WO2021245920A1 - 潤滑剤封止構造、波動歯車装置およびアクチュエータ - Google Patents

潤滑剤封止構造、波動歯車装置およびアクチュエータ Download PDF

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oil
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labyrinth seal
sealing structure
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大介 折井
修平 小林
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株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
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Definitions

  • the present invention relates to a lubricant sealing structure used for a strain wave gearing device, an actuator equipped with a strain wave gearing device and a motor, and other mechanical devices. More specifically, the present invention relates to a lubricant sealing structure that prevents the lubricant from leaking from the inside of the device to the outside through between the first member and the second member that rotate relative to each other.
  • rotating side members such as input shafts and output shafts are supported by fixed side members such as device housings via bearings.
  • a gap is formed between the rotating side member and the fixed side member.
  • the gap is generally sealed by an oil seal to prevent lubricants such as oil and grease filled inside the device from leaking through the gap to other parts of the device or out of the device.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-258234 proposes a lubricant sealing structure having improved sealing performance of an oil seal.
  • a fluorine-based grease having an oil-repellent property against the lubricant is applied to the sealing portion of the rotating member by the oil seal to improve the sealing property.
  • Patent Document 2 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-333504
  • Patent Document 3 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-9085
  • a non-contact seal having a labyrinth flow path defined by an oil-repellent treated surface incorporated between a casing and an axle of a gear device for a railway vehicle is provided. A device has been proposed.
  • Patent Document 4 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-214996
  • Patent Document 5 Japanese Patent No. 5465109
  • a lubricating fluid is interposed in the sliding surface between two members by laser processing, and a minute groove is formed in the sliding surface to reduce high friction. It has been proposed to give an effect.
  • Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-258234 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-333504 JP-A-2017-9085 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-214996 Japanese Patent No. 5465109
  • An object of the present invention is to make it possible to reliably prevent the lubricant from leaking through the gap portion between the first and second members that rotate relative to each other by utilizing fine groove processing (surface texture ring).
  • the purpose is to provide a lubricant sealing structure.
  • the lubricant leaks from the inside of the device through the gap between the first and second members in the device including the first member and the second member that rotate relative to the central axis.
  • the lubricant sealing structure to prevent It is equipped with a labyrinth seal that seals the gap.
  • the labyrinth seal is formed between a first surface portion on the side of the first member facing each other and a second surface portion on the side of the second member.
  • An oil-repellent surface having oil-repellent properties against the lubricant is formed on the first surface portion and the second surface portion, respectively.
  • an upstream oil-repellent surface having the oil-repellent property is formed on one side.
  • Each of the oil-repellent surface and the upstream oil-repellent surface has a surface texture in which fine grooves are formed in a predetermined groove arrangement pattern.
  • the microgroove has a groove width and a groove depth of several micrometers to several tens of nanometers.
  • the groove arrangement pattern is characterized in that the fine grooves are arranged at a groove interval of several micrometers to several tens of nanometers.
  • a groove arrangement pattern of fine grooves is formed on the first and second surface portions forming the labyrinth seal that seals the gap between the first and second members.
  • the applied oil-repellent surface is formed.
  • an upstream oil-repellent surface is also formed on the surface portions on the first and second upstream sides located on the upstream side in the leakage direction of the lubricant from the labyrinth seal. The lubricant that leaks through the gap is repelled by the oil-repellent surface on the upstream side and deforms into a spherical shape.
  • the gap size of the labyrinth seal By making the gap size of the labyrinth seal smaller than the size (diameter) of the spherical lubricant, it is possible to prevent the lubricant from flowing into the gap defining the labyrinth seal. Further, since the labyrinth seal is defined by the oil-repellent surface, the flow of the lubricant flowing into the labyrinth seal is suppressed.
  • the oil-repellent effect of the upstream oil-repellent surface formed by surface textureing by fine groove processing, the sealing effect of the labyrinth seal, and the oil-repellent surface defining the labyrinth seal are defined.
  • the oil-repellent effect of the above is synergistically obtained, and excellent sealing property is obtained, and the sealing property is maintained. This ensures that the lubricant does not leak from the lubricant-filled portion inside the device to the outside of the device.
  • any one of the following arrangement patterns (1) to (5) can be adopted as the groove arrangement pattern for imparting oil repellency to the member surface. Further, it is also possible to adopt a composite array pattern in which a plurality of array patterns selected from these array patterns are combined.
  • (2) The fine grooves extend at the groove spacing at the center.
  • Arrangement pattern extending linearly, curvedly or wavyly in the circumferential direction around the axis (3)
  • the microgrooves are straight in the direction inclined with respect to the direction along the central axis at the groove spacing.
  • Arrangement pattern extending in a shape, curve or wavy shape Arrangement pattern in which the fine grooves extend spirally at the groove spacing (5) Arrangement in which the fine grooves are formed in a mesh shape at the groove spacing.
  • an oil pool having a large gap size can be formed in a part of the gap portion constituting the labyrinth seal.
  • an oil absorber made of a porous material such as a non-woven fabric can be attached to the oil sump. It is possible to reliably prevent the lubricant from flowing out from the oil pool to the downstream side.
  • the inner peripheral surface portion of the oil sump can be set to be a lipophilic surface having lipophilicity to the lubricant. As a result, it is possible to effectively prevent the lubricant accumulated in the oil pool from leaking to the downstream side.
  • a gap portion in which the gap dimension gradually decreases toward the leakage direction of the lubricant in a part of the gap portion constituting the labyrinth seal.
  • a gap portion of a wedge-shaped cross section can be formed.
  • FIG. 1B It is a schematic vertical sectional view which shows the wave gear device which provided with the lubricant sealing structure of this invention. It is explanatory drawing which shows the part 1B in which the lubricant sealing structure is incorporated in the wave gear device of FIG. 1A. It is explanatory drawing which shows the part 1C which incorporates the lubricant sealing structure in the wave gear device of FIG. 1A. It is explanatory drawing which shows the part 1D in which the lubricant sealing structure is incorporated in the wave gear device of FIG. 1A. It is explanatory drawing which shows the modification example of the lubricant sealing structure shown in FIG. 1B. It is a schematic vertical sectional view which shows the actuator which provided the lubricant sealing structure of this invention.
  • the lubricant sealing structure of the present invention is applied to a wave gear device and an actuator including a wave gear device and a motor.
  • the present invention is similarly applicable to a rotation transmission device such as a gear type speed reducer other than a strain wave gearing device.
  • FIG. 1A is a schematic vertical sectional view showing a strain wave gearing device according to the first embodiment of the present invention.
  • the strain wave gearing device 1 extends coaxially through a disk-shaped end plate 2 and an end plate 3 facing each other in the direction of the central axis 1a at predetermined intervals and a central portion of these end plates 2 and 3. It includes a hollow input shaft 4 and a strain wave gearing mechanism 5 incorporated in a state of coaxially surrounding the hollow input shaft 4 between the end plates 2 and 3.
  • the hollow input shaft 4 is rotatably supported by end plates 2 and 3 via ball bearings 6 and 7.
  • the wave gear mechanism 5 includes a ring-shaped rigid internal gear 8, a silk hat-shaped elastic external gear 9, an elliptical contour wave generator 10, an internal gear 8, and an external gear. It is provided with a cross roller bearing 11 that supports the 9 in a relatively rotatable state.
  • the external gear 9 includes a flexible cylindrical body portion 9b on which external teeth 9a are formed, a disk-shaped diaphragm 9c extending radially outward from the end of the cylindrical body portion 9b, and a diaphragm. It is provided with an annular rigid boss 9d integrally formed on the outer peripheral edge portion of the 9c.
  • the portion of the cylindrical body portion 9b on which the external teeth 9a are formed on the side of the open end is coaxially arranged inside the internal gear 8.
  • a wave generator 10 is coaxially fitted inside the portion of the cylindrical body portion 9b on the side of the open end.
  • the wave generator 10 includes a plug portion 10a integrally formed on the outer peripheral surface portion of the hollow input shaft 4, and a wave bearing 10b mounted on the elliptical outer peripheral surface of the plug portion 10a.
  • the cylindrical body portion 9b of the external gear 9 is bent in an elliptical shape by the wave generator 10, and the portions of the external teeth 9a located at both ends of the long axis thereof mesh with the internal teeth 8a of the internal gear 8. There is.
  • the boss 9d of the external gear 9 is sandwiched between the end plate 2 and the outer ring 12 of the cross roller bearing 11 from both sides in the direction of the central axis 1a, and in this state, the three members are fastened and fixed.
  • the internal gear 8 is sandwiched between the end plate 3 and the inner ring 13 of the cross roller bearing 11 from both sides in the direction of the central axis 1a, and in this state, the three members are fastened and fixed.
  • the hollow input shaft 4 is a rotary input member connected to a motor or the like.
  • the wave generator 10 rotates integrally with the hollow input shaft 4, and the meshing position of the external gear 9 with respect to the internal gear 8 moves in the circumferential direction. Relative rotation occurs between the gears 8 and 9 according to the difference in the number of teeth.
  • the end plate 2 to which the external gear 9 is fastened is a fixed side member
  • the end plate 3 to which the internal gear 8 is fastened is a rotation output member
  • relative rotation relative rotation (deceleration rotation) is performed from the end plate 3. Is output.
  • the lubrication portion inside the device of the wave gear device 1 includes a meshing portion between the external gear 9 and the internal gear 8, a contact portion between the external gear 9 and the wave generator 10, a wave bearing 10b of the wave generator 10, and a cross roller. There are a sliding portion of the bearing 11, a sliding portion of the ball bearings 6 and 7, and the like.
