WO2021251199A1 - 比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法 - Google Patents

比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法 Download PDF

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WO2021251199A1
WO2021251199A1 PCT/JP2021/020738 JP2021020738W WO2021251199A1 WO 2021251199 A1 WO2021251199 A1 WO 2021251199A1 JP 2021020738 W JP2021020738 W JP 2021020738W WO 2021251199 A1 WO2021251199 A1 WO 2021251199A1
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liquid
check valve
resistance value
specific resistance
hollow fiber
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PCT/JP2021/020738
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大二郎 安西
尚樹 羽田
和美 大井
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Dic株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
    • B01F23/20—Mixing gases with liquids
    • B01F23/23—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids
    • B01F23/231—Mixing gases with liquids by introducing gases into liquid media, e.g. for producing aerated liquids by bubbling
    • B01F23/23105—Arrangement or manipulation of the gas bubbling devices
    • B01F23/2312—Diffusers
    • B01F23/23124—Diffusers consisting of flexible porous or perforated material, e.g. fabric
    • B01F23/231244—Dissolving, hollow fiber membranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
    • B01D63/02—Hollow fibre modules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F21/00—Dissolving
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/30—Injector mixers
    • B01F25/32—Injector mixers wherein the additional components are added in a by-pass of the main flow
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/71—Feed mechanisms
    • B01F35/717—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer
    • B01F35/71805—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer using valves, gates, orifices or openings

Definitions

  • the present invention relates to a specific resistance value adjusting device for adjusting the specific resistance value of a liquid and a specific resistance value adjusting method.
  • the substrate is cleaned using ultrapure water.
  • ultrapure water if the specific resistance value of ultrapure water is high, static electricity is generated. As a result, dielectric breakdown or fine particles reattach, which has a significant adverse effect on product yield.
  • a method using a hydrophobic hollow fiber membrane module has been proposed. In this method, a gas such as carbon dioxide gas or ammonia gas is dissolved in ultrapure water using a hollow fiber membrane module. Then, ions are generated due to the dissociation equilibrium, and the generated ions lower the resistivity value of the ultrapure water.
  • Patent Document 1 proposes a technique for stabilizing the specific resistance value even if the flow rate fluctuates.
  • a hollow fiber membrane module for generating a small flow rate of gas-added ultrapure water and a bypass tube for passing a large flow rate of ultrapure water are provided. Then, the generated gas-added ultrapure water and the ultrapure water that has passed through the bypass pipe are merged. This makes it possible to easily adjust the specific resistance value of ultrapure water.
  • Patent Document 2 when the flow rate of ultrapure water becomes low, the flow rate of ultrapure water supplied to the hollow fiber membrane module is higher than the flow rate of ultrapure water bypassing the hollow fiber membrane module. It may decrease and the specific resistance value of ultrapure water may increase. Therefore, in Patent Document 2, a technique is proposed in which a plurality of bypass pipes are provided and a shut valve is provided in one or a plurality of bypass pipes. In the technique described in Patent Document 2, when the flow rate of ultrapure water decreases, a part or all of the shut valve is closed.
  • an object of the present invention is to provide a resistivity value adjusting device capable of suppressing an increase in the resistivity value of a liquid even if the flow rate of the supplied liquid becomes low, with a simple configuration.
  • the specific resistance value adjusting device has a liquid phase side region to which a liquid for adjusting the specific resistance value is supplied and a gas phase side to which the adjusting gas for adjusting the specific resistance value is supplied by a hollow thread film.
  • a hollow thread film module divided into regions, a liquid supply pipe communicated with the liquid phase side region to supply the liquid to the liquid phase side region, and a liquid phase side to discharge the liquid from the liquid phase side region.
  • a liquid discharge pipe communicated with the region, a gas supply pipe communicated with the gas phase region to supply the regulated gas to the gas phase region, and a gas phase side to discharge the regulated gas from the gas phase region.
  • a gas discharge pipe communicated with the region, a bypass pipe communicated with the liquid supply pipe and the liquid discharge pipe so as to bypass the hollow thread membrane module, and a bypass pipe provided on the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side. It is provided with a first check valve whose opening degree of the flow path changes according to the differential pressure from the above.
  • the bypass pipe is provided with a first check valve whose opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side.
  • the opening degree of the first check valve becomes small.
  • the pressure loss of the liquid flowing through the bypass pipe increases, so that the flow rate of the liquid supplied to the hollow fiber membrane module decreases with respect to the flow rate of the liquid bypassing the hollow fiber membrane module. Is suppressed.
  • the flow path of the first check valve when the differential pressure between the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side becomes equal to or less than the first operation start pressure, the flow path of the first check valve may start to narrow.
  • the flow rate of the supplied liquid is large, there is no problem that the flow rate of the liquid supplied to the hollow fiber membrane module decreases with respect to the flow rate of the liquid bypassing the hollow fiber membrane module. Further, when the flow rate of the supplied liquid is large, the differential pressure between the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side of the first check valve is large.
  • the first check valve has a main body having a valve seat facing the liquid discharge pipe side, a valve body arranged on the liquid discharge pipe side of the valve seat, and a valve body on the valve seat side. May have a spring that pushes against.
  • the first check valve has a main body having a valve seat facing the liquid discharge pipe side, a valve body arranged on the liquid discharge pipe side of the valve seat, and a valve seat. It has a spring that pushes to the side. Therefore, the degree of expansion and contraction of the spring changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side, and this changes the size of the gap between the valve seat and the valve body. Thereby, the opening degree of the flow path can be appropriately changed according to the differential pressure between the liquid supply pipe side and the liquid discharge pipe side.
  • the bypass pipe has a first bypass pipe and a second bypass pipe arranged in parallel with each other, and the first check valve is arranged in the first bypass pipe, and the second bypass pipe is arranged. It does not have to be placed in.
  • this specific resistance value adjusting device since the first check valve is arranged in the first bypass pipe, it is possible to suppress an increase in the specific resistance value of the liquid even if the flow rate of the supplied liquid becomes low.
  • the first check valve is not arranged in the second bypass pipe, it is possible to suppress a large pressure loss of the liquid flowing through the bypass pipe when the flow path of the first check valve is narrowed. ..
  • the liquid discharge pipe is provided in the first upstream side liquid discharge pipe portion located between the downstream connection portion in which the bypass pipe is connected to the liquid discharge pipe and the hollow fiber membrane module.
  • a second check valve whose opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module side and the opposite side of the hollow fiber membrane module may be further provided.
  • a second check valve in the liquid discharge pipe on the first upstream side changes the opening of the flow path according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module side and the opposite side of the hollow fiber membrane module. Is provided. Therefore, by adjusting the settings of the first check valve and the second check valve, the distribution ratio between the liquid supplied to the hollow fiber membrane module and the liquid bypassing the hollow fiber membrane module can be adjusted. ..
  • the first cracking pressure at which the flow path of the first check valve closes may be the same as the second cracking pressure at which the flow path of the second check valve closes.
  • the first cracking pressure at which the flow path of the first check valve closes is the same as the second cracking pressure at which the flow path of the second check valve closes, it is supplied to the hollow fiber membrane module. It is possible to suppress the bias of the distribution ratio between the liquid and the liquid that bypasses the hollow fiber membrane module.
  • the flow path of the second check valve when the differential pressure between the hollow fiber membrane module side and the side opposite to the hollow fiber membrane module becomes equal to or less than the second operation start pressure, the flow path of the second check valve May start to narrow.
  • the flow rate of the supplied liquid is large, there is no problem that the flow rate of the liquid supplied to the hollow fiber membrane module decreases with respect to the flow rate of the liquid bypassing the hollow fiber membrane module.
  • the differential pressure between the hollow fiber membrane module side of the second check valve and the side opposite to the hollow fiber membrane module is large.
  • the second upstream liquid discharge pipe portion of the liquid discharge pipe located between the hollow thread membrane module and the second check valve and the bypass pipe of the bypass pipe are connected to the liquid supply pipe.
  • Further tubes may be provided.
  • the liquid does not flow into the hollow fiber membrane module, so that the resistivity value of the liquid cannot be adjusted.
  • the pressure of the upstream side bypass pipe portion is transmitted to the second upstream side liquid discharge pipe portion by the pressure transmission pipe, so that the pressure of the second upstream side liquid discharge pipe portion and the upstream side bypass pipe portion are transmitted.
  • the pressure of the part is made uniform. Therefore, it is possible to prevent the first check valve from opening the flow path and the second check valve from closing the flow path.
  • the specific resistance value of the liquid is adjusted by using any of the above specific resistance value adjusting devices.
  • the specific resistance value of the liquid increases even if the flow rate of the supplied liquid becomes low. Can be suppressed.
  • FIG. 1 It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of 1st Embodiment. It is a schematic sectional drawing of the 1st check valve and the 2nd check valve. It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of 2nd Embodiment. It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of 3rd Embodiment. It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of 4th Embodiment. It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of the comparative example 1.
  • FIG. It It is a graph which shows the measurement result of Example 1.
  • FIG. It is a graph which shows the measurement result of Example 1.
  • FIG. 1 It is a schematic sectional drawing of the 1st check valve and the 2nd check valve. It is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of 2nd Embodiment. It is a schematic diagram
  • FIG. 1 is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of the first embodiment.
  • the specific resistance value adjusting device 1A of the present embodiment includes a hollow thread film module 2, a liquid supply pipe 3, a liquid discharge pipe 4, a gas supply pipe 5, and a gas discharge pipe 6.
  • a bypass pipe 7 and a first check valve 8 are provided.
  • the hollow fiber membrane module 2 dissolves the adjusting gas G for adjusting the specific resistance value in the liquid L for adjusting the specific resistance value.
  • the hollow fiber membrane module 2 includes a plurality of hollow fiber membranes 21 and a housing 22 that houses these hollow fiber membranes 21 inside.
  • the liquid used as the liquid L is not particularly limited, but may be, for example, pure water or ultrapure water for cleaning semiconductors, liquid crystals, and the like.
  • the specific resistance value of pure water / ultrapure water is 0.1 M ⁇ ⁇ cm or more. Therefore, the specific resistance value of the liquid L may be, for example, in the range of 0.1 M ⁇ ⁇ cm or more, preferably 15.0 M ⁇ ⁇ cm or more, and more preferably 17.5 M ⁇ ⁇ cm or more.
  • the upper limit of the specific resistance value of the liquid L is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 18.248 M ⁇ ⁇ cm or less.
  • the temperature of the liquid L is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 5 ° C. or higher, preferably 10 ° C. or higher, more preferably 20 ° C. or higher, and 60 ° C. or lower, preferably 40 ° C. or lower, more preferably. It may be in the range of 30 ° C. or lower.
  • the supply pressure of the liquid L is not particularly limited, but may be, for example, 0.01 MPa or more, preferably 0.1 MPa or more, more preferably 0.2 PMa or more, and 1.0 MPa or less, preferably 0. It may be in the range of 4 MPa or less, more preferably 0.3 MPa or less.
  • the gas used as the adjusting gas G is not particularly limited, but may be, for example, carbon dioxide gas or ammonia gas.
  • the temperature of the adjusting gas G is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 0 ° C. or higher, preferably 20 ° C. or higher, more preferably 25 ° C. or higher, and 60 ° C. or lower, preferably 50 ° C. or lower, more preferably. May be in the range of 30 ° C. or lower.
  • the supply pressure of the adjusting gas G is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 0.01 MPa or more, preferably 0.05 MPa or more, and 0.5 MPa or less, preferably 0.2 MPa or less, more preferably 0. It may be in the range of .15 MPa or less.
  • the hollow fiber membrane 21 is a hollow fiber membrane that allows gas to pass through but does not allow liquid to pass through.
  • the material, film shape, film morphology, etc. of the hollow fiber membrane 21 are not particularly limited.
  • the housing 22 is a closed container that houses the hollow fiber membrane 21 inside.
  • the membrane area of the hollow fiber membrane module 1 can be appropriately adjusted depending on the treatment flow rate (flow rate of the liquid L), and is not particularly limited, but is, for example, in the range of 0.1 m 2 or more and 120 m 2 or less. good.
  • the range is 0.1 m 2 or more and 4.0 m 2 or less.
  • may be a more high flow treatment e.g., 120 ⁇ 4000L / min
  • the hollow fiber membrane module 2 is divided into a liquid phase side region and a gas phase side region by the hollow fiber membrane 21.
  • the liquid phase side region is a region in the hollow fiber membrane module 2 to which the liquid L for adjusting the specific resistance value is supplied.
  • the gas phase side region is a region in the hollow fiber membrane module 2 to which the adjusting gas G for adjusting the specific resistance value is supplied.
  • the types of the hollow fiber membrane module 2 include an internal perfusion type and an external perfusion type. In this embodiment, it may be either an internal perfusion type or an external perfusion type.
  • the inside (inner surface side) of the hollow fiber membrane 21 is the gas phase side region
  • the outside (outer surface side) of the hollow fiber membrane 21 is the liquid phase side region.
  • the inside (inner surface side) of the hollow fiber membrane 21 is the liquid phase side region, and the outside (outer surface side) of the hollow fiber membrane 21 is the gas phase side region.
  • the housing 22 is formed with a liquid supply port 22A, a liquid discharge port 22B, a gas supply port 22C, and a gas discharge port 22D.
  • the liquid supply port 22A is an opening formed in the housing 22 for supplying the liquid L to the liquid phase side region.
  • the liquid discharge port 22B is an opening formed in the housing 22 for discharging the liquid L from the liquid phase side region.
  • the gas supply port 22C is an opening formed in the housing 22 for supplying the adjusting gas G to the gas phase side region.
  • the gas discharge port 22D is an opening formed in the housing 22 for discharging the adjusted gas G from the gas phase side region. Therefore, the liquid supply port 22A and the liquid discharge port 22B communicate with the liquid phase side region. Further, the gas supply port 22C and the gas discharge port 22D communicate with the gas phase side region.
  • the positions of the liquid supply port 22A, the liquid discharge port 22B, the gas supply port 22C, and the gas discharge port 22D are not particularly limited.
  • the gas discharge port 22D is preferably formed at the lower part of the hollow fiber membrane module 2, and more preferably formed at the lowermost end of the gas phase side region.
  • the lower part of the hollow fiber membrane module 2 means the lower part of the hollow fiber membrane module 2 in the vertical direction when the resistivity value adjusting device 1A is installed.
