WO2020213249A1

WO2020213249A1 - 延伸装置および延伸装置の部品交換方法

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Publication number: WO2020213249A1
Application number: PCT/JP2020/006375
Authority: WO
Inventors: 尚暁吉松; 中嶋　一郎
Original assignee: Japan Steel Works Ltd
Current assignee: Japan Steel Works Ltd
Priority date: 2019-04-18
Filing date: 2020-02-18
Publication date: 2020-10-22
Anticipated expiration: 2021-10-18
Also published as: US20220176595A1; US20240391142A1; US12090688B2; CN113727826B; JP2020175576A; CN113727826A; KR20210151830A; JP7179670B2; KR102805784B1

Abstract

膜の延伸装置は以下を含む。膜の搬送および延伸可能な、複数のリンクが無端チェーンを構成するように連結された一対の第１および第２リンク装置。第１および第２リンク装置の中央部を覆う、膜に熱処理を行うための熱処理部。熱処理部の外部であって、膜の入口側に配置された、複数のリンクを駆動するためのスプロケット（第1のリンク駆動機構）。熱処理部の外部であって、膜の出口側に配置された、複数のリンクを駆動するためのスプロケット（第２のリンク駆動機構）。熱処理部の外部であって、膜の出口側に配置された、複数のリンクのピッチを小さくするためのスプロケット（リンク調整機構）。

Description

延伸装置および延伸装置の部品交換方法

　本発明は、膜を縦方向および横方向に引き延ばす延伸装置に好適に利用できるものである。

　延伸装置においては、縦延伸と横延伸を行うことができ、これらを順番に行うことを逐次二軸延伸法といい、一度に行うことを同時二軸延伸法という。同時二軸延伸法は、逐次延伸法に比べ、スクラッチが発生しにくい、原料の適応範囲が広く、結晶化速度が速くても延伸可能である、物性の縦横均一性が高いなどのメリットがある。

　例えば、特許文献１（特開２００４－１５５１３８号公報）には、折尺状に形成された複数個の等長リンク装置よりシート状物の両側端に配置された無端リンク装置を、シート状物の入口側及び出口側のスプロケットにより駆動し、進行方向に末広がり状に配置されたガイドで形成されるガイドレールによって案内し、シート状物を横方向に延伸させるシート状物の延伸機が開示されている。

特開２００４－１５５１３８号公報

　膜を引き延ばす延伸装置は、無端チェーンを構成するように連結された、複数のリンクを有する。例えばメンテナンス時に、この複数のリンクの交換作業を行う場合、作業の効率化の観点から改善の余地がある。

　その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

　本願において開示される膜の延伸装置は、以下を含む。前記膜の搬送および延伸可能な、複数のリンクが無端チェーンを構成するように連結された一対のリンク装置；
　前記一対のリンク装置の中央部を覆う、前記膜に熱処理を行うための熱処理部；前記熱処理部の外部であって、前記膜の入口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第1のリンク駆動機構；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第２のリンク駆動機構；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクのピッチを小さくするためのリンク調整機構部。

　本願において開示される延伸装置によれば、複数のリンクを効率的に交換することができる。

一実施の形態である薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。図１に示す延伸装置の構造例を示す平面図である。図２に示す複数のリンクのうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。図３に示すリンクのＡ－Ａ線に沿った断面図である。図３に示すリンクのＡ－Ｂ線に沿った断面図である。本実施の形態の延伸装置のリンクの交換方法の工程フローの概要を示すフロー図である。図２に示すリンク交換領域において、複数のリンクのうちの一部の連結を解除した状態を示す平面図である。図７に示す取出し用リンク群を結束し、レール上から搬出する様子を模式的に示す平面図である。図８に示すリンク交換領域のレール上に交換用リンク群を搬入する様子を模式的に示す平面図である。図９に示す交換用リンク群のバンドを取り外し、前方のリンクと連結した状態を示す平面図である。図２に示す一対のリンク装置の一方の出口側の拡大平面図である。図１１に示すリンク調整機構の変形例を示す拡大平面図である。

　以下、実施の形態を実施例や図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。

　＜全体構造＞
　図１は、本実施の形態の薄膜の製造システムの構成を示す模式図である。図１に示す本実施の形態の薄膜製造システム１は、混練押し出し装置（二軸混練押し出し装置）２、Ｔダイ３、原反冷却装置４、延伸装置（同時二軸延伸装置）５、引き取り装置６、および巻き取り装置７を有する。図１に示す例では、まず、混練押し出し装置２の原料供給部２Ａに樹脂材料（ペレット）および添加剤などを供給する。二軸混練押し出し装置２は、供給された樹脂材料などを、混合しながら輸送（搬送）する。Ｔダイ３は、二軸混練押し出し装置２により混練された混練物（溶融樹脂）をスリットから押し出す。Ｔダイ３から押し出された混練物は、原反冷却装置４において冷却され、膜（シート、樹脂膜）８になる。Ｔダイ３により成形される膜は、延伸装置５に連続的に供給される。延伸装置５にとっては、膜８は延伸に供される原料に相当する。本明細書では、延伸装置５を中心に説明するので、延伸装置５に供されるシート状の材料、および延伸処理が施されている前の膜８のことを原反と呼ぶ場合がある。一方、延伸処理が完了し、延伸装置５から排出された状態の膜８を薄膜と呼ぶ場合がある。

　原反冷却装置４で冷却されて形成された膜８は、延伸装置５によりＭＤ方向およびＴＤ方向に延伸され、薄膜になる。延伸された膜８は、引き取り装置６を介して巻き取り装置７に巻き取られる。

　図１に一例として示す薄膜製造システム１の場合、上記のように、薄膜を製造する。なお、図１に示す薄膜製造システム１は、形成する薄膜の特性に応じて、種々の変形が可能である。例えば、図１に示す構成に加え、図１に示す引き取り装置６の近傍に図示しない抽出槽が設けられ、膜８中の可塑剤（例えば、パラフィンなど）が抽出槽で除去される場合がある。

　本実施の形態の延伸装置５は、膜８をＭＤ方向に搬送しながら、薄膜をＭＤ方向およびＴＤ方向に引き延ばす。ＭＤ（Machine Direction）方向は、薄膜の搬送方向であり、縦方向とも言う。また、ＴＤ（Transverse Direction）方向は、上記薄膜の搬送方向と交差する方向であり、横方向とも言う。互いに交差する二方向に同時に延伸させることが可能な延伸装置５は、同時二軸延伸装置と呼ばれる。

