WO2022004613A1 - 感度校正方法、検査装置および磁気センサ群 - Google Patents

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calibration
magnetic sensors
magnetic
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control unit
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PCT/JP2021/024235
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泰大 松藤
敬弘 腰原
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Ｊｆｅスチール株式会社
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    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • G01R33/091—Constructional adaptation of the sensor to specific applications

Definitions

  • the present invention relates to a sensitivity calibration method for calibrating the sensitivities of a plurality of magnetic sensors in an inspection device for evaluating a steel plate, an inspection device, and a group of magnetic sensors.
  • An inspection device that evaluates a steel sheet by magnetizing a steel sheet such as a grain-oriented electrical steel sheet and detecting a leakage magnetic flux is known.
  • a device for measuring the electromagnetic characteristics of a steel sheet for evaluating iron loss in a directional steel sheet is known (see Patent Document 1).
  • a plurality of magnetic sensors are arranged on a plane parallel to the plate surface of the steel sheet, and each magnetic sensor detects the leakage magnetic flux. ..
  • a magnetic sensor In order to correctly measure the electromagnetic characteristics of the entire steel sheet, it is necessary to use a magnetic sensor with the same sensitivity. However, since the sensitivity varies among the plurality of magnetic sensors due to changes in temperature and aging, the measurement accuracy may differ. Therefore, it is necessary to adjust the sensitivity of the magnetic sensor as appropriate, but the sensitivity is often different for each magnetic sensor in the first place. The sensitivity of the magnetic sensor needs to be adjusted individually for each sensor.
  • a standard sample is prepared and one standard sample is measured by all the sensors.
  • the sensitivity adjustment is performed while observing the output waveform, it takes time and effort. Therefore, this method is burdensome to perform on a plurality of sensors.
  • it is attempted to calibrate a large number of sensors simultaneously using one standard sample it will be affected by the variation in characteristics within the standard sample.
  • the sensitivity cannot be adjusted while the electrical steel sheet production line is in operation, it is necessary to temporarily suspend the production line, which is not preferable in terms of production efficiency.
  • an object of the present disclosure made in view of the above-mentioned problems of the prior art is to provide a sensitivity calibration method, an inspection device, and a magnetic sensor group capable of easily and surely performing sensitivity calibration of a magnetic sensor. To do.
  • the sensitivity calibration method from the first viewpoint is It is a sensitivity calibration method for a steel sheet inspection device having a plurality of magnetic sensors arranged in the vicinity of the calibration wiring for energizing an alternating current for calibration.
  • the inspection device is The first output value of each of the plurality of magnetic sensors is acquired in advance by energizing the calibration wiring with an alternating current.
  • the plurality of magnetic sensors are retracted from the detection position of the leakage magnetic flux of the steel plate, and an alternating current is applied to the calibration wiring. Start and get the second output value of each of the plurality of magnetic sensors.
  • the plurality of magnetic sensors After passing the position of the magnetic sensor in the predetermined portion, the plurality of magnetic sensors are displaced to the detection position, and the measured value measured by each of the plurality of magnetic sensors is measured by the first output value and the first output value. Correct based on the output value of 2.
  • the calibration wiring is arranged at the same relative position with respect to the magnetic sensing portion of each of the plurality of magnetic sensors.
  • Each of the plurality of magnetic sensors is separately connected to a plurality of gain-adjustable amplifiers.
  • Each of the plurality of amplifiers energizes the calibration wiring with an alternating current in at least one of the states in which the plurality of magnetic sensors are retracted from the detection position or the steel plate is excluded from the plate passage portion.
  • the gain is adjusted so that the output values of the plurality of amplifiers in the above-mentioned state have the same calibration value.
  • the inspection device corrects the measured value measured by each of the plurality of magnetic sensors by multiplying the value obtained by dividing the first output value by the second output value.
  • the inspection device from the fifth viewpoint is The through plate part through which the steel plate is passed and the A magnetizer that magnetizes the steel sheet and A plurality of magnetic sensors that are aligned at different positions on a plane perpendicular to the lift-off direction and detect the leakage magnetic flux generated in the steel sheet magnetized by the magnetizer.
  • Calibration wiring arranged at the same relative position with respect to the magnetic sensing part of each of the plurality of magnetic sensors,
  • An adjustment mechanism capable of switching between the evacuation of the plurality of magnetic sensors from the detection position of the leakage magnetic flux of the steel sheet and the displacement to the detection position.
  • a control unit that controls the energization of an alternating current to the calibration wiring and the drive of the adjustment mechanism is provided.
  • the control unit The first output value of each of the plurality of magnetic sensors is acquired in advance by energizing the calibration wiring with an alternating current. Before the predetermined portion of the steel plate passed through the plate passing portion passes through the position of the magnetic sensor in the plate passing direction, the plurality of magnetic sensors are retracted from the detection position of the leakage magnetic flux of the steel plate, and the calibration is performed. The energization of the AC current to the wiring is started, and the second output value of each of the plurality of magnetic sensors is acquired. After passing the position of the magnetic sensor in the predetermined portion, the plurality of magnetic sensors are displaced to the detection position, and the measured value measured by each of the plurality of magnetic sensors is measured by the first output value and the first output value. Correct based on the output value of 2.
  • the calibration wiring is arranged at the same relative position with respect to the magnetic sensing portion of each of the plurality of magnetic sensors.
  • the steel sheet inspection device from the seventh viewpoint is The through plate part through which the steel plate is passed and the A magnetizer that magnetizes the steel sheet and A plurality of magnetic sensors that are aligned at different positions on a plane perpendicular to the lift-off direction and detect the leakage magnetic flux generated in the steel sheet magnetized by the magnetizer.
  • Calibration wiring arranged at the same relative position with respect to the magnetic sensing part of each of the plurality of magnetic sensors, A control unit for controlling the energization of an alternating current to the calibration wiring is provided.
  • the magnetic sensor group from the eighth viewpoint is A substrate having a magnetic sensor and having wiring formed in the vicinity of the magnetic sensor, It comprises one or more wirings that interconnect the plurality of the boards.
  • the sensitivity of the magnetic sensor is calibrated so as to reduce the deterioration of the measurement accuracy of the electromagnetic characteristics of the entire electromagnetic steel plate. obtain.
  • FIG. 3 is a functional block diagram showing a schematic configuration of a signal processing unit that signals an output value output from the leakage magnetic flux detection unit of FIG. 1 together with a schematic configuration of the leakage magnetic flux detection unit.
  • It is a layout drawing which shows the arrangement of a plurality of magnetic sensors in the magnetizer of FIG. It is an external view of the printed circuit board provided with the plurality of magnetic sensors of FIG.
  • It is a flowchart for demonstrating the offline calibration process executed by the control unit of FIG.
  • It is a flowchart for demonstrating the online inspection process executed by the control part of FIG.
  • It is a flowchart for demonstrating the subroutine of online calibration executed by the control part of FIG.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection device 10 according to an embodiment of the present disclosure.
  • the inspection device 10 includes a plate passing unit 11, a leakage magnetic flux detection unit 12, an adjusting mechanism 13, and a control unit 14.
  • the inspection device 10 evaluates the processing state in the magnetic domain subdivision processing process of the steel sheet, for example, by measuring the electromagnetic characteristics of the steel sheet.
  • the upward direction in FIG. 1 is referred to as an upward direction in the inspection device 10, and the downward direction is referred to as a downward direction in the inspection device 10.
  • the plate passing portion 11 passes the steel plate 15 in the plate passing direction parallel to the plate surface.
  • the steel plate 15 is, for example, a grain-oriented electrical steel plate.
  • the through plate portion 11 includes a first pass roll 16, a second pass roll 17, and a third pass roll 18.
  • the first pass roll 16, the second pass roll 17, and the third pass roll 18 are rotatably supported in parallel with each other.
  • the third pass roll 18 is pivotally supported below the first pass roll 16 and the second pass roll 17.
  • the steel plate 15 may be sandwiched between the first pass roll 16 and the second pass roll 17 and the third pass roll 18. At least one of the first pass roll 16, the second pass roll 17, and the third pass roll 18 may be rotated by an electric motor or the like so that the steel plate 15 is passed through the plate direction.
  • the first pass roll 16, the second pass roll 17, and the third pass roll 18 having the above-described configuration are caused by the contact between the steel plate 15 and the leakage magnetic flux detection unit 12 due to the fluttering of the steel plate 15, and the lift-off fluctuation. Prevent noise from entering.
  • the first pass roll 16, the second pass roll 17, and the third pass roll 18 are, for example, rubber rolls. The rubber roll prevents slipping from the steel plate 15 and magnetic influence on the leakage magnetic flux detection unit 12.
  • the leakage magnetic flux detection unit 12 includes a magnetizer 19 and a magnetic sensor group 20.
  • the magnetizer 19 externally magnetizes the steel plate 15.
  • the magnetizer 19 externally magnetizes the steel plate 15 by, for example, the exciting power supplied from the exciting power source 21.
  • the magnetic domain wall in the region where the magnetic domain subdivision processing is not performed moves, but the magnetization direction of the magnetic domain in the region where the magnetic domain subdivision processing is performed is the easy axial direction of magnetization.
  • the steel plate 15 is externally magnetized so as not to be parallel to the steel plate 15.
  • the magnetic sensor group 20 includes a plurality of magnetic sensors 22.
  • the plurality of magnetic sensors 22 are arranged at different positions between the magnetic poles of the magnetizer 19 in a plane perpendicular to the lift-off direction, in other words, in a plane parallel to the plate surface of the steel plate 15 passed through the plate portion 11.
  • the plurality of magnetic sensors 22 are arranged linearly at a predetermined pitch along a direction perpendicular to the plate-passing direction in the plane.
  • the lift-off is the distance between the steel plate 15 and the surface of the leakage magnetic flux detection unit 12 facing the steel plate 15.
  • a plurality of magnetic sensors 22, for example, five magnetic sensors 22 are used as one unit, and one magnetizer 19 is combined for each unit.
