WO2021100590A1 - 流路デバイス、流路デバイスの製造方法、計測用流路デバイスおよび検査装置 - Google Patents

流路デバイス、流路デバイスの製造方法、計測用流路デバイスおよび検査装置 Download PDF

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WO2021100590A1
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path device
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resin
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雄治 増田
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京セラ株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to a flow path device, a method for manufacturing a flow path device, a flow path device for measurement, and an inspection device.
  • a device having a flow path for separating specific fine particles in a fluid (also referred to as a first flow path device) is known (see, for example, the description of International Publication No. 2019/151150).
  • This first flow path device has a fine flow path that matches the diameter of the fine particles.
  • a device also referred to as a second flow path device in which a device (also referred to as a second flow path device) including a flow path for inspecting specific fine particles separated and collected by the first flow path device is connected to the first flow path device (also referred to as a second flow path device).
  • Also known also referred to as a measurement channel device
  • a device (also referred to as an inspection device) having the measurement flow path device and a sensor for measuring specific fine particles in the measurement flow path device is also known (for example, International Publication No. 2019/151150). See description).
  • the flow path device the manufacturing method of the flow path device, the flow path device for measurement, and the inspection device are disclosed.
  • the flow path device includes a first part and a second part.
  • the first portion has a first surface and a second surface opposite to the first surface.
  • the second portion has a third surface in a state of being joined to the second surface and a fourth surface opposite to the third surface.
  • the first portion has a first main body portion made of resin and a first reinforcing portion that is harder than the first main body portion.
  • the first main body portion is integrally formed with a first outer surface portion having the first surface, a first bonded portion having the second surface, and the first outer surface portion and the first bonded portion. Includes one or more first connected portions that are in a state of connecting the portions.
  • the first bonded portion has a groove pattern in a state in which a first flow path is formed on the second surface.
  • the first reinforcing portion is in a state of being sandwiched between the first outer surface portion and the first joined portion and adhered to each of the first outer surface portion and the first joined portion. Moreover, when viewed in a plan view toward the first surface, it includes one or more first protruding portions that are in a state of projecting from the first main body portion in a direction along the first surface.
  • the one or more first protruding portions include a first specific shape portion and a second specific shape portion at positions different from each other when viewed in a plan view toward the first surface.
  • the second portion has a second main body portion made of resin and a second reinforcing portion that is harder than the second main body portion.
  • the second main body portion is integrally formed with a second outer surface portion having the fourth surface, a second bonded portion having the third surface, and the second outer surface portion and the second bonded portion. It includes one or more second connecting portions that are connected to the portions, penetrates from the third surface to the fourth surface, and is connected to the first flow path. It has a plurality of through holes in the state.
  • the second reinforcing portion is sandwiched between the second outer surface portion and the second bonded portion, and is in a state of being adhered to each of the second outer surface portion and the second bonded portion.
  • the fourth surface when viewed in a plan view toward the fourth surface, it includes one or more second protruding portions that are in a state of projecting from the second main body portion in a direction along the fourth surface.
  • the one or more second projecting portions include a third specific shape portion and a fourth specific shape portion at positions different from each other when viewed in a plane toward the fourth surface.
  • One aspect of the method for manufacturing a flow path device includes (a) a step of manufacturing a first portion having a first surface and a second surface opposite to the first surface by resin molding, and (b) a third surface and A step of producing a second portion having a fourth surface opposite to the third surface by resin molding, and (c) joining the second surface of the first part and the third surface of the second part. It has a step of manufacturing a flow path device by the above.
  • the first portion has a first main body portion made of resin and a first reinforcing portion harder than the first main body portion.
  • the first main body portion is integrally configured with the first outer surface portion having the first surface, the first bonded portion having the second surface, and the first outer surface portion and the first bonded portion.
  • the first bonded portion has a groove pattern on the second surface.
  • the first reinforcing portion is attached to each of the first outer surface portion and the first joined portion in a state of being sandwiched between the first outer surface portion and the first joined portion, and the first surface thereof is attached to each of the first outer surface portion and the first joined portion.
  • the first portion is made of resin so as to include the first specific shape portion and the second specific shape portion at different positions.
  • the second portion has a second main body portion made of resin and a second reinforcing portion that is harder than the second main body portion.
  • the second main body portion is integrally configured with the second outer surface portion having the fourth surface, the second bonded portion having the third surface, and the second outer surface portion and the second bonded portion. It includes one or more second connecting portions that are in a state of connecting the portions, and has a plurality of through holes that are in a state of penetrating from the third surface to the fourth surface.
  • the second reinforcing portion is sandwiched between the second outer surface portion and the second bonded portion, and is adhered to each of the second outer surface portion and the second bonded portion, and the fourth Includes one or more second protruding portions that are in a state of protruding from the second main body portion in a direction along the fourth surface when viewed in a plan view toward a surface.
  • the second portion is made of resin so as to include the third specific shape portion and the fourth specific shape portion at different positions. Made by molding.
  • the positions of the first portion and the second portion using the first specific shape portion, the second specific shape portion, the third specific shape portion, and the fourth specific shape portion.
  • One aspect of the flow path device for measurement includes a first flow path device including the flow path device of the above aspect, and a second flow path device.
  • the plurality of through holes include a through hole having a first opening located on the fourth surface.
  • the second flow path device has a fifth surface and a sixth surface opposite to the fifth surface, and is located inside and has a second opening on the fifth surface.
  • a light transmitting portion in which light from at least the area to be measured in the second flow path is transmitted to the outside of the second flow path device.
  • the first opening and the second opening are connected to each other.
  • One aspect of the inspection device includes the measurement flow path device of the above aspect, and a sensor unit that receives light that has passed through the light transmitting portion from the measured region.
  • FIG. 1A is a plan view showing an example of a measurement flow path device according to the first embodiment.
  • FIG. 1 (b) is a diagram showing an example of a virtual cut surface along the Ib-Ib line of the measurement flow path device of FIG. 1 (a).
  • FIG. 2A is a plan view showing an example of the first flow path device according to the first embodiment.
  • FIG. 2B is a front view showing an example of the first flow path device according to the first embodiment.
  • FIG. 3A is a plan view showing an example of the configuration of the first flow path.
  • FIG. 3B is an enlarged plan view showing a portion IIIb of the first flow path of FIG. 3A.
  • FIG. 4 is a flow chart showing an example of the manufacturing flow of the first flow path device according to the first embodiment.
  • FIG. 5A is a plan view showing an example of the lower part of the first mold used for manufacturing the first portion of the first flow path device.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the Vb-Vb line of the lower part of the first mold of FIG. 5A.
  • FIG. 6A is a plan view showing an example of the state of the first part during manufacturing.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the VIb-VIb line in the state of the first part of FIG. 6A during manufacturing.
  • FIG. 7A is a plan view showing an example of the state of the first part during manufacturing.
  • FIG. 7B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the line VIIb-VIIb in the state of the first part of FIG. 7A during manufacturing.
  • FIG. 8A is a plan view showing an example of the state of the first part during manufacturing.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the line VIIIb-VIIIb in the state of the first part of FIG. 8A during the manufacturing process.
  • FIG. 9A is a plan view showing an example of the state of the first part during manufacturing.
  • FIG. 9B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the IXb-IXb line in the state of the first part of FIG. 9A during manufacturing.
  • FIG. 10A is a plan view showing an example of the first part according to the first embodiment.
  • FIG. 10B is a front view showing an example of the first part according to the first embodiment.
  • FIG. 11A is a plan view showing an example of the lower part of the second mold used for manufacturing the second portion of the first flow path device.
  • FIG. 11B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the line XIb-XIb of the lower part of the second mold of FIG. 11A.
  • FIG. 12A is a plan view showing an example of the state of the second part during manufacturing.
  • FIG. 12 (b) is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the line XIIb-XIIb in the state of the second part of FIG.
  • FIG. 13A is a plan view showing an example of the state of the second part during manufacturing.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the XIIIb-XIIIb line in the state of the second part of FIG. 13A during the manufacturing process.
  • FIG. 14A is a plan view showing an example of the state of the second part during manufacturing.
  • FIG. 14 (b) is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the XIVb-XIVb line in the state of the second part of FIG. 14 (a) during manufacturing.
  • FIG. 15A is a plan view showing an example of the state of the second part during manufacturing.
  • FIG. 15 (b) is a cross-sectional view showing an example of a virtual cross section along the XVb-XVb line in the state of the second part of FIG. 15 (a) during manufacturing.
  • FIG. 16A is a plan view showing an example of the second part according to the first embodiment.
  • FIG. 16B is a front view showing an example of the second part according to the first embodiment.
  • 17 (a) to 17 (c) are front views showing how the first portion and the second portion are joined.
  • FIG. 18 is an enlarged view showing a virtual cut surface in the XVIII portion of the measurement flow path device of FIG. 1 (b).
  • FIG. 19 is a plan view showing an example of the second flow path device according to the first embodiment.
  • FIG. 20 is an enlarged plan view showing the XX portion of the second flow path device of FIG.
  • FIG. 21 is a diagram showing an example of a virtual cut surface at a position corresponding to a position along the line Ib-Ib of FIG. 1A in the inspection device according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a block diagram schematically showing an example of the configuration of the inspection device according to the second embodiment.
  • FIG. 23A is a plan view showing a first portion according to a first example of the third embodiment.
  • FIG. 23B is a plan view showing a second part according to the first example of the third embodiment.
  • FIG. 24A is a plan view showing a first portion according to a second example of the third embodiment.
  • FIG. 24B is a plan view showing a second portion according to a second example of the third embodiment.
  • FIG. 25A is a plan view showing a first portion according to a third example of the third embodiment.
  • FIG. 25B is a plan view showing a second part according to a third example of the third embodiment.
  • FIG. 26A is a plan view showing a first portion according to a fourth example of the third embodiment.
  • FIG. 26B is a plan view showing a second part according to a fourth example of the third embodiment.
  • FIG. 27A is a plan view showing a first portion according to a fifth example of the third embodiment.
  • FIG. 27B is a plan view showing a second part according to a fifth example of the third embodiment.
  • FIG. 28 is an enlarged cross-sectional view showing the XXVIII portion of the lower part of the second mold of FIG. 11 (b).
  • FIG. 29 is a plan view showing a second flow path device according to a modified example.
  • FIG. 30 is an enlarged plan view showing the XXX portion of the second flow path device of FIG. 29.
  • FIG. 31 is an enlarged view showing a virtual cut surface at a position corresponding to the XVIII portion of the measurement flow path device of FIG. 1 (b) among the measurement flow path devices according to one modification.
  • a device (first flow path device) for separating and recovering specific fine particles in a fluid by a fine flow path branched according to the diameter of the specific fine particles is known. Further, a device (measurement flow path device) in which the first flow path device and a device having a flow path for measuring specific fine particles (second flow path device) are connected is also known. Further, a device (inspection device) having this measurement flow path device and a sensor for measuring specific fine particles is also known.
  • the first flow path device has, for example, a sheet-shaped or plate-shaped member (also referred to as a first member) having irregularities corresponding to a fine flow path, and a plurality of through holes connected to the flow path. It can be manufactured by joining a sheet-shaped or plate-shaped member (also referred to as a second member).
  • PDMS polydimethylsiloxane
  • the transferability is a property that enables the formation of fine irregularities according to the fine pattern of the mold in the resin molded product when the resin is molded using the mold. Therefore, by manufacturing the first member by resin molding using PDMS, a flow path device having a fine flow path can be easily manufactured.
  • the sheet-shaped or plate-shaped resin molded product molded using a resin having excellent transferability such as PDMS is very soft and can be easily bent by simply grasping and lifting both ends. Therefore, for example, when joining the first member and the second member, it is not easy to align the first member and the second member.
  • Such a problem is not limited to the flow path device for measurement and the flow path device applied to the inspection device, and is generally common to devices having a flow path (also referred to as a flow path device).
  • the inventor of the present disclosure has created a technique capable of easily manufacturing a flow path device, a flow path device for measurement, and an inspection device with high accuracy.
  • FIGS. 1 (a) to 3 (b), FIGS. 5 (a) to 21 and 23 (a) to 31 A right-handed XYZ coordinate system is attached to FIGS. 1 (a) to 3 (b), FIGS. 5 (a) to 21 and 23 (a) to 31.
  • the longitudinal direction of the first upper surface 1fs of the first flow path device 1 is the + X direction
  • the lateral direction of the first upper surface 1fs of the first flow path device 1 is the + Y direction
  • the + X direction is the normal direction of the first upper surface 1 fs, which is a direction orthogonal to both the + Y direction.
  • the measurement flow path device 100 allows a fluid as a sample to flow through a flow path in the measurement flow path device 100 to remove specific fine particles which are specific components in the sample. It is possible to separate and recover the components of the above, and to measure the specific fine particles.
  • blood is applied to the fluid.
  • leukocytes are applied to the specific fine particles.
  • Other microparticles, such as red blood cells are applied to the other components. For example, measurement of the number of white blood cells contained in blood is applied to the measurement.
  • the measurement flow path device 100 includes, for example, a first flow path device 1 and a second flow path device 2. I have.
  • the first flow path device 1 has, for example, a plate-shaped small chip (also referred to as a microchip).
  • the first flow path device 1 has, for example, a substantially rectangular surface (also referred to as a first upper surface) 1 fs and a surface (also referred to as a first lower surface) 1 bs opposite to the first upper surface 1 fs.
  • the first upper surface 1 fs faces the + Z direction.
  • the first upper surface 1fs has a normal along the + Z direction.
  • the first lower surface 1bs is oriented in the ⁇ Z direction. In other words, the first lower surface 1bs has a normal along the ⁇ Z direction.
  • Each of the first upper surface 1fs and the first lower surface 1bs is, for example, flat.
  • the thickness of the first flow path device 1 is, for example, about 1 mm (mm) to 5 mm.
  • the length of the short side is about 10 mm to 30 mm, and the length of the long side is about 10 mm to 50 mm.
  • the second flow path device 2 has, for example, a plate-like shape larger than that of the first flow path device 1.
  • the second flow path device 2 has, for example, a substantially rectangular surface (also referred to as a second upper surface) 2fs and a surface (also referred to as a second lower surface) 2bs opposite to the second upper surface 2fs.
  • the second upper surface 2fs faces the + Z direction.
  • the second upper surface 2fs has a normal along the + Z direction.
  • the second lower surface 2bs is oriented in the ⁇ Z direction. In other words, the second lower surface 2bs has a normal along the ⁇ Z direction.
  • Each of the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs is, for example, flat.
  • the thickness of the second flow path device 2 is, for example, about 0.5 mm to 5 mm.
  • the length of the short side is about 10 mm to 30 mm, and the length of the long side is about 20 mm to 50 mm.
  • the first flow path device 1 is located, for example, on the second upper surface 2fs of the second flow path device 2.
  • the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 and the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 are in a state of facing each other.
  • the first flow path device 1 can, for example, collect specific fine particles as a specific component contained in a fluid as a sample separately from other components.
  • the first flow path device 1 has, for example, a first flow path 1f.
  • specific fine particles contained in the fluid can be separated from other components and recovered.
  • the first flow path device 1 has, for example, a first portion 11 and a second portion 12.
  • Each of the first portion 11 and the second portion 12 has, for example, a plate-like shape.
  • Each of the first portion 11 and the second portion 12 has a thickness of, for example, about 0.5 mm to several mm.
  • the first portion 11 has, for example, a first surface 11fs and a second surface 11bs opposite to the first surface 11fs.
  • the first surface 11fs faces the + Z direction.
  • the first surface 11fs has a normal along the + Z direction.
  • the second surface 11bs faces the ⁇ Z direction.
  • the second surface 11bs has a normal along the ⁇ Z direction.
  • the second portion 12 has, for example, a third surface 12fs and a fourth surface 12bs opposite to the third surface 12fs.
  • the third surface 12fs faces the + Z direction.
  • the third surface 12fs has a normal along the + Z direction.
  • the fourth surface 12bs faces the ⁇ Z direction.
  • the fourth surface 12bs has a normal along the ⁇ Z direction.
  • the second surface 11bs of the first portion 11 is in a state of being joined to the third surface 12fs of the second portion 12.
  • the second surface 11bs and the third surface 12fs are flat, respectively.
  • the joining of the second surface 11bs and the third surface 12fs can be realized without using an adhesive by, for example, surface modification of the second surface 11bs and the third surface 12fs.
  • irradiation with oxygen plasma or irradiation with ultraviolet (UV) light using an excimer lamp can be applied.
  • the first portion 11 has, for example, a first main body portion 11b and a first reinforcing portion 11r.
  • the first main body 11b is made of resin.
  • a silicone resin such as polydimethylsiloxane (PDMS) or a flexible resin such as a polyimide resin is applied.
  • the first main body portion 11b includes, for example, an integrally configured first outer surface portion 11b1, a first bonded portion 11b2, and one or more first connecting portions 11b3.
  • the first outer surface portion 11b1 has, for example, the first surface 11fs.
  • the first outer surface portion 11b1 is a plate-shaped or sheet-shaped portion located on the first surface 11fs side of the first reinforcing portion 11r.
  • the first bonded portion 11b2 has, for example, a second surface 11bs.
  • the first bonded portion 11b2 is a plate-shaped or sheet-shaped portion located on the second surface 11bs side of the first reinforcing portion 11r.
  • the first bonded portion 11b2 has, for example, 1pt of a groove pattern (also referred to as a groove pattern) in a state of forming the first flow path 1f on the second surface 11bs.
  • a groove pattern also referred to as a groove pattern
  • the groove pattern 1pt and the third surface 12fs form the first flow path 1f. It is in the configured state.
  • One or more first connecting portions 11b3 are in a state of connecting the first outer surface portion 11b1 and the first joined portion 11b2.
  • one or more first connecting portions 11b3 have four first connecting portions 11b3.
  • Each of the first connecting portions 11b3 is located inside the hole portion H1 in the first reinforcing portion 11r which is in a state of penetrating in the thickness direction (+ Z direction).
  • the first connecting portion 11b3 is located inside each of the four holes H1 of the first reinforcing portion 11r.
  • the first reinforcing portion 11r is harder than the first main body portion 11b. From another point of view, the first reinforcing portion 11r has higher rigidity than, for example, the first main body portion 11b.
  • a resin such as acrylic (PMMA) or polycarbonate having high rigidity, metal, ceramics, or the like is applied.
  • a plate-shaped member having a plate surface along the XY plane is applied to the first reinforcing portion 11r.
  • the first reinforcing portion 11r is, for example, attached to each of the first outer surface portion 11b1 and the first joined portion 11b2 in a state of being sandwiched between the first outer surface portion 11b1 and the first joined portion 11b2.
  • the first reinforcing portion 11r is formed of the first outer surface portion 11b1 and the first bonded portion 11b2. Each can be adhered.
  • the first reinforcing portion 11r includes, for example, one or more first protruding portions 11p.
  • One or more first protruding portions 11p are in a state of protruding from the first main body portion 11b in a direction along the first surface 11fs, for example, when viewed in a plan view toward the first surface 11fs.
  • one or more first protruding portions 11p include two first protruding portions 11p. More specifically, one or more first protruding portions 11p include a first A protruding portion 11p1 and a first B protruding portion 11p2.
  • the first A protruding portion 11p1 is in a state of protruding from the first main body portion 11b in the ⁇ X direction.
  • the first B protruding portion 11p2 is in a state of protruding from the first main body portion 11b in the + X direction.
  • One or more first protruding portions 11p have portions having two specific shapes (also referred to as specific shape portions) at positions different from each other when viewed in a plane toward the first surface 11fs, for example.
  • the one or more first protruding portions 11p are, for example, a specific shape portion having a first specific shape (also referred to as a first specific shape portion) and a specific shape portion having a second specific shape (first specific shape portion). (Also referred to as a specific shape portion).
  • the specific shape portion has a first penetration that penetrates in the direction along the Z axis and has a circular cross section perpendicular to the penetration direction (+ Z direction).
  • the hole 11h is applied. More specifically, the first A protruding portion 11p1 has a first A through hole portion 11h1 as a first specific shape portion.
  • the first B protruding portion 11p2 has a first B through hole portion 11h2 as a second specific shape portion.
  • the first reinforcing portion 11r is positioned so as to pass between the integrally configured resin first main body portion 11b.
  • the first main body portion 11b can be lifted by grasping both ends of the first main body portion 11b. It is assumed that the 11b is bent and the shape of the first main body portion 11b is deformed.
  • the first portion 11 according to the first embodiment for example, due to the presence of the first reinforcing portion 11r, even if both ends of the first portion 11 are gripped and lifted, the first main body portion 11b is less likely to bend.
  • the shape of the first main body 11b does not easily collapse. This can facilitate, for example, the handling of the first portion 11. As a result, for example, when joining the first portion 11 and the second portion 12, the alignment of the first portion 11 and the second portion 12 may be facilitated.
  • the second portion 12 has, for example, a second main body portion 12b and a second reinforcing portion 12r.
  • the second main body 12b is made of resin.
  • a silicone resin such as polydimethylsiloxane (PDMS) or a flexible resin such as a polyimide resin is applied.
  • the second main body portion 12b includes, for example, a second outer surface portion 12b1 integrally configured, a second bonded portion 12b2, and one or more second connecting portions 12b3.
  • the second outer surface portion 12b1 has, for example, a fourth surface 12bs.
  • the second outer surface portion 12b1 is a plate-shaped or sheet-shaped portion located on the fourth surface 12bs side of the second reinforcing portion 12r.
  • the second bonded portion 12b2 has, for example, a third surface 12fs.
  • the second bonded portion 12b2 is a plate-shaped or sheet-shaped portion located on the third surface 12fs side of the second reinforcing portion 12r.
  • One or more second connecting portions 12b3 are in a state of connecting the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2.
  • one or more second connecting portions 12b3 have four second connecting portions 12b3.
  • Each of the second connecting portions 12b3 is located inside the hole portion H2 in the second reinforcing portion 12r which is in a state of penetrating in the thickness direction (+ Z direction).
  • the second connecting portion 12b3 is located inside each of the four holes H2 of the second reinforcing portion 12r.
  • the second main body portion 12b has, for example, a plurality of through holes Th2 in a state of penetrating from the third surface 12fs to the fourth surface 12bs.
  • the diameter of each through hole Th2 is, for example, about 2 mm.
  • These plurality of through holes Th2 are connected to, for example, the first flow path 1f.
  • the first flow path 1f of the first flow path device 1 performs inflow and outflow of fluid between and from an external device of the first flow path device 1 such as the second flow path device 2. be able to.
  • the second reinforcing portion 12r is harder than the second main body portion 12b. From another point of view, the second reinforcing portion 12r has a higher rigidity than, for example, the second main body portion 12b.
  • a resin such as acrylic (PMMA) or polycarbonate having high rigidity, metal, ceramics, or the like is applied.
  • a plate-shaped member having a plate surface along the XY plane is applied to the second reinforcing portion 12r.
  • the second reinforcing portion 12r is, for example, attached to each of the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2 in a state of being sandwiched between the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2. It is in a state.
  • the second reinforcing portion 12r is formed of the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2. Can be adhered to each.
  • the second reinforcing portion 12r includes, for example, one or more second protruding portions 12p.
  • One or more second protruding portions 12p are in a state of protruding from the second main body portion 12b in a direction along the fourth surface 12bs, for example, when viewed in a plan view toward the fourth surface 12bs.
  • one or more second protruding portions 12p include two second protruding portions 12p. More specifically, one or more second protruding portions 12p include a second A protruding portion 12p1 and a second B protruding portion 12p2.
  • the second A protruding portion 12p1 is in a state of protruding from the second main body portion 12b in the ⁇ X direction.
  • the second B protruding portion 12p2 is in a state of protruding from the second main body portion 12b in the + X direction.
  • One or more second protruding portions 12p have portions (specific shape portions) having two specific shapes at different positions from each other, for example, when viewed in a plane toward the fourth surface 12bs.
  • the one or more second protruding portions 12p are, for example, a specific shape portion having a third specific shape (also referred to as a third specific shape portion) and a specific shape portion having a fourth specific shape (third specific shape portion). (Also referred to as a specific shape portion).
