WO2020115786A1 - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

曲線の搬送路を備える搬送装置において、設計の自由度を向上できる搬送装置を提供すること。　搬送装置は、被位置情報読取部と、一方向に並んで所定の磁極ピッチで配置される複数の固定子と、を有する固定部と、被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、複数の固定子により生じる磁力を利用して推進力を発生させる可動子と、を有し、推進力により固定部の搬送路を走行するキャリアと、キャリアの移動を制御するコントローラと、を備える。固定部は、搬送路を所定の方向に曲げて構成される曲線部を有し、コントローラは、曲線部において、被位置情報読取部を取り付けた固定部の第１取付面と、複数の固定子を取り付けた固定部の第２取付面との曲率が違う場合に、曲率の違いに応じて所定の磁極ピッチを補正した補正磁極ピッチと位置情報とに基づいて、複数の固定子又は可動子に供給する電力を制御する。

Description

搬送装置

　本開示は、曲線の搬送路でキャリアを移動させる搬送装置に関するものである。

　従来、直線状の搬送路と曲線状の搬送路を接続してキャリアを走行させる搬送装置がある（例えば、特許文献１など）。特許文献１に記載の搬送装置は、キャリアの走行位置を検出するための位置検出装置として、スケールと、エンコーダヘッドを備えている。この搬送装置では、位置検出装置で検出した位置情報に基づいて、キャリアの可動子へ供給する電流の制御等を実行する。この種の搬送装置では、位置情報に基づく電流制御などを適切に実行する上で、位置情報と固定子の磁極ピッチとを適切に対応付けることが好ましい。

　特許文献１の曲線部に取り付けられたスケールは、曲線部の半径方向におけるエンコーダヘッドと対向する位置に配置されている。具体的には、曲線部において、スケールは、半径ｒの位置に配置されている。また、エンコーダヘッドは、半径ｒから所定のギャップだけ外側の位置で、スケールと対向する位置に配置されている。そして、直線部における固定子の磁極ピッチの距離をλｍ、曲線部における固定子の磁極ピッチの角度をγｍとした場合に、ｒ＝λｍ／γｍに設定している。

　この式は、半径ｒの位置で直線部の磁極ピッチの距離λｍと曲線部の磁極ピッチの距離（ｒ×γｍ）が同一であることを表している。そして、磁極ピッチの距離が直線部と曲線部で同じになる半径ｒでエンコーダヘッドによる位置検出を実行することで、位置情報と磁極ピッチの誤差を抑制している。

国際公開第ＷＯ２０１２／０５６８３８号

　しかしながら、上記した搬送装置では、曲線部における位置情報と磁極ピッチとの誤差を抑制するために、直線部や曲線部を設計・製造する段階で、上記した式に基づいて磁極ピッチと曲線部の半径の長さを調整する必要がある。このため、直線部、曲線部、あるいはキャリアの可動子などの設計において、設計の自由度が低下する虞があった。

　本願は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、曲線の搬送路を備える搬送装置において、設計の自由度を向上できる搬送装置を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、本願は、被位置情報読取部と、一方向に並んで所定の磁極ピッチで配置される複数の固定子と、を有する固定部と、前記被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、前記複数の固定子により生じる磁力を利用して推進力を発生させる可動子と、を有し、前記推進力により前記固定部の搬送路を走行するキャリアと、前記キャリアの移動を制御するコントローラと、を備え、前記固定部は、前記搬送路を所定の方向に曲げて構成される曲線部を有し、前記コントローラは、前記曲線部において、前記被位置情報読取部を取り付けた前記固定部の第１取付面と、前記複数の固定子を取り付けた前記固定部の第２取付面との曲率が違う場合に、曲率の違いに応じて前記所定の磁極ピッチを補正した補正磁極ピッチと前記位置情報とに基づいて、前記複数の固定子又は前記可動子に供給する電力を制御する、搬送装置を開示する。なお、補正磁極ピッチに基づく制御とは、補正磁極ピッチの値そのものを用いた制御だけでなく、補正磁極ピッチの値に基づいて設定、変更等した値を用いた制御を含む概念である。

　これによれば、コントローラは、２つの取付面の曲率の違いに応じて誤差を補正した補正磁極ピッチと位置情報に基づいて制御する。これにより、曲線部において読み取った位置情報と、磁極ピッチの誤差の発生を抑制できる。そして、曲線部を設計・製造する段階で、磁極ピッチを調整等する必要がなくなり、設計の自由度を向上させることができる。

本実施形態の搬送装置が備える直線の直線固定部とキャリアの斜視図である。 図１の搬送装置の内部を示した斜視図である。 直線固定部の断面図である。 キャリアの側面図である。 本実施形態の生産システムの電気的な構成を示す図である。 生産システムの概要を示す模式図である。 曲線の曲線固定部を有する搬送装置１０Ａの斜視図である。 搬送装置１０Ａの模式図である。

　以下、本願の搬送装置を具体化した一実施形態について説明する。図１は、本実施形態の搬送装置１０が備える直線の直線固定部１１とキャリア１３の斜視図を示している。図１は、直線固定部１１に、キャリア１３を配置した状態を示している。搬送装置１０は、リニアモータの駆動によって直線固定部１１や曲線固定部１１Ａ（図７参照）に対してキャリア１３をスライド移動させる装置である。まず、図１に示す直線の搬送路を有する直線固定部１１とキャリア１３について説明する。曲線の搬送路を有する曲線固定部１１Ａについては、後述する。尚、以下の説明では、図１におけるキャリア１３をスライド移動させる方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直で直線固定部１１を載置する面に平行な方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向をＺ方向と称して説明する。

　搬送装置１０は、キャリア１３を直線固定部１１内に配置して構成されている。尚、キャリア１３の数は、１つに限らず、２つ以上の複数個でも良い。図２は、図１に示す搬送装置１０のＹ方向における手前側の部材を取り除いて、搬送装置１０の内部を一部だけ示している。図３は、Ｘ方向に直交する平面で直線固定部１１を切断した断面を示している。

　図１～図３に示すように、直線固定部１１は、Ｘ方向に延設されている。Ｘ方向に直交する平面で切断した直線固定部１１の断面形状は、Ｚ方向の上部を開口した略Ｕ字形状をなしている。直線固定部１１は、底部２１と、第１側壁２２と、第２側壁２３を備えている。底部２１は、Ｘ方向に延設され、下部を開口され、上下方向に薄い略箱型形状をなしている。底部２１の下部には、後述する非接触給電の制御、キャリア１３の動作の制御などを実行する制御基板２５が設けられている。制御基板２５は、下部を開口した底部２１内に収納され、底部２１の下面に固定されている。制御基板２５は、キャリア１３に設けられた通信部６０（図５参照）と通信可能となっている。制御基板２５は、例えば、通信部６０と無線通信を行い、キャリア１３との間で制御に必要なデータ（例えば、補正値）等の送受信を行う。