　以下、延伸装置５の構造、および延伸装置５が、ＭＤ方向およびＴＤ方向に膜８を引き延ばす原理について説明する。図２は、図１に示す延伸装置の構造例を示す平面図である。図２に示すオーブン内には、レール１３Ａ、１３Ｂ上に配置された複数のリンク２０が配置されるが、図２では、レール１３Ａおよび１３Ｂ、および膜８の輪郭のみを、点線で示している。図３は、図２に示す複数のリンクのうちの一つを拡大して示す拡大平面図である。図４は、図３に示すリンクのＡ－Ａ線に沿った断面図である。図５は、図３に示すリンクのＡ－Ｂ線に沿った断面図である。図４および図５では、クリップ２１の支持構造を見やすくするため、図３に示すＡ－Ａ線およびＡ－Ｂ線に沿った断面とは異なる位置にある部材を、白抜きで示している。

　図２に示すように、延伸装置５は、平面視において、互いに離間して配置される一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂを有する。膜８は、リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの間に配置され、ＭＤ方向に搬送される。リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの間の部分は、膜８を搬送するための搬送部として機能する。延伸装置５は、一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂの中央部を覆い、膜８に熱処理を行うための熱処理部１２を有する。図２に示す例では、熱処理の方法として、オーブンを用いた熱処理の例を示している。リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれの一部分（中央部１１）は、熱処理部１２の庫内に配置される。以下、本明細書では、熱処理部１２であるオーブンを貫通するように配置されるリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれのうち、熱処理部１２内に配置された部分を中央部１１として説明する。膜８は、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂに保持された状態で、熱処理部１２を通過する。

　リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれは、無端チェーンを構成するように連結された複数のリンク２０を有する。複数のリンク２０のそれぞれには、膜８を把持する治具であるクリップ２１（図３参照）が取り付けられている。膜８は、クリップ２１を介して複数のリンク２０に把持される。

　互いに連結された複数のリンク２０は、レール１３Ａおよび１３Ｂに沿って走行可能な状態で、レール１３Ａおよび１３Ｂ上に載せられる。リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれは、一対のレール１３Ａおよび１３Ｂを有する。一対のレール１３Ａおよび１３Ｂのうち、レール１３Ａは内周側に、レール１３Ｂは外周側に、それぞれ配置される。なお、レール１３Ａを内側レールと呼び、レール１３Ｂを外側レールと呼ぶ場合がある。

　図２に示すようにリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれが備える一対のレール１３Ａおよび１３Ｂは、膜８の入口側（入口部）８Ａ、熱処理部１２、および出口側（出口部）８Ｂに亘って環状に形成される。一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれは、膜８と対向する膜側と、膜側の反対に位置するリターン側と、を備える。以下の説明において、膜８がクリップ２１により把持した状態で、複数のリンク２０が入口側８Ａから出口側８Ｂに向かって搬送されるサイドを「膜側」と記載する。一方、膜側の反対に位置し、クリップ２１が膜８を把持せず、複数のリンク２０が出口側８Ｂから入口側８Ａに向かって搬送されるサイドを「リターン側」と記載する。

　複数のリンク２０により構成される無端チェーンは、熱処理部１２の外側に配置されるリンク駆動機構により駆動される。図２に示す例では、延伸装置５は、膜８の入口側８Ａおよび出口側８Ｂのそれぞれにリンク駆動機構を有する。膜８の入口側８Ａには、第１のリンク駆動機構であるスプロケット３１が配置される。膜８の出口側８Ｂには、第２のリンク駆動機構であるスプロケット３２が配置される。スプロケット３１および３２は、それぞれ複数のリンク２０に係合され、複数のリンク２０をＭＤ方向に送り出すように回転する。複数のリンク２０のそれぞれは、スプロケット３１および３２の回転動作の駆動力により、レール１３Ａおよびレール１３Ｂ上を移動する。

　複数のリンク２０のうち、互いに隣り合うリンク２０間のピッチ（リンクピッチと呼ぶ場合もある）は、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離に応じて変更可能である。言い換えれば、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離を調整することにより、互いに隣り合うリンク２０のピッチを調整することができる。詳しくは、レール１３Ａと１３Ｂとの離間距離が大きい領域では、レール１３Ａと１３Ｂとの離間距離が小さい領域と比較して、隣り合うリンク２０のピッチが小さい。

　複数のリンク２０は、隣り合うリンク２０のピッチが変更可能な状態でレール上に配置される。また、クリップ２１（図３参照）は、隣り合うクリップ２１のピッチ（中心間距離）が変更可能な状態で複数のリンクのそれぞれの一方の端部に取り付けられる。膜８は、熱処理部１２において、リンク装置１０Ａのレール１３Ｂとリンク装置１０Ｂのレール１３Ｂとの離間距離が徐々に大きくなる領域で、ＴＤ方向に延伸される。延伸装置５は、熱処理部１２において、リンク装置１０Ａが備える複数のリンク２０のリンクピッチ、およびリンク装置１０Ｂが備える複数のリンク２０のリンクピッチが大きくなる領域（ＭＤ方向延伸領域）を備える。膜８は、このリンクピッチが大きくなる領域において、ＭＤ方向に延伸される。リンクピッチが大きくなる領域では、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれにおいて、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が小さくなる。リンク装置１０Ａのレール１３Ｂとリンク装置１０Ｂのレール１３Ｂとの離間距離が徐々に大きくなる領域とリンクピッチが大きくなる領域とは同じ領域なので、この領域では、膜８は、ＴＤ方向およびＭＤ方向に同時に延伸される。

　また、延伸装置５は、熱処理部１２において、リンクピッチを大きくするので、熱処理部１２への入口側８Ａにおいて、リンクピッチを小さくしておく必要がある。このため、延伸装置５は、熱処理部１２の外部であって、膜８の入口側８Ａに配置されたスプロケット３３を備える。スプロケット３３は、スプロケット３１の回転速度より遅い回転速度で回転する。スプロケット３３は、複数のリンク２０に係合する。スプロケット３１の回転速度より遅く回転するスプロケット３３が膜８の入口側８Ａに配置されることにより、複数のリンク２０のリンクピッチは、スプロケット３３に係合される領域において小さくなる。スプロケット３３は、複数のリンク２０のリンクピッチを小さくするためのリンク調整機構部として機能する。

