CN114641693A - 流路设备、流路设备的制造方法、计测用流路设备以及检查装置 - Google Patents

Abstract

流路设备具备：第一部分，其具有第一面和第二面；以及第二部分，其具有与第二面接合的第三面和第四面。第一部分包括树脂制的第一主体部和第一加强部。在第一主体部中，第一连结部分将具有第一面的第一外表面部分与在第二面具有形成第一流路的槽部图案的第一被接合部分连结。第一加强部被第一外表面部分与第一被接合部分夹着并覆盖，且包括从第一主体部突出并且具有两个特定形状部的一个以上的第一突出部分。第二部分包括树脂制的第二主体部和第二加强部。在第二主体部中，第二连结部分将具有第四面的第二外表面部分与具有第三面的第二被接合部分连结，多个贯通孔与第一流路连接。第二加强部被第二外表面部分与第二被接合部分夹着而覆盖，且包括从第二主体部突出并且具有两个特定形状部的一个以上的第二突出部分。

Description

流路设备、流路设备的制造方法、计测用流路设备以及检查 装置

技术领域

本发明涉及流路设备、流路设备的制造方法、计测用流路设备以及检查装置。

背景技术

已知有具有用于将流体中的特定的微粒分离的流路的设备(也称为第一流路设备)(例如，参照国际公开第2019/151150号的记载)。该第一流路设备具有与微粒的直径相匹配的微细的流路。另外，也已知有在该第一流路设备连结包括用于对由该第一流路设备分离并回收了的特定的微粒进行检查的流路的设备(也称为第二流路设备)而成的设备(也称为计测用流路设备)(例如，参照国际公开第2019/151150号的记载)。并且，也已知有具有该计测用流路设备和对该计测用流路设备内的特定的微粒进行计测的传感器的装置(也称为检查装置)(例如，参照国际公开第 2019/151150号的记载)。

发明内容

本发明公开一种流路设备、流路设备的制造方法、计测用流路设备以及检查装置。

流路设备的一方案具备第一部分和第二部分。所述第一部分具有第一面以及与该第一面相反的第二面。所述第二部分具有处于与所述第二面接合的状态的第三面以及与该第三面相反的第四面。所述第一部分具有树脂制的第一主体部以及比该第一主体部硬的第一加强部。所述第一主体部包括一体构成的、具有所述第一面的第一外表面部分、具有所述第二面的第一被接合部分、以及处于将所述第一外表面部分与所述第一被接合部分连结的状态的一个以上的第一连结部分。所述第一被接合部分在所述第二面上具有处于构成第一流路的状态的槽部图案。所述第一加强部处于在被所述第一外表面部分与所述第一被接合部分夹着的状态下分别被所述第一外表面部分以及所述第一被接合部分覆盖的状态，并且所述第一加强部包括一个以上的第一突出部分，该一个以上的第一突出部分处于在朝向所述第一面进行俯视的情况下在沿着所述第一面的方向上从所述第一主体部突出的状态。该一个以上的第一突出部分在朝向所述第一面进行俯视的情况下，在彼此不同的位置包括第一特定形状部以及第二特定形状部。所述第二部分具有树脂制的第二主体部以及比该第二主体部硬的第二加强部。所述第二主体部包括一体构成的、具有所述第四面的第二外表面部分、具有所述第三面的第二被接合部分、以及处于将所述第二外表面部分与所述第二被接合部分连结的状态的一个以上的第二连结部分，并且所述第二主体部具有处于分别从所述第三面贯通到所述第四面且与所述第一流路连接的状态的多个贯通孔。所述第二加强部处于在被所述第二外表面部分与所述第二被接合部分夹着的状态下分别被所述第二外表面部分以及所述第二被接合部分覆盖的状态，并且所述第二加强部包括一个以上的第二突出部分，该一个以上的第二突出部分处于在朝向所述第四面进行俯视的情况下在沿着所述第四面的方向上从所述第二主体部突出的状态。该一个以上的第二突出部分在朝向所述第四面进行俯视透视的情况下，在彼此不同的位置包括第三特定形状部以及第四特定形状部。

流路设备的制造方法的一方案具有：(a)工序，通过树脂成型来制作具有第一面以及与该第一面相反的第二面的第一部分；(b)工序，通过树脂成型来制作具有第三面以及与该第三面相反的第四面的第二部分；以及 (c)工序，通过将所述第一部分的所述第二面与所述第二部分的所述第三面接合而制作流路设备。在所述(a)工序中，所述第一部分具有树脂制的第一主体部以及比该第一主体部硬的第一加强部。所述第一主体部包括一体构成的、具有所述第一面的第一外表面部分、具有所述第二面的第一被接合部分、以及处于将所述第一外表面部分与所述第一被接合部分连结的状态的一个以上的第一连结部分。所述第一被接合部分在所述第二面上具有槽部图案。所述第一加强部在被所述第一外表面部分与所述第一被接合部分夹着的状态下分别被所述第一外表面部分以及所述第一被接合部分覆盖，并且所述第一加强部包括一个以上的第一突出部分，该一个以上的第一突出部分处于在朝向所述第一面进行俯视的情况下在沿着所述第一面的方向上从所述第一主体部突出的状态。以使该一个以上的第一突出部分在朝向所述第一面进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括第一特定形状部以及第二特定形状部的方式，通过树脂成型来制作所述第一部分。在所述(b)工序中，所述第二部分具有树脂制的第二主体部以及比该第二主体部硬的第二加强部。所述第二主体部包括一体构成的、具有所述第四面的第二外表面部分、具有所述第三面的第二被接合部分、以及处于将所述第二外表面部分与所述第二被接合部分连结的状态的一个以上的第二连结部分，并且所述第二主体部具有处于分别从所述第三面贯通到所述第四面的状态的多个贯通孔。所述第二加强部在被所述第二外表面部分与所述第二被接合部分夹着的状态下分别被所述第二外表面部分以及所述第二被接合部分覆盖，并且所述第二加强部包括一个以上的第二突出部分，该一个以上的第二突出部分处于在朝向所述第四面进行俯视的情况下在沿着所述第四面的方向上从所述第二主体部突出的状态。以使该一个以上的第二突出部分在朝向所述第四面进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括第三特定形状部以及第四特定形状部的方式，通过树脂成型来制作所述第二部分。在所述(c)工序中，以通过使用所述第一特定形状部、所述第二特定形状部、所述第三特定形状部以及所述第四特定形状部，进行所述第一部分与所述第二部分的对位，并且使所述槽部图案与所述多个贯通孔连接的方式接合所述第二面与所述第三面，从而形成基于所述槽部图案的第一流路。

计测用流路设备的一方案具备：第一流路设备，其包括上述的一方案的流路设备；以及第二流路设备。所述多个贯通孔包括具有位于所述第四面的第一开口的贯通孔。所述第二流路设备具有第五面以及与该第五面相反的第六面，并且具有：第二流路，其位于内部并且在所述第五面具有第二开口；以及光透射部，其供来自该第二流路内的至少被计测区域的光透射到该第二流路设备的外部。所述第一开口与所述第二开口处于相互连接的状态。

检查装置的一方案具备：上述的一方案的计测用流路设备；以及传感器部，其接收从所述被计测区域通过了所述光透射部的光。

附图说明

图1的(a)是示出第一实施方式的计测用流路设备的一例的俯视图。图1的(b)是示出图1的(a)的计测用流路设备的沿着Ib-Ib线的假想的剖切面的一例的图。

图2的(a)是示出第一实施方式的第一流路设备的一例的俯视图。图2的(b)是示出第一实施方式的第一流路设备的一例的主视图。

图3的(a)是示出第一流路的结构的一例的俯视图。图3的(b)是示出图3的(a)的第一流路的IIIb部的放大俯视图。

图4是示出第一实施方式的第一流路设备的制造流程的一例的流程图。

图5的(a)是示出在第一流路设备的第一部分的制作中使用的第一铸模下部的一例的俯视图。图5的(b)是示出图5的(a)的第一铸模下部的沿着Vb-Vb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图6的(a)是示出第一部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图6 的(b)是示出图6的(a)的第一部分的制造中途的状态的沿着VIb-VIb 线的假想的剖面的一例的剖视图。

图7的(a)是示出第一部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图7 的(b)是示出图7的(a)的第一部分的制造中途的状态的沿着VIIb-VIIb 线的假想的剖面的一例的剖视图。

图8的(a)是示出第一部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图8 的(b)是示出图8的(a)的第一部分的制造中途的状态的沿着VIIIb- VIIIb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图9的(a)是示出第一部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图9 的(b)是示出图9的(a)的第一部分的制造中途的状态的沿着IXb-IXb 线的假想的剖面的一例的剖视图。

图10的(a)是示出第一实施方式的第一部分的一例的俯视图。图10 的(b)是示出第一实施方式的第一部分的一例的主视图。

图11的(a)是示出在第一流路设备的第二部分的制作中使用的第二铸模下部的一例的俯视图。图11的(b)是示出图11的(a)的第二铸模下部的沿着XIb-XIb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图12的(a)是示出第二部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图 12的(b)是示出图12的(a)的第二部分的制造中途的状态的沿着XIIb -XIIb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图13的(a)是示出第二部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图 13的(b)是示出图13的(a)的第二部分的制造中途的状态的沿着XIIIb -XIIIb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图14的(a)是示出第二部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图14的(b)是示出图14的(a)的第二部分的制造中途的状态的沿着XIVb -XIVb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图15的(a)是示出第二部分的制造中途的状态的一例的俯视图。图 15的(b)是示出图15的(a)的第二部分的制造中途的状态的沿着XVb -XVb线的假想的剖面的一例的剖视图。

图16的(a)是示出第一实施方式的第二部分的一例的俯视图。图16 的(b)是示出第一实施方式的第二部分的一例的主视图。

图17的(a)至图17的(c)是示出将第一部分与第二部分接合的情形的主视图。

图18是示出图1的(b)的计测用流路设备的XVIII部处的假想的剖切面的放大图。

图19是示出第一实施方式的第二流路设备的一例的俯视图。

图20是示出图19的第二流路设备的XX部的放大俯视图。

图21是示出第二实施方式的检查装置中的与图1的(a)的沿着Ib- Ib线的位置对应的位置处的假想的剖切面的一例的图。

图22是示意性地示出第二实施方式的检查装置的结构的一例的框图。

图23的(a)是示出第三实施方式的第一例的第一部分的俯视图。图 23的(b)是示出第三实施方式的第一例的第二部分的俯视图。

图24的(a)是示出第三实施方式的第二例的第一部分的俯视图。图 24的(b)是示出第三实施方式的第二例的第二部分的俯视图。

图25的(a)是示出第三实施方式的第三例的第一部分的俯视图。图 25的(b)是示出第三实施方式的第三例的第二部分的俯视图。

图26的(a)是示出第三实施方式的第四例的第一部分的俯视图。图 26的(b)是示出第三实施方式的第四例的第二部分的俯视图。

图27的(a)是示出第三实施方式的第五例的第一部分的俯视图。图 27的(b)是示出第三实施方式的第五例的第二部分的俯视图。

图28是示出图11的(b)的第二铸模下部的XXVIII部的放大剖视图。

图29是示出一变形例的第二流路设备的俯视图。

图30是示出图29的第二流路设备的XXX部的放大俯视图。

图31是示出一变形例的计测用流路设备中的与图1的(b)的计测用流路设备的XVIII部对应的位置处的假想的剖切面的放大图。

具体实施方式

已知有利用与特定的微粒的直径相匹配地分支的微细的流路将流体中的特定的微粒分离并回收的设备(第一流路设备)。另外，已知有将该第一流路设备与具有用于对特定的微粒进行计测的流路的设备(第二流路设备)连接而得到的设备(计测用流路设备)。并且，也已知有具有该计测用流路设备和用于对特定的微粒进行计测的传感器的装置(检查装置)。

