WO2019017191A1 - 電解加工方法、孔あき部材の製造方法、加工用電極、及び、電解加工システム - Google Patents

電解加工方法、孔あき部材の製造方法、加工用電極、及び、電解加工システム Download PDF

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processing electrode
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航太 松本
昌子 井戸田
拓郎 橋本
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    • F05D2230/10—Manufacture by removing material
    • F05D2230/11—Manufacture by removing material by electrochemical methods

Definitions

  • the present disclosure relates to an electrolytic processing method for forming a curved processed hole in a workpiece by electrolytic processing, a method for producing a perforated member for forming a processed hole by the method, a processing electrode used for electrolytic processing, and
  • the present invention relates to an electrolytic processing system provided with a processing electrode.
  • drilling of difficult-to-machine materials is performed by electrolytic processing or electric discharge processing.
  • an electrolytic processing method may be used. For example, in a gas turbine blade of a gas turbine, a cooling hole for flowing a cooling medium to cool the gas turbine blade is formed. In order to increase the cooling efficiency of the cooling holes, it may be desirable to curve the shape of the cooling holes along the geometry of the gas turbine blade.
  • the electrode of the electrolytic processing tool disclosed in Patent Document 1 has flexibility and has a fluid lead-out portion that leads the electrolyte solution radially outward on the side surface of the main body.
  • the electrode can be formed in a curved hole with a desired curvature by changing the direction of movement of the electrode by bending the electrode to the side opposite to the direction of extraction using reaction when drawing out the electrolyte solution from the fluid outlet. It has become.
  • Patent No. 5955207 gazette
  • an object of at least one embodiment of the present invention is an electrolytic processing method capable of easily forming a curved hole while avoiding complication of the structure of an electrode, and a method of manufacturing a perforated member , A processing electrode, and an electrolytic processing system.
  • An electrolytic processing method for forming a curved processing hole in a workpiece by electrolytic processing, Flowing an electrolyte through the internal flow passage of the processing electrode, and spouting the electrolytic solution from the outlet opening of the internal flow passage provided on the tip end face of the processing electrode; Applying a potential difference between the processing electrode and the workpiece while ejecting the electrolytic solution from the outlet opening of the processing electrode; Forming the curved hole in the workpiece.
  • a curved shape is obtained by decentering at least one of the current density distribution on the electrode tip surface or the flow velocity distribution of the electrolyte with respect to the axial center of the tip surface of the processing electrode. It became clear that it could form the processing hole of.
  • the method (1) is based on the findings of the inventors of the present invention, and the curved processing holes are directed toward the above-described eccentric direction without providing, for example, a fluid lead-out portion in the processing electrode. To bend.
  • the processing electrode is urged to bend the tip end in the direction in which the liquid pressure of the above-described electrolyte decreases by the liquid pressure of the electrolyte flowing around, so that the workpiece is processed in the above-described eccentric direction. To go. Therefore, according to the above-described method, it is possible to easily form the curved hole while avoiding complication of the configuration of the electrode.
  • centroid of the region of the tip surface excluding the outlet opening is eccentric to the axis of the tip surface
  • the machined hole is formed by bending in the direction of displacement of the center of the area with respect to the axis.
  • the center of the area It is possible to form the machined hole by bending in the direction in which it deviates.
  • the internal flow passage is electrically conductive on the tip end surface even when the center of the area excluding the outlet opening is not eccentric to the axial center
  • the elastic member By partially occluding the elastic member, current flows through the conductive member, so that the center of gravity of the region can be eccentric with respect to the axial center.
  • the processing hole is bent in the direction where the center of the area is shifted. It can be formed.
  • the centroid of the outlet opening is eccentric to the axis of the tip surface,
  • the machined hole is bent and formed in a direction in which the center of the outlet opening deviates from the axis.
  • the flow velocity distribution of the electrolyte solution ejected from the outlet opening can be decentered in the direction in which the centroid of the outlet opening is offset with respect to the axial center. It is possible to form the machined hole by bending in the direction in which it deviates.
  • the internal flow passage is divided into a plurality of parts by partition parts, and at least one of the plurality of divided internal flow paths is closed.
  • the axis of the tip surface of the processing electrode can be reduced It is possible to easily make the distribution of the current density on the tip end surface and the flow velocity distribution of the electrolyte solution ejected from the outlet opening eccentric to the bending hole downstream side of the processing hole.
  • the center of the internal flow path is eccentric with respect to the axial center of the processing electrode.
  • the center of the internal flow path is eccentric to the axis of the processing electrode in the cross section orthogonal to the axial direction of the processing electrode, so The flow velocity distribution is decentered in the direction in which the center of the internal flow path is offset with respect to the axis of the processing electrode. Therefore, it is possible to bend and form the processing hole in the direction in which the center of the internal flow path is shifted.
  • At the tip of the processing electrode at least a part in the circumferential direction is formed with a tapered surface whose outer dimension decreases toward the tip.
  • the electrolytic solution flowing in the vicinity of the portion where the tapered surface is formed can easily flow between the outer periphery of the electrical insulating layer and the inner surface of the processing hole. It is possible to prevent the decrease in efficiency.
  • the electrolyte contains nitric acid or sodium nitrate.
  • the electrolytic solution contains nitric acid or sodium nitrate having a large electrolytic processing ability, so that the electrolytic processing can be made more efficient.
  • a method of manufacturing a perforated member according to at least one embodiment of the present invention Forming the machined hole in the workpiece by the method described in (1) to (9) above to manufacture a perforated member.
