WO2019021832A1 - 産業用ロボット - Google Patents

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WO2019021832A1
WO2019021832A1 PCT/JP2018/026253 JP2018026253W WO2019021832A1 WO 2019021832 A1 WO2019021832 A1 WO 2019021832A1 JP 2018026253 W JP2018026253 W JP 2018026253W WO 2019021832 A1 WO2019021832 A1 WO 2019021832A1
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WO
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guide rail
arm
side plate
plate portion
rear direction
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PCT/JP2018/026253
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English (en)
French (fr)
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矢澤　隆之
志村　芳樹
陽介 高瀬
Original Assignee
日本電産サンキョー株式会社
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Publication date
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Definitions

  • the present invention relates to an industrial robot that transports an object to be transported in vacuum.
  • the industrial robot which conveys a glass substrate is known (for example, refer patent document 1).
  • the industrial robot described in Patent Document 1 includes a first hand and a second hand on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, and a second hand to which the second hand is fixed.
  • the arm is formed in a substantially rectangular shape elongated in the front-rear direction.
  • the first hand support member and the second hand support member are linearly reciprocally movable in the front-rear direction with respect to the arm.
  • the arm is linearly reciprocally movable in the front-rear direction with respect to the arm support member.
  • the industrial robot described in Patent Document 1 includes a first drive mechanism for reciprocating the first hand support member with respect to the arm, and a second drive mechanism for reciprocating the second hand support member with respect to the arm. And a third drive mechanism for reciprocating the arm relative to the arm support member.
  • the first drive mechanism rotates a first screw member whose male screw is formed on the outer peripheral surface, a first nut member fixed to the first hand support member and engaged with the first screw member, and a first screw member.
  • a first motor The second drive mechanism rotates a second screw member whose male screw is formed on the outer peripheral surface, a second nut member fixed to the second hand support member and engaged with the second screw member, and a second screw member.
  • the third drive mechanism is configured to rotate a third screw member whose male screw is formed on the outer peripheral surface, a third nut member fixed to the arm support member and engaged with the third screw member, and a third screw member. It is equipped with 3 motors.
  • an industrial robot for transporting a glass substrate in vacuum is known (see, for example, Patent Document 2).
  • the industrial robot described in Patent Document 2 includes a hand on which a glass substrate is mounted, an arm to which the hand is pivotably connected to the tip end, and a main body portion to which the base end of the arm is pivotably connected. Is equipped.
  • This industrial robot is used by being incorporated into a manufacturing system comprising a transfer chamber and a plurality of process chambers arranged to surround the transfer chamber. The transfer chamber and the interior of the process chamber are evacuated.
  • the hand and arm of the industrial robot described in Patent Document 2 are disposed in a transfer chamber.
  • Various apparatuses are installed in the process chamber, and various processes are performed on the glass substrate in the process chamber.
  • the industrial robot described in Patent Document 2 carries out the glass substrate from the process chamber and carries the glass substrate into the process chamber.
  • processing may be performed on the glass substrate in a high temperature environment, and in the process chamber in which the processing of the glass substrate is performed in a high temperature environment, the internal temperature is high.
  • the inventor of the present invention is an industrial robot for transporting a transfer target such as a glass substrate in vacuum like the industrial robot described in Patent Document 2 with respect to the arm like the industrial robot described in Patent Document 1
  • a transfer target such as a glass substrate in vacuum like the industrial robot described in Patent Document 2
  • the arm like the industrial robot described in Patent Document 1
  • the arm As the hot process chamber is approached, the temperatures of the first to third guide rails fixed to the arm and the arm rise.
  • the arm is formed of an aluminum alloy
  • the first to third guide rails are formed of stainless steel
  • the line of the arm and the first to third guide rails The expansion coefficient is different.
  • the front and back sides The arm may be deformed in the direction orthogonal to the direction (that is, the direction perpendicular to the moving direction of the first hand support member and the second hand support member).
  • an object of the present invention is, for example, in an industrial robot that has a first hand and a second hand that linearly reciprocates in the front-rear direction with respect to the arm and transports an object to be transported in vacuum. It is an object of the present invention to provide an industrial robot capable of suppressing the deformation of the arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat even when carrying in and out of the object to be transferred to and from the process chamber.
  • an industrial robot is an industrial robot that transports an object to be transported in vacuum, and the first hand and the second hand on which the object to be transported is mounted;
  • the first hand support member to which the hand is fixed, the second hand support member to which the second hand is fixed, and the first hand support member and the second hand support member reciprocate linearly in the same horizontal direction.
  • the first guide mechanism guides the first hand support member in the front-rear direction
  • the second guide mechanism guides the second hand support member in the front-rear direction.
  • the first guide mechanism is a frame of an arm.
  • a second guide comprising: a first guide rail fixed to each end of the arm frame in the left-right direction; and a first guide block fixed to the first hand support member and engaged with the first guide rail;
  • the mechanism is fixed to the second hand support member and the second guide rail fixed to the upper or lower side of the first guide rail on both end sides of the arm frame in the left and right direction, and engaged with the second guide rail
  • the first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and are formed of the same metal material
  • the arm Is formed of a metal material having a linear expansion coefficient different from that of the first guide rail and the second guide rail, and is formed to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction.
  • the second guide rail is characterized in that it is fixed to the arm frame at a position symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame when viewed from the front and rear direction.
  • the first guide rail and the second guide rail are formed in the same shape and are formed of the same metal material. Therefore, in the present invention, for example, when carrying in and out the object to be transferred to and from the high temperature process chamber, even if the temperature of the first guide rail and the second guide rail rises, the first guide rail and The second guide rails expand and contract in the front-rear direction as well. Further, in the present invention, the first guide rail fixed to each end of the arm frame in the left and right direction and the upper and lower sides of the first guide rail fixed to each end in the left and right direction of the arm frame The second guide rails are fixed to the arm frame at positions symmetrical with respect to the arm frame in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction.
  • the first guide rail and the second guide rail fixed to the arm frame at positions symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame when viewed from the front and rear direction are the first guide rail and When the temperature of the second guide rail rises, it expands and contracts in the front-rear direction as well.
  • the arm frame is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction. Even when the temperature of the arm frame rises, the arm frame does not easily deform in the vertical and horizontal directions.
  • the present invention for example, when carrying in and out the object to be transferred to and from the process chamber which is at a high temperature, the temperatures of the first and second guide rails and the arm frame having different linear expansion coefficients rise. It becomes possible to suppress the deformation in the vertical and horizontal directions of the arm frame which is the frame of the arm. As a result, in the present invention, it is possible to suppress the deformation of the arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat even when carrying in and out of the object to be transferred is brought into and out of the process chamber, for example. become.
  • the industrial robot includes, for example, a main body portion to which an arm is rotatably connected, and a center of the arm is connected to the main body portion.
  • the arm frame is formed of an aluminum alloy
  • the first guide rail and the second guide rail are formed of stainless steel.
  • the arm frame includes flat right and left side plate portions constituting left and right side surfaces of the arm frame, and flat upper and lower side plate portions constituting upper and lower side surfaces of the arm frame.
  • the right side plate portion is disposed such that the thickness direction of the right side plate portion coincides with the lateral direction
  • the left side plate portion is disposed such that the thickness direction of the left side plate portion coincides with the lateral direction
  • the upper plate portion is disposed such that the thickness direction of the upper plate portion coincides with the vertical direction
  • the lower plate portion is disposed such that the thickness direction of the lower plate portion coincides with the vertical direction
  • the first guide rail is fixed to the right side plate portion and the left side plate portion
  • the second guide rail is fixed to the right side plate portion and the left side plate portion
  • the right side plate portion and the left side plate portion Is left with respect to the center of the arm frame in the left and right direction Symmetrically arranged
  • the upper side plate portion and the lower side plate portion are vertically symmetrically arranged with respect to the center
  • the first guide mechanism includes a plurality of first guide rails divided in the front-rear direction
  • the second guide mechanism includes a plurality of second guide rails divided in the front-rear direction
  • the first guide rail and the second guide rail are fixed to the arm frame by a plurality of bolts arranged spaced apart in the front-rear direction, and the first guide rail and the second guide rail are bolted In the arm frame, a plurality of screw holes into which male screws formed on shaft portions of bolts are screwed are spaced in the front-rear direction.
  • the width in the front-rear direction of at least one of the plurality of layout holes is wider than the outer diameter of the bolt, and the width in the front-rear direction is greater than the outer diameter of the bolt
  • the lengths of the first guide rail and the second guide rail in the front-rear direction change the ambient temperature of the arm and the first Rail, even if the second guide rail and the arm frame are telescopic, preferably it is set to a length that a gap is formed between the side surface and the bolt of the first mounting holes in the front-back direction.
  • the arrangement hole is composed of a shaft arrangement hole in which a part of the shaft of the bolt is arranged and a head arrangement hole in which the head of the bolt is arranged, and the axis of the first arrangement hole
  • the part arranging hole is a first shaft arranging hole
  • the head arranging hole of the first arranging hole is a first head arranging hole
  • the width of the first shaft arranging hole in the front and rear direction is outside the bolt shaft.
  • the width of the first head placement hole in the longitudinal direction is wider than the diameter
  • the length of the first guide rail and the second guide rail in the longitudinal direction is wider than the outer diameter of the head of the bolt.
  • the industrial robot having the first hand and the second hand that linearly reciprocates in the front-rear direction with respect to the arm and transporting the object to be transported in vacuum, for example, to high temperature Even when carrying an object to be transferred into and out of the process chamber, it is possible to suppress deformation of the arm in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat.
  • FIG. 1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention. It is a side view of the industrial robot shown in FIG. It is a rear view of the industrial robot shown in FIG. (A) is a top view for demonstrating the internal structure of the arm shown in FIG. 1, (B) is a figure for demonstrating the internal structure of an arm from the EE direction of (A).
  • (A) is an enlarged view of a portion F in FIG. 4 (A)
  • (B) is an enlarged view of a portion G in FIG. 4 (B).
  • A) is an enlarged view of H part of FIG. 4 (A)
  • (B) is an enlarged view of J part of FIG. 4 (A).
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for describing the configuration of a first hand support member, a second hand support member, an arm, a first drive mechanism, and a second drive mechanism, as viewed from the direction NN in FIG. 4B.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for describing a configuration of a first hand support member, a second hand support member, an arm, a first drive mechanism, and a second drive mechanism in the direction of QQ in FIG. 4B.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view for describing the configuration of a first hand support member, a second hand support member, an arm, a first drive mechanism, and a second drive mechanism from the WW direction of FIG. 11 (A).
  • FIG. 1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG.
  • the industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is a robot that conveys a glass substrate 2 for liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”), which is an object to be conveyed, in vacuum. It is.
  • the robot 1 is used by being incorporated into a liquid crystal display device manufacturing system.
  • a transfer chamber 3 (hereinafter, referred to as “chamber 3”) disposed at the center and a plurality of process chambers 4 (hereinafter, “chamber 4”) disposed to surround the chamber 3 are provided. And (see FIG. 1).