　第１及び第２側壁２２，２３は、底部２１の上面に設けられ、Ｚ方向に沿うように立った状態で設けられている。第１及び第２側壁２２，２３は、Ｘ方向に沿って延設されている。第２側壁２３は、第１側壁２２と平行に設けられている。直線固定部１１は、底部２１、第１及び第２側壁２２，２３によって、Ｘ方向に延びる溝を構成している。この溝は、キャリア１３が、移動する搬送路である。第１側壁２２は、壁部２２Ａと、底板部２２Ｂとを有している。同様に、第２側壁２３は、壁部２３Ａと、底板部２３Ｂとを有している。壁部２２Ａ，２３Ａは、Ｚ方向及びＸ方向に沿った略平板状をなし、Ｘ方向に沿って延設されている。壁部２２Ａ，２３ＡのＺ方向の高さは、同一となっている。

　底板部２２Ｂは、Ｚ方向における壁部２２Ａの下端部から底部２１の上面に沿ってＹ方向の内側に向かって、即ち、対向する第２側壁２３に向かって延びている。同様に、底板部２３Ｂは、Ｚ方向における壁部２３Ａの下端部から底部２１の上面に沿ってＹ方向の内側に向かって延びている。底板部２２Ｂ，２３Ｂは、底部２１の上面に固定されている。

　キャリア１３は、底部２１、第１側壁２２、及び第２側壁２３に囲まれた溝内に収納されている。壁部２２Ａ，２３Ａの各々の内壁には、複数の永久磁石２６（固定子の一例）が取り付けられている。複数の永久磁石２６は、例えば、Ｚ方向に延びる長方形の板状をなし、第１及び第２側壁２２，２３の各々の内壁において、Ｘ方向に沿って、即ち、キャリア１３の移動方向に沿って所定の磁極ピッチＷＰ１（図２参照）で配列されている。永久磁石２６の各々は、例えば、キャリア１３とＹ方向で対向する内側の面においてＮ極、Ｓ極が交互に現れるように、Ｘ方向において隣り合うものが互いに異なる極性（Ｎ極及びＳ極）となっている。換言すれば、複数の永久磁石２６は、Ｘ方向に沿って交互に異なる極性となるように配置されている。尚、図２及び図３は、永久磁石２６のキャリア１３側を覆うカバー２７（図１参照）を取り外した状態を示している。また、図２は、Ｙ方向の手前側の第２側壁２３を取り外した状態を示している。

　また、第１及び第２側壁２２，２３の各々のＺ方向における上部には、レール部２８が設けられている。レール部２８は、例えば、スライド面をＶ字に形成されたＶレールであり、後述するキャリア１３の溝ローラ４３を取り付けられる。なお、以下の説明では、第１側壁２２のレール部２８と、第２側壁２３のレール部２８とを区別して説明する場合、符号の後にアルファベットを付して説明する。具体的には、第１側壁２２のレール部２８を、レール部２８Ａと称し、第２側壁２３のレール部２８を、レール部２８Ｂと称して説明する。

　また、壁部２２Ａ，２３Ａの各々の内壁には、リニアスケール２９が取り付けられている。リニアスケール２９は、Ｚ方向におけるレール部２８と永久磁石２６との間に設けられている。図４に示すように、キャリア１３には、直線固定部１１のリニアスケール２９の各々とＹ方向で対向する位置にリニアヘッド４０が取り付けられている。リニアスケール２９は、Ｙ方向においてギャップＧ１を間に設けてリニアヘッド４０と対向して配置されている。リニアヘッド４０は、キャリア１３のＸ方向への移動にともなって、Ｘ方向におけるキャリア１３の位置を示す位置情報ＰＩ（図５参照）をリニアスケール２９から読み取る。リニアヘッド４０は、読み取った位置情報ＰＩをキャリア１３の受電基板５０（図５参照）に出力する。受電基板５０は、通信部６０を介して位置情報ＰＩを直線固定部１１の制御基板２５に送信する。また、受電基板５０は、位置情報ＰＩをサーボアンプ５１へ出力する。

　搬送装置１０は、後述するように、曲線の搬送路や分岐路で側壁の一部がなくなる。このため、少なくとも一方の側壁が存在すれば、キャリア１３の位置を検出できるように、直線固定部１１には、Ｙ方向の両側にリニアスケール２９が設けられている。また、キャリア１３には、リニアスケール２９に対応して一対のリニアヘッド４０が設けられている。尚、直線固定部１１は、Ｙ方向の一方側にリニアスケール２９を備える構成でも良い。この場合、キャリア１３は、リニアスケール２９と同様に、リニアヘッド４０をＹ方向の一方側に備える構成でも良い。また、リニアスケール２９及びリニアヘッド４０による位置の検出方法は、特に限定されない。例えば、位置の検出方法は、光学式の検出方法でも良く、あるいは電磁誘導を用いた検出方法でも良い。また、キャリア１３の位置を検出する方法は、リニアスケールに限らず、例えば、ロータリーエンコーダを用いても良い。

　また、底部２１の上面には、Ｘ方向に延設された走行レール３０が設けられている。走行レール３０は、Ｙ方向における底板部２２Ｂ，２３Ｂの間に設けられている。走行レール３０をＸ方向に直交する平面で切断した断面形状は、上部を開口した略Ｕ字形状をなしている。尚、図２は、走行レール３０の一部を取り外した状態を示している。

　また、底板部２２Ｂ，２３Ｂの上には、非接触給電を行う送電コイル部３１が設けられている。送電コイル部３１は、Ｘ方向に延びるコイル保持部３３と、送電コイル３５とを備えている。尚、図１及び図２は、送電コイル３５を取り外した状態を示している。コイル保持部３３は、Ｘ方向に延びる略板状をなしている。コイル保持部３３の材料は、例えば、フェライトや電磁鋼板などの磁性材料である。Ｘ方向に直交する平面で切断したコイル保持部３３の断面形状は、上方に向かって突出する略Ｅ字形状をなしている。送電コイル３５は、Ｙ方向におけるコイル保持部３３の中央部で突出した部分に巻回されている。

　図５に示すように、直線固定部１１の制御基板２５は、送電コイル３５と接続され、送電コイル３５に供給する交流電圧を変更する。制御基板２５は、送電コイル３５に供給する交流電圧を変更することで、送電コイル３５から後述するキャリア１３の受電コイル４９へ非接触による電力供給を行う。尚、非接触給電の方式は、コイルを用いた電磁結合方式や電磁誘導方式に限定されず、例えば、平板状の電極を用いた静電結合方式でも良い。また、キャリア１３への電力の供給は、非接触給電に限らず、接触型の給電方法を用いても良い。例えば、キャリア１３に設けたパンタグラフを架線に接触させて給電を行っても良い。なお、図５は、搬送装置１０や後述する搬送装置１０Ａ，１０Ｂの共通の構成を、同じブロックを用いて図示している。

　また、図１及び図２に示すように、キャリア１３は、本体部４１と、作業台４２とを備えている。本体部４１は、Ｘ方向及びＺ方向に長い箱型形状をなし、内部に様々な機器が内蔵されている。作業台４２は、Ｘ方向に長い略板状をなし、本体部４１の上部に固定されている。図４は、キャリア１３をＸ方向から見た側面図であり、本体部４１の一部を取り除いた状態を示している。図４に示すように、作業台４２の下面には、複数の溝ローラ４３が取り付けられている。本実施形態の複数の溝ローラ４３は、Ｙ方向における作業台４２の両側のそれぞれに３個ずつ（合計で６個）取り付けられている（図２参照）。一方側の３つの溝ローラ４３は、Ｘ方向に沿って配列されている。また、溝ローラ４３の下方には、上記したリニアヘッド４０が取り付けられている。