  • the method of the above (10) by the above-mentioned method, it is possible to easily form the processing hole while avoiding complication of the configuration of the electrode, so the perforated member having the processing hole is easily manufactured. can do.
  • the perforated member is a gas turbine blade having a curved cooling hole as the processing hole.
  • the curved shape of the processing hole (cooling hole) can be curved along the geometry of the gas turbine blade.
  • a processing electrode is A processing electrode for forming a curved processing hole in a workpiece by electrolytic processing, An internal flow passage configured to be capable of circulating an electrolytic solution along the axial direction of the processing electrode; And a tip end surface on which an outlet opening of the internal flow passage for discharging the electrolyte solution is formed; The centroid of the area of the tip surface excluding the outlet opening, or at least one of the centroids of the outlet opening is eccentric to the axis of the tip surface.
  • the configuration of the above (12) is based on the findings of the inventors of the present invention, and the processing electrode is, for example, processed into a curved shape that curves toward the above-described eccentric direction even without providing a fluid outlet or the like. Holes can be formed. Therefore, according to the above structure, it is possible to easily form the curved hole while avoiding complication of the configuration of the electrode.
  • An electrolytic processing system according to at least one embodiment of the present invention, The processing electrode according to (12) above, The processing hole can be formed in the workpiece by electrolytic processing using the processing electrode.
  • the processing electrode described in the above (12) can form a curved processing hole that curves in the above-described eccentric direction even without providing a fluid lead-out portion or the like. Therefore, according to the structure of said (13), formation of a bent hole can be performed easily, avoiding complication of the structure of an electrode.
  • the system further includes an electrolytic solution supply adjusting device configured to be able to adjust the supply of the electrolytic solution to each of the plurality of internal flow paths formed in one of the processing electrodes.
  • an electrolytic solution supply adjusting device configured to be able to adjust the supply of the electrolytic solution to each of the plurality of internal flow paths formed in one of the processing electrodes.
  • an electrolytic processing method capable of easily forming a curved hole while avoiding complication of the configuration of the electrode, a method of manufacturing a perforated member, a processing electrode, An electrolytic processing system is provided.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1 and showing a configuration of a tip end surface of a processing electrode according to an embodiment. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode shown in FIG. FIG.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1 and showing a configuration of a tip end surface of a processing electrode according to an embodiment. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode shown in FIG. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode in which the taper surface was formed in the front-end
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1 and showing a configuration of a tip end surface of a processing electrode according to an embodiment. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode shown in FIG. FIG.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1 and showing a configuration of a tip end surface of a processing electrode according to an embodiment. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode shown in FIG.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1 and showing a configuration of a tip end surface of a processing electrode according to an embodiment. It is a figure which shows a mode that a process hole is formed using the processing electrode shown in FIG.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG. 1 and a cross-sectional view of a processing electrode according to an embodiment.
  • expressions that indicate that things such as “identical”, “equal” and “homogeneous” are equal states not only represent strictly equal states, but also have tolerances or differences with which the same function can be obtained. It also represents the existing state.
  • expressions representing shapes such as quadrilateral shapes and cylindrical shapes not only represent shapes such as rectangular shapes and cylindrical shapes in a geometrically strict sense, but also uneven portions and chamfers within the range where the same effect can be obtained. The shape including a part etc. shall also be expressed.
  • the expressions “comprising”, “having”, “having”, “including” or “having” one component are not exclusive expressions excluding the presence of other components.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a processing electrode according to an embodiment of the present invention together with a workpiece.
  • FIG. 2 is a flowchart for explaining the electrolytic processing method according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a view for explaining an electrolytic processing method according to an embodiment, and is a schematic view showing an example of the electrolytic processing system.
  • the electrolytic processing method 1 and the method of manufacturing the perforated member shown in FIG. 2 will be described together with the explanation of the processing electrode 3 and the electrolytic processing system 2 shown in FIGS.
  • the electrolytic processing method 1 which concerns on some embodiment is an electrolytic processing method which forms the processing hole 5a of curve
  • the electrolytic processing method 1 as shown in FIG.
  • the electrolytic solution W is caused to flow through the internal flow path 3 b of the processing electrode 3, and the outlet of the internal flow path 3 b provided on the tip surface 3 c of the processing electrode 3
  • step S101 described above the electrolytic solution W is supplied to the internal flow passage 3b of the processing electrode 3 by the electrolytic solution supply device 7 shown in FIG. 3, and the electrolytic solution W is supplied to the internal flow passage 3b of the processing electrode 3
  • the solution W is made to flow, and the electrolytic solution W is ejected from the outlet opening 3 d of the internal flow passage 3 b provided on the tip surface 3 c of the processing electrode 3.
  • step S102 the potential difference between the processing electrode 3 and the workpiece 5 in the electrolytic solution W by the power source 6 shown in FIG. 3 while ejecting the electrolytic solution W from the outlet opening 3d of the processing electrode 3 Is applied.
  • a voltage is applied between the processing electrode 3 to which a negative voltage is applied and the workpiece 5 to which a positive voltage is applied in the electrolytic solution W, and a current is caused to flow by the electrochemical reaction.
  • the workpiece 5 is eluted in the electrolytic solution W.
  • step S103 at least one of the distribution of the current density in the distal end surface 3c or the flow velocity distribution of the electrolytic solution W is decentered with respect to the axial center Cs of the distal end surface 3c of the processing electrode 3
  • the machined hole 5 a is formed in the workpiece 5.
  • the processing electrode 3 is fed into the processing hole 5a of the workpiece 5 by the electrode feeding device 9 shown in FIG. 3 in order to form the processing hole 5a having a curved shape.