另外，第一流路设备例如能够通过将具有与微细的流路对应的凹凸的片状或者板状的构件(也称为第一构件)和具有与该流路连接的多个贯通孔的片状或者板状的构件(也称为第二构件)接合而制造。

另外，第一流路设备的材料例如应用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等。 PDMS具有进行使用铸模的树脂成型时的优异的转印性。转印性是在进行使用铸模的树脂成型时能够在树脂成型品中形成与铸模的微细的图案相应的微细的凹凸的性质。因此，通过使用PDMS利用树脂成型制作第一构件，能够容易地制造具有微细的流路的流路设备。

然而，使用PDMS等转印性优异的树脂而成型的片状或者板状的树脂成型品非常柔软，仅通过把持两端而抬起就会简单地弯曲。因此，例如，在将第一构件与第二构件接合时，不容易进行第一构件与第二构件的对位。

这样的问题并不限于应用于计测用流路设备以及检查装置的流路设备，具有流路的设备(也称为流路设备)一般均具有该问题。

于是，本发明的发明者创造出能够以高精度容易地制造流路设备、计测用流路设备以及检查装置的技术。

对此，以下参照附图来说明各种实施方式以及各种变形例。在附图中对具有相同的结构以及功能的部分标注相同的附图标记，在下述说明中省略重复说明。附图进行示意性地示出。在图1的(a)至图3的(b)、图5 的(a)至图21以及图23的(a)至图31中，标注了右手系的XYZ坐标系。在该XYZ坐标系中，第一流路设备1的第一上表面1fs的长度方向被设为+X方向，第一流路设备1的第一上表面1fs的短边方向被设为+Y 方向，作为与+X方向以及+Y方向这两方正交的方向的第一上表面1fs 的法线方向被设为+Z方向。

<1.第一实施方式>

<1-1.计测用流路设备>

第一实施方式的计测用流路设备100例如通过使作为检体的流体在计测用流路设备100内的流路流动，而能够将检体中的作为特定的成分的特定的微粒与其他成分分离并回收，且能够进行以该特定的微粒为对象的计测。在此，流体例如应用血液。在该情况下，特定的微粒例如应用白血球。其他成分例如应用红血球等其他微粒。计测例如应用血液所含的白血球的数量的计测等。

如图1的(a)以及图1的(b)所示，第一实施方式的计测用流路设备100例如具备第一流路设备1和第二流路设备2。

第一流路设备1例如具有板状的小型的芯片(也称为微型芯片)的形态。第一流路设备1例如具有大致矩形形状的面(也称为第一上表面)1fs 以及与该第一上表面1fs相反的面(也称为第一下表面)1bs。在图1的(a) 以及图1的(b)的例子中，第一上表面1fs朝向+Z方向。换言之，第一上表面1fs具有沿着+Z方向的法线。第一下表面1bs朝向-Z方向。换言之，第一下表面1bs具有沿着-Z方向的法线。第一上表面1fs以及第一下表面1bs分别例如为平坦。第一流路设备1的厚度例如被设为1毫米 (mm)至5mm左右。关于第一流路设备1的第一上表面1fs以及第一下表面1bs，短边的长度被设为10mm至30mm左右，长边的长度被设为10mm至50mm左右。

第二流路设备2例如具有比第一流路设备1大的板状的形态。第二流路设备2例如具有大致矩形形状的面(也称为第二上表面)2fs以及与该第二上表面2fs相反的面(也称为第二下表面)2bs。在图1的(a)以及图1的(b)的例子中，第二上表面2fs朝向+Z方向。换言之，第二上表面2fs具有沿着+Z方向的法线。第二下表面2bs朝向-Z方向。换言之，第二下表面2bs具有沿着-Z方向的法线。第二上表面2fs以及第二下表面2bs分别例如为平坦。第二流路设备2的厚度例如被设为0.5mm至5mm 左右。关于第二流路设备2的第二上表面2fs以及第二下表面2bs，例如，短边的长度被设为10mm至30mm左右，长边的长度被设为20mm至50mm 左右。

第一流路设备1例如位于第二流路设备2的第二上表面2fs上。换言之，第一流路设备1的第一下表面1bs与第二流路设备2的第二上表面2fs 处于对置的状态。

<1-2.第一流路设备>

第一流路设备1例如能够将作为检体的流体所含的作为特定的成分的特定的微粒与其他成分分离并回收。第一流路设备1例如具有第一流路1f。在第一流路设备1中，例如能够在第一流路1f中将流体所含的特定的微粒与其他成分分离并回收。

如图2的(a)以及图2的(b)所示，第一流路设备1例如具有第一部分11和第二部分12。第一部分11以及第二部分12分别例如具有板状的形态。第一部分11以及第二部分12分别例如具有0.5mm至几mm左右的厚度。

第一部分11例如具有第一面11fs以及与该第一面11fs相反的第二面 11bs。在图2的(a)以及图2的(b)的例子中，第一面11fs朝向+Z方向。换言之，第一面11fs具有沿着+Z方向的法线。第二面11bs朝向-Z 方向。换言之，第二面11bs具有沿着一Z方向的法线。第二部分12例如具有第三面12fs以及与该第三面12fs相反的第四面12bs。在图2的(a) 以及图2的(b)的例子中，第三面12fs朝向+Z方向。换言之，第三面 12fs具有沿着+Z方向的法线。第四面12bs朝向-Z方向。换言之，第四面12bs具有沿着-Z方向的法线。在此，例如，第一部分11的第二面11bs 处于与第二部分12的第三面12fs接合的状态。在图2的(a)以及图2的 (b)的例子中，第二面11bs以及第三面12fs分别为平坦。第二面11bs 与第三面12fs的接合例如能够通过第二面11bs以及第三面12fs的表面改质而不使用粘接剂地实现。进行表面改质的方法例如能够应用氧等离子体的照射或者使用准分子灯的紫外(UV)光的照射等。

<1-2-1.第一部分>

第一部分11例如具有第一主体部11b和第一加强部11r。

第一主体部11b为树脂制。第一主体部11b的材料例如应用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂或者聚酰亚胺树脂等具有柔软性的树脂等。第一主体部11b例如包括一体地构成的第一外表面部分11b1、第一被接合部分11b2以及一个以上的第一连结部分11b3。

第一外表面部分11b1例如具有第一面11fs。在图2的(a)以及图2 的(b)的例子中，第一外表面部分11b1是位于比第一加强部11r靠第一面11fs侧的位置的板状或者片状的部分。

第一被接合部分11b2例如具有第二面11bs。在图2的(a)以及图2 的(b)的例子中，第一被接合部分11b2是位于比第一加强部11r靠第二面11bs侧的位置的板状或者片状的部分。另外，第一被接合部分11b2例如在第二面11bs具有处于构成第一流路1f的状态的槽部的图案(也称为槽部图案)1pt。在此，例如通过将第一部分11的第二面11bs与第二部分 12的第三面12fs接合，从而处于槽部图案1pt与第三面12fs构成第一流路1f的状态。

一个以上的第一连结部分11b3处于将第一外表面部分11b1与第一被接合部分11b2连结的状态。在图2的(a)以及图2的(b)的例子中，一个以上的第一连结部分11b3具有四个第一连结部分11b3。各第一连结部分11b3位于第一加强部11r中的处于在厚度方向(+Z方向)上贯通的状态的孔部H1的内侧。换言之，第一连结部分11b3位于第一加强部11r 的四个孔部H1各自的内侧。

第一加强部11r比第一主体部11b硬。从其他观点而言，第一加强部 11r例如具有比第一主体部11b高的刚性。第一加强部11r的材料例如应用具有较高的刚性的丙烯酸(PMMA)或者聚碳酸酯等树脂、金属或者陶瓷等。第一加强部11r例如应用具有沿着XY平面的板面的板状的构件。该第一加强部11r例如在被第一外表面部分11b1与第一被接合部分11b2夹着的状态下处于分别被第一外表面部分11b1以及第一被接合部分11b2覆盖的状态。例如，通过以夹着第一加强部11r的方式配置有成为第一主体部11b的硬化前的树脂的树脂的成型，第一加强部11r能够分别被第一外表面部分11b1以及第一被接合部分11b2覆盖。

另外，第一加强部11r例如包括一个以上的第一突出部分11p。一个以上的第一突出部分11p例如处于在朝向第一面11fs进行俯视的情况下在沿着第一面11fs的方向上从第一主体部11b突出的状态。在图2的(a) 以及图2的(b)的例子中，一个以上的第一突出部分11p包括两个第一突出部分11p。更具体而言，一个以上的第一突出部分11p包括第一A突出部分11p1以及第一B突出部分11p2。第一A突出部分11p1处于从第一主体部11b朝向-X方向突出的状态。第一B突出部分11p2处于从第一主体部11b朝向+X方向突出的状态。

一个以上的第一突出部分11p例如在朝向第一面11fs进行俯视透视的情况下，在彼此不同的位置具有两个具有特定的形状的部分(也称为特定形状部)。换言之，一个以上的第一突出部分11p例如包括具有第一特定形状的特定形状部(也称为第一特定形状部)以及具有第二特定形状的特定形状部(也称为第二特定形状部)。在图2的(a)以及图2的(b)的例子中，特定形状部应用在沿着Z轴的方向上贯通且与贯通方向(+Z方向)垂直的剖面呈圆形的第一贯通孔部11h。更具体而言，第一A突出部分11p1具有作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1。第一B突出部分11p2具有作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2。

如上述那样，在第一部分11中，例如以穿过一体构成的树脂制的第一主体部11b之间的方式配置有第一加强部11r。在此，例如在树脂制的第一主体部11b过于柔软的情况下，假定若不存在第一加强部11r，则当把持第一主体部11b的两端而抬起时认为第一主体部11b会挠曲且第一主体部11b的形状破坏。与此相对，在第一实施方式的第一部分11中，例如由于第一加强部11r的存在，从而即使把持第一部分11的两端而抬起，第一主体部11b也不易挠曲，第一主体部11b的形状也不易破坏。由此，例如，第一部分11的处理能够变得容易。其结果是，例如在将第一部分 11与第二部分12接合时，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。

<1-2-2.第二部分的结构>

第二部分12例如具有第二主体部12b和第二加强部12r。

第二主体部12b为树脂制。第二主体部12b的材料例如应用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂或者聚酰亚胺树脂等具有柔软性的树脂等。第二主体部12b例如包括一体构成的第二外表面部分12b1、第二被接合部分12b2以及一个以上的第二连结部分1263。

第二外表面部分12b1例如具有第四面12bs。在图2的(a)以及图2 的(b)的例子中，第二外表面部分12b1是位于比第二加强部12r靠第四面12bs侧的位置的板状或者片状的部分。

第二被接合部分12b2例如具有第三面12fs。在图2的(a)以及图2 的(b)的例子中，第二被接合部分12b2是位于比第二加强部12r靠第三面12fs侧的位置的板状或者片状的部分。

一个以上的第二连结部分12b3处于将第二外表面部分12b1与第二被接合部分12b2连结的状态。在图2的(a)以及图2的(b)的例子中，一个以上的第二连结部分12b3具有四个第二连结部分12b3。各第二连结部分12b3位于第二加强部12r中的处于在厚度方向(+Z方向)上贯通的状态的孔部H2的内侧。换言之，第二连结部分12b3位于第二加强部12r 的四个孔部H2各自的内侧。