　また、本体部４１の下面の中央部には、第１走行ローラ４５と、第２走行ローラ４６とが取り付けられている。第１走行ローラ４５は、Ｙ方向で対向して配置された２つを１組として、Ｘ方向において複数組設けられている。第１走行ローラ４５の各々は、Ｚ方向に沿った回転軸を中心に回転可能となっている。第１走行ローラ４５の各々は、走行レール３０におけるＹ方向で対向するレール側部３４（図３参照）に内側から接触して回転する。

　第２走行ローラ４６は、Ｙ方向で対向する第１走行ローラ４５の間に設けられ、Ｘ方向において複数設けられている。第２走行ローラ４６の各々は、Ｙ方向に沿った回転軸を中心に回転可能となっている。第２走行ローラ４６の各々は、走行レール３０のレール底部３２（図３参照）の上面に接触して回転する。

　キャリア１３は、作業台４２を直線固定部１１の上方に配置した状態で、略Ｕ字状をなす直線固定部１１の溝内に本体部４１を挿入している。直線固定部１１に挿入された本体部４１は、直線固定部１１の第１及び第２側壁２２，２３との間に一定の隙間を設けている。複数の溝ローラ４３の各々は、第１及び第２側壁２２，２３の上部に設けられたレール部２８に対して回転可能に取り付けられている。キャリア１３は、溝ローラ４３、第１走行ローラ４５及び第２走行ローラ４６を直線固定部１１に対して回転可能に取り付けられることでＸ方向へ移動可能となり、作業台４２に物品（部品など）を載置して移動する。本実施形態では、例えば、後述する図６の生産システム７１に示すように、複数の直線固定部１１や曲線固定部１１Ａを連結して構成した搬送路上でキャリア１３を移動させ、作業工程位置８５等においてキャリア１３を停止させ、部品の供給や組み立てなどの作業を実行する。

　また、図４に示すように、本体部４１の下面には、非接触給電を行う受電コイル部４７が設けられている。受電コイル部４７は、コイル保持部４８と、受電コイル４９とを備えている。コイル保持部４８は、Ｘ方向に延びる略板状をなしている。Ｘ方向に直交する平面で切断したコイル保持部４８の断面形状は、下方に向かって突出する略Ｅ字形状をなしている。コイル保持部４８の材料は、例えば、フェライトや電磁鋼板などの磁性材料である。受電コイル４９は、Ｙ方向におけるコイル保持部４８の中央部で突出した部分に巻回されている。キャリア１３を直線固定部１１内に配置した状態では、受電コイル部４７は、Ｚ方向において送電コイル部３１と所定の間隔を間に設けて対向して配置されている。尚、キャリア１３は、図６に示すように、複数の直線固定部１１を跨がって移動する。このため、跨がった２つの直線固定部１１の少なくとも一方から電力の供給を受けるために、キャリア１３は、Ｘ方向における両端（移動方向の前後の端部）のそれぞれに、別の受電コイル部４７を備えても良い。

　また、図２及び図４に示すように、本体部４１内には、受電基板５０と、サーボアンプ５１と、巻線部５３（可動子の一例）と、が内蔵されている。従って、本実施形態の搬送装置１０は、直線固定部１１に永久磁石２６を配置し、キャリア１３に巻線部５３を配置した、所謂、ムービングコイル方式のリニアモータを構成している。受電基板５０は、受電コイル部４７の受電コイル４９と接続され、送電コイル部３１から受電コイル部４７へ給電された交流電力に応じた電力を供給される。また、受電基板５０は、サーボアンプ５１と接続され、サーボアンプ５１へ電力Ｗ１（図５参照）を供給する。サーボアンプ５１は、受電基板５０から供給された電力Ｗ１に基づいて巻線部５３に通電する駆動電流を生成する。

　本実施形態の巻線部５３は、Ｙ方向における本体部４１の両側にそれぞれ設けられ、Ｙ方向において永久磁石２６と対向する位置に設けられている。Ｙ方向の一方側の巻線部５３は、例えば、３つのヨーク５３Ａのそれぞれにコイル５３Ｂが巻回されている（図２参照）。この３つのコイル５３Ｂの各々は、例えば、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の各相に対応している。各相のヨーク５３Ａ及びコイル５３Ｂは、Ｘ方向、即ち、キャリア１３の移動方向に並んで配置されている。サーボアンプ５１は、駆動電流として、三相の交流電流Ｉａｃ（図５参照）を各コイル５３Ｂに通電する。

　巻線部５３は、サーボアンプ５１からコイル５３Ｂに交流電流Ｉａｃを通電されると磁界を発生させ（Ｎ極及びＳ極を誘起され）、直線固定部１１の永久磁石２６との間に推進力（磁気吸引力や磁気反発力）を発生させる。キャリア１３は、巻線部５３と永久磁石２６との間に生じる推進力により、Ｘ方向へ移動する。本実施形態では、Ｙ方向の両側に設けられた永久磁石２６及び巻線部５３により両側式のリニアモータを構成している。サーボアンプ５１は、巻線部５３に通電する三相の交流電流Ｉａｃを制御することで、コイル５３Ｂによって形成する磁界、即ち、キャリア１３を移動させる方向や速度を制御する。なお、本実施形態のキャリア１３は、コイル５３Ｂに発生する極性に応じて、前後方向のどちらにも移動できる。即ち、キャリア１３は、コイル５３Ｂの極性に応じて、Ｘ方向の一方（前方）又は他方（後方）へ移動可能となっている。

　図３に示すように、巻線部５３は、Ｙ方向においてギャップＧ２を間に設けて永久磁石２６と対向して配置されている。本実施形態のリニアヘッド４０は、位置情報ＰＩの読み取り精度を高めるために、リニアスケール２９との間のギャップＧ１をより狭くする配置となっている。このため、リニアヘッド４０のギャップＧ１は、巻線部５３と永久磁石２６とのギャップＧ２に比べて狭くなっている。なお、ギャップＧ１は、ギャップＧ２と同一又はギャップＧ２よりも大きい幅でも良い。

（生産システムについて）
　次に、上記した本実施形態の直線固定部１１や図７に示す曲線固定部１１Ａを用いて構成した生産システムについて図５及び図６を参照しつつ説明する。図５は、本実施形態の生産システム７１の電気的な構成を示している。図６は、生産システム７１の概要を模式的に示している。図６に示すように、生産システム７１は、例えば、図１に示す直線の搬送路を有する直線固定部１１や、曲線の搬送路を有する曲線固定部１１Ａ、分岐点を有する分岐固定部１１Ｃなどを互いに連結し、環状の生産ラインを構成している。なお、以下の説明では、図６に示す直線の直線固定部１１、曲線固定部１１Ａ、及びキャリア１３を有する構成を、搬送装置１０Ａと称し、この搬送装置１０Ａについて主に説明する。この搬送装置１０Ａは、本開示の搬送装置の一例である。他の搬送装置１０、例えば、分岐点（分岐固定部１１Ｃ）を含む搬送装置１０Ｂなどについては、同様の構成となっているため、その説明を適宜省略する。また、各種の搬送装置を総称して説明する場合には、単に、搬送装置１０と称して説明する。

