｌ，２７１Ｌ　左側枠部、１７１Ｒ，２７１Ｒ　右側枠部、１７２，２７２　対向枠部、１７５，２７５　間隙、１８０　ボンディングワイヤ、１９０　封止樹脂、２７３　他方側枠部、ＧＮＤ　接地端子、Ｉ　電流、Ｒ１，Ｒ４　感磁抵抗、Ｒ２，Ｒ３　固定抵抗、Ｖ　空隙、Ｖ＋，Ｖ－　出力端子、Ｖｃｃ　電源端子。

Claims

　測定対象の電流が流れるバスバーと、
　磁電変換素子を有する少なくとも１つの磁気センサを含む、磁気センサチップと、
　前記バスバーと間隔をあけて並んで配置され、前記磁気センサチップと電気的に接続された複数の信号端子と、
　前記バスバー上に設けられ、前記磁気センサチップを支持する絶縁シートとを備え、
　前記バスバーは、前記測定対象の電流が流れることにより前記少なくとも１つの磁気センサが検出する磁界を発生する被測定部、および、該被測定部を囲み、前記絶縁シートが固定された枠部を含み、
　前記枠部は、前記バスバーと前記複数の信号端子とが並ぶ方向から見て、前記複数の信号端子と対向する対向枠部を含み、
　前記枠部の前記対向枠部以外の部分に、前記測定対象の電流が流れることを阻害する間隙が設けられており、
　前記絶縁シートは、前記バスバーと前記絶縁シートとが並ぶ方向から見て、前記被測定部、および前記枠部の少なくとも一部を覆い、
　前記バスバーと前記複数の信号端子とが並ぶ方向における複数の信号端子側の前記絶縁シートの縁は、前記複数の信号端子側の前記対向枠部の縁上に、または、前記複数の信号端子側の前記対向枠部の縁より前記複数の信号端子から離れて、位置している、電流センサ。
　前記絶縁シートは、前記バスバーと前記絶縁シートとが並ぶ方向から見て、前記枠部における前記被測定部の少なくとも一部を互いの間に挟むいずれかの位置を含む部分に固定されている、請求項１に記載の電流センサ。
　前記枠部と前記被測定部とは互いに同電位である、請求項１または請求項２に記載の電流センサ。
　前記間隙と前記複数の信号端子の各々との間は、前記枠部によって遮られている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電流センサ。
　前記絶縁シートの縁は、前記バスバーと前記絶縁シートとが並ぶ方向から見て、前記磁気センサチップの縁から０．４ｍｍ以上外側に位置している、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電流センサ。
　前記少なくとも１つの磁気センサとして、第１磁気センサおよび第２磁気センサを備え、
　前記第１磁気センサおよび第２磁気センサの各々は、前記磁電変換素子として磁気抵抗素子を有しており、
　前記被測定部は、互いに隙間をあけて位置しつつ前記測定対象の電流が流れる方向が互いに逆方向である、１対の対向部を含み、
　前記第１磁気センサは、前記バスバーと前記絶縁シートとが並ぶ方向から見て、前記１対の対向部のうちの一方と重なる位置に配置されており、
　前記第２磁気センサは、前記バスバーと前記絶縁シートとが並ぶ方向から見て、前記１対の対向部のうちの他方と重なる位置に配置されている、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の電流センサ。