WO2019163687A1 - 流体取扱装置 - Google Patents

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WO2019163687A1
WO2019163687A1 PCT/JP2019/005733 JP2019005733W WO2019163687A1 WO 2019163687 A1 WO2019163687 A1 WO 2019163687A1 JP 2019005733 W JP2019005733 W JP 2019005733W WO 2019163687 A1 WO2019163687 A1 WO 2019163687A1
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liquid introduction
liquid
channel
diaphragm
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伸也 砂永
拓史 山内
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株式会社エンプラス
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    • B01L2400/0655—Valves, specific forms thereof with moving parts pinch valves

Definitions

  • the present invention relates to a fluid handling apparatus for mixing two or more liquids in a chamber.
  • fluid handling devices have been used to analyze trace substances such as proteins and nucleic acids with high accuracy and high speed.
  • the fluid handling apparatus has the advantage that the amount of reagents and samples required for analysis may be small, and is expected to be used in various applications such as clinical tests, food tests, and environmental tests.
  • a fluid handling apparatus having a plurality of flow paths and a plurality of microvalves and capable of sequentially feeding different types of liquids by sequentially driving the microvalves is known (for example, patents). Reference 1).
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a fluid handling device (flow channel chip) described in Patent Document 1.
  • the fluid handling device (channel chip) described in Patent Document 1 includes a first liquid introduction unit 10, a first channel 12, a second liquid introduction unit 20, a second channel 22, The third flow path 32 and the liquid extraction part 30 are provided.
  • the upstream end of the first flow path 12 is connected to the first liquid introduction unit 10, and the downstream end of the first flow path 12 is connected to the upstream end of the third flow path 32.
  • the upstream end of the second flow path 22 is connected to the second liquid introduction unit 20, and the downstream end of the second flow path 22 is connected to the upstream end of the third flow path 32.
  • the upstream end of the third flow path 32 is connected to the downstream end of the first flow path 12 and the downstream end of the second flow path 22, and the downstream end of the third flow path 32 is connected to the liquid extraction unit 30. ing.
  • Each of the first flow path 12, the second flow path 22, and the third flow path 32 is provided with a micro valve (indicated by a broken line in the figure). For example, when the first liquid is introduced into the first liquid introduction part 10 and the microvalves of the first flow path 12 and the third flow path 32 are opened, as shown in FIG. 1B, the first liquid is The liquid extraction unit 30 is reached through the first flow path 12 and the third flow path 32.
  • the second liquid is introduced into the second liquid introduction unit 20 and the microvalves of the second flow path 22 and the third flow path 32 are opened, as shown in FIG. 1C, the second liquid is The liquid extraction unit 30 is reached through the second flow path 22 and the third flow path 32.
  • the first liquid and the second liquid can be sequentially fed to the liquid extraction unit 30 by controlling the opening and closing of the plurality of microvalves.
  • the first liquid and the second liquid when the first liquid and the second liquid are sequentially fed as described above, the first liquid and the second liquid may come into contact with each other in the fluid handling apparatus. There is. That is, when the first liquid is moved from the first liquid introduction part 10 to the liquid extraction part 30, the first liquid flows through the first flow path 12 and the third flow path 32, but as indicated by arrows in FIG. 1B. A small part of the first liquid enters the second flow path 22. Thereafter, when the second liquid is moved from the second liquid introduction unit 20 to the liquid extraction unit 30, the second liquid comes into contact with the first liquid remaining in the second flow path 22. Depending on the use of the fluid handling apparatus, it is not preferable that the first liquid and the second liquid come into contact with each other at an unintended location.
  • An object of the present invention is a fluid handling apparatus for mixing a first liquid and a second liquid in a chamber, and prevents the first liquid and the second liquid from contacting each other before reaching the chamber. It is to provide a fluid handling device capable of performing the above.
  • the first fluid handling device of the present invention includes a first liquid introduction part for introducing a first liquid, a first cleaning liquid introduction part for introducing a cleaning liquid, and a liquid introduced into the first liquid introduction part. And a first flow path for flowing the liquid introduced into the first cleaning liquid introducing section, a second liquid introducing section for introducing the second liquid, a second cleaning liquid introducing section for introducing the cleaning liquid, A second flow path for flowing the liquid introduced into the second liquid introduction section and the liquid introduced into the second cleaning liquid introduction section; the liquid flowing through the first flow path; and the second flow path. A third flow path for flowing the flowing liquid, a first diaphragm valve disposed between the first flow path and the third flow path, the second flow path, and the third flow path. A second diaphragm valve disposed between and a chamber connected to the third flow path.
  • the second fluid handling apparatus of the present invention includes a first liquid introduction part for introducing a first liquid, a second liquid introduction part for introducing a second liquid, and a cleaning liquid introduction part for introducing a cleaning liquid.
  • the third fluid handling device of the present invention includes a first liquid introduction part for introducing a first liquid, a first cleaning liquid introduction part for introducing a cleaning liquid, and a liquid introduced into the first liquid introduction part. And a first flow path for flowing the liquid introduced into the first cleaning liquid introducing section, a second liquid introducing section for introducing the second liquid, a second cleaning liquid introducing section for introducing the cleaning liquid, A second flow path for flowing the liquid introduced into the second liquid introduction section and the liquid introduced into the second cleaning liquid introduction section, and the first flow path and the second flow path are separately connected to each other.
  • a chamber for introducing introducing a first liquid, a first cleaning liquid introduction part for introducing a cleaning liquid, and a liquid introduced into the first liquid introduction part.
  • the first liquid and the second liquid can be prevented from coming into contact with each other before reaching the chamber, and the first liquid and the second liquid can be brought into contact with each other at an appropriate timing.
  • FIG. 1A to 1C are schematic views of a fluid handling device described in Patent Document 1.
  • FIG. FIG. 2 is a plan view of the fluid handling apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view of the rotary member according to the first embodiment.
  • 5A to 5D are schematic diagrams for explaining the operation of the fluid handling apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a plan view of an integrated rotary member.
  • FIG. 7 is a plan view of the fluid handling apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a plan view of the rotary member according to the second embodiment.
  • 9A to 9D are schematic diagrams for explaining the operation of the fluid handling apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 10 is a plan view of the fluid handling apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 11 is a plan view of the rotary member according to the third embodiment.
  • 12A to 12D are schematic diagrams for explaining
  • FIG. 2 is a plan view of the fluid handling apparatus 100 according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. In FIG. 3, a cross section of a rotary member 200 (described later) pressed against the fluid handling apparatus 100 is also illustrated.
  • grooves (flow paths, chambers) formed on the surface of the substrate 110 on the film 120 side, and a diaphragm formed on the film 120 are indicated by broken lines.
  • the fluid handling apparatus 100 includes a substrate 110 and a film 120.
  • the substrate 110 is formed with a recess (groove) for forming a flow path or a chamber, and a through hole serving as an inlet or outlet.
  • the film 120 is bonded to one surface of the substrate 110 so as to close the recesses formed in the substrate 110 and the openings of the through holes.
  • a part of the film 120 functions as a diaphragm.
  • the concave portion of the substrate 110 closed by the film 120 serves as a flow path for flowing a fluid such as a reagent, liquid sample, gas, powder, or a chamber for mixing them.
  • the thickness of the substrate 110 is not particularly limited.
  • the thickness of the substrate 110 is 1 mm or more and 10 mm or less.
  • the material of the substrate 110 is not particularly limited.
  • the material of the substrate 110 can be appropriately selected from known resins and glass. Examples of the material of the substrate 110 include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin, and elastomer.
  • the thickness of the film 120 is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the thickness of the film 120 is 30 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less.
  • the material of the film 120 is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the material of the film 120 can be appropriately selected from known resins. Examples of the material of the film 120 include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin, and elastomer.
  • the film 120 is bonded to the substrate 110 by, for example, heat welding, laser welding, adhesive, or the like.
  • the fluid handling apparatus 100 includes a first liquid introduction part 130, a first liquid introduction flow path 131, a third diaphragm valve 132, a first cleaning liquid introduction part 140, a first cleaning liquid introduction flow path 141, and a fourth.
  • Diaphragm valve 142 first flow path 150, first diaphragm valve 151, second liquid introduction section 160, second liquid introduction flow path 161, fifth diaphragm valve 162, second cleaning liquid introduction section 170, second cleaning liquid introduction flow path 171, a sixth diaphragm valve 172, a second flow path 180, a second diaphragm valve 181, a third flow path 190, a chamber 191, a discharge flow path 192, and a discharge portion 193.
  • the first liquid introduction part 130 is a bottomed recessed part for introducing the first liquid.
  • the first liquid introduction part 130 is composed of a through hole formed in the substrate 110 and a film 120 that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the first liquid introduction part 130 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • transducing part 130 is a substantially cylindrical shape, for example.
  • the width of the first liquid introduction unit 130 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be stored in the first liquid introduction unit 130 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 100.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder.
  • the first liquid introduction channel 131 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the first liquid introduction channel 131 is connected to the first liquid introduction part 130.
  • the downstream end of the first liquid introduction channel 131 is connected to the third diaphragm valve 132.
  • the first liquid introduction channel 131 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 131 are not particularly limited.
  • the “cross section of the flow path” means a cross section of the flow path perpendicular to the direction in which the fluid flows.
  • the cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 131 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 131 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 131 is constant.
  • the third diaphragm valve 132 is disposed between the first liquid introduction channel 131 and the first channel 150, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the third diaphragm valve 132 is a wall disposed between the first liquid introduction channel 131 and the first channel 150.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first liquid introduction channel 131 and the first channel 150.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is the same as the depth of the first liquid introduction channel 131 and the first channel 150, for example.
  • the diaphragm of the third diaphragm valve 132 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a first convex portion 211 of a first rotary member 210 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the 1st convex part 211 When the 1st convex part 211 is not pressing the diaphragm, the 1st liquid introduction flow path 131 and the 1st flow path 150 will be in the state mutually connected via the clearance gap between a diaphragm and a partition. On the other hand, when the 1st convex part 211 is pressing the diaphragm so that a diaphragm may contact a partition, the 1st liquid introduction flow path 131 and the 1st flow path 150 will be in the state which does not mutually communicate.
  • the first cleaning liquid introduction unit 140 is a bottomed recess for introducing a cleaning liquid for cleaning the first flow path 150.
  • the first cleaning liquid introducing section 140 includes a through hole formed in the substrate 110 and a film 120 that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the first cleaning liquid introduction unit 140 are not particularly limited, and can be set as appropriate as necessary.
  • transducing part 140 is a substantially cylindrical shape, for example.
  • the width of the first cleaning liquid introducing unit 140 is, for example, about 2 mm.
  • the type of cleaning liquid that can be accommodated in the first cleaning liquid introducing unit 140 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 100.
  • the cleaning liquid is water, for example.
  • the first cleaning liquid introduction channel 141 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the first cleaning liquid introduction channel 141 is connected to the first cleaning liquid introduction part 140.
  • the downstream end of the first cleaning liquid introduction channel 141 is connected to the fourth diaphragm valve 142.
  • the first cleaning liquid introduction channel 141 is constituted by a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first cleaning liquid introduction channel 141 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the first cleaning liquid introduction channel 141 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first cleaning liquid introduction channel 141 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first cleaning liquid introduction channel 141 is constant.
  • the fourth diaphragm valve 142 is disposed between the first cleaning liquid introduction channel 141 and the first channel 150, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the fourth diaphragm valve 142 is a wall disposed between the first cleaning liquid introduction channel 141 and the first channel 150.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first cleaning liquid introduction channel 141 and the first channel 150.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is the same as the depth of the first cleaning liquid introduction channel 141 and the first channel 150, for example.
  • the diaphragm of the fourth diaphragm valve 142 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a first convex portion 211 of a first rotary member 210 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • cleaning liquid introduction flow path 141 and the 1st flow path 150 will be in the state mutually connected via the clearance gap between the diaphragm and the partition.
  • the 1st convex part 211 is pressing the diaphragm so that a diaphragm may contact a partition, the 1st washing
  • the first channel 150 is a channel through which fluid can move.
  • the first flow path 150 is connected to the first liquid introduction section 130 (first liquid introduction flow path 131) via the third diaphragm valve 132, and the first cleaning liquid introduction section 140 is connected via the fourth diaphragm valve 142. It is connected to the (first cleaning liquid introduction channel 141). Therefore, the liquid introduced into the first liquid introduction part 130 (first liquid) and the liquid introduced into the first cleaning liquid introduction part 140 (cleaning liquid) flow through the first flow path 150.
  • the fourth diaphragm valve 142 is disposed upstream of the first flow path 150 with respect to the third diaphragm valve 132.
  • the downstream end of the first flow path 150 is connected to the first diaphragm valve 151.
  • the first flow path 150 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first flow path 150 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the first flow path 150 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first flow path 150 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first flow path 150 is constant.
  • the first diaphragm valve 151 is disposed between the first flow path 150 and the third flow path 190, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the first diaphragm valve 151 is a wall disposed between the first flow path 150 and the third flow path 190.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first flow path 150 and the third flow path 190.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is the same as the depth of the first flow path 150 and the third flow path 190, for example.
  • the diaphragm of the first diaphragm valve 151 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a second convex portion 221 of a second rotary member 220 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the 1st flow path 150 and the 3rd flow path 190 will be in the state mutually connected via the clearance gap between the diaphragm and the partition.
  • the second liquid introduction part 160 is a bottomed recessed part for introducing the second liquid.
  • the second liquid introduction portion 160 is configured by a through hole formed in the substrate 110 and a film 120 that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the second liquid introduction part 160 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the second liquid introduction unit 160 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second liquid introduction unit 160 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be accommodated in the second liquid introduction unit 160 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 100.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder. Normally, the first liquid introduced into the first liquid introduction unit 130 and the second liquid introduced into the second liquid introduction unit 160 are different types of liquids.
  • the second liquid introduction channel 161 is a channel through which the fluid can move.
  • the upstream end of the second liquid introduction channel 161 is connected to the second liquid introduction unit 160.
  • the downstream end of the second liquid introduction channel 161 is connected to the fifth diaphragm valve 162.
  • the second liquid introduction channel 161 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes an opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 161 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 161 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 161 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 161 is constant.
  • the fifth diaphragm valve 162 is disposed between the second liquid introduction channel 161 and the second channel 180, and has a partition and a diaphragm.
  • the partition wall of the fifth diaphragm valve 162 is a wall disposed between the second liquid introduction channel 161 and the second channel 180.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second liquid introduction channel 161 and the second channel 180.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is, for example, the same as the depth of the second liquid introduction channel 161 and the second channel 180.
