WO2021112079A1 - Dispositif d'analyse de fluorescence par rayons x - Google Patents

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Abstract

Afin de fournir un dispositif d'analyse de fluorescence par rayons X dans lequel l'influence de rayons X diffusés est peu susceptible d'apparaître dans la sortie d'un détecteur, la limite de détection inférieure de la fluorescence par rayons X générée à partir d'éléments légers tels que le silicium (Si) est réduite et il est ainsi possible de mesurer avec précision leur concentration. L'invention concerne un dispositif d'analyse de fluorescence par rayons X (100) pour analyser un échantillon liquide (LS) contenant un premier élément à mesurer et un second élément ayant un nombre atomique plus grand que le premier élément comprenant : une source de rayons X (1) qui émet des premiers rayons X ; une cible secondaire (3) qui est excitée par les premiers rayons X et génère des seconds rayons X, ladite cible secondaire (3) étant prévue de telle sorte que les seconds rayons X soient incidents sur l'échantillon liquide (LS) ; un détecteur (6) pour détecter une fluorescence par rayons X générée par les seconds rayons X incidents sur l'échantillon liquide (LS) ; et un calculateur de concentration (7) qui utilise la sortie du détecteur (6) en tant que base pour détecter la concentration du premier élément dans l'échantillon liquide (LS), ledit dispositif d'analyse de fluorescence par rayons X (100) étant configuré de telle sorte qu'un centre d'irradiation qui est l'intersection de l'axe optique d'irradiation (LA) des seconds rayons X avec la surface d'échantillon (SP) de l'échantillon liquide (LS) et un centre de champ visuel qui est l'intersection de l'axe optique de détection (DA) du détecteur (6) avec la surface d'échantillon (SP) soient séparés dans la surface d'échantillon (SP).
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