WO2020153874A1 - Apparatus for the continuous axially symmetric induction heating of spherical articles - Google Patents
Apparatus for the continuous axially symmetric induction heating of spherical articles Download PDFInfo
- Publication number
- WO2020153874A1 WO2020153874A1 PCT/RU2019/050223 RU2019050223W WO2020153874A1 WO 2020153874 A1 WO2020153874 A1 WO 2020153874A1 RU 2019050223 W RU2019050223 W RU 2019050223W WO 2020153874 A1 WO2020153874 A1 WO 2020153874A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- induction heating
- spherical articles
- inductors
- feeder
- spherical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/06—Surface hardening
- C21D1/09—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
- C21D1/10—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation by electric induction
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/36—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for balls; for rollers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Definitions
- the invention relates to equipment for thermal surface hardening of spherical products, in particular, in mass production of grinding bodies, rolling bearing balls and valves in hydraulic systems.
- a known design of an installation for heating spherical products (patent RU 2370550, 20.10.2009), containing an inductive wire wound around a rectangular guide channel of a trough-shaped section, bent into a shaped spiral with variable curvature of turns, geometrically inscribed in the surface of truncated cones or a single-sheet hyperboloid , or barrel-shaped, or into other surfaces of the second order.
- This installation allows for in-line induction heating of spherical products, symmetrical over the surface of the product.
- the disadvantages of the installation are the complexity of manufacturing the guide chute, large overall dimensions and the ability to operate the installation only with products of the same standard size.
- the indicated design of the inductor does not allow maintaining the specified heating depth due to the impossibility of providing a different frequency of current for spherical items with different temperatures that change at the time of hardening.
- the required frequency of the inductor current / is determined by the surface effect and depends on the given depth of heating of the product D 3 , as well as on the relative magnetic permeability of the product m 3 and the specific electrical resistance of the product p s :
- the disadvantages of the design are the complexity of manufacturing a transport tube with an inner spiral guide made of a heat-resistant dielectric material and low efficiency due to large leakage fluxes with this design of the inductor.
- the technical objective of the present invention is to create an installation for in-line induction heating of spherical articles, providing symmetrical heating of the surface of the article to a given depth, having a high efficiency and allowing the use of typical tubes made of heat-resistant dielectric material.
- the installation for in-line induction heating of spherical products contains a feed hopper, a discrete-acting sub-hopper feeder that sets the chute from the feeder to the inductor, support frames with racks equipped with articulated joints and screw jacks, cylindrical inductors, inside of which there is a transporting tube made of a heat-resistant dielectric material, an electric drive for rotating the transporting tube around the axis of symmetry, power converters feeding cylindrical inductors, support bearings holding the transporting tube.
- the installation works as follows. From the supply hopper 1, spherical blanks are dispensed by a discrete-acting sub-hopper feeder 2 into the master chute 3, which transports them at intervals into the transport tube 6, around which placed cylindrical inductors 5. The transporting tube 6 is driven into rotation by an electric drive 7. The transporting tube is tilted due to the difference in the heights of the front and rear struts of the support frame 4, forming an angle of inclination a of the tube to the horizontal axis.
- Height difference adjustment is carried out by screw jacks in each rack.
- the rotation of the tube ensures uniform interaction of the surfaces of the blanks with the magnetic flux in the inductors, ensuring their symmetrical heating. Due to the presence of a plurality of inductors powered by separate power converters, it is possible to set a different frequency of the current in each inductor depending on the temperature of the workpieces passing through it, thereby maintaining, according to (1), a predetermined heating depth.
- Adjusting the angle of inclination a of the tube to the horizontal axis makes it possible to change the rolling time of the spherical blanks along the conveying tube, thereby changing the heating time, which, in turn, allows heating the spherical blanks of different diameters.
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- General Induction Heating (AREA)
Abstract
The invention relates to equipment for the thermal surface hardening of spherical articles, in particular in the mass production of grinding bodies and balls for rolling bearings and for valves of hydraulic systems. An apparatus for the continuous induction heating of spherical articles comprises a dispensing hopper, an intermittent feeder disposed beneath the hopper, a feed chute from the feeder to an inductor, support frames with posts provided with hinged joints and screw jacks, cylindrical inductors having a transport pipe arranged thereinside which is made of a heat-proof dielectric material, an electric drive for rotating the transport pipe about its axis of symmetry, power converters for powering the cylindrical inductors, and support bearings for supporting the transport pipe. The technical result of the invention is the creation of an apparatus for the continuous induction heating of spherical articles which provides symmetrical heating of the surface of an article to a given depth.
