WO2019088479A1 - 야외용 tdlas 멀티패스 셀 - Google Patents

야외용 tdlas 멀티패스 셀 Download PDF

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WO2019088479A1
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laser beam
cell
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laser
measuring
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PCT/KR2018/011802
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이창엽
유미연
소성현
맹새롬
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한국생산기술연구원
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    • G01N33/0042—SO2 or SO3

Definitions

  • the present invention relates to a system for precisely measuring fine dust precursors, and more particularly, to an apparatus for measuring the concentration of NO x and SO x precursors of fine dusts using a TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy) technique .
  • the present invention also relates to a device capable of controlling the temperature of a measurement cell without vibration in order to precisely and precisely measure fine dust precursors outdoors.
  • fine dust and ultrafine dust mean particulate matter having a particle diameter of 2.5 ⁇ m and 1.0 ⁇ m, respectively, and 10 ⁇ m and 2.5 ⁇ m respectively in Korea.
  • Fine dust generated from combustion in thermal power plants accounts for 20 ⁇ 30% of domestic fine dust production.
  • the fine dust particles have a higher specific gravity than the solid dust particles such as carbon, soot, minerals, and the like, which are generated in the gaseous state from a chemical reaction with other substances in the air to become fine dusts. Therefore, a high-precision measurement system of NO x and SO x , which are the main gases to be converted into secondary fine dust, is required for predicting the generation of fine dust.
  • Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy uses a tunable laser as a light source. It has an initial laser intensity (I 0 ) before transmission through a measurement area and a laser intensity And comparing the ratio of the laser intensity (I) to obtain the concentration and temperature. This is based on Beer-Lambert's law.
  • the absorption amount is proportional to the optical path length (L).
  • the main parameters for measurement improvement are the measurement distance (L) and the temperature (T).
  • the measurement distance (L) does not change but the temperature T continuously changes according to the season, day and night. Therefore, constant and precise temperature control is indispensable for the measurement of low concentrations of fine dust precursors using TDLAS.
  • TDLAS itself is very precise optical measuring equipment, very vulnerable to external vibration.
  • the vibration generated here is a great restriction on the use of the TDLAS. Even if the cooling system is installed at a distance, the vibration of the pump for transferring the heating medium also interferes with the accurate measurement of the TDLAS.
  • Patent Document 1 relates to a semiconductor-related manufacturing apparatus, and is a small-sized temperature controller using a pipe cooler and its pipe cooler.
  • the thermoelectric element is closely fixed to the surface of a heat exchange block having a large heat capacity for heat exchange with an end portion of the heat pipe,
  • the heat pipe has at least one heat transfer extension protruding from the heat exchange block, and the heat exchange block and the heat pipe And a device for controlling the temperature of the heating medium around the heat transfer extension part through the heat transfer extension part.
  • Patent Document 2 relates to a substrate processing apparatus and a substrate processing method, which includes a process chamber and a container having a processing space and located inside the process chamber, a support unit for supporting the substrate and a substrate placed in the support unit, And a temperature control unit for controlling the temperature of the processing liquid supplied to the substrate, wherein the temperature control unit provides a fluid capable of heat exchange around the processing liquid, so that the temperature of the processing liquid To a substrate processing apparatus which maintains the temperature of the processing liquid at a predetermined temperature and controls the temperature of the processing liquid by heating or cooling the processing liquid before the processing liquid is supplied to the substrate.
  • Patent Document 2 uses a thermoelectric element as a device for controlling the temperature in the processing of a semiconductor-related substrate.
  • Patent Document 3 relates to an assembly for controlling a temperature when a substrate is processed in a vacuum chamber of a semiconductor processing apparatus, and a thermoelectric element and a remote compression type cooling system are used for controlling the temperature in a semiconductor manufacturing process .
  • Patent Document 4 is directed to a plasma processing facility, which includes a process chamber in which a plasma is formed, a chamber lid disposed above the process chamber, a chuck provided for placing the wafer inside the process chamber, a channel connected to the chamber lid,
  • the present invention relates to a temperature control unit for circulating a constant temperature fluid connected to a lead, and it is described that a thermoelectric element is used to keep the temperature of the chamber lead constant.
  • Patent Document 9 discloses information about various multipath cells including a prism and the like as an optical spectrum analyzer. However, these devices are not considered at all in terms of changes in temperature, such as summer and winter temperatures. Due to the characteristics of the highly precise optical device, the reflection environment of the laser or the like is changed due to the temperature change, and desired results can not be obtained. However, Patent Document 9 does not consider this point at all.
  • Non-Patent Document 1 relates to a multi-pass optical cell of a tube-type laser optical measuring apparatus made of metal. These tube-type multi-pass optical cells were first developed in 1994 and have been mainly used for measuring low-density materials in the room.
  • the multipath cell is applied by using a single cylindrical mirror or by arranging a plurality of plane mirrors in a circular shape.
  • the laser beam is irradiated into the cell at a certain angle deviating from the center of the circle and the irradiated laser beam forms a star pattern in the cell and then returns to the outside of the cell.
  • Such a cell is suitable for measuring a low concentration of gas in a small volume.
  • FIG. 4 shows an internal heating medium circulation path applied in the present invention to one type of reflection type when a laser is irradiated to a tube-shaped cell.
  • Such a metal cell is advantageous in that it is resistant to physical stress.
  • the temperature change due to the metal is more advantageous than the usual glass material (see FIG. 3).
  • temperature control is of utmost importance for measuring fine dust precursors outdoors.
  • deformation of the cell may occur due to a change in temperature in summer and winter,
  • thermoelectric elements In general, it is not uncommon to use precision optical equipment outdoors, and moreover, outdoor optics equipment with a vibration-free temperature control system is even more rare. Examples of equipment that can be cooled and heated without vibration include thermoelectric elements. However, the thermoelectric element is not limited to the optical measuring instrument using TDLAS as outlined above, although the presently used portion is very limited.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for accurately and precisely measuring the concentration of NO x and SO x , precursors of fine dust, using TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy) It is an object of the present invention to provide an apparatus capable of controlling the temperature of a TDLAS apparatus including a cell having a prism-type or tube-type multi-path without vibration.