  • the strain wave gearing device 1 incorporates a lubricant sealing structure for preventing the lubricant sealed or applied to these portions from leaking from the inside of the device to the outside.
  • the lubricant sealing structure provided with the labyrinth seal 20 of the portion 1B seals between the end plate 2 and one of the shaft end portions 4a of the hollow input shaft 4, and is located between the end plates 2 and 3. Prevents the lubricant from leaking to the outside of the device from the lubricant-filled portion 26 and the ball bearing 6 portion between the external gear 9 and the hollow input shaft 4.
  • the lubricant encapsulation structure provided with the labyrinth seal 30 of the portion 1C seals between the end plate 3 and the other shaft end 4b of the hollow input shaft 4, the lubricant encapsulation portion 26 and the ball bearing. Prevents the lubricant from leaking to the outside of the device from the portion 7.
  • the lubricant sealing structure provided with the labyrinth seal 40 of the portion 1D seals between the outer ring 12 and the inner ring 13 of the cross roller bearing 11, and is between the outer gear 9 and the cross roller bearing 11 and the inner gear. Prevents the lubricant from leaking to the outside of the device from the lubricant-filled portion 46 and the cross-roller bearing 11 formed in the device.
  • FIG. 1B is an explanatory diagram showing a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 20 that seals between the end plate 2 and the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4.
  • a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 20 that seals between the end plate 2 and the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4.
  • One shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4 is rotatably supported with respect to the end plate 2 via a ball bearing 6.
  • the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4 projects to the outside of the device through the central portion of the end plate 2.
  • a gap is formed between the end plate 2 and the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4 so as to communicate with the outside of the device from the side of the ball bearing 6 (the side of the lubricant-filled portion 26). This gap is sealed by the labyrinth seal 20.
  • An annular member 22 is mounted in the gap between the end plate 2 and the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4.
  • the annular member 22 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface portion 4c of the shaft end portion 4a of the hollow input shaft 4.
  • An annular protrusion 2a protruding inward is formed on the inner peripheral surface of the end plate 2 so as to face the annular member 22 from the axial direction.
  • the labyrinth seal 20 is formed between the surface portion 2b on the side of the annular protrusion 2a of the end plate 2 and the surface portion 22a on the side of the annular member 22 of the hollow input shaft 4 facing the surface portion 2b.
  • the labyrinth seal 20 of this example is an axial labyrinth seal, and the gap portions 21a, 21c, 21e extending in the axial direction and the gap portions 21b, 21d extending in the radial direction from the upstream side to the downstream side in the leakage direction of the lubricant. And are formed alternately. Further, in the gap portions 21a to 21e, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side. Further, the clearance portion 21a on the most upstream side of the labyrinth seal 20 is set so that the clearance dimension in the radial direction is smaller than the diameter of the lubricant particles that are repelled and spheroidized by the oil-repellent surface described below. ing.
  • An oil-repellent surface having oil-repellent properties against a lubricant is formed on the surface portion 2b on the side of the end plate 2 forming the gap portions 21a to 21e.
  • the region where the oil-repellent surface is formed on the surface portion 2b is shown by a dot pattern.
  • an oil-repellent surface is also formed on the surface portion 22a of the annular member 22 facing the surface portion 2b on the side of the end plate 2 and the outer peripheral surface portion 4d of the hollow input shaft 4.
  • the regions where the oil-repellent surface is formed on the surface portion 22a and the outer peripheral surface portion 4d are also shown by dot patterns.
  • the oil-repellent surface of this example has a surface texture in which fine grooves are formed in a predetermined groove arrangement pattern so as to obtain oil repellency against the enclosed lubricant.
  • the microgrooves have a groove width and a groove depth of a few micrometers to a few tens of nanometers, and a groove arrangement pattern is a pattern in which the microgrooves are arranged at a groove spacing of a few micrometers to a few tens of nanometers.
  • the fine groove 25 forming the oil-repellent surface of the outer peripheral surface portion 4d of the hollow input shaft 4 is a groove extending in the circumferential direction as schematically shown in FIG. 1B, and is in the direction of the central axis 1a. They are arranged at regular intervals.
  • various groove arrangement patterns can be adopted as the groove arrangement pattern of the fine grooves 25 forming the oil-repellent surface.
  • a groove arrangement pattern in which fine grooves 25 extending linearly, curvedly or wavyly along the central axis 1a are formed at regular intervals in the circumferential direction A groove arrangement pattern in which fine grooves 25 extending linearly, curvedly or wavyly in the circumferential direction about the central axis 1a are formed at regular intervals in the direction of the central axis 1a may be used.
  • a groove arrangement pattern composed of fine grooves 25 spirally extending in the direction of the central axis 1a at a constant pitch can also be used. Further, it is also possible to form a mesh-like groove arrangement pattern in which the fine grooves 25 extending in the direction of the central axis 1a and the fine grooves 25 extending in the circumferential direction intersect. Further, it is also possible to obtain a groove arrangement pattern having a structure in which these groove arrangement patterns are overlapped.
  • the space between the hollow input shaft 4 and the end plate 2 is sealed by the labyrinth seal 20 to prevent the lubricant from leaking to the outside of the device.
  • the gap portions 21a to 21e constituting the labyrinth seal 20 are defined by the oil-repellent surface, it is possible to effectively prevent the lubricant that has entered the labyrinth seal 20 from flowing out to the outside of the apparatus.
  • the outer peripheral surface portion 4d1 of the hollow input shaft 4 is also an oil-repellent surface (upstream oil-repellent surface).
  • the lubricant flowing into the labyrinth seal 20 from the side of the ball bearing 6 is repelled by this oil-repellent surface and deforms into spherical particles before entering the gap portion 21a of the labyrinth seal 20. Since the clearance dimension in the radial direction of the gap portion 21a is smaller than the diameter of the formed spherical lubricant particles, it is possible to prevent the lubricant from flowing into the gap portion 21a. Further, in the gap portions 21a to 21e constituting the labyrinth seal 20, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side, so that the lubricant that has entered the gap portion on the upstream side is on the downstream side. It is effectively prevented from flowing into the gap.
  • the gap dimensions at each position in the radial direction are the same in each of the gap portions 21a, 21c, and 21e extending in the axial direction. Further, the gap dimensions in the axial direction are the same in each of the gap portions 21b and 21d extending in the radial direction. It is also possible to use a gap portion (gap portion having a wedge-shaped cross section) in which the gap dimension gradually decreases from the inside of the device toward the outside of the device.
  • the gap portion 21a can be a gap portion in which the clearance dimension in the radial direction gradually decreases from the side of the lubricant-filled portion 26 toward the outside of the device.
  • the inner peripheral surface portion 2c forming the gap portion 21a in the surface portion 2b on the side of the end plate 2 may be a tapered inner peripheral surface.
  • at least the minimum clearance dimension may be set to a value smaller than the diameter of the lubricant particles that spheroidize on the oil-repellent surface.
  • the gap portion in which the gap size gradually decreases toward the downstream side can be similarly applied to the following lubricant sealing structures and each lubricant sealing structure according to the second embodiment described later.
  • FIG. 1C is an explanatory diagram showing a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 30 that seals between the end plate 3 and the other shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4.
  • the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4 is rotatably supported with respect to the end plate 3 via a ball bearing 7.
  • the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4 protrudes to the outside of the device through the central portion of the end plate 3.
  • a gap is formed between the end plate 3 and the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4 so as to communicate with the outside of the device from the side of the ball bearing 7 (the side of the lubricant-filled portion 26). This gap is sealed by the labyrinth seal 30.
  • An annular member 32 is mounted in the gap between the end plate 3 and the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4.
  • the annular member 32 is press-fitted and fixed to the outer peripheral surface portion 4e of the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4.
  • An annular protrusion 3a protruding inward is formed on the inner peripheral surface of the end plate 3 so as to face the annular member 32 from the axial direction.
  • the labyrinth seal 30 is formed between the surface portion 3b on the side of the annular protrusion 3a of the end plate 3 and the surface portion 32a on the side of the annular member 32 facing the surface portion 3b.
  • the gap portions 31a and 31c extending in the axial direction from the upstream side to the downstream side in the leakage direction of the lubricant (from the lubricant-filled portion 26 toward the outside of the device), 31e and gap portions 31b and 31d extending in the radial direction are alternately formed. Further, in the gap portions 31a to 31e, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side. Further, the clearance portion 31a on the most upstream side of the labyrinth seal 30 is set so that the clearance dimension in the radial direction is smaller than the diameter of the lubricant particles that are repelled by the oil-repellent surface and spheroidized as described below. There is.
  • the surface portion 3b on the side of the end plate 3 forming each gap portion 31a to 31e is an oil-repellent surface having oil-repellent property against a lubricant.
  • the range where the oil-repellent surface is formed is shown by a dot pattern.
  • the surface portion 32a of the annular member 32 facing the surface portion 3b is also an oil-repellent surface.
  • the range where the oil-repellent surface is formed on the surface portion 32a is shown by a dot pattern.
  • an oil-repellent surface upstream side surface portion
  • an oil pool is formed in the gap portion 31a of the labyrinth seal 30. That is, a groove 32b having a rectangular cross section extending in the circumferential direction is formed on the inner peripheral surface of the annular protrusion 3a of the end plate 3.
  • the groove 32b forms an oil sump having a larger clearance dimension in the radial direction than the other portions in the gap portion 31a.
  • the groove 32b is filled with an oil absorber 33 made of a porous material, for example, a non-woven fabric.
  • the bottom surface portion of the groove 32b and the inner peripheral side surface portions on both sides are surface-treated to be lipophilic surfaces having lipophilicity to lubricating oil.