Description
УСТАНОВКА ДЛЯ ПОТОЧНОГО ИНДУКЦИОННОГО ОСЕСИММЕТРИЧНОГО НАГРЕВА ИЗДЕЛИЙ ШАРООБРАЗНОЙ ФОРМЫ INSTALLATION FOR FLOW INDUCTION AXISYMMETRIC HEATING OF PRODUCTS OF BALL SHAPE
Изобретение относится к оборудованию для термической поверхностной закалки из- делий шарообразной формы, в частности, в массовых производствах мелющих тел, шариков подшипников качения и клапанов в гидравлических системах. The invention relates to equipment for thermal surface hardening of spherical products, in particular, in mass production of grinding bodies, rolling bearing balls and valves in hydraulic systems.
Известна конструкция установки для нагрева изделий шарообразной формы (патент RU 2370550, 20.10.2009), содержащая индуктирующий провод, навитый вокруг прямоуголь- ного направляющего желоба корытообразного сечения, изогнутого в фасонную спираль с переменной кривизной витков, геометрически вписанную в поверхности усеченных конусов или однополостного гиперболоида, или бочкообразную, или в другие поверхности второго порядка. A known design of an installation for heating spherical products (patent RU 2370550, 20.10.2009), containing an inductive wire wound around a rectangular guide channel of a trough-shaped section, bent into a shaped spiral with variable curvature of turns, geometrically inscribed in the surface of truncated cones or a single-sheet hyperboloid , or barrel-shaped, or into other surfaces of the second order.
Данная установка позволяет осуществлять поточный индукционный нагрев изделий шарообразной формы, симметричный по поверхности изделия. Недостатками установки яв- ляется сложность изготовления направляющего желоба, большие габаритные размеры и возможность работы установки только с изделиями одного типоразмера. This installation allows for in-line induction heating of spherical products, symmetrical over the surface of the product. The disadvantages of the installation are the complexity of manufacturing the guide chute, large overall dimensions and the ability to operate the installation only with products of the same standard size.
Известна конструкция установки для термической поверхностной закалки изделий шарообразной формы (патент JP 2008169430А, 11.01.2007, фиг. 3) содержащая горизон- тальную транспортирующую трубку с внутренней спиральной направляющей, электропри- вод, приводящий во вращение транспортирующую трубку вокруг оси симметрии, вертикаль- ный индуктор, расположенный перпендикулярно транспортирующей трубке. За счет враще- ния шаров при их движении по внутренней спиральной направляющей обеспечивается сим- метричный нагрев поверхности изделия. Known design of an installation for thermal surface hardening of spherical products (patent JP 2008169430A, 11.01.2007, Fig. 3) containing a horizontal conveying tube with an internal spiral guide, an electric drive driving the conveying tube into rotation around the axis of symmetry, vertical an inductor located perpendicular to the transport tube. Due to the rotation of the balls during their movement along the inner spiral guide, symmetrical heating of the product surface is provided.
В то же время указанная конструкция индуктора не позволяет обеспечить поддержание заданной глубины нагрева за счет невозможности обеспечения разной частоты тока для из- делий шарообразной формы с разной температурой, изменяющейся в момент закалки. Тре- буемая частота тока индуктора / определяется поверхностным эффектом и зависит от за- данной глубины нагрева изделия D3 , а также от относительной магнитной проницаемости изделия m3 и удельного электрического сопротивления изделия рз :
At the same time, the indicated design of the inductor does not allow maintaining the specified heating depth due to the impossibility of providing a different frequency of current for spherical items with different temperatures that change at the time of hardening. The required frequency of the inductor current / is determined by the surface effect and depends on the given depth of heating of the product D 3 , as well as on the relative magnetic permeability of the product m 3 and the specific electrical resistance of the product p s :
где m0 = \ · 10 7 Г н/м - магнитная проницаемость вакуума.