  • the electrode feeding device 9 is placed in the processing hole 5a in a state where the rotation of the processing electrode 3 is limited so that the processing electrode 3 does not rotate about the axis. It is supposed to be sent.
  • the electrode feeding device 9 feeds the processing electrode 3 into the processing hole 5a while rotating the processing electrode 3.
  • processing electrode 3 that can be used to carry out the above-described electrolytic processing method 1 and the electrolytic processing system 2 including the processing electrode 3 will be described.
  • the electrolytic processing system 2 includes the processing electrode 3, and the processing electrode 3 can form at least one curved shaped processing hole 5 a (bent hole) in the workpiece 5. It is. Moreover, the electrolytic processing system 2 can manufacture the perforated member 5A manufactured by forming the processing hole 5a of curved shape in the to-be-processed object 5 with the electrode 3 for processing.
  • the electrolytic processing system 2 includes a power source 6, an electrolytic solution supply device 7, an electrolytic solution supply amount adjustment device 8, and an electrode feeding device 9, in addition to the above-described processing electrode 3, as shown in FIG. And an electrode guide member 10.
  • the power source 6 includes, for example, a direct current generator, and can apply a potential difference between the processing electrode 3 and the workpiece 5.
  • the power source 6 may be configured to pass a pulse current instead of a direct current.
  • the electrolytic solution supply device 7 includes, for example, a pump and a dispenser, and can supply the electrolytic solution W (processing solution) to the processing electrode 3. In FIG. 1 and FIGS. 5, 7, 8, 10, 12, and 14 described later, the flowing direction of the electrolytic solution W is indicated by an arrow.
  • the electrolytic solution supply amount adjusting device 8 includes, for example, a valve whose opening can be adjusted or a valve whose opening and closing can be controlled, and can adjust the flow rate (supply amount) of the electrolytic solution supplied from the electrolytic solution supply device 7 to the processing electrode 3 It is.
  • the electrolytic solution W may contain nitric acid or sodium nitrate from the viewpoint of enhancing the efficiency of electrolytic processing.
  • the electrode feeding device 9 can adjust the relative position of the processing electrode 3 in the axial direction with respect to the workpiece 5 (in particular, the processing hole 5a).
  • the electrode feeding device 9 includes, for example, an actuator, and can adjust the feed amount of the processing electrode 3 with respect to the workpiece 5 while gripping the base end side of the processing electrode 3.
  • the electrode guide member 10 has a through hole 10a, and by passing the processing electrode 3 through the through hole 10a, the electrode guide member 10 is processed to a position where the processing hole 5a of the workpiece 5 is formed. The electrodes 3 are to be guided.
  • the processing electrode 3 (3A to 3G) has a cylindrical outer cylindrical portion 3a such as a cylindrical shape and extends along the axis Le.
  • the processing electrode 3 may have, for example, a rectangular cylindrical shape.
  • the processing electrode 3 is made of, for example, a flexible conductive material such as stainless steel, copper or titanium.
  • the outer diameter of the processing electrode 3 is, for example, 1 mm or more and 10 mm or less.
  • the outer circumferential surface of the outer cylindrical portion 3 a is covered with the electrical insulating layer 4 over the entire area in the axial direction.
  • the electrical insulation layer 4 is made of, for example, a resin (polyester resin or the like) having electrical insulation.
  • the electrical insulating layer 4 does not cover the end surface 3c of the processing electrode 3, the end surface 3c is exposed.
  • the proximal end side of the processing electrode 3 can be connected to the power supply 6, and the workpiece 5 can also be connected to the power supply 6.
  • At least one internal flow path 3 b extending along the axis Le of the processing electrode 3 is formed inside the processing electrode 3.
  • the internal flow path 3b can circulate the electrolytic solution W from the proximal end side to the distal end side of the processing electrode 3, and as shown in FIG. 3, the electrolytic solution on the proximal end side of the processing electrode 3 It is connectable to the supply device 7.
  • the electrolytic solution supply amount adjustment device 8 is provided between the internal flow path 3 b of the processing electrode 3 and the electrolytic solution supply device 7, and as described above, from the electrolytic solution supply device 7 The supply amount of the electrolytic solution W to the internal flow path 3 b of each processing electrode 3 can be adjusted.
  • At least one outlet opening 3 d of the internal flow passage 3 b for ejecting the electrolytic solution W is formed on the distal end surface 3 c located on the distal end side of the processing electrode 3.
  • the electrolytic solution W ejected from the outlet opening 3 d is, as shown in FIG. 1, between the tip surface 3 c of the processing electrode 3 and the inner surface 5 b of the processing hole 5 a of the workpiece 5 or the outer periphery of the electrical insulating layer 4 And the inner surface 5b of the processing hole 5a, it is discharged to the outside from the opening of the processing hole 5a.
  • the processing electrode 3 is supported by the fluid pressure of the electrolytic solution W so as not to contact the inner surface 5 b of the processing hole 5 a.
  • the electrolytic processing method 1 includes the above-described step S101, the above-described step S102, and the above-described step S103.
  • a direction opposite to the bending direction of the machined hole 5a is the upstream side of the bending direction (left side from the axis Ls in the figure) and the downstream side of the bending direction of the machined hole 5a (figure It defines as right side from the central axis Ls).
  • the front end surface 3c in the bending direction upstream side and the inner surface 5d of the processing hole 5a Since the current flowing between the tip surface 3c on the downstream side in the bending direction and the inner surface 5c (5b) of the processing hole 5a is larger than the current flowing between 5b) and 5b), the inner surface 5b of the processing hole 5a is correspondingly The amount of processing of Therefore, as shown by the processing line Lm in FIGS.