  • the lowermost end of the gas phase side region means the lowermost end in the vertical direction of the vapor phase side region when the resistivity value adjusting device 1A is installed.
  • the liquid supply pipe 3 communicates with the liquid phase side region and supplies the liquid L to the liquid phase side region.
  • the liquid supply pipe 3 is a tubular member having a flow path (not shown) formed inside.
  • the liquid supply pipe 3 is connected to the liquid supply port 22A.
  • the material, characteristics (hardness, elasticity, etc.), shape, dimensions, etc. of the liquid discharge pipe 4 are not particularly limited.
  • the liquid discharge pipe 4 communicates with the liquid phase side region and discharges the liquid L from the liquid phase side region.
  • the liquid discharge pipe 4 is a tubular member having a flow path (not shown) formed inside.
  • the liquid discharge pipe 4 is connected to the liquid discharge port 22B.
  • the material, characteristics (hardness, elasticity, etc.), shape, dimensions, etc. of the liquid discharge pipe 4 are not particularly limited.
  • the gas supply pipe 5 communicates with the gas phase side region and supplies the adjusting gas G to the gas phase side region.
  • the gas supply pipe 5 is a tubular member having a flow path (not shown) formed inside.
  • the gas supply pipe 5 is connected to the gas supply port 22C.
  • the material, characteristics (hardness, elasticity, etc.), shape, dimensions, etc. of the gas supply pipe 5 are not particularly limited.
  • the gas supply pipe 5 is provided with a pressure adjusting valve 10 and a pressure gauge P.
  • the pressure adjusting valve 10 adjusts the gas pressure of the adjusting gas passing through the pressure adjusting valve 10. That is, the gas pressure of the adjusting gas G in the gas phase side region is adjusted by the pressure adjusting valve 10.
  • various known pressure regulating valves can be adopted.
  • the pressure gauge P measures the gas pressure of the adjusting gas G flowing through the gas supply pipe 5.
  • the pressure gauge P is provided on the downstream side of the pressure gauge P in the gas supply pipe 5, that is, on the gas phase side region side with respect to the pressure gauge P.
  • various known pressure gauges can be adopted.
  • the gas pressure of the adjusting gas G passing through the pressure adjusting valve 10 that is, the gas pressure of the adjusting gas G in the gas phase side region is set to a predetermined value.
  • the pressure adjusting valve 10 is controlled based on the gas pressure of the adjusting gas G measured by the pressure gauge P so as to be (or within a predetermined range).
  • the gas discharge pipe 6 communicates with the gas phase side region and discharges the adjusted gas G from the gas phase side region.
  • the gas discharge pipe 6 is a tubular member having a flow path (not shown) formed inside.
  • the gas discharge pipe 6 is connected to the gas discharge port 22D.
  • the material, characteristics (hardness, elasticity, etc.), shape, dimensions, etc. of the gas discharge pipe 6 are not particularly limited.
  • the gas discharge pipe 6 is provided with a leak portion 11.
  • the leaking portion 11 leaks the adjusting gas G in the gas phase side region.
  • the leak portion 11 is a capillary tubular member having a narrow flow path (not shown) formed inside.
  • the adjusting gas G always leaks from the leaking portion 11.
  • the bypass pipe 7 communicates with the liquid supply pipe 3 and the liquid discharge pipe 4 so as to bypass the hollow fiber membrane module 2.
  • the bypass pipe 7 is a tubular member having a flow path formed inside. One end of the bypass pipe 7 is connected to the liquid supply pipe 3 on the upstream side of the hollow fiber membrane module 2.
  • the portion where the bypass pipe 7 is connected to the liquid supply pipe 3 is referred to as an upstream connection portion 12.
  • the other end of the bypass pipe 7 is connected to the liquid discharge pipe 4 on the downstream side of the hollow fiber membrane module 2.
  • the portion where the bypass pipe 7 is connected to the liquid discharge pipe 4 is referred to as a downstream connection portion 13.
  • the portion of the liquid discharge pipe 4 located between the downstream side connection portion 13 and the hollow fiber membrane module 2 is referred to as a first upstream side liquid discharge pipe portion 4A.
  • a flow rate adjusting valve 9 is provided in the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A.
  • the flow rate adjusting valve 9 adjusts the flow rate of the liquid L passing through the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A, so that the liquid L supplied to the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2 are bypassed.
  • the distribution ratio with (the liquid L supplied to the bypass pipe 7) is adjusted.
  • the flow control valve 9 supplies the hollow fiber membrane module 2 so that, for example, the flow rate of the liquid L supplied to the hollow fiber membrane module 2 is smaller than the flow rate of the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2.
  • the distribution ratio of the liquid L to be generated and the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2 is adjusted.
  • the flow rate adjusting valve 9 includes a flow path through which the liquid passes (not shown) and a valve body (not shown) that opens and closes the flow path and adjusts the opening degree of the flow path.
  • various known flow rate adjusting valves can be adopted, and for example, a needle valve can be adopted.
  • the flow rate adjusting valve 9 may be attached to any position as long as the distribution ratio between the liquid L supplied to the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2 can be adjusted.
  • the flow rate adjusting valve 9 may be attached to a portion of the liquid discharge pipe 4 located between the upstream connection portion 12 and the hollow fiber membrane module 2, or may be attached to the bypass pipe 7.
  • the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 bypasses the liquid L flowing to the liquid discharge pipe 4 through the hollow thread film module 2 and the hollow thread film module 2 at the upstream connection portion 12. It is distributed to the liquid L flowing from the bypass pipe 7 to the liquid discharge pipe 4. Further, the liquid L distributed at the upstream side connecting portion 12 merges at the downstream side connecting portion 13.
  • the flow rate of the liquid L flowing through the hollow fiber membrane module 2 to the liquid discharge pipe 4 is larger than the flow rate of the liquid L flowing around the hollow fiber membrane module 2 and flowing to the liquid discharge pipe 4.
  • the inner diameter (flow path diameter) of the bypass pipe 7 may be set.
  • the first check valve 8 is a check valve provided on the bypass pipe 7 and whose opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the portion of the bypass pipe 7 located between the upstream side connection portion 12 and the first check valve 8 is referred to as the upstream side bypass pipe portion 7A, and the downstream side connection portion 13 and the first check valve 8 are used.
  • the portion of the bypass pipe 7 located between the two is referred to as the downstream side bypass pipe portion 7B.
  • the upstream bypass pipe portion 7A is located on the liquid supply pipe 3 side of the first check valve 8
  • the downstream bypass pipe portion 7B is located on the liquid discharge pipe 4 side of the first check valve 8.
  • the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side is the difference between the pressure of the liquid L in the upstream side bypass pipe portion 7A and the pressure of the liquid L in the downstream side bypass pipe portion 7B. .. Since the liquid L flows from the liquid supply pipe 3 side to the liquid discharge pipe 4, the pressure on the liquid supply pipe 3 side is higher than the pressure on the liquid discharge pipe 4 side.
  • the first check valve 8 is set with a first cracking pressure that closes the flow path of the first check valve 8. That is, when the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side becomes equal to or less than the first cracking pressure, the flow path of the first check valve 8 closes, and the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side become When the differential pressure of the first check valve becomes larger than the first cracking pressure, the flow path of the first check valve 8 opens.
  • the first cracking pressure is a predetermined pressure value.
  • the first cracking pressure is not particularly limited, but may be, for example, 0.01 kPa or more, preferably 0.1 kPa or more, more preferably 1 kPa or more, and 100 kPa or less, preferably 50 kPa or less. , More preferably in the range of 20 kPa or less.
  • the first check valve 8 is set with a first operation start pressure at which the flow path of the first check valve 8 begins to narrow. That is, when the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side is larger than the first operation start pressure, the flow path of the first check valve 8 is maintained in a fully open state, and the liquid supply pipe 3 side and the flow path are kept fully open. When the differential pressure with the liquid discharge pipe 4 side becomes equal to or less than the first operation start pressure, the flow path of the first check valve 8 becomes narrow.
  • the first operation start pressure is a predetermined pressure value.
  • the first operation starting pressure is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 1 kPa or more, preferably 5 kPa or more, more preferably 10 kPa or more, and 200 kPa or less, preferably 150 kPa or less, more preferably. May be in the range of 100 kPa or less.
  • the cross-sectional area of the flow path when the first check valve 8 is fully opened is not particularly limited, but may be, for example, 1/16 inch or more, preferably 1/8 inch or more, and 2 inches or less. , Preferably in the range of 1 inch or less.
  • the Cv value of the first check valve 8 is not particularly limited, but is, for example, in the range of 0.1 or more and 10 or less.
  • the Cv value is the volume (flow rate) of the liquid L passing through the first check valve 8 per unit time when the first check valve 8 is fully opened.
  • the first check valve 8 may include, for example, a main body 81, a valve body 82, and a spring 83, as shown in FIG.
  • the main body 81 has a flow path 85 in which the liquid L flows through the flow path of the bypass pipe 7, and a valve seat 86 that forms a part of the flow path 85 and serves as a seat surface of the valve body 82.
  • the valve seat 86 is directed to the liquid discharge pipe 4 side (downstream side bypass pipe portion 7B side) in the flow direction of the liquid L. That is, the valve seat 86 is formed in a funnel shape (conical cone shape, tapered surface shape) extending toward the liquid discharge pipe 4 side (downstream side bypass pipe portion 7B side).
  • the valve body 82 is arranged on the liquid discharge pipe 4 side (downstream side bypass pipe portion 7B side) of the valve seat 86 in the flow path 85 of the main body 81.
  • the valve body 82 has a groove formed on the outer peripheral surface facing the valve seat 86 and an O-ring fitted in the groove so that the flow path 85 can be closed in close contact with the valve seat 86. is doing.
  • the spring 83 is a member that pushes the valve body 82 toward the valve seat 86. Then, the spring 83 is inserted between the valve body 82 and the support member 87 in a compressed state so as to push the valve body 82 toward the valve seat 86 with respect to the support member 87 fixed to the main body 81. ing.
  • the first cracking pressure at which the flow path 85 of the first check valve 8 closes and the first operation start pressure at which the flow path of the first check valve 8 begins to narrow are determined by the spring multiplier of the spring 83 and the like.
  • the flow rate of the liquid L supplied to the specific resistance value adjusting device 1A is large, and the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side is the first reverse.
  • the flow path of the first check valve 8 is fully opened. This state is called the fully open state.
  • the fully open state the flow path of the first check valve 8 does not become wide or narrow even if the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side changes.
  • the state in which the spring 83 is contracted and the flow path 85 of the first check valve 8 is fully opened is the fully opened state.
  • the flow rate of the liquid L supplied to the specific resistance value adjusting device 1A becomes small, and the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side is equal to or less than the first operation start pressure of the first check valve 8. Then, the flow path of the first check valve 8 begins to narrow. This state is called a half-open state.
  • the state in which the spring 83 extends from the fully open state and the flow path 85 is maintained in the open state while the valve body 82 approaches the valve seat 86 is the half-open state.
  • the opening degree of the flow path of the first check valve 8 changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the flow rate of the liquid L supplied to the specific resistance value adjusting device 1A becomes smaller, and the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side is equal to or less than the first check valve pressure of the first check valve 8. Then, the flow path of the first check valve 8 is closed. This state is called the closed state.
  • the first check valve 8 shown in FIG. 2 the state in which the spring 83 is extended, the valve body 82 is in close contact with the valve seat 86, and the flow path 85 is closed is the closed state.
  • the adjusting gas is passed through the gas phase side region while the liquid L is passed through the liquid phase side region, and the adjusting gas G is dissolved in the liquid L. Then, the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved and the liquid L in which the hollow fiber membrane module 2 is bypassed are mixed to adjust the specific resistance value of the liquid L.
  • the liquid L is supplied to the liquid supply pipe 3 and the adjustment gas G is supplied to the gas supply pipe 5. Then, the liquid L is supplied from the liquid supply pipe 3 to the liquid phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the liquid discharge pipe 4. Further, the liquid L branches from the liquid supply pipe 3 at the upstream connection portion 12, passes through the bypass pipe 7 so as to bypass the hollow fiber membrane module 2, and is discharged to the liquid discharge pipe 4.
  • the adjusting gas G is supplied from the gas supply pipe 5 to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the gas discharge pipe 6. In the hollow fiber membrane module 2, the adjusting gas G supplied to the gas phase side region is dissolved in the liquid L supplied to the liquid phase side region by passing through the hollow fiber membrane 21.
  • the opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the flow path of the first check valve 8 becomes large. Become wider.
  • the flow rate of the supplied liquid L becomes small and the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side of the first check valve 8 becomes small, the flow path of the first check valve 8 becomes small. It gets narrower.
  • the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved by the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L that has passed through the bypass pipe 7 are mixed at the downstream connection portion 13. Thereby, the specific resistance value of the liquid L can be easily adjusted regardless of the flow rate of the liquid L.
  • the opening of the flow path of the bypass pipe 7 changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • a valve 8 is provided.
  • the opening degree of the first check valve 8 becomes small.
  • the pressure loss of the liquid L flowing through the bypass pipe 7 becomes large, so that the pressure loss of the liquid L is supplied to the hollow fiber membrane module 2 with respect to the flow rate of the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2. The decrease in the flow rate of the liquid L is suppressed.
  • the first check valve 8 has a main body 81 having a valve seat 86 directed to the liquid discharge pipe 4 side and a valve arranged on the liquid discharge pipe 4 side of the valve seat 86. It has a body 82 and a spring 83 that pushes the valve body 82 toward the valve seat 86. Therefore, the degree of expansion and contraction of the spring 83 changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4, and thereby the size of the gap between the valve seat 86 and the valve body 82 changes. .. Thereby, the opening degree of the flow path can be appropriately changed according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the second embodiment is basically the same as the first embodiment, and differs from the first embodiment in that the bypass pipe has the first bypass pipe and the second bypass pipe. Therefore, in the following, only the matters different from the first embodiment will be described, and the description of the same matters as the first embodiment will be omitted.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of the second embodiment.
  • the specific resistance value adjusting device 1B of the present embodiment includes a hollow thread film module 2, a liquid supply pipe 3, a liquid discharge pipe 4, a gas supply pipe 5, and a gas discharge pipe 6.