  • FIG. 1C the formation region of the new oil level is shown by a mesh pattern.
  • the lubricant flows out from the side of the ball bearing 7 inside the device into the gap between the hollow input shaft 4 and the end plate 3.
  • the labyrinth seal 30 prevents the lubricant from leaking to the outside of the device. Further, in the gap portions 31a to 31e constituting the labyrinth seal 30, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side, so that the lubricant that has entered the gap portion on the upstream side is on the downstream side. It is effectively prevented from flowing into the gap.
  • the gap portions 31a to 31e constituting the labyrinth seal 30 are defined by the oil-repellent surface, it is possible to effectively prevent the lubricant that has entered the labyrinth seal 30 from flowing out toward the outside of the device.
  • the lubricant from the side of the ball bearing 7 toward the labyrinth seal 30 is repelled by the oil-repellent surface formed on the outer peripheral surface portion 4f of the shaft end portion 4b of the hollow input shaft 4, and the gap portion of the labyrinth seal 30 is repelled.
  • the clearance dimension in the radial direction of the gap portion 31a is smaller than the diameter of the formed spherical lubricant particles, it is possible to prevent the lubricant from flowing into the gap portion 31a.
  • an oil sump filled with the oil absorber 33 is formed in the gap portion 31a of the labyrinth seal 30.
  • the lubricant that has entered the labyrinth seal 30 is trapped in the oil pool and prevented from flowing out toward the downstream side (outside of the device). Since the inner peripheral surface portion of the groove forming the oil sump is the lipophilic surface, this also effectively prevents the lubricant trapped in the oil sump from flowing out to the downstream side.
  • the sealing effect of the labyrinth seal 30, the effect of the oil-repellent surface, and the effect of the oil sump provided with the oil absorber and the pro-oil surface can surely prevent the lubricating oil from leaking to the outside of the apparatus.
  • FIG. 1D is an explanatory diagram showing a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 40 that seals between the outer ring 12 and the inner ring 13.
  • a gap is formed between the outer ring 12 and the inner ring 13 so as to communicate with the outside of the device from the raceway groove 14. The gap is sealed by the labyrinth seal 40.
  • the labyrinth seal 40 is formed between the inner peripheral side surface portion 12a of the outer ring 12 and the outer peripheral side surface portion 13a of the inner ring 13 facing the inner peripheral side surface portion 12a.
  • the gap portions 41a, 41c, 41e extending in the axial direction and the gap portions 41b, 41d extending in the radial direction are alternately formed from the lubricant-filled portion toward the outside of the device. Further, in the gap portions 41a to 41e, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side.
  • the inner peripheral side surface portion 12a of the outer ring 12 forming the gap portions 41a to 41e is an oil-repellent surface having oil-repellent properties against the lubricant.
  • the range where the oil-repellent surface is formed is shown by a dot pattern.
  • the outer peripheral side surface portion 13a of the inner ring 13 facing the inner peripheral side surface portion 12a is also used as an oil-repellent surface.
  • a range in which an oil-repellent surface is formed on the outer peripheral side surface portion 13a is shown by a dot pattern. Since the oil-repellent surface is configured in the same manner as the oil-repellent surface of the labyrinth seal 20 described above, the description thereof will be omitted.
  • the lubricant flows out from the side of the raceway groove 14 of the cross roller bearing 11 inside the device into the gap between the outer ring 12 and the inner ring 13.
  • the labyrinth seal 40 prevents the lubricant from leaking to the outside of the device. Further, in the gap portions 41a to 41e constituting the labyrinth seal 40, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side, so that the lubricant that has entered the gap portion on the upstream side is on the downstream side. It is effectively prevented from flowing into the gap.
  • the gap portions 41a to 41e are defined by the oil-repellent surface, it is possible to effectively prevent the lubricant that has entered the labyrinth seal 40 from flowing out toward the outside of the device. As described above, the sealing effect of the labyrinth seal 40 and the oil-repellent effect of the oil-repellent surface can surely prevent the lubricating oil from leaking to the outside of the apparatus through the gap.
  • FIG. 2A is a schematic vertical sectional view showing an actuator having the lubricant sealing structure of the present invention.
  • the actuator 100 is a hollow actuator having a hollow portion extending through the center thereof, and includes a motor 110 and a strain wave gearing device 120.
  • the motor 110 includes a hollow motor shaft 111, a rotor 112 attached to the outer peripheral surface thereof, and a stator 113 coaxially surrounding the rotor 112.
  • the hollow motor shaft 111 is rotatably supported by a motor housing 116 at both ends thereof via ball bearings (only one ball bearing 114 is shown in the figure).
  • the motor housing 116 is provided with a large-diameter mounting flange 117 at its front end.
  • a strain wave gearing device 120 is coaxially mounted on the front surface of the mounting flange 117.
  • the wave gear device 120 is a state in which a rigid internal gear 121, a silk hat-shaped flexible external gear 122, a wave generator 123, an internal gear 121 and an external gear 122 are relatively rotatable. It is provided with a supporting cross roller bearing 124 and a disk-shaped output shaft 125.
  • the wave generator 123 includes a hollow input shaft 126 coaxially connected to the hollow motor shaft 111, and a plug 127 having an elliptical contour is integrally formed on the outer peripheral surface of the hollow input shaft 126.
  • a wave bearing 128 is mounted on the elliptical outer peripheral surface of the plug 127.
  • the wave generator 123 bends the cylindrical body of the external gear 122 on which the external teeth 122a are formed into an elliptical shape, and partially meshes with the internal teeth 121a of the internal gear 121.
  • the annular boss 122c of the external gear 122 is sandwiched between the mounting flange 117 and the outer ring 124a of the cross roller bearing 124, and in this state, the three members are fastened and fixed.
  • the internal gear 121 is sandwiched between the inner ring 124b of the cross roller bearing 124 and the output shaft 125, and in this state, the three members are fastened and fixed.
  • the output rotation of the motor 110 is input to the wave generator 123 from the hollow motor shaft 111. When the wave generator 123 rotates, the internal gear 121 decelerates and rotates, and the deceleration rotation is output from the output shaft 125 connected to the internal gear 121 to the load side (not shown).
  • Each lubricated portion inside the device of the wave gear device 120 includes a meshing portion between the external gear 122 and the internal gear 121, a contact portion between the external gear 122 and the wave generator 123, a wave bearing 128 of the wave generator 123, and a cross roller. Bearing 124 and the like.
  • the labyrinth seal 140 is provided on the wave gear device 120.
  • 2B of the lubricant-sealed structure including the labyrinth seal 150, 2C of the lubricant-sealed structure provided with the labyrinth seal 150, and 2D of the lubricant-sealed structure provided with the labyrinth seal 160 are incorporated.
  • FIG. 2B is an explanatory view showing a portion of a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 140 that seals between the hollow input shaft 126 and the output shaft 125.
  • the hollow input shaft 126 that rotates at high speed and the output shaft 125 that rotates at low speed are sealed by a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 140.
  • the internal space of the external gear 122 in which the wave bearing 128 is arranged is a lubricant-enclosed portion in which the lubricant supplied to the wave bearing 128, the sliding portion between the wave bearing 128 and the external gear 122, etc. is sealed. 131 (see FIG. 2A).
  • a gap is formed between the hollow input shaft 126 and the output shaft 125 from the wave bearing 128 located on the inner side of the device to the outside of the device.
  • the gap is sealed by the labyrinth seal 140.
  • the labyrinth seal 140 is formed between the surface portion 125a on the inner peripheral side of the output shaft 125 and the surface portion 126a on the shaft end side of the hollow input shaft 126 facing the surface portion 125a on the inner peripheral side.
  • the labyrinth seal 140 is an axial labyrinth seal, and gap portions 141a, 141c, 141e extending in the radial direction from the lubricant-encapsulated portion toward the outside of the device and gap portions 141b, 141d, 141f extending in the axial direction are alternately formed. Has been done. Further, in the gap portions 141a to 141e, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side.
  • the gap portion 141a on the most upstream side of the labyrinth seal 140 is set so that the gap dimension in the axial direction is smaller than the diameter of the lubricant particles that are repelled by the oil-repellent surface and spheroidized as described below. There is.
  • An oil-repellent surface having oil-repellent properties against a lubricant is formed on the surface portion 125a on the inner peripheral side of the output shaft 125 forming the gap portions 141a to 141f. Further, an oil-repellent surface (upstream oil-repellent surface) is also formed on the outer peripheral surface portion 125b (upstream side surface portion) connected to the inside of the device (upstream side in the lubricant leakage direction) with respect to the gap portion 141a. .. Further, an oil-repellent surface is also formed on the surface portion 126a of the hollow input shaft 126. In FIG. 2B, a dot pattern is provided along the surface portion to show the surface portion on which the oil-repellent surface is formed.
  • the oil-repellent surface is a surface portion in which fine grooves are formed in a predetermined groove arrangement pattern, as in the case of the oil-repellent surface on the labyrinth seal 20 side in the above-described first embodiment. Is omitted.
  • the lubricant flows out from the inside of the device into the gap between the hollow input shaft 126 and the output shaft 125. Since the gap is sealed by the labyrinth seal 140, the lubricant is prevented from leaking to the outside of the device. Further, in the gap portions 141a to 141f constituting the labyrinth seal 140, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side, so that the lubricant that has entered the gap portion on the upstream side is on the downstream side. It is effectively prevented from flowing into the gap.