  • the magnetic sensor 22 is, for example, a magnetoresistive element or a Hall element. In this embodiment, the magnetic sensor 22 is a magnetoresistive element. The magnetic sensor 22 detects the leakage magnetic flux generated in the steel plate 15 magnetized by the magnetizer 19. In the present embodiment, each magnetic sensor 22 is arranged so as to detect a leakage magnetic flux component perpendicular to the surface of the steel plate 15. Then, the magnetic sensor 22 outputs the value of the leakage flux signal corresponding to the detected leakage flux, for example, the voltage.
  • each magnetic sensor 22 is mounted on a separate printed circuit board 23. That is, one magnetic sensor 22 is mounted on one printed circuit board 23.
  • the printed circuit board 23 is provided with a calibration wiring 24 having a linearly extending portion as a pattern line.
  • the calibration wiring 24 is provided along one side of the rectangle in the vicinity of the one side.
  • the magnetic sensor 22 is mounted at a position overlapping the calibration wiring 24 when viewed from the normal direction of the plate surface of the printed circuit board 23.
  • Each printed circuit board 23 has the same shape, and the calibration wiring 24 is also arranged at the same position on each printed circuit board 23 with the same shape, the same thickness, and the same thickness.
  • the magnetic sensor 22 is also mounted at the same position on each printed circuit board 23.
  • the plurality of printed circuit boards 23 on which the magnetic sensor 22 is mounted are arranged so that the sides on which the calibration wiring 24 is provided overlap on the same straight line and the plate surfaces are parallel to each other.
  • the plurality of printed circuit boards 23 are arranged at a constant pitch P.
  • the plurality of printed circuit boards 23 are arranged so that the plate surfaces are parallel to the lift-off direction and perpendicular to the plate passing direction.
  • the center line of the magnetic sensor 22 is the center line of the magnetizer 19 when viewed from the sensor arrangement direction in which the plurality of magnetic sensors 22 are arranged in the plurality of printed substrates 23. Overlap on.
  • the calibration wiring 24 is connected by a lead wire 25 between the printed circuit boards 23 adjacent to each other. As shown in FIG. 2, the calibration wiring 24 in the printed circuit boards 23 at both ends of the plurality of printed circuit boards 23 in the leakage magnetic flux detection unit 12 is connected to the AC power supply 26.
  • the magnetic sensor group 20 is connected to the signal processing unit 27.
  • the signal processing unit 27 has a plurality of amplifiers 28, a plurality of bandpass filters 29, and a calculation unit 30.
  • the number of amplifiers 28 and bandpass filters 29 is the number of channels corresponding to the number of magnetic sensors 22 in the magnetic sensor group 20.
  • An amplifier 28 and a bandpass filter 29 are connected in series to each magnetic sensor 22 in this order.
  • the amplifier 28 amplifies the output value of the magnetic sensor 22.
  • the gain of the amplifier 28 may be adjustable manually by the operator.
  • the bandpass filter 29 removes a disturbance noise component from the output value of the magnetic sensor 22 amplified by the amplifier 28, and extracts a frequency band to be detected. Each bandpass filter 29 outputs the extracted frequency band to the calculation unit 30.
  • the bandpass filter 29 receives the frequency band to be extracted from the sensitivity calibration pulse generator 32 or the line PLG31. The input of the pulse signal to the bandpass filter 29 from either the sensitivity calibration pulse generator 32 or the line PLG 31 is switched by the pulse signal switch 33.
  • the pulse signal output from the sensitivity calibration pulse generator 32 is determined according to the frequency of the alternating magnetic field generated when the AC power supply 26 energizes the calibration wiring 24 with an AC current.
  • the pulse signal determines the frequency band of the signal according to the AC magnetic field to be extracted by the bandpass filter 29.
  • the alternating current sent from the alternating current power supply 26 to the calibration wiring 24 is adjusted so that the magnetic sensor 22 outputs an output value similar to the output value of the magnetic sensor 22 with respect to the leakage magnetic flux of the steel plate 15.
  • the pulse signal output from the line PLG31 corresponds to a constant pitch in the region where the magnetic domain subdivision processing is performed in the plate passing direction of the steel plate 15, and the leakage magnetic flux signal to be extracted by the bandpass filter 29 by the pulse signal.
  • the frequency band of is determined.
  • the calculation unit 30 can be connected to the display. Under the control of the control unit 14, the calculation unit 30 transmits the leakage magnetic flux signal output from each bandpass filter 29 to the display as information.
  • the display shows the amplitude voltage value output from each bandpass filter 29.
  • the calculation unit 30 transmits the amplitude voltage value output from each bandpass filter 29 to the control unit 14 under the control of the control unit 14.
  • the calculation unit 30 A / D-converts the leakage magnetic flux signal extracted by the entire bandpass filter 29 for each traveling pitch of the steel plate 15 based on the pulse signal output from the line PLG31 under the control of the control unit 14. ..
  • the calculation unit 30 corrects the leakage magnetic flux signal by multiplying the leakage magnetic flux signal obtained by A / D-converting the sensitivity calibration correction value based on the online calibration described later.
  • the calculation unit 30 evaluates the processing state of the magnetic domain subdivision processing unit of the steel plate 15 based on the corrected leakage magnetic flux signal.
  • the calculation unit 30 may evaluate by obtaining the frequency distribution of each channel, for example, by performing a high-speed Fourier transform calculation process on the discrete data in a certain section of each channel.
  • the arithmetic unit 30 may evaluate by calculating the average value of the amplitudes of the sine curves formed by the discrete data within a certain interval, instead of the fast Fourier transform arithmetic processing.
  • the adjustment mechanism 13 can retract the magnetic sensor group 20, in other words, the plurality of magnetic sensors 22 from the detection position of the leakage magnetic flux of the steel plate 15, and return to the detection position.
  • the detection position may be a position where the leakage magnetic flux of the steel plate 15 can be detected, and may be a position where the distance between the magnetic sensors 22 with respect to the steel plate 15, that is, the lift-off is adjusted to a predetermined length.
  • the adjusting mechanism 13 includes a servomotor 34 and a ball screw 35.
  • the servomotor 34 is provided on the gantry 36 so that the rotation axes are parallel to each other in the vertical direction.
  • One end of the ball screw 35 is pivotally supported by the servomotor 34 on the upward side.
  • the other end of the ball screw 35 supports the leakage magnetic flux detection unit 12.
  • the control unit 14 includes one or more processors.
  • the processor is a general-purpose processor or a dedicated processor specialized for a specific process, but is not limited thereto.
  • the dedicated processor may include an application specific integrated circuit (ASIC).
  • the control unit 14 may include a programmable logic device (PLD; Programmable Logic Device).
  • the PLD may include an FPGA (Field-Programmable Gate Array).
  • the control unit 14 controls each part of the inspection device 10 including energization of an alternating current to the calibration wiring 24 and control of driving of the adjustment mechanism 13.
  • the control unit 14 performs offline calibration and online inspection including online calibration by inputting operations to input units including buttons, keyboards, pointing devices, and the like.
  • control of each part of the inspection device 10 by the control unit 14 for performing offline calibration, online inspection, and online calibration will be described below.
  • Off-line calibration is the sensitivity adjustment of the magnetic sensor that is performed when the steel sheet is not manufactured. In other words, calibration is performed before the start of steel sheet production and during the maintenance period of the production line.
  • the control unit 14 controls the pulse signal switch 33 so that the input of the pulse signal to the bandpass filter 29 is switched to the sensitivity calibration pulse generator 32 side.
  • the control unit 14 generates a pulse signal in the sensitivity calibration pulse generator 32.
  • the bandpass filter 29 uses the voltage signal output from the amplifier 28 as the frequency band of the AC magnetic field energized in the calibration wiring 24. The same band component can be extracted.
  • the control unit 14 further controls the AC power supply 26 so as to energize the AC current to the calibration wiring 24.
  • the alternating current By energizing the alternating current, a concentric alternating magnetic field is generated around the calibration wiring 24.
  • the value of the alternating current at this time is used as the reference current value.
  • Each magnetic sensor 22 detects the vertical component of the generated AC magnetic field.
  • Each magnetic sensor 22 outputs a value corresponding to the detected AC magnetic field.
  • the output value is amplified by the amplifier and sent to the bandpass filter 29.
  • the signal output by the bandpass filter 29 is displayed, for example, on a display connected to the arithmetic unit 30.
  • each printed circuit board 23 Since the calibration wiring 24 on the printed circuit board 23 has the same shape and each printed circuit board 23 is connected to each other by a lead wire 25, if the alternating current is the same value, the same alternating magnetic field is applied to each printed circuit board 23. Occurs. Since the value of the magnetic flux of the AC magnetic field is theoretically determined from the value of the AC current, the sensitivity of the magnetic sensor 22 can be adjusted by detecting this magnetic flux with a magnetic sensor and obtaining the difference from the theoretical value.
  • the sensitivity of each magnetic sensor 22 is adjusted by adjusting the gain of each amplifier 28 according to the value output by each bandpass filter 29 displayed on the display under the controlled state as described above. To.
  • the sensitivity adjustment may be performed automatically or by an operator.
  • Each amplifier 28 is gain-adjusted so that the output values have the same calibration value.
  • the output value output by each amplifier 28 is referred to as a first output value
  • the gain adjustment value of each amplifier 28 is referred to as a first adjustment value.
  • the first output value itself is represented by V1
  • the first output value of each amplifier 28 is represented by V1 1 , V1 2 ..., V1 n (n is the number of magnetic sensors).
  • the gain of the amplifier 28 that outputs the same calibration value is represented by ⁇ 1 as the first adjustment value
  • the first adjustment value of each amplifier 28 is ⁇ 1 1 , ⁇ 1 2 ..., ⁇ 1 n (n). Is expressed by the number of magnetic sensors).
  • the first output value V1 in each amplifier 28 may be adjusted so as to have exactly the same calibration value.
  • the first output values do not exactly match, and may be V1 ⁇ V1 1 ⁇ V1 2 ⁇ ..., ⁇ V1 n (n is the number of magnetic sensors). In particular, it does not have to be an exact match if it is adjusted manually by the operator.
