WO2021054354A1 - 電子部品の処理装置 - Google Patents

Abstract

電子部品の処理装置は、旋回部と、旋回部に設けられた電子部品保持部と、所定の変位方向において、旋回部に対する電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、旋回部を旋回させる旋回駆動部と、電子部品保持部を変位方向の一方側に移動させるように設けられた変位駆動部と、を備える。保持位置可変部は、変位方向に交差して電子部品保持部と旋回部とを接続する複数枚の平行な板ばねを有する。

Description

電子部品の処理装置

　本開示は、電子部品の処理装置に関する。

　特許文献１には、ターンテーブルと、ターンテーブルの外周端に取り付けられた電子部品保持装置と、を備える電子部品検査装置が開示されている。電子部品検査装置は、電子部品の載置位置に対して昇降可能な吸着ノズルを有し、この吸着ノズルを載置位置に下降させて、載置位置に電子部品を離脱させ、あるいは載置位置から電子部品を取得する。

国際公開第２０１２／０７３２８２号

　本開示は、電子部品の位置決め精度の向上に有効な電子部品の処理装置を提供する。

　本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、所定の配置領域を通る搬送用循環軌道の中心軸まわりに旋回可能な旋回部と、搬送用循環軌道に位置するように旋回部に設けられた電子部品保持部と、所定の変位方向において、旋回部に対する電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、電子部品を保持した電子部品保持部を配置領域に配置するように中心軸まわりに旋回部を旋回させる旋回駆動部と、配置領域に配置された電子部品保持部を変位方向の一方側に移動させるように配置領域に設けられた変位駆動部と、を備える。保持位置可変部は、変位方向に交差して電子部品保持部と旋回部とを接続する複数枚の平行な板ばねを有する。

　本開示によれば、電子部品の位置決め精度の向上に有効な電子部品の処理装置が提供される。

図１は、処理装置の一例を模式的に示す平面図である。 図２は、図１に示される処理装置を模式的に示す側面図である。 図３は、処理装置の一部を拡大して示す側面図である。 図４は、処理装置の一部を模式的に示す平面図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、電子部品保持部の変位を説明するための模式図である。

　以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

　本実施形態に係る電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータであり、ダイシングなどの前工程で形成された電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でテープ、コンテナチューブ、トレイ等の収容部材に梱包する装置である。以下に例示する処理装置１は、部品供給部から受け取った電子部品Ｗに検査等の各種処理を施し、当該電子部品Ｗを基板等にボンディングすることなく収容部材に梱包する装置である。

　図１及び図２に示されるように、処理装置１は、回転搬送部１０と、コントローラ１００とを備える。回転搬送部１０は、電子部品Ｗを循環軌道ＣＲ（搬送用循環軌道）に沿って移動させる。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な二か所の主面Ｗａ，Ｗｂと、主面Ｗａ，Ｗｂを囲む外周面Ｗｃとを有してもよい（図３参照）。回転搬送部１０は、旋回部２０と、複数の電子部品保持部５０と、複数の保持位置可変部７０と、旋回駆動部６０と、変位駆動部８０とを有する。

　旋回部２０は、複数の配置領域ＡＲを通る循環軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに旋回可能である。旋回部２０は、中心軸Ａｘまわりに旋回可能に設けられるターンテーブル２２と、複数の接続部２４とを有する。ターンテーブル２２の外周は、循環軌道ＣＲよりも内側に位置している。例えば循環軌道ＣＲは水平な円軌道であり、中心軸Ａｘは鉛直である。

　複数の配置領域ＡＲは、循環軌道ＣＲに沿って互いに等間隔となるように設定されてもよい。複数の配置領域ＡＲは、旋回部２０が旋回しても動かない領域である。例えば、循環軌道ＣＲを通る複数の配置領域ＡＲの少なくとも一部では、旋回部２０から処理部１６への電子部品Ｗの受け渡しが行われる。処理部１６の具体例としては、電子部品Ｗを供給する部品供給部、電子部品Ｗを回収し、収容部材に梱包する回収部、及び部品供給部と回収部との間で電子部品Ｗに対して所定の処理を施す中間処理部が挙げられる。中間処理部としては、電子部品Ｗの外観検査を行う検査部、電子部品Ｗの電気特性を検査する検査部、及び電子部品Ｗにマーキングを施すマーキング部等が挙げられる。複数の接続部２４は、ターンテーブル２２の外周に沿って等間隔に並び、それぞれターンテーブル２２から外周側に突出している。