  • a bypass pipe 7 and a first check valve 8 are provided.
  • the bypass pipe 7 has a first bypass pipe 71 and a second bypass pipe 72 arranged in parallel with each other.
  • the first bypass pipe 71 and the second bypass pipe 72 may be arranged in parallel with each other in all the regions between the upstream side connection portion 12 and the downstream side connection portion 13, and the upstream side connection portion 12 and the downstream side connection portion 12 and the downstream side connection portion 12 may be arranged in parallel with each other. They may be arranged in parallel with each other in a part of the area between the side connecting portion 13 and the side connecting portion 13.
  • the first bypass pipe 71 and the second bypass pipe 72 are arranged in parallel with each other in a part of the region between the upstream side connecting portion 12 and the downstream side connecting portion 13. It is explained as.
  • the first bypass pipe 71 and the second bypass pipe 72 are basically the same as the bypass pipe 7 of the first embodiment, but the first check valve 8 is arranged in the first bypass pipe 71. It is not arranged in the second bypass pipe 72. Therefore, the liquid L supplied to the first bypass pipe 71 flows to the liquid discharge pipe 4 through the first check valve 8, but the liquid L supplied to the second bypass pipe 72 is the first. It flows to the liquid discharge pipe 4 without passing through the check valve 8.
  • the adjusting gas is passed through the gas phase side region while the liquid L is passed through the liquid phase side region, and the adjusting gas G is dissolved in the liquid L. Then, the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved and the liquid L in which the hollow fiber membrane module 2 is bypassed are mixed to adjust the specific resistance value of the liquid L.
  • the liquid L is supplied to the liquid supply pipe 3 and the adjustment gas G is supplied to the gas supply pipe 5. Then, the liquid L is supplied from the liquid supply pipe 3 to the liquid phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the liquid discharge pipe 4. Further, the liquid L branches from the liquid supply pipe 3 at the upstream connection portion 12, passes through the first bypass pipe 71 or the second bypass pipe 72 so as to bypass the hollow fiber membrane module 2, and reaches the liquid discharge pipe 4. It is discharged.
  • the adjusting gas G is supplied from the gas supply pipe 5 to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the gas discharge pipe 6. In the hollow fiber membrane module 2, the adjusting gas G supplied to the gas phase side region is dissolved in the liquid L supplied to the liquid phase side region by passing through the hollow fiber membrane 21.
  • the flow rate of the liquid L to be supplied is adjusted according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the opening degree of the flow path changes accordingly.
  • the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved by the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L that has passed through the first bypass pipe 71 or the second bypass pipe 72 are mixed at the downstream connection portion 13. Thereby, the specific resistance value of the liquid L can be easily adjusted regardless of the flow rate of the liquid L.
  • the first check valve 8 is arranged in the first bypass pipe 71, the liquid L is supplied even if the flow rate of the supplied liquid L becomes low. It is possible to suppress an increase in the specific resistance value.
  • the first check valve 8 is not arranged in the second bypass pipe 72, when the flow path of the first check valve 8 becomes narrower, the bypass pipe 7 (first bypass pipe 71 and second) It is possible to suppress an increase in the pressure loss of the liquid L flowing through the bypass pipe 72).
  • the third embodiment is basically the same as the first embodiment, and differs from the first embodiment in that a second check valve is provided. Therefore, in the following, only the matters different from the first embodiment will be described, and the description of the same matters as the first embodiment will be omitted.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of the third embodiment.
  • the specific resistance value adjusting device 1C of the present embodiment includes a hollow thread film module 2, a liquid supply pipe 3, a liquid discharge pipe 4, a gas supply pipe 5, and a gas discharge pipe 6.
  • a bypass pipe 7, a first check valve 8, and a second check valve 14 are provided.
  • the second check valve 14 is provided in the liquid discharge pipe portion 4A on the first upstream side, and the opening degree of the flow path is increased according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2. It is a changing check valve.
  • the portion of the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A located between the hollow thread film module 2 and the second check valve 14 is referred to as the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B, and the downstream side connection portion.
  • the portion of the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A located between the 13 and the second check valve 14 is referred to as the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C.
  • the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B is located on the hollow fiber membrane module 2 side of the second check valve 14, and the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C is the liquid discharge pipe 4 of the second check valve 14. Located on the side. Therefore, the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 is the pressure of the liquid L in the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B and the pressure in the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C. It becomes the difference from the pressure of the liquid L of. Since the liquid L flows from the hollow fiber membrane module 2 side to the liquid discharge pipe 4 side, the pressure on the hollow fiber membrane module 2 side is higher than the pressure on the opposite side of the hollow fiber membrane module 2.
  • the second check valve 14 is set with a second cracking pressure that closes the flow path of the second check valve 14. That is, when the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 becomes equal to or less than the second cracking pressure, the flow path of the second check valve 14 closes, and the hollow fiber membrane module 2 side and the hollow fiber membrane module 2 side are hollow. When the differential pressure with the opposite side of the filament membrane module 2 becomes larger than the second cracking pressure, the flow path of the second check valve 14 opens.
  • the second cracking pressure is a predetermined pressure value.
  • the second cracking pressure may be the same as the first cracking pressure at which the flow path of the first check valve 8 is closed.
  • the second cracking pressure is not particularly limited, but may be, for example, 0.01 kPa or more, preferably 0.1 kPa or more, more preferably 1 kPa or more, and 100 kPa or less, preferably 50 kPa or less. , More preferably, it may be in the range of 20 kPa or less.
  • the second check valve 14 is set with a second operation start pressure at which the flow path of the second check valve 14 begins to narrow. That is, when the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 is larger than the second operation start pressure, the flow path of the second check valve 14 is held in a fully open state, and the hollow fiber When the differential pressure between the membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 becomes equal to or less than the second operation start pressure, the flow path of the second check valve 14 becomes narrow.
  • the second operation start pressure is a predetermined pressure value.
  • the second operation start pressure may be the same as the first operation start pressure at which the flow path of the first check valve 8 begins to narrow.
  • the second operation starting pressure is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 1 kPa or more, preferably 5 kPa or more, more preferably 10 kPa or more, and 200 kPa or less, preferably 150 kPa or less, more preferably. May be in the range of 100 kPa or less.
  • the cross-sectional area of the flow path when the second check valve 14 is fully opened, the pressure loss of the liquid L in the second check valve 14, and the like may be the same as those of the first check valve 8.
  • the second check valve 14 may include, for example, a main body 141, a valve body 142, and a spring 143, as shown in FIG.
  • the main body 141 has a flow path 145 in which the liquid L flows through the flow path of the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A, and a valve seat that forms a part of the flow path 145 and serves as a seat surface of the valve body 142. It has 146 and.
  • the valve seat 146 is directed to the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C side in the flow direction of the liquid L. That is, the valve seat 146 is formed in a funnel shape (conical cone shape, tapered surface shape) extending toward the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C side.
  • the valve body 142 is arranged on the third upstream side liquid discharge pipe portion 4C side of the valve seat 146 in the flow path 145 of the main body 141.
  • the valve body 142 has a groove formed on the outer peripheral surface facing the valve seat 146 and an O-ring fitted in the groove so that the flow path 145 can be closed in close contact with the valve seat 146. is doing.
  • the spring 143 is a member that pushes the valve body 142 toward the valve seat 146. Then, the spring 143 has the valve body 142 and the support member 147 in a compressed state so as to push the valve body 142 toward the valve seat 146 with respect to the support member 147 fixed to the valve body 142 and the main body 141. It is inserted in between. In this case, the second cracking pressure at which the flow path 145 of the second check valve 14 closes and the second operation start pressure at which the flow path of the second check valve 14 begins to narrow are determined by the spring multiplier of the spring 143 and the like.
  • the adjusting gas is passed through the gas phase side region while the liquid L is passed through the liquid phase side region, and the adjusting gas G is dissolved in the liquid L. Then, the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved and the liquid L in which the hollow fiber membrane module 2 is bypassed are mixed to adjust the specific resistance value of the liquid L.
  • the liquid L is supplied to the liquid supply pipe 3 and the adjustment gas G is supplied to the gas supply pipe 5. Then, the liquid L is supplied from the liquid supply pipe 3 to the liquid phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the liquid discharge pipe 4. Further, the liquid L branches from the liquid supply pipe 3 at the upstream connection portion 12, passes through the bypass pipe 7 so as to bypass the hollow fiber membrane module 2, and is discharged to the liquid discharge pipe 4.
  • the adjusting gas G is supplied from the gas supply pipe 5 to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the gas discharge pipe 6. In the hollow fiber membrane module 2, the adjusting gas G supplied to the gas phase side region is dissolved in the liquid L supplied to the liquid phase side region by passing through the hollow fiber membrane 21.
  • the opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side.
  • the flow path of the first check valve 8 becomes large. Become wider.
  • the flow rate of the supplied liquid L becomes small and the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4 side of the first check valve 8 becomes small, the flow path of the first check valve 8 becomes small. It gets narrower.
  • the flow path is opened according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2.
  • the degree changes. For example, when the flow rate of the supplied liquid L becomes large and the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side of the second check valve 14 and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 becomes large, the second check valve 14 becomes large. The flow path of is widened. On the other hand, when the flow rate of the supplied liquid L becomes small and the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side of the second check valve 14 and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2 becomes small, the second check valve 14 The flow path of is narrowed.
  • the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved by the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L that has passed through the bypass pipe 7 are mixed at the downstream connection portion 13. Thereby, the specific resistance value of the liquid L can be easily adjusted regardless of the flow rate of the liquid L.
  • the liquid flows through the first upstream side liquid discharge pipe portion 4A according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2.
  • a second check valve 14 that changes the opening degree of the road is provided. Therefore, by adjusting the settings of the first check valve 8 and the second check valve 14, the distribution ratio of the liquid L supplied to the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2 Can be adjusted.
  • the hollow fiber membrane It is possible to suppress a bias in the distribution ratio between the liquid L supplied to the module 2 and the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2.
  • the fourth embodiment is basically the same as the third embodiment, and differs from the third embodiment in that a pressure transmission pipe is provided. Therefore, in the following, only the matters different from the third embodiment will be described, and the description of the same matters as the third embodiment will be omitted.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of the specific resistance value adjusting device of the fourth embodiment.
  • the specific resistance value adjusting device 1D of the present embodiment includes a hollow thread film module 2, a liquid supply pipe 3, a liquid discharge pipe 4, a gas supply pipe 5, and a gas discharge pipe 6.
  • a bypass pipe 7, a first check valve 8, a second check valve 14, and a pressure transmission pipe 15 are provided.
  • the pressure transmission tube 15 is a tubular member having a flow path formed inside. One end of the pressure transmission pipe 15 is connected to the second upstream liquid discharge pipe portion 4B. The other end of the pressure transmission pipe 15 is connected to the upstream bypass pipe portion 7A. That is, the pressure transmission pipe 15 communicates with the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B and the upstream side bypass pipe portion 7A, and transmits the pressure of the upstream side bypass pipe portion 7A to the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B. .. In this case, the pressure transmission pipe 15 transmits the pressure of the upstream side bypass pipe portion 7A to the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B, but between the upstream side bypass pipe portion 7A and the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B.
  • the cross-sectional area of the pressure transmission pipe 15 is preferably smaller than the cross-sectional area of the upstream bypass pipe portion 7A or the second upstream liquid discharge pipe portion 4B.
  • the cross-sectional areas of the pressure transmission pipe 15, the upstream side bypass pipe portion 7A and the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B are the pressure transmission pipe 15, the upstream side bypass pipe portion 7A and the second upstream side liquid discharge pipe portion. It is the area of the cross section orthogonal to each flow path of 4B, and is the smallest cross-sectional area of each of the pressure transmission pipe 15, the upstream side bypass pipe portion 7A, and the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B.
  • the pressure transmission pipe 15 may have any configuration as long as the pressure of the upstream bypass pipe portion 7A can be transmitted to the second upstream liquid discharge pipe portion 4B.
  • the cross-sectional area of the pressure transmission pipe 15 may be, for example, 0.2 times or 0.04 times the cross-sectional area of the upstream side bypass pipe portion 7A or the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B. , 0.008 times. Further, the cross-sectional area of the pressure transmission tube 15 may be, for example, 1.5 mm 2 , 3.0 mm 2 , or 10 mm 2 .
  • the inner diameter of the pressure transmission pipe 15 is, for example, the upstream side bypass pipe portion 7A or the second upstream side. It may be 0.5 times, 0.2 times, or 0.09 times the inner diameter of the liquid discharge pipe portion 4B. Further, the inner diameter of the pressure transmission tube 15 may be, for example, 2.0 mm, 3.0 mm, or 4.0 mm.
  • the inner diameters of the pressure transmission pipe 15, the upstream bypass pipe 7A and the second upstream liquid discharge pipe 4B are the pressure transmission pipe 15, the upstream bypass pipe 7A and the second upstream liquid discharge pipe 4B, respectively. It is the inner diameter of the cross section orthogonal to the flow path of the above, and is the smallest inner diameter of each of the pressure transmission pipe 15, the upstream side bypass pipe portion 7A, and the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B.
  • the adjusting gas is passed through the gas phase side region while the liquid L is passed through the liquid phase side region, and the adjusting gas G is dissolved in the liquid L. Then, the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved and the liquid L in which the hollow fiber membrane module 2 is bypassed are mixed to adjust the specific resistance value of the liquid L.
  • the liquid L is supplied to the liquid supply pipe 3 and the adjustment gas G is supplied to the gas supply pipe 5. Then, the liquid L is supplied from the liquid supply pipe 3 to the liquid phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the liquid discharge pipe 4. Further, the liquid L branches from the liquid supply pipe 3 at the upstream connection portion 12, passes through the bypass pipe 7 so as to bypass the hollow fiber membrane module 2, and is discharged to the liquid discharge pipe 4.
  • the adjusting gas G is supplied from the gas supply pipe 5 to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and discharged to the gas discharge pipe 6. In the hollow fiber membrane module 2, the adjusting gas G supplied to the gas phase side region is dissolved in the liquid L supplied to the liquid phase side region by passing through the hollow fiber membrane 21.