  • the specific shape portion has a second penetration that penetrates in the direction along the Z axis and has a circular cross section perpendicular to the penetration direction (+ Z direction).
  • the hole 12h is applied. More specifically, the second A protruding portion 12p1 has a second A through hole portion 12h1 as a third specific shape portion.
  • the second B protruding portion 12p2 has a second B through hole portion 12h2 as a fourth specific shape portion.
  • the second reinforcing portion 12r is positioned so as to pass between the integrally configured resin second main body portion 12b.
  • the second main body portion 12b can be lifted by grasping both ends of the second main body portion 12b. It is assumed that the 12b is bent and the shape of the second main body portion 12b is deformed.
  • the second portion 12 according to the first embodiment for example, due to the presence of the second reinforcing portion 12r, the second main body portion 12b is less likely to bend even if both ends of the second portion 12 are gripped and lifted.
  • the shape of the second main body 12b does not easily collapse. This can facilitate, for example, the handling of the second portion 12. Therefore, for example, when joining the first portion 11 and the second portion 12, the alignment between the first portion 11 and the second portion 12 can be facilitated. As a result, the first flow path device 1 can be easily manufactured.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the first B through hole portion 11h2 as the second specific shape portion are formed.
  • the posture and position of the first portion 11 can be set by using and.
  • the posture and position of the second portion 12 can be set by using the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second B through hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion. .. This can facilitate, for example, the alignment of the first portion 11 and the second portion 12.
  • the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the first flow path 1f has, for example, a main flow path 1f1 and a plurality of branch flow paths 1f2.
  • Each of the plurality of branch flow paths 1f2 is a flow path branched from the main flow path 1f1.
  • the fluid flowing in the first flow path device 1 flows into the main flow path 1f1.
  • the fluid contains specific fine particles (also referred to as first particles) and fine particles (also referred to as second particles) different from the specific fine particles (first particles).
  • the second particles flow from the main flow path 1f1 into the branch flow path 1f2.
  • the first particle can be separated from the second particle.
  • the second particle can be separated from the first particle.
  • the branch flow path 1f2 is designed so that, for example, the second particle flows from the main flow path 1f1, but particles different from the first particle and the second particle may flow into the branch flow path 1f2.
  • FIG. 3B schematically shows how the first particle and the second particle are separated in the first flow path 1f.
  • the large circle represents the first particle P1 and the small circle represents the second particle P2.
  • the arrow Fm1 drawn by a thick two-dot chain line so as to go in the ⁇ Y direction indicates the direction in which the main flow (also referred to as the main flow) of the fluid flowing through the main flow path 1f1 is headed.
  • the arrow Fp1 drawn by a two-dot chain line so as to go in the ⁇ X direction indicates the direction in which the “pressing flow” described later is headed.
  • the region Ar1 in which the hatching of the sandy ground is attached in the first flow path 1f indicates a “pull-in flow” described later.
  • the first flow path 1f is connected to, for example, the main flow path 1f1 and the main flow path 1f1 so as to branch from the main flow path 1f1 in the ⁇ X direction, respectively. It has 1f2 and.
  • the “pull-in flow” flowing from the main flow path 1f1 to the branch flow path 1f2 is created. Can be generated.
  • a pressing flow capable of pressing a sample (fluid) flowing in the main flow path 1f1 toward the branch flow path 1f2 is generated in the first flow path 1f.
  • the width W1 of the lead-in flow in the main flow path 1f1 is set to the lead-in flow region Ar1 and the first particle P1.
  • the second particle P2 can be drawn from the main flow path 1f1 to the branch flow path 1f2 by setting the width so that the position of the center of gravity of the second particle P2 cannot be included and the position of the center of gravity of the second particle P2 can be included.
  • the width of the branch flow path 1f2 smaller than the diameter of the first particle P1 flowing in the sample and larger than the diameter of the second particle P2, the first main flow path 1f1 is changed to the branch flow path 1f2.
  • the second particle P2 can be attracted without the particle P1 being attracted.
  • the sample is blood
  • the first particle P1 is a white blood cell
  • the second particle P2 is a red blood cell.
  • the position of the center of gravity of the erythrocytes is, for example, a position of about 2 micrometers ( ⁇ m) to 2.5 ⁇ m from the outer edge of the erythrocytes.
  • the maximum diameter of erythrocytes is, for example, about 6 ⁇ m to 8 ⁇ m.
  • the position of the center of gravity of the leukocyte is, for example, a position of about 5 ⁇ m to 10 ⁇ m from the outer edge of the leukocyte.
  • the maximum diameter of white blood cells is, for example, about 10 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the virtual cross section along the XZ plane is, for example, about 300 square micrometers ( ⁇ m 2 ) to 1000 ⁇ m 2, and the length along the Y-axis direction is increased. For example, it is about 0.5 mm to 20 mm.
  • the cross-sectional area of the virtual cross section along the YZ plane is, for example, about 100 ⁇ m 2 to 500 ⁇ m 2, and the length along the X-axis direction is, for example, about 3 mm to 25 mm.
  • the width W1 of the pull-in flow can be set to about 2 ⁇ m to 15 ⁇ m. ..
  • red blood cells and white blood cells in blood can be separated in the first flow path 1f.
  • the first flow path 1f further has, for example, a recovery flow path 1f3.
  • the recovery flow path 1f3 is connected to, for example, a portion on the downstream side of the main flow path 1f1.
  • the recovery flow path 1f3 can recover the first particles P1 flowing through the main flow path 1f1.
  • the first particles P1 separated in the main flow path 1f1 can flow from the main flow path 1f1 into the recovery flow path 1f3.
  • the recovery flow path 1f3 can recover the first particle P1.
  • the first flow path 1f may further have, for example, a discharge flow path 1f4.
  • a discharge flow path 1f4 For example, a plurality of branch flow paths 1f2 are connected to the discharge flow path 1f4.
  • the second particles P2 flowing from the plurality of branch flow paths 1f2 may be collected or discarded.
  • the discharge flow path 1f4 functions as a flow path for collecting the second particles P2.
  • the fluid flowing to the downstream end in the main flow path 1f1 may be discarded, for example.
  • the first flow path 1f has, for example, the first lower surface 1bs through the plurality of through holes Th2 of the second portion 12. It is in a state of being connected to a plurality of first openings 1o located in. In other words, each through hole Th2 has a first opening 1o located on the fourth surface 12bs.
  • the plurality of first openings 1o have, for example, a first inflow port 1oi, a first outflow port 1od, a first discharge port 1ox, and a second discharge port 1oe.
  • the first inflow port 1oi can receive the inflow of the sample and allow the sample to flow into the main flow path 1f1 through the first through hole Th2 (also referred to as the first through hole Th21).
  • the first outlet 1od can recover the first particles P1 flowing from the recovery flow path 1f3 through the second through hole Th2 (also referred to as the second through hole Th22), for example.
  • the first discharge port 1ox can discharge the second particle P2 separated from the sample, which flows through the discharge flow path 1f4 and the third through hole Th2 (third through hole Th23), for example.
  • the fluid discharged from the first discharge port 1ox can be discarded or recovered, for example, through the through hole 2th of the second flow path device 2.
  • the second discharge port 1oe flows from the sample through the fourth through hole Th2 (also referred to as the fourth through hole Th24) from the downstream end of the main flow path 1f1, for example, the first particles P1 and the second through hole 1oe.
  • the components excluding the particles P2 can be discharged.
  • the fluid discharged from the second discharge port 1oe can be discarded or recovered, for example, through the through hole 2th of the second flow path device 2.
  • the plurality of first openings 1o further include, for example, a first pressing inflow port 1op.
  • the first pressing inflow port 1op receives, for example, an inflow of a fluid that causes a pressing flow for pressing a sample against a plurality of branch flow paths 1f2 in the main flow path 1f1, and receives a fifth through hole Th2 (fifth).
  • a fluid that causes a pressing flow can flow into the main flow path 1f1 through the through hole Th25).
  • step Sp1 First step (step Sp1) >> In the first step of step Sp1, the above-mentioned first portion 11 is manufactured by resin molding.
  • the lower part of the first mold (also referred to as the lower part of the first mold) 5b used for resin molding of the first part 11 is prepared.
  • the first mold lower portion 5b has, for example, a first recess 51d in the upper portion of the first mold lower body portion 5b0 having a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the first recess 51d has, for example, a first A region 51a1, a first B region 51a2, and a first C region 51a3.
  • the first A region 51a1 has a shape corresponding to the outer shape of the first bonded portion 11b2, for example.
  • the first B region 51a2 has, for example, a shape corresponding to the outer shape of the first A protruding portion 11p1.
  • the first C region 51a3 has a shape corresponding to the outer shape of the first B protruding portion 11p2, for example.
  • the first A region 51a1 is deeper than the first B region 51a2 and the first C region 51a3.
  • the depths of the first B region 51a2 and the first C region 51a3 are substantially the same.
  • a micro type 52 is located at the bottom of the first A region 51a1.
  • the micro type 52 has, for example, a substrate and a fine uneven portion 52 m located on the substrate.
  • a silicon substrate is applied.
  • a fine uneven portion corresponding to the groove pattern 1pt for forming the first flow path 1f is applied to the uneven portion 52m.
  • the micro type 52 has, for example, a silicon substrate and an uneven portion 52 m formed on the silicon substrate.
  • the uneven portion 52m can be formed of, for example, a resist called SU-8.
  • a first pin 53 protruding upward (+ Z direction) is located at the bottom of each of the first B region 51a2 and the first C region 51a3.
  • the first A pin 531 in a state of protruding upward (+ Z direction) is located at the bottom of the first B region 51a2.
  • the first pin 53 has, for example, a shape in which the first through hole portion 11h of the first reinforcing portion 11r fits.
  • the first A pin 531 has a shape in which, for example, the first A through hole portion 11h1 of the first reinforcing portion 11r is fitted.
  • the first B pin 532 has, for example, a shape in which the first B through hole portion 11h2 of the first reinforcing portion 11r is fitted.
  • the liquid first resin 71 before curing is arranged in the first A region 51a1.
  • a thermosetting resin in which a main agent and a curing agent are mixed is applied to the first resin 71.
  • the first reinforcing portion 11r is arranged so as to be erected between the first B region 51a2 and the first C region 51a3.
  • the first A through hole portion 11h1 is fitted to the first A pin 531 and the first B through hole portion 11h2 is fitted to the first B pin 532.
  • a liquid second resin 72 before curing is arranged on the first reinforcing portion 11r.
  • a thermosetting resin in which a main agent and a curing agent are mixed is applied to the second resin 72.
  • the same resin is applied to the first resin 71 and the second resin 72.
  • different resins may be applied to the first resin 71 and the second resin 72.
  • the upper portion (also referred to as the upper portion of the first mold) 5u of the first mold used for resin molding of the first portion 11 is first. It is arranged so as to cover the reinforcing portion 11r and the second resin 72.
  • the first mold upper portion 5u has a second recess 52d, a first overhanging portion 541, a second overhanging portion 542, a first hole portion 551, and a second hole portion 552.
  • the second recess 52d is located on the lower surface side of the first mold upper main body portion 5u0, which has a substantially rectangular parallelepiped shape of the first mold upper portion 5u, and has a shape corresponding to the outer shape of the first outer surface portion 11b1.
  • Each of the first overhanging portion 541 and the second overhanging portion 542 is located on the lower surface side of the first mold upper main body portion 5u0, and is in a state of extending downward ( ⁇ Z direction).
  • the first overhanging portion 541 has a shape corresponding to the outer shape of the upper surface of the first A protruding portion 11p1.
  • the second overhanging portion 542 has a shape corresponding to the outer shape of the upper surface of the first B protruding portion 11p2.
  • the first hole portion 551 is in a state of penetrating upward (+ Z direction) from the lower surface of the first overhanging portion 541 to the upper surface of the first mold upper portion 5u.
  • the second hole portion 552 is in a state of penetrating upward (+ Z direction) from the lower surface of the second overhanging portion 542 to the upper surface of the upper portion 5u of the first mold.
  • the second recess 52d is filled with the second resin 72.
  • the first overhanging portion 541 is in contact with the upper surface of the first reinforcing portion 11r.
  • the second overhanging portion 542 is in contact with the upper surface of the first reinforcing portion 11r in a state where the first B pin 532 is fitted in the second hole portion 552.
  • the first resin 71 and the second resin 72 are cured by being heated in a heating furnace (oven) in the state shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b).
  • the heating temperature is, for example, a temperature range of about 80 degrees Celsius (80 degrees Celsius) to about 100 degrees Celsius.
  • the heating time is, for example, about 30 minutes.
  • the first portion 11 having can be made.
  • the first portion 11 has a first main body portion 11b made of resin and a first reinforcing portion 11r that is harder than the first main body portion 11b.
  • the first main body portion 11b is integrally formed with a first outer surface portion 11b1 having a first surface 11fs, a first bonded portion 11b2 having a second surface 11bs, and a first outer surface portion.
  • first connecting portions 11b3 in a state where the 11b1 and the first joined portion 11b2 are connected.
  • the first bonded portion 11b2 is formed so as to have a groove pattern 1pt on the second surface 11bs. Further, for example, in a state where the first reinforcing portion 11r is sandwiched between the first outer surface portion 11b1 and the first joined portion 11b2, the first reinforcing portion 11r is adhered to each of the first outer surface portion 11b1 and the first joined portion 11b2. It is said that it is in a state of being.
  • first reinforcing portion 11r when the first reinforcing portion 11r is viewed in a plan view toward the first surface 11fs, one or more of the first reinforcing portions 11r are in a state of protruding from the first main body portion 11b in the direction along the first surface 11fs. It is assumed that the first protruding portion 11p is included. At this time, for example, one or more first protruding portions 11p are located at different positions from each other when viewed in a plane toward the first surface 11fs, for example, with the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion. , The first B through-hole portion 11h2 as the second specific shape portion is included.
  • step Sp2 Second step (step Sp2)
  • the above-mentioned second portion 12 is manufactured by resin molding.
  • the lower part of the second mold (also referred to as the lower part of the second mold) 6b used for resin molding of the second part 12 is prepared.
  • the second mold lower portion 6b has, for example, a third recess 61d in the upper portion of the second mold lower body portion 6b0 having a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the third recess 61d has, for example, a third A region 61a1, a third B region 61a2, and a third C region 61a3.
  • the third A region 61a1 has, for example, a shape corresponding to the outer shape of the second outer surface portion 12b1.
  • the third B region 61a2 has, for example, a shape corresponding to the outer shape of the second A protruding portion 12p1.
  • the third C region 61a3 has a shape corresponding to the outer shape of the second B protruding portion 12p2, for example.
  • the third A region 61a1 is deeper than the third B region 61a2 and the third C region 61a3.
  • the depths of the third B region 61a2 and the third C region 61a3 are substantially the same.
  • a plurality of second pins 64 that are in a state of projecting upward (+ Z direction) are located at the bottom of the third A region 61a1, for example, a plurality of second pins 64 that are in a state of projecting upward (+ Z direction) are located.
  • the plurality of second pins 64 are arranged at positions corresponding to the plurality of through holes Th2 in the second main body portion 12b of the second portion 12, for example.
  • the plurality of second pin 64 includes, for example, a second A pin 641, a second B pin 642, a second C pin 643, a second D pin 644, and a second E pin 645.
  • the second A pin 641 has a form corresponding to, for example, the position and shape of the first through hole Th21.
  • the second B pin 642 has a form corresponding to, for example, the position and shape of the second through hole Th22.
  • the second C pin 643 has a form corresponding to, for example, the position and shape of the third through hole Th23.
  • the second D pin 644 has a form corresponding to, for example, the position and shape of the fourth through hole Th24.
  • the second E pin 645 has a form corresponding to, for example, the position and shape of the fifth through hole Th25.
  • a third pin 63 protruding upward (+ Z direction) is located at the bottom of each of the third B region 61a2 and the third C region 61a3, for example.
  • the third A pin 631 in a state of protruding upward (+ Z direction) is located at the bottom of the third B region 61a2.
  • the third B pin 632 in a state of protruding upward (+ Z direction) is located at the bottom of the third C region 61a3.
  • the third pin 63 has, for example, a shape in which the second through hole portion 12h of the second reinforcing portion 12r fits.
  • the third A pin 631 has a shape in which, for example, the second A through hole portion 12h1 of the second reinforcing portion 12r fits.
  • the third B pin 632 has, for example, a shape in which the second B through hole portion 12h2 of the second reinforcing portion 12r fits.
  • the liquid third resin 73 before curing is arranged in the third A region 61a1.
  • a thermosetting resin in which a main agent and a curing agent are mixed is applied to the third resin 73.
  • the second reinforcing portion 12r is arranged so as to be erected between the third B region 61a2 and the third C region 61a3.
  • the second A through hole portion 12h1 is fitted to the third A pin 631
  • the second B through hole portion 12h2 is fitted to the third B pin 632.
  • a liquid fourth resin 74 before curing is arranged on the second reinforcing portion 12r.
  • a thermosetting resin in which a main agent and a curing agent are mixed is applied to the fourth resin 74.
  • the same resin is applied to the third resin 73 and the fourth resin 74.
  • different resins may be applied to the third resin 73 and the fourth resin 74.
  • the upper portion (also referred to as the upper portion of the second mold) 6u of the second mold used for resin molding of the second portion 12 is second. It is arranged so as to cover the reinforcing portion 12r and the fourth resin 74.
  • the second mold upper portion 6u includes, for example, a fourth recess 62d, a third overhanging portion 671, a fourth overhanging portion 672, a third hole portion 651, a fourth hole portion 652, and a plurality of fifth holes. It has a part 66 and.
  • the fourth recess 62d is located, for example, on the lower surface side of the substantially rectangular parallelepiped second mold upper body portion 6u0 of the second mold upper portion 6u, and has a shape corresponding to the outer shape of the second bonded portion 12b2.
  • Each of the third overhanging portion 671 and the fourth overhanging portion 672 is located on the lower surface side of the second mold upper main body portion 6u0, and is in a state of projecting downward ( ⁇ Z direction), for example.
  • the third overhanging portion 671 has, for example, a shape corresponding to the outer shape of the upper surface of the second A protruding portion 12p1.
  • the fourth overhanging portion 672 has a shape corresponding to the outer shape of the upper surface of the second B protruding portion 12p2, for example.
  • the third hole portion 651 is in a state of penetrating upward (+ Z direction) from the lower surface of the third overhanging portion 671 to the upper surface of the upper portion 6u of the second mold, for example.
  • the fourth hole portion 652 is in a state of penetrating upward (+ Z direction) from the lower surface of the fourth overhanging portion 672 to the upper surface of the upper portion 6u of the second mold, for example.
  • the plurality of fifth hole portions 66 are in a state of penetrating from the lower surface to the upper surface of the second mold upper portion 6u in the upward direction (+ Z direction), for example.
  • the plurality of fifth hole 66 includes, for example, a fifth A hole 661, a fifth B hole 662, a fifth C hole 663, a fifth D hole 664, and a fifth E hole 665.
  • the fourth recess 62d is filled with the fourth resin 74.
  • the third overhanging portion 671 is in contact with the upper surface of the second reinforcing portion 12r in a state where the third A pin 631 is fitted in the third hole portion 651.
  • the fourth overhanging portion 672 is in contact with the upper surface of the first reinforcing portion 11r in a state where the third B pin 632 is fitted in the fourth hole portion 652.
  • a plurality of second pins 64 are fitted into the plurality of fifth hole portions 66.
  • the second A pin 641 is fitted into the fifth A hole portion 661.
  • the second B pin 642 fits into the fifth B hole 662.
  • the second C pin 643 is fitted into the fifth C hole 663.
  • the second D pin 644 is fitted into the fifth D hole 664.
  • the second E pin 645 is fitted in the fifth E hole portion 665.
  • the heating temperature is, for example, a temperature range of about 80 ° C. to 100 ° C.
  • the heating time is, for example, about 30 minutes.
  • the second portion 12 has a second main body portion 12b made of resin and a second reinforcing portion 12r that is harder than the second main body portion 12b.
  • the second main body portion 12b is integrally formed with a second outer surface portion 12b1 having a fourth surface 12bs, a second bonded portion 12b2 having a third surface 12fs, and a second outer surface portion.
  • the second main body portion 12b is formed so as to have a plurality of through holes Th2 in a state of penetrating from the third surface 12fs to the fourth surface 12bs.
  • the second reinforcing portion 12r is applied to each of the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2 in a state where the second reinforcing portion 12r is sandwiched between the second outer surface portion 12b1 and the second bonded portion 12b2. It is said that it is in a state of being.
  • the second reinforcing portion 12r when the second reinforcing portion 12r is viewed in a plan view toward the fourth surface 12bs, one or more of the second reinforcing portions 12r are in a state of protruding from the second main body portion 12b in the direction along the fourth surface 12bs. It is assumed that the second protruding portion 12p is included. At this time, for example, when one or more second protruding portions 12p are viewed in a plane toward the fourth surface 12bs, the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second A through hole portion 12h1 are located at different positions from each other. 4 The state includes the second B through hole portion 12h2 as the specific shape portion.
  • step Sp3 Third step (step Sp3)
  • the first flow path device 1 is manufactured by joining the second surface 11bs of the first portion 11 and the third surface 12fs of the second portion 12.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion, the first B through hole portion 11h2 as the second specific shape portion, the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion, and the fourth specific Using the second B through hole portion 12h2 as the shape portion, the positioning of the first portion 11 and the second portion 12 is performed. Further, for example, by joining the second surface 11bs and the third surface 12fs so as to connect the plurality of through holes Th2 of the second portion 12 to the groove pattern 1pt located on the second surface 11bs.
  • the first flow path 1f is formed.
  • a table for alignment (also referred to as a table for alignment) 8 is prepared.
  • the alignment table 8 has, for example, a base 8b and a plurality of protrusions 8p.
  • the base 8b has, for example, a rectangular parallelepiped shape.
  • the plurality of protruding portions 8p are in a state of protruding upward (+ Z direction) from the upper surface of the base 8b, for example.
  • the plurality of protrusions 8p include a first protrusion 8p1 and a second protrusion 8p2.
  • the plurality of protrusions 8p have a role as, for example, a portion (also referred to as an alignment portion) for aligning the first portion 11 and the second portion 12.
  • the positional relationship between the first protrusion 8p1 and the second protrusion 8p2 is, for example, the positional relationship between the first A through hole 11h1 and the first B through hole 11h2 in the first reinforcing portion 11r, and the second reinforcement. It corresponds to the positional relationship between the second A through hole portion 12h1 and the second B through hole portion 12h2 in the portion 12r, respectively.
  • the second portion 12 is placed on the base 8b so that the third surface 12fs faces upward (+ Z direction).
  • the first protrusion 8p1 is fitted into the second A through hole 12h1
  • the second protrusion 8p2 is fitted into the second B through hole 12h2.
  • the posture and position of the second portion 12 are adjusted by using the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second B through hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion.
  • the first portion 11 is superposed on the second portion 12 so that the first surface 11fs faces upward (+ Z direction).
  • the first protrusion 8p1 is fitted into the first A through hole 11h1
  • the second protrusion 8p2 is fitted into the first B through hole 11h2.
  • the posture and position of the first portion 11 are adjusted by using the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the first B through hole portion 11h2 as the second specific shape portion.
  • the second surface 11bs and the third surface 12fs are subjected to a surface modification process in advance, so that the second surface 11bs and the third surface 12fs are brought into contact with each other.
  • a mode in which the surface 11bs and the third surface 12fs are joined can be considered. If such an aspect is adopted, for example, the second surface 11bs and the third surface 12fs can be joined without using an adhesive. As a result, for example, contamination of the sample with impurities and a reaction between the impurities and components such as fine particles contained in the sample are less likely to occur.
  • Surface modification can be achieved, for example, by irradiation with oxygen plasma or irradiation with ultraviolet (UV) light using an excimer lamp.