  • the diaphragm of the fifth diaphragm valve 162 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a first convex portion 211 of a first rotary member 210 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the 2nd liquid introduction flow path 161 and the 2nd flow path 180 will be in the state mutually connected via the clearance gap between the diaphragm and the partition.
  • the second cleaning liquid introduction unit 170 is a bottomed recess for introducing a cleaning liquid for cleaning the second flow path 180.
  • the second cleaning liquid introducing section 170 is configured by a through hole formed in the substrate 110 and a film 120 that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the second cleaning liquid introduction unit 170 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the second cleaning liquid introduction unit 170 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second cleaning liquid introducing unit 170 is, for example, about 2 mm.
  • the type of cleaning liquid that can be accommodated in the second cleaning liquid introduction unit 170 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 100.
  • the cleaning liquid is water, for example.
  • the cleaning liquid introduced into the first cleaning liquid introduction unit 140 and the cleaning liquid introduced into the second cleaning liquid introduction unit 170 may be the same type of liquid or different types of liquid.
  • the second cleaning liquid introduction channel 171 is a channel through which the fluid can move.
  • the upstream end of the second cleaning liquid introduction channel 171 is connected to the second cleaning liquid introduction unit 170.
  • the downstream end of the second cleaning liquid introduction channel 171 is connected to the sixth diaphragm valve 172.
  • the second cleaning liquid introduction channel 171 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second cleaning liquid introduction channel 171 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second cleaning liquid introduction channel 171 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second cleaning liquid introduction channel 171 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second cleaning liquid introduction channel 171 is constant.
  • the sixth diaphragm valve 172 is disposed between the second cleaning liquid introduction channel 171 and the second channel 180, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the sixth diaphragm valve 172 is a wall disposed between the second cleaning liquid introduction channel 171 and the second channel 180.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second cleaning liquid introduction channel 171 and the second channel 180.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the second cleaning liquid introduction channel 171 and the second channel 180.
  • the diaphragm of the sixth diaphragm valve 172 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a first convex portion 211 of a first rotary member 210 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • cleaning liquid introduction flow path 171 and the 2nd flow path 180 When the 1st convex part 211 is not pressing the diaphragm, the 2nd washing
  • the second channel 180 is a channel through which fluid can move.
  • the second flow path 180 is connected to the second liquid introduction section 160 (second liquid introduction flow path 161) via the fifth diaphragm valve 162, and the second cleaning liquid introduction section 170 is connected via the sixth diaphragm valve 172. It is connected to (second cleaning liquid introduction channel 171). Therefore, the liquid introduced into the second liquid introduction unit 160 (second liquid) and the liquid introduced into the second cleaning liquid introduction unit 170 (cleaning liquid) flow through the second flow path 180.
  • the sixth diaphragm valve 172 is disposed upstream of the second flow path 180 with respect to the fifth diaphragm valve 162.
  • the downstream end of the second flow path 180 is connected to the second diaphragm valve 181.
  • the second flow path 180 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the second flow path 180 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second flow path 180 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second flow path 180 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second flow path 180 is constant.
  • the second diaphragm valve 181 is disposed between the second flow path 180 and the third flow path 190, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the second diaphragm valve 181 is a wall disposed between the second flow path 180 and the third flow path 190.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second flow path 180 and the third flow path 190.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is the same as the depth of the second flow path 180 and the third flow path 190, for example.
  • the diaphragm of the second diaphragm valve 181 is a part of the flexible film 120 and has a substantially spherical crown shape.
  • the film 120 is disposed on the substrate 110 so that the diaphragm faces the partition wall in a non-contact manner.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a third convex portion 231 of a third rotary member 230 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the 3rd convex part 231 is not pressing the diaphragm, the 2nd flow path 180 and the 3rd flow path 190 will be in the state mutually connected via the gap of a diaphragm and a partition.
  • the third channel 190 is a channel through which fluid can move.
  • the third flow path 190 is connected to the first flow path 150 via the first diaphragm valve 151, and is connected to the second flow path 180 via the second diaphragm valve 181. Accordingly, the liquid that has flowed through the first flow path 150 (for example, the first liquid) and the liquid that has flowed through the second flow path 180 (for example, the second liquid) flow through the third flow path 190.
  • the first diaphragm valve 151 and the second diaphragm valve 181 are arranged at different positions in the flow direction of the third flow path 190 (for example, the extending direction of the third flow path 190).
  • the second diaphragm valve 181 is arranged upstream of the third flow path 190 relative to the first diaphragm valve 151.
  • the downstream end of the third flow path 190 is connected to the chamber 191.
  • the third flow path 190 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the third flow path 190 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the third flow path 190 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the third channel 190 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the third flow path 190 is constant.
  • the chamber 191 is a space for containing a fluid therein.
  • the chamber 191 includes a recess formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the recess.
  • the shape and size of the chamber 191 are not particularly limited, and can be appropriately adjusted according to the application.
  • the shape of the chamber 191 is, for example, a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the chamber 191 is connected to the downstream end of the third flow path 190.
  • the chamber 191 is connected to the upstream end of the discharge channel 192.
  • the discharge channel 192 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the discharge channel 192 is connected to the chamber 191, and the downstream end of the discharge channel 192 is connected to the discharge unit 193. Accordingly, the fluid in the chamber 191 (for example, air or a mixed liquid of the first liquid and the second liquid) flows into the discharge channel 192.
  • the discharge channel 192 includes a groove formed in the substrate 110 and a film 120 that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the discharge channel 192 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the discharge channel 192 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the discharge channel 192 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the discharge channel 192 is constant.
  • the discharge part 193 is a bottomed recessed part connected to the chamber 191 through the discharge flow path 192.
  • the discharge part 193 functions as an air hole or functions as a takeout port for taking out the liquid in the chamber 191.
  • the discharge portion 193 includes a through hole formed in the substrate 110 and a film 120 that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the discharge part 193 are not particularly limited, and can be set as appropriate.
  • the shape of the discharge part 193 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the discharge part 193 is, for example, about 2 mm.
  • FIG. 4 is a plan view of the rotary member 200 according to the first embodiment.
  • the top surfaces of the first convex portion 211, the second convex portion 221, and the third convex portion 231 are blacked out for easy viewing.
  • FIG. 3 shows a cross-sectional view of the rotary member 200.
  • the rotary member 200 includes a cylindrical first rotary member 210, a cylindrical second rotary member 220, and a columnar third rotary member 230.
  • the second rotary member 220 is disposed inside the first rotary member 210.
  • the third rotary member 230 is disposed inside the second rotary member 220.
  • the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are rotatable about the same rotation axis. These are individually rotated by an external drive mechanism (not shown).
  • a first convex portion 211 for pushing the diaphragms of the third diaphragm valve 132, the fourth diaphragm valve 142, the fifth diaphragm valve 162, and the sixth diaphragm valve 172 is provided on the upper portion of the first rotary member 210.
  • a second convex part 221 for pushing the diaphragm of the first diaphragm valve 151 is provided on the upper part of the second rotary member 220.
  • a third convex portion 231 for pressing the diaphragm of the second diaphragm valve 181 is provided on the upper portion of the third rotary member 230.
  • the first projecting portion 211, the second projecting portion 221 and the third projecting portion 231 each have a circular arc shape, and the first projecting portion 211, the second projecting portion 221 and the third projecting portion 231 are concentric circles. Arranged in a shape.
  • the first liquid introduction part 130 contains the first liquid
  • the second liquid introduction part 160 contains the second liquid
  • the first cleaning liquid introduction part 140 and the second cleaning liquid introduction part 170 Is assumed to contain a cleaning liquid
  • the first liquid introducing part 130, the second liquid introducing part 160, the first cleaning liquid introducing part 140, and the second cleaning liquid introducing part 170 are pressurized.
  • the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are rotated to open the third diaphragm valve 132 and the first diaphragm valve 151, and close the other diaphragm valves.
  • the first liquid in the first liquid introduction unit 130 is supplied from the first liquid introduction channel 131, the third diaphragm valve 132, the first channel 150, the first diaphragm valve 151, and It moves to the chamber 191 through the third flow path 190.
  • the second diaphragm valve 181 since the second diaphragm valve 181 is closed, the first liquid does not flow into the second flow path 180.
  • the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are rotated to open the fourth diaphragm valve 142 and the first diaphragm valve 151, and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the first cleaning liquid introduction unit 140 contains the first cleaning liquid introduction channel 141, the fourth diaphragm valve 142, the first channel 150, the first diaphragm valve 151, and the third The inside of the flow path 190 is washed.
  • the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are rotated to open the fifth diaphragm valve 162 and the second diaphragm valve 181 and close the other diaphragm valves.
  • the second liquid in the second liquid introduction unit 160 contains the second liquid introduction channel 161, the fifth diaphragm valve 162, the second channel 180, the second diaphragm valve 181, and It moves to the chamber 191 through the third flow path 190.
  • the first diaphragm valve 151 since the first diaphragm valve 151 is closed, the second liquid does not flow into the first flow path 150.
  • the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are rotated to open the sixth diaphragm valve 172 and the first diaphragm valve 151, and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the second cleaning liquid introduction unit 170 is supplied from the second cleaning liquid introduction channel 171, the sixth diaphragm valve 172, the second channel 180, the second diaphragm valve 181 and the third.
  • the inside of the flow path 190 is washed.
  • the first liquid and the second liquid are not made in the chamber 191 for the first time without contacting the first liquid and the second liquid in the first flow path 150, the second flow path 180, and the third flow path 190. Can be contacted.
  • the fluid handling apparatus 100 does not contact the first liquid and the second liquid in the first flow path 150, the second flow path 180, and the third flow path 190.
  • the first liquid and the second liquid can be brought into contact with each other for the first time in the chamber 191.
  • the fluid handling device 100 having the third diaphragm valve 132, the fourth diaphragm valve 142, the fifth diaphragm valve 162, and the sixth diaphragm valve 172 has been described.
  • the diaphragm valve 132, the fourth diaphragm valve 142, the fifth diaphragm valve 162, and the sixth diaphragm valve 172 may not be provided.
  • the rotary member 200 in which the first rotary member 210, the second rotary member 220, and the third rotary member 230 are separately rotatable has been described.
  • the rotary member 200 may be integrated.
  • the fluid handling apparatus 100 can be operated as shown in FIGS. 5A to 5D.
  • the second convex portion 221 does not push the diaphragm of the first diaphragm valve 151
  • the first convex portion 211, the second convex portion 221 and the third convex portion 231 are arranged so that the third convex portion 231 pushes the diaphragm of the second diaphragm valve 181.
  • the second convex portion 221 pushes the diaphragm of the first diaphragm valve 151
  • the third convex portion 231 is
  • the 1st convex part 211, the 2nd convex part 221, and the 3rd convex part 231 are arrange
  • the shape and number of the convex part provided in a rotary member can be changed arbitrarily.
  • the fluid handling apparatus 100 having four liquid introduction units has been described, but the fluid handling apparatus 100 may further include another liquid introduction unit.
  • FIG. 7 is a plan view of a fluid handling device 300 according to Embodiment 2.
  • FIG. 7 grooves (flow paths, chambers) formed on the film-side surface of the substrate 310 and diaphragms formed on the film are indicated by broken lines.
  • the fluid handling apparatus 300 includes a substrate 310 and a film (see FIG. 3).
  • the substrate 310 is provided with a recess (groove) for forming a flow path or a chamber, and a through hole serving as an inlet or outlet.
  • the film is bonded to one surface of the substrate 310 so as to close the recess formed in the substrate 310 and the opening of the through hole. Some areas of the film function as diaphragms.
  • the concave portion of the substrate 310 closed by the film becomes a flow path for flowing a fluid such as a reagent, a liquid sample, gas, powder, or a chamber for mixing them.
  • the thickness of the substrate 310 is not particularly limited.
  • the thickness of the substrate 310 is 1 mm or more and 10 mm or less.
  • the material of the substrate 310 is not particularly limited.
  • the material of the substrate 310 can be appropriately selected from known resins and glass. Examples of the material of the substrate 310 include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin, and elastomer.
  • the thickness of the film is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the thickness of the film is 30 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less.
  • the material of the film is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the material of the film can be appropriately selected from known resins. Examples of film materials include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin and elastomer.
  • the film is bonded to the substrate 310 by, for example, heat welding, laser welding, adhesive, or the like.
  • the fluid handling apparatus 300 includes a first liquid introduction unit 320, a first liquid introduction channel 321, a second diaphragm valve 322, a first channel 330, a second liquid introduction unit 340, and a second liquid introduction. It has a flow path 341, a third diaphragm valve 342, a second flow path 350, a cleaning liquid introduction section 360, a cleaning liquid introduction flow path 361, a first diaphragm valve 362, a third flow path 370, and a chamber 371.
  • the first liquid introduction part 320 is a bottomed recessed part for introducing the first liquid.
  • the first liquid introduction part 320 is composed of a through hole formed in the substrate 310 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the first liquid introduction part 320 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the first liquid introduction part 320 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the first liquid introduction part 320 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be stored in the first liquid introduction unit 320 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 300.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder.
  • the first liquid introduction channel 321 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the first liquid introduction channel 321 is connected to the first liquid introduction part 320.
  • the downstream end of the first liquid introduction channel 321 is connected to the second diaphragm valve 322.
  • the first liquid introduction channel 321 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 321 are not particularly limited.
  • the “cross section of the flow path” means a cross section of the flow path perpendicular to the direction in which the fluid flows.
  • the cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 321 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 321 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 321 is constant.
  • the second diaphragm valve 322 is disposed between the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the second diaphragm valve 322 is a wall disposed between the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330.
  • the partition functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330.
  • the diaphragm of the second diaphragm valve 322 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 310 so that the diaphragm is not in contact with the partition wall and faces the partition wall.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 401 of a rotary member 400 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 401 is not pressing the diaphragm, the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 401 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the first liquid introduction channel 321 and the first channel 330 are not in communication with each other.
  • the first channel 330 is a channel through which fluid can move.
  • the first flow path 330 is connected to the first liquid introduction section 320 (first liquid introduction flow path 321) via the second diaphragm valve 322. Therefore, the liquid (first liquid) introduced into the first liquid introduction unit 320 flows through the first flow path 330. Further, as will be described later, the upstream end of the first flow path 330 is connected to the cleaning liquid introducing section 360 (cleaning liquid introducing flow path 361) via the first diaphragm valve 362. Therefore, the liquid (cleaning liquid) introduced into the cleaning liquid introducing unit 360 also flows through the first flow path 330.
