CN219224999U - 一种测试治具及测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种测试治具及测试设备，该测试治具包括具有容纳腔的箱体；位于箱体内的治具板；以及位于治具板上的加热冷却组件；加热冷却组件包括加热冷却芯片；测试治具还包括第一气体管路；第一气体管路包括主管路以及分别与主管路的出气端连通的第一分支管路和第二分支管路；第一分支管路与箱体的容纳腔连通；第一分支管路输送的冷却干燥气体用以冷却干燥箱体内待测产品周围的空气；第二分支管路与加热冷却组件对应配合；第二分支管路输送的冷却干燥气体可与加热冷却芯片进行热交换冷却加热冷却芯片。该测试治具能够保证测试环境内空气干燥，防止冷凝水珠对检测造成影响，还可以散去加热冷却芯片因制冷而产生的高热，保护加热冷却芯片。

Description

一种测试治具及测试设备

技术领域

本实用新型涉及产品检测技术领域。更具体地，涉及一种测试治具及测试设备。

背景技术

随着芯片测试要求的不断提高，对芯片测试治具的要求也不断提高。芯片测试时，待测产品或者产品模组置于加热制冷组件上进行不同温度条件下的测试。当前产品在加热制冷组件进行低温测试时，加热制冷平台会由于低温冷凝产生水珠，直接影响测试功能。

由于芯片测试要求产品的测试温度区间在0-60℃，现有技术虽然能够做到，但问题是在10℃以下时，含有湿度的空气会冷凝成水珠，附着在产品以及测试治具的冷却加热平台上，对测试治具造成腐蚀氧化，对产品带来不可估量的影响。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种测试治具及测试设备，该测试治具能够保证测试环境内空气干燥，防止冷凝水珠对检测造成影响，同时还可以散去加热冷却芯片因制冷而产生的高热，从而保护加热冷却芯片。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

本实用新型提供一种测试治具，包括：

具有容纳腔的箱体；

位于箱体内的治具板；以及

位于治具板上的加热冷却组件；

所述治具板被配置为用以固定待测产品并与待测产品之间电导通；

所述加热冷却组件包括用以对待测产品加热或者冷却的加热冷却芯片；

所述测试治具还包括用以为所述箱体内提供冷却干燥气体的第一气体管路；

所述第一气体管路包括主管路以及分别与主管路的出气端连通的第一分支管路和第二分支管路；

所述第一分支管路与箱体的容纳腔连通；所述第一分支管路输送的冷却干燥气体被配置为用以冷却干燥箱体内待测产品周围的空气；

所述第二分支管路与所述加热冷却组件对应配合；

所述第二分支管路输送的冷却干燥气体被配置为可与加热冷却芯片进行热交换从而冷却所述加热冷却芯片。

此外，优选地方案是，所述箱体包括主体以及与主体可转动连接的盖体；所述第一分支管路配置于所述盖体上。

此外，优选地方案是，所述第二分支管路通过装配件与箱体结合固定；

所述装配件上形成有若干可与第二分支管路连通的气路孔；所述第二分支管路输送的冷却干燥气体通过所述气路孔可进入所述箱体内。

此外，优选地方案是，所述测试治具还包括与箱体的容纳腔连通的第二气体管路；所述第二气体管路被配置为用以向箱体内提供静电消除气体。

此外，优选地方案是，所述加热冷却组件还包括与治具板结合固定的散热板，所述加热冷却芯片结合固定于散热板上；用以承载待测产品的导热陶瓷片；以及位于加热冷却芯片和导热陶瓷片之间的保温块；所述第二分支管路的出气端与所述散热板对应配合；所述加热冷却芯片被配置为通过所述散热板可实现与第二分支管路输送的冷却干燥气体进行热交换。

此外，优选地方案是，所述导热陶瓷片上形成有用以吸附固定待测产品的吸附口；所述保温块内形成有与所述吸附口连通的气体通道；所述保温块上设置有与气体通道连通的用以与抽真空设备连接的连接头。

本实用新型还提供一种测试设备，该测试设备包括安装基板；如上所述的测试治具；用以带动所述测试治具在安装基板上运动的运动机构以及用以对位于箱体内的待测产品进行检测的检测机构。