  • the homogeneous resin includes, for example, a resin having the same main components constituting the resin. Specifically, as the homogeneous resin, for example, a silicone resin containing silicone as a main component is adopted. In this case, for example, resin molding of the first portion 11 and the second portion 12 is easy.
  • PDMS polydimethylsiloxane
  • silicone resin for example, polydimethylsiloxane
  • miniaturization of the first flow path 1f can be easily realized.
  • PDMS also has excellent properties such as transparent properties, chemical resistance and good biocompatibility.
  • the present invention is not limited to this.
  • the second portion 12 may be superposed on the first portion 11 to join the second surface 11bs and the third surface 12fs.
  • the first main body portion 11b is less likely to bend and the shape of the first main body portion 11b is less likely to collapse. This makes it easy to handle, for example, the first portion 11.
  • the second reinforcing portion 12r even if both ends of the second portion 12 are gripped and lifted, the second main body portion 12b is less likely to bend and the shape of the second main body portion 12b is less likely to collapse. This makes it easy to handle, for example, the second portion 12. Therefore, for example, when joining the first portion 11 and the second portion 12, the alignment between the first portion 11 and the second portion 12 can be facilitated.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the first B as the second specific shape portion are used.
  • the first portion 11 and the second portion 12 are formed by using the through hole portion 11h2, the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion, and the second B through hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion. Align. Thereby, for example, the positioning of the first portion 11 and the second portion 12 can be easily performed, and the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the first B through hole portion 11h2 as the second specific shape portion. are located on opposite sides of the first main body 11b.
  • the accuracy of alignment between the first portion 11 and the second portion 12 can be improved.
  • the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the second portion 12 is viewed in a plane toward the fourth surface 12bs, the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second B through hole portion as the fourth specific shape portion are viewed.
  • the portions 12h2 are located on opposite sides of the second main body portion 12b. Thereby, for example, the accuracy of alignment between the first portion 11 and the second portion 12 can be improved. As a result, for example, the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the second A through hole portion as the third specific shape portion are formed.
  • the portions 12h1 are positioned so as to overlap each other, and the first B through hole portion 11h2 as the second specific shape portion and the second B through hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion are located so as to overlap each other.
  • each protrusion 8p as an alignment portion can be used for both the adjustment of the position and posture of the first portion 11 and the adjustment of the position and posture of the second portion 12. it can.
  • the accuracy of the alignment between the first portion 11 and the second portion 12 can be easily improved.
  • the flow path device can be manufactured with high accuracy and more easily.
  • the second flow path device 2 has, for example, a second flow path 2f inside.
  • the second flow path 2f is connected to, for example, the first flow path 1f of the first flow path device 1 so as to be continuous with the first flow path 1f. Therefore, in the second flow path device 2, for example, a fluid containing specific fine particles obtained by separation and recovery in the first flow path 1f of the first flow path device 1 is an object to be measured (also referred to as an object to be measured). ) And so on.
  • the first flow path device 1 is located on the second flow path device 2.
  • the material of the second flow path device 2 may be different from the material of the first flow path device 1 described above, for example.
  • engineering plastics such as acrylic (PMMA) or cycloolefin polymer (COP) are applied to the material of the second flow path device 2.
  • PMMA acrylic
  • COP cycloolefin polymer
  • the second flow path device 2 has a second upper surface 2fs as a fifth surface and a second lower surface 2bs as a sixth surface. And have.
  • the second flow path 2f has, for example, a plurality of openings (also referred to as second openings) 2o located on at least one of the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs.
  • the second flow path device 2 has a plurality of second openings 2o located on any surface of, for example, the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs.
  • the second flow path device 2 has, for example, at least one second opening 2o located on the second upper surface 2fs.
  • the second opening 2o in the second upper surface 2fs and the first opening 1o in the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 are in a state of being connected to each other.
  • the first flow path 1f of the first flow path device 1 and the second flow path 2f of the second flow path device 2 are connected to each other.
  • the fluid (measured) containing the specific fine particles in the second flow path device 2 is separated from the separation and recovery of the specific fine particles in the sample in the first flow path device 1. It is possible to continuously execute the processing up to the measurement of the object).
  • processing from separation and recovery of specific fine particles in a sample to measurement of a fluid (object to be measured) containing specific fine particles in the second flow path device 2 can be efficiently executed. ..
  • the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 has, for example, a first region A1 and a second region A2.
  • the second flow path 2f is located so as to overlap the region from the first region A1 to the second region A2, and the first The flow path device 1 is positioned so as to overlap only the first region A1 of the first region A1 and the second region A2.
  • the second flow path device 2 is a portion (light) through which light from at least a part of the second flow path device 2f (also referred to as a measurement area) is transmitted to the outside of the second flow path device 2.
  • the entire second flow path device 2 is transparent. Therefore, for example, in the second flow path device 2, the portion between the second upper surface 2fs and the second flow path 2f and the portion between the second lower surface 2bs and the second flow path 2f transmit light. It can play a role as a transparent light transmitting portion 2 tr.
  • the plurality of second openings 2o in the second flow path 2f include, for example, a second inflow port 2oi and a second outflow port 2od.
  • the second inflow port 2oi allows, for example, the inflow of a fluid (measured object) containing specific fine particles from the first flow path 1f of the first flow path device 1 to the second flow path 2f of the second flow path device 2. Can be accepted.
  • the second outlet 2od can, for example, let the fluid (object to be measured) containing specific fine particles flow out from the second flow path device 2 to the outside in order to recover from the second flow path 2f.
  • the second inflow port 2oi is located at the second upper surface 2fs.
  • the second inflow port 2oi is connected to the first outflow port 1od of the first flow path device 1.
  • the second outlet 2od is located on the second lower surface 2bs.
  • the second inflow port 2oi may be larger than the first inflow port 1od. Thereby, for example, the retention of the sample can be reduced at the connection portion between the first flow path device 1 and the second flow path device 2.
  • the diameter of the second inflow port 2oi is, for example, about 1 mm to 3 mm.
  • the diameter of the first outlet 1 od is, for example, about 1 mm to 3 mm.
  • the second flow path 2f has, for example, a vertical portion V1 and a flat portion F1.
  • the vertical portion V1 is connected to, for example, the second inflow port 2oi and extends in the thickness direction (+ Z direction) of the second flow path device 2.
  • the flat surface portion F1 is connected to, for example, the vertical portion V1 and is located along the XY plane.
  • specific fine particles are less likely to stay at the connection portion between the first flow path 1f and the second flow path 2f.
  • specific fine particles can be retained in the flat surface portion F1.
  • the measurement can be stably executed for the specific fine particles located on the flat surface portion F1.
  • the width of the vertical portion V1 is, for example, about 0.5 mm to 2 mm.
  • the width of the flat surface portion F1 is, for example, about 1 mm to 6 mm.
  • the length of the vertical portion V1 is, for example, about 0.5 mm to 1 mm.
  • the height of the flat surface portion F1 in the thickness direction of the second flow path device 2 is, for example, about 0.5 mm to 2 mm.
  • the flat surface portion F1 has a width larger than the width of the vertical portion V1 at least in the portion connected to the vertical portion V1, it is referred to as the flat surface portion F1. Specific fine particles are unlikely to stay at the connection portion with the vertical portion V1.
  • the flat surface portion F1 has, for example, a first flat surface portion F11 and a second flat surface portion F12.
  • the first flat surface portion F11 is connected to, for example, the vertical portion V1.
  • the second flat surface portion F12 is connected to, for example, the first flat surface portion F11 and has a width larger than the width of the first flat surface portion F11.
  • the second plane portion F12 has a role as, for example, the above-mentioned measured region.
  • the width of the first flat surface portion F11 is, for example, about 0.5 mm to 3 mm.
  • the width of the second flat surface portion F12 is, for example, about 1 mm to 5 mm.
  • the width of the second flat surface portion F12 is, for example, about 2 to 10 times the width of the first flat surface portion F11.
  • the width of the flat surface portion F1 gradually increases from the first flat surface portion F11 to the second flat surface portion F12.
  • the height of the second plane portion F12 may be larger than the height of the first plane portion F11, for example. If such an embodiment is adopted, the first particles P1 as specific fine particles are likely to diffuse in the flat surface portion F1.
  • the height of the first flat surface portion F11 is, for example, about 0.2 mm to 1 mm.
  • the height of the second flat surface portion F12 is, for example, about 1 mm to 5 mm.
  • the second flow path device 2 has a third flow path 3f connected to the second flow path 2f separately from the second flow path 2f.
  • the third flow path 3f is connected to the flat surface portion F1 of the second flow path 2f, for example.
  • a fluid such as a gas (also referred to as an extrusion fluid) toward the second flow path 2f
  • specific fine particles that reach the flat surface portion F1 from the first flow path 1f are first. 2 It can be flushed toward the outlet 2od. As a result, for example, specific fine particles are less likely to stay in the second flow path 2f.
  • the third flow path 3f is positioned so as to connect to, for example, the connection portion between the vertical portion V1 and the flat surface portion F1 of the second flow path 2f.
  • the first end of the third flow path 3f is connected to the second flow path 2f
  • the second end of the third flow path 3f is the second upper surface of the second flow path device 2. It is in a state of forming a third opening 3o located at 2 fs.
  • the third opening 3o can receive, for example, the inflow of an extrusion fluid for flushing out specific fine particles.
  • the third flow path 3f is in a state of extending along the longitudinal direction ( ⁇ Y direction) of the flat surface portion F1 of the second flow path 2f, for example, in at least a part connected to the second flow path 2f. It may have a portion.
  • the second flow path 2f and the third flow path 3f may have the same cross-sectional shape, if the second flow path 2f and the third flow path 3f have the same cross-sectional shape, the second flow path has the same cross-sectional shape. No step is formed between the 2f and the third flow path 3f, and the fluid containing specific fine particles is less likely to stay. As shown in FIG.
  • the third flow path 3f may have, for example, a portion (also referred to as an extension portion) 3fe extending so as to meander along the XY plane.
  • a portion also referred to as an extension portion
  • specific fine particles from the second flow path 2f are less likely to flow back through the third flow path 3f toward the third opening 3o, and are less likely to leak from the third opening 3o.
  • the fluid as a sample flows from the bottom to the first flow. It flows into the road device 1.
  • the specific gravity of the second particle P2 is larger than the specific gravity of the first particle P1, the second particle P2 is likely to sink in the fluid, and the separation of the first particle P1 from the sample can be facilitated.
  • the second flow path device 2 may have a fourth flow path 4f, which is different from, for example, the second flow path 2f and the third flow path 3f.
  • the fourth flow path 4f has, for example, a plurality of openings (also referred to as fourth openings) 4o located on at least one of the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs.
  • the fourth flow path 4f has a role as, for example, a flow path for flowing a sample before the specific fine particles are separated.
  • a foreign substance mixed in the sample is formed by flowing a sample containing specific fine particles in the fourth flow path 4f of the second flow path device 2 before flowing into the first flow path device 1. Can be reduced in advance.
  • the plurality of fourth openings 4o include, for example, a fourth inlet 4oi and a fourth outlet 4od.
  • the fourth inflow port 4oi can receive, for example, the inflow of the sample into the fourth flow path 4f.
  • the fourth outlet 4od can, for example, allow the sample to flow out of the fourth flow path 4f.
  • the fourth inflow port 4oi is exposed to the outside of the second flow path device 2, for example.
  • the fourth outlet 4od is connected to, for example, the first inlet 1oi of the first flow path device 1.
  • the 4th inflow port 4oi and the 4th outflow port 4od are located at, for example, the 2nd upper surface 2fs, a pipe or a flow path for supplying a sample to the 4th inflow port 4oi is provided. Since the operation of connecting can be performed from above, workability can be improved.
  • the second flow path device 2 has, for example, a fifth flow path 5f different from the second flow path 2f, the third flow path 3f, and the fourth flow path 4f.
  • the fifth flow path 5f has a role as, for example, a flow path for calibration.
  • a fluid having a component different from the specific fine particles separated and recovered in the first flow path device 1 can be flowed through the fifth flow path 5f as a calibration fluid (also referred to as a calibration fluid). ..
  • a measurement using light also referred to as an optical measurement
  • Measurement using light for an object (light measurement) and measurement can be performed in order.
  • the number of specific fine particles in the object to be measured can be estimated from the difference in light intensity between the results of these two light measurements.
  • the measurement error due to the deterioration of the sensor used for the optical measurement can be reduced.
  • Deterioration of the sensor may include, for example, deterioration of the light emitting portion and deterioration of the light receiving portion.
  • the fifth flow path 5f has, for example, a plurality of openings (also referred to as fifth openings) 5o located on at least one of the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs.
  • the plurality of fifth openings 5o include, for example, a fifth inlet 5oi and a fifth outlet 5od.
  • the fifth inflow port 5oi can receive, for example, the inflow of the calibration fluid into the fifth flow path 5f.
  • the fifth outlet 5od can, for example, allow the calibration fluid to flow out of the fifth flow path 5f.
  • the fifth inflow port 5oi is located on the second upper surface 2fs like the third opening 3o, a pipe or a flow path for each of the fifth inflow port 5oi and the third opening 3o is connected. Since the work can be performed from above, workability can be improved.
  • the fifth outlet 5od is located, for example, on the second lower surface 2bs.
  • the second flow path device 2 is different from, for example, the second flow path 2f, the third flow path 3f, the fourth flow path 4f, and the fifth flow path 5f. It may have a road 6f.
  • the sixth flow path 6f has, for example, a plurality of openings (also referred to as sixth openings) 6o located on at least one of the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs.
  • the plurality of sixth openings 6o include, for example, a sixth inflow port 6oi and a sixth inflow port 6od.
  • the sixth inflow port 6oi can receive, for example, the inflow of a fluid that causes a pressing flow into the sixth flow path 6f.
  • the sixth outlet 6od can, for example, allow a fluid that causes a pressing flow to flow out of the sixth flow path 6f.
  • the sixth inflow port 6oi is exposed to the outside of the second flow path device 2, for example.
  • the sixth outlet 6od is connected to, for example, the first pressing inlet 1op of the first flow path device 1.
  • the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 is fixed on the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 via, for example, a sheet member 4.
  • the sheet member 4 may exist between the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 and the second upper surface 2fs of the second flow path device 2.
  • the sheet member 4 has an upper and lower surface along the XY plane and a thickness along the + Z direction.
  • the plate-shaped first flow path device 1 and the second flow path device 2 are arranged so as to be stacked in the thickness direction (+ Z direction) in order to reduce the size of the measurement flow path device 100. be able to.
  • the sheet member 4 has a role as an intermediate layer for joining materials that are difficult to adhere to each other, for example.
  • a flexible silicone-based resin such as silicone or PDMS is applied to the material of the sheet member 4.
  • the seat member 4 can be deformed, for example, by following the waviness of the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 and the second upper surface 2fs of the second flow path device 2.
  • the sheet member 4 can be brought into close contact with both the first lower surface 1bs and the second upper surface 2fs, for example.
  • the sheet member 4 has, for example, a through hole 4th.
  • the through hole 4th is located, for example, in a state of being connected to the first opening 1o.
  • the sheet member 4 may have, for example, five through holes 4th. If such a configuration is adopted, for example, a fluid can flow between the first flow path device 1 and the second flow path device 2 through the through hole 4th.
  • the first flow path device 1 and the second flow path device 2 can be joined via an adhesive applied to the upper surface and the lower surface of the sheet member 4.
  • the adhesive for example, a resin that is cured by ultraviolet rays (also referred to as a photocurable resin) or a resin that is cured by heating (also referred to as a thermosetting resin) is applied.
  • the first flow path device 1 has, for example, a first portion 11 and a second portion 12 joined to each other.
  • the first portion 11 for example, the first reinforcing portion 11r is positioned so as to pass through between the integrally formed resin first main body portion 11b. Therefore, for example, due to the presence of the first reinforcing portion 11r, even if both ends of the first portion 11 are gripped and lifted, the first main body portion 11b is less likely to bend and the shape of the first main body portion 11b is less likely to collapse. This can facilitate, for example, the handling of the first portion 11.
  • the second reinforcing portion 12r is positioned so as to pass between the integrally configured resin second main body portion 12b. Therefore, for example, due to the presence of the second reinforcing portion 12r, even if both ends of the second portion 12 are gripped and lifted, the second main body portion 12b is less likely to bend and the shape of the second main body portion 12b is less likely to collapse. This can facilitate, for example, the handling of the second portion 12. As a result, for example, when joining the first portion 11 and the second portion 12, the positioning of the first portion 11 and the second portion 12 becomes easy, and the first flow path device 1 can be easily manufactured. Can be done.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the second specific shape portion are used. It has a first B through hole portion 11h2.
  • the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second B as the fourth specific shape portion has a through hole portion 12h2. Therefore, for example, when the first portion 11 and the second portion 12 are overlapped and joined, the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the first B through hole portion as the second specific shape portion are joined.
  • the posture and position of the first portion 11 can be set using 11h2. Further, for example, the posture and position of the second portion 12 can be set by using the second A through hole portion 12h1 as the third specific shape portion and the second B through hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion. .. This can facilitate, for example, the alignment of the first portion 11 and the second portion 12. As a result, for example, the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the first portion 11 and the second portion 12 are manufactured by resin molding, and the first portion 11 and the second portion 12 are joined. As a result, the first flow path device 1 is manufactured. Therefore, when joining the first portion 11 and the second portion 12, the first portion 11 may be lifted by grasping both ends of the first portion 11 due to the presence of the first reinforcing portion 11r, for example. , The first main body 11b is hard to bend, and the shape of the first main body 11b is hard to collapse.
  • the second portion 12 for example, due to the presence of the second reinforcing portion 12r, even if both ends of the second portion 12 are gripped and lifted, the second main body portion 12b is less likely to bend, and the shape of the second main body portion 12b is formed. Is hard to collapse. This can facilitate, for example, the alignment of the first portion 11 and the second portion 12. As a result, the first flow path device 1 can be easily manufactured.
  • the first A through hole portion 11h1 as the first specific shape portion and the second specific shape portion are used.
  • 1B through-hole portion 11h2, 2A through-hole portion 12h1 as the third specific shape portion, and 2B through-hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion are used to form the first portion 11 and the second portion 12. Align.
  • the first flow path device 1 can be easily manufactured with high accuracy.
  • the measurement flow path device 100 having the first flow path device 1 and the second flow path device 2 can be easily manufactured with high accuracy. Can be manufactured.
  • the sensor unit 9 receives the light transmitted through the light transmitting unit 2tr from the second plane portion F12 as the measurement region to the measurement flow path device 100.
  • the inspection device 900 to which the above is added may be adopted.
  • the inspection device 900 including the measurement flow path device 100 and the sensor unit 9 can be manufactured with high accuracy. Can be easily manufactured with.
  • the inspection device 900 includes, for example, a measurement flow path device 100 and a sensor unit 9.
  • an optical sensor having a light emitting unit 91 and a light receiving unit 92 is applied to the sensor unit 9.
  • a light emitting element such as a light emitting diode (LED) is applied to the light emitting unit 91.
  • a light receiving element such as a photodiode (PD) is applied to the light receiving unit 92.
  • the light receiving element for example, an element having a second conductive type semiconductor region on the surface layer portion near the upper surface of the first conductive type semiconductor substrate is applied.
  • the light emitting element for example, an element having a plurality of semiconductor layers laminated on the above-mentioned semiconductor substrate is applied.
  • the required specific fine particles (for example, the first particle P1) are separated from the sample in the first flow path 1f of the first flow path device 1, and the second flow path device 2 A fluid (object to be measured) containing specific fine particles flows up to the second flow path 2f of the above. Then, for example, from the light emitting unit 91 of the sensor unit 9 with respect to the fluid (object to be measured) containing specific fine particles located in the second plane portion F12 as the area to be measured in the second flow path 2f. By irradiating light and receiving the light that has passed through the second flat surface portion F12 by the light receiving unit 92, it is possible to measure specific fine particles.
  • the inspection device 900 when light passes through the second plane portion F12, the intensity of the light is attenuated by being dispersed or absorbed by specific fine particles (first particles P1) in the object to be measured. Therefore, in the inspection device 900, for example, the amount of light attenuation can be detected by the difference between the intensity of the light emitted by the light emitting unit 91 and the intensity of the light received by the light receiving unit 92. Then, for example, if if a calibration curve showing the relationship between the fluid having a known number or concentration of fine particles per unit volume and the amount of light attenuation is prepared in advance, the inspection device 900 can use the inspection device 900 to prepare the amount of light attenuation and the amount of calibration. The number or concentration of specific fine particles in the object to be measured can be calculated based on the line. In other words, the inspection device 900 can measure, for example, the number or concentration of specific fine particles in a fluid.
  • the mirror member 2m may be arranged on the second region A2 in the second upper surface 2fs of the second flow path device 2.
  • the outer edge of the mirror member 2 m is indicated by a chain double-dashed line.
  • a portion having a light-reflecting portion (also referred to as a light-reflecting portion) formed of a metal material such as aluminum or gold is applied.
  • a mirror member 2 m having a reflective portion can be produced by depositing a layer of a metal material on one surface of a plate material such as a glass plate by a vapor deposition method or a sputtering method.
  • the light emitting unit 91 and the light receiving unit 92 of the sensor unit 9 are located so as to face the second lower surface 2bs of the second flow path device 2.
  • the light receiving unit 92 passes the light emitted from the light emitting unit 91 once through the second flat surface portion F12, reflected by the mirror member 2 m, and again passes through the second flat surface portion F12. Can receive light.
  • the light passing through the second flat surface portion F12 twice increases the amount of light attenuation detected by the inspection device 900.
  • the measurement accuracy of the inspection device 900 can be improved.
  • the mirror member 2m is arranged on the second upper surface 2fs so as to overlap the second flow path 2f and the fifth flow path 5f, but the second flow path 2f and the fifth flow path 5f. It is not limited to an integral one having a size that covers both of the flow paths 5f, but separate ones according to each size so as to overlap each of the second flow path 2f and the fifth flow path 5f. It may be placed in.
  • the mirror members 2m are separately arranged so as to correspond to the second flow path 2f and the fifth flow path 5f, they are between the mirror members 2m in order to block the ambient light incident on the sensor unit 9.
  • a light-shielding member may be arranged.
  • a plate-shaped or sheet-shaped non-reflective member or a light-shielding member is arranged on the mirror member 2m to form a mirror member. It is also possible to prevent the transmission of the disturbance light from the 2m to the sensor unit 9 and the incident of the disturbance light to the mirror member 2m.
  • the measurement flow path device 100 has a sensor unit 9 in a region of the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 that overlaps the second flow path 2f and the fifth flow path 5f.
  • the non-reflective member 124 that does not reflect the light emitted by the light emitting unit 91 may be arranged in the same manner as the mirror member 2 m. By arranging the non-reflective member 124 in this way, among the light emitted by the sensor unit 9, the light reflected by the first particles contained in the second flow path 2f or the light of the second flow path 2f and the fifth flow path 5f.
  • the light reflected at the interface (the ceiling surface of the flow path seen from the sensor unit 9 side) can be received by the light receiving unit 92 of the sensor unit 9.
  • the reflection from the interface of the flow path can be measured and the DC offset of the light receiving unit 92 can be optically performed, and the light reflected by the first particle can be satisfactorily received by the light receiving unit 92.
  • the non-reflective member 124 can block the ambient light incident on the second flow path 2f and the fifth flow path 5f from the side opposite to the sensor unit 9 (the second upper surface 2fs side), the sensor unit.
  • the optical noise with respect to 9 can be reduced, and the accuracy of measurement by the sensor unit 9 can be ensured satisfactorily.
  • a non-reflective member 124 for example, a non-reflective cloth or the like can be used. Further, a matte paint such as black may be applied to form the non-reflective member 124.
  • the size of the non-reflective member 124 covers both the second flow path 2f and the fifth flow path 5f over the entire area measured by the sensor unit 9. It is preferable that the sensor is used.
  • the measurement flow path device 100 is arranged with the outer side of the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 so as to be side by side with the second flow path 2f and the fifth flow path 5f shown in FIG.