  • the first diaphragm valve 362 is disposed upstream of the first flow path 330 with respect to the second diaphragm valve 322.
  • the downstream end of the first flow path 330 is connected to the third flow path 370.
  • the first flow path 330 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first flow path 330 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the first flow path 330 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first channel 330 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first flow path 330 is constant.
  • the second liquid introduction part 340 is a bottomed concave part for introducing the second liquid.
  • the second liquid introduction part 340 is composed of a through hole formed in the substrate 310 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the second liquid introduction part 340 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the second liquid introduction part 340 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second liquid introduction part 340 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be stored in the second liquid introduction unit 340 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 300.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder. Normally, the first liquid introduced into the first liquid introduction part 320 and the second liquid introduced into the second liquid introduction part 340 are different types of liquids.
  • the second liquid introduction channel 341 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the second liquid introduction channel 341 is connected to the second liquid introduction part 340.
  • the downstream end of the second liquid introduction channel 341 is connected to the third diaphragm valve 342.
  • the second liquid introduction channel 341 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 341 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 341 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 341 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 341 is constant.
  • the third diaphragm valve 342 is disposed between the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the third diaphragm valve 342 is a wall disposed between the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350.
  • the partition functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition wall is, for example, the same as the depth of the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350.
  • the diaphragm of the third diaphragm valve 342 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 310 so that the diaphragm is not in contact with the partition wall and faces the partition wall.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 401 of a rotary member 400 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 401 is not pressing the diaphragm, the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 401 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the second liquid introduction channel 341 and the second channel 350 are not in communication with each other.
  • the second channel 350 is a channel through which fluid can move.
  • the second flow path 350 is connected to the second liquid introduction part 340 (second liquid introduction flow path 341) via the third diaphragm valve 342. Therefore, the liquid (second liquid) introduced into the second liquid introduction unit 340 flows through the second flow path 350.
  • the upstream end of the second flow path 350 is connected to the cleaning liquid introducing section 360 (cleaning liquid introducing flow path 361) via the first diaphragm valve 362. Accordingly, the liquid (cleaning liquid) introduced into the cleaning liquid introducing unit 360 also flows through the second flow path 350.
  • the first diaphragm valve 362 is disposed upstream of the second flow path 350 with respect to the third diaphragm valve 342.
  • a partition wall is disposed between the upstream end of the first flow path 330 and the second flow path 350. Therefore, when the diaphragm of the first diaphragm valve 362 is in contact with the partition wall, the first flow path 330 and the second flow path 350 are not in communication with each other.
  • the downstream end of the second flow path 350 is connected to the third flow path 370.
  • the second flow path 350 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second flow path 350 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second flow path 350 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second flow path 350 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second flow path 350 is constant.
  • the cleaning liquid introduction part 360 is a bottomed recess for introducing a cleaning liquid for cleaning the first flow path 330 and the second flow path 350.
  • the cleaning liquid introducing section 360 is composed of a through hole formed in the substrate 310 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the cleaning liquid introducing unit 360 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the cleaning liquid introducing unit 360 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the cleaning liquid introducing unit 360 is, for example, about 2 mm.
  • the type of the cleaning liquid that can be stored in the cleaning liquid introducing unit 360 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 300.
  • the cleaning liquid is water, for example.
  • the cleaning liquid introduction channel 361 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the cleaning liquid introduction channel 361 is connected to the cleaning liquid introduction unit 360.
  • the downstream end of the cleaning liquid introduction channel 361 is connected to the first diaphragm valve 362.
  • the cleaning liquid introduction channel 361 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the cleaning liquid introduction channel 361 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the cleaning liquid introduction channel 361 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the cleaning liquid introduction channel 361 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the cleaning liquid introduction channel 361 is constant.
  • the first diaphragm valve 362 is disposed between the cleaning liquid introduction flow path 361, the first flow path 330, and the second flow path 350, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the first diaphragm valve 362 is a wall disposed between the cleaning liquid introduction flow path 361 and the first flow path 330 and the second flow path 350.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the cleaning liquid introduction channel 361 and the first channel 330 and the second channel 350.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the cleaning liquid introduction channel 361, the first channel 330, and the second channel 350.
  • the diaphragm of the first diaphragm valve 362 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 310 so that the diaphragm is not in contact with the partition wall and faces the partition wall.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 401 of a rotary member 400 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 401 does not press the diaphragm
  • the cleaning liquid introduction channel 361, the first channel 330, and the second channel 350 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 401 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the cleaning liquid introduction channel 361, the first channel 330, and the second channel 350 are not in communication with each other.
  • the third channel 370 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the third flow path 370 is connected to the downstream end of the first flow path 330 and the downstream end of the second flow path 350. Accordingly, the liquid (for example, the first liquid) that flows through the first flow path 330 and the liquid (for example, the second liquid) that flows through the second flow path 350 flow through the third flow path 370.
  • the downstream end of the third flow path 370 is connected to the chamber 371.
  • the third flow path 370 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the third flow path 370 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the third flow path 370 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the third flow path 370 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the third flow path 370 is constant.
  • the chamber 371 is a space for accommodating a fluid therein.
  • the chamber 371 includes a recess formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the recess.
  • the shape and size of the chamber 371 are not particularly limited and can be appropriately adjusted according to the application.
  • the shape of the chamber 371 is, for example, a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the chamber 371 is connected to the downstream end of the third flow path 370. Further, the chamber 371 is connected to the upstream end of the discharge flow path 372.
  • the discharge channel 372 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the discharge channel 372 is connected to the chamber 371, and the downstream end of the discharge channel 372 is connected to the discharge unit 373. Accordingly, the fluid in the chamber 371 (for example, air or a mixed liquid of the first liquid and the second liquid) flows into the discharge channel 372.
  • the discharge channel 372 includes a groove formed in the substrate 310 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the discharge channel 372 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the discharge channel 372 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the discharge channel 372 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the discharge channel 372 is constant.
  • the discharge part 373 is a bottomed concave part connected to the chamber 371 through the discharge flow path 372.
  • the discharge unit 373 functions as an air hole or functions as a takeout port for taking out the liquid in the chamber 371.
  • the discharge portion 373 includes a through hole formed in the substrate 310 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the discharge part 373 are not particularly limited, and can be set as appropriate.
  • the shape of the discharge part 373 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the discharge part 373 is, for example, about 2 mm.
  • FIG. 8 is a plan view of the rotary member 400 according to the second embodiment.
  • the top surface of the convex portion 401 is painted black for easy viewing.
  • the rotary member 400 is a columnar member and can be rotated around a rotation axis.
  • the rotary member 400 is rotated by an external drive mechanism (not shown).
  • a convex portion 401 for pushing the diaphragms of the first diaphragm valve 362, the second diaphragm valve 322, and the third diaphragm valve 342 is provided on the upper portion of the rotary member 400.
  • the planar view shape of the convex portion 401 is an arc shape.
  • the first liquid introduction part 320 contains the first liquid
  • the second liquid introduction part 340 contains the second liquid
  • the cleaning liquid introduction part 360 contains the cleaning liquid
  • the rotary member 400 is rotated to open the second diaphragm valve 322 and close the other diaphragm valves.
  • the first liquid in the first liquid introduction unit 320 passes through the first liquid introduction channel 321, the second diaphragm valve 322, the first channel 330, and the third channel 370. Move to chamber 371 through. At this time, a part of the first liquid may flow into the downstream portion of the second flow path 350.
  • the rotary member 400 is rotated to open the first diaphragm valve 362 and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the cleaning liquid introduction unit 360 is contained in the cleaning liquid introduction flow path 362, the first diaphragm valve 362, the first flow path 330, the second flow path 350, and the third flow path 370. Wash.
  • the first liquid that has flowed into the second flow path 350 is removed.
  • the rotary member 400 is rotated to open the third diaphragm valve 342 and close the other diaphragm valves.
  • the second liquid in the second liquid introduction unit 340 passes through the second liquid introduction channel 341, the third diaphragm valve 342, the second channel 350, and the third channel 370. Move to chamber 371 through. At this time, a part of the second liquid may flow into the downstream portion of the first flow path 330.
  • the rotary member 400 is rotated to open the first diaphragm valve 362 and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the cleaning liquid introduction unit 362 is contained in the cleaning liquid introduction flow path 362, the first diaphragm valve 362, the first flow path 330, the second flow path 350, and the third flow path 370. Wash.
  • the second liquid that has flowed into the first flow path 330 is removed.
  • the first liquid and the second liquid are not made in the chamber 371 for the first time without contacting the first liquid and the second liquid in the first flow path 330, the second flow path 350, and the third flow path 370. Can be contacted.
  • the fluid handling apparatus 300 does not contact the first liquid and the second liquid in the first flow path 330, the second flow path 350, and the third flow path 370, The first liquid and the second liquid can be brought into contact with each other for the first time in the chamber 371.
  • the fluid handling device 300 having the second diaphragm valve 322 and the third diaphragm valve 342 has been described. However, the fluid handling device 300 has the second diaphragm valve 322 and the third diaphragm valve 342. It does not have to be.
  • the fluid handling device 300 having three liquid introduction units has been described, but the fluid handling device 300 may further include another liquid introduction unit.
  • FIG. 10 is a plan view of a fluid handling apparatus 500 according to the third embodiment.
  • a groove (flow path, chamber) formed on the film side surface of the substrate 510 and a diaphragm formed on the film are indicated by broken lines.
  • the fluid handling apparatus 500 includes a substrate 510 and a film (see FIG. 3).
  • the substrate 510 is provided with a recess (groove) for forming a flow path or a chamber, and a through hole serving as an inlet or outlet.
  • the film is bonded to one surface of the substrate 510 so as to block the recesses formed in the substrate 510 and the openings of the through holes. Some areas of the film function as diaphragms.
  • the concave portion of the substrate 510 closed by the film serves as a flow path for flowing a fluid such as a reagent, a liquid sample, gas, powder, or a chamber for mixing them.
  • the thickness of the substrate 510 is not particularly limited.
  • the thickness of the substrate 510 is 1 mm or more and 10 mm or less.
  • the material of the substrate 510 is not particularly limited.
  • the material of the substrate 510 can be appropriately selected from known resins and glass. Examples of the material of the substrate 510 include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin, and elastomer.
  • the thickness of the film is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the thickness of the film is 30 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less.
  • the material of the film is not particularly limited as long as it can function as a diaphragm.
  • the material of the film can be appropriately selected from known resins. Examples of film materials include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyvinyl chloride, polypropylene, polyether, polyethylene, polystyrene, silicone resin and elastomer.
  • the film is bonded to the substrate 510 by, for example, heat welding, laser welding, adhesive, or the like.
  • the fluid handling apparatus 500 includes a first liquid introduction unit 520, a first liquid introduction channel 521, a first diaphragm valve 522, a first cleaning liquid introduction unit 530, a first cleaning liquid introduction channel 531, and a second.
  • the first liquid introduction part 520 is a bottomed recess for introducing the first liquid.
  • the first liquid introduction part 520 includes a through hole formed in the substrate 510 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the first liquid introduction part 520 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the first liquid introduction part 520 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the first liquid introduction part 520 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be stored in the first liquid introduction unit 520 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 500.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder.
  • the first liquid introduction channel 521 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the first liquid introduction channel 521 is connected to the first liquid introduction part 520.
  • the downstream end of the first liquid introduction channel 521 is connected to the first diaphragm valve 522.
  • the first liquid introduction channel 521 is constituted by a groove formed in the substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 521 are not particularly limited.
  • the “cross section of the flow path” means a cross section of the flow path perpendicular to the direction in which the fluid flows.
  • the cross-sectional shape of the first liquid introduction channel 521 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 521 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first liquid introduction channel 521 is constant.
  • the first diaphragm valve 522 is disposed between the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the first diaphragm valve 522 is a wall disposed between the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540.
  • the partition functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540.
  • the diaphragm of the first diaphragm valve 522 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 510 so that the diaphragm faces the partition wall without contact.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 601 of a rotary member 600 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 601 does not press the diaphragm, the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 601 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the first liquid introduction channel 521 and the first channel 540 are not in communication with each other.
  • the first cleaning liquid introduction unit 530 is a bottomed recess for introducing a cleaning liquid for cleaning the first flow path 540.
  • the first cleaning liquid introducing section 530 is composed of a through hole formed in the substrate 510 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the first cleaning liquid introducing unit 530 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • transducing part 530 is a substantially cylindrical shape, for example.
  • the width of the first cleaning liquid introducing unit 530 is, for example, about 2 mm.
  • the type of cleaning liquid that can be accommodated in the first cleaning liquid introducing unit 530 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 500.
  • the cleaning liquid is water, for example.
  • the first cleaning liquid introduction channel 531 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the first cleaning liquid introduction channel 531 is connected to the first cleaning liquid introduction part 530.
  • the downstream end of the first cleaning liquid introduction channel 531 is connected to the second diaphragm valve 532.
  • the first cleaning liquid introduction channel 531 includes a groove formed in the substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first cleaning liquid introduction channel 531 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the first cleaning liquid introduction channel 531 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first cleaning liquid introduction channel 531 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first cleaning liquid introduction channel 531 is constant.
  • the second diaphragm valve 532 is disposed between the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the second diaphragm valve 532 is a wall disposed between the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540.
  • the diaphragm of the second diaphragm valve 532 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 510 so that the diaphragm faces the partition wall without contact.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 601 of a rotary member 600 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 601 does not press the diaphragm, the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 601 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the first cleaning liquid introduction channel 531 and the first channel 540 are not in communication with each other.
  • the first channel 540 is a channel through which fluid can move.
  • the first flow path 540 is connected to the first liquid introduction part 520 (first liquid introduction flow path 521) via the first diaphragm valve 522, and the first cleaning liquid introduction part 530 via the second diaphragm valve 532. It is connected to (first cleaning liquid introduction flow path 531). Therefore, the liquid introduced into the first liquid introduction part 520 (first liquid) and the liquid introduced into the first cleaning liquid introduction part 530 (cleaning liquid) flow through the first flow path 540.
  • the second diaphragm valve 532 is disposed upstream of the first flow path 540 with respect to the first diaphragm valve 522.
  • the downstream end of the first flow path 540 is connected to the chamber 580.
  • the first flow path 540 includes a groove formed in the substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the first flow path 540 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the first flow path 540 is, for example, a substantially rectangular shape having a length (width and depth) of one side of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the first flow path 540 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the first flow path 540 is constant.