另外，第二主体部12b例如具有处于分别从第三面12fs贯通到第四面 12bs的状态的多个贯通孔Th2。各贯通孔Th2的直径例如被设为2mm左右。上述多个贯通孔Th2例如处于与第一流路1f连接的状态。由此，例如，第一流路设备1的第一流路1f能够在与第二流路设备2等第一流路设备1的外部的设备之间进行流体的流入以及流出。

第二加强部12r比第二主体部12b硬。从其他观点而言，第二加强部 12r例如具有比第二主体部12b高的刚性。第二加强部12r的材料例如应用具有较高的刚性的丙烯酸(PMMA)或者聚碳酸酯等树脂、金属或者陶瓷等。第二加强部12r例如应用具有沿着XY平面的板面的板状的构件。该第二加强部12r例如在被第二外表面部分12b1和第二被接合部分12b2 夹着的状态下处于分别被第二外表面部分12b1以及第二被接合部分12b2 覆盖的状态。例如，通过以夹着第二加强部12r的方式配置有成为第二主体部12b的硬化前的树脂的树脂的成型，第二加强部12r能够分别被第二外表面部分12b1以及第二被接合部分12b2覆盖。

另外，第二加强部12r例如包括一个以上的第二突出部分12p。一个以上的第二突出部分12p例如处于在朝向第四面12bs进行俯视的情况下在沿着第四面12bs的方向上从第二主体部12b突出的状态。在图2的(a) 以及图2的(b)的例子中，一个以上的第二突出部分12p包括两个第二突出部分12p。更具体而言，一个以上的第二突出部分12p包括第二A突出部分12p1以及第二B突出部分12p2。第二A突出部分12p1处于从第二主体部12b朝向-X方向突出的状态。第二B突出部分12p2处于从第二主体部12b朝向+X方向突出的状态。

一个以上的第二突出部分12p例如在朝向第四面12bs进行俯视透视的情况下，在彼此不同的位置具有两个具有特定的形状的部分(特定形状部)。换言之，一个以上的第二突出部分12p例如包括具有第三特定形状的特定形状部(也称为第三特定形状部)以及具有第四特定形状的特定形状部(也称为第四特定形状部)。在图2的(a)以及图2的(b)的例子中，特定形状部应用在沿着Z轴的方向上贯通且与贯通方向(+Z方向) 垂直的剖面呈圆形的第二贯通孔部12h。更具体而言，第二A突出部分12p1 具有作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1。第二B突出部分12p2 具有作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2。

如上述那样，在第二部分12中，例如以穿过一体构成的树脂制的第二主体部12b之间的方式配置有第二加强部12r。在此，例如，在树脂制的第二主体部12b过于柔软的情况下，假定若不存在第二加强部12r，则当把持第二主体部12b的两端而抬起时认为第二主体部12b会挠曲且第二主体部12b的形状破坏。与此相对，在第一实施方式的第二部分12中，例如，由于第二加强部12r的存在，从而即使把持第二部分12的两端而抬起，第二主体部12b也不易挠曲，第二主体部12b的形状也不易破坏。由此，例如，第二部分12的处理能够变得容易。因此，例如，在将第一部分11与第二部分12接合时，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。其结果是，能够容易地制造第一流路设备1。

另外，例如，在将第一部分11与第二部分12重叠而接合时，能够使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2进行第一部分11的姿态以及位置的设定。另外，例如，能够使用作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2进行第二部分12的姿态以及位置的设定。由此，例如，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。其结果是，例如，能够以高精度容易地制造第一流路设备1。

<1-2-3.第一流路>

如图3的(a)所示，第一流路1f例如具有主流路1f1和多个分支流路1f2。多个分支流路1f2是分别从主流路1f1分支出的流路。在第一流路设备1中，例如，在第一流路设备1内流动的流体向主流路1f1流入。在此，例如假定在该流体中包含特定的微粒(也称为第一粒子)以及与该特定的微粒(第一粒子)不同的微粒(也称为第二粒子)的情况。在该情况下，例如，第二粒子从主流路1f1向分支流路1f2流入。由此，能够将第一粒子与第二粒子分离。换言之，在第一流路设备1中，例如，也能够将第二粒子与第一粒子分离。分支流路1f2例如设计为使第二粒子从主流路 1f1流入，但也可以使与第一粒子和第二粒子均不同的粒子流入。

在图3的(b)中示意性地示出在第一流路1f中分离第一粒子与第二粒子的情形。在图3的(b)中，较大的圆表示第一粒子P1，较小的圆表示第二粒子P2。另外，以朝向-Y方向的方式由粗双点划线描绘的箭头 Fm1表示在主流路1f1中流动的流体的主要的流动(也称为主流)所朝向的方向。另外，以朝向-X方向的方式由双点划线描绘的箭头Fp1表示后述的“按压流”所朝向的方向。并且，在第一流路1f内，标注了沙地的阴影的区域Ar1表示后述的“导入流”。

在第一实施方式中，第一流路1f例如具有主流路1f1以及处于以从该主流路1f1向-X方向分支的方式与主流路1f1分别连接的状态的多个分支流路1f2。在此，例如通过调整主流路1f1以及分支流路1f2各自的截面积、长度以及检体(流体)的流速等，能够产生从主流路1f1向分支流路1f2流入的“导入流”。另外，在此，例如在第一流路1f产生能够将在主流路1f1内流动的检体(流体)向分支流路1f2侧按压的按压流。例如，如图3的(b)所示，通过在从主流路1f1向分支流路1f2分支的区域的附近，将主流路1f1中的导入流的宽度W1设为在导入流的区域Ar1不能包含第一粒子P1的重心位置而能够包含第二粒子P2的重心位置那样的宽度，从而能够从主流路1f1向分支流路1f2导入第二粒子P2。在此，通过使分支流路1f2的宽度比在检体中流动的第一粒子P1的直径小，且比第二粒子P2的直径大，能够从主流路1f1向分支流路1f2导入第二粒子P2 而不导入第一粒子P1。

在此，例如假定检体为血液，第一粒子P1为白血球，第二粒子P2为红血球的情况。红血球的重心位置例如为从红血球的外缘部起2微米(μm) 至2.5μm左右的位置。红血球的最大直径例如为6μm至8μm左右。白血球的重心位置例如为从白血球的外缘部起5μm至10μm左右的位置。白血球的最大直径例如为10μm至30μm左右。在该情况下，关于主流路1f1，沿着XZ平面的假想截面的截面积例如被设为300平方微米(μm²)至 1000μm²左右，沿着Y轴向的长度例如被没为0.5mm至20mm左右。关于分支流路1f2，沿着YZ平面的假想截面的截面积例如被设为100μm²至 500μm²左右，沿着X轴向的长度例如为3mm至25mm左右。并且，若将第一流路1f内的流速例如设为0.2米每秒(m/s)至5m/s左右，则能够将导入流的宽度W1设定为2μm至15μm左右。由此，例如能够在第一流路 1f中将血液中的红血球与白血球分离。

另外，第一流路1f例如还具有回收流路1f3。回收流路1f3例如处于与主流路1f1的下游侧的部分连接的状态。该回收流路1f3能够回收在主流路1f1流动的第一粒子P1。在第一实施方式的第一流路1f中，在主流路1f1中分离出的第一粒子P1能够从主流路1f1向回收流路1f3流入。由此，例如，回收流路1f3能够回收第一粒子P1。

另外，第一流路1f例如也可以还具有排出流路1f4。该排出流路1f4 例如处于与多个分支流路1f2连接的状态。排出流路1f4可以将从多个分支流路1f2流入的第二粒子P2回收，也可以将其废弃。在此，例如，在利用排出流路1f4回收第二粒子P2的情况下，排出流路1f4功能作为回收第二粒子P2的流路而发挥功能。另外，在主流路1f1中流动到下游侧的端部的流体例如也可以废弃。

在第一实施方式中，如图2的(a)至图3的(a)所示，第一流路1f 例如处于经由第二部分12的多个贯通孔Th2而与位于第一下表面1bs的多个第一开口1o连接的状态。换言之，各贯通孔Th2具有位于第四面12bs 的第一开口1o。

多个第一开口1o例如具有第一流入口1oi、第一流出口1od、第一排出口1ox以及第二排出口1oe。第一流入口1oi例如能够接收检体的流入，并使检体经由第一贯通孔Th2(也称为第一贯通孔Th21)而向主流路1f1 流入。第一流出口1od例如能够将从回收流路1f3经由第二贯通孔Th2(也称为第二贯通孔Th22)而流来的第一粒子P1回收。第一排出口1ox例如能够将经由排出流路1f4以及第三贯通孔Th2(第三贯通孔Th23)而流来的、从检体分离出的第二粒子P2排出。从第一排出口1ox排出的流体例如能够经由第二流路设备2的贯通孔2th而被废弃或者回收。第二排出口 1oe例如能够将从主流路1f1的下游侧的端部经由第四贯通孔Th2(也称为第四贯通孔Th24)而流来的、从检体除去第一粒子P1以及第二粒子P2 后的成分排出。从第二排出口1oe排出的流体例如能够经由第二流路设备 2的贯通孔2th而被废弃或者回收。另外，在第一实施方式中，多个第一开口1o例如还具有第一按压流入口1op。第一按压流入口1op例如能够接收产生用于将检体向主流路1f1中的多个分支流路1f2侧按压的按压流的流体的流入，使产生按压流的流体经由第五贯通孔Th2(也称为第五贯通孔Th25)向主流路1f1流入。

<1-3.第一流路设备的制造方法>

参照图4至图17的(c)对第一流路设备1的制造方法的一例进行说明。在第一流路设备1的制造方法的一例中，例如，如图4所示，顺序进行步骤Sp1的第一工序、步骤Sp2的第二工序以及步骤Sp3的第三工序。在此，例如，进行步骤Sp1的第一工序与步骤Sp2的第二工序的顺序也可以相反。

《第一工序(步骤Sp1)》

在步骤Sp1的第一工序中，通过树脂成型来制作上述的第一部分11。

在此，对通过树脂成型来制作第一部分11的工序的一例进行说明。

首先，例如，如图5的(a)以及图5的(b)所示，准备在第一部分 11的树脂成型中使用的第一铸模的下部(也称为第一铸模下部)5b。第一铸模下部5b例如在大致长方体状的第一铸模下部主体部5b0的上部具有第一凹部51d。第一凹部51d例如具有第一A区域51a1、第一B区域51a2 以及第一C区域51a3。第一A区域51a1例如具有与第一被接合部分11b2 的外形对应的形状。第一B区域51a2例如具有与第一A突出部分11p1 的外形对应的形状。第一C区域51a3例如具有与第一B突出部分11p2 的外形对应的形状。在第一凹部51d中，例如，第一A区域51a1比第一 B区域51a2以及第一C区域51a3深。第一B区域51a2与第一C区域51a3的深度大致相同。另外，在第一A区域51a1的底部例如配置有微模52。微模52例如具有基板以及位于该基板上的微细的凹凸部52m。基板例如应用硅基板。凹凸部52m应用与用于构成第一流路1f的槽部图案1pt对应的微细的凹凸部。微模52例如具有硅基板以及形成于该硅基板上的凹凸部52m。凹凸部52m例如能够由被称为SU-8的保护层等形成。另外，在第一B区域51a2以及第一C区域51a3各自的底部例如配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第一销53。具体而言，在第一B区域 51a2的底部配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第一A销 531。在第一C区域51a3的底部配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第一B销532。第一销53例如具有供第一加强部11r的第一贯通孔部11h嵌合的形状。具体而言，第一A销531例如具有供第一加强部 11r的第一A贯通孔部11h1嵌合的形状。第一B销532例如具有供第一加强部11r的第一B贯通孔部11h2嵌合的形状。