  • TDLAS Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy
  • a laser processing apparatus including: a laser unit for irradiating a laser beam; A measurement cell including a multipass prism through which a gas for measurement is collected and the laser beam passes; A photodetector unit in which the laser beam passing through the measurement cell is condensed; A processor unit for performing analysis using the laser beam; And a jacket-type heat exchanger surrounding the periphery of the measuring cell and through which a heating medium having a predetermined temperature flows.
  • the measuring cell is configured such that two prisms are arranged symmetrically with respect to each other in a part where the laser beam enters the measurement cell and a part where the laser beam exits, so that a multipath is formed through total reflection of the prism.
  • a laser processing apparatus comprising: a laser section for irradiating a laser beam; A measurement cell for collecting gas for measurement and through which the laser beam passes; A photodetector unit in which the laser beam passing through the measurement cell is condensed; And a processor unit for performing an analysis using the laser beam, wherein the measuring cell is a tube-shaped cell made of metal, and the laser beam can enter and exit the inside of the tube A hole is provided in the side surface of the tube and an outlet port through which the gas for measurement flows in and out is provided on the upper surface or the lower surface of the tube and a passage through which a countercurrent heating medium can flow along the outer surface of the tube is provided, And the laser beam is reflected in the tube in a large number.
  • the metal is a metal that is coated or plated with one of gold, silver, and chromium, and a portion of the measurement cell where the laser beam is reflected is coated or plated with one of gold, silver, and chromium.
  • the laser unit may be a tunable diode laser or a distributed feedback laser.
  • the heating medium is at least one of water, gas, oil, and inorganic heating medium, and heating or cooling the heating medium is a temperature control module including a thermoelectric element.
  • the temperature control module includes a thermoelectric module including a plurality of thermoelectric elements and a printed circuit board having a conductive pattern electrically connecting the plurality of thermoelectric elements, And a top surface heat exchanger and a bottom surface heat exchanger in contact with the ceramic panel.
  • the fine dust precursors are NO x , SO x .
  • thermoelectric element can be directly attached to the measurement cell without the heat exchanger to control the temperature.
  • the flow of the heat medium may be a pump that does not generate vibration, typically a peristaltic pump.
  • the pump is disposed apart from a device such as a table where optical measurements take place.
  • a laser processing apparatus comprising: a laser section for irradiating a laser beam; A measurement cell including a multipass prism through which a gas for measurement is collected and the laser beam passes; A photodetector unit in which the laser beam passing through the measurement cell is condensed; And a processor for performing an analysis using the laser beam, the method comprising the steps of: measuring a temperature of a measurement cell of an apparatus for accurately measuring the concentration of a fine dust precursor using an optical system, A heating unit for heating and cooling the heating medium with a temperature control module including a thermoelectric element and surrounding the periphery of the measuring cell with an exchanging unit or a fine dust lamp for controlling the temperature of the thermoelectric element in a state where the thermoelectric element is directly attached to the measuring cell, A method for controlling the measurement cell temperature of a device for accurately measuring the concentration of a substance is provided.
  • the measurement system of fine dust precursors according to the present invention has an advantage that the concentrations of NO x and SO x precursors can be accurately measured at all times even in the open air.
  • the temperature of the measuring cell can be kept constant in the absence of vibration regardless of the season, day and night, and the concentration of NO x and SO x can be measured with no error.
  • FIG. 1 shows a calculation formula according to the Beer-Lambert rule in Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy (hereinafter referred to as 'TDLAS').
  • FIG. 2 is a schematic diagram of a TDLAS measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 3 is a schematic view of a conventional measurement cell.
  • FIG. 4 is a schematic view of a measuring cell including a multipass prism according to the present invention.
  • FIG. 5 is an optical demonstration photograph of a tubular cell according to the present invention.
  • FIG. 6 to 9 are schematic views of a tubular cell according to the present invention.
  • FIG. 10 is a schematic diagram of a temperature control module according to an embodiment of the present invention.
  • TDLAS is a measuring system using a tunable diode laser. Recently, it has received much attention in real time measurement system.
  • FIG. 2 is a representative TDLAS-related configuration, and technical matters concerning the TDLAS itself are described in Patent Documents 5, 6, and 7, and a detailed description thereof will be omitted.
  • An apparatus comprising a measuring cell according to figure 4 comprises a laser part for irradiating a laser beam; A measurement cell including a multipass prism through which a gas for measurement is collected and the laser beam passes; A photodetector unit in which the laser beam passing through the measurement cell is condensed; A processor unit for performing analysis using the laser beam; And a jacket-type heat exchanger which surrounds the periphery of the measurement cell and through which a heating medium having a predetermined temperature flows, and a precision measuring device for the concentration of the fine dust precursor.
  • the measuring cell is configured such that two prisms are arranged symmetrically with respect to each other in a part where the laser beam enters the measurement cell and a part where the laser beam exits, so that a multipath is formed through total reflection of the prism.
  • the prism can use a conventional prism. Particularly, as the staggered position of the prism at the symmetric position is finer, the total internal reflection path becomes longer, which is advantageous for the measurement of the fine dust precursor at a low concentration.
  • there is a method of keeping the temperature of the prism constant by keeping the temperature inside the measuring cell but there is also a method of controlling the temperature by directly circulating the heating medium around the prism.
  • the laser portion may be a tunable diode laser or a distributed feedback laser.
  • a laser has a fixed wavelength, but a wavelength can be modulated by using a diode laser, which can be modulated by a function generator.
  • FIG. 4 illustrates a prism measurement cell 600 according to an embodiment of the present invention.
  • a lens 610 through which a laser enters is provided on one side of a measurement cell 600, and a lens 610 through which a laser is externally reflected have.