  • the second liquid introduction part 550 is a bottomed concave part for introducing the second liquid.
  • the second liquid introduction part 550 is composed of a through-hole formed in the substrate 510 and a film that closes one opening of the through-hole.
  • the shape and size of the second liquid introduction part 550 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the second liquid introduction part 550 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second liquid introduction part 550 is, for example, about 2 mm.
  • the fluid that can be stored in the second liquid introduction unit 550 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 500.
  • the fluid is a fluid such as a reagent, a liquid sample, or a powder. Normally, the first liquid introduced into the first liquid introduction part 520 and the second liquid introduced into the second liquid introduction part 550 are different types of liquids.
  • the second liquid introduction channel 551 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the second liquid introduction channel 551 is connected to the second liquid introduction part 550.
  • the downstream end of the second liquid introduction channel 551 is connected to the third diaphragm valve 552.
  • the second liquid introduction channel 551 is composed of a groove formed in the substrate 510 and a film closing the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 551 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second liquid introduction channel 551 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 551 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second liquid introduction channel 551 is constant.
  • the third diaphragm valve 552 is disposed between the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the third diaphragm valve 552 is a wall disposed between the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570.
  • the diaphragm of the third diaphragm valve 552 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 510 so that the diaphragm faces the partition wall without contact.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 601 of a rotary member 600 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 601 does not press the diaphragm
  • the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the convex portion 601 presses the diaphragm so that the diaphragm contacts the partition wall, the second liquid introduction channel 551 and the second channel 570 are not in communication with each other.
  • the second cleaning liquid introduction unit 560 is a bottomed recess for introducing a cleaning liquid for cleaning the second flow path 570.
  • the second cleaning liquid introducing section 560 includes a through hole formed in the substrate 510 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the second cleaning liquid introduction unit 560 are not particularly limited, and can be appropriately set as necessary.
  • the shape of the second cleaning liquid introducing unit 560 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the second cleaning liquid introduction unit 560 is, for example, about 2 mm.
  • the type of the cleaning liquid that can be stored in the second cleaning liquid introduction unit 560 can be appropriately selected according to the application of the fluid handling apparatus 500.
  • the cleaning liquid is water, for example.
  • the cleaning liquid introduced into the first cleaning liquid introduction unit 530 and the cleaning liquid introduced into the second cleaning liquid introduction unit 560 may be the same type of liquid or different types of liquid.
  • the second cleaning liquid introduction channel 561 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the second cleaning liquid introduction channel 561 is connected to the second cleaning liquid introduction part 560.
  • the downstream end of the second cleaning liquid introduction channel 561 is connected to the fourth diaphragm valve 562.
  • the second cleaning liquid introduction channel 561 is constituted by a groove formed in the substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second cleaning liquid introduction channel 561 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second cleaning liquid introduction channel 561 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second cleaning liquid introduction channel 561 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second cleaning liquid introduction channel 561 is constant.
  • the fourth diaphragm valve 562 is disposed between the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570, and has a partition wall and a diaphragm.
  • the partition wall of the fourth diaphragm valve 562 is a wall disposed between the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570.
  • the partition wall functions as a valve seat of a diaphragm valve for opening and closing between the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570.
  • the shape and height of the partition wall are not particularly limited as long as the above functions can be exhibited.
  • the shape of the partition is, for example, a quadrangular prism shape.
  • the height of the partition is, for example, the same as the depth of the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570.
  • the diaphragm of the fourth diaphragm valve 562 is a part of a flexible film and has a substantially spherical crown shape.
  • the film is disposed on the substrate 510 so that the diaphragm faces the partition wall without contact.
  • the diaphragm bends toward the partition when pressed by a convex portion 601 of a rotary member 600 (described later). That is, the diaphragm functions as a valve body of the diaphragm valve.
  • the convex portion 601 does not press the diaphragm
  • the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570 are in communication with each other through a gap between the diaphragm and the partition wall.
  • the second cleaning liquid introduction channel 561 and the second channel 570 are not in communication with each other.
  • the second channel 570 is a channel through which fluid can move.
  • the second flow path 570 is connected to the second liquid introduction part 550 (second liquid introduction flow path 551) via the third diaphragm valve 552, and the second cleaning liquid introduction part 560 via the fourth diaphragm valve 562. It is connected to the (second cleaning liquid introduction channel 561). Therefore, the liquid introduced into the second liquid introduction part 550 (second liquid) and the liquid introduced into the second cleaning liquid introduction part 560 (cleaning liquid) flow through the second flow path 570.
  • the fourth diaphragm valve 562 is disposed upstream of the second flow path 570 with respect to the third diaphragm valve 552.
  • the downstream end of the second flow path 570 is connected to the chamber 580.
  • second flow path 570 includes a groove formed in substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and the cross-sectional shape of the second flow path 570 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the second flow path 570 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the second flow path 570 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the second flow path 570 is constant.
  • the chamber 580 is a space for containing a fluid therein.
  • chamber 580 is constituted by a recess formed in substrate 510 and a film that closes the opening of the recess.
  • the shape and size of the chamber 580 are not particularly limited, and can be appropriately adjusted according to the application.
  • the shape of the chamber 580 is, for example, a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the chamber 580 is separately connected to the downstream end of the first flow path 540 and the downstream end of the second flow path 570.
  • the chamber 580 is connected to the upstream end of the discharge channel 581.
  • the discharge channel 581 is a channel through which fluid can move.
  • the upstream end of the discharge channel 581 is connected to the chamber 580, and the downstream end of the discharge channel 581 is connected to the discharge unit 582. Therefore, the fluid in the chamber 580 (for example, air or a mixed liquid of the first liquid and the second liquid) flows into the discharge channel 581.
  • the discharge flow path 581 includes a groove formed in the substrate 510 and a film that closes the opening of the groove.
  • the cross-sectional area and cross-sectional shape of the discharge channel 581 are not particularly limited.
  • the cross-sectional shape of the discharge channel 581 is, for example, a substantially rectangular shape having a side length (width and depth) of about several tens of ⁇ m.
  • the cross-sectional area of the discharge channel 581 may or may not be constant in the fluid flow direction. In the present embodiment, the cross-sectional area of the discharge channel 581 is constant.
  • the discharge part 582 is a bottomed recess connected to the chamber 580 via the discharge flow path 581.
  • the discharge unit 582 functions as an air hole or functions as a takeout port for taking out the liquid in the chamber 580.
  • the discharge portion 582 includes a through hole formed in the substrate 510 and a film that closes one opening of the through hole.
  • the shape and size of the discharge portion 582 are not particularly limited, and can be set as appropriate.
  • the shape of the discharge part 582 is, for example, a substantially cylindrical shape.
  • the width of the discharge part 582 is, for example, about 2 mm.
  • FIG. 11 is a plan view of the rotary member 600 according to the third embodiment.
  • the top surface of the convex portion 601 is painted black for easy viewing.
  • the rotary member 600 is a columnar member and can be rotated around a rotation axis.
  • the rotary member 600 is rotated by an external drive mechanism (not shown).
  • a convex portion 601 for pushing the diaphragms of the first diaphragm valve 522, the second diaphragm valve 532, the third diaphragm valve 552, and the fourth diaphragm valve 562 is provided on the upper portion of the rotary member 600.
  • the shape of the projection 601 in plan view is an arc shape.
  • the first liquid introduction part 520 contains the first liquid
  • the second liquid introduction part 550 contains the second liquid
  • the first cleaning liquid introduction part 530 and the second cleaning liquid introduction part 560 Is assumed to contain a cleaning liquid, and the first liquid introduction section 520, the second liquid introduction section 550, the first cleaning liquid introduction section 530, and the second cleaning liquid introduction section 560 are pressurized.
  • the rotary member 600 is rotated to open the first diaphragm valve 522 and close the other diaphragm valves.
  • the first liquid in the first liquid introduction part 520 moves to the chamber 580 through the first liquid introduction channel 521, the first diaphragm valve 522, and the first channel 540.