  • the workpiece 5 has the inner surface 5c located on the downstream side in the bending direction as compared to the inner surface 5d located on the upstream side in the bending direction. Deeply processed. Therefore, by making the distribution of the current density in the end surface 3c eccentric with respect to the axial center Cs of the end surface 3c, it is possible to form the processed hole 5a in a curved shape.
  • the workpiece 5 is positioned on the downstream side in the bending direction in which the efficiency of the electrolytic processing is not reduced compared to the inner surface 5d located on the upstream side in the bending direction.
  • the inner surface 5c is deeply processed. Therefore, by making the distribution of the current density of the electrolytic solution W in the end face 3c eccentric to the axial center Cs of the end face 3c, it is possible to form the processed hole 5a in a curved shape.
  • step S101 of spouting the electrolytic solution W as described later with reference to FIGS. 4 to 15, the axial center Cs of the tip surface 3c of the processing electrode 3 is used for processing At least one of the distribution of the current density on the end surface 3c of the electrode 3 or the flow velocity distribution of the electrolyte solution W ejected from the outlet opening 3d is the bending direction downstream side of the processing hole 5a (the end surface passing the axial center Cs in FIG. Eccentric on the right of the axis Ls perpendicular to 3c).
  • the processing hole 5a is curved in the eccentric direction of the current density distribution or the flow velocity distribution even if the processing electrode 3 is not provided with, for example, a fluid lead-out portion.
  • the inner surface 5c located on the downstream side in the bending direction is processed deeper than the inner surface 5d located on the upstream side in the bending direction of the workpiece 5, the inner surface 5c and the tip surface 3c of the processing electrode 3 And the fluid pressure of the electrolytic solution W flowing through the gap is reduced.
  • the processing electrode 3 is urged to bend its tip end in the direction in which the fluid pressure of the above-mentioned electrolyte solution W is lowered by the fluid pressure of the electrolyte solution W flowing around, and the work piece 5 is made eccentric. Process in the direction. Therefore, according to the above-described method, it is possible to easily form the curved hole (the processing hole 5a) while avoiding the complication of the configuration of the electrode (the processing electrode 3).
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1, and shows the configuration of the tip end face of the processing electrode 3 according to one embodiment.
  • FIG. 5 is a view showing how a processing hole 5a is formed using the processing electrode 3 shown in FIG. 6 and 9 show the configuration of the tip end face of the processing electrode 3 according to an embodiment, as in FIG.
  • FIGS. 7 and 10 are views showing formation of the processing hole 5a using the processing electrode 3 shown in FIGS. 6 and 9, respectively.
  • FIG. 8 is a view showing a state in which a processing hole 5a is formed using the processing electrode 3 having tapered surfaces 3g and 3h formed at the tip.
  • the distribution of the current density in the tip surface 3c is decentered with respect to the axial center Cs.
  • the machined hole 5a is formed so as to be bent in the displacement direction of the centroid Ca of the region with respect to the axial center Cs.
  • one internal flow passage 3b is formed on the inner side in the radial direction of the outer cylindrical portion 3a, and one outlet communicating with the internal flow passage 3b in the tip surface 3c.
  • An opening 3d is formed.
  • the outlet opening 3d is eccentrically disposed on the left side in the figure with respect to the axial center Cs of the distal end surface 3c.
  • the centroid Ca of the region of the tip end face 3c excluding the outlet opening 3d is eccentric to the right in the figure with respect to the axial center Cs of the tip end face 3c.
  • two internal flow paths 3b are formed on the inner side in the radial direction of the outer cylindrical portion 3a, and the tip surface 3c communicates with each internal flow path 3b 2
  • Three outlet openings 3d are formed.
  • the outlet opening 3d located on the right side in the drawing is formed to have a smaller diameter than the outlet opening 3d located on the left side in the drawing.
  • the centroid Ca of the area of the end face 3c excluding the outlet opening 3d is eccentric to the right in the figure with respect to the axial center Cs of the end face 3c.
  • the processing electrode 3C has the same configuration as that of the processing electrode 3A, and at the tip, the outer dimension gradually decreases toward the tip in the longitudinal sectional view.
  • Tapered surfaces 3g and 3h are formed.
  • the electrolytic solution W flowing in the vicinity of the front end surface 3c of the processing electrode 3C is between the outer periphery of the electrical insulating layer 4 and the inner surface 5b of the processing hole 5a. It is possible to prevent the reduction in the efficiency of electrolytic processing because it is easy to flow into the
  • the tapered surfaces 3g and 3h are also applicable to other processing electrodes 3 (3B, 3D to 3G).
  • the inclination angles between the tapered surfaces 3g and 3h of the processing electrode 3C and the surface perpendicular to the axis Ls of the tip surface 3c are ⁇ 1 and ⁇ 2, respectively, as shown in FIG.
  • the inclination angle ⁇ 1 on the thick side (right side in the drawing) having the thickness T1 is smaller than the inclination angle ⁇ 2 on the thin side having the thickness T2 smaller than the thickness T1.
  • a large amount of the electrolytic solution W may be flowed between the outer periphery of the electrical insulating layer 4 and the inner surface 5b of the processing hole 5a as compared to the case where the inclination angle of the tapered surface is small. it can.
  • the tapered surfaces 3g and 3h are formed over the entire surface of the tip surface 3c, but the tapered surfaces 3g and 3h may be formed at least in part in the circumferential direction.
  • two internal channels 3b are formed on the inner side in the radial direction of the outer cylindrical portion 3a in the processing electrode 3D.