　図５に示すように、生産システム７１は、例えば、生産ラインを構成する複数の搬送装置１０を統括的に制御する管理ＰＣ７３を備えている。直線固定部１１や曲線固定部１１Ａの制御基板２５は、管理ＰＣ７３の制御データＣＴ１に基づいて、送電コイル３５を制御し、自身の搬送路に配置された移動中や停止中のキャリア１３へ電力供給を行う。また、制御基板２５は、通信部６０を介して各キャリア１３の受電基板５０へ制御データＣＴ１を送信する。この制御データＣＴ１には、キャリア１３の移動する先である目標となる目標位置、曲線路に進入する進入位置、移動速度等のデータが含まれる。受電基板５０は、制御基板２５から通信部６０を介して受信した制御データＣＴ１をサーボアンプ５１へ出力する。サーボアンプ５１は、制御データＣＴ１に基づいて、コイル５３Ｂに供給する交流電流Ｉａｃの向きや大きさ等を制御する。また、サーボアンプ５１は、例えば、受電基板５０から入力した位置情報ＰＩと、制御データＣＴ１の目標位置や進入位置に基づいて、交流電流Ｉａｃのフィードバック制御を実行する。これにより、管理ＰＣ７３は、各搬送装置１０の制御基板２５を介して、複数のキャリア１３の動作を統括的に制御することが可能となる。また、詳細については後述するが、サーボアンプ５１は、進入位置に基づいて、曲線路に応じて補正した補正後の磁極ピッチＷＰ１に基づく係数等を用いてフィードバック制御を実行する。

　また、図６に示すように、例えば、管理ＰＣ７３は、図中の移動方向７５に向かって環状の搬送路上で複数のキャリア１３を移動させる。各キャリア１３の作業台４２（図２参照）には、物品７９が載置されている。生産システム７１の搬送路には、各種の作業を行う作業ロボット８１が配置されている。キャリア１３は、各作業ロボット８１の作業工程位置８５で停止する。作業ロボット８１は、管理ＰＣ７３の制御に基づいて、物品７９に対する作業を行う。管理ＰＣ７３は、各キャリア１３の移動や、作業ロボット８１の作業を制御し、物品７９を用いた組み立てや、物品７９に対する加工等を実行する。

（曲線固定部１１Ａを有する搬送装置１０Ａについて）
　次に、図６に示す生産システム７１のうち、曲線固定部１１Ａを有する搬送装置１０Ａの構成について説明する。図７は、搬送装置１０Ａの斜視図であり、図６における上方から下方に向かって搬送装置１０Ａを見た構成を示している。なお、図７は、図面が煩雑となるのを避けるため、一部の部材の図示を省略している。例えば、図７は、キャリア１３、カバー２７、送電コイル３５などの図示を省略している。また、図７は、直線の搬送路のコイル保持部３３の図示を省略している。また、以下の曲線固定部１１Ａの説明では、上記した直線固定部１１と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を適宜省略する。

　また、以下の説明では、第１側壁２２側の永久磁石２６を、第２側壁２３側の永久磁石２６と区別して説明する場合、第１側壁２２側の永久磁石２６を第１磁石２６Ａと称し、第２側壁２３側の永久磁石２６を第２磁石２６Ｂと称して説明する。また、図６に示すように、直線固定部１１の搬送路を、第１搬送路部９１、曲線固定部１１Ａの搬送路を第２搬送路部９２と称して説明する。また、図７に図示すＸＹＺ方向は、直線の搬送路を基準とした方向を示している。また、図７に示すように、第２搬送路部９２において、第１搬送路部９１の第１側壁２２に連続して延設される部分を、第１曲線側壁１２１と称し、キャリア１３を間に挟んで第１曲線側壁１２１と対向する側壁を第２曲線側壁１２３と称して説明する。

　図６に示すように、搬送装置１０Ａの第２搬送路部９２は、第１搬送路部９１に沿った方向に対し、移動方向７５における左側へと曲がっている。図７に示すように、搬送装置１０Ａは、第１搬送路部９１を有する直線固定部１１と、第２搬送路部９２を有する曲線固定部１１Ａとを備えている。直線の第１搬送路部９１を有する直線固定部１１は、第１側壁２２及び第２側壁２３の両方を備えている。第１及び第２側壁２２，２３は、直線固定部１１においてＸ方向に沿って延設されている。

　また、第１側壁２２は、曲線固定部１１Ａの第１曲線側壁１２１と接続され、第１搬送路部９１から連続して第２搬送路部９２に延設されている。また、曲線固定部１１Ａは、第１曲線側壁１２１とキャリア１３を挟んで対向する第２曲線側壁１２３を有する。第２曲線側壁１２３は、その一部に不連続となる不連続部９５，９６を有する。曲線固定部１１Ａは、直線固定部１１の第２側壁２３と接続される部分に、第２曲線側壁１２３の一部である不連続部９５を有する。また、第２曲線側壁１２３は、移動方向７５における曲線固定部１１Ａの先端、即ち、第２搬送路部９２の先端部分に、その一部である不連続部９６を有する。第２曲線側壁１２３は、不連続部９５と、不連続部９６との間において、壁部２３Ａ、底板部２３Ｂ、第２磁石２６Ｂ（図８参照）などを取り除かれている。このため、第２磁石２６Ｂは、不連続部９５，９６の間において不連続となっている。不連続部９５，９６の間には、キャリア１３が、曲線固定部１１Ａの外側に脱線するのを防止するための、脱落防止部材１０１が配置されている。なお、第２曲線側壁１２３は、不連続部９５と不連続部９６とを接続し、不連続な部分を有さない構成でも良い。

　図８は、搬送装置１０Ａを模式的に示している。なお、図８では、極性を示すため、Ｎ極の永久磁石２６にハッチングを付している。図８に示すように、本実施形態のキャリア１３は、第２搬送路部９２のうち、この不連続部９５，９６の間において、第１曲線側壁１２１のレール部２８Ａ（図７参照）に溝ローラ４３を係合させる一方、第２曲線側壁１２３のレール部２８Ｂには溝ローラ４３を係合させない状態で走行する。キャリア１３は、第２曲線側壁１２３のレール部２８Ｂと溝ローラ４３との係合を一時的に解除された状態となる。キャリア１３は、不連続部９５のレール部２８Ｂから溝ローラ４３が外れた後、第２搬送路部９２の先において不連続部９６のレール部２８Ｂに再度溝ローラ４３を係合させる。