  • a non-reflective region 25 may be provided between the 5 flow paths and the 5f.
  • the non-reflective region 25 is a portion of the second flow path device 2 that does not have the second flow path 2f and the fifth flow path 5f, and the mirror member 2m or non-reflection region 25 when the second flow path device 2 is viewed from above. It may be a region where the reflection member 124 is not arranged.
  • a reference non-reflective member 125 may be arranged as a non-reflective member that does not reflect the light emitted by the sensor unit 9.
  • a reference non-reflective member 125 can be used for calibrating the light receiving unit 92 of the sensor unit 9, and serves as a reference for providing a base signal at the time of measurement by the sensor unit 9.
  • the intensity of the reflected light in the reference non-reflective member 125 as a reference, the influence of noise generated when the sensor unit 9 is used can be reduced.
  • the reference non-reflective member 125 for example, a non-reflective cloth or the like may be installed, and a black matte paint or the like may be applied to form the member.
  • the reference non-reflective member 125 is a region that does not overlap the second flow path 2f and the fifth flow path 5f so as to correspond to the non-reflective region 25, and is the second lower surface of the second flow path device 2. It may be arranged at 2 bs. Also in this case, the influence of noise generated when the sensor unit 9 is used can be reduced by using the intensity of the reflected light in the reference non-reflective member 125 as a reference.
  • the inspection device 900 has, for example, a first supply unit 910, a second supply unit 920, a third supply unit 930, and a fourth supply unit 940.
  • the first supply unit 910, the second supply unit 920, the third supply unit 930, and the fourth supply unit 940 are each connected to the measurement flow path device 100.
  • the first supply unit 910 can supply the sample stored in the storage unit by, for example, a pump or the like.
  • the first supply unit 910 is connected to, for example, the fourth inflow port 4oi.
  • the second supply unit 920 can supply, for example, a fluid that generates a push flow stored in the storage unit by a pump or the like.
  • the second supply unit 920 is connected to, for example, the sixth inflow port 6oi.
  • the third supply unit 930 can supply, for example, the extrusion fluid stored in the storage unit by a pump or the like.
  • the third supply unit 930 is connected to, for example, the third opening 3o.
  • the fourth supply unit 940 can supply, for example, the calibration fluid stored in the storage unit by a pump or the like.
  • the fourth supply unit 940 is connected to, for example, the fifth inflow port 5oi.
  • the fourth supply unit 940 It does not have to be.
  • the inspection device 900 has, for example, a control unit 990.
  • a computer configuration including one or more central processing units (CPU), read-only memory (ROM), random access memory (RAM), and the like is applied to the control unit 990.
  • the CPU can realize various functions and controls by reading and executing a program stored in the ROM, for example.
  • Various information temporarily generated during processing in the CPU is temporarily stored in, for example, a RAM.
  • Such a control unit 990 can control each operation of, for example, the first supply unit 910, the second supply unit 920, the third supply unit 930, the fourth supply unit 940, and the sensor unit 9.
  • control unit 990 calculates the amount of light attenuation based on the difference between the intensity of the light emitted by the light emitting unit 91 and the intensity of the light received by the light receiving unit 92, and the amount of attenuation of the light
  • the number or concentration of specific fine particles in the object to be measured can be calculated based on the calibration curve.
  • part or all of the functional configuration of the control unit 990 may be configured by dedicated hardware.
  • first reinforcing portion 11r and the second reinforcing portion 12r may have various shapes
  • first connecting portion 11b3 and the second connecting portion 12b3 may have various shapes. May be adopted.
  • the number of holes H1 may be one, and one or more first connecting portions 11b3 may be one first connecting portion 11b3. That is, the number of the holes H1 and the first connecting portion 11b3 may be one or two or more. Further, for example, when the first portion 11 is viewed in a plan view or a plan view in the ⁇ Z direction, the width of the plurality of first protruding portions 11p is smaller than the width of the first main body portion 11b in the Y direction. May be good.
  • the number of holes H2 may be one, and one or more second connecting portions 12b3 may be one second connecting portion 12b3. That is, the number of the holes H2 and the second connecting portion 12b3 may be one or two or more. Further, for example, when the second portion 12 is viewed in a plan view or a plan view in the ⁇ Z direction, the width of the plurality of second protruding portions 12p is smaller than the width of the second main body portion 12b in the Y direction. May be good.
  • the first B through-hole portion 11h2 as a specific shape portion and the first main body portion 11b may not be positioned so as to sandwich the first main body portion 11b.
  • the one or more first protruding portions 11p may be, for example, one first protruding portion 11p. That is, for example, the first reinforcing portion 11r may have one or more first protruding portions 11p.
  • one first protruding portion 11p has a first A through hole portion 11h1 as a first specific shape portion and a first B through hole portion 11h2 as a second specific shape portion. ..
  • the second B through-hole portion 12h2 as the fourth specific shape portion may not be positioned so as to sandwich the second main body portion 12b.
  • the one or more second protruding portions 12p may be, for example, one second protruding portion 12p. That is, for example, the second reinforcing portion 12r may have one or more second protruding portions 12p.
  • one second protruding portion 12p has a second A through hole portion 12h1 as a third specific shape portion and a second B through hole portion 12h2 as a fourth specific shape portion. ..
  • the first reinforcing portion 11r does not have the hole H1 and the first connecting portion 11b3 is positioned so as to sandwich the first reinforcing portion 11r in the ⁇ Y direction. You may be.
  • the second reinforcing portion 12r does not have the hole portion H2, and the second connecting portion 12b3 sandwiches the second reinforcing portion 12r in the ⁇ Y direction. It may be located.
  • the number of the plurality of first protruding portions 11p may be four first protruding portions 11p.
  • the plurality of first protruding portions 11p may further have, for example, a first C protruding portion 11p3 and a first D protruding portion 11p4.
  • the first C protruding portion 11p3 has the first C through hole portion 11h3 as the fifth specific shape portion for alignment
  • the first D protruding portion 11p4 has the sixth specific shape for alignment. It may have a first D through hole portion 11h4 as a portion. That is, for example, one or more first protruding portions 11p may have two or more specific shape portions.
  • the number of the plurality of second protruding portions 12p may be four second protruding portions 12p.
  • the plurality of second protruding portions 12p may further have, for example, a second C protruding portion 12p3 and a second D protruding portion 12p4.
  • the second C protruding portion 12p3 has the second C through hole portion 12h3 as the seventh specific shape portion for alignment
  • the second D protruding portion 12p4 has the eighth specific shape for alignment. It may have a second through hole portion 12h4 as a portion. That is, for example, one or more second protruding portions 12p may have two or more specific shape portions.
  • the specific shape portion in the first protruding portion 11p is not limited to the through hole portion, and may have various shapes.
  • the specific shape portion in the second protruding portion 12p is not limited to the through hole portion, and may have various shapes.
  • the shape of the protrusion 8p of the alignment table 8 fits into the outer edge portion of the first protrusion 11p as a specific shape portion. It may have a shape that fits, or may have a shape that fits into the outer edge portion as a specific shape portion in the second protruding portion 12p.
  • the alignment table 8 has a plurality of protrusions fitted to the plurality of specific shape portions of the first portion 11 and a plurality of protrusions fitted to the plurality of specific shape portions of the second portion 12. If the portion and the portion are provided, the alignment of the first portion 11 and the second portion 12 can be easily performed.
  • the first reinforcing portion 11r is not limited to a plate-shaped one.
  • the second reinforcing portion 12r is not limited to a plate-shaped one.
  • the first reinforcing portion 11r and the second reinforcing portion 12r may have a portion in which a plurality of rod-shaped portions are connected.
  • the first outer surface portion 11b1, the first connecting portion 11b3, and the first bonded portion 11b2 are located in the order of this description from the bottom.
  • the first portion 11 may be formed on the surface.
  • each second pin 64 may have a tapered portion 64 tp in a state in which the diameter increases as it approaches the second mold lower body portion 6b0. ..
  • burrs are less likely to be formed at the edges of the plurality of through holes Th2 in the second bonded portion 12b2.
  • the joining of the second surface 11bs and the third surface 12fs becomes easy.
  • a plurality of through holes Th2 are formed due to the presence of the plurality of second pins 64, but the present invention is not limited to this.
  • the plurality of through holes Th2 are formed by punching or the like. You may.
  • first upper surface 1fs and the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 are rectangular, but are not limited thereto. Further, for example, the first upper surface 1fs and the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 may have different shapes. Further, for example, the second surface 11bs of the first portion 11 and the third surface 12fs of the second portion 12 may have different shapes.
  • the first upper surface 1fs and the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 are flat surfaces, but are not limited thereto.
  • the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs of the second flow path device 2 are rectangular, but are not limited thereto. Further, for example, the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs of the second flow path device 2 may have different shapes.
  • the second upper surface 2fs and the second lower surface 2bs of the second flow path device 2 are flat surfaces, but are not limited thereto.
  • the first flow path device 1 is located on the second upper surface 2fs of the second flow path device 2, but the present invention is not limited to this.
  • the second flow path device 2 and the first flow path device 1 may be positioned so as to line up along one virtual plane.
  • the fifth flow path 5f has a fifth outlet 5od, but the present invention is not limited to this.
  • one end of the fifth flow path 5f may be connected to the second flow path 2f.
  • the fluid can be injected from the fifth flow path 5f into the second flow path 2f.
  • the concentration of leukocytes as the first particle P1 in the fluid in the second flow path 2f can be diluted.
  • the second flow path device 2 has a fifth flow path 5f and a sixth flow path 6f, but the present invention is not limited to this.
  • the fifth flow path 5f may be given the role of the sixth flow path 6f, and the sixth flow path 6f may be deleted.
  • the fifth flow path 5f and the sixth flow path 6f may be replaced with one fifth flow path 5f.
  • the fifth outlet 5od of the fifth flow path 5f may be connected to the first pressing inlet 1op of the first flow path 1f.
  • the second flow path device 2 is in a portion forming a flow path connected to the first flow path 1f of the first flow path device 1.
  • the second upper surface 2fs may have a plurality of convex portions 2pr located so as to project in the + Z direction.
  • the plurality of convex portions 2pr may be positioned so as to fit into the plurality of through holes 4th of the sheet member 4. If such a configuration is adopted, for example, the first flow path 1f of the first flow path device 1 and the flow path of the second flow path device 2 can be easily connected.
  • the reliability in the connection between the first flow path 1f of the first flow path device 1 and the flow path of the second flow path device 2 is reliable. If this can be ensured, it is not necessary to use an adhesive for joining the sheet member 4 and the second flow path device 2.
  • the first lower surface 1bs of the first flow path device 1 may be directly fixed on the second upper surface 2fs of the second flow path device 2 without the intervention of the seat member 4.
  • the first lower surface 1bs and the second upper surface 2fs may be joined by an adhesive, or the first lower surface 1bs and the second upper surface 2fs may be surface-modified or surface-modified without using an adhesive. It may be directly bonded by applying a silane coupling agent.
  • the sensor unit 9 may detect the light emitted by the object to be measured in the second plane portion F12 as the area to be measured.
  • the sensor unit 9 detects the fluorescence emitted by the reaction of the specific fine particles of the object to be measured with the reagent in the second flat surface portion F12.
  • the first flow path device 1 may be used as a single flow path device without being used in combination with the second flow path device 2.
  • the first flow path device 1 can be connected to, for example, another device or the like by a tube or the like, and can be used as a so-called microchip for separating a specific component in a fluid as a sample.
  • the first flow path 1f of the first flow path device 1 is not limited to separating a specific component in the fluid as a sample.
  • the first flow path 1f may be, for example, a flow path having a structure in which a plurality of liquids are mixed.

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Abstract

流路デバイスは、第１面と第２面とを持つ第１部分および第２面と接合した第３面と第４面とを持つ第２部分を備える。第１部分は、樹脂製の第１本体部と第１補強部とを含む。第１本体部で、第１面を持つ第１外面部分と第２面に第１流路を成す溝部パターンを持つ第１被接合部分とを第１連結部分が連結する。第１補強部は、第１外面部分と第１被接合部分とに挟まれて被着し、第１本体部から突出し且つ２つの特定形状部を持つ１以上の第１突出部分を含む。第２部分は、樹脂製の第２本体部と第２補強部とを含む。第２本体部で、第４面を持つ第２外面部分と第３面を持つ第２被接合部分とを第２連結部分が連結し、複数の貫通孔が第１流路に接続する。第２補強部は、第２外面部分と第２被接合部分とに挟まれて被着し、第２本体部から突出し且つ２つの特定形状部を持つ１以上の第２突出部分を含む。

Description

流路デバイス、流路デバイスの製造方法、計測用流路デバイスおよび検査装置
　本開示は、流路デバイス、流路デバイスの製造方法、計測用流路デバイスおよび検査装置に関する。
　流体における特定の微粒子を分離するための流路を有するデバイス（第１流路デバイスともいう）が知られている（例えば、国際公開第２０１９／１５１１５０号の記載を参照）。この第１流路デバイスは、微粒子の径に合わせた微細な流路を有する。また、この第１流路デバイスに、この第１流路デバイスで分離して回収した特定の微粒子を検査するための流路を含むデバイス（第２流路デバイスともいう）が連結されたデバイス（計測用流路デバイスともいう）も知られている（例えば、国際公開第２０１９／１５１１５０号の記載を参照）。さらに、この計測用流路デバイスと該計測用流路デバイス内の特定の微粒子を計測するセンサとを有する装置（検査装置ともいう）も知られている（例えば、国際公開第２０１９／１５１１５０号の記載を参照）。
　流路デバイス、流路デバイスの製造方法、計測用流路デバイスおよび検査装置が開示される。
　流路デバイスの一態様は、第１部分と第２部分とを備える。前記第１部分は、第１面および該第１面とは逆の第２面を有する。前記第２部分は、前記第２面と接合している状態にある第３面および該第３面とは逆の第４面を有する。前記第１部分は、樹脂製の第１本体部と、該第１本体部よりも硬い第１補強部と、を有する。前記第１本体部は、一体的に構成された、前記第１面を有する第１外面部分と、前記第２面を有する第１被接合部分と、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第１連結部分と、を含む。前記第１被接合部分は、前記第２面上に第１流路を構成している状態にある溝部パターンを有する。前記第１補強部は、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とに挟まれた状態で前記第１外面部分および前記第１被接合部分のそれぞれに被着している状態にあり、且つ前記第１面に向けて平面視した場合に、前記第１面に沿った方向において前記第１本体部から突出している状態にある１つ以上の第１突出部分を含む。該１つ以上の第１突出部分は、前記第１面に向けて平面視した場合に、互いに異なる位置に第１特定形状部および第２特定形状部を含む。前記第２部分は、樹脂製の第２本体部と、該第２本体部よりも硬い第２補強部と、を有する。前記第２本体部は、一体的に構成された、前記第４面を有する第２外面部分と、前記第３面を有する第２被接合部分と、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第２連結部分と、を含むとともに、前記第３面から前記第４面にかけてそれぞれ貫通しており且つ前記第１流路に接続している状態にある複数の貫通孔を有する。前記第２補強部は、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とに挟まれた状態で、前記第２外面部分および前記第２被接合部分のそれぞれに被着している状態にあり、且つ前記第４面に向けて平面視した場合に、前記第４面に沿った方向において前記第２本体部から突出している状態にある１つ以上の第２突出部分を含む。該１つ以上の第２突出部分は、前記第４面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第３特定形状部および第４特定形状部を含む。
　流路デバイスの製造方法の一態様は、(a)第１面および該第１面とは逆の第２面を有する第１部分を樹脂成型で作製する工程と、(b)第３面および該第３面とは逆の第４面を有する第２部分を樹脂成型で作製する工程と、(c)前記第１部分の前記第２面と前記第２部分の前記第３面とを接合することで流路デバイスを作製する工程と、を有する。前記(a)工程において、前記第１部分が、樹脂製の第１本体部と該第１本体部よりも硬い第１補強部とを有する。前記第１本体部が、一体的に構成された、前記第１面を有する第１外面部分と、前記第２面を有する第１被接合部分と、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第１連結部分と、を含む。前記第１被接合部分が、前記第２面上に溝部パターンを有する。前記第１補強部が、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とに挟まれた状態で前記第１外面部分および前記第１被接合部分のそれぞれに被着し、且つ前記第１面に向けて平面視した場合に、前記第１面に沿った方向において前記第１本体部から突出している状態にある１つ以上の第１突出部分を含む。該１つ以上の第１突出部分が、前記第１面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第１特定形状部および第２特定形状部を含むように、前記第１部分を樹脂成型で作製する。前記(b)工程において、前記第２部分が、樹脂製の第２本体部と該第２本体部よりも硬い第２補強部とを有する。前記第２本体部が、一体的に構成された、前記第４面を有する第２外面部分と、前記第３面を有する第２被接合部分と、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第２連結部分と、を含むとともに、前記第３面から前記第４面にかけてそれぞれ貫通している状態にある複数の貫通孔を有する。前記第２補強部が、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とに挟まれた状態で、前記第２外面部分および前記第２被接合部分のそれぞれに被着し、且つ前記第４面に向けて平面視した場合に、前記第４面に沿った方向において前記第２本体部から突出している状態にある１つ以上の第２突出部分を含む。該１つ以上の第２突出部分が、前記第４面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第３特定形状部および第４特定形状部を含むように、前記第２部分を樹脂成型で作製する。前記(c)工程において、前記第１特定形状部、前記第２特定形状部、前記第３特定形状部および前記第４特定形状部を用いて、前記第１部分と前記第２部分との位置合わせを行いつつ、前記溝部パターンと前記複数の貫通孔とが接続するように前記第２面と前記第３面とを接合することで、前記溝部パターンによる第１流路を形成する。
　計測用流路デバイスの一態様は、上記の一態様の流路デバイスを含む第１流路デバイスと、第２流路デバイスと、を備える。前記複数の貫通孔は、前記第４面に位置している第１開口を有する貫通孔を含む。前記第２流路デバイスは、第５面と該第５面とは逆の第６面とを有し、且つ内部に位置しているとともに前記第５面において第２開口を有する第２流路と、該第２流路内の少なくとも被計測領域からの光が該第２流路デバイスの外部まで透過する光透過部と、を有する。前記第１開口と前記第２開口とが互いに接続している状態にある。
　検査装置の一態様は、上記の一態様の計測用流路デバイスと、前記被計測領域から前記光透過部を通過した光を受光するセンサ部と、を備えている。
図１（ａ）は、第１実施形態に係る計測用流路デバイスの一例を示す平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）の計測用流路デバイスのIb－Ib線に沿った仮想的な切断面の一例を示す図である。 図２（ａ）は、第１実施形態に係る第１流路デバイスの一例を示す平面図である。図２（ｂ）は、第１実施形態に係る第１流路デバイスの一例を示す正面図である。 図３（ａ）は、第１流路の構成の一例を示す平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）の第１流路のIIIb部を示す拡大平面図である。 図４は、第１実施形態に係る第１流路デバイスの製造フローの一例を示す流れ図である。 図５（ａ）は、第１流路デバイスの第１部分の作製に用いる第１鋳型下部の一例を示す平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）の第１鋳型下部のVb－Vb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図６（ａ）は、第１部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）の第１部分の製造途中における状態のVIb－VIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図７（ａ）は、第１部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）の第１部分の製造途中における状態のVIIb－VIIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図８（ａ）は、第１部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）の第１部分の製造途中における状態のVIIIb－VIIIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図９（ａ）は、第１部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）の第１部分の製造途中における状態のIXb－IXb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１０（ａ）は、第１実施形態に係る第１部分の一例を示す平面図である。図１０（ｂ）は、第１実施形態に係る第１部分の一例を示す正面図である。 図１１（ａ）は、第１流路デバイスの第２部分の作製に用いる第２鋳型下部の一例を示す平面図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の第２鋳型下部のXIb－XIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１２（ａ）は、第２部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の第２部分の製造途中における状態のXIIb－XIIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１３（ａ）は、第２部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）の第２部分の製造途中における状態のXIIIb－XIIIb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１４（ａ）は、第２部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）の第２部分の製造途中における状態のXIVb－XIVb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１５（ａ）は、第２部分の製造途中における状態の一例を示す平面図である。図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の第２部分の製造途中における状態のXVb－XVb線に沿った仮想的な断面の一例を示す断面図である。 図１６（ａ）は、第１実施形態に係る第２部分の一例を示す平面図である。図１６（ｂ）は、第１実施形態に係る第２部分の一例を示す正面図である。 図１７（ａ）から図１７（ｃ）は、第１部分と第２部分とを接合する様子を示す正面図である。 図１８は、図１（ｂ）の計測用流路デバイスのXVIII部における仮想的な切断面を示す拡大図である。 図１９は、第１実施形態に係る第２流路デバイスの一例を示す平面図である。 図２０は、図１９の第２流路デバイスのXX部を示す拡大平面図である。 図２１は、第２実施形態に係る検査装置のうちの図１（ａ）のIb－Ib線に沿った位置に対応する位置における仮想的な切断面の一例を示す図である。 図２２は、第２実施形態に係る検査装置の構成の一例を模式的に示すブロック図である。 図２３（ａ）は、第３実施形態の第１例に係る第１部分を示す平面図である。図２３（ｂ）は、第３実施形態の第１例に係る第２部分を示す平面図である。 図２４（ａ）は、第３実施形態の第２例に係る第１部分を示す平面図である。図２４（ｂ）は、第３実施形態の第２例に係る第２部分を示す平面図である。 図２５（ａ）は、第３実施形態の第３例に係る第１部分を示す平面図である。図２５（ｂ）は、第３実施形態の第３例に係る第２部分を示す平面図である。 図２６（ａ）は、第３実施形態の第４例に係る第１部分を示す平面図である。図２６（ｂ）は、第３実施形態の第４例に係る第２部分を示す平面図である。 図２７（ａ）は、第３実施形態の第５例に係る第１部分を示す平面図である。図２７（ｂ）は、第３実施形態の第５例に係る第２部分を示す平面図である。 図２８は、図１１（ｂ）の第２の鋳型下部のXXVIII部を示す拡大断面図である。 図２９は、一変形例に係る第２流路デバイスを示す平面図である。 図３０は、図２９の第２流路デバイスのXXX部を示す拡大平面図である。 図３１は、一変形例に係る計測用流路デバイスのうちの図１（ｂ）の計測用流路デバイスのXVIII部に対応する位置における仮想的な切断面を示す拡大図である。
　特定の微粒子の径に合わせて分岐している微細な流路によって、流体における特定の微粒子を分離し、回収するデバイス（第１流路デバイス）が知られている。また、この第１流路デバイスと、特定の微粒子を計測するための流路を有するデバイス（第２流路デバイス）と、を接続したデバイス（計測用流路デバイス）も知られている。さらに、この計測用流路デバイスと、特定の微粒子を計測するセンサと、を有する装置（検査装置）も知られている。
　ところで、第１流路デバイスは、例えば、微細な流路に対応する凹凸を有するシート状もしくは板状の部材（第１の部材ともいう）と、その流路に接続する複数の貫通孔を有するシート状もしくは板状の部材（第２の部材ともいう）と、を接合することで製造され得る。
　また、第１流路デバイスの素材には、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）などが適用される。ＰＤＭＳは、鋳型を用いた樹脂成型を行う際における優れた転写性を有する。転写性は、鋳型を用いた樹脂成型を行う際に、樹脂成型品において鋳型の微細なパターンに応じた微細な凹凸の形成が可能となる性質である。このため、ＰＤＭＳを用いて第１の部材を樹脂成型で作製することで、微細な流路を有する流路デバイスを容易に製造することができる。
　しかしながら、ＰＤＭＳなどの転写性に優れる樹脂を用いて成型されたシート状もしくは板状の樹脂成型品は、非常に柔らかく、両端を把持して持ち上げただけで簡単に曲がり得る。このため、例えば、第１の部材と第２の部材とを接合する際に、第１の部材と第２の部材との位置合わせを行うことが容易ではない。
　このような問題は、計測用流路デバイスおよび検査装置に適用される流路デバイスに限られず、流路を有するデバイス（流路デバイスともいう）一般に共通する。
　そこで、本開示の発明者は、流路デバイス、計測用流路デバイスおよび検査装置を高精度で容易に製造することができる技術を創出した。
　これについて、以下、各種実施形態および各種変形例を、図面を参照しつつ説明する。図面においては同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。図面は模式的に示されたものである。図１（ａ）から図３（ｂ）、図５（ａ）から図２１および図２３（ａ）から図３１には、右手系のＸＹＺ座標系が付されている。このＸＹＺ座標系では、第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓの長手方向が＋Ｘ方向とされ、第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓの短手方向が＋Ｙ方向とされ、＋Ｘ方向と＋Ｙ方向との両方に直交する方向である第１上面１ｆｓの法線方向が＋Ｚ方向とされている。
　＜１．第１実施形態＞
　＜１－１．計測用流路デバイス＞
　第１実施形態に係る計測用流路デバイス１００は、例えば、検体としての流体を計測用流路デバイス１００内の流路に流すことで、検体中の特定の成分である特定の微粒子を、他の成分と分離して回収し、この特定の微粒子を対象とした計測を可能とすることができる。ここで、流体には、例えば、血液が適用される。この場合、特定の微粒子には、例えば、白血球が適用される。他の成分には、例えば、赤血球などの他の微粒子が適用される。計測には、例えば、血液に含まれる白血球の数の計測などが適用される。
　図１（ａ）および図１（ｂ）で示されるように、第１実施形態に係る計測用流路デバイス１００は、例えば、第１流路デバイス１と、第２流路デバイス２と、を備えている。
　第１流路デバイス１は、例えば、板状の小型のチップ（マイクロチップともいう）の形態を有する。第１流路デバイス１は、例えば、略矩形状の面（第１上面ともいう）１ｆｓと、この第１上面１ｆｓとは逆の面（第１下面ともいう）１ｂｓと、を有する。図１（ａ）および図１（ｂ）の例では、第１上面１ｆｓは、＋Ｚ方向を向いている。換言すれば、第１上面１ｆｓは、＋Ｚ方向に沿った法線を有する。第１下面１ｂｓは、－Ｚ方向を向いている。換言すれば、第１下面１ｂｓは、－Ｚ方向に沿った法線を有する。第１上面１ｆｓおよび第１下面１ｂｓのそれぞれは、例えば、平坦である。第１流路デバイス１の厚さは、例えば、１ミリメートル（ｍｍ）から５ｍｍ程度とされる。第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓおよび第１下面１ｂｓについては、短辺の長さが１０ｍｍから３０ｍｍ程度とされ、長辺の長さが１０ｍｍから５０ｍｍ程度とされる。
　第２流路デバイス２は、例えば、第１流路デバイス１よりも大きな板状の形態を有する。第２流路デバイス２は、例えば、略矩形状の面（第２上面ともいう）２ｆｓと、この第２上面２ｆｓとは逆の面（第２下面ともいう）２ｂｓと、を有する。図１（ａ）および図１（ｂ）の例では、第２上面２ｆｓは、＋Ｚ方向を向いている。換言すれば、第２上面２ｆｓは、＋Ｚ方向に沿った法線を有する。第２下面２ｂｓは、－Ｚ方向を向いている。換言すれば、第２下面２ｂｓは、－Ｚ方向に沿った法線を有する。第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのそれぞれは、例えば、平坦である。第２流路デバイス２の厚さは、例えば、０．５ｍｍから５ｍｍ程度とされる。第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓについては、例えば、短辺の長さが１０ｍｍから３０ｍｍ程度とされ、長辺の長さが２０ｍｍから５０ｍｍ程度とされる。
　第１流路デバイス１は、例えば、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓ上に位置している。換言すれば、第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓと、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓと、が対向している状態にある。
　＜１－２．第１流路デバイス＞
　第１流路デバイス１は、例えば、検体としての流体に含まれる特定の成分としての特定の微粒子を、他の成分と分離して回収することができる。第１流路デバイス１は、例えば、第１流路１ｆを有する。第１流路デバイス１では、例えば、第１流路１ｆにおいて、流体に含まれる特定の微粒子を他の成分と分離して回収することができる。
　図２（ａ）および図２（ｂ）で示されるように、第１流路デバイス１は、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを有する。第１部分１１および第２部分１２のそれぞれは、例えば、板状の形態を有する。第１部分１１および第２部分１２のそれぞれは、例えば、０．５ｍｍから数ｍｍ程度の厚さを有する。
　第１部分１１は、例えば、第１面１１ｆｓと、この第１面１１ｆｓとは逆の第２面１１ｂｓと、を有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第１面１１ｆｓは、＋Ｚ方向を向いている。換言すれば、第１面１１ｆｓは、＋Ｚ方向に沿った法線を有する。第２面１１ｂｓは、－Ｚ方向を向いている。換言すれば、第２面１１ｂｓは、－Ｚ方向に沿った法線を有する。第２部分１２は、例えば、第３面１２ｆｓと、この第３面１２ｆｓとは逆の第４面１２ｂｓと、を有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第３面１２ｆｓは、＋Ｚ方向を向いている。換言すれば、第３面１２ｆｓは、＋Ｚ方向に沿った法線を有する。第４面１２ｂｓは、－Ｚ方向を向いている。換言すれば、第４面１２ｂｓは、－Ｚ方向に沿った法線を有する。ここで、例えば、第１部分１１の第２面１１ｂｓは、第２部分１２の第３面１２ｆｓと接合している状態にある。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第２面１１ｂｓおよび第３面１２ｆｓは、それぞれ平坦である。第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとの接合は、例えば、第２面１１ｂｓおよび第３面１２ｆｓの表面改質によって、接着剤を用いることなく実現され得る。表面改質を行う方法には、例えば、酸素プラズマの照射またはエキシマランプを用いた紫外（ＵＶ）光の照射などが適用され得る。
　＜１－２－１．第１部分＞
　第１部分１１は、例えば、第１本体部１１ｂと、第１補強部１１ｒと、を有する。
　第１本体部１１ｂは、樹脂製である。第１本体部１１ｂの素材には、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）などのシリコーン樹脂またはポリイミド樹脂などの柔軟性を有する樹脂などが適用される。第１本体部１１ｂは、例えば、一体的に構成された、第１外面部分１１ｂ１と、第１被接合部分１１ｂ２と、１つ以上の第１連結部分１１ｂ３と、を含む。
　第１外面部分１１ｂ１は、例えば、第１面１１ｆｓを有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第１外面部分１１ｂ１は、第１補強部１１ｒよりも第１面１１ｆｓ側に位置している板状もしくはシート状の部分である。
　第１被接合部分１１ｂ２は、例えば、第２面１１ｂｓを有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第１被接合部分１１ｂ２は、第１補強部１１ｒよりも第２面１１ｂｓ側に位置している板状もしくはシート状の部分である。また、第１被接合部分１１ｂ２は、例えば、第２面１１ｂｓにおいて、第１流路１ｆを構成している状態にある溝部のパターン（溝部パターンともいう）１ｐｔを有する。ここでは、例えば、第１部分１１の第２面１１ｂｓと第２部分１２の第３面１２ｆｓとが接合されていることで、溝部パターン１ｐｔと第３面１２ｆｓとが、第１流路１ｆを構成している状態にある。
　１つ以上の第１連結部分１１ｂ３は、第１外面部分１１ｂ１と第１被接合部分１１ｂ２とを連結している状態にある。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、１つ以上の第１連結部分１１ｂ３は、４つの第１連結部分１１ｂ３を有する。各第１連結部分１１ｂ３は、第１補強部１１ｒのうちの厚さ方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある孔部Ｈ１の内側に位置している。換言すれば、第１補強部１１ｒの４つの孔部Ｈ１のそれぞれの内側に、第１連結部分１１ｂ３が位置している。
　第１補強部１１ｒは、第１本体部１１ｂよりも硬い。別の観点から言えば、第１補強部１１ｒは、例えば、第１本体部１１ｂよりも高い剛性を有する。第１補強部１１ｒの素材には、例えば、高い剛性を有するアクリル（ＰＭＭＡ）もしくはポリカーボネートなどの樹脂、金属またはセラミックスなどが適用される。第１補強部１１ｒには、例えば、ＸＹ平面に沿った板面を有する板状の部材が適用される。この第１補強部１１ｒは、例えば、第１外面部分１１ｂ１と第１被接合部分１１ｂ２とに挟まれた状態で、第１外面部分１１ｂ１および第１被接合部分１１ｂ２のそれぞれに被着している状態にある。例えば、第１補強部１１ｒを挟むように第１本体部１１ｂとなる硬化前の樹脂を配置した樹脂の成型によって、第１補強部１１ｒは、第１外面部分１１ｂ１および第１被接合部分１１ｂ２のそれぞれが被着され得る。
　また、第１補強部１１ｒは、例えば、１つ以上の第１突出部分１１ｐを含む。１つ以上の第１突出部分１１ｐは、例えば、第１面１１ｆｓに向けて平面視した場合に、第１面１１ｆｓに沿った方向において第１本体部１１ｂから突出している状態にある。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、１つ以上の第１突出部分１１ｐは、２つの第１突出部分１１ｐを含む。より具体的には、１つ以上の第１突出部分１１ｐは、第１Ａ突出部分１１ｐ１および第１Ｂ突出部分１１ｐ２を含む。第１Ａ突出部分１１ｐ１は、第１本体部１１ｂから－Ｘ方向に向けて突出している状態にある。第１Ｂ突出部分１１ｐ２は、第１本体部１１ｂから＋Ｘ方向に向けて突出している状態にある。
　１つ以上の第１突出部分１１ｐは、例えば、第１面１１ｆｓに向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に、２つの特定の形状を有する部分（特定形状部ともいう）を有する。換言すれば、１つ以上の第１突出部分１１ｐは、例えば、第１の特定形状を有する特定形状部（第１特定形状部ともいう）と、第２の特定形状を有する特定形状部（第２特定形状部ともいう）と、を有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、特定形状部には、Ｚ軸に沿った方向に貫通しており且つ貫通方向（＋Ｚ方向）に垂直な断面が円形である第１貫通孔部１１ｈが適用されている。より具体的には、第１Ａ突出部分１１ｐ１が、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１を有する。第１Ｂ突出部分１１ｐ２が、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２を有する。
　上述したように、第１部分１１では、例えば、一体的に構成された樹脂製の第１本体部１１ｂの間を挿通するように第１補強部１１ｒが位置している。ここで、例えば、樹脂製の第１本体部１１ｂが柔らかすぎる場合には、仮に第１補強部１１ｒが存在していなければ、第１本体部１１ｂの両端を把持して持ち上げると第１本体部１１ｂが撓んでしまい、第１本体部１１ｂの形状が崩れるような場合が想定される。これに対して、第１実施形態に係る第１部分１１では、例えば、第１補強部１１ｒの存在によって、第１部分１１の両端を把持して持ち上げても、第１本体部１１ｂが撓みにくく、第１本体部１１ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第１部分１１の取り扱いが容易となり得る。その結果、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。
