WO2021157552A1 - 水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システム - Google Patents

水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システム Download PDF

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WO2021157552A1
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articulated robot
horizontal articulated
wall
motor
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淳一 松岡
大 山▲崎▼
優一郎 田中
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
Kawasaki Motors Ltd
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Kawasaki Heavy Industries Ltd
Kawasaki Jukogyo KK
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    • H10P72/3402—Mechanical parts of transfer devices
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    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
    • H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
    • H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance

Definitions

  • the technology disclosed here relates to a horizontal articulated robot and a board transfer system equipped with the robot.
  • the horizontal articulated robot described in Patent Document 1 includes a base, an arm, and an end effector.
  • the arm is composed of a plurality of links rotatably connected to the base in the horizontal direction and rotatably connected to each other in the horizontal direction.
  • each link has a function of accommodating various parts in addition to the function of the link itself.
  • the arm has parts related to driving the arm, parts related to detecting the movement of the arm, and the like. At least some of those parts are housed within the link.
  • the robot disclosed in Patent Document 1 includes a plurality of motors for driving a plurality of links and end effectors.
  • the two motors that drive the two end effectors are housed in the most distal link in the arm.
  • the weight of the entire link becomes heavy, so it is preferable that the rigidity of the link is high.
  • a link accommodating a plurality of motors is required to have high rigidity because the weight of the entire link becomes heavy.
  • the technology disclosed here was made in view of this point, and the purpose is to improve the rigidity of the link in the horizontal articulated robot.
  • the horizontal articulated robot disclosed herein includes a base, an arm composed of a plurality of links rotatably connected to the base and rotatably connected to each other in the horizontal direction, and horizontally. It comprises an end effector rotatably connected to the arm in a direction, at least one of the plurality of links has an internal space formed therein, and the at least one link has two components, each containing a component.
  • the containment chamber has a partition wall for partitioning the internal space.
  • the substrate transfer system disclosed herein includes a housing and the horizontal articulated robot arranged in the housing, and the horizontal articulated robot is arranged adjacent to the housing and accommodates a substrate.
  • the substrate is transported between the container to be used and a processing device arranged adjacent to the housing and processing the substrate.
  • the rigidity of the link can be improved.
  • FIG. 1 is a side view of a horizontal articulated robot.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate processing equipment.
  • FIG. 3 is a functional block diagram of the robot.
  • FIG. 4 is a plan view of the first link in a state where a part of the first lid is broken.
  • FIG. 5 is a bottom view of the first link in a state where a part of the second lid is broken.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the first link on the VI-VI line of FIG.
  • FIG. 7 is a bottom view of the third link in a state where a part of the second lid is broken.
  • FIG. 1 is a side view of the horizontal articulated robot 100.
  • the horizontal articulated robot (hereinafter, also simply referred to as “robot”) 100 is a SCARA (SCARA: Selective Compliance Assembly Robot Arm) type robot.
  • the robot 100 includes a base 1, an arm 3 rotatably connected to the base 1 in the horizontal direction, and a hand 8 rotatably connected to the arm 3 in the horizontal direction.
  • the arm 3 is composed of a plurality of links 30 that are rotatably connected to each other in the horizontal direction.
  • Hand 8 holds the object.
  • the object is the substrate S.
  • Hand 8 is an example of an end effector.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the substrate processing equipment 120.
  • the robot 100 is incorporated into, for example, a substrate transfer system 110 that conveys the substrate S.
  • the board transfer system 110 includes a housing 111 and a robot 100.
  • the substrate transfer system 110 is an EFEM (Equipment Front End Module).
  • the substrate transfer system 110 conforms to the SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) standard.
  • the configuration of the substrate transfer system 110 may be a configuration outside the SEMI standard.
  • a transport space 112 is formed inside the housing 111.
  • the robot 100 is arranged inside the housing 111, that is, in the transport space 112.
  • the robot 100 transports the substrate S in the transport space 112.
  • the substrate S is a disk-shaped semiconductor wafer.
  • the front-rear direction, the left-right direction, and the up-down direction (that is, the vertical direction) that are orthogonal to each other are set.
  • the housing 111 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape.
  • the housing 111 includes a front wall 111a and a rear wall 111b facing each other in the front-rear direction, a left wall 111c and a right wall 111d facing each other in the left-right direction, and a ceiling wall (not shown) and a bottom wall (not shown) facing each other in the vertical direction. ) And.
  • the distance between the left wall 111c and the right wall 111d is larger than the distance between the front wall 111a and the rear wall 111b. That is, the housing 111 is formed in a substantially rectangular shape that is long in the left-right direction in a plan view.
  • the transport space 112 is clean.
  • the atmospheric gas that fills the transport space 112 is adjusted by a fan filter unit or the like.
  • the transport space 112 is provided with an aligner 113 for aligning the substrate S.
  • the substrate transfer system 110 is incorporated in the substrate processing equipment 120.
  • the substrate processing equipment 120 includes a substrate transfer system 110 and a plurality of accommodating portions 121 for accommodating the substrate S.
  • a storage chamber is formed inside the storage portion 121.
  • the containment room is clean.
  • the plurality of accommodating units 121 include a hoop (FOUP: Front Opening Unified Pod) 121A and a processing device 121B.
  • the hoop 121A accommodates the substrate S.
  • the processing device 121B processes the substrate S.
  • the hoop 121A and the processing device 121B are arranged adjacent to the housing 111, respectively.
  • the hoop 121A is an example of a container for accommodating a semiconductor wafer.
  • the substrate S before and after the treatment is housed in the hoop 121A.
  • the hoop 121A is a substrate container for mini-environment.
  • the hoop 121A accommodates a plurality of substrates S in a horizontal state at equal intervals in the vertical direction.
  • the hoop 121A is arranged outside the housing 111 and is attached to the front wall 111a via a hoop opener (not shown).
  • a hoop opener not shown.
  • four hoops 121A are provided.
  • the four hoops 121A are arranged at equal intervals in the left-right direction.
  • the front wall 111a is formed with an opening 111e corresponding to the hoop 121A.
  • the hoop opener switches the communication and blocking between the transport space 112 and the internal space of the hoop 121A.
  • the processing device 121B is a processing device that performs, for example, heat treatment, impurity introduction treatment, thin film formation treatment, lithography treatment, cleaning treatment, flattening treatment, or appearance or dimensional inspection on the substrate S.
  • the processing performed by the processing device 121B may be temporary accommodation for delivering the substrate S.
  • the rear wall 111b is provided with two processing devices 121B, the left wall 111c is provided with one processing device 121B, and the right wall 111d is provided with one processing device 121B.
  • the processing device 121B is arranged outside the housing 111.
  • An opening 111f corresponding to the processing device 121B is formed on each wall.
  • a door (not shown) may be provided in the opening 111f. By opening and closing the door, communication and blocking between the transport space 112 and the internal space of the processing device 121B can be switched.
  • the robot 100 included in the substrate transfer system 110 transfers the semiconductor wafer between the hoop 121A for accommodating the semiconductor wafer and the processing device 121B for processing the semiconductor wafer.
  • the hand 8 holds the semiconductor wafer as the substrate S.
  • the arm 3 and the hand 8 convey the semiconductor wafer between the hoop 121A and the processing device 121B.
  • the base 1 has a housing 11 and an elevating mechanism 2 for elevating and lowering the arm 3 in the vertical direction.
  • the housing 11 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the elevating mechanism 2 has a movable portion 21 and an elevating motor 22 for driving the movable portion 21.
  • the movable portion 21 is formed in a columnar shape. In the state where the movable portion 21 is most lowered, most of the movable portion 21 is housed in the housing 11. The movable portion 21 rises so as to project upward from the housing 11.
  • the arm 3 is rotatably connected to the upper end of the movable portion 21 in the horizontal direction. As shown by the solid line and the alternate long and short dash line in FIG. 1, the movable portion 21 moves up and down, and the arm 3 and the hand 8 move up and down accordingly.
  • the arm 3 is composed of three links 30.
  • the three links 30 are distinguished from each other, they are referred to as a first link 31, a second link 32, and a third link 33 in order from the one closest to the base 1.
  • the first link 31 is a link 30 connected to the base 1.
  • a hand 8 is connected to the third link 33.
  • the link 30 is formed in a shape extending in a predetermined longitudinal direction.
  • first end one end in the longitudinal direction
  • second end the end opposite to the first end in the longitudinal direction
  • the "width direction" of the link 30 means a direction orthogonal to both the vertical direction and the longitudinal direction of the link 30.
  • the first end 31a of the first link 31 is rotatably connected to the base 1 about the first axial center L1 extending in the vertical direction. Specifically, the first end portion 31a is connected to the upper end portion of the movable portion 21.
  • the first end portion 32a of the second link 32 is rotatably connected to the second end portion 31b of the first link 31 about the second axial center L2 extending in the vertical direction.
  • the first end 33a of the third link 33 is rotatably connected to the second end 32b of the second link 32 about the third axial center L3 extending in the vertical direction.
  • the first axis L1, the second axis L2, and the third axis L3 extend in parallel with each other.
  • the length of the first link 31 (that is, the dimension in the longitudinal direction) is the longest of the three links 30.
  • the robot 100 has two hands 8, that is, a first hand 8A and a second hand 8B.
  • first hand 8A and the second hand 8B are simply referred to as "hand 8".
  • the basic configurations of the first hand 8A and the second hand 8B are the same. In FIG. 2, since the two hands 8 are vertically overlapped with each other, only one hand 8 is apparently shown.
  • Holding by the hand 8 can be realized in various modes such as gripping, suction, mounting or fitting.
  • the hand 8 has a main body 81 and a holding portion 82 connected to the main body 81 and divided into two branches.
  • the hand 8 is formed in a plate shape.
  • the hand 8 is formed in a substantially Y shape when viewed in the thickness direction thereof.
  • the hand 8 has a holding actuator (not shown) such as an air cylinder. The holding actuator switches between holding and releasing the object by the hand 8.
  • the main body 81 of each hand 8 is rotatably connected to the second end 33b of the third link 33 about the fourth axis L4 extending in the vertical direction.
  • the fourth axis L4 extends in parallel with the first axis L1, the second axis L2, and the third axis L3.
  • the first link 31, the second link 32, the third link 33, the first hand 8A, and the second hand 8B are stacked in this order from bottom to top without contacting each other.
  • the first link 31, the second link 32, the third link 33, and the two hands 8 rotate in the horizontal direction without interfering with each other.
  • Robot 100 is equipped with various parts.
  • the parts include parts related to driving the arm 3 and the hand 8 (hereinafter referred to as “arm 3 and the like”), parts related to detecting the operation of the arm 3 and the like, and the like.
  • Parts related to driving such as the arm 3 include a plurality of motors 6 for rotationally driving a plurality of links 30 and a hand 8, a transmission mechanism corresponding to each motor 6, and a holding for executing holding and releasing of an object by the hand 8.
  • Parts and the like related to the actuator are included.
  • Parts related to the holding actuator include, for example, when the holding actuator is an air cylinder, a pipe for supplying air to the air cylinder, an electromagnetic valve for switching the supply of air, and the like.
  • the pressure in the pipe provided in the pipe for sucking air from the suction part of the hand 8 when the hand 8 holds the object by suction is detected.
  • the parts related to the drive of the arm 3 and the like and the parts related to the detection of the operation of the arm 3 and the like include harnesses and pipes.
  • the plurality of motors 6 include a first motor 61 that rotationally drives the first link 31, a second motor 62 that rotationally drives the second link 32, and a third motor 63 that rotationally drives the third link 33. It includes a fourth motor 64 that rotationally drives the one hand 8A, and a fifth motor 65 that rotationally drives the second hand 8B.
  • a first motor 61 that rotationally drives the first link 31
  • a second motor 62 that rotationally drives the second link 32
  • a third motor 63 that rotationally drives the third link 33.
  • It includes a fourth motor 64 that rotationally drives the one hand 8A, and a fifth motor 65 that rotationally drives the second hand 8B.
  • the link 30 is formed in a hollow shape and has an internal space.
  • the internal space of the link 30 is a storage chamber for accommodating parts.
  • the motor 6 is housed in the internal space of the link 30.
  • the first motor 61 and the second motor 62 are housed in the internal space of the first link 31.
  • the third motor 63 is housed in the internal space of the second link 32.
  • the fourth motor 64 and the fifth motor 65 are housed in the internal space of the third link 33.
  • the base 1 of the robot 100 is arranged offset from the center of the housing 111 to one of the front wall 111a and the rear wall 111b in the front-rear direction. Specifically, the base 1 is arranged closer to the rear wall 111b than to the front wall 111a. In the left-right direction, the base 1 is arranged substantially in the center of the housing 111. In this way, by arranging the base 1 offset from the center of the housing 111 to one of the front wall 111a and the rear wall 111b in the front-rear direction, the length of each link 30 is lengthened. The movable range of the hand 8 is expanded.
