WO2019069949A1 - 支持部材 - Google Patents

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WO2019069949A1
WO2019069949A1 PCT/JP2018/036941 JP2018036941W WO2019069949A1 WO 2019069949 A1 WO2019069949 A1 WO 2019069949A1 JP 2018036941 W JP2018036941 W JP 2018036941W WO 2019069949 A1 WO2019069949 A1 WO 2019069949A1
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WO
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damping member
damping
vibration
support member
tube wall
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Application number
PCT/JP2018/036941
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English (en)
French (fr)
Inventor
竹村 振一
敬之 本田
Original Assignee
Jxtgエネルギー株式会社
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B1/00Layered products having a non-planar shape
    • B32B1/08Tubular products
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B3/00Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form
    • B32B3/10Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material
    • B32B3/14Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material characterised by a face layer formed of separate pieces of material which are juxtaposed side-by-side
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B5/00Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16BDEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B15/00Nails; Staples
    • F16B15/02Nails; Staples with specially-shaped heads, e.g. with enlarged surfaces
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a support member for supporting an article.
  • Patent Document 1 As a supporting member for supporting an article, one described in Patent Document 1 is known.
  • the support member supports the article with the proximal end as the fixed end and the distal end as the free end extending in the longitudinal direction.
  • the support member is configured to include a reinforcing fiber composite fiber material, and a space is formed inside.
  • an aspect of the present invention aims to provide a support member capable of suppressing vibration.
  • a support member is a support member that supports an article in a state in which the proximal end is a fixed end and the distal end is a free end and extends in a longitudinal direction, and includes a reinforced fiber composite resin material
  • a damping member is provided that is configured and has a tube wall inside of which a space is formed, and a portion of the damping member is fixed to the tube wall in the space.
  • the frequency of the vibration damping member is 1.83 Hz or more, and the weight of the vibration damping member is 1.5 to 76.3 g / m.
  • a damping member is disposed in the space of the tube wall.
  • the damping member is partially fixed to the tube wall in the space. Therefore, when the support member vibrates, the vibration control member moves on the basis of the fixed portion in the space, and the vibration of the support member can be damped by repeating the collision with the tube wall along with the movement.
  • the modulus of elasticity of the damping member is 1.5 to 70000 MPa
  • the frequency of the damping member is 1.83 Hz or more
  • the weight of the damping member is 1.5 to 76.3 g / m. It is.
  • the damping member sufficiently collides with the tube wall in the space of the tube wall, and the impact due to the collision can be absorbed. Moreover, the present inventors discovered that the vibration energy which can be absorbed when a damping member collides with a tube wall part can be enlarged by enlarging kinetic energy of a damping member at the time of vibration. On the other hand, by setting various parameters of the damping member in an appropriate range as described above, it is possible to obtain sufficient kinetic energy of the damping member at the time of vibration. Thus, the vibration of the support member can be suppressed.
  • the damping member may be fixed to the tube wall at a position on the tip side.
  • the vibration of the support member is greater in amplitude at the distal end side, so that the vibration can be efficiently damped by fixing the damping member to the pipe wall at the position at the distal end side.
  • the ratio of the longitudinal length of the damping member to the tube wall may be 2.7% or more.
  • the damping member can absorb the vibration energy of the tube wall in a sufficient range in the longitudinal direction in the space. Thereby, the vibration of the support member can be efficiently damped.
  • the damping member may be fixed to the tube wall at the proximal end position.
  • the ratio of the longitudinal length of the damping member to the tube wall may be 20% or more.
  • the damping member can absorb the vibration energy of the tube wall in a sufficient range in the longitudinal direction in the space. Thereby, the vibration of the support member can be efficiently damped.
  • vibration of the support member can be suppressed.
  • FIG. 1 is a perspective view of a substrate storage cassette to which a support member of an embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a plan view of the support member of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the support member taken along line III-III of FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view conceptually showing a damping member.
  • Fig.5 (a) and FIG.5 (b) are sectional drawings which show the example of arrangement
  • FIG. 6 is a table showing the relationship between the vibration mode and the frequency coefficient.
  • FIG. 7 is a model diagram showing the vibration mode of the damping member in each vibration mode.
  • FIG. 8 is a table showing the conditions and measurement results of the vibration damping members of the example and the comparative example.
  • FIG. 9 (a) is a graph showing the relationship between weight and vibration damping time
  • FIG. 9 (b) is a graph showing the relationship between elastic modulus and vibration damping time
  • FIG. 9 (c) is kinetic energy and It is a graph which shows a relation with vibrational damping time.
  • FIG. 10 is a table showing the manufacturing conditions of the support member according to the example.
  • FIG. 11 is a table showing the specifications of the prepreg used in the support member according to the example.
  • Fig.12 (a) is a table
  • FIG.12 (b) is a table
  • FIG.13 (a) is a graph which shows an example of the measurement result of the vibration damping performance of a comparative example
  • FIG.13 (b) is a graph which shows an example of the measurement result of the vibration damping performance of an Example.
  • FIG. 14 is a table showing conditions and measurement results of the example.
  • FIG. 15 is a table showing conditions and measurement results of the example.
  • FIG. 16 (a) is a table showing the conditions and the measurement results of the example, and
  • FIG. 16 (b) is a table showing the conditions of the example.
  • FIG. 17 is a table showing conditions and measurement results of the example.
  • FIG. 18 is a table showing the specifications of the polyrope.
  • the support member 10 is a member for supporting an article.
  • the support member 10 is used as a support bar of a substrate storage cassette.
  • the support member 10 can be used for all applications, and can be applied to, for example, a robot hand, a robot arm, an automatic warehouse lifter, an article transfer fork, a fork lift claw, and the like.
  • the substrate storage cassette 1 is provided with a rectangular box-shaped housing 2 for storing the substrate S.
  • An opening 2 a for carrying in and out the substrate S to and from the inside of the housing 2 is formed on one side wall of the housing 2.
  • a plurality of (for example, 20 to 30) storage sections 3 are provided.
  • the substrate storage cassette 1 is used, for example, in a manufacturing process of a liquid crystal display (LCD), and a glass substrate as a substrate S is temporarily stored in each storage section 3 by a robot hand.
  • LCD liquid crystal display
  • each storage portion 3 a support member 10 functioning as a plurality of (for example, three) support bars, a plurality (for example three) side bars 4 and a plurality (for example three) side bars 5 are installed. ing. As a result, in each storage unit 3, one substrate S is horizontally supported by the plurality of support members 10, the plurality of side bars 4, and the plurality of side bars 5.
  • the support member 10 is fixed to the back surface of the housing 2 opposite to the opening 2a in a cantilever state and extends in the horizontal direction. That is, the support member 10 supports the substrate S in a state of extending in the horizontal direction with the base end 10 a as a fixed end and the tip end 10 b as a free end. The tip 10b of the support member 10 is in the vicinity of the opening 2a.
  • the side bar 4 is fixed to one side surface of the housing 2 perpendicular to the back surface opposite to the opening 2 a in a cantilever state and extends in the horizontal direction. That is, the side bar 4 supports one edge of the substrate S in a state of extending in the horizontal direction with the base end 4 a as the fixed end and the tip end 4 b as the free end.
  • the tip 4 b of the side bar 4 is in the vicinity of one of the support members 10.
  • the side bar 5 is fixed in a cantilever state to the other side surface of the housing 2 perpendicular to the back surface facing the opening 2 a and extends in the horizontal direction. That is, the side bar 5 supports the other edge of the substrate S in a state of extending in the horizontal direction with the base end 5 a as the fixed end and the tip end 5 b as the free end.
  • the tip 5 b of the side bar 5 is in the vicinity of the other support member 10.
  • the configuration of the support member 10 described above will be described in more detail.
  • the same configuration as that of the support member 10 can be adopted for the side bars 4 and 5 as well.
  • the support member 10 is a tapered hollow pipe which is tapered toward the tip 10b. Thereby, even if the substrate S is placed and the tip end 10b of the support member 10 is slightly bent downward, the distance between the tip end 10b of the support member 10 is sufficiently maintained between the adjacent storage sections 3 in the vertical direction. .
  • a cylindrical projecting member corresponding to an aluminum member 15 described later is erected on the back surface of the housing 2 facing the opening 2a, and the projecting member is supported It is inserted into the end on the proximal end 10 a side of the member 10 and fixed to each other by adhesion or the like.
  • the aluminum member 15 is provided with a base portion fixed to the housing 2 by a bolt or the like and a rod-like portion inserted into the support member 10. More specifically, the support member 10 is configured to include a reinforcing fiber composite resin material, and includes a tube wall portion 20 in which a space 21 (see FIG. 2) is formed.
  • the support member 10 has a straight portion 10A extending straight on the proximal end 10a side, and a tapered portion 10B that tapers to the distal end 10b on the distal end 10b side.