  • the internal flow path 3b) is closed by the conductive member 11a and has no outlet opening. That is, of the two internal flow paths 3b, only the left internal flow path 3b in the figure has the outlet opening 3d. Therefore, the centroid Ca of the area of the end face 3c excluding the outlet opening 3d is eccentric to the axial center Cs of the end face 3c.
  • one of the two internal flow paths 3b having different diameters may be closed.
  • the inner flow passage 3b before the internal flow passage 3b is partially blocked, the inner flow passage 3b has a tip end surface even when the centroid Ca of the region excluding the outlet opening 3d is not eccentric to the axial center Cs.
  • a current flows through the conductive member 11a, so that the center of gravity Ca of the region can be eccentric with respect to the axial center Cs.
  • the distribution of the current density of the processing electrode 3C can be decentered in the direction in which the centroid Ca of the region is offset with respect to the axial center Cs.
  • the hole 5a can be bent and formed.
  • the tip surface 3 c of the processing electrode 3 is a first area F 1 on the downstream side of the bending direction of the processing hole 5 a and the upstream side on the bending direction by the reference line Ld.
  • the reference line Ld is a straight line which passes through the axial center Cs and is perpendicular to a straight line passing through the centroid Ca and the axial center Cs in the tip face 3c.
  • the tip surface 3c of the processing electrode 3 (3A to 3D) is compared with the average value of the current density on the second region F2 side.
  • the current density distribution is formed such that the average value of the current density on the first region F1 side is larger.
  • FIG. 11 is a schematic cross-sectional view taken along the line AA shown in FIG. 1, and shows the configuration of the tip end face of the processing electrode 3 according to one embodiment.
  • FIG. 12 is a view showing how a processing hole 5a is formed using the processing electrode 3 shown in FIG.
  • FIG. 13 shows the configuration of the tip end face of the processing electrode 3 according to an embodiment, as in FIG.
  • FIG. 14 is a view showing how a processing hole 5a is formed using the processing electrode 3 shown in FIG.
  • one internal flow passage 3b is formed on the inner side in the radial direction of the outer cylindrical portion 3a, and one outlet opening communicating with the internal flow passage 3b in the tip end surface 3c. 3d is formed.
  • the outlet opening 3d of the processing electrode 3E has a substantially semicircular shape, and the center of gravity Co of the outlet opening 3d in the distal end surface 3c is eccentric to the right in the figure with respect to the axial center Cs of the distal end surface 3c.
  • electrolysis at the front end surface 3c is made compared to the second area F2 side.
  • the opening area of the outlet opening 3d for ejecting the liquid W is large, and a large amount of the electrolytic solution W can be ejected from the outlet opening 3d.
  • the electrolytic solution W in the first region F1 is compared with the average flow velocity of the electrolytic solution W in the second region F2 in the tip surface 3c of the processing electrode 3E.
  • the flow velocity distribution of the electrolytic solution W is formed such that the average flow velocity of the solution W is larger.
  • the processing electrode 3F includes partition portions 3f which connect the inner walls of the outer cylinder portion 3a and divide the inside of the outer cylinder portion 3a into two.
  • two internal flow paths 3b are formed on the inner side in the radial direction of the outer cylindrical portion 3a by the partition 3f, one of the internal flow paths 3b (the internal flow path 3b on the left side in the drawing ) Is closed by the closing member 11 at the end face 3c, and only the other internal flow passage 3b has the outlet opening 3d.
  • the closing member 11 is constituted by a non-conductive member 11b having a semicircular cross-sectional shape.
  • the closing member 11 may close one of two internal flow paths 3b different in diameter from each other, or may close part of at least one internal flow path 3b.
  • the internal flow passage 3b is partially closed even when the center Co of the outlet opening 3d is not eccentric to the axial center Cs.
  • the center Co of the outlet opening 3d can be decentered with respect to the axis Cs. For this reason, since the flow velocity distribution of the electrolytic solution W ejected from the outlet opening 3d can be decentered in the direction in which the centroid Co of the outlet opening 3d is shifted with respect to the axial center Cs, the centroid Co of the outlet opening 3d It is possible to bend and form the processing hole 5a in the direction in which it deviates.
  • the partition part 3f may be comprised so that the inside of the outer cylinder part 3a may be divided into three or more some, and at least one of the internal flow paths 3b divided
  • the closing member 11 for closing the internal flow passage 3b may be configured by the conductive member 11a.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of the processing electrode 3G according to an embodiment. As shown in the drawing, in the cross section orthogonal to the axial direction of the processing electrode 3G, the center of gravity Cf of the internal flow passage 3b is eccentric with respect to the axial center Ce of the processing electrode 3G.
  • the shape of the internal flow path 3b in the cross section orthogonal to the axial direction of the processing electrode 3G is the outlet opening so that the center Cf of the internal flow path 3b is eccentric to the axial center Ce of the processing electrode 3G.
  • the shape may be different from the shape of 3d.
  • the center Cf of the internal flow path 3b is eccentric with respect to the axial center Ce of the processing electrode 3F.
  • the flow velocity distribution of the electrolytic solution W is decentered in the direction in which the centroid Cf of the internal flow passage 3b is shifted with respect to the axial center Ce. Therefore, it is possible to bend and form the processing hole 5a in the direction in which the center Cf of the internal flow path 3b is shifted.
  • the tip surface is obtained by decentering the center Cf of the internal flow path 3b with respect to the axial center Ce of the processing electrode 3F.
  • the electrolytic solution passing through the respective internal flow channels 3b By providing a difference in the flow velocity of W, the flow velocity distribution of the electrolytic solution W on the tip surface 3c may be decentered with respect to the axial center Cs.