  • the inside of the chambers 3 and 4 is vacuum. That is, the chambers 3 and 4 are vacuum chambers. Inside the chamber 3, a part of the robot 1 is disposed. The robot 1 carries in the substrate 2 to the chamber 4 and carries out the substrate 2 from the chamber 4. Various devices and the like are disposed in the chamber 4, and various processes are performed on the substrate 2 in the chamber 4. In the chamber 4 of the present embodiment, processing on the substrate 2 is performed in a high temperature environment. Therefore, the internal temperature of the chamber 4 is high.
  • the robot 1 includes a hand 5 as a first hand on which the substrate 2 is mounted, a hand 6 as a second hand on which the substrate 2 is mounted, and a hand support member as a first hand support member to which the hand 5 is fixed. 7, a hand support member 8 as a second hand support member to which the hand 6 is fixed, an arm 9 for holding the hand support members 7 and 8, and a body portion 10 to which the arm 9 is rotatably coupled.
  • the main body unit 10 includes a columnar elevating member 12 (see FIG. 2) to which the central portion of the arm 9 is fixed, an elevating mechanism for elevating the elevating member 12, a pivoting mechanism for pivoting the elevating member 12, And a case body 13 in which the configuration of the above is accommodated.
  • the case body 13 is formed in a substantially bottomed cylindrical shape.
  • a flange 14 formed in a disk shape is fixed to the upper end of the case body 13.
  • the flange 14 is formed with a through hole in which the upper end portion of the elevating member 12 is disposed.
  • the hands 5 and 6 and the arm 9 are disposed on the upper side of the main body 10.
  • a part of the robot 1 is disposed inside the chamber 3.
  • a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed inside the chamber 3. That is, a portion of the robot 1 above the lower end surface of the flange 14 is disposed in the vacuum region VR, and the hands 5 and 6 and the arm 9 are disposed in the vacuum chamber (in vacuum).
  • the portion of the robot 1 below the lower end surface of the flange 14 is disposed in the atmosphere region AR (in the atmosphere).
  • the arm 9 holds the hand support members 7 and 8 so that the hand support member 7 and the hand support member 8 can linearly reciprocate in the same horizontal direction.
  • the robot 1 has a drive mechanism 17 as a first drive mechanism for reciprocating the hand support member 7 with respect to the arm 9 and a drive mechanism 18 as a second drive mechanism for reciprocate the hand support member 8 with respect to the arm 9. And (see FIG. 4).
  • the X direction in FIG. 1 etc. which is the moving direction of the hand support members 7 and 8 with respect to the arm 9, is referred to as “front and back direction”, and is perpendicular to the vertical direction (vertical direction)
  • the Y direction of is the "left / right direction”
  • the X1 direction side is referred to as the “front” side
  • the opposite X2 direction side is referred to as the “rear” side.
  • FIG. 4A is a plan view for explaining the internal structure of the arm 9 shown in FIG. 1, and FIG. 4B shows the internal structure of the arm 9 from the EE direction of FIG. 4A. It is a figure for demonstrating.
  • FIG. 5 (A) is an enlarged view of a part F of FIG. 4 (A)
  • FIG. 5 (B) is an enlarged view of a part G of FIG. 4 (B).
  • 6 (A) is an enlarged view of a portion H in FIG. 4 (A)
  • FIG. 6 (B) is an enlarged view of a portion J in FIG. 4 (A).
  • FIG. 7A is a view for explaining the internal structure of the arm 9 from the direction of arrows K in FIG.
  • FIG. 4A, and FIG. 7B is from the direction of LL in FIG. 4A. It is a figure for demonstrating the internal structure of the arm 9.
  • FIG. FIG. 8 is a cross-sectional view for describing the configuration of the hand support members 7, 8, the arm 9, and the drive mechanisms 17, 18 from the direction NN in FIG. 4B.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view for describing the configurations of the hand support members 7 and 8, the arm 9 and the drive mechanisms 17 and 18 in the direction of QQ in FIG. 4B.
  • the hand 5 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 21 to which base ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed.
  • the hand 6 includes a plurality of forks 20 on which the substrate 2 is mounted, and a hand base 22 to which base ends (rear ends) of the plurality of forks 20 are fixed.
  • the hands 5, 6 in this embodiment are provided with six forks 20.
  • the fork 20 is formed in an elongated linear shape in the front-rear direction.
  • the hand bases 21 and 22 are formed in a substantially rectangular flat plate shape elongated in the left-right direction. The length (length in the left-right direction) of the hand base 21 is longer than the length (length in the left-right direction) of the hand base 22.
  • the hand 5 and the hand 6 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction when viewed from the front and rear direction.
  • the hand 5 is disposed on the upper side and the hand 6 is disposed on the lower side when viewed from the front-rear direction. That is, when viewed from the front-rear direction, the hand base 21 is disposed on the upper side, and the hand base 22 is disposed on the lower side.
  • the hand 5 and the hand 6 are arranged such that the center of the hand base 21 and the center of the hand base 22 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. That is, the hand 5 and the hand 6 are arranged such that the center of the hand 5 and the center of the hand 6 coincide in the left-right direction when viewed in the front-rear direction.
  • the arm 9 is disposed below the hand 6.
  • the arm 9 is formed in a substantially rectangular shape elongated in the front-rear direction. Also, the arm 9 is formed in a hollow shape.
  • the width in the left-right direction of the arm 9 is narrower than the width in the left-right direction of the hands 5 and 6.
  • the arm 9 is arranged such that the centers of the hands 5 and 6 and the center of the arm 9 coincide in the left-right direction when viewed from the front-rear direction.
  • the arm 9 includes an arm frame 23 which is a frame of the arm 9, a cover member 24 constituting upper and lower, right and left and front and rear sides of the arm 9, and a box-shaped motor housing member 25 disposed at the center of the arm 9. And an upper surface cover 26 fixed to the upper surface of the motor housing member 25. In FIG. 4 to FIG. 9, the illustration of the cover member 24 is omitted.
  • the arm frame 23 is formed of an aluminum alloy. Further, the arm frame 23 constitutes the frame of the arm 9 in the entire area of the arm 9 in the front-rear direction.
  • the arm frame 23 includes a right side plate portion 23a constituting a right side surface of the arm frame 23, a left side plate portion 23b constituting a left side surface of the arm frame 23, and an upper side plate portion 23c constituting an upper side surface of the arm frame 23. And a lower side plate portion 23d that constitutes the lower side surface of the arm frame 23.
  • the right side plate portion 23a, the left side plate portion 23b, the upper side plate portion 23c, and the lower side plate portion 23d are formed in a flat plate shape.
  • the right side plate portion 23a is disposed such that the thickness direction of the right side plate portion 23a coincides with the left and right direction
  • the left side plate portion 23b is disposed such that the thickness direction of the left side plate portion 23b coincides with the left and right direction It is done.
  • the upper side plate portion 23c is arranged such that the thickness direction of the upper side plate portion 23c coincides with the vertical direction
  • the lower side plate portion 23d is arranged such that the thickness direction of the lower side plate portion 23d coincides with the vertical direction It is done.
  • the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b are disposed in the state of being spaced apart in the left-right direction.
  • the upper end surface of the right side plate portion 23a and the upper end surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same height.
  • the lower end surface of the right side plate portion 23a and the lower end surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same height.
  • the upper side plate portion 23c is fixed to the upper end of the right side plate portion 23a and the upper end of the left side plate portion 23b by screws.
  • the lower side plate portion 23d is fixed to the lower end of the right side plate portion 23a and the lower end of the left side plate portion 23b by screws.
  • the right end face of the upper side plate portion 23c and the right end face of the lower side plate portion 23d are disposed on the right side of the right side plate portion 23a, and the left end face of the upper side plate portion 23c and the left end face of the lower side plate portion 23d are from the left side plate portion 23b. Is also located on the left.
  • the right end face of the upper side plate portion 23c and the right end face of the lower side plate portion 23d are disposed at the same position in the left-right direction, and the left end face of the upper side plate portion 23c and the left end face of the lower side plate portion 23d are in the left-right direction It is arranged at the same position.
  • the distance between the right end face of the upper side plate portion 23c and the right end face of the lower side plate portion 23d and the right side surface of the right side plate portion 23a, and the left end face and lower side of the upper side plate portion 23c is equal.
  • the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b are arranged symmetrically with respect to the center of the arm frame 23 in the left and right direction, and the upper side plate portion 23c and the lower side plate portion 23d Are vertically symmetrical with respect to the center of the arm frame 23 in the vertical direction. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, the arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction.
  • the motor housing member 25 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape whose upper surface side is open. Further, the motor housing member 25 is formed in a box shape of a substantially rectangular parallelepiped elongated in the front-rear direction.
  • the motor accommodating member 25 accommodates a motor 37 described later constituting the drive mechanism 17 and a motor 38 described later constituting the drive mechanism 18.
  • the motor housing member 25 is fixed to a central portion of the arm frame 23. That is, the motor housing member 25 is disposed at the central portion of the arm 9.
  • the center of the bottom surface of the motor housing member 25 is fixed to the upper end of the elevating member 12. That is, the center of the arm 9 is rotatably connected to the main body 10. Most parts other than the lower end of the motor housing member 25 are disposed between the right side plate 23a and the left side plate 23b in the left-right direction (see FIGS. 5A and 9).
  • the upper surface cover 26 is formed in a rectangular flat plate shape.
  • the upper surface cover 26 is fixed to the upper surface of the motor accommodation member 25 so as to close an opening formed on the upper surface side of the motor accommodation member 25.
  • An internal space S defined by the motor housing member 25 and the top cover 26 is formed inside the central portion of the arm 9.
  • a through hole 25a penetrating in the vertical direction is formed at the center of the bottom surface portion of the motor housing member 25, a through hole 25a penetrating in the vertical direction.
  • the elevating member 12 is formed in a cylindrical shape.
  • the elevating member 12 is fixed to the bottom surface of the motor housing member 25 so as to surround the through hole 25a, and the inside of the case body 13 communicates with the internal space S.
  • the internal space S of the case body 13 is at atmospheric pressure.
  • guide rails 29 for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction are fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b. That is, the guide rails 29 are fixed to both end sides of the arm frame 23 in the left-right direction (specifically, on both side surfaces of the arm frame 23 in the left-right direction). Further, a guide rail 30 for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction is fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the left surface of the left side plate portion 23b.
  • the guide rails 30 are fixed to both end sides of the arm frame 23 in the left-right direction (specifically, on both side surfaces of the arm frame 23 in the left-right direction).
  • the guide rails 29, 30 are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b so that the longitudinal direction of the guide rails 29, 30 and the longitudinal direction coincide with each other.
  • a plurality of guide rails 29 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b (see FIG. 7).
  • a plurality of guide rails 30 divided in the front-rear direction are fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b.
  • the guide rails 29 and the guide rails 30 are formed in the same shape. Further, the guide rails 29 and the guide rails 30 are formed of the same metal material.