  • measurement gas inlet / outlet portions 620 and 630 are provided which can be discharged to the outside after the gas for measurement enters the measurement gas chamber 625.
  • a jacket-shaped heat exchanging portion is provided on the outer side so that the temperature of the measuring gas chamber 625 can be kept constant.
  • the heat exchanging unit has heat medium input / output units 640 and 650 through which a heating medium, mainly water, can flow in and out, and the heating medium having a desired temperature can be continuously circulated.
  • two prisms 660 are arranged symmetrically so as to be finely staggered so as to perform total internal reflection.
  • the apparatus including the tubular cell of Fig. 5 comprises a laser part for irradiating a laser beam; A measurement cell for collecting gas for measurement and through which the laser beam passes; A photodetector unit in which the laser beam passing through the measurement cell is condensed; And a processor unit for performing analysis using the laser beam, wherein the measuring cell is a tube-shaped cell made of copper, and the laser beam can enter and exit the inside of the tube A hole is provided in the side surface of the tube and an outlet port through which the gas for measurement flows in and out is provided on the upper surface or the lower surface of the tube and a passage through which a countercurrent heating medium can flow along the outer surface of the tube is provided, The laser beam is reflected many in the tube.
  • the laser portion may be a tunable diode laser or a distributed feedback laser.
  • a laser has a fixed wavelength, but a wavelength can be modulated by using a diode laser, which can be modulated by a function generator.
  • FIG. 9 are perspective views of a tubular measuring cell 400 according to another embodiment of the present invention.
  • the tubular measuring cell 400 is provided with a laser input / output unit 410 through which a laser enters and exits.
  • At one end and the other end of the tubular measuring cell 400 are provided measuring gas inlet / outlet portions 420 and 430 which can be discharged to the outside after the gas for measurement enters the measuring gas chamber 425.
  • a heating medium moving unit 445 is provided on the inner end surface of the cell so that the temperature of the measuring gas chamber 425 can be maintained constant.
  • the side of the cell is provided with a heating medium inlet / outlet part 440 and 450 through which a heating medium, mainly water, can flow in and out, so that the heating medium having a desired temperature can be continuously circulated.
  • FIG. 7 shows a shape in which the upper lid 406 and the lower lid 407 of the cell are separated from each other
  • FIG. 8 is a top view of the cell main body 405.
  • the cell main body 405 is provided with a heating medium moving unit 445 that allows the heating medium chamber 425 to maintain a constant temperature by circulating the heating medium .
  • FIG. 9 shows a cross-sectional view based on AA ', BB', and CC ', respectively.
  • There is a thermal medium moving part 445 which is an empty space in the form of a donut at the upper and lower ends with respect to the laser input / output part 410.
  • the thermal medium is introduced into one side by using the thermal medium input / output units 440 and 450, and the thermal medium is circulated through the thermal medium moving unit 445 by almost one turn and the upper and lower donut-
  • the heat medium moving unit 445 is moved to the upper or lower side through the point where the heat medium moving unit 445 is connected, and then the tube shape is rotated almost one turn and discharged through the heat medium inlet / outlet units 440 and 450. Since the incoming heat medium and the outgoing heat medium are always countercurrently disposed, the average temperature of the cell is kept uniform by their average. It is preferable that the double inner tube is formed on the outer surface of the tube-shaped tubular measuring cell 400 by forming the grooves from the outside to the inside, connecting necessary parts, and covering them again.
  • thermoelectric element 110 includes a pair of ceramic panels spaced apart from each other by a predetermined distance, a plurality of N-type and P-type thermoelectric semiconductors provided between the pair of ceramic panels and arranged in a predetermined pattern, Type thermoelectric semiconductors electrically connected in series, and electrode terminals connected to ends of the conductive electrodes to supply power to the plurality of N-type and P-type thermoelectric semiconductors, respectively.
  • the silicon layer is filled in the spacing space between the pair of ceramic panels to prevent the components from being separated from each other by an external force and to prevent moisture from flowing into the space.
  • the temperature control module includes a thermoelectric module 110 including a plurality of thermoelectric elements 110 and a printed circuit board 120 on which a conductive pattern for electrically connecting the plurality of thermoelectric elements 110 is formed. And an upper surface heat exchanger 200 and a lower surface heat exchanger 300 in contact with upper and lower surface ceramic panels of the plurality of thermoelectric elements 110.
  • the temperature control module includes a coupling member (not shown) for fixing the thermoelectric module 100, the upper surface heat exchanger 200, and the lower surface heat exchanger 300.
  • the fastening member 30 is mounted using the mounting holes 130, 230 and 330.
  • the upper or lower surface heat exchanger (200, 300) includes a heat exchange fluid inlet (510) formed at one end face and a heat exchange fluid outlet (520) formed at the same cross section as the heat exchange fluid inlet; And an internal circulation portion starting from the heat exchange fluid inlet and circulating inside the heat exchanger to be connected to the heat exchange fluid outlet, wherein the internal circulation portion is always disposed in a countercurrent manner in a countercurrent manner.
  • the technical details of the temperature control module are described in Patent Document 8, and a detailed description thereof will be omitted.
  • the flow of the heat medium may be a pump that does not generate vibration, typically a peristaltic pump.
  • the pump is disposed apart from a device such as a table where optical measurements take place.
  • the measurement system of fine dust precursors according to the present invention has an advantage that the concentrations of NO x and SO x precursors can be accurately measured at all times even in the open air.
  • the temperature of the measuring cell can be kept constant in the absence of vibration regardless of the season, day and night, and the concentration of NO x and SO x can be measured with no error.
  • thermoelectric module 100 thermoelectric module

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Abstract

본원 발명은 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템에 관한 것으로서, 미세먼지의 전구물질인 NOx, SOx의 농도를 TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)기법을 사용하여 측정하는 장치 중 프리즘형 멀티패스를 구비한 측정셀의 온도를 열전소자를 사용하여 진동없이 제어할 수 있는 장치에 관한 것이다.