  • the first output value V1 may be the average value of the first output values of each amplifier 28 after gain adjustment.
  • the control unit 14 controls the calculation unit 30 so as to transmit the first output value, which is the calibration value, to the control unit 14 as information.
  • the control unit 14 stores the first output value received as information in the memory of the control unit 14. Further, the control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to stop the energization of the AC current to the calibration wiring 24.
  • the leakage magnetic flux of the steel sheet is measured.
  • the measurement of leakage magnetic flux is an online inspection performed while passing a steel plate.
  • control unit 14 requests the line control device 37 to transmit the plate thickness information of the steel plate 15 to be measured.
  • the control unit 14 controls the adjusting mechanism 13 so that the distance between the steel plate 15 and the leakage magnetic flux detection unit 12 becomes a predetermined lift-off amount based on the plate thickness information received from the line control device 37.
  • control unit 14 further controls the pulse signal switch 33 so that the input of the pulse signal to the bandpass filter 29 is switched to the line PLG31 side.
  • the bandpass filter 29 can extract the same band component as the frequency band of the leakage magnetic flux signal from the voltage signal output from the amplifier 28.
  • control unit 14 further controls the exciting power supply 21 so that an exciting current flows through the magnetizer 19.
  • the magnetizer 19 externally magnetizes the steel plate 15 by the exciting current.
  • the detected leakage magnetic flux signal is amplified by the amplifier 28, the disturbance noise component is removed by the bandpass filter 29, and the signal is input to the calculation unit 30.
  • Online calibration is the sensitivity adjustment of the magnetic sensor performed during the online inspection. Online calibration can be performed, for example, at the timing when a predetermined portion of the steel sheet passes through the leakage magnetic flux detection unit 12.
  • the control unit 14 receives the position of the predetermined portion of the steel plate 15 in the plate-passing direction as information.
  • the predetermined portion may be an arbitrarily defined portion, and is preferably a portion such as a welded portion where the magnetic sensor 22 is required to be retracted.
  • the welded portion is the welded portion when two steel strips are connected by welding.
  • the position of the predetermined portion of the steel plate 15 in the through plate direction is transmitted from, for example, the position of the predetermined portion in the image captured by the camera fixed at the specific position with respect to the gantry 36 in a specific posture, or from the line control device 37. It is determined based on the position of the predetermined portion to be formed and the passing speed of the passing plate portion 11.
  • the control unit 14 starts online calibration when a predetermined portion in the plate passage direction reaches a predetermined position before passing through the magnetic sensor 22.
  • the control unit 14 controls the adjustment mechanism 13 to control the leakage magnetic flux detection unit 12 before the position of the predetermined portion in the plate passage direction passes through the position of the leakage magnetic flux detection unit 12 including the magnetic sensor 22. Evacuate from the detection position.
  • control unit 14 further controls the pulse signal switch 33 so that the input of the pulse signal to the bandpass filter 29 is switched to the sensitivity calibration pulse generator 32 side.
  • the control unit 14 generates a pulse signal in the sensitivity calibration pulse generator 32.
  • the bandpass filter 29 uses the voltage signal output from the amplifier 28 as the frequency band of the AC magnetic field energized in the calibration wiring 24. Extract the same band component.
  • control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to energize the calibration wiring 24 of each magnetic sensor 22 with a predetermined reference current value.
  • a concentric alternating magnetic field is generated around the calibration wiring 24, and each magnetic sensor 22 detects a vertical component of the alternating current.
  • each magnetic sensor 22 From the vertical component of the detected AC magnetic field, each magnetic sensor 22 outputs a value corresponding to the detected AC magnetic field, and the output value is amplified by each amplifier 28 and sent to the bandpass filter 29.
  • the output value of each amplifier 28 at this time is referred to as a second output value.
  • the second output value itself is represented by V2
  • the second output value of each amplifier 28 is represented by V2 1 , V2 2 ..., V2 n (n is the number of magnetic sensors).
  • control unit 14 further controls the arithmetic unit 30 to transmit the second output value amplified by the amplifier 28 and the disturbance noise removed by the bandpass filter 29 to the control unit 14 as information. ..
  • the control unit 14 calculates the sensitivity calibration correction value for each bandpass filter 29 by dividing the first output value stored in the memory of the control unit 14 by the second output value received as information.
  • the control unit 14 may use the average value obtained by sampling the second output value for a certain period of time to calculate the sensitivity calibration correction value.
  • the control unit 14 stores the calculated sensitivity calibration correction value in the memory of the control unit 14 so that it can be identified for each bandpass filter 29.
  • the control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to stop the energization of the AC current to the calibration wiring 24 when the position of the predetermined portion in the plate passage direction reaches the position after passing through the magnetic sensor 22. do.
  • the control unit 14 controls the adjustment mechanism 13 so as to displace the leakage magnetic flux detection unit 12 to the detection position. After the control of the adjusting mechanism 13, the control unit 14 ends the online calibration and restarts the online inspection.
  • the welded part which is an example of a predetermined part
  • the welded part is raised and the steel plate is deformed, which causes troubles such as damage to the magnetic sensor 22.
  • time for calibration is not required, which is advantageous in terms of productivity.
  • you may take measures such as slowing the passing speed of the steel sheet during the online calibration so that the online calibration is completed while the predetermined portion has passed.
  • the frequency of calibration of the magnetic sensor 22 increases, and it becomes possible to maintain high measurement accuracy of the steel sheet.
  • the gain of each amplifier 28 may be adjusted so that the value of the online inspection after restart is correct by the second adjustment value ⁇ 2.
  • the second adjustment value ⁇ 2 is calculated for each bandpass filter 29 by multiplying the first adjustment value ⁇ 1 by the sensitivity calibration correction value (V1 / V2 n ), and the gain adjustment of the amplifier 28 is performed using the calculated value. You may go. In this case, the sensitivity calibration correction value may be reset to 1, for example.
  • the offline calibration process starts when the input unit of the control unit 14 detects the operation input of the offline calibration request.
  • step S100 the control unit 14 drives the adjustment mechanism 13 so as to retract the leakage magnetic flux detection unit 12 from the detection position. After driving the adjusting mechanism 13, the process proceeds to step S101.
  • step S101 the control unit 14 controls the pulse signal switch 33 so that the input of the pulse signal to the bandpass filter 29 is switched to the sensitivity calibration pulse generator 32 side. After switching, the process proceeds to step S102.
  • step S102 the control unit 14 generates a pulse signal in the sensitivity calibration pulse generator 32. After the occurrence, the process proceeds to step S103.
  • step S103 the control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to energize the AC current to the calibration wiring 24. After the energization starts, the process proceeds to step S104.
  • step S104 the control unit 14 amplifies the output value output by each magnetic sensor 22 by the amplifier 28, and displays the amplitude voltage value obtained by removing the disturbance noise by the bandpass filter 29 on the display. Control. After starting the display, the process proceeds to step S105.
  • step S105 the control unit 14 determines whether or not the input unit detects the operation input for the end of the offline calibration. While the amplitude voltage value in step S104 is being displayed on the display, it is assumed that the gain is adjusted by, for example, a manual operation so that the output value of each bandpass filter 29 becomes the first output value V1. There is. Further, it is assumed that the user inputs the operation for the end of the offline calibration after the gain adjustment is completed. If there is no operation input, the process returns to step S105. If there is an operation input, the process proceeds to step S106.
  • step S106 the control unit 14 averages all the amplitude voltage values output from all the bandpass filters 29 received from the calculation unit 30 to calculate the first output value. After the calculation, the process proceeds to step S107.
  • step S107 the control unit 14 stores the first output value calculated in step S106 in the memory of the control unit 14. After storage, the process proceeds to step S108.
  • step S108 the control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to stop the energization of the AC current to the calibration wiring 24. After the power is stopped, the offline calibration process ends.
  • the online inspection process starts when the input unit of the control unit 14 detects the operation input of the online inspection request.
  • step S200 the control unit 14 transmits the plate thickness information of the steel plate 15 transferred to the plate passing unit 11 to the line control device 37. After transmission, the process proceeds to step S201.
  • step S201 the control unit 14 determines whether or not the plate thickness information is received from the line control device 37. If not received, the process returns to step S201. If so, the process proceeds to step S202.
  • step S202 the control unit 14 controls the adjusting mechanism 13 so as to lower the leakage magnetic flux detection unit 12 to a predetermined lift-off detection position based on the plate thickness information confirmed to be received in step S201.
  • step S203 the control unit 14 controls the pulse signal switch 33 so that the input of the pulse signal to the bandpass filter 29 is switched to the line PLG31 side. After switching, the process proceeds to step S204.
  • step S204 the control unit 14 transmits the sensitivity calibration correction value stored in the memory of the control unit 14 to the calculation unit 30. After transmission, the process proceeds to step S205.
  • step S205 the control unit 14 controls the exciting power supply 21 so as to apply the exciting power to the magnetizer 19. After application, the process proceeds to step S206.
  • step S206 the control unit 14 transmits each bandpass filter 29 to the leakage magnetic flux signal detected by each magnetic sensor 22, amplified by the amplifier 28, and the disturbance noise is removed by the bandpass filter 29 in step S204.
  • the calculation unit 30 is controlled so as to correct by multiplying each sensitivity calibration correction value. After the correction, the process proceeds to step S207.
  • step S207 the control unit 14 controls the calculation unit 30 so as to evaluate the processing state of the magnetic domain subdivision processing unit of the steel sheet 15 based on the leakage magnetic flux signal corrected in step S206. After the evaluation, the process proceeds to step S208.
  • step S208 the control unit 14 determines whether or not the end of the steel plate 15 has reached the leakage magnetic flux detection unit 12. If the end is reached, the online inspection process ends. If the end has not been reached, the process proceeds to step S209.
  • step S209 the control unit 14 determines whether or not the predetermined portion of the steel plate 15 has reached the position before passing through the magnetic sensor 22. If not, the process returns to step S202. If so, the online calibration subroutine S300 starts.
  • step S301 to S304 the control unit 14 performs the same control as in steps S100 to 103 in the offline calibration process. After energizing the alternating current in step S304, the process proceeds to step S305.