  • the above-mentioned aluminum member 15 is inserted in the area
  • the aluminum member 15 is a solid or hollow rod-like member, and is provided so as to fill the space 21 inside the hollow tube wall 20.
  • the tube wall portion 20 includes a tubular (in other words, cylindrical) inner layer 11 extending from the proximal end 10a to the distal end 10b. Furthermore, the upper and lower sides of the inner layer 11 are covered by an outer layer 14 having an arc-shaped cross section extending from the proximal end 10a to the distal end 10b.
  • the length in the circumferential direction of the cross section of the arc-shaped outer layer 14 may be a length corresponding to about 1 ⁇ 4 of the circumference, that is, a length corresponding to about 90 ° in angle. Also, the outer layer 14 may be omitted.
  • the inner layer 11 and the outer layers 13 and 14 include a reinforcing fiber composite resin material.
  • Fiber reinforced plastics such as glass fiber reinforced resin (GFRP: glass fiber reinforced plastics) and carbon fiber reinforced resin (CFRP: carbon fiber reinforced plastics), are mentioned as a reinforced fiber composite resin material.
  • the inner layer 11 and the outer layers 13 and 14 are configured by laminating one or more prepregs.
  • the fibers of the carbon fiber reinforced resin may be PAN-based carbon fibers (tensile modulus of elasticity: 230 to 600 GPa) or pitch-based carbon fibers (tensile modulus of elasticity: 600 to 900 GPa).
  • a prepreg which comprises a carbon fiber reinforced resin sheet
  • a unidirectional prepreg, a textile prepreg, etc. are used as a prepreg which comprises a carbon fiber reinforced resin sheet.
  • a unidirectional prepreg is a prepreg in which fibers are oriented only in one direction, and may be used at a site where strength and rigidity are desired to be obtained.
  • Textile prepreg is plain weave, twill weave, etc., and prevents cracks from occurring when a radial load is applied to a circular tubular support member, and holes for attaching sesame seeds for handling substrates, etc. It may be used to prevent the occurrence of burrs at the machining site.
  • a thermosetting resin such as epoxy resin, phenol resin, cyanate resin, unsaturated polyester resin, polyimide resin, bismaleimide resin may be adopted as a resin to be impregnated into the carbon fiber reinforced resin sheet, and a thermosetting resin such as polyethylene or polypropylene Plastic resins may be employed.
  • the fiber basis weight of the carbon fiber reinforced resin sheet may be set to 25 to 500 g / m 2 .
  • the resin content of the carbon fiber reinforced resin sheet may be set to 18 to 50 wt%.
  • the thickness of the carbon fiber reinforced resin sheet may be set to 0.03 to 0.5 mm.
  • a prepreg for forming the glass fiber reinforced resin As a prepreg for forming the glass fiber reinforced resin, a unidirectional prepreg, a woven fabric prepreg or the like is used.
  • Thermosetting resins such as epoxy resin, phenol resin, cyanate resin, unsaturated polyester resin, polyimide resin, bismaleimide resin, etc. may be adopted as the resin to be impregnated into the glass fiber reinforced resin, and thermoplastic resins such as polyethylene and polypropylene Resin may be employed.
  • the fiber basis weight of the glass fiber reinforced resin may be set to 25 to 500 g / m 2 .
  • the resin content of the glass fiber reinforced resin may be set to 18 to 50 wt%.
  • the thickness of the glass fiber reinforced resin may be set to 0.03 to 0.5 mm, and may be set to 0.1 mm or more.
  • a damping member 30 which is movable at least partially in the space 21 is disposed.
  • the vibration damping member 30 is a member for repeating the collision with the tube wall portion 20 by moving in the space 21 with the vibration of the support member 10 and damping the vibration of the support member 10.
  • the vibration damping member 30 collides with the lower end side of the pipe wall 20 as shown by a solid line with the vibration of the support member 10, and as shown by a phantom line. It collides with the upper end side.
  • the damping member 30 may collide with the end of the tube wall 20 in the lateral direction.
  • the damping member 30 may extend in the space 21 in the longitudinal direction of the tube wall 20.
  • the damping member 30 may have a string-like, rod-like, long shape.
  • the cross-sectional shape of the vibration damping member 30 may be any shape such as a circle, a square, a star, or an irregular shape, and may be solid or hollow or any shape.
  • the damping member 30 may be a single cord body, may be constituted by a plurality of cord bodies, and may be a fibrous one.
  • the damping member 30 may be disposed in the space 21 in a state in which the long shape is extended along the longitudinal direction of the tube wall portion 20.
  • the string-like damping member 30 may be folded and disposed in the space 21.
  • the damping member 30 may be fixed to the tube wall 20.
  • the damping member 30 may be fixed to the pipe wall 20 via the fixing member 31.
  • the fixing member 31 is fixed to the inner surface of the tube wall 20, and the damping member 30 is fixed to the fixing member 31.
  • the fixing member 31 may be fixed by a frictional force with the tube wall 20 by being configured to have a size equal to or larger than the inner diameter of the tube wall 20.
  • the fixing member 31 may be fixed to the tube wall 20 using an adhesive or the like.
  • the material of the fixing member 31 is not particularly limited, and may be made of expanded polystyrene (polystyrene), expanded polyethylene, urethane foam or the like.
  • the fixing method of the damping member 30 is not specifically limited,
  • the engagement part which makes the damping member 30 engage in the space 21 of the pipe wall part 20 is provided,
  • the damping member 30 is provided in the said engagement part. You may fix by making it engage.
  • the damping member 30 may be fixed to the tube wall 20 with an adhesive or the like.
  • the damping member 30 may be disposed at a position on the tip 10 b side in the space 21. That is, as shown to FIG. 4, FIG. 5 (a), the damping member 30 may be arrange
  • the damping member 30 may be fixed to the pipe wall 20 at a position on the tip 10 b side. That is, since the damping member 30 has a long shape along the longitudinal direction, the fixing member 31 may be disposed at any position along the longitudinal direction. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the fixing member 31 is disposed at a position corresponding to the end of the damping member 30 closest to the tip 10 b. With such a configuration, a portion of the damping member 30 near the end on the tip 10 b side can move in the space 21 with the vibration of the support member 10. However, it does not specifically limit which part the damping member 30 is fixed to, and may be fixed at any position among the positions on the tip 10 b side of the damping member 30.
  • the damping member 30 may be disposed at a position on the proximal end 10 a side in the space 21. That is, as shown in FIG. 5 (b), the damping member 30 may be disposed in a region near the proximal end 10 a in the space 21.
  • the damping member 30 may be fixed to the pipe wall 20 at a position on the base end 10 a side. As shown in FIG. 5B, the fixing member 31 is disposed at a position corresponding to the end of the damping member 30 closest to the proximal end 10a. With such a configuration, a portion of the damping member 30 near the end on the proximal end 10 a side can move in the space 21 with the vibration of the support member 10. However, it does not specifically limit which part the damping member 30 is fixed to, and may be fixed at any position among the positions on the base end 10 a side of the damping member 30.
  • the position of the damping member 30 in the space 21 is not particularly limited, and the position of the fixing member 31 is not particularly limited.
  • the fixing member 31 may be disposed near the central position of the damping member 30 in the longitudinal direction of the support member 10 in the space 21, and the damping member 30 may be fixed to the fixing member 31.
  • the dimensions of the damping member 30 will be described. First, the case where the damping member 30 is fixed to the pipe wall 20 at the position on the tip 10 b side will be described.
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the tube wall 20 may be 2.7% or more, 5.4% or more It may be.
  • the length of the damping member 30 does not include the length of the portion fixed by the fixing member 31.
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the tube wall 20 is not particularly limited, and may be 100%.
  • the case where the damping member 30 is fixed to the pipe wall 20 at the position on the base end 10 a side will be described.
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the tube wall 20 may be 20% or more and 27% or more. .
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the tube wall 20 is not particularly limited, and may be 100%.
  • the diameter (average diameter in the case of a shape other than a circle) of the cross section of the damping member 30 may be 1.5 mm or more, and may be 2 mm or more.
  • the diameter or vertical height of the damping member 30 may be 8.0% or more and 94% or less with respect to the inner dimension of the support member 10. By setting it to such a diameter, the damping member 30 can fully suppress a vibration.
  • the upper limit value of the diameter of the damping member 30 may be equal to or less than the inner diameter of the tube wall 20 so that the damping member 30 can move at least within the tube wall 20.
  • the present inventors increase the kinetic energy of the vibration damping member 30 during vibration to increase the vibrational energy which can be absorbed when the damping member 30 collides with the tube wall portion 20. I found out what I could do. Hereinafter, a method of calculating kinetic energy of the damping member 30 at the time of vibration will be described.
  • the frequency of single vibration of the damping member 30 is calculated.
  • the frequency f (Hz) at the time of single vibration of the damping member 30 can be obtained by the following equation (1).