  • the first channel 540 and the second channel 570 are separately connected to the chamber 580, the first liquid does not flow into the second channel 570.
  • the rotary member 600 is rotated to open the second diaphragm valve 532 and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the first cleaning liquid introduction unit 530 cleans the first cleaning liquid introduction flow path 531, the second diaphragm valve 532, and the first flow path 540.
  • the rotary member 600 is rotated to open the third diaphragm valve 552 and close the other diaphragm valves.
  • the second liquid in the second liquid introduction part 550 moves to the chamber 580 through the second liquid introduction channel 551, the third diaphragm valve 552, and the second channel 570.
  • the first channel 540 and the second channel 570 are separately connected to the chamber 580, the second liquid does not flow into the first channel 540.
  • the rotary member 600 is rotated to open the fourth diaphragm valve 562 and close the other diaphragm valves.
  • the cleaning liquid in the second cleaning liquid introduction unit 560 cleans the second cleaning liquid introduction flow path 561, the fourth diaphragm valve 562, and the second flow path 570.
  • the first liquid and the second liquid can be contacted for the first time in the chamber 581 without contacting the first liquid and the second liquid in the first flow path 540 and the second flow path 570. it can.
  • the fluid handling apparatus 500 is the first in the chamber 581 without contacting the first liquid and the second liquid in the first channel 540 and the second channel 570. One liquid and the second liquid can be brought into contact with each other.
  • the fluid handling apparatus 500 having the first diaphragm valve 522, the second diaphragm valve 532, the third diaphragm valve 552, and the fourth diaphragm valve 562 has been described.
  • the diaphragm valve 522, the second diaphragm valve 532, the third diaphragm valve 552, and the fourth diaphragm valve 562 may not be provided.
  • the fluid handling device 500 having four liquid introduction units has been described, but the fluid handling device 500 may further include another liquid introduction unit.
  • the fluid handling device of the present invention is useful in various applications such as clinical tests, food tests, and environmental tests.

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Abstract

本発明の第１の流体取扱装置は、第１液体導入部と、第１洗浄液導入部と、前記第１液体導入部および前記第１洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、第２液体導入部と、第２洗浄液導入部と、前記第２液体導入部および前記第２洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、前記第１流路を流れてきた液体および前記第２流路を流れてきた液体を流すための第３流路と、前記第１流路と前記第３流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、前記第２流路と前記第３流路との間に配置された第２ダイヤフラムバルブと、前記第３流路に接続されたチャンバーと、を有する。

Description

流体取扱装置
　本発明は、２種以上の液体をチャンバーで混合するための流体取扱装置に関する。
　近年、タンパク質や核酸などの微量な物質の分析を高精度かつ高速に行うために、流体取扱装置が使用されている。流体取扱装置は、分析に必要な試薬および試料の量が少なくてよいという利点を有しており、臨床検査や食物検査、環境検査などの様々な用途での使用が期待されている。流体取扱装置としては、複数の流路および複数のマイクロバルブを有しており、マイクロバルブを順次駆動させることで異なる種類の液体を順次送液できる流体取扱装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
　図１は、特許文献１に記載の流体取扱装置（流路チップ）の構成を示す模式図である。図１に示されるように、特許文献１に記載の流体取扱装置（流路チップ）は、第１液体導入部１０、第１流路１２、第２液体導入部２０、第２流路２２、第３流路３２、液体取出部３０を有する。第１流路１２の上流端は、第１液体導入部１０に接続されており、第１流路１２の下流端は、第３流路３２の上流端に接続されている。第２流路２２の上流端は、第２液体導入部２０に接続されており、第２流路２２の下流端は、第３流路３２の上流端に接続されている。第３流路３２の上流端は、第１流路１２の下流端および第２流路２２の下流端に接続されており、第３流路３２の下流端は、液体取出部３０に接続されている。第１流路１２、第２流路２２および第３流路３２には、それぞれマイクロバルブ（図中破線で示す）が設けられている。たとえば、第１液体導入部１０に第１液体が導入された状態で、第１流路１２および第３流路３２のマイクロバルブを開放すると、図１Ｂに示されるように、第１液体は、第１流路１２および第３流路３２を通って液体取出部３０に到達する。次いで、第２液体導入部２０に第２液体が導入された状態で、第２流路２２および第３流路３２のマイクロバルブを開放すると、図１Ｃに示されるように、第２液体は、第２流路２２および第３流路３２を通って液体取出部３０に到達する。このように、複数のマイクロバルブの開閉を制御することで、第１液体および第２液体を液体取出部３０に順次送液できる。
特開２００７－８５５３７号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の流体取扱装置では、上記のように第１液体および第２液体を順次送液したときに、流体取扱装置内において第１液体および第２液体が接触してしまうおそれがある。すなわち、第１液体導入部１０から液体取出部３０に第１液体を移動させたとき、第１液体は第１流路１２および第３流路３２を流れるが、図１Ｂにおいて矢印で示すように、ごく一部の第１液体は第２流路２２に入り込んでしまう。この後、第２液体導入部２０から液体取出部３０に第２液体を移動させると、第２液体は、第２流路２２内に残存している第１液体と接触してしまう。流体取扱装置の用途によっては、このように意図していない箇所で第１液体と第２液体とが接触することは好ましくない。
　本発明の目的は、第１液体および第２液体をチャンバーで混合するための流体取扱装置であって、チャンバーに到達する前に第１液体と第２液体とが接触してしまうことを防ぐことができる流体取扱装置を提供することである。
　本発明の第１の流体取扱装置は、第１液体を導入するための第１液体導入部と、洗浄液を導入するための第１洗浄液導入部と、前記第１液体導入部に導入された液体および前記第１洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、第２液体を導入するための第２液体導入部と、洗浄液を導入するための第２洗浄液導入部と、前記第２液体導入部に導入された液体および前記第２洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、前記第１流路を流れてきた液体および前記第２流路を流れてきた液体を流すための第３流路と、前記第１流路と前記第３流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、前記第２流路と前記第３流路との間に配置された第２ダイヤフラムバルブと、前記第３流路に接続されたチャンバーと、を有する。
　本発明の第２の流体取扱装置は、第１液体を導入するための第１液体導入部と、第２液体を導入するための第２液体導入部と、洗浄液を導入するための洗浄液導入部と、前記第１液体導入部に導入された液体および前記洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、前記第２液体導入部に導入された液体および前記洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、前記洗浄液導入部と前記第１流路および前記第２流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、前記第１流路および前記第２流路に接続され、前記第１流路を流れてきた液体および前記第２流路を流れてきた液体を流すための第３流路と、前記第３流路に接続されたチャンバーと、を有する。
　本発明の第３の流体取扱装置は、第１液体を導入するための第１液体導入部と、洗浄液を導入するための第１洗浄液導入部と、前記第１液体導入部に導入された液体および前記第１洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、第２液体を導入するための第２液体導入部と、洗浄液を導入するための第２洗浄液導入部と、前記第２液体導入部に導入された液体および前記第２洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、前記第１流路および前記第２流路にそれぞれ別個に接続されたチャンバーと、を有する。
　本発明によれば、チャンバーに到達する前に第１液体と第２液体とが接触することを防ぎ、第１液体と第２液体とを適切なタイミングで接触させることができる。
図１Ａ～Ｃは、特許文献１に記載の流体取扱装置の模式図である。 図２は、実施の形態１に係る流体取扱装置の平面図である。 図３は、図２に示されるＡ－Ａ線の断面図である。 図４は、実施の形態１に係るロータリー部材の平面図である。 図５Ａ～Ｄは、実施の形態１に係る流体取扱装置の動作を説明するための模式図である。 図６は、一体型のロータリー部材の平面図である。 図７は、実施の形態２に係る流体取扱装置の平面図である。 図８は、実施の形態２に係るロータリー部材の平面図である。 図９Ａ～Ｄは、実施の形態２に係る流体取扱装置の動作を説明するための模式図である。 図１０は、実施の形態３に係る流体取扱装置の平面図である。 図１１は、実施の形態３に係るロータリー部材の平面図である。 図１２Ａ～Ｄは、実施の形態３に係る流体取扱装置の動作を説明するための模式図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
　［実施の形態１］
　（流体取扱装置の構成）
　図２は、実施の形態１に係る流体取扱装置１００の平面図である。図３は、図２に示されるＡ－Ａ線の断面図である。図３では、流体取扱装置１００に押し当てられるロータリー部材２００（後述）の断面も図示している。図２では、基板１１０のフィルム１２０側の面に形成された溝（流路、チャンバー）と、フィルム１２０に形成されたダイヤフラムを破線で示している。
　流体取扱装置１００は、基板１１０およびフィルム１２０を有する。基板１１０には、流路またはチャンバーとなるための凹部（溝）、および導入口または取出口となる貫通孔が形成されている。フィルム１２０は、基板１１０に形成された凹部および貫通孔の開口部を塞ぐように基板１１０の一方の面に接合されている。フィルム１２０の一部の領域は、ダイヤフラムとして機能する。フィルム１２０により塞がれた基板１１０の凹部は、試薬や液体試料、気体、紛体などの流体を流すための流路や、これらを混合するためのチャンバーとなる。
　基板１１０の厚みは、特に限定されない。たとえば、基板１１０の厚みは、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。また、基板１１０の材料も、特に限定されない。たとえば、基板１１０の材料は、公知の樹脂およびガラスから適宜選択されうる。基板１１０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。
　フィルム１２０の厚みは、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルム１２０の厚みは、３０μｍ以上３００μｍ以下である。また、フィルム１２０の材料も、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルム１２０の材料は、公知の樹脂から適宜選択されうる。フィルム１２０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。フィルム１２０は、例えば熱溶着やレーザ溶着、接着剤などにより基板１１０に接合される。
　本実施の形態に係る流体取扱装置１００は、第１液体導入部１３０、第１液体導入流路１３１、第３ダイヤフラムバルブ１３２、第１洗浄液導入部１４０、第１洗浄液導入流路１４１、第４ダイヤフラムバルブ１４２、第１流路１５０、第１ダイヤフラムバルブ１５１、第２液体導入部１６０、第２液体導入流路１６１、第５ダイヤフラムバルブ１６２、第２洗浄液導入部１７０、第２洗浄液導入流路１７１、第６ダイヤフラムバルブ１７２、第２流路１８０、第２ダイヤフラムバルブ１８１、第３流路１９０、チャンバー１９１、排出流路１９２および排出部１９３を有する。
　第１液体導入部１３０は、第１液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第１液体導入部１３０は、基板１１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第１液体導入部１３０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第１液体導入部１３０の形状は、例えば、略円柱形状である。第１液体導入部１３０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第１液体導入部１３０に収容されうる流体は、流体取扱装置１００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。
　第１液体導入流路１３１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１液体導入流路１３１の上流端は、第１液体導入部１３０に接続されている。第１液体導入流路１３１の下流端は、第３ダイヤフラムバルブ１３２に接続されている。本実施の形態では、第１液体導入流路１３１は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第１液体導入流路１３１の断面積および断面形状は、特に限定されない。本明細書において、「流路の断面」とは、流体が流れる方向に直交する流路の断面を意味する。第１液体導入流路１３１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１液体導入流路１３１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１液体導入流路１３１の断面積は、一定である。
　第３ダイヤフラムバルブ１３２は、第１液体導入流路１３１と第１流路１５０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第３ダイヤフラムバルブ１３２の隔壁は、第１液体導入流路１３１と第１流路１５０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１液体導入流路１３１と第１流路１５０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１液体導入流路１３１および第１流路１５０の深さと同じである。
　第３ダイヤフラムバルブ１３２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第１ロータリー部材２１０（後述）の第１凸部２１１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１液体導入流路１３１および第１流路１５０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１液体導入流路１３１および第１流路１５０は互いに連通しない状態となる。
　第１洗浄液導入部１４０は、第１流路１５０を洗浄するための洗浄液を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第１洗浄液導入部１４０は、基板１１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第１洗浄液導入部１４０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第１洗浄液導入部１４０の形状は、例えば、略円柱形状である。第１洗浄液導入部１４０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第１洗浄液導入部１４０に収容されうる洗浄液の種類は、流体取扱装置１００の用途に応じて適宜選択されうる。洗浄液は、例えば水である。
　第１洗浄液導入流路１４１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１洗浄液導入流路１４１の上流端は、第１洗浄液導入部１４０に接続されている。第１洗浄液導入流路１４１の下流端は、第４ダイヤフラムバルブ１４２に接続されている。本実施の形態では、第１洗浄液導入流路１４１は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第１洗浄液導入流路１４１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第１洗浄液導入流路１４１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１洗浄液導入流路１４１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１洗浄液導入流路１４１の断面積は、一定である。
　第４ダイヤフラムバルブ１４２は、第１洗浄液導入流路１４１と第１流路１５０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第４ダイヤフラムバルブ１４２の隔壁は、第１洗浄液導入流路１４１と第１流路１５０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１洗浄液導入流路１４１と第１流路１５０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１洗浄液導入流路１４１および第１流路１５０の深さと同じである。
　第４ダイヤフラムバルブ１４２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第１ロータリー部材２１０（後述）の第１凸部２１１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１洗浄液導入流路１４１および第１流路１５０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１洗浄液導入流路１４１および第１流路１５０は互いに連通しない状態となる。
　第１流路１５０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１流路１５０は、第３ダイヤフラムバルブ１３２を介して第１液体導入部１３０（第１液体導入流路１３１）に接続されており、第４ダイヤフラムバルブ１４２を介して第１洗浄液導入部１４０（第１洗浄液導入流路１４１）に接続されている。したがって、第１流路１５０には、第１液体導入部１３０に導入された液体（第１液体）および第１洗浄液導入部１４０に導入された液体（洗浄液）が流れる。なお、第４ダイヤフラムバルブ１４２は、第３ダイヤフラムバルブ１３２よりも第１流路１５０の上流に配置されている。第１流路１５０の下流端は、第１ダイヤフラムバルブ１５１に接続されている。本実施の形態では、第１流路１５０は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第１流路１５０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第１流路１５０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１流路１５０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１流路１５０の断面積は、一定である。
　第１ダイヤフラムバルブ１５１は、第１流路１５０と第３流路１９０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第１ダイヤフラムバルブ１５１の隔壁は、第１流路１５０と第３流路１９０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１流路１５０と第３流路１９０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１流路１５０および第３流路１９０の深さと同じである。
　第１ダイヤフラムバルブ１５１のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第２ロータリー部材２２０（後述）の第２凸部２２１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第２凸部２２１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１流路１５０および第３流路１９０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第２凸部２２１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１流路１５０および第３流路１９０は互いに連通しない状態となる。