  • FIG. 3 is a functional block diagram of the robot 100.
  • the robot 100 further includes a control device 10.
  • the control device 10 includes a control unit 101 that performs overall control of the robot 100, a storage unit 102 that stores various programs and various data, a memory 103, and an interface 104 that is connected to a motor 6 or the like. ing.
  • the storage unit 102 is a recording medium that can be read by a computer, and is composed of, for example, a flash memory.
  • the storage unit 102 may be composed of an optical disk such as a CD-ROM.
  • the storage unit 102 stores various programs and various data necessary for executing the processing of the control unit 101.
  • the control unit 101 controls the motor 6 and the like based on the program stored in the storage unit 102.
  • the control unit 101 is composed of a processor such as a CPU (Central Processing Unit), for example.
  • the control unit 101 executes various processes by expanding the program stored in the storage unit 102 or the like into the memory 103 and executing the program.
  • the control unit 101 may be realized by hardware such as an LSI (Large Scale Integration) having the same function as the processor.
  • An elevating motor 22, a first motor 61, a second motor 62, a third motor 63, a fourth motor 64, and a fifth motor 65 are connected to the interface 104. Further, depending on the mode of the end effector, an actuator for operating the end effector (in the case of the hand 8, a holding actuator) is also connected to the interface 104.
  • the control device 10 controls the motor 6 and the like in accordance with a predetermined operation program or an operation command input from the user to control the robot 100.
  • the control device 10 displaces the arm 3 and causes the hand 8 to hold or release the substrate S.
  • the control device 10 displaces the arm 3 and the hand 8 to allow the hand 8 to enter the internal space of the hoop 121A (see the solid line in FIG. 2). Then, the control device 10 causes the hand 8 to hold the substrate S in the hoop 121A. The control device 10 causes the hand 8 holding the substrate S to exit from the hoop 121A to the transport space 112 and further to enter the processing device 121B (see the alternate long and short dash line in FIG. 2). The control device 10 causes the hand 8 to release the substrate S at a predetermined position in the processing device 121B. After that, the control device 10 temporarily ejects the hand 8 from the processing device 121B.
  • the control device 10 causes the hand 8 to enter the processing device 121B and causes the hand 8 to hold the substrate S.
  • the control device 10 causes the hand 8 holding the substrate S to exit from the processing device 121B into the transport space 112, and further enters the hoop 121A.
  • the control device 10 causes the hand 8 to release the substrate S at a predetermined position of the hoop 121A. In this way, the control device 10 causes the robot 100 to convey the substrate S between the hoop 121A and the processing device 121B.
  • FIG. 4 is a plan view of the first link 31 in a state where a part of the first lid 42A is broken.
  • FIG. 5 is a bottom view of the first link 31 in a state where a part of the second lid 42B is broken.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the first link 31 on the VI-VI line of FIG.
  • the number of motors 6 accommodated in the first link 31 is two.
  • An internal space 40 is formed in the first link 31 so as to accommodate various parts.
  • the first link 31 has a partition wall 45 that partitions the internal space 40 into two storage chambers in which the parts are housed.
  • the two accommodation chambers are a first accommodation chamber 40A in which the first motor 61 is accommodated and a second accommodation chamber 40B in which the second motor 62 is accommodated.
  • the first link 31 has a housing 4 that partitions the outer shape of the first link 31.
  • An internal space 40 is formed inside the housing 4.
  • the housing 4 has a housing main body 41 and a first lid 42A and a second lid 42B attached to the housing main body 41.
  • the housing body 41 partitions at least a part of the internal space 40, and has a ceiling wall 43 and a bottom wall 44 separated in the vertical direction.
  • the housing body 41 further partitions the outer shape of the first link 31 in a plan view, and further has an outer peripheral wall 46 formed in an annular shape.
  • the outer peripheral wall 46 extends in an annular shape along the outer shape of the first link 31 in a plan view, that is, the contour.
  • the outer peripheral wall 46 has a width (that is, a height) in the vertical direction and extends in the vertical direction as well.
  • the ceiling wall 43 is connected to the upper end of the outer peripheral wall 46 so as to close a part of the opening at the upper end of the outer peripheral wall 46 including the second end portion 31b of the first link 31.
  • the bottom wall 44 is connected to the lower end of the outer peripheral wall 46 so as to close a part of the opening at the lower end of the outer peripheral wall 46 including the first end portion 31a of the first link 31.
  • the ceiling wall 43 and the bottom wall 44 are arranged so as to be aligned in the longitudinal direction of the first link 31 in a plan view.
  • the partition wall 45 extends from the ceiling wall 43 to the bottom wall 44 across the internal space 40. That is, the partition wall 45 vertically crosses the internal space 40.
  • the upper end of the partition wall 45 is connected to the ceiling wall 43.
  • the lower end of the partition wall 45 is connected to the bottom wall 44.
  • the partition wall 45 extends across the inside of the outer peripheral wall 46 and is connected to at least two places of the outer peripheral wall 46. At this time, the partition wall 45 extends across the internal space 40 so as to be generally inclined with respect to the longitudinal direction of the first link 31 in a plan view. More specifically, the partition wall 45 is formed in a zigzag shape in a plan view.
  • the partition wall 45 has a bent portion 45c formed by a vertical portion 45a extending in the longitudinal direction of the first link 31 and a horizontal portion 45b extending in the width direction of the first link 31.
  • the partition wall 45 is formed so that the vertical portion 45a and the horizontal portion 45b are alternately connected. That is, the partition wall 45 has a plurality of bent portions 45c.
  • the partition wall 45 is integrally formed with the ceiling wall 43 and the bottom wall 44. Specifically, the ceiling wall 43, the bottom wall 44, and the partition wall 45 are formed of a single member.
  • the outer peripheral wall 46 is also integrally formed with the ceiling wall 43, the bottom wall 44, and the partition wall 45. Specifically, the ceiling wall 43, the bottom wall 44, the partition wall 45, and the outer peripheral wall 46 are formed of a single member. That is, the partition wall 45 is formed of a housing body 41 and a single member. For example, the housing body 41 is formed by carving out metal as a single member. At this time, the partition wall 45 is integrally machined with the housing body 41 as a part of the housing body 41. In other words, the ceiling wall 43, the bottom wall 44, the partition wall 45, and the outer peripheral wall 46 are joined to each other without any seams such as welding.
  • the housing body 41 configured in this way is formed so that the first storage chamber 40A opens upward and the second storage chamber 40B opens downward.
  • the first accommodation chamber 40A is formed in a portion closer to the first end portion 31a including the first end portion 31a
  • the second accommodation chamber 40B is the second end including the second end portion 31b. It is formed in a portion closer to the portion 31b.
  • the bottom wall 44 partitions the lower part of the first storage chamber 40A.
  • the first accommodation chamber 40A is partitioned by an outer peripheral wall 46, a bottom wall 44, and a partition wall 45.
  • the first lid 42A is attached to the upper end edge of the outer peripheral wall 46 by screws 49. The first lid 42A closes the first containment chamber 40A.
  • the ceiling wall 43 partitions the upper part of the second storage chamber 40B.
  • the second accommodation chamber 40B is partitioned by an outer peripheral wall 46, a ceiling wall 43, and a partition wall 45.
  • the second lid 42B is attached to the lower end edge of the outer peripheral wall 46 by a screw 49.
  • the second storage chamber 40B is closed by the second lid 42B.
  • the first accommodation chamber 40A a part of the movable portion 21 extending from the base 1 is arranged. Specifically, the upper end of the movable portion 21 is formed by the first shaft 21a. An insertion hole 44a through which the first shaft 21a penetrates is formed in the bottom wall 44 at the first end portion 31a. The first shaft 21a cannot rotate with respect to the base 1. The first shaft 21a penetrates the insertion hole 44a and enters the first storage chamber 40A.
  • the first shaft 21a is rotatably supported by a bearing 48a arranged in the first accommodation chamber 40A. The axial center of the first shaft 21a coincides with the first axial center L1.
  • the bearing 48a is fixed to the housing body 41. As a result, the housing body 41 can rotate relative to the first shaft 21a via the bearing 48a. That is, the first link 31 is rotatable relative to the base 1.
  • the first storage chamber 40A houses the first motor 61 and the first transmission mechanism 71 that transmits the power of the first motor 61.
  • the first motor 61 has a motor body 61a fixed to the housing body 41 and a rotating shaft 61b extending from the motor body 61a.
  • the first motor 61 is an electric motor, specifically a servomotor.
  • the first motor 61 has an encoder (not shown) that detects the rotation position or the amount of rotation of the rotation shaft 61b.
  • the first motor 61 is arranged in the first accommodation chamber 40A in a state where the rotating shaft 61b extends in the horizontal direction (specifically, the longitudinal direction of the first link 31).
  • the first transmission mechanism 71 transmits the power of the first motor 61 to the first shaft 21a.
  • the first transmission mechanism 71 has a gear train.
  • the gear train consists of a first gear 71a coaxially attached to the rotating shaft 61b, a second gear 71b in which the rotation of the first gear 71a is transmitted via one or a plurality of gears (not shown), and a second gear.
  • the third gear 71c that rotates integrally with the 71b, the fourth gear 71d that meshes with the third gear 71c, the fifth gear 71e that rotates integrally with the fourth gear 71d, and the fifth gear 71e that mesh with the first gear 71e.
  • It includes a sixth gear 71f coaxially attached to the shaft 21a.
  • the second gear 71b and the third gear 71c rotate integrally around an axial center extending in the horizontal direction.
  • the third gear 71c and the fourth gear 71d are bevel gears.
  • the fourth gear 71d and the fifth gear 71e rotate integrally around the axis extending parallel to the first axis L1.
  • the first gear 71a, the second gear 71b, the third gear 71c, the fourth gear 71d, and the fifth gear 71e are housed in the gearbox 71g.
  • the gearbox 71g is arranged in the first storage chamber 40A.
  • the rotation of the rotating shaft 61b is transmitted to the first shaft 21a via a gear train such as the first gear 71a. Since the first shaft 21a cannot rotate, the housing 4 to which the first motor 61 is fixed rotates around the first axis L1. As a result, the first link 31 rotates about the first axis L1 relative to the base 1.
  • a part of the second shaft 34 extending from the second link 32 is arranged in the second storage chamber 40B.
  • the ceiling wall 43 at the second end 31b is formed with an insertion hole 43a through which the second shaft 34 penetrates.
  • the second shaft 34 is non-rotatably attached to the second link 32.
  • the tip of the second shaft 34 penetrates the insertion hole 43a and enters the second storage chamber 40B.
  • the second shaft 34 is rotatably supported by a bearing 48b arranged in the second accommodation chamber 40B.
  • the axis of the second shaft 34 coincides with the second axis L2.
  • the bearing 48b is fixed to the housing body 41. As a result, the second shaft 34 can rotate relative to the housing body 41 via the bearing 48b. That is, the second link 32 is rotatable relative to the first link 31.
  • the second storage chamber 40B houses the second motor 62 and the second transmission mechanism 72 that transmits the power of the second motor 62.
  • the second motor 62 has a motor body 62a fixed to the housing body 41 and a rotating shaft 62b extending from the motor body 62a.
  • the second motor 62 is an electric motor, specifically a servomotor.
  • the second motor 62 has an encoder (not shown) that detects the rotation position or the amount of rotation of the rotation shaft 62b.
  • the second motor 62 is arranged in the second accommodation chamber 40B in a state where the rotating shaft 62b extends in the horizontal direction (specifically, the longitudinal direction of the first link 31).
  • the second transmission mechanism 72 transmits the power of the second motor 62 to the second shaft 34.
  • the second transmission mechanism 72 has a gear train.
  • the gear train consists of a first gear 72a coaxially attached to the rotating shaft 62b, a second gear 72b in which the rotation of the first gear 72a is transmitted via one or a plurality of gears (not shown), and a second gear.
  • the third gear 72c that rotates integrally with the 72b, the fourth gear 72d that meshes with the third gear 72c, the fifth gear 72e that rotates integrally with the fourth gear 72d, and the fifth gear 72e that meshes with the fifth gear 72e.
  • the second gear 72b and the third gear 72c rotate integrally around an axial center extending in the horizontal direction.
  • the third gear 72c and the fourth gear 72d are bevel gears.
  • the fourth gear 72d and the fifth gear 72e rotate integrally around the axis extending parallel to the second axis L2.
  • the first gear 72a, the second gear 72b, the third gear 72c, the fourth gear 72d, and the fifth gear 72e are housed in the gear box 72g.
  • the gearbox 72g is arranged in the second storage chamber 40B.
  • the second motor 62 When the second motor 62 operates, the rotation of the rotating shaft 62b is transmitted to the second shaft 34 via a gear train such as the first gear 72a. Since the second motor 62 is fixed to the housing 4, the second shaft 34 rotates around the second axis L2. As a result, the second link 32 rotates about the second axis L2 relative to the first link 31.
  • the first accommodation chamber 40A and the second accommodation chamber 40B are opened in opposite directions in the direction of the first axis L1 or the second axis L2 (that is, in the vertical direction). Specifically, the first accommodation chamber 40A opens to the ceiling wall 43 side, and the second accommodation chamber 40B opens to the bottom wall 44 side.
  • the first motor 61 and the gearbox 71g are installed in the first accommodation chamber 40A, the user accesses the inside of the first accommodation chamber 40A from the ceiling wall 43 side.
  • the second motor 62 and the gearbox 72g are installed in the second accommodation chamber 40B, the user accesses the inside of the second accommodation chamber 40B from the bottom wall 44 side.
  • the number of motors 6 accommodated in the second link 32 is one. Since the second link 32 does not need to accommodate the two motors 6, the width of the second link 32 is smaller than the width of the first link 31.
  • the internal space of the second link 32 accommodates a third motor 63 and a third transmission mechanism (not shown) that transmits the power of the third motor 63.
  • the third motor 63 and the third transmission mechanism have the same configuration and arrangement as the second motor 62 and the second transmission mechanism 72. That is, a part of the third shaft 35 (see FIG. 7) extending from the third link 33 is arranged in the portion of the internal space of the second link 32 corresponding to the second end portion 32b.
  • the third shaft 35 extends coaxially with the third axis L3.
  • the third transmission mechanism transmits the power of the third motor 63 to the third shaft.
  • the third motor 63 When the third motor 63 operates, the rotation of the third motor 63 is transmitted to the third shaft 35 via the gear train. Since the third motor 63 is fixed to the housing of the second link 32, the third shaft 35 rotates around the third axis L3. As a result, the third link 33 rotates about the third axis L3 relative to the second link 32.
  • FIG. 7 is a bottom view of the third link 33 in a state where a part of the second lid 52B is broken.
  • the number of motors 6 accommodated in the third link 33 is two.
  • the third link 33 is formed with an internal space 50 that accommodates the fourth motor 64 and the fifth motor 65.
  • the third link 33 has a housing 5 that partitions the outer shape of the third link 33.
  • An internal space 50 is formed inside the housing 5.
  • the housing 5 has a housing main body 51, and a first lid (not shown) and a second lid 52B attached to the housing main body 51.
  • the housing body 51 has a ceiling wall 53, a bottom wall 54, and an outer peripheral wall 56 that partition at least a part of the internal space 50.
  • the outer peripheral wall 56 extends in an annular shape along the outer shape of the third link 33 in a plan view, that is, the contour.
  • the outer peripheral wall 56 has a width (that is, a height) in the vertical direction and extends in the vertical direction as well.
  • the bottom wall 54 is connected to the lower end of the outer peripheral wall 56 so as to close a part of the opening at the lower end of the outer peripheral wall 56 including the first end 33a of the third link 33.
  • the ceiling wall 53 is connected to the upper end of the outer peripheral wall 56 so as to close a part of the opening at the upper end of the outer peripheral wall 56 including the second end 33b of the third link 33.
  • the ceiling wall 53, the bottom wall 54, and the outer peripheral wall 56 are formed of a single member.
  • the housing body 51 is formed by carving out metal as a single member.
  • the ceiling wall 53, the bottom wall 54, and the outer peripheral wall 56 are joined to each other without any seams such as welding.
  • the portion closer to the first end 33a, including the first end 33a, is open upward.
  • the portion closer to the second end 33b including the second end 33b is open downward.
  • the first lid is attached to the upper end edge of the outer peripheral wall 56 with screws. The first lid closes the portion of the internal space 50 that opens upward.
  • the second lid 52B is attached to the lower end edge of the outer peripheral wall 56 by the screw 59. The second lid 52B closes the portion of the internal space 50 that opens downward.
  • the portion of the internal space 50 that opens upward and the portion that opens downward are not partitioned by a wall such as the partition wall 45 of the first link 31.
  • a third shaft 35 is non-rotatably attached to the bottom wall 54.
  • the third shaft 35 extends coaxially with the third axis L3.
  • One end of the third shaft 35 is arranged in the internal space 50, and the other end of the third shaft 35 (not shown) enters the internal space of the second link 32.
  • a part of the shaft extending from the hand 8 is arranged in the internal space 50.
  • a cylindrical fourth shaft 83a is non-rotatably connected to the main body 81 of the first hand 8A.
  • the fourth shaft 83a extends coaxially with the fourth axis L4.
  • a cylindrical fifth shaft 83b is non-rotatably connected to the main body 81 of the second hand 8B.
  • the fifth shaft 83b passes through the inside of the fourth shaft 83a and extends coaxially with the fourth axis L4.
  • the fourth shaft 83a and the fifth shaft 83b are rotatably supported by a plurality of bearings arranged in the internal space 50, respectively. The bearing is fixed to the housing body 51.
  • the first hand 8A and the second hand 8B can rotate relative to the housing body 51 via the bearing. That is, the first hand 8A and the second hand 8B can rotate relative to the third link 33. The first hand 8A and the second hand 8B can rotate independently of each other.
  • a fourth motor 64 In the internal space 50, a fourth motor 64, a fourth transmission mechanism 74 that transmits the power of the fourth motor 64, a fifth motor 65, and a fifth transmission mechanism 75 that transmits the power of the fifth motor 65 are provided. It is contained.
  • the fourth motor 64 has a motor body 64a fixed to the housing body 51 and a rotating shaft 64b extending from the motor body 64a.
  • the fourth motor 64 is an electric motor, specifically a servomotor.
  • the fourth motor 64 has an encoder (not shown) that detects the rotation position or the amount of rotation of the rotation shaft 64b.
  • the fourth motor 64 is arranged in the internal space 50 in a state where the rotating shaft 64b extends in the horizontal direction (specifically, the longitudinal direction of the third link 33).
  • the fourth transmission mechanism 74 transmits the power of the fourth motor 64 to the fourth shaft 83a.
  • the fourth transmission mechanism 74 has a gear train. Although not shown, the gear train transmits the rotation of the first gear coaxially attached to the rotating shaft 64b, the sixth gear coaxially attached to the fourth shaft 83a, and the rotation of the first gear to the sixth gear. Includes multiple intermediate gears.
  • the gear train is housed in a gearbox 74g.
  • the gearbox 74g is arranged in the internal space 50.
  • the fourth motor 64 When the fourth motor 64 operates, the rotation of the rotating shaft 64b is transmitted to the fourth shaft 83a via the gear train. Since the fourth motor 64 is fixed to the housing 5, the fourth shaft 83a rotates around the fourth axis L4. As a result, the first hand 8A rotates about the fourth axis L4 relative to the third link 33.
  • the fifth motor 65 has a motor body 65a fixed to the housing body 51 and a rotating shaft 65b extending from the motor body 65a.
  • the fifth motor 65 is an electric motor, specifically a servomotor.
  • the fifth motor 65 has an encoder (not shown) that detects the rotation position or the rotation amount of the rotation shaft 65b.
  • the fifth motor 65 is arranged in the internal space 50 in a state where the rotating shaft 65b extends in the horizontal direction (specifically, the longitudinal direction of the third link 33).
  • the fifth transmission mechanism 75 transmits the power of the fifth motor 65 to the fifth shaft 83b.
  • the fifth transmission mechanism 75 has a gear train. Although not shown, the gear train transmits the rotation of the first gear coaxially attached to the rotating shaft 65b, the sixth gear coaxially attached to the fifth shaft 83b, and the rotation of the first gear to the sixth gear. Includes multiple intermediate gears.
  • the gear train is housed in a gear box 75 g.
  • the gearbox 75g is arranged in the internal space 50.
  • the rotation of the rotating shaft 65b is transmitted to the fifth shaft 83b via the gear train. Since the fifth motor 65 is fixed to the housing 5, the fifth shaft 83b rotates around the fourth axis L4. As a result, the second hand 8B rotates about the fourth axis L4 relative to the third link 33.
  • a third link 33 two motors 6 are housed in an unpartitioned internal space 50.
  • the fourth motor 64 and the fifth motor 65 are arranged side by side in the width direction of the third link 33.
  • the fourth transmission mechanism 74 and the fifth transmission mechanism 75 are arranged side by side in the width direction of the third link 33.
  • the arm 3 configured in this way is cantileveredly connected to the base 1 and is rotationally displaced and deformed. Therefore, the weight and inertial force of the arm 3 act on each link 30. Since the first link 31 has a partition wall 45 that partitions the internal space 40 between the first storage chamber 40A and the second storage chamber 40B, the rigidity of the first link 31 (as compared with the configuration without the partition wall 45) Specifically, the bending rigidity or the torsional rigidity) becomes high. As a result, the position accuracy of the arm 3 and, by extension, the position accuracy of the hand 8 can be improved.
  • the weight of the first link 31 becomes large.
  • the first link 31 is the link 30 closest to the base 1 among the plurality of links 30, the weights of the other links 30 and the hand 8 also act on the first link 31.
  • the first link 31 is the longest of the three links 30, it is easy to bend. Therefore, increasing the rigidity of the first link 31 is effective for the rigidity of the entire arm 3.
  • the partition wall 45 is connected to the ceiling wall 43 and the bottom wall 44 as shown in FIGS. 4 to 6.
  • the ceiling wall 43, the bottom wall 44, and the partition wall 45 have a shape that is bent like a crank as a whole.
  • the partition wall 45 is arranged so as to cross the inside of the annular outer peripheral wall 46, and is connected to two places of the outer peripheral wall 46.
  • the flexural rigidity and / or the torsional rigidity of the outer peripheral wall 46 is improved, and as a result, the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the partition wall 45 extends so as to be generally inclined with respect to the width direction of the first link 31 in a plan view. That is, the region where the partition wall 45 exists becomes longer in the longitudinal direction of the first link 31. As a result, the portion whose rigidity is reinforced by the partition wall 45 can be expanded in the longitudinal direction of the first link 31. As a result, the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the partition wall 45 has a bent portion 45c. Thereby, the rigidity of the partition wall 45 can be improved. Further, since the partition wall 45 has a plurality of bent portions 45c, the rigidity of the partition wall 45 is further improved. As a result, the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the partition wall 45 is inclined as a whole with respect to the width direction of the first link 31 in a plan view, so that the partition wall 45 extends in the width direction of the first link 31.
  • Each of the first accommodation chamber 40A and the second accommodation chamber 40B becomes a long space in the longitudinal direction of the first link 31.
  • the occupied space of the first shaft 21a, the gearbox 71g and the first motor 61 is the entire space. It tends to be elongated. Therefore, by making the first accommodation chamber 40A a long space in the longitudinal direction of the first link 31, the internal space 40 of the first link 31 can be effectively utilized to effectively utilize the first shaft 21a, the gearbox 71g, and the first motor. 61 can be arranged.
  • the second shaft 34 and the gearbox 72g are adjacent to each other and the gearbox 72g and the second motor 62 are arranged adjacent to each other, the second shaft 34, the gearbox 72g, and the second motor 62 are occupied.
  • the space tends to be elongated overall. Therefore, by making the second accommodation chamber 40B a long space in the longitudinal direction of the first link 31, the internal space 40 of the first link 31 is effectively utilized, and the second shaft 34, the gearbox 72 g, and the second motor are used. 62 can be placed.
  • the robot 100 includes a base 1, an arm 3 composed of a plurality of links 30 rotatably connected to the base 1 in the horizontal direction and rotatably connected to each other in the horizontal direction.
  • An internal space 40 is formed in the first link 31, which is at least one of the plurality of links 30 and includes a hand 8 (end effector) rotatably connected to the arm 3 in the horizontal direction.
  • Reference numeral 31 denotes a partition wall 45 for partitioning the internal space 40 into two storage chambers, that is, a first storage chamber 40A and a second storage chamber 40B, respectively, in which parts are housed.
  • the partition wall 45 improves the rigidity of the first link 31.
  • the first link 31 has an internal space 40 for accommodating parts and is formed in a hollow shape.
  • the interior space 40 is partitioned by a partition wall 45 into two storage chambers for storing parts, that is, a first storage chamber 40A and a second storage chamber 40B.
  • partitioning the internal space 40 into the first storage chamber 40A and the second storage chamber 40B it becomes easy to store various parts in an orderly manner. That is, as compared with the case where various parts are housed in a single space, the various parts can be divided into a plurality of storage chambers, that is, can be arranged and stored.
  • the partition wall 45 functions as a strength member in the hollow first link 31.
  • the rigidity of the first link 31, that is, the flexural rigidity or the torsional rigidity can be improved as compared with the configuration having no partition wall 45.
  • the parts include a plurality of motors 6 for rotationally driving the plurality of links 30 and the hand 8, and each of the first accommodation chamber 40A and the second accommodation chamber 40B has a motor 6 of one of the plurality of motors 6. Contain.
  • the first accommodation chamber 40A accommodates the first motor 61
  • the second accommodation chamber 40B accommodates the second motor 62.
  • the first link 31 accommodates two motors 6, the total weight of the first link 31 becomes large. Therefore, it is very effective to provide the partition wall 45 on the first link 31 to improve the rigidity.
  • first link 31 partitions at least a part of the internal space 40 and has a ceiling wall 43 and a bottom wall 44 separated in the vertical direction, and the partition wall 45 extends from the ceiling wall 43 to the bottom wall 44. There is.
  • the ceiling wall 43 and the bottom wall 44 are connected by the partition wall 45.
  • the rigidity of the ceiling wall 43, the bottom wall 44, and the partition wall 45 as a whole is improved.
  • the rigidity of the first link 31 is improved.
  • the bottom wall 44 partitions the lower part of the first storage chamber 40A, which is one of the two storage chambers, the first storage chamber 40A is formed so as to open upward, and the ceiling wall 43 is formed.
  • the upper part of the second containment chamber 40B which is the other containment chamber of the two containment chambers, is partitioned, and the second containment chamber 40B is formed so as to open downward.
  • one containment chamber opens upward and the other containment chamber opens downward.
  • the partition wall 45 extending from the ceiling wall 43 to the bottom wall 44, it is easy to realize a storage chamber having such a configuration.
  • the first link 31 has a housing 4 for partitioning the outer shape of the first link 31, the housing 4 has a housing body 41 on which a ceiling wall 43 and a bottom wall 44 are formed, and the partition wall 45 has a partition wall 45. It is formed of a housing body 41 and a single member.
  • the housing body 41 and the partition wall 45 are formed of a single member, the housing body 41 and the partition wall 45 are compared with the configuration in which the partition wall 45 is attached to the housing body 41.
  • the bond becomes stronger.
  • the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the first link 31 partitions the outer shape of the first link 31 in a plan view and has an outer peripheral wall 46 formed in an annular shape, and the partition wall 45 extends across the inside of the outer peripheral wall 46 and is formed on the outer peripheral wall 46. It is connected in at least two places.
  • the partition wall 45 improves the rigidity of the outer peripheral wall 46. As a result, the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the partition wall 45 has a bent portion 45c formed so as to bend.
  • the rigidity of the partition wall 45 is improved as compared with the case where the partition wall 45 is formed flat. Since the rigidity of the partition wall 45 itself is improved, the rigidity of the first link 31 is further improved.
  • the plurality of links 30 are three links 30.
  • the position accuracy of the end effector tends to decrease as compared with the arm formed by one or two links.
  • the rigidity of the first link 31, which is one of the three links 30 the position accuracy of the end effector can be improved. That is, in the arm 3 composed of the three links 30, it is particularly effective to improve the rigidity of the arm 3 by the partition wall 45.
  • first link 31 is a link connected to the base 1 among the plurality of links 30.
  • the weights of the other links 30 and the hand 8 also act on the first link 31. Therefore, increasing the rigidity of the first link 31 is effective in improving the rigidity of the entire arm 3.
  • the hand 8 is an example of an end effector and holds the substrate S.
  • the robot 100 conveys the substrate S.
  • the position accuracy of the substrate S can be improved.
  • the hand 8 holds the semiconductor wafer as the substrate S, and the arm 3 and the hand 8 convey the semiconductor wafer between the hoop 121A, which is a container for accommodating the semiconductor wafer, and the processing device 121B for processing the semiconductor wafer.
  • the robot 100 conveys the semiconductor wafer between the hoop 121A and the processing device 121B. Since the semiconductor wafer is delicate and the processing of the semiconductor wafer is fine, high position accuracy is required in the transfer of the semiconductor wafer. Therefore, it is particularly effective to improve the rigidity of the arm 3.
  • the substrate transfer system 110 includes a housing 111 and a robot 100 arranged in the housing 111.
  • the robot 100 includes a hoop 121A arranged adjacent to the housing 111 and accommodating the substrate S, and a housing.
  • the substrate S is conveyed to and from the processing device 121B which is arranged adjacent to the 111 and processes the substrate S.
  • the robot 100 is incorporated in the substrate transfer system 110 that conveys the substrate S between the hoop 121A and the processing device 121B. Since the robot 100 has a high rigidity of the arm 3, the substrate transfer system 110 can transfer the substrate S with high position accuracy.
  • the robot 100 is incorporated in the substrate transfer system 110, but is not limited thereto.
  • the robot 100 is not limited to use in a clean environment capable of processing semiconductors.
  • the robot 100 may be incorporated in a production line or the like.
  • the board transfer system 110 does not have to be incorporated in the board processing equipment 120. That is, the substrate transfer system 110 may adopt any configuration as long as the robot 100 conveys the substrate S in the housing 111.
  • the moving source and moving destination of the substrate S are not limited to the hoop 121A and the processing device 121B.
  • the number of divisions of the arm 3, that is, the number of links 30, is not limited to 3.
  • the arm 3 may be composed of two or four or more links 30.
  • the end effector is not limited to hand 8.
  • the end effector may be a painting tool or a welding tool. Even when the end effector is the hand 8, the object held by the hand 8 is not limited to the substrate.
  • the number of hands 8 (that is, the number of end effectors) is not limited to two, and may be one or three or more.
  • the robot 100 has the same number of motors 6 as the total of the links 30 and the hands 8, but the number of motors 6 does not have to be the same as the total of the links 30 and the hands 8.
  • one motor 6 may rotationally drive two links 30.
  • the link 30 accommodating the two motors 6 and having the partition wall 45 may be a link 30 other than the first link 31.
  • the second link 32 or the third link 33 may have a partition wall and accommodate two motors 6.
  • the third link 33 may have a partition wall.
  • the housing main body 51 may have a partition wall that partitions the internal space 50 between the storage chamber in which the fourth motor 64 is housed and the storage room in which the fifth motor 65 is housed.