  • the guide rails 29 and 30 are formed of a metal material having a linear expansion coefficient different from that of the arm frame 23.
  • the guide rails 29, 30 in this embodiment are formed of stainless steel.
  • the guide rail 29 fixed to the right side of the right side plate portion 23a and the guide rail 29 fixed to the left side of the left side plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction.
  • the guide rail 30 fixed to the right surface of the right side plate portion 23a and the guide rail 30 fixed to the left surface of the left side plate portion 23b are arranged at the same position in the vertical direction. Further, the guide rail 30 is disposed on the upper side of the guide rail 29.
  • the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 29 and the vertical distance between the center of the arm frame 23 and the guide rail 30 are equal. That is, as shown in FIGS. 8 and 9, the guide rail 29 and the guide rail 30 are symmetrical in the vertical and horizontal directions (with respect to the center of the arm frame 23) with respect to the arm frame 23 when viewed from the front and rear direction. It is being fixed to the arm frame 23 in the position which becomes.
  • the hand support member 7 is composed of two slide portions 7 a that slide in the front-rear direction along the guide rails 29 and two hand fixing portions 7 b to which the hand base 21 of the hand 5 is fixed.
  • the hand support member 8 is composed of two slide portions 8a that slide in the front-rear direction along the guide rails 30, and two hand fixing portions 8b to which the hand base 22 of the hand 6 is fixed. There is.
  • each of the two slide portions 7a is disposed on the outer side in the left-right direction of the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b.
  • Each of the two slide parts 8a is arrange
  • the two slide parts 8a are arrange
  • the right end portions of the slide portions 7a and 8a disposed on the right side project to the right with respect to the right side surface of the cover member 24 and the left end portions of the slide portions 7a and 8a disposed on the left side are the cover It projects to the left from the left side surface of the member 24.
  • One hand fixing portion 7b of the two hand fixing portions 7b is fixed to the slide portion 7a so as to extend obliquely from the right end side of the slide portion 7a disposed on the right side to the upper right side.
  • the lower surface of the right end portion of the hand base portion 21 is fixed to the upper end of the hand fixing portion 7b as shown in FIG.
  • the other hand fixing portion 7b is fixed to the slide portion 7a so as to extend from the left end side of the slide portion 7a disposed on the left side toward the upper left, and the upper end of the hand fixing portion 7b As shown in 3, the lower surface of the left end portion of the hand base 21 is fixed.
  • One hand fixing portion 8b of the two hand fixing portions 8b is fixed to the slide portion 8a so as to extend obliquely from the right end side of the slide portion 8a disposed on the right side to the upper right side.
  • the lower surface of a portion of the hand base 22 that is closer to the right than the center in the left-right direction is fixed.
  • the other hand fixing portion 8b is fixed to the slide portion 8a so as to extend from the left end side of the slide portion 8a disposed on the left side to the upper left, and the upper end of the hand fixing portion 8b As shown in FIG. 3, the lower surface of the left side of the hand base 22 with respect to the center in the left-right direction is fixed.
  • the guide block 31 engaged with the guide rail 29 disposed on the right side is fixed to the slide portion 7 a disposed on the right side, and the slide portion 7 a disposed on the left side is attached to the guide rail 29 disposed on the left side
  • the guide block 31 to be engaged is fixed.
  • the guide block 32 engaged with the guide rail 30 disposed on the right is fixed to the slide 8a disposed on the right, and the guide 8 disposed on the left is disposed on the slide 8a disposed on the left
  • a guide block 32 engaged with the rail 30 is fixed.
  • the guide block 31 is fixed to the hand support member 7, and the guide block 32 is fixed to the hand support member 8.
  • three guide blocks 31 are fixed to each of the two slide portions 7a with a space in the front-rear direction (see FIG. 7B).
  • three guide blocks 32 are fixed to each of the two slide portions 8a in a state of being spaced in the front-rear direction (see FIG. 7A).
  • the guide rail 29 in this embodiment is a first guide rail
  • the guide rail 30 is a second guide rail
  • the guide block 31 is a first guide block
  • the guide block 32 is a second guide block.
  • a guide mechanism 33 as a first guide mechanism for guiding the hand support member 7 in the front-rear direction is constituted by the plurality of guide rails 29 and the six guide blocks 31.
  • a guide mechanism 34 as a second guide mechanism for guiding the hand support member 8 in the front-rear direction is constituted by the plurality of guide rails 30 and the six guide blocks 32.
  • the drive mechanisms 17 and 18 are disposed inside the arm 9.
  • the drive mechanism 17 includes a motor 37 as a drive source.
  • the drive mechanism 18 includes a motor 38 as a drive source.
  • the motors 37 and 38 are disposed in the internal space S. That is, the motors 37, 38 are disposed inside the central portion of the arm 9.
  • the motors 37 and 38 are fixed to the motor housing member 25 via predetermined brackets.
  • the motor 37 and the motor 38 are disposed in the state of being spaced apart in the front-rear direction. Specifically, the motor 37 is disposed on the rear side, and the motor 38 is disposed on the front side.
  • the motors 37 and 38 are arranged such that the axial direction of the output shaft of the motors 37 and 38 coincides with the front-rear direction.
  • the motors 37 and 38 are disposed in the internal space S such that the output shaft of the motor 37 and the output shaft of the motor 38 protrude in the opposite direction.
  • the motors 37, 38 are disposed in the internal space S such that the output shaft of the motor 37 projects rearward and the output shaft of the motor 38 projects forward.
  • the rotation center of the motor 37 and the rotation center of the motor 38 coincide with each other.
  • the rotation centers of the motors 37 and 38 and the center of the arm 9 substantially coincide with each other. Note that air pipes (not shown) for cooling are wound around the motors 37 and 38.
  • a rotary shaft 39 connected to the output shaft of the motor 37, a bevel gear 40 fixed to the end of the rotary shaft 39, a bevel gear 41 meshing with the bevel gear 40, and a bevel gear 41 And a rotating shaft 42 fixed thereto.
  • the drive mechanism 18 includes a rotating shaft 43 connected to the output shaft of the motor 38, a bevel gear 44 fixed to the end of the rotating shaft 43, a bevel gear 45 meshing with the bevel gear 44, and a bevel gear 45 And an axis of rotation 46 to which it is fixed.
  • the drive mechanism 17 spans two drive pulleys 48 fixed to the rotation shaft 42, two driven pulleys 49 rotatably held by the rotation shaft 46, the drive pulley 48 and the driven pulley 49. It has two belts 50 to be delivered.
  • the drive mechanism 18 comprises two drive pulleys 52 fixed to the rotary shaft 46, two driven pulleys 53 rotatably held by the rotary shaft 42, a drive pulley 52 and a driven pulley 53. It has two belts 54 to be bridged.
  • the rotating shafts 39, 43 are formed of stainless steel.
  • the rotary shaft 39 is disposed such that the axial direction of the rotary shaft 39 coincides with the front-rear direction, and is connected to the front end (rear end) of the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 (FIG. 5) reference).
  • the rotating shaft 43 is disposed so that the axial direction of the rotating shaft 43 coincides with the front-rear direction, and is connected to the tip (front end) of the output shaft of the motor 38 via a coupling 55 (see FIG. 5) ).
  • the bevel gears 40 and 41, the rotation shaft 42, the drive pulley 48 and the driven pulley 53 are disposed inside the rear end side of the arm 9.
  • the bevel gears 44 and 45, the rotation shaft 46, the drive pulley 52 and the driven pulley 49 are disposed inside the front end side of the arm 9.
  • the drive mechanism 17 is provided with a magnetic fluid seal 56 which holds the rotating shaft 39 rotatably and prevents the outflow of air from the internal space S.
  • the drive mechanism 18 is provided with a magnetic fluid seal 57 which rotatably holds the rotating shaft 43 and prevents the outflow of air from the internal space S.
  • the magnetic fluid seal 56 is fixed to a rear wall 25 b that constitutes the rear surface of the motor housing member 25.
  • the magnetic fluid seal 57 is fixed to a front wall 25 c that constitutes the front surface of the motor housing member 25.
  • the magnetic fluid seal 56 is fixed to the rear wall 25b in a state of being inserted into a through hole that penetrates the rear wall 25b in the front-rear direction, and the magnetic fluid seal 57 has a front wall 25c. It is being fixed to front wall 25c in the state where it was inserted in the penetration hole penetrated by the direction of order.
  • the rotating shafts 39 and 43 are rotatably supported by a plurality of bearings 59 fixed to the arm frame 23.
  • the rotating shaft 39 of this form is formed of two short axes of short length, and one long axis of one long axis.
  • One of the two short shafts is coupled to the output shaft of the motor 37 via a coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 56.
  • a bevel gear 40 is fixed to the other short axis.
  • One short axis and the front end of the long axis are connected by a coupling 60 disposed behind the magnetic fluid seal 56 (see FIG. 5), and the other short axis and the rear end of the long axis are the rearmost It is connected by the coupling 60 arrange
  • the rotation shaft 43 of the present embodiment is formed by two short axes with a short length and one long axis with a long length.
  • One of the two short shafts is connected to the output shaft of the motor 38 via a coupling 55 and is rotatably held by the magnetic fluid seal 57.
  • a bevel gear 44 is fixed to the other short axis.
  • One short axis and the rear end of the long axis are connected by a coupling 60 disposed on the front side of the magnetic fluid seal 57 (see FIG. 5), and the other short axis and the front end of the long axis are the frontmost It connects by the coupling 60 arrange
  • the rotating shafts 39 and 43 may be configured by one long axis.
  • the rotation shaft 42 is disposed on the rear side of the bevel gear 40.
  • the rotation shaft 42 is disposed such that the axial direction of the rotation shaft 42 coincides with the left and right direction, and rotates with the power of the motor 37 as the rotation axial direction. That is, the drive pulley 48 fixed to the rotation shaft 42 rotates with the power of the motor 37 as the rotation axial direction in the left-right direction. Further, the driven pulley 53 rotatably held by the rotating shaft 42 also rotates with the left and right direction as an axial direction of rotation.
  • the bevel gear 41 is fixed to the center side of the rotation shaft 42 in the left-right direction.
  • the rotation shaft 46 is disposed on the front side of the bevel gear 44.
  • the rotating shaft 46 is disposed so that the axial direction of the rotating shaft 46 coincides with the left and right direction, and rotates with the power of the motor 38 as the rotating axial direction. That is, the drive pulley 52 fixed to the rotating shaft 46 rotates with the power of the motor 38 as the rotation axial direction in the left-right direction. Further, the driven pulley 49 rotatably held by the rotating shaft 46 also rotates with the left and right direction as an axial direction of rotation.
  • the bevel gear 45 is fixed to the center side of the rotation shaft 46 in the left-right direction.
  • Each of the two drive pulleys 48 is fixed to each end of the rotary shaft 42 in the left-right direction.