  • the above-described electrolytic solution supply amount adjusting device 8 of the electrolytic processing system 2 described above supplies the electrolytic solution W to each of the plurality of internal flow paths 3b formed in one processing electrode 3 It is configured to be adjustable.
  • the flow velocity distribution of the electrolyte solution W ejected from the outlet opening 3 d is eccentric with the eccentricity of the flow velocity distribution of the electrolyte solution W passing through the internal flow passage 3 b by the electrolyte solution supply amount adjusting device 8, the internal flow It is possible to bend and form the processing hole 5a in a direction in which the flow velocity distribution of the electrolytic solution W passing through the passage 3b is eccentric.
  • the processed hole 5a is formed in the workpiece 5 by the electrolytic processing method 1 according to the above-described some embodiments to manufacture the perforated member 5A.
  • the manufacturing method of 5 A of perforated members is provided with step S101 mentioned above, step S102 mentioned above, and step S103 mentioned above.
  • the machined hole Perforated member 5A having 5a can be easily manufactured.
  • the perforated member 5A may be a gas turbine rotor blade 5B having a curved cooling hole as the processing hole 5a.
  • the processing hole 5a is used as a cooling hole for circulating a cooling medium for cooling the gas turbine bucket 5B.
  • the curved shape of the processing hole 5a can be curved along the geometric shape of the gas turbine blade 5B.
  • the processing hole 5a is a through hole penetrating from the lower end side (upper side in the drawing) to the upper end side (lower side in the drawing) of the gas turbine rotor blade 5B. It may be a pressure surface, a suction surface or any through hole opened at the rear edge so as to connect the cooling flow path provided inside the wing 5B with the outside, or it may be a deep hole which does not penetrate.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes the embodiments in which the above-described embodiments are modified, and the embodiments in which these embodiments are appropriately combined.

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Abstract

電解加工方法は、電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成する方法であって、加工用電極の内部流路に電解液を流通させ、加工用電極の先端面に設けられた内部流路の出口開口から電解液を噴出させるステップと、電解液を加工用電極の出口開口から噴出させながら、加工用電極と被加工物との間に電位差を印加するステップと、被加工物に曲り形状の加工孔を形成するステップと、を備え、電解液を噴出させるステップでは、加工用電極の先端面の軸心に対して、加工用電極の先端面の電流密度の分布、または、出口開口から噴出される電解液の流速分布の少なくとも一方を加工孔の曲り方向下流側に偏心させる。

Description

電解加工方法、孔あき部材の製造方法、加工用電極、及び、電解加工システム
　本開示は、電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成する電解加工方法、該方法により加工孔を形成する孔あき部材の製造方法、電解加工に用いられる加工用電極、及び、該加工用電極を備える電解加工システムに関する。
　機械加工が困難な難削材の穿孔加工は、一般的に電解加工法や放電加工法によって行われている。特に、高アスペクト比を有する難削材に対して穿孔加工をする際には、電解加工法が用いられることがある。例えばガスタービンのガスタービン動翼内には、該ガスタービン動翼を冷却すべく冷却媒体を流通されるための冷却孔が形成されている。該冷却孔の冷却効率を高めるためには、該冷却孔の形状をガスタービン動翼の幾何形状に沿って湾曲させることが望ましい場合がある。
　特許文献１が開示する電解加工工具の電極は、可撓性を有するとともに、本体側面に電解液を径方向外側に向かって導出する流体導出部を有する。該電極は、流体導出部から電解液を導出する際の反動を利用して電極を導出方向とは反対側に曲げることで、電極の進行方向を変化させて所望の曲率の曲り孔を形成可能になっている。
特許第５９５５２０７号公報
　しかしながら、特許文献１の方法では、電解加工工具の電極に流体導出部を設ける必要があり、電極の構成が複雑化してしまう。