  • a partition wall can be provided so as to extend in the longitudinal direction of the third link 33 at the center in the width direction of the third link 33. This partition wall may be connected to the ceiling wall 53.
  • the motor 6 accommodated in the two accommodation chambers partitioned by the partition wall is not limited to the first motor 61 and the second motor 62, and may be any two of the plurality of motors 6. good.
  • the parts housed in the two storage chambers are not limited to the motor 6.
  • Parts related to driving the arm 3 and the like such as a harness and parts related to detecting the operation of the arm 3 and the like may be housed in the respective storage chambers.
  • the partition wall any configuration can be adopted for the partition wall as long as it separates the two containment chambers.
  • the two containment chambers separated by a partition wall may partially communicate. That is, the two containment chambers do not have to be completely isolated.
  • the partition wall 45 may be connected to at least one of the ceiling wall 43, the bottom wall 44, and the outer peripheral wall 46.
  • the partition wall 45 may be connected only to the bottom wall 44 and not to the ceiling wall 43 and the outer peripheral wall 46.
  • the partition wall 45 improves the rigidity of the bottom wall 44, and as a result, improves the rigidity of the first link 31.
  • the partition wall 45 may not be connected to the ceiling wall 43 and the bottom wall 44, but may be connected to the outer peripheral wall 46.
  • the partition wall 45 may partition the internal space 40 into at least two storage chambers, and may partition the internal space 40 into three or more spaces including the two storage chambers.
  • partition wall 45 may have a flat shape without having a bent portion 45c.
  • the partition wall 45 may extend in the longitudinal direction or the width direction of the link 30.
  • the partition wall 45 may be formed separately from the housing main body 41 and may be connected to the housing main body 41 by welding, screw fastening, or the like. Even with such a configuration, the partition wall 45 improves the rigidity of the housing body 41.
  • the formation of the housing body 41 including the partition wall 45 with a single member is not limited to cutting.
  • the housing body 41 may be formed by casting.
  • the substrate S can be a thin plate that is a material for a substrate of a semiconductor device such as a semiconductor substrate and a glass substrate.
  • the semiconductor substrate include a silicon substrate and a sapphire substrate.
  • the glass substrate include a glass substrate for FPD (Flat Panel Display), a glass substrate for MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), and the like.
  • the technology disclosed here is useful for a horizontal articulated robot and a substrate transfer system equipped with the robot.

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Abstract

ロボット１００は、基台１と、水平方向に回転可能に基台１に連結され且つ、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンク３０で構成されたアーム３と、水平方向に回転可能にアーム３に連結されたハンド８とを備えている。複数のリンク３０の少なくとも１つのリンクである第１リンク３１には、内部空間４０が形成されている。第１リンク３１は、部品がそれぞれ収容される２つの収容室、即ち、第１収容室４０Ａと第２収容室４０Ｂとに内部空間４０を仕切る仕切壁４５を有する。

Description

水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システム
　ここに開示された技術は、水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システムに関する。
　従来より、水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システムが知られている。例えば、特許文献１に記載された水平多関節ロボットは、基台とアームとエンドエフェクタとを備えている。アームは、水平方向に回転可能に基台に連結され且つ、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンクで構成されている。
特開２０１５－３６１８６号公報
　このように構成された水平多関節ロボットにおいて、各リンクは、リンクそのものの機能に加えて、各種部品を収容する機能も有している。例えば、アームは、アームの駆動に関連する部品やアームの動作の検出に関連する部品等を有している。それらの部品の少なくとも一部は、リンク内に収容される。特許文献１に開示されたロボットは、複数のリンク及びエンドエフェクタを駆動する複数のモータを備えている。例えば、２つのエンドエフェクタを駆動する２つのモータは、アームにおける最も先端側のリンクに収容されている。
　リンク内に部品を収容する構成においては、リンク全体の重量が重くなるので、リンクの剛性は高い方が好ましい。リンクの剛性が高いと、アームの剛性が高くなり、結果として、エンドエフェクタの位置精度が向上する。特に、前述のように複数のモータを収容するリンクは、リンクの全体の重量が重くなるため、高い剛性が求められる。
　ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、水平多関節ロボットにおけるリンクの剛性を向上させることにある。
　ここに開示された水平多関節ロボットは、基台と、水平方向に回転可能に前記基台に連結され且つ、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンクで構成されたアームと、水平方向に回転可能に前記アームに連結されたエンドエフェクタとを備え、前記複数のリンクの少なくとも１つのリンクには、内部空間が形成され、前記少なくとも１つのリンクは、部品がそれぞれ収容される２つの収容室に前記内部空間を仕切る仕切壁を有する。
　ここに開示された基板搬送システムは、筐体と、前記筐体内に配置された前記水平多関節ロボットとを備え、前記水平多関節ロボットは、前記筐体に隣接して配置され、基板を収容する容器と、前記筐体に隣接して配置され、基板を処理する処理装置との間で基板を搬送する。
　前記水平多関節ロボットによれば、リンクの剛性を向上させることができる。
図１は、水平多関節ロボットの側面図である。 図２は、基板処理設備の概略的な平面図である。 図３は、ロボットの機能ブロック図である。 図４は、第１蓋の一部を破断した状態の第１リンクの平面図である。 図５は、第２蓋の一部を破断した状態の第１リンクの底面図である。 図６は、図４のVI－VI線における第１リンクの概略的な断面図である。 図７は、第２蓋の一部を破断した状態の第３リンクの底面図である。
　以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１は、水平多関節ロボット１００の側面図である。水平多関節ロボット（以下、単に「ロボット」ともいう）１００は、スカラ（SCARA: Selective Compliance Assembly Robot Arm）型のロボットである。ロボット１００は、基台１と、水平方向に回転可能に基台１に連結されたアーム３と、水平方向に回転可能にアーム３に連結されたハンド８とを備えている。アーム３は、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンク３０で構成されている。ハンド８は、対象物を保持する。例えば、対象物は、基板Ｓである。ハンド８は、エンドエフェクタの一例である。
　図２は、基板処理設備１２０の概略的な平面図である。ロボット１００は、例えば、基板Ｓを搬送する基板搬送システム１１０に組み込まれる。基板搬送システム１１０は、筐体１１１と、ロボット１００とを有している。例えば、基板搬送システム１１０は、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）である。基板搬送システム１１０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格に準拠する。尚、基板搬送システム１１０の構成は、ＳＥＭＩ規格外の構成であってもよい。
　筐体１１１の内部には、搬送空間１１２が形成されている。ロボット１００は、筐体１１１の内部、即ち、搬送空間１１２に配置されている。ロボット１００は、搬送空間１１２において、基板Ｓを搬送する。例えば、基板Ｓは、円盤状の半導体ウェハである。以下、説明の便宜上、互いに直交する前後方向、左右方向及び上下方向（即ち、鉛直方向）を設定する。
　筐体１１１は、略直方体の箱状に形成されている。筐体１１１は、前後方向に対向する前壁１１１ａ及び後壁１１１ｂと、左右方向に対向する左壁１１１ｃ及び右壁１１１ｄと、上下方向に対向する天井壁（図示省略）及び底壁（図示省略）とを有している。左壁１１１ｃと右壁１１１ｄとの間隔は、前壁１１１ａと後壁１１１ｂとの間隔よりも大きい。つまり、筐体１１１は、平面視で左右方向に長い略長方形状に形成されている。搬送空間１１２は、クリーン化されている。搬送空間１１２を満たす雰囲気気体は、ファンフィルタユニット等によって調整される。搬送空間１１２には、基板Ｓの位置合わせを行うアライナ１１３が設けられている。
　例えば、基板搬送システム１１０は、基板処理設備１２０に組み込まれている。基板処理設備１２０は、基板搬送システム１１０と、基板Ｓを収容する複数の収容部１２１とを有している。収容部１２１の内部には、収容室が形成されている。収容室は、クリーン化されている。例えば、複数の収容部１２１は、フープ（FOUP: Front Opening Unified Pod）１２１Ａと処理装置１２１Ｂとを含んでいる。フープ１２１Ａは、基板Ｓを収容するである。処理装置１２１Ｂは、基板Ｓを処理する。フープ１２１Ａ及び処理装置１２１Ｂはそれぞれ、筐体１１１に隣接して配置されている。フープ１２１Ａは、半導体ウェハを収容する容器の一例である。
　フープ１２１Ａ内には、処理前及び処理後の基板Ｓが収容される。フープ１２１Ａは、ミニエンバイロメント用基板容器である。フープ１２１Ａは、複数の基板Ｓを水平な状態で鉛直方向に等間隔を開けて収容する。フープ１２１Ａは、筐体１１１の外側に配置され、フープオープナ（図示省略）を介して前壁１１１ａに取り付けられている。この例では、４個のフープ１２１Ａが設けられている。４個のフープ１２１Ａは、左右方向に等間隔に配置されている。前壁１１１ａには、フープ１２１Ａに対応する開口１１１ｅが形成されている。フープオープナによって、搬送空間１１２とフープ１２１Ａの内部空間との連通及び遮断が切り替えられる。
　処理装置１２１Ｂは、例えば、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィ処理、洗浄処理、平坦化処理又は外観若しくは寸法の検査を基板Ｓに行う処理装置である。あるいは、処理装置１２１Ｂが行う処理は、基板Ｓの受け渡しを行うための一時的な収容であってもよい。後壁１１１ｂに２つの処理装置１２１Ｂが、左壁１１１ｃに１つの処理装置１２１Ｂが右壁１１１ｄに１つの処理装置１２１Ｂが設けられている。処理装置１２１Ｂは、筐体１１１の外側に配置されている。各壁には、処理装置１２１Ｂに対応する開口１１１ｆが形成されている。開口１１１ｆにはドア（図示省略）が設けられてもよい。ドアの開閉によって、搬送空間１１２と処理装置１２１Ｂの内部空間との連通及び遮断が切り替えられる。