　＜１－２－２．第２部分の構成＞
　第２部分１２は、例えば、第２本体部１２ｂと、第２補強部１２ｒと、を有する。
　第２本体部１２ｂは、樹脂製である。第２本体部１２ｂの素材には、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）などのシリコーン樹脂またはポリイミド樹脂などの柔軟性を有する樹脂などが適用される。第２本体部１２ｂは、例えば、一体的に構成された、第２外面部分１２ｂ１と、第２被接合部分１２ｂ２と、１つ以上の第２連結部分１２ｂ３と、を含む。
　第２外面部分１２ｂ１は、例えば、第４面１２ｂｓを有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第２外面部分１２ｂ１は、第２補強部１２ｒよりも第４面１２ｂｓ側に位置している板状もしくはシート状の部分である。
　第２被接合部分１２ｂ２は、例えば、第３面１２ｆｓを有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、第２被接合部分１２ｂ２は、第２補強部１２ｒよりも第３面１２ｆｓ側に位置している板状もしくはシート状の部分である。
　１つ以上の第２連結部分１２ｂ３は、第２外面部分１２ｂ１と第２被接合部分１２ｂ２とを連結している状態にある。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、１つ以上の第２連結部分１２ｂ３は、４つの第２連結部分１２ｂ３を有する。各第２連結部分１２ｂ３は、第２補強部１２ｒのうちの厚さ方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある孔部Ｈ２の内側に位置している。換言すれば、第２補強部１２ｒの４つの孔部Ｈ２のそれぞれの内側に、第２連結部分１２ｂ３が位置している。
　また、第２本体部１２ｂは、例えば、第３面１２ｆｓから第４面１２ｂｓにかけてそれぞれ貫通している状態にある複数の貫通孔Ｔｈ２を有する。各貫通孔Ｔｈ２の径は、例えば、２ｍｍ程度とされる。これらの複数の貫通孔Ｔｈ２は、例えば、第１流路１ｆに接続している状態にある。これにより、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆは、第２流路デバイス２などの第１流路デバイス１の外部のデバイスと、の間で、流体の流入および流出を行うことができる。
　第２補強部１２ｒは、第２本体部１２ｂよりも硬い。別の観点から言えば、第２補強部１２ｒは、例えば、第２本体部１２ｂよりも高い剛性を有する。第２補強部１２ｒの素材には、例えば、高い剛性を有するアクリル（ＰＭＭＡ）もしくはポリカーボネートなどの樹脂、金属またはセラミックスなどが適用される。第２補強部１２ｒには、例えば、ＸＹ平面に沿った板面を有する板状の部材が適用される。この第２補強部１２ｒは、例えば、第２外面部分１２ｂ１と第２被接合部分１２ｂ２とに挟まれた状態で、第２外面部分１２ｂ１および第２被接合部分１２ｂ２のそれぞれに被着している状態にある。例えば、第２補強部１２ｒを挟むように第２本体部１２ｂとなる硬化前の樹脂を配置した樹脂の成型によって、第２補強部１２ｒは、第２外面部分１２ｂ１および第２被接合部分１２ｂ２のそれぞれに被着され得る。
　また、第２補強部１２ｒは、例えば、１つ以上の第２突出部分１２ｐを含む。１つ以上の第２突出部分１２ｐは、例えば、第４面１２ｂｓに向けて平面視した場合に、第４面１２ｂｓに沿った方向において第２本体部１２ｂから突出している状態にある。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、１つ以上の第２突出部分１２ｐは、２つの第２突出部分１２ｐを含む。より具体的には、１つ以上の第２突出部分１２ｐは、第２Ａ突出部分１２ｐ１および第２Ｂ突出部分１２ｐ２を含む。第２Ａ突出部分１２ｐ１は、第２本体部１２ｂから－Ｘ方向に向けて突出している状態にある。第２Ｂ突出部分１２ｐ２は、第２本体部１２ｂから＋Ｘ方向に向けて突出している状態にある。
　１つ以上の第２突出部分１２ｐは、例えば、第４面１２ｂｓに向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に、２つの特定の形状を有する部分（特定形状部）を有する。換言すれば、１つ以上の第２突出部分１２ｐは、例えば、第３の特定形状を有する特定形状部（第３特定形状部ともいう）と、第４の特定形状を有する特定形状部（第４特定形状部ともいう）と、を有する。図２（ａ）および図２（ｂ）の例では、特定形状部には、Ｚ軸に沿った方向に貫通しており且つ貫通方向（＋Ｚ方向）に垂直な断面が円形である第２貫通孔部１２ｈが適用されている。より具体的には、第２Ａ突出部分１２ｐ１が、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１を有する。第２Ｂ突出部分１２ｐ２が、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２を有する。
　上述したように、第２部分１２では、例えば、一体的に構成された樹脂製の第２本体部１２ｂの間を挿通するように第２補強部１２ｒが位置している。ここで、例えば、樹脂製の第２本体部１２ｂが柔らかすぎる場合には、仮に第２補強部１２ｒが存在していなければ、第２本体部１２ｂの両端を把持して持ち上げると第２本体部１２ｂが撓んでしまい、第２本体部１２ｂの形状が崩れるような場合が想定される。これに対して、第１実施形態に係る第２部分１２では、例えば、第２補強部１２ｒの存在によって、第２部分１２の両端を把持して持ち上げても、第２本体部１２ｂが撓みにくく、第２本体部１２ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第２部分１２の取り扱いが容易となり得る。このため、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。その結果、第１流路デバイス１を容易に製造することができる。
　また、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを重ね合わせて接合する際に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２とを用いて第１部分１１の姿勢および位置の設定を行うことができる。また、例えば、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とを用いて第２部分１２の姿勢および位置の設定を行うことができる。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。その結果、例えば、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。
　＜１－２－３．第１流路＞
　図３（ａ）で示されるように、第１流路１ｆは、例えば、主流路１ｆ１と、複数の分岐流路１ｆ２と、を有する。複数の分岐流路１ｆ２は、それぞれ主流路１ｆ１から分岐した流路である。第１流路デバイス１では、例えば、第１流路デバイス１内を流れる流体は、主流路１ｆ１に流入する。ここで、例えば、この流体に特定の微粒子（第１粒子ともいう）およびこの特定の微粒子（第１粒子）とは異なる微粒子（第２粒子ともいう）が含まれている場合を想定する。この場合には、例えば、第２粒子が主流路１ｆ１から分岐流路１ｆ２に流れ込む。これにより、第１粒子を、第２粒子と分離することができる。換言すれば、第１流路デバイス１では、例えば、第２粒子を第１粒子と分離することもできる。分岐流路１ｆ２は、例えば、第２粒子が主流路１ｆ１から流れ込むように設計されているが、第１粒子とも第２粒子とも異なる粒子が流れ込んでもよい。
　図３（ｂ）には、第１流路１ｆにおいて第１粒子と第２粒子とが分離される様子が模式的に示されている。図３（ｂ）では、大きい円が第１粒子Ｐ１を示し、小さい円が第２粒子Ｐ２を示している。また、－Ｙ方向に向かうように太い２点鎖線で描かれた矢印Ｆｍ１が、主流路１ｆ１を流れる流体の主な流れ（主流ともいう）が向かう方向を示している。また、－Ｘ方向に向かうように２点鎖線で描かれた矢印Ｆｐ１が、後述する「押付流」が向かう方向を示している。さらに、第１流路１ｆ内において砂地のハッチングが付された領域Ａｒ１は、後述する「引き込み流れ」を示している。
　第１実施形態では、第１流路１ｆは、例えば、主流路１ｆ１と、この主流路１ｆ１から－Ｘ方向に分岐するように主流路１ｆ１にそれぞれ接続している状態にある複数の分岐流路１ｆ２と、を有する。ここで、例えば、主流路１ｆ１および分岐流路１ｆ２のそれぞれの断面積、長さおよび検体（流体）の流速などを調整することによって、主流路１ｆ１から分岐流路１ｆ２へ流れ込む「引き込み流れ」を発生させることができる。また、ここでは、例えば、第１流路１ｆに、主流路１ｆ１内を流れる検体（流体）を分岐流路１ｆ２側に押し付け可能な押付流を発生させている。例えば、図３（ｂ）で示されるように、主流路１ｆ１から分岐流路１ｆ２へ分岐する領域の付近において、主流路１ｆ１における引き込み流れの幅Ｗ１を、引き込み流れの領域Ａｒ１に第１粒子Ｐ１の重心位置が含まれ得ず、第２粒子Ｐ２の重心位置が含まれ得るような幅とすることで、主流路１ｆ１から分岐流路１ｆ２に第２粒子Ｐ２が引き込まれ得る。ここでは、分岐流路１ｆ２の幅を、検体中を流れる第１粒子Ｐ１の径よりも小さく、第２粒子Ｐ２の径よりも大きくすることによって、主流路１ｆ１から分岐流路１ｆ２に、第１粒子Ｐ１が引き込まれずに、第２粒子Ｐ２が引き込まれ得る。
　ここで、例えば、検体が血液であり、第１粒子Ｐ１が白血球であり、第２粒子Ｐ２が赤血球である場合を想定する。赤血球の重心位置は、例えば、赤血球の外縁部から２マイクロメートル（μｍ）から２．５μｍ程度の位置である。赤血球の最大径は、例えば、６μｍから８μｍ程度である。白血球の重心位置は、例えば、白血球の外縁部から５μｍから１０μｍ程度の位置である。白血球の最大径は、例えば、１０μｍから３０μｍ程度である。この場合には、主流路１ｆ１については、ＸＺ平面に沿った仮想断面の断面積が、例えば、３００平方マイクロメートル（μｍ２）から１０００μｍ２程度とされ、Ｙ軸方向に沿った長さが、例えば、０．５ｍｍから２０ｍｍ程度とされる。分岐流路１ｆ２については、ＹＺ平面に沿った仮想断面の断面積が、例えば、１００μｍ２から５００μｍ２程度とされ、Ｘ軸方向に沿った長さが、例えば、３ｍｍから２５ｍｍ程度とされる。そして、第１流路１ｆ内の流速を、例えば、０．２メートル毎秒（ｍ／ｓ）から５ｍ／ｓ程度にすれば、引き込み流れの幅Ｗ１を、２μｍから１５μｍ程度に設定することができる。これにより、例えば、第１流路１ｆにおいて、血液中の赤血球と白血球とを分離することができる。
　また、第１流路１ｆは、例えば、回収流路１ｆ３をさらに有する。回収流路１ｆ３は、例えば、主流路１ｆ１の下流側の部分に接続している状態にある。この回収流路１ｆ３は、主流路１ｆ１を流れる第１粒子Ｐ１を回収することができる。第１実施形態の第１流路１ｆでは、主流路１ｆ１において分離された第１粒子Ｐ１が主流路１ｆ１から回収流路１ｆ３に流入することができる。これにより、例えば、回収流路１ｆ３は、第１粒子Ｐ１を回収することができる。
　また、第１流路１ｆは、例えば、排出流路１ｆ４をさらに有していてもよい。この排出流路１ｆ４には、例えば、複数の分岐流路１ｆ２が接続している状態にある。排出流路１ｆ４は、複数の分岐流路１ｆ２から流れ込む第２粒子Ｐ２を回収してもよいし、廃棄してもよい。ここで、例えば、排出流路１ｆ４によって第２粒子Ｐ２を回収する場合には、排出流路１ｆ４は、第２粒子Ｐ２を回収する流路として機能する。また、主流路１ｆ１において下流側の端部まで流れた流体は、例えば、廃棄してもよい。
　第１実施形態では、図２（ａ）から図３（ａ）で示されるように、第１流路１ｆは、例えば、第２部分１２の複数の貫通孔Ｔｈ２を介して、第１下面１ｂｓに位置している複数の第１開口１ｏに接続している状態にある。換言すれば、各貫通孔Ｔｈ２は、第４面１２ｂｓに位置している第１開口１ｏを有する。
　複数の第１開口１ｏは、例えば、第１流入口１ｏｉと、第１流出口１ｏｄと、第１排出口１ｏｘと、第２排出口１ｏｅと、を有している。第１流入口１ｏｉは、例えば、検体の流入を受け付けて、第１の貫通孔Ｔｈ２（第１貫通孔Ｔｈ２１ともいう）を介して主流路１ｆ１へ検体を流入させることができる。第１流出口１ｏｄは、例えば、回収流路１ｆ３から第２の貫通孔Ｔｈ２（第２貫通孔Ｔｈ２２ともいう）を介して流れてくる第１粒子Ｐ１を回収することができる。第１排出口１ｏｘは、例えば、排出流路１ｆ４および第３の貫通孔Ｔｈ２（第３貫通孔Ｔｈ２３）を介して流れてくる、検体から分離した第２粒子Ｐ２を、排出することができる。第１排出口１ｏｘから排出される流体は、例えば、第２流路デバイス２の貫通孔２ｔｈを介して廃棄または回収され得る。第２排出口１ｏｅは、例えば、主流路１ｆ１の下流側の端部から第４の貫通孔Ｔｈ２（第４貫通孔Ｔｈ２４ともいう）を介して流れてくる、検体から第１粒子Ｐ１および第２粒子Ｐ２を除いた成分を、排出することができる。第２排出口１ｏｅから排出される流体は、例えば、第２流路デバイス２の貫通孔２ｔｈを介して廃棄または回収され得る。また、第１実施形態では、複数の第１開口１ｏは、例えば、第１押付流入口１ｏｐをさらに有する。第１押付流入口１ｏｐは、例えば、検体を主流路１ｆ１のうちの複数の分岐流路１ｆ２側に押し付けるための押付流を生じさせる流体の流入を受け付けて、第５の貫通孔Ｔｈ２（第５貫通孔Ｔｈ２５ともいう）を介して主流路１ｆ１へ押付流を生じさせる流体を流入させることができる。
　＜１－３．第１流路デバイスの製造方法＞
　第１流路デバイス１の製造方法の一例について、図４から図１７（ｃ）を参照しつつ説明する。第１流路デバイス１の製造方法の一例では、例えば、図４で示されるように、ステップＳｐ１の第１工程と、ステップＳｐ２の第２工程と、ステップＳｐ３の第３工程と、がこの記載の順に行われる。ここで、例えば、ステップＳｐ１の第１工程とステップＳｐ２の第２工程とが行われる順序は、逆であってもよい。
　＜＜第１工程（ステップＳｐ１）＞＞
　ステップＳｐ１の第１工程では、上述した第１部分１１を樹脂成型で作製する。
　ここで、第１部分１１を樹脂成型で作製する工程の一例について説明する。
　まず、例えば、図５（ａ）および図５（ｂ）で示されるように、第１部分１１の樹脂成型に用いる第１の鋳型の下部（第１鋳型下部ともいう）５ｂを準備する。第１鋳型下部５ｂは、例えば、略直方体状の第１鋳型下部本体部５ｂ０の上部に、第１凹部５１ｄを有する。第１凹部５１ｄは、例えば、第１Ａ領域５１ａ１と、第１Ｂ領域５１ａ２と、第１Ｃ領域５１ａ３と、を有する。第１Ａ領域５１ａ１は、例えば、第１被接合部分１１ｂ２の外形に対応する形状を有する。第１Ｂ領域５１ａ２は、例えば、第１Ａ突出部分１１ｐ１の外形に対応する形状を有する。第１Ｃ領域５１ａ３は、例えば、第１Ｂ突出部分１１ｐ２の外形に対応する形状を有する。第１凹部５１ｄでは、例えば、第１Ａ領域５１ａ１が、第１Ｂ領域５１ａ２および第１Ｃ領域５１ａ３よりも深い。第１Ｂ領域５１ａ２と第１Ｃ領域５１ａ３との深さは略同一である。また、第１Ａ領域５１ａ１の底部には、例えば、マイクロ型５２が位置している。マイクロ型５２は、例えば、基板と、この基板上に位置している微細な凹凸部５２ｍと、を有する。基板には、例えば、シリコン基板が適用される。凹凸部５２ｍには、第１流路１ｆを構成するための溝部パターン１ｐｔに対応する微細な凹凸部が適用される。マイクロ型５２は、例えば、シリコン基板と、このシリコン基板上に形成された凹凸部５２ｍと、を有する。凹凸部５２ｍは、例えば、ＳＵ－８と称されるレジストなどで形成され得る。また、第１Ｂ領域５１ａ２および第１Ｃ領域５１ａ３のそれぞれの底部には、例えば、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第１ピン５３が位置している。具体的には、第１Ｂ領域５１ａ２の底部には、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第１Ａピン５３１が位置している。第１Ｃ領域５１ａ３の底部には、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第１Ｂピン５３２が位置している。第１ピン５３は、例えば、第１補強部１１ｒの第１貫通孔部１１ｈが嵌合する形状を有する。具体的には、第１Ａピン５３１は、例えば、第１補強部１１ｒの第１Ａ貫通孔部１１ｈ１が嵌合する形状を有する。第１Ｂピン５３２は、例えば、第１補強部１１ｒの第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２が嵌合する形状を有する。
　次に、例えば、図６（ａ）および図６（ｂ）で示されるように、第１Ａ領域５１ａ１に、硬化前の液体状の第１樹脂７１を配置する。第１樹脂７１には、例えば、主剤と硬化剤とが混ぜ合わされた状態の熱硬化型の樹脂が適用される。
　次に、例えば、図７（ａ）および図７（ｂ）で示されるように、第１Ｂ領域５１ａ２と第１Ｃ領域５１ａ３との間に架設されるように、第１補強部１１ｒを配置する。このとき、第１Ａピン５３１に第１Ａ貫通孔部１１ｈ１が嵌合し、第１Ｂピン５３２に第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２が嵌合している状態とされる。
　次に、例えば、図８（ａ）および図８（ｂ）で示されるように、第１Ａ領域５１ａ１において、第１補強部１１ｒ上に、硬化前の液体状の第２樹脂７２を配置する。第２樹脂７２には、例えば、主剤と硬化剤とが混ぜ合わされた状態の熱硬化型の樹脂が適用される。第１樹脂７１および第２樹脂７２には、例えば、同一の樹脂が適用される。第１樹脂７１および第２樹脂７２には、例えば、異なる樹脂が適用されてもよい。
　次に、例えば、図９（ａ）および図９（ｂ）で示されるように、第１部分１１の樹脂成型に用いる第１の鋳型の上部（第１鋳型上部ともいう）５ｕを、第１補強部１１ｒおよび第２樹脂７２の上に被せるように配置する。第１鋳型上部５ｕは、第２凹部５２ｄと、第１張出部５４１と、第２張出部５４２と、第１孔部５５１と、第２孔部５５２と、を有する。第２凹部５２ｄは、第１鋳型上部５ｕの略直方体状の第１鋳型上部本体部５ｕ０の下面側に位置しており、第１外面部分１１ｂ１の外形に対応する形状を有する。第１張出部５４１および第２張出部５４２のそれぞれは、第１鋳型上部本体部５ｕ０の下面側に位置しており、下方向（－Ｚ方向）に張り出している状態にある。第１張出部５４１は、第１Ａ突出部分１１ｐ１の上面の外形に対応する形状を有する。第２張出部５４２は、第１Ｂ突出部分１１ｐ２の上面の外形に対応する形状を有する。第１孔部５５１は、第１張出部５４１の下面から第１鋳型上部５ｕの上面まで上方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある。第２孔部５５２は、第２張出部５４２の下面から第１鋳型上部５ｕの上面まで上方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある。ここでは、第２凹部５２ｄに第２樹脂７２が充填された状態にある。また、第１Ａピン５３１が、第１孔部５５１に嵌合している状態で、第１張出部５４１が第１補強部１１ｒの上面に当接している。第１Ｂピン５３２が、第２孔部５５２に嵌合している状態で、第２張出部５４２が第１補強部１１ｒの上面に当接している。
　そして、例えば、図９（ａ）および図９（ｂ）で示された状態で、加熱炉（オーブン）で加熱されることで、第１樹脂７１および第２樹脂７２が硬化する。ここでは、加熱温度は、例えば、摂氏８０度（８０℃）から１００℃程度の温度域とされる。加熱時間は、例えば、３０分間程度とされる。
　その後、例えば、第１鋳型下部５ｂと第１鋳型上部５ｕとが取り除かれることで、図１０（ａ）および図１０（ｂ）で示されるように、第１面１１ｆｓと第２面１１ｂｓとを有する第１部分１１が作製され得る。換言すれば、このステップＳｐ１の第１工程では、例えば、第１部分１１が、樹脂製の第１本体部１１ｂと、この第１本体部１１ｂよりも硬い第１補強部１１ｒと、を有するように、樹脂成型で作製される。ここでは、例えば、第１本体部１１ｂが、一体的に構成された、第１面１１ｆｓを有する第１外面部分１１ｂ１と、第２面１１ｂｓを有する第１被接合部分１１ｂ２と、第１外面部分１１ｂ１と第１被接合部分１１ｂ２とを連結している状態にある１つ以上の第１連結部分１１ｂ３と、を含むように、形成される。また、例えば、第１被接合部分１１ｂ２が、第２面１１ｂｓにおいて、溝部パターン１ｐｔを有するように形成される。また、例えば、第１補強部１１ｒが、第１外面部分１１ｂ１と第１被接合部分１１ｂ２とに挟まれた状態で、第１外面部分１１ｂ１および第１被接合部分１１ｂ２のそれぞれに被着している状態とされる。また、例えば、第１補強部１１ｒが、第１面１１ｆｓに向けて平面視した場合に、第１面１１ｆｓに沿った方向において、第１本体部１１ｂから突出している状態にある１つ以上の第１突出部分１１ｐを含んでいる状態とされる。このとき、例えば、１つ以上の第１突出部分１１ｐは、例えば、第１面１１ｆｓに向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と、を含むような状態とされる。
　＜＜第２工程（ステップＳｐ２）＞＞
　ステップＳｐ２の第２工程では、上述した第２部分１２を樹脂成型で作製する。
　ここで、第２部分１２を樹脂成型で作製する工程の一例について説明する。
　まず、例えば、図１１（ａ）および図１１（ｂ）で示されるように、第２部分１２の樹脂成型に用いる第２の鋳型の下部（第２鋳型下部ともいう）６ｂを準備する。第２鋳型下部６ｂは、例えば、略直方体状の第２鋳型下部本体部６ｂ０の上部に、第３凹部６１ｄを有する。第３凹部６１ｄは、例えば、第３Ａ領域６１ａ１と、第３Ｂ領域６１ａ２と、第３Ｃ領域６１ａ３と、を有する。第３Ａ領域６１ａ１は、例えば、第２外面部分１２ｂ１の外形に対応する形状を有する。第３Ｂ領域６１ａ２は、例えば、第２Ａ突出部分１２ｐ１の外形に対応する形状を有する。第３Ｃ領域６１ａ３は、例えば、第２Ｂ突出部分１２ｐ２の外形に対応する形状を有する。第３凹部６１ｄでは、例えば、第３Ａ領域６１ａ１が、第３Ｂ領域６１ａ２および第３Ｃ領域６１ａ３よりも深い。第３Ｂ領域６１ａ２と第３Ｃ領域６１ａ３との深さは略同一である。また、第３Ａ領域６１ａ１の底部には、例えば、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある複数の第２ピン６４が位置している。複数の第２ピン６４は、例えば、第２部分１２の第２本体部１２ｂにおける複数の貫通孔Ｔｈ２に対応する位置に配されている。複数の第２ピン６４は、例えば、第２Ａピン６４１、第２Ｂピン６４２、第２Ｃピン６４３、第２Ｄピン６４４および第２Ｅピン６４５を含む。第２Ａピン６４１は、例えば、第１貫通孔Ｔｈ２１の位置および形状に対応する形態を有する。第２Ｂピン６４２は、例えば、第２貫通孔Ｔｈ２２の位置および形状に対応する形態を有する。第２Ｃピン６４３は、例えば、第３貫通孔Ｔｈ２３の位置および形状に対応する形態を有する。第２Ｄピン６４４は、例えば、第４貫通孔Ｔｈ２４の位置および形状に対応する形態を有する。第２Ｅピン６４５は、例えば、第５貫通孔Ｔｈ２５の位置および形状に対応する形態を有する。また、第３Ｂ領域６１ａ２および第３Ｃ領域６１ａ３のそれぞれの底部には、例えば、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第３ピン６３が位置している。具体的には、第３Ｂ領域６１ａ２の底部には、例えば、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第３Ａピン６３１が位置している。第３Ｃ領域６１ａ３の底部には、例えば、上方向（＋Ｚ方向）に向けて突出している状態にある第３Ｂピン６３２が位置している。第３ピン６３は、例えば、第２補強部１２ｒの第２貫通孔部１２ｈが嵌合する形状を有する。具体的には、第３Ａピン６３１は、例えば、第２補強部１２ｒの第２Ａ貫通孔部１２ｈ１が嵌合する形状を有する。第３Ｂピン６３２は、例えば、第２補強部１２ｒの第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２が嵌合する形状を有する。
　次に、例えば、図１２（ａ）および図１２（ｂ）で示されるように、第３Ａ領域６１ａ１に、硬化前の液体状の第３樹脂７３を配置する。第３樹脂７３には、例えば、主剤と硬化剤とが混ぜ合わされた状態の熱硬化型の樹脂が適用される。
　次に、例えば、図１３（ａ）および図１３（ｂ）で示されるように、第３Ｂ領域６１ａ２と第３Ｃ領域６１ａ３との間に架設されるように、第２補強部１２ｒを配置する。このとき、第３Ａピン６３１に第２Ａ貫通孔部１２ｈ１が嵌合し、第３Ｂピン６３２に第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２が嵌合している状態とされる。
　次に、例えば、図１４（ａ）および図１４（ｂ）で示されるように、第３Ａ領域６１ａ１において、第２補強部１２ｒ上に、硬化前の液体状の第４樹脂７４を配置する。第４樹脂７４には、例えば、主剤と硬化剤とが混ぜ合わされた状態の熱硬化型の樹脂が適用される。第３樹脂７３および第４樹脂７４には、例えば、同一の樹脂が適用される。第３樹脂７３および第４樹脂７４には、例えば、異なる樹脂が適用されてもよい。
　次に、例えば、図１５（ａ）および図１５（ｂ）で示されるように、第２部分１２の樹脂成型に用いる第２の鋳型の上部（第２鋳型上部ともいう）６ｕを、第２補強部１２ｒおよび第４樹脂７４の上に被せるように配置する。第２鋳型上部６ｕは、例えば、第４凹部６２ｄと、第３張出部６７１と、第４張出部６７２と、第３孔部６５１と、第４孔部６５２と、複数の第５孔部６６と、を有する。第４凹部６２ｄは、例えば、第２鋳型上部６ｕの略直方体状の第２鋳型上部本体部６ｕ０の下面側に位置しており、第２被接合部分１２ｂ２の外形に対応する形状を有する。第３張出部６７１および第４張出部６７２のそれぞれは、例えば、第２鋳型上部本体部６ｕ０の下面側に位置しており、下方向（－Ｚ方向）に張り出している状態にある。第３張出部６７１は、例えば、第２Ａ突出部分１２ｐ１の上面の外形に対応する形状を有する。第４張出部６７２は、例えば、第２Ｂ突出部分１２ｐ２の上面の外形に対応する形状を有する。第３孔部６５１は、例えば、第３張出部６７１の下面から第２鋳型上部６ｕの上面まで上方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある。第４孔部６５２は、例えば、第４張出部６７２の下面から第２鋳型上部６ｕの上面まで上方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある。複数の第５孔部６６は、例えば、それぞれ第２鋳型上部６ｕの下面から上面まで上方向（＋Ｚ方向）に貫通している状態にある。複数の第５孔部６６は、例えば、第５Ａ孔部６６１、第５Ｂ孔部６６２、第５Ｃ孔部６６３、第５Ｄ孔部６６４および第５Ｅ孔部６６５を含む。ここでは、例えば、第４凹部６２ｄに第４樹脂７４が充填された状態にある。また、例えば、第３Ａピン６３１が、第３孔部６５１に嵌合している状態で、第３張出部６７１が第２補強部１２ｒの上面に当接している。例えば、第３Ｂピン６３２が、第４孔部６５２に嵌合している状態で、第４張出部６７２が第１補強部１１ｒの上面に当接している。また、ここでは、例えば、複数の第２ピン６４が、複数の第５孔部６６に嵌合している。具体的には、例えば、第２Ａピン６４１が、第５Ａ孔部６６１に嵌合している。例えば、第２Ｂピン６４２が、第５Ｂ孔部６６２に嵌合している。例えば、第２Ｃピン６４３が、第５Ｃ孔部６６３に嵌合している。例えば、第２Ｄピン６４４が、第５Ｄ孔部６６４に嵌合している。例えば、第２Ｅピン６４５が、第５Ｅ孔部６６５に嵌合している。
　そして、例えば、図１５（ａ）および図１５（ｂ）で示された状態で、加熱炉で加熱されることで、第３樹脂７３および第４樹脂７４が硬化する。ここでは、加熱温度は、例えば、８０℃から１００℃程度の温度域とされる。加熱時間は、例えば、３０分間程度とされる。
　その後、例えば、第２鋳型下部６ｂと第２鋳型上部６ｕとが取り除かれることで、図１６（ａ）および図１６（ｂ）で示されるように、第３面１２ｆｓと第４面１２ｂｓとを有する第２部分１２が作製され得る。換言すれば、このステップＳｐ２の第２工程では、例えば、第２部分１２が、樹脂製の第２本体部１２ｂと、この第２本体部１２ｂよりも硬い第２補強部１２ｒと、を有するように、樹脂成型で作製される。ここでは、例えば、第２本体部１２ｂが、一体的に構成された、第４面１２ｂｓを有する第２外面部分１２ｂ１と、第３面１２ｆｓを有する第２被接合部分１２ｂ２と、第２外面部分１２ｂ１と第２被接合部分１２ｂ２とを連結している状態にある１つ以上の第２連結部分１２ｂ３と、を含むように、形成される。また、例えば、第２本体部１２ｂが、第３面１２ｆｓから第４面１２ｂｓにかけてそれぞれ貫通している状態にある複数の貫通孔Ｔｈ２を有するように形成される。また、例えば、第２補強部１２ｒが、第２外面部分１２ｂ１と第２被接合部分１２ｂ２とに挟まれた状態で、第２外面部分１２ｂ１および第２被接合部分１２ｂ２のそれぞれに被着している状態とされる。また、例えば、第２補強部１２ｒが、第４面１２ｂｓに向けて平面視した場合に、第４面１２ｂｓに沿った方向において、第２本体部１２ｂから突出している状態にある１つ以上の第２突出部分１２ｐを含んでいる状態とされる。このとき、例えば、１つ以上の第２突出部分１２ｐは、第４面１２ｂｓに向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２と、を含むような状態とされる。
　＜＜第３工程（ステップＳｐ３）＞＞
　ステップＳｐ３の第３工程では、第１部分１１の第２面１１ｂｓと第２部分１２の第３面１２ｆｓとを接合することで第１流路デバイス１を作製する。このとき、例えば、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１および第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２を用いて、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせを行う。また、例えば、第２面１１ｂｓに位置している溝部パターン１ｐｔに、第２部分１２の複数の貫通孔Ｔｈ２を接続するように、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接合することで、第１流路１ｆを形成する。
　ここで、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接合する工程の一例について説明する。