  • frequency coefficient
  • l length (mm)
  • E longitudinal elastic modulus (kgf / mm 2 )”
  • I second moment of area (mm 4 )”
  • density (kg / mm 3 )”
  • A cross-sectional area (mm 2 )”.
  • the frequency coefficient ⁇ has a unique value depending on the vibration mode of the damping member 30.
  • the frequency coefficient in each vibration mode is shown in FIG.
  • the vibration aspect of the damping member 30 in each vibration mode is shown in FIG.
  • the damping member 30 vibrates with the fixing member 31 as a reference.
  • the maximum vibration velocity V at the time of single vibration of the damping member 30 in the tube wall portion 20 with the inner diameter D is calculated.
  • the maximum vibration velocity V is obtained by the following equation (2).
  • angular velocity: ⁇ 2 ⁇ f”. That is, the maximum vibration velocity V can be obtained from the frequency f obtained by the equation (1).
  • V speed (mm / sec)”
  • D element tube inner diameter (mm)”
  • angular velocity (rad / sec)”.
  • the maximum kinetic energy K (10 3 g ⁇ mm 2 / s 2 ) at the single vibration of the damping member 30 in the pipe wall portion 20 is calculated.
  • the kinetic energy (maximum kinetic energy) is obtained by the following equation (3).
  • the value obtained by equation (2) is substituted for the maximum vibration velocity V in equation (3).
  • the weight m (g) is the weight of the entire length of the damping member 30 (however, except for the length of the portion fixed by the fixing member 31).
  • the kinetic energy is a value determined by the parameter indicating the characteristic of the member itself of the damping member 30 and the inner diameter D of the pipe wall portion 20. Therefore, the kinetic energy itself is the same when the damping member 30 is fixed to the distal end 10 b side and when it is fixed to the proximal end 10 a side. However, when the damping member 30 is fixed to the distal end 10 b side, the movement of the tube wall 20 around the damping member 30 is larger than that when fixed to the proximal end 10 a side.
  • the elastic modulus of the damping member 30 may be 1.5 to 70000 MPa. When the elastic modulus of the vibration damping member 30 is 1.5 MPa or more, it is possible to suppress the kinetic energy from becoming too small.
  • the elastic modulus of the vibration damping member 30 may be 3.9 MPa or more, and may be 4.6 MPa or more. When the elastic modulus of the damping member 30 is 70000 MPa or less, the function as an impact absorbing material can be exhibited at the time of a collision with the tube wall portion 20. For example, if the elastic modulus is too high, even if the damping member 30 and the tube wall 20 collide, the damping member 30 can not sufficiently absorb the impact.
  • the frequency of the damping member 30 may be 1.83 Hz or more. By setting the frequency of the damping member 30 to 1.83 MPa or more, it is possible to suppress the kinetic energy from becoming too small. For example, when the frequency becomes too small, the number of collisions with the tube wall 20 decreases because the movement of the damping member 30 during vibration becomes too slow.
  • the frequency of the damping member 30 may be 1.89 Hz or more, or 2.55 Hz or more.
  • the weight of the damping member 30 may be 1.5 to 76.3 g / m. When the weight of the vibration damping member 30 is 1.5 g / m or more, it is possible to suppress that the kinetic energy becomes too small.
  • the weight of the damping member 30 may be 4 g / m or more. When the weight of the vibration damping member 30 is 76.3 g / m or less, it is possible to suppress that the vibration damping member 30 does not move sufficiently in the tube wall portion 20 due to being too heavy.
  • the weight of the damping member 30 may be 30 g / m or less.
  • the bulk density of the damping member 30 may be at 0.02 g / cm 3 or more, may be at 0.03 g / cm 3 or more.
  • the upper limit of the bulk density of the damping member 30 is not particularly limited, but may be 2.7 g / cm 3 or less.
  • the damping member 30 may be made of an easily deformable material that is more easily deformed than the reinforcing fiber composite material.
  • the easily deformable material is not a material having high rigidity such as metal, but is a material having a rigidity low enough to be deformed by being pressed by a predetermined force.
  • resin materials, elastic materials, foam materials and the like can be mentioned as easily deformable materials.
  • the resin material include vinyl, polyester, polystyrene, urethane and the like.
  • the elastic material may, for example, be rubber or silicone rubber.
  • the foam material include polystyrene and urethane.
  • the damping member 30 may not be made of the easily deformable material. If it is a member below the upper limit value of the above-mentioned elastic modulus, you may employ
  • the damping member 30 is disposed in the space 21 of the tube wall portion 20. A part of the damping member 30 is fixed to the tube wall 20 in the space 21. Therefore, when the support member 10 vibrates, the damping member 30 moves on the basis of the fixing member 31 in the space 21 and repeats the collision with the tube wall portion 20 along with the movement, thereby damping the vibration of the support member 10 It can be done.
  • the elastic modulus of the damping member 30 is 1.5 to 70000 MPa
  • the frequency of the damping member 30 is 1.83 Hz or more
  • the weight of the damping member 30 is 1.5 to 76. It is 3 g / m.
  • the damping member 30 sufficiently collides with the tube wall portion 20 in the space 21 of the tube wall portion 20, and the impact due to the collision is It can be absorbed. Further, as described above, by setting various parameters of the damping member 30 in an appropriate range, it is possible to obtain sufficient kinetic energy of the damping member 30 at the time of vibration. By the above, the vibration of the support member 10 can be suppressed.
  • the damping member 30 may be fixed to the pipe wall 20 at a position on the tip 10 b side.
  • the vibration of the support member 10 has a larger amplitude on the tip 10b side, so that the vibration damping member 30 is fixed to the pipe wall 20 at the position on the tip 10b side, so that the vibration can be efficiently damped.
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the pipe wall 20 is It may be 2.7% or more.
  • the damping member 30 can absorb the vibrational energy of the tube wall 20 in a sufficient range in the longitudinal direction in the space 21. Thereby, the vibration of the support member 10 can be damped efficiently.
  • the damping member 30 fixed to the pipe wall 20 at the position on the tip 10 b side may be fixed to the pipe wall 20 at the position on the base end 10 a.
  • the ratio of the length of the damping member 30 in the longitudinal direction to the pipe wall 20 is , 20% or more.
  • the damping member 30 can absorb the vibrational energy of the tube wall 20 in a sufficient range in the longitudinal direction in the space 21. Thereby, the vibration of the support member 10 can be damped efficiently.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and any configuration may be adopted as long as the shape, size, and arrangement of the damping member can reduce the damping of the support member. It is also good.
  • the total length of the support member was 1850 mm (dimension of “support bar total length” in FIG. 2), and of these, the straight portion was 310 mm (dimension of “hand straight length” in FIG. 2). Further, the major axis (diameter in the vertical direction) of the straight portion on the proximal end side is 22 mm, and the major axis (diameter in the vertical direction) of the tip is 15 mm. The tapered portion was inclined so that the diameter decreased at a constant rate from 22 mm to 15 mm toward the tip. About the insertion length of the aluminum member, three types of lengths of 282 mm, 200 mm, and 150 mm (dimensions of "aluminum insertion length" in Fig. 2) were prepared.
  • the pipe wall portion of the support member is configured by laminating a plurality of CFRP sheets.
  • Each layer is numbered No. 1 to No. 5 from the inside to the outside in the radial direction, and the conditions in each layer are shown in FIG.
  • the “lamination angle” in the table of FIG. 10 is the angle of the fiber with respect to the axial direction of the support member.
  • PPG indicates the model number of the prepreg.
  • MPT has shown the thickness after shaping
  • PLY number” indicates the number of laminated sheets of prepreg.
  • the "stacking position” indicates the attachment state of the sheet, and the sheet is wound all around (corresponding to the inner layer 11 in FIG. 3) or only at the upper and lower ends (on the outer layer 14 in FIG.
  • FIG. 11 shows the details of the specifications of each prepreg.
  • “AFW” in FIG. 11 indicates the weight per unit area of the reinforcing fiber
  • “RC” indicates the weight ratio of the matrix resin contained in the prepreg
  • “GF” indicates the state of the glass fiber.
  • the weight when the aluminum insertion length is 150 mm, the weight could be 450 g or less.
  • the weight of aluminum insertion length 200 mm was 450 g, when inserting a damping member, it becomes larger than 450 g. Therefore, in each of the following experiments, the aluminum insertion length is 150 mm.
  • Example 1 (Comparative Example and Example) What arranged the damping member which concerns on various conditions was made into the Example and the comparative example. Specifically, Examples 1 to 5 and Comparative Example 1 were prepared as a support member having a vibration damping member according to the conditions as shown in FIG. The item "damping member" indicates the name of the adopted damping member. The specifications of each item name are also shown in FIG. In Examples 1 to 5 and Comparative Example 1, the length of each of the damping members was 800 mm, and the damping members were fixed at the tip. Moreover, in order to observe the behavior at the time of vibration of the damping member, a pressure sensitive paper was installed in the tube wall.