  • the pressure transmission pipe 15 is a second upstream side liquid discharge pipe portion 4B arranged on the upstream side of the first check valve 8 and an upstream side bypass pipe arranged on the upstream side of the second check valve 14. It is connected to the unit 7A. Therefore, the pressure on the liquid supply pipe 3 side of the first check valve 8 and the pressure on the hollow fiber membrane module 2 side of the second check valve 14 are made uniform.
  • the opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the liquid supply pipe 3 side and the liquid discharge pipe 4, and the liquid discharge on the first upstream side.
  • the second check valve 14 provided in the pipe portion 4A the opening degree of the flow path changes according to the differential pressure between the hollow fiber membrane module 2 side and the opposite side of the hollow fiber membrane module 2.
  • the liquid L in which the adjusting gas G is dissolved by the hollow fiber membrane module 2 and the liquid L that has passed through the bypass pipe 7 are mixed at the downstream connection portion 13. Thereby, the specific resistance value of the liquid L can be easily adjusted regardless of the flow rate of the liquid L.
  • the flow rate of the liquid L supplied to the hollow fiber membrane module 2 is set to be smaller than the flow rate of the liquid L bypassing the hollow fiber membrane module 2, when the flow rate of the supplied liquid L becomes low.
  • the first check valve 8 may open the flow path and the second check valve 14 may close the flow rate. In such a case, since the liquid L does not flow into the hollow fiber membrane module 2, the specific resistance value of the liquid L cannot be adjusted.
  • the pressure of the upstream side bypass pipe portion 7A is transmitted to the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B by the pressure transmission pipe 15, so that the second upstream side liquid discharge pipe portion 4B is transmitted.
  • the pressure of the portion 4B and the pressure of the upstream bypass pipe portion 7A are made uniform. Therefore, it is possible to prevent the first check valve 8 from opening the flow path and the second check valve 14 from closing the flow path.
  • first check valve and the second check valve are on the upstream side and the downstream side.
  • Any valve may be used as long as it is a valve whose opening degree of the flow path changes according to the differential pressure.
  • each of the bypass pipe, the first bypass pipe, and the second bypass pipe may be composed of one pipe or a plurality of pipes.
  • the first check valve 8 is used in the specific resistance value adjusting device 1A according to the first embodiment.
  • the bypass pipe 7 provided may be composed of a plurality of pipes arranged in parallel with each other.
  • the first bypass pipe 71 provided with the first check valve 8 may be composed of a plurality of pipes arranged in parallel with each other.
  • the second bypass pipe 72 to which the check valve 8 is not provided may be composed of a plurality of pipes arranged in parallel with each other.
  • each of the above embodiments may be combined in part or in whole as appropriate.
  • Comparative Example 1 In Comparative Example 1, the specific resistance value of the liquid L was adjusted by using the specific resistance value adjusting device 101 shown in FIG.
  • the resistivity value adjusting device 101 of Comparative Example 1 is basically the same as that of the first embodiment, and only in that the first check valve is not provided, the resistivity value adjusting device 101 of the first embodiment shown in FIG. 1 is adjusted. It is different from the device 1A.
  • liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 ultrapure water having a specific resistance value of 18.2 M ⁇ ⁇ cm at 25 ° C. was used.
  • the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 was varied stepwise between 120 and 5 L / min.
  • the water pressure of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 was set to 0.3 MPa.
  • Carbon dioxide gas was used as the adjusting gas G supplied to the gas supply pipe 5.
  • a 7 m 3 carbon dioxide gas cylinder was used as the carbon dioxide gas supply source.
  • a two-stage pressure regulator and a pressure regulating valve were used as the pressure regulating valve 10, and the gas pressure of the adjusting gas G supplied to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2 was set to 0.1 MPa.
  • a hollow fiber membrane 21 having an inner diameter of 180 ⁇ m and an outer diameter of 250 ⁇ m made of poly-4-methylpenten-1 is bundled, and the bundle of the hollow fiber membrane 21 is contained in the PP resin housing 22. Both ends were hardened with resin to obtain an external perfusion type hollow fiber membrane module for gas air supply (SEPAREL PF-04-SP4 manufactured by DIC Co., Ltd.) having a membrane area of 4.0 m 2.
  • SEPAREL PF-04-SP4 manufactured by DIC Co., Ltd.
  • the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 has a relatively small flow rate that flows into the liquid phase side region of the hollow fiber membrane module 2 and a relatively large flow rate that bypasses the hollow fiber membrane module 2 and flows into the bypass pipe 7. It was distributed to the flow and then merged at the liquid discharge pipe 4.
  • the adjusting gas G supplied to the gas supply pipe 5 was adjusted to 0.1 [MPa] by the pressure adjusting valve 10 and then supplied to the gas phase side region of the hollow fiber membrane module 2.
  • the adjusting gas G permeates the hollow fiber membrane 21 and is dissolved in the liquid L flowing through the liquid phase side region in the hollow fiber membrane 21, and the liquid L is a carbon dioxide gas to which carbon dioxide gas is added. It became added ultrapure water.
  • the flow control valve 9 was adjusted so that the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water when 60 L / min of liquid L was supplied to the liquid supply pipe 3 was 0.8 M ⁇ ⁇ cm. ..
  • the flow control valve 9 was adjusted so that the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water when 60 L / min of liquid L was supplied to the liquid supply pipe 3 was 0.6 M ⁇ ⁇ cm.
  • the flow rate adjusting valve 9 was adjusted so that the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water when 60 L / min of liquid L was supplied to the liquid supply pipe 3 was 0.4 M ⁇ ⁇ cm.
  • the flow control valve 9 was adjusted so that the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water when 60 L / min of liquid L was supplied to the liquid supply pipe 3 was 0.2 M ⁇ ⁇ cm.
  • the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water (liquid L) discharged from the liquid discharge pipe 4 was measured.
  • the measurement results are shown in FIGS. 14 and 15.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the elapsed time
  • the right vertical axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 is shown by a broken line.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3
  • the right vertical axis shows the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 101. showed that.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 101 is shown by a broken line.
  • Example 1 In Example 1, the specific resistance value of the liquid L was adjusted by using the specific resistance value adjusting device 1A of the first embodiment shown in FIG.
  • Example 1 the conditions were the same as those in Comparative Example 1 except that the specific resistance value adjusting device 1A of the first embodiment shown in FIG. 1 was used.
  • FIGS. 7 and 8 the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water (liquid L) discharged from the liquid discharge pipe 4 was measured.
  • the measurement results are shown in FIGS. 7 and 8.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the elapsed time
  • the right vertical axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 is shown by a broken line.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3
  • the right vertical axis shows the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1A. showed that.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1A is shown by a broken line.
  • Example 1 the phenomenon that the specific resistance value increases as the flow rate of the supplied liquid L becomes lower is suppressed as compared with Comparative Example 1. Further, as shown in FIG. 7, in Example 1, the fluctuation of the specific resistance value when the liquid L was supplied was smaller than that in Comparative Example 1.
  • Example 2 In Example 2, the specific resistance value of the liquid L was adjusted by using the specific resistance value adjusting device 1B of the second embodiment shown in FIG.
  • Example 2 the conditions were the same as those in Comparative Example 1 except that the specific resistance value adjusting device 1B of the second embodiment shown in FIG. 3 was used.
  • the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water (liquid L) discharged from the liquid discharge pipe 4 was measured.
  • the measurement result is shown in FIG.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3
  • the right vertical axis shows the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1B. showed that.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1B is shown by a broken line.
  • Example 1 As shown in FIG. 9, in Example 1, the phenomenon that the specific resistance value increases as the flow rate of the supplied liquid L becomes lower is suppressed as compared with Comparative Example 1.
  • Example 3 the specific resistance value of the liquid L was adjusted by using the specific resistance value adjusting device 1C of the third embodiment shown in FIG.
  • Example 3 the conditions were the same as those in Comparative Example 1 except that the specific resistance value adjusting device 1C of the third embodiment shown in FIG. 4 was used.
  • the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water (liquid L) discharged from the liquid discharge pipe 4 was measured.
  • the measurement results are shown in FIGS. 10 and 11.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the elapsed time
  • the right vertical axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 is shown by a broken line.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3
  • the right vertical axis shows the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1C. showed that.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1C is shown by a broken line.
  • Example 3 As shown in FIG. 10, in Example 3, the phenomenon that the specific resistance value increases as the flow rate of the supplied liquid L becomes lower is suppressed as compared with Comparative Example 1. Further, as shown in FIG. 11, in Example 3, the fluctuation of the specific resistance value when the liquid L was supplied was smaller than that in Comparative Example 1.
  • Example 4 the specific resistance value of the liquid L was adjusted by using the specific resistance value adjusting device 1D of the fourth embodiment shown in FIG.
  • Example 4 the conditions were the same as those in Comparative Example 1 except that the specific resistance value adjusting device 1D of the fourth embodiment shown in FIG. 5 was used.
  • the specific resistance value of the carbon dioxide-added ultrapure water (liquid L) discharged from the liquid discharge pipe 4 was measured.
  • the measurement results are shown in FIGS. 12 and 13.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the elapsed time
  • the right vertical axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3 is shown by a broken line.
  • the left vertical axis shows the measured resistivity value
  • the horizontal axis shows the flow rate of the liquid L supplied to the liquid supply pipe 3
  • the right vertical axis shows the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1D. showed that.
  • the measured resistivity value is shown by a solid line
  • the pressure loss of the liquid L in the entire resistivity value adjusting device 1D is shown by a broken line.
  • Example 4 As shown in FIG. 13, in Example 4, the phenomenon that the specific resistance value increases as the flow rate of the supplied liquid L becomes lower is suppressed as compared with Comparative Example 1. Further, as shown in FIG. 12, in Example 3, the fluctuation of the specific resistance value when the liquid L was supplied was smaller than that in Comparative Example 1.
  • Second check valve 15 ... Pressure transmission tube, 21 ... Hollow thread film, 22 ... Housing, 22A ... Liquid supply port, 22B ... Liquid discharge port, 22C ... Gas supply port, 22D ... Gas outlet, 71 ... 1st bypass pipe, 72 ... 2nd bypass pipe, 82 ... valve body, 83 ... spring, 85 ... flow path, 86 ... valve seat, 87 ... support member, 101 ... specific resistance value adjusting device, 142 ... valve body, 143 ... spring, 145 ... flow path, 146 ... valve seat, 147 ... support member, G ... adjustment gas, L ... liquid, P ... pressure gauge.