此外，优选地方案是，所述检测机构通过支撑架配置于测试治具的上方位置；所述运动机构被配置为可带动测试治具沿第一方向和第二方向运动以调整待测产品相对于检测机构的位置。

此外，优选地方案是，所述测试治具的箱体上设置有与容纳腔内的待测产品位置相对应的透镜。

此外，优选地方案是，所述测试设备还包括内部可形成暗室的罩体；所述测试治具、运动机构以及检测机构均位于所述罩体内。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过第一分支管路向所述箱体内提供冷却干燥气体，冷却干燥箱体内待测产品周围的空气，从而实现测试治具内的环境干燥，防止冷凝水珠对检测造成影响，保护了待测产品和加热冷却组件；并通过加热冷却组件和第二分支管路的配合，利用第二分支管路输送的冷却干燥气体与加热冷却芯片进行热交换从而循环散去加热冷却芯片因制冷产生的高热，保护加热冷却芯片。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的测试治具与承载台的配合示意图。

图2是图1的俯视图。

图3是本实用新型的盖体的结构示意图。

图4是本实用新型的加热冷却组件的结构示意图。

图5是本实用新型的第二分支管路与装配件的配合示意图。

图6是本实用新型的测试设备的结构示意图。

图7是本实用新型的检测机构、支撑架和运动机构的配合示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为了防止冷凝水珠对检测造成影响并对加热冷却芯片进行散热。本实用新型提供一种测试治具及测试设备，结合图1至图7所示，具体地所述测试治具20包括：具有容纳腔的箱体21；位于箱体21内的治具板22；以及位于治具板22上的加热冷却组件23；所述治具板22被配置为用以固定待测产品并与待测产品之间电导通；所述加热冷却组件23包括用以对待测产品加热或者冷却以实现对待测产品的测试的加热冷却芯片231，在一个具体示例中，所述加热冷却芯片231可采用半导体TEC芯片，半导体TEC制冷时热端会产生大量热，因此需要对其进行散热冷却；所述测试治具20还包括用以为所述箱体21内提供冷却干燥气体的第一气体管路；所述第一气体管路包括主管路以及分别与主管路的出气端连通的第一分支管路24和第二分支管路25；所述第一分支管路24与箱体21的容纳腔连通；所述第一分支管路24输送的冷却干燥气体被配置为用以冷却干燥箱体21内待测产品周围的空气；所述第二分支管路25的出气端与所述加热冷却组件23对应配合；所述第二分支管路25输送的冷却干燥气体被配置为可与加热冷却芯片231进行热交换从而冷却所述加热冷却芯片231。需要说明的是，第一分支管路24和第二分支管路25均通过主管路与冷干机60连通，通过冷干机60对压缩空气进行干燥冷却，可损耗很低地输出低温干燥的压缩空气，冷干机60输出的低温干燥压缩空气通过第一分支管路24可排挤待测产品周围湿度较大的空气，使得待测产品在较低温度测试时，也不会出现冷凝水珠，保护待测产品，并通过第二分支管路25与加热冷却组件23的散热板232进行热交换，不会产生热量堆积，保护加热冷却芯片231，两个气体管路在密封空间内相互配合，既起到对加热冷却芯片231的散热作用，又能够防止箱体21空间内产生凝珠；可以理解的是，上述箱体21并不是密封的，在箱体21上存在有供箱体21内部的气体向外溢出的缝隙。

该测试治具20不采用水冷方式对加热冷却芯片231进行散热，在进行维护时，不会存在漏液风险，提高治具自身安全性；该测试治具20采用冷干机气冷方式，可一机两用，一个主管路分成两个分支管路，设计合理，通气效果好，节省成本。

另外，该测试治具20还可以通过PLC以及温控器对产品测试后的温度进行实时控制，维持在最优温度值范围内，测试效果好，并可以在箱体21内设置温湿度计实时反馈箱体21内空气的含水量，从而通过PLC控制待测产品测试开始时间及停止时间。

在一具体实施例中，所述测试治具20还包括与箱体21的容纳腔连通的第二气体管路26；所述第二气体管路26被配置为用以向箱体21内提供静电消除气体，具体的，通过静电消除器+压缩空气形成静电消除气体并通过第二气体管路26对箱体21内实现静电消除，可以理解是，第一分支管路24、第二分支管路25和第二气体管路26均可通过PLC+上位机软件实时控制通断。