　上述した事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態の目的は、電極の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔の形成を容易に行うことができる電解加工方法、孔あき部材の製造方法、加工用電極、及び、電解加工システムを提供することにある。
（１）本発明の少なくとも一実施形態に係る電解加工方法は、
　電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成する電解加工方法であって、
　加工用電極の内部流路に電解液を流通させ、前記加工用電極の先端面に設けられた前記内部流路の出口開口から前記電解液を噴出させるステップと、
　前記電解液を前記加工用電極の前記出口開口から噴出させながら、前記加工用電極と前記被加工物との間に電位差を印加するステップと、
　前記被加工物に前記曲り形状の加工孔を形成するステップと、を備え、
　前記電解液を噴出させるステップでは、前記加工用電極の前記先端面の軸心に対して、前記加工用電極の先端面の電流密度の分布、または、前記出口開口から噴出される前記電解液の流速分布の少なくとも一方を前記加工孔の曲り方向下流側に偏心させる。
　本発明者らによる鋭意検討の結果、加工用電極の先端面の軸心に対して、電極先端面における電流密度の分布、または、電解液の流速分布の少なくとも一方を偏心させることで、曲り形状の加工孔を形成できることが明らかになった。
　上記（１）の方法は本発明者らの上記知見に基づくものであり、該曲り形状の加工孔は、加工用電極に例えば流体導出部などを設けなくても、上述した偏心した方向に向かって湾曲する。ここで、被加工物の、曲り方向上流側に位置する内面に比べて、加工孔の曲り方向下流側に位置する内面は深く加工されるので、該内面と加工用電極の先端面との間の間隔が広がり、該間隔を流れる電解液の液圧が低下する。加工用電極は、周囲を流れる電解液の液圧により、上述した電解液の液圧が低下した方に、先端部が曲がるように促されて、被加工物を上述した偏心した方向に加工していく。したがって、上記の方法によれば、電極の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔の形成を容易に行うことができる。
（２）幾つかの実施形態では、上記（１）の方法において、
　前記先端面のうち前記出口開口を除く領域の図心は、前記先端面の前記軸心に対して偏心しており、
　前記軸心に対する前記領域の前記図心のずれ方向に前記加工孔を曲げて形成する。
　上記（２）の方法によれば、軸心に対して出口開口を除く領域の図心がずれた方向に、加工用電極の電流密度の分布を偏心させることができるので、該領域の図心がずれた方向に加工孔を曲げて形成可能である。
（３）幾つかの実施形態では、上記（２）の方法において、
　前記内部流路は前記先端面において導電性部材により一部閉塞されることで、前記先端面のうち前記出口開口を除く領域の図心が前記軸心に対して偏心している。
　上記（３）の方法によれば、内部流路が一部閉塞される前は、軸心に対して出口開口を除く領域の図心が偏心していない場合でも、内部流路を先端面において導電性部材により一部閉塞することで、該導電性部材に電流を流れるので、軸心に対して該領域の図心を偏心させることができる。このため、軸心に対して該領域の図心がずれた方向に、加工用電極の電流密度の分布を偏心させることができるので、該領域の図心がずれた方向に加工孔を曲げて形成可能である。
（４）幾つかの実施形態では、上記（１）～（３）の方法において、
　前記出口開口の図心は、前記先端面の前記軸心に対して偏心しており、
　前記軸心に対する前記出口開口の前記図心のずれ方向に前記加工孔を曲げて形成する。
　上記（４）の方法によれば、軸心に対して出口開口の図心がずれた方向に、出口開口から噴出される電解液の流速分布を偏心させることができるので、出口開口の図心がずれた方向に加工孔を曲げて形成可能である。
（５）幾つかの実施形態では、上記（４）の方法において、
　前記内部流路は一部閉塞されることで、前記出口開口の前記図心が前記軸心に対して偏心している。
　上記（５）の方法によれば、内部流路が一部閉塞される前は、軸心に対して出口開口の図心が偏心していない場合でも、内部流路を一部閉塞することで、軸心に対して出口開口の図心を偏心させることができる。このため、軸心に対して出口開口の図心がずれた方向に、出口開口から噴出される電解液の流速分布を偏心させることができるので、出口開口の図心がずれた方向に加工孔を曲げて形成可能である。
（６）幾つかの実施形態では、上記（１）～（５）の方法において、
　前記内部流路は間仕切部により複数に分割されており、前記複数に分割された前記内部流路のうちの少なくとも１つが閉塞される。
　上記（６）の方法によれば、間仕切部によって複数に分割された内部流路のうちの少なくとも１つを閉塞することで、加工用電極の先端面の軸心に対して、加工用電極の先端面の電流密度の分布や、出口開口から噴出される電解液の流速分布を加工孔の曲り方向下流側に偏心させることを容易に行うことができる。
（７）幾つかの実施形態では、上記（１）～（６）の方法において、
　前記加工用電極の軸方向に直交する断面内において、前記内部流路の図心は前記加工用電極の軸心に対して偏心している。
　上記（７）の方法によれば、加工用電極の軸方向に直交する断面内において、内部流路の図心は加工用電極の軸心に対して偏心しているので、先端面における電解液の流速分布は、加工用電極の軸心に対して内部流路の図心がずれた方向に偏心する。よって、内部流路の図心がずれた方向に加工孔を曲げて形成可能である。
（８）幾つかの実施形態では、上記（１）～（７）の方法において、
　前記加工用電極の先端には、周方向における少なくとも一部に、先端に向かうにつれて外形寸法が小さくなるようなテーパ面が形成されている。
　上記（８）の方法によれば、テーパ面が形成された部分の近傍を流れる電解液が、電気絶縁層の外周と加工孔の内面との間に流れ込むことが容易になるので、電解加工の効率低下を防止できる。
（９）幾つかの実施形態では、上記（１）～（８）の方法において、
　前記電解液は、硝酸又は硝酸ナトリウムを含む。
　上記（９）の方法によれば、電解液は電解加工能力の大きい硝酸又は硝酸ナトリウムを含むので、電解加工の効率化を図ることができる。
（１０）本発明の少なくとも一実施形態に係る孔あき部材の製造方法は、
　上記（１）～（９）に記載の方法により前記被加工物に前記加工孔を形成して孔あき部材を製造するステップを備える。
　上記（１０）の方法によれば、上述した方法により、電極の構成の複雑化を回避しながら、加工孔の形成を容易に行うことができるので、加工孔を有する孔あき部材を容易に製造することができる。
（１１）幾つかの実施形態では、上記（１０）の方法において、
　前記孔あき部材は、前記加工孔としての曲り形状の冷却孔を有するガスタービン動翼である。
　上記（１１）の方法によれば、加工孔（冷却孔）の曲り形状をガスタービン動翼の幾何形状に沿って湾曲させたりすることができる。
（１２）本発明の少なくとも一実施形態に係る加工用電極は、
　電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成するための加工用電極であって、
　前記加工用電極の軸方向に沿って電解液を流通可能に構成されている内部流路と、
　前記電解液を噴出するための前記内部流路の出口開口が形成された先端面と、を備え、
　前記先端面のうち前記出口開口を除いた領域の図心、または、前記出口開口の図心の少なくとも一方は、前記先端面の軸心に対して偏心している。