　複数の電子部品保持部５０は、循環軌道ＣＲに位置するように旋回部２０に設けられている。例えば、複数の電子部品保持部５０は、循環軌道ＣＲに沿って等間隔に配置されており、複数の接続部２４にそれぞれ取り付けられている。なお、本明細書において、「取り付けられる」とは、直接取り付けられる場合だけでなく、他の部材を介して取り付けられる場合も含まれる。一例として、複数の電子部品保持部５０の数と複数の配置領域ＡＲの数とは同じであってもよい。複数の電子部品保持部５０が循環軌道ＣＲに沿って配置されるピッチ角度（互いに隣り合う電子部品保持部５０同士の間の角度）と、複数の配置領域ＡＲが循環軌道ＣＲに沿って配置されるピッチ角度とは同じであってもよい。

　複数の電子部品保持部５０のそれぞれは、電子部品Ｗを保持する。電子部品保持部５０は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、負圧（真空）吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば、電子部品保持部５０は、ターンテーブル２２に直交する方向（図示Ｚ軸方向）の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方を負圧により吸着する。

　図２に示されるように、保持位置可変部７０は、旋回部２０と電子部品保持部５０とを接続し、所定方向において、旋回部２０に対する電子部品保持部５０の変位を可能にする。以下では、保持位置可変部７０により電子部品保持部５０が変位可能となる方向を「変位方向」と称する。例えば、保持位置可変部７０は、ターンテーブル２２に対して垂直な方向（図示Ｚ軸方向）において、電子部品保持部５０の変位を可能にする。一例として、保持位置可変部７０は、搬送位置と載置位置との間で電子部品保持部５０の変位を可能にする。

　搬送位置は、旋回部２０が旋回する際に電子部品保持部５０が配置される位置である。例えば、搬送位置は、ターンテーブル２２と同じ高さ位置に設定されている。載置位置は、処理部１６に対する電子部品Ｗの受け渡しを行う位置であり、搬送位置よりも下方の（Ｚ軸負方向の）位置に設定されている。

　旋回駆動部６０は、中心軸Ａｘまわりに旋回部２０を旋回させる。旋回駆動部６０は、例えば電動モータを動力源とし、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Ａｘまわりにターンテーブル２２を回転させる。複数の電子部品保持部５０はターンテーブル２２に取り付けられているので、ターンテーブル２２の回転に伴って複数の電子部品保持部５０が循環軌道ＣＲに沿って移動する（中心軸Ａｘまわりに回転する）。旋回駆動部６０は、複数の電子部品保持部５０のそれぞれを一の配置領域ＡＲに順に配置するように旋回部２０を旋回させる。例えば、旋回駆動部６０は、複数の配置領域ＡＲに複数の電子部品保持部５０がそれぞれ一時停止するように、旋回部２０を間欠的に旋回させる。これにより、一の配置領域ＡＲには、複数の電子部品保持部５０のうちのいずれか１つが順次一時停止してもよい。

　図３に示されるように、電子部品保持部５０は、吸着ノズル５２と、ノズルホルダ５４と、接続ブロック５５とを有してもよい。

　吸着ノズル５２は、循環軌道ＣＲに位置している。吸着ノズル５２は、下方に開口しており、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか一方を上方から負圧により吸着する。例えば、吸着ノズル５２は、ターンテーブル２２に対して垂直に延びており、その下端部が下方に開口している。電子部品保持部５０は、制御信号の入力に応じて吸着ノズル５２による負圧吸着のオン及びオフを切り替えるためのバルブ（不図示）を更に有する。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。

　ノズルホルダ５４は、吸着ノズル５２を保持する。吸着ノズル５２は、ノズルホルダ５４から下方に突出している。接続ブロック５５は、ノズルホルダ５４に対してターンテーブル２２側に隣接しており、接続部２４に対向している。以下、接続ブロック５５の外表面のうち接続部２４に対向する面を「内面５５ａ」といい、接続部２４の外表面のうち接続ブロック５５に対向する面を「外面２４ａ」という。

　保持位置可変部７０は、複数枚の平行な板ばねを有する。保持位置可変部７０は、例えば、２枚の平行な板ばねを有する。以下では、２枚の板ばねのうちの一方を「板ばね７２ａ」とし、他方を「板ばね７２ｂ」として説明する。

　板ばね７２ａ，７２ｂは、電子部品保持部５０の変位方向に交差して電子部品保持部５０と旋回部２０とを接続する。例えば、板ばね７２ａ，７２ｂは、互いに離れて上下に並び、それぞれ水平に延びて接続ブロック５５の内面５５ａと接続部２４の外面２４ａとを接続する。板ばね７２ａと板ばね７２ｂとの間隔は、ターンテーブル２２の厚さよりも大きくてもよい。２枚の平行な板ばね７２ａ，７２ｂが、電子部品保持部５０と旋回部２０とを接続することにより、旋回部２０に対する電子部品保持部５０が変位する方向（電子部品保持部５０の移動動作）が規制される。すなわち、板ばね７２ａ，７２ｂは、旋回部２０に対する電子部品保持部５０の移動をガイドする機能を有する。