接下来，例如，如图6的(a)以及图6的(b)所示，在第一A区域 51a1配置硬化前的液体状的第一树脂71。第一树脂71例如应用将主剂与硬化剂混合后的状态的热硬化型的树脂。

接下来，例如，如图7的(a)以及图7的(b)所示，以架设于第一 B区域51a2与第一C区域51a3之间的方式配置第一加强部11r。此时，成为在第一A销531嵌合于第一A贯通孔部11h1且在第一B销532嵌合于第一B贯通孔部11h2的状态。

接下来，例如，如图8的(a)以及图8的(b)所示，在第一A区域 51a1中，在第一加强部11r上配置硬化前的液体状的第二树脂72。第二树脂72例如应用将主剂与硬化剂混合后的状态的热硬化型的树脂。第一树脂71以及第二树脂72例如应用相同的树脂。第一树脂71以及第二树脂 72例如也可以应用不同的树脂。

接下来，例如，如图9的(a)以及图9的(b)所示，将在第一部分 11的树脂成型中使用的第一铸模的上部(也称为第一铸模上部)5u以覆盖于第一加强部11r以及第二树脂72之上的方式配置。第一铸模上部5u 具有第二凹部52d、第一伸出部541、第二伸出部542、第一孔部551以及第二孔部552。第二凹部52d位于第一铸模上部5u的大致长方体状的第一铸模上部主体部5u0的下表面侧，且具有与第一外表面部分11b1的外形对应的形状。第一伸出部541以及第二伸出部542分别位于第一铸模上部主体部5u0的下表面侧，且处于向下方向(-Z方向)伸出的状态。第一伸出部541具有与第一A突出部分11p1的上表面的外形对应的形状。第二伸出部542具有与第一B突出部分11p2的上表面的外形对应的形状。第一孔部551处于从第一伸出部541的下表面向上方向(+Z方向)贯通到第一铸模上部5u的上表面的状态。第二孔部552处于从第二伸出部542 的下表面向上方向(+Z方向)贯通到第一铸模上部5u的上表面的状态。在此，处于在第二凹部52d填充有第二树脂72的状态。另外，在第一A 销531嵌合于第一孔部551的状态下，第一伸出部541与第一加强部11r 的上表面抵接。在第一B销532嵌合于第二孔部552的状态下，第二伸出部542与第一加强部11r的上表面抵接。

然后，例如通过在图9的(a)以及图9的(b)所示的状态下，在加热炉(烘箱)中加热，从而第一树脂71以及第二树脂72硬化。在此，加热温度例如被设为摄氏80度(80℃)至100℃左右的温度区域。加热时间例如被设为30分钟左右。

之后，例如通过除去第一铸模下部5b和第一铸模上部5u，能够制作如图10的(a)以及图10的(b)所示具有第一面11fs和第二面11bs的第一部分11。换言之，在该步骤Sp1的第一工序中，例如，通过树脂成型以具有树脂制的第一主体部11b以及比该第一主体部11b硬的第一加强部11r的方式制作第一部分11。在此，例如，第一主体部11b形成为包括一体构成的、具有第一面11fs的第一外表面部分11b1、具有第二面11bs的第一被接合部分11b2、以及处于将第一外表面部分11b1与第一被接合部分11b2连结的状态的一个以上的第一连结部分11b3。另外，例如，第一被接合部分11b2形成为在第二面11bs具有槽部图案1pt。另外，例如，第一加强部11r成为在被第一外表面部分11b1与第一被接合部分11b2夹着的状态下分别被第一外表面部分11b1以及第一被接合部分11b2覆盖的状态。另外，例如，第一加强部11r成为包括一个以上的第一突出部分11p 的状态，该第一突出部分11p处于在朝向第一面11fs进行俯视的情况下在沿着第一面11fs的方向上从第一主体部11b突出的状态。此时，例如，一个以上的第一突出部分11p例如成为在朝向第一面11fs进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1 和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2那样的状态。

《第二工序(步骤Sp2)》

在步骤Sp2的第二工序中，通过树脂成型来制作上述的第二部分12。

在此，对通过树脂成型来制作第二部分12的工序的一例进行说明。

首先，例如，如图11的(a)以及图11的(b)所示，准备在第二部分12的树脂成型中使用的第二铸模的下部(也称为第二铸模下部)6b。第二铸模下部6b例如在大致长方体状的第二铸模下部主体部6b0的上部具有第三凹部61d。第三凹部61d例如具有第三A区域61a1、第三B区域 61a2以及第三C区域61a3。第三A区域61a1例如具有与第二外表面部分 12b1的外形对应的形状。第三B区域61a2例如具有与第二A突出部分12p1 的外形对应的形状。第三C区域61a3例如具有与第二B突出部分12p2 的外形对应的形状。在第三凹部61d中，例如，第三A区域61a1比第三 B区域61a2以及第三C区域61a3深。第三B区域61a2与第三C区域61a3的深度大致相同。另外，在第三A区域61a1的底部例如配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的多个第二销64。多个第二销64例如配置于与第二部分12的第二主体部12b中的多个贯通孔Th2对应的位置。多个第二销64例如包括第二A销641、第二B销642、第二C销643、第二D销644以及第二E销645。第二A销641例如具有与第一贯通孔Th21 的位置以及形状对应的形态。第二B销642例如具有与第二贯通孔Th22 的位置以及形状对应的形态。第二C销643例如具有与第三贯通孔Th23 的位置以及形状对应的形态。第二D销644例如具有与第四贯通孔Th24 的位置以及形状对应的形态。第二E销645例如具有与第五贯通孔Th25 的位置以及形状对应的形态。另外，在第三B区域61a2以及第三C区域 61a3各自的底部例如配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第三销63。具体而言，在第三B区域61a2的底部例如配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第三A销631。在第三C区域61a3的底部例如配置有处于朝向上方向(+Z方向)突出的状态的第三B销632。第三销63例如具有供第二加强部12r的第二贯通孔部12h嵌合的形状。具体而言，第三A销631例如具有供第二加强部12r的第二A贯通孔部12h1 嵌合的形状。第三B销632例如具有供第二加强部12r的第二B贯通孔部12h2嵌合的形状。

接下来，例如如图12的(a)以及图12的(b)所示，在第三A区域 61a1配置硬化前的液体状的第三树脂73。第三树脂73例如应用将主剂与硬化剂混合后的状态的热硬化型的树脂。

接下来，例如，如图13的(a)以及图13的(b)所示，以架设于第三B区域61a2与第三C区域61a3之间的方式配置第二加强部12r。此时，成为第二A贯通孔部12h1嵌合于第三A销631且第二B贯通孔部12h2 嵌合于第三B销632的状态。

接下来，例如，如图14的(a)以及图14的(b)所示，在第三A区域61a1中，在第二加强部12r上配置硬化前的液体状的第四树脂74。第四树脂74例如应用将主剂与硬化剂混合后的状态的热硬化型的树脂。第三树脂73以及第四树脂74例如应用相同的树脂。第三树脂73以及第四树脂74例如也可以应用不同的树脂。

接下来，例如，如图15的(a)以及图15的(b)所示，以将在第二部分12的树脂成型中使用的第二铸模的上部(也称为第二铸模上部)6u 覆盖于第二加强部12r以及第四树脂74之上的方式配置。第二铸模上部 6u例如具有第四凹部62d、第三伸出部671、第四伸出部672、第三孔部 651、第四孔部652以及多个第五孔部66。第四凹部62d例如位于第二铸模上部6u的大致长方体状的第二铸模上部主体部6u0的下表面侧，且具有与第二被接合部分1262的外形对应的形状。第三伸出部671以及第四伸出部672分别例如位于第二铸模上部主体部6u0的下表面侧，且处于向下方向(-Z方向)伸出的状态。第三伸出部671例如具有与第二A突出部分12p1的上表面的外形对应的形状。第四伸出部672例如具有与第二B 突出部分12p2的上表面的外形对应的形状。第三孔部651例如处于从第三伸出部671的下表面向上方向(+Z方向)贯通到第二铸模上部6u的上表面的状态。第四孔部652例如处于从第四伸出部672的下表面向上方向(+Z方向)贯通到第二铸模上部6u的上表面的状态。多个第五孔部 66例如分别处于从第二铸模上部6u的下表面向上方向(+Z方向)贯通到上表面的状态。多个第五孔部66例如包括第五A孔部661、第五B孔部662、第五C孔部663、第五D孔部664以及第五E孔部665。在此，例如，处于在第四凹部62d填充有第四树脂74的状态。另外，例如，在第三A销631嵌合于第三孔部651的状态下，第三伸出部671与第二加强部12r的上表面抵接。例如，在第三B销632嵌合于第四孔部652的状态下，第四伸出部672与第一加强部11r的上表面抵接。另外，在此，例如，多个第二销64嵌合于多个第五孔部66。具体而言，例如，第二A销641 嵌合于第五A孔部661。例如，第二B销642嵌合于第五B孔部662。例如，第二C销643嵌合于第五C孔部663。例如，第二D销644嵌合于第五D孔部664。例如，第二E销645嵌合于第五E孔部665。

然后，例如通过在图15的(a)以及图15的(b)所示的状态下在加热炉中加热，从而第三树脂73以及第四树脂74硬化。在此，加热温度例如被设为80℃至100℃左右的温度区域。加热时间例如被设为30分钟左右。

之后，例如通过将第二铸模下部6b和第二铸模上部6u除去，能够制作如图16的(a)以及图16的(b)所示具有第三面12fs和第四面12bs 的第二部分12。换言之，在该步骤Sp2的第二工序中，例如，通过树脂成型以具有树脂制的第二主体部12b以及比该第二主体部12b硬的第二加强部12r的方式制作第二部分12。在此，例如，第二主体部12b形成为包括一体构成的、具有第四面12bs的第二外表面部分12b1、具有第三面12fs 的第二被接合部分12b2、以及处于将第二外表面部分12b1与第二被接合部分12b2连结的状态的一个以上的第二连结部分12b3。另外，例如，第二主体部12b形成为具有处于分别从第三面12fs贯通到第四面12bs的状态的多个贯通孔Th2。另外，例如，第二加强部12r成为在被第二外表面部分12b1与第二被接合部分1262夹着的状态下分别被第二外表面部分 12b1以及第二被接合部分12b2覆盖的状态。另外，例如，第二加强部12r 成为包括处于在朝向第四面12bs进行俯视的情况下在沿着第四面12bs的方向上从第二主体部12b突出的状态的一个以上的第二突出部分12p的状态。此时，例如，一个以上的第二突出部分12p成为在朝向第四面12bs 进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2那样的状态。

《第三工序(步骤Sp3)》

在步骤Sp3的第三工序中，通过将第一部分11的第二面11bs与第二部分12的第三面12fs接合而制作第一流路设备1。此时，例如使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1、作为第二特定形状部的第一B 贯通孔部11h2、作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1以及作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2，进行第一部分11与第二部分12 的对位。另外，例如通过以将第二部分12的多个贯通孔Th2与位于第二面11bs的槽部图案1pt连接的方式将第二面11bs与第三面12fs接合，从而形成第一流路1f。

