WO2021181852A1 - 端末装置及びｒｆ電源装置 - Google Patents

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高橋　直人
押田　善之
藤本　直也
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株式会社日立国際電気
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    • G06T2200/24—Indexing scheme for image data processing or generation, in general involving graphical user interfaces [GUIs]

Definitions

  • the present invention relates to, for example, a terminal device for displaying the status of a traveling wave, frequency, etc. of an RF (Radio Frequency) power supply for a semiconductor manufacturing device using a plasma process or an FPD (Flat Panel Display) manufacturing device.
  • the present invention relates to a terminal device and an RF power supply device that display the status of the RF power supply in an easy-to-understand manner.
  • a plurality of RF power supplies of 10 or more may be used for operation.
  • the operator displays the status information of the RF power supply by the application for displaying the status of the RF power supply in the terminal device such as a personal computer (PC).
  • PC personal computer
  • the status information of the RF power supply is, for example, numerical values such as frequency, traveling wave, reflected wave, and phase.
  • the operator refers to the RF power supply status information displayed on the terminal device to determine whether the status information of each RF power supply in the current process is appropriate, and depending on the numerical value of the status information, the RF power supply is used. It is adjusted individually.
  • FIG. 10 is a schematic view showing a status display example of a conventional RF power supply.
  • numerical values such as traveling wave, frequency, and phase are displayed for each RF power supply (RFG).
  • Patent Document 1 discloses a power supply device that efficiently impedance-matches the output power from a high-frequency power supply and a load.
  • the status information is a list of numerical values, so the operator must judge the status of the RF power supply by looking at each numerical value, and the RF power supply must be used.
  • Patent Document 1 does not describe a configuration for displaying the status information of the RF power supply in an easy-to-understand manner.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and is a terminal device capable of intuitively and easily displaying the status information of the RF power supply in the process and easily determining the quality of the state and the necessity of adjustment. And to provide RF power supplies.
  • the present invention for solving the problem of the above-mentioned conventional example is a terminal device for displaying the status information of a plurality of RF power supplies, and the numerical value of a specific item of the status information is represented by a difference in length on the display screen. It is characterized in that it is displayed as a graphic and an item different from a specific item is displayed with at least one of the color tone, pattern, and shape of the graphic.
  • a specific item is a frequency and another item is a phase
  • the output powers of a plurality of RF power supplies at the frequency are displayed as a bar graph figure
  • the phase of the RF power supply is the color tone of the corresponding figure. It is characterized by displaying at least one of a pattern and a shape.
  • a specific item is set as a phase and another item is set as a frequency
  • the phases of a plurality of RF power supplies are displayed as a graphic on a circle
  • the frequency of the RF power supply is represented by the color tone and pattern of the corresponding graphic.
  • the present invention displays the progress of impedance matching with a load in the terminal device, displays a bar graph of matching start and a bar graph of matching completion, and displays frequency fluctuations in the course as a line graph. It is a feature.
  • the present invention is characterized in that the terminal device displays a selection screen on which a specific item of status information can be selected.
  • the present invention is characterized in that, in the terminal device, a set value set by an operator is displayed on a graphic display.
  • the present invention is a terminal device that displays status information of a plurality of RF power supplies, and on a display screen, a figure for each of the plurality of RF power supplies is displayed on a circle representing a phase for each output power value, and the RF power supply is displayed. It is characterized in that the frequency is displayed in at least one of the color tone, pattern, and shape of the corresponding figure.
  • the present invention is characterized in that the RF power supply device has the above-mentioned terminal device.
  • the status information of a plurality of RF power supplies is displayed, and the numerical value of a specific item of the status information is displayed on the display screen as a figure represented by a difference in length, and the specific item is. Since another item is a terminal device that displays at least one of the color tone, pattern, and shape of the figure, the status information of the RF power supply can be displayed intuitively and easily in the figure, and it is necessary to adjust the condition of the RF power supply. It has the effect of making it easy to judge whether or not it is.
  • the RF power supply device (this device) according to the embodiment of the present invention includes a terminal device that displays status information such as a traveling wave, a reflected wave, a frequency, and a phase of the RF power supply, and the terminal device is the status of the RF power supply.
  • the frequency, phase, etc. of information are displayed in an intuitive and easy-to-understand manner, and it is possible to easily determine whether the RF power supply is in good condition or whether adjustment is necessary.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the present device.
  • this apparatus basically has an RF power supply 10 and a terminal device 14, a matching device 15 is connected to the RF power supply 10, and a plasma processing device 16 is connected to the matching device 25.
  • the terminal device 14 is usually connected to a plurality of RF power supplies 10 and displays the status information of the plurality of RF power supplies 10 on one screen.
  • the RF power supply 10 of this device includes an RF unit 11, a control unit 12, and a detection unit 13.
  • the RF unit 11 includes an excitation amplification unit 111 and an amplification unit 112.