　第２液体導入部１６０は、第２液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第２液体導入部１６０は、基板１１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第２液体導入部１６０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第２液体導入部１６０の形状は、例えば、略円柱形状である。第２液体導入部１６０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第２液体導入部１６０に収容されうる流体は、流体取扱装置１００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。通常は、第１液体導入部１３０に導入される第１液体と第２液体導入部１６０に導入される第２液体は、異なる種類の液体である。
　第２液体導入流路１６１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２液体導入流路１６１の上流端は、第２液体導入部１６０に接続されている。第２液体導入流路１６１の下流端は、第５ダイヤフラムバルブ１６２に接続されている。本実施の形態では、第２液体導入流路１６１は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第２液体導入流路１６１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２液体導入流路１６１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２液体導入流路１６１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２液体導入流路１６１の断面積は、一定である。
　第５ダイヤフラムバルブ１６２は、第２液体導入流路１６１と第２流路１８０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第５ダイヤフラムバルブ１６２の隔壁は、第２液体導入流路１６１と第２流路１８０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２液体導入流路１６１と第２流路１８０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２液体導入流路１６１および第２流路１８０の深さと同じである。
　第５ダイヤフラムバルブ１６２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第１ロータリー部材２１０（後述）の第１凸部２１１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２液体導入流路１６１および第２流路１８０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２液体導入流路１６１および第２流路１８０は互いに連通しない状態となる。
　第２洗浄液導入部１７０は、第２流路１８０を洗浄するための洗浄液を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第２洗浄液導入部１７０は、基板１１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第２洗浄液導入部１７０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第２洗浄液導入部１７０の形状は、例えば、略円柱形状である。第２洗浄液導入部１７０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第２洗浄液導入部１７０に収容されうる洗浄液の種類は、流体取扱装置１００の用途に応じて適宜選択されうる。洗浄液は、例えば水である。第１洗浄液導入部１４０に導入される洗浄液と第２洗浄液導入部１７０に導入される洗浄液は、同一種類の液体であってもよいし、異なる種類の液体であってもよい。
　第２洗浄液導入流路１７１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２洗浄液導入流路１７１の上流端は、第２洗浄液導入部１７０に接続されている。第２洗浄液導入流路１７１の下流端は、第６ダイヤフラムバルブ１７２に接続されている。本実施の形態では、第２洗浄液導入流路１７１は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第２洗浄液導入流路１７１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２洗浄液導入流路１７１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２洗浄液導入流路１７１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２洗浄液導入流路１７１の断面積は、一定である。
　第６ダイヤフラムバルブ１７２は、第２洗浄液導入流路１７１と第２流路１８０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第６ダイヤフラムバルブ１７２の隔壁は、第２洗浄液導入流路１７１と第２流路１８０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２洗浄液導入流路１７１と第２流路１８０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２洗浄液導入流路１７１および第２流路１８０の深さと同じである。
　第６ダイヤフラムバルブ１７２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第１ロータリー部材２１０（後述）の第１凸部２１１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２洗浄液導入流路１７１および第２流路１８０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第１凸部２１１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２洗浄液導入流路１７１および第２流路１８０は互いに連通しない状態となる。
　第２流路１８０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２流路１８０は、第５ダイヤフラムバルブ１６２を介して第２液体導入部１６０（第２液体導入流路１６１）に接続されており、第６ダイヤフラムバルブ１７２を介して第２洗浄液導入部１７０（第２洗浄液導入流路１７１）に接続されている。したがって、第２流路１８０には、第２液体導入部１６０に導入された液体（第２液体）および第２洗浄液導入部１７０に導入された液体（洗浄液）が流れる。なお、第６ダイヤフラムバルブ１７２は、第５ダイヤフラムバルブ１６２よりも第２流路１８０の上流に配置されている。第２流路１８０の下流端は、第２ダイヤフラムバルブ１８１に接続されている。本実施の形態では、第２流路１８０は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第２流路１８０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２流路１８０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２流路１８０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２流路１８０の断面積は、一定である。
　第２ダイヤフラムバルブ１８１は、第２流路１８０と第３流路１９０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第２ダイヤフラムバルブ１８１の隔壁は、第２流路１８０と第３流路１９０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２流路１８０と第３流路１９０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２流路１８０および第３流路１９０の深さと同じである。
　第２ダイヤフラムバルブ１８１のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルム１２０の一部であり、略球冠形状を有している。フィルム１２０は、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板１１０上に配置されている。ダイヤフラムは、第３ロータリー部材２３０（後述）の第３凸部２３１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。第３凸部２３１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２流路１８０および第３流路１９０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように第３凸部２３１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２流路１８０および第３流路１９０は互いに連通しない状態となる。
　第３流路１９０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第３流路１９０は、第１ダイヤフラムバルブ１５１を介して第１流路１５０に接続されており、第２ダイヤフラムバルブ１８１を介して第２流路１８０に接続されている。したがって、第３流路１９０には、第１流路１５０を流れた液体（例えば第１液体）および第２流路１８０を流れた液体（例えば第２液体）が流れる。なお、本実施の形態では、第１ダイヤフラムバルブ１５１および第２ダイヤフラムバルブ１８１は、第３流路１９０の流れ方向（例えば、第３流路１９０の延在方向）において互いに異なる位置に配置されているが、これらは、第３流路１９０の流れ方向において互いに同じ位置に配置されていてもよい。本実施の形態では、第２ダイヤフラムバルブ１８１は、第１ダイヤフラムバルブ１５１よりも第３流路１９０の上流に配置されている。第３流路１９０の下流端は、チャンバー１９１に接続されている。本実施の形態では、第３流路１９０は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。第３流路１９０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第３流路１９０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第３流路１９０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第３流路１９０の断面積は、一定である。
　チャンバー１９１は、その内部に流体を収容するための空間である。本実施の形態では、チャンバー１９１は、基板１１０に形成されている凹部と、当該凹部の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。チャンバー１９１の形状および大きさは、特に限定されず、用途に応じて適宜調整されうる。チャンバー１９１の形状は、例えば、略直方体形状である。チャンバー１９１は、第３流路１９０の下流端に接続されている。また、チャンバー１９１は、排出流路１９２の上流端に接続されている。
　排出流路１９２は、その内部を流体が移動しうる流路である。排出流路１９２の上流端は、チャンバー１９１に接続されており、排出流路１９２の下流端は、排出部１９３に接続されている。したがって、排出流路１９２には、チャンバー１９１内の流体（例えば空気や、第１液体および第２液体の混合液など）が流れこむ。本実施の形態では、排出流路１９２は、基板１１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。排出流路１９２の断面積および断面形状は、特に限定されない。排出流路１９２の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。排出流路１９２の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、排出流路１９２の断面積は、一定である。
　排出部１９３は、排出流路１９２を介してチャンバー１９１に接続されている有底の凹部である。排出部１９３は、空気孔として機能したり、チャンバー１９１内の液体を取り出すための取り出し口として機能する。本実施の形態では、排出部１９３は、基板１１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルム１２０とから構成されている。排出部１９３の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。排出部１９３の形状は、例えば、略円柱形状である。排出部１９３の幅は、例えば２ｍｍ程度である。
　（ロータリー部材の構成）
　図４は、実施の形態１に係るロータリー部材２００の平面図である。図４では、見やすくするために、第１凸部２１１、第２凸部２２１および第３凸部２３１の天面を黒く塗りつぶしている。また、前述のとおり、図３には、ロータリー部材２００の断面図が示されている。
　ロータリー部材２００は、円筒形状の第１ロータリー部材２１０、円筒形状の第２ロータリー部材２２０、および円柱形状の第３ロータリー部材２３０を有する。第２ロータリー部材２２０は、第１ロータリー部材２１０の内側に配置されている。第３ロータリー部材２３０は、第２ロータリー部材２２０の内側に配置されている。第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０は、同一の回転軸を中心にそれぞれ回転可能である。これらは、図示しない外部の駆動機構によりそれぞれ別個に回転させられる。
　第１ロータリー部材２１０の上部には、第３ダイヤフラムバルブ１３２、第４ダイヤフラムバルブ１４２、第５ダイヤフラムバルブ１６２および第６ダイヤフラムバルブ１７２のダイヤフラムを押すための第１凸部２１１が設けられている。第２ロータリー部材２２０の上部には、第１ダイヤフラムバルブ１５１のダイヤフラムを押すための第２凸部２２１が設けられている。第３ロータリー部材２３０の上部には、第２ダイヤフラムバルブ１８１のダイヤフラムを押すための第３凸部２３１が設けられている。第１凸部２１１、第２凸部２２１および第３凸部２３１の平面視形状は、いずれも円弧状であり、第１凸部２１１、第２凸部２２１および第３凸部２３１は、同心円状に配置されている。
　（流体取扱装置の動作）
　次に、図５Ａ～Ｄを参照しながら、流体取扱装置１００の動作について説明する。図５Ａ～Ｄでは、見やすくするためにダイヤフラムなどの一部の構成要素を省略している。また、第１液体または第２液体が存在する箇所を黒く塗りつぶしている。なお、第１液体導入部１３０には第１液体が収容されており、第２液体導入部１６０には第２液体が収容されており、第１洗浄液導入部１４０および第２洗浄液導入部１７０には、洗浄液が収容されており、第１液体導入部１３０、第２液体導入部１６０、第１洗浄液導入部１４０および第２洗浄液導入部１７０は、加圧されているものとする。
　まず、第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０をそれぞれ回転させて、第３ダイヤフラムバルブ１３２および第１ダイヤフラムバルブ１５１を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図５Ａに示されるように、第１液体導入部１３０内の第１液体は、第１液体導入流路１３１、第３ダイヤフラムバルブ１３２、第１流路１５０、第１ダイヤフラムバルブ１５１および第３流路１９０を通ってチャンバー１９１に移動する。このとき、第２ダイヤフラムバルブ１８１は閉鎖されているため、第１液体が第２流路１８０に流れ込むことはない。
　次いで、第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０をそれぞれ回転させて、第４ダイヤフラムバルブ１４２および第１ダイヤフラムバルブ１５１を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図５Ｂに示されるように、第１洗浄液導入部１４０内の洗浄液は、第１洗浄液導入流路１４１、第４ダイヤフラムバルブ１４２、第１流路１５０、第１ダイヤフラムバルブ１５１および第３流路１９０内を洗浄する。
　次いで、第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０をそれぞれ回転させて、第５ダイヤフラムバルブ１６２および第２ダイヤフラムバルブ１８１を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図５Ｃに示されるように、第２液体導入部１６０内の第２液体は、第２液体導入流路１６１、第５ダイヤフラムバルブ１６２、第２流路１８０、第２ダイヤフラムバルブ１８１および第３流路１９０を通ってチャンバー１９１に移動する。このとき、第１ダイヤフラムバルブ１５１は閉鎖されているため、第２液体が第１流路１５０に流れ込むことはない。
　最後に、第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０をそれぞれ回転させて、第６ダイヤフラムバルブ１７２および第１ダイヤフラムバルブ１５１を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図５Ｄに示されるように、第２洗浄液導入部１７０内の洗浄液は、第２洗浄液導入流路１７１、第６ダイヤフラムバルブ１７２、第２流路１８０、第２ダイヤフラムバルブ１８１および第３流路１９０内を洗浄する。
　以上の手順により、第１流路１５０、第２流路１８０および第３流路１９０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー１９１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　（効果）
　以上のように、実施の形態１に係る流体取扱装置１００は、第１流路１５０、第２流路１８０および第３流路１９０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー１９１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　なお、本実施の形態では、第３ダイヤフラムバルブ１３２、第４ダイヤフラムバルブ１４２、第５ダイヤフラムバルブ１６２および第６ダイヤフラムバルブ１７２を有する流体取扱装置１００について説明したが、流体取扱装置１００は、第３ダイヤフラムバルブ１３２、第４ダイヤフラムバルブ１４２、第５ダイヤフラムバルブ１６２および第６ダイヤフラムバルブ１７２を有していなくてもよい。
　また、本実施の形態では、第１ロータリー部材２１０、第２ロータリー部材２２０および第３ロータリー部材２３０が別個に回転可能なロータリー部材２００について説明したが、ロータリー部材２００は一体であってもよい。たとえば、図６に示す一体型のロータリー部材２００を用いても、図５Ａ～Ｄに示されるように流体取扱装置１００を動作させることができる。一体型のロータリー部材２００では、第１凸部２１１が第３ダイヤフラムバルブ１３２または第４ダイヤフラムバルブ１４２のダイヤフラムを押していないときは、第２凸部２２１は第１ダイヤフラムバルブ１５１のダイヤフラムを押さず、かつ第３凸部２３１は第２ダイヤフラムバルブ１８１のダイヤフラムを押すように、第１凸部２１１、第２凸部２２１および第３凸部２３１が配置される。また、第１凸部２１１が第５ダイヤフラムバルブ１６２または第６ダイヤフラムバルブ１７２のダイヤフラムを押していないときは、第２凸部２２１は第１ダイヤフラムバルブ１５１のダイヤフラムを押し、かつ第３凸部２３１は第２ダイヤフラムバルブ１８１のダイヤフラムを押さないように、第１凸部２１１、第２凸部２２１および第３凸部２３１が配置される。また、ロータリー部材に設けられる凸部の形状および数は、任意に変更されうる。
　また、本実施の形態では、４つの液体導入部を有する流体取扱装置１００について説明したが、流体取扱装置１００は、他の液体導入部をさらに有していてもよい。
　［実施の形態２］
　（流体取扱装置の構成）
　図７は、実施の形態２に係る流体取扱装置３００の平面図である。図７では、基板３１０のフィルム側の面に形成された溝（流路、チャンバー）と、フィルムに形成されたダイヤフラムを破線で示している。
　流体取扱装置３００は、基板３１０およびフィルムを有する（図３参照）。基板３１０には、流路またはチャンバーとなるための凹部（溝）、および導入口または取出口となる貫通孔が形成されている。フィルムは、基板３１０に形成された凹部および貫通孔の開口部を塞ぐように基板３１０の一方の面に接合されている。フィルムの一部の領域は、ダイヤフラムとして機能する。フィルムにより塞がれた基板３１０の凹部は、試薬や液体試料、気体、紛体などの流体を流すための流路や、これらを混合するためのチャンバーとなる。
　基板３１０の厚みは、特に限定されない。たとえば、基板３１０の厚みは、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。また、基板３１０の材料も、特に限定されない。たとえば、基板３１０の材料は、公知の樹脂およびガラスから適宜選択されうる。基板３１０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。
　フィルムの厚みは、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルムの厚みは、３０μｍ以上３００μｍ以下である。また、フィルムの材料も、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルムの材料は、公知の樹脂から適宜選択されうる。フィルムの材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。フィルムは、例えば熱溶着やレーザ溶着、接着剤などにより基板３１０に接合される。
　本実施の形態に係る流体取扱装置３００は、第１液体導入部３２０、第１液体導入流路３２１、第２ダイヤフラムバルブ３２２、第１流路３３０、第２液体導入部３４０、第２液体導入流路３４１、第３ダイヤフラムバルブ３４２、第２流路３５０、洗浄液導入部３６０、洗浄液導入流路３６１、第１ダイヤフラムバルブ３６２、第３流路３７０、およびチャンバー３７１を有する。
　第１液体導入部３２０は、第１液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第１液体導入部３２０は、基板３１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１液体導入部３２０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第１液体導入部３２０の形状は、例えば、略円柱形状である。第１液体導入部３２０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第１液体導入部３２０に収容されうる流体は、流体取扱装置３００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。
　第１液体導入流路３２１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１液体導入流路３２１の上流端は、第１液体導入部３２０に接続されている。第１液体導入流路３２１の下流端は、第２ダイヤフラムバルブ３２２に接続されている。本実施の形態では、第１液体導入流路３２１は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１液体導入流路３２１の断面積および断面形状は、特に限定されない。前述のとおり、本明細書において、「流路の断面」とは、流体が流れる方向に直交する流路の断面を意味する。第１液体導入流路３２１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１液体導入流路３２１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１液体導入流路３２１の断面積は、一定である。
　第２ダイヤフラムバルブ３２２は、第１液体導入流路３２１と第１流路３３０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第２ダイヤフラムバルブ３２２の隔壁は、第１液体導入流路３２１と第１流路３３０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１液体導入流路３２１と第１流路３３０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１液体導入流路３２１および第１流路３３０の深さと同じである。