　まず、例えば、図１７（ａ）で示されるように、位置合わせ用の台（位置合わせ台ともいう）８を準備する。位置合わせ台８は、例えば、基台８ｂと、複数の突起部８ｐと、を有する。基台８ｂは、例えば、直方体状の形状を有する。複数の突起部８ｐは、例えば、基台８ｂの上面から上方向（＋Ｚ方向）に向けて突起している状態にある。図１７（ａ）の例では、複数の突起部８ｐは、第１突起部８ｐ１と、第２突起部８ｐ２と、を含む。複数の突起部８ｐは、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせを行うための部分（位置合わせ部ともいう）としての役割を有する。ここでは、第１突起部８ｐ１と第２突起部８ｐ２との位置関係は、例えば、第１補強部１１ｒにおける第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２との位置関係、および第２補強部１２ｒにおける第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２との位置関係、にそれぞれ対応している。
　次に、例えば、図１７（ａ）で示されるように、第２部分１２を、第３面１２ｆｓが上方向（＋Ｚ方向）を向くように、基台８ｂ上に載置する。このとき、例えば、第１突起部８ｐ１が第２Ａ貫通孔部１２ｈ１に嵌合し、第２突起部８ｐ２が第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２に嵌合している状態とされる。ここでは、例えば、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とを用いて、第２部分１２の姿勢および位置が調整される。
　次に、図１７（ｂ）および図１７（ｃ）で示すように、第１面１１ｆｓが上方向（＋Ｚ方向）を向くように、第２部分１２上に第１部分１１を重ね合わせる。このとき、例えば、第１突起部８ｐ１が第１Ａ貫通孔部１１ｈ１に嵌合し、第２突起部８ｐ２が第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２に嵌合している状態とされる。ここでは、例えば、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２とを用いて、第１部分１１の姿勢および位置が調整される。
　ここで、例えば、第２面１１ｂｓおよび第３面１２ｆｓに対して、事前に表面改質を行う処理を施しておくことで、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接触させることによって第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接合する態様が考えられる。このような態様が採用されれば、例えば、接着剤を用いることなく、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接合することができる。その結果、例えば、検体への不純物の混入および検体に含まれる微粒子などの成分と不純物との反応などが生じにくくなる。表面改質は、例えば、酸素プラズマの照射またはエキシマランプを用いた紫外（ＵＶ）光の照射などで実現され得る。
　ここで、例えば、第１被接合部分１１ｂ２の素材と第２被接合部分１２ｂ２の素材とが同質の樹脂を含むように第１部分１１と第２部分１２とを作製すれば、表面改質を用いた第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとの接合の強度が向上し得る。これにより、例えば、第１流路デバイス１の耐久性が向上し得る。ここで、同質の樹脂は、例えば、樹脂を構成している主成分が同一の樹脂を含む。具体的には、同質の樹脂としては、例えば、シリコーンを主成分とするシリコーン樹脂が採用される。この場合には、例えば、第１部分１１および第２部分１２の樹脂成型が容易である。ここで、シリコーン樹脂には、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）が適用され得る。この場合には、例えば、第１流路１ｆの微細化を容易に実現することができる。また、ＰＤＭＳは、例えば、透明な性質、耐薬品性および生体適合性が良好などの優れた性質も有する。
　以上では、第２部分１２上に第１部分１１を重ね合わせて、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓと接合する例を挙げて説明したが、これに限られない。例えば、第１部分１１上に第２部分１２を重ね合わせて、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとを接合してもよい。
　ここでは、例えば、第１補強部１１ｒの存在によって、第１部分１１の両端を把持して持ち上げても、第１本体部１１ｂが撓みにくく、第１本体部１１ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第１部分１１の取り扱いが容易である。また、例えば、第２補強部１２ｒの存在によって、第２部分１２の両端を把持して持ち上げても、第２本体部１２ｂが撓みにくく、第２本体部１２ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第２部分１２の取り扱いが容易である。このため、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。
　また、ここでは、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを重ね合わせて接合する際に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とを用いて、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせを行う。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易であり、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。
　ここでは、例えば、第１面１１ｆｓに向けて第１部分１１を平面視した場合に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２とが、第１本体部１１ｂを挟む互いに逆側に位置している。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせの精度を高めることができる。その結果、例えば、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。また、ここでは、例えば、第４面１２ｂｓに向けて第２部分１２を平面視した場合に、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とが、第２本体部１２ｂを挟む互いに逆側に位置している。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせの精度を高めることができる。その結果、例えば、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。
　また、第１流路デバイス１では、例えば、第１面１１ｆｓに向けて平面透視した場合に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１とが重なり合うように位置し、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とが重なり合うように位置している。このような構成が採用されれば、例えば、位置合わせ部としての各突起部８ｐを、第１部分１１の位置および姿勢の調整および第２部分１２の位置および姿勢の調整の双方に用いることができる。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせの精度を容易に高めることができる。その結果、例えば、流路デバイスを高精度でより容易に製造することができる。
　＜１－４．第２流路デバイス＞
　図１（ｂ）で示されるように、第２流路デバイス２は、例えば、内部に第２流路２ｆを有する。この第２流路２ｆは、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆと連続するように接続している状態にある。このため、第２流路デバイス２では、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆにおける分離および回収によって得られた特定の微粒子を含む流体を計測の対象物（被計測物ともいう）などとして流すことができる。第１実施形態では、例えば、第２流路デバイス２上に第１流路デバイス１が位置している。このため、例えば、第１流路デバイス１における分離および回収によって得られた特定の微粒子を、重力も利用して第２流路デバイス２に流入させることができる。これにより、例えば、第１流路デバイス１で回収した微粒子が第１流路１ｆから第２流路２ｆに至る途中の流路で滞留しにくくなる。
　第２流路デバイス２の素材は、例えば、上述した第１流路デバイス１の素材とは異なっていてもよい。第２流路デバイス２の素材には、例えば、アクリル（ＰＭＭＡ）またはシクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）などのエンジニアリングプラスチックなどが適用される。例えば、２つの基板の準備、これらの２つの基板のうちの一方の基板に対する溝部の形成、およびこの溝部を塞ぐような２つの基板の貼り合わせといった３工程を、この記載の順に行うことで、第２流路デバイス２を形成することができる。
　図１（ａ）、図１（ｂ）および図１８で示されるように、第２流路デバイス２は、例えば、第５面としての第２上面２ｆｓと、第６面としての第２下面２ｂｓと、を有する。第２流路２ｆは、例えば、第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのうちの少なくとも一方の面に位置している複数の開口（第２開口ともいう）２ｏを有する。換言すれば、第２流路デバイス２は、例えば、第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのうちの何れかの面にそれぞれ位置している複数の第２開口２ｏを有する。第１実施形態では、第２流路デバイス２は、例えば、第２上面２ｆｓ上に位置している少なくとも１つの第２開口２ｏを有する。そして、例えば、第２上面２ｆｓにおける第２開口２ｏと、第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓにおける第１開口１ｏと、が互いに接続している状態にある。換言すれば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆと、第２流路デバイス２の第２流路２ｆと、が互いに接続されている。これにより、例えば、計測用流路デバイス１００によれば、第１流路デバイス１における検体中の特定の微粒子の分離および回収から、第２流路デバイス２における特定の微粒子を含む流体（被計測物）についての計測までの処理を、連続して実行することができる。その結果、例えば、検体中の特定の微粒子の分離および回収から、第２流路デバイス２における特定の微粒子を含む流体（被計測物）についての計測までの処理を、効率良く実行することができる。
　図１（ａ）および図１（ｂ）で示されるように、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓは、例えば、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２を有する。ここでは、例えば、－Ｚ方向に向けて第２上面２ｆｓを平面透視した場合に、第２流路２ｆは、第１領域Ａ１から第２領域Ａ２に至る領域に重なるように位置し、第１流路デバイス１は、第１領域Ａ１および第２領域Ａ２のうちの第１領域Ａ１のみに重なるように位置している。ここで、例えば、第２流路デバイス２が、第２流路２ｆ内の少なくとも一部の領域（被計測領域ともいう）からの光が第２流路デバイス２の外部まで透過する部分（光透過部ともいう）２ｔｒを有している。これにより、例えば、各種の光センサを用いて、第２流路２ｆ内に位置する特定の微粒子を含む流体（被計測物）について、各種の計測を行うことができる。第１実施形態では、例えば、第２流路デバイス２の全体が透明である。このため、例えば、第２流路デバイス２のうち、第２上面２ｆｓと第２流路２ｆとの間の部分および第２下面２ｂｓと第２流路２ｆとの間の部分が、光を透過する透明な光透過部２ｔｒとしての役割を果たし得る。
　第２流路２ｆにおける複数の第２開口２ｏは、例えば、第２流入口２ｏｉと、第２流出口２ｏｄと、を含む。第２流入口２ｏｉは、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆから第２流路デバイス２の第２流路２ｆへの特定の微粒子を含む流体（被計測物）の流入を受け付けることができる。第２流出口２ｏｄは、例えば、第２流路２ｆから特定の微粒子を含む流体（被計測物）を、回収するために第２流路デバイス２から外部に流出させることができる。図１（ｂ）および図１８の例では、第２流入口２ｏｉは、第２上面２ｆｓに位置している。この第２流入口２ｏｉは、第１流路デバイス１の第１流出口１ｏｄに接続している。第２流出口２ｏｄは、第２下面２ｂｓに位置している。ここで、例えば、重力を利用すれば、第２流入口２ｏｉにおいて、第１流路デバイス１から流体が流入しやすく、第２流出口２ｏｄにおいて流体を回収しやすい。ここでは、図１８で示されるように、第２流入口２ｏｉを、第１流出口１ｏｄよりも大きくしてもよい。これにより、例えば、第１流路デバイス１と第２流路デバイス２との接続部において、検体の滞留を低減することができる。第２流入口２ｏｉの径は、例えば、１ｍｍから３ｍｍ程度とされる。また、第１流出口１ｏｄの径は、例えば、１ｍｍから３ｍｍ程度とされる。
　また、第２流路２ｆは、例えば、鉛直部Ｖ１と、平面部Ｆ１と、を有する。鉛直部Ｖ１は、例えば、第２流入口２ｏｉに接続しているとともに、第２流路デバイス２の厚さ方向（＋Ｚ方向）に延びている状態にある。平面部Ｆ１は、例えば、鉛直部Ｖ１に接続しているとともに、ＸＹ平面に沿って位置している。ここでは、例えば、第２流路２ｆが、鉛直部Ｖ１を有することで、第１流路１ｆと第２流路２ｆとの接続部で特定の微粒子が滞留しにくくなる。また、例えば、第２流路２ｆが、平面部Ｆ１を有することで、特定の微粒子を平面部Ｆ１で滞留させることができる。これにより、例えば、平面部Ｆ１に位置している特定の微粒子について計測を安定して実行することができる。ここで、鉛直部Ｖ１の幅は、例えば、０．５ｍｍから２ｍｍ程度とされる。平面部Ｆ１の幅は、例えば、１ｍｍから６ｍｍ程度とされる。鉛直部Ｖ１の長さは、例えば、０．５ｍｍから１ｍｍ程度とされる。第２流路デバイス２の厚さ方向における平面部Ｆ１の高さは、例えば、０．５ｍｍから２ｍｍ程度とされる。
　図２０で示されるように、例えば、平面部Ｆ１が、少なくとも鉛直部Ｖ１に接続している状態にある部分において、鉛直部Ｖ１の幅よりも大きな幅を有していれば、平面部Ｆ１と鉛直部Ｖ１との接続部において、特定の微粒子が滞留しにくい。また、平面部Ｆ１は、例えば、第１平面部Ｆ１１と、第２平面部Ｆ１２と、を有する。第１平面部Ｆ１１は、例えば、鉛直部Ｖ１に接続している状態にある。第２平面部Ｆ１２は、例えば、第１平面部Ｆ１１に接続しているとともに、第１平面部Ｆ１１の幅よりも大きな幅を有する。第２平面部Ｆ１２は、例えば、上述した被計測領域としての役割を有する。このような平面部Ｆ１の構成により、例えば、第１流路１ｆから第２流路２ｆに流入してきた特定の微粒子としての第１粒子Ｐ１が、第２流路２ｆ内で拡散しやすくなる。ここで、第１平面部Ｆ１１の幅は、例えば、０．５ｍｍから３ｍｍ程度とされる。第２平面部Ｆ１２の幅は、例えば、１ｍｍから５ｍｍ程度とされる。第２平面部Ｆ１２の幅は、例えば、第１平面部Ｆ１１の幅の２倍から１０倍程度とされる。第１実施形態では、例えば、第１平面部Ｆ１１と第２平面部Ｆ１２との接続部において、第１平面部Ｆ１１から第２平面部Ｆ１２に向けて、平面部Ｆ１の幅が徐々に拡がっている状態にある。また、第２流路デバイス２の厚さ方向において、第２平面部Ｆ１２の高さは、例えば、第１平面部Ｆ１１の高さよりも大きい態様が考えられる。このような態様が採用されれば、平面部Ｆ１において特定の微粒子としての第１粒子Ｐ１が拡散しやすくなる。ここで、第１平面部Ｆ１１の高さは、例えば、０．２ｍｍから１ｍｍ程度とされる。第２平面部Ｆ１２の高さは、例えば、１ｍｍから５ｍｍ程度とされる。
　図１９および図２０で示されるように、例えば、第２流路デバイス２は、第２流路２ｆとは別に、この第２流路２ｆに接続している状態にある第３流路３ｆを有していてもよい。この第３流路３ｆは、例えば、第２流路２ｆの平面部Ｆ１に接続している態様が考えられる。第３流路３ｆは、例えば、第２流路２ｆに向けてガスなどの流体（押出用流体ともいう）を流すことで、第１流路１ｆから平面部Ｆ１に達した特定の微粒子を第２流出口２ｏｄに向けて押し流すことができる。これにより、例えば、第２流路２ｆ内において、特定の微粒子が滞留しにくくなる。第１実施形態では、第３流路３ｆは、例えば、第２流路２ｆの鉛直部Ｖ１と平面部Ｆ１との接続部に接続するように位置している。例えば、第３流路３ｆの第１の端部は、第２流路２ｆに接続しているとともに、第３流路３ｆの第２の端部は、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓに位置している第３開口３ｏを形成している状態にある。第３開口３ｏは、例えば、特定の微粒子を押し流すための押出用流体の流入を受け付けることができる。第３流路３ｆは、例えば、第２流路２ｆに接続している少なくとも一部において、第２流路２ｆの平面部Ｆ１の長手方向（－Ｙ方向）に沿って延びている状態にある部分を有していてもよい。ここで、例えば、第３流路３ｆと第２流路２ｆとの接続部において、第２流路２ｆと第３流路３ｆとが同一の断面形状を有していれば、第２流路２ｆと第３流路３ｆとの間に段差が生じず、特定の微粒子を含む流体が滞留しにくくなる。図１９で示されるように、第３流路３ｆは、例えば、ＸＹ平面に沿って蛇行するように伸びている部分（伸長部ともいう）３ｆｅを有していてもよい。これにより、例えば、第２流路２ｆから特定の微粒子が、第３開口３ｏに向けて第３流路３ｆを逆流しにくく、第３開口３ｏから漏れ出にくい。
　ここで、第１流路デバイス１において、例えば、第１流入口１ｏｉおよび第１流出口１ｏｄの双方が、第１下面１ｂｓに位置していれば、検体としての流体が、下方から第１流路デバイス１に流入する。この場合には、例えば、第２粒子Ｐ２の比重が第１粒子Ｐ１の比重よりも大きければ、第２粒子Ｐ２が流体中で沈みやすく、検体からの第１粒子Ｐ１の分離が容易となり得る。
　また、図１９で示されるように、第２流路デバイス２は、例えば、第２流路２ｆおよび第３流路３ｆとは異なる、第４流路４ｆを有していてもよい。この第４流路４ｆは、例えば、第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのうちの少なくとも一方の面に位置している複数の開口（第４開口ともいう）４ｏを有する。第４流路４ｆは、例えば、特定の微粒子が分離される前の検体を流す流路としての役割を有する。ここでは、例えば、特定の微粒子を含む検体を、第１流路デバイス１に流入させる前に、第２流路デバイス２の第４流路４ｆにおいて流すことで、検体に混入している異物などを予め低減することができる。複数の第４開口４ｏは、例えば、第４流入口４ｏｉおよび第４流出口４ｏｄを含む。第４流入口４ｏｉは、例えば、第４流路４ｆへの検体の流入を受け付けることができる。第４流出口４ｏｄは、例えば、検体を第４流路４ｆから流出させることができる。第４流入口４ｏｉは、例えば、第２流路デバイス２の外部に露出している。第４流出口４ｏｄは、例えば、第１流路デバイス１の第１流入口１ｏｉに接続されている状態にある。ここで、第４流入口４ｏｉおよび第４流出口４ｏｄが、例えば、第２上面２ｆｓに位置していれば、第４流入口４ｏｉに対して、検体を供給するための管もしくは流路などを接続する操作を、上方から行うことができるため、作業性が向上し得る。
　また、図１９で示されるように、第２流路デバイス２は、例えば、第２流路２ｆ、第３流路３ｆおよび第４流路４ｆとは異なる、第５流路５ｆを有していてもよい。この第５流路５ｆは、例えば、校正用の流路としての役割を有する。例えば、第５流路５ｆには、第１流路デバイス１において分離して回収した特定の微粒子とは異なる成分を有する流体を、校正用の流体（校正用流体ともいう）として流すことができる。これにより、例えば、特定の微粒子についての計測を行う度に、第２流路２ｆにおける被計測物を対象とした光を用いた計測（光計測ともいう）と、第５流路５ｆにおける被計測物を対象とした光を用いた計測（光計測）と、を順に実行することができる。そして、例えば、これらの２つの光計測の結果における光強度の差から被計測物における特定の微粒子の数を推測することができる。これにより、例えば、光計測に用いるセンサの劣化による計測の誤差が低減され得る。センサの劣化には、例えば、発光部の劣化および受光部の劣化が含まれ得る。第５流路５ｆは、例えば、第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのうちの少なくとも一方の面に位置している複数の開口（第５開口ともいう）５ｏを有する。複数の第５開口５ｏは、例えば、第５流入口５ｏｉおよび第５流出口５ｏｄを含む。第５流入口５ｏｉは、例えば、校正用の流体の第５流路５ｆへの流入を受け付けることができる。第５流出口５ｏｄは、例えば、校正用の流体を第５流路５ｆから流出させることができる。ここで、例えば、第５流入口５ｏｉが、第３開口３ｏと同様に第２上面２ｆｓに位置していれば、第５流入口５ｏｉおよび第３開口３ｏのそれぞれに対する管もしくは流路を接続する作業を、上方から行うことができるため、作業性が向上し得る。第５流出口５ｏｄは、例えば、第２下面２ｂｓに位置している。
　また、図１９で示されるように、第２流路デバイス２は、例えば、第２流路２ｆ、第３流路３ｆ、第４流路４ｆおよび第５流路５ｆとは異なる、第６流路６ｆを有していてもよい。第６流路６ｆは、例えば、第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓのうちの少なくとも一方の面に位置している複数の開口（第６開口ともいう）６ｏを有する。複数の第６開口６ｏは、例えば、第６流入口６ｏｉおよび第６流出口６ｏｄを含む。第６流入口６ｏｉは、例えば、押付流を生じさせる流体の第６流路６ｆへの流入を受け付けることができる。第６流出口６ｏｄは、例えば、押付流を生じさせる流体を第６流路６ｆから流出させることができる。第６流入口６ｏｉは、例えば、第２流路デバイス２の外部に露出している。第６流出口６ｏｄは、例えば、第１流路デバイス１の第１押付流入口１ｏｐに接続されている状態にある。
　＜１－５．第１流路デバイスと第２流路デバイスとの接続＞
　第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓは、例えば、シート部材４を介して第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓ上に固定されている。換言すれば、例えば、第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓと第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓとの間に、シート部材４が存在していてもよい。図１（ｂ）および図１８の例では、シート部材４は、ＸＹ平面に沿った上下面と、＋Ｚ方向に沿った厚さと、を有する。ここでは、例えば、板状の第１流路デバイス１と第２流路デバイス２とを厚さ方向（＋Ｚ方向）に積み重ねるように配置することで、計測用流路デバイス１００の小型化を図ることができる。
　シート部材４は、例えば、接着しにくい材料同士を接合するための中間層としての役割を有する。シート部材４の素材には、例えば、シリコーンまたはＰＤＭＳなどの柔軟性を有するシリコーン系の樹脂が適用される。この場合には、シート部材４は、例えば、第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓおよび第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓのうねりなどに追従して、変形することができる。これにより、シート部材４は、例えば、第１下面１ｂｓおよび第２上面２ｆｓの双方の面に密着することができる。図１（ｂ）および図１８で示されるように、シート部材４は、例えば、貫通孔４ｔｈを有する。貫通孔４ｔｈは、例えば、第１開口１ｏに接続している状態で位置している。第１実施形態では、例えば、第１流路デバイス１の５つの第１開口１ｏが、第２流路デバイス２に接続されている。このため、シート部材４は、例えば、５つの貫通孔４ｔｈを有していればよい。このような構成が採用されれば、例えば、第１流路デバイス１と第２流路デバイス２との間は、貫通孔４ｔｈを介して流体が流れ得る。
　ここで、例えば、第１流路デバイス１と第２流路デバイス２とは、シート部材４の上面および下面に塗布された接着剤を介して、接合され得る。接着剤には、例えば、紫外線で硬化する樹脂（光硬化性樹脂ともいう）または加熱によって硬化する樹脂（熱硬化性樹脂ともいう）などが適用される。
　＜１－６．第１実施形態のまとめ＞
　第１実施形態に係る第１流路デバイス１は、例えば、相互に接合された第１部分１１と第２部分１２とを有する。ここで、第１部分１１では、例えば、一体的に構成された樹脂製の第１本体部１１ｂの間を挿通するように第１補強部１１ｒが位置している。このため、例えば、第１補強部１１ｒの存在によって、第１部分１１の両端を把持して持ち上げても、第１本体部１１ｂが撓みにくく、第１本体部１１ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第１部分１１の取り扱いが容易となり得る。その結果、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。また、ここで、第２部分１２では、例えば、一体的に構成された樹脂製の第２本体部１２ｂの間を挿通するように第２補強部１２ｒが位置している。このため、例えば、第２補強部１２ｒの存在によって、第２部分１２の両端を把持して持ち上げても、第２本体部１２ｂが撓みにくく、第２本体部１２ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第２部分１２の取り扱いが容易となり得る。その結果、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり、第１流路デバイス１を容易に製造することができる。
　また、例えば、第１部分１１の第１補強部１１ｒが、第１本体部１１ｂから突出している部分において、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と、を有する。例えば、第２部分１２の第２補強部１２ｒが、第２本体部１２ｂから突出している部分において、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とを有する。このため、例えば、第１部分１１と第２部分１２とを重ね合わせて接合する際に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２とを用いた第１部分１１の姿勢および位置の設定を行うことができる。また、例えば、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２とを用いた第２部分１２の姿勢および位置の設定を行うことができる。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。その結果、例えば、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。
　また、第１実施形態に係る第１流路デバイス１の製造方法では、例えば、第１部分１１および第２部分１２を樹脂成型で作製し、第１部分１１と第２部分１２とを接合することで、第１流路デバイス１を製造する。このため、第１部分１１と第２部分１２とを接合する際に、第１部分１１については、例えば、第１補強部１１ｒの存在によって、第１部分１１の両端を把持して持ち上げても、第１本体部１１ｂが撓みにくく、第１本体部１１ｂの形状が崩れにくい。また、第２部分１２については、例えば、第２補強部１２ｒの存在によって、第２部分１２の両端を把持して持ち上げても、第２本体部１２ｂが撓みにくく、第２本体部１２ｂの形状が崩れにくい。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易となり得る。その結果、第１流路デバイス１を容易に製造することができる。
　また、例えば、第１部分１１の第２面１１ｂｓと第２部分１２の第３面１２ｆｓとを接合する際に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１および第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２を用いて、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせを行う。これにより、例えば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせが容易であるため、第１流路デバイス１を高精度で容易に製造することができる。
　また、例えば、第１流路デバイス１が高精度で容易に製造することができるため、第１流路デバイス１と第２流路デバイス２とを有する計測用流路デバイス１００を高精度で容易に製造することができる。
　＜２．他の実施形態＞
　本開示は上述の第１実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更および改良などが可能である。
　＜２－１．第２実施形態＞
　上記第１実施形態において、例えば、図２１で示されるように、計測用流路デバイス１００に、被計測領域としての第２平面部Ｆ１２から光透過部２ｔｒを透過した光を受光するセンサ部９を付加した、検査装置９００が採用されてもよい。この場合には、例えば、上述したように、計測用流路デバイス１００を高精度で容易に製造することができるため、計測用流路デバイス１００とセンサ部９とを含む検査装置９００を高精度で容易に製造することができる。
　ここで、検査装置９００の一例について説明する。