　また、延伸装置５は、スプロケット３４の他に、膜８の出口側８Ｂに配置されるスプロケット３４を備える。スプロケット３４は、熱処理部１２の外部であって、膜８の入口側８Ａに配置される。スプロケット３４は、膜８の出口側８Ｂにおいて、複数のリンク２０のリンクピッチを小さくするためのリンク調整機構部として機能する。スプロケット３４が設けられることによる効果は後述する。

　膜８は、熱処理部１２への入口側８Ａにおいて、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれが備えるリンク２０に取り付けられたクリップ２１により把持される。クリップ２１は、図３～５に記載されるバネ２１Ａなどの力により把持部２１Ｂ（図４および５参照）が上下に動作することで、開閉するように構成される。クリップ２１は膜８の端部を把持した状態でリンク２０と一緒にＭＤ方向に搬送される。膜８は、熱処理部１２内で加熱され、かつ、クリップ２１の移動に伴ってＭＤ方向およびＴＤ方向に引き伸ばされる。引き伸ばされた後の膜８は、クリップ２１に把持された状態で、熱処理部１２の出口側８Ｂに向かって搬送される。熱処理部１２の外部であり、かつ膜８の出口側８Ｂにおいて、膜８はクリップ２１から外される。膜８の出口側の先には、図１に示す引き取り装置６および巻き取り装置７が配置され、引き伸ばされた膜８は、巻き取り装置７に巻き取られ、回収される。

　次に、リンク２０の構造について説明する。図３に示すように、リンク２０は、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３と、レールホルダ２４および２５と、を備える。上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３のそれぞれは、平面視において直線的に延びる板状の部材である。上段側リンクプレート２２の一方の端部には、シャフト２６が挿入される。図４および図５に示すように、シャフト２６は、下段側リンクプレート２３にも挿入され、上段側リンクプレート２２と、下段側リンクプレート２３とは、シャフト２６の中心を回転軸として、回転自在な状態でシャフト２６を介して連結される。下段側リンクプレート２３の一方の端部には、クリップ２１が取り付けられる。図４に示すように、下段側リンクプレート２３において、シャフト２６は、クリップ２１が取り付けられる一方の端部と他方の端部との間に挿入される。図３では、シャフト２６を中心に上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転する状態を、二点鎖線を用いて模式的に示している。シャフト２６を回転軸として上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転すると、上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３との成す角θ１の角度が変化する。

　なお、本明細書では、図３に示す各θ１の角度が大きくなることを「リンクが開く」、角θ１の角度が小さくなることを「リンクが閉じる」と呼ぶ場合がある。また、角θ１の角度が大きくなったり小さくなったりする動作を、「リンクの開閉動作」と呼ぶ場合がある。

　また、図４および図５に二点鎖線で示すように、上段側リンクプレート２２には、シャフト２７が挿入される。シャフト２７は、互いに隣り合うリンク２０を連結する連結部材である。シャフト２７は、互いに隣り合うリンク２０のうち、一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２と、他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３とに挿入される。一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２および他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３のそれぞれは、シャフト２７の中心を回転軸として回転自在な状態で、シャフト２７を介して連結される。図５に示すように、上段側リンクプレート２２の他方の端部には、図２に示すスプロケット３１、３２、３３、および３４に係合される係合部２９が取り付けられる。上段側リンクプレート２２において、シャフト２７は、係合部２９とシャフト２６との間に挿入される。シャフト２７を回転軸として上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とが回転すると、一方のリンク２０の上段側リンクプレート２２と他方のリンク２０の下段側リンクプレート２３との成す角（図示は省略）の角度が変化する。

　図４および図５に示すように、シャフト２６の下端には、レールホルダ２５が取り付けられる。レールホルダ２５は、シャフト２６の中心を回転軸として、回転可能な状態で取り付けられる。図４に示すように、シャフト２７の下端には、レールホルダ２４が取り付けられる。レールホルダ２４は、シャフト２７の中心を回転軸として、回転可能な状態で取り付けられる。レールホルダ２４はレール１３Ａを覆うように配置され、レールホルダ２５はレール１３Ｂを覆うように配置される。

　リンク２０は、上記の構造を備えるので、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が変化すると、その変化に追従して上段側リンクプレート２２および下段側リンクプレート２３が回転する。この結果、隣り合うリンク２０のピッチは、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離に対応して変化する。なお、隣り合うリンク２０のピッチは、回転可能に構成された部分の頂点、言い換えれば、シャフト２６の中心を基準として規定することができる。すなわち、隣り合うリンク２０のピッチとは、互いに隣り合うリンク２０のそれぞれが備えるシャフト２６の中心間距離として規定される。

　＜リンクの交換方法＞
　次に、図２に示す延伸装置５が備える複数のリンク２０の交換方法について説明する。図６は、本実施の形態の延伸装置のリンクの交換方法の工程フローの概要を示すフロー図である。以下では、図６に示すフローに沿ってリンクの交換方法を順に説明する。

　図２～図５を用いて説明した延伸措置５は、膜８（図２参照）を把持するクリップ２１（図３～５参照）が固定されたリンク２０を供える。リンクピッチが可変な状態で連結された複数のリンク２０を環状に駆動することにより、膜８を互いに交差する２方向に同時に延伸させることができる。延伸装置５を安定的に稼働させるためには、延伸装置５の構成部品の定期的なメンテナンスが必要である。特に、リンク２０は可動部を多く含みリンク２０の可動部が適切に動作することが、延伸された膜８の品質に強く影響する。また、リンク２０は、熱処理部１２の庫内を通過することで繰り返し加熱されるので、消耗部品の交換等が必要不可欠である。このため、延伸装置５の安定稼働の観点から、多数のリンク２０を定期的に交換し、リンク２０が設計通りに動作する状態を維持する必要がある。

　ところが、一台の延伸装置５が備えるリンク２０の数は、１０００個を超える。例えば、図２に示すリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれが７００個～８００個程度のリンク２０を有している。このため、リンク２０を一個ずつ交換していては、作業時間がかかりすぎる。したがって、作業効率を向上させるためには、複数個のリンク２０を一括で交換することが好ましい。

　例えば、以下で説明する実施の形態では、互いに連結された１０個（１０山と呼ぶ場合もある）のリンク２０を１グループとして、グループ毎に交換作業を行う方法について説明する。１０個のリンク２０が連結された一つのグループの重量は、約４０ｋｇである。このため、作業性と作業時間との関係を勘案して、一つのグループに含まれるリンク２０の数を１０個とした。ただし、一つのグループに含まれるグループの数は厳密に１０個に限定されない。交換作業の作業性が損なわれない範囲であれば、リンク２０の数は１０個より多くてもよい。また、例えば一つのグループが１０個より少ない数のリンク２０により構成される場合でも、１個ずつ交換するよりは作業時間を短縮できる。

　（カバー取り外し工程）
　まず、図６に示すカバー取り外し工程として、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれを覆うカバーのうち、リンク交換作業の作業領域であるリンク交換領域（第１領域）４０（図２参照）を覆う部分のカバーを取り外し、リンク交換領域４０の複数のリンク２０を露出させる。図２では図示を省略したが、複数のリンク２０のそれぞれは、膜８の入口側８Ａおよび出口側８Ｂのそれぞれにおいて、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのカバーに覆われている。

　本実施の形態の場合、リンク交換領域４０は、熱処理部１２の外部で、かつ、出口側８Ｂのリターン側に設けられている。また、リンク交換領域４０は、出口側８Ｂのリターン側において、スプロケット３４と熱処理部１２との間に設けられている。本実施の形態に対応する検討例として、本願発明者は、図２に示す入口側８Ａの膜側にある領域４１において、リンク交換作業を行う方法について検討した。領域４１の場合、リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの離間距離が小さく、かつ、図１に示す延伸装置５に膜８を供給するための装置が配置されるため、作業スペースの確保が困難である。例えば、図２に示すように、リンク装置１０Ａとリンク装置１０Ｂとの離間距離は、膜８の入口側８Ａの方が膜８の出口側８Ｂより小さい。仮に、交換作業ができたとしても、限られたスペースで作業を行う必要があるので、作業効率が低い。

　一方、本実施の形態によるリンク交換領域４０は、リターン側に配置されているので、領域４１と比較して、リンク交換作業を行う際の他の装置との干渉が少ない。このため、広い作業スペースを確保することができる。例えば、互いに連結された１０個のリンク２０を一括して交換する場合、使用済のリンク２０の取出しや交換用のリンク２０の搬入のために広いスペースがある方が好ましい。本実施の形態によれば、使用済、あるいは交換用のリンク２０の取り回しの自由度が高いので、効率的に作業を行うことができる。

　（連結解除工程）
　次に、図６に示す連結解除工程として、図７に示すように、リンク交換領域４０において、互いに連結される複数のリンク２０のうちの一部の連結状態を解除する。図７は、図２に示すリンク交換領域において、複数のリンクのうちの一部の連結を解除した状態を示す平面図である。なお、図２に示すリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのうち、図７ではリンク装置１０Ａ（図２参照）のリンク交換領域４０の拡大図を例示的に示している。リンク装置１０Ｂのリンク交換領域４０での作業については、リンク装置１０Ａのリンク交換領域４０での作業と同様なので、図示は省略する。なお、リンクの交換方法の説明に関する図６に示す各工程のそれぞれにおいて、同様に、リンク装置１０Ａにおける交換作業を例示的に説明する。

　複数のリンク２０のそれぞれは、シャフト２７を介して連結され、シャフト２７の上端部にピン２８を挿入することにより連結部が固定されている。本工程では、１０個のリンク２０により構成される取出し用リンク群２０Ｇ１のうち、進行方向の先頭に位置するリンク２０Ａ、および進行方向の最後に位置するリンク２０Ｂのピン２８をシャフト２７から取り外す。次に、先頭のリンク２０Ａの上段側リンクプレート２２（図４参照）を、進行方向の前方のリンク２０Ｃの下段側リンクプレート２３（図４参照）に挿入されるシャフト２７から取り外す。これにより、取出し用リンク群２０Ｇ１は、進行方向の前方にあるリンク２０Ｃから分離される。また、取出し用リンク群２０Ｇ１よりも後方にあるリンク２０Ｄの上段側リンクプレート２２を、進行方向の最後のリンク２０Ｂの下段側リンクプレート２３に挿入されるシャフト２７から取り外す。これにより、取出し用リンク群２０Ｇ１は、進行方向の後方にあるリンク２０Ｄから分離される。

　（搬出工程）
　次に、図６に示す搬出工程として、図８に示すように、結束された取出し用リンク群２０Ｇ１をレール上から外部に搬出する。図８は、図７に示す取出し用リンク群を結束し、レール上から搬出する様子を模式的に示す平面図である。

　本工程では、まず、取出し用リンク群２０Ｇ１を紐などからなるバンド４２により、結束する。図８では、２本のバンド４２により結束する例を示しているが、結束方法には種々の変形例が適用できる。上記したように複数のリンク２０はリンクピッチが自在に変更可能な状態で連結されている。このため、結束されていない状態で取出し用リンク群２０Ｇ１をレールから外すと、重力のバランスにより、個々のリンク２０が自由に開閉してしまう。そこで、本実施の形態では、取出し用リンク群２０Ｇ１を結束することで、搬送中のリンク２０の開閉動作を制限している。

　取出し用リンク群２０Ｇ１を結束する場合、図３に示す上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３との成す角θ１の角度が最も小さくなっていることが好ましい。言い換えれば、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が全ての領域の中で最大になっていることが好ましい。角θ１の角度が最も小さい時、リンク２０の上段側リンクプレート２２と下段側リンクプレート２３とは閉じた状態である。この場合、レール１３Ａおよび１３Ｂ上で結束作業を行っても、複数のリンク２０をきつく締めることができる。この結果、取出し用リンク群２０Ｇ１の開閉動作の自由度を制限した状態で、搬出することができる。

　本実施の形態の場合、図２に示す一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのリターン側において、リンク調整機構として機能するスプロケット３４と熱処理部１２との間にあるリンク交換領域（第１領域）４０におけるレール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離は、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂの全体のなかで最も大きい。詳しくは、リンク交換領域４０におけるレール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離は、膜側において、スプロケット３３と熱処理部１２との間にある領域（第２領域）４１におけるレール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離と等しい。リンク交換領域４０および領域４１のそれぞれは、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂの各領域のうち、隣り合うリンク２０のピッチが最も小さくなるように設計された領域である。

　その後、図８に矢印を付して模式的に示すように、結束された取出し用リンク群２０Ｇ１を、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂ（図２参照）の外部に搬出する。図８では図示を省略したが、取出し用リンク群２０Ｇ１をレール１３Ａおよび１３Ｂ上から持ち上げる場合には、例えばチェーンブロックなどの図示しない搬送装置を用いてもよい。上記したように、本実施の形態のリンク交換領域４０の周辺には、広い作業スペースが確保できるので、大型の搬送装置であっても利用することができる。

　搬出された取出し用リンク群２０Ｇ１は、損耗状態の検査に供され、必要に応じて分解され、修理または部品交換される。

　ところで、領域４１において、リンク２０の交換作業を行う場合、図２に示すスプロケット３４およびリンク交換領域４０は不要である。この場合、リンク装置１０Ａおよび１０Ｂのリターン側では、リンクピッチを小さくするための機構は設けられず、リンクピッチが広い状態で膜８の入口側８Ａ連結されたリンク２０を駆動すればよい。この場合、本実施の形態と比較してリンク２０の総数を削減できる。しかし、領域４１には各種の装置が密集して配置されているため、図８に示す取出し用リンク群２０Ｇ１の搬出作業を行うスペースは確保困難である。このため、本実施の形態では、リンク２０の総数は増加するが、作業効率を向上させることができるので、リターン側で、かつ、膜８の出口側８Ｂにリンク交換領域４０を設けている。これにより、交換するリンク２０の総数は増加したとしても、結果的に交換作業の効率は向上する。

　また、リターン側であっても、膜８の入口側８Ａにリンク交換領域４０を設けることは以下の課題が生じる。すなわち、リンクピッチが小さい状態では、スプロケット３１を用いてリンク２０をリターン側から膜側に駆動することが難しい。このため、膜８の入口側８Ａにリンク交換領域４０を設けるためには、リンク交換領域４０とスプロケット３１との間に、リンクピッチを広げるための機構（例えば図示しない別のスプロケット、あるいはレールを引き回すスペース等）がさらに必要になる。

　一方、図２に示すように、リンク交換領域４０が膜８の出口側８Ｂに設けられている場合、出口側８Ｂから入口側８Ａまでリンク２０を搬送する経路中で、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離を小さくすることでリンクピッチを大きくすることができる。したがって、延伸装置５の大型化を抑制しつつ、かつ、リンクの交換作業を効率的に実施できる作業スペースを確保可能な場所である出口側８Ｂのリターン側は、リンク交換領域４０として最適な場所であると考えられる。

　（搬入工程）
　次に、図６に示す搬入工程として、図９に示すように、結束された交換用リンク群２０Ｇ２をレール上から外部から搬入し、リンク装置のレール１３Ａおよび１３Ｂ上に配置する。図９は、図８に示すリンク交換領域のレール上に交換用リンク群を搬入する様子を模式的に示す平面図である。

　本工程で搬入される交換用リンク群２０Ｇ２は、図８を用いて説明した搬出工程で搬出される取出し用リンク群２０Ｇ１と同じ１０個のリンク２０から成る。交換用リンク群２０Ｇ２は、紐などからなるバンド４２により、結束されている。結束方法には種々の変形例が適用できることは、図８を用いて説明した搬出工程と同様である。交換用リンク群２０Ｇ２の場合、搬送中の開閉動作を制限する他、交換用リンク群２０Ｇ２とレール１３Ａおよび１３Ｂとの位置合わせを容易に行うため、結束されている必要がある。

　図４および図５を用いて説明したように、複数のリンク２０のそれぞれは、レールホルダ２４および２５を備える。レールホルダ２４はレール１３Ａを挟むように配置され、レールホルダ２５は、レール１３Ｂを挟むように配置される。本実施の形態の場合、１０個のリンク２０を一括してレール１３Ａおよび１３Ｂ上に搭載する。このため、レールホルダ２４および２５と、レール１３Ａおよび１３Ｂとの位置合わせを容易に実施するためには、リンク交換領域４０では、レール１３Ａとレール１３Ｂとが平行に延び、かつ、１０個のリンク２０の開閉状態が揃え易いことが好ましい。１０個のリンク２０の開閉状態が揃え易いのは、図３に示す各θ１が最も小さい場合である。

　そこで、本実施の形態では、複数のリンク２０が予め結束された状態の交換用リンク群２０Ｇ２を準備して、結束された状態でレール１３Ａおよび１３Ｂ上に搭載する。リンク交換領域４０では、上記したように、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離はリンク装置１０Ａおよび１０Ｂの各領域のなかで最大になっている。このため、結束された状態の交換用リンク群２０Ｇ２のレールホルダ２４および２５と、レール１３Ａおよび１３Ｂとは、容易に位置合わせすることができる。

　なお、上記したレールホルダ２４および２５と、レール１３Ａおよび１３Ｂとの位置合わせのみを考慮した場合、図３に示す各θ１の角度が最も大きい状態、言い換えれば、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が最も小さい状態、さらに言い得れば、複数のリンク２０のそれぞれが最大に開いた状態でも位置合わせ可能である。ただし、複数のリンク２０が最大に開いた状態では、交換用リンク群２０Ｇ２の長さが長大化するので、その状態で１０個のリンク２０を結束することは困難である。したがって、本実施の形態のように、複数のリンク２０が最も閉じた状態で搬入することが特に好ましい。

　（連結工程）
　次に、図６に示す連結工程として、図１０に示すように、交換用リンク群２０Ｇ２の結束を解き、交換用リンク群２０Ｇ２のうち、進行方向の先頭に位置するリンク２０Ａと、リンク２０Ａの前方に位置するリンク２０Ｃとを連結する。図１０は、図９に示す交換用リンク群のバンドを取り外し、前方のリンクと連結した状態を示す平面図である。

　本工程では、１０個のリンク２０により構成される交換用リンク群２０Ｇ２のうち、進行方向の先頭に位置するリンク２０Ａ、の上段側リンクプレート２２（図４参照）に形成された貫通孔に、進行方向の前方のリンク２０Ｃの下段側リンクプレート２３（図４参照）に挿入されるシャフト２７を挿入する。続いて、上段側リンクプレート２２の貫通孔上からシャフト２７が抜けることを防ぐワッシャー板を挿入し、シャフト２７の状端部にピン２８を差し込んで固定する。これにより、交換用リンク群２０Ｇ２は、進行方向の前方にあるリンク２０Ｃに連結される。

　なお、図６に示すように、本実施の形態では、連結解除工程から送り出し工程までを繰り返し実行する。このため、全てのリンク２０の交換が完了するまでは、連結工程において、進行方向の最後に位置するリンク２０Ｂと進行方向の後方にあるリンク２０Ｄとは連結しない。全てのリンク２０が交換された時には、１０個のリンク２０により構成される交換用リンク群２０Ｇ２のうち、進行方向の最後に位置するリンク２０Ｂ、の下段側リンクプレート２３（図４参照）に挿入されたシャフト２７に、進行方向の後方のリンク２０Ｄの上段側リンクプレート２２（図４参照）に形成された貫通孔を挿入する。続いて、上段側リンクプレート２２の貫通孔上からシャフト２７が抜けることを防ぐワッシャー板を挿入し、シャフト２７の状端部にピン２８を差し込んで固定する。これにより、交換用リンク群２０Ｇ２は、進行方向の後方にあるリンク２０Ｄに連結される。

　（送り出し工程）
　次に、図６に示す送り出し工程として、図１０に示す交換用リンク群２０Ｇ２を図２に示す熱処理部１２側に向かって送り出し、新たな取出し用リンク群２０Ｇ１（図７参照）がリンク交換領域４０に押し出されるように、複数のリンク２０を駆動する。図１０に示す例の場合、交換用リンク群２０Ｇ２の後方に位置するリンク２０が、次の取出し用リンク群２０Ｇ１の進行方向の先頭に位置するリンク２０Ａになる。

　送り出し工程で、複数のリンク２０を送り出す方法として、例えば、手動で送り出す方向がある。また、別の方法として、図２に示すスプロケット３１～３４のそれぞれを駆動することにより、複数のリンク２０を送り出すことができる。

　送り出し工程の後、図６に示すように、連結解除工程から送り出し工程までを繰り返し実施する。これにより図２に示すリンク装置１０Ａおよび１０Ｂが備える全てのリンク２０が交換されたら交換完了になる。

　＜リンク駆動の詳細＞
　次に、リンク駆動機構としてのスプロケット３２と、リンク調整機構としてのスプロケット３４とのそれぞれの詳細について説明する。図１１は、図２に示す一対のリンク装置の一方の出口側の拡大平面図である。なお、図２に示す入口側８Ａに配置されるスプロケット３１は、出口側８Ｂのスプロケット３２に対応し、スプロケット３３はスプロケット３４に対応する。スプロケット３１および３３は、スプロケット３２および３４と同様の構造を備え、同様の動作をするので、図示は省略し、必要に応じて図２を用いて説明する。

　図２に示すように、本実施の形態の延伸装置５では、リンク駆動機構およびリンク調整機構として、スプロケット３１～３４を用いている。スプロケット３１～３４は、複数の歯を備える歯車であって、図示しないモータにより駆動される。スプロケット３１～３４はそれぞれ独立してモータに駆動される場合もあるが、一部のスプロケットは、一つのモータが兼用されてもよい。例えば、図１１に示す出口側８Ｂでは、スプロケット３２および３４を一つのモータで駆動する場合もあるし、スプロケット３２および３４を互いに異なるモータで独立して駆動する場合もある。スプロケット３２および３４を一つのモータで駆動する場合には、各スプロケットの回転を同期させ易い。一方、スプロケット３２および３４を互いに異なるモータで独立して駆動する場合、各スプロケットの回転速度を個別に制御できるので調整マージンが大きい。

　図２に示すリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのリンク駆動機構としてのスプロケット３１およびスプロケット３２は、膜８の搬送速度を規定する。スプロケット３１は、一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂのそれぞれのリターン側から膜側に向かって複数のリンク２０を送り出すように回転する。スプロケット３２は、一対のリンク装置１０Ａおよび１０Ｂそれぞれの膜側からリターン側に向かって複数のリンク２０を送り出すように回転する。スプロケット３１および３２は、互いに同じ構造になっている。詳しくは、スプロケット３１および３２は、回転径（回転の中心から歯の先端までの距離）および歯数が互いに同じである。また、スプロケット３１および３２は、同じ回転速度で回転する。

　また、複数のリンク２０のピッチを小さくするためのリンク調整機構として機能するスプロケット３４は、図１１に示す出口側８Ｂにおいて、複数のリンク２０のピッチが小さくなるように回転する回転体である。

　上記したように、隣り合うリンク２０のピッチは、互いに対向するレール１３Ａおよび１３Ｂの離間距離を広げることにより、小さくできる。ただし、一対のレールの離間距離を急激に変化させた場合、リンク２０がレール上をスムーズに移動しない場合があり、リンク２０の一部がレール上の一部で詰まる等のトラブルの原因になる。このため、本実施の形態のように、リンクピッチの調整を補助する回転体（スプロケット３４）を利用しない場合には、スプロケット３２とリンク交換領域４０との間に長い距離を取って徐々にリンクピッチを小さくする必要がある。

　一方、本実施の形態のように、スプロケット３４を用いる場合、スプロケット３４は、膜８（図２参照）の出口側８Ｂから膜８の入口側８Ａ（図２参照）に向かって複数のリンク２０を送り出すように回転する。スプロケット３４は、スプロケット３２の回転速度よりも遅い回転速度で回転する。また、図１１に示すように、スプロケット３４の歯数は、スプロケット３２の歯数より多い。図１１に示す例では、スプロケット３４の歯数は、スプロケット３２の歯数の約５倍である。搬送中の複数のリンク２０のそれぞれが備える係合部２９（図３および図４参照）は、スプロケット３４の歯の間の窪みに係合される。この領域では、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が急激に大きくなる。この時、内側に配置されるレール１３Ａは外側に配置されるレール１３Ｂよりも回転半径が小さいので、リンク２０の内側の部分（図３および図４に示すレールホルダ２４の周辺）において、レールホルダ２４が詰まり易い。

　ここで、本実施の形態の場合、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が急激に大きくなる領域にリンクピッチを小さくするためのスプロケット３４が配置されている。スプロケット３４は、リンク２０の係合部２９を強制的に前方に送り出す。また、スプロケット３４がリンク２０を前方に送り出す速度は、スプロケット３４の回転速度により制御されている。このため、複数のリンク２０のそれぞれは、レール１３Ａ上において詰まりを生じることなく、スムーズに前方（入口側）に向かって駆動される。また、レール１３Ｂを挟むレールホルダ２５（図４参照）は、レールホルダ２４が減速したことに追従して徐々に減速する。そして、リンク交換領域４０に到達する前に、リンク２０を閉じる（言い換えれば、図３に示す各θ１の角度を最小値にする）ことができる。

　上記したように、スプロケット３４は、一対のレールの離間距離を変化させることによるリンクピッチの調整機能を補助する。この結果、図１１に示すように、スプロケット３４に接触した部分において、リンクピッチを急激に小さくした場合でも、詰まることなくリンク２０を駆動することができる。

　また、スプロケット３４の回転径（回転の中心から歯の先端までの距離）は、スプロケット３２の回転径と等しい。このため、スプロケット３２および３４の回転速度の比は、スプロケット３２および３４の歯数の比に反比例する。例えば、図１１に示す例では、スプロケット３２の歯数は、スプロケット３４の歯数の１／５なので、スプロケット３２の回転速度は、スプロケット３４の回転速度の５倍である。

　また、拡大図による図示は省略するが、図２に示すスプロケット３３の歯数は、スプロケット３４の歯数と等しい。また、スプロケット３３の回転径および回転速度は、スプロケット３４の回転径および回転速度と等しい。

　＜リンク調整機構の変形例＞
　次に、リンク調整機構の変形例について説明する。図１２は、図１１に示すリンク調整機構の変形例を示す拡大平面図である。図１２に示す変形例の延伸装置５Ａは、複数のリンク２０のリンクピッチを小さくするためのリンク調整機構として、スクリュー（リンク調整機構）３５を用いている点で、図２に示す延伸装置５と相違する。

　スクリュー３５は、レール１３Ａに沿って延びるシャフト３５Ａと、シャフト３５Ａの周囲に設けられた複数の羽３５Ｂを備える。スクリュー３５は、シャフト３５Ａの中心を回転軸として回転する回転体である。スクリュー３５が回転すると、回転軸に対して傾斜するように取り付けられた複数の羽３５Ｂが回転する。スクリュー３５が回転すると、隣り合う羽３５Ｂの間の溝にリンク２０の係合部２９（図３および図４参照）が係合される。スクリュー３５は、膜８（図２参照）の出口側８Ｂから膜８の入口側８Ａ（図２参照）に向かって複数のリンク２０を送り出すように回転する。

　スクリュー３５は、スプロケット３２の回転速度よりも遅い回転速度で回転する。搬送中の複数のリンク２０のそれぞれが備える係合部２９は、隣り合う羽３５Ｂの間の溝に係合される。また、図１２に示すように、スクリュー３５の複数の羽３５Ｂは、シャフト３５Ａの延在方向において、係合部２９（図３および図４参照）のピッチが徐々に小さくなるように取り付けられている。本変形例の場合も、この領域では、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が急激に大きくなる。この時、内側に配置されるレール１３Ａは外側に配置されるレール１３Ｂよりも回転半径が小さいので、リンク２０の内側の部分（図３および図４に示すレールホルダ２４の周辺）において、レールホルダ２４が詰まり易い。

　本変形例の場合、レール１３Ａとレール１３Ｂとの離間距離が急激に大きくなる領域にリンクピッチを小さくするためのスクリュー３５が配置されている。スクリュー３５は、リンク２０の係合部２９を強制的に前方に送り出す。また、スクリュー３５がリンク２０を前方に送り出す速度は、スクリュー３５の回転速度により制御されている。このため、複数のリンク２０のそれぞれは、レール１３Ａ上において詰まりを生じることなく、スムーズに前方（入口側）に向かって駆動される。また、レール１３Ｂを挟むレールホルダ２５（図４参照）は、レールホルダ２４（図４参照）が減速したことに追従して徐々に減速する。そして、リンク交換領域４０に到達する前に、リンク２０を閉じる（言い換えれば、図３に示す各θ１の角度を最小値にする）ことができる。

　上記したように、スクリュー３５は、一対のレールの離間距離を変化させることによるリンクピッチの調整機能を補助する。この結果、図１１に示すように、スクリュー３５に接触した部分において、リンクピッチを急激に小さくした場合でも、詰まることなくリンク２０を駆動することができる。

　図１１と図１２を比較して判るように、本変形例の延伸装置５Ａの場合、膜８（図２参照）の出口側８Ｂにおける装置の専有面積をさらに小さくすることができる。また、レール１３Ａおよび１３Ｂの総延長距離が図１１に示す例と比較して短くなる。この結果、必要なリンク２０の総数を低減することができる。

　図１２に示す延伸装置５Ａは、上記した相違点を除き、図１～図１１を用いて説明した延伸装置５と同様である。このため重複する説明については省略する。

　以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態および実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態または実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

　例えば、上記実施の形態では、延伸装置が備えるリンク２０の総数や、１０個のリンク２０の重量、あるいは、スプロケットの回転速度の比など、を例示的に説明した。しかし、説明した発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、各数値は、言及した数値に限定されない。

１　薄膜製造システム
２　混練押し出し装置（二軸混練押し出し装置）
２Ａ　原料供給部
３　Ｔダイ
４　原反冷却装置
５，５Ａ　延伸装置（同時二軸延伸装置）
６　引き取り装置
７　巻き取り装置
８　膜
８Ａ　入口側（入口部）
８Ｂ　出口側（出口部）
１０Ａ，１０Ｂ　リンク装置
１１　中央部
１２　熱処理部
１３Ａ，１３Ｂ　レール
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ　リンク
２０Ｇ１　取出し用リンク群
２０Ｇ２　交換用リンク群
２１　クリップ
２１Ａ　バネ
２１Ｂ　把持部
２２　上段側リンクプレート
２３　下段側リンクプレート
２４，２５　レールホルダ
２６　シャフト
２７　シャフト
２８　ピン
２９　係合部
３１，３２，３３，３４　スプロケット
３５　スクリュー
３５Ａ　シャフト
３５Ｂ　羽
４０　リンク交換領域（第１領域）
４１　領域（第２領域）
４２　バンド
Ｆ１　膜（シート、樹脂膜）
θ１　角