　また、図７に示すように、第１磁石２６Ａは、第１搬送路部９１から第２搬送路部９２へ連続して配列されている。第１磁石２６Ａは、壁部２２Ａの内壁において、キャリア１３の移動方向７５（一方向の一例）に沿って、所定の磁極ピッチＷＰ１で配置されている。本実施形態の搬送装置１０Ａでは、直線固定部１１の第１磁石２６Ａの磁極ピッチＷＰ１と、曲線固定部１１Ａの第１磁石２６Ａの磁極ピッチＷＰ１とが同一となっている。ここでいう磁極ピッチＷＰ１とは、例えば、図７に示すように、隣り合う第１磁石２６Ａの中心を結ぶ直線の長さである。なお、磁極ピッチＷＰ１は、上記した中心間の距離に限らない。例えば、隣り合う２つの第１磁石２６Ａを結ぶ最短距離（対向する互いの側壁間の距離など）でも良い。また、直線固定部１１の磁極ピッチＷＰ１と、曲線固定部１１Ａの磁極ピッチＷＰ１とを異なる大きさにしても良い。例えば、曲線路の曲線固定部１１Ａの磁極ピッチＷＰ１を、直線路の直線固定部１１の磁極ピッチＷＰ１に比べて狭くしても良い。

　また、図７に示すように、リニアスケール２９は、第１磁石２６Ａの上方において、第１搬送路部９１から第２搬送路部９２へ配設されている。リニアスケール２９は、壁部２２Ａの内壁において、キャリア１３の移動方向７５に沿って延びている。第１側壁２２のリニアスケール２９と第１曲線側壁１２１のリニアスケール２９とは、その境界部分において接触又は隣接して配置されている。従って、リニアスケール２９は、全体として第１搬送路部９１から第２搬送路部９２へと連続して配設されている。

　ここで、本実施形態のリニアスケール２９とリニアヘッド４０とのギャップＧ１は、上記したように、位置情報ＰＩの読み取り精度を高めるために、巻線部５３と永久磁石２６とのギャップＧ２に比べて狭くなっている。この場合、キャリア１３が曲線の第２搬送路部９２（曲線固定部１１Ａ）へ進入すると、ギャップのより狭いリニアスケール２９とリニアヘッド４０とが、衝突等する虞がある。そこで、本実施形態の搬送装置１０Ａでは、図８に示すように、リニアスケール２９を取り付ける第１取付面１３１を、永久磁石２６を取り付ける第２取付面１３２よりもキャリア１３から離れた位置に配置されている。

　詳述すると、図８は、図面が繁雑となるのを避けるため、リニアスケール２９及びリニアスケール２９を取り付けた壁部２２Ａの内壁面である第１取付面１３１を破線で示している。図８に示すように、第１取付面１３１は、直線固定部１１において、Ｙ方向における第２取付面１３２の位置よりも外側に配置されている。また、第１取付面１３１は、曲線固定部１１Ａにおける外側、換言すれば、第２搬送路部９２の曲線におけるより内側（図８における下方）に配置されている。第１取付面１３１と第２取付面１３２とは、距離１３３だけズレている。距離１３３は、例えば、数ミリ、あるいは数マイクロメートルである。

　曲線固定部１１Ａの距離１３３は、直線固定部１１の距離１３３に比べて長くなっている。従って、リニアスケール２９は、直線の第１搬送路部９１よりも曲線の第２搬送路部９２において、永久磁石２６からより離れた位置に配置されている。なお、図８は、第１取付面１３１や第２取付面１３２の位置関係を理解し易くするため、距離１３３を長くして強調して図示している。

　距離１３３を曲線固定部１１Ａで長くすることにより、第１搬送路部９１から第２搬送路部９２へ進入したキャリア１３が傾くことによって、リニアヘッド４０がリニアスケール２９側へ移動したとしても、リニアヘッド４０とリニアスケール２９の衝突等を回避することが可能となる。そして、このような第１取付面１３１を第２取付面１３２よりも内側に退避させる構成では、第１及び第２取付面１３１，１３２の曲率が相違することとなる。

　曲率が異なることで、位置情報ＰＩと磁極ピッチＷＰ１とに誤差が発生する虞がある。より具体的には、直線固定部１１における位置情報ＰＩと磁極ピッチＷＰ１との関係と、曲線固定部１１Ａにおける位置情報ＰＩと磁極ピッチＷＰ１との関係が異なる状態となる。このため、例えば、直線路と同様に曲線路において位置情報ＰＩに基づいて巻線部５３の電流制御を実行しても、巻線部５３に発生する磁極が、キャリア１３の移動により変更される永久磁石２６の磁極配置に合わせて適切なタイミングで切り替わらなくなる。トルクの変動が生じ、キャリア１３を安定して走行させることが困難となる。

　そこで、本実施形態のサーボアンプ５１は、曲線固定部１１Ａにおいて、曲率の違いに応じて位置情報ＰＩとの誤差を補正した磁極ピッチＷＰ１（以下、補正磁極ピッチＷＰ２という）を制御に用いる。これにより、曲線路において読み取った位置情報ＰＩと、制御上の磁極ピッチＷＰ１の誤差の発生を抑制できる。図５に示すように、本実施形態の曲線固定部１１Ａの制御基板２５は、記憶部２５Ａを有している。記憶部２５Ａは、例えば、ハードディスクや不揮発性メモリ等である。記憶部２５Ａには、磁極ピッチＷＰ１に係わる補正値Ｄ１が記憶されている。これによれば、曲線固定部１１Ａは、自身が備える第１及び第２取付面１３１，１３２の曲率に応じた補正値Ｄ１を記憶部２５Ａに記憶することができる。

　補正値Ｄ１の演算方法は、特に限定されない。例えば、第１取付面１３１と第２取付面１３２の曲率半径を用いて補正磁極ピッチＷＰ２を演算し補正値Ｄ１を設定しても良い。曲線固定部１１Ａにおける第１取付面１３１の曲率半径をａ、曲線固定部１１Ａにおける第２取付面１３２の曲率半径をｂ、曲線固定部１１Ａの永久磁石２６の磁極ピッチを磁極ピッチＷＰ１、補正磁極ピッチをＷＰ２とした場合に、次式、
　ＷＰ２＝ＷＰ１＊（ａ／ｂ）・・・・・・（式）
　により演算した補正磁極ピッチＷＰ２に基づく値を補正値Ｄ１として設定しても良い。記憶部２５Ａは、例えば、サーボアンプ５１のフィードバック制御に必要な係数（以下、フィードバック係数という場合がある）で、上記式で演算した補正磁極ピッチＷＰ２に基づいて設定された係数を、補正値Ｄ１として記憶している。これによれば、上記した式を用いて、曲率の違いに応じて磁極ピッチＷＰ１を補正した補正値Ｄ１を、記憶部２５Ａから取得することができる。

　補正後のフィードバック係数は、磁極ピッチＷＰ１の値に対して曲率の差を反映した値となる。例えば、本実施形態のように、曲率半径がｂ＞ａの場合、即ち、リニアスケール２９の第１取付面１３１が永久磁石２６の第２取付面１３２に比べて曲線の内側となる場合、補正磁極ピッチＷＰ２は、補正前の磁極ピッチＷＰ１に比べて小さくなる。補正後のフィードバック係数は、例えば、直線路（磁極ピッチＷＰ１）の場合に制御するタイミングよりも早く制御を実行する値となる。