进一步地，所述箱体21包括主体211以及与主体211可转动连接的盖体212；所述第一分支管路24配置于所述盖体212上，该第二气体管路26的出气端也配置于盖体212上；在所述盖体212上形成有分别与第一分支管路24和第二气体管路26配合的两个导气件2122，在导气件2122上形成有若干均匀排列的导气孔，第一分支管路24和第二气体管路26通过导气件2122上的导气孔可以更加均匀的将气体吹入箱体21内中，从而均匀快速排出箱体21内湿度大的空气。

在一具体实施例中，所述加热冷却组件23还包括与治具板22结合固定的散热板232，所述加热冷却芯片231结合固定于散热板232上；用以承载待测产品的导热陶瓷片233；以及位于加热冷却芯片231和导热陶瓷片233之间的保温块234；位于保温块234上的导热陶瓷片233用以进行待测产品的温度传导测试，导热陶瓷片233具有优良电绝缘性能和高导热特性，且对产品具有保护作用，防止产品被刮伤，在导热陶瓷片233上还连接有用以对导热陶瓷片233进行散热的散热管2332；所述第二分支管路25的出气端与所述散热板232对应配合；所述加热冷却芯片231被配置为通过所述散热板232可实现与第二分支管路25输送的冷却干燥气体进行热交换，所述散热板232可传导加热冷却芯片231工作时产生的热量并使这些热量与第二分支管路25输送的冷却干燥气体进行热交换，从而不会产生热量堆积，保护加热冷却芯片231。

进一步地，为了将待测产品稳定固定于导热陶瓷片233上，所述导热陶瓷片233上形成有用以吸附固定待测产品的吸附口2331；所述保温块234内形成有与所述吸附口2331连通的气体通道；所述保温块234上设置有与气体通道连通的用以与抽真空设备连接的连接头2341。

更进一步地，关于第二分支管路25与散热板232的具体配合方式，第二分支管路25通过装配件27与箱体21结合固定；所述装配件27上形成有若干可与第二分支管路25的出气端连通的气路孔271；第二分支管路25输送的冷却干燥气体通过所述气路孔271可进入所述箱体21内，从而实现第二分支管路25与散热板232的配合。

本实用新型还提供一种测试设备，该测试设备包括安装基板10；如上所述的测试治具20；用以带动所述测试治具20在安装基板10上运动的运动机构30以及用以对位于箱体21内的待测产品进行检测的检测机构40；该测试设备的测试治具20的具体结构参照上述实施例，由于该测试设备采用了上述实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

具体的，上述运动机构30可为手动调节滑台+滑轨制成的大负载(超过15kg)调节平台，在X&Y方向均具有调节功能；在安装基板10上还设置有流量计12，可分别限定防冷凝冷干空气流量以及对冷却加热芯片231冷却的冷干空气流量，通过PLC模拟电流对流量计读取读数，并在上位机软件中实时反馈。

在一具体实施例中，所述检测机构40通过支撑架41配置于测试治具20的上方位置，检测机构40为检测相机，用以对待测产品进行拍摄测试；测试治具20通过承载台11配置在调节平台上，调节平台可带动测试治具20在安装基板10上沿第一方向和第二方向运动以调整待测产品相对于检测机构40的位置，上述第一方向为X方向，第二方向为Y方向，进一步地，在支撑架41上通过调节四个调节螺母的锁付深度，可对检测相机的俯仰角度进行调节。

为了实现检测相机对箱体21内的待测产品进行拍摄测试，所述测试治具20的箱体21上设置有与容纳腔内的待测产品位置相对应的透镜2121，具体的，该透镜2121位于盖体212上。

在一具体实施例中，所述测试设备还包括内部可形成暗室的罩体50；所述测试治具20、运动机构30以及检测机构40均位于所述罩体50内。该罩体50采用铝制型材及铝板制作，并进行过黑色阳极氧化处理，从而能形成密闭不透光的暗室，隔绝外部光线；保证检测相机在拍摄测试时，输出正确结果；支撑架41采用方管钢材，黑色喷涂处理，位于罩体50内的其他加工件可采用铝板制作，黑色阳极氧化处理，保证相机在拍摄测试时，内部工件不会反光，不会对拍照结果产生不良影响。另外，在罩体50外壁上安装有四色报警灯80，可针对报警信息做等级分类；以及温湿度计显示屏，通过通讯协议，可实时反馈待测产品区域的温度及湿度。

进一步地，该测试设备还包括位于罩体50下方的与罩体50固定的壳体70，该壳体70采用方管钢材，黑色喷涂处理，与罩体50外观颜色一致，在壳体70内部设置电气布局板，并安装PLC、通讯扩展模块等可实时控制加热冷却平台，实现对待测产品进行加热或冷却。

综上所述，本实用新型通过第一分支管路向所述箱体内提供冷却干燥气体，冷却干燥箱体内待测产品周围的空气，从而实现测试治具内的环境干燥，防止冷凝水珠对检测造成影响，保护了待测产品和加热冷却组件；并通过加热冷却组件和第二分支管路的配合，利用第二分支管路输送的冷却干燥气体与加热冷却芯片进行热交换从而循环散去加热冷却芯片因制冷产生的高热，保护加热冷却芯片。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。

Claims (10)

1.一种测试治具，其特征在于，包括：

具有容纳腔的箱体；

位于箱体内的治具板；以及

位于治具板上的加热冷却组件；

所述治具板被配置为用以固定待测产品并与待测产品之间电导通；

所述加热冷却组件包括用以对待测产品加热或者冷却的加热冷却芯片；

所述测试治具还包括用以为所述箱体内提供冷却干燥气体的第一气体管路；

所述第一气体管路包括主管路以及分别与主管路的出气端连通的第一分支管路和第二分支管路；

所述第一分支管路与箱体的容纳腔连通；所述第一分支管路输送的冷却干燥气体被配置为用以冷却干燥箱体内待测产品周围的空气；

所述第二分支管路与所述加热冷却组件对应配合；

所述第二分支管路输送的冷却干燥气体被配置为可与加热冷却芯片进行热交换从而冷却所述加热冷却芯片。

2.根据权利要求1所述的测试治具，其特征在于，所述箱体包括主体以及与主体可转动连接的盖体；所述第一分支管路配置于所述盖体上。

3.根据权利要求1所述的测试治具，其特征在于，所述第二分支管路通过装配件与箱体结合固定；

所述装配件上形成有若干可与第二分支管路连通的气路孔；所述第二分支管路输送的冷却干燥气体通过所述气路孔可进入所述箱体内。

4.根据权利要求1所述的测试治具，其特征在于，所述测试治具还包括与箱体的容纳腔连通的第二气体管路；所述第二气体管路被配置为用以向箱体内提供静电消除气体。

5.根据权利要求1所述的测试治具，其特征在于，所述加热冷却组件还包括与治具板结合固定的散热板，所述加热冷却芯片结合固定于散热板上；用以承载待测产品的导热陶瓷片；以及位于加热冷却芯片和导热陶瓷片之间的保温块；所述第二分支管路的出气端与所述散热板对应配合；所述加热冷却芯片被配置为通过所述散热板可实现与第二分支管路输送的冷却干燥气体进行热交换。

6.根据权利要求5所述的测试治具，其特征在于，所述导热陶瓷片上形成有用以吸附固定待测产品的吸附口；所述保温块内形成有与所述吸附口连通的气体通道；所述保温块上设置有与气体通道连通的用以与抽真空设备连接的连接头。

7.一种测试设备，其特征在于，包括安装基板；如权利要求1-6中任一项所述的测试治具；用以带动所述测试治具在安装基板上运动的运动机构以及用以对位于箱体内的待测产品进行检测的检测机构。

8.根据权利要求7所述的测试设备，其特征在于，所述检测机构通过支撑架配置于测试治具的上方位置；所述运动机构被配置为可带动测试治具沿第一方向和第二方向运动以调整待测产品相对于检测机构的位置。

9.根据权利要求7所述的测试设备，其特征在于，所述测试治具的箱体上设置有与容纳腔内的待测产品位置相对应的透镜。

10.根据权利要求7所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括内部可形成暗室的罩体；所述测试治具、运动机构以及检测机构均位于所述罩体内。

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