Description

야외용 TDLAS 멀티패스 셀
본원 발명은 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템에 관한 것으로서, 상세하게는 미세먼지의 전구물질인 NOx, SOx의 농도를 TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)기법을 사용하여 측정하는 장치에 관한 것이다. 또한 미세먼지 전구물질을 야외에서 상시로 정밀하게 측정할 수 있도록 측정셀의 온도를 진동없이 제어할 수 있는 장치에 관한 것이다.
WHO 기준으로 미세먼지와 초미세먼지는 각각 입자의 직경이 2.5㎛, 1.0㎛인 입자상 물질을 의미하며 우리나라에서는 각각 10㎛, 2.5㎛ 로 정의하고 있다.
현재 국내 미세먼지의 주된 원인 중 하나로 화력 발전소에서의 연소에 의한 것을 들 수 있는데 화력 발전소에서의 연소에서 생기는 미세먼지는 국내 미세 먼지 생산량의 20~30%를 차지하고 있는 것으로 파악된다.
미세먼지는 발생원에서부터 고체 상태의 미세먼지인 탄소류, 검댕, 광물, 기타 등으로 나오는 경우 보다 발생원에서 가스 상태로 나온 물질이 공기 중의 다른 물질과 화학반응을 일으켜 미세먼지가 되는 비중이 높다. 따라서 미세먼지의 발생량 예측 등을 위해서는 2차적 미세먼지로 전환이 되는 주요 가스인 NOx, SOx의 고정밀 계측 시스템이 필요하다.
대기환경오염의 주범인 CO, CO2, NOx, SOx 등 다양한 가스들의 농도를 계측하는데 있어 측정 대상의 가스를 샘플링 하지 않고, 실시간 계측이 가능한 레이저를 이용한 계측 방법이 크게 각광받고 있다. 대기환경에 영향을 미치는 가스 종들은 주로 적외선 영역에서 흡수가 이루어지는데, 여기서 적외선 영역은 근적외선(Near-infrared ray, 0.8㎛ - 1.5㎛), 중적외선(Mid-infrared ray, 1.5㎛ - 5.6㎛), 원적외선(Far-infrared ray, 5.6㎛ - 1000㎛)으로 나눌 수 있다. 중적외선에서는 분자의 흡수를 일으키는 분자의 진동이나 회전운동 모드들이 집중되어 있어, 빛의 파장을 흡수하는 분자의 특성을 이용한 DAS(Direct Absorption Spectroscopy) 계측 기법에 적용되어 측정 대상 가스의 농도나 온도를 계측하는 방법에 탁월한 효과를 나타내고 있다.
파장가변형 다이오드레이저 흡수분광법(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, 이하 'TDLAS')는 광원으로 파장가변형 레이저를 사용하는데, 계측 영역을 투과하기 전의 초기 레이저 강도(I0)와 계측 영역을 지나 흡수가 일어난 후의 레이저 강도(I)의 비를 비교하여 농도와 온도를 구하는 방법이다. 이는 Beer-Lambert 법칙을 근거로 한다.
도 1의 식에서 알 수 있듯이 흡수량은 광학적 측정거리(optical path length, L)에 비례하는 것을 알 수 있다. 미세먼지 전구물질을 측정하는 환경에서 각 계측 가스의 농도가 아주 미세하다고 가정하면 계측 향상을 위한 주요 변수 값은 측정거리(L)와 온도(T)가 된다. 미세먼지 전구물질을 야외에서 실시간으로 계속 측정하는 경우 측정을 위한 관측 셀은 고정되어 있기 때문에 측정거리(L)은 변하지 않지만 계절, 밤낮 등에 따라 온도 T는 계속 변하게 된다. 따라서, TDLAS를 이용하여 낮은 농도의 미세먼지 전구물질을 측정하는데 일정하고 정밀한 온도 제어가 반드시 필요하다. 한편 TDLAS 자체는 매우 정밀한 광학적 측정 장비인바, 외부 진동에 매우 취약하다. 이러한 이유로 종래의 압축기를 사용한 냉각 시스템을 사용할 경우 여기서 발생하는 진동은 TDLAS에 사용에 큰 제약이 된다. 냉각 시스템을 원거리에 설치하더라도 열매체를 전달하기 위한 펌프의 진동 또한 TDLAS의 정밀 측정에 방해가 된다.
이와 같이 미세먼지로 전환되는 주요 전구물질인 NOx, SOx를 실시간으로 정밀하게 측정할 수 있는 TDLAS를 외부 환경에서 도입하기 위한 정밀하면서 광학 장치에 적합한 온도 제어 시스템을 구비한 TDLAS 시스템의 개발이 무엇보다 절실하다.
특허문헌 1은 반도체 관련 제조장치에 관한 것이며, 파이프 쿨러 및 그 파이프 쿨러를 이용한 소형 온도조절기로서 히트 파이프의 단부와 열 교환하는 열용량이 큰 열 교환 블록의 표면에 열전소자를 밀착 고정하고 이 열전소자의 열 교환 블록과는 반대 측에 열 이송 수단을 배설하고 상기 히트 파이프는 상기 열 교환 블록에서 돌출되는 적어도 하나 이상의 전열 연장부를 가지며, 상기 열전소자의 동작 제어에 의해 열 교환 블록 및 상기 히트 파이프의 전열 연장부를 통해 전열 연장부 주위 열매체를 온도를 조절하는 장치에 관한 것이다.
특허문헌 2는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로서, 공정 챔버와 공정 챔버의 내부에 위치하며 처리 공간을 가지는 용기와 처리 공간 내에 위치하며 기판을 지지하는 지지 유닛과 지지 유닛에 놓인 기판에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛과 그리고 기판에 공급되는 처리액의 온도를 조절하는 온도 조절 유닛을 포함하되 상기 온도 조절 유닛은 상기 처리액의 주위에서 열교환 할 수 있는 유체를 제공하여 상기 처리액의 온도를 기설정된 온도로 유지하며, 상기 처리액이 기판에 공급되기 전에 가열 또는 냉각하여 상기 처리액의 온도를 조절하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 특허문헌 2는 반도체 관련 기판 처리에서 온도를 조절하는 장치로서 열전소자를 사용하고 있다.