　板ばね７２ａと板ばね７２ｂとは、同じばね特性を有するように形成されていてもよい。例えば、板ばね７２ａと板ばね７２ｂとは、互いに同じ材料で構成されている。また、板ばね７２ａと板ばね７２ｂとは、同一形状を有している。なお、同一形状とは、板ばね７２ａが板ばね７２ｂに完全に一致する場合だけでなく、略一致する場合も含まれる。

　変位駆動部８０は、配置領域ＡＲに配置された電子部品保持部５０を変位方向の一方側に移動させる。例えば、変位駆動部８０は、鉛直方向において電子部品保持部５０を下方に移動させる。回転搬送部１０は、複数の変位駆動部８０を備えてもよい。複数の変位駆動部８０は、複数の配置領域ＡＲのそれぞれ設けられている。複数の変位駆動部８０は、複数の配置領域ＡＲにそれぞれ固定されており、旋回部２０が旋回しても移動しない。なお、電子部品保持部５０を変位させる必要がない配置領域ＡＲには、変位駆動部８０が設けられていなくてもよい。一の変位駆動部８０は、当該変位駆動部８０が固定された配置領域ＡＲに順次配置されてくる電子部品保持部５０を変位方向の一方側に移動させる。

　図２に戻り、回転搬送部１０は、複数の変位駆動部８０を固定する（保持する）固定板９０を更に備えてもよい。固定板９０は、例えば、旋回部２０のターンテーブル２２の上方に配置される板状の部材である。固定板９０は、ターンテーブル２２と共に旋回しないように構成されている。複数の変位駆動部８０は、複数の配置領域ＡＲにそれぞれ位置する状態で固定板９０に固定されている。このため、複数の変位駆動部８０は、旋回部２０が旋回しても動かない。

　変位駆動部８０は、例えば、本体部８１と、プッシャー８２と、駆動部８４とを有する。本体部８１は、ターンテーブル２２（旋回部２０）と共に旋回しないように配置領域ＡＲに固定される。例えば、本体部８１は、固定板９０の外縁部のうちの配置領域ＡＲに対応する部分に固定されている。プッシャー８２は、本体部８１に対して変位方向に沿って変位可能となるように本体部８１に設けられる。例えば、プッシャー８２は、上下方向に沿って移動可能となるように本体部８１に保持されている。プッシャー８２は、電子部品保持部５０が配置領域ＡＲに位置する状態において、当該電子部品保持部５０の上方に位置する。駆動部８４は、電動モータ又はエアシリンダ等を動力源としてプッシャー８２を下方に移動させる。これにより、プッシャー８２によって電子部品保持部５０が下方に押される。変位駆動部８０から電子部品保持部５０への力の作用点（以下、「作用点Ｐ１」という。）の位置と、吸着ノズル５２の位置とが、変位方向に直交する方向において異なっていてもよい。

　図３に示されるように、プッシャー８２は、電子部品保持部５０が配置領域ＡＲに位置する状態において接続ブロック５５の上方に位置し、電子部品保持部５０を下方に押す際に接続ブロック５５の上面５５ｂに接する。すなわち、変位駆動部８０から電子部品保持部５０への力の作用点Ｐ１は、接続ブロック５５の上面５５ｂに位置している。接続ブロック５５の上面５５ｂに下向きの力を付与した状態を変位駆動部８０が解除すると、板ばね７２ａ，７２ｂの反力によって電子部品保持部５０が変位前の位置に復帰する。

　保持位置可変部７０は、補助ばね７８を更に有してもよい。補助ばね７８は、変位方向の他方側に向かって電子部品保持部５０を押す。例えば補助ばね７８は、変位駆動部８０が電子部品保持部５０を押す方向の反対方向に電子部品保持部５０を押す。補助ばね７８から電子部品保持部５０への力の作用点（以下、「作用点Ｐ２」という。）の位置と、変位駆動部８０から電子部品保持部５０への力の作用点Ｐ１の位置とは、変位方向に直交する方向（図示Ｘ軸方向）において互いに異なっていてもよい。

　一例として、電子部品保持部５０は拡張部５６（第１拡張部）を更に有し、接続部２４は拡張部２８（第２拡張部）を更に有し、補助ばね７８は拡張部５６と拡張部２８との間に設けられている。拡張部５６は、接続ブロック５５の内面５５ａから接続部２４の外面２４ａに向かって突出している。拡張部２８は、接続部２４の外面２４ａから接続ブロック５５の内面５５ａに向かって突出している。拡張部２８は、拡張部５６よりも下方に位置しており、拡張部２８の上面２８ａが拡張部５６の下面５６ｂに対向している。