　逆に、曲率半径がｂ＜ａの場合、補正磁極ピッチＷＰ２は、補正前の磁極ピッチＷＰ１に比べて大きくなる。例えば、本実施形態では、不連続部９５，９６を設けて第２曲線側壁１２３を不連続とした。これに対し、第２曲線側壁１２３を、第１曲線側壁１２１と同様に曲線の壁として構成する。この場合、第２曲線側壁１２３に設けるリニアスケール２９の第１取付面１３１を、永久磁石２６の第２取付面１３２よりも外側（曲線路の外側）に配置する。この場合、曲率半径ｂは、曲率半径ａに比べて小さくなるが、上記した式を用いて、磁極ピッチＷＰ１を補正磁極ピッチＷＰ２に補正することができる。補正後のフィードバック係数は、例えば、直線路（磁極ピッチＷＰ１）の場合に制御するタイミングよりも遅く制御を実行する値となる。このため、外側の磁極ピッチＷＰ１を補正する場合、曲線路の内側と外側とで異なる補正値Ｄ１（フィードバック係数など）を用いて補正を実行しても良い。

　また、補正値Ｄ１の演算方法は、上記した曲率半径ａ，ｂを用いる方法に限らない。例えば、磁極検出動作により検出した磁極位置に基づいて補正値Ｄ１を設定しても良い。ここでいう、磁極検出動作とは、例えば、任意の永久磁石２６の位置にキャリア１３を配置して、試験的に巻線部５３に電力を供給し磁極の位置を確認する動作である。例えば、図８の実線で示すキャリア１３Ａのように、曲線固定部１１Ａにおける複数の第１磁石２６Ａのうち位置ＭＰ１の第１磁石２６Ａの位置に合わせてキャリア１３を配置した状態で、サーボアンプ５１から巻線部５３へ一定周期の電力を供給する。そして、キャリア１３の移動が収束した位置（キャリア１３Ａの中心位置）を、第１磁極位置ＰＴ１とする。第１磁極位置ＰＴ１は、例えば、キャリア１３Ａの平面視における中心となる位置である。なお、第１磁極位置ＰＴ１は、中心位置に限らず、キャリア１３の先端、後端、あるいは巻線部５３の位置などでも良い。

　次に、位置ＭＰ１の第１磁石２６Ａの隣に配置された第１磁石２６Ａの位置ＭＰ２に合わせてキャリア１３を配置する。例えば、図８の二点鎖線で示すキャリア１３Ｂのように、移動方向７５（図７参照）において１つだけ後退した位置ＭＰ２の第１磁石２６Ａを基準として同様の動作を行う。キャリア１３をキャリア１３Ｂの位置に配置した状態でサーボアンプ５１から一定周期の電力を供給する。そして、キャリア１３の移動が収束した位置（キャリア１３Ｂの中心位置）を、第２磁極位置ＰＴ２とする。即ち、第１磁極位置ＰＴ１と、第２磁極位置ＰＴ２とは、第１磁石２６Ａの位置を１つ（１ピッチ）だけずらして磁極検出動作を行った位置である。そして、第１磁極位置ＰＴ１と第２磁極位置ＰＴ２との間の距離Ｌ１に基づく値を、補正値Ｄ１（フィードバック係数など）として設定しても良い。検出された距離Ｌ１は、曲線路における第１磁石２６Ａのピッチ、即ち、補正磁極ピッチＷＰ２に相当する値である。換言すれば、直線路に比べて第２搬送路部９２が曲がることで短くなった磁極ピッチＷＰ１の変化を補正した補正磁極ピッチＷＰ２の値となる。これによれば、磁極検出動作を２回実行して取得した第１磁極位置ＰＴ１と第２磁極位置ＰＴ２との距離Ｌ１に基づいて、補正値Ｄ１を取得することができる。

　なお、磁極検出動作の方法は、上記した方法に限らない。例えば、位置ＭＰ１と位置ＭＰ２とは、２ピッチ以上離れた第１磁石２６Ａの位置を用いても良い。この場合、例えば、位置ＭＰ１と位置ＭＰ２の間に配置される第１磁石２６Ａの数に１を加えた数で距離Ｌ１を除算した値や、乗算した値をさらに曲率で補正した値に基づいて補正値Ｄ１を設定しても良い。

　次に、補正値Ｄ１を用いた処理について説明する。図５に示す管理ＰＣ７３は、例えば、生産システム７１を構成する曲線固定部１１Ａ等の記憶部２５Ａから補正値Ｄ１を読み出すことで、その曲線固定部１１Ａ等に応じた補正磁極ピッチＷＰ２を制御に反映させる。管理ＰＣ７３は、例えば、生産システム７１の起動時に、生産システム７１に接続された全ての固定部（直線固定部１１、曲線固定部１１Ａ、分岐固定部１１Ｃなど）から補正値Ｄ１を読み出す処理を実行する。なお、補正値Ｄ１を読み出すタイミングは、生産システム７１の起動時に限らない。例えば、管理ＰＣ７３は、キャリア１３を移動させる制御を開始する直前に、補正値Ｄ１を読み出しても良い。

　管理ＰＣ７３は、読み出した補正値Ｄ１を参照してキャリア１３を制御する制御データＣＴ１を生成する。制御データＣＴ１は、上記したように、例えば、キャリア１３を移動させる目標位置、曲線路に進入する進入位置、移動速度等のデータである。本実施形態の管理ＰＣ７３は、例えば、キャリア１３を移動させたい経路中に曲線固定部１１Ａが含まれている場合、補正値Ｄ１（フィードバック係数）を制御データＣＴ１に反映させる。例えば、直線固定部１１では、第１取付面１３１と第２取付面１３２との曲率に違いがないため、補正が不要となる。管理ＰＣ７３は、直線固定部１１のみを移動する制御データＣＴ１の場合、補正値Ｄ１を反映させない制御データＣＴ１を生成する。なお、直線固定部１１は、補正が不要である場合、補正値Ｄ１や補正値Ｄ１を記憶する記憶部２５Ａを備えなくとも良い。また、管理ＰＣ７３は、直線固定部１１から補正値Ｄ１を読み出す処理を実行しなくとも良い。

　また、例えば、曲線固定部１１Ａを含む移動では、第１取付面１３１と第２取付面１３２の曲率が違うことで、補正値Ｄ１に基づいた補正が必要となる。管理ＰＣ７３は、曲線固定部１１Ａの第２搬送路部９２を含む搬送路でキャリア１３を移動させる場合、補正値Ｄ１を反映させた制御データＣＴ１を生成する。例えば、第２搬送路部９２において、フィードバック制御のタイミング等をズラした制御データＣＴ１を生成する。従って、管理ＰＣ７３は、直線路であれば、補正を必要としない磁極ピッチＷＰ１に基づいて制御データＣＴ１を生成し、曲線路であれば、補正磁極ピッチＷＰ２（補正値Ｄ１）に基づいて制御データＣＴ１を生成する。