  • the driven pulley 53 is rotatably held on the rotating shaft 42 between the bevel gear 41 and the drive pulley 48, and the two driven pulleys 53 are disposed inside the two drive pulleys 48 in the left-right direction. It is done.
  • Each of the two driven pulleys 49 is rotatably held at each of both ends of the rotary shaft 46 in the left-right direction.
  • the drive pulley 52 is fixed to the rotating shaft 46 between the bevel gear 45 and the driven pulley 49, and the two drive pulleys 52 are disposed on the inner side in the left-right direction than the two driven pulleys 49. .
  • the belt 50 is fixed to the hand support member 7. Specifically, a part of each of the two belts 50 is fixed to the upper end of each of the two slide parts 7 a by a predetermined mounting member and a bolt.
  • the belt 50 according to the present embodiment is an end belt, and both ends of the belt 50 stretched over the drive pulley 48 and the driven pulley 49 are fixed to the slide portion 7a by the attachment member and the bolt (FIG. B) see).
  • the belt 50 may be an endless belt formed in an annular shape.
  • the belt 54 is fixed to the hand support member 8. Specifically, a portion of each of the two belts 54 is fixed to the lower end portion of each of the two slide portions 8 a by a predetermined mounting member and a bolt. Similar to the belt 50, the belt 54 of this embodiment is an end belt, and both ends of the belt 54 which is bridged by the drive pulley 52 and the driven pulley 53 are fixed to the slide portion 8a by the attachment member and the bolt. (See FIG. 7A).
  • the belt 54 may be an endless belt formed in an annular shape.
  • the two belts 50 are respectively provided on the left and right sides of the motors 37 and 38 when viewed from the front-rear direction.
  • the two belts 54 are disposed on the left and right sides of the motors 37 and 38, respectively.
  • the belt 54 is disposed adjacent to the belt 50 in the left-right direction and at the same height as the belt 50. That is, the belt 54 is disposed at the same height as the belt 50 so as to be adjacent to the belt 50 on the inner side in the left-right direction on both left and right end sides inside the arm 9.
  • FIG. 10A is a cross-sectional view taken along the line PP in FIG. 8, and FIG. 10B is an enlarged view of a portion R in FIG. 10A.
  • the guide rail 29 is fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b of the arm frame 23 by a plurality of bolts 65 which are disposed in a spaced state in the front-rear direction.
  • a plurality of arrangement holes 29a in which a part of each of the plurality of bolts 65 is arranged are formed in a state of being spaced in the front-rear direction.
  • a plurality of screw holes 23f into which male screws formed in the shaft portion 65a of the bolt 65 are screwed are formed in an interval in the front-rear direction.
  • a plurality of screw holes into which male screws formed in the shaft portion 65a are screwed are formed in an interval in the front-rear direction.
  • the arrangement hole 29 a is a through hole which penetrates the guide rail 29 in the left-right direction.
  • the placement hole 29a includes a shaft placement hole 29b in which a part of the shaft 65a of the bolt 65 is placed, and a head placement hole 29c in which the head 65b of the bolt 65 is placed.
  • the shaft portion arrangement hole 29b and the head arrangement hole 29c are formed in a round hole shape.
  • the inner diameter of the shaft portion arrangement hole 29 b is larger than the outer diameter of the shaft portion 65 a of the bolt 65.
  • the inner diameter of the head arrangement hole 29 c is larger than the outer diameter of the head 65 b of the bolt 65.
  • the arrangement hole 29 a is a so-called harmless hole, and the width of the arrangement hole 29 a in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt 65.
  • the width of the shaft portion arrangement hole 29b in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65
  • the width of the head arrangement hole 29c in the front-rear direction is the head of the bolt 65 It is wider than the outer diameter of 65b.
  • all the arrangement holes 29 a are first arrangement holes in which the width in the front-rear direction is wider than the outer diameter of the bolt 65.
  • all the shaft part arrangement holes 29b are first shaft part arrangement holes
  • all the head arrangement holes 29c are first head arrangement holes.
  • the length of the guide rail 29 in the front-rear direction is such that the side surface of the arrangement hole 29 a in the front-rear direction does not contact the bolt 65 even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 29 and the arm frame 23 expand and contract.
  • the length is set.
  • the length of the guide rail 29 in the front and back direction varies with the side surface of the shaft placement hole 29b and the bolt
  • a gap is formed between the shaft 65a and the shaft 65a, and the gap is set between the side of the head placement hole 29c and the head 65b of the bolt 65 in the front-rear direction.
  • the difference between the inner diameter of the head arrangement hole 29c and the outer diameter of the head portion 65b is larger than the difference between the inner diameter of the shaft arrangement hole 29b and the outer diameter of the shaft portion 65a.
  • the guide rail 30 is fixed to the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b of the arm frame 23 by a plurality of bolts 65 which are disposed in a spaced state in the front-rear direction.
  • a placement hole having the same shape as the placement hole 29a is formed. That is, the guide rail 30 is formed with an arrangement hole which penetrates the guide rail 30 in the left-right direction and which is configured of a shaft arrangement hole and a head arrangement hole.
  • a plurality of screw holes into which male screws formed on the shaft portion 65a are screwed are formed in the left and right side plate portions 23b and the right side surface portion 23a at intervals in the front-rear direction.
  • the length of the guide rail 30 in the front-rear direction does not change even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract.
  • the length is set such that a gap is formed between the side surface and the bolt 65.
  • a gap is formed between the side surface and the shaft portion 65a, and is set to a length such that a gap is formed between the side surface in the front-rear direction of the head arrangement hole of the guide rail 30 and the head 65b.
  • the guide rails 29 and the guide rails 30 are formed in the same shape and are formed of the same metal material. Therefore, in the present embodiment, when carrying the substrate 2 into and out of the chamber 4 at a high temperature, even if the temperature of the guide rails 29 and 30 rises, the guide rails 29 and 30 move in the front-rear direction. Stretch in the same way. Further, in the present embodiment, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to both side surfaces in the left and right direction of the arm frame 23 are symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame 23 when viewed from the front and rear direction. Is fixed to the arm frame 23 at the following position.
  • the guide rails 29 and 30 when the temperature of the guide rails 29 and 30 rises, the guide rails 29 fixed to the arm frame 23 at positions symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction. And the guide rail 30 expand and contract in the same direction in the front-rear direction. Further, in the present embodiment, since the arm frame 23 is formed to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction, the substrate 2 is carried into and out of the chamber 4 at high temperature. In this case, even if the temperature of the arm frame 23 rises, the arm frame 23 does not easily deform in the vertical and horizontal directions.
  • the arm frame 23 does not matter even if the temperatures of the guide rails 29 and 30 and the arm frame 23 having different linear expansion coefficients rise. It is possible to suppress the deformation of the in the vertical and horizontal directions. As a result, in the present embodiment, even when the robot 1 carries in and out the substrate 2 to and from the high temperature chamber 4, it is possible to suppress the deformation of the arm 9 in the vertical and horizontal directions due to the influence of heat. .
  • the side surface of the arrangement hole 29 a in the front and rear direction and the bolt 65 have the length of the guide rail 29 in the front and rear direction.
  • the length of the guide rail 30 in the front-rear direction is set to a length that does not contact, even if the ambient temperature of the arm 9 fluctuates and the guide rail 30 and the arm frame 23 expand and contract.
  • the length is set such that a gap is formed between the side face of the bolt and the bolt 65.
  • the rotating shaft 39 is connected to the output shaft of the motor 37 via the coupling 55
  • the rotating shaft 43 is connected to the output shaft of the motor 38 via the coupling 55.
  • two short axes and one long axis are connected by a coupling 60. Therefore, in the present embodiment, the difference between the expansion and contraction amount of the stainless steel rotary shafts 39 and 43 in the back and forth direction due to the influence of heat and the expansion and contraction amount of the arm frame 23 made of aluminum alloy due to the influence of heat is Absorbed by coupling 55, 60.
  • FIG. 11 is a view for explaining the internal structure of an arm 9 according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view for describing the configuration of the hand support members 7, 8, the arm 9, and the drive mechanisms 17, 18 from the direction of WW in FIG. 11A.
  • the belt 50 and the belt 54 may be arranged to overlap in the vertical direction. Specifically, when viewed from the front and rear direction, the belt 50 and the belt 54 may be arranged to overlap in the vertical direction on both left and right sides of the motors 37 and 38, respectively.
  • the arm frame 23 is formed so as to be substantially symmetrical in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction.
  • the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to the side surfaces of the arm frame 23 in the left and right direction are symmetrical with respect to the arm frame 23 in the vertical and horizontal directions when viewed from the front and rear direction. It is fixed to the frame 23.
  • the same components as those in the embodiment described above are denoted by the same reference numerals.
  • the motor 37 is disposed inside the rear end of the arm 9, and the motor 38 is disposed inside the front end of the arm 9.
  • the motors 37 and 38 may be disposed inside the central portion of the arm 9 as in the above-described embodiment.
  • the motor 38 is disposed above the motor 37.
  • the motor 37 and the motor 38 are disposed at the same position in the left-right direction.
  • a fixed shaft 67 is provided, which rotatably holds the driven pulley 49, separately from the rotating shaft 46 to which the drive pulley 52 is fixed (see FIG. 12).
  • a fixed shaft on which the driven pulley 53 is rotatably held is provided.
  • the driven pulley 49 is disposed immediately below the drive pulley 52, and the driven pulley 53 is disposed immediately above the drive pulley 48.
  • the hand 6 may be fixed to the hand support member 7 and the hand 5 may be fixed to the hand support member 8.
  • the hand support member 8 is a first hand support member
  • the hand support member 7 is a second hand support member
  • the guide mechanism 34 is a first guide mechanism
  • the guide mechanism 33 is a second guide It becomes a mechanism.
  • the guide rail 30 becomes a first guide rail
  • the guide rail 29 becomes a second guide rail.
  • the guide rails 29 are fixed to both end sides in the left and right direction of the upper surface of the lower side plate portion 23d, and the guide rails 30 are fixed to both end sides in the left and right direction of the lower surface of the upper side plate portion 23c. Also good. Even in this case, the guide rails 29 and the guide rails 30 fixed to both end sides in the left and right direction of the arm frame 23 are symmetrical in the vertical and horizontal directions with respect to the arm frame 23 when viewed from the front and rear direction It is being fixed to the arm frame 23 in the position which becomes.
  • the guide rails 29 may not be divided in the front-rear direction. That is, one guide rail 29 may be fixed to each of the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. Similarly, one guide rail 30 may be fixed to each of the right side plate portion 23a and the left side plate portion 23b. Further, in the embodiment described above, the arm frame 23 may be formed of a metal material other than aluminum alloy, and the guide rails 29 and 30 may be formed of a metal material other than stainless steel.
  • the inner diameter of the shaft portion arrangement hole 29b is substantially equal to the outer diameter of the shaft portion 65a of the bolt 65
  • the inner diameter of the head portion arrangement hole 29c is substantially equal to the outer diameter of the head 65b of the bolt 65.