　補助ばね７８は、例えばコイルばね（圧縮コイルばね）である。補助ばね７８は、その中心軸が変位方向に沿った状態で拡張部２８と拡張部５６との間に配置されており、補助ばね７８の下端は拡張部２８の上面２８ａに接し、補助ばね７８の上端は拡張部５６の下面５６ｂに接している。補助ばね７８は、電子部品保持部５０が搬送位置から載置位置まで変位した際に、載置位置から搬送位置に向かう方向に電子部品保持部５０に力を付与する。

　接続部２４及び電子部品保持部５０の少なくとも一方は、補助ばね７８の変形方向が変位方向に沿うようにガイドするガイドピン３２を有してもよい。例えば接続部２４はガイドピン３２を更に有し、電子部品保持部５０はガイド孔５８を更に有している。ガイドピン３２は、拡張部２８から拡張部５６に向かって突出している。ガイドピン３２は、例えば円柱状に形成されている。ガイド孔５８は、ガイドピン３２に対応する位置において拡張部５６を貫通している。例えば、ガイド孔５８は、拡張部５６を鉛直方向（図示Ｚ軸方向）に貫通している。

　ガイド孔５８にはガイドピン３２の端部が通される。ガイド孔５８の内径は、ガイドピン３２の端部の外径よりも大きい。このため、ガイドピン３２の外周面とガイド孔５８の内周面との間には隙間が設けられている。この隙間は、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部５０の変位量よりも大きく設定されている。なお、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部５０の変位は、変位方向への板ばね７２ａ，７２ｂの撓みに伴って生じる変位である。補助ばね７８は、ガイドピン３２を囲むように配置されている。これにより、補助ばね７８の変形方向がガイドピン３２に沿った方向に規制される。

　拡張部２８は、少なくとも板ばね７２ａ，７２ｂの少なくとも一方を拡張部５６との間に挟むように配置されていてもよく、補助ばね７８は、板ばね７２ａ，７２ｂのうち拡張部５６と拡張部２８との間に位置する板ばねを貫通して拡張部５６と拡張部２８とに接していてもよい。拡張部５６及び拡張部２８の一方が板ばね７２ａ，７２ｂの間に位置し、拡張部５６及び拡張部２８の他方が板ばね７２ａ，７２ｂの間の外に位置していてもよい。

　一例として、拡張部２８が板ばね７２ａ，７２ｂの間に位置し、拡張部５６が板ばね７２ａ，７２ｂの間の外に位置している。より具体的に、拡張部５６は板ばね７２ａよりも上に位置している。すなわち、拡張部２８は、拡張部５６との間に板ばね７２ａを挟むように配置されている。例えば拡張部５６は接続ブロック５５の上端寄りに位置しており、接続ブロック５５の上面５５ｂと拡張部５６の上面５６ａとは面一となっている。拡張部５６は、ターンテーブル２２よりも上方に位置していてもよい。

　板ばね７２ａは、ガイドピン３２が貫通する開口７６ａを有する。開口７６ａは、板ばね７２ａを鉛直に貫通している。ガイドピン３２が貫通しない板ばね７２ｂが、開口７６ａと同様の開口７６ｂを有していてもよい。板ばね７２ｂにおける開口７６ｂの位置、形状及び大きさは、板ばね７２ａにおける開口７６ａの位置、形状及び大きさと同じであってもよい。これにより、ガイドピン３２が板ばね７２ａを貫通し、板ばね７２ｂを貫通しない場合であっても、板ばね７２ｂのばね特性を板ばね７２ａのばね特性と実質的に同じにすることができる。開口７６ａ，７６ｂの大きさは、少なくともガイドピン３２よりも大きく、更にガイド孔５８よりも大きくてもよい。

　拡張部２８，５６及び板ばね７２ａ，７２ｂの互いの配置関係は、上述の例に限られない。拡張部２８、板ばね７２ｂ、拡張部５６、及び板ばね７２ａが、この順で下方から配置されていてもよい。すなわち、板ばね７２ａ，７２ｂの間には拡張部５６が位置し、板ばね７２ａ，７２ｂの外（板ばね７２ｂの下方）に拡張部２８が位置していてもよい。このように、拡張部５６が、拡張部２８との間に板ばね７２ｂを挟む位置に配置されていてもよい。この例では、板ばね７２ａが、拡張部２８と拡張部５６との間に位置していなくてもよく（拡張部５６の上方に位置していてもよく）、板ばね７２ｂが、拡張部２８と拡張部５６との間に位置していてもよい。この場合、板ばね７２ａの開口７６ａには、ガイドピン３２及び補助ばね７８が貫通しておらず、板ばね７２ｂの開口７６ｂに、ガイドピン３２及び補助ばね７８が貫通していてもよい。

　拡張部２８及び拡張部５６が、板ばね７２ａ，７２ｂの間に位置していてもよい。この場合、板ばね７２ａ，７２ｂの開口７６ａ，７６ｂにガイドピン３２及び補助ばね７８が貫通していてもよい。拡張部２８及び拡張部５６が、板ばね７２ａ，７２ｂの外に位置していてもよい。すなわち、拡張部２８及び拡張部５６が、板ばね７２ａの上方又は板ばね７２ｂの下方に位置していてもよい。この場合、板ばね７２ａ，７２ｂには、開口７６ａ，７６ｂが設けられていなくてもよい。

　保持位置可変部７０は、板ばね７２ａ，７２ｂに加えて、少なくとも１枚の別の板ばねを有していてもよい。図３に示される例において、少なくとも１枚の別の板ばねが、拡張部２８の下方に設けられてもよく、あるいは、拡張部２８と拡張部５６との間に設けられてもよい。また、拡張部２８の下方に１枚以上の別の板ばねが設けられ、さらに、拡張部２８と拡張部５６との間に１枚以上の別の板ばねが設けられてもよい。別の板ばねは、板ばね７２ａ，７２ｂと同じ材料により、同じ形状に形成されてもよい。当該別の板ばねにも、開口７６ａ（開口７６ｂ）と同じ開口が設けられてもよい。なお、板ばね７２ａ，７２ｂの間に拡張部５６が位置し、板ばね７２ａ，７２ｂの外に拡張部２８が位置する場合においても、少なくとも１枚の別の板ばねが同様に設けられてもよい。

　図３及び図４に示される例では、上方から見て板ばね７２ａ，７２ｂと重なる位置において、補助ばね７８が設けられているが、板ばね７２ａ，７２ｂと重ならない位置において補助ばね７８が設けられてもよい。この場合、板ばね７２ａ，７２ｂには開口７６ａ，７６ｂが設けられていなくてもよく、上方から見て、拡張部２８，５６が、板ばね７２ａ，７２ｂと重なっていなくてもよい。保持位置可変部７０は、補助ばね７８を有していなくてもよい。この場合、拡張部２８、ガイドピン３２、及び拡張部５６が設けられていなくてもよい。

　旋回部２０は、補助ばね７８が電子部品保持部５０を押す方向（例えば上方）への電子部品保持部５０の移動を規制する規制部３４を更に有してもよい。例えば旋回部２０は、ガイドピン３２の上端に設けられた規制部３４を更に有する。規制部３４は、ガイド孔５８を通過することができない（ガイド孔５８の周縁部と干渉する）形状及び大きさに形成されている。一例として、図４に示されるように、規制部３４の形状は、上方から見て、最大幅がガイド孔５８の径よりも大きい多角形である。

　規制部３４は、電子部品保持部５０が上記搬送位置に位置する際に、拡張部５６の上面５６ａに接する高さに配置されている。これにより、電子部品保持部５０が搬送位置よりも上方に移動しようとしても、規制部３４に接してその移動が妨げられる。補助ばね７８は、拡張部５６が規制部３４に接した状態において、拡張部５６を規制部３４に押し付けるように構成されていてもよい。例えば、補助ばね７８の自然長が、拡張部５６が規制部３４に接した状態における拡張部５６と拡張部２８との間隔よりも長くてもよい。

　変位駆動部８０による電子部品保持部５０の変位に対し補助ばね７８が生じる反力は、当該変位に対し板ばね７２ａ，７２ｂが生じる反力の合計よりも大きくてもよい。例えば、上記変位に対する補助ばね７８のばね定数は、板ばね７２ａ，７２ｂに対するばね定数の２～２０倍であってもよく、５～１５倍であってもよく、８～１２倍であってもよい。

　コントローラ１００は、予め設定された制御手順で回転搬送部１０を制御するコンピュータである。この制御において、コントローラ１００は、少なくとも、電子部品保持部５０に電子部品Ｗを保持させた状態で、当該電子部品保持部５０をいずれかの配置領域ＡＲに移動させるように旋回駆動部６０を制御することと、配置領域ＡＲに移動した電子部品保持部５０を鉛直方向において搬送位置から載置位置に変位させるように変位駆動部８０を制御することとを実行するように構成されている。