Так как в процессе нагрева магнитная проницаемость изделия m3 снижается, а удельное электрическое сопротивление рз растет, то для поддержания заданной глубины нагрева изделия D3 необходимо обеспечивать большую частоту тока индуктора / для за- готовок с большей температурой. where m 0 = \ · 10 7 G n / m - the magnetic permeability of the vacuum. Since in the process of heating the magnetic permeability of the article m 3 decreases, and the specific electrical resistance p z increases, then to maintain a given heating depth of the article D 3 it is necessary to provide a higher frequency of the inductor current / for workpieces with a higher temperature.
Кроме этого недостатками конструкции являются сложность изготовления транспор- тирующей трубки с внутренней спиральной направляющей из жаропрочного диэлектрическо- го материала и низкий КПД из-за больших потоков рассеяния при данной конструкции индук- тора. In addition, the disadvantages of the design are the complexity of manufacturing a transport tube with an inner spiral guide made of a heat-resistant dielectric material and low efficiency due to large leakage fluxes with this design of the inductor.
Технической задачей предлагаемого изобретения является создание установки для поточного индукционного нагрева изделий шарообразной формы, обеспечивающей симмет- ричный нагрев поверхности изделия на заданную глубину, обладающей большим КПД и поз- воляющей применять типовые трубки из жаропрочного диэлектрического материала. The technical objective of the present invention is to create an installation for in-line induction heating of spherical articles, providing symmetrical heating of the surface of the article to a given depth, having a high efficiency and allowing the use of typical tubes made of heat-resistant dielectric material.
Решение поставленной задачи достигается тем, что установка для поточного индук- ционного нагрева изделий шарообразной формы содержит расходный бункер, подбункерный питатель дискретного действия, задающий желоб от питателя к индуктору, опорные рамы со стойками, снабженными шарнирными сочленениями и винтовыми домкратами, цилиндриче- ские индукторы, внутри которых расположена транспортирующая трубка из жаропрочного диэлектрического материала, электропривод для вращения транспортирующей трубки вокруг оси симметрии, силовые преобразователи, питающие цилиндрические индукторы, опорные подшипники, удерживающие транспортирующую трубку. The solution to this problem is achieved by the fact that the installation for in-line induction heating of spherical products contains a feed hopper, a discrete-acting sub-hopper feeder that sets the chute from the feeder to the inductor, support frames with racks equipped with articulated joints and screw jacks, cylindrical inductors, inside of which there is a transporting tube made of a heat-resistant dielectric material, an electric drive for rotating the transporting tube around the axis of symmetry, power converters feeding cylindrical inductors, support bearings holding the transporting tube.
Конструкция предлагаемой установки представлена на фиг. 1 , где: The design of the proposed installation is shown in Fig. 1, where:
1 - расходный бункер; 1 - supply hopper;
2 - подбункерный питатель дискретного действия; 2 - discrete under-hopper feeder;
3 - задающий желоб от питателя к индуктору; 3 - master chute from the feeder to the inductor;
4 - опорные рамы со стойками, снабженными шарнирными сочленениями и винтовы- ми домкратами; 4 - support frames with struts equipped with articulated joints and screw jacks;
5 - цилиндрические индукторы; 5 - cylindrical inductors;
6 - транспортирующая трубка; 6 - transporting tube;
7 - электропривод для вращения транспортирующей трубки; 7 - electric drive for rotation of the transporting tube;
8 - силовые преобразователи индукторов; 8 - power converters of inductors;
9 - опорные подшипники. 9 - support bearings.
Установка работает следующим образом. Из расходного бункера 1 шарообразные за- готовки выдаются подбункерным питателем 2 дискретного действия в задающий желоб 3, транспортирующий их с интервалами в транспортирующую трубку 6, вокруг которой распо-
ложены цилиндрические индукторы 5. Транспортирующая трубка 6 приводится во вращение электроприводом 7. Наклон транспортирующей трубки обеспечивается за счет разницы вы- сот передних и задних стоек опорной рамы 4, образуя угол наклона а трубки к горизонталь- ной оси. The installation works as follows. From the supply hopper 1, spherical blanks are dispensed by a discrete-acting sub-hopper feeder 2 into the master chute 3, which transports them at intervals into the transport tube 6, around which placed cylindrical inductors 5. The transporting tube 6 is driven into rotation by an electric drive 7. The transporting tube is tilted due to the difference in the heights of the front and rear struts of the support frame 4, forming an angle of inclination a of the tube to the horizontal axis.
