WO2021193477A1 - ガラス板の製造方法 - Google Patents

Abstract

樹脂シートに接触するガラス板を保管する保管工程と、前記保管工程後に前記ガラス板を洗浄する洗浄工程と、を備えるガラス板の製造方法における洗浄工程Ｓ２は、ガラス板Ｇに第一洗浄液ＣＳ１を供給してガラス板Ｇを洗浄する第一洗浄工程Ｓ２１と、第一洗浄工程Ｓ２１後に、ガラス板Ｇに第二洗浄液ＣＳ２を供給してガラス板Ｇを洗浄する第二洗浄工程Ｓ２３と、を備える。第一洗浄液ＣＳ１は、酸性洗浄液であり、第二洗浄液ＣＳ２は、アルカリ性洗浄液である。

Description

ガラス板の製造方法

　本発明は、ガラス板を製造する方法に関する。

　近年、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のパネルディスプレイは、高精細化が推進されている。これに伴い、ディスプレイ用の基板として用いられるガラス板には、当該ディスプレイの製造工程で緻密な電気回路が形成される。従って、この種のガラス板には、塵や汚れが付いていない高い清浄性が要求される。

　ガラス板の製造工程は、例えばパレット上で保管されたガラス原板を取り出す開梱工程と、取り出されたガラス原板から所定サイズのガラス板を切り出す切断工程と、ガラス板に端面加工を施す端面加工工程と、端面加工されたガラス板を洗浄する洗浄工程とを備える。ガラス板を洗浄する方法としては、洗浄ディスクや、洗浄ブラシ（ロールブラシ）などの洗浄具により、所定方向に搬送されるガラス板を洗浄する方法が挙げられる（例えば特許文献１を参照）。

特開２０１７－１４０６０号公報

　上記ガラス板の製造工程に供給されるガラス原板は、パレット上に積載されて保管され、パレット上では、複数のガラス原板が樹脂シートを介して積層されている場合がある。

　この場合、パレット上での保管が長期にわたると、カルシウム汚れや有機物を含む汚れが発生する場合がある。また、これらの汚れがガラス原板に強固に付着し、洗浄工程で、ガラス板から除去することが困難となる場合がある。

　そこで本発明は、ガラス板の洗浄工程における洗浄力を向上させることを技術的課題とする。

　本発明は上記の課題を解決するためのものであり、樹脂シートに接触するガラス板を保管する保管工程と、前記保管工程後に前記ガラス板を洗浄する洗浄工程と、を備えるガラス板の製造方法であって、前記洗浄工程は、前記ガラス板に第一洗浄液を供給して前記ガラス板を洗浄する第一洗浄工程と、前記第一洗浄工程後に、前記ガラス板に第二洗浄液を供給して前記ガラス板を洗浄する第二洗浄工程と、を備え、前記第一洗浄液は、酸性洗浄液であり、前記第二洗浄液は、アルカリ性洗浄液であることを特徴とする。

　本発明者等の鋭意研究によれば、ガラス板に樹脂シートを接触させた状態で長期間保管した場合において、樹脂シートからガラス板の表面に転写された汚れにカルシウムが含まれている場合（以下、「カルシウム汚れ」という）、他の汚れと比較して、当該カルシウム汚れをガラス板から洗浄により除去することが困難となることが確認されている。

　本発明者等は、第一洗浄液を酸性洗浄液とする第一洗浄工程を実行した後に、第二洗浄液をアルカリ性洗浄液とする第二洗浄工程を実行することで、カルシウム汚れ、及び有機物を含む汚れをガラス板から効果的に除去できることを見出した。

　前記酸性洗浄液は、ヒドロキシ酸を含んでもよい。ヒドロキシ酸(オキシ酸)としては、例えばグリコール酸、乳酸、酒石酸、クエン酸、リンゴ酸、サリチル酸等が挙げられる。ヒドロキシ酸は水酸基を併せ持つカルボン酸であり、水溶性が高い。また、ヒドロキシ酸は、分子内に含まれるカルボキシル基がガラス板の表面におけるカルシウム汚れのカルシウムイオン（Ｃａ²⁺）とキレート効果により反応し、カルシウムイオンを１分子内または複数分子で取り込み安定化させるため、ガラス板の表面に固着したカルシウム成分の除去に効果的である。

　前記アルカリ性洗浄液は、水酸化物塩を含んでもよく、例えば水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの少なくとも一方を含んでもよい。