특허문헌 3은 반도체 처리 장치의 진공 챔버에서 기판을 처리할 때, 온도를 제어하는 어셈블리에 관한 것으로서, 이미 알려진 바와 같이 반도체 제조 공정에서는 온도의 제어를 위해서 열전소자와 원거리 압축식 냉각 시스템을 사용한다.
특허문헌 4는 플라즈마 처리 설비에 관한 것으로서, 플라즈마가 형성되는 공정 챔버, 공정 챔버 상부에 배치되는 챔버 리드, 공정 챔버 내부에 웨이퍼가 안착되도록 마련된 척, 챔버 리드에 연결되는 관로, 및 관로를 통해 챔버 리드와 연결되어 항온 유체를 순환하게 하는 온도제어유닛에 관한 것으로서, 챔버 리드의 온도를 일정하게 유지하기 위해서 열전소자를 사용하는 점이 기재되어 있다.
특허문헌 9는 광학 스펙트럼 분석 장비로서 프리즘 등을 포함하는 다양한 멀티패스 셀에 관한 정보를 기재하고 있다. 그러나, 이러한 장치는 외부 기온, 특히 여름과 겨울과 같은 온도의 변화에 대해서는 전혀 고려된 것이 아니다. 매우 정밀한 광학 장치의 특성상 온도 변화에 의해서 레이저 등의 반사 환경이 달라져 원하는 결과를 얻을 수 없게 되나, 특허문헌 9는 이러한 점에 대해서 전혀 고려되지 않았다.
비특허문헌 1은 금속으로 제조된 튜브형 타입의 레이저 광학 측정장치의 멀티패스 광학 셀에 관한 것이다. 이러한 튜브 형태의 멀티패스 광학셀은 1994년에 처음 개발되었으며, 주로 실내에서 저농도의 물질을 측정하는데 사용되어 왔다. 상기와 같은 멀티패스 셀은 하나의 원기둥 형태의 거울을 사용하거나, 다수의 평면 거울을 원형으로 배치하여 적용하였다. 레이저빔이 원의 중심에서 벗어난 일정한 각도로 셀 내부로 조사되고, 상기 조사된 레이저빔은 셀 내부에서 별 모양의 패턴을 형성한 후 셀 바깥으로 다시 나오게 된다. 이와 같은 셀은 작은 부피에서 저농도의 기체 농도를 측정하기에 적합한 것이다.
비특허문헌 1은 재료를 종래의 거울에서 원기둥 형태의 구리를 가공하여 사용하였다. 내부는 다이아몬드 가공을 통해서 표면처리를 하였고 추가의 반사를 위해서 금도금을 수행하였다. 상기와 같은 튜브 형태의 멀티패스 셀의 입사각 및 광원 거리 등은 비특허문헌 1에 있는바, 자세한 설명은 생략한다. 도 4에는 튜브 형태의 셀에 레이저가 조사되었을 경우 반사되는 형태의 한 종류에 본원 발명에서 적용된 내부 열매체 순환로를 표시하였다.
상기와 같은 금속 셀은 물리적인 스트레스에 강하다는 장점이 있다. 금속으로 인해서 온도 변화에도 통상의 유리 재질(도 3 참조)보다 유리하다. 그러나 야외에서 미세먼지 전구물질을 측정하기 위해서는 온도의 조절이 무엇보다 중요하다. 특히 물리적 강도를 위해서 구리 등으로 셀을 제조할 경우 여름과 겨울의 온도 변화에 의해서 셀의 변형이 발생하고 이로 인해서 원활한 측정이 불가능할 수 있다
통상적으로 정밀한 광학 장비를 실외에서 사용하는 것이 드물고 더욱이 진동없이 온도를 제어하는 시스템을 부가한 실외 광학 장비는 더욱 드물다. 진동없이 냉각, 가열이 가능한 장비의 예로서 열전소자를 들 수 있다. 그러나 열전소자는 앞서 본 바와 같이 현재 사용되는 부분이 매우 제한적으로 구성되고 있을 뿐 본원과 같은 TDLAS를 실외에 적용한 광학 측정장비에 사용되는 것은 없는 것으로 파악된다.
(선행기술문헌)
(특허문헌)
일본 공개특허공보 제2001-133105호 (2001.05.18.)
대한민국 공개특허공보 제2017-0026821호 (2017.03.09.)
미국 공개특허공보 제2014-0356985호 (2014.12.04.)
대한민국 공개특허공보 제2007-0075138호 (2007.07.18.)
대한민국 등록특허공보 제0481433호 (2005.03.28.)
대한민국 공개특허공보 제2006-0124111호 (2006.12.05.)
대한민국 공개특허공보 제2004-0064506호 (2004.07.19.)
대한민국 등록특허공보 제0772201호 (2007.11.01.)
미국 등록특허공보 제7116848호 (2006.10.03.)
(비특허문헌)
OPTICS LETTERS, February 1, 2013, Vol. 38, No. 3. pp 257.
본원 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 미세먼지의 전구물질인 NOx, SOx의 농도를 TDLAS(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)를 이용하여 야외에서 상시로 정밀하게 측정할 수 있도록 프리즘형 또는 튜브형태의 멀티패스를 구비한 셀을 포함하는 TDLAS 장치의 온도를 진동없이 제어할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본원 발명의 제1양태는 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 멀티패스용 프리즘을 포함하는 측정셀; 상기 측정셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부; 및 상기 측정셀의 주변을 감싸며, 일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치를 제공한다.