  • a pressure-sensitive paper of 1400 mm was employed, and the end of the pressure-sensitive paper was aligned with the end of the tube wall. Moreover, in the item of "frequency”, the frequency and vibration mode of each damping member were shown. In the item of "kinetic energy”, kinetic energy calculated from various conditions is shown. In the calculation of kinetic energy, the raw tube inner diameter D is 20 mm. The inner diameter D of the raw tube changes depending on the position in the length direction because the support bar is tapered toward the tip, but here it is assumed that the inner diameter D of the raw tube is constant at 20 mm for comparison. Calculation is performed.
  • the vibration damping characteristics were measured using a bending vibration damping characteristics evaluation device.
  • the base end of the support member is fixed to provide a cantilever state.
  • the displacement of the support member at the time of vibration was measured by a laser displacement meter.
  • the sampling interval of measurement was 1 msec, the number of sampling points was set to 40000 points, and the measurement time was set to 40 seconds.
  • a load of 900 gf initial deflection is about 18 mm
  • the amplitude of the tip of the support member is ⁇ 7.5 mm from the state where the amplitude is ⁇ 7.5 mm.
  • FIG. 13 (a) shows a state of damping of a comparative example (comparative example 2 described later) when the damping member is omitted
  • FIG. 13 (b) shows a state of damping of the embodiment.
  • the speed at which the bending is damped is low, and as shown in FIG. 13 (b), the bending is rapidly reduced in the example.
  • FIG. 9 (a) The relationship between the vibration damping time and the weight in Examples 1 to 4 is shown in FIG. 9 (b).
  • FIG. 9 (b) The relationship between the vibration damping time and the elastic modulus in Examples 1 to 4 is shown in FIG. 9 (b).
  • FIG. 9 (a) The relationship between the vibrational damping time and the kinetic energy in Examples 1 to 4 is shown in FIG. 9 (a). It is understood from FIG. 9 (a) that the damping member with the larger weight has higher damping performance. Comparing the results of “ABS” that is Example 2 of FIG. 9B and “Silicon tube (light)” that is Example 3, although they have similar weights, they have a low elastic modulus silicone tube ( The light damping performance was higher in the light case. Therefore, in the case of the same weight, the damping member with a low elastic modulus had higher damping performance.
  • the kinetic energy includes weight and elastic modulus as parameters as described above. Therefore, as shown in FIG. 9C, it was understood that the larger the kinetic energy, the higher the damping performance, as compared with the kinetic energy of the damping member at the time of vibration. From this, a certain relationship is seen between the kinetic energy and the damping performance, and when the damping member collides with the inner surface of the tube wall, the one with which the kinetic energy collides is the vibration energy of the damping member. It was understood that the absorption was large.
  • the damping member of Example 5 has obtained damping performance equivalent to that of the silicon tube. That is, when aluminum is used as a damping member, it is understood that since the elastic modulus of aluminum is 70000 MPa and the weight is 76.3 g / m, the shock absorbing performance is exhibited and kinetic energy is sufficiently obtained. It was done. On the other hand, referring to Comparative Example 1, it was understood that damping performance was not obtained.
  • the item of "insertion position” is "tip"
  • the tip of the support member and the tip of the damping member are arranged to coincide with each other.
  • the item “insertion length” indicates the dimension of the total length when the damping member is extended in the support member.
  • the item of "fixed” is “fixed at the tip”, it indicates that the damping member is fixed in a state where the fixing member is disposed at the position of the base end of the support member.
  • a circular depression of 7 mm in diameter was made in a cylindrical foam polystyrene having a diameter of 13 mm, and the transparent tube was fixed by inserting it.
  • a cylindrical foam polystyrene having a diameter of 13 mm was pushed into the tip of the support member, and simultaneously fixed together by sandwiching the polyrope at the same time.
  • the item “cost” indicates the cost of the damping member.
  • the item “total weight” indicates the total weight of the support member including the damping member.
  • Examples 19 to 23 were prepared as a support member having a damping member according to the conditions as shown in FIG.
  • the “silicon tube” was adopted as the damping member.
  • the specifications of the "silicon tube” are shown in FIG. 12 (b). All "insertion positions” were “back”, i.e. the proximal end of the support member. In the case of "back”, the proximal end of the support member and the proximal end of the damping member were disposed so as to coincide with each other.
  • the damping member was fixed to the aluminum member provided on the base end side of the support member. Other conditions were the same as in the other examples.
  • the measurement result is shown in the item of "vibration suppression specification.” Moreover, in the item of “evaluation”, that whose vibration suppression specification is 5 seconds or less evaluated as “(circle)” as a thing with a large vibration suppression effect. Moreover, although the vibration suppression specification was larger than 5 seconds, the thing smaller than a comparative example at least was evaluated as "(triangle
  • Example 15 in which conditions suitable as a damping member for the support bar were set was created as a sample for final evaluation.
  • a 600 mm poly rope was adopted as a damping member, a hole was made in a polyethylene material as a fixing member, and it was inserted into the poly rope and fixed to the tip of the support member using an adhesive.
  • FIG. 16B conditions were the same as those in the layer configuration shown in FIG. 10 except that the “PLY number” of No. 4 was 4.
  • Three samples were prepared as Example 15 to give Examples 15-1, 15-2 and 15-3. The measurement results of the deflection, the total weight, and the vibration suppression specification are shown in FIG.
  • Total weight (support member + damping member) indicates the total weight of the entire support member
  • total weight (support member only) indicates the weight obtained by removing the weight of the damping member from the support member
  • the damping member of the fifteenth embodiment is in the form of a string of three strikes, and this is divided into two thirds (two out of three strikes) when viewed from the axial direction, to obtain Example 16.
  • An example in which the vibration damping member of Example 16 is divided into 1 ⁇ 3 when viewed from the axial direction (for one of three strikes) is taken as Example 17.
  • Example 18 was used in which the damping member of Example 16 was used as a backup material.
  • the specific specifications of the poly rope are shown in FIG.
  • the measurement results of each example are shown in FIG. From the measurement results of Examples 16 to 18, it is understood that the larger the mass per length, the higher the vibration suppression effect.
  • the bulk density in the case of using one of three poly rope strikes is 0.83 g / cm 3
  • the bulk density of the backup material is 0.02 g / cm 3. From the comparison of Example 18, it is understood that the vibration suppressing effect is higher in the polyrope having a high bulk density even if the damping members have the same weight.
  • the vibration suppression effect can be improved by securing a sufficient insertion length of the damping member when the damping member is disposed on the proximal end side of the support member. It is understood that when the damping member using the silicon tube is disposed on the proximal end side of the support member, the vibration suppression effect can be improved by setting the insertion length to 750 mm or more.