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Abstract

比抵抗値調整装置は、中空糸膜モジュールと、液体供給管と、液体排出管と、ガス供給管と、ガス排出管と、中空糸膜モジュールをバイパスするように液体供給管及び液体排出管に連通されたバイパス管と、バイパス管に設けられて、液体供給管側と液体排出管側との差圧に応じて流路の開度が変わる第一逆止弁と、を備える。

Description

比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法
　本発明は、液体の比抵抗値を調整する比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法に関する。
　半導体又は液晶の製造工程では、超純水を使用して基板を洗浄する。この場合、超純水の比抵抗値が高いと、静電気が発生する。これにより、絶縁破壊して、又は微粒子が再付着して、製品歩留まりに著しく悪影響を及ぼす。このような問題を解決するために、疎水性の中空糸膜モジュールを用いた方法が提案されている。この方法は、中空糸膜モジュールを用いて超純水中に炭酸ガス又はアンモニアガス等のガスを溶解させる。すると、解離平衡によりイオンが発生し、この発生したイオンにより超純水の比抵抗値が低下する。
　また、基板の洗浄、ダイシング等の工程では、超純水の流動変動が激しい。そこで、特許文献１では、流量が変動しても比抵抗値を安定させる技術が提案されている。特許文献１に記載された技術では、小流量のガス付加超純水を生成する中空糸膜モジュールと、大流量の超純水を通過させるバイパス管と、を設ける。そして、生成されたガス付加超純水とバイパス管を通過した超純水とを合流する。これにより、容易に超純水の比抵抗値を調整できる。
　しかしながら、特許文献１に記載された技術では、超純水が低流量になると、中空糸膜モジュールをバイパスする超純水の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される超純水の流量が低下して、超純水の比抵抗値が上昇する場合がある。そこで、特許文献２技術では、複数のバイパス管を設け、１又は複数のバイパス管にシャット弁を設ける技術が提案されている。特許文献２に記載された技術では、超純水の流量が低下すると、一部又は全部のシャット弁を閉める。これにより、超純水が低流量になっても、中空糸膜モジュールをバイパスする超純水の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される超純水の流量が低下するのを抑制できるため、超純水の比抵抗値が上昇するのを抑制できる。
特許第３９５１３８５号公報 特開２０１２－２２３７２５号公報
　しかしながら、特許文献２に記載された技術では、超純水の流量に応じて複数のバイパス管に取り付けられたシャット弁を開閉する制御を行う必要があるため、装置が複雑になってコストが高くなるという問題がある。また、特許文献２に記載された技術では、供給される流量が変わると、シャット弁の開閉に伴いバイパス管の圧力損失が急激に変わるという問題もある。
　そこで、本発明は、簡易な構成で、供給される液体が低流量になっても液体の比抵抗値が上昇するのを抑制できる比抵抗値調整装置を提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る比抵抗値調整装置は、中空糸膜により、比抵抗値を調整する液体が供給される液相側領域と比抵抗値を調整する調整ガスが供給される気相側領域とに分けられた中空糸膜モジュールと、液相側領域に液体を供給するために液相側領域に連通された液体供給管と、液相側領域から液体を排出するために液相側領域に連通された液体排出管と、気相側領域に調整ガスを供給するために気相側領域に連通されたガス供給管と、気相側領域から調整ガスを排出するために気相側領域に連通されたガス排出管と、中空糸膜モジュールをバイパスするように液体供給管及び液体排出管に連通されたバイパス管と、バイパス管に設けられて、液体供給管側と液体排出管側との差圧に応じて流路の開度が変わる第一逆止弁と、を備える。
　この比抵抗値調整装置では、バイパス管に、液体供給管側と液体排出管側との差圧に応じて流路の開度が変わる第一逆止弁が設けられている。供給される液体の流量が小さくなると、液体供給管側と液体排出管側との差圧が小さくなるため、第一逆止弁の開度が小さくなる。第一逆止弁の開度が小さくなると、バイパス管を流れる液体の圧力損失大きくなるため、中空糸膜モジュールをバイパスする液体の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される液体の流量が低下するのが抑制される。これにより、特許文献２に記載された技術に比べて簡易な構成で、供給される液体が低流量になっても液体の比抵抗値が上昇するのを抑制できる。しかも、液体供給管側と液体排出管側との差圧に基づいて第一逆止弁の開度が変わるため、供給される流量が変わっても、特許文献２に記載された技術に比べてバイパス管の圧力損失が急激に変わるのを抑制できる。
　一実施形態として、第一逆止弁では、液体供給管側と液体排出管側との差圧が第一作動開始圧以下になると、第一逆止弁の流路が狭くなり始めてもよい。供給される液体の流量が大きい場合は、中空糸膜モジュールをバイパスする液体の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される液体の流量が低下する問題は生じない。また、供給される液体の流量が大きい場合は、第一逆止弁の液体供給管側と液体排出管側との差圧が大きい。この比抵抗値調整装置では、液体供給管側と液体排出管側との差圧が第一作動開始圧以下になると、第一逆止弁の流路が狭くなり始めるため、供給される液体の流量低下に伴う液体の比抵抗値の上昇を効率的に抑制することができる。
　また、一実施形態として、第一逆止弁は、液体排出管側に向けられた弁座を有する本体と、弁座の液体排出管側に配置された弁体と、弁体を弁座側に押すスプリングと、を有してもよい。この比抵抗値調整装置では、第一逆止弁が、液体排出管側に向けられた弁座を有する本体と、弁座の液体排出管側に配置された弁体と、弁体を弁座側に押すスプリングと、を有する。このため、液体供給管側と液体排出管側との差圧に応じて、スプリングの伸縮の程度が変わり、これにより弁座と弁体との間の隙間の大きさが変わる。これにより、液体供給管側と液体排出管側との差圧に応じて、流路の開度を適切に変えることができる。
　また、一実施形態として、バイパス管は、互いに並列に配置された第一バイパス管及び第二バイパス管を有し、第一逆止弁は、第一バイパス管に配置されて、第二バイパス管に配置されていなくてもよい。この比抵抗値調整装置では、第一逆止弁が第一バイパス管に配置されているため、供給される液体が低流量になっても液体の比抵抗値が上昇するのを抑制できる。一方で、第一逆止弁が第二バイパス管に配置されていないため、第一逆止弁の流路が狭くなった際に、バイパス管を流れる液体の圧力損失が大きくなるのを抑制できる。
　また、一実施形態として、液体排出管の、バイパス管が液体排出管に接続される下流側接続部と中空糸膜モジュールとの間に位置する第一上流側液体排出管部に設けられて、中空糸膜モジュール側と中空糸膜モジュールの反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる第二逆止弁を更に備えてもよい。この比抵抗値調整装置では、第一上流側液体排出管部に、中空糸膜モジュール側と中空糸膜モジュールの反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる第二逆止弁が設けられている。このため、第一逆止弁及び第二逆止弁の設定を調整することで、中空糸膜モジュールに供給される液体と中空糸膜モジュールをバイパスする液体との分配比率を調整することができる。
　また、一実施形態として、第一逆止弁の流路が閉じる第一クラッキング圧は、第二逆止弁の流路が閉じる第二クラッキング圧と同じであってもよい。この比抵抗値調整装置では、第一逆止弁の流路が閉じる第一クラッキング圧が第二逆止弁の流路が閉じる第二クラッキング圧と同じであるため、中空糸膜モジュールに供給される液体と中空糸膜モジュールをバイパスする液体との分配比率の偏りを抑制できる。
　また、一実施形態として、第二逆止弁では、中空糸膜モジュール側と中空糸膜モジュールとは反対側との差圧が第二作動開始圧以下になると、第二逆止弁の流路が狭くなり始めてもよい。供給される液体の流量が大きい場合は、中空糸膜モジュールをバイパスする液体の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される液体の流量が低下する問題は生じない。また、供給される液体の流量が大きい場合は、第二逆止弁の中空糸膜モジュール側と中空糸膜モジュールとは反対側との差圧が大きい。この比抵抗値調整装置では、中空糸膜モジュール側と中空糸膜モジュールとは反対側との差圧が第二作動開始圧以下になると、第二逆止弁の流路が狭くなり始めるため、供給される液体の流量低下に伴う液体の比抵抗値の上昇を効率的に抑制することができる。
　また、一実施形態として、液体排出管の、中空糸膜モジュールと第二逆止弁との間に位置する第二上流側液体排出管部と、バイパス管の、バイパス管が液体供給管に接続される上流側接続部と第一逆止弁との間に位置する上流側バイパス管部と、に接続されて、上流側バイパス管部の圧力を第二上流側液体排出管部に伝える圧力伝達管を更に備えてもよい。中空糸膜モジュールをバイパスする液体の流量に対して中空糸膜モジュールに供給される液体の流量が小さくなるように設定した場合、供給される液体が低流量になると、第一逆止弁が流路を開き、第二逆止弁が流路を閉じることがある。このような場合、液体が中空糸膜モジュールに流れなくなるため、液体の比抵抗値を調整することができない。しかしながら、この比抵抗値調整装置では、圧力伝達管により上流側バイパス管部の圧力が第二上流側液体排出管部に伝わることで、第二上流側液体排出管部の圧力と上流側バイパス管部の圧力とが均一化される。このため、第一逆止弁が流路を開き、第二逆止弁が流路を閉じる状態になるのを抑制することができる。
　本発明の一側面に係る比抵抗値調整方法は、上記の何れかの比抵抗値調整装置を用いて液体の比抵抗値を調整する。この比抵抗値調整方法では、上述した何れかの比抵抗値調整装置を用いて液体の比抵抗値を調整するため、供給される液体が低流量になっても液体の比抵抗値が上昇するのを抑制できる。
　本発明によれば、簡易な構成で、供給される液体が低流量になっても液体の比抵抗値が上昇するのを抑制できる。
第一実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。 第一逆止弁及び第二逆止弁の模式断面図である。 第二実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。 第三実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。 第四実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。 比較例１の比抵抗値調整装置の模式図である。 実施例１の計測結果を示すグラフである。 実施例１の計測結果を示すグラフである。 実施例２の計測結果を示すグラフである。 実施例３の計測結果を示すグラフである。 実施例３の計測結果を示すグラフである。 実施例４の計測結果を示すグラフである。 実施例４の計測結果を示すグラフである。 比較例１の計測結果を示すグラフである。 比較例１の計測結果を示すグラフである。
　以下、図面を参照して、実施形態の比抵抗値調整装置及び比抵抗値調整方法について詳細に説明する。なお、全図中、同一または相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第一実施形態］
　図１は、第一実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。図１に示すように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ａは、中空糸膜モジュール２と、液体供給管３と、液体排出管４と、ガス供給管５と、ガス排出管６と、バイパス管７と、第一逆止弁８と、を備える。
　中空糸膜モジュール２は、比抵抗値を調整する液体Ｌに比抵抗値を調整する調整ガスＧを溶解させる。中空糸膜モジュール２は、複数本の中空糸膜２１と、これらの中空糸膜２１を内部に収容するハウジング２２と、を備える。
　液体Ｌとして用いる液体は、特に限定されないが、例えば、半導体、液晶等を洗浄するための純水、超純水とすることができる。通常、純水・超純水の比抵抗値は、０．１ＭΩ・ｃｍ以上である。このため、液体Ｌの比抵抗値は、例えば、０．１ＭΩ・ｃｍ以上、好ましくは１５．０ＭΩ・ｃｍ以上、より好ましくは１７．５ＭΩ・ｃｍ以上の範囲であってよく。また、液体Ｌの比抵抗値の上限値は特に限定されないが、例えば、１８．２４８ＭΩ・ｃｍ以下の範囲であってよい。
　液体Ｌの温度は特に限定されないが、例えば、５℃以上、好ましくは１０℃以上、より好ましくは２０℃以上の範囲であってよく、また、６０℃以下、好ましくは４０℃以下、より好ましくは３０℃以下の範囲であってよい。液体Ｌの供給圧力は特に限定されないが、例えば、０．０１ＭＰａ以上、好ましくは０．１ＭＰａ以上、より好ましくは０．２ＰＭａ以上の範囲であってよく、また、１．０ＭＰａ以下、好ましくは０．４ＭＰａ以下、より好ましくは０．３ＭＰａ以下の範囲であってよい。
　調整ガスＧとして用いるガスは、特に限定されないが、例えば、炭酸ガス又はアンモニアガスとすることができる。調整ガスＧの温度は特に限定されないが、例えば、０℃以上、好ましくは２０℃以上、より好ましくは２５℃以上の範囲であってよく、また、６０℃以下、好ましくは５０℃以下、より好ましくは３０℃以下の範囲であってよい。調整ガスＧの供給圧力は特に限定されないが、例えば、０．０１ＭＰａ以上、好ましくは０．０５ＭＰａ以上の範囲であってよく、また、０．５ＭＰａ以下、好ましくは０．２ＭＰａ以下、より好ましくは０．１５ＭＰａ以下の範囲であってよい。
　中空糸膜２１は、気体は透過するが液体は透過しない中空糸状の膜である。中空糸膜２１の素材、膜形状、膜形態等は、特に制限されない。ハウジング２２は、中空糸膜２１を内部に収容する密閉容器である。中空糸膜モジュール１の膜面積は、処理流量（液体Ｌの流量）によって適宜調整することができ、特に限定されるものではないが、例えば、０．１ｍ２以上１２０ｍ２以下の範囲であってよい。中空糸膜モジュール１の膜面積の最適値を処理流量によって調整する場合、例えば、一般的な流量処理（例えば、１～１２０Ｌ／ｍｉｎ）の場合は０．１ｍ２以上４．０ｍ２以下の範囲であってよく、より大流量処理（例えば、１２０～４０００Ｌ／ｍｉｎ）の場合は４．０ｍ２以上１２０ｍ２以下の範囲であってよい。
　中空糸膜モジュール２は、中空糸膜２１により、液相側領域と、気相側領域と、に分けられる。液相側領域は、中空糸膜モジュール２内の領域のうち、比抵抗値を調整する液体Ｌが供給される領域である。気相側領域は、中空糸膜モジュール２内の領域のうち、比抵抗値を調整する調整ガスＧが供給される領域である。中空糸膜モジュール２の種類としては、内部灌流型及び外部灌流型がある。本実施形態では、内部灌流型及び外部灌流型の何れであってもよい。外部灌流型の中空糸膜モジュール２では、中空糸膜２１の内側（内表面側）が気相側領域となり、中空糸膜２１の外側（外表面側）が液相側領域となる。内部灌流型の中空糸膜モジュール２では、中空糸膜２１の内側（内表面側）が液相側領域となり、中空糸膜２１の外側（外表面側）が気相側領域となる。
　ハウジング２２には、液体供給口２２Ａと、液体排出口２２Ｂと、ガス供給口２２Ｃと、ガス排出口２２Ｄと、が形成される。液体供給口２２Ａは、液相側領域に液体Ｌを供給するためにハウジング２２に形成された開口である。液体排出口２２Ｂは、液相側領域から液体Ｌを排出するためにハウジング２２に形成された開口である。ガス供給口２２Ｃは、気相側領域に調整ガスＧを供給するためにハウジング２２に形成された開口である。ガス排出口２２Ｄは、気相側領域から調整ガスＧを排出するためにハウジング２２に形成された開口である。このため、液体供給口２２Ａ及び液体排出口２２Ｂは、液相側領域と連通される。また、ガス供給口２２Ｃ及びガス排出口２２Ｄは、気相側領域と連通される。
　液体供給口２２Ａ、液体排出口２２Ｂ、ガス供給口２２Ｃ、及びガス排出口２２Ｄの位置は特に限定されない。但し、ガス排出口２２Ｄは、中空糸膜モジュール２の下部に形成されることが好ましく、気相側領域の最下端に形成されることが更に好ましい。中空糸膜モジュール２の下部とは、比抵抗値調整装置１Ａを設置した際の、中空糸膜モジュール２の鉛直方向における下側の部分をいう。気相側領域の最下端とは、比抵抗値調整装置１Ａを設置した際の、気相側領域の鉛直方向における最下端をいう。
　液体供給管３は、液相側領域に連通されて、液相側領域に液体Ｌを供給する。液体供給管３は、内部に流路（不図示）が形成された管状の部材である。液体供給管３は、液体供給口２２Ａに接続される。液体排出管４の素材、特性（硬さ、弾性等）、形状、寸法等は、特に限定されない。