　図２１で示されるように、検査装置９００は、例えば、計測用流路デバイス１００と、センサ部９と、を有する。
　センサ部９には、例えば、発光部９１と受光部９２とを有する光センサが適用される。ここで、発光部９１には、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）などの発光素子が適用される。受光部９２には、例えば、フォトダイオード（ＰＤ）などの受光素子が適用される。受光素子には、例えば、第１導電型の半導体基板の上面近傍の表層部に第２導電型の半導体領域を有するものが適用される。また、発光素子には、例えば、上記の半導体基板の上に積層された複数の半導体層を有するものが適用される。
　上述したように、検査装置９００では、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆにおいて検体から必要な特定の微粒子（例えば、第１粒子Ｐ１）が分離され、第２流路デバイス２の第２流路２ｆまで特定の微粒子を含む流体（被計測物）が流れてくる。そして、例えば、第２流路２ｆのうちの被計測領域としての第２平面部Ｆ１２に位置している特定の微粒子を含む流体（被計測物）に対して、センサ部９の発光部９１から光を照射し、第２平面部Ｆ１２を通過した光を受光部９２で受光することによって、特定の微粒子についての計測を行うことができる。ここでは、例えば、光が第２平面部Ｆ１２を通過する際に、被計測物における特定の微粒子（第１粒子Ｐ１）による分散または吸収が行われることで、光の強度が減衰する。このため、検査装置９００では、例えば、発光部９１で発せられた光の強度と、受光部９２で受光された光の強度と、の差分によって、光の減衰量を検出することができる。そして、例えば、単位体積当たりの微粒子の数あるいは濃度が既知である流体と光の減衰量との関係を示した検量線を予め準備していれば、検査装置９００では、光の減衰量と検量線とに基づいて、被計測物における特定の微粒子の数あるいは濃度などを算出することができる。換言すれば、検査装置９００において、例えば、流体における特定の微粒子の数あるいは濃度などを計測することができる。
　ここで、例えば、図２１で示されるように、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓにおける第２領域Ａ２上にミラー部材２ｍを配置してもよい。図２１では、ミラー部材２ｍの外縁が２点鎖線で示されている。ミラー部材２ｍには、例えば、光を反射する部分（光反射部分ともいう）がアルミニウムまたは金などの金属材料で形成されたものが適用される。例えば、ガラス板などの板材の片面に、蒸着法またはスパッタリング法などで金属材料の層を堆積させることで、反射部分を有するミラー部材２ｍが作製され得る。このような検査装置９００では、例えば、センサ部９の発光部９１および受光部９２が、第２流路デバイス２の第２下面２ｂｓに対向するように位置している態様が考えられる。ここでは、受光部９２は、例えば、発光部９１から発せられた光のうち、第２平面部Ｆ１２を１回通過してミラー部材２ｍで反射し、再び第２平面部Ｆ１２を通過した光を受光することができる。この場合には、例えば、第２平面部Ｆ１２を光が２回通過することで、検査装置９００において検出される光の減衰量が増大する。その結果、例えば、検査装置９００における計測精度が向上し得る。
　なお、計測用流路デバイス１００において、ミラー部材２ｍは第２流路２ｆおよび第５流路５ｆに重なるように第２上面２ｆｓに配置されるものであるが、第２流路２ｆおよび第５流路５ｆの両方を覆うような大きさの一体のものに限られるものではなく、第２流路２ｆおよび第５流路５ｆのそれぞれに重なるように、それぞれの大きさに応じたものが別々に配置されていても構わない。第２流路２ｆおよび第５流路５ｆのそれぞれに対応させてミラー部材２ｍを別々に配置する場合には、センサ部９に入射する外乱光を遮光するために、それらミラー部材２ｍの間に遮光部材を配置してもよい。また、ミラー部材２ｍによってセンサ部９への外乱光を遮光する効果をより確実に奏するために、ミラー部材２ｍの上に板状あるいはシート状の非反射部材または遮光部材を配置して、ミラー部材２ｍからセンサ部９への外乱光の透過およびミラー部材２ｍへの外乱光の入射を防ぐようにしてもよい。
　また、計測用流路デバイス１００は、ミラー部材２ｍに代えて、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓのうち第２流路２ｆおよび第５流路５ｆに重なる領域に、センサ部９の発光部９１が照射する光を反射しない非反射部材１２４をミラー部材２ｍと同様に配置してもよい。そのように非反射部材１２４を配置することによって、センサ部９が照射する光のうち第２流路２ｆに含まれる第１粒子で反射した光あるいは第２流路２ｆおよび第５流路５ｆの界面（センサ部９側から見た流路の天井面）で反射した光をセンサ部９の受光部９２で受光することができる。これにより、流路の界面からの反射を計測して受光部９２のＤＣオフセットを光学的に行なうことができるとともに、第１粒子で反射した光を受光部９２で良好に受光することができる。また、第２流路２ｆおよび第５流路５ｆに対してセンサ部９と反対側（第２上面２ｆｓ側）から入射する外乱光を、非反射部材１２４によって遮光することができるので、センサ部９に対する光学ノイズを低減して、センサ部９による計測の精度を良好に確保することができる。このような非反射部材１２４としては、例えば無反射布などを用いることができる。また、黒色などの艶消し塗料を塗布して非反射部材１２４としてもよい。
　ミラー部材２ｍに代えて非反射部材１２４を配置する場合には、センサ部９が計測する領域の全体に渡って第２流路２ｆおよび第５流路５ｆの両方をカバーする大きさの一体のものとすることが好ましい。
　また、計測用流路デバイス１００は、例えば、図１９に示す第２流路２ｆおよび第５流路５ｆと横並びになるように、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓの外辺と第５流路５ｆとの間に非反射領域２５を有していてもよい。非反射領域２５とは、第２流路デバイス２のうち第２流路２ｆおよび第５流路５ｆが無い部分であり、かつ第２流路デバイス２を上面視したときにミラー部材２ｍあるいは非反射部材１２４が配置されていない領域であればよい。そして、この非反射領域２５に、センサ部９が照射する光を反射しない非反射部材として、基準用非反射部材１２５を配置するとよい。このような基準用非反射部材１２５は、センサ部９の受光部９２に対する校正に使用することができるものであり、センサ部９による計測の時にベース信号を提供する基準となるものである。基準用非反射部材１２５における反射光の強度を基準にすることによって、センサ部９の使用時に発生するノイズの影響を低減することができる。なお、基準用非反射部材１２５としては、例えば、無反射布などを設置すればよく、黒色の艶消し塗料などを塗布して形成しても構わない。
　また、基準用非反射部材１２５は、非反射領域２５に対応する位置になるように、第２流路２ｆおよび第５流路５ｆに重ならない領域で、第２流路デバイス２の第２下面２ｂｓに配置してもよい。この場合にも、基準用非反射部材１２５における反射光の強度を基準にすることによって、センサ部９の使用時に発生するノイズの影響を低減することができる。
　ここでは、図２２で示されるように、検査装置９００は、例えば、第１供給部９１０、第２供給部９２０、第３供給部９３０および第４供給部９４０を有する。第１供給部９１０、第２供給部９２０、第３供給部９３０および第４供給部９４０は、それぞれ計測用流路デバイス１００に接続されている。第１供給部９１０は、例えば、貯留部に貯留された検体をポンプなどによって供給することができる。この第１供給部９１０は、例えば、第４流入口４ｏｉに接続されている状態にある。第２供給部９２０は、例えば、貯留部に貯留された押付流を生じさせる流体をポンプなどによって供給することができる。この第２供給部９２０は、例えば、第６流入口６ｏｉに接続されている状態にある。第３供給部９３０は、例えば、貯留部に貯留された押出用流体をポンプなどによって供給することができる。この第３供給部９３０は、例えば、第３開口３ｏに接続されている状態にある。第４供給部９４０は、例えば、貯留部に貯留された校正用流体をポンプなどによって供給することができる。第４供給部９４０は、例えば、第５流入口５ｏｉに接続されている状態にある。ここで、例えば、校正用流体として、第１流路デバイス１の第１排出口１ｏｘおよび第２排出口１ｏｅの少なくとも一方から回収される流体が採用される場合には、第４供給部９４０はなくてもよい。
　また、検査装置９００は、例えば、制御部９９０を有する。制御部９９０には、例えば、１つ以上の中央演算装置（ＣＰＵ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）およびランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などを含むコンピュータの構成を有するものが適用される。ＣＰＵは、例えば、ＲＯＭに格納されたプログラムを読み込んで実行することで、各種機能および制御を実現することができる。ＣＰＵにおける処理の途中で一時的に生成される各種情報は、例えば、ＲＡＭなどに一時的に記憶される。このような制御部９９０は、例えば、第１供給部９１０、第２供給部９２０、第３供給部９３０、第４供給部９４０およびセンサ部９の各動作をそれぞれ制御することができる。また、制御部９９０は、例えば、発光部９１で発せられた光の強度と受光部９２で受光された光の強度との差分によって、光の減衰量を算出するとともに、この光の減衰量と検量線とに基づいて、被計測物における特定の微粒子の数あるいは濃度などを算出することができる。例えば、制御部９９０の機能的な構成の一部または全部は、専用のハードウェアによって構成されてもよい。
　＜２－２．第３実施形態＞
　上記各実施形態において、例えば、第１補強部１１ｒおよび第２補強部１２ｒとしては、種々の形状のものが採用されてもよいし、第１連結部分１１ｂ３および第２連結部分１２ｂ３としては、種々の形態のものが採用されてもよい。
　例えば、図２３（ａ）で示されるように、孔部Ｈ１の数が１つであり、１つ以上の第１連結部分１１ｂ３が１つの第１連結部分１１ｂ３であってもよい。すなわち、孔部Ｈ１および第１連結部分１１ｂ３の数は、１つであってもよいし、２つ以上であってもよい。さらに、例えば、－Ｚ方向に向いて第１部分１１を平面視もしくは平面透視した場合に、Ｙ方向において、複数の第１突出部分１１ｐの幅が、第１本体部１１ｂの幅よりも小さくてもよい。
　また、例えば、図２３（ｂ）で示されるように、孔部Ｈ２の数が１つであり、１つ以上の第２連結部分１２ｂ３が１つの第２連結部分１２ｂ３であってもよい。すなわち、孔部Ｈ２および第２連結部分１２ｂ３の数は、１つであってもよいし、２つ以上であってもよい。さらに、例えば、－Ｚ方向に向いて第２部分１２を平面視もしくは平面透視した場合に、Ｙ方向において、複数の第２突出部分１２ｐの幅が、第２本体部１２ｂの幅よりも小さくてもよい。
　例えば、図２４（ａ）で示されるように、－Ｚ方向に向いて第１部分１１を平面視もしくは平面透視した場合に、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と、が第１本体部１１ｂを挟むように位置していなくてもよい。また、１つ以上の第１突出部分１１ｐは、例えば、１つの第１突出部分１１ｐであってもよい。すなわち、例えば、第１補強部１１ｒは、１つ以上の第１突出部分１１ｐを有していればよい。図２４（ａ）の例では、１つの第１突出部分１１ｐが、第１特定形状部としての第１Ａ貫通孔部１１ｈ１と、第２特定形状部としての第１Ｂ貫通孔部１１ｈ２と、を有する。
　また、例えば、図２４（ｂ）で示されるように、－Ｚ方向に向いて第２部分１２を平面視もしくは平面透視した場合に、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２と、が第２本体部１２ｂを挟むように位置していなくてもよい。また、１つ以上の第２突出部分１２ｐは、例えば、１つの第２突出部分１２ｐであってもよい。すなわち、例えば、第２補強部１２ｒは、１つ以上の第２突出部分１２ｐを有していればよい。図２４（ｂ）の例では、１つの第２突出部分１２ｐが、第３特定形状部としての第２Ａ貫通孔部１２ｈ１と、第４特定形状部としての第２Ｂ貫通孔部１２ｈ２と、を有する。
　例えば、図２５（ａ）で示されるように、第１補強部１１ｒが、孔部Ｈ１を有することなく、第１連結部分１１ｂ３が、±Ｙ方向において第１補強部１１ｒを挟むように位置していてもよい。
　また、例えば、図２５（ｂ）で示されるように、第２補強部１２ｒが、孔部Ｈ２を有することなく、第２連結部分１２ｂ３が、±Ｙ方向において第２補強部１２ｒを挟むように位置していてもよい。
　例えば、図２６（ａ）で示されるように、複数の第１突出部分１１ｐの数は、４つの第１突出部分１１ｐであってもよい。ここで、複数の第１突出部分１１ｐは、例えば、さらに第１Ｃ突出部分１１ｐ３および第１Ｄ突出部分１１ｐ４を有していてもよい。この場合には、例えば、第１Ｃ突出部分１１ｐ３が、位置合わせ用の第５特定形状部としての第１Ｃ貫通孔部１１ｈ３を有し、第１Ｄ突出部分１１ｐ４が、位置合わせ用の第６特定形状部としての第１Ｄ貫通孔部１１ｈ４を有していてもよい。すなわち、例えば、１つ以上の第１突出部分１１ｐが、２つ以上の特定形状部を有していればよい。
　また、例えば、図２６（ｂ）で示されるように、複数の第２突出部分１２ｐの数は、４つの第２突出部分１２ｐであってもよい。ここで、複数の第２突出部分１２ｐは、例えば、さらに第２Ｃ突出部分１２ｐ３および第２Ｄ突出部分１２ｐ４を有していてもよい。この場合には、例えば、第２Ｃ突出部分１２ｐ３が、位置合わせ用の第７特定形状部としての第２Ｃ貫通孔部１２ｈ３を有し、第２Ｄ突出部分１２ｐ４が、位置合わせ用の第８特定形状部としての第２Ｄ貫通孔部１２ｈ４を有していてもよい。すなわち、例えば、１つ以上の第２突出部分１２ｐが、２つ以上の特定形状部を有していればよい。
　例えば、第１突出部分１１ｐにおける特定形状部は、貫通孔部に限られず、種々の形状を有するものであってもよい。また、例えば、第２突出部分１２ｐにおける特定形状部は、貫通孔部に限られず、種々の形状を有するものであってもよい。例えば、図２７（ａ）および図２７（ｂ）の２点鎖線で示されるように、位置合わせ台８の突起部８ｐの形状が、第１突出部分１１ｐにおける特定形状部としての外縁部に嵌合するような形状を有していてもよいし、第２突出部分１２ｐにおける特定形状部としての外縁部に嵌合するような形状を有していてもよい。
　例えば、－Ｚ方向に向けて平面透視した場合に、第１部分１１の第１特定形状部と第２部分１２の第３特定形状部とが重なり合っていなくてもよいし、第１部分１１の第２特定形状部と第２部分１２の第４特定形状部とが重なり合っていなくてもよい。この場合には、例えば、位置合わせ台８が、第１部分１１の複数の特定形状部に嵌合する複数の突起部と、第２部分１２の複数の特定形状部に嵌合する複数の突起部と、を有していれば、第１部分１１と第２部分１２との位置合わせを容易に行うことができる。
　＜３．その他＞
　上記各実施形態では、例えば、第１補強部１１ｒは、板状のものに限られない。また、例えば、第２補強部１２ｒは、板状のものに限られない。例えば、第１補強部１１ｒおよび第２補強部１２ｒは、複数の棒状の部分が連結された部分を有していてもよい。
　上記各実施形態では、例えば、第１部分１１を樹脂成型で形成する際に、下から、第１外面部分１１ｂ１、第１連結部分１１ｂ３および第１被接合部分１１ｂ２がこの記載の順に位置するように、第１部分１１が形成されてもよい。
　上記各実施形態では、例えば、第２部分１２を樹脂成型で形成する際に、下から、第２被接合部分１２ｂ２、第２連結部分１２ｂ３および第２外面部分１２ｂ１がこの記載の順に位置するように、第２部分１２が形成されてもよい。この場合には、例えば、図２８で示されるように、各第２ピン６４が、第２鋳型下部本体部６ｂ０に近づくにつれて径が拡がるような状態にあるテーパー部６４ｔｐを有していてもよい。これにより、例えば、第２被接合部分１２ｂ２のうちの複数の貫通孔Ｔｈ２の縁部にバリが形成されにくい。その結果、例えば、第２面１１ｂｓと第３面１２ｆｓとの接合が容易となる。
　上記各実施形態では、例えば、第２部分１２を樹脂成型で形成する際に、複数の第２ピン６４の存在によって複数の貫通孔Ｔｈ２を形成したが、これに限られない。例えば、複数の第２ピン６４を存在させることなく、複数の貫通孔Ｔｈ２を有していない状態の第２部分１２を樹脂成型で形成した後に、打ち抜き加工などによって複数の貫通孔Ｔｈ２を形成してもよい。
　上記各実施形態では、第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓおよび第１下面１ｂｓは、それぞれ矩形状であるが、これに限られない。また、例えば、第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓと第１下面１ｂｓとは、異なる形状であってもよい。また、例えば、第１部分１１の第２面１１ｂｓと第２部分１２の第３面１２ｆｓとは、異なる形状であってもよい。
　上記各実施形態では、第１流路デバイス１の第１上面１ｆｓおよび第１下面１ｂｓは、それぞれ平坦な面であるが、これに限られない。
　上記各実施形態では、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓは、それぞれ矩形状であるが、これに限られない。また、例えば、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓと第２下面２ｂｓとは、異なる形状であってもよい。
　上記各実施形態では、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓおよび第２下面２ｂｓは、それぞれ平坦な面であるが、これに限られない。
　上記各実施形態では、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓ上に第１流路デバイス１が位置していたが、これに限られない。例えば、第２流路デバイス２と第１流路デバイス１とが１つの仮想平面に沿って並ぶように位置していてもよい。
　上記各実施形態では、第５流路５ｆが、第５流出口５ｏｄを有していたが、これに限られない。例えば、図２９および図３０で示されるように、第５流路５ｆの一端が、第２流路２ｆに接続されている状態にあってもよい。この場合には、例えば、第５流路５ｆから第２流路２ｆに流体を注入することができる。これにより、例えば、第２流路２ｆ内の流体における第１粒子Ｐ１としての白血球の濃度を希釈することができる。
　上記各実施形態では、第２流路デバイス２が、第５流路５ｆおよび第６流路６ｆを有していたが、これに限られない。例えば、第５流路５ｆに第６流路６ｆの役割を持たせて、第６流路６ｆを削除してもよい。換言すれば、例えば、第５流路５ｆおよび第６流路６ｆが、１つの第５流路５ｆに置き換えられてもよい。この場合には、例えば、第５流路５ｆの第５流出口５ｏｄが、第１流路１ｆの第１押付流入口１ｏｐに接続されている状態にあってもよい。
　上記各実施形態では、例えば、図３１で示されるように、第２流路デバイス２は、第１流路デバイス１の第１流路１ｆに接続されている流路を形成している部分において、第２上面２ｆｓが＋Ｚ方向に突出するように位置している複数の凸部２ｐｒを有していてもよい。この場合、例えば、複数の凸部２ｐｒが、シート部材４の複数の貫通孔４ｔｈに嵌合するように位置していてもよい。このような構成が採用されれば、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆと第２流路デバイス２の流路とを容易に接続することができる。ここでは、例えば、複数の凸部２ｐｒと複数の貫通孔４ｔｈとの嵌合によって、第１流路デバイス１の第１流路１ｆと第２流路デバイス２の流路との接続における信頼性が担保できる場合には、シート部材４と第２流路デバイス２との接合に接着剤を用いなくてもよい。
　上記各実施形態では、例えば、第１流路デバイス１の第１下面１ｂｓは、シート部材４を介することなく、第２流路デバイス２の第２上面２ｆｓ上に直接固定されていてもよい。この場合には、例えば、第１下面１ｂｓと第２上面２ｆｓとが接着剤によって接合されてもよいし、第１下面１ｂｓと第２上面２ｆｓとが、接着剤を用いることなく表面改質もしくはシランカップリング剤の塗布によって直接接合されてもよい。
　上記各実施形態では、例えば、センサ部９は、被計測領域としての第２平面部Ｆ１２において被計測物が発する光を検出するものであってもよい。例えば、センサ部９が、第２平面部Ｆ１２において被計測物の特定の微粒子が試薬と反応して発する蛍光を検出するような態様が考えられる。
　上記各実施形態では、例えば、第１流路デバイス１は、第２流路デバイス２と組み合わせて使用することなく、単体の流路デバイスとして使用してもよい。この場合、第１流路デバイス１は、例えば、他の装置などと管などで連結され、検体としての流体における特定の成分を分離するためのいわゆるマイクロチップとして使用され得る。
　上記各実施形態では、例えば、第１流路デバイス１の第１流路１ｆは、検体としての流体における特定の成分を分離するものに限られない。第１流路１ｆは、例えば、複数の液体を混合する構成を有する流路であってもよい。
　上記各実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
　１　第１流路デバイス
　１ｆ　第１流路
　１ｏ　第１開口
　１ｐｔ　溝部パターン
　２　第２流路デバイス
　２ｆ　第２流路
　２ｏ　第２開口
　２ｔｒ　光透過部
　９　センサ部
　１１　第１部分
　１１ｂ　第１本体部
　１１ｂ１　第１外面部分
　１１ｂ２　第１被接合部分
　１１ｂ３　第１連結部分
　１１ｂｓ　第２面
　１１ｆｓ　第１面
　１１ｈ　第１貫通孔部
　１１ｐ　第１突出部分
　１１ｒ　第１補強部
　１２　第２部分
　１２ｂ　第２本体部
　１２ｂ１　第２外面部分
　１２ｂ２　第２被接合部分
　１２ｂ３　第２連結部分
　１２ｂｓ　第４面
　１２ｆｓ　第３面
　１２ｈ　第２貫通孔部
　１２ｐ　第２突出部分
　１２ｒ　第２補強部
　９１　発光部
　９２　受光部
　１００　計測用流路デバイス
　９００　検査装置
　Ｆ１　平面部
　Ｆ１１　第１平面部
　Ｆ１２　第２平面部
　Ｈ１，Ｈ２　孔部
　Ｐ１　第１粒子
　Ｐ２　第２粒子
　Ｔｈ２　貫通孔

Claims (11)

  1. 　第１面および該第１面とは逆の第２面を有する第１部分と、
    　前記第２面と接合している状態にある第３面および該第３面とは逆の第４面を有する第２部分と、を備え、
    　前記第１部分は、樹脂製の第１本体部と、該第１本体部よりも硬い第１補強部と、を有し、
    　前記第１本体部は、一体的に構成された、前記第１面を有する第１外面部分と、前記第２面を有する第１被接合部分と、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第１連結部分と、を含み、
    　前記第１被接合部分は、前記第２面上に第１流路を構成している状態にある溝部パターンを有し、
    　前記第１補強部は、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とに挟まれた状態で前記第１外面部分および前記第１被接合部分のそれぞれに被着している状態にあり、且つ前記第１面に向けて平面視した場合に、前記第１面に沿った方向において前記第１本体部から突出している状態にある１つ以上の第１突出部分を含み、
    　該１つ以上の第１突出部分は、前記第１面に向けて平面視した場合に、互いに異なる位置に第１特定形状部および第２特定形状部を含み、
    　前記第２部分は、樹脂製の第２本体部と、該第２本体部よりも硬い第２補強部と、を有し、
    　前記第２本体部は、一体的に構成された、前記第４面を有する第２外面部分と、前記第３面を有する第２被接合部分と、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第２連結部分と、を含むとともに、前記第３面から前記第４面にかけてそれぞれ貫通しており且つ前記第１流路に接続している状態にある複数の貫通孔を有し、
    　前記第２補強部は、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とに挟まれた状態で、前記第２外面部分および前記第２被接合部分のそれぞれに被着している状態にあり、且つ前記第４面に向けて平面視した場合に、前記第４面に沿った方向において前記第２本体部から突出している状態にある１つ以上の第２突出部分を含み、
    　該１つ以上の第２突出部分は、前記第４面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第３特定形状部および第４特定形状部を含む、流路デバイス。
  2. 　請求項１に記載の流路デバイスであって、
    　前記第１被接合部分の素材と前記第２被接合部分の素材とが、同質の樹脂を含む、流路デバイス。
  3. 　請求項１または請求項２に記載の流路デバイスであって、
    　前記第１被接合部分の素材および前記第２被接合部分の素材が、それぞれシリコーン樹脂を含む、流路デバイス。
  4. 　請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の流路デバイスであって、
    　前記第１本体部の素材は、ポリジメチルシロキサンを含む、流路デバイス。
  5. 　請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の流路デバイスであって、
    　前記第１部分を平面視した場合に、前記第１特定形状部と前記第２特定形状部とが、前記第１本体部を挟む互いに逆側に位置している、流路デバイス。
  6. 　請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の流路デバイスであって、
    　前記第２部分を平面視した場合に、前記第３特定形状部と前記第４特定形状部とが、前記第２本体部を挟む互いに逆側に位置している、流路デバイス。
  7. 　請求項１から請求項６の何れか１つの請求項に記載の流路デバイスであって、
    　前記第１面に向けて平面透視した場合に、前記第１特定形状部と前記第３特定形状部とが重なり合うように位置し、前記第２特定形状部と前記第４特定形状部とが重なり合うように位置している、流路デバイス。
  8. 　(a)第１面および該第１面とは逆の第２面を有する第１部分を樹脂成型で作製する工程と、
    　(b)第３面および該第３面とは逆の第４面を有する第２部分を樹脂成型で作製する工程と、
    　(c)前記第１部分の前記第２面と前記第２部分の前記第３面とを接合することで流路デバイスを作製する工程と、を有し、
    　前記(a)工程において、
    　前記第１部分が、樹脂製の第１本体部と該第１本体部よりも硬い第１補強部とを有し、
    　前記第１本体部が、一体的に構成された、前記第１面を有する第１外面部分と、前記第２面を有する第１被接合部分と、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第１連結部分と、を含み、
    　前記第１被接合部分が、前記第２面上に溝部パターンを有し、
    　前記第１補強部が、前記第１外面部分と前記第１被接合部分とに挟まれた状態で前記第１外面部分および前記第１被接合部分のそれぞれに被着し、且つ前記第１面に向けて平面視した場合に、前記第１面に沿った方向において前記第１本体部から突出している状態にある１つ以上の第１突出部分を含み、
    　該１つ以上の第１突出部分が、前記第１面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第１特定形状部および第２特定形状部を含むように、前記第１部分を樹脂成型で作製し、
    　前記(b)工程において、
    　前記第２部分が、樹脂製の第２本体部と該第２本体部よりも硬い第２補強部とを有し、
    　前記第２本体部が、一体的に構成された、前記第４面を有する第２外面部分と、前記第３面を有する第２被接合部分と、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とを連結している状態にある１つ以上の第２連結部分と、を含むとともに、前記第３面から前記第４面にかけてそれぞれ貫通している状態にある複数の貫通孔を有し、
    　前記第２補強部が、前記第２外面部分と前記第２被接合部分とに挟まれた状態で、前記第２外面部分および前記第２被接合部分のそれぞれに被着し、且つ前記第４面に向けて平面視した場合に、前記第４面に沿った方向において前記第２本体部から突出している状態にある１つ以上の第２突出部分を含み、
    　該１つ以上の第２突出部分が、前記第４面に向けて平面透視した場合に、互いに異なる位置に第３特定形状部および第４特定形状部を含むように、前記第２部分を樹脂成型で作製し、
    　前記(c)工程において、
    　前記第１特定形状部、前記第２特定形状部、前記第３特定形状部および前記第４特定形状部を用いて、前記第１部分と前記第２部分との位置合わせを行いつつ、前記溝部パターンと前記複数の貫通孔とが接続するように前記第２面と前記第３面とを接合することで、前記溝部パターンによる第１流路を形成する、流路デバイスの製造方法。
  9. 　請求項８に記載の流路デバイスの製造方法であって、
    　前記(a)工程および前記(b)工程において、前記第１被接合部分の素材と前記第２被接合部分の素材とが同質の樹脂を含むように、前記第１部分と前記第２部分とを作製する、流路デバイスの製造方法。
  10. 　請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の流路デバイスを含む第１流路デバイスと、
    　第２流路デバイスと、を備え、
    　前記複数の貫通孔は、前記第４面に位置している第１開口を有する貫通孔を含み、
    　前記第２流路デバイスは、第５面と該第５面とは逆の第６面とを有し、且つ内部に位置しているとともに前記第５面において第２開口を有する第２流路と、該第２流路内の少なくとも被計測領域からの光が該第２流路デバイスの外部まで透過する光透過部と、を有し、
    　前記第１開口と前記第２開口とが互いに接続している状態にある、計測用流路デバイス。
  11. 　請求項１０に記載の計測用流路デバイスと、
    　前記被計測領域から前記光透過部を通過した光を受光するセンサ部と、
    を備えている、検査装置。
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