　前記第一洗浄工程では、洗浄具を前記ガラス板に接触させることにより、前記ガラス板を洗浄してもよい。これにより、第一洗浄工程を効率良く行うことができる。

　前記第二洗浄工程では、洗浄具を前記ガラス板に接触させることにより、前記ガラス板を洗浄してもよい。これにより、第二洗浄工程を効率良く行うことができる。

　本方法は、前記第一洗浄工程の後であって前記第二洗浄工程の前に、除去液を前記ガラス板に供給することにより、前記ガラス板に付着している前記第一洗浄液を除去する液切り工程を備え、前記除去液は、温水であってもよい。この液切り工程によって、第一洗浄工程後にガラス板に付着している第一洗浄液を除去することで、その後の第二洗浄工程において、第二洗浄液によるガラス板の洗浄をより効果的に行うことができる。

　本方法は、前記第二洗浄工程後に、リンス液を前記ガラス板に供給することにより、前記ガラス板に付着している前記第二洗浄液を除去するリンス工程を備え、前記リンス液は、アルカリ電解水を含んでもよい。リンス工程によってガラス板の表面を陰イオンで覆うことで、リンス液中に分散して存在する粒子状の物質がガラス板の表面へ再付着することを防止でき、リンス工程後におけるガラス板の表面の清浄度を高めることができる。

　本発明によれば、ガラス板の洗浄工程における洗浄力を向上させることができる。

本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法を示す断面図である。 第一洗浄部及び第二洗浄部における洗浄機の構成を示す断面図である。 洗浄工程を示すフローチャートである。 本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造方法を示す断面図である。

　以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図３は、本発明に係るガラス板の製造方法の第一実施形態を示す。

　図１に示すように、本方法は、ガラス板Ｇを保管する保管工程Ｓ１と、ガラス板Ｇを洗浄する洗浄工程Ｓ２とを備える。保管工程Ｓ１と洗浄工程Ｓ２の間に、前述の開梱工程と、切断工程と、端面加工工程とをさらに備えてもよい。洗浄工程Ｓ２の後工程として、ガラス板Ｇの検査工程と、ガラス板Ｇをパレット上に積載する梱包工程をさらに備えてもよい。

　保管工程Ｓ１では、ガラス板Ｇは、梱包体ＰＢの状態で管理される。梱包体ＰＢは、パレットＰ上に複数のガラス板Ｇを積載することにより構成される。本実施形態の保管工程Ｓ１では、平置き姿勢でガラス板Ｇが保管されるが、傾斜姿勢でガラス板Ｇが保管されてもよい。

　ガラス板Ｇは、例えばオーバーフローダウンドロー法によって形成される長尺状のガラスリボンを切断することにより構成される。オーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に設けられたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の両側の側壁部に沿って流下させながら、成形体の下端部で融合一体化し、ガラスリボンを連続成形するというものである。ガラス板Ｇは、オーバーフローダウンドロー法に限らず、フロート法その他の各種の成形法により製造され得る。

　ガラス板Ｇは、矩形状に構成されるが、この形状に限定されるものではない。ガラス板Ｇは、第一主面Ｇａと、第二主面Ｇｂとを含む。本実施形態において、第一主面Ｇａは保証面とされており、第二主面Ｇｂは非保証面とされている。ここで、「保証面」とは、例えばディスプレイの製造過程において透明導電膜等の成膜処理が施される側の面を意味する。

　ガラス板Ｇは、例えば、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラスにより構成される。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

　各ガラス板Ｇには、樹脂シートＲＳが重ねられている。この樹脂シートＲＳにより、梱包体ＰＢの状態においてガラス板Ｇ同士の接触が防止される。

　樹脂シートＲＳは、ガラス板Ｇよりも表面積が大きな矩形状のシートにより構成される。樹脂シートＲＳは、例えばポリエチレンを主成分とする樹脂による発泡樹脂シート、樹脂製保護フィルム等により構成される。樹脂シートＲＳは、ポリマー型帯電防止剤等の帯電防止剤、或いはアニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等の界面活性剤を含有し得る。

　保管工程Ｓ１において、梱包体ＰＢは例えば数日から一年保管される。保管期間が長くなるほど、ガラス板Ｇの汚れが増加し、本発明の洗浄力の向上させる効果が顕著となる。このため、保管期間は二か月以上が好ましく、四か月以上がより好ましい。保管工程Ｓ１を経た梱包体ＰＢは、保管空間ＳＳから運び出される。

　洗浄工程Ｓ２には、梱包体ＰＢから取り出されたガラス板Ｇが供給される。この場合において、樹脂シートＲＳは、ガラス板Ｇから剥がされる。洗浄工程Ｓ２では、図１に示す洗浄装置１によってガラス板Ｇを洗浄する。

　洗浄装置１は、第一洗浄液ＣＳ１をガラス板Ｇに供給しつつ、当該ガラス板Ｇを洗浄する第一洗浄部２と、ガラス板Ｇに付着している第一洗浄液ＣＳ１を除去する液切り部３と、第二洗浄液ＣＳ２をガラス板Ｇに供給しつつ、当該ガラス板Ｇを洗浄する第二洗浄部４と、ガラス板Ｇにリンス液を供給しつつ、当該ガラス板Ｇに付着している第二洗浄液ＣＳ２を除去するリンス部５と、乾燥部６と、を主に備える。その他、洗浄装置１は、ガラス板Ｇを所定の搬送方向Ｘに沿って搬送する搬送装置７を備える。