　液体排出管４は、液相側領域に連通されて、液相側領域から液体Ｌを排出する。液体排出管４は、内部に流路（不図示）が形成された管状の部材である。液体排出管４は、液体排出口２２Ｂに接続される。液体排出管４の素材、特性（硬さ、弾性等）、形状、寸法等は、特に限定されない。
　ガス供給管５は、気相側領域に連通されて、気相側領域に調整ガスＧを供給する。ガス供給管５は、内部に流路（不図示）が形成された管状の部材である。ガス供給管５は、ガス供給口２２Ｃに接続される。ガス供給管５の素材、特性（硬さ、弾性等）、形状、寸法等は、特に限定されない。
　ガス供給管５には、圧力調整弁１０と、圧力計Ｐと、が設けられる。圧力調整弁１０は、圧力調整弁１０を通過する調整ガスのガス圧を調整する。つまり、気相側領域における調整ガスＧのガス圧は、圧力調整弁１０により調整される。圧力調整弁１０としては、公知の様々な圧力調整弁を採用することができる。圧力計Ｐは、ガス供給管５を流れる調整ガスＧのガス圧を計測する。圧力計Ｐは、ガス供給管５における圧力計Ｐの下流側、すなわち、圧力計Ｐに対する気相側領域側に設けられる。圧力計Ｐとしては、公知の様々な圧力計を採用することができる。そして、比抵抗値調整装置１Ａを制御する制御部（不図示）は、圧力調整弁１０を通過する調整ガスＧのガス圧、すなわち、気相側領域における調整ガスＧのガス圧が、所定値（又は所定範囲内）となるように、圧力計Ｐで計測した調整ガスＧのガス圧に基づいて圧力調整弁１０を制御する。
　ガス排出管６は、気相側領域に連通されて、気相側領域から調整ガスＧを排出する。ガス排出管６は、内部に流路（不図示）が形成された管状の部材である。ガス排出管６は、ガス排出口２２Ｄに接続される。ガス排出管６の素材、特性（硬さ、弾性等）、形状、寸法等は、特に限定されない。
　ガス排出管６には、漏出部１１が設けられる。漏出部１１は、気相側領域の調整ガスＧを漏れ出させる。漏出部１１は、内部に細い流路（不図示）が形成された毛細管状の部材である。漏出部１１からは、常時、調整ガスＧが漏れ出る。
　バイパス管７は、中空糸膜モジュール２をバイパスするように液体供給管３及び液体排出管４に連通される。バイパス管７は、内部に流路が形成された管状の部材である。バイパス管７の一方端部は、中空糸膜モジュール２の上流側において液体供給管３に接続される。バイパス管７が液体供給管３に接続される部分を、上流側接続部１２という。バイパス管７の他方端部は、中空糸膜モジュール２の下流側において液体排出管４に接続される。バイパス管７が液体排出管４に接続される部分を、下流側接続部１３という。また、下流側接続部１３と中空糸膜モジュール２との間に位置する液体排出管４の部分を、第一上流側液体排出管部４Ａという。
　第一上流側液体排出管部４Ａには、流量調整弁９が設けられる。流量調整弁９は、第一上流側液体排出管部４Ａを通過する液体Ｌの流量を調整することで、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌ（バイパス管７に供給される液体Ｌ）との分配比率を調整する。流量調整弁９は、例えば、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌの流量が、中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌの流量に比べて小さくなるように、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌとの分配比率を調整する。流量調整弁９は、液体が通過する流路（不図示）と、当該流路を開閉するとともに当該流路の開度を調整する弁体（不図示）と、を備える。流量調整弁９としては、公知の様々な流量調整弁を採用することができ、例えば、ニードル弁を採用することができる。なお、流量調整弁９は、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌとの分配比率を調整することができれば、如何なる位置に取り付けられてもよい。例えば、流量調整弁９は、上流側接続部１２と中空糸膜モジュール２との間に位置する液体排出管４の部分に取り付けられてもよく、バイパス管７に取り付けられてもよい。
　このため、液体供給管３に供給された液体Ｌは、上流側接続部１２において、中空糸膜モジュール２を通って液体排出管４に流れていく液体Ｌと、中空糸膜モジュール２を迂回してバイパス管７から液体排出管４に流れていく液体Ｌと、に分配される。また、上流側接続部１２において分配された液体Ｌは、下流側接続部１３において合流する。なお、中空糸膜モジュール２を通って液体排出管４に流れていく液体Ｌの流量が、中空糸膜モジュール２を迂回して液体排出管４に流れていく液体Ｌの流量よりも大きくなるように、バイパス管７の内径（流路径）等が設定されていてもよい。
　第一逆止弁８は、バイパス管７に設けられて、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて流路の開度が変わる逆止弁である。ここで、上流側接続部１２と第一逆止弁８との間に位置するバイパス管７の部分を、上流側バイパス管部７Ａといい、下流側接続部１３と第一逆止弁８との間に位置するバイパス管７の部分を、下流側バイパス管部７Ｂという。上流側バイパス管部７Ａは、第一逆止弁８の液体供給管３側に位置し、下流側バイパス管部７Ｂは、第一逆止弁８の液体排出管４側に位置する。このため、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧は、上流側バイパス管部７Ａ内の液体Ｌの圧力と下流側バイパス管部７Ｂ内の液体Ｌの圧力との差となる。なお、液体Ｌは、液体供給管３側から液体排出管４側に流れていくため、液体排出管４側の圧力よりも液体供給管３側の圧力の方が高くなる。
　第一逆止弁８には、第一逆止弁８の流路が閉じる第一クラッキング圧が設定されている。つまり、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一クラッキング圧以下になると、第一逆止弁８の流路が閉じ、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一クラッキング圧より大きくなると、第一逆止弁８の流路が開く。第一クラッキング圧は、所定の圧力値である。第一クラッキング圧は、特に限定されるものではないが、例えば、０．０１ｋＰａ以上、好ましくは０．１ｋＰａ以上、より好ましくは１ｋＰａ以上の範囲であってよく、また、１００ｋＰａ以下、好ましくは５０ｋＰａ以下、より好ましくは２０ｋＰａ以下の範囲であってよい。
　また、第一逆止弁８には、第一逆止弁８の流路が狭くなり始める第一作動開始圧が設定されている。つまり、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一作動開始圧より大きいと、第一逆止弁８の流路は全開の状態に保持され、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一作動開始圧以下になると、第一逆止弁８の流路が狭くなる。第一作動開始圧は、所定の圧力値である。第一作動開始圧は、特に限定されるものではないが、例えば、１ｋＰａ以上、好ましくは５ｋＰａ以上、より好ましくは１０ｋＰａ以上の範囲であってよく、また、２００ｋＰａ以下、好ましくは１５０ｋＰａ以下、より好ましくは１００ｋＰａ以下の範囲であってよい。
　第一逆止弁８が全開した際の流路の断面積は、特に限定されないが、例えば、１／１６インチ以上、好ましくは１／８インチ以上の範囲であってよく、また、２インチ以下、好ましくは１インチ以下の範囲であってよい。
　第一逆止弁８のＣｖ値は、特に限定されないが、例えば、０．１以上１０以下の範囲である。Ｃｖ値は、第一逆止弁８の全開時における単位時間あたりに第一逆止弁８を通過する液体Ｌの体積（流量）である。
　第一逆止弁８は、例えば、図２に示すように、本体８１と、弁体８２と、スプリング８３と、を備えてもよい。本体８１は、バイパス管７の流路と連通されて液体Ｌが流通する流路８５と、流路８５の一部を形成して弁体８２の座面となる弁座８６と、を有している。弁座８６は、液体Ｌの流れ方向における液体排出管４側（下流側バイパス管部７Ｂ側）に向けられている。つまり、弁座８６は、液体排出管４側（下流側バイパス管部７Ｂ側）に向かって広がる漏斗状（円錐台状、テーパ面状）に形成されている。弁体８２は、本体８１の流路８５における、弁座８６の液体排出管４側（下流側バイパス管部７Ｂ側）に配置されている。弁体８２は、弁座８６に密接して流路８５を閉じることができるように、弁座８６に対向する外周面に形成された溝と、当該溝に嵌め込まれたＯリングと、を有している。スプリング８３は、弁体８２を弁座８６側に押す部材である。そして、スプリング８３は、本体８１に固定された支持部材８７に対して弁体８２を弁座８６側に押すように、圧縮された状態で、弁体８２と支持部材８７との間に挿入されている。この場合、第一逆止弁８の流路８５が閉じる第一クラッキング圧、及び第一逆止弁８の流路が狭くなり始める第一作動開始圧は、スプリング８３のばね乗数等により決まる。
　このように構成される第一逆止弁８では、比抵抗値調整装置１Ａに供給される液体Ｌの流量が大きく、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一逆止弁８の第一作動開始圧より大きい場合は、第一逆止弁８の流路が全開となる。この状態を、全開状態という。全開状態では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が変わっても、第一逆止弁８の流路は広くも狭くもならない。図２に示す第一逆止弁８では、スプリング８３が縮んで、第一逆止弁８の流路８５が全開となった状態が、全開状態となる。
　また、比抵抗値調整装置１Ａに供給される液体Ｌの流量が小さくなって、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一逆止弁８の第一作動開始圧以下になると、第一逆止弁８の流路が狭くなり始める。この状態を、半開状態という。図２に示す第一逆止弁８では、スプリング８３が全開状態よりも伸びて、流路８５が開いた状態を維持しつつ、弁体８２が弁座８６に近づいた状態が、半開状態となる。半開状態では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて、第一逆止弁８の流路の開度が変わる。つまり、半開状態では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が小さいほど、第一逆止弁８の流路が狭くなり、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が大きいほど、第一逆止弁８の流路が広くなる。
　また、比抵抗値調整装置１Ａに供給される液体Ｌの流量が更に小さくなって、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一逆止弁８の第一クラッキング圧以下になると、第一逆止弁８の流路が閉じる。この状態を、閉状態という。図２に示す第一逆止弁８では、スプリング８３が伸びて、弁体８２が弁座８６に密接して、流路８５が閉じた状態が、閉状態となる。
　次に、比抵抗値調整装置１Ａにより液体Ｌの比抵抗値を調整する方法について説明する。
　この方法では、液相側領域に液体Ｌを通過させながら気相側領域に調整ガスを通過させて、液体Ｌに調整ガスＧを溶解させる。そして、調整ガスＧが溶解された液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスさせた液体Ｌとを混合させて、液体Ｌの比抵抗値を調整する。
　具体的に説明すると、液体供給管３に液体Ｌを供給し、ガス供給管５に調整ガスＧを供給する。すると、液体Ｌは、液体供給管３から中空糸膜モジュール２の液相側領域に供給されて、液体排出管４に排出される。また、液体Ｌは、上流側接続部１２において液体供給管３から分岐し、中空糸膜モジュール２を迂回するようにバイパス管７を通って、液体排出管４に排出される。調整ガスＧは、ガス供給管５から中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給されて、ガス排出管６に排出される。中空糸膜モジュール２では、気相側領域に供給された調整ガスＧは、中空糸膜２１を透過することにより、液相側領域に供給された液体Ｌに溶解される。
　このとき、第一逆止弁８では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて流路の開度が変わる。例えば、供給される液体Ｌの流量が大きくなって、第一逆止弁８の液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が大きくなると、第一逆止弁８の流路が広くなる。一方、供給される液体Ｌの流量が小さくなって、第一逆止弁８の液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が小さくなると、第一逆止弁８の流路が狭くなる。そして、中空糸膜モジュール２により調整ガスＧが溶解された液体Ｌと、バイパス管７を通過した液体Ｌとは、下流側接続部１３において混合される。これにより、液体Ｌの流量に関わらず、液体Ｌの比抵抗値を容易に調整できる。
　このように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ａでは、バイパス管７に、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて流路の開度が変わる第一逆止弁８が設けられている。供給される液体Ｌの流量が小さくなると、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が小さくなるため、第一逆止弁８の開度が小さくなる。第一逆止弁８の開度が小さくなると、バイパス管７を流れる液体Ｌの圧力損失大きくなるため、中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌの流量に対して中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌの流量が低下するのが抑制される。これにより、特許文献２に記載された技術に比べて簡易な構成で、供給される液体Ｌが低流量になっても液体Ｌの比抵抗値が上昇するのを抑制できる。しかも、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に基づいて第一逆止弁８の開度が変わるため、供給される流量が変わっても、特許文献２に記載された技術に比べてバイパス管７の圧力損失が急激に変わるのを抑制できる。
　ところで、供給される液体Ｌの流量が大きい場合は、中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌの流量に対して中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌの流量が低下する問題は生じない。また、供給される液体Ｌの流量が大きい場合は、第一逆止弁８の液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が大きい。この比抵抗値調整装置１Ａでは、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が第一作動開始圧以下になると、第一逆止弁８の流路が狭くなり始めるため、供給される液体Ｌの流量低下に伴う液体Ｌの比抵抗値の上昇を効率的に抑制することができる。
　また、比抵抗値調整装置１Ａでは、第一逆止弁８が、液体排出管４側に向けられた弁座８６を有する本体８１と、弁座８６の液体排出管４側に配置された弁体８２と、弁体８２を弁座８６側に押すスプリング８３と、を有する。このため、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて、スプリング８３の伸縮の程度が変わり、これにより弁座８６と弁体８２との間の隙間の大きさが変わる。これにより、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて、流路の開度を適切に変えることができる。
［第二実施形態］
　次に、第二実施形態について説明する。第二実施形態は、基本的に第一実施形態と同様であり、バイパス管が第一バイパス管及び第二バイパス管を有する点で、第一実施形態と相違する。このため、以下では、第一実施形態と相違する事項のみを説明し、第一実施形態と同様の事項の説明を省略する。
　図３は、第二実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。図３に示すように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ｂは、中空糸膜モジュール２と、液体供給管３と、液体排出管４と、ガス供給管５と、ガス排出管６と、バイパス管７と、第一逆止弁８と、を備える。バイパス管７は、互いに並列に配置された第一バイパス管７１及び第二バイパス管７２を有する。
　第一バイパス管７１と第二バイパス管７２とは、上流側接続部１２と下流側接続部１３との間の全ての領域で互いに並列に配置されていてもよく、上流側接続部１２と下流側接続部１３との間の一部の領域で互いに並列に配置されていてもよい。本実施形態では、一例として、第一バイパス管７１と第二バイパス管７２とが、上流側接続部１２と下流側接続部１３との間の一部の領域で互いに並列に配置されているものとして説明する。
　第一バイパス管７１及び第二バイパス管７２は、基本的に第一実施形態のバイパス管７と同じであるが、第一逆止弁８は、第一バイパス管７１に配置されているが、第二バイパス管７２に配置されていない。このため、第一バイパス管７１に供給された液体Ｌは、第一逆止弁８を通って液体排出管４に流れていくが、第二バイパス管７２に供給された液体Ｌは、第一逆止弁８を通らずに液体排出管４に流れていく。
　次に、比抵抗値調整装置１Ｂにより液体Ｌの比抵抗値を調整する方法について説明する。
　この方法では、液相側領域に液体Ｌを通過させながら気相側領域に調整ガスを通過させて、液体Ｌに調整ガスＧを溶解させる。そして、調整ガスＧが溶解された液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスさせた液体Ｌとを混合させて、液体Ｌの比抵抗値を調整する。
　具体的に説明すると、液体供給管３に液体Ｌを供給し、ガス供給管５に調整ガスＧを供給する。すると、液体Ｌは、液体供給管３から中空糸膜モジュール２の液相側領域に供給されて、液体排出管４に排出される。また、液体Ｌは、上流側接続部１２において液体供給管３から分岐し、中空糸膜モジュール２を迂回するように第一バイパス管７１又は第二バイパス管７２を通って、液体排出管４に排出される。調整ガスＧは、ガス供給管５から中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給されて、ガス排出管６に排出される。中空糸膜モジュール２では、気相側領域に供給された調整ガスＧは、中空糸膜２１を透過することにより、液相側領域に供給された液体Ｌに溶解される。
　このとき、第一バイパス管７１に設けられている第一逆止弁８では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて、つまり、供給される液体Ｌの流量に応じて、流路の開度が変わる。そして、中空糸膜モジュール２により調整ガスＧが溶解された液体Ｌと、第一バイパス管７１又は第二バイパス管７２を通過した液体Ｌとは、下流側接続部１３において混合される。これにより、液体Ｌの流量に関わらず、液体Ｌの比抵抗値を容易に調整できる。
　このように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ｂでは、第一逆止弁８が第一バイパス管７１に配置されているため、供給される液体Ｌが低流量になっても液体Ｌの比抵抗値が上昇するのを抑制できる。一方で、第一逆止弁８が第二バイパス管７２に配置されていないため、第一逆止弁８の流路が狭くなった際に、バイパス管７（第一バイパス管７１及び第二バイパス管７２）を流れる液体Ｌの圧力損失が大きくなるのを抑制できる。
［第三実施形態］
　次に、第三実施形態について説明する。第三実施形態は、基本的に第一実施形態と同様であり、第二逆止弁が設けられている点で、第一実施形態と相違する。このため、以下では、第一実施形態と相違する事項のみを説明し、第一実施形態と同様の事項の説明を省略する。
　図４は、第三実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。図４に示すように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ｃは、中空糸膜モジュール２と、液体供給管３と、液体排出管４と、ガス供給管５と、ガス排出管６と、バイパス管７と、第一逆止弁８と、第二逆止弁１４と、を備える。
　第二逆止弁１４は、第一上流側液体排出管部４Ａに設けられて、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる逆止弁である。ここで、中空糸膜モジュール２と第二逆止弁１４との間に位置する第一上流側液体排出管部４Ａの部分を、第二上流側液体排出管部４Ｂといい、下流側接続部１３と第二逆止弁１４との間に位置する第一上流側液体排出管部４Ａの部分を、第三上流側液体排出管部４Ｃという。第二上流側液体排出管部４Ｂは、第二逆止弁１４の中空糸膜モジュール２側に位置し、第三上流側液体排出管部４Ｃは、第二逆止弁１４の液体排出管４側に位置する。このため、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧は、第二上流側液体排出管部４Ｂ内の液体Ｌの圧力と第三上流側液体排出管部４Ｃ内の液体Ｌの圧力との差となる。なお、液体Ｌは、中空糸膜モジュール２側から液体排出管４側に流れていくため、中空糸膜モジュール２の反対側の圧力よりも中空糸膜モジュール２側の圧力の方が高くなる。
　第二逆止弁１４には、第二逆止弁１４の流路が閉じる第二クラッキング圧が設定されている。つまり、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が第二クラッキング圧以下になると、第二逆止弁１４の流路が閉じ、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が第二クラッキング圧より大きくなると、第二逆止弁１４の流路が開く。第二クラッキング圧は、所定の圧力値である。第二クラッキング圧は、第一逆止弁８の流路が閉じる第一クラッキング圧と同じであってもよい。第二クラッキング圧は、特に限定されるものではないが、例えば、０．０１ｋＰａ以上、好ましくは０．１ｋＰａ以上、より好ましくは１ｋＰａ以上の範囲であってよく、また、１００ｋＰａ以下、好ましくは５０ｋＰａ以下、より好ましくは２０ｋＰａ以下までの範囲であってよい。
　また、第二逆止弁１４には、第二逆止弁１４の流路が狭くなり始める第二作動開始圧が設定されている。つまり、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が第二作動開始圧より大きいと、第二逆止弁１４の流路は全開の状態に保持され、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が第二作動開始圧以下になると、第二逆止弁１４の流路が狭くなる。第二作動開始圧は、所定の圧力値である。第二作動開始圧は、第一逆止弁８の流路が狭くなり始める第一作動開始圧と同じであってもよい。第二作動開始圧は、特に限定されるものではないが、例えば、１ｋＰａ以上、好ましくは５ｋＰａ以上、より好ましくは１０ｋＰａ以上の範囲であってよく、また、２００ｋＰａ以下、好ましくは１５０ｋＰａ以下、より好ましくは１００ｋＰａ以下の範囲であってよい。
　なお、第二逆止弁１４が全開した際の流路の断面積、第二逆止弁１４における液体Ｌの圧力損失等は、第一逆止弁８と同じにしてもよい。
　第二逆止弁１４は、例えば、図２に示すように、本体１４１と、弁体１４２と、スプリング１４３と、を備えてもよい。本体１４１は、第一上流側液体排出管部４Ａの流路と連通されて液体Ｌが流通する流路１４５と、流路１４５の一部を形成して弁体１４２の座面となる弁座１４６と、を有している。弁座１４６は、液体Ｌの流れ方向における第三上流側液体排出管部４Ｃ側に向けられている。つまり、弁座１４６は、第三上流側液体排出管部４Ｃ側に向かって広がる漏斗状（円錐台状、テーパ面状）に形成されている。弁体１４２は、本体１４１の流路１４５における、弁座１４６の第三上流側液体排出管部４Ｃ側に配置されている。弁体１４２は、弁座１４６に密接して流路１４５を閉じることができるように、弁座１４６に対向する外周面に形成された溝と、当該溝に嵌め込まれたＯリングと、を有している。スプリング１４３は、弁体１４２を弁座１４６側に押す部材である。そして、スプリング１４３は、弁体１４２と本体１４１に固定された支持部材１４７に対して弁体１４２を弁座１４６側に押すように、圧縮された状態で、弁体１４２と支持部材１４７との間に挿入されている。この場合、第二逆止弁１４の流路１４５が閉じる第二クラッキング圧、及び第二逆止弁１４の流路が狭くなり始める第二作動開始圧は、スプリング１４３のばね乗数等により決まる。
　次に、比抵抗値調整装置１Ｃにより液体Ｌの比抵抗値を調整する方法について説明する。
　この方法では、液相側領域に液体Ｌを通過させながら気相側領域に調整ガスを通過させて、液体Ｌに調整ガスＧを溶解させる。そして、調整ガスＧが溶解された液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスさせた液体Ｌとを混合させて、液体Ｌの比抵抗値を調整する。
　具体的に説明すると、液体供給管３に液体Ｌを供給し、ガス供給管５に調整ガスＧを供給する。すると、液体Ｌは、液体供給管３から中空糸膜モジュール２の液相側領域に供給されて、液体排出管４に排出される。また、液体Ｌは、上流側接続部１２において液体供給管３から分岐し、中空糸膜モジュール２を迂回するようにバイパス管７を通って、液体排出管４に排出される。調整ガスＧは、ガス供給管５から中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給されて、ガス排出管６に排出される。中空糸膜モジュール２では、気相側領域に供給された調整ガスＧは、中空糸膜２１を透過することにより、液相側領域に供給された液体Ｌに溶解される。
　このとき、バイパス管７に設けられている第一逆止弁８では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて流路の開度が変わる。例えば、供給される液体Ｌの流量が大きくなって、第一逆止弁８の液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が大きくなると、第一逆止弁８の流路が広くなる。一方、供給される液体Ｌの流量が小さくなって、第一逆止弁８の液体供給管３側と液体排出管４側との差圧が小さくなると、第一逆止弁８の流路が狭くなる。
　また、第一上流側液体排出管部４Ａに設けられている第二逆止弁１４でも、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる。例えば、供給される液体Ｌの流量が大きくなって、第二逆止弁１４の中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が大きくなると、第二逆止弁１４の流路が広くなる。一方、供給される液体Ｌの流量が小さくなって、第二逆止弁１４の中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧が小さくなると、第二逆止弁１４の流路が狭くなる。
　そして、中空糸膜モジュール２により調整ガスＧが溶解された液体Ｌと、バイパス管７を通過した液体Ｌとは、下流側接続部１３において混合される。これにより、液体Ｌの流量に関わらず、液体Ｌの比抵抗値を容易に調整できる。
　このように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ｃでは、第一上流側液体排出管部４Ａに、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる第二逆止弁１４が設けられている。このため、第一逆止弁８及び第二逆止弁１４の設定を調整することで、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌとの分配比率を調整することができる。
　また、比抵抗値調整装置１Ｃでは、第一逆止弁８の流路が閉じる第一クラッキング圧が第二逆止弁１４の流路が閉じる第二クラッキング圧と同じであるため、中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌとの分配比率の偏りを抑制できる。
　ところで、供給される液体Ｌの流量が大きい場合は、中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌの流量に対して中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌの流量が低下する問題は生じない。また、供給される液体Ｌの流量が大きい場合は、第二逆止弁１４の中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２とは反対側との差圧が大きい。比抵抗値調整装置１Ｃでは、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュールと２は反対側との差圧が第二作動開始圧以下になると、第二逆止弁１４の流路が狭くなり始めるため、供給される液体Ｌの流量低下に伴う液体Ｌの比抵抗値の上昇を効率的に抑制することができる。
［第四実施形態］
　次に、第四実施形態について説明する。第四実施形態は、基本的に第三実施形態と同様であり、圧力伝達管が設けられている点で、第三実施形態と相違する。このため、以下では、第三実施形態と相違する事項のみを説明し、第三実施形態と同様の事項の説明を省略する。
　図５は、第四実施形態の比抵抗値調整装置の模式図である。図５に示すように、本実施形態の比抵抗値調整装置１Ｄは、中空糸膜モジュール２と、液体供給管３と、液体排出管４と、ガス供給管５と、ガス排出管６と、バイパス管７と、第一逆止弁８と、第二逆止弁１４と、圧力伝達管１５と、を備える。
　圧力伝達管１５は、内部に流路が形成された管状の部材である。圧力伝達管１５の一方端部は、第二上流側液体排出管部４Ｂに接続される。圧力伝達管１５の他方端部は、上流側バイパス管部７Ａに接続される。つまり、圧力伝達管１５は、第二上流側液体排出管部４Ｂと上流側バイパス管部７Ａとに連通されて、上流側バイパス管部７Ａの圧力を第二上流側液体排出管部４Ｂに伝える。この場合、圧力伝達管１５は、上流側バイパス管部７Ａの圧力を第二上流側液体排出管部４Ｂに伝えるが、上流側バイパス管部７Ａと第二上流側液体排出管部４Ｂとの間の液体Ｌの流通を少なくすることが好ましい。このため、圧力伝達管１５の断面積は、上流側バイパス管部７Ａ又は第二上流側液体排出管部４Ｂの断面積よりも小さいことが好ましい。なお、圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの断面積は、圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの流路と直交する断面の面積であって、圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの最も小さい断面積である。
　圧力伝達管１５は、上流側バイパス管部７Ａの圧力を第二上流側液体排出管部４Ｂに伝えることができれば、如何なる構成であってもよい。
　圧力伝達管１５の断面積は、例えば、上流側バイパス管部７Ａ又は第二上流側液体排出管部４Ｂの断面積の０．２倍であってもよく、０．０４倍であってもよく、０．００８倍であってもよい。また、圧力伝達管１５の断面積は、例えば、１．５ｍｍ２であってもよく、３．０ｍｍ２であってもよく、１０ｍｍ２であってもよい。
　圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ、第二上流側液体排出管部４Ｂが円管状である場合は、圧力伝達管１５の内径は、例えば、上流側バイパス管部７Ａ又は第二上流側液体排出管部４Ｂの内径の０．５倍であってもよく、０．２倍であってもよく、０．０９倍であってもよい。また、圧力伝達管１５の内径は、例えば、２．０ｍｍであってもよく、３．０ｍｍであってもよく、４．０ｍｍであってもよい。圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの内径は、圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの流路と直交する断面の内径であって、圧力伝達管１５、上流側バイパス管部７Ａ及び第二上流側液体排出管部４Ｂのそれぞれの最も小さい内径である。
　次に、比抵抗値調整装置１Ｄにより液体Ｌの比抵抗値を調整する方法について説明する。
　この方法では、液相側領域に液体Ｌを通過させながら気相側領域に調整ガスを通過させて、液体Ｌに調整ガスＧを溶解させる。そして、調整ガスＧが溶解された液体Ｌと中空糸膜モジュール２をバイパスさせた液体Ｌとを混合させて、液体Ｌの比抵抗値を調整する。
　具体的に説明すると、液体供給管３に液体Ｌを供給し、ガス供給管５に調整ガスＧを供給する。すると、液体Ｌは、液体供給管３から中空糸膜モジュール２の液相側領域に供給されて、液体排出管４に排出される。また、液体Ｌは、上流側接続部１２において液体供給管３から分岐し、中空糸膜モジュール２を迂回するようにバイパス管７を通って、液体排出管４に排出される。調整ガスＧは、ガス供給管５から中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給されて、ガス排出管６に排出される。中空糸膜モジュール２では、気相側領域に供給された調整ガスＧは、中空糸膜２１を透過することにより、液相側領域に供給された液体Ｌに溶解される。
　このとき、圧力伝達管１５が、第一逆止弁８の上流側に配置される第二上流側液体排出管部４Ｂと、第二逆止弁１４の上流側に配置される上流側バイパス管部７Ａと、に接続されている。このため、第一逆止弁８の液体供給管３側の圧力と、第二逆止弁１４の中空糸膜モジュール２側の圧力とが、均一化される。そして、バイパス管７に設けられている第一逆止弁８では、液体供給管３側と液体排出管４側との差圧に応じて流路の開度が変わり、第一上流側液体排出管部４Ａに設けられている第二逆止弁１４でも、中空糸膜モジュール２側と中空糸膜モジュール２の反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる。
　そして、中空糸膜モジュール２により調整ガスＧが溶解された液体Ｌと、バイパス管７を通過した液体Ｌとは、下流側接続部１３において混合される。これにより、液体Ｌの流量に関わらず、液体Ｌの比抵抗値を容易に調整できる。
　ここで、中空糸膜モジュール２をバイパスする液体Ｌの流量に対して中空糸膜モジュール２に供給される液体Ｌの流量が小さくなるように設定した場合、供給される液体Ｌが低流量になると、第一逆止弁８が流路を開き、第二逆止弁１４が流路を閉じることがある。このような場合、液体Ｌが中空糸膜モジュール２に流れなくなるため、液体Ｌの比抵抗値を調整することができない。
　しかしながら、本実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｄでは、圧力伝達管１５により上流側バイパス管部７Ａの圧力が第二上流側液体排出管部４Ｂに伝わることで、第二上流側液体排出管部４Ｂの圧力と上流側バイパス管部７Ａの圧力とが均一化される。このため、第一逆止弁８が流路を開き、第二逆止弁１４が流路を閉じる状態になるのを抑制することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
　例えば、上記実施形態では、第一逆止弁及び第二逆止弁の具体的な例を挙げて説明したが、第一逆止弁及び第二逆止弁は、上流側と下流側との差圧に応じて流路の開度が変わる弁であれば、如何なる構成のものを採用してもよい。
　また、バイパス管、第一バイパス管、及び第二バイパス管のそれぞれは、１本で構成されていてもよく、複数本で構成されていてもよい。例えば、第一実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ａ、第三実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｃ、及び第四実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｄでは、第一逆止弁８が設けられるバイパス管７が、互いに並列に配置された複数本の管で構成されていてもよい。また、第二実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｂでは、第一逆止弁８が設けられる第一バイパス管７１が、互いに並列に配置された複数本で構成されていてもよく、第一逆止弁８が設けられない第二バイパス管７２が、互いに並列に配置された複数本の管で構成されていてもよい。
　また、上記の各実施形態は、その一部または全部を適宜組み合わせてもよい。例えば、第二実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｂの、第一逆止弁８が設けられる第一バイパス管７１及び第一逆止弁８が設けられない第二バイパス管７２の構成を、第三実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｃ、及び第四実施形態に係る比抵抗値調整装置１Ｄに適用してもよい。
　次に、本発明の実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
（比較例１）
　比較例１では、図６に示す比抵抗値調整装置１０１を用いて、液体Ｌの比抵抗値を調整した。比較例１の比抵抗値調整装置１０１は、基本的に第一実施形態と同様であり、第一逆止弁が設けられていない点のみ、図１に示す第一実施形態の比抵抗値調整装置１Ａと相違する。
　液体供給管３に供給する液体Ｌとしては、２５℃における比抵抗値が１８．２ＭΩ・ｃｍの超純水を用いた。液体供給管３に供給する液体Ｌの流量は、１２０～５Ｌ／ｍｉｎの間で段階的に変動させた。液体供給管３に供給する液体Ｌの水圧は、０．３ＭＰａとした。ガス供給管５に供給する調整ガスＧとしては、炭酸ガスを用いた。炭酸ガスの供給源には、７ｍ３の炭酸ガスボンベを用いた。圧力調整弁１０として、二段式圧力調整器及びプレッシャーレギュレーティングバルブを用い、中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給する調整ガスＧのガス圧を、０．１ＭＰａとした。中空糸膜モジュール２として、ポリ－４－メチルペンテン－１を素材とする内径１８０μｍ、外径２５０μｍの中空糸膜２１を束にし、ＰＰ樹脂製のハウジング２２内で、中空糸膜２１の束の両端を樹脂で固め、４．０ｍ２の膜面積を有する外部灌流型の気体給気用中空糸膜モジュール（ＤＩＣ（株）製　ＳＥＰＡＲＥＬ　ＰＦ－０４－ＳＰ４）を得た。
　そして、液体供給管３に液体Ｌを供給するとともに、ガス供給管５に調整ガスＧを供給した。液体供給管３に供給した液体Ｌは、中空糸膜モジュール２の液相側領域に流れ込む比較的小流量の流れと、中空糸膜モジュール２を迂回してバイパス管７に流れ込む比較的大流量の流れと、に分配され、その後、液体排出管４で合流した。ガス供給管５に供給した調整ガスＧは、圧力調整弁１０により０．１［ＭＰａ］に調整された後、中空糸膜モジュール２の気相側領域に供給された。中空糸膜モジュール２では、調整ガスＧは、中空糸膜２１を透過し、中空糸膜２１内の液相側領域を流れる液体Ｌに溶解され、液体Ｌは、炭酸ガスが付加された炭酸ガス付加超純水となった。
　このとき、実験Ａでは、液体供給管３に６０Ｌ／ｍｉｎの液体Ｌを供給したときの炭酸ガス付加超純水の比抵抗値が０．８ＭΩ・ｃｍとなるように流量調整弁９を調節した。実験Ｂでは、液体供給管３に６０Ｌ／ｍｉｎの液体Ｌを供給したときの炭酸ガス付加超純水の比抵抗値が０．６ＭΩ・ｃｍとなるように流量調整弁９を調節した。実験Ｃでは、液体供給管３に６０Ｌ／ｍｉｎの液体Ｌを供給したときの炭酸ガス付加超純水の比抵抗値が０．４ＭΩ・ｃｍとなるように流量調整弁９を調節した。実験Ｄでは、液体供給管３に６０Ｌ／ｍｉｎの液体Ｌを供給したときの炭酸ガス付加超純水の比抵抗値が０．２ＭΩ・ｃｍとなるように流量調整弁９を調節した。
　そして、液体排出管４から排出された炭酸ガス付加超純水（液体Ｌ）の比抵抗値を計測した。この計測結果を図１４及び図１５に示す。図１４では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に経過時間を示し、右縦軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示した。また、図１４では、計測した比抵抗値を実線で示し、液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を破線で示した。図１５では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示し、右縦軸に比抵抗値調整装置１０１全体における液体Ｌの圧力損失を示した。また、図１５では、計測した比抵抗値を実線で示し、比抵抗値調整装置１０１全体における液体Ｌの圧力損失を破線で示した。
　図１５に示すように、比較例１では、供給される液体Ｌが低流量になるに従い、比抵抗値が大きく上昇した。また、図１４に示すように、比較例１では、液体Ｌを供給している際の比抵抗値の振れも大きかった。
（実施例１）
　実施例１では、図１に示す第一実施形態の比抵抗値調整装置１Ａを用いて、液体Ｌの比抵抗値を調整した。
　実施例１では、図１に示す第一実施形態の比抵抗値調整装置１Ａを用いた他は、比較例１と同条件とした。
　そして、液体排出管４から排出された炭酸ガス付加超純水（液体Ｌ）の比抵抗値を計測した。この計測結果を図７及び図８に示す。図７では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に経過時間を示し、右縦軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示した。また、図７では、計測した比抵抗値を実線で示し、液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を破線で示した。図８では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示し、右縦軸に比抵抗値調整装置１Ａ全体における液体Ｌの圧力損失を示した。また、図８では、計測した比抵抗値を実線で示し、比抵抗値調整装置１Ａ全体における液体Ｌの圧力損失を破線で示した。
　図８に示すように、実施例１では、比較例１に比べて、供給される液体Ｌが低流量になるに従って比抵抗値が上昇する現象が抑制された。また、図７に示すように、実施例１では、比較例１に比べて、液体Ｌを供給している際の比抵抗値の振れが小さくなった。
（実施例２）
　実施例２では、図３に示す第二実施形態の比抵抗値調整装置１Ｂを用いて、液体Ｌの比抵抗値を調整した。
　実施例２では、図３に示す第二実施形態の比抵抗値調整装置１Ｂを用いた他は、比較例１と同条件とした。
　そして、液体排出管４から排出された炭酸ガス付加超純水（液体Ｌ）の比抵抗値を計測した。この計測結果を図９に示す。図９では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示し、右縦軸に比抵抗値調整装置１Ｂ全体における液体Ｌの圧力損失を示した。また、図９では、計測した比抵抗値を実線で示し、比抵抗値調整装置１Ｂ全体における液体Ｌの圧力損失を破線で示した。
　図９に示すように、実施例１では、比較例１に比べて、供給される液体Ｌが低流量になるに従って比抵抗値が上昇する現象が抑制された。
（実施例３）
　実施例３では、図４に示す第三実施形態の比抵抗値調整装置１Ｃを用いて、液体Ｌの比抵抗値を調整した。
　実施例３では、図４に示す第三実施形態の比抵抗値調整装置１Ｃを用いた他は、比較例１と同条件とした。
　そして、液体排出管４から排出された炭酸ガス付加超純水（液体Ｌ）の比抵抗値を計測した。この計測結果を図１０及び図１１に示す。図１０では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に経過時間を示し、右縦軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示した。また、図１０では、計測した比抵抗値を実線で示し、液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を破線で示した。図１１では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示し、右縦軸に比抵抗値調整装置１Ｃ全体における液体Ｌの圧力損失を示した。また、図１１では、計測した比抵抗値を実線で示し、比抵抗値調整装置１Ｃ全体における液体Ｌの圧力損失を破線で示した。
　図１０に示すように、実施例３では、比較例１に比べて、供給される液体Ｌが低流量になるに従って比抵抗値が上昇する現象が抑制された。また、図１１に示すように、実施例３では、比較例１に比べて、液体Ｌを供給している際の比抵抗値の振れが小さくなった。
（実施例４）
　実施例４では、図５に示す第四実施形態の比抵抗値調整装置１Ｄを用いて、液体Ｌの比抵抗値を調整した。
　実施例４では、図５に示す第四実施形態の比抵抗値調整装置１Ｄを用いた他は、比較例１と同条件とした。
　そして、液体排出管４から排出された炭酸ガス付加超純水（液体Ｌ）の比抵抗値を計測した。この計測結果を図１２及び図１３に示す。図１２では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に経過時間を示し、右縦軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示した。また、図１２では、計測した比抵抗値を実線で示し、液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を破線で示した。図１３では、左縦軸に計測した比抵抗値を示し、横軸に液体供給管３に供給した液体Ｌの流量を示し、右縦軸に比抵抗値調整装置１Ｄ全体における液体Ｌの圧力損失を示した。また、図１３では、計測した比抵抗値を実線で示し、比抵抗値調整装置１Ｄ全体における液体Ｌの圧力損失を破線で示した。
　図１３に示すように、実施例４では、比較例１に比べて、供給される液体Ｌが低流量になるに従って比抵抗値が上昇する現象が抑制された。また、図１２に示すように、実施例３では、比較例１に比べて、液体Ｌを供給している際の比抵抗値の振れが小さくなった。
　１Ａ…比抵抗値調整装置、１Ｂ…比抵抗値調整装置、１Ｃ…比抵抗値調整装置、１Ｄ…比抵抗値調整装置、２…中空糸膜モジュール、３…液体供給管、４…液体排出管、４Ａ…第一上流側液体排出管部、４Ｂ…第二上流側液体排出管部、４Ｃ…第三上流側液体排出管部、５…ガス供給管、６…ガス排出管、７…バイパス管、７Ａ…上流側バイパス管部、７Ｂ…下流側バイパス管部、８…第一逆止弁、９…流量調整弁、１０…圧力調整弁、１１…漏出部、１２…上流側接続部、１３…下流側接続部、１４…第二逆止弁、１５…圧力伝達管、２１…中空糸膜、２２…ハウジング、２２Ａ…液体供給口、２２Ｂ…液体排出口、２２Ｃ…ガス供給口、２２Ｄ…ガス排出口、７１…第一バイパス管、７２…第二バイパス管、８２…弁体、８３…スプリング、８５…流路、８６…弁座、８７…支持部材、１０１…比抵抗値調整装置、１４２…弁体、１４３…スプリング、１４５…流路、１４６…弁座、１４７…支持部材、Ｇ…調整ガス、Ｌ…液体、Ｐ…圧力計。

Claims (9)

  1. 　中空糸膜により、比抵抗値を調整する液体が供給される液相側領域と比抵抗値を調整する調整ガスが供給される気相側領域とに分けられた中空糸膜モジュールと、
    　前記液相側領域に前記液体を供給するために前記液相側領域に連通された液体供給管と、
    　前記液相側領域から前記液体を排出するために前記液相側領域に連通された液体排出管と、
    　前記気相側領域に前記調整ガスを供給するために前記気相側領域に連通されたガス供給管と、
    　前記気相側領域から前記調整ガスを排出するために前記気相側領域に連通されたガス排出管と、
    　前記中空糸膜モジュールをバイパスするように前記液体供給管及び前記液体排出管に連通されたバイパス管と、
    　前記バイパス管に設けられて、前記液体供給管側と前記液体排出管側との差圧に応じて流路の開度が変わる第一逆止弁と、を備える、
    比抵抗値調整装置。
  2. 　前記第一逆止弁では、前記液体供給管側と前記液体排出管側との差圧が第一作動開始圧以下になると、前記第一逆止弁の前記流路が狭くなり始める、
    請求項１に記載の比抵抗値調整装置。
  3. 　前記第一逆止弁は、前記液体排出管側に向けられた弁座を有する本体と、前記弁座の前記液体排出管側に配置された弁体と、前記弁体を前記弁座側に押すスプリングと、を有する、
    請求項１又は２に記載の比抵抗値調整装置。
  4. 　前記バイパス管は、互いに並列に配置された第一バイパス管及び第二バイパス管を有し、
    　前記第一逆止弁は、前記第一バイパス管に配置されて、前記第二バイパス管に配置されていない、
    請求項１～３の何れか一項に記載の比抵抗値調整装置。
  5. 　前記液体排出管の、前記バイパス管が前記液体排出管に接続される下流側接続部と前記中空糸膜モジュールとの間に位置する第一上流側液体排出管部に設けられて、前記中空糸膜モジュール側と前記中空糸膜モジュールの反対側との差圧に応じて流路の開度が変わる第二逆止弁を更に備える、
    請求項１～４の何れか一項に記載の比抵抗値調整装置。
  6. 　前記第一逆止弁の前記流路が閉じる第一クラッキング圧は、前記第二逆止弁の前記流路が閉じる第二クラッキング圧と同じである、
    請求項５に記載の比抵抗値調整装置。
  7. 　前記第二逆止弁では、前記中空糸膜モジュール側と前記中空糸膜モジュールとは反対側との差圧が第二作動開始圧以下になると、前記第二逆止弁の前記流路が狭くなり始める、
    請求項５又は６に記載の比抵抗値調整装置。
  8. 　前記液体排出管の、前記中空糸膜モジュールと前記第二逆止弁との間に位置する第二上流側液体排出管部と、前記バイパス管の、前記バイパス管が前記液体供給管に接続される上流側接続部と前記第一逆止弁との間に位置する上流側バイパス管部と、に接続されて、前記上流側バイパス管部の圧力を前記第二上流側液体排出管部に伝える圧力伝達管を更に備える、
    請求項５～７の何れか一項に記載の比抵抗値調整装置。
  9. 　請求項１～８何れか一項に記載された比抵抗値調整装置を用いて前記液体の比抵抗値を調整する、
    比抵抗値調整方法。
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