在此，对将第二面11bs与第三面12fs接合的工序的一例进行说明。

首先，例如，如图17的(a)所示，准备对位用的台(也称为对位台) 8。对位台8例如具有基台8b和多个突起部8p。基台8b例如具有长方体状的形状。多个突起部8p例如处于从基台8b的上表面朝向上方向(+Z 方向)突起的状态。在图17的(a)的例子中，多个突起部8p包括第一突起部8p1和第二突起部8p2。多个突起部8p例如具有作为用于进行第一部分11与第二部分12的对位的部分(也称为对位部)的作用。在此，第一突起部8p1与第二突起部8p2的位置关系例如与第一加强部11r中的第一A贯通孔部11h1与第一B贯通孔部11h2的位置关系、以及第二加强部12r中的第二A贯通孔部12h1与第二B贯通孔部12h2的位置关系分别对应。

接下来，例如，如图17的(a)所示，将第二部分12以第三面12fs 朝向上方向(+Z方向)的方式载置于基台8b上。此时，例如，成为第一突起部8p1嵌合于第二A贯通孔部12h1且第二突起部8p2嵌合于第二 B贯通孔部12h2的状态。在此，例如，使用作为第三特定形状部的第二A 贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2，来调整第二部分12的姿态以及位置。

接下来，如图17的(b)以及图17的(c)所示，以使第一面11fs朝向上方向(+Z方向)的方式在第二部分12上重叠第一部分11。此时，例如成为第一突起部8p1嵌合于第一A贯通孔部11h1且第二突起部8p2 嵌合于第一B贯通孔部11h2的状态。在此，例如，使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部 11h2，来调整第一部分11的姿态以及位置。

在此，例如考虑对第二面11bs以及第三面12fs事先实施进行表面改质的处理，由此通过使第二面11bs与第三面12fs接触而将第二面11bs与第三面12fs接合的方案。若采用这样的方案，则例如能够不使用粘接剂地将第二面11bs与第三面12fs接合。其结果是，例如，不易产生杂质向检体的混入以及检体所含的微粒等成分与杂质的反应等。表面改质例如能够通过氧等离子体的照射或者使用准分子灯的紫外(UV)光的照射等来实现。

在此，例如，若以使第一被接合部分11b2的材料与第二被接合部分 12b2的材料包含同质的树脂的方式制作第一部分11和第二部分12，则能够提升使用表面改质的第二面11bs与第三面12fs的接合的强度。由此，例如，能够提升第一流路设备1的耐久性。在此，同质的树脂例如包括构成树脂的主成分相同的树脂。具体而言，作为同质的树脂，例如采用以硅酮为主成分的硅酮树脂。在该情况下，例如，第一部分11以及第二部分 12的树脂成型容易。在此，硅酮树脂例如能够应用聚二甲基硅氧烷 (PDMS)。在该情况下，例如能够容易地实现第一流路1f的微细化。另外，PDMS例如也具有透明的性质、耐药性以及生物体适合性良好等优异的性质。

以上，举出在第二部分12上重叠而将第二面11bs与第三面12fs接合的例子进行了说明，但并不限于此。例如，也可以在第一部分11上重叠第二部分12而将第二面11bs与第三面12fs接合。

在此，例如，由于第一加强部11r的存在，即使把持第一部分11的两端而抬起，第一主体部11b也不易挠曲，第一主体部11b的形状也不易破坏。由此，例如，第一部分11的处理容易。另外，例如，由于第二加强部12r的存在，即使把持第二部分12的两端而抬起，第二主体部12b也不易挠曲，第二主体部12b的形状也不易破坏。由此，例如，第二部分12 的处理容易。因此，例如在将第一部分11与第二部分12接合时，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。

另外，在此，例如，在将第一部分11与第二部分12重叠而接合时，使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1、作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2、作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1以及作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2，进行第一部分11与第二部分12的对位。由此，例如，第一部分11与第二部分12的对位容易，能够以高精度容易地制造第一流路设备1。

在此，例如，在朝向第一面11fs俯视第一部分11的情况下，作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2隔着第一主体部11b而彼此位于相反侧。由此，例如能够提高第一部分11与第二部分12的对位的精度。其结果是，例如能够以高精度容易地制造第一流路设备1。另外，在此，例如，在朝向第四面12bs俯视第二部分12的情况下，作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2隔着第二主体部12b而彼此位于相反侧。由此，例如，能够提高第一部分11与第二部分12的对位的精度。其结果是，例如，能够以高精度容易地制造第一流路设备1。

另外，在第一流路设备1中，例如，在朝向第一面11fs进行俯视透视的情况下，作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1与作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1以重合的方式配置，作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2与作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2 以重合的方式配置。若采用这样的结构，则例如能够将作为对位部的各突起部8p用于第一部分11的位置以及姿态的调整以及第二部分12的位置以及姿态的调整这两方。由此，例如能够容易地提高第一部分11与第二部分12的对位的精度。其结果是，例如，能够以高精度更容易地制造流路设备。

<1-4.第二流路设备>

如图1的(b)所示，第二流路设备2例如在内部具有第二流路2f。该第二流路2f例如处于与第一流路设备1的第一流路1f以连续的方式连接的状态。因此，在第二流路设备2中，例如能够使通过第一流路设备1 的第一流路1f中的分离以及回收而得到的包含特定的微粒的流体作为计测的对象物(也称为被计测物)等进行流动。在第一实施方式中，例如，在第二流路设备2上配置有第一流路设备1。因此，例如也能够利用重力使通过第一流路设备1中的分离以及回收而得到的特定的微粒向第二流路设备2流入。由此，例如，由第一流路设备1回收的微粒不易滞留在从第一流路1f至第二流路2f的中途的流路。

第二流路设备2的材料例如也可以与上述的第一流路设备1的材料不同。第二流路设备2的材料例如应用丙烯酸(PMMA)或者环烯烃聚合物 (COP)等工程塑料等。例如，通过依次进行两个基板的准备、针对这两个基板中的一方的基板的槽部的形成、以及以封堵该槽部的方式进行的两个基板的贴合这样的三个工序，能够形成第二流路设备2。

如图1的(a)、图1的(b)以及图18所示，第二流路设备2例如具有作为第五面的第二上表面2fs和作为第六面的第二下表面2bs。第二流路2f例如具有位于第二上表面2fs以及第二下表面2bs中的至少一方的面的多个开口(也称为第二开口)2o。换言之，第二流路设备2例如具有分别位于第二上表面2fs以及第二下表面2bs中的任一个的面的多个第二开口2o。在第一实施方式中，第二流路设备2例如具有位于第二上表面2fs 上的至少一个的第二开口2o。并且，例如，第二上表面2fs的第二开口2o 与第一流路设备1的第一下表面1bs的第一开口1o处于相互连接的状态。换言之，第一流路设备1的第一流路1f与第二流路设备2的第二流路2f 相互连接。由此，例如，根据计测用流路设备100，能够连续地执行从第一流路设备1的检体中的特定的微粒的分离以及回收到第二流路设备2的对包含特定的微粒的流体(被计测物)的计测的处理。其结果是，例如能够高效地执行从检体中的特定的微粒的分离以及回收到第二流路设备2的对包含特定的微粒的流体(被计测物)的计测的处理。

如图1的(a)以及图1的(b)所示，第二流路设备2的第二上表面 2fs例如具有第一区域A1以及第二区域A2。在此，例如在朝向-Z方向对第二上表面2fs进行俯视透视的情况下，第二流路2f以与从第一区域 A1至第二区域A2的区域层叠的方式配置，第一流路设备1以仅与第一区域A1以及第二区域A2中的第一区域A1重叠的方式配置。在此，例如，第二流路设备2具有供来自第二流路2f内的至少一部分的区域(也称为被计测区域)的光透射到第二流路设备2的外部的部分(也称为光透射部) 2tr。由此，例如，能够使用各种光传感器，对位于第二流路2f内的包含特定的微粒的流体(被计测物)进行各种计测。在第一实施方式中，例如，第二流路设备2的整体透明。因此，例如，第二流路设备2中的、第二上表面2fs与第二流路2f之间的部分以及第二下表面2bs与第二流路2f之间的部分能够发挥作为透射光的透明的光透射部2tr的作用。

第二流路2f中的多个第二开口2o例如包括第二流入口2oi和第二流出口2od。第二流入口2oi例如能够接收包含特定的微粒的流体(被计测物)从第一流路设备1的第一流路1f向第二流路设备2的第二流路2f的流入。第二流出口2od例如能够为了从第二流路2f回收包含特定的微粒的流体(被计测物)而使包含特定的微粒的流体(被计测物)从第二流路设备2向外部流出。在图1的(b)以及图18的例子中，第二流入口2oi位于第二上表面2fs。该第二流入口2oi与第一流路设备1的第一流出口1od 连接。第二流出口2od位于第二下表面2bs。在此，例如，若利用重力，则在第二流入口2oi处，流体容易从第一流路设备1流入，在第二流出口 2od处容易回收流体。在此，如图18所示，也可以使第二流入口2oi比第一流出口1od大。由此，例如能够在第一流路设备1与第二流路设备2连接的连接部处降低检体的滞留。第二流入口2oi的直径例如被设为1mm至 3mm左右。另外，第一流出口1od的直径例如被设为1mm至3mm左右。

另外，第二流路2f例如具有铅垂部V1和平面部F1。铅垂部V1例如处于与第二流入口2oi连接并且沿第二流路设备2的厚度方向(+Z方向) 延伸的状态。平面部F1例如与铅垂部V1连接，并且沿着XY平面配置。在此，例如，第二流路2f通过具有铅垂部V1，而使特定的微粒在第一流路1f与第二流路2f连接的连接部处不易滞留。另外，例如，第二流路2f 通过具有平面部F1，能够使特定的微粒在平面部F1滞留。由此，例如，能够对位于平面部F1的特定的微粒稳定地执行计测。在此，铅垂部V1 的宽度例如被设为0.5mm至2mm左右。平面部F1的宽度例如被设为1mm 至6mm左右。铅垂部V1的长度例如被设为0.5mm至1mm左右。第二流路设备2的厚度方向上的平面部F1的高度例如被设为0.5mm至2mm左右。

如图20所示，例如，平面部F1若至少在处于与铅垂部V1连接的状态的部分具有比铅垂部V1的宽度大的宽度，则在平面部F1与铅垂部V1 连接的连接部处，特定的微粒不易滞留。另外，平面部F1例如具有第一平面部F11和第二平面部F12。第一平面部F11例如处于与铅垂部V1连接的状态。第二平面部F12例如与第一平面部F11连接，并且具有比第一平面部F11的宽度大的宽度。第二平面部F12例如具有作为上述的被计测区域的作用。通过这样的平面部F1的结构，例如，从第一流路1f向第二流路2f流入而来的作为特定的微粒的第一粒子P1容易在第二流路2f内扩散。在此，第一平面部F11的宽度例如被设为0.5mm至3mm左右。第二平面部F12的宽度例如被设为1mm至5mm左右。第二平面部F12的宽度例如被设为第一平面部F11的宽度的2倍至10倍左右。在第一实施方式中，例如，在第一平面部F11与第二平面部F12连接的连接部，处于平面部F1的宽度从第一平面部F11趋向第二平面部F12而逐渐扩大的状态。另外，考虑在第二流路设备2的厚度方向上第二平面部F12的高度例如比第一平面部F11的高度大的方案。若采用这样的方案，则在平面部F1，作为特定的微粒的第一粒子P1容易扩散。在此，第一平面部F11的高度例如被设为0.2mm至1mm左右。第二平面部F12的高度例如被设为1mm 至5mm左右。

如图19以及图20所示，例如，第二流路设备2也可以在第二流路2f 以外具有处于与该第二流路2f连接的状态的第三流路3f。考虑该第三流路3f例如与第二流路2f的平面部F1连接的方案。第三流路3f例如通过朝向第二流路2f流动气体等流体(也称为压出用流体)，能够将从第一流路1f到达平面部F1的特定的微粒朝向第二流出口2od推动。由此，例如，在第二流路2f内，特定的微粒不易滞留。在第一实施方式中，第三流路 3f例如以连接于第二流路2f的铅垂部V1与平面部F1连接的连接部的方式配置。例如，处于第三流路3f的第一端部与第二流路2f连接、并且第三流路3f的第二端部形成位于第二流路设备2的第二上表面2fs的第三开口3o的状态。第三开口3o例如能够接收用于推动特定的微粒的压出用流体的流入。第三流路3f例如也可以在与第二流路2f连接的至少一部分具有处于沿着第二流路2f的平面部F1的长度方向(-Y方向)延伸的状态的部分。在此，例如，若在第三流路3f与第二流路2f连接的连接部，第二流路2f与第三流路3f具有相同的剖面形状，则在第二流路2f与第三流路3f之间不产生高低差，包含特定的微粒的流体不易滞留。如图19所示，第三流路3f例如也可以具有以沿着XY平面蛇行的方式延伸的部分(也称为伸长部)3fe。由此，例如，特定的微粒不易从第二流路2f朝向第三开口3o在第三流路3f逆流，从而不易从第三开口3o漏出。

在此，在第一流路设备1中，例如，若第一流入口1oi以及第一流出口1od这两方位于第一下表面1bs，则作为检体的流体从下方向第一流路设备1流入。在该情况下，例如，若第二粒子P2的比重比第一粒子P1的比重大，则第二粒子P2容易在流体中沉淀，来自检体的第一粒子P1的分离能够变得容易。

另外，如图19所示，第二流路设备2例如也可以具有与第二流路2f 以及第三流路3f不同的第四流路4f。该第四流路4f例如具有位于第二上表面2fs以及第二下表面2bs中的至少一方的面的多个开口(也称为第四开口)4o。第四流路4f例如具有作为使特定的微粒被分离前的检体流动的流路的作用。在此，例如，通过使包含特定的微粒的检体在向第一流路设备1流入前在第二流路设备2的第四流路4f中流动，能够预先降低混入到检体的异物等。多个第四开口4o例如包括第四流入口4oi以及第四流出口 4od。第四流入口4oi例如能够接收检体向第四流路4f的流入。第四流出口4od例如能够使检体从第四流路4f流出。第四流入口4oi例如向第二流路设备2的外部露出。第四流出口4od例如处于与第一流路设备1的第一流入口1oi连接的状态。在此，若第四流入口4oi以及第四流出口4od例如位于第二上表面2fs，则能够从上方进行对第四流入口4oi连接用于供给检体的管或者流路等的操作，因此作业性能够提升。

另外，如图19所示，第二流路设备2例如也可以具有与第二流路2f、第三流路3f以及第四流路4f不同的第五流路5f。该第五流路5f例如具有作为校正用的流路的作用。例如，能够在第五流路5f中，使具有与在第一流路设备1中分离并回收了的特定的微粒不同的成分的流体作为校正用的流体(也称为校正用流体)流动。由此，例如，每当进行对特定的微粒的计测，都能够依次执行第二流路2f中的以被计测物为对象使用光的计测 (也称为光计测)与第五流路5f中的以被计测物为对象的使用光的计测 (光计测)。并且，例如能够根据这两个光计测的结果中的光强度之差来推测被计测物中的特定的微粒的数量。由此，例如能够降低由在光计测中使用的传感器的劣化引起的计测的误差。传感器的劣化例如可能包括发光部的劣化以及受光部的劣化。第五流路5f例如具有位于第二上表面2fs以及第二下表面2bs中的至少一方的面的多个开口(也称为第五开口)5o。多个第五开口5o例如包括第五流入口5oi以及第五流出口5od。第五流入口5oi例如能够接收校正用的流体向第五流路5f的流入。第五流出口5od 例如能够使校正用的流体从第五流路5f流出。在此，例如，若第五流入口5oi与第三开口3o同样地位于第二上表面2fs，则能够从上方进行分别针对第五流入口5oi以及第三开口3o连接管或者流路的作业，因此作业性能够提升。第五流出口5od例如位于第二下表面2bs。

另外，如图19所示，第二流路设备2例如也可以具有与第二流路2f、第三流路3f、第四流路4f以及第五流路5f不同的第六流路6f。第六流路 6f例如具有位于第二上表面2fs以及第二下表面2bs中的至少一方的面的多个开口(也称为第六开口)6o。多个第六开口6o例如包括第六流入口 6oi以及第六流出口6od。第六流入口6oi例如能够接收产生按压流的流体向第六流路6f的流入。第六流出口6od例如能够使产生按压流的流体从第六流路6f流出。第六流入口6oi例如向第二流路设备2的外部露出。第六流出口6od例如处于与第一流路设备1的第一按压流入口1op连接的状态。

<1-5.第一流路设备与第二流路设备的连接>

第一流路设备1的第一下表面1bs例如经由片构件4而固定于第二流路设备2的第二上表面2fs上。换言之，例如也可以在第一流路设备1的第一下表面1bs与第二流路设备2的第二上表面2fs之间存在片构件4。在图1的(b)以及图18的例子中，片构件4具有沿着XY平面的上下表面和沿着+Z方向的厚度。在此，例如通过将板状的第一流路设备1和第二流路设备2以在厚度方向(+Z方向)上堆叠的方式配置，能够实现计测用流路设备100的小型化。

片构件4例如具有作为用于将不易粘接的材料彼此接合的中间层的作用。片构件4的材料例如应用硅酮或者PDMS等具有柔软性的硅酮系的树脂。在该情况下，片构件4例如能够追随于第一流路设备1的第一下表面 1bs以及第二流路设备2的第二上表面2fs的起伏等而发生变形。由此，片构件4例如能够紧贴于第一下表面1bs以及第二上表面2fs这两方的面。如图1的(b)以及图18所示，片构件4例如具有贯通孔4th。贯通孔4th 例如以与第一开口1o连接的状态配置。在第一实施方式中，例如，第一流路没备1的五个第一开口1o与第二流路设备2连接。因此，片构件4 例如具有五个贯通孔4th即可。若采用这样的结构，则例如第一流路设备 1与第二流路设备2之间能够经由贯通孔4th而流动流体。

在此，例如，第一流路设备1与第二流路设备2能够经由涂敷于片构件4的上表面以及下表面的粘接剂而接合。粘接剂例如应用在紫外线的作用下硬化的树脂(也称为光硬化性树脂)或者在加热的作用下硬化的树脂 (也称为热硬化性树脂)等。

<1-6.第一实施方式的总结>

第一实施方式的第一流路设备1例如具有相互接合的第一部分11与第二部分12。在此，在第一部分11中，例如以穿过一体构成的树脂制的第一主体部11b之间的方式配置有第一加强部11r。因此，例如，由于第一加强部11r的存在，即使把持第一部分11的两端而抬起，第一主体部 11b也不易挠曲，第一主体部11b的形状也不易破坏。由此，例如，第一部分11的处理能够变得容易。其结果是，例如，在将第一部分11与第二部分12接合时，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。另外，在此，在第二部分12中，例如以穿过一体构成的树脂制的第二主体部12b 之间的方式配置有第二加强部12r。因此，例如，由于第二加强部12r的存在，即使把持第二部分12的两端而抬起，第二主体部12b也不易挠曲，第二主体部12b的形状也不易破坏。由此，例如，第二部分12的处理能够变得容易。其结果是，例如，在将第一部分11与第二部分12接合时，第一部分11与第二部分12的对位变得容易，能够容易地制造第一流路设备1。

另外，例如，第一部分11的第一加强部11r在从第一主体部11b突出的部分具有作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2。例如，第二部分12的第二加强部12r在从第二主体部12b突出的部分具有作为第三特定形状部的第二A贯通孔部 12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2。因此，例如，在将第一部分11与第二部分12重叠而接合时，能够使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2 进行第一部分11的姿态以及位置的设定。另外，例如能够使用作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2进行第二部分12的姿态以及位置的设定。由此，例如，第一部分11与第二部分12的对位能够变得容易。其结果是，例如，能够以高精度容易地制造第一流路设备1。

另外，在第一实施方式的第一流路设备1的制造方法中，例如通过树脂成型来制作第一部分11以及第二部分12，并将第一部分11与第二部分 12接合，从而制造第一流路设备1。因此，在将第一部分11与第二部分 12接合时，关于第一部分11，例如由于第一加强部11r的存在，即使把持第一部分11的两端而抬起，第一主体部11b也不易挠曲，第一主体部11b的形状也不易破坏。另外，关于第二部分12，例如由于第二加强部12r的存在，即使把持第二部分12的两端而抬起，第二主体部12b也不易挠曲，第二主体部12b的形状也不易破坏。由此，例如第一部分11与第二部分 12的对位能够变得容易。其结果是，能够容易地制造第一流路设备1。

另外，例如在将第一部分11的第二面11bs与第二部分12的第三面 12fs接合时，使用作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1、作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2、作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1以及作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2，进行第一部分11与第二部分12的对位。由此，例如第一部分11与第二部分12的对位容易，因此能够以高精度容易地制造第一流路设备1。

另外，例如，由于第一流路设备1能够以高精度容易地制造，因此能够以高精度容易地制造具有第一流路设备1和第二流路设备2的计测用流路设备100。

<2.其他实施方式>

本发明并不限定于上述的第一实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更以及改善等。

<2-1.第二实施方式>

在上述第一实施方式中，例如，也可以采用如图21所示，在计测用流路设备100附加有传感器部9的检查装置900，该传感器部9接收从作为被计测区域的第二平面部F12透射了光透射部2tr的光。在该情况下，例如，由于如上述那样，能够以高精度容易地制造计测用流路设备100，因此能够以高精度容易地制造包括计测用流路设备100和传感器部9的检查装置900。

在此，对检查装置900的一例进行说明。

如图21所示，检查装置900例如具有计测用流路设备100和传感器部9。

传感器部9例如应用具有发光部91和受光部92的光传感器。在此，发光部91例如应用发光二极管(LED)等发光元件。受光部92例如应用光电二极管(PD)等受光元件。受光元件例如应用在第一导电型的半导体基板的上表面附近的表层部具有第二导电型的半导体区域的受光元件。另外，发光元件例如应用在上述的半导体基板之上具有层叠的多个半导体层的受光元件。

如上述那样，在检查装置900中，例如，在第一流路设备1的第一流路1f中从检体分离必要的特定的微粒(例如，第一粒子P1)，包含特定的微粒的流体(被计测物)流动到第二流路设备2的第二流路2f。然后，例如通过从传感器部9的发光部91对位于第二流路2f中的作为被计测区域的第二平面部F12的包含特定的微粒的流体(被计测物)照射光，并由受光部92接收通过了第二平面部F12的光，能够进行针对特定的微粒的计测。在此，例如在光通过第二平面部F12时，由被计测物中的特定的微粒 (第一粒子P1)进行分散或者吸收，由此光的强度衰减。因此，在检查装置900中，例如能够通过由发光部91发出的光的强度与由受光部92接收的光的强度的差量来检测光的衰减量。并且，例如若预先准备表示已知每单位体积的微粒的数量或者浓度的流体与光的衰减量的关系的检量线，则在检查装置900中，能够基于光的衰减量和检量线，来计算被计测物中的特定的微粒的数量或者浓度等。换言之，在检查装置900中，例如能够计测流体中的特定的微粒的数量或者浓度等。

在此，例如，如图21所示，也可以在第二流路设备2的第二上表面 2fs的第二区域A2上配置反射镜构件2m。在图21中，由双点划线表示反射镜构件2m的外缘。反射镜构件2m例如应用反射光的部分(也称为光反射部分)由铝或者金等金属材料形成的反射镜构件。例如，通过利用蒸镀法或者溅射法等在玻璃板等板材的一面堆积金属材料的层，能够制作具有反射部分的反射镜构件2m。在这样的检查装置900中，例如考虑传感器部9的发光部91以及受光部92以与第二流路设备2的第二下表面2bs 对置的方式配置的方案。在此，受光部92例如能够接收从发光部91发出的光中的、通过一次第二平面部F12而由反射镜构件2m反射并再次通过了第二平面部F12的光。在该情况下，例如，通过使光通过两次第二平面部F12，从而检查装置900中检测出的光的衰减量增大。其结果是，例如检查装置900的计测精度能够提升。

需要说明的是，在计测用流路设备100中，反射镜构件2m以与第二流路2f以及第五流路5f重叠的方式配置于第二上表面2fs，但并不限于覆盖第二流路2f以及第五流路5f这两方那样的大小的一体的反射镜构件，也可以以与第二流路2f以及第五流路5f分别重叠的方式分开配置与各自的大小相应反射镜构件。在与第二流路2f以及第五流路5f分别对应地分开配置反射镜构件2m的情况下，也可以为了遮挡向传感器部9入射的干扰光，而在这些反射镜构件2m之间配置遮光构件。另外，也可以为了利用反射镜构件2m更可靠地起到遮挡向传感器部9的干扰光的效果，而在反射镜构件2m之上配置板状或者片状的非反射构件或者遮光构件，防止干扰光从反射镜构件2m向传感器部9的透射以及干扰光向反射镜构件2m 的入射。

另外，计测用流路设备100也可以代替反射镜构件2m，而在第二流路设备2的第二上表面2fs中的与第二流路2f以及第五流路5f重叠的区域，与反射镜构件2m同样地配置不反射传感器部9的发光部91照射的光的非反射构件124。通过这样配置非反射构件124，能够利用传感器部9 的受光部92接收传感器部9照射的光中的由第二流路2f所含的第一粒子反射的光或者由第二流路2f以及第五流路5f的界面(从传感器部9侧观察到的流路的顶面)反射的光。由此，能够计测来自流路的界面的反射而光学地进行受光部92的DC偏移，并且能够利用受光部92良好地接收由第一粒子反射的光。另外，能够利用非反射构件124遮挡从与传感器部9 相反的一侧(第二上表面2fs侧)向第二流路2f以及第五流路5f入射的干扰光，因此能够降低对传感器部9的光学噪声而确保传感器部9的计测的精度良好。作为这样的非反射构件124，例如能够使用无反射布等。另外，也可以涂敷黑色等的消光涂料来作为非反射构件124。

在代替反射镜构件2m而配置非反射构件124的情况下，优选的是，在传感器部9计测的区域的整体的范围内覆盖第二流路2f以及第五流路 5f这两方的大小的一体的非反射构件。

另外，计测用流路设备100例如也可以以与图19所示的第二流路2f 以及第五流路5f并排的方式在第二流路设备2的第二上表面2fs的外边与第五流路5f之间具有非反射区域25。非反射区域25是第二流路设备2中的不存在第二流路2f以及第五流路5f的部分，并且是在俯视第二流路设备2时没有配置反射镜构件2m或者非反射构件124的区域即可。并且，优选在该非反射区域25配置基准用非反射构件125，来作为不反射传感器部9照射的光的非反射构件。这样的基准用非反射构件125能够在对传感器部9的受光部92的校正中使用，且成为在传感器部9的计测时提供基础信号的基准。通过将基准用非反射构件125的反射光的强度设为基准，能够降低在传感器部9的使用时产生的噪声的影响。需要说明的是，作为基准用非反射构件125，例如设置无反射布等即可，也可以涂敷黑色的消光涂料等而形成。

另外，基准用非反射构件125也可以以成为与非反射区域25对应的位置的方式在不与第二流路2f以及第五流路5f重叠的区域配置于第二流路设备2的第二下表面2bs。在该情况下，也能够通过将基准用非反射构件125的反射光的强度设为基准，来降低在传感器部9的使用时产生的噪声的影响。

在此，如图22所示，检查装置900例如具有第一供给部910、第二供给部920、第三供给部930以及第四供给部940。第一供给部910、第二供给部920、第三供给部930以及第四供给部940分别与计测用流路设备100 连接。第一供给部910例如能够利用泵等供给贮存于贮存部的检体。该第一供给部910例如处于与第四流入口4oi连接的状态。第二供给部920例如能够利用泵等供给贮存于贮存部的产生按压流的流体。该第二供给部 920例如处于与第六流入口6oi连接的状态。第三供给部930例如能够利用泵等供给贮存于贮存部的压出用流体。该第三供给部930例如处于与第三开口3o连接的状态。第四供给部940例如能够利用泵等供给贮存于贮存部的校正用流体。第四供给部940例如处于与第五流入口5oi连接的状态。在此，例如，在采用从第一流路设备1的第一排出口1ox以及第二排出口1oe中的至少一方回收的流体作为校正用流体的情况下，也可以没有第四供给部940。

另外，检查装置900例如具有控制部990。控制部990例如应用具有包括一个以上的中央运算装置(CPU)、只读存储器(ROM)以及随机存取存储器(RAM)等的计算机的结构的控制部。CPU例如通过读取并执行保存于ROM的程序，能够实现各种功能以及控制。在CPU中的处理的中途暂时生成的各种信息例如暂时存储于RAM等。这样的控制部990例如能够分别控制第一供给部910、第二供给部920、第三供给部930、第四供给部940以及传感器部9的各动作。另外，控制部990例如能够通过由发光部91发出的光的强度与由受光部92接收的光的强度的差量来计算光的衰减量，并且基于该光的衰减量和检量线来计算被计测物中的特定的微粒的数量或者浓度等。例如，控制部990的功能性的结构的一部分或者全部也可以由专用的硬件构成。

<2-2.第三实施方式>

在上述各实施方式中，例如也可以采用各种形状的结构来作为第一加强部11r以及第二加强部12r，也可以采用各种形态的结构来作为第一连结部分11b3以及第二连结部分12b3。

例如，也可以如图23的(a)所示，孔部H1的数量为一个，一个以上的第一连结部分11b3是一个第一连结部分11b3。即，孔部H1以及第一连结部分11b3的数量可以是一个，也可以是两个以上。并且，例如也可以是，在朝向-Z方向俯视或者俯视透视第一部分11的情况下，在Y 方向上多个第一突出部分11p的宽度比第一主体部11b的宽度小。

另外，例如，也可以如图23的(b)所示，孔部H2的数量为一个，一个以上的第二连结部分12b3为一个第二连结部分12b3。即，孔部H2 以及第二连结部分12b3的数量可以是一个，也可以是两个以上。并且，例如也可以是，在朝向-Z方向俯视或者俯视透视第二部分12的情况下，在Y方向多个第二突出部分12p的宽度比第二主体部12b的宽度小。

例如，也可以如图24的(a)所示，在朝向-Z方向俯视或者俯视透视第一部分11的情况下，作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1与作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2不以隔着第一主体部11b的方式配置。另外，一个以上的第一突出部分11p例如也可以是一个第一突出部分11p。即，例如，第一加强部11r具有一个以上的第一突出部分11p 即可。在图24的(a)的例子中，一个第一突出部分11p具有作为第一特定形状部的第一A贯通孔部11h1和作为第二特定形状部的第一B贯通孔部11h2。

另外，例如，也可以如图24的(b)所示，在朝向-Z方向俯视或者俯视透视第二部分12的情况下，作为第三特定形状部的第二A贯通孔部 12h1与作为第四特定形状部的第二B贯通孔部12h2不以隔着第二主体部 12b的方式配置。另外，一个以上的第二突出部分12p例如也可以是一个第二突出部分12p。即，例如，第二加强部12r具有一个以上的第二突出部分12p即可。在图24的(b)的例子中，一个第二突出部分12p具有作为第三特定形状部的第二A贯通孔部12h1和作为第四特定形状部的第二 B贯通孔部12h2。

例如，也可以如图25的(a)所示，第一加强部11r不具有孔部H1，第一连结部分11b3以在±Y方向上隔着第一加强部11r的方式配置。

另外，例如也可以如图25的(b)所示，第二加强部12r不具有孔部 H2，第二连结部分12b3在±Y方向上以隔着第二加强部12r的方式配置。

例如，也可以如图26的(a)所示，多个第一突出部分11p的数量为四个第一突出部分11p。在此，多个第一突出部分11p例如也可以还具有第一C突出部分11p3以及第一D突出部分11p4。在该情况下，例如也可以是，第一C突出部分11p3具有作为对位用的第五特定形状部的第一C 贯通孔部11h3，第一D突出部分11p4具有作为对位用的第六特定形状部的第一D贯通孔部11h4。即，例如，一个以上的第一突出部分11p具有两个以上的特定形状部即可。

另外，例如也可以如图26的(b)所示，多个第二突出部分12p的数量为四个第二突出部分12p。在此，多个第二突出部分12p例如也可以还具有第二C突出部分12p3以及第二D突出部分12p4。在该情况下，例如也可以是，第二C突出部分12p3具有作为对位用的第七特定形状部的第二C贯通孔部12h3，第二D突出部分12p4具有作为对位用的第八特定形状部的第二D贯通孔部12h4。即，例如，一个以上的第二突出部分12p 具有两个以上的特定形状部即可。

例如，第一突出部分11p中的特定形状部并不限于贯通孔部，也可以是具有各种形状的结构。另外，例如，第二突出部分12p中的特定形状部并不限于贯通孔部，也可以是具有各种形状的结构。例如，如图27的(a) 以及图27的(b)的双点划线所示，对位台8的突起部8p的形状可以具有与第一突出部分11p中的作为特定形状部的外缘部嵌合那样的形状，也可以具有与第二突出部分12p中的作为特定形状部的外缘部嵌合那样的形状。

例如，在朝向-Z方向进行俯视透视的情况下，第一部分11的第一特定形状部与第二部分12的第三特定形状部可以不重合，第一部分11的第二特定形状部与第二部分12的第四特定形状部也可以不重合。在该情况下，例如，对位台8若具有与第一部分11的多个特定形状部嵌合的多个突起部以及与第二部分12的多个特定形状部嵌合的多个突起部，则能够容易地进行第一部分11与第二部分12的对位。

<3.其他>

在上述各实施方式中，例如，第一加强部11r并不限于板状的结构。另外，例如，第二加强部12r并不限于板状的结构。例如，第一加强部11r 以及第二加强部12r也可以具有多个棒状的部分连结而成的部分。

在上述各实施方式中，例如，在通过树脂成型来形成第一部分11时，以从下方起依次配置第一外表面部分11b1、第一连结部分11b3以及第一被接合部分11b2的方式形成第一部分11。

在上述各实施方式中，例如也可以在通过树脂成型来形成第二部分12 时，以从下方起依次配置第二被接合部分12b2、第二连结部分12b3以及第二外表面部分12b1的方式形成第二部分12。在该情况下，例如，如图 28所示，各第二销64也可以具有处于随着接近第二铸模下部主体部6b0 而直径扩大那样的状态的锥部64tp。由此，例如不易在第二被接合部分 12b2中的多个贯通孔Th2的缘部形成飞边。其结果是，例如，第二面11bs 与第三面12fs的接合变得容易。

在上述各实施方式中，例如，在通过树脂成型来形成第二部分12时，由于多个第二销64的存在而形成多个贯通孔Th2，但并不限于此。例如，也可以不存在多个第二销64，而在通过树脂成型形成不具有多个贯通孔 Th2的状态的第二部分12后通过冲裁加工等形成多个贯通孔Th2。

在上述各实施方式中，第一流路设备1的第一上表面1fs以及第一下表面1bs分别呈矩形形状，但并不限于此。另外，例如第一流路设备1的第一上表面1fs与第一下表面1bs也可以是不同的形状。另外，例如，第一部分11的第二面11bs与第二部分12的第三面12fs也可以呈不同的形状。

在上述各实施方式中，第一流路设备1的第一上表面1fs以及第一下表面1bs分别为平坦的面，但并不限于此。

在上述各实施方式中，第二流路设备2的第二上表面2fs以及第二下表面2bs分别呈矩形形状，但并不限于此。另外，例如第二流路设备2的第二上表面2fs与第二下表面2bs也可以呈不同的形状。

在上述各实施方式中，第二流路设备2的第二上表面2fs以及第二下表面2bs分别为平坦的面，但并不限于此。

在上述各实施方式中，在第二流路设备2的第二上表面2fs上配置有第一流路设备1，但并不限于此。例如，第二流路设备2与第一流路设备 1也可以以沿着一个假想平面排列的方式配置。

在上述各实施方式中，第五流路5f具有第五流出口5od，但并不限于此。例如，也可以如图29以及图30所示，第五流路5f的一端处于与第二流路2f连接的状态。在该情况下，例如，能够从第五流路5f向第二流路 2f注入流体。由此，例如能够稀释第二流路2f内的流体中的作为第一粒子P1的白血球的浓度。

在上述各实施方式中，第二流路设备2具有第五流路5f以及第六流路 6f，但并不限于此。例如，也可以使第五流路5f具有第六流路6f的作用，并删除第六流路6f。换言之，例如，第五流路5f以及第六流路6f也可以置换为一个第五流路5f。在该情况下，例如，第五流路5f的第五流出口 5od也可以处于与第一流路1f的第一按压流入口1op连接的状态。

在上述各实施方式中，例如也可以如图31所示，第二流路设备2在形成与第一流路设备1的第一流路1f连接的流路的部分，具有第二上表面 2fs以向+Z方向突出的方式配置的多个凸部2pr。在该情况下，例如多个凸部2pr也可以以与片构件4的多个贯通孔4th嵌合的方式配置。若采用这样的结构，则例如能够容易地将第一流路设备1的第一流路1f与第二流路设备2的流路连接。在此，例如在能够通过多个凸部2pr与多个贯通孔 4th的嵌合来确保第一流路设备1的第一流路1f与第二流路设备2的流路的连接的可靠性的情况下，片构件4与第二流路设备2的接合也可以不使用粘接剂。

在上述各实施方式中，例如，第一流路设备1的第一下表面1bs也可以不经由片构件4而直接固定于第二流路设备2的第二上表面2fs上。在该情况下，例如，第一下表面1bs与第二上表面2fs可以利用粘接剂而接合，第一下表面1bs与第二上表面2fs也可以不使用粘接剂而通过表面改质或者硅烷偶联剂的涂敷来直接接合。

在上述各实施方式中，例如，传感器部9也可以检测在作为被计测区域的第二平面部F12中被计测物发出的光。例如，可以考虑传感器部9检测在第二平面部F12中被计测物的特定的微粒与试剂发生反应而发出的荧光那样的方案。

在上述各实施方式中，例如，第一流路设备1也可以不与第二流路设备2组合使用，而作为单体的流路设备使用。在该情况下，第一流路设备 1例如通过管等与其他装置等连结，且能够作为用于分离作为检体的流体中的特定的成分的所谓的微型芯片而使用。

在上述各实施方式中，例如，第一流路设备1的第一流路1f并不限于分离作为检体的流体中的特定的成分。第一流路1f例如也可以是具有混合多个液体的结构的流路。

当然，能够将分别构成上述各实施方式以及各种变形例的全部或者一部分在不矛盾的范围内适当组合。

附图标记说明：

1 第一流路设备

1f 第一流路

1o 第一开口

1pt 槽部图案

2 第二流路设备

2f 第二流路

2o 第二开口

2tr 光透射部

9 传感器部

11 第一部分

11b 第一主体部

11b1 第一外表面部分

11b2 第一被接合部分

11b3 第一连结部分

11bs 第二面

11fs 第一面

11h 第一贯通孔部

11p 第一突出部分

11r 第一加强部

12 第二部分

12b 第二主体部

12b1 第二外表面部分

12b2 第二被接合部分

12b3第二连结部分

12bs 第四面

12fs 第三面

12h 第二贯通孔部

12p 第二突出部分

12r 第二加强部

91 发光部

92 受光部

100 计测用流路设备

900 检查装置

F1 平面部

F11 第一平面部

F12 第二平面部

H1、H2 孔部

P1 第一粒子

P2 第二粒子

Th2 贯通孔。

Claims (11)

1.一种流路设备，具备：

第一部分，其具有第一面以及与该第一面相反的第二面；以及

第二部分，其具有处于与所述第二面接合的状态的第三面以及与该第三面相反的第四面，

所述第一部分具有树脂制的第一主体部以及比该第一主体部硬的第一加强部，

所述第一主体部包括一体构成的、具有所述第一面的第一外表面部分、具有所述第二面的第一被接合部分、以及处于将所述第一外表面部分与所述第一被接合部分连结的状态的一个以上的第一连结部分，

所述第一被接合部分在所述第二面上具有处于构成第一流路的状态的槽部图案，

所述第一加强部处于在被所述第一外表面部分与所述第一被接合部分夹着的状态下分别被所述第一外表面部分以及所述第一被接合部分覆盖的状态，并且所述第一加强部包括一个以上的第一突出部分，该一个以上的第一突出部分处于在朝向所述第一面进行俯视的情况下在沿着所述第一面的方向上从所述第一主体部突出的状态，

该一个以上的第一突出部分在朝向所述第一面进行俯视的情况下，在彼此不同的位置包括第一特定形状部以及第二特定形状部，

所述第二部分具有树脂制的第二主体部以及比该第二主体部硬的第二加强部，

所述第二主体部包括一体构成的、具有所述第四面的第二外表面部分、具有所述第三面的第二被接合部分、以及处于将所述第二外表面部分与所述第二被接合部分连结的状态的一个以上的第二连结部分，并且所述第二主体部具有处于分别从所述第三面贯通到所述第四面且与所述第一流路连接的状态的多个贯通孔，

所述第二加强部处于在被所述第二外表面部分与所述第二被接合部分夹着的状态下分别被所述第二外表面部分以及所述第二被接合部分覆盖的状态，并且所述第二加强部包括一个以上的第二突出部分，该一个以上的第二突出部分处于在朝向所述第四面进行俯视的情况下在沿着所述第四面的方向上从所述第二主体部突出的状态，

该一个以上的第二突出部分在朝向所述第四面进行俯视透视的情况下，在彼此不同的位置包括第三特定形状部以及第四特定形状部。

2.根据权利要求1所述的流路设备，其中，

所述第一被接合部分的材料和所述第二被接合部分的材料包含同质的树脂。

3.根据权利要求1或2所述的流路设备，其中，

所述第一被接合部分的材料以及所述第二被接合部分的材料分别包含硅酮树脂。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流路设备，其中，

所述第一主体部的材料包含聚二甲基硅氧烷。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流路设备，其中，

在俯视所述第一部分的情况下，所述第一特定形状部和所述第二特定形状部隔着所述第一主体部而彼此位于相反侧。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的流路设备，其中，

在俯视所述第二部分的情况下，所述第三特定形状部和所述第四特定形状部隔着所述第二主体部而彼此位于相反侧。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的流路设备，其中，

在朝向所述第一面进行俯视透视的情况下，所述第一特定形状部与所述第三特定形状部以重合的方式配置，所述第二特定形状部与所述第四特定形状部以重合的方式配置。

8.一种流路设备的制造方法，包括：

(a)工序，通过树脂成型来制作具有第一面以及与该第一面相反的第二面的第一部分；

(b)工序，通过树脂成型来制作具有第三面以及与该第三面相反的第四面的第二部分；以及

(c)工序，通过将所述第一部分的所述第二面与所述第二部分的所述第三面接合而制作流路设备，

在所述(a)工序中，

所述第一部分具有树脂制的第一主体部以及比该第一主体部硬的第一加强部，

所述第一主体部包括一体构成的、具有所述第一面的第一外表面部分、具有所述第二面的第一被接合部分、以及处于将所述第一外表面部分与所述第一被接合部分连结的状态的一个以上的第一连结部分，

所述第一被接合部分在所述第二面上具有槽部图案，

所述第一加强部在被所述第一外表面部分与所述第一被接合部分夹着的状态下分别被所述第一外表面部分以及所述第一被接合部分覆盖，并且所述第一加强部包括一个以上的第一突出部分，该一个以上的第一突出部分处于在朝向所述第一面进行俯视的情况下在沿着所述第一面的方向上从所述第一主体部突出的状态，

以使该一个以上的第一突出部分在朝向所述第一面进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括第一特定形状部以及第二特定形状部的方式，通过树脂成型来制作所述第一部分，

在所述(b)工序中，

所述第二部分具有树脂制的第二主体部以及比该第二主体部硬的第二加强部，

所述第二主体部包括一体构成的、具有所述第四面的第二外表面部分、具有所述第三面的第二被接合部分、以及处于将所述第二外表面部分与所述第二被接合部分连结的状态的一个以上的第二连结部分，并且所述第二主体部具有处于分别从所述第三面贯通到所述第四面的状态的多个贯通孔，

所述第二加强部在被所述第二外表面部分与所述第二被接合部分夹着的状态下分别被所述第二外表面部分以及所述第二被接合部分覆盖，并且所述第二加强部包括一个以上的第二突出部分，该一个以上的第二突出部分处于在朝向所述第四面进行俯视的情况下在沿着所述第四面的方向上从所述第二主体部突出的状态，

以使该一个以上的第二突出部分在朝向所述第四面进行俯视透视的情况下在彼此不同的位置包括第三特定形状部以及第四特定形状部的方式，通过树脂成型来制作所述第二部分，

在所述(c)工序中，

以通过使用所述第一特定形状部、所述第二特定形状部、所述第三特定形状部以及所述第四特定形状部，进行所述第一部分与所述第二部分的对位，并且使所述槽部图案与所述多个贯通孔连接的方式接合所述第二面与所述第三面，从而形成基于所述槽部图案的第一流路。

9.根据权利要求8所述的流路设备的制造方法，其中，

在所述(a)工序以及所述(b)工序中，以使所述第一被接合部分的材料和所述第二被接合部分的材料包含同质的树脂的方式制作所述第一部分和所述第二部分。

10.一种计测用流路设备，具备：

第一流路设备，其包括权利要求1至7中任一项所述的流路设备；以及

第二流路设备，

所述多个贯通孔包括具有位于所述第四面的第一开口的贯通孔，

所述第二流路设备具有第五面以及与该第五面相反的第六面，并且具有：第二流路，其位于内部并且在所述第五面具有第二开口；以及光透射部，其供来自该第二流路内的至少被计测区域的光透射到该第二流路设备的外部，

所述第一开口与所述第二开口处于相互连接的状态。

11.一种检查装置，具备：

权利要求10所述的计测用流路设备；以及

传感器部，其接收从所述被计测区域通过了所述光透射部的光。

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