  • the hand support members 7 and 8 are moved in the front-rear direction using the belts 50 and 54, but like the industrial robot described in the above-mentioned Patent Document 1, the hand using screw members
  • the support members 7 and 8 may be moved in the front-rear direction.
  • the entire inside of the arm 9 may be at atmospheric pressure. Further, the entire inside of the arm 9 may be vacuum. That is, the motors 37 and 38 may be disposed in a vacuum.
  • the object to be transported by the robot 1 is the glass substrate 2 for liquid crystal display, but the object to be transported by the robot 1 is, for example, for organic EL (organic electroluminescence) display
  • the glass substrate may be an object of conveyance other than the glass substrate 2.

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Abstract

真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能な産業用ロボットを提供する。 この産業用ロボットでは、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するガイドレール２９およびハンド支持部材８を前後方向へ案内するガイドレール３０は、アームフレーム２３の左右方向の両端側に固定され、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同じ金属材料で同形状に形成され、アームフレーム２３は、ガイドレール２９、３０と線膨張係数の異なる金属材料で形成されている。アームフレーム２３は、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、ガイドレール２９、３０は、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。

Description

産業用ロボット
　本発明は、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
　従来、ガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームを保持するアーム支持部材とを備えている。アームは、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。アームは、アーム支持部材に対して前後方向へ直線的に往復移動可能となっている。
　また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構と、アーム支持部材に対してアームを往復移動させる第３駆動機構とを備えている。第１駆動機構は、外周面にオネジが形成される第１ネジ部材と、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ネジ部材に係合する第１ナット部材と、第１ネジ部材を回転させる第１モータとを備えている。第２駆動機構は、外周面にオネジが形成される第２ネジ部材と、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ネジ部材に係合する第２ナット部材と、第２ネジ部材を回転させる第２モータとを備えている。第３駆動機構は、外周面にオネジが形成される第３ネジ部材と、アーム支持部材に固定されるとともに第３ネジ部材に係合する第３ナット部材と、第３ネジ部材を回転させる第３モータとを備えている。
　特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームの左側面に、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第１ガイドレールが固定され、アームの右側面に、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内するための２本の第２ガイドレールが固定されている。また、アームの下面には、アームを前後方向へ案内するための２本の第３ガイドレールが固定されている。なお、アームの剛性をある程度確保しつつ、アームを軽量化するために、アームは、たとえば、アルミニウム合金で形成されている。また、ガイドレールの剛性を確保するために、第１～第３ガイドレールは、たとえば、ステンレス鋼で形成されている。
　また、従来、真空中でガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献２参照）。特許文献２に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。この産業用ロボットは、トランスファーチャンバーと、トランスファーチャンバーを囲むように配置される複数のプロセスチャンバーとを備える製造システムに組み込まれて使用される。トランスファーチャンバーおよびプロセスチャンバーの内部は、真空になっている。
　特許文献２に記載の産業用ロボットのハンドおよびアームは、トランスファーチャンバーの中に配置されている。プロセスチャンバーには、各種の機器が設置されており、プロセスチャンバーでは、ガラス基板に対する各種の処理が実行される。特許文献２に記載の産業用ロボットは、プロセスチャンバーからのガラス基板の搬出やプロセスチャンバーへのガラス基板の搬入を行う。なお、プロセスチャンバーでは、高温環境下でガラス基板に対する処理が実行されることがあり、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバーでは、その内部温度が高くなっている。
特開２０１５－８０８２８号公報 特開２０１５－１３９８５４号公報
　本願発明者は、特許文献２に記載の産業用ロボットのように真空中でガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットとして、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームに対して直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有する産業用ロボットの採用を検討している。
　特許文献１に記載の産業用ロボットによって、高温環境下でガラス基板の処理が実行されるプロセスチャンバー（すなわち、高温になっているプロセスチャンバー）に対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合、アームが高温のプロセスチャンバーに近づいて、アームに固定される第１～第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇する。特許文献１に記載の産業用ロボットでは、たとえば、アームがアルミニウム合金で形成されるとともに、第１～第３ガイドレールがステンレス鋼で形成されており、アームと第１～第３ガイドレールの線膨張係数とが異なる。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、高温のプロセスチャンバーに近づいた第１～第３ガイドレールおよびアームの温度が上昇して、第１～第３ガイドレールおよびアームが伸びると、前後方向に直交する方向（すなわち、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向に直交する方向）へアームが変形するおそれがある。
　そこで、本発明の課題は、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
　上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材と第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームと、アームに対して第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、アームに対して第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、第１ガイド機構は、アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、第１ハンド支持部材に固定されるとともに第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、第２ガイド機構は、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、第２ハンド支持部材に固定されるとともに第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、アームフレームは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されていることを特徴とする。
　本発明の産業用ロボットでは、第１ガイドレールと第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇しても、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールとは、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている。
　すなわち、本発明では、前後方向から見たときにアームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレームに固定されている第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの温度が上昇すると、前後方向へ同じように伸縮する。また、本発明では、アームフレームが、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、アームフレームの温度が上昇しても、アームフレームは、上下左右方向へは変形しにくい。
　したがって、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合に、線膨張係数が異なる第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇しても、アームのフレームであるアームフレームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本発明では、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
　本発明において、産業用ロボットは、たとえば、アームが回動可能に連結される本体部を備え、アームの中心が本体部に連結されている。この場合には、特許文献１に記載の産業用ロボットのようにアームの下面にガイドレールを固定する必要がなくなる。また、本発明において、たとえば、アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されている。
　本発明において、たとえば、アームフレームは、アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、右側板部は、右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部は、左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、上側板部は、上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部は、下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、第１ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、第２ガイドレールは、右側板部および左側板部に固定され、前後方向から見たときに、右側板部と左側板部とは、左右方向におけるアームフレームの中心に対して左右対称に配置され、上側板部と下側板部とは、上下方向におけるアームフレームの中心に対して上下対称に配置され、右側板部に固定される第１ガイドレールと左側板部に固定される第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、右側板部に固定される第２ガイドレールと左側板部に固定される第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されている。
　本発明において、たとえば、第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第１ガイドレールを備え、第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の第２ガイドレールを備えている。
　本発明において、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによってアームフレームに固定され、第１ガイドレールおよび第２ガイドレールには、ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、アームフレームには、ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、複数の配置穴のうちの少なくとも１個の配置穴の、前後方向の幅は、ボルトの外径よりも広くなっており、前後方向の幅がボルトの外径よりも広くなっている配置穴を第１配置穴とすると、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１配置穴の側面とボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることが好ましい。
　このように構成すると、第１、第２ガイドレールの線膨張係数とアームフレームの線膨張係数とが異なっていても、第１、第２ガイドレールおよびアームフレームの温度が上昇して第１、第２ガイドレールおよびアームフレームが前後方向へ伸縮したときの第１配置穴の側面とボルトとの接触を防止することが可能になる。したがって、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームフレームの上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。
　本発明において、たとえば、配置穴は、ボルトの軸部の一部が配置される軸部配置穴と、ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、第１配置穴の軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、第１配置穴の頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、前後方向における第１軸部配置穴の幅は、ボルトの軸部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１頭部配置穴の幅は、ボルトの頭部の外径よりも広くなっており、前後方向における第１ガイドレールおよび第２ガイドレールの長さは、アームの周囲温度が変動して第１ガイドレール、第２ガイドレールおよびアームフレームが伸縮しても、前後方向における第１軸部配置穴の側面とボルトの軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における第１頭部配置穴の側面とボルトの頭部との間に隙間が形成される長さに設定されている。