Регулировка разницы высот осуществляется винтовыми домкратами в каждой стойке. Шарообразные заготовки, скатываясь вниз по транспортирующей трубке, вращаются вокруг горизонтальной оси и одновременно закручиваются вокруг вертикальной оси за счет враще- ния транспортирующей трубки. Вращение трубки обеспечивает равномерное взаимодей- ствие поверхностей заготовок с магнитным потоком в индукторах, обеспечивая их симмет- ричный нагрев. За счет наличия множества индукторов, запитанных от раздельных силовых преобразователей, имеется возможность задавать разную частоту тока в каждом индукторе в зависимости от температуры проходящих через него заготовок, поддерживая тем самым, согласно (1), заданную глубину нагрева. Height difference adjustment is carried out by screw jacks in each rack. The spherical blanks, rolling down the conveying tube, rotate around the horizontal axis and simultaneously twist around the vertical axis due to the rotation of the conveying tube. The rotation of the tube ensures uniform interaction of the surfaces of the blanks with the magnetic flux in the inductors, ensuring their symmetrical heating. Due to the presence of a plurality of inductors powered by separate power converters, it is possible to set a different frequency of the current in each inductor depending on the temperature of the workpieces passing through it, thereby maintaining, according to (1), a predetermined heating depth.
Регулирование угла наклона а трубки к горизонтальной оси позволяет изменять время скатывания шарообразных заготовок по транспортирующей трубке, тем самым изменяя вре- мя нагрева, что, в свою очередь, позволяет осуществлять нагрев шарообразных заготовок разных диаметров. Adjusting the angle of inclination a of the tube to the horizontal axis makes it possible to change the rolling time of the spherical blanks along the conveying tube, thereby changing the heating time, which, in turn, allows heating the spherical blanks of different diameters.
Литература: Literature:
1 . Патент RU 2370550, 20.10.2009. 1 . Patent RU 2370550, 20.10.2009.
2. Патент JP 2008169430А, 24.07.2008.
2. Patent JP 2008169430A, 24.07.2008.
Claims
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ CLAIM
Установка для поточного индукционного нагрева изделий шарообразной формы со- держащая расходный бункер, подбункерный питатель дискретного действия, задающий же- лоб от питателя к индуктору, опорные рамы со стойками, цилиндрические индукторы, внутри которых расположена транспортирующая трубка из жаропрочного диэлектрического матери- ала, электропривод для вращения транспортирующей трубки вокруг оси симметрии, силовые преобразователи, питающие цилиндрические индукторы, опорные подшипники, удерживаю- щие транспортирующую трубку, отличающаяся от известных наличием изменяемого угла наклона транспортирующей трубки к горизонтальной плоскости, обеспечиваемым за счет ре- гулирования разности высот стоек опорной рамы винтовыми домкратами, а также наличием множества индукторов, запитанных от раздельных силовых преобразователей.
Installation for in-line induction heating of spherical products containing a feed hopper, a discrete-action sub-hopper feeder, setting the descent from the feeder to the inductor, support frames with racks, cylindrical inductors, inside which there is a transporting tube made of heat-resistant dielectric material, an electric drive for rotation of the conveying tube around the axis of symmetry, power converters feeding cylindrical inductors, support bearings holding the conveying tube, which differs from the known ones by the presence of a variable angle of inclination of the conveying tube to the horizontal plane, which is provided by adjusting the difference in heights of the supports of the support frame with screw jacks, and also the presence of many inductors powered by separate power converters.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE112019000202.3T DE112019000202T5 (en) | 2019-01-22 | 2019-11-21 | System for axially symmetrical inline induction heating of spherical products |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019101736A RU2691354C1 (en) | 2019-01-22 | 2019-01-22 | Installation for in-line induction axisymmetric heating of ball-shaped articles |
| RU2019101736 | 2019-01-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2020153874A1 true WO2020153874A1 (en) | 2020-07-30 |
Family
ID=66947392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU2019/050223 WO2020153874A1 (en) | 2019-01-22 | 2019-11-21 | Apparatus for the continuous axially symmetric induction heating of spherical articles |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE112019000202T5 (en) |
| RU (1) | RU2691354C1 (en) |