  • the control unit 12 includes a setting unit 121, a calculation unit 122, and a communication unit 123.
  • the excitation amplification unit 111 of the RF unit 11 generates a reference signal having a predetermined frequency and outputs it to the amplification unit 112.
  • the amplification unit 112 amplifies the power of the reference signal input from the excitation amplification unit 111 to generate a high-frequency power signal, and outputs the high-frequency power signal to the detection unit 13.
  • the detection unit 13 is composed of, for example, a CM (capacitive / mutual inductance coupling) type directional coupler, outputs a high frequency power signal (RF output) input from the amplification unit 112 to the matching unit 15, and outputs a high frequency power signal.
  • CM capactive / mutual inductance coupling
  • the matching device 15 matches the output impedance of the RF power supply 10 with the input impedance of the plasma processing device 16, and combines a fixed matching element such as a fixed coil and a variable matching element such as a variable capacitor (VC: Variable Capacitor). Have.
  • the VC capacitance of the variable capacitor is set from the control unit 112, and impedance matching is adjusted.
  • the plasma processing device 16 inputs a high-frequency power signal impedance-matched by the matching device 15 to generate plasma and perform plasma processing such as plasma ashing on a substrate for manufacturing a semiconductor integrated circuit or the like.
  • the calculation unit 122 of the control unit 12 performs AD conversion and digital signal processing on the voltage of the traveling wave and the reflected wave input from the detection unit 13, and outputs the power value of the traveling wave and the reflected wave to the communication unit 123.
  • the impedance value is calculated from the traveling wave, the reflected wave and their phases, and the impedance value is output to the setting unit 121.
  • the setting unit 121 of the control unit 12 outputs the set values of the frequency, the phase, and the RF power to the excitation amplification unit 111 of the RF unit 11 and outputs them to the communication unit 123. Further, the setting unit 121 inputs an impedance value from the calculation unit 122, and outputs a setting value of the VC capacitance to the matching unit 15 based on the impedance value.
  • the communication unit 123 of the control unit 12 inputs the set values of frequency, phase and RF power from the setting unit 121, inputs the voltages of the traveling wave and the reflected wave from the calculation unit 122, and outputs them to the terminal device 14.
  • the terminal device 14 inputs the traveling wave and reflected wave voltages, as well as the frequency, phase, and RF power setting values from the communication unit 123, and displays them as status information on the display unit.
  • the present embodiment is characterized by a display method on the terminal device 14.
  • FIG. 2 is a block diagram of a terminal device.
  • the terminal device 14 is a processing device such as a personal computer, and includes a control unit 141, a storage unit 142, an interface unit 143, a display unit 144, and an input unit 145, as shown in FIG.
  • the control unit 141 operates a processing program (application) stored in the storage unit 142, and uses the traveling wave and the reflected wave voltage transmitted from the communication unit 123, as well as the frequency, phase, and RF power setting values as status information. It is displayed on the display unit 144.
  • application application
  • the storage unit 142 stores applications, status information, other data required for processing, parameters, and the like.
  • the interface unit 143 is connected to the communication unit 123 of the RF power supply 10, and the display unit 144 and the input unit 145 are connected to each other.
  • the display unit 144 can intuitively and easily display the status information of the RF power supply, and can easily determine whether the state of the RF power supply is good or not and whether or not adjustment is necessary.
  • the input unit 145 inputs an instruction to operate the application, and inputs an instruction to select the status information to be displayed on the display unit 144.
  • FIG. 3 is a schematic view showing an initial screen when the application is operated
  • FIG. 4 is a schematic view of a frequency-based screen
  • FIG. 5 is a schematic view of a phase-based screen
  • FIG. 7 is a diagram showing the configuration of the phase display color
  • FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the frequency display color
  • FIG. 9 is the frequency time. It is the schematic of the frequency base screen which displays a change.
  • FIG. 3 is a selection screen for selecting the status information of the RF power supply, and the frequency base screen, the phase base screen, and the like can be selected. By making it possible to switch between the frequency-based screen and the phase-based screen, the operator can obtain the information that he / she wants to emphasize each time.
  • the frequency base screen of FIG. 4 is displayed on the display unit 144.
  • the initial screen of FIG. 3 may be displayed as a selection menu on a part of the screen together with the screens of FIG. 4 and FIGS. 5 and 6 described later.
  • the horizontal axis represents frequency (25 MHz to 35 MHz)
  • the vertical axis represents power (0 to 400 W)
  • the values are displayed in a bar graph.
  • RFG1 to RFGn are arranged according to the frequency.
  • the bar graph is color-coded according to the phase, and the phase information can be displayed at the same time.
  • the phase color coding will be described later.
  • the color coding of the figure is displayed in the color tone of the figure.
  • the set value set by the operator is also displayed on the display of figures such as bar graphs, pie charts, and line graphs, the set values can be compared with the figures, and the status information can be easily recognized. ..