　以上のように、本発明では、アームに対して前後方向へ直線的に往復移動する第１ハンドおよび第２ハンドを有するとともに真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、たとえば、高温になっているプロセスチャンバーに対する搬送対象物の搬入や搬出を行う場合であっても、熱の影響によるアームの上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図１に示す産業用ロボットの側面図である。 図１に示す産業用ロボットの背面図である。 （Ａ）は、図１に示すアームの内部構造を説明するための平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＥ－Ｅ方向からアームの内部構造を説明するための図である。 （Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。 （Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。 （Ａ）は、図４（Ａ）のＫ－Ｋ方向からアームの内部構造を説明するための図であり、（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ－Ｌ方向からアームの内部構造を説明するための図である。 図４（Ｂ）のＮ－Ｎ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。 図４（Ｂ）のＱ－Ｑ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。 （Ａ）は、図８のＰ－Ｐ断面の断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＲ部の拡大図である。 本発明の他の実施の形態にかかるアームの内部構造を説明するための図である。 図１１（Ａ）のＷ－Ｗ方向から第１ハンド支持部材、第２ハンド支持部材、アーム、第１駆動機構および第２駆動機構の構成を説明するための断面図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
　（産業用ロボットの概略構成）
　図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。
　本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を真空中で搬送するロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイ装置の製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムは、中心に配置されるトランスファーチャンバー３（以下、「チャンバー３」とする。）と、チャンバー３を囲むように配置される複数のプロセスチャンバー４（以下、「チャンバー４」とする。）とを備えている（図１参照）。
　チャンバー３、４の内部は、真空になっている。すなわち、チャンバー３、４は、真空チャンバーである。チャンバー３の内部には、ロボット１の一部が配置されている。ロボット１は、チャンバー４への基板２の搬入とチャンバー４からの基板２の搬出とを行う。チャンバー４の内部には、各種の装置等が配置されており、チャンバー４の内部では、基板２に対して各種の処理が行われる。本形態のチャンバー４では、高温環境下で基板２に対する処理が実行される。そのため、チャンバー４の内部温度は高くなっている。
　ロボット１は、基板２が搭載される第１ハンドとしてのハンド５と、基板２が搭載される第２ハンドとしてのハンド６と、ハンド５が固定される第１ハンド支持部材としてのハンド支持部材７と、ハンド６が固定される第２ハンド支持部材としてのハンド支持部材８と、ハンド支持部材７、８を保持するアーム９と、アーム９が回動可能に連結される本体部１０とを備えている。
　本体部１０は、アーム９の中心部が固定される円柱状の昇降部材１２（図２参照）と、昇降部材１２を昇降させる昇降機構と、昇降部材１２を回動させる回動機構と、これらの構成が収容されるケース体１３とを備えている。ケース体１３は、略有底円筒状に形成されている。ケース体１３の上端には、円板状に形成されたフランジ１４が固定されている。フランジ１４には、昇降部材１２の上端側部分が配置される貫通孔が形成されている。
　ハンド５、６およびアーム９は、本体部１０の上側に配置されている。上述のように、ロボット１の一部は、チャンバー３の内部に配置されている。具体的には、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分がチャンバー３の内部に配置されている。すなわち、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中に配置されており、ハンド５、６およびアーム９は、真空チャンバー内（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、フランジ１４の下端面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。
　アーム９は、ハンド支持部材７とハンド支持部材８とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにハンド支持部材７、８を保持している。ロボット１は、アーム９に対してハンド支持部材７を往復移動させる第１駆動機構としての駆動機構１７と、アーム９に対してハンド支持部材８を往復移動させる第２駆動機構としての駆動機構１８とを備えている（図４参照）。
　以下、ハンド５、６、ハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の具体的な構成を説明する。なお、以下の説明では、アーム９に対するハンド支持部材７、８の移動方向である図１等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。また、前後方向のうちのＸ１方向側を「前」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「後ろ」側とする。
　（ハンド、ハンド支持部材、アームおよび駆動機構の構成）
　図４（Ａ）は、図１に示すアーム９の内部構造を説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＥ－Ｅ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図４（Ａ）のＦ部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＧ部の拡大図である。図６（Ａ）は、図４（Ａ）のＨ部の拡大図であり、図６（Ｂ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＫ－Ｋ方向からアーム９の内部構造を説明するための図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ａ）のＬ－Ｌ方向からアーム９の内部構造を説明するための図である。図８は、図４（Ｂ）のＮ－Ｎ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。図９は、図４（Ｂ）のＱ－Ｑ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。
　ハンド５は、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２１とを備えている。ハンド６は、ハンド５と同様に、基板２が搭載される複数のフォーク２０と、複数のフォーク２０の基端部（後端部）が固定されるハンド基部２２とを備えている。本形態のハンド５、６は、６本のフォーク２０を備えている。フォーク２０は、前後方向に細長い直線状に形成されている。ハンド基部２１、２２は、左右方向に細長い略長方形状の平板状に形成されている。ハンド基部２１の長さ（左右方向の長さ）は、ハンド基部２２の長さ（左右方向の長さ）よりも長くなっている。
　ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、上下方向で互いに重なるように配置されている。本形態では、前後方向から見たときに、ハンド５が上側に配置され、ハンド６が下側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド基部２１が上側に配置され、ハンド基部２２が下側に配置されている。また、図３に示すように、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド基部２１の中心とハンド基部２２の中心とが左右方向において一致するように配置されている。すなわち、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに、ハンド５の中心とハンド６の中心とが左右方向において一致するように配置されている。
　アーム９は、ハンド６の下側に配置されている。このアーム９は、前後方向に細長い略直方体状に形成されている。また、アーム９は、中空状に形成されている。アーム９の左右方向の幅は、ハンド５、６の左右方向の幅よりも狭くなっている。アーム９は、前後方向から見たときに、ハンド５、６の中心とアーム９の中心とが左右方向において一致するように配置されている。アーム９は、アーム９のフレームであるアームフレーム２３と、アーム９の上下、左右および前後の側面を構成するカバー部材２４と、アーム９の中心部に配置される箱状のモータ収容部材２５と、モータ収容部材２５の上面に固定される上面カバー２６とを備えている。なお、図４～図９では、カバー部材２４の図示を省略している。
　アームフレーム２３は、アルミニウム合金で形成されている。また、アームフレーム２３は、前後方向におけるアーム９の全域でアーム９のフレームを構成している。このアームフレーム２３は、アームフレーム２３の右側面を構成する右側板部２３ａと、アームフレーム２３の左側面を構成する左側板部２３ｂと、アームフレーム２３の上側面を構成する上側板部２３ｃと、アームフレーム２３の下側面を構成する下側板部２３ｄとを備えている。
　右側板部２３ａ、左側板部２３ｂ、上側板部２３ｃおよび下側板部２３ｄは、平板状に形成されている。右側板部２３ａは、右側板部２３ａの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、左側板部２３ｂは、左側板部２３ｂの厚さ方向と左右方向とが一致するように配置されている。上側板部２３ｃは、上側板部２３ｃの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、下側板部２３ｄは、下側板部２３ｄの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。
　右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。右側板部２３ａの上端面と左側板部２３ｂの上端面とは、同じ高さで配置されている。また、右側板部２３ａの下端面と左側板部２３ｂの下端面とは、同じ高さで配置されている。上側板部２３ｃは、右側板部２３ａの上端および左側板部２３ｂの上端にネジによって固定されている。下側板部２３ｄは、右側板部２３ａの下端および左側板部２３ｂの下端にネジによって固定されている。
　上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面は、右側板部２３ａよりも右側に配置され、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面は、左側板部２３ｂよりも左側に配置されている。また、上側板部２３ｃの右端面と下側板部２３ｄの右端面とは、左右方向において同じ位置に配置され、上側板部２３ｃの左端面と下側板部２３ｄの左端面とは、左右方向において同じ位置に配置されている。さらに、前後方向から見たときに、上側板部２３ｃの右端面および下側板部２３ｄの右端面と、右側板部２３ａの右面との左右方向の距離と、上側板部２３ｃの左端面および下側板部２３ｄの左端面と、左側板部２３ｂの左面との左右方向の距離とは、等しくなっている。
　このように、前後方向から見たときに、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとは、左右方向におけるアームフレーム２３の中心に対して左右対称に配置され、上側板部２３ｃと下側板部２３ｄとは、上下方向におけるアームフレーム２３の中心に対して上下対称に配置されている。すなわち、アームフレーム２３は、図８、図９に示すように、前後方向から見たときに、上下左右方向で略対称となるように形成されている。
　モータ収容部材２５は、上面側が開口する略直方体の箱状に形成されている。また、モータ収容部材２５は、前後方向に細長い略直方体の箱状に形成されている。モータ収容部材２５には、駆動機構１７を構成する後述のモータ３７と、駆動機構１８を構成する後述のモータ３８とが収容されている。モータ収容部材２５は、アームフレーム２３の中心部分に固定されている。すなわち、モータ収容部材２５は、アーム９の中心部分に配置されている。モータ収容部材２５の底面の中心は、昇降部材１２の上端に固定されている。すなわち、アーム９の中心は、本体部１０に回動可能に連結されている。なお、モータ収容部材２５の、下端部以外の大半部分は、左右方向において、右側板部２３ａと左側板部２３ｂとの間に配置されている（図５（Ａ）、図９参照）。
　上面カバー２６は、長方形の平板状に形成されている。上面カバー２６は、モータ収容部材２５の上面側に形成される開口部を塞ぐようにモータ収容部材２５の上面に固定されている。アーム９の中心部分の内部には、モータ収容部材２５と上面カバー２６とによって画定される内部空間Ｓが形成されている。モータ収容部材２５の底面部の中心には、上下方向に貫通する貫通穴２５ａが形成されている。上述のように、昇降部材１２は、円筒状に形成されている。昇降部材１２は、貫通穴２５ａを囲むようにモータ収容部材２５の底面に固定されており、ケース体１３の内部と内部空間Ｓとが通じている。ケース体１３の内部および内部空間Ｓは、大気圧となっている。
　図８、図９に示すように、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材７を前後方向へ案内するためのガイドレール２９が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール２９が固定されている。また、右側板部２３ａの右面および左側板部２３ｂの左面には、ハンド支持部材８を前後方向へ案内するためのガイドレール３０が固定されている。すなわち、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに（具体的には、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに）ガイドレール３０が固定されている。ガイドレール２９、３０は、ガイドレール２９、３０の長手方向と前後方向とが一致するように、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。
　本形態では、前後方向で分割された複数のガイドレール２９が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている（図７参照）。同様に、前後方向で分割された複数のガイドレール３０が右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されている。また、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同じ金属材料で形成されている。また、ガイドレール２９、３０は、アームフレーム２３と線膨張係数の異なる金属材料で形成されている。本形態のガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼で形成されている。
　右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール２９と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール２９とは、上下方向において同じ位置に配置されている。同様に、右側板部２３ａの右面に固定されるガイドレール３０と、左側板部２３ｂの左面に固定されるガイドレール３０とは、上下方向において同じ位置に配置されている。また、ガイドレール３０は、ガイドレール２９の上側に配置されている。
　また、前後方向から見たときに、アームフレーム２３の中心とガイドレール２９との上下方向の距離と、アームフレーム２３の中心とガイドレール３０との上下方向の距離とは、等しくなっている。すなわち、図８、図９に示すように、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して（アームフレーム２３の中心に対して）上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
　ハンド支持部材７は、ガイドレール２９に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部７ａと、ハンド５のハンド基部２１が固定される２個のハンド固定部７ｂとから構成されている。同様に、ハンド支持部材８は、ガイドレール３０に沿って前後方向にスライドする２個のスライド部８ａと、ハンド６のハンド基部２２が固定される２個のハンド固定部８ｂとから構成されている。
　図８、図９に示すように、２個のスライド部７ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。２個のスライド部８ａのそれぞれは、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂの左右方向の外側に配置されている。また、２個のスライド部８ａは、２個のスライド部７ａの上側に配置されている。図３に示すように、右側に配置されるスライド部７ａ、８ａの右端部分は、カバー部材２４の右側面よりも右側へ突出し、左側に配置されるスライド部７ａ、８ａの左端部分は、カバー部材２４の左側面よりも左側へ突出している。