　旋回駆動部６０が旋回部２０を旋回させる期間において、電子部品保持部５０は上記搬送位置に配置される。電子部品保持部５０が搬送位置にあるときには、補助ばね７８によって拡張部５６が規制部３４に押し付けられる。このため、旋回部２０の移動に伴う電子部品保持部５０の振動が抑制される。配置領域ＡＲに配置された電子部品保持部５０を載置位置に変位させる際には、当該配置領域ＡＲに位置する変位駆動部８０がプッシャー８２を下降させる。プッシャー８２が初期位置から所定量下降すると、図５（ａ）に示されるように、プッシャー８２が接続ブロック５５に接触する。

　そして、変位駆動部８０がプッシャー８２により作用点Ｐ１に力を更に加えると、プッシャー８２が電子部品保持部５０を押す力が、板ばね７２ａ，７２ｂ及び補助ばね７８の反力を上回り、電子部品保持部５０が下方に移動する。この際に、図５（ｂ）に示されるように、板ばね７２ａ，７２ｂが略平行な状態を保ちながら変形するので、電子部品保持部５０の姿勢は略一定に保たれる。すなわち電子部品保持部５０は、吸着ノズル５２を鉛直下方に向けた状態を実質的に保ちながら下方に変位する。

　なお、電子部品保持部５０が下方に変位すると、変位前に水平であった板ばね７２ａ，７２ｂは、接続ブロック５５の内面５５ａと接続部２４の外面２４ａとの間で撓むこととなる。このため、内面５５ａと外面２４ａとの間隔は、板ばね７２ａ，７２ｂの全長よりも短くなる。これにより、電子部品保持部５０は、旋回部２０の中心軸Ａｘに向かって水平方向にも変位することとなる。電子部品保持部５０の下方への変位が板ばね７２ａ，７２ｂの全長よりも微小である限り、電子部品保持部５０の水平方向への変位は微小である。上述したように、ガイド孔５８とガイドピン３２との間の隙間が、変位方向に垂直な方向（図示Ｘ軸方向）への電子部品保持部５０の変位量よりも大きく設定されていれば、水平方向への電子部品保持部５０の変位に起因する電子部品保持部５０とガイドピン３２との接触、擦れが抑制される。

　変位駆動部８０がプッシャー８２により作用点Ｐ１に力を加えた状態（電子部品保持部５０が載置位置に位置する状態）において、電子部品保持部５０と処理部１６との間で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。例えば、吸着ノズル５２に保持されている電子部品Ｗの吸着が解除され、当該電子部品Ｗが電子部品保持部５０から処理部１６に渡される。そして、変位駆動部８０は、作用点Ｐ１に加わる力を減少させる。作用点Ｐ１に加わる力が減少すると、板ばね７２ａ，７２ｂ及び補助ばね７８の反力が、プッシャー８２が電子部品保持部５０を押す力を上回り、電子部品保持部５０が上方に変位する。

　その後、電子部品保持部５０（拡張部５６）が規制部３４に当たり、電子部品保持部５０の上昇が停止し、プッシャー８２が電子部品保持部５０から離れる。これにより、電子部品保持部５０が再び旋回（搬送）可能な状態に戻される。なお、電子部品Ｗを保持していない電子部品保持部５０が処理部１６から電子部品Ｗを受け取る際も、電子部品保持部５０の下降及び上昇が同様に行われてもよい。

　以上説明したように、本開示の一側面に係る処理装置１は、所定の配置領域ＡＲを通る循環軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに旋回可能な旋回部２０と、循環軌道ＣＲに位置するように旋回部２０に設けられた電子部品保持部５０と、所定の変位方向において、旋回部２０に対する電子部品保持部５０の変位を可能にする保持位置可変部７０と、電子部品Ｗを保持した電子部品保持部５０を配置領域ＡＲに配置するように中心軸Ａｘまわりに旋回部２０を旋回させる旋回駆動部６０と、配置領域ＡＲに配置された電子部品保持部５０を変位方向の一方側に移動させるように配置領域ＡＲに設けられた変位駆動部８０と、を備える。保持位置可変部７０は、上記変位方向に交差して電子部品保持部５０と旋回部２０とを接続する２枚の平行な板ばね７２ａ，７２ｂを有する。

　所定の変位方向における電子部品保持部５０の変位を案内する機構としては、当該変位方向に沿った電子部品保持部５０の移動を案内するスライドガイドが挙げられる。しかしながら、スライドガイドには、構造上のガタが不可欠であり、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部の移動を完全には規制できない。また、摩耗等に起因して、ガタが経年的に増大することも考えられる。これに対し、変位方向に交差して電子部品保持部５０と旋回部２０とを接続する２枚の平行な板ばね７２ａ，７２ｂを有する保持位置可変部７０によれば、板ばね７２ａ，７２ｂに沿った方向への電子部品保持部５０の移動をガタなく規制しつつ、板ばね７２ａ，７２ｂに垂直な方向への電子部品保持部５０の移動を許容することができる。