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Abstract

支持部材は、基端を固定端とし、且つ、先端を自由端として長手方向に延びた状態で物品を支持する支持部材であって、強化繊維複合樹脂材料を含んで構成され、内部に空間が形成された管壁部を備え、空間内には、一部が管壁部に固定された制振部材が配置されており、制振部材の弾性率は、1.5~70000MPaであり、制振部材の振動数は、1.83Hz以上であり、制振部材の重量は、1.5~76.3g/mである。

Description

支持部材
 本発明の一形態は、物品を支持する支持部材に関する。
 物品を支持する支持部材として、特許文献1に記載されたものが知られている。この支持部材は、基端を固定端とし、且つ、先端を自由端として長手方向に延びた状態で物品を支持する。支持部材は、強化繊維複合繊維材料を含んで構成されており、内部に空間が形成されている。
特開2007-196615号公報
 ところで、上述のように基端を固定端とし、且つ、先端を自由端として物品を支持する支持部材においては、使用時において、物品の設置時や撤去時に振動が発生する場合がある。従って、支持部材に発生する振動を抑制することが要請されている。
 そこで、本発明の一形態は、振動を抑制することができる支持部材を提供することを目的とする。
 本発明の一形態に係る支持部材は、基端を固定端とし、且つ、先端を自由端として長手方向に延びた状態で物品を支持する支持部材であって、強化繊維複合樹脂材料を含んで構成され、内部に空間が形成された管壁部を備え、空間内には、一部が管壁部に固定された制振部材が配置されており、制振部材の弾性率は、1.5~70000MPaであり、制振部材の振動数は、1.83Hz以上であり、制振部材の重量は、1.5~76.3g/mである。
 支持部材において、管壁部の空間内には、制振部材が配置されている。この制振部材は、空間内において一部が管壁部に固定されている。従って、支持部材の振動時には空間内で、制振部材が固定部を基準として移動し、当該移動に伴って管壁部と衝突を繰り返すことによって、支持部材の振動を減衰させることができる。ここで、制振部材の弾性率は、1.5~70000MPaであり、制振部材の振動数は、1.83Hz以上であり、制振部材の重量は、1.5~76.3g/mである。このように、制振部材の各種パラメータを適切な範囲に設定することで、制振部材が管壁部の空間内で十分に管壁部と衝突し、当該衝突による衝撃を吸収することができる。また、本発明者らは、振動時における制振部材の運動エネルギーを大きくすることで、制振部材が管壁部と衝突したときに吸収できる振動エネルギーを大きくできることを見出した。これに対し、前述のように制振部材の各種パラメータを適切な範囲に設定することで、振動時に十分な制振部材の運動エネルギーを得ることができる。以上により、支持部材の振動を抑制することができる。
 制振部材は、先端側の位置で管壁部に固定されてよい。支持部材の振動は先端側の方が振幅が大きいため、当該先端側の位置で制振部材が管壁部に固定されることで、効率よく振動を減衰させることができる。
 制振部材を空間内で長手方向に延ばした場合、制振部材の管壁部に対する長手方向における長さの比率は、2.7%以上であってよい。これにより、制振部材は、空間内で長手方向における十分な範囲で管壁部の振動エネルギーを吸収することができる。これにより、支持部材の振動を効率よく減衰させることができる。
 制振部材は、基端側の位置で管壁部に固定されていてよい。
 制振部材を空間内で長手方向に延ばした場合、制振部材の管壁部に対する長手方向における長さの比率は、20%以上であってよい。これにより、制振部材は、空間内で長手方向における十分な範囲で管壁部の振動エネルギーを吸収することができる。これにより、支持部材の振動を効率よく減衰させることができる。
 本発明の一形態によれば、支持部材の振動を抑制することができる。
図1は、本発明の一実施形態の支持部材が適用された基板収納カセットの斜視図である。 図2は、図1の支持部材の平面図である。 図3は、図2のIII-III線に沿っての支持部材の断面図である。 図4は、制振部材を概念的に示す断面図である。 図5(a)及び図5(b)は、制振部材の配置の例を示す断面図である。 図6は、振動モードと振動数係数との関係を示す表である。 図7は、各振動モードにおける制振部材の振動態様を示すモデル図である。 図8は、実施例及び比較例の制振部材の条件及び測定結果を示す表である。 図9(a)は重量と振動減衰時間との関係を示すグラフであり、図9(b)は弾性率と振動減衰時間との関係を示すグラフであり、図9(c)は運動エネルギーと振動減衰時間との関係を示すグラフである。 図10は、実施例に係る支持部材の製造条件を示す表である。 図11は、実施例に係る支持部材で用いたプリプレグの仕様を示す表である。 図12(a)は、支持部材の重量の測定結果を示す表であり、図12(b)は制振部材の仕様を示す表である。 図13(a)は比較例の振動減衰性能の測定結果の一例を示すグラフであり、図13(b)は実施例の振動減衰性能の測定結果の一例を示すグラフである。 図14は、実施例の条件及び測定結果を示す表である。 図15は、実施例の条件及び測定結果を示す表である。 図16(a)は実施例の条件及び測定結果を示す表であり、図16(b)は実施例の条件を示す表である。 図17は、実施例の条件及び測定結果を示す表である。 図18は、ポリロープの仕様を示す表である。
 以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
 支持部材10は、物品を支持するための部材である。本実施形態においては、支持部材10を基板収納カセットのサポートバーとして用いる場合の例について説明する。なお、支持部材10はあらゆる用途に用いることができ、例えばロボットハンド、ロボットアーム、自動倉庫用リフター、物品搬送用フォーク、フォークリフトの爪等に適用することができる。
 図1に示されるように、基板収納カセット1は、基板Sを収容するための直方体箱状の筐体2を備えている。筐体2の一側壁には、筐体2内に対する基板Sの搬入及び搬出を行うための開口2aが形成されている。筐体2内には、複数段(例えば20~30段)の収納部3が設けられている。この基板収納カセット1は、例えば、液晶ディスプレイ(LCD)の製造工程において使用され、基板Sとしてガラス基板がロボットハンドによって各収納部3に一時的に収納される。
 各収納部3には、複数本(例えば3本)のサポートバーとして機能する支持部材10、複数本(例えば3本)のサイドバー4及び複数本(例えば3本)のサイドバー5が設置されている。これにより、各収納部3においては、複数本の支持部材10、複数本のサイドバー4及び複数本のサイドバー5によって1枚の基板Sが水平に支持される。
 支持部材10は、開口2aに対向する筐体2の背面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、支持部材10は、基端10aを固定端とし且つ先端10bを自由端として水平方向に延在した状態で基板Sを支持する。支持部材10の先端10bは、開口2aの近傍に至っている。
 サイドバー4は、開口2aに対向する背面に垂直な筐体2の一方の側面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、サイドバー4は、基端4aを固定端とし且つ先端4bを自由端として水平方向に延在した状態で基板Sの一方の縁部を支持する。サイドバー4の先端4bは、一方の支持部材10の近傍に至っている。
 サイドバー5は、開口2aに対向する背面に垂直な筐体2の他方の側面に片持ち状態で固定され、水平方向に延在している。すなわち、サイドバー5は、基端5aを固定端とし且つ先端5bを自由端として水平方向に延在した状態で基板Sの他方の縁部を支持する。サイドバー5の先端5bは、他方の支持部材10の近傍に至っている。
 上述した支持部材10の構成について、より詳細に説明する。なお、サイドバー4,5についても、支持部材10と同様の構成を採用することができる。
 図2に示されるように、支持部材10は、先端10bに向かって先細りとなるテーパ形状の中空パイプとなっている。これにより、基板Sが載置されて支持部材10の先端10bが下方に若干たわんだとしても、上下方向にて隣り合う収納部3間において支持部材10の先端10bの間隔が十分に維持される。なお、図1には示されていないが、開口2aに対向する筐体2の背面には、後述のアルミ部材15に該当する円柱状の突起部材が立設されており、その突起部材が支持部材10の基端10a側の端部に挿入され、接着等によって互いに固定される。なお、アルミ部材15は、筐体2にボルト等によって固定されるベース部と、支持部材10に挿入される棒状部を備えている。より具体的には、支持部材10は、強化繊維複合樹脂材料を含んで構成され、内部に空間21(図2参照)が形成された管壁部20を備えている。支持部材10は、基端10a側に、真っ直ぐに延びるストレート部10Aを有し、先端10b側に、先端10bへ向かって先細りとなるテーパ部10Bを有している。また、ストレート部10Aのうち、基端10aから所定寸法の領域には、前述のアルミ部材15が挿入されている。アルミ部材15は、中実又は中空の棒状部材であり、中空な管壁部20の内部の空間21を埋めるように設けられている。
 図3に示されるように、管壁部20は、基端10aから先端10bに渡って延在する円管状(換言すれば、円筒状)の内側層11を備えている。更に、内側層11の上側及び下側は、基端10aから先端10bに渡って延在する断面円弧状の外側層14によって覆われている。なお、円弧状の外側層14の断面円周方向の長さは、円周のおおむね1/4に相当する長さ、すなわち角度ではおおむね90°に相当する長さとなっていてよい。また、外側層14を省略してもよい。
 内側層11及び外側層13,14は、強化繊維複合樹脂材料を含んで構成されている。強化繊維複合樹脂材料として、ガラス繊維強化樹脂(GFRP:glass fiber reinforced plastics)や炭素繊維強化樹脂(CFRP:carbon fiber reinforced plastics)等の繊維強化プラスチックが挙げられる。内側層11及び外側層13,14は、1枚又は複数枚のプリプレグが積層されることにより構成されている。
 炭素繊維強化樹脂の繊維は、PAN系炭素繊維(引張弾性率:230~600GPa)又はピッチ系炭素繊維(引張弾性率:600~900GPa)であってよい。炭素繊維強化樹脂シートを構成するプリプレグとしては、一方向プリプレグ、織物プリプレグ等が使用される。一方向プリプレグは、繊維が一方向のみに配向されたプリプレグであり、強度及び剛性を得たい部位に使用されてよい。織物プリプレグは、平織り、綾織り等されたプリプレグであり、円管状の支持部材に対して半径方向荷重を負荷した場合の割れの発生の防止、基板を受け持つための受けゴマ取り付け用の穴等の機械加工部位でのバリ発生の防止のために使用されてよい。炭素繊維強化樹脂シートに含浸される樹脂として、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂等の熱硬化性樹脂が採用されてよく、ポリエチレン、ポリプロピレン等の熱可塑性樹脂が採用されてよい。炭素繊維強化樹脂シートの繊維目付は、25~500g/mに設定されてよい。炭素繊維強化樹脂シートの樹脂含有率は、18~50wt%に設定されてよい。炭素繊維強化樹脂シートの厚さは、0.03~0.5mmに設定されてよい。
 ガラス繊維強化樹脂を構成するプリプレグとしては、一方向プリプレグ、織物プリプレグ等が使用される。ガラス繊維強化樹脂に含浸される樹脂として、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂等の熱硬化性樹脂が採用されてよく、ポリエチレン、ポリプロピレン等の熱可塑性樹脂が採用されてよい。ガラス繊維強化樹脂の繊維目付は、25~500g/mに設定されてよい。ガラス繊維強化樹脂の樹脂含有率は、18~50wt%に設定されてよい。ガラス繊維強化樹脂の厚さは、0.03~0.5mmに設定されてよく、0.1mm以上に設定されてよい。
 図4に示すように、空間21内には、当該空間21内において少なくとも一部分が移動可能な制振部材30が配置されている。制振部材30は、支持部材10の振動に伴って空間21内で移動することによって、管壁部20と衝突を繰り返し、支持部材10の振動を減衰させるための部材である。例えば、図4に示すように、制振部材30は、支持部材10の振動に伴い、実線で示すように管壁部20の下端側に衝突し、仮想線で示すように管壁部20の上端側に衝突する。また、制振部材30は、管壁部20の横方向の端部側に衝突してもよい。
 制振部材30は、空間21内にて管壁部20の長手方向に延びてよい。例えば、図4に示すように、制振部材30は、紐状、棒状、の長尺な形状を有していてよい。制振部材30の横断面形状は、円形、角形、星形、異形等いずれの形状であってもよく、中実でも中空でもいずれの形状であってもよい。また、制振部材30は、一本の紐体であってもよく、複数の紐体で構成されてもよく、繊維状のものを編んだものであってもよい。また、制振部材30は、長尺な形状を管壁部20の長手方向に沿って延ばした状態で、空間21内に配置されてよい。ただし、紐状の制振部材30を折り畳んで空間21内に配置してもよい。
 制振部材30は、管壁部20に固定されていてよい。例えば、図4に示すように、制振部材30は、固定部材31を介して管壁部20に固定されてよい。固定部材31は、管壁部20の内面に固定されており、制振部材30は当該固定部材31に固定されている。固定部材31は、管壁部20の内径以上の寸法に構成されることで、管壁部20との摩擦力によって固定されてもよい。あるいは、固定部材31は、接着剤等を用いて管壁部20に固定されてもよい。固定部材31の材質は特に限定されず、発泡スチロール(ポリスチレン)、発泡ポリエチレン、ウレタンフォーム等によって構成されてよい。なお、制振部材30の固定方法は特に限定されず、管壁部20の空間21内に制振部材30を係合させるような係合部を設け、当該係合部に制振部材30を係合させることで固定してもよい。また、制振部材30を接着剤等で管壁部20に固定してもよい。なお、制振部材30を管壁部20に固定する場合は、制振部材30全体を管壁部20に固定するのではなく、少なくとも制振部材30の一部分が管壁部20に対して移動可能となるように、制振部材30の一部を管壁部20に固定する。
 制振部材30は、空間21内において、先端10b側の位置に配置されていてもよい。すなわち、図4、図5(a)に示すように、制振部材30が、空間21における、先端10b付近の領域に配置されてよい。
 制振部材30は、先端10b側の位置で管壁部20に固定されていてよい。すなわち、制振部材30は、長手方向に沿って長尺な形状を有しているため、固定部材31を長手方向に沿ったどの位置に配置してもよい。本実施形態では図4に示すように、固定部材31は、制振部材30のうち、最も先端10b側の端部と対応する位置に配置されている。このような構成により、制振部材30のうち、先端10b側の端部付近の部分は、支持部材10の振動に伴って空間21内を移動可能である。ただし、制振部材30をどの部分で固定するかは特に限定されず、制振部材30の先端10b側の位置のうち、どの位置で固定してもよい。
 制振部材30は、空間21内において、基端10a側の位置に配置されていてもよい。すなわち、図5(b)に示すように、制振部材30が、空間21における、基端10a付近の領域に配置されてよい。
 制振部材30は、基端10a側の位置で管壁部20に固定されていてよい。図5(b)に示すように、固定部材31は、制振部材30のうち、最も基端10a側の端部と対応する位置に配置されている。このような構成により、制振部材30のうち、基端10a側の端部付近の部分は、支持部材10の振動に伴って空間21内を移動可能である。ただし、制振部材30をどの部分で固定するかは特に限定されず、制振部材30の基端10a側の位置のうち、どの位置で固定してもよい。
 なお、制振部材30の空間21内における位置は特に限定されず、固定部材31の位置も特に限定されない。例えば、制振部材30が空間21のうち、支持部材10の長手方向における中央位置付近に固定部材31が配置され、当該固定部材31に制振部材30が固定されてもよい。
 制振部材30の寸法について説明する。まず、制振部材30が、先端10b側の位置で管壁部20に固定されている場合について説明する。制振部材30を空間21内で長手方向に延ばした場合、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は、2.7%以上であってよく、5.4%以上であってよい。制振部材30の長さには、固定部材31で固定されている部分の長さは含まれない。なお、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は特に限定されず、100%であってもよい。次に、制振部材30が、基端10a側の位置で管壁部20に固定されている場合について説明する。制振部材30を空間21内で長手方向に延ばした場合、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は、20%以上であってよく、27%以上であってよい。なお、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は特に限定されず、100%であってもよい。
 また、制振部材30の横断面の直径(円以外の形状である場合は平均径)は、1.5mm以上であってよく、2mm以上であってよい。制振部材30の直径あるいは垂直方向の高さは、支持部材10の内側寸法に対して、8.0%以上であってよく、94%以下であってよい。このような直径に設定することで、制振部材30は十分に振動を抑制することができる。また、制振部材30の直径の上限値は、少なくとも管壁部20内で制振部材30が移動できるように、管壁部20の内径以下の寸法であってよい。
 ここで、鋭意研究の結果、本発明者らは、振動時における制振部材30の運動エネルギーを大きくすることで、制振部材30が管壁部20と衝突したときに吸収できる振動エネルギーを大きくできることを見出した。以下、振動時における制振部材30の運動エネルギーの算出方法について説明する。
 まず、制振部材30の単振動時の振動数を算出する。制振部材30の単振動時の振動数f(Hz)は、以下の式(1)によって求められる。なお、「λ=振動数係数」、「l=長さ(mm)」、「E=縦弾性係数(kgf/mm)」、「I=断面二次モーメント(mm)」、「g=重力加速度(=9807mm/sec)、「ρ=密度(kg/mm)」、「A=断面積(mm)」である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 ここで、振動数係数λは、制振部材30の振動モードによって固有の値となっている。各振動モードにおける振動数係数を図6に示す。また、各振動モードにおける制振部材30の振動態様を図7に示す。図7に示すように、制振部材30は、固定部材31を基準として振動する。例えば、制振部材30が比較的弾性率の高い(=硬い)材質の場合は1次の振動モード、比較的弾性率の低い(=柔らかい)材質の場合は3次の振動モードで振動していると仮定することができる。