상기 측정셀은 측정셀 내부에 레이저빔이 들어오는 부위와 레이저빔이 나가는 부위에 2개의 프리즘이 미세하게 엇갈리게 대칭으로 배치되어 프리즘의 전반사를 통해 멀티패스가 형성되게 구성된다.
본원 발명의 제2양태는 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 측정 셀; 상기 측정 셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치에 있어서, 상기 측정 셀은 금속으로 제작된 튜브 형태의 셀로서, 레이저빔이 튜브 내부로 들어오고 나갈 수 있는 하나의 홀이 튜브 측면에 마련되고, 튜브의 상면 또는 하면에는 측정을 위한 기체가 유입, 유출되는 배출구가 마련되어 있으며, 튜브의 외면을 따라 향류식의 열매체가 흐를 수 있는 통로가 마련되어 있고, 상기 레이저빔은 튜브 내에서 다수 반사되는 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치를 제공한다.
상기 금속은 금, 은, 또는 크롬 중 하나가 코팅 또는 도금이 가능한 금속이며, 상기 측정셀에서 레이저빔이 반사되는 부분은 금, 은, 또는 크롬 중 하나가 코팅 또는 도금된다.
상기 레이저부는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback laser)일 수 있다.
상기 열매체는 물, 가스, 기름, 무기전열매체 중 적어도 하나 이상이고, 상기 열매체를 가열 또는 냉각하는 것은 열전소자를 포함하는 온도제어모듈이다. 구체적으로 상기 온도제어모듈은 다수의 열전소자가 장착되어 있으며 상기 다수의 열전소자를 전기적으로 연결하는 도전패턴이 형성되어 있는 인쇄회로보드를 포함하는 열전소자모듈, 상기 다수의 열전소자의 상면 및 하면 세라믹패널과 접하는 상면 열교환기 및 하면 열교환기를 포함한다. 한편, 상기 미세먼지 전구물질은 NOx, SOx 이다.
한편 상기 열교환부 없이 열전소자가 직접 측정셀에 부착되어 온도를 조절할 수도 있다.
열매체의 흐름은 진동을 발생하지 않는 펌프, 대표적으로 페리스탈틱 펌프를 사용할 수 있다. 상기 펌프는 광학 측정이 일어나는 테이블 등의 장치와 떨어져서 배치되는 것이 바람직하다.
본원 발명의 제3양태는 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 멀티패스용 프리즘을 포함하는 측정셀; 상기 측정셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부;를 포함하는 광학시스템을 이용한 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정셀 온도를 제어하는 방법에 있어서, 일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부로 상기 측정셀의 주변을 감싸며, 열전소자를 포함하는 온도제어모듈로 상기 열매체를 가열 또는 냉각하거나, 상기 측정셀에 열전소자가 직접 부착된 상태에서 상기 열전소자의 온도를 제어하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정셀 온도를 제어하는 방법을 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본원 발명에 따른 미세먼지 전구물질의 측정 시스템은 야외에서도 미세먼지 전구물질인 NOx, SOx의 농도를 상시로 정밀하게 측정할 수 있는 장점이 있다. 특히 계절, 밤낮에 관계없이 진동이 없는 상태에서 측정 셀의 온도를 일정하게 유지할 수 있어, 낮은 농도의 NOx, SOx의 농도를 오차 없이 측정할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 파장가변형 다이오드레이저 흡수분광법(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, 이하 'TDLAS')에서 Beer-Lambert 법칙에 따른 계산식을 보여준다.
도 2는 본원 발명에 일 실시예에 따른 TDLAS 측정 장치의 개략도이다.
도 3은 종래 측정 셀의 개략도이다.
도 4은 본원 발명에 따른 멀티패스용 프리즘을 포함하는 측정셀의 개략도이다.
도 5는 본원 발명에 따른 튜브형 셀의 광학적 시연 사진이다.
도 6 내지 도 9는 본원 발명에 따른 튜브형 셀의 개략도이다.
도 10은 본원 발명의 일 실시예 따른 온도제어모듈의 개략도이다.
이하에서는, 본원 발명의 실시예에 따른 도면을 참조하여 설명하지만, 이는 본원 발명의 더욱 용이한 이해를 위한 것으로, 본원 발명의 범주가 그것에 의해 한정되는 것은 아니다.
TDLAS는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser)를 이용한 계측시스템으로서 최근 들어서 실시간 계측 시스템 중 많은 관심을 받고 있다. 도 2는 대표적인 TDLAS 관련 구성으로서 TDLAS 자체에 대한 기술적 사항은 특허문헌 5, 6, 7에 기재된바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
도 4에 따른 측정셀를 포함하는 장치는 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 멀티패스용 프리즘을 포함하는 측정셀; 상기 측정셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부; 및 상기 측정셀의 주변을 감싸며, 일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치로 구성된다.
상기 측정셀은 측정셀 내부에 레이저빔이 들어오는 부위와 레이저빔이 나가는 부위에 2개의 프리즘이 미세하게 엇갈리게 대칭으로 배치되어 프리즘의 전반사를 통해 멀티패스가 형성되게 구성된다. 프리즘은 통상적인 프리즘을 사용할 수 있다. 특히 대칭되는 위치에 있는 프리즘의 엇갈리는 위치가 미세할 수록 내부의 전반사 패스가 길어져 낮은 농도의 미세먼지 전구물질의 측정에 유리하다. 한편 도면에는 직접 기재되어 있지 않지만, 측정셀 내부의 온도를 유지함으로써 프리즘의 온도를 일정하게 유지하는 방법도 있으며, 프리즘을 주변에 열매체가 직접 순환하여 온도를 제어하는 방법도 가능하다.
레이저부는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback laser)일 수 있다. 통상적으로 레이저는 파장이 고정되어 있으나 다이오드 레이저를 사용함으로써 파장을 변조할 수 있으며, 이는 함수 생성기를 통해서 변조가 가능하다.