　第一洗浄部２は、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａを洗浄する上側洗浄機２ａと、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂを洗浄する下側洗浄機２ｂとを備える。

　上側洗浄機２ａは、第一主面Ｇａに接触する上側洗浄具８ａと、当該上側洗浄具８ａを支持する本体部９ａとを備える。下側洗浄機２ｂは、第二主面Ｇｂに接触する下側洗浄具８ｂと、当該下側洗浄具８ｂを支持する本体部９ｂとを備える。上側洗浄機２ａと下側洗浄機２ｂとは同型のものである。

　以下、各洗浄機２ａ，２ｂの構成について、図２に示す上側洗浄機２ａを例として説明する。上側洗浄具８ａは、円盤状に構成されるが、この形状に限定されるものではない。上側洗浄具８ａは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａに接触する洗浄部材１０と、当該洗浄部材１０を支持する軸部１１とを備える。

　洗浄部材１０は、例えば発泡樹脂成形体若しくは発泡ゴム成形体（フォームスポンジ）、又はフェルト状の繊維成形体（フェルトスポンジ）によりディスク状（円板状）に形成される。この構成に限らず、洗浄部材１０は、ブラシにより構成されてもよい。

　洗浄部材１０は、第一洗浄液ＣＳ１をガラス板Ｇに供給する供給孔１２を有する。軸部１１は管状に構成されており、内部に第一洗浄液ＣＳ１を通過させることができる。軸部１１は、洗浄部材１０の供給孔１２と連通している。

　本体部９ａは、第一洗浄液ＣＳ１を貯留する貯留槽１３と、第一洗浄具の軸部１１を回転可能に支持する軸受部１４と、軸部１１を回転させる駆動部（図示省略）とを備える。

　貯留槽１３は、第一洗浄液ＣＳ１としての酸性洗浄液を貯留する。酸性洗浄液は、例えばヒドロキシ酸を含む水溶液により構成される。ヒドロキシ酸としては、例えばグリコール酸、乳酸、酒石酸、クエン酸、リンゴ酸、サリチル酸等が挙げられる。ヒドロキシ酸は、水酸基を併せ持つカルボン酸であり、水溶性が高い。また、ヒドロキシ酸は、分子内に含まれるカルボキシル基がガラス板Ｇの表面（各主面Ｇａ，Ｇｂ）におけるカルシウム汚れのカルシウムイオン（Ｃａ²⁺）とキレート効果により反応し、カルシウムイオンを１分子内または複数分子で取り込み安定化させるため、ガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに固着したカルシウム成分の除去に効果的である。例えば酸性洗浄液として、グリコール酸を使用した場合、その濃度は、１．５～１０％とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。なお、酸性洗浄液は、ヒドロキシ酸を１種又は複数種含んでもよい。

　この他、第一洗浄液ＣＳ１は、ガラス板Ｇ上の有機物を含んだ汚れを洗浄除去するための界面活性剤を含んでもよい。界面活性剤としては、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム等に代表される陰イオン系界面活性剤や、ポリオキシエチレンアルキルエーテル等に代表される非イオン系界面活性剤からなる群より選択することができる。界面活性剤は、樹脂シートＲＳからガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに転写された汚れ中の有機物主体の汚れを取り込んでガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂから除去するのに効果的である。

　酸性洗浄液は、この洗浄液中に遊離したカルシウムイオン（Ｃａ²⁺）のガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂへの再付着を防ぐために、カルシウムイオンを優先的に補足するキレート助剤をさらに含んでもよい。添加するキレート助剤としては、トリポリリン酸ナトリウム、ＥＤＴＡ(エチレンジアミンテトラ酢酸)、ＮＴＡ(ニトリロトリ酢酸)、クエン酸ナトリウムや、種々の有機高分子キレート助剤を用いてもよいし、例えばゼオライトといったカルシウムイオンを選択的に吸着する無機物等を用いてもよい。

　貯留槽１３は、第一洗浄液ＣＳ１を加熱するヒータを備えてもよい。この場合における第一洗浄液ＣＳ１の温度は、４０～５０℃とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。

　第一洗浄部２は、各洗浄具８ａ，８ｂをガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに接触させた状態で、駆動部によって軸部１１を回転させることで、ガラス板Ｇに対する擦り洗浄を行うことができる。