  • step S305 the control unit 14 reads the first output value from the memory of the control unit 14. After reading, the process proceeds to step S306.
  • step S306 the control unit 14 is the second output value that is output by each magnetic sensor 22, amplified by the amplifier 28, and the disturbance noise is removed by the bandpass filter 29, and is the first output read in step S305. By dividing the value, the sensitivity calibration correction value for each bandpass filter 29 is calculated. After the calculation, the process proceeds to step S307.
  • step S307 the control unit 14 stores the sensitivity calibration correction value calculated in step S306 in the memory of the control unit 14. After storage, the process proceeds to step S308.
  • step S308 the control unit 14 determines whether or not a predetermined portion of the steel plate 15 has passed the position of the magnetic sensor 22. If not, the process returns to step S308. If so, the process proceeds to step S309.
  • step S309 the control unit 14 controls the AC power supply 26 so as to stop the energization of the AC current to the calibration wiring 24. After the power is stopped, the online calibration subroutine process ends, and the process returns to step S202.
  • the inspection device 10 of the present embodiment acquires the first output value of each of the plurality of magnetic sensors in advance by energizing the calibration wiring 24 with an AC current, and obtains a predetermined portion of the steel plate 15 in advance.
  • the magnetic sensor 22 Before passing through the position of the magnetic sensor 22 in the plate-passing direction, the magnetic sensor 22 is retracted from the detection position, the current is energized to the calibration wiring 24, and the second output of each of the plurality of magnetic sensors 22 is increased.
  • the magnetic sensor 22 is displaced to the detection position, and the measured values measured by each of the plurality of magnetic sensors 22 are the first output value and the second output. Correct based on the value.
  • the magnetic sensor 22 is positioned at a detection position where the lift-off is small during the detection of the leakage magnetic flux of the steel plate 15.
  • the inspection device 10 performs sensitivity calibration of the magnetic sensor 22 at a predetermined partial passing frequency, which is relatively high frequency while inspecting the electromagnetic characteristics of the steel plate 15. Therefore, the inspection device 10 can calibrate the sensitivity of the magnetic sensor 22 so as to reduce the decrease in the measurement accuracy of the electromagnetic characteristics of the entire steel sheet 15.
  • the calibration wiring 24 is arranged at the same relative position with respect to the magnetic sensing portions of the plurality of magnetic sensors 22. With such a configuration, the inspection device 10 can precisely calibrate the sensitivity among the plurality of magnetic sensors 22.
  • each of the plurality of magnetic sensors 22 is separately connected to a plurality of gain-adjustable amplifiers 28, and each of the plurality of amplifiers 28 detects a plurality of magnetic sensors 22.
  • the gain is adjusted so that the first output value V1 of each of the plurality of amplifiers 28 has the same calibration value in at least one of the state in which the steel plate 15 is excluded from the plate portion 11 and the state in which the steel plate 15 is excluded from the plate portion 11.
  • the sensitivity calibration correction value obtained by dividing the first output value V1 by the second output value V2 n output from the magnetic sensor 22 in the online calibration is obtained by the magnetic sensor 22 in the online inspection.
  • the measured value is corrected by multiplying the measured value measured by each.
  • the inspection device 10 is suitable for measuring the electromagnetic characteristics of the steel plate 15 by appropriately setting the first calibration value V1 by the worker of the offline calibration and adjusting the corrected value of the measured value after the online calibration. Can fit in the range.
  • one magnetic sensor 22 is mounted on one printed circuit board 23, but a plurality of magnetic sensors 22 may be mounted on one printed circuit board 23, and one printed circuit board may be mounted. All magnetic sensors 22 may be mounted on the substrate 23.
  • the magnetic sensors 22 may be arranged in a row in the width direction of the steel plate 15 (direction perpendicular to the traveling direction), or may be arranged in a plurality of rows in the width direction of the steel plate 15. In this case, if the magnetic sensors 22 are arranged in a staggered manner when viewed from above, inspection can be performed without gaps in the entire width direction of the steel plate 15, which is more preferable. However, since the magnetic sensors 22 are connected to each other by wiring, when arranging them in a plurality of rows, it is preferable to arrange the magnetic sensor groups arranged in one row in a plurality of rows. If all the magnetic sensors 22 can be connected continuously as in one stroke, this may be done.
  • control unit 14 retracts the leakage magnetic flux detection unit 12 from the detection position when performing offline calibration, but it is not necessary to retract it. Even if the leakage magnetic flux detection unit 12 is not retracted from the detection position, if the gain of the amplifier 28 is adjusted with the steel plate 15 excluded from the plate passing unit 11, the same effect as that of the present embodiment can be obtained.