　このような構成においては、基板搬送システム１１０に含まれるロボット１００は、半導体ウェハを収容するフープ１２１Ａと半導体ウェハを処理する処理装置１２１Ｂとの間で半導体ウェハを搬送する。具体的には、ハンド８は、基板Ｓとして半導体ウェハを保持する。アーム３及びハンド８は、フープ１２１Ａと処理装置１２１Ｂとの間で半導体ウェハを搬送する。
　〈ロボット１００の構成〉
　ロボット１００の構成について図１，２を参照しながら説明する。
　基台１は、筐体１１と、アーム３を鉛直方向に昇降させる昇降機構２とを有している。筐体１１は、略直方体状に形成されている。昇降機構２は、可動部２１と、可動部２１を駆動する昇降モータ２２とを有している。可動部２１は、柱状に形成されている。可動部２１が最も降下した状態においては、可動部２１の大部分が筐体１１内に収容される。可動部２１は、筐体１１から上方に突出するように上昇する。アーム３は、水平方向に回転可能に可動部２１の上端部に連結されている。図１において実線及び二点鎖線で示すように、可動部２１が上下動することによって、それに応じてアーム３及びハンド８が上下動する。
　アーム３は、３本のリンク３０で構成されている。３本のリンク３０をそれぞれ区別する場合には、基台１に近い方から順に、第１リンク３１、第２リンク３２、第３リンク３３と称する。第１リンク３１は、基台１に連結されたリンク３０である。第３リンク３３には、ハンド８が連結されている。
　リンク３０は、所定の長手方向に延伸した形状に形成されている。以下、特に断りが無い限り、各リンク３０において、長手方向における一端部を第１端部と称し、長手方向における第１端部とは反対側の端部を第２端部と称する。また、特に断りが無い限り、リンク３０の「幅方向」とは、鉛直方向及びリンク３０の長手方向の両方に直交する方向を意味する。
　第１リンク３１の第１端部３１ａは、鉛直方向に延びる第１軸心Ｌ１を中心に回転可能に基台１に連結されている。詳しくは、第１端部３１ａは、可動部２１の上端部に連結されている。第２リンク３２の第１端部３２ａは、鉛直方向に延びる第２軸心Ｌ２を中心に回転可能に第１リンク３１の第２端部３１ｂに連結されている。第３リンク３３の第１端部３３ａは、鉛直方向に延びる第３軸心Ｌ３を中心に回転可能に第２リンク３２の第２端部３２ｂに連結されている。第１軸心Ｌ１、第２軸心Ｌ２及び第３軸心Ｌ３は、互いに平行に延びている。第１リンク３１の長さ（即ち、長手方向の寸法）は、３本のリンク３０の中で最も長い。
　ロボット１００は、２つのハンド８、即ち、第１ハンド８Ａ及び第２ハンド８Ｂを有している。第１ハンド８Ａ及び第２ハンド８Ｂを区別しない場合には、単に「ハンド８」と称する。第１ハンド８Ａ及び第２ハンド８Ｂの基本的な構成は同じである。尚、図２では、２つのハンド８が上下に重なっているため、見かけ上、ハンド８が１つだけ図示されている。
　ハンド８による保持は、把持、吸着、載置又は嵌合等、様々な態様で実現し得る。ハンド８は、本体８１と、本体８１に連結され、二又状に分かれた保持部８２とを有している。ハンド８は、板状に形成されている。ハンド８は、その厚み方向を向いて見た場合に、略Ｙ字状に形成されている。ハンド８は、エアシリンダ等の保持アクチュエータ（図示省略）を有している。保持アクチュエータによって、ハンド８による対象物の保持及び解放が切り替えられる。
　各ハンド８の本体８１は、鉛直方向に延びる第４軸心Ｌ４を中心に回転可能に第３リンク３３の第２端部３３ｂに連結されている。第４軸心Ｌ４は、第１軸心Ｌ１、第２軸心Ｌ２及び第３軸心Ｌ３と平行に延びている。
　第１リンク３１、第２リンク３２、第３リンク３３、第１ハンド８Ａ、第２ハンド８Ｂは、この順で下から上へ、互いに接触しない状態で積み上げられている。第１リンク３１、第２リンク３２、第３リンク３３及び２つのハンド８は、互いに干渉することなく水平方向に回転する。
　ロボット１００は、各種の部品を備えている。例えば、部品には、アーム３及びハンド８（以下、「アーム３等」という）の駆動に関連する部品並びにアーム３等の動作の検出に関連する部品等が含まれる。アーム３等の駆動に関連する部品には、複数のリンク３０及びハンド８を回転駆動する複数のモータ６、各モータ６に対応する伝達機構並びにハンド８による対象物の保持及び解放を実行する保持アクチュエータ（図示省略）に関連する部品等が含まれる。保持アクチュエータに関連する部品は、例えば、保持アクチュエータがエアシリンダの場合には、エアシリンダに空気を供給する配管及びエアの供給を切り替える電磁弁等が含まれる。アーム３等の動作の検出に関連する部品には、ハンド８が対象物を吸着により保持する場合にハンド８の吸着部から空気を吸引するための配管に設けられた、配管内の圧力を検出する圧力センサが含まれる。また、アーム３等の駆動に関連する部品及びアーム３等の動作の検出に関連する部品には、ハーネス及び配管も含まれる。
　複数のモータ６には、第１リンク３１を回転駆動する第１モータ６１と、第２リンク３２を回転駆動する第２モータ６２と、第３リンク３３を回転駆動する第３モータ６３と、第１ハンド８Ａを回転駆動する第４モータ６４と、第２ハンド８Ｂを回転駆動する第５モータ６５とを含んでいる。第１モータ６１、第２モータ６２、第３モータ６３、第４モータ６４及び第５モータ６５のそれぞれを区別しない場合には、単に「モータ６」と称する。
　リンク３０は、中空状に形成され、内部空間を有している。リンク３０の内部空間は、部品を収容する収容室となっている。例えば、モータ６は、リンク３０の内部空間に収容されている。具体的には、第１モータ６１及び第２モータ６２は、第１リンク３１の内部空間に収容される。第３モータ６３は、第２リンク３２の内部空間に収容される。第４モータ６４及び第５モータ６５は、第３リンク３３の内部空間に収容される。
　ロボット１００の基台１は、前後方向において、筐体１１１の中央よりも前壁１１１ａ及び後壁１１１ｂの一方へオフセットして配置されている。具体的には、基台１は、前壁１１１ａよりも後壁１１１ｂの近くに配置される。左右方向においては、基台１は、筐体１１１の略中央に配置されている。このように、基台１を、前後方向において、筐体１１１の中央よりも、前壁１１１ａ及び後壁１１１ｂの一方へオフセットして配置することによって、各リンク３０の長さを長くして、ハンド８の可動範囲を拡大している。
　図３は、ロボット１００の機能ブロック図である。ロボット１００は、制御装置１０をさらに備えている。制御装置１０は、ロボット１００の全体的な制御を行う制御部１０１と、各種プログラム及び各種データを記憶する記憶部１０２と、メモリ１０３と、モータ６等に接続されるインタフェイス１０４とを有している。
　記憶部１０２は、コンピュータに読み取り可能な記録媒体であり、例えば、フラッシュメモリで構成されている。尚、記憶部１０２は、ＣＤ－ＲＯＭ等の光ディスク等で構成されていてもよい。記憶部１０２は、制御部１０１の処理の実行に必要な各種プログラムや各種データを記憶している。
　制御部１０１は、記憶部１０２に記憶されているプログラムに基づいてモータ６等を制御する。制御部１０１は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサで構成されている。制御部１０１は、記憶部１０２等に記憶されたプログラムをメモリ１０３に展開して実行することによって各種処理を実行する。尚、制御部１０１は、プロセッサと同様の機能を有するＬＳＩ（Large Scale Integration）等のハードウェアによって実現されてもよい。
　インタフェイス１０４には、昇降モータ２２、第１モータ６１、第２モータ６２、第３モータ６３、第４モータ６４及び第５モータ６５が接続される。また、エンドエフェクタの態様に応じて、エンドエフェクタの動作のためのアクチュエータ（ハンド８の場合には、保持アクチュエータ）もインタフェイス１０４に接続される。
　制御装置１０は、予め定められた動作プログラム又はユーザから入力される動作指令に従って、モータ６等を制御して、ロボット１００を制御する。制御装置１０は、アーム３を変位させたり、ハンド８に基板Ｓを保持又は解放させたりする。
　例えば、制御装置１０は、アーム３及びハンド８を変位させ、ハンド８をフープ１２１Ａの内部空間に進入させる（図２の実線参照）。そして、制御装置１０は、ハンド８にフープ１２１Ａ内の基板Ｓを保持させる。制御装置１０は、基板Ｓを保持した状態のハンド８をフープ１２１Ａから搬送空間１１２へ退出させ、さらに、処理装置１２１Ｂへ進入させる（図２の二点鎖線参照）。制御装置１０は、処理装置１２１Ｂ内の所定位置においてハンド８に基板Ｓを解放させる。その後、制御装置１０は、ハンド８を処理装置１２１Ｂから一旦、退出させる。処理装置１２１Ｂでは、基板Ｓに所定の処理が施される。基板Ｓの処理後、制御装置１０は、ハンド８を処理装置１２１Ｂへ進入させ、ハンド８に基板Ｓを保持させる。制御装置１０は、基板Ｓを保持した状態のハンド８を処理装置１２１Ｂから搬送空間１１２へ退出させ、さらに、フープ１２１Ａへ進入させる。制御装置１０は、フープ１２１Ａの所定位置においてハンド８に基板Ｓを解放させる。このように、制御装置１０は、ロボット１００にフープ１２１Ａと処理装置１２１Ｂとの間で基板Ｓを搬送させる。
　<アーム３におけるモータ６の収容>
　続いて、リンク３０におけるモータ６の収容について説明する。図４は、第１蓋４２Ａの一部を破断した状態の第１リンク３１の平面図である。図５は、第２蓋４２Ｂの一部を破断した状態の第１リンク３１の底面図である。図６は、図４のVI－VI線における第１リンク３１の概略的な断面図である。
　まず、第１リンク３１におけるモータ６の収容について説明する。第１リンク３１に収容されるモータ６の個数は、２つである。第１リンク３１には、各種部品を収容するように内部空間４０が形成されている。第１リンク３１は、部品がそれぞれ収容される２つの収容室に内部空間４０を仕切る仕切壁４５を有する。２つの収容室は、第１モータ６１が収容される第１収容室４０Ａと第２モータ６２が収容される第２収容室４０Ｂである。
　詳しくは、第１リンク３１は、第１リンク３１の外形を区画するハウジング４を有している。ハウジング４の内部に、内部空間４０が形成されている。ハウジング４は、ハウジング本体４１と、ハウジング本体４１に取り付けられる第１蓋４２Ａ及び第２蓋４２Ｂとを有している。
　ハウジング本体４１は、内部空間４０の少なくとも一部を区画し、鉛直方向に離れた天井壁４３及び底壁４４を有している。ハウジング本体４１は、平面視における第１リンク３１の外形を区画し、環状に形成された外周壁４６をさらに有している。
　外周壁４６は、平面視における第１リンク３１の外形、即ち、輪郭に沿って環状に延びている。外周壁４６は、鉛直方向の幅（即ち、高さ）を有し、鉛直方向にも拡がっている。
　天井壁４３は、外周壁４６の上端の開口のうち、第１リンク３１の第２端部３１ｂを含む一部を塞ぐように外周壁４６の上端に結合されている。底壁４４は、外周壁４６の下端の開口のうち、第１リンク３１の第１端部３１ａを含む一部を塞ぐように外周壁４６の下端に結合されている。天井壁４３と底壁４４とは、平面視において、第１リンク３１の長手方向に並ぶように配置されている。
　仕切壁４５は、天井壁４３から底壁４４まで内部空間４０を横切って延びている。すなわち、仕切壁４５は、内部空間４０を鉛直方向に横切っている。仕切壁４５の上端は、天井壁４３に結合されている。仕切壁４５の下端は、底壁４４に結合されている。
　また、仕切壁４５は、外周壁４６の内側を横切って延び、外周壁４６の少なくとも２か所に連結されている。このとき、仕切壁４５は、平面視で、第１リンク３１の長手方向に対して全体的に傾斜するように内部空間４０を横切って延びている。より詳しくは、仕切壁４５は、平面視で、ジグザグ形状に形成されている。仕切壁４５は、第１リンク３１の長手方向に延びる縦部分４５ａと第１リンク３１の幅方向に延びる横部分４５ｂとによって形成された屈曲部４５ｃを有している。仕切壁４５は、縦部分４５ａと横部分４５ｂとが交互に繋がるように形成されている。すなわち、仕切壁４５は、複数の屈曲部４５ｃを有している。
　仕切壁４５は、天井壁４３及び底壁４４と一体的に形成されている。詳しくは、天井壁４３、底壁４４及び仕切壁４５は、単一部材から形成されている。それに加えて、外周壁４６も、天井壁４３、底壁４４及び仕切壁４５と一体的に形成されている。詳しくは、天井壁４３、底壁４４、仕切壁４５及び外周壁４６は、単一部材から形成されている。すなわち、仕切壁４５は、ハウジング本体４１と単一部材で形成されている。例えば、ハウジング本体４１は、単一部材としての金属を削り出すことによって形成されている。このとき、仕切壁４５は、ハウジング本体４１の一部としてハウジング本体４１と一体的に削り出される。換言すると、天井壁４３、底壁４４、仕切壁４５及び外周壁４６は、溶接等の継ぎ目なしに互いに結合されている。
　このように構成されたハウジング本体４１には、第１収容室４０Ａが上方に開口するように形成され、第２収容室４０Ｂが下方に開口するように形成されている。ハウジング本体４１において、第１収容室４０Ａは、第１端部３１ａを含む、第１端部３１ａ寄りの部分に形成され、第２収容室４０Ｂは、第２端部３１ｂを含む、第２端部３１ｂ寄りの部分に形成されている。
　底壁４４は、第１収容室４０Ａの下部を区画している。具体的には、第１収容室４０Ａは、外周壁４６と底壁４４と仕切壁４５とによって区画されている。外周壁４６の上端縁に、第１蓋４２Ａがビス４９によって取り付けられる。第１蓋４２Ａによって、第１収容室４０Ａが閉鎖される。
　天井壁４３は、第２収容室４０Ｂの上部を区画している。具体的には、第２収容室４０Ｂは、外周壁４６と天井壁４３と仕切壁４５によって区画されている。外周壁４６の下端縁に、第２蓋４２Ｂがビス４９によって取り付けられる。第２蓋４２Ｂによって、第２収容室４０Ｂが閉鎖される。
　第１収容室４０Ａには、基台１から延びる可動部２１の一部が配置されている。詳しくは、可動部２１の上端部は、第１シャフト２１ａによって形成されている。第１端部３１ａにおける底壁４４には、第１シャフト２１ａが貫通する挿入孔４４ａが形成されている。第１シャフト２１ａは、基台１に対して回転不能となっている。第１シャフト２１ａは、挿入孔４４ａを貫通して、第１収容室４０Ａに進入している。第１シャフト２１ａは、第１収容室４０Ａ内に配置された軸受４８ａに回転可能に支持されている。第１シャフト２１ａの軸心は、第１軸心Ｌ１と一致している。軸受４８ａは、ハウジング本体４１に固定されている。これにより、ハウジング本体４１は、軸受４８ａを介して、第１シャフト２１ａに対して相対的に回転可能となっている。つまり、第１リンク３１が基台１に対して相対的に回転可能となっている。
　第１収容室４０Ａには、第１モータ６１と、第１モータ６１の動力を伝達する第１伝達機構７１とが収容されている。
　第１モータ６１は、ハウジング本体４１に固定されるモータ本体６１ａと、モータ本体６１ａから延びる回転シャフト６１ｂとを有している。例えば、第１モータ６１は、電動モータ、具体的にはサーボモータである。第１モータ６１は、回転シャフト６１ｂの回転位置又は回転量を検出するエンコーダ（図示省略）を有している。第１モータ６１は、回転シャフト６１ｂが水平方向（具体的には、第１リンク３１の長手方向）に延びる状態で第１収容室４０Ａに配置されている。
　第１伝達機構７１は、第１モータ６１の動力を第１シャフト２１ａに伝達する。第１伝達機構７１は、歯車列を有している。歯車列は、回転シャフト６１ｂに同軸に取り付けられた第１歯車７１ａと、１又は複数の歯車（図示省略）を介して第１歯車７１ａの回転が伝達される第２歯車７１ｂと、第２歯車７１ｂと一体的に回転する第３歯車７１ｃと、第３歯車７１ｃと噛み合う第４歯車７１ｄと、第４歯車７１ｄと一体的に回転する第５歯車７１ｅと、第５歯車７１ｅと噛み合い、第１シャフト２１ａに同軸に取り付けられた第６歯車７１ｆとを含んでいる。第２歯車７１ｂ及び第３歯車７１ｃは、水平方向に延びる軸心回りに一体的に回転する。第３歯車７１ｃ及び第４歯車７１ｄは、傘歯車である。第４歯車７１ｄ及び第５歯車７１ｅは、第１軸心Ｌ１と平行に延びる軸心回りに一体的に回転する。第１歯車７１ａ、第２歯車７１ｂ、第３歯車７１ｃ、第４歯車７１ｄ及び第５歯車７１ｅは、ギアボックス７１ｇに収容される。ギアボックス７１ｇは、第１収容室４０Ａに配置されている。