 次に、内径Dの管壁部20内での制振部材30の単振動時の最大振動速度Vを算出する。最大振動速度Vは、以下の式(2)によって求められる。なお、「角速度:ω=2πf」である。すなわち、式(1)によって求められた振動数fから、最大振動速度Vを求めることができる。なお、「V=速度(mm/sec)」、「D=素管内径(mm)」、「ω=角速度(rad/sec)」である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 次に、管壁部20内での制振部材30の単振動時の最大運動エネルギーK(10g・mm2/s2)を算出する。運動エネルギー(最大運動エネルギ)は、以下の式(3)によって求められる。式(3)の最大振動速度Vには、式(2)によって求められた値を代入する。なお重量m(g)は、制振部材30の全長の重量である(ただし、固定部材31で固定された部分の長さは除く)。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 なお、式(1)~(3)に示すように、運動エネルギーは、制振部材30の部材自体の特性を示すパラメータと、管壁部20の内径Dによって定められる値である。従って、制振部材30を先端10b側に固定した場合も、基端10a側に固定した場合も、運動エネルギー自体は同じとなる。ただし、制振部材30を先端10b側に固定した場合は、基端10a側に固定した場合よりも、制振部材30周辺の管壁部20の動きが大きくなる。その結果、制振部材30を先端10b側に固定した場合は、基端10a側に固定した場合よりも、管壁部20に対する制振部材30の衝突が強くなり、当該制振部材30が吸収する振動エネルギーも大きくなる。
 次に、制振部材30の材質について説明する。制振部材30の弾性率は、1.5~70000MPaであってよい。制振部材30の弾性率が、1.5MPa以上であることにより、運動エネルギーが小さくなりすぎることを抑制できる。制振部材30の弾性率は、3.9MPa以上であってもよく、4.6MPa以上であってもよい。制振部材30の弾性率が、70000MPa以下であることにより、管壁部20との衝突時に、衝撃吸収材としての機能を発揮することができる。例えば、弾性率が高すぎる場合、制振部材30と管壁部20とが衝突しても、制振部材30が衝撃を十分に吸収することができない。
 制振部材30の振動数は、1.83Hz以上であってよい。制振部材30の振動数が、1.83MPa以上であることにより、運動エネルギーが小さくなりすぎることを抑制できる。例えば、振動数が小さくなりすぎた場合は、振動時の制振部材30の動きが遅くなりすぎることで、管壁部20との衝突回数が少なくなる。制振部材30の振動数は、1.89Hz以上であってもよく、2.55Hz以上であってもよい。
 制振部材30の重量は、1.5~76.3g/mであってよい。制振部材30の重量が、1.5g/m以上であることにより、運動エネルギーが小さくなりすぎることを抑制できる。制振部材30の重量は、4g/m以上であってもよい。制振部材30の重量が、76.3g/m以下であることにより、制振部材30が重すぎることにより、管壁部20内で十分に動かなくなることを抑制できる。制振部材30の重量は、30g/m以下であってもよい。
 制振部材30のかさ密度は、0.02g/cm以上であってよく、0.03g/cm以上であってよい。なお、制振部材30のかさ密度の上限値は特に限定されないが、2.7g/cm以下であってよい。
 例えば、制振部材30は、強化繊維複合材料に比して変形し易い易変形材料によって構成されてよい。易変形材料とは、金属等のように高い剛性を有する材料ではなく、所定の力で押圧されることで変形する程度に低い剛性を有する材料である。例えば、易変形材料として、樹脂材料、弾性材料、発泡材料等が挙げられる。樹脂材料として、ビニール、ポリエステル、ポリスチレン、ウレタン等が挙げられる。弾性材料として、ゴム、シリコンゴム等が挙げられる。発泡材料として、ポリスチレン、ウレタン等が挙げられる。
 また、制振部材30は、易変形材料によって構成されていなくともよい。上述の弾性率の上限値以下の部材であれば、押圧しても変形しない部材を採用してもよい。例えば、剛性を有する制振部材30の材料として、アルミ、マグネシウム合金などが挙げられる。これらの部材の弾性率は、70000MPa以下であるため、管壁部20と衝突したとき、振動エネルギーを吸収することができる。
 次に、本実施形態に係る支持部材10の作用・効果について説明する。
 本実施形態に係る支持部材10において、管壁部20の空間21内には、制振部材30が配置されている。この制振部材30は、空間21内において一部が管壁部20に固定されている。従って、支持部材10の振動時には空間21内で、制振部材30が固定部材31を基準として移動し、当該移動に伴って管壁部20と衝突を繰り返すことによって、支持部材10の振動を減衰させることができる。ここで、制振部材30の弾性率は、1.5~70000MPaであり、制振部材30の振動数は、1.83Hz以上であり、制振部材30の重量は、1.5~76.3g/mである。このように、制振部材30の各種パラメータを適切な範囲に設定することで、制振部材30が管壁部20の空間21内で十分に管壁部20と衝突し、当該衝突による衝撃を吸収することができる。また、前述のように制振部材30の各種パラメータを適切な範囲に設定することで、振動時に十分な制振部材30の運動エネルギーを得ることができる。以上により、支持部材10の振動を抑制することができる。
 制振部材30は、先端10b側の位置で管壁部20に固定されてよい。支持部材10の振動は先端10b側の方が振幅が大きいため、当該先端10b側の位置で制振部材30が管壁部20に固定されることで、効率よく振動を減衰させることができる。
 先端10b側の位置で管壁部20に固定されている制振部材30を空間21内で長手方向に延ばした場合、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は、2.7%以上であってよい。これにより、制振部材30は、空間21内で長手方向における十分な範囲で管壁部20の振動エネルギーを吸収することができる。これにより、支持部材10の振動を効率よく減衰させることができる。
 先端10b側の位置で管壁部20に固定されている制振部材30は、基端10a側の位置で管壁部20に固定されていてよい。
 基端10a側の位置で管壁部20に固定されている制振部材30を空間21内で長手方向に延ばした場合、制振部材30の管壁部20に対する長手方向における長さの比率は、20%以上であってよい。これにより、制振部材30は、空間21内で長手方向における十分な範囲で管壁部20の振動エネルギーを吸収することができる。これにより、支持部材10の振動を効率よく減衰させることができる。
 本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、制振部材の形状や大きさや配置は、支持部材の減衰を低減することができるものであれば、どのような構成を採用してもよい。
 [実施例]
 次に、支持部材の実施例について説明を行う。ただし、支持部材は以下の実施例に限定されるものではない。
 (支持部材の構成)
 支持部材の全長を1850mm(図2の「サポートバー全長」の寸法)とし、このうちストレート部を310mm(図2の「手元ストレート長さ」の寸法)とした。また、基端側のストレート部の長径(垂直方向の直径)を22mmとし、先端の長径(垂直方向の直径)を15mmとした。テーパ部については、先端に向かって22mmから15mmに直径が一定の割合で減少するように傾斜させた。アルミ部材の挿入長さについては282mm、200mm、150mm(図2の「アルミ挿入長さ」の寸法)の3タイプの長さを準備した。
 支持部材の管壁部をCFRPのシートを複数積層することで構成した。径方向における内側から外側へ向かって各層にNo1~No5と番号を付し、各層における条件を図10に示した。なお、図10の表における「積層角度」は、支持部材の軸方向に対する繊維の角度である。「PPG」は、プリプレグの型番を示している。「MPT」は、プリプレグ一枚当たりの成形後の厚さを示している。「PLY数」は、プリプレグの積層枚の数を示している。「積層位置」は、シートの取付け状況を示しており、シートを全周にわたって巻き付けているか(図3の内側層11に対応)、上下の端部のみ巻き付けているか(図3の外側層14に対応)を示している。図11は、各プリプレグの仕様の詳細を示している。図11の「AFW」とは強化繊維の単位面積当たりの重量を示し、「RC」とはプリプレグに含まれるマトリックス樹脂の重量比率を示し、「GF」とはガラスファイバーの状態を示している。
 (剛性及び重量)
 上述の製造条件にて、アルミ部材の挿入長さを282mm、200mm、150mmとして支持部材を3つ準備した。これらの支持部材の先端に300gfの負荷を付与し、撓みを測定した。「荷重撓み」が6mm以下という条件を満たすことが、サポートバーとしてより好ましい。図12(a)に示すように、いずれのアルミ挿入長さの支持部材についても、撓みが6mmとなり、「荷重撓み±6mm」という条件を満たした。一方、重量については、450g以下であることがサポートバーとしてはより好ましいが、図12(a)に示すように、アルミ挿入長さ150mmの場合に、重量を450g以下とすることができた。なお、アルミ挿入長さ200mmの重量は450gであったが、制振部材を挿入する場合は、450gより大きくなる。従って、以下の各実験では、アルミ挿入長さを150mmとした。
 (比較例及び実施例)
 各種条件に係る制振部材を配置したものを実施例及び比較例とした。具体的には、図8に示すような条件に係る制振部材を有する支持部材として、実施例1~5、比較例1を準備した。「制振部材」の項目では、採用した制振部材の品名を示している。各品名の仕様も、図8に示されている。実施例1~5、比較例1では、制振部材の長さはいずれも800mmとし、先端にて制振部材を固定した。また、制振部材の振動時の挙動を観察するために、管壁部内に感圧紙を設置した。感圧紙は、1400mmのものを採用し、管壁部の先端に感圧紙の端部を合わせて配置した。また、「振動数」の項目では、各制振部材の振動数及び振動モードを示した。また、「運動エネルギー」の項目では、各種条件から算出した運動エネルギーを示した。運動エネルギーの算出では、素管内径Dを20mmとしている。なお、サポートバーは先端ほど先細りになるため素管内径Dは長さ方向の位置によって変化するものであるが、ここでは、比較のために素管内径Dは20mmで一定であるものと仮定して演算を行っている。
 (振動減衰特性)