  • control unit 14 calculates the sensitivity calibration correction value when performing the online calibration and stores it in the memory of the calculation unit 30, but the second output value V2 in the online calibration is used. It may be stored in a memory and the sensitivity calibration correction value may be calculated when performing a subsequent online inspection. Further, although the control unit 14 is a calibration in which the sensitivity calibration correction value is calculated by the calculation unit 30, the control unit 14 may be configured to calculate the sensitivity calibration correction value and transmit it to the calculation unit 30.
  • control unit 14 multiplies the sensitivity calibration correction value calculated by using the first output value V1 adjusted to have the same calibration value in the online inspection by the measured value in the online calibration.
  • This is a configuration for correcting the measured value, but the first output value does not have to be adjusted so as to have the same calibration value.
  • the measured value of the signal output from the magnetic sensor 22 may be corrected in the online inspection based on the second output value of the signal output from the magnetic sensor 22 in the online calibration without performing the offline calibration. ..
  • control unit 14 is configured to calculate the sensitivity calibration correction value, but the calculation unit 30 may calculate based on the control of the control unit 14.
  • the first output value V1 and the sensitivity calibration correction value are stored in the memory of the control unit 14, but may be stored in the memory of the calculation unit 30.

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Abstract

検査装置１０は通板部１１と磁化器と複数の磁気センサと校正用配線と調整機構１３と制御部１４とを有する。校正用配線を複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置する。調整機構１３は複数の磁気センサの検出位置からの退避と検出位置への変位とを切替え可能である。制御部１４は複数の磁器センサのそれぞれの第１の出力値をあらかじめ取得する。制御部１４は電磁鋼板の所定の部分が磁器センサの位置の通過前に複数の磁器センサを退避させる。制御部１４は校正用配線への通電を開始する。制御部１４は複数の磁器センサのそれぞれの第２の出力値を取得する。制御部１４は所定の部分の通過後に複数の磁器センサを検出位置に変位させる。制御部１４は複数の磁器センサそれぞれが測定する測定値を第１の出力値および第２の出力値に基づいて補正する。

Description

感度校正方法、検査装置および磁気センサ群 関連出願の相互参照
　本出願は、２０２０年７月３日に日本国に特許出願された特願２０２０－１１５９３９の優先権を主張するものであり、この先の出願の開示全体をここに参照のために取り込む。
　本発明は、鋼板を評価する検査装置における複数の磁気センサの感度を校正する感度校正方法、検査装置および磁気センサ群に関するものである。
　方向性電磁鋼板などの鋼板を磁化させ、漏洩磁束を検出することにより、当該鋼板を評価する検査装置が知られている。例えば、方向性鋼板における鉄損を評価するために鋼板の電磁気特性を測定する装置が知られている（特許文献１参照）。
特開２０１８－１２４２６６号公報
　鋼板の電磁気特性を測定する装置では、鋼板の幅方向全体を測定するために、複数の磁気センサを鋼板の板面に平行な面上に配置し、各磁気センサに漏洩磁束を検出させている。鋼板全体の電磁気特性を正しく測定するために、同じ感度の磁気センサを用いることが必要である。しかし、複数の磁気センサ間で、温度変化および経時変化により感度のばらつきが生じるため、測定精度に差が出ることがある。そこで、磁気センサの感度を適宜調整する必要があるが、そもそも磁気センサごとに感度が異なっていることが多い。磁気センサの感度調整は、センサごとに個別に行う必要があるが、その方法として、たとえば標準サンプルを準備し、１枚の標準サンプルをすべてのセンサで測定する方法がある。しかし、感度調整は出力波形を見ながら行われるため、時間と手間がかかる。それゆえ、この方法では、複数のセンサに対して行うには負荷が大きい。一方で、１枚の標準サンプルを用いて多数のセンサの校正を同時に行おうとすると、標準サンプル内の特性のばらつきの影響を受けてしまう。さらに、電磁鋼板の製造ライン稼働中は、感度調整を実施できないため、製造ラインを一時中止する必要があり、生産効率の面で好ましくない。
　従って、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされた本開示の目的は、磁気センサの感度校正を、容易にかつ確実に行うことができる感度校正方法、検査装置および磁気センサ群を提供することにある。
　上述した諸課題を解決すべく、第１の観点による感度校正方法は、
　校正用の交流電流を通電するための校正用配線近傍にそれぞれ配置された複数の磁気センサを有する鋼板の検査装置の感度校正方法であって、
　前記検査装置は、
　複数の磁気センサのそれぞれの第１の出力値を、前記校正用配線への交流電流の通電によりあらかじめ取得し、
　前記鋼板の所定の部分が通板方向における前記磁気センサの位置の通過前に、前記複数の磁気センサを前記鋼板の漏洩磁束の検出位置から退避させ、前記校正用配線への交流電流の通電を開始し、前記複数の磁気センサのそれぞれの第２の出力値を取得し、
　前記所定の部分の前記磁気センサの位置の通過後に、前記複数の磁気センサを前記検出位置に変位させ、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値をおよび前記第２の出力値に基づいて補正する。
　また、第２の観点による感度校正方法では、
　前記校正用配線は、複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される。
　また、第３の観点による感度校正方法では、
　前記複数の磁気センサの各々は、ゲイン調整可能な複数の増幅器に別々に接続され、
　前記複数の増幅器の各々は、前記複数の磁気センサを前記検出位置から退避させた状態または前記通板部から前記鋼板を除外させた状態の少なくとも一方において、前記校正用配線に交流電流を通電させている状態における前記複数の増幅器の各々の出力値が同一の校正値となるように、ゲイン調整されている。
　また、第４の観点による感度校正方法では、
　前記検査装置は、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値を、前記第２の出力値で除した値を乗ずることにより補正する。
　また、第５の観点による検査装置は、
　鋼板を通板する通板部と、
　前記鋼板を磁化する磁化器と、
　リフトオフ方向に垂直な平面における異なる位置に並び且つ前記磁化器が磁化した前記鋼板に発生する漏洩磁束を検出する複数の磁気センサと、
　前記複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される校正用配線と、
　前記複数の磁気センサの、前記鋼板の漏洩磁束の検出位置からの退避と、前記検出位置への変位とを切替可能な調整機構と、
　前記校正用配線への交流電流の通電および前記調整機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
　前記制御部は、
　複数の磁気センサのそれぞれの第１の出力値を、前記校正用配線への交流電流の通電によりあらかじめ取得し、
　前記通板部により通板される前記鋼板の所定の部分が通板方向における前記磁気センサの位置の通過前に、前記複数の磁気センサを前記鋼板の漏洩磁束の検出位置から退避させ、前記校正用配線への交流電流の通電を開始し、前記複数の磁気センサのそれぞれの第２の出力値を取得し、
　前記所定の部分の前記磁気センサの位置の通過後に、前記複数の磁気センサを前記検出位置に変位させ、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値をおよび前記第２の出力値に基づいて補正する。
　また、第６の観点による検査装置では、
　前記校正用配線は、複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される。
　また、第７の観点による鋼板の検査装置は、
　鋼板を通板する通板部と、
　前記鋼板を磁化する磁化器と、
　リフトオフ方向に垂直な平面における異なる位置に並び且つ前記磁化器が磁化した前記鋼板に発生する漏洩磁束を検出する複数の磁気センサと、
　前記複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される校正用配線と、
　前記校正用配線への交流電流の通電を制御する制御部と、を備える。
　また、第８の観点による磁気センサ群は、
　磁気センサを有し且つ当該磁気センサの近傍に配置される配線が形成された基板と、
　複数の前記基板を相互接続する一以上の配線と、を備える。
　上記のように構成された本開示に係る感度校正方法、検査装置および磁気センサ群によれば、電磁鋼板全体の電磁気特性の測定精度の低下を低減するように、磁気センサの感度校正が行われ得る。
本実施形態に係る検査装置の概略図である。 図１の漏洩磁束検出部から出力される出力値を信号処理する信号処理部の概略構成を、漏洩磁束検出部の概略構成とともに示す機能ブロック図である。 図２の磁化器における複数の磁気センサの配置を示す配置図である。 図３の複数の磁気センサが設けられたプリント基板の外観図である。 図２の制御部が実行するオフライン校正処理を説明するためのフローチャートである。 図２の制御部が実行するオンライン検査処理を説明するためのフローチャートである。 図２の制御部が実行するオンライン校正のサブルーチンを説明するためのフローチャートである。