　第２ダイヤフラムバルブ３２２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板３１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材４００（後述）の凸部４０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部４０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１液体導入流路３２１および第１流路３３０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部４０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１液体導入流路３２１および第１流路３３０は互いに連通しない状態となる。
　第１流路３３０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１流路３３０は、第２ダイヤフラムバルブ３２２を介して第１液体導入部３２０（第１液体導入流路３２１）に接続されている。したがって、第１流路３３０には、第１液体導入部３２０に導入された液体（第１液体）が流れる。また、この後説明するように、第１流路３３０の上流端は、第１ダイヤフラムバルブ３６２を介して洗浄液導入部３６０（洗浄液導入流路３６１）に接続されている。したがって、第１流路３３０には、洗浄液導入部３６０に導入された液体（洗浄液）も流れる。なお、第１ダイヤフラムバルブ３６２は、第２ダイヤフラムバルブ３２２よりも第１流路３３０の上流に配置されている。第１流路３３０の下流端は、第３流路３７０に接続されている。本実施の形態では、第１流路３３０は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１流路３３０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第１流路３３０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１流路３３０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１流路３３０の断面積は、一定である。
　第２液体導入部３４０は、第２液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第２液体導入部３４０は、基板３１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２液体導入部３４０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第２液体導入部３４０の形状は、例えば、略円柱形状である。第２液体導入部３４０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第２液体導入部３４０に収容されうる流体は、流体取扱装置３００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。通常は、第１液体導入部３２０に導入される第１液体と第２液体導入部３４０に導入される第２液体は、異なる種類の液体である。
　第２液体導入流路３４１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２液体導入流路３４１の上流端は、第２液体導入部３４０に接続されている。第２液体導入流路３４１の下流端は、第３ダイヤフラムバルブ３４２に接続されている。本実施の形態では、第２液体導入流路３４１は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２液体導入流路３４１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２液体導入流路３４１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２液体導入流路３４１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２液体導入流路３４１の断面積は、一定である。
　第３ダイヤフラムバルブ３４２は、第２液体導入流路３４１と第２流路３５０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第３ダイヤフラムバルブ３４２の隔壁は、第２液体導入流路３４１と第２流路３５０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２液体導入流路３４１と第２流路３５０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２液体導入流路３４１および第２流路３５０の深さと同じである。
　第３ダイヤフラムバルブ３４２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板３１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材４００（後述）の凸部４０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部４０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２液体導入流路３４１および第２流路３５０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部４０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２液体導入流路３４１および第２流路３５０は互いに連通しない状態となる。
　第２流路３５０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２流路３５０は、第３ダイヤフラムバルブ３４２を介して第２液体導入部３４０（第２液体導入流路３４１）に接続されている。したがって、第２流路３５０には、第２液体導入部３４０に導入された液体（第２液体）が流れる。また、この後説明するように、第２流路３５０の上流端は、第１ダイヤフラムバルブ３６２を介して洗浄液導入部３６０（洗浄液導入流路３６１）に接続されている。したがって、第２流路３５０には、洗浄液導入部３６０に導入された液体（洗浄液）も流れる。なお、第１ダイヤフラムバルブ３６２は、第３ダイヤフラムバルブ３４２よりも第２流路３５０の上流に配置されている。また、第１流路３３０の上流端と、第２流路３５０との間には、隔壁が配置されている。したがって、第１ダイヤフラムバルブ３６２のダイヤフラムがこの隔壁に接触しているとき、第１流路３３０および第２流路３５０は互いに連通しない状態となる。第２流路３５０の下流端は、第３流路３７０に接続されている。本実施の形態では、第２流路３５０は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２流路３５０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２流路３５０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２流路３５０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２流路３５０の断面積は、一定である。
　洗浄液導入部３６０は、第１流路３３０および第２流路３５０を洗浄するための洗浄液を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、洗浄液導入部３６０は、基板３１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。洗浄液導入部３６０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。洗浄液導入部３６０の形状は、例えば、略円柱形状である。洗浄液導入部３６０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。洗浄液導入部３６０に収容されうる洗浄液の種類は、流体取扱装置３００の用途に応じて適宜選択されうる。洗浄液は、例えば水である。
　洗浄液導入流路３６１は、その内部を流体が移動しうる流路である。洗浄液導入流路３６１の上流端は、洗浄液導入部３６０に接続されている。洗浄液導入流路３６１の下流端は、第１ダイヤフラムバルブ３６２に接続されている。本実施の形態では、洗浄液導入流路３６１は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。洗浄液導入流路３６１の断面積および断面形状は、特に限定されない。洗浄液導入流路３６１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。洗浄液導入流路３６１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、洗浄液導入流路３６１の断面積は、一定である。
　第１ダイヤフラムバルブ３６２は、洗浄液導入流路３６１と第１流路３３０および第２流路３５０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第１ダイヤフラムバルブ３６２の隔壁は、洗浄液導入流路３６１と第１流路３３０および第２流路３５０との間に配置されている壁である。隔壁は、洗浄液導入流路３６１と第１流路３３０および第２流路３５０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、洗浄液導入流路３６１、第１流路３３０および第２流路３５０の深さと同じである。
　第１ダイヤフラムバルブ３６２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板３１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材４００（後述）の凸部４０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部４０１がダイヤフラムを押圧していないとき、洗浄液導入流路３６１と第１流路３３０および第２流路３５０とは、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部４０１がダイヤフラムを押圧しているとき、洗浄液導入流路３６１と第１流路３３０および第２流路３５０とは互いに連通しない状態となる。
　第３流路３７０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第３流路３７０の上流端は、第１流路３３０の下流端および第２流路３５０の下流端に接続されている。したがって、第３流路３７０には、第１流路３３０を流れた液体（例えば第１液体）および第２流路３５０を流れた液体（例えば第２液体）が流れる。第３流路３７０の下流端は、チャンバー３７１に接続されている。本実施の形態では、第３流路３７０は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第３流路３７０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第３流路３７０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第３流路３７０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第３流路３７０の断面積は、一定である。
　チャンバー３７１は、その内部に流体を収容するための空間である。本実施の形態では、チャンバー３７１は、基板３１０に形成されている凹部と、当該凹部の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。チャンバー３７１の形状および大きさは、特に限定されず、用途に応じて適宜調整されうる。チャンバー３７１の形状は、例えば、略直方体形状である。チャンバー３７１は、第３流路３７０の下流端に接続されている。また、チャンバー３７１は、排出流路３７２の上流端に接続されている。
　排出流路３７２は、その内部を流体が移動しうる流路である。排出流路３７２の上流端は、チャンバー３７１に接続されており、排出流路３７２の下流端は、排出部３７３に接続されている。したがって、排出流路３７２には、チャンバー３７１内の流体（例えば空気や、第１液体および第２液体の混合液など）が流れこむ。本実施の形態では、排出流路３７２は、基板３１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。排出流路３７２の断面積および断面形状は、特に限定されない。排出流路３７２の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。排出流路３７２の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、排出流路３７２の断面積は、一定である。
　排出部３７３は、排出流路３７２を介してチャンバー３７１に接続されている有底の凹部である。排出部３７３は、空気孔として機能したり、チャンバー３７１内の液体を取り出すための取り出し口として機能する。本実施の形態では、排出部３７３は、基板３１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。排出部３７３の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。排出部３７３の形状は、例えば、略円柱形状である。排出部３７３の幅は、例えば２ｍｍ程度である。
　（ロータリー部材の構成）
　図８は、実施の形態２に係るロータリー部材４００の平面図である。図８では、見やすくするために、凸部４０１の天面を黒く塗りつぶしている。
　ロータリー部材４００は、円柱形状の部材であり、回転軸を中心に回転可能である。ロータリー部材４００は、図示しない外部の駆動機構により回転させられる。
　ロータリー部材４００の上部には、第１ダイヤフラムバルブ３６２、第２ダイヤフラムバルブ３２２および第３ダイヤフラムバルブ３４２のダイヤフラムを押すための凸部４０１が設けられている。凸部４０１の平面視形状は、円弧状である。
　（流体取扱装置の動作）
　次に、図９Ａ～Ｄを参照しながら、流体取扱装置３００の動作について説明する。図９Ａ～Ｄでは、見やすくするためにダイヤフラムなどの一部の構成要素を省略している。また、第１液体または第２液体が存在する箇所を黒く塗りつぶしている。なお、第１液体導入部３２０には第１液体が収容されており、第２液体導入部３４０には第２液体が収容されており、洗浄液導入部３６０には洗浄液が収容されており、第１液体導入部３２０、第２液体導入部３４０および洗浄液導入部３６０は、加圧されているものとする。
　まず、ロータリー部材４００を回転させて、第２ダイヤフラムバルブ３２２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図９Ａに示されるように、第１液体導入部３２０内の第１液体は、第１液体導入流路３２１、第２ダイヤフラムバルブ３２２、第１流路３３０および第３流路３７０を通ってチャンバー３７１に移動する。このとき、第１液体の一部が第２流路３５０の下流部に流れ込むことがある。
　次いで、ロータリー部材４００を回転させて、第１ダイヤフラムバルブ３６２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図９Ｂに示されるように、洗浄液導入部３６０内の洗浄液は、洗浄液導入流路３６２、第１ダイヤフラムバルブ３６２、第１流路３３０、第２流路３５０および第３流路３７０内を洗浄する。これにより、第２流路３５０内に流れ込んだ第１液体は、除去される。
　次いで、ロータリー部材４００を回転させて、第３ダイヤフラムバルブ３４２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図９Ｃに示されるように、第２液体導入部３４０内の第２液体は、第２液体導入流路３４１、第３ダイヤフラムバルブ３４２、第２流路３５０および第３流路３７０を通ってチャンバー３７１に移動する。このとき、第２液体の一部が第１流路３３０の下流部に流れ込むことがある。
　最後に、ロータリー部材４００を回転させて、第１ダイヤフラムバルブ３６２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図９Ｄに示されるように、洗浄液導入部３６２内の洗浄液は、洗浄液導入流路３６２、第１ダイヤフラムバルブ３６２、第１流路３３０、第２流路３５０および第３流路３７０内を洗浄する。これにより、第１流路３３０内に流れ込んだ第２液体は、除去される。
　以上の手順により、第１流路３３０、第２流路３５０および第３流路３７０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー３７１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　（効果）
　以上のように、実施の形態２に係る流体取扱装置３００は、第１流路３３０、第２流路３５０および第３流路３７０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー３７１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　なお、本実施の形態では、第２ダイヤフラムバルブ３２２および第３ダイヤフラムバルブ３４２を有する流体取扱装置３００について説明したが、流体取扱装置３００は、第２ダイヤフラムバルブ３２２および第３ダイヤフラムバルブ３４２を有していなくてもよい。
　また、本実施の形態では、３つの液体導入部を有する流体取扱装置３００について説明したが、流体取扱装置３００は、他の液体導入部をさらに有していてもよい。
　［実施の形態３］
　（流体取扱装置の構成）
　図１０は、実施の形態３に係る流体取扱装置５００の平面図である。図１０では、基板５１０のフィルム側の面に形成された溝（流路、チャンバー）と、フィルムに形成されたダイヤフラムを破線で示している。
　流体取扱装置５００は、基板５１０およびフィルムを有する（図３参照）。基板５１０には、流路またはチャンバーとなるための凹部（溝）、および導入口または取出口となる貫通孔が形成されている。フィルムは、基板５１０に形成された凹部および貫通孔の開口部を塞ぐように基板５１０の一方の面に接合されている。フィルムの一部の領域は、ダイヤフラムとして機能する。フィルムにより塞がれた基板５１０の凹部は、試薬や液体試料、気体、紛体などの流体を流すための流路や、これらを混合するためのチャンバーとなる。
　基板５１０の厚みは、特に限定されない。たとえば、基板５１０の厚みは、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。また、基板５１０の材料も、特に限定されない。たとえば、基板５１０の材料は、公知の樹脂およびガラスから適宜選択されうる。基板５１０の材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。
　フィルムの厚みは、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルムの厚みは、３０μｍ以上３００μｍ以下である。また、フィルムの材料も、ダイヤフラムとして機能することが可能であれば特に限定されない。たとえば、フィルムの材料は、公知の樹脂から適宜選択されうる。フィルムの材料の例には、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂およびエラストマーが含まれる。フィルムは、例えば熱溶着やレーザ溶着、接着剤などにより基板５１０に接合される。
　本実施の形態に係る流体取扱装置５００は、第１液体導入部５２０、第１液体導入流路５２１、第１ダイヤフラムバルブ５２２、第１洗浄液導入部５３０、第１洗浄液導入流路５３１、第２ダイヤフラムバルブ５３２、第１流路５４０、第２液体導入部５５０、第２液体導入流路５５１、第３ダイヤフラムバルブ５５２、第２洗浄液導入部５６０、第２洗浄液導入流路５６１、第４ダイヤフラムバルブ５６２、第２流路５７０、チャンバー５８０、および排出流路５８１を有する。
　第１液体導入部５２０は、第１液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第１液体導入部５２０は、基板５１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１液体導入部５２０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第１液体導入部５２０の形状は、例えば、略円柱形状である。第１液体導入部５２０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第１液体導入部５２０に収容されうる流体は、流体取扱装置５００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。
　第１液体導入流路５２１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１液体導入流路５２１の上流端は、第１液体導入部５２０に接続されている。第１液体導入流路５２１の下流端は、第１ダイヤフラムバルブ５２２に接続されている。本実施の形態では、第１液体導入流路５２１は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１液体導入流路５２１の断面積および断面形状は、特に限定されない。前述のとおり、本明細書において、「流路の断面」とは、流体が流れる方向に直交する流路の断面を意味する。第１液体導入流路５２１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１液体導入流路５２１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１液体導入流路５２１の断面積は、一定である。
　第１ダイヤフラムバルブ５２２は、第１液体導入流路５２１と第１流路５４０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第１ダイヤフラムバルブ５２２の隔壁は、第１液体導入流路５２１と第１流路５４０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１液体導入流路５２１と第１流路５４０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１液体導入流路５２１および第１流路５４０の深さと同じである。
　第１ダイヤフラムバルブ５２２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板５１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材６００（後述）の凸部６０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部６０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１液体導入流路５２１および第１流路５４０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部６０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１液体導入流路５２１および第１流路５４０は互いに連通しない状態となる。
　第１洗浄液導入部５３０は、第１流路５４０を洗浄するための洗浄液を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第１洗浄液導入部５３０は、基板５１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１洗浄液導入部５３０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第１洗浄液導入部５３０の形状は、例えば、略円柱形状である。第１洗浄液導入部５３０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第１洗浄液導入部５３０に収容されうる洗浄液の種類は、流体取扱装置５００の用途に応じて適宜選択されうる。洗浄液は、例えば水である。