　キャリア１３の受電基板５０（図５参照）は、制御基板２５から通信部６０を介して受信した制御データＣＴ１をサーボアンプ５１へ出力する。サーボアンプ５１は、制御データＣＴ１に基づいて、コイル５３Ｂに供給する交流電流Ｉａｃを制御する。キャリア１３は、コイル５３Ｂへ交流電流Ｉａｃを供給されることで移動を開始する。上記したように、制御データＣＴ１には、曲線の第２搬送路部９２等へ進入する進入位置が設定されている。サーボアンプ５１は、例えば、キャリア１３の移動中に、受電基板５０から入力した位置情報ＰＩと、制御データＣＴ１の進入位置とが一致するタイミングで、補正値Ｄ１のフィードバック係数を反映させたフィードバック制御を開始する。換言すれば、キャリア１３は、直線の第１搬送路部９１から曲線の第２搬送路部９２に進入するタイミングでフィードバック係数を切り替え、曲率の違いに応じたフィードバック制御を実行する。

　これにより、直線固定部１１においては、補正前の磁極ピッチＷＰ１に基づく制御が行われ、曲線固定部１１Ａでは補正磁極ピッチＷＰ２に基づく制御が行われる。そして、曲線固定部１１Ａに取り付けられた第１磁石２６Ａの位置とリニアスケール２９の位置とに起因してリニアヘッド４０で読み取った位置情報ＰＩに発生する誤差を補正することができる。具体的には、例えば、サーボアンプ５１のフィードバック係数を変更することで、フィードバック制御のタイミングや電流値等を変更する。永久磁石２６と巻線部５３の磁極のズレをなくし、トルクの変動を抑制し、キャリア１３を安定して走行させることができる。

　なお、補正を制御に反映させる方法は、フィードバック係数に限らない。例えば、可変抵抗を用いて交流電流Ｉａｃを制限することで、巻線部５３に磁極を発生させるタイミングをズラし補正を制御に反映させても良い。また、補正値Ｄ１は、管理ＰＣ７３が集約しなくとも良い。例えば、サーボアンプ５１は、複数のフィードバック係数（補正値Ｄ１）を有しても良い。サーボアンプ５１は、管理ＰＣ７３から制御データＣＴ１により移動の指令を受け付ける際に、移動中に使用する補正値Ｄ１の種類やタイミングを受け付けても良い。そして、サーボアンプ５１は、受け付けた指示に基づいて、自身が備える補正値Ｄ１を適宜用いて移動しても良い。この場合、制御基板２５は、記憶部２５Ａ（補正値Ｄ１）を備えなくとも良い。即ち、予め必要なフィードバック係数（補正値Ｄ１）をサーボアンプ５１に持たせて、移動中に使用するフィードバック係数を指示しても良い。

　上記したように、本実施形態のサーボアンプ５１は、直線固定部１１において、曲率の違いに応じた補正を行っていない磁極ピッチＷＰ１に基づくフィードバック係数を制御に用い、直線固定部１１から曲線固定部１１Ａへ進入するのに応じて補正を行った補正磁極ピッチＷＰ２に基づくフィードバック係数を用いる制御を開始する。これによれば、直線においては、補正前の磁極ピッチＷＰ１に基づく値（通常のフィードバック係数）を用いてキャリア１３を走行させる。また、曲線においては、補正磁極ピッチＷＰ２に基づく値（補正後のフィードバック係数）を用いてキャリア１３を走行させる。従って、直線と曲線で制御に用いるフィードバック係数を切り替えることで、キャリア１３を安定して走行させることができる。

　また、上記したように、リニアスケール２９とリニアヘッド４０とのギャップＧ１（図３参照）が狭い搬送装置１０Ａでは、図８に示す第１取付面１３１を第２取付面１３２よりも曲線の内側に退避させる可能性が高い。その結果、第１及び第２取付面１３１，１３２の曲率が相違する。従って、リニアスケール２９とリニアヘッド４０とのギャップＧ１が狭い搬送装置１０Ａにおいて、上記した補正値Ｄ１を用いる制御を実行することは極めて有効である。

　また、本実施形態のサーボアンプ５１は、キャリア１３に設けられ、巻線部５３に供給する電力を制御する構成となっている。これによれば、キャリア１３にサーボアンプ５１を設け、補正磁極ピッチＷＰ２に基づく電力制御を実行することができる。曲線部の第１磁石２６Ａの磁極に応じた磁極を巻線部５３に適切に発生させることができ、推進力を効率良く発生させることができる。

　また、本実施形態の磁極ピッチＷＰ１は、直線固定部１１と、曲線固定部１１Ａとで同一となっている。ここで、曲線固定部１１Ａの第１磁石２６Ａの磁極ピッチＷＰ１を、リニアスケール２９（第１取付面１３１）と第１磁石２６Ａ（第２取付面１３２）の曲率の違い（曲率半径ａ，ｂの違い）に応じて変更する場合を考える。この場合、搬送装置１０Ａの設計や製造において、第２搬送路部９２の磁極ピッチＷＰ１を、曲率の違いに応じて調整する必要がある。このため、製造コストの増加や設計の自由度の低下を招く虞がある。これに対し、本実施形態の搬送装置１０Ａでは、直線及び曲線の両方において実際に取り付ける永久磁石２６の磁極ピッチＷＰ１を同一にしている。これにより、製造コストの削減や設計の自由度の向上を図ることができる。そして、実際に取り付ける永久磁石２６の磁極ピッチＷＰ１を同一にしつつ、制御上は曲線路において補正磁極ピッチＷＰ２に基づくフィードバック係数を用いることで、キャリア１３を安定して走行させることができる。

　また、本実施形態のリニアスケール２９は、図３及び図４に示すように、曲線固定部１１Ａの半径方向（図３及び図４のＹ方向）においてリニアヘッド４０と対向する位置に配置されている。ここで、リニアスケール２９とリニアヘッド４０とを、曲線の半径方向に対して直交する方向（Ｚ方向など）で対向させた場合、キャリア１３が曲線路で傾くと、リニアスケール２９に対するリニアヘッド４０の位置が変動する。その結果、位置情報ＰＩを精度良く読み出せない可能性が高くなる。そこで、リニアスケール２９とリニアヘッド４０を、曲線の半径方向で対向させることで、キャリア１３の傾きによる影響を抑制し、位置情報ＰＩを精度良く読み出すことが可能となる。

　因みに、上記実施形態において、リニアスケール２９は、被位置情報読取部の一例である。永久磁石２６、第１磁石２６Ａは、固定子の一例である。直線固定部１１、曲線固定部１１Ａは、固定部の一例である。リニアヘッド４０は、位置情報読取部の一例である。巻線部５３は、可動子の一例である。第１搬送路部９１、第２搬送路部９２は、搬送路の一例である。サーボアンプ５１は、コントローラの一例である。直線固定部１１は、直線部の一例である。曲線固定部１１Ａは、曲線部の一例である。

　本実施形態のサーボアンプ５１は、曲線路において、リニアスケール２９を取り付けた曲線固定部１１Ａの第１取付面１３１と、複数の第１磁石２６Ａを取り付けた第２取付面１３２との曲率が違う場合に、曲率の違いに応じて補正した補正磁極ピッチＷＰ２と位置情報ＰＩとに基づいて、巻線部５３に供給する電力を制御する。