  • Phase-based screen Fig. 5
  • the phase base screen of FIG. 5 is displayed on the display unit 144.
  • FIG. 5 it is a figure on a circle representing the phase for each output power value, and a 400 W circle, a 300 W circle inside, and a 200 W circle inside are displayed corresponding to a plurality of RF power supplies.
  • Auxiliary lines with phases of 0 °, 90 °, 180 °, and 270 ° are displayed in a cross.
  • the round shape displayed on the circle indicates the phase of the RF power supply.
  • RFG1 has a power value of 400 W and a phase of 0 °.
  • the round shape is color-coded according to the frequency, and the frequency information can be displayed at the same time.
  • the frequency color coding will be described later.
  • the shape indicating each RF power supply displayed on the circle is not limited to the round shape.
  • FIG. 6 is shown as a modification of FIG.
  • the phase status of each RF power supply is shown by a bar shape, instead of showing the phase status of a round shape on a circle. That is, the direction of the rod indicates the phase, and the length of the rod indicates the power value of the RF power supply.
  • This bar shape is also color-coded according to frequency, and the part where the bars overlap is displayed with priority given to the color of the shorter bar.
  • phase display color configuration As shown in FIG. 7, the phase display color is set so that the shade values of R (red), G (green), and B (blue) change depending on the phase value.
  • the numerical value of the shade is from 0 to 255, where 0 is light and there is no color, and 255 is the maximum dark state.
  • the change of the display color is shown according to the change of the phase, and it is used for the display of the bar graph (display based on the phase value) on the frequency base screen in FIG.
  • the frequency display color is set so that the shade values of R (red), G (green), and B (blue) change depending on the frequency value.
  • the numerical values of shading are the same as those described in the phase display color.
  • the change in display color is shown above according to the change in frequency, but it is used for the display of the round shape on the phase base screen in FIG. 5 and the bar shape on the phase base screen in FIG. 6 (display based on the frequency value). Be done.
  • FIG. 9 will be described in detail.
  • the bar graph of FIG. 4 is displayed at the upper part of FIG. 9, and a bar of the frequency at the start of the matching operation and a bar of the frequency during the matching or at the completion of the matching (at the time of convergence) are displayed as a set. Further, in the lower part of FIG. 9, the upper side of the vertical axis (time) is at the start of the matching operation, the lower side is at the time of convergence (at the time of completion of matching), and the frequency fluctuation is displayed as a line graph.
  • the times T1 to Tn are the matching times of the plurality of RF power supplies (RFG1 to RFGn), and the times T1'to Tn'are the elapsed times from the completion of the matching of the RFG1 to RFGn.
  • the same color as the display color of the bar is used.
  • the terminal device 14 connected to the RF power supply 10 displays the power of the traveling wave and the reflected wave of the plurality of RF power supplies 10 in a bar graph on the frequency base screen for the status information, and displays the phase of each RF power supply in a bar graph. Since the bar graph is color-coded, the status information can be recognized intuitively and easily with respect to the frequency of each RF power supply and the phase, and it is possible to easily judge whether the RF power supply is in good condition or whether adjustment is necessary. effective.
  • the terminal device 14 connected to the RF power supply 10 displays the phases of the plurality of RF power supplies 10 in a pie chart on the phase base screen for the status information, and displays the frequencies of each RF power supply in different colors. Therefore, the status information can be recognized intuitively and easily with respect to the phase and frequency of each RF power supply, and it is possible to easily judge whether the RF power supply is in good condition or whether adjustment is necessary.
  • the terminal device 14 connected to the RF power supply 10 adds the progress from the start of the impedance matching operation with the plasma processing device 16 to the completion of the matching to the frequency base screen and displays it as a line graph. Therefore, there is an effect that the excessive state of a plurality of RF power supplies in impedance matching can be easily observed.
  • each RF power supply 10 are represented by the color tone of the graphic, but the power may be changed to be represented by the color tone.
  • the status information of each RF power supply 10 is configured to be represented by changing the color tone of the figure, but the status information may be represented by changing the pattern or shape of the figure. ..
  • the pattern and shape of the figure are defined for each predetermined range of the status. Even when the status is expressed by the pattern or shape of the figure, it is more preferable to express the status by a gradual change.
  • the pattern becomes more complicated as it approaches the upper limit value or the lower limit value, or the pattern becomes closer to one side.
  • the present invention is suitable for a terminal device and an RF power supply device that can intuitively and easily display the status information of the RF power supply in the process and can easily judge whether the state is good or bad and the necessity of adjustment is necessary.

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Abstract

プロセスにおけるＲＦ電源のステータス情報を直感的に分かり易く表示して、状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができる端末装置及びＲＦ電源装置を提供する。　ＲＦ電源１０に接続する端末装置１４が、ステータス情報について周波数ベース画面で複数のＲＦ電源１０の進行波と反射波の電力を棒グラフで表示すると共に、各ＲＦ電源の位相を棒グラフで色分け表示しているので、各ＲＦ電源の周波数を主として位相についても直感的に分かり易くステータス情報を認識できる端末装置及びＲＦ電源装置である。

Description

端末装置及びＲＦ電源装置
　本発明は、例えば、プラズマプロセスを用いる半導体製造装置又はＦＰＤ（Flat Panel Display）製造装置向けのＲＦ（Radio Frequency：高周波）電源の進行波、周波数等のステータスを表示する端末装置に係り、特に、ＲＦ電源のステータスを分かり易く表示する端末装置及びＲＦ電源装置に関する。
［従来の技術］
　従来、ＦＰＤ製造装置等の大型の製造装置において、ＲＦ電源を１０台以上の複数台使用して運用する場合がある。
　運用者は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の端末装置において、ＲＦ電源のステータスを表示するアプリケーションによって、ＲＦ電源のステータス情報を表示させる。
　ＲＦ電源のステータス情報は、例えば、周波数、進行波、反射波、位相等の数値である。
　運用者は、端末装置に表示させたＲＦ電源のステータス情報を参照しながら、現在のプロセスにおける個々のＲＦ電源のステータス情報が適切であるかどうかを判断し、ステータス情報の数値によってはＲＦ電源を個別に調整するものである。
［従来のＲＦ電源のステータス表示例：図１０］
　従来の端末装置におけるＲＦ電源のステータス表示例について図１０を参照しながら説明する。図１０は、従来のＲＦ電源のステータス表示例を示す概略図である。
　従来の端末装置では、図１０に示すように、ＲＦ電源（ＲＦＧ）毎に進行波、周波数、位相等の数値を表示している。
［関連技術］
　尚、関連する先行技術として、国際公開第２０１５／１５１１６５号公報「電源装置及びインピーダンス整合方法」（特許文献１）がある。
　特許文献１には、高周波電源からの出力電力と負荷を効率よくインピーダンス整合させる電源装置が示されている。
国際公開第２０１５／１５１１６５号
　しかしながら、従来のＲＦ電源のステータス情報を表示する端末装置では、ステータス情報が数値の羅列であるため、運用者は個々の数値を見てＲＦ電源のステータスを判断しなければならず、ＲＦ電源が増えれば増えるほど、一見しただけでは直感的に分かりづらく、状態の良否や調整の要否の判断が難しくなるという問題点があった。
　尚、特許文献１には、ＲＦ電源のステータス情報を分かり易く表示する構成の記載がない。
　本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、プロセスにおけるＲＦ電源のステータス情報を直感的に分かり易く表示して、状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができる端末装置及びＲＦ電源装置を提供することを目的とする。
　上記従来例の問題点を解決するための本発明は、複数のＲＦ電源のステータス情報を表示する端末装置であって、表示画面においてステータス情報の特定の項目の数値を、長さの違いで表す図形で表示すると共に、特定の項目とは別の項目を図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする。
　本発明は、上記端末装置において、特定の項目を周波数、別の項目を位相とし、周波数における複数のＲＦ電源の出力電力を棒グラフの図形で表示すると共に、ＲＦ電源の位相を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする。
　本発明は、上記端末装置において、特定の項目を位相、別の項目を周波数とし、複数のＲＦ電源の位相を円上の図形で表示すると共に、ＲＦ電源の周波数を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする。
　本発明は、上記端末装置において、負荷とのインピーダンス整合の経過を表示するものであり、整合開始の棒グラフと整合完了の棒グラフを表示すると共に、経過における周波数の変動を折線グラフで表示することを特徴とする。
　本発明は、上記端末装置において、ステータス情報の特定の項目を選択可能な選択画面を表示させることを特徴とする。
　本発明は、上記端末装置において、図形の表示には、運用者により設定された設定値を表示することを特徴とする。
　本発明は、複数のＲＦ電源のステータス情報を表示する端末装置であって、表示画面において、出力電力値毎に位相を表す円上に複数のＲＦ電源毎の図形を表示すると共に、ＲＦ電源の周波数を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする。
　本発明は、ＲＦ電源装置において、上記端末装置を有することを特徴とする。
　本発明によれば、複数のＲＦ電源のステータス情報を表示するものであり、表示画面においてステータス情報の特定の項目の数値を、長さの違いで表す図形で表示すると共に、特定の項目とは別の項目を図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示する端末装置としているので、ＲＦ電源のステータス情報を直感的に分かり易く図形により表示でき、ＲＦ電源の状態の良否や調整の要否を容易に判断できる効果がある。
本装置の構成概略図である。 端末装置の構成ブロック図である。 アプリケーションを動作させた場合の初期画面を示す概略図である。 周波数ベース画面の概略図である。 位相ベース画面の概略図である。 位相ベース画面の別の概略図である。 位相の表示色の構成を示す図である。 周波数の表示色の構成を示す図である。 周波数の時間変化を表示する周波数ベース画面の概略図である。 従来のＲＦ電源のステータス表示例を示す概略図である。
　本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
［実施の形態の概要］
　本発明の実施の形態に係るＲＦ電源装置（本装置）は、ＲＦ電源の進行波、反射波、周波数、位相等のステータス情報を表示する端末装置を備え、当該端末装置が、ＲＦ電源のステータス情報の周波数、位相等を直感的に分かり易く図形により表示するものであり、これにより、ＲＦ電源の状態の良否や調整の要否を容易に判断できるものである。
［本装置：図１］
　本装置について図１を参照しながら説明する。図１は、本装置の構成概略図である。尚、図１では、プラズマ処理装置に接続する例を示している。
　本装置は、図１に示すように、ＲＦ電源１０と、端末装置１４とを基本的に有しており、ＲＦ電源１０に整合器１５が接続され、整合器２５にプラズマ処理装置１６が接続されている。
　尚、端末装置１４は、通常、複数のＲＦ電源１０に接続し、複数のＲＦ電源１０のステータス情報を１つの画面で表示するようになっている。
　［本装置の各部］
　本装置の各部を説明する。
　本装置のＲＦ電源１０は、ＲＦ部１１と、制御部１２と、検波部１３とを備えている。
　ＲＦ部１１は、励振増幅部１１１と、増幅部１１２とを備えている。
　制御部１２は、設定部１２１と、演算部１２２と、通信部１２３とを備えている。
　ＲＦ部１１の励振増幅部１１１は、所定の周波数を有する基準信号を生成し、増幅部１１２に出力する。
　増幅部１１２は、励振増幅部１１１から入力された基準信号の電力を増幅して高周波電力信号を生成し、検波部１３に出力する。
　検波部１３は、例えば、ＣＭ（容量・相互インダクタンス結合）型方向性結合器で構成され、増幅部１１２から入力された高周波電力信号（ＲＦ出力）を整合器１５に出力すると共に、高周波電力信号に含まれる進行波、反射波の大きさを示す電圧を検出し、制御部１２に出力する。
　整合器１５は、ＲＦ電源１０の出力インピーダンスとプラズマ処理装置１６の入力インピーダンスとを整合するもので、固定コイル等の固定整合素子と可変容量コンデンサ（ＶＣ：Variable Capacitor）等の可変整合素子とを有する。可変容量コンデンサは、制御部１１２からＶＣ容量が設定され、インピーダンス整合の調整が行われる。
　プラズマ処理装置１６は、整合器１５でインピーダンス整合された高周波電力信号を入力し、プラズマを生成して半導体集積回路等を製造するための基板に対してプラズマアッシング等のプラズマ処理を行う。
　制御部１２の演算部１２２は、検波部１３から入力される進行波、反射波の電圧に対してＡＤ変換及びデジタル信号処理を行い、当該進行波、反射波の電力値を通信部１２３に出力すると共に、進行波、反射波及びそれらの位相からインピーダンス値を演算し、当該インピーダンス値を設定部１２１に出力する。
　制御部１２の設定部１２１は、ＲＦ部１１の励振増幅部１１１に周波数、位相及びＲＦ電力の設定値を出力すると共にそれらを通信部１２３に出力する。
　また、設定部１２１は、演算部１２２からインピーダンス値を入力し、そのインピーダンス値に基づいて整合器１５にＶＣ容量の設定値を出力する。
　制御部１２の通信部１２３は、設定部１２１から周波数、位相及びＲＦ電力の設定値を入力し、演算部１２２から進行波、反射波の電圧を入力し、それらを端末装置１４に出力する。
　端末装置１４は、通信部１２３から進行波、反射波の電圧、更に周波数、位相及びＲＦ電力の設定値を入力し、それらをステータス情報として表示部に表示する。本実施形態では、端末装置１４にける表示方法に特徴がある。
［端末装置１４：図２］
　次に、端末装置１４について図２を参照しながら説明する。図２は、端末装置の構成ブロック図である。
　端末装置１４は、パーソナルコンピュータ等の処理装置であり、図２に示すように、制御部１４１と、記憶部１４２と、インタフェース部１４３と、表示部１４４と、入力部１４５とを備えている。
　制御部１４１は、記憶部１４２に記憶する処理プログラム（アプリケーション）を動作させ、通信部１２３から送信される進行波、反射波の電圧、更に周波数、位相及びＲＦ電力の設定値を、ステータス情報として表示部１４４に表示する。
　記憶部１４２は、アプリケーション、ステータス情報、その他処理に必要なデータ、パラメータ等を記憶している。
　インタフェース部１４３は、ＲＦ電源１０の通信部１２３に接続すると共に、表示部１４４と入力部１４５が接続している。
　表示部１４４は、ＲＦ電源のステータス情報を直感的に分かり易く表示して、ＲＦ電源の状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができるものである。
　入力部１４５は、アプリケーションの動作を指示入力し、表示部１４４における表示対象のステータス情報を選択する指示を入力する。
［端末装置１４での表示例：図３～９］
　次に、本装置における端末装置１４での表示例について図３～９を参照しながら説明する。図３は、アプリケーションを動作させた場合の初期画面を示す概略図であり、図４は、周波数ベース画面の概略図であり、図５は、位相ベース画面の概略図であり、図６は、位相ベース画面の別の概略図であり、図７は、位相の表示色の構成を示す図であり、図８は、周波数の表示色の構成を示す図であり、図９は、周波数の時間変化を表示する周波数ベース画面の概略図である。
　［初期画面：図３］
　端末装置１４で、アプリケーションが起動されると、図３の初期画面（ＴＯＰ画面）が表示される。
　図３は、ＲＦ電源のステータス情報を選択するための選択画面であり、周波数ベース画面、位相ベース画面等を選択可能となっている。
　周波数ベース画面と位相ベース画面とを切り替え可能とすることで、運用者は、その都度重視したい情報を得ることができるものである。
　［周波数ベース画面：図４］
　図３の初期画面で、周波数ベース画面が入力部１４５から選択されると、図４の周波数ベース画面が表示部１４４に表示される。尚、図３の初期画面は、図４や後述する図５、図６の画面とともに当該画面の一部に選択メニューとして表示してもよい。
　図４では、横軸が周波数（２５ＭＨｚ～３５ＭＨｚ）で、縦軸が電力（０～４００Ｗ）を表し、複数のＲＦ電源（ＲＦＧ１～ＲＦＧｎ）について進行波（左側）と反射波（右側）の電力値を棒グラフで表示している。尚、ＲＦＧ１～ＲＦＧｎが周波数に応じて配置されている。
　更に、当該棒グラフは、位相によって色分けされており、位相の情報も同時に表示できるものとなっている。位相の色分けについては後述する。尚、図形の色分けは、請求項では、図形の色調で表示すると記載している。
　また、棒グラフ、円グラフ、折線グラフ等の図形の表示には、運用者が設定した設定値も表示するようにすれば、設定値と図形との比較ができ、ステータス情報の認識が容易となる。
　［位相ベース画面：図５］
　図３の初期画面で、位相ベース画面が入力部１４５から選択されると、図５の位相ベース画面が表示部１４４に表示される。
　図５では、出力電力値毎に位相を表す円上の図形となっており、複数のＲＦ電源に対応して４００Ｗの円、その内側に３００Ｗの円、更に内側に２００Ｗの円が表示され、位相０°、９０°、１８０°、２７０°の補助線が十字に表示されている。
　そして、円上に表示される丸形状がＲＦ電源の位相を示している。例えば、ＲＦＧ１は、電力値が４００Ｗで、位相０°であることが分かる。
　更に、丸形状は、周波数によって色分けされており、周波数の情報も同時に表示できるものとなっている。周波数の色分けについては後述する。
　尚、円上に表示される各ＲＦ電源を示す形状は丸形状に限定されないことは言うまでもない。
　［別の位相ベース画面：図６］
　次に、図５の変形例として図６を示す。図６では、円上において丸形状の位相のステータスを示すのではなく、ＲＦ電源毎に位相のステータスを棒（バー）形状で示している。つまり、棒の方向が位相を、棒の長さがＲＦ電源の電力値を示している。
　この棒形状も周波数によって色分けされており、棒が重複する部分は、棒が短い方の色を優先して表示している。
　［位相の表示色の構成：図７］
　位相の表示色は、図７に示すように、位相の値によって、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の濃淡の値が変化するよう設定されている。尚、濃淡の数値は、０～２５５まであり、０が薄くて色がなく、２５５が最大に濃い状態になる。
　例えば、位相０°から６０°に変化させる場合（０°～６０°）では、Ｒが２５５固定で、Ｇが０～２５５の範囲で位相の値の増加に応じて変化し、Ｂが０固定である。濃淡が０～２５５に変化する場合は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（増加）させる。但し、設定される濃淡の数値は整数になるので、演算結果の小数点以下は切り捨てる。
　従って、位相０°～６０°は、赤から徐々に緑の色が入っていき、「Ｒが２５５、Ｇが２５５、Ｂが０」でオレンジ色となる。
　位相６０°～１２０°では、Ｒが２５５～０に変化し、Ｇが２５５固定で、Ｂが０固定である。赤の濃淡の変化は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（減少）させる。
　従って、位相６０°～１２０°は、オレンジ色から徐々に赤の色が抜けていき黄緑を経て、「Ｒが０、Ｇが２５５、Ｂが０」で緑色となる。
　位相１２０°～１８０°では、Ｒが０固定で、Ｇが２５５固定で、Ｂが０～２５５に変化する。青の濃淡の変化は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（増加）させる。