　以下、本開示に係る実施形態について、図面を参照して説明する。
　図１は、本開示の一実施形態に係る検査装置１０の概略図である。検査装置１０は、通板部１１、漏洩磁束検出部１２、調整機構１３、および、制御部１４を備える。検査装置１０は、例えば、鋼板の電磁気特性を測定することによって、鋼板の磁区細分化加工プロセスにおける加工状態を評価する。なお、図１における上方向を検査装置１０における上方向と呼び、下方向を検査装置１０における下方向と呼ぶ。
　通板部１１は、鋼板１５を、板面に平行な通板方向に通板する。鋼板１５は、例えば方向性電磁鋼板である。本実施形態において、通板部１１は、第１のパスロール１６、第２のパスロール１７、および第３のパスロール１８を含む。第１のパスロール１６、第２のパスロール１７、および第３のパスロール１８は、互いに平行に回動自在に軸支される。第３のパスロール１８は、第１のパスロール１６および第２のパスロール１７よりも下方において軸支される。第１のパスロール１６および第２のパスロール１７と、第３のパスロール１８との間に鋼板１５が挟まれ得る。第１のパスロール１６、第２のパスロール１７、および第３のパスロール１８の少なくとも一つを電動機などにより回転させて、鋼板１５を通板方向に通板するように構成してもよい。
　上述のような構成の、第１のパスロール１６、第２のパスロール１７、および第３のパスロール１８は、鋼板１５のばたつきによる鋼板１５と漏洩磁束検出部１２との接触、およびリフトオフ変動に起因するノイズ混入を防止する。第１のパスロール１６、第２のパスロール１７、および第３のパスロール１８は、例えば、ゴムロールである。ゴムロールであることにより、鋼板１５との間のスリップの発生、および漏洩磁束検出部１２に対する磁気的な影響の発生が防止される。
　図２に示すように、漏洩磁束検出部１２は、磁化器１９および磁気センサ群２０を含む。
　磁化器１９は、鋼板１５を外部磁化する。磁化器１９は、例えば、励磁電源２１から供給される励磁電力により、鋼板１５を外部磁化する。本実施形態において、磁化器１９は、磁区細分化加工が施されていない領域にある磁区の磁壁は移動するが、磁区細分化加工が施された領域にある磁区の磁化方向が磁化容易軸方向に対して平行にならない程度の大きさで、鋼板１５を外部磁化する。
　図３に示すように、磁気センサ群２０は、複数の磁気センサ２２を含む。複数の磁気センサ２２は、磁化器１９の磁極間において、リフトオフ方向に垂直な平面、言換えると通板部１１に通板される鋼板１５の板面に平行な平面における異なる位置に並べられる。本実施形態において、複数の磁気センサ２２は、当該平面において通板方向に垂直な方向に沿って直線状に、所定のピッチで並べられる。ここで、リフトオフとは、鋼板１５と漏洩磁束検出部１２の鋼板１５と対向する面との距離である。複数の磁気センサ２２、たとえば５個の磁気センサ２２を一つの単位として、単位ごとに１つの磁化器１９が組み合わされる。
　磁気センサ２２は、例えば、磁気抵抗素子またはホール素子である。本実施形態においては、磁気センサ２２は、磁気抵抗素子である。磁気センサ２２は、磁化器１９により磁化された鋼板１５に発生する漏洩磁束を検出する。本実施形態では、各磁気センサ２２は、鋼板１５の表面に対して垂直な漏洩磁束成分を検出するように配置されている。そして、磁気センサ２２は、検出した漏洩磁束に相当する漏洩磁束信号の値、例えば電圧を出力する。
　図４に示すように、本実施形態においては、各磁気センサ２２は、別々のプリント基板２３に実装される。つまり、１枚のプリント基板２３には、１個の磁気センサ２２が実装される。プリント基板２３には、直線状に延びる部分を有する校正用配線２４がパターン線として設けられている。例えば、磁気抵抗素子を用いた磁気センサ２２を実装するプリント基板２３においては、矩形の一辺に沿って当該一辺近傍に校正用配線２４が設けられている。そして、磁気センサ２２は、当該プリント基板２３の板面の法線方向から見て校正用配線２４と重なる位置に実装される。各プリント基板２３は、同じ形状であり、校正用配線２４も、同じ形状、同じ太さ、同じ厚さで、各プリント基板２３上の同じ位置に配置される。磁気センサ２２も、各プリント基板２３上の同じ位置に実装される。
　漏洩磁束検出部１２において、磁気センサ２２を実装している複数のプリント基板２３は、校正用配線２４が設けられる辺が同一の直線上に重なり、且つ板面が平行となるように並べられる。漏洩磁束検出部１２において、複数のプリント基板２３は、一定のピッチＰで並べられる。漏洩磁束検出部１２において、複数のプリント基板２３は、板面がリフトオフ方向に平行且つ通板方向に垂直になるように並べられる。図３に示すように、漏洩磁束検出部１２において、複数のプリント基板２３は、複数の磁気センサ２２が配列されるセンサ配列方向から見て、磁気センサ２２の中心線が磁化器１９の中心線に重なる。
　図４に示すように、互いに隣接するプリント基板２３間において、校正用配線２４はリード線２５により連結される。図２に示すように、漏洩磁束検出部１２における複数のプリント基板２３の中の両端のプリント基板２３における校正用配線２４は、交流電源２６に接続される。
　磁気センサ群２０は、信号処理部２７に接続される。信号処理部２７は、複数の増幅器２８、複数のバンドパスフィルタ２９、および演算部３０を有する。増幅器２８およびバンドパスフィルタ２９の数は、磁気センサ群２０における磁気センサ２２の個数に相当するチャンネル数である。各磁気センサ２２には、増幅器２８およびバンドパスフィルタ２９がこの順番で直列に接続される。
　増幅器２８は、磁気センサ２２の出力値を増幅する。増幅器２８のゲインは、作業者の手動操作により調整可能であってよい。バンドパスフィルタ２９は、増幅器２８により増幅された磁気センサ２２の出力値から、外乱ノイズ成分を除去して、検出対象の周波数帯域を抽出する。各バンドパスフィルタ２９は、抽出した周波数帯域を演算部３０に出力する。なお、バンドパスフィルタ２９は、抽出する周波数帯域を感度校正用パルス発生器３２またはラインＰＬＧ３１から受信する。バンドパスフィルタ２９への、感度校正用パルス発生器３２およびラインＰＬＧ３１のいずれか一方からのパルス信号の入力は、パルス信号切替器３３により切替えられる。
　なお、感度校正用パルス発生器３２から出力されるパルス信号は、交流電源２６が校正用配線２４に交流電流を通電することにより発生する交流磁界の周波数に応じて定められている。当該パルス信号により、バンドパスフィルタ２９が抽出すべき交流磁界に応じた信号の周波数帯域が定められる。交流電源２６から校正用配線２４に送られる交流電流は、鋼板１５の漏洩磁束に対する磁気センサ２２の出力値と同程度の出力値を磁気センサ２２が出力するように調整されている。ラインＰＬＧ３１から出力されるパルス信号は、鋼板１５の通板方向における磁区細分化加工が施された領域の一定のピッチに応じており、当該パルス信号によりバンドパスフィルタ２９が抽出すべき漏洩磁束信号の周波数帯域が定められる。
　演算部３０は、ディスプレイに接続可能である。演算部３０は、制御部１４の制御により、各バンドパスフィルタ２９から出力される漏洩磁束信号を情報としてディスプレイに送信する。ディスプレイには、各バンドパスフィルタ２９から出力される振幅電圧値が表される。演算部３０は、制御部１４の制御により、各バンドパスフィルタ２９から出力される振幅電圧値を制御部１４に送信する。
　演算部３０は、制御部１４の制御により、ラインＰＬＧ３１から出力されるパルス信号に基づいて、鋼板１５の走行ピッチ毎に、全バンドパスフィルタ２９に抽出された漏洩磁束信号をＡ／Ｄ変換する。演算部３０は、後述するオンライン校正に基づく、感度校正補正値をＡ／Ｄ変換した漏洩磁束信号に乗じることにより、漏洩磁束信号を補正する。
　演算部３０は、補正された漏洩磁束信号に基づいて、鋼板１５の磁区細分化加工部の加工状態を評価する。演算部３０は、例えば、各チャンネルの一定区間内の離散データに対して高速フーリエ変換演算処理を施すことにより、各チャンネルの周波数分布を求めることにより評価してもよい。または、演算部３０は、高速フーリエ変換演算処理の代わりに、一定区間内の離散データにより形成されるサインカーブの振幅の平均値を演算することにより評価してもよい。
　調整機構１３は、磁気センサ群２０、言換えると複数の磁気センサ２２の、鋼板１５の漏洩磁束の検出位置からの退避と、検出位置への復帰を行うことができる。検出位置は、鋼板１５の漏洩磁束を検出可能な位置であって、鋼板１５に対する磁気センサ２２の間隔、すなわちリフトオフを所定の長さに合わせる位置であってよい。
　図１に示すように、本実施形態では、調整機構１３は、サーボモータ３４およびボールネジ３５を含む。サーボモータ３４は、回転軸が上下方向に平行になるように架台３６に設けられる。ボールネジ３５の一端は、上方向側でサーボモータ３４に軸支される。ボールネジ３５の他端は、漏洩磁束検出部１２を支持する。サーボモータ３４の回動により、磁気センサ群２０を含む漏洩磁束検出部１２の検出位置からの退避と、検出位置への復帰を行うことができる。
　制御部１４は、１つ以上のプロセッサを含む。プロセッサは、汎用のプロセッサ、又は特定の処理に特化した専用のプロセッサであるが、これらに限られない。専用のプロセッサは、特定用途向けＩＣ（ＡＳＩＣ；Application Specific Integrated Circuit）を含んでよい。制御部１４は、プログラマブルロジックデバイス（ＰＬＤ；Programmable Logic Device）を含んでよい。ＰＬＤは、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）を含んでよい。制御部１４は、校正用配線２４への交流電流の通電および調整機構１３の駆動の制御を含む検査装置１０の各部位の制御を行う。
　制御部１４は、ボタン、キーボード、およびポインティングデバイスなどを含む入力部への操作入力により、オフライン校正、およびオンライン校正を含むオンライン検査を行う。以下に、オフライン校正、オンライン検査、およびオンライン校正を行うための、制御部１４による検査装置１０の各部位の制御について以下に説明する。
　オフライン校正とは、鋼板の製造を行わないときに行う磁気センサの感度調整である。つまり、鋼板の製造開始前や、製造ラインのメンテナンス期間を利用して校正を実施する。
　オフライン校正において、制御部１４は、バンドパスフィルタ２９へのパルス信号の入力を感度校正用パルス発生器３２側に切替えるように、パルス信号切替器３３を制御する。制御部１４は、感度校正用パルス発生器３２にパルス信号を発生させる。感度校正用パルス発生器３２からバンドパスフィルタ２９にパルス信号を出力することにより、バンドパスフィルタ２９は、増幅器２８から出力される電圧信号から、校正用配線２４に通電する交流磁界の周波数帯域と同じ帯域成分を抽出できる。
　オフライン校正において、さらに、制御部１４は、校正用配線２４に交流電流を通電するように交流電源２６を制御する。交流電流の通電により、校正用配線２４の周りに同心円状の交流磁界が発生する。このときの交流電流の値を、基準電流値とする。各磁気センサ２２は発生した交流磁界の垂直成分を検出する。各磁気センサ２２は、検出した交流磁界に応じた値を出力する。出力された値は増幅器で増幅されて、バンドパスフィルタ２９に送られる。バンドパスフィルタ２９が出力した信号は、例えば、演算部３０に接続されるディスプレイに表示される。
　プリント基板２３上の校正用配線２４は同じ形状であり、また各プリント基板２３はリード線２５により互いに連結されているから、交流電流が同じ値であれば、各プリント基板２３には同じ交流磁界が発生する。交流電流の値から、交流磁界の磁束の値は理論的に決まるので、この磁束を磁気センサで検出して理論値との差を求めることにより、磁気センサ２２の感度を調整することができる。
　オフライン校正においては、上述のように制御された状態で、ディスプレイに表示される各バンドパスフィルタ２９が出力する値により各増幅器２８のゲインが調整されることにより各磁気センサ２２の感度が調整される。感度の調整は、自動で実施されてもよいし、オペレータにより実施されてもよい。各増幅器２８は、出力値が同一の校正値となるようにゲイン調整される。