| WO (1) | WO2020153874A1 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110257619B (en) * | 2019-07-23 | 2021-07-30 | 徐州兰岳企业管理服务有限公司 | Automatic equipment for producing wear-resistant steel balls |
| WO2023080811A1 (en) | 2021-11-08 | 2023-05-11 | Общество с ограниченной ответственностью "НПП Система 48" | Method of manufacturing spherical metal articles |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU11791U1 (en) * | 1999-06-01 | 1999-11-16 | Открытое акционерное общество "Новолипецкий металлургический комбинат" | INSTALLATION FOR HARDENING OF METAL BALLS |
| JP3152071B2 (en) * | 1994-07-12 | 2001-04-03 | 株式会社明電舎 | Induction heating device |
| JP2008169430A (en) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Jfe Steel Kk | Heat treatment apparatus and heat-treatment method for steel ball |
| RU2370550C1 (en) * | 2008-04-07 | 2009-10-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Липецкий государственный технический университет (ЛГТУ) | Continuous operation inductor to heat "hyperboloid-lipetsk" ball-shaped products |
| RU2455369C1 (en) * | 2011-05-06 | 2012-07-10 | Открытое акционерное общество "ПРОМКО" | Device and method for heat treatment of balls |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2316603C1 (en) * | 2006-05-10 | 2008-02-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Липецкий государственный технический университет (ЛГТУ) | Continuous-action plant for induction heating of articles in the form of balls |
-
2019
- 2019-01-22 RU RU2019101736A patent/RU2691354C1/en active
- 2019-11-21 DE DE112019000202.3T patent/DE112019000202T5/en active Pending
- 2019-11-21 WO PCT/RU2019/050223 patent/WO2020153874A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3152071B2 (en) * | 1994-07-12 | 2001-04-03 | 株式会社明電舎 | Induction heating device |
| RU11791U1 (en) * | 1999-06-01 | 1999-11-16 | Открытое акционерное общество "Новолипецкий металлургический комбинат" | INSTALLATION FOR HARDENING OF METAL BALLS |
| JP2008169430A (en) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Jfe Steel Kk | Heat treatment apparatus and heat-treatment method for steel ball |
| RU2370550C1 (en) * | 2008-04-07 | 2009-10-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Липецкий государственный технический университет (ЛГТУ) | Continuous operation inductor to heat "hyperboloid-lipetsk" ball-shaped products |
| RU2455369C1 (en) * | 2011-05-06 | 2012-07-10 | Открытое акционерное общество "ПРОМКО" | Device and method for heat treatment of balls |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE112019000202T5 (en) | 2021-04-22 |
| RU2691354C1 (en) | 2019-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2020153874A1 (en) | Apparatus for the continuous axially symmetric induction heating of spherical articles | |
| CN107628446A (en) | A kind of jig plate loading and unloading equipment | |
| CN207390499U (en) | A kind of jig plate loading and unloading equipment | |
| JP2005325409A (en) | High frequency heat treatment method and device for ring-shaped product | |
| JP2001520364A (en) | Equipment for charging a rotary hearth furnace | |
| CN106890859B (en) | Laying head | |
| CN205138187U (en) | Conveyer belt spiral conveying type transmission heating furnace | |
| CN109312420A (en) | Induction heating apparatus and induction heating method | |
| KR20070101759A (en) | Method of and system for processing different sized long products | |
| CN104128876B (en) | The spheroid conveying mechanism of high-precision sphere process equipment | |
| JP2017183097A (en) | Heat treatment apparatus and heat treatment method | |
| CN112897868B (en) | Efficient processing and forming process and processing equipment for glass pipette | |
| EP2652778B1 (en) | Apparatus and method for the thermal treatment of substrates | |
| CN210709258U (en) | Sequencing multi-station feeding equipment | |
| KR20150029354A (en) | Heat treatment apparatus with inductive heating | |
| US3559794A (en) | Method and apparatus for handling elongated workpieces through a process area | |
| US10854488B2 (en) | Wafer conveying apparatus and wafer conveying method | |
| JP5619477B2 (en) | Induction heating device | |
| KR102013172B1 (en) | Coil forming apparatus and method | |
| CN109335519B (en) | Stepping feeding device and system | |
| US3057325A (en) | Carbon deposition apparatus | |
| JP2009110789A5 (en) | ||
| US2980237A (en) | Helix conveyor | |
| JP2003014375A (en) | Continuous calcination furnace apparatus for workpiece plate | |
| JP5375312B2 (en) | Polycrystalline silicon production equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 19911925 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 19911925 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |