JP6900834B2 - 比抵抗値調整装置 - Google Patents
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Description
実施例1では、図1及び図2に示す上記の実施形態の比抵抗値調整装置1を用いた。
実施例2では、実施例1と同様に、図1及び図2に示す上記の実施形態の比抵抗値調整装置1を用いた。
比較例1では、図3及び図4に示す比抵抗値調整装置11を用いた。
比較例2では、比較例1と同様に、図3及び図4に示す比抵抗値調整装置11を用いた。
図5に、実施例1及び比較例1の計測結果を示し、図6に、実施例2及び比較例2の計測結果を示す。図5及び図6において、横軸は、第一液体供給管31に供給する超純水の流量を示しており、縦軸は、比抵抗値調整超純水の比抵抗値を示している。
Claims (2)
- 中空糸膜により、比抵抗値の調整対象である液体が供給される液相側領域と前記液体の比抵抗値を調整するための調整ガスが供給される気相側領域とに分けられて、前記中空糸膜を透過した前記調整ガスを前記液体に溶解させる中空糸膜モジュールと、
前記中空糸膜モジュールに前記液体を供給する液体供給管と、
前記中空糸膜モジュールから前記調整ガスが溶解した前記液体が排出される第一液体排出管と、
前記中空糸膜モジュールに前記調整ガスを供給するガス供給管と、
前記液体供給管から分岐して前記中空糸膜モジュールをバイパスするバイパス管と、
前記第一液体排出管を流れる前記液体と前記バイパス管を流れる前記液体とを合流する合流装置と、
前記合流装置から合流した前記液体が排出される第二液体排出管と、を備え、
前記合流装置は、
バイパス管と前記第二液体排出管とに接続されて、前記バイパス管よりも流路径の小さい絞り部を有する第一流路と、
前記第一液体排出管と前記絞り部とに接続される第二流路と、を備える、
比抵抗値調整装置。 - 前記バイパス管の流路径をA、前記絞り部の流路径をBとすると、B/Aは0.3以上0.8以下の範囲である、
請求項1に記載の比抵抗値調整装置。
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