전구물질 농도의 정밀한 측정을 위해서는 측정셀의 온도를 일정하게 유지하는 것이 중요하다. 도 4는 본원 발명의 일 실시예에 따른 프리즘측정셀(600)으로서, 측정셀(600)의 일측에는 레이저가 들어오는 렌즈(610)과 레이저가 내부 반사 후 외부로 나가는 렌즈(610)가 구비되어 있다. 측정셀(600)의 일단과 타단에는 측정을 위한 기체가 측정 기체 챔버(625)로 들어온 후 외부로 배출될 수 있는 측정 기체 입출부(620, 630)이 마련되어 있다. 그 외각에는 측정 기체 챔버(625)의 온도가 일정하게 유지될 수 있도록 재킷 형태의 열교환부가 외부에 마련되어 있다. 상기 열교환부는 일단과 탄단에는 열매체, 주로 물이 들어오고 나올 수 있는 열 매체 입출부(640, 650)이 마련되어 원하는 온도의 열매체가 계속 순환할 수 있다.
측정셀(600) 내부에는 전반사를 할 수 있도록 2개의 프리즘(660)이 미세하게 엇갈리게 대칭으로 배치되어 있다.
도 5의 튜브형 셀을 포함하는 장치는 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 측정 셀; 상기 측정 셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치에 있어서, 상기 측정 셀은 구리로 제작된 튜브 형태의 셀로서, 레이저빔이 튜브 내부로 들어오고 나갈 수 있는 하나의 홀이 튜브 측면에 마련되고, 튜브의 상면 또는 하면에는 측정을 위한 기체가 유입, 유출되는 배출구가 마련되어 있으며, 튜브의 외면을 따라 향류식의 열매체가 흐를 수 있는 통로가 마련되어 있고, 상기 레이저빔은 튜브 내에서 다수 반사된다.
레이저부는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback laser)일 수 있다. 통상적으로 레이저는 파장이 고정되어 있으나 다이오드 레이저를 사용함으로써 파장을 변조할 수 있으며, 이는 함수 생성기를 통해서 변조가 가능하다.
전구물질 농도의 정밀한 측정을 위해서는 튜브 셀의 온도를 일정하게 유지하는 것이 중요하다. 특히 본원 발명에 따른 셀은 구리로 제조되었기 때문에 온도 변화에 변형이 발생할 수 있기 때문에 항온 유지가 무엇보다도 중요하다. 도 5 내지 9는 본원 발명의 또 다른 실시예에 따른 튜부형측정셀(400)으로서, 튜부형측정셀(400)의 일측에는 레이저가 들어오고 나가는 레이저 입출부(410)가 구비되어 있다. 튜부형측정셀(400)의 일단과 타단에는 측정을 위한 기체가 측정 기체 챔버(425)로 들어온 후 외부로 배출될 수 있는 측정 기체 입출부(420, 430)이 마련되어 있다. 셀의 내부 단면에는 측정 기체 챔버(425)의 온도가 일정하게 유지될 수 있도록 열 매체 이동부(445)가 마련되어 있다. 셀의 측면에는 열매체, 주로 물이 들어오고 나올 수 있는 열 매체 입출부(440, 450)가 마련되어 원하는 온도의 열매체가 계속 순환할 수 있다.
도 7은 상기 셀의 위 뚜겅(406)과 아래 뚜껑(407)이 분리된 형상이고 도 6은 이들이 결합된 형상이다.
도 8은 셀본체(405)를 위에서 내려다 본 모습으로서, 셀본체(405)는 열매체가 순환하여 측정 기체 챔버(425)의 온도를 일정하게 유지할 수 있게 하는 열 매체 이동부(445)가 마련되어 있다. 도 9는 각각 AA', BB', CC'를 기준으로 한 단면의 모습을 보여주고 있다. 레이저 입출부(410)을 기준으로 상, 하단으로 도넛모양의 빈 공간인 열 매체 이동부(445)가 있다.
열 매체 입출부(440, 450)을 이용하여 한쪽으로 열 매체가 들어오고, 열 매체는 열 매체 이동부(445)를 통하여 튜브 형태를 거의 한 바퀴 돌고 CC' 단면에서 보이는 상, 하단 도넛모양의 열 매체 이동부(445)가 연결되는 지점을 통해서 상단 또는 하단으로 이동한 후 또 튜브 형태를 거의 한 바퀴 돌고 열 매체 입출부(440, 450)를 통해서 배출된다. 들어오는 열 매체와 나가는 열 매체가 항상 향류식으로 배치되어 있으므로, 이들의 평균에 의해서 셀의 전체 온도는 균일하게 유지된다. 튜브 형태의 튜부형측정셀(400) 외면에 이중 내부관을 만드는 것은 외부로부터 안쪽으로 홈을 판 후 필요한 부분을 연결하고 이들 다시 덮는 방법으로 제작하는 것이 바람직하다.
프리즘측정셀(600) 및 튜브형측정셀(400)에 사용되는 상기 열 매체의 온도를 진동없이 변할 수 있는 장치로는 열전소자를 포함하는 온도제어모듈이 있다. 도 10은 본원 발명의 일 실시예에 따른 온도제어모듈이다. 열전소자(110)는 일정 거리가 이격된 한 쌍의 세라믹패널과 상기 한 쌍의 세라믹패널 사이에 구비되어 소정의 패턴으로 배열되는 복수의 N형 및 P형 열전반도체와 상기 복수의 N형 및 P형 열전반도체를 전기적으로 직렬 연결하는 도전전극과 상기 도전전극의 단부에 각각 접합되어 복수의 N형 및 P형 열전반도체로 전원을 인가하기 위한 전극단자를 포함하여 구성된다.
이때 상기 한 쌍의 세라믹패널 사이의 이격 공간에는 실리콘층이 충진되어 외력에 의해 상기 각 구성요소가 서로 이격되는 것을 방지하고 그 내부로 수분이 유입되는 것을 방지한다.