　ここで、各増幅器２８が出力する出力値を第１の出力値、各増幅器２８のゲインの調整値を第１の調整値と称する。第１の出力値自体をＶ１で表し、各増幅器２８のそれぞれの第１の出力値を、Ｖ１1、Ｖ１2・・・、Ｖ１n（ｎは磁気センサの数）で表す。また、同一の校正値を出力させる増幅器２８のゲインを第１の調整値としてα１で表し、各増幅器２８のそれぞれの第１の調整値を、α１1、α１2・・・、α１n（ｎは磁気センサの数）で表す。各増幅器２８における第１の出力値Ｖ１は、厳密に同一の校正値となるように調整されてよい。又は、第１の出力値は厳密には一致せず、Ｖ１≒Ｖ１1≒Ｖ１2≒・・・、≒Ｖ１n（ｎは磁気センサの数）であってよい。特に、オペレータの手動により調整される場合には、厳密な一致でなくてよい。ここで、第１の出力値Ｖ１は、ゲイン調整後の各増幅器２８のそれぞれの第１の出力値の平均値であってよい。
　制御部１４は、オフライン校正の終了の操作入力を入力部が検出する場合、校正値である第１の出力値を情報として制御部１４に送信するように、演算部３０を制御する。制御部１４は、情報として受信する第１の出力値を制御部１４のメモリに格納する。また、制御部１４は、校正用配線２４への交流電流の通電を停止するように、交流電源２６を制御する。
　上記のように校正した磁気センサ２２を使用して、鋼板の漏洩磁束の測定を行う。漏洩磁束の測定は、鋼板を通板しながら行うオンライン検査である。
　オンライン検査において、制御部１４は、測定対象の鋼板１５の板厚情報の送信をライン制御装置３７に要求する。制御部１４は、ライン制御装置３７から受信する板厚情報に基づいて、鋼板１５および漏洩磁束検出部１２との間の間隔が所定のリフトオフ量になるように、調整機構１３を制御する。
　オンライン検査において、さらに、制御部１４は、バンドパスフィルタ２９へのパルス信号の入力をラインＰＬＧ３１側に切替えるように、パルス信号切替器３３を制御する。ラインＰＬＧ３１からバンドパスフィルタ２９にパルス信号を出力することにより、バンドパスフィルタ２９は、増幅器２８から出力される電圧信号から、漏洩磁束信号の周波数帯域と同じ帯域成分を抽出可能となる。
　オンライン検査において、さらに、制御部１４は、磁化器１９に励磁用電流を流すように、励磁電源２１を制御する。励磁電流により、磁化器１９は鋼板１５を外部磁化する。この状態で、通板部１１により鋼板１５が漏洩磁束検出部１２まで通板されると、磁化された鋼板１５に発生する漏洩磁束が検出される。検出された漏洩磁束信号が、増幅器２８により増幅され、バンドパスフィルタ２９により外乱ノイズ成分が除去され、演算部３０に入力される。
　オンライン校正とは、オンライン検査中に実施する磁気センサの感度調整である。オンライン校正は、例えば鋼板の所定の部分が漏洩磁束検出部１２を通過するタイミングで実施することができる。
　オンライン検査中に、制御部１４は、鋼板１５の所定の部分の通板方向における位置を情報として受信する。所定の部分は、任意に定められる部分であってよく、例えば、溶接部分のように磁気センサ２２の退避が求められる部分であることが好ましい。溶接部分とは、２本の鋼帯を溶接によりつないだ場合の、当該溶接部分である。鋼板１５の所定の部分の通板方向における位置は、例えば、架台３６に対して特定の位置に特定姿勢で固定されたカメラが撮像する画像における所定の部分の位置、またはライン制御装置３７から送信される所定の部分の位置および通板部１１の通板速度に基づいて判別される。
　制御部１４は、通板方向における所定の部分が磁気センサ２２を通過する前の所定の位置に到達すると、オンライン校正を開始する。オンライン校正において、制御部１４は、通板方向における所定の部分の位置が磁気センサ２２を含む漏洩磁束検出部１２の位置の通過前に、調整機構１３を制御して、漏洩磁束検出部１２を検出位置から退避させる。
　オンライン校正において、さらに、制御部１４は、バンドパスフィルタ２９へのパルス信号の入力を感度校正用パルス発生器３２側に切替えるように、パルス信号切替器３３を制御する。制御部１４は、感度校正用パルス発生器３２にパルス信号を発生させる。感度校正用パルス発生器３２からバンドパスフィルタ２９にパルス信号を出力することにより、バンドパスフィルタ２９は、増幅器２８から出力される電圧信号から、校正用配線２４に通電する交流磁界の周波数帯域と同じ帯域成分を抽出する。
　オフライン校正と同様に、オンライン校正においても、制御部１４は、各磁気センサ２２の校正用配線２４に、所定の基準電流値を通電するように交流電源２６を制御する。交流電流の通電により、校正用配線２４の周りに同心円状の交流磁界が発生し、各磁気センサ２２は交流磁界の垂直成分を検出する。
　検出された交流磁界の垂直成分から、各磁気センサ２２は検出した交流磁界に応じた値を出力し、出力された値は各増幅器２８で増幅されて、バンドパスフィルタ２９に送られる。この時の各増幅器２８の出力値を、第２の出力値と称する。第２の出力値自体をＶ２で表し、各増幅器２８のそれぞれの第２の出力値を、Ｖ２1、Ｖ２2・・・、Ｖ２n（ｎは磁気センサの数）で表す。
　オンライン校正において、さらに、制御部１４は、増幅器２８で増幅され、バンドパスフィルタ２９で外乱ノイズを除去された第２の出力値を情報として制御部１４に送信するように演算部３０を制御する。制御部１４は、情報として受信する第２の出力値で、制御部１４のメモリに記憶された第１の出力値を除すことにより、感度校正補正値をバンドパスフィルタ２９毎に算出する。制御部１４は、第２の出力値を一定時間サンプルした平均値を感度校正補正値の算出に用いてよい。制御部１４は、算出した感度校正補正値をバンドパスフィルタ２９毎に識別可能に、制御部１４のメモリに格納する。
　制御部１４は、通板方向における所定の部分の位置が磁気センサ２２を通過した後の位置に到達する場合、校正用配線２４への交流電流の通電を停止するように、交流電源２６を制御する。制御部１４は、漏洩磁束検出部１２を検出位置に変位させるように、調整機構１３を制御する。制御部１４は、調整機構１３の制御後にオンライン校正を終了し、オンライン検査を再開する。
　一般に、所定の部分の一例である溶接部分は、溶接された部分が盛り上がるなど、鋼板の変形が見られるため、磁気センサ２２を破損させるなどのトラブルの原因になる。漏洩磁束検出部１２を安全な場所に退避させている間に、オンライン校正を行うと、校正のための時間が不要となるので、生産性の点でも有利である。なお、所定の部分が通過している間にオンライン校正が終了するように、オンライン校正の間は鋼板の通過速度を遅くするなどの処置を行ってもよい。また、所定の部分が漏洩磁束検出部１２を通過するごとにオンライン校正を行うことで、磁気センサ２２の校正頻度が高くなり、鋼板の測定精度を高く維持することが可能になる。
　ここで、磁気センサ２２の感度が、温度変化および経時変化等の理由により、オフライン校正の時からずれている、つまり、第１の出力値Ｖ１と、第２の出力値Ｖ２nが一致していないことがある。そこで、Ｖ１とＶ２nを用いて算出されるバンドパスフィルタ２９毎の感度校正補正値を用いて、再開後のオンライン検査における各増幅器２２の出力値Ｂを調整する。具体的には、Ｂ’＝Ｂ×（Ｖ１／Ｖ２n）として、磁気センサのオンライン校正の結果を反映させることができる。
　さらに、オンライン校正時に、基準電流値に対する第１の出力値Ｖ１と第２の出力値Ｖ２nとの差が明らかになることから、オンライン校正後のオフライン校正における各増幅器２８のゲイン調整も可能になる。第２の調整値α２によって、再開後のオンライン検査の値が正しくなるように、各増幅器２８のゲイン調整を行ってもよい。例えば、第１の調整値α１に感度校正補正値（Ｖ１／Ｖ２n）を乗じることにより第２の調整値α２をバンドパスフィルタ２９毎に算出し、算出値を用いて増幅器２８のゲイン調整を行ってよい。この場合、感度校正補正値を、例えば、１にリセットしてよい。
　次に、本実施形態において制御部１４が実行するオフライン校正処理について、図５のフローチャートを用いて説明する。オフライン校正処理は、制御部１４の入力部がオフライン校正要求の操作入力検出するとき、開始する。
　ステップＳ１００において、制御部１４は、漏洩磁束検出部１２を検出位置から退避するように、調整機構１３を駆動する。調整機構１３の駆動後、プロセスはステップＳ１０１に進む。
　ステップＳ１０１では、制御部１４は、バンドパスフィルタ２９へのパルス信号の入力を感度校正用パルス発生器３２側に切替えるように、パルス信号切替器３３を制御する。切替後、プロセスはステップＳ１０２に進む。
　ステップＳ１０２では、制御部１４は、感度校正用パルス発生器３２にパルス信号を発生させる。発生後、プロセスはステップＳ１０３に進む。
　ステップＳ１０３では、制御部１４は、校正用配線２４に交流電流を通電するように交流電源２６を制御する。通電開始後、プロセスはステップＳ１０４に進む。
　ステップＳ１０４では、制御部１４は、各磁気センサ２２が出力した出力値を増幅器２８で増幅させ、バンドパスフィルタ２９で外乱ノイズを除去した振幅電圧値をディスプレイに表示するように、演算部３０を制御する。表示開始後、プロセスはステップＳ１０５に進む。
　ステップＳ１０５では、制御部１４は、オフライン校正の終了の操作入力を入力部が検出するか否か判別する。なお、ステップＳ１０４における振幅電圧値をディスプレイに表示中に、各バンドパスフィルタ２９の出力値が第１の出力値Ｖ１となるように、例えば、手動操作により、ゲイン調整されることが想定されている。更に、ゲイン調整の終了後にユーザがオフライン校正の終了の操作入力を行うことが想定されている。操作入力が無い場合、プロセスはステップＳ１０５に戻る。操作入力がある場合、プロセスはステップＳ１０６に進む。
　ステップＳ１０６では、制御部１４は、演算部３０から受信する全バンドパスフィルタ２９から出力される全振幅電圧値を平均化して、第１の出力値を算出する。算出後、プロセスはステップＳ１０７に進む。
　ステップＳ１０７では、制御部１４は、ステップＳ１０６において算出した第１の出力値を制御部１４のメモリに格納する。格納後、プロセスはステップＳ１０８に進む。
　ステップＳ１０８では、制御部１４は、校正用配線２４への交流電流の通電を停止するように交流電源２６を制御する。通電停止後、オフライン校正処理は終了する。
　次に、本実施形態において制御部１４が実行するオンライン検査処理について、図６のフローチャートを用いて説明する。オンライン検査処理は、制御部１４の入力部がオンライン検査要求の操作入力検出するとき、開始する。
　ステップＳ２００において、制御部１４は、通板部１１に転支される鋼板１５の板厚情報の送信をライン制御装置３７に送信する。送信後、プロセスはステップＳ２０１に進む。
　ステップＳ２０１では、制御部１４は、ライン制御装置３７から板厚情報を受信しているか否かを判別する。受信していない場合、プロセスはステップＳ２０１に戻る。受信している場合、プロセスはステップＳ２０２に進む。
　ステップＳ２０２では、制御部１４は、ステップＳ２０１において受信を確認した板厚情報に基づいて、所定のリフトオフになる検出位置に漏洩磁束検出部１２を下降させるように調整機構１３を制御する。
　ステップＳ２０３では、制御部１４は、バンドパスフィルタ２９へのパルス信号の入力をラインＰＬＧ３１側に切替えるように、パルス信号切替器３３を制御する。切替後、プロセスはステップＳ２０４に進む。
　ステップＳ２０４では、制御部１４は、制御部１４のメモリに記憶している感度校正補正値を演算部３０に送信する。送信後、プロセスはステップＳ２０５に進む。
　ステップＳ２０５では、制御部１４は、磁化器１９に励磁電力を印加するように励磁電源２１を制御する。印加後、プロセスはステップＳ２０６に進む。
　ステップＳ２０６では、制御部１４は、各磁気センサ２２が検出し、増幅器２８により増幅され、バンドパスフィルタ２９により外乱ノイズの除去された漏洩磁束信号に、ステップＳ２０４において送信した、各バンドパスフィルタ２９毎の感度校正補正値を乗じることにより補正するように、演算部３０を制御する。補正後に、プロセスはステップＳ２０７に進む。
　ステップＳ２０７では、制御部１４は、ステップＳ２０６において補正した漏洩磁束信号に基づいて鋼板１５の磁区細分化加工部の加工状態を評価するように、演算部３０を制御する。評価後に、プロセスはステップＳ２０８に進む。
　ステップＳ２０８では、制御部１４は、鋼板１５の末端が漏洩磁束検出部１２に到達しているか否かを判別する。末端に到達している場合、オンライン検査処理は終了する。末端に到達していない場合、プロセスはステップＳ２０９に進む。
　ステップＳ２０９では、制御部１４は、鋼板１５の所定の部分が磁気センサ２２を通過する前の位置に到達しているか否かを判別する。到達していない場合、プロセスはステップＳ２０２に戻る。到達している場合、オンライン校正のサブルーチンＳ３００が開始する。
　次に、本実施形態において制御部１４が実行するオンライン校正のサブルーチンＳ３００について、図７のフローチャートを用いて説明する。
　ステップＳ３０１からＳ３０４において、制御部１４は、オフライン校正処理におけるステップＳ１００から１０３と同じ制御を行う。ステップＳ３０４における交流電流の通電後、プロセスはステップＳ３０５に進む。
　ステップＳ３０５では、制御部１４は、制御部１４のメモリから第１の出力値を読出す。読出し後、プロセスはステップＳ３０６に進む。
　ステップＳ３０６では、制御部１４は、各磁気センサ２２が出力し、増幅器２８により増幅され、バンドパスフィルタ２９により外乱ノイズが除去された第２の出力値で、ステップＳ３０５において読出した第１の出力値を除すことにより、バンドパスフィルタ２９毎の感度校正補正値を算出する。算出後、プロセスはステップＳ３０７に進む。
　ステップＳ３０７では、制御部１４は、ステップＳ３０６において算出した感度校正補正値を、制御部１４のメモリに格納する。格納後、プロセスはステップＳ３０８に進む。
　ステップＳ３０８では、制御部１４は、鋼板１５の所定の部分が磁気センサ２２の位置を通過しているか否かを判別する。通過していない場合、プロセスはステップＳ３０８に戻る。通過している場合、プロセスはステップＳ３０９に進む。
　ステップＳ３０９では、制御部１４は、校正用配線２４への交流電流の通電を停止するように交流電源２６を制御する。通電停止後、オンライン校正のサブルーチン処理は終了し、プロセスはステップＳ２０２に戻る。
　以上のような構成の本実施形態の検査装置１０は、複数の磁気センサのそれぞれの第１の出力値を、校正用配線２４への交流電流の通電によりあらかじめ取得し、鋼板１５の所定の部分が通板方向における磁気センサ２２の位置の通過前に、磁気センサ２２を検出位置から退避させ、校正用配線２４への交流電流の通電を開始させ、複数の磁気センサ２２それぞれの第２の出力値を取得し、所定の部分の磁気センサ２２の位置の通過後に、磁気センサ２２を検出位置に変位させ、複数の磁気センサ２２それぞれが測定する測定値を第１の出力値及び第2の出力値に基づいて補正する。一般的に、良好な検出感度を得るために、磁気センサ２２は、鋼板１５の漏洩磁束の検出中には、リフトオフが小さくなる検出位置に位置づけられる。この一方で、所定の部分の通過時には、例えば、溶接等による盛り上がりがリフトオフより大きいこともあり得るため、磁気センサ２２を検出位置から退避させている。上述のような構成により、検査装置１０は、磁気センサ２２の感度校正を、鋼板１５の電磁気特性の検査中でありながら、比較的高頻度である、所定の部分通過頻度で行う。それゆえ、検査装置１０は、鋼板１５全体の電磁気特性の測定精度の低下を低減するように、磁気センサ２２の感度校正を行い得る。
　また、本実施形態の検査装置１０では、複数の磁気センサ２２それぞれの感磁部に対して同じ相対位置に校正用配線２４が配置される。このような構成により、検査装置１０は、複数の磁気センサ２２間において精密に感度を校正し得る。
　また、本実施形態の検査装置１０では、複数の磁気センサ２２の各々はゲイン調整可能な複数の増幅器２８に別々に接続され、前記複数の増幅器２８の各々は、複数の磁気センサ２２を検出位置から退避させた状態および通板部１１から鋼板１５を除外した状態の少なくとも一方において複数の増幅器２８の各々の第１の出力値Ｖ１が同一の校正値となるように、ゲイン調整されている。このような構成により検査装置１０は、より精密に感度を校正し得る。
　また、本実施形態の検査装置１０は、第１の出力値Ｖ１をオンライン校正において磁気センサ２２から出力される第２の出力値Ｖ２nで除した感度校正補正値を、オンライン検査において磁気センサ２２それぞれが測定する測定値に乗じることにより、当該測定値を補正する。このような構成により検査装置１０は、第１の校正値Ｖ１をオフライン校正の作業者が適切に設定することにより、オンライン校正後の測定値の補正値を鋼板１５の電磁気特性の測定に適した範囲に収め得る。
　本開示を諸図面および実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形および／または修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形および／または修正は本発明の範囲に含まれることに留意されたい。例えば、各構成部などに含まれる機能などは論理的に矛盾しないように再配置可能であり、複数の構成部を１つに組み合わせたり、或いは分割したりすることが可能である。
　例えば、本実施形態において、１枚のプリント基板２３に１つの磁気センサ２２が実装されているが、１枚のプリント基板２３に複数の磁気センサ２２が実装されていてもよく、１枚のプリント基板２３にすべての磁気センサ２２が実装されてもよい。
　磁気センサ２２は、鋼板１５の幅方向（進行方向に垂直な方向）に一列に並んでいてもよいし、鋼板１５の幅方向に複数列で配置してもよい。この場合、上から見て、磁気センサ２２が互いに千鳥配置になるようにすれば、鋼板１５の幅方向全体に対して隙間なく検査ができるので、より好適である。ただし、磁気センサ２２は配線で相互に接続されていることから、複数列で配置する場合には、一列に並べた磁気センサ群を、複数列に並べることが好ましい。一筆書きのように連続してすべての磁気センサ２２を接続できる場合は、そのようにしてもよい。
　また、本実施形態において、制御部１４は、オフライン校正を行う際に、漏洩磁束検出部１２を検出位置から退避させるが、退避させなくてもよい。漏洩磁束検出部１２を検出位置から退避させなくても、通板部１１から鋼板１５を除外させた状態で、増幅器２８のゲイン調整を行えば、本実施形態と同様の効果が得られる。
　また、本実施形態において、制御部１４は、オンライン校正を行う際、感度校正補正値を算出させて、演算部３０のメモリに格納させる校正であるが、オンライン校正における第２の出力値Ｖ２をメモリに格納し、その後のオンライン検査を行う際に感度校正補正値を算出させてもよい。また、制御部１４は感度校正補正値を演算部３０に算出させる校正であるが、制御部１４が感度校正補正値を算出して演算部３０に送信する構成であってもよい。
　また、本実施形態では、制御部１４は、オンライン検査において、同一の校正値となるように調整した第１の出力値Ｖ１を用いて算出した感度校正補正値を、オンライン校正における測定値に乗ずることにより、当該測定値を補正する構成であるが、第１の出力値は同一の校正値となるように調整されていなくてよい。例えば、オフライン校正を行うことなく、オンライン校正において磁気センサ２２から出力される信号の第２の出力値に基づいて、オンライン検査において磁気センサ２２から出力される信号の測定値が補正されてもよい。
　また、本実施形態において、制御部１４が感度校正補正値を算出する構成であるが、制御部１４の制御に基づいて演算部３０が算出してもよい。また、本実施形態において、第１の出力値Ｖ１および感度校正補正値は制御部１４のメモリに格納される構成であるが、演算部３０が有するメモリに格納される構成であってもよい。
　１０　検査装置
　１１　通板部
　１２　漏洩磁束検出部
　１３　調整機構
　１４　制御部
　１５　鋼板
　１６　第１のパスロール
　１７　第２のパスロール
　１８　第３のパスロール
　１９　磁化器
　２０　磁気センサ群
　２１　励磁電源
　２２　磁気センサ
　２３　プリント基板
　２４　校正用配線
　２５　リード線
　２６　交流電源
　２７　信号処理部
　２８　増幅器
　２９　バンドパスフィルタ
　３０　演算部
　３１　ラインＰＬＧ
　３２　感度校正用パルス発生器
　３３　パルス信号切替器
　３４　サーボモータ
　３５　ボールネジ
　３６　架台
　３７　ライン制御装置

Claims (8)

  1. 　校正用の交流電流を通電するための校正用配線近傍にそれぞれ配置された複数の磁気センサを有する鋼板の検査装置の感度校正方法であって、
    　前記検査装置は、
    　複数の磁気センサのそれぞれの第１の出力値を、前記校正用配線への交流電流の通電によりあらかじめ取得し、
    　前記鋼板の所定の部分が通板方向における前記磁気センサの位置の通過前に、前記複数の磁気センサを前記鋼板の漏洩磁束の検出位置から退避させ、前記校正用配線への交流電流の通電を開始し、前記複数の磁気センサのそれぞれの第２の出力値を取得し、
    　前記所定の部分の前記磁気センサの位置の通過後に、前記複数の磁気センサを前記検出位置に変位させ、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値をおよび前記第２の出力値に基づいて補正する
    　感度校正方法。
  2. 　前記校正用配線は、複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される
    　請求項１に記載の感度校正方法。
  3. 　前記複数の磁気センサの各々は、ゲイン調整可能な複数の増幅器に別々に接続され、
    　前記複数の増幅器の各々は、前記複数の磁気センサを前記検出位置から退避させた状態または前記通板部から前記鋼板を除外させた状態の少なくとも一方において、前記複数の増幅器の各々の第１の出力値は同一の校正値となるように、ゲイン調整されている
    　請求項１又は２に記載の感度校正方法。
  4. 　前記検査装置は、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値を、前記第２の出力値で除した値を乗ずることにより補正する
    　請求項１乃至３の何れか一項に記載の感度校正方法。
  5. 　鋼板を通板する通板部と、
    　前記鋼板を磁化する磁化器と、
    　リフトオフ方向に垂直な平面における異なる位置に並び且つ前記磁化器が磁化した前記鋼板に発生する漏洩磁束を検出する複数の磁気センサと、
    　前記複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される校正用配線と、
    　前記複数の磁気センサの、前記鋼板の漏洩磁束の検出位置からの退避と、前記検出位置への変位とを切替可能な調整機構と、
    　前記校正用配線への交流電流の通電および前記調整機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
    　前記制御部は、
    　複数の磁気センサのそれぞれの第１の出力値を、前記校正用配線への交流電流の通電によりあらかじめ取得し、
    　前記通板部により通板される前記鋼板の所定の部分が通板方向における前記磁気センサの位置の通過前に、前記複数の磁気センサを前記鋼板の漏洩磁束の検出位置から退避させ、前記校正用配線への交流電流の通電を開始し、前記複数の磁気センサのそれぞれの第２の出力値を取得し、
    　前記所定の部分の前記磁気センサの位置の通過後に、前記複数の磁気センサを前記検出位置に変位させ、前記複数の磁気センサそれぞれが測定する測定値を、前記第１の出力値をおよび前記第２の出力値に基づいて補正する
    　検査装置。
  6. 　前記校正用配線は、複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される
    　請求項５に記載の検査装置。
  7. 　鋼板を通板する通板部と、
    　前記鋼板を磁化する磁化器と、
    　リフトオフ方向に垂直な平面における異なる位置に並び且つ前記磁化器が磁化した前記鋼板に発生する漏洩磁束を検出する複数の磁気センサと、
    　前記複数の磁気センサそれぞれの感磁部に対して同じ相対位置に配置される校正用配線と、
    　前記校正用配線への交流電流の通電を制御する制御部と、を備える
    　鋼板の検査装置。
  8. 　磁気センサを有し且つ当該磁気センサの近傍に配置される配線が形成された基板と、
    　複数の前記基板を相互接続する一以上の配線と、を備える
    　磁気センサ群。
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