　第１モータ６１が動作すると、回転シャフト６１ｂの回転が第１歯車７１ａ等の歯車列を介して第１シャフト２１ａに伝達する。第１シャフト２１ａは回転不能なので、第１モータ６１が固定されたハウジング４が第１軸心Ｌ１回りに回転する。これにより、第１リンク３１は、基台１に対して相対的に第１軸心Ｌ１回りに回転する。
　第２収容室４０Ｂには、第２リンク３２から延びる第２シャフト３４の一部が配置されている。第２端部３１ｂにおける天井壁４３には、第２シャフト３４が貫通する挿入孔４３ａが形成されている。第２シャフト３４は、第２リンク３２に回転不能に取り付けられている。第２シャフト３４の先端部は、挿入孔４３ａを貫通して、第２収容室４０Ｂに進入している。第２シャフト３４は、第２収容室４０Ｂ内に配置された軸受４８ｂに回転可能に支持されている。第２シャフト３４の軸心は、第２軸心Ｌ２と一致している。軸受４８ｂは、ハウジング本体４１に固定されている。これにより、第２シャフト３４は、軸受４８ｂを介して、ハウジング本体４１に対して相対的に回転可能となっている。つまり、第２リンク３２が第１リンク３１に対して相対的に回転可能となっている。
　第２収容室４０Ｂには、第２モータ６２と、第２モータ６２の動力を伝達する第２伝達機構７２とが収容されている。
　第２モータ６２は、ハウジング本体４１に固定されるモータ本体６２ａと、モータ本体６２ａから延びる回転シャフト６２ｂとを有している。例えば、第２モータ６２は、電動モータ、具体的にはサーボモータである。第２モータ６２は、回転シャフト６２ｂの回転位置又は回転量を検出するエンコーダ（図示省略）を有している。第２モータ６２は、回転シャフト６２ｂが水平方向（具体的には、第１リンク３１の長手方向）に延びる状態で第２収容室４０Ｂに配置されている。
　第２伝達機構７２は、第２モータ６２の動力を第２シャフト３４に伝達する。第２伝達機構７２は、歯車列を有している。歯車列は、回転シャフト６２ｂに同軸に取り付けられた第１歯車７２ａと、１又は複数の歯車（図示省略）を介して第１歯車７２ａの回転が伝達される第２歯車７２ｂと、第２歯車７２ｂと一体的に回転する第３歯車７２ｃと、第３歯車７２ｃと噛み合う第４歯車７２ｄと、第４歯車７２ｄと一体的に回転する第５歯車７２ｅと、第５歯車７２ｅと噛み合い、第２シャフト３４に同軸に取り付けられた第６歯車７２ｆとを含んでいる。第２歯車７２ｂ及び第３歯車７２ｃは、水平方向に延びる軸心回りに一体的に回転する。第３歯車７２ｃ及び第４歯車７２ｄは、傘歯車である。第４歯車７２ｄ及び第５歯車７２ｅは、第２軸心Ｌ２と平行に延びる軸心回りに一体的に回転する。第１歯車７２ａ、第２歯車７２ｂ、第３歯車７２ｃ、第４歯車７２ｄ及び第５歯車７２ｅは、ギアボックス７２ｇに収容される。ギアボックス７２ｇは、第２収容室４０Ｂに配置されている。
　第２モータ６２が動作すると、回転シャフト６２ｂの回転が第１歯車７２ａ等の歯車列を介して第２シャフト３４に伝達する。第２モータ６２がハウジング４に固定されているので、第２シャフト３４が第２軸心Ｌ２回りに回転する。これにより、第２リンク３２は、第１リンク３１に対して相対的に第２軸心Ｌ２回りに回転する。
　ハウジング本体４１においては、第１収容室４０Ａ及び第２収容室４０Ｂは、第１軸心Ｌ１又は第２軸心Ｌ２の方向（即ち、鉛直方向）においてそれぞれ反対向きに開口している。具体的には、第１収容室４０Ａは、天井壁４３側に開口し、第２収容室４０Ｂは、底壁４４側に開口する。第１モータ６１及びギアボックス７１ｇを第１収容室４０Ａに設置する際には、ユーザは天井壁４３側から第１収容室４０Ａ内にアクセスする。一方、第２モータ６２及びギアボックス７２ｇを第２収容室４０Ｂに設置する際には、ユーザは底壁４４側から第２収容室４０Ｂ内にアクセスする。
　次に、第２リンク３２におけるモータ６の収容について説明する。第２リンク３２に収容されるモータ６の個数は、１つである。第２リンク３２は２つのモータ６を収容する必要が無いので、第２リンク３２の幅は、第１リンク３１の幅に比べて小さい。第２リンク３２の内部空間には、第３モータ６３と、第３モータ６３の動力を伝達する第３伝達機構（図示省略）とが収容されている。第３モータ６３及び第３伝達機構は、第２モータ６２及び第２伝達機構７２と同様の構成及び配置をしている。すなわち、第２リンク３２の内部空間のうち第２端部３２ｂに相当する部分には、第３リンク３３から延びる第３シャフト３５（図７参照）の一部が配置されている。第３シャフト３５は、第３軸心Ｌ３と同軸に延びている。第３伝達機構は、第３モータ６３の動力を第３シャフトに伝達する。
　第３モータ６３が動作すると、第３モータ６３の回転が歯車列を介して第３シャフト３５に伝達する。第３モータ６３が第２リンク３２のハウジングに固定されているので、第３シャフト３５が第３軸心Ｌ３回りに回転する。これにより、第３リンク３３は、第２リンク３２に対して相対的に第３軸心Ｌ３回りに回転する。
　続いて、第３リンク３３におけるモータ６の収容について説明する。図７は、第２蓋５２Ｂの一部を破断した状態の第３リンク３３の底面図である。第３リンク３３に収容されるモータ６の個数は、２つである。第３リンク３３には、第４モータ６４及び第５モータ６５を収容する内部空間５０が形成されている。
　詳しくは、第３リンク３３は、第３リンク３３の外形を区画するハウジング５を有している。ハウジング５の内部に、内部空間５０が形成されている。ハウジング５は、ハウジング本体５１と、ハウジング本体５１に取り付けられる第１蓋（図示省略）及び第２蓋５２Ｂとを有している。
　ハウジング本体５１は、内部空間５０の少なくとも一部を区画する、天井壁５３、底壁５４及び外周壁５６を有している。
　外周壁５６は、平面視における第３リンク３３の外形、即ち、輪郭に沿って環状に延びている。外周壁５６は、鉛直方向の幅（即ち、高さ）を有し、鉛直方向にも拡がっている。
　底壁５４は、外周壁５６の下端の開口のうち、第３リンク３３の第１端部３３ａを含む一部を塞ぐように外周壁５６の下端に結合されている。天井壁５３は、外周壁５６の上端の開口のうち、第３リンク３３の第２端部３３ｂを含む一部を塞ぐように外周壁５６の上端に結合されている。
　天井壁５３、底壁５４及び外周壁５６は、単一部材から形成されている。例えば、ハウジング本体５１は、単一部材としての金属を削り出すことによって形成されている。換言すると、天井壁５３、底壁５４及び外周壁５６は、溶接等の継ぎ目なしに互いに結合されている。
　このように構成されたハウジング本体５１の内部空間５０のうち、第１端部３３ａを含む、第１端部３３ａ寄りの部分は、上方に開口している。一方、内部空間５０のうち、第２端部３３ｂを含む、第２端部３３ｂ寄りの部分は、下方に開口している。図示は省略するが、外周壁５６の上端縁に、第１蓋がビスによって取り付けられる。第１蓋は、内部空間５０のうち上方に開口する部分を閉鎖する。一方、外周壁５６の下端縁に、第２蓋５２Ｂがビス５９によって取り付けられる。第２蓋５２Ｂは、内部空間５０のうち下方に開口する部分を閉鎖する。内部空間５０のうち上方に開口する部分と下方に開口する部分とは、第１リンク３１の仕切壁４５のような壁によって仕切られていない。
　底壁５４には、第３シャフト３５が回転不能に取り付けられている。第３シャフト３５は、第３軸心Ｌ３と同軸に延びている。第３シャフト３５の一端部は、内部空間５０内に配置され、第３シャフト３５の他端部（図示省略）は、第２リンク３２の内部空間に進入している。
　内部空間５０には、ハンド８から延びるシャフトの一部が配置されている。詳しくは、第１ハンド８Ａの本体８１に円筒状の第４シャフト８３ａが回転不能に連結されている。第４シャフト８３ａは、第４軸心Ｌ４と同軸に延びている。第２ハンド８Ｂの本体８１に円筒状の第５シャフト８３ｂが回転不能に連結されている。第５シャフト８３ｂは、第４シャフト８３ａの内側を通って、第４軸心Ｌ４と同軸に延びている。第４シャフト８３ａ及び第５シャフト８３ｂは、内部空間５０内に配置された複数の軸受にそれぞれ回転可能に支持されている。軸受は、ハウジング本体５１に固定されている。これにより、第１ハンド８Ａ及び第２ハンド８Ｂは、軸受を介して、ハウジング本体５１に対して相対的に回転可能となっている。つまり、第１ハンド８Ａ及び第２ハンド８Ｂが第３リンク３３に対して相対的に回転可能となっている。第１ハンド８Ａと第２ハンド８Ｂとは、互いに独立して回転可能となっている。
　内部空間５０には、第４モータ６４と、第４モータ６４の動力を伝達する第４伝達機構７４と、第５モータ６５と、第５モータ６５の動力を伝達する第５伝達機構７５とが収容されている。
　第４モータ６４は、ハウジング本体５１に固定されるモータ本体６４ａと、モータ本体６４ａから延びる回転シャフト６４ｂとを有している。例えば、第４モータ６４は、電動モータ、具体的にはサーボモータである。第４モータ６４は、回転シャフト６４ｂの回転位置又は回転量を検出するエンコーダ（図示省略）を有している。第４モータ６４は、回転シャフト６４ｂが水平方向（具体的には、第３リンク３３の長手方向）に延びる状態で内部空間５０に配置されている。
　第４伝達機構７４は、第４モータ６４の動力を第４シャフト８３ａに伝達する。第４伝達機構７４は、歯車列を有している。歯車列は、図示は省略するが、回転シャフト６４ｂに同軸に取り付けられた第１歯車と、第４シャフト８３ａに同軸に取り付けられた第６歯車と、第１歯車の回転を第６歯車に伝達する複数の中間歯車とを含んでいる。歯車列は、ギアボックス７４ｇに収容される。ギアボックス７４ｇは、内部空間５０に配置されている。
　第４モータ６４が動作すると、回転シャフト６４ｂの回転が歯車列を介して第４シャフト８３ａに伝達する。第４モータ６４がハウジング５に固定されているので、第４シャフト８３ａが第４軸心Ｌ４回りに回転する。これにより、第１ハンド８Ａは、第３リンク３３に対して相対的に第４軸心Ｌ４回りに回転する。
　第５モータ６５は、ハウジング本体５１に固定されるモータ本体６５ａと、モータ本体６５ａから延びる回転シャフト６５ｂとを有している。例えば、第５モータ６５は、電動モータ、具体的にはサーボモータである。第５モータ６５は、回転シャフト６５ｂの回転位置又は回転量を検出するエンコーダ（図示省略）を有している。第５モータ６５は、回転シャフト６５ｂが水平方向（具体的には、第３リンク３３の長手方向）に延びる状態で内部空間５０に配置されている。
　第５伝達機構７５は、第５モータ６５の動力を第５シャフト８３ｂに伝達する。第５伝達機構７５は、歯車列を有している。歯車列は、図示は省略するが、回転シャフト６５ｂに同軸に取り付けられた第１歯車と、第５シャフト８３ｂに同軸に取り付けられた第６歯車と、第１歯車の回転を第６歯車に伝達する複数の中間歯車とを含んでいる。歯車列は、ギアボックス７５ｇに収容される。ギアボックス７５ｇは、内部空間５０に配置されている。
　第５モータ６５が動作すると、回転シャフト６５ｂの回転が歯車列を介して第５シャフト８３ｂに伝達する。第５モータ６５がハウジング５に固定されているので、第５シャフト８３ｂが第４軸心Ｌ４回りに回転する。これにより、第２ハンド８Ｂは、第３リンク３３に対して相対的に第４軸心Ｌ４回りに回転する。
　このような第３リンク３３では、仕切られていない内部空間５０内に２つのモータ６が収容される。第４モータ６４と第５モータ６５とは、第３リンク３３の幅方向に並んで配置されている。それに対応するように、第４伝達機構７４と第５伝達機構７５とは、第３リンク３３の幅方向に並んで配置されている。
　このように構成されたアーム３は、基台１に片持ち状に連結されると共に、回転変位及び変形する。そのため、各リンク３０にはアーム３の自重や慣性力が作用する。第１リンク３１は、第１収容室４０Ａと第２収容室４０Ｂとに内部空間４０を仕切る仕切壁４５を有するので、仕切壁４５を有しない構成と比較して、第１リンク３１の剛性（具体的には曲げ剛性又はねじり剛性）が高くなる。その結果、アーム３の位置精度、ひいては、ハンド８の位置精度を向上させることができる。
　特に、第１リンク３１は２つのモータ６（第１モータ６１及び第２モータ６２）を収容するので、第１リンク３１の自重が大きくなる。それに加えて、第１リンク３１は複数のリンク３０のうち基台１に最も近いリンク３０なので、第１リンク３１には、他のリンク３０及びハンド８の重量も作用する。さらに、第１リンク３１は、３本のリンク３０の中で最も長いので、撓みやすい。そのため、第１リンク３１の剛性を高めることは、アーム３全体の剛性にとって効果的である。
　詳しくは、仕切壁４５は、図４～６に示すように、天井壁４３及び底壁４４に連結されている。具体的には、天井壁４３、底壁４４及び仕切壁４５は、全体としてクランク状に屈曲した形状をしている。これにより、第１リンク３１の曲げ剛性及び／又はねじり剛性が向上する。さらに、仕切壁４５は、環状の外周壁４６の内部を横切るように配置され、外周壁４６の２か所に連結されている。これにより、外周壁４６の曲げ剛性及び／又はねじり剛性が向上し、その結果、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　それに加えて、仕切壁４５は、平面視で、第１リンク３１の幅方向に対して全体的に傾斜するように延びている。つまり、仕切壁４５が存在する領域が第１リンク３１の長手方向に長くなる。これにより、仕切壁４５によって剛性が補強される部分を、第１リンク３１の長手方向に拡大することができる。これにより、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　また、仕切壁４５は、屈曲部４５ｃを有している。これにより、仕切壁４５の剛性を向上させることができる。さらに、仕切壁４５は、複数の屈曲部４５ｃを有しているので、仕切壁４５の剛性はさらに向上する。その結果、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　さらに、仕切壁４５を平面視で第１リンク３１の幅方向に対して全体的に傾斜させることによって、第１リンク３１の内部空間４０のスペースを有効に活用することができる。詳しくは、仕切壁４５が平面視で第１リンク３１の幅方向に対して全体的に傾斜していることによって、仕切壁４５が第１リンク３１の幅方向に延びる構成と比較して、第１収容室４０Ａ及び第２収容室４０Ｂのそれぞれが第１リンク３１の長手方向に長い空間となる。第１シャフト２１ａとギアボックス７１ｇとが隣接し且つ、ギアボックス７１ｇと第１モータ６１とが隣接して配置されるので、第１シャフト２１ａ、ギアボックス７１ｇ及び第１モータ６１の占有スペースは全体的に細長くなる傾向にある。そのため、第１収容室４０Ａを第１リンク３１の長手方向に長い空間とすることによって、第１リンク３１の内部空間４０を有効に活用して、第１シャフト２１ａ、ギアボックス７１ｇ及び第１モータ６１を配置することができる。
　同様に、第２シャフト３４とギアボックス７２ｇとが隣接し且つ、ギアボックス７２ｇと第２モータ６２とが隣接して配置されるので、第２シャフト３４、ギアボックス７２ｇ及び第２モータ６２の占有スペースは全体的に細長くなる傾向にある。そのため、第２収容室４０Ｂを第１リンク３１の長手方向に長い空間とすることによって、第１リンク３１の内部空間４０を有効に活用して、第２シャフト３４、ギアボックス７２ｇ及び第２モータ６２を配置することができる。