　２個のハンド固定部７ｂのうちの一方のハンド固定部７ｂは、右側に配置されるスライド部７ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の右端部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部７ｂは、左側に配置されるスライド部７ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部７ａに固定されており、このハンド固定部７ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２１の左端部分の下面が固定されている。
　２個のハンド固定部８ｂのうちの一方のハンド固定部８ｂは、右側に配置されるスライド部８ａの右端側から右斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも右寄りの部分の下面が固定されている。他方のハンド固定部８ｂは、左側に配置されるスライド部８ａの左端側から左斜め上側に向かって伸びるようにこのスライド部８ａに固定されており、このハンド固定部８ｂの上端には、図３に示すように、ハンド基部２２の、左右方向の中心よりも左寄りの部分の下面が固定されている。
　右側に配置されるスライド部７ａには、右側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定され、左側に配置されるスライド部７ａには、左側に配置されるガイドレール２９に係合するガイドブロック３１が固定されている。同様に、右側に配置されるスライド部８ａには、右側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定され、左側に配置されるスライド部８ａには、左側に配置されるガイドレール３０に係合するガイドブロック３２が固定されている。
　すなわち、ハンド支持部材７には、ガイドブロック３１が固定され、ハンド支持部材８には、ガイドブロック３２が固定されている。具体的には、２個のスライド部７ａのそれぞれに３個のガイドブロック３１が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ｂ）参照）。また、２個のスライド部８ａのそれぞれに３個のガイドブロック３２が前後方向に間隔をあけた状態で固定されている（図７（Ａ）参照）。
　本形態のガイドレール２９は第１ガイドレールであり、ガイドレール３０は第２ガイドレールであり、ガイドブロック３１は第１ガイドブロックであり、ガイドブロック３２は第２ガイドブロックである。また、本形態では、複数のガイドレール２９と６個のガイドブロック３１とによってハンド支持部材７を前後方向へ案内する第１ガイド機構としてのガイド機構３３が構成されている。また、複数のガイドレール３０と６個のガイドブロック３２とによってハンド支持部材８を前後方向へ案内する第２ガイド機構としてのガイド機構３４が構成されている。
　駆動機構１７、１８は、アーム９の内部に配置されている。駆動機構１７は、駆動源としてのモータ３７を備えている。駆動機構１８は、駆動源としてのモータ３８を備えている。モータ３７、３８は、内部空間Ｓに配置されている。すなわち、モータ３７、３８は、アーム９の中心部分の内部に配置されている。モータ３７、３８は、所定のブラケットを介して、モータ収容部材２５に固定されている。モータ３７とモータ３８とは、前後方向に間隔をあけた状態で配置されている。具体的には、モータ３７が後ろ側に配置され、モータ３８が前側に配置されている。
　モータ３７、３８は、モータ３７、３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。また、モータ３７、３８は、モータ３７の出力軸とモータ３８の出力軸とが反対方向に突出するように内部空間Ｓに配置されている。具体的には、モータ３７の出力軸が後ろ側に向かって突出し、モータ３８の出力軸が前側に向かって突出するように、モータ３７、３８が内部空間Ｓに配置されている。前後方向から見たときに、モータ３７の回転中心とモータ３８の回転中心とは一致している。また、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の回転中心とアーム９の中心とは略一致している。なお、モータ３７、３８には、冷却用のエア配管（図示省略）が巻き付けられている。
　また、駆動機構１７は、モータ３７の出力軸に連結される回転軸３９と、回転軸３９の先端部に固定される傘歯車４０と、傘歯車４０に噛み合う傘歯車４１と、傘歯車４１が固定される回転軸４２とを備えている。同様に、駆動機構１８は、モータ３８の出力軸に連結される回転軸４３と、回転軸４３の先端部に固定される傘歯車４４と、傘歯車４４に噛み合う傘歯車４５と、傘歯車４５が固定される回転軸４６とを備えている。
　さらに、駆動機構１７は、回転軸４２に固定される２個の駆動プーリ４８と、回転軸４６に回転可能に保持される２個の従動プーリ４９と、駆動プーリ４８と従動プーリ４９とに架け渡される２本のベルト５０とを備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４６に固定される２個の駆動プーリ５２と、回転軸４２に回転可能に保持される２個の従動プーリ５３と、駆動プーリ５２と従動プーリ５３とに架け渡される２本のベルト５４とを備えている。
　回転軸３９、４３は、ステンレス鋼で形成されている。回転軸３９は、回転軸３９の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３７の出力軸の先端（後端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。回転軸４３は、回転軸４３の軸方向と前後方向とが一致するように配置されており、モータ３８の出力軸の先端（前端）にカップリング５５を介して連結されている（図５参照）。傘歯車４０、４１、回転軸４２、駆動プーリ４８および従動プーリ５３は、アーム９の後端側の内部に配置されている。傘歯車４４、４５、回転軸４６、駆動プーリ５２および従動プーリ４９は、アーム９の前端側の内部に配置されている。
　また、駆動機構１７は、回転軸３９を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５６を備えている。同様に、駆動機構１８は、回転軸４３を回転可能に保持するとともに内部空間Ｓからの空気の流出を防ぐ磁性流体シール５７を備えている。図５に示すように、磁性流体シール５６は、モータ収容部材２５の後面を構成する後壁部２５ｂに固定されている。磁性流体シール５７は、モータ収容部材２５の前面を構成する前壁部２５ｃに固定されている。具体的には、磁性流体シール５６は、後壁部２５ｂを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で後壁部２５ｂに固定され、磁性流体シール５７は、前壁部２５ｃを前後方向で貫通する貫通穴の中に挿通された状態で前壁部２５ｃに固定されている。
　また、回転軸３９、４３は、アームフレーム２３に固定される複数の軸受５９に回転可能に支持されている。なお、本形態の回転軸３９は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５６に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４０が固定されている。一方の短軸と長軸の前端とは、磁性流体シール５６の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の後端とは、最も後ろ側の軸受５９の前側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ｂ）参照）。
　同様に、本形態の回転軸４３は、長さの短い２本の短軸と、長さの長い１本の長軸とによって形成されている。２本の短軸のうちの一方の短軸は、カップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されるとともに磁性流体シール５７に回転可能に保持されている。他方の短軸には、傘歯車４４が固定されている。一方の短軸と長軸の後端とは、磁性流体シール５７の前側に配置されるカップリング６０によって連結され（図５参照）、他方の短軸と長軸の前端とは、最も前側の軸受５９の後ろ側に配置されるカップリング６０によって連結されている（図６（Ａ）参照）。なお、回転軸３９、４３は、１本の長軸によって構成されていても良い。
　回転軸４２は、傘歯車４０の後ろ側に配置されている。回転軸４２は、回転軸４２の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４２に固定される駆動プーリ４８は、モータ３７の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４２に回転可能に保持される従動プーリ５３も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４１は、左右方向における回転軸４２の中心側に固定されている。
　回転軸４６は、傘歯車４４の前側に配置されている。回転軸４６は、回転軸４６の軸方向と左右方向とが一致するように配置されており、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。すなわち、回転軸４６に固定される駆動プーリ５２は、モータ３８の動力で左右方向を回転の軸方向として回転する。また、回転軸４６に回転可能に保持される従動プーリ４９も、左右方向を回転の軸方向として回転する。傘歯車４５は、左右方向における回転軸４６の中心側に固定されている。
　２個の駆動プーリ４８のそれぞれは、左右方向における回転軸４２の両端部のそれぞれに固定されている。従動プーリ５３は、傘歯車４１と駆動プーリ４８との間で回転軸４２に回転可能に保持されており、２個の従動プーリ５３は、２個の駆動プーリ４８よりも左右方向の内側に配置されている。２個の従動プーリ４９のそれぞれは、左右方向における回転軸４６の両端部のそれぞれに回転可能に保持されている。駆動プーリ５２は、傘歯車４５と従動プーリ４９との間で回転軸４６に固定されており、２個の駆動プーリ５２は、２個の従動プーリ４９よりも左右方向の内側に配置されている。
　ベルト５０は、ハンド支持部材７に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５０のそれぞれの一部が２個のスライド部７ａのそれぞれの上端部に固定されている。本形態のベルト５０は、有端ベルトであり、駆動プーリ４８および従動プーリ４９に架け渡されたベルト５０の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部７ａに固定されている（図７（Ｂ）参照）。なお、ベルト５０は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
　ベルト５４は、ハンド支持部材８に固定されている。具体的には、所定の取付部材およびボルトによって、２本のベルト５４のそれぞれの一部が２個のスライド部８ａのそれぞれの下端部に固定されている。ベルト５０と同様に、本形態のベルト５４は、有端ベルトであり、駆動プーリ５２および従動プーリ５３に架け渡されたベルト５４の両端部のそれぞれが取付部材およびボルトによってスライド部８ａに固定されている（図７（Ａ）参照）。なお、ベルト５４は、環状に形成された無端ベルトであっても良い。
　駆動プーリ４８、５２および従動プーリ４９、５３が上述のように配置されているため、前後方向から見たときに、２本のベルト５０のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置され、２本のベルト５４のそれぞれは、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれに配置されている。また、ベルト５４は、ベルト５０と左右方向で隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。すなわち、アーム９の内部の左右の両端側において、ベルト５４は、左右方向の内側でベルト５０と隣り合うように、かつ、ベルト５０と同じ高さで配置されている。
　（ガイドレールの固定構造）
　図１０（Ａ）は、図８のＰ－Ｐ断面の断面図であり、図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のＲ部の拡大図である。
　ガイドレール２９は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール２９には、複数のボルト６５のそれぞれの一部が配置される複数の配置穴２９ａが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。左側板部２３ｂには、ボルト６５の軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴２３ｆが前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。右側板部２３ａにも、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている。
　配置穴２９ａは、ガイドレール２９を左右方向で貫通する貫通穴である。この配置穴２９ａは、ボルト６５の軸部６５ａの一部が配置される軸部配置穴２９ｂと、ボルト６５の頭部６５ｂが配置される頭部配置穴２９ｃとから構成されている。軸部配置穴２９ｂおよび頭部配置穴２９ｃは、丸穴状に形成されている。軸部配置穴２９ｂの内径は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも大きくなっている。また、頭部配置穴２９ｃの内径は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも大きくなっている。
　すなわち、配置穴２９ａは、いわゆるバカ穴であり、前後方向における配置穴２９ａの幅は、ボルト６５の外径よりも広くなっている。具体的には、前後方向における軸部配置穴２９ｂの幅は、ボルト６５の軸部６５ａの外径よりも広くなっており、前後方向における頭部配置穴２９ｃの幅は、ボルト６５の頭部６５ｂの外径よりも広くなっている。本形態では、全ての配置穴２９ａが、前後方向の幅がボルト６５の外径よりも広くなった第１配置穴となっている。また、全ての軸部配置穴２９ｂは、第１軸部配置穴であり、全ての頭部配置穴２９ｃは、第１頭部配置穴である。
　前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。すなわち、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定されている。
　具体的には、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における軸部配置穴２９ｂの側面とボルト６５の軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、前後方向における頭部配置穴２９ｃの側面とボルト６５の頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。なお、頭部配置穴２９ｃの内径と頭部６５ｂの外径との差は、軸部配置穴２９ｂの内径と軸部６５ａの外径との差よりも大きくなっている。
　ガイドレール２９と同様に、ガイドレール３０は、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルト６５によってアームフレーム２３の右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂに固定されている。ガイドレール３０には、配置穴２９ａと同形状の配置穴が形成されている。すなわち、ガイドレール３０には、ガイドレール３０を左右方向で貫通するとともに、軸部配置穴と頭部配置穴とから構成される配置穴が形成されている。左側板部２３ｂおよび右側面部２３ａには、軸部６５ａに形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成されている
　ガイドレール２９と同様に、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。具体的には、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の軸部配置穴の前後方向の側面と軸部６５ａとの間に隙間が形成され、かつ、ガイドレール３０の頭部配置穴の前後方向の側面と頭部６５ｂとの間に隙間が形成される長さに設定されている。
　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、ガイドレール２９とガイドレール３０とは、同形状に形成されるとともに同じ金属材料で形成されている。そのため、本形態では、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、ガイドレール２９、３０の温度が上昇しても、ガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
　すなわち、本形態では、ガイドレール２９、３０の温度が上昇すると、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されているガイドレール２９とガイドレール３０とが前後方向へ同じように伸縮する。また、本形態では、アームフレーム２３が、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されているため、高温になっているチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出を行う場合に、アームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３は、上下左右方向へは変形しにくい。
　したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合に、線膨張係数が異なるガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇しても、アームフレーム２３の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアーム９の上下左右方向への変形を抑制することが可能になる。
　本形態では、前後方向におけるガイドレール２９の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール２９およびアームフレーム２３が伸縮しても、前後方向における配置穴２９ａの側面とボルト６５とが接触しない長さに設定され、前後方向におけるガイドレール３０の長さは、アーム９の周囲温度が変動してガイドレール３０およびアームフレーム２３が伸縮しても、ガイドレール３０の配置穴の前後方向の側面とボルト６５との間に隙間が形成される長さに設定されている。
　そのため、本形態では、ガイドレール２９、３０の線膨張係数とアームフレーム２３の線膨張係数とが異なっていても、ガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３の温度が上昇してガイドレール２９、３０およびアームフレーム２３が前後方向へ伸縮したときの、配置穴２９ａの側面とボルト６５との接触、および、ガイドレール３０の配置穴の側面とボルト６５との接触を防止することが可能になる。したがって、本形態では、高温のチャンバー４に対する基板２の搬入や搬出をロボット１が行う場合であっても、熱の影響によるアームフレーム２３の上下左右方向への変形を効果的に抑制することが可能になる。
　なお、本形態では、回転軸３９がカップリング５５を介してモータ３７の出力軸に連結され、回転軸４３がカップリング５５を介してモータ３８の出力軸に連結されている。また、回転軸３９、４３では、２本の短軸と１本の長軸とがカップリング６０によって連結されている。そのため、本形態では、ステンレス製の回転軸３９、４３の、熱の影響による前後方向の伸縮量と、アルミニウム合金製のアームフレーム２３の、熱の影響による前後方向の伸縮量との差は、カップリング５５、６０で吸収される。
　（駆動機構の配置の変形例）
　図１１は、本発明の他の実施の形態にかかるアーム９の内部構造を説明するための図である。図１２は、図１１（Ａ）のＷ－Ｗ方向からハンド支持部材７、８、アーム９および駆動機構１７、１８の構成を説明するための断面図である。
　上述した形態において、図１１（Ａ）、図１２に示すように、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。具体的には、前後方向から見たときに、モータ３７、３８の左右の両側のそれぞれにおいて、ベルト５０とベルト５４とが上下方向で重なるように配置されていても良い。この場合であっても、図１２に示すように、アームフレーム２３は、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成されている。また、アームフレーム２３の左右方向の両側面のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。なお、図１１、図１２では、上述した形態と同様の構成については同一の符号を付している。
　また、この変形例では、図１１（Ｂ）に示すように、たとえば、モータ３７は、アーム９の後端部の内部に配置され、モータ３８は、アーム９の前端部の内部に配置されている。ただし、この変形例において、モータ３７、３８は、上述した形態と同様に、アーム９の中心部分の内部に配置されていても良い。また、この変形例では、モータ３８は、モータ３７よりも上側に配置されている。また、モータ３７とモータ３８とは、左右方向において同じ位置に配置されている。
　また、この変形例では、駆動プーリ５２が固定される回転軸４６とは別に、従動プーリ４９が回転可能に保持される固定軸６７が設けられている（図１２参照）。同様に、駆動プーリ４８が固定される回転軸４２とは別に、従動プーリ５３が回転可能に保持される固定軸が設けられている。従動プーリ４９は、駆動プーリ５２の真下に配置され、従動プーリ５３は、駆動プーリ４８の真上に配置されている。
　（他の実施の形態）
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
　上述した形態において、ハンド支持部材７にハンド６が固定され、ハンド支持部材８にハンド５が固定されていても良い。この場合には、ハンド支持部材８は、第１ハンド支持部材となり、ハンド支持部材７は、第２ハンド支持部材となり、ガイド機構３４は、第１ガイド機構となり、ガイド機構３３は、第２ガイド機構となる。また、ガイドレール３０は、第１ガイドレールとなり、ガイドレール２９は、第２ガイドレールとなる。
　上述した形態において、下側板部２３ｄの上面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール２９が固定され、上側板部２３ｃの下面の左右方向の両端側のそれぞれにガイドレール３０が固定されていても良い。この場合であっても、アームフレーム２３の左右方向の両端側のそれぞれに固定されるガイドレール２９とガイドレール３０とは、前後方向から見たときにアームフレーム２３に対して上下左右方向で対称となる位置でアームフレーム２３に固定されている。
　上述した形態において、ガイドレール２９は、前後方向で分割されていなくても良い。すなわち、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール２９が固定されていても良い。同様に、右側板部２３ａおよび左側板部２３ｂのそれぞれに１本のガイドレール３０が固定されていても良い。また、上述した形態において、アームフレーム２３は、アルミニウム合金以外の金属材料で形成されていても良いし、ガイドレール２９、３０は、ステンレス鋼以外の金属材料で形成されていても良い。
　上述した形態において、ガイドレール２９に形成される複数の配置穴２９ａの中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。すなわち、軸部配置穴２９ｂの内径がボルト６５の軸部６５ａの外径と略等しくなり、かつ、頭部配置穴２９ｃの内径がボルト６５の頭部６５ｂの外径と略等しくなっている配置穴２９ａがあっても良い。同様に、上述した形態において、ガイドレール３０に形成される複数の配置穴の中に、内径がボルト６５の外径と略等しくなっている配置穴があっても良い。
　上述した形態では、ベルト５０、５４を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させているが、上述の特許文献１に記載された産業用ロボットのように、ネジ部材を用いてハンド支持部材７、８を前後方向に移動させても良い。また、上述した形態において、アーム９の内部の全体が大気圧となっていても良い。また、アーム９の内部の全体が真空となっていても良い。すなわち、モータ３７、３８は、真空中に配置されていても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、たとえば、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、ガラス基板２以外の搬送対象物であっても良い。
　１　ロボット（産業用ロボット）
　２　基板（ガラス基板、搬送対象物）
　５　ハンド（第１ハンド）
　６　ハンド（第２ハンド）
　７　ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
　８　ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
　９　アーム
　１０　本体部
　１７　駆動機構（第１駆動機構）
　１８　駆動機構（第２駆動機構）
　２３　アームフレーム
　２３ａ　右側板部
　２３ｂ　左側板部
　２３ｃ　上側板部
　２３ｄ　下側板部
　２３ｆ　ネジ穴
　２９　ガイドレール（第１ガイドレール）
　２９ａ　配置穴（第１配置穴）
　２９ｂ　軸部配置穴（第１軸部配置穴）
　２９ｃ　頭部配置穴（第１頭部配置穴）
　３０　ガイドレール（第２ガイドレール）
　３１　ガイドブロック（第１ガイドブロック）
　３２　ガイドブロック（第２ガイドブロック）
　３３　ガイド機構（第１ガイド機構）
　３４　ガイド機構（第２ガイド機構）
　６５　ボルト
　６５ａ　軸部
　６５ｂ　頭部
　Ｘ　前後方向
　Ｙ　左右方向

Claims (8)

  1. 　真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
    　前記搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第１ハンド支持部材と前記第２ハンド支持部材とが水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材を保持するアームと、前記アームに対して前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１駆動機構と、前記アームに対して前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２駆動機構とを備えるとともに、
    　前記アームに対する前記第１ハンド支持部材および前記第２ハンド支持部材の移動方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
    　前記第１ハンド支持部材を前後方向へ案内する第１ガイド機構と、前記第２ハンド支持部材を前後方向へ案内する第２ガイド機構とを備え、
    　前記第１ガイド機構は、前記アームのフレームであるアームフレームの左右方向の両端側のそれぞれに固定される第１ガイドレールと、前記第１ハンド支持部材に固定されるとともに前記第１ガイドレールに係合する第１ガイドブロックとを備え、
    　前記第２ガイド機構は、前記アームフレームの左右方向の両端側のそれぞれにかつ前記第１ガイドレールの上側または下側に固定される第２ガイドレールと、前記第２ハンド支持部材に固定されるとともに前記第２ガイドレールに係合する第２ガイドブロックとを備え、
    　前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、同形状に形成されるとともに、同じ金属材料で形成され、
    　前記アームフレームは、前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールと線膨張係数の異なる金属材料で形成されるとともに、前後方向から見たときに上下左右方向で略対称となるように形成され、
    　前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールとは、前後方向から見たときに前記アームフレームに対して上下左右方向で対称となる位置で前記アームフレームに固定されていることを特徴とする産業用ロボット。
  2. 　前記アームが回動可能に連結される本体部を備え、
    　前記アームの中心が前記本体部に連結されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
  3. 　前記アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、
    　前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
  4. 　前記アームフレームは、アルミニウム合金で形成され、
    　前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、ステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
  5. 　前記アームフレームは、前記アームフレームの左右の側面を構成する平板状の右側板部および左側板部と、前記アームフレームの上下の側面を構成する平板状の上側板部および下側板部とを備え、
    　前記右側板部は、前記右側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
    　前記左側板部は、前記左側板部の厚さ方向と左右方向とが一致するように配置され、
    　前記上側板部は、前記上側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
    　前記下側板部は、前記下側板部の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置され、
    　前記第１ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
    　前記第２ガイドレールは、前記右側板部および前記左側板部に固定され、
    　前後方向から見たときに、前記右側板部と前記左側板部とは、左右方向における前記アームフレームの中心に対して左右対称に配置され、前記上側板部と前記下側板部とは、上下方向における前記アームフレームの中心に対して上下対称に配置され、
    　前記右側板部に固定される前記第１ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第１ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置され、
    　前記右側板部に固定される前記第２ガイドレールと前記左側板部に固定される前記第２ガイドレールとは、上下方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
  6. 　前記第１ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第１ガイドレールを備え、
    　前記第２ガイド機構は、前後方向で分割された複数の前記第２ガイドレールを備えることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
  7. 　前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールは、前後方向において間隔をあけた状態で配置される複数のボルトによって前記アームフレームに固定され、
    　前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールには、前記ボルトの一部が配置される複数の配置穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
    　前記アームフレームには、前記ボルトの軸部に形成されたオネジがねじ込まれる複数のネジ穴が前後方向において間隔をあけた状態で形成され、
    　複数の前記配置穴のうちの少なくとも１個の前記配置穴の、前後方向の幅は、前記ボルトの外径よりも広くなっており、
    　前後方向の幅が前記ボルトの外径よりも広くなっている前記配置穴を第１配置穴とすると、
    　前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１配置穴の側面と前記ボルトとの間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項６記載の産業用ロボット。
  8. 　前記配置穴は、前記ボルトの前記軸部の一部が配置される軸部配置穴と、前記ボルトの頭部が配置される頭部配置穴とから構成され、
    　前記第１配置穴の前記軸部配置穴を第１軸部配置穴とし、前記第１配置穴の前記頭部配置穴を第１頭部配置穴とすると、
    　前後方向における前記第１軸部配置穴の幅は、前記ボルトの前記軸部の外径よりも広くなっており、
    　前後方向における前記第１頭部配置穴の幅は、前記ボルトの前記頭部の外径よりも広くなっており、
    　前後方向における前記第１ガイドレールおよび前記第２ガイドレールの長さは、前記アームの周囲温度が変動して前記第１ガイドレール、前記第２ガイドレールおよび前記アームフレームが伸縮しても、前後方向における前記第１軸部配置穴の側面と前記ボルトの前記軸部との間に隙間が形成され、かつ、前後方向における前記第１頭部配置穴の側面と前記ボルトの前記頭部との間に隙間が形成される長さに設定されていることを特徴とする請求項７記載の産業用ロボット。
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