 曲げ振動減衰特性評価装置を用いて、振動減衰特性を測定した。この装置では、支持部材の基端を固定することで片持ち固定状態とした。レーザ変位計で振動時の支持部材の変位を測定した。測定のサンプリング間隔を1msecとし、サンプリングポイント数を40000ポイントに設定し、測定時間を40secに設定した。当該設定条件にて、支持部材の先端に900gfの負荷(初期撓みは約18mm)を付与し、当該負荷を解除した後、支持部材の先端の振幅が±7.5mmとなった状態から振幅が±1.5mm以下となるまでに要する時間を振動抑制スペックとして測定した。測定結果の一例を図13に示す。図13(a)に制振部材を省略した場合の比較例(後述の比較例2)の減衰の様子が示され、図13(b)に実施例の減衰の様子が示される。図13(a)に示すように、比較例では撓みの減衰する速度が遅く、図13(b)に示すように、実施例では速やかに撓みが小さくなっている。
 (制振部材の挙動)
 各実施例の測定後の感圧紙を観察した。各実施例では、感圧紙全体にわたって、制振部材の衝突痕が残っており、支持部材の振動に伴って制振部材は管壁部の内面に衝突していることが示唆された。感圧紙の濃淡が幅方向に対して縞模様となっており、制振部材が管壁部内で縦方向に規則的に振動していることが推察された。また先端ほど濃い色をしており、制振部材は自由端に近いほど強く管壁部の内面に衝突していることが分った。
 (各パラメータと振動減衰特性の関係)
 実施例1~4の重量に対する振動減衰時間の関係を図9(a)に示す。実施例1~4の弾性率に対する振動減衰時間の関係を図9(b)に示す。実施例1~4の運動エネルギーに対する振動減衰時間の関係を図9(a)に示す。図9(a)より、重量の大きい制振部材の方が制振性能が高いことが理解された。図9(b)の実施例2である「ABS」と実施例3である「シリコンチューブ(軽)」の結果を比較すると、両者は同程度の重量であるが、弾性率の低いシリコンチューブ(軽)の方が制振性能が高かった。よって、同程度の重量の場合は、弾性率の低い制振部材の方が制振性能が高かった。
 運動エネルギーは、前述のように、重量と弾性率をパラメータとして含む。従って、振動時の制振部材の運動エネルギーで比較すると、図9(c)に示すように、運動エネルギーが大きいほど、制振性能が高いことが理解された。このことより、運動エネルギーと制振性能に一定の関係性が見られ、制振部材が管壁部の内面へ衝突するときは、大きい運動エネルギーで衝突した方が、制振部材の振動エネルギーの吸収が大きいことが理解された。
 また、図8の実施例5の結果を参照するに、実施例5の制振部材は、シリコンチューブと同等の制振性能が得られていた。すなわち、アルミを制振部材として用いた場合、アルミの弾性率が70000MPaであり重量が76.3g/mであるため、衝撃吸収性能を発揮し、運動エネルギーも十分に得られていることが理解された。一方、比較例1を参照するに、制振性能が得られていないことが理解された。
 (その他の制振部材)
 上述の実施例1~5とは異なる制振部材を用いた実施例を準備した。また、制振部材を省略した支持部材を比較例2とした。図14に示すような条件に係る制振部材を有する支持部材として、実施例6~14を準備した。実施例6~8では、制振部材として「透明チューブ」を採用した。「透明チューブ」の仕様は図12(b)に示されている。実施例9~14では、制振部材として「ポリロープ」を採用した。「ポリロープ」の仕様は図12(b)に示されている。
 「挿入位置」の項目が「先端」の場合は、支持部材の先端と制振部材の先端が一致するように配置していることを示している。「挿入長さ」の項目では、制振部材を支持部材内で延ばしたときの全長の寸法を示している。「固定」の項目が「先端固定」の場合は、支持部材の基端の位置に固定部材を配置した状態で制振部材を固定していることを示す。固定部材の具体的な構成に関し、透明チューブを用いた場合は、直径13mmの円柱形発泡スチロールに直径7mmの円形くぼみをつけ、そこに透明チューブを差し込むことで固定した。ポリロープを用いた場合は、直径13mmの円柱形発泡スチロールを支持部材の先端部に押し込み、その際にポリロープごと同時に挟み込むことで固定した。「コスト」の項目では、制振部材に係るコストを示している。「総重量」の項目では、制振部材を含めた支持部材の合計の重量を示している。
 更に、図15に示すような条件に係る制振部材を有する支持部材として、実施例19~23を準備した。実施例19~23では、制振部材として「シリコンチューブ」を採用した。「シリコンチューブ」の仕様は図12(b)に示されている。「挿入位置」はいずれも「奥」、すなわち支持部材の基端であった。「奥」の場合は、支持部材の基端と制振部材の基端側の端部とが一致するように配置した。「固定」に示すように、制振部材は、支持部材の基端側に設けられているアルミ部材に固定された。その他の条件は、他の実施例と同様とした。
 図14及び図15では、「振動抑制スペック」の項目に測定結果を示している。また、「評価」の項目では、振動抑制スペックが5秒以下であるものが、振動抑制効果が特に大きいものとして「○」と評価した。また、振動抑制スペックが5秒より大きいが、少なくとも比較例より小さいものを「△(減衰)」と評価した。図14及び図15から理解されるように、制振部材を支持部材の内部の空間に配置することにより少なくとも比較例よりは振動抑制スペックが向上している。このことより、制振部材を用いることで、支持部材の振動を抑制できることが理解される。
 (制振部材の長さ)
 実施例6~8、実施例9~14、及び実施例19~23について評価を行うことにより、より好適な制振部材の長さについて検討した。実施例6~8は、透明チューブを採用し、制振部材の挿入長さのみを変化させている。実施例9~14は、ポリロープを採用し、制振部材の挿入長さのみを変化させている。実施例19~23は、シリコンチューブを採用し、制振部材の挿入長さのみを変化させている。各実施例では、制振部材の長さを長くすればするほど、振動抑制スペックが上昇している。
 (最終評価)
 上述の評価及び検討から、サポートバーに対する制振部材として好適な条件を設定した実施例15を最終評価用のサンプルとして作成した。実施例15では制振部材として600mmのポリロープを採用し、固定部材としてポリエチレン材に穴をあけてポリロープに差し込み、支持部材の先端に接着剤を用いて固定した。なお、実施例15では、図16(b)に示すように、図10で示す層構成に対し、No4の「PLY数」を4とした点以外は同様の条件とした。実施例15として3つのサンプルを準備して実施例15-1、15-2、15-3とした。これらの撓み、総重量、及び振動抑制スペックの測定結果を図16(a)に示す。「総重量(支持部材+制振部材)」とは、支持部材全体の総重量を示し、「総重量(支持部材のみ)」とは、支持部材から制振部材の重量を除いた重量を示す。図16(a)に示す結果から、いずれの最終サンプルでも、剛性、総重量、振動抑制性能においていずれも良好な評価が得られた。
 (制振部材の質量変化及びかさ密度)
 実施例15の制振部材は3ツ打ちの紐状であり、これを軸方向から見て2/3に分割(3ツ打ちのうちの2本分)したものを実施例16とした。実施例16の制振部材を軸方向から見て1/3に分割したもの(3ツ打ちのうちの1本分)を実施例17とした。また、実施例16の制振部材をバックアップ材にしたものを実施例18とした。ポリロープの具体的な仕様については図18に示す。各実施例の測定結果を図17に示す。実施例16~18の測定結果より、長さ当たりの質量が大きいほど、振動抑制効果が高くなることが理解される。また、ポリロープ3ツ打ちのうちの1本分とした場合のかさ密度は、0.83g/cmであり、バックアップ材のかさ密度は、0.02g/cmであるが、実施例17と実施例18の比較より、制振部材が同じ重さであっても、かさ密度が高いポリロープの方が振動抑制効果が高くなることが理解される。
 (基端側への制振部材の配置)
 図15の実施例19~23に示すように、制振部材を支持部材の基端側に配置した場合も、「評価」が比較例よりも良好な「○」か「△」になっていた。「挿入長さ」が750mm以上である実施例19~21では、「評価」が「○」となった。「挿入長さ」が500mmである実施例22では、減衰性能の点から、「評価」が「△」となった。「挿入長さ」が370mmである実施例23では、減衰性能の点から、「評価」が「△」となった。この点より、制振部材を支持部材の基端側に配置した場合、制振部材の十分な挿入長さを確保することで、振動抑制効果を向上できることが理解される。シリコンチューブを用いた制振部材を支持部材の基端側に配置した場合、挿入長さを750mm以上とすることで、振動抑制効果を向上できることが理解される。
 10…支持部材、20…管壁部、21…空間、30…制振部材、31…固定部材。

Claims (5)

  1.  基端を固定端とし、且つ、先端を自由端として長手方向に延びた状態で物品を支持する支持部材であって、
     強化繊維複合樹脂材料を含んで構成され、内部に空間が形成された管壁部を備え、
     前記空間内には、一部が前記管壁部に固定された制振部材が配置されており、
     前記制振部材の弾性率は、1.5~70000MPaであり、
     前記制振部材の振動数は、1.83Hz以上であり、
     前記制振部材の重量は、1.5~76.3g/mである、支持部材。
  2.  前記制振部材は、前記先端側の位置で前記管壁部に固定されている、請求項1に記載の支持部材。
  3.  前記制振部材を前記空間内で前記長手方向に延ばした場合、前記制振部材の前記管壁部に対する前記長手方向における長さの比率は、2.7%以上である、請求項2に記載の支持部材。
  4.  前記制振部材は、前記基端側の位置で前記管壁部に固定されている、請求項1に記載の支持部材。
  5.  前記制振部材を前記空間内で前記長手方向に延ばした場合、前記制振部材の前記管壁部に対する前記長手方向における長さの比率は、20%以上である、請求項2に記載の支持部材。
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