구체적으로 상기 온도제어모듈은 다수의 열전소자(110)가 장착되어 있으며 상기 다수의 열전소자(110)를 전기적으로 연결하는 도전패턴이 형성되어 있는 인쇄회로보드(120)를 포함하는 열전소자모듈(100), 상기 다수의 열전소자(110)의 상면 및 하면 세라믹패널과 접하는 상면 열교환기(200) 및 하면 열교환기(300)를 포함한다. 상기 온도제어모듈은 상기 열전소자모듈(100), 상기 상면 열교환기(200), 상기 하면 열교환기(300)를 고정하는 체결부재(도면 미도시)를 포함한다. 체결부재(30)는 장착홀(130, 230, 330)을 이용하여 장착된다.
상기 상면 또는 하면 열교환기(200, 300)는 일단의 단면에 형성된 열교환 유체 유입구(510) 및 상기 열교환 유체 유입구와 동일한 단면에 형성된 열교환 유체 배출구(520); 상기 열교환 유체 유입구로부터 시작되어 열교환기 내부를 순환하여 상기 열교환 유체 배출구로 연결되는 내부 순환부를 포함하며, 상기 내부 순환부는 투입 유체와 배출 유체가 항상 향류로 쌍으로 배치된다. 온도제어모듈에 대한 기술적 사항은 특허문헌 8에 기재된바, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
열매체의 흐름은 진동을 발생하지 않는 펌프, 대표적으로 페리스탈틱 펌프를 사용할 수 있다. 상기 펌프는 광학 측정이 일어나는 테이블 등의 장치와 떨어져서 배치되는 것이 바람직하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본원 발명에 따른 미세먼지 전구물질의 측정 시스템은 야외에서도 미세먼지 전구물질인 NOx, SOx의 농도를 상시로 정밀하게 측정할 수 있는 장점이 있다. 특히 계절, 밤낮에 관계없이 진동이 없는 상태에서 측정셀의 온도를 일정하게 유지할 수 있어, 낮은 농도의 NOx, SOx의 농도를 오차 없이 측정할 수 있는 장점이 있다.
본원 발명이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 내용을 바탕으로 본원 발명의 범주내에서 다양한 응용 및 변형을 수행하는 것이 가능할 것이다.
(부호의 설명)
100 열전소자모듈
110 열전소자
120 인쇄회로보드
130, 230, 330 장착홀
200, 300 열교환기
400 측정 셀
405 셀본체
406, 407 위 뚜껑 및 아래 뚜껑
410 레이저 입출부
420, 430 측정 기체 입출부
425 측정 기체 챔버
440, 450 열 매체 입출부
445 열 매체 이동부
600 프리즘측정셀
610 렌즈
620, 630 측정 기체 입출부
625 측정 기체 챔버
640, 650 열 매체 입출부
645 열 매체 이동부
660 반사용 프리즘
510, 520 열매체 입출부

Claims (12)

  1. 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 멀티패스용 프리즘을 포함하는 측정셀; 상기 측정셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부; 및 상기 측정셀의 주변을 감싸며, 일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정셀은 측정셀 내부에 레이저빔이 들어오는 부위와 레이저빔이 나가는 부위에 2개의 프리즘이 미세하게 엇갈리게 대칭으로 배치되어 프리즘의 전반사를 통해 멀티패스가 형성되게 구성되는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  3. 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 측정 셀; 상기 측정 셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부를 포함하는 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치에 있어서,
    상기 측정 셀은 금속으로 제작된 튜브 형태의 셀로서, 레이저빔이 튜브 내부로 들어오고 나갈 수 있는 하나의 홀이 튜브 측면에 마련되고, 튜브의 상면 또는 하면에는 측정을 위한 기체가 유입, 유출되는 배출구가 마련되어 있으며, 튜브의 외면을 따라 향류식의 열매체가 흐를 수 있는 통로가 마련되어 있고, 상기 레이저빔은 튜브 내에서 반사되는 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 금속은 금, 은, 또는 크롬 중 하나가 코팅 또는 도금이 가능한 금속이며,
    상기 측정셀에서 레이저빔이 반사되는 부분은 금, 은, 또는 크롬 중 하나가 코팅 또는 도금된 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 레이저부는 파장가변형 다이오드 레이저(Tunable Diode Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback laser)인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 열매체는 물, 가스, 기름, 무기전열매체 중 적어도 하나 이상이고, 상기 열매체를 가열 또는 냉각하는 것은 열전소자를 포함하는 온도제어모듈인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 온도제어모듈은 다수의 열전소자가 장착되어 있으며 상기 다수의 열전소자를 전기적으로 연결하는 도전패턴이 형성되어 있는 인쇄회로보드를 포함하는 열전소자모듈, 상기 다수의 열전소자의 상면 및 하면 세라믹패널과 접하는 상면 열교환기 및 하면 열교환기를 포함하는 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    열 교환부가 없이 열전소자가 직접 측정셀에 부착된 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 미세먼지 전구물질은 NOx, SOx인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 열매체의 흐름은 진동을 발생하지 않는 펌프에 의한 것인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 펌프는 페리스탈틱 펌프인 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치.
  12. 레이저빔을 조사하는 레이저부; 측정을 위한 기체가 포집되며 상기 레이저빔이 통과하는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 멀티패스용 측정셀; 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 멀티패스용 측정셀을 통과한 레이저빔이 집광되는 광검출부; 상기 레이저빔을 이용하여 분석을 수행하는 프로세서부;를 포함하는 광학시스템을 이용한 미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정셀 온도를 제어하는 방법에 있어서,
    일정한 온도의 열매체가 흐르는 재킷 형태의 열 교환부로 상기 측정셀의 주변을 감싸며, 열전소자를 포함하는 온도제어모듈로 상기 열매체를 가열 또는 냉각하거나,
    상기 측정셀에 열전소자가 직접 부착된 상태에서 상기 열전소자의 온도를 제어하는
    미세먼지 전구물질의 농도 정밀계측 장치의 측정셀 온도를 제어하는 방법.
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