Claims

　以下を含む、膜の延伸装置：
　前記膜の搬送および延伸可能な、複数のリンクが無端チェーンを構成するように連結された一対のリンク装置；
　前記一対のリンク装置の中央部を覆う、前記膜に熱処理を行うための熱処理部；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の入口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第1のリンク駆動機構；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第２のリンク駆動機構；および
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクのピッチを小さくするためのリンク調整機構。
　請求項１において、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、前記膜と対向する膜側と、前記膜側の反対に位置するリターン側と、を備え、
　前記膜の搬送方向において、前記リンク調整機構は、前記第２のリンク駆動機構と前記リンク装置の中央部との間で、かつ、前記リターン側にある、延伸装置。
　請求項２において、
　前記第１のリンク駆動機構は、前記一対のリンク装置それぞれの前記リターン側から前記膜側に向かって前記複数のリンクを送り出すように回転する第１スプロケットを備え、
　前記第２のリンク駆動機構は、前記一対のリンク装置それぞれの前記膜側から前記リターン側に向かって前記複数のリンクを送り出すように回転する第２スプロケットを備え、
　前記リンク調整機構は、前記リターン側において、前記複数のリンクのピッチが小さくなるように回転する回転体を備え、
　前記回転体の回転速度は、前記第２スプロケットの回転速度より遅い、延伸装置。
　請求項３において、
　前記リンク調整機構は、前記回転体であり、かつ、前記膜の出口側から前記膜の入口側に向かって前記複数のリンクを送り出すように回転する第３スプロケットを備え、
　前記第３スプロケットの歯数は、前記第２スプロケットの歯数より多い、延伸装置。
　請求項４において、
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の入口側に配置された、前記複数のリンクのピッチを小さくするための第４スプロケット、をさらに有し、
　前記第１スプロケットの歯数は、前記第２スプロケットの歯数と等しく、
　前記第３スプロケットの歯数は、前記第４スプロケットの歯数と等しい、延伸装置。
　請求項５において、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、内側レールおよび外側レールから成る一対のレールを有し、
　前記複数のリンクのそれぞれは、前記一対のレール上に配置され、
　前記内側レールおよび前記外側レールのそれぞれは、前記膜の入口側、前記熱処理部、および出口側に亘って、環状に形成され、
　前記第１、第２、第３、および第４スプロケットのそれぞれは、前記内側レールのさらに内側に配置され、
　前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、前記一対のレールが配置される領域毎に互いに異なり、
　前記一対のリンク装置の前記リターン側において、前記第３スプロケットと前記熱処理部との間にある第１領域における前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、前記一対のリンク装置の前記膜側において、前記第４スプロケットと前記熱処理部との間にある第２領域における前記内側レールと前記外側レールとの離間距離と等しい、延伸装置。
　請求項１において、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、前記膜と対向する膜側と、前記膜側の反対に位置するリターン側と、を備え、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、内側レールおよび外側レールから成る一対のレールを有し、
　前記複数のリンクのそれぞれは、前記一対のレール上に配置され、
　前記内側レールおよび前記外側レールのそれぞれは、前記膜の入口側、前記熱処理部、および出口側に亘って、環状に形成され、
　前記第１のリンク駆動機構、第２のリンク駆動機構、および前記リンク調整機構のそれぞれは、前記内側レールのさらに内側に配置され、
　前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、前記内側レールおよび前記外側レールが配置される領域毎に互いに異なり、
　前記一対のリンク装置の前記リターン側において、前記リンク調整機構と前記熱処理部との間にある第１領域における前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、全ての領域のなかで最も大きい、延伸装置。
　請求項１において、
　前記一対のリンク装置の離間距離は、前記膜の入口側の方が、前記膜の出口側より小さい、延伸装置。
　請求項３において、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、内側レールおよび外側レールから成る一対のレールを有し、
　前記複数のリンクのそれぞれは、前記一対のレール上に配置され、
　前記リンク調整機構は、前記回転体であり、かつ、前記膜の出口側から前記膜の入口側に向かって前記複数のリンクを送り出すように回転するスクリューを備え、
　前記スクリューは、
　内側レールに沿って延びるシャフトと、
　前記シャフトの周囲に設けられた複数の羽と、
　を備える、延伸装置。
　以下の工程を有する、延伸装置の部品交換方法：
　（ａ）延伸装置を準備する工程；
　ここで、前記延伸装置は、以下を含む：
　膜の搬送および延伸可能な、複数のリンクが無端チェーンを構成するように連結された一対のリンク装置；
　前記一対のリンク装置の中央部を覆う、前記膜に熱処理を行うための熱処理部；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の入口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第1のリンク駆動機構；
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクを駆動するための第２のリンク駆動機構；および
　前記熱処理部の外部であって、前記膜の出口側に配置された、前記複数のリンクのピッチを小さくするためのリンク調整機構、
　（ｂ）前記一対のリンク装置のそれぞれの前記膜の出口側にあるリンク交換領域において、前記複数のリンクに含まれる複数個のリンクから成る取出し用リンク群を結束し、前記一対のリンク装置の前記リンク交換領域から搬出する工程；
　（ｃ）前記（ｂ）工程の後、前記リンク交換領域において、前記取出し用リンク群と同じ個数のリンクから成る交換用リンク群が結束された状態で、前記リンク交換領域にある一対のレール上に配置する工程；
　（ｄ）前記（ｃ）工程の後、前記交換用リンク群を前記熱処理部側に向かって送り出し、新たな取出し用リンク群が前記リンク交換領域に押し出されるように前記複数のリンクを駆動する工程；
　（ｅ）前記（ｂ）工程、（ｃ）工程、および前記（ｄ）工程を繰り返し実施して、前記一対のリンク装置のそれぞれが備える全てのリンクを交換する工程。
　請求項１０において、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、前記膜と対向する膜側と、前記膜側の反対に位置するリターン側と、を備え、
　前記一対のリンク装置のそれぞれは、内側レールおよび外側レールから成る一対のレールを有し、
　前記複数のリンクのそれぞれは、前記一対のレール上に配置され、
　前記内側レールおよび前記外側レールのそれぞれは、前記膜の入口側、前記熱処理部、および出口側に亘って、環状に形成され、
　前記第１のリンク駆動機構、第２のリンク駆動機構、および前記リンク調整機構のそれぞれは、前記内側レールのさらに内側に配置され、
　前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、前記内側レールおよび前記外側レールが配置される領域毎に互いに異なり、
　前記一対のリンク装置の前記リターン側において、前記リンク調整機構と前記熱処理部との間にある第１領域における前記内側レールと前記外側レールとの離間距離は、全ての領域のなかで最も大きい、延伸装置の部品交換方法。