　従って、位相１２０°～１８０°は、緑色から徐々に青の色が入っていき青緑を経て、「Ｒが０、Ｇが２５５、Ｂが２５５」で水色となる。
　位相１８０°～２４０°では、Ｒが０固定で、Ｇが２５５～０に変化し、Ｂが２５５固定である。緑の濃淡の変化は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（減少）させる。
　従って、位相１８０°～２４０°は、水色から徐々に緑の色が抜けていき、Ｒが０、Ｇが０、Ｂが２５５で青色となる。
　位相２４０°～３００°では、Ｒが０～２５５に変化し、Ｇが０固定で、Ｂが２５５固定である。赤の濃淡の変化は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（増加）させる。
　従って、位相２４０°～３００°は、青色から徐々に赤の色が入っていき、「Ｒが２５５、Ｇが０、Ｂが２５５」で紫色となる。
　位相３００°～３６０°（０°）では、Ｒが２５５固定で、Ｇが０固定で、Ｂが２５５～０に変化する。青の濃淡の変化は、位相１°につき濃淡の数値を４．２５ずつ変化（減少）させる。
　従って、位相３００°～３６０°は、紫色から徐々に青の色が抜けていき、「Ｒが２５５、Ｇが０、Ｂが０」で赤色に戻る。
　以上、位相の変化に応じて表示色の変化を示したが、図４における周波数ベース画面での棒グラフの表示（位相の値に基づく表示）に用いられる。
　［周波数の表示色の構成：図８］
　周波数の表示色は、図８に示すように、周波数の値によって、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の濃淡の値が変化するよう設定されている。尚、濃淡の数値は、位相の表示色で説明したものと同様である。
　例えば、周波数２５．００～２７．５０ＭＨｚでは、Ｒが２５５固定で、Ｇが０～２５５に周波数の値の増加に応じて変化し、Ｂが０固定である。濃淡が０～２５５に変化する場合は、周波数０．０１ＭＨｚにつき濃淡の数値を１．０２ずつ変化（増加）させる。但し、設定される濃淡の数値は整数になるので、演算結果の小数点以下は切り捨てる。
　従って、周波数２５．００～２７．５０ＭＨｚは、赤から徐々に緑の色が入っていき、Ｒが２５５、Ｇが２５５、Ｂが０でオレンジ色となる。
　周波数２７．５０～３０．００ＭＨｚでは、Ｒが２５５～０に変化し、Ｇが２５５固定で、Ｂが０固定である。赤の濃淡の変化は、周波数０．０１ＭＨｚにつき濃淡の数値を１．０２ずつ変化（減少）させる。
　従って、周波数２７．５０～３０．００ＭＨｚは、オレンジ色から徐々に赤の色が抜けていき黄緑となって、Ｒが０、Ｇが２５５、Ｂが０で緑色となる。
　周波数３０．００～３２．５０ＭＨｚでは、Ｒが０固定で、Ｇが２５５固定で、Ｂが０～２５５に変化する。青の濃淡の変化は、周波数０．０１ＭＨｚにつき濃淡の数値を１．０２ずつ変化（増加）させる。
　従って、周波数３０．００～３２．５０ＭＨｚは、緑色から徐々に青の色が入っていき青緑となって、Ｒが０、Ｇが２５５、Ｂが２５５で水色となる。
　周波数３２．５０～３５．００ＭＨｚでは、Ｒが０固定で、Ｇが２５５～０に変化し、Ｂが２５５固定である。緑の濃淡の変化は、周波数０．０１ＭＨｚにつき濃淡の数値を１．０２ずつ変化（減少）させる。
　従って、周波数３２．５０～３５．００ＭＨｚは、水色から徐々に緑の色が抜けていき、Ｒが０、Ｇが０、Ｂが２５５で青色となる。
　以上、周波数の変化に応じて表示色の変化を示したが、図５における位相ベース画面での丸形状、図６における位相ベース画面での棒形状の表示（周波数の値に基づく表示）に用いられる。
　［周波数の時間変化を表示する周波数ベース画面：図９］
　ＲＦ電源が周波数を可変させることによりプラズマ負荷（プラズマ処理装置）とのインピーダンス整合を行う場合に、端末装置１４を操作する運用者は、全ｎ台を運用しているＲＦ電源について、時間経過による周波数の過渡状態を観察したい場合がある。
　この場合は、図９に示す周波数ベース画面の下部に縦軸を時間とし、横軸を周波数とするグラフを追加して表示する。これにより、インピーダンス整合における複数台のＲＦ電源の過度状態を観察することができる。
　図９を詳細に説明する。
　図９の上部には、図４の棒グラフを表示しているが、整合動作開始時の周波数の棒と整合途中又は整合完了時（収束時）の周波数の棒が組で表示される。
　また、図９の下部には、縦軸（時間）の上側が整合動作開始時で下側が収束時（整合完了時）で、周波数の変動を折線グラフで表示される。
　図９により、各ＲＦ電源のインピーダンス整合動作に伴う周波数変化、動作中及び整合完了してからの時間を観察することができる。
　時間Ｔ１～Ｔｎは、複数のＲＦ電源（ＲＦＧ１～ＲＦＧｎ）の整合時間であり、時間Ｔ１′～Ｔｎ′は、ＲＦＧ１～ＲＦＧｎの整合完了してからの経過時間である。
　尚、図９の下部の折線グラフを分かり易くするために、棒の表示色と同じ色を用いている。
［実施の形態の効果］
　本装置によれば、ＲＦ電源１０に接続する端末装置１４が、ステータス情報について周波数ベース画面で複数のＲＦ電源１０の進行波と反射波の電力を棒グラフで表示すると共に、各ＲＦ電源の位相を棒グラフで色分け表示しているので、各ＲＦ電源の周波数を主として位相についても直感的に分かり易くステータス情報を認識でき、ＲＦ電源の状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができる効果がある。
　また、本装置によれば、ＲＦ電源１０に接続する端末装置１４が、ステータス情報について位相ベース画面で複数のＲＦ電源１０の位相を円グラフで表示すると共に、各ＲＦ電源の周波数を色分け表示しているので、各ＲＦ電源の位相を主として周波数についても直感的に分かり易くステータス情報を認識でき、ＲＦ電源の状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができる効果がある。
　また、本装置によれば、ＲＦ電源１０に接続する端末装置１４が、プラズマ処理装置１６とのインピーダンス整合の動作開始から整合完了までの経過を周波数ベース画面に追加して折線グラフで表示しているので、インピーダンス整合における複数台のＲＦ電源の過度状態を容易に観察できる効果がある。
　本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態では図形の色調で各ＲＦ電源１０の周波数や位相を表したが、電力を色調で表すように変更してもよい。
　また、上述した実施形態では、各ＲＦ電源１０のステータス情報を図形の色調を変更することで表すように構成したが、図形の模様や形状を変化させることでステータス情報を表すようにしてもよい。
　この場合、例えば図７や図８で説明したように、ステータスの所定の範囲毎に図形の模様や形状を規定する。図形の模様や形状でステータスを表す場合にも段階的な変化でステータスを表現することがより好ましい。
　例えば、模様の場合には上限値または下限値に近づくほど模様が複雑になったり、濃淡が一方に近づくような模様となったりすることが好ましい。また、形状の場合には上限値または下限値に近づくほど円形状に近づいたり、所定形状に近づいたりするように表示態様を変化させることが好ましい。
　さらには、図形の色調、模様、形状のうちの複数を組み合わせた表現としてもよい。これら図形の表示態様を変化させることにより、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
　本発明は、プロセスにおけるＲＦ電源のステータス情報を直感的に分かり易く表示して、状態の良否や調整の要否の判断を容易に行うことができる端末装置及びＲＦ電源装置に好適である。この出願は、２０２０年３月１１日に出願された日本出願特願２０２０－０４１４７２を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
　１０…ＲＦ電源、　１１…ＲＦ部、　１２…制御部、　１３…検波部、　１４…端末装置、　１５…整合器、　１６…プラズマ処理装置、　１１１…励振増幅部、　１１２…増幅部、　１２１…設定部、　１２２…演算部、　１２３…通信部、　１４１…制御部、　１４２…記憶部、　１４３…インタフェース部、　１４４…表示部、　１４５…入力部

Claims (8)

  1. 　複数のＲＦ電源のステータス情報を表示する端末装置であって、
    　表示画面において前記ステータス情報の特定の項目の数値を、長さの違いで表す図形で表示すると共に、前記特定の項目とは別の項目を前記図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする端末装置。
  2. 　特定の項目を周波数、別の項目を位相とし、周波数における複数のＲＦ電源の出力電力を棒グラフの図形で表示すると共に、前記ＲＦ電源の位相を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする請求項１記載の端末装置。
  3. 　特定の項目を位相、別の項目を周波数とし、複数のＲＦ電源の位相を円上の図形で表示すると共に、前記ＲＦ電源の周波数を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする請求項１記載の端末装置。
  4. 　負荷とのインピーダンス整合の経過を表示するものであり、
    　整合開始の棒グラフと整合完了の棒グラフを表示すると共に、前記経過における周波数の変動を折線グラフで表示することを特徴とする請求項２記載の端末装置。
  5. 　ステータス情報の特定の項目を選択可能な選択画面を表示させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の端末装置。
  6. 　図形の表示には、運用者により設定された設定値を表示することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載の端末装置。
  7. 　複数のＲＦ電源のステータス情報を表示する端末装置であって、
    　表示画面において、出力電力値毎に位相を表す円上に前記複数のＲＦ電源毎の図形を表示するとともに、前記ＲＦ電源の周波数を対応する図形の色調、模様、形状の少なくとも一つで表示することを特徴とする端末装置。
  8. 　請求項１乃至７のいずれか記載の端末装置を有することを特徴とするＲＦ電源装置。
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