　なお、板ばね７２ａ，７２ｂの変形によって電子部品保持部５０の変位を可能にする機構によれば、上記変位方向に垂直な方向への電子部品保持部５０の変位（以下、「垂直変位」という。）も生じることとなる。この変位については、変位方向への変位量に比較して板ばね７２ａ，７２ｂの長さを十分に大きく設定することで、垂直変位を微小に抑えることが可能である。また、垂直変位の大きさは、スライドガイドにおける構造上のガタの大きさに比較して経時的に変化し難いので、垂直変位を見込んだ位置を目標位置とすれば位置決め精度を向上させることができ、その位置決め精度を長期的に維持することができる。従って、電子部品Ｗの位置決め精度の向上に有効である。

　変位駆動部８０は、旋回部２０と共に旋回しないように配置領域ＡＲに固定された本体部８１と、変位方向に沿って変位可能となるように本体部８１に設けられ、変位方向の一方側に向かって電子部品保持部５０を押すプッシャー８２と、変位方向に沿ってプッシャー８２を移動させる駆動部８４とを有してもよい。変位駆動部８０が旋回部２０と共に旋回せずに配置領域ＡＲに設けられることで、当該配置領域ＡＲにおいて電子部品保持部５０を変位させる機構が簡素化される。

　処理装置１は、複数の電子部品保持部５０と、複数の保持位置可変部７０と、を備えてもよい。複数の電子部品保持部５０は、旋回部２０に対する複数の電子部品保持部５０の変位をそれぞれ可能にする。旋回駆動部６０は、複数の電子部品保持部５０のそれぞれを配置領域ＡＲに順に配置するように旋回部２０を旋回させる。この場合、複数の電子部品保持部５０により複数の電子部品Ｗを同時に搬送することができる。従って、電子部品Ｗの効率的な処理に有効である。

　変位駆動部８０は、変位方向の一方側に向かって電子部品保持部５０を押すように構成されてもよい。保持位置可変部７０は、変位方向の他方側に向かって電子部品保持部５０を押す補助ばね７８を更に有してもよい。板ばね７２ａ，７２ｂによれば、ガタなしで電子部品保持部５０の移動方向の規制が可能になる一方で、板ばね７２ａ，７２ｂによる反力は、板ばね７２ａ，７２ｂの厚さのばらつきに応じてそれぞればらつき易い。一方、補助ばね７８には、電子部品保持部５０の移動方向を規制する機能を考慮せずに、反力の大きさを調節し易いばねを用いることができる。このため、保持位置可変部７０が補助ばね７８を更に有する上記構成によれば、保持位置可変部７０が電子部品保持部５０に付与する反力をより高い精度で調節することができる。

　旋回部２０は、補助ばね７８が電子部品保持部５０を押す方向への電子部品保持部５０の移動を規制する規制部３４を更に有してもよい。この場合、電子部品保持部５０を規制部３４に押し当てることによって、電子部品保持部５０と旋回部２０との接続部の剛性が高められる。また、その剛性の強さは、補助ばね７８による反力の大きさによって適宜調節することができる。これにより、旋回部２０の回転及び停止に応じた電子部品保持部５０の振動を抑制することができるので、旋回部２０の回転速度を高め易い。旋回部２０の回転速度を高めることは、電子部品Ｗの処理効率の更なる向上に有効である。

　補助ばね７８から電子部品保持部５０への力の作用点Ｐ２と、変位駆動部８０から電子部品保持部５０への力の作用点Ｐ１とが、変位方向に直交する方向において異なっていてもよい。この場合、２枚の板ばね７２ａ，７２ｂによる電子部品保持部５０の姿勢保持機能を利用して、省スペース化を図ることができる。

　電子部品保持部５０は、旋回部２０に向かって突出した拡張部５６を有してもよい。旋回部２０は、拡張部５６との間に少なくとも２枚の板ばね７２ａ，７２ｂのいずれかを挟む位置にて電子部品保持部５０に向かって突出した拡張部２８を有してもよい。補助ばね７８は、２枚の板ばね７２ａ，７２ｂのうち拡張部５６と拡張部２８との間に位置する板ばねを貫通して拡張部５６と拡張部２８とに接していてもよい。この場合、２枚の板ばね７２ａ，７２ｂの間の一部を補助ばね７８の配置スペースとして利用することで、省スペース化を更に図ることができる。

　拡張部５６及び拡張部２８の一方は２枚の板ばね７２ａ，７２ｂの間に位置し、拡張部５６及び拡張部２８の他方は２枚の板ばね７２ａ，７２ｂの外に位置していてもよい。この場合、２枚の板ばね７２ａ，７２ｂの間を拡張部５６又は拡張部２８の配置スペースとして利用することで、省スペース化を更に図ることができる。

　２枚の板ばね７２ａ，７２ｂのうち、拡張部２８と拡張部５６との間に位置する板ばねは補助ばね７８が貫通する開口を有し、拡張部２８と拡張部５６との間に位置しない板ばねも上記開口と同じ開口を有してもよい。この場合、補助ばね７８が貫通しない板ばねにも、補助ばねが貫通する板ばねと同じ開口を設けることで、省スペース化と位置決め精度との両立をより確実に図ることができる。

　電子部品保持部５０は、拡張部５６を貫通するガイド孔５８を有してもよい。旋回部２０は、拡張部２８から拡張部５６に向かって突出し、ガイド孔５８を貫通して補助ばね７８をガイドするガイドピン３２を有してもよい。ガイド孔５８とガイドピン３２との間の隙間は、変位方向に垂直な方向への電子部品保持部５０の変位量よりも大きく設定されていてもよい。この場合、２枚の板ばね７２ａ，７２ｂの変形に従った電子部品保持部５０の変位を、ガイド孔５８とガイドピン３２との接触により妨げることなく、補助ばね７８をガイドすることができる。これにより、保持位置可変部７０が電子部品保持部５０に付与する反力をより高い精度で調節することができる。

　変位駆動部８０による電子部品保持部５０の変位に対し補助ばね７８が生じる反力は、当該変位に対し２枚の板ばね７２ａ，７２ｂが生じる反力の合計よりも大きくてもよい。この場合、保持位置可変部が電子部品保持部に付与する反力をより高い精度で調節することができる。

　以上、実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

　なお、本出願は、２０１９年９月２０日出願の日本特許出願（特願２０１９－１７１９１０）に基づくものであり、その内容は本出願の中に参照として援用される。

　１…処理装置、２０…旋回部、２８…拡張部、３２…ガイドピン、３４…規制部、５６…拡張部、６０…旋回駆動部、７０…保持位置可変部、７２ａ，７２ｂ…板ばね、７８…補助ばね、８０…変位駆動部、９０…固定板、ＡＲ…配置領域、ＣＲ…循環軌道、Ａｘ…中心軸。

Claims (6)

1. 　所定の配置領域を通る搬送用循環軌道の中心軸まわりに旋回可能な旋回部と、
   　前記搬送用循環軌道に位置するように前記旋回部に設けられた電子部品保持部と、
   　所定の変位方向において、前記旋回部に対する前記電子部品保持部の変位を可能にする保持位置可変部と、
   　前記電子部品を保持した前記電子部品保持部を前記配置領域に配置するように前記中心軸まわりに前記旋回部を旋回させる旋回駆動部と、
   　前記配置領域に配置された前記電子部品保持部を前記変位方向の一方側に移動させるように前記配置領域に設けられた変位駆動部と、を備え、
   　前記保持位置可変部は、前記変位方向に交差して延び前記電子部品保持部と前記旋回部とを接続する複数枚の板ばねを有し、
   　前記複数枚の板ばねは互いに平行である、電子部品の処理装置。
2. 　前記変位駆動部は、
   　前記旋回部と共に旋回しないように前記配置領域に固定された本体部と、
   　前記変位方向に沿って変位可能となるように前記本体部に設けられ、前記変位方向の一方側に向かって前記電子部品保持部を押すプッシャーと、
   　前記変位方向に沿って前記プッシャーを移動させる駆動部とを有する、請求項１記載の電子部品の処理装置。
3. 　前記電子部品保持部を含む複数の電子部品保持部と、
   　前記保持位置可変部を含む複数の保持位置可変部と、を備え、
   　前記複数の保持位置可変部は、前記旋回部に対する前記複数の電子部品保持部の変位をそれぞれ可能にし、
   　前記旋回駆動部は、前記複数の電子部品保持部のそれぞれを前記配置領域に順に配置するように前記旋回部を旋回させる、請求項１又は２記載の電子部品の処理装置。
4. 　前記変位駆動部は、前記変位方向の一方側に向かって前記電子部品保持部を押すように構成され、
   　前記保持位置可変部は、前記変位方向の他方側に向かって前記電子部品保持部を押す補助ばねを更に有する、請求項１～３のいずれか一項記載の電子部品の処理装置。
5. 　前記旋回部は、前記補助ばねが前記電子部品保持部を押す方向への前記電子部品保持部の移動を規制する規制部を更に有する、請求項４記載の電子部品の処理装置。
6. 　前記補助ばねから前記電子部品保持部への力の作用点と、前記変位駆動部から前記電子部品保持部への力の作用点とが、前記変位方向に直交する方向において異なっている、請求項４又は５記載の電子部品の処理装置。

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