  • the gap portions 141a to 141f are defined by the oil-repellent surface, it is possible to effectively prevent the lubricant that has entered the labyrinth seal 140 from flowing out toward the outside of the device. Further, the lubricant flowing into the labyrinth seal 140 is repelled by the oil-repellent surface formed on the outer peripheral surface portion 125b of the output shaft 125, and is deformed into spherical particles before entering the gap portion 141a of the labyrinth seal 140. Since the clearance dimension in the axial direction of the gap portion 141a is smaller than the diameter of the formed spherical lubricant particles, it is possible to prevent the lubricant from flowing into the gap portion 141a.
  • the oil-repellent effect of the oil-repellent surface on the upstream side, the sealing effect of the labyrinth seal 140, and the oil-repellent effect of the oil-repellent surface defining the labyrinth seal 140 ensure that the lubricating oil leaks to the outside of the device. Can be prevented.
  • FIG. 2C is an explanatory diagram showing a portion of a lubricant sealing structure provided with a labyrinth seal 150 that seals between the strain wave gearing device 120 and the motor 110.
  • This lubricant sealing structure prevents the lubricant from leaking from the wave gear device 120 side to the motor 110 side.
  • a ball bearing 114 is mounted between the inner peripheral edge portion 117a of the mounting flange 117 and the shaft end portion 111a of the hollow motor shaft 111 facing the inner peripheral edge portion 117a.
  • the tip of the shaft end portion 111a of the hollow motor shaft 111 penetrates the mounting flange 117 and projects toward the wave gear device 120.
  • the hollow input shaft 126 of the strain wave gearing device 120 is coaxially connected and fixed to the shaft end portion 111a of the hollow motor shaft 111.
  • a gap is formed between the inner peripheral edge portion 117a of the mounting flange 117 and the hollow input shaft 126 facing the inner peripheral edge portion 117a.
  • the gap is sealed by the labyrinth seal 150.
  • the labyrinth seal 150 is formed between the surface portion 117b of the inner peripheral edge portion 117a of the mounting flange and the surface portion 126c of the shaft end of the hollow input shaft 126 facing the surface portion 117b from the axial direction.
  • gap portions 151a, 151c, 151e extending in the radial direction and gap portions 151b, 151d extending in the axial direction are alternately formed from the side of the strain wave gearing device 120 toward the side of the motor 110. It has become. Further, in the gap portions 151a to 151e, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side. Further, the gap portion 151a on the most upstream side of the labyrinth seal 150 is set so that the gap dimension in the axial direction is smaller than the diameter of the lubricant particles that are repelled and spheroidized by the oil-repellent surface described below. There is.
  • the surface portion 117b of the inner peripheral edge portion 117a of the mounting flange forming each gap portion 151a to 151e is an oil-repellent surface having an oil-repellent property against a lubricant.
  • the surface portion 126c of the shaft end of the hollow input shaft 126 facing the surface portion 117b is also an oil-repellent surface.
  • the outer peripheral surface portion 126d (upstream side surface portion) inside the device is also an oil-repellent surface (upstream side oil-repellent surface) with respect to the gap portion 151a.
  • a dot pattern is provided along the surface portion to show the surface portion on which the oil-repellent surface is formed. Since the oil-repellent surface is a surface portion in which fine grooves are formed in a predetermined groove arrangement pattern, as in the case of the oil-repellent surface on the labyrinth seal 20 side, the description thereof will be omitted.
  • the lubricant flows out from the inside of the device into the gap between the hollow input shaft 126 and the inner peripheral edge portion 117a of the mounting flange. Since the gap is sealed by the labyrinth seal 150, the lubricant is prevented from leaking to the outside of the device. Further, in the gap portions 151a to 151e constituting the labyrinth seal 150, the gap portion on the downstream side is narrower than the gap portion on the upstream side, so that the lubricant that has entered the gap portion on the upstream side is on the downstream side. It is effectively prevented from flowing into the gap.
  • the gap portions 151a to 151e are defined by the oil-repellent surface, it is possible to effectively prevent the lubricant that has entered the labyrinth seal 150 from flowing out toward the outside of the device. Further, the lubricant flowing into the labyrinth seal 150 is repelled by the oil-repellent surface formed on the outer peripheral surface portion 126d of the shaft end of the hollow input shaft 126, and is spherical particles before entering the gap portion 151a of the labyrinth seal 150. Transforms into. Further, since the gap size of the gap portion 151a in the axial direction is smaller than the diameter of the formed spherical lubricant particles, it is possible to prevent the lubricant from flowing into the gap portion 151a.
  • the lubricating oil leaks to the outside of the device due to the oil-repellent effect of the oil-repellent surface on the upstream side of the labyrinth seal 150, the sealing effect of the labyrinth seal 150, and the oil-repellent effect of the oil-repellent surface defining the labyrinth seal 150. Can be reliably prevented from doing so.
  • FIG. 2D is an explanatory diagram showing a portion of the lubricant sealing structure between the outer ring 124a and the inner ring 124b of the cross roller bearing 124.
  • the part 2D of the lubricant-sealed structure provided with the labyrinth seal 160 is arranged in a portion of a cross roller bearing 124 that rotatably supports between the external gear 122 and the internal gear 121. That is, it is arranged to seal the gap portion between the outer ring 124a and the inner ring 124b of the cross roller bearing 124. Since this lubricant sealing structure is substantially the same as the lubricant sealing structure using the labyrinth seal 40 shown in FIG. 1D in the first embodiment, a specific description thereof will be omitted.

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Abstract

波動歯車装置（１）は、中空入力軸（４）と端板（２）の間の隙間を通って、潤滑剤が外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造を備えている。潤滑剤封止構造は、隙間をシールするラビリンスシール（２０）を備えている。ラビリンスシール（２０）は、微細溝が所定の溝配列パターンで付された撥油面によって規定される複数の隙間部分（２１ａ～２１ｅ）から構成される。ラビリンスシール（２０）の上流側の外周面部分（４ｄ１）にも撥油面が形成されている。上流側の撥油面の撥油効果、ラビリンスシール（２０）のシール効果、ラビリンスシール（２０）の撥油面による撥油効果によって、潤滑油が装置外部に漏出することを確実に防止できる。

Description

潤滑剤封止構造、波動歯車装置およびアクチュエータ
　本発明は、波動歯車装置、波動歯車装置およびモータを備えたアクチュエータ、その他の機械装置に用いる潤滑剤封止構造に関する。更に詳しくは、相対回転する第１部材および第２部材の間を通って、潤滑剤が、装置の内部から外部に漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造に関する。
　波動歯車装置等の歯車装置においては、入力軸、出力軸等の回転側部材が、軸受を介して、装置ハウジング等の固定側の部材によって支持される。回転側部材と固定側部材の間には隙間が形成される。装置内部に充填されるオイル、グリース等の潤滑剤が、隙間を通って装置内の他の部位あるいは装置の外に漏れ出ることを防止するために、一般にオイルシールによって隙間が封止される。
　特許文献１（特開２００６－２５８２３４号公報）には、オイルシールのシール性を高めた潤滑剤封止構造が提案されている。この潤滑剤封止構造では、オイルシールによる回転部材のシール部分に、潤滑剤に対して撥油性を有するフッ素系グリースを塗布して、シール性を高めている。
　オイルシールの代わりに、ラビリンスシールを用いた潤滑剤封止構造も知られている。特許文献２（特開２００７－３３３０５４号公報）には、固定側部材と回転側部材との間に形成したラビリンス隙間と、ラビリンス隙間を形成している表面に撥油撥水材をコーティングして形成した撥油撥水面とを備えたロール軸受装置が提案されている。特許文献３（特開２０１７－９０８５号公報）には、鉄道車両用歯車装置のケーシングと車軸との間に組み込まれた、撥油処理面によって規定されるラビリンス流路を備えた非接触式シール装置が提案されている。
　ここで、摺動面等の表面改質技術として、対象となる表面に微細溝等を加工する表面テクスチャリングが知られている。特許文献４（特開２０１７－２１４９９６号公報）には、フェムト秒レーザーを用いた表面加工により、摺動面に微細なグレーティング状凹凸の周期構造を形成し、潤滑不足による摩擦増加、焼き付けを防止することが提案されている。また、特許文献５（特許第５４６５１０９号公報）には、レーザー加工により、二部材の間の摺動面に潤滑流体を介在させると共に、摺動面に微小溝を形成することで、高い摩擦低減効果を与えることが提案されている。
特開２００６－２５８２３４号公報 特開２００７－３３３０５４号公報 特開２０１７－９０８５号公報 特開２０１７－２１４９９６号公報 特許第５４６５１０９号公報
　本発明の目的は、微細溝加工（表面テクスチャリング）を利用して、相対回転する第１、第２部材の間の隙間部分を通って潤滑剤が漏れ出ることを確実に防止できるようにした潤滑剤封止構造を提供することにある。
　本発明は、中心軸線回りに相対的に回転する第１部材および第２部材を備えた装置における前記第１、第２部材の間の隙間を通って、潤滑剤が、装置内部から漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造において、
　前記隙間を封止するラビリンスシールを備えており、
　前記ラビリンスシールは、相互に対峙する前記第１部材の側の第１表面部分と前記第２部材の側の第２表面部分との間に形成されており、
　前記第１表面部分および前記第２表面部分には、それぞれ、前記潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面が形成されており、
　前記第１表面部分に繋がる前記潤滑剤の漏出方向の上流側の第１上流側表面部分、および、前記第２表面部分に繋がる前記漏出方向の上流側の第２上流側表面部分のうちの少なくとも一方には、前記撥油性を備えた上流側撥油面が形成されており、
　前記撥油面および前記上流側撥油面のそれぞれは、微細溝が所定の溝配列パターンで形成された表面テクスチャを備えており、
　前記微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備えており、
　前記溝配列パターンは、前記微細溝が、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝間隔で配列されたパターンであることを特徴としている。
　本発明の潤滑剤封止構造においては、第１、第２部材の間の隙間を封止しているラビリンスシールを形成している第１、第２表面部分に、微細溝の溝配列パターンを施した撥油面が形成されている。また、ラビリンスシールよりも潤滑剤の漏出方向の上流側に位置する第１、第２上流側表面部分にも、上流側撥油面が形成されている。隙間を通って漏れ出す潤滑剤は、上流側撥油面によってはじかれて球状に変形する。ラビリンスシールの隙間寸法を球状の潤滑剤の大きさ（直径）よりも小さくしておくことで、潤滑剤がラビリンスシールを規定している隙間に流れ込むことが抑制される。また、ラビリンスシールは、撥油面によって規定されているので、ラビリンスシールに流れ込んだ潤滑剤の流れが抑制される。
　本発明の潤滑剤封止構造では、微細溝加工による表面テクスチャリングを施すことによって形成した上流側撥油面による撥油効果、ラビリンスシールによるシール効果、およびラビリンスシールを規定している撥油面による撥油効果が相乗されて、優れたシール性が得られ、また、シール性が維持される。これにより、装置内部の潤滑剤封入部分から装置外部等に潤滑剤が漏れ出ることが確実に阻止される。
　ここで、部材表面に、撥油性を与えるための溝配列パターンとしては、次の配列パターン（１）～（５）のいずれか一つを採用することができる。また、これらの配列パターンのうちから選択した複数の配列パターンを組み合わせた複合配列パターンを採用することもできる。
（１）前記微細溝が、前記溝間隔で、前記装置の中心軸線に沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる配列パターン
（２）前記微細溝が、前記溝間隔で、前記中心軸線を中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる配列パターン
（３）前記微細溝が、前記溝間隔で、前記中心軸線に沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる配列パターン
（４）前記微細溝が、前記溝間隔で、螺旋状に延びる配列パターン
（５）前記微細溝が、前記溝間隔で、網目状に形成された配列パターン
　本発明の潤滑剤封止構造において、ラビリンスシールを構成している隙間部分の一部に、大きな隙間寸法の油溜まりを形成することができる。ラビリンスシールの隙間部分に侵入した潤滑剤を、油溜まりに捕捉することで、潤滑剤の漏出を確実に防止できる。
　この場合、油溜まりに、不織布等の多孔質素材からなる油吸収体を装着しておくことができる。潤滑剤が油溜まりから下流側に流れ出ることを確実に防止できる。
　また、油溜まりの内周面部分を、潤滑剤に対する親油性を備えた親油面にしておくことができる。これにより、油溜まりに溜まった潤滑剤が下流側に漏れ出ることを効果的に防止できる。
　一方、ラビリンスシールを構成している隙間部分の一部に、潤滑材の漏出方向に向かって隙間寸法が漸減している隙間部分を形成することができる。例えば、クサビ形断面の隙間部分を形成しておくことができる。この隙間部分の隙間寸法を適切に設定しておくことで、この隙間部分において潤滑剤が補足されやすくなり、下流側に潤滑剤が漏れ出ることを効果的に防止できる。
本発明の潤滑剤封止構造を備えた波動歯車装置を示す概略縦断面図である。 図１Ａの波動歯車装置における潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｂを示す説明図である。 図１Ａの波動歯車装置における潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｃを示す説明図である。 図１Ａの波動歯車装置における潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｄを示す説明図である。 図１Ｂに示す潤滑剤封止構造の改変例を示す説明図である。 本発明の潤滑剤封止構造を備えたアクチュエータを示す概略縦断面図である。 図２Ａのアクチュエータにおける潤滑剤封止構造が組み込まれている部位２Ｂを示す説明図である。 図２Ａのアクチュエータにおける潤滑剤封止構造が組み込まれている部位２Ｃを示す説明図である。 図２Ａのアクチュエータにおける潤滑剤封止構造が組み込まれている部位２Ｄを示す説明図である。
　以下に、図面を参照して本発明を適用した潤滑剤封止構造の実施の形態を説明する。以下の実施の形態は、本発明の潤滑剤封止構造を、波動歯車装置、および、波動歯車装置とモータとを備えたアクチュエータに適用した場合である。本発明は、波動歯車装置以外の歯車式減速機などの回転伝達装置にも同様に適用可能である。
［実施の形態１］
　図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る波動歯車装置を示す概略縦断面図である。波動歯車装置１は、中心軸線１ａの方向に所定の間隔で対峙する円盤状の端板２および端板３と、これらの端板２、３の中心部分を同軸状態に貫通して延びている中空入力軸４と、端板２、３の間において中空入力軸４を同軸に取り囲む状態に組み込まれた波動歯車機構５とを備えている。中空入力軸４は、ボールベアリング６、７を介して、端板２、３によって回転自在の状態に支持されている。波動歯車機構５は、円環形状をした剛性の内歯歯車８と、シルクハット形状をした弾性の外歯歯車９と、楕円状輪郭の波動発生器１０と、内歯歯車８および外歯歯車９を相対回転自在の状態で支持しているクロスローラベアリング１１とを備えている。
　外歯歯車９は、外歯９ａが形成されている可撓性の円筒状胴部９ｂと、円筒状胴部９ｂの端から半径方向の外方に広がっている円盤状のダイヤフラム９ｃと、ダイヤフラム９ｃの外周縁部分に一体形成した円環状の剛性のボス９ｄとを備えている。外歯９ａが形成されている円筒状胴部９ｂの開口端の側の部分が、内歯歯車８の内側に同軸に配置されている。円筒状胴部９ｂの開口端の側の部分の内側には、同軸に波動発生器１０が嵌め込まれている。波動発生器１０は、中空入力軸４の外周面部分に一体形成したプラグ部１０ａと、このプラグ部１０ａの楕円状外周面に装着したウエーブベアリング１０ｂとを備えている。波動発生器１０によって、外歯歯車９の円筒状胴部９ｂは楕円状に撓められて、その長軸の両端に位置する外歯９ａの部分が内歯歯車８の内歯８ａにかみ合っている。
　外歯歯車９のボス９ｄは、中心軸線１ａの方向の両側から端板２とクロスローラベアリング１１の外輪１２との間に挟まれており、この状態で、三部材が締結固定されている。内歯歯車８は、中心軸線１ａの方向の両側から、端板３とクロスローラベアリング１１の内輪１３との間に挟まれており、この状態で、三部材が締結固定されている。
　中空入力軸４は、モータ等に連結される回転入力部材である。中空入力軸４が回転すると、それと一体となって波動発生器１０が回転して、外歯歯車９の内歯歯車８に対するかみ合い位置が円周方向に移動する。両歯車８、９の間には、それらの歯数差に応じた相対回転が発生する。例えば、外歯歯車９が締結されている端板２が固定側部材とされ、内歯歯車８が締結されている端板３が回転出力部材とされ、端板３から相対回転（減速回転）が出力される。
　波動歯車装置１の装置内部の潤滑部分には、外歯歯車９と内歯歯車８のかみ合い部分、外歯歯車９と波動発生器１０の接触部分、波動発生器１０のウエーブベアリング１０ｂ、クロスローラベアリング１１の摺動部、ボールベアリング６、７の摺動部などがある。波動歯車装置１には、これらの部分に封入あるいは塗布されている潤滑剤が装置内部から外部に漏れ出ることを防止するための潤滑剤封止構造が組み込まれている。本例の波動歯車装置１は、ラビリンスシール２０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｂ、ラビリンスシール３０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｃ、およびラビリンスシール４０を備えた潤滑剤封止構造が組み込まれている部位１Ｄを備えている。
　部位１Ｂのラビリンスシール２０を備えた潤滑剤封止構造は、端板２と、中空入力軸４の一方の軸端部４ａとの間を封止しており、端板２、３の間における外歯歯車９と中空入力軸４との間の潤滑剤封入部分２６およびボールベアリング６の部分から、装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。部位１Ｃのラビリンスシール３０を備えた潤滑剤封止構造は、端板３と、中空入力軸４の他方の軸端部４ｂとの間を封止しており、潤滑剤封入部分２６およびボールベアリング７の部分から、装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。部位１Ｄのラビリンスシール４０を備えた潤滑剤封止構造は、クロスローラベアリング１１の外輪１２と内輪１３の間を封止しており、外歯歯車９とクロスローラベアリング１１と内歯歯車の間に形成される潤滑剤封入部分４６およびクロスローラベアリング１１の部分から、装置外部に潤滑剤が漏れ出ることを防止する。
（部位１Ｂの潤滑剤封止構造）
　図１Ｂは、端板２と中空入力軸４の軸端部４ａとの間を封止しているラビリンスシール２０を備えた潤滑剤封止構造を示す説明図である。中空入力軸４の一方の軸端部４ａは、ボールベアリング６を介して、端板２に対して回転自在に支持されている。端板２の中心部分を通って、中空入力軸４の軸端部４ａが装置外部に突出している。端板２と中空入力軸４の軸端部４ａとの間には、ボールベアリング６の側（潤滑剤封入部分２６の側）から装置外部に連通する隙間が形成される。この隙間は、ラビリンスシール２０によって封止されている。
　端板２と中空入力軸４の軸端部４ａとの間の隙間には、円環状部材２２が装着されている。円環状部材２２は、中空入力軸４の軸端部４ａの外周面部分４ｃに圧入固定されている。円環状部材２２にアキシャル方向から対峙するように、端板２の内周面には内方に突出した円環状突部２ａが形成されている。ラビリンスシール２０は、端板２の円環状突部２ａの側の表面部分２ｂと、これに対峙する中空入力軸４の円環状部材２２の側の表面部分２２ａとの間に形成されている。
　本例のラビリンスシール２０はアキシャルラビリンスシールであり、潤滑剤の漏出方向の上流側から下流側に向けて、アキシャル方向に延びる隙間部分２１ａ、２１ｃ、２１ｅと、ラジアル方向に延びる隙間部分２１ｂ、２１ｄとが交互に形成されている。また、隙間部分２１ａ～２１ｅは、上流側の隙間部分に対して下流側の隙間部分の方が狭い隙間部分となっている。さらに、ラビリンスシール２０の最も上流側の隙間部分２１ａは、そのラジアル方向の隙間寸法が、以下に説明する撥油面によってはじかれて球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定されている。
　各隙間部分２１ａ～２１ｅを形成している端板２の側の表面部分２ｂには、潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面が形成されている。図１Ｂにおいては、表面部分２ｂにおける撥油面が形成されている領域をドット模様で示してある。また、端板２の側の表面部分２ｂに対峙している円環状部材２２の表面部分２２ａ、および、中空入力軸４の外周面部分４ｄにも撥油面が形成されている。表面部分２２ａ、外周面部分４ｄにおける撥油面が形成されている領域も、ドット模様で示してある。中空入力軸４の軸端部４ａにおいては、隙間部分２１ａを形成する外周面部分４ｄだけでなく、外周面部分４ｄからボールベアリング６の外輪装着部位までの外周面部分４ｄ１（上流側表面部分）にも撥油面（上流側撥油面）が形成されている。
　本例の撥油面は、封入されている潤滑剤に対する撥油性が得られるように、微細溝が所定の溝配列パターンで形成された表面テクスチャを備えている。微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備えており、溝配列パターンは、微細溝が、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝間隔で配列されたパターンである。例えば、中空入力軸４の外周面部分４ｄの撥油面を形成している微細溝２５は、図１Ｂにおいて模式的に示すように、円周方向に延びる溝であり、中心軸線１ａの方向に一定の間隔で配列されている。
　ここで、撥油面を形成している微細溝２５の溝配列パターンとして、各種の溝配列パターンを採用できる。例えば、中心軸線１ａに沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる微細溝２５が円周方向に一定の間隔で形成された溝配列パターンを用いることができる。中心軸線１ａを中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる微細溝２５が、中心軸線１ａの方向に一定の間隔で形成された溝配列パターンでもよい。中心軸線１ａに沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる微細溝２５から構成される溝配列パターンにすることもできる。また、中心軸線１ａの方向に一定のピッチで螺旋状に延びている微細溝２５から構成される溝配列パターンとすることもできる。さらに、中心軸線１ａの方向に延びる微細溝２５と、円周方向に延びる微細溝２５とが交差する網目状の溝配列パターンとすることもできる。さらには、これらの溝配列パターンを重ね合わせた構成の溝配列パターンとすることもできる。
　以上説明したように、中空入力軸４と端板２の間はラビリンスシール２０によって封止されており、潤滑剤が装置外部に漏出することが防止される。また、ラビリンスシール２０を構成している隙間部分２１ａ～２１ｅは撥油面によって規定されているので、ラビリンスシール２０に侵入した潤滑剤が装置外部に向けて流れ出ることが効果的に防止される。さらに、中空入力軸４の外周面部分４ｄ１も撥油面（上流側撥油面）となっている。ボールベアリング６の側からラビリンスシール２０に流れ込む潤滑剤は、この撥油面によってはじかれ、ラビリンスシール２０の隙間部分２１ａに侵入する手前で、球状の粒に変形する。隙間部分２１ａのラジアル方向の隙間寸法は、形成される球状の潤滑剤の粒の径よりも小さいので、潤滑剤が隙間部分２１ａに流入することが抑制される。また、ラビリンスシール２０を構成している隙間部分２１ａ～２１ｅにおいては、上流側の隙間部分よりも下流側の隙間部分の方が狭いので、上流側の隙間部分に侵入した潤滑剤が下流側の隙間部分に流れ込むことが効果的に防止される。
　ここで、本例では、アキシャル方向に延びる隙間部分２１ａ、２１ｃ、２１ｅのそれぞれにおいて、ラジアル方向の各位置の隙間寸法が同一である。また、ラジアル方向に延びる隙間部分２１ｂ、２１ｄのそれぞれにおいても、アキシャル方向の隙間寸法が同一である。隙間寸法が、装置内部から装置外部の側に向けて漸減している隙間部分（クサビ状断面の隙間部分）を用いることもできる。
　例えば、図１Ｅに示すように、隙間部分２１ａを、ラジアル方向の隙間寸法が、潤滑剤封入部分２６の側から装置外部に向けて漸減する隙間部分にすることができる。例えば、端板２の側の表面部分２ｂにおける隙間部分２１ａを形成している内周面部分２ｃをテーパー状内周面とすればよい。この場合には、少なくとも、その最小隙間寸法が、撥油面上において球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定すればよい。なお、隙間寸法が下流側に向けて漸減する隙間部分は、以下の各潤滑剤封止構造および後述の実施の形態２における各潤滑剤封止構造においても同様に適用可能である。
（部位１Ｃの潤滑剤封止構造）
　図１Ｃは、端板３と中空入力軸４の他方の軸端部４ｂとの間を封止しているラビリンスシール３０を備えた潤滑剤封止構造を示す説明図である。中空入力軸４の軸端部４ｂは、ボールベアリング７を介して、端板３に対して回転自在に支持されている。端板３の中心部分を貫通して、中空入力軸４の軸端部４ｂが装置外部に突出している。端板３と中空入力軸４の軸端部４ｂとの間には、ボールベアリング７の側（潤滑剤封入部分２６の側）から装置外部に連通する隙間が形成される。この隙間はラビリンスシール３０によって封止されている。
　端板３と中空入力軸４の軸端部４ｂとの間の隙間には、円環状部材３２が装着されている。円環状部材３２は、中空入力軸４の軸端部４ｂの外周面部分４ｅに圧入固定されている。円環状部材３２にアキシャル方向から対峙するように、端板３の内周面には内方に突出した円環状突部３ａが形成されている。ラビリンスシール３０は、端板３の円環状突部３ａの側の表面部分３ｂと、これに対峙する円環状部材３２の側の表面部分３２ａとの間に形成されている。
　本例のラビリンスシール３０においては、潤滑剤の漏出方向の上流側から下流側に向けて（潤滑剤封入部分２６から装置外部に向かう方向に向けて）、アキシャル方向に延びる隙間部分３１ａ、３１ｃ、３１ｅと、ラジアル方向に延びる隙間部分３１ｂ、３１ｄとが交互に形成されている。また、隙間部分３１ａ～３１ｅは、上流側の隙間部分に対して下流側の隙間部分の方が狭い。さらに、ラビリンスシール３０の最も上流側の隙間部分３１ａは、そのラジアル方向の隙間寸法が、以下に述べる撥油面によってはじかれて球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定されている。
　各隙間部分３１ａ～３１ｅを形成している端板３の側の表面部分３ｂは、潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面である。図１Ｃにおいては、撥油面が形成されている範囲をドット模様で示してある。この表面部分３ｂに対峙している円環状部材３２の表面部分３２ａも撥油面としてある。表面部分３２ａにおける撥油面が形成されている範囲をドット模様で示してある。また、中空入力軸の軸端部４ｂにおいて、ボールベアリング７が装着されている外周面部分４ｆの一部にも撥油面（上流側表面部分）が形成されている。撥油面は、前述のラビリンスシール２０の撥油面の場合と同様な構成であるので、その説明を省略する。
　ここで、ラビリンスシール３０の隙間部分３１ａには油溜まりが形成されている。すなわち、端板３の円環状突部３ａの内周面には、円周方向に延びる矩形断面の溝３２ｂが形成されている。この溝３２ｂによって、隙間部分３１ａにおける他の部分に比べてラジアル方向の隙間寸法が大きい油溜まりが形成されている。また、溝３２ｂには多孔質素材、例えば不織布からなる油吸収体３３が充填されている。さらに、溝３２ｂの底面部分および両側の内周側面部分は、表面処理が施されて、潤滑油に対する親油性を備えた親油面とされている。図１Ｃにおいては、新油面の形成領域を、網目模様で示してある。
　潤滑剤は、装置内部のボールベアリング７の側から、中空入力軸４と端板３の間の隙間に流出する。ラビリンスシール３０によって、潤滑剤が装置外部に漏出することが防止される。また、ラビリンスシール３０を構成している隙間部分３１ａ～３１ｅにおいては、上流側の隙間部分よりも下流側の隙間部分の方が狭いので、上流側の隙間部分に侵入した潤滑剤が下流側の隙間部分に流れ込むことが効果的に防止される。さらに、ラビリンスシール３０を構成している隙間部分３１ａ～３１ｅは撥油面によって規定されているので、ラビリンスシール３０に侵入した潤滑剤が装置外側に向けて流れ出ることが効果的に防止される。これに加えて、ボールベアリング７の側からラビリンスシール３０に向かう潤滑剤は、中空入力軸４の軸端部４ｂの外周面部分４ｆに形成した撥油面によってはじかれ、ラビリンスシール３０の隙間部分３１ａに侵入する手前で、球状の粒に変形する。隙間部分３１ａのラジアル方向の隙間寸法は、形成される球状の潤滑剤の粒の径よりも小さいので、潤滑剤が隙間部分３１ａに流入することが抑制される。
　また、ラビリンスシール３０の隙間部分３１ａには、油吸収体３３が充填された油溜まりが形成されている。ラビリンスシール３０に侵入した潤滑剤は、油溜まりに捕捉され、下流側（装置外側）に向けて流れ出すことが防止される。油溜まりを形成している溝の内周面部分は、親油面となっているので、これによっても、油溜まりに捕捉された潤滑剤が下流側に流れ出すことが効果的に防止される。このように、ラビリンスシール３０によるシール効果、撥油面による効果、油吸収体および親油面を備えた油溜まりによる効果によって、潤滑油が装置外部に漏出することを確実に防止できる。
（部位１Ｄの潤滑剤封止構造）
　次に、クロスローラベアリング１１の外輪１２と内輪１３の間の隙間をシールしているラビリンスシール４０を備えた潤滑剤封止構造を説明する。図１Ｄは、外輪１２と内輪１３との間を封止しているラビリンスシール４０を備えた潤滑剤封止構造を示す説明図である。外輪１２と内輪１３との間には、軌道溝１４から装置外部に連通する隙間が形成される。隙間はラビリンスシール４０によって封止されている。ラビリンスシール４０は、外輪１２の内周側表面部分１２ａと、この内周側表面部分１２ａに対峙している内輪１３の外周側表面部分１３ａとの間に形成されている。
　ラビリンスシール４０において、潤滑剤封入部分から装置外部に向かう方向に向けて、アキシャル方向に延びる隙間部分４１ａ、４１ｃ、４１ｅと、ラジアル方向に延びる隙間部分４１ｂ、４１ｄとが交互に形成されている。また、隙間部分４１ａ～４１ｅは、上流側の隙間部分に対して下流側の隙間部分の方が狭い。
　各隙間部分４１ａ～４１ｅを形成している外輪１２の内周側表面部分１２ａは、潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面である。図１Ｄにおいては、撥油面が形成されている範囲をドット模様で示してある。また、内周側表面部分１２ａに対峙している内輪１３の外周側表面部分１３ａも撥油面としてある。図１Ｄにおいては、外周側表面部分１３ａにおける撥油面が形成されている範囲をドット模様で示してある。撥油面は、前述のラビリンスシール２０の撥油面の場合と同様に構成されているので、説明を省略する。
　潤滑剤は、装置内部のクロスローラベアリング１１の軌道溝１４の側から、外輪１２と内輪１３の間の隙間に流出する。ラビリンスシール４０によって、潤滑剤が装置外部に漏出することが防止される。また、ラビリンスシール４０を構成している隙間部分４１ａ～４１ｅにおいては、上流側の隙間部分よりも下流側の隙間部分の方が狭いので、上流側の隙間部分に侵入した潤滑剤が下流側の隙間部分に流れ込むことが効果的に防止される。さらに、隙間部分４１ａ～４１ｅは撥油面によって規定されているので、ラビリンスシール４０に侵入した潤滑剤が装置外側に向けて流れ出ることが効果的に防止される。このように、ラビリンスシール４０によるシール効果、撥油面による撥油効果によって、隙間を介して潤滑油が装置外部に漏出することを確実に防止できる。
［実施の形態２］
　図２Ａは本発明の潤滑剤封止構造を備えたアクチュエータを示す概略縦断面図である。アクチュエータ１００は、その中心を貫通して延びる中空部を備えた中空型アクチュエータであり、モータ１１０と波動歯車装置１２０とを備えている。モータ１１０は、中空モータ軸１１１と、この外周面に取り付けたロータ１１２と、ロータ１１２を同軸に取り囲むステータ１１３とを備えている。中空モータ軸１１１は、その両端において、ボールベアリング（図において一方のボールベアリング１１４のみを示す。）を介して、モータハウジング１１６によって回転自在に支持されている。
　モータハウジング１１６は、その前端に、大径の取付けフランジ１１７を備えている。取付けフランジ１１７の前面に、波動歯車装置１２０が同軸に取り付けられている。波動歯車装置１２０は、剛性の内歯歯車１２１と、シルクハット形状の可撓性の外歯歯車１２２と、波動発生器１２３と、内歯歯車１２１と外歯歯車１２２を相対回転自在の状態で支持しているクロスローラベアリング１２４と、円盤状の出力軸１２５とを備えている。
　波動発生器１２３は、中空モータ軸１１１に同軸に連結された中空入力軸１２６を備えており、中空入力軸１２６の外周面に楕円状輪郭のプラグ１２７が一体形成されている。プラグ１２７の楕円状外周面には、ウエーブベアリング１２８が装着されている。波動発生器１２３によって、外歯歯車１２２における外歯１２２ａが形成されている円筒状胴部が楕円状に撓められて、内歯歯車１２１の内歯１２１ａに対して部分的にかみ合っている。
　外歯歯車１２２の円環状のボス１２２ｃは、取付けフランジ１１７とクロスローラベアリング１２４の外輪１２４ａとの間に挟まれ、この状態で、三部材が締結固定されている。内歯歯車１２１は、クロスローラベアリング１２４の内輪１２４ｂと出力軸１２５との間に挟まれ、この状態で、三部材が締結固定されている。モータ１１０の出力回転は、中空モータ軸１１１から波動発生器１２３に入力される。波動発生器１２３が回転すると、内歯歯車１２１が減速回転し、内歯歯車１２１に連結されている出力軸１２５から、不図示の負荷側に、減速回転が出力される。
　波動歯車装置１２０の装置内部における各潤滑部分は、外歯歯車１２２と内歯歯車１２１のかみ合い部分、外歯歯車１２２と波動発生器１２３の接触部分、波動発生器１２３のウエーブベアリング１２８、クロスローラベアリング１２４等である。波動歯車装置１２０の装置内部の潤滑剤封入部分１３１、１３２から、潤滑剤が、装置外部、あるいは、モータ１１０の側に漏れ出ることを防止するために、波動歯車装置１２０には、ラビリンスシール１４０を備えた潤滑剤封止構造の部位２Ｂ、ラビリンスシール１５０を備えた潤滑剤封止構造の部位２Ｃ、ラビリンスシール１６０を備えた潤滑剤封止構造の部位２Ｄが組み込まれている。
（部位２Ｂの潤滑剤封止構造）
　図２Ｂは、中空入力軸１２６と出力軸１２５との間を封止しているラビリンスシール１４０を備えた潤滑剤封止構造の部位を示す説明図である。高速回転する中空入力軸１２６と、減速回転する出力軸１２５との間は、ラビリンスシール１４０を備えた潤滑剤封止構造によってシールされている。ウエーブベアリング１２８が配置されている外歯歯車１２２の内部空間は、ウエーブベアリング１２８、ウエーブベアリング１２８と外歯歯車１２２の間の摺動部分等に供給される潤滑剤が封入された潤滑剤封入部分１３１である（図２Ａ参照）。中空入力軸１２６と出力軸１２５との間には、装置内部の側に位置するウエーブベアリング１２８から装置外部に通じる隙間が形成される。隙間は、ラビリンスシール１４０によってシールされている。ラビリンスシール１４０は、出力軸１２５の内周側の表面部分１２５ａと、この内周側の表面部分１２５ａに対峙している中空入力軸１２６の軸端側の表面部分１２６ａとの間に形成されている。
　ラビリンスシール１４０はアキシャルラビリンスシールであり、潤滑剤封入部分から装置外部に向かって、ラジアル方向に延びる隙間部分１４１ａ、１４１ｃ、１４１ｅと、アキシャル方向に延びる隙間部分１４１ｂ、１４１ｄ、１４１ｆとが交互に形成されている。また、隙間部分１４１ａ～１４１ｅは、上流側の隙間部分に対して下流側の隙間部分の方が狭い隙間部分となっている。さらに、ラビリンスシール１４０の最も上流側の隙間部分１４１ａは、そのアキシャル方向の隙間寸法が、以下に述べる撥油面によってはじかれて球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定されている。
　各隙間部分１４１ａ～１４１ｆを形成している出力軸１２５の内周側の表面部分１２５ａには、潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面が形成されている。また、隙間部分１４１ａに対して装置内側（潤滑剤の漏出方向の上流側）に繋がる外周面部分１２５ｂ（上流側表面部分）にも、撥油面（上流側撥油面）が形成されている。さらに、中空入力軸１２６の表面部分１２６ａにも撥油面が形成されている。図２Ｂにおいては、撥油面が形成されている表面部分を示すために、当該表面部分に沿ってドット模様を付してある。なお、撥油面は、前述の実施の形態１におけるラビリンスシール２０の側の撥油面の場合と同様に、微細溝が所定の溝配列パターンで形成された表面部分であるので、それらの説明は省略する。
　潤滑剤は、装置内部の側から、中空入力軸１２６と出力軸１２５の間の隙間に流出する。隙間はラビリンスシール１４０によって封止されているので、潤滑剤が装置外部に漏出することが防止される。また、ラビリンスシール１４０を構成している隙間部分１４１ａ～１４１ｆにおいては、上流側の隙間部分よりも下流側の隙間部分の方が狭いので、上流側の隙間部分に侵入した潤滑剤が下流側の隙間部分に流れ込むことが効果的に防止される。さらに、隙間部分１４１ａ～１４１ｆは撥油面によって規定されているので、ラビリンスシール１４０に侵入した潤滑剤が装置外側に向けて流れ出ることが効果的に防止される。さらには、ラビリンスシール１４０に流れ込む潤滑剤は、出力軸１２５の外周面部分１２５ｂに形成した撥油面によってはじかれ、ラビリンスシール１４０の隙間部分１４１ａに侵入する手前で、球状の粒に変形する。隙間部分１４１ａのアキシャル方向の隙間寸法は、形成される球状の潤滑剤の粒の径よりも小さいので、潤滑剤が隙間部分１４１ａに流入することが抑制される。
　このように、上流側の撥油面による撥油効果、ラビリンスシール１４０によるシール効果、ラビリンスシール１４０を規定している撥油面による撥油効果によって、潤滑油が装置外部に漏出することを確実に防止できる。
（部位２Ｃの潤滑剤封止構造）
　図２Ｃは、波動歯車装置１２０とモータ１１０との間を封止しているラビリンスシール１５０を備えた潤滑剤封止構造の部位を示す説明図である。この潤滑剤封止構造により、波動歯車装置１２０の側からモータ１１０の側に潤滑剤が漏出することが防止される。取付けフランジ１１７の内周縁部１１７ａと、これに対峙する中空モータ軸１１１の軸端部１１１ａとの間には、ボールベアリング１１４が装着されている。中空モータ軸１１１の軸端部１１１ａの先端は、取付けフランジ１１７を貫通して波動歯車装置１２０の側に突出している。中空モータ軸１１１の軸端部１１１ａには、波動歯車装置１２０の中空入力軸１２６が同軸に連結固定されている。
　取付けフランジ１１７の内周縁部１１７ａと、これに対峙する中空入力軸１２６との間に隙間が形成される。隙間はラビリンスシール１５０によってシールされている。ラビリンスシール１５０は、取付けフランジの内周縁部１１７ａの表面部分１１７ｂと、この表面部分１１７ｂにアキシャル方向から対峙している中空入力軸１２６の軸端の表面部分１２６ｃとの間に形成されている。
　ラビリンスシール１５０において、波動歯車装置１２０の側からモータ１１０の側に向かって、ラジアル方向に延びる隙間部分１５１ａ、１５１ｃ、１５１ｅと、アキシャル方向に延びる隙間部分１５１ｂ、１５１ｄとが交互に形成された構成となっている。また、隙間部分１５１ａ～１５１ｅは、上流側の隙間部分に対して下流側の隙間部分の方が狭い隙間部分となっている。さらに、ラビリンスシール１５０の最も上流側の隙間部分１５１ａは、そのアキシャル方向の隙間寸法が、以下に述べる撥油面によってはじかれて球状化する潤滑剤の粒の径よりも小さい値に設定されている。
　各隙間部分１５１ａ～１５１ｅを形成している取付けフランジの内周縁部１１７ａの表面部分１１７ｂは、潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面である。また、表面部分１１７ｂに対峙している中空入力軸１２６の軸端の表面部分１２６ｃも撥油面である。さらに、隙間部分１５１ａに対して装置内側の外周面部分１２６ｄ（上流側表面部分）も撥油面（上流側撥油面）となっている。図２Ｃにおいては、撥油面が形成されている表面部分を示すために、当該表面部分に沿ってドット模様を付してある。なお、撥油面は、前述のラビリンスシール２０の側の撥油面の場合と同様に、微細溝が所定の溝配列パターンで形成された表面部分であるので、それらの説明は省略する。
　潤滑剤は、装置内部の側から、中空入力軸１２６と取付け用フランジの内周縁部１１７ａとの隙間に流出する。隙間はラビリンスシール１５０によって封止されているので、潤滑剤が装置外部に漏出することが防止される。また、ラビリンスシール１５０を構成している隙間部分１５１ａ～１５１ｅにおいては、上流側の隙間部分よりも下流側の隙間部分の方が狭いので、上流側の隙間部分に侵入した潤滑剤が下流側の隙間部分に流れ込むことが効果的に防止される。さらに、隙間部分１５１ａ～１５１ｅは撥油面によって規定されているので、ラビリンスシール１５０に侵入した潤滑剤が装置外側に向けて流れ出ることが効果的に防止される。さらには、ラビリンスシール１５０に流れ込む潤滑剤は、中空入力軸１２６の軸端の外周面部分１２６ｄに形成した撥油面によってはじかれ、ラビリンスシール１５０の隙間部分１５１ａに侵入する手前で、球状の粒に変形する。さらに、隙間部分１５１ａのアキシャル方向の隙間寸法は、形成される球状の潤滑剤の粒の径よりも小さいので、潤滑剤が隙間部分１５１ａに流入することが抑制される。
　このように、ラビリンスシール１５０の上流側の撥油面による撥油効果、ラビリンスシール１５０によるシール効果、ラビリンスシール１５０を規定している撥油面による撥油効果によって、潤滑油が装置外部に漏出することを確実に防止できる。
（部位２Ｄの潤滑剤封止構造）
　図２Ｄは、クロスローラベアリング１２４の外輪１２４ａと内輪１２４ｂの間の潤滑剤封止構造の部位を示す説明図である。ラビリンスシール１６０を備えた潤滑剤封止構造の部位２Ｄは、外歯歯車１２２と内歯歯車１２１との間を相対回転自在に支持するクロスローラベアリング１２４の部分に配置される。すなわち、クロスローラベアリング１２４の外輪１２４ａと内輪１２４ｂとの間の隙間部分を封止するために配置される。この潤滑剤封止構造は、実施の形態１における図１Ｄに示すラビリンスシール４０を用いた潤滑剤封止構造と実質的に同一であるので、具体的な説明は省略する。

Claims (9)

  1. 　中心軸線回りに相対的に回転する第１部材および第２部材を備えた装置における前記第１、第２部材の間の隙間部分を通って、潤滑剤が、装置内部から漏れ出ることを防止する潤滑剤封止構造であって、
    　前記隙間部分を封止するラビリンスシールを備えており、
    　前記ラビリンスシールは、相互に対峙する前記第１部材の側の第１表面部分と前記第２部材の側の第２表面部分との間に形成されており、
    　前記第１表面部分および前記第２表面部分には、それぞれ、前記潤滑剤に対する撥油性を備えた撥油面が形成されており、
    　前記第１表面部分に繋がる前記潤滑剤の漏出方向の上流側の第１上流側表面部分、および、前記第２表面部分に繋がる前記漏出方向の上流側の第２上流側表面部分のうちの少なくとも一方には、前記撥油性を備えた上流側撥油面が形成されており、
    　前記撥油面および前記上流側撥油面のそれぞれは、微細溝が所定の溝配列パターンで形成された表面テクスチャを備えており、
    　前記微細溝は、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝幅および溝深さを備えており、
    　前記溝配列パターンは、前記微細溝が、数マイクロメートルから数十ナノメートルの溝間隔で配列されたパターンであることを特徴とする潤滑剤封止構造。
  2. 　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
    　前記溝配列パターンは、
    　前記微細溝が、前記溝間隔で、前記装置の中心軸線に沿った方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる配列パターン、
    　前記微細溝が、前記溝間隔で、前記中心軸線を中心とする円周方向に、直線状、曲線状あるいは波状に延びる配列パターン、
    　前記微細溝が、前記溝間隔で、前記中心軸線に沿った方向に対して傾斜した方向に、直線状、曲線状あるいは波形状に延びる配列パターン、
    　前記微細溝が、前記溝間隔で、螺旋状に延びる配列パターン、および、
    　前記微細溝が、前記溝間隔で、網目状に形成された配列パターン
    のうちの少なくともいずれか一つである潤滑剤封止構造。
  3. 　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
    　前記ラビリンスシールは、第１隙間寸法の第１隙間部分を備えており、
    　前記第１隙間部分における前記漏出方向の途中の部位には、前記第１隙間寸法よりも大きな第２隙間寸法の油溜まりが形成されている潤滑剤封止構造。
  4. 　請求項３に記載の潤滑剤封止構造において、
    　前記油溜まりには、多孔質素材からなる油吸収体が装着されている潤滑剤封止構造。
  5. 　請求項３に記載の潤滑剤封止構造において、
    　前記油溜まりを規定している前記第１表面部分の部位および前記第２表面部分の部位には、前記潤滑剤に対する親油性を備えた親油面が形成されている潤滑剤封止構造。
  6. 　請求項１に記載の潤滑剤封止構造において、
    　前記ラビリンスシールは第１隙間部分を備えており、
    　前記第１隙間部分の少なくとも一部は、前記潤滑剤の漏出方向に向かって隙間寸法が漸減している隙間部分である潤滑剤封止構造。
  7. 　入力軸と、
    　前記入力軸の回転を減速して出力する波動歯車機構と、
    　前記入力軸を、ベアリングを介して、回転自在の状態で支持している装置ハウジングと、
    　第１部材である前記装置ハウジングと、第２部材である前記入力軸との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、装置内部から外部に漏れ出ることを防止するために配置されている、請求項１に記載の潤滑剤封止構造と、
    を備えている波動歯車装置。
  8. 　モータと、
    　前記モータに同軸に連結した入力軸、入力軸の回転を減速する波動歯車減速機構および減速回転を出力する出力軸を備えた波動歯車装置と、
    　第１部材である前記出力軸と、第２部材である前記入力軸との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、前記波動歯車装置の装置内部から外部に漏れ出ることを防止するために配置されている、請求項１に記載の潤滑剤封止構造と、
    を備えているアクチュエータ。
  9. 　モータと、
    　前記モータの前端に設けた取付けフランジに同軸に取り付けた波動歯車装置と、
    　前記取付けフランジを貫通して前記波動歯車装置の内部に延びるモータ軸と、
    　前記波動歯車装置の内部において前記モータ軸の先端部に同軸に連結されている入力軸と、
    　第１部材である前記取付けフランジと、第２部材である前記モータ軸および前記入力軸との間に形成される隙間部分を通って、潤滑剤が、前記波動歯車装置から前記モータの内部に漏れ出ることを防止するために配置されている、請求項１に記載の潤滑剤封止構造と、
    を備えているアクチュエータ。
     
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