　第１洗浄液導入流路５３１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１洗浄液導入流路５３１の上流端は、第１洗浄液導入部５３０に接続されている。第１洗浄液導入流路５３１の下流端は、第２ダイヤフラムバルブ５３２に接続されている。本実施の形態では、第１洗浄液導入流路５３１は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１洗浄液導入流路５３１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第１洗浄液導入流路５３１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１洗浄液導入流路５３１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１洗浄液導入流路５３１の断面積は、一定である。
　第２ダイヤフラムバルブ５３２は、第１洗浄液導入流路５３１と第１流路５４０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第２ダイヤフラムバルブ５３２の隔壁は、第１洗浄液導入流路５３１と第１流路５４０との間に配置されている壁である。隔壁は、第１洗浄液導入流路５３１と第１流路５４０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第１洗浄液導入流路５３１および第１流路５４０の深さと同じである。
　第２ダイヤフラムバルブ５３２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板５１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材６００（後述）の凸部６０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部６０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第１洗浄液導入流路５３１および第１流路５４０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部６０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第１洗浄液導入流路５３１および第１流路５４０は互いに連通しない状態となる。
　第１流路５４０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第１流路５４０は、第１ダイヤフラムバルブ５２２を介して第１液体導入部５２０（第１液体導入流路５２１）に接続されており、第２ダイヤフラムバルブ５３２を介して第１洗浄液導入部５３０（第１洗浄液導入流路５３１）に接続されている。したがって、第１流路５４０には、第１液体導入部５２０に導入された液体（第１液体）および第１洗浄液導入部５３０に導入された液体（洗浄液）が流れる。なお、第２ダイヤフラムバルブ５３２は、第１ダイヤフラムバルブ５２２よりも第１流路５４０の上流に配置されている。第１流路５４０の下流端は、チャンバー５８０に接続されている。本実施の形態では、第１流路５４０は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第１流路５４０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第１流路５４０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第１流路５４０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第１流路５４０の断面積は、一定である。
　第２液体導入部５５０は、第２液体を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第２液体導入部５５０は、基板５１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２液体導入部５５０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第２液体導入部５５０の形状は、例えば、略円柱形状である。第２液体導入部５５０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第２液体導入部５５０に収容されうる流体は、流体取扱装置５００の用途に応じて適宜選択されうる。当該流体は、試薬や液体試料、紛体などの流体である。通常は、第１液体導入部５２０に導入される第１液体と第２液体導入部５５０に導入される第２液体は、異なる種類の液体である。
　第２液体導入流路５５１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２液体導入流路５５１の上流端は、第２液体導入部５５０に接続されている。第２液体導入流路５５１の下流端は、第３ダイヤフラムバルブ５５２に接続されている。本実施の形態では、第２液体導入流路５５１は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２液体導入流路５５１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２液体導入流路５５１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２液体導入流路５５１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２液体導入流路５５１の断面積は、一定である。
　第３ダイヤフラムバルブ５５２は、第２液体導入流路５５１と第２流路５７０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第３ダイヤフラムバルブ５５２の隔壁は、第２液体導入流路５５１と第２流路５７０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２液体導入流路５５１と第２流路５７０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２液体導入流路５５１および第２流路５７０の深さと同じである。
　第３ダイヤフラムバルブ５５２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板５１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材６００（後述）の凸部６０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部６０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２液体導入流路５５１および第２流路５７０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部６０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２液体導入流路５５１および第２流路５７０は互いに連通しない状態となる。
　第２洗浄液導入部５６０は、第２流路５７０を洗浄するための洗浄液を導入するための有底の凹部である。本実施の形態では、第２洗浄液導入部５６０は、基板５１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２洗浄液導入部５６０の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。第２洗浄液導入部５６０の形状は、例えば、略円柱形状である。第２洗浄液導入部５６０の幅は、例えば２ｍｍ程度である。第２洗浄液導入部５６０に収容されうる洗浄液の種類は、流体取扱装置５００の用途に応じて適宜選択されうる。洗浄液は、例えば水である。第１洗浄液導入部５３０に導入される洗浄液と第２洗浄液導入部５６０に導入される洗浄液は、同一種類の液体であってもよいし、異なる種類の液体であってもよい。
　第２洗浄液導入流路５６１は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２洗浄液導入流路５６１の上流端は、第２洗浄液導入部５６０に接続されている。第２洗浄液導入流路５６１の下流端は、第４ダイヤフラムバルブ５６２に接続されている。本実施の形態では、第２洗浄液導入流路５６１は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２洗浄液導入流路５６１の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２洗浄液導入流路５６１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２洗浄液導入流路５６１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２洗浄液導入流路５６１の断面積は、一定である。
　第４ダイヤフラムバルブ５６２は、第２洗浄液導入流路５６１と第２流路５７０との間に配置されており、隔壁およびダイヤフラムを有する。
　第４ダイヤフラムバルブ５６２の隔壁は、第２洗浄液導入流路５６１と第２流路５７０との間に配置されている壁である。隔壁は、第２洗浄液導入流路５６１と第２流路５７０との間を開閉するためのダイヤフラムバルブの弁座として機能する。隔壁の形状および高さは、上記の機能を発揮することができれば、特に限定されない。隔壁の形状は、例えば、四角柱形状である。隔壁の高さは、例えば、第２洗浄液導入流路５６１および第２流路５７０の深さと同じである。
　第４ダイヤフラムバルブ５６２のダイヤフラムは、可撓性を有するフィルムの一部であり、略球冠形状を有している。フィルムは、ダイヤフラムが隔壁に非接触でかつ対向するように基板５１０上に配置されている。ダイヤフラムは、ロータリー部材６００（後述）の凸部６０１により押圧されたときに隔壁に向かって撓む。すなわち、ダイヤフラムは、ダイヤフラムバルブの弁体として機能する。凸部６０１がダイヤフラムを押圧していないとき、第２洗浄液導入流路５６１および第２流路５７０は、ダイヤフラムおよび隔壁の隙間を介して互いに連通した状態となる。一方、ダイヤフラムが隔壁に接触するように凸部６０１がダイヤフラムを押圧しているとき、第２洗浄液導入流路５６１および第２流路５７０は互いに連通しない状態となる。
　第２流路５７０は、その内部を流体が移動しうる流路である。第２流路５７０は、第３ダイヤフラムバルブ５５２を介して第２液体導入部５５０（第２液体導入流路５５１）に接続されており、第４ダイヤフラムバルブ５６２を介して第２洗浄液導入部５６０（第２洗浄液導入流路５６１）に接続されている。したがって、第２流路５７０には、第２液体導入部５５０に導入された液体（第２液体）および第２洗浄液導入部５６０に導入された液体（洗浄液）が流れる。なお、第４ダイヤフラムバルブ５６２は、第３ダイヤフラムバルブ５５２よりも第２流路５７０の上流に配置されている。第２流路５７０の下流端は、チャンバー５８０に接続されている。本実施の形態では、第２流路５７０は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。第２流路５７０の断面積および断面形状は、特に限定されない。第２流路５７０の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。第２流路５７０の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、第２流路５７０の断面積は、一定である。
　チャンバー５８０は、その内部に流体を収容するための空間である。本実施の形態では、チャンバー５８０は、基板５１０に形成されている凹部と、当該凹部の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。チャンバー５８０の形状および大きさは、特に限定されず、用途に応じて適宜調整されうる。チャンバー５８０の形状は、例えば、略直方体形状である。チャンバー５８０は、第１流路５４０の下流端および第２流路５７０の下流端にそれぞれ別個に接続されている。また、チャンバー５８０は、排出流路５８１の上流端に接続されている。
　排出流路５８１は、その内部を流体が移動しうる流路である。排出流路５８１の上流端は、チャンバー５８０に接続されており、排出流路５８１の下流端は、排出部５８２に接続されている。したがって、排出流路５８１には、チャンバー５８０内の流体（例えば空気や、第１液体および第２液体の混合液など）が流れこむ。本実施の形態では、排出流路５８１は、基板５１０に形成されている溝と、当該溝の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。排出流路５８１の断面積および断面形状は、特に限定されない。排出流路５８１の断面形状は、例えば、一辺の長さ（幅および深さ）が数十μｍ程度の略矩形状である。排出流路５８１の断面積は、流体の流れ方向において、一定であってもよいし、一定でなくてもよい。本実施の形態では、排出流路５８１の断面積は、一定である。
　排出部５８２は、排出流路５８１を介してチャンバー５８０に接続されている有底の凹部である。排出部５８２は、空気孔として機能したり、チャンバー５８０内の液体を取り出すための取り出し口として機能する。本実施の形態では、排出部５８２は、基板５１０に形成されている貫通孔と、当該貫通孔の一方の開口部を閉塞しているフィルムとから構成されている。排出部５８２の形状および大きさは、特に限定されず、必要に応じて適宜設定されうる。排出部５８２の形状は、例えば、略円柱形状である。排出部５８２の幅は、例えば２ｍｍ程度である。
　（ロータリー部材の構成）
　図１１は、実施の形態３に係るロータリー部材６００の平面図である。図１１では、見やすくするために、凸部６０１の天面を黒く塗りつぶしている。
　ロータリー部材６００は、円柱形状の部材であり、回転軸を中心に回転可能である。ロータリー部材６００は、図示しない外部の駆動機構により回転させられる。
　ロータリー部材６００の上部には、第１ダイヤフラムバルブ５２２、第２ダイヤフラムバルブ５３２、第３ダイヤフラムバルブ５５２および第４ダイヤフラムバルブ５６２のダイヤフラムを押すための凸部６０１が設けられている。凸部６０１の平面視形状は、円弧状である。
　（流体取扱装置の動作）
　次に、図１２Ａ～Ｄを参照しながら、流体取扱装置５００の動作について説明する。図１２Ａ～Ｄでは、見やすくするためにダイヤフラムなどの一部の構成要素を省略している。また、第１液体または第２液体が存在する箇所を黒く塗りつぶしている。なお、第１液体導入部５２０には第１液体が収容されており、第２液体導入部５５０には第２液体が収容されており、第１洗浄液導入部５３０および第２洗浄液導入部５６０には、洗浄液が収容されており、第１液体導入部５２０、第２液体導入部５５０、第１洗浄液導入部５３０および第２洗浄液導入部５６０は、加圧されているものとする。
　まず、ロータリー部材６００を回転させて、第１ダイヤフラムバルブ５２２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図１２Ａに示されるように、第１液体導入部５２０内の第１液体は、第１液体導入流路５２１、第１ダイヤフラムバルブ５２２および第１流路５４０を通ってチャンバー５８０に移動する。このとき、第１流路５４０および第２流路５７０は、それぞれ別個にチャンバー５８０に接続されているため、第１液体が第２流路５７０に流れ込むことはない。
　次いで、ロータリー部材６００を回転させて、第２ダイヤフラムバルブ５３２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図１２Ｂに示されるように、第１洗浄液導入部５３０内の洗浄液は、第１洗浄液導入流路５３１、第２ダイヤフラムバルブ５３２および第１流路５４０内を洗浄する。
　次いで、ロータリー部材６００を回転させて、第３ダイヤフラムバルブ５５２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図１２Ｃに示されるように、第２液体導入部５５０内の第２液体は、第２液体導入流路５５１、第３ダイヤフラムバルブ５５２および第２流路５７０を通ってチャンバー５８０に移動する。このとき、第１流路５４０および第２流路５７０は、それぞれ別個にチャンバー５８０に接続されているため、第２液体が第１流路５４０に流れ込むことはない。
　最後に、ロータリー部材６００を回転させて、第４ダイヤフラムバルブ５６２を開放し、その他のダイヤフラムバルブを閉鎖する。これにより、図１２Ｄに示されるように、第２洗浄液導入部５６０内の洗浄液は、第２洗浄液導入流路５６１、第４ダイヤフラムバルブ５６２および第２流路５７０内を洗浄する。
　以上の手順により、第１流路５４０および第２流路５７０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー５８１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　（効果）
　以上のように、実施の形態３に係る流体取扱装置５００は、第１流路５４０および第２流路５７０内では第１液体と第２液体とを接触させることなく、チャンバー５８１内において初めて第１液体と第２液体とを接触させることができる。
　なお、本実施の形態では、第１ダイヤフラムバルブ５２２、第２ダイヤフラムバルブ５３２、第３ダイヤフラムバルブ５５２および第４ダイヤフラムバルブ５６２を有する流体取扱装置５００について説明したが、流体取扱装置５００は、第１ダイヤフラムバルブ５２２、第２ダイヤフラムバルブ５３２、第３ダイヤフラムバルブ５５２および第４ダイヤフラムバルブ５６２を有していなくてもよい。
　また、本実施の形態では、４つの液体導入部を有する流体取扱装置５００について説明したが、流体取扱装置５００は、他の液体導入部をさらに有していてもよい。
　本出願は、２０１８年２月２２日出願の特願２０１８－０２９８３３に基づく優先権を主張する。当該出願明細書および図面に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。
　本発明の流体取扱装置は、例えば、臨床検査や食物検査、環境検査などの様々な用途において有用である。
　１０　第１液体導入部
　１２　第１流路
　２０　第２液体導入部
　２２　第２流路
　３０　液体取出部
　３２　第３流路
　１００　流体取扱装置
　１１０　基板
　１２０　フィルム
　１３０　第１液体導入部
　１３１　第１液体導入流路
　１３２　第３ダイヤフラムバルブ
　１４０　第１洗浄液導入部
　１４１　第１洗浄液導入流路
　１４２　第４ダイヤフラムバルブ
　１５０　第１流路
　１５１　第１ダイヤフラムバルブ
　１６０　第２液体導入部
　１６１　第２液体導入流路
　１６２　第５ダイヤフラムバルブ
　１７０　第２洗浄液導入部
　１７１　第２洗浄液導入流路
　１７２　第６ダイヤフラムバルブ
　１８０　第２流路
　１８１　第２ダイヤフラムバルブ
　１９０　第３流路
　１９１　チャンバー
　１９２　排出流路
　１９３　排出部
　２００　ロータリー部材
　２１０　第１ロータリー部材
　２１１　第１凸部
　２２０　第２ロータリー部材
　２２１　第２凸部
　２３０　第３ロータリー部材
　２３１　第３凸部
　３００　流体取扱装置
　３１０　基板
　３２０　第１液体導入部
　３２１　第１液体導入流路
　３２２　第２ダイヤフラムバルブ
　３３０　第１流路
　３４０　第２液体導入部
　３４１　第２液体導入流路
　３４２　第３ダイヤフラムバルブ
　３５０　第２流路
　３６０　洗浄液導入部
　３６１　洗浄液導入流路
　３６２　第１ダイヤフラムバルブ
　３７０　第３流路
　３７１　チャンバー
　３７２　排出流路
　３７３　排出部
　４００　ロータリー部材
　４０１　凸部
　５００　流体取扱装置
　５１０　基板
　５２０　第１液体導入部
　５２１　第１液体導入流路
　５２２　第１ダイヤフラムバルブ
　５３０　第１洗浄液導入部
　５３１　第１洗浄液導入流路
　５３２　第２ダイヤフラムバルブ
　５４０　第１流路
　５５０　第２液体導入部
　５５１　第２液体導入流路
　５５２　第３ダイヤフラムバルブ
　５６０　第２洗浄液導入部
　５６１　第２洗浄液導入流路
　５６２　第４ダイヤフラムバルブ
　５７０　第２流路
　５８０　チャンバー
　５８１　排出流路
　５８２　排出部
　６００　ロータリー部材
　６０１　凸部

Claims (7)

  1. 　第１液体を導入するための第１液体導入部と、
    　洗浄液を導入するための第１洗浄液導入部と、
    　前記第１液体導入部に導入された液体および前記第１洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、
    　第２液体を導入するための第２液体導入部と、
    　洗浄液を導入するための第２洗浄液導入部と、
    　前記第２液体導入部に導入された液体および前記第２洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、
    　前記第１流路を流れてきた液体および前記第２流路を流れてきた液体を流すための第３流路と、
    　前記第１流路と前記第３流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２流路と前記第３流路との間に配置された第２ダイヤフラムバルブと、
    　前記第３流路に接続されたチャンバーと、
    　を有する、流体取扱装置。
  2. 　前記第１ダイヤフラムバルブおよび前記第２ダイヤフラムバルブは、前記第３流路の流れ方向において互いに異なる位置に配置されている、請求項１に記載の流体取扱装置。
  3. 　前記第１液体導入部と前記第１流路との間に配置された第３ダイヤフラムバルブと、
    　前記第１洗浄液導入部と前記第１流路との間に配置された第４ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２液体導入部と前記第２流路との間に配置された第５ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２洗浄液導入部と前記第２流路との間に配置された第６ダイヤフラムバルブと、
    　をさらに有する、請求項１に記載の流体取扱装置。
  4. 　第１液体を導入するための第１液体導入部と、
    　第２液体を導入するための第２液体導入部と、
    　洗浄液を導入するための洗浄液導入部と、
    　前記第１液体導入部に導入された液体および前記洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、
    　前記第２液体導入部に導入された液体および前記洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、
    　前記洗浄液導入部と前記第１流路および前記第２流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、
    　前記第１流路および前記第２流路に接続され、前記第１流路を流れてきた液体および前記第２流路を流れてきた液体を流すための第３流路と、
    　前記第３流路に接続されたチャンバーと、
    　を有する、流体取扱装置。
  5. 　前記第１液体導入部と前記第１流路との間に配置された第２ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２液体導入部と前記第２流路との間に配置された第３ダイヤフラムバルブと、
    　をさらに有する、請求項４に記載の流体取扱装置。
  6. 　第１液体を導入するための第１液体導入部と、
    　洗浄液を導入するための第１洗浄液導入部と、
    　前記第１液体導入部に導入された液体および前記第１洗浄液導入部に導入された液体を流すための第１流路と、
    　第２液体を導入するための第２液体導入部と、
    　洗浄液を導入するための第２洗浄液導入部と、
    　前記第２液体導入部に導入された液体および前記第２洗浄液導入部に導入された液体を流すための第２流路と、
    　前記第１流路および前記第２流路にそれぞれ別個に接続されたチャンバーと、
    　を有する、流体取扱装置。
  7. 　前記第１液体導入部と前記第１流路との間に配置された第１ダイヤフラムバルブと、
    　前記第１洗浄液導入部と前記第１流路との間に配置された第２ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２液体導入部と前記第２流路との間に配置された第３ダイヤフラムバルブと、
    　前記第２洗浄液導入部と前記第２流路との間に配置された第４ダイヤフラムバルブと、
    　をさらに有する、請求項６に記載の流体取扱装置。
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