　以上のように、ロボット１００は、基台１と、水平方向に回転可能に基台１に連結され且つ、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンク３０で構成されたアーム３と、水平方向に回転可能にアーム３に連結されたハンド８（エンドエフェクタ）とを備え、複数のリンク３０の少なくとも１つのリンクである第１リンク３１には、内部空間４０が形成され、第１リンク３１は、部品がそれぞれ収容される２つの収容室、即ち、第１収容室４０Ａと第２収容室４０Ｂとに内部空間４０を仕切る仕切壁４５を有する。
　この構成によれば、仕切壁４５が第１リンク３１の剛性を向上させる。詳しくは、第１リンク３１は、部品を収容する内部空間４０を有し、中空状に形成されている。内部空間４０は、部品を収容する２つの収容室、即ち、第１収容室４０Ａと第２収容室４０Ｂとに仕切壁４５によって仕切られている。内部空間４０を第１収容室４０Ａと第２収容室４０Ｂとに仕切ることによって、各種部品を整然と収容しやすくなる。つまり、各種部品を単一の空間に収容する場合と比べて、各種部品を複数の収容室に分けて、即ち、整理して収容することができる。また、ロボット１００の組立時においても、各種部品を単一の空間に配置する場合と比べて、複数の収容室が設けられていることによって各種部品の配置場所がわかりやすくなり、組立も容易になる。それに加えて、仕切壁４５は、中空状の第１リンク３１において、強度部材として機能する。その結果、仕切壁４５を有しない構成と比較して、第１リンク３１の剛性、即ち、曲げ剛性又はねじり剛性を向上させることができる。
　また、部品は、複数のリンク３０及びハンド８を回転駆動する複数のモータ６を含み、第１収容室４０Ａ及び第２収容室４０Ｂのそれぞれは、複数のモータ６のうちの１つのモータ６を収容する。
　具体的には、第１収容室４０Ａは、第１モータ６１を収容し、第２収容室４０Ｂは、第２モータ６２を収容する。
　この構成によれば、第１リンク３１は、２つのモータ６を収容するので、第１リンク３１の全体の重量が大きくなる。そのため、第１リンク３１に仕切壁４５を設けて剛性を向上させることは、非常に有効である。
　また、第１リンク３１は、内部空間４０の少なくとも一部を区画し、鉛直方向に離れた天井壁４３及び底壁４４を有し、仕切壁４５は、天井壁４３から底壁４４まで延びている。
　この構成によれば、天井壁４３と底壁４４とが仕切壁４５によって連結される。これにより、天井壁４３、底壁４４及び仕切壁４５の全体としての剛性が向上する。その結果、第１リンク３１の剛性が向上する。
　さらに、底壁４４は、２つの収容室の一方の収容室である第１収容室４０Ａの下部を区画し、第１収容室４０Ａは、上方に開口するように形成され、天井壁４３は、２つの収容室の他方の収容室である第２収容室４０Ｂの上部を区画し、第２収容室４０Ｂは、下方に開口するように形成されている。
　この構成によれば、一方の収容室は上方に開口し、他方の収容室は下方に開口する。天井壁４３から底壁４４まで延びる仕切壁４５によれば、そのような構成の収容室を実現し易い。
　また、第１リンク３１は、第１リンク３１の外形を区画するハウジング４を有し、ハウジング４は、天井壁４３及び底壁４４が形成されたハウジング本体４１を有し、仕切壁４５は、ハウジング本体４１と単一部材で形成されている。
　この構成によれば、ハウジング本体４１と仕切壁４５とが単一部材で形成されているので、仕切壁４５がハウジング本体４１に取り付けられる構成と比較して、ハウジング本体４１と仕切壁４５との結合が強固になる。その結果、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　第１リンク３１は、平面視における第１リンク３１の外形を区画し、環状に形成された外周壁４６を有し、仕切壁４５は、外周壁４６の内側を横切って延び、外周壁４６の少なくとも２か所に連結されている。
　この構成によれば、仕切壁４５によって外周壁４６の剛性が向上する。その結果、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　仕切壁４５は、屈曲するように形成された屈曲部４５ｃを有する。
　この構成によれば、仕切壁４５が平坦に形成されている場合に比べて、仕切壁４５の剛性が向上する。仕切壁４５自体の剛性が向上するので、第１リンク３１の剛性がさらに向上する。
　複数のリンク３０は、３本のリンク３０である。
　この構成によれば、１本又は２本のリンクで形成されたアームと比較して、エンドエフェクタの位置精度が低下しやすい。３本のリンク３０のうちの１つである第１リンク３１の剛性を向上させることによって、エンドエフェクタの位置精度を向上させることができる。つまり、３本のリンク３０で構成されたアーム３においては、仕切壁４５によってアーム３の剛性を向上させることが特に有効となる。
　さらに、第１リンク３１は、複数のリンク３０のうち基台１に連結されたリンクである。
　この構成によれば、第１リンク３１には、他のリンク３０及びハンド８の重量も作用する。そのため、第１リンク３１の剛性を高めることは、アーム３全体の剛性を向上させる上で効果的である。
　ハンド８は、エンドエフェクタの一例であり、基板Ｓを保持する。
　この構成によれば、ロボット１００は、基板Ｓを搬送する。アーム３の剛性を向上させることによって、基板Ｓの位置精度を向上させることができる。
　ハンド８は、基板Ｓとして半導体ウェハを保持し、アーム３及びハンド８は、半導体ウェハを収容する容器であるフープ１２１Ａと半導体ウェハを処理する処理装置１２１Ｂとの間で半導体ウェハを搬送する。
　この構成によれば、ロボット１００は、フープ１２１Ａと処理装置１２１Ｂとの間で半導体ウェハを搬送する。半導体ウェハは繊細であり且つ半導体ウェハの処理は精細であるため、半導体ウェハの搬送においては高い位置精度が求められる。そのため、アーム３の剛性を向上させることが特に有効となる。
　基板搬送システム１１０は、筐体１１１と、筐体１１１内に配置されたロボット１００とを備え、ロボット１００は、筐体１１１に隣接して配置され且つ基板Ｓを収容するフープ１２１Ａと、筐体１１１に隣接して配置され且つ基板Ｓを処理する処理装置１２１Ｂとの間で基板Ｓを搬送する。
　この構成によれば、基板Ｓをフープ１２１Ａと処理装置１２１Ｂとの間で搬送する基板搬送システム１１０にロボット１００が組み込まれている。ロボット１００はアーム３の剛性が高いので、基板搬送システム１１０は、高い位置精度で基板Ｓを搬送することができる。
　《その他の実施形態》
　以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
　例えば、ロボット１００は、基板搬送システム１１０に組み込まれているが、これに限定されない。ロボット１００は、半導体を処理できる程度のクリーン環境での使用に限定されるものではない。ロボット１００は、生産ライン等に組み込まれてもよい。
　基板搬送システム１１０は、基板処理設備１２０に組み込まれていなくてもよい。つまり、基板搬送システム１１０は、筐体１１１内でロボット１００が基板Ｓを搬送する限り、任意の構成を採用し得る。基板Ｓの移動元及び移動先は、フープ１２１Ａ及び処理装置１２１Ｂに限定されない。
　アーム３の分割数、即ち、リンク３０の個数は、３に限定されない。アーム３は、２又は４以上のリンク３０で構成されていてもよい。
　エンドエフェクタは、ハンド８に限定されない。例えば、エンドエフェクタは、塗装用ツール又は溶接用ツールであってもよい。エンドエフェクタがハンド８の場合であっても、ハンド８が保持する対象物は、基板に限定されない。また、ハンド８の個数（即ち、エンドエフェクタの個数）は、２つに限定されず、１又は３以上であってもよい。
　ロボット１００は、リンク３０及びハンド８の合計と同数のモータ６を有しているが、モータ６の個数は、リンク３０及びハンド８の合計と同数でなくてもよい。例えば、１つのモータ６が２つのリンク３０を回転駆動してもよい。
　２つのモータ６を収容し、仕切壁４５を有するリンク３０は、第１リンク３１以外のリンク３０であってもよい。第２リンク３２又は第３リンク３３が仕切壁を有し、２つのモータ６を収容してもよい。
　前述のように、第３リンク３３が２つのモータ６（第４モータ６４及び第５モータ６５）を収容する構成においては、第３リンク３３が仕切壁を有していてもよい。例えば、ハウジング本体５１は、第４モータ６４が収容される収容室と第５モータ６５が収容される収容室とに内部空間５０を仕切る仕切壁を有していてもよい。図７の構成においては、第３リンク３３の幅方向中央において第３リンク３３の長手方向に延びるように仕切壁を設けることができる。この仕切壁は、天井壁５３に連結され得る。
　また、仕切壁によって仕切られた２つの収容室に収容されるモータ６は、第１モータ６１及び第２モータ６２に限定されず、複数のモータ６のうちの何れか２つのモータ６であればよい。さらには、２つの収容室に収容される部品は、モータ６に限定されない。ハーネス等の、アーム３等の駆動に関連する部品やアーム３等の動作の検出に関連する部品がそれぞれの収容室に収容されてもよい。
　仕切壁は、２つの収容室を仕切っていれば、任意の構成を採用することができる。例えば、仕切壁によって仕切られる２つの収容室は、部分的に連通していてもよい。つまり、２つの収容室は、完全に遮断されていなくてもよい。
　仕切壁４５は、天井壁４３、底壁４４及び外周壁４６の少なくとも１つに連結されていればよい。例えば、仕切壁４５は、底壁４４だけに連結され、天井壁４３及び外周壁４６に連結されていなくてもよい。この場合、仕切壁４５は、底壁４４の剛性を向上させ、その結果、第１リンク３１の剛性を向上させる。あるいは、仕切壁４５は、天井壁４３及び底壁４４には連結されず、外周壁４６に連結されていてもよい。
　仕切壁４５は、内部空間４０を少なくとも２つの収容室に仕切っていればよく、２つの収容室を含む３つ以上の空間に内部空間４０を仕切っていてもよい。
　また、仕切壁４５は、屈曲部４５ｃを有さず、平坦な形状であってもよい。仕切壁４５は、リンク３０の長手方向又は幅方向に延びていてもよい。
　仕切壁４５は、ハウジング本体４１と別体で形成され、溶接又はネジ締結等によってハウジング本体４１に連結されてもよい。そのような構成であっても、仕切壁４５によってハウジング本体４１の剛性が向上する。
　仕切壁４５を含むハウジング本体４１の単一部材での形成は、削り出しに限定されない。例えば、ハウジング本体４１は鋳造によって形成されてもよい。
　基板Ｓは、半導体基板及びガラス基板などの半導体デバイスの基板の材料となる薄板であり得る。半導体基板としては、例えば、シリコン基板、サファイヤ基板等がある。ガラス基板としては、例えば、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）用ガラス基板等がある。
　以上説明したように、ここに開示された技術は、水平多関節ロボット及びそれを備えた基板搬送システムについて有用である。
１００　　水平多関節ロボット
１１０　　基板搬送システム
３　　　　アーム
３０　　　リンク
３１　　　第１リンク
４０　　　内部空間
４０Ａ　　第１収容室（収容室）
４０Ｂ　　第２収容室（収容室）
４３　　　天井壁
４４　　　底壁
４５　　　仕切壁
４６　　　外周壁
６　　　　モータ
６１　　　第１モータ
６２　　　第２モータ
８　　　　ハンド（エンドエフェクタ）
１１１　　筐体
１２１Ａ　フープ（容器）
１２１Ｂ　処理装置

Claims (12)

  1. 　基台と、
    　水平方向に回転可能に前記基台に連結され且つ、互いに水平方向に回転可能に連結された複数のリンクで構成されたアームと、
    　水平方向に回転可能に前記アームに連結されたエンドエフェクタとを備え、
    　前記複数のリンクの少なくとも１つのリンクには、内部空間が形成され、
    　前記少なくとも１つのリンクは、部品がそれぞれ収容される２つの収容室に前記内部空間を仕切る仕切壁を有する水平多関節ロボット。
  2. 　請求項１に記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記部品は、前記複数のリンク及び前記エンドエフェクタを回転駆動する複数のモータを含み、
    　前記２つの収容室のそれぞれは、前記複数のモータのうちの１つのモータを収容する水平多関節ロボット。
  3. 　請求項１又は２に記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記少なくとも１つのリンクは、前記内部空間の少なくとも一部を区画し、鉛直方向に離れた天井壁及び底壁を有し、
    　前記仕切壁は、前記天井壁から前記底壁まで延びている水平多関節ロボット。
  4. 　請求項３に記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記底壁は、前記２つの収容室の一方の収容室の下部を区画し、
    　前記一方の収容室は、上方に開口するように形成され、
    　前記天井壁は、前記２つの収容室の他方の収容室の上部を区画し、
    　前記他方の収容室は、下方に開口するように形成されている水平多関節ロボット。
  5. 　請求項３又は４に記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記少なくとも１つのリンクは、前記少なくとも１つのリンクの外形を区画するハウジングを有し、
    　前記ハウジングは、前記天井壁及び前記底壁が形成されたハウジング本体を有し、
    　前記仕切壁は、前記ハウジング本体と単一部材で形成されている水平多関節ロボット。
  6. 　請求項１乃至３の何れか１つに記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記少なくとも１つのリンクは、平面視における前記少なくとも１つのリンクの外形を区画し、環状に形成された外周壁を有し、
    　前記仕切壁は、前記外周壁の内側を横切って延び、前記外周壁の少なくとも２か所に連結されている水平多関節ロボット。
  7. 　請求項１乃至６の何れか１つに記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記仕切壁は、屈曲するように形成された屈曲部を有する水平多関節ロボット。
  8. 　請求項１乃至７の何れか１つに記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記複数のリンクは、３本のリンクである水平多関節ロボット。
  9. 　請求項１乃至８の何れか１つに記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記少なくとも１つのリンクは、前記複数のリンクのうち前記基台に連結されたリンクである水平多関節ロボット。
  10. 　請求項１乃至９の何れか１つに記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記エンドエフェクタは、基板を保持するハンドである水平多関節ロボット。
  11. 　請求項１０に記載の水平多関節ロボットにおいて、
    　前記ハンドは、基板として半導体ウェハを保持し、
    　前記アーム及び前記ハンドは、半導体ウェハを収容する容器と半導体ウェハを処理する処理装置との間で半導体ウェハを搬送する水平多関節ロボット。
  12. 　筐体と、
    　前記筐体内に配置された請求項１乃至１１の何れか１つに記載の水平多関節ロボットとを備え、
    　前記水平多関節ロボットは、前記筐体に隣接して配置され且つ基板を収容する容器と、前記筐体に隣接して配置され且つ基板を処理する処理装置との間で基板を搬送する基板搬送システム。

     
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