　設計変更の内容によっては、リニアスケール２９を取り付けた第１取付面１３１と、第１磁石２６Ａを取り付けた第２取付面１３２は、曲率が異なってくる可能性がある。曲率が異なることで、位置情報ＰＩと磁極ピッチＷＰ１とに誤差が発生する虞がある。このため、例えば、ムービングコイル方式の場合、直線路と同様に曲線路において位置情報ＰＩに基づいて巻線部５３の電力制御を実行しても、巻線部５３に発生する磁極が、キャリア１３の移動により変更される第１磁石２６Ａの磁極に応じて適切に切り替わらなくなる。トルクの変動が生じ、キャリア１３を安定して走行させることが困難となる。そこで、本実施形態のサーボアンプ５１は、２つの取付面の曲率の違いに応じて誤差を補正した補正磁極ピッチＷＰ２（補正値Ｄ１）と位置情報ＰＩに基づいて制御する。これにより、曲線路において読み取った位置情報ＰＩと、磁極ピッチＷＰ１の誤差の発生を抑制できる。そして、曲線路を設計・製造する段階で、磁極ピッチＷＰ１を調整等する必要がなくなり、設計の自由度を向上させることができる。

　尚、本願は、上記実施形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。
　例えば、上記実施形態では、本開示の搬送装置として、コイル５３Ｂをキャリア１３に取り付ける、所謂ムービングコイル方式のリニアモータを採用したが、キャリア１３に永久磁石２６を取り付けた所謂ムービングマグネット方式のリニアモータでも良い。この場合、本願のコントローラとして、曲線固定部１１Ａに取り付けたコイルの電力を制御するサーボアンプ５１を、曲線固定部１１Ａの底部２１に設けても良い。
　また、直線固定部１１の磁極ピッチＷＰ１と、曲線固定部１１Ａの磁極ピッチＷＰ１とは異なる値でも良い。
　また、キャリア１３は、様々な曲線に応じた補正値Ｄ１を記憶する記憶部を有しても良い。
　また、第２搬送路部９２は、一定の曲率ではなく、曲率が途中で変化する構成でも良い。この場合、記憶部２５Ａは、複数の補正値Ｄ１を備えても良い。
　また、リニアスケール２９と、リニアヘッド４０とを、Ｙ方向で対向する位置に配置したが、Ｙ方向に対して所定の角度をなす方向で対向する位置に配置しても良い。

　また、本開示の搬送装置は、直線固定部１１、曲線固定部１１Ａ、キャリア１３の他に、管理ＰＣ７３を含む構成でも良い。
　また、曲線固定部１１Ａは、不連続部９５，９６を備えなくとも良い。例えば、第２曲線側壁１２３は、第２搬送路部９２に沿って連続した壁でも良い。
　また、搬送装置１０Ａは、第２曲線側壁１２３の全てをなくした構成でも良い。

　１０Ａ　搬送装置、１１　直線固定部（固定部、直線部）、１１Ａ　曲線固定部（固定部、曲線部）、１３　キャリア、２５Ａ　記憶部、２６　永久磁石（固定子）、２６Ａ　第１磁石（固定子）、２９　リニアスケール（被位置情報読取部）、４０　リニアヘッド（位置情報読取部）、５１　サーボアンプ（コントローラ）、５３　巻線部（可動子）、９１　第１搬送路部（搬送路）、９２　第２搬送路部（搬送路）、１３１　第１取付面、１３２　第２取付面、Ｄ１　補正値、Ｌ１　距離、ＰＩ　位置情報、ＰＴ１　第１磁極位置、ＰＴ２　第２磁極位置、ＷＰ１　磁極ピッチ、ＷＰ２　補正磁極ピッチ、ａ，ｂ　曲率半径。

Claims (10)

1. 　被位置情報読取部と、一方向に並んで所定の磁極ピッチで配置される複数の固定子と、を有する固定部と、
   　前記被位置情報読取部から位置情報を読み取る位置情報読取部と、前記複数の固定子により生じる磁力を利用して推進力を発生させる可動子と、を有し、前記推進力により前記固定部の搬送路を走行するキャリアと、
   　前記キャリアの移動を制御するコントローラと、
   　を備え、
   　前記固定部は、
   　前記搬送路を所定の方向に曲げて構成される曲線部を有し、
   　前記コントローラは、
   　前記曲線部において、前記被位置情報読取部を取り付けた前記固定部の第１取付面と、前記複数の固定子を取り付けた前記固定部の第２取付面との曲率が違う場合に、曲率の違いに応じて前記所定の磁極ピッチを補正した補正磁極ピッチと前記位置情報とに基づいて、前記複数の固定子又は前記可動子に供給する電力を制御する、搬送装置。
2. 　前記可動子は、
   　コイルであり、
   　前記コントローラは、
   　前記キャリアに設けられ、前記可動子に供給する電力を制御する、請求項１に記載の搬送装置。
3. 　前記コントローラは、
   　前記曲線部における前記第１取付面の曲率半径をａ、前記曲線部における前記第２取付面の曲率半径をｂ、前記曲線部の前記複数の固定子の磁極ピッチをＷＰ１、補正後の補正磁極ピッチをＷＰ２とした場合に、次式、
   　ＷＰ２＝ＷＰ１＊（ａ／ｂ）
   　により演算した補正磁極ピッチに基づいて電力を制御する、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
4. 　前記コントローラは、
   　前記曲線部における磁極検出動作により検出した磁極位置に応じて補正した前記補正磁極ピッチに基づいて、電力を制御する、請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
5. 　前記磁極検出動作は、
   　前記複数の固定子のうち前記曲線部における任意の固定子の位置に合わせて前記キャリアを配置した状態で前記コントローラから電力を供給して前記キャリアの移動が収束した位置に基づく第１磁極位置と、前記任意の固定子の隣に配置された固定子の位置に合わせて前記キャリアを配置した状態で前記コントローラから電力を供給して前記キャリアの移動が収束した位置に基づく第２磁極位置を、前記磁極位置として検出するものであり、
   　前記補正磁極ピッチは、
   　前記第１磁極位置と前記第２磁極位置との間の距離に基づく値である、請求項４に記載の搬送装置。
6. 　前記固定部は、
   　前記搬送路を直線状に構成される直線部を有し、
   　前記コントローラは、
   　前記直線部において、前記曲率の違いに応じた補正を行っていない前記磁極ピッチに基づいて電力を制御し、前記直線部から前記曲線部へ進入するのに応じて補正を行った前記補正磁極ピッチに基づいて電力を制御する、請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の搬送装置。
7. 　前記固定部は、
   　前記搬送路を直線状に構成される直線部を有し、
   　前記固定部に取り付けられた前記複数の固定子の前記磁極ピッチは、
   　前記直線部と前記曲線部において同一である、請求項１乃至請求項６の何れか１項に記載の搬送装置。
8. 　前記曲線部は、
   　自身が有する前記複数の固定子の前記磁極ピッチに係わる補正値を記憶した記憶部を有する、請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載の搬送装置。
9. 　前記固定部は、
   　前記搬送路を直線状に構成される直線部を有し、
   　前記曲線部は、
   　前記第１取付面の位置を、前記第２取付面の位置に比べて、曲線の前記搬送路における内側に配置される、請求項１乃至請求項８の何れか１項に記載の搬送装置。
10. 　前記被位置情報読取部は、
    　前記曲線部の半径方向において前記位置情報読取部と対向する位置に配置される、請求項１乃至請求項９の何れか１項に記載の搬送装置。

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