　液切り部３は、第一洗浄部２を通過したガラス板Ｇに付着している第一洗浄液ＣＳ１を除去するためのものである。液切り部３は、上側エアナイフ３ａと、下側エアナイフ３ｂとを備える。液切り部３は、各エアナイフ３ａ，３ｂのエアをガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに吹き付けることにより、ガラス板Ｇから第一洗浄液ＣＳ１を除去することができる。

　第二洗浄部４は、ガラス板Ｇに対して擦り洗浄を実行することが可能な上側洗浄機４ａ及び下側洗浄機４ｂを備える。上側洗浄機４ａは、上側洗浄具１５ａと、当該上側洗浄具１５ａを支持する本体部１６ａと、を備える。下側洗浄機４ｂは、下側洗浄具１５ｂと、当該下側洗浄具１５ｂを支持する本体部１６ｂと、を備える。第二洗浄部４の上側洗浄機４ａ及び下側洗浄機４ｂは、第一洗浄部２における上側洗浄機２ａ及び下側洗浄機２ｂと同じ構造を有する。

　但し、第二洗浄部４は、第二洗浄液ＣＳ２としてアルカリ性洗浄液を使用する点が、第一洗浄部２と異なる。アルカリ性洗浄液は、水酸化物塩を含み、例えば水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの少なくとも一方を含む水溶液により構成される。アルカリ性洗浄液における水酸化ナトリウムの濃度と水酸化カリウムの濃度の合計は、０．５～１０％とされることが好ましく、１．５～１０％とされることがより好ましい。第二洗浄液ＣＳ２は、界面活性剤やキレート剤を含んでいてもよい。また、第二洗浄液ＣＳ２の温度は、４０～５０℃とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。

　アルカリ性洗浄液は、水酸化物塩に限らず、炭酸塩を含んでもよい。炭酸塩としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、セスキ炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム(重炭酸ナトリウム)等が使用可能である。また、上記に限らず、アルカリ性洗浄液は、ケイ酸塩等のアルカリビルダー助剤を含んでもよい。

　上記のアルカリ性洗浄液により、有機物を含む他の汚れをガラス板Ｇからより効果的に取り除くことができる。また、ガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂをアルカリ化して負の電荷を保持させることにより、第一洗浄液ＣＳ１（酸性洗浄剤）を使用した後にガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに吸着残存している極性の高い界面活性剤成分を特に効果的に除去することが可能となる。

　アルカリ性洗浄液は、ガラス板Ｇ上の有機物を含んだ汚れや前記の酸性洗浄剤の残留物を効果的に除去するための界面活性剤成分を含んでも良い。界面活性剤としては、アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム等に代表される陰イオン系界面活性剤や、ポリオキシエチレンアルキルエーテル等に代表される非イオン系界面活性剤からなる群より選択することができる。界面活性剤は、ガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂ上の有機物主体の残存物を取り込んでガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂから除去するのに効果的である。

　より好ましくは、アルカリ性洗浄液は、ガラス板Ｇから除去されてこのアルカリ性洗浄液中に遊離したカルシウムイオンがガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに再付着することを防ぐために、第一洗浄液ＣＳ１と同様にキレート助剤を含んでもよい。

　リンス部５は、第二洗浄部４を通過したガラス板Ｇに付着している第二洗浄液ＣＳ２を除去するためのものである。リンス部５は、上側リンス液供給部５ａと、下側リンス液供給部５ｂとを備える。上側リンス液供給部５ａは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａにリンス液を供給する。下側リンス液供給部５ｂは、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂにリンス液を供給する。

　リンス液としては、例えば純水が使用されるが、これに限定されない。例えばリンス液として、小濃度の炭酸カリウム水溶液から電気分解で形成させたｐＨ＝１１程度のアルカリ電解水を含む純水を用いてもよい。これにより、ガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂが負の帯電をし（陰イオンで覆われ）、排液中に分散したカルシウムイオンや有機物、パーティクル等が負に帯電して反発効果を持つことで、洗浄後のガラス板Ｇの主面Ｇａ，Ｇｂへの異物の再付着を防止でき、特に外観検査で不可視の微小パーティクルの減少に効果がある。アルカリ電解水を含む純水を用いる場合、アルカリ電解水を含む純水のｐＨは例えば９～１２とすることができる。

　リンス部５は、スプレー状ノズルを備え、高圧のリンス液を噴射して洗浄することにより、第二洗浄液ＣＳをガラス板Ｇから除去することができる。リンス部５は、空気を純水中に混入させたリンス液を、ミックスジェットノズルによって噴射することにより、第二洗浄液ＣＳ２をガラス板Ｇから除去してもよい。また、リンス部５は、洗浄具を用いて第二洗浄液ＣＳをガラス板Ｇから除去してもよい。

　乾燥部６は、リンス部５を通過したガラス板Ｇに付着しているリンス液を除去するためのものである。乾燥部６は、上側エアナイフ６ａと、下側エアナイフ６ｂとを備える。上側エアナイフ６ａは、リンス部５を通過したガラス板Ｇの第一主面Ｇａにエアを吹き付ける。下側エアナイフ６ｂは、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂにエアを吹き付ける。

　搬送装置７は、第一洗浄部２から乾燥部６までガラス板Ｇを搬送する。搬送装置７は、例えばローラコンベアにより構成されるが、この構成に限定されるものではない。搬送装置７は、所定の間隔をおいて配置される複数の搬送ローラ７ａを備える。各搬送ローラ７ａは、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂに接触しつつ、回転駆動されることで当該ガラス板Ｇを搬送方向Ｘに沿って搬送する。

　図３に示すように、洗浄工程Ｓ２は、第一洗浄工程Ｓ２１と、液切り工程Ｓ２２と、第二洗浄工程Ｓ２３と、リンス工程Ｓ２４と、乾燥工程Ｓ２５と、を備える。

　第一洗浄工程Ｓ２１では、第一洗浄部２において、搬送装置７によりガラス板Ｇを搬送方向Ｘに沿って搬送しつつ、第一洗浄部２における上側洗浄具８ａ及び下側洗浄具８ｂをガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂに接触させる。これにより、ガラス板Ｇは、各洗浄具８ａ，８ｂによって挟持される。各洗浄具８ａ，８ｂは、第一洗浄液ＣＳ１としての酸性洗浄液をガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに供給しながら洗浄部材１０を回転させる。これにより、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂが同時に洗浄される。

　液切り工程Ｓ２２では、第一洗浄部２を通過したガラス板Ｇに対し、液切り部３の各エアナイフ３ａ，３ｂからエアを吹き付けることで、当該ガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂに付着している第一洗浄液ＣＳ１を除去する。

　第二洗浄工程Ｓ２３では、第二洗浄部４において、ガラス板Ｇを搬送方向Ｘに沿って搬送しつつ、第二洗浄部４における上側洗浄具１５ａ及び下側洗浄具１５ｂをガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂに接触させる。各洗浄具１５ａ，１５ｂは、第二洗浄液ＣＳ２としてのアルカリ性洗浄液をガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに供給しながら洗浄部材１０を回転させる。これにより、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂが同時に洗浄される。

　リンス工程Ｓ２４では、第二洗浄部４を通過したガラス板Ｇに対し、リンス部５の各リンス液供給部５ａ，５ｂからリンス液を供給する。これにより、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａ及び第二主面Ｇｂに付着している第二洗浄液ＣＳ２を除去することができる。

　乾燥工程Ｓ２５では、リンス部５を通過したガラス板Ｇに対し、乾燥部６の各エアナイフ６ａ，６ｂからエアを吹き付ける。この場合において、例えば高圧のエアをエアナイフ６ａ，６ｂからガラス板Ｇに向かって噴射することが望ましい。これにより、ガラス板Ｇに付着しているリンス液を除去することができる。

　本実施形態に係るガラス板Ｇの製造方法によれば、保管工程Ｓ１において樹脂シートＲＳからガラス板Ｇに転写されたカルシウム汚れを第一洗浄工程Ｓ２１によって効果的に除去することができる。また、第二洗浄工程Ｓ２３において、有機物を含む汚れを効果的に除去することができる。これにより、ガラス板Ｇの洗浄工程Ｓ２における洗浄力を向上させることが可能になる。ここで、カルシウム汚れは、樹脂シートＲＳに含まれる添加剤（例えばポリエチレングリコールやポリエチレングリコールとポリプロピレンの共重合体）が大気中の水分を吸収する過程で、大気中の水分に含まれる微量のカルシウムが析出・濃縮してガラスに付着することで発生すると推察される。また、有機物を含む汚れは、樹脂シートＲＳに含まれる各種添加剤（例えば疎水性物質）がブリードアウトすることで発生すると推察される。

　図４は、本発明に係るガラス板の製造方法の第二実施形態を示す。本実施形態では、液切り工程Ｓ２２の構成が第一実施形態と異なる。第一実施形態において、洗浄装置１の液切り部３は、エアナイフにより構成されていたが、本実施形態における液切り部３は、ガラス板Ｇに付着している第一洗浄液ＣＳ１を取り除く除去液を供給するシャワー洗浄装置により構成される。

　液切り部３は、上側除去液供給部１７ａと、下側除去液供給部１７ｂとを備える。上側除去液供給部１７ａは、ガラス板Ｇの第一主面Ｇａに除去液を供給する。下側除去液供給部１７ｂは、ガラス板Ｇの第二主面Ｇｂに除去液を供給する。

　ガラス板Ｇに供給される除去液は、例えば純水により構成される。除去液は、加熱された温水の状態でガラス板Ｇに供給されることが好ましい。除去液の温度は、例えば４０～６０℃とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。

　除去液は、アルカリ電解水を含んでもよい。除去液にアルカリ電解水を使用することで、ガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂを陰イオンで覆い、ガラス板Ｇから除去されて除去液中に分散して存在する粒子状の物質がガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂに再付着することを防止できる。これにより、第一洗浄工程Ｓ２１後におけるガラス板Ｇの各主面Ｇａ，Ｇｂの清浄度を高めることができる。

　本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記の実施形態では、第一洗浄工程Ｓ２１と第二洗浄工程Ｓ２３との間に液切り工程Ｓ２２を備えるガラス板Ｇの製造方法を例示したが、本発明はこの構成に限定されるものではない。本発明では、例えば液切り工程Ｓ２２を省略してもよい。

　上記の実施形態では、洗浄具８ａ，８ｂ,１５ａ，１５ｂとして、円盤状（ディスク状）のものを例示したが、本発明はこの構成に限定されるものではない。洗浄具は、洗浄ローラその他の洗浄具により構成されてもよい。

　本発明は、第二洗浄工程Ｓ２３とリンス工程Ｓ２４との間に、第二洗浄工程Ｓ２３によってガラス板Ｇに付着した第二洗浄液ＣＳ２（アルカリ性洗浄液）を除去する液切り工程を備えてもよい。

　以下、本発明に係る実施例について説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。本発明者等は、本発明によって製造されるガラス板の品質を確認するための試験を実施した。試験は、以下に詳述するように、第一の方法及び第二の方法の二つの方法により行った。

　第一の方法による試験では、清浄、乾燥された矩形状のテスト用ソーダガラス板と樹脂シートとを使用した。ガラス板のサイズは、１００ｍｍ×１００ｍｍ、厚み０．７ｍｍである。樹脂シートのサイズは、１５０ｍｍ×１５０ｍｍである。樹脂シートをガラス板に接触させた状態で三か月間保管した後、樹脂シートをガラス板から取り除き、カルシウム汚れ、及び有機物を含む汚れが表面に形成されたガラス板の試験片（実施例１～５、比較例１）を作製した。

　試験では、酸性洗浄液（第一洗浄液）によって実施例１～５に係るガラス板を洗浄した後、アルカリ性洗浄液（第二洗浄液）によって、当該ガラス板を洗浄した。この場合において、酸性洗浄液の濃度及びアルカリ性洗浄液の濃度を異ならせて各実施例１～５に係るガラス板を洗浄した。また、比較例１に係るガラス板を、アルカリ性洗浄液（第一洗浄液）によって洗浄し、その後、酸性洗浄液（第二洗浄液）によって洗浄した。

　具体的には、所定の濃度の上記洗浄液をシャワーにて吹き付け、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）製のスポンジに洗浄液を含侵させてガラス板を３０秒擦った後、手動により純水でリンスし、乾燥エアで乾燥させた。

　本発明者等は、実施例１～５及び比較例１に係るガラス板について、洗浄結果を評価した。洗浄結果の評価は、蛍光灯による照度１５００ルクスの照明を用いたガラス板の表面に対する光の反射及び透過を利用してガラス板の表面における汚れの有無等を目視で確認する検査（目視検査）により行った。加えて、洗浄結果の評価は、より強度の高いハロゲン照明による照度１００００ルクスの照明を用いたガラス板の表面に対する光の反射を利用する目視検査により行った。評価結果は、○（良）、△（通常）、×（不可）の三段階で行った。

　表１における○(良)の評価は、目視検査において、蛍光灯による照度１５００ルクス、およびハロゲン照明による照度１００００ルクスの条件において、点状、ないしは線状の表面異物や、洗剤の残存による半透明状のムラが観察されない清浄で透明なガラス板が得られたことを示す。

　表１における△（通常）の評価は、蛍光灯照明照度１５００ルクスでは表面異物が観察されないが、ハロゲン照明による照度１００００ルクスの条件での目視検査で微小異物残りや、ブリードアウト異物または洗剤成分の薄い膜状の残存物と考えられる半透明ムラが観察されたことを示す。

　一方、表１における×（不可）の評価は、蛍光灯による照度１５００ルクスの照明を用いた目視検査で異物の残存や半透明ムラが観察された場合に判定される。

　試験結果を表１に示す。なお、酸性洗浄液の濃度はグリコール酸の濃度（質量％）を示し、アルカリ性洗浄液の濃度は水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの合計濃度（質量％）を示す。アルカリ性洗浄液では、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの濃度（質量％）を同じにした。

　表１に示すように、実施例１～５については、洗浄結果が良好及び通常と判定された。このうち、実施例３、４においては、蛍光灯による目視検査では汚れが確認されなかったが、ハロゲンランプを用いた強い照度の目視検査においては、若干の洗浄不足と思われる微小異物や、酸性洗剤の残存または膜状異物の残存が起因と思われる白色の不透明の薄いムラが観察された。

　一方、比較例１については、有機物を含む汚れをガラス板から十分に除去することができず、洗浄不良と判定された。

　ここで、ガラス板の表面には、ブリードアウトに伴う有機物を含む汚れが付着した後で、カルシウム汚れが付着する場合が多い。このため、有機物を含む汚れの一部又は全部の表面がカルシウム汚れに覆われている場合が多い。したがって、比較例のようにアルカリ性洗浄液（第一洗浄液）によって洗浄した後、酸性洗浄液（第二洗浄液）によって洗浄すると、アルカリ洗浄液による洗浄では、有機物を含む汚れのうちの表面の露出部が除去され、酸性洗浄液による洗浄ではカルシウム汚れが除去される傾向となる。その結果、有機物を含む汚れのうちの表面の非露出部が残存する傾向となり、有機物を含む汚れをガラス板から十分に除去できなかったと推察される。この試験結果から、酸性洗浄液によってガラス板を洗浄した後、アルカリ性洗浄液によって当該ガラス板を洗浄することで、洗浄力が向上することが確認された。

　第二の方法による試験では、所定方法で清浄、乾燥された矩形状のガラス板と、ポリエチレン製発泡樹脂シートとを用いた。ガラス板のサイズは、３７０ｍｍ×４７０ｍｍ、厚み０．５ｍｍである。このガラス板は、液晶ディスプレイ用無アルカリホウケイ酸ガラス板（材質:日本電気硝子株式会社製ＯＡ－１１）である。樹脂シートのサイズは、４００ｍｍ×５００ｍｍ、厚み０．０８５ｍｍである。

　ポリエチレン製発泡樹脂シートをガラス板に重ね合わせて、ガラス積層体を構成した。ガラス積層体は、１枚のガラス板と１枚の樹脂シートの組み合わせを１セットとし、複数セットのガラス積層体を水平姿勢で積層させた。この複数セットのガラス積層体は、輸送用のパレットに積載された保管状態を想定して再現したものである。

　このガラス積層体を恒温恒湿試験機に入れ、試験機内の温度及び湿度を変化させることによる加速環境試験を実施した。以下、加速環境試験の詳細について説明する。

　この試験では、温度及び湿度の異なる第一工程及び第二工程を繰り返し実施した。具体的には、第一工程と第二工程の組み合わせを１サイクルとし、このサイクルを１８０回繰り返した。

　第一工程では、試験機内を高温高湿に設定した。第一工程における試験機内の設定温度は５０℃であり、設定湿度は７０％である。第二工程では、試験機内を常温常湿に設定した。第二工程における試験機内の設定温度は２５℃であり、設定湿度は５０％である。

　第一工程と第二工程のサイクルは、以下のように設定した。まず、第一工程の温度及び湿度を１時間維持する。その後、第二工程の条件になるまで１時間をかけて試験機内の温度及び湿度を下降させる。そして、第二工程の温度及び湿度を１時間維持する。その後、第一工程の条件になるまで１時間をかけて試験機内の温度及び湿度を上昇させる。上記の温度及び湿度の維持、下降、及び上昇が１サイクルとなる。この１サイクルは、ガラス積層体が一日保管された場合の周囲環境の温度及び湿度の変化を短時間で再現するものである。この試験では、１８０サイクルの繰り返しにより、ガラス積層体が１８０日間保管された状態を仮想的に再現した。

　上記のような加速環境試験により、ガラス板上に樹脂シートの成分を転写して汚染させた。その後、樹脂シートをガラス板から取り除き、カルシウム汚れ、及び有機物を含む汚れが表面に形成されたガラス板の試験片（実施例６～１０、比較例２）を作製した。

　この第二の方法におけるガラス板の洗浄は、上記の第一実施形態による洗浄装置１により行った。洗浄装置１によるガラス板の洗浄では、リンス工程において、リンス液として、アルカリ電解水を含まない純水を使用する洗浄条件１と、アルカリ電解水を含む純水を使用する洗浄条件２を設けた。

　洗浄結果の評価は、先述の第一の方法と同じく、蛍光灯による照度１５００ルクスの光を用いたガラス板の表面の目視検査、およびハロゲン照明による照度１００００ルクスの光を用いたガラス板の表面の目視検査により行った。実施例６～１０及び比較例２について、各５枚のガラス板を検査し、○（良）、△（通常）、×（不可）の三段階で評価を行った。

　さらに、第二の方法に係る試験では、洗浄後のガラス板の表面における１μｍ以上の微小異物（パーティクル）の個数を、株式会社日立ハイテク製パーティクル測定機ＧＩ７２００を用いて測定した。実施例６～１０及び比較例２について、各１枚のガラス板を測定し、結果を比較した。なお、パーティクルの個数は、３７０ｍｍ×４７０ｍｍ内に検出された個数を１ｍ²（１０００ｍｍ×１０００ｍｍ）当たりの個数に換算して表示した。

　試験結果を表２に示す。なお、酸性洗浄液の濃度はグリコール酸の濃度（質量％）を示し、アルカリ性洗浄液の濃度は水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの合計濃度（質量％）を示す。アルカリ性洗浄液では、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの濃度（質量％）を同じにした。表２の蛍光灯検査およびハロゲン検査の結果は、洗浄条件１で洗浄後のガラス板と、洗浄条件２で洗浄後のガラス板で有意な差がなかったので、洗浄条件１で洗浄後のガラス板のものを示す。

　表２に示すように、実施例６～１０については、洗浄結果が良好及び通常と判定された。そのうち、実施例７、８においては、蛍光灯検査、ハロゲン検査の結果とともに、パーティクル個数も１００～２００個／ｍ²と少なく、良好であった。

　実施例６、１０では、蛍光灯による目視検査では汚れが確認されなかったが、ハロゲンランプによる目視検査においては、洗剤成分の残存が起因と思われる白色のごく薄いムラが観察され、また、パーティクル個数も５００～１０００個／ｍ²と比較的高い数字を示した。

　実施例９では、蛍光灯による目視検査では汚れが確認されなかったが、ハロゲンランプによる目視検査においては、洗浄不足と思われる微小異物が観察され、また、パーティクル個数が７００個／ｍ²と高くなった。なお、リンス工程において、アルカリ電解水を含む純水を使用する洗浄条件２で、アルカリ電解水を含まない純水を使用する洗浄条件１と比べ、実施例６～１０のいずれにおいてもパーティクルの数値が低減し、異物の再付着防止の効果があることが認められた。

　一方、比較例２については、有機物を含む汚れをガラス板から十分に除去することができず、洗浄不良と判定された。パーティクルの数値も１００００個／ｍ²と高く、目視検査において、ガラス板上に発泡樹脂シートの表面の凹凸に起因する異物が不定形に残存したことによるブリーディング跡（縞状ムラ）が観察されたため、比較例２は不良となった。

　８ａ　　　　　上側洗浄具
　８ｂ　　　　　下側洗浄具
１５ａ　　　　　上側洗浄具
１５ｂ　　　　　下側洗浄具
　ＣＳ１　　　　第一洗浄液
　ＣＳ２　　　　第二洗浄液
　Ｇ　　　　　　ガラス板
　ＲＳ　　　　　樹脂シート
　Ｓ１　　　　　保管工程
　Ｓ２　　　　　洗浄工程
　Ｓ２１　　　　第一洗浄工程
　Ｓ２２　　　　液切り工程
　Ｓ２３　　　　第二洗浄工程
　Ｓ２４　　　　リンス工程

Claims (9)

1. 　樹脂シートに接触するガラス板を保管する保管工程と、前記保管工程後に前記ガラス板を洗浄する洗浄工程と、を備えるガラス板の製造方法であって、
   　前記洗浄工程は、前記ガラス板に第一洗浄液を供給して前記ガラス板を洗浄する第一洗浄工程と、前記第一洗浄工程後に、前記ガラス板に第二洗浄液を供給して前記ガラス板を洗浄する第二洗浄工程と、を備え、
   　前記第一洗浄液は、酸性洗浄液であり、前記第二洗浄液は、アルカリ性洗浄液であることを特徴とするガラス板の製造方法。
2. 　前記酸性洗浄液は、ヒドロキシ酸を含む請求項１に記載のガラス板の製造方法。
3. 　前記ヒドロキシ酸は、グリコール酸を含む請求項２に記載のガラス板の製造方法。
4. 　前記アルカリ性洗浄液は、水酸化物塩を含む請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
5. 　前記アルカリ性洗浄液は、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの少なくとも一方を含む請求項１から４のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
6. 　前記第一洗浄工程では、洗浄具を前記ガラス板に接触させることにより、前記ガラス板を洗浄する請求項１から５のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
7. 　前記第二洗浄工程では、洗浄具を前記ガラス板に接触させることにより、前記ガラス板を洗浄する請求項１から６のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
8. 　前記第一洗浄工程の後であって前記第二洗浄工程の前に、除去液を前記ガラス板に供給することにより、前記ガラス板に付着している前記第一洗浄液を除去する液切り工程を備え、
   　前記除去液は、温水である請求項１から７のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
9. 　前記第二洗浄工程後に、リンス液を前記ガラス板に供給することにより、前記ガラス板に付着している前記第二洗浄液を除去するリンス工程を備え、
   　前記リンス液は、アルカリ電解水を含む請求項１から８のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。

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