　上記（１２）の構成は本発明者らの上記知見に基づくものであり、加工用電極は、例えば流体導出部などを設けなくても、上述した偏心した方向に向かって湾曲する曲り形状の加工孔を形成することができる。したがって、上記の構造によれば、電極の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔の形成を容易に行うことができる。
（１３）本発明の少なくとも一実施形態に係る電解加工システムは、
　上記（１２）に記載の前記加工用電極を備え、
　前記加工用電極を用いた電解加工により前記被加工物に前記加工孔を形成可能に構成されている。
　上述したように、上記（１２）に記載の加工用電極は、例えば流体導出部などを設けなくても、上述した偏心した方向に向かって湾曲する曲り形状の加工孔を形成することができる。したがって、上記（１３）の構造によれば、電極の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔の形成を容易に行うことができる。
（１４）幾つかの実施形態では、上記（１３）の構造において、
　１つの前記加工用電極に形成された複数の前記内部流路それぞれへの前記電解液の供給量を調整可能に構成されている電解液供給量調整装置をさらに備える。
　上記（１４）の構造によれば、電解液供給量調整装置により内部流路を通る電解液の流速分布の偏心させることで、出口開口から噴出される電解液の流速分布が偏心するので、内部流路を通る電解液の流速分布が偏心した方向に加工孔を曲げて形成可能である。
　本発明の少なくとも一実施形態によれば、電極の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔の形成を容易に行うことができる電解加工方法、孔あき部材の製造方法、加工用電極、及び、電解加工システムが提供される。
本発明の一実施形態にかかる加工用電極を、被加工物とともに概略的に示す縦断面図である。 本発明の一実施形態にかかる電解加工方法を説明するためのフローチャートである。 一実施形態にかかる電解加工方法を説明するための図であって、電解加工システムの一例を示す概略図である。 図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の先端面の構成を示す図である。 図４に示す加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の先端面の構成を示す図である。 図６に示す加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 先端にテーパ面が形成された加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の先端面の構成を示す図である。 図９に示す加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の先端面の構成を示す図である。 図１１に示す加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の先端面の構成を示す図である。 図１３に示す加工用電極を用いて加工孔を形成する様子を示す図である。 図１に示すＢ－Ｂ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極の断面図である。
　以下、添付図面を参照して本発明の幾つかの実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
　例えば、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
　例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
　例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
　一方、一の構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
　図１は、本発明の一実施形態にかかる加工用電極を、被加工物とともに概略的に示す縦断面図である。図２は、本発明の一実施形態にかかる電解加工方法を説明するためのフローチャートである。図３は、一実施形態にかかる電解加工方法を説明するための図であって、電解加工システムの一例を示す概略図である。以下、図１、３に示す、加工用電極３及び電解加工システム２の説明とともに、図２に示す電解加工方法１及び孔あき部材の製造方法を説明する。
　幾つかの実施形態に係る電解加工方法１は、図１に示されるように、電解加工により被加工物５に曲り形状の加工孔５ａを形成する電解加工方法である。該電解加工方法１は、図２に示されるように、加工用電極３の内部流路３ｂに電解液Ｗを流通させ、加工用電極３の先端面３ｃに設けられた内部流路３ｂの出口開口３ｄから電解液Ｗを噴出させるステップＳ１０１と、電解液Ｗを加工用電極３の出口開口３ｄから噴出させながら、加工用電極３と被加工物５との間に電位差を印加するステップＳ１０２と、被加工物５に曲り形状の加工孔５ａを形成するステップＳ１０３と、を備えている。
　上述したステップＳ１０１では、図３に示す電解液供給装置７により、加工用電極３の内部流路３ｂに電解液Ｗが供給されており、加工用電極３の内部流路３ｂに電解液Ｗを流通させ、加工用電極３の先端面３ｃに設けられた内部流路３ｂの出口開口３ｄから電解液Ｗを噴出させる。
　上述したステップＳ１０２では、電解液Ｗを加工用電極３の出口開口３ｄから噴出させながら、図３に示す電源６により電解液Ｗ中の、加工用電極３と被加工物５との間に電位差が印加されている。図３に示される実施形態では、電解液Ｗ中の、負電圧を印加する加工用電極３と正電圧を印加する被加工物５との間に電圧を加えて電流を流し、電気化学反応により被加工物５を電解液Ｗ中に溶出させている。
　上述したステップＳ１０３では、後述するように、加工用電極３の先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電流密度の分布、または、電解液Ｗの流速分布の少なくとも一方を偏心させることで、被加工物５に曲り形状の加工孔５ａを形成する。ステップＳ１０３では、曲り形状の加工孔５ａを形成するために、図３に示す電極送り装置９により、加工用電極３が被加工物５の加工孔５ａ内に送られる。電極送り装置９は、加工孔５ａに曲り形状を形成する場合には、加工用電極３が軸を中心として回転しないように、加工用電極３の回転を制限した状態で、加工孔５ａ内に送るようになっている。なお、電極送り装置９は、加工孔５ａに直線的な形状を形成する場合には、加工用電極３を回転させた状態で、加工孔５ａ内に送るようになっている。
　以下、上述した電解加工方法１を実施するために用いることができる、加工用電極３、及び、該加工用電極３を備える電解加工システム２について説明する。
　図１、３に示されるように、電解加工システム２は、加工用電極３を含み、該加工用電極３により被加工物５に少なくとも１つの曲り形状の加工孔５ａ（曲り孔）を形成可能である。また、電解加工システム２は、加工用電極３により被加工物５に曲り形状の加工孔５ａを形成することにより製造される、孔あき部材５Ａを製造可能である。
　電解加工システム２は、図３に示されるように、上述した加工用電極３に加えて、電源６と、電解液供給装置７と、電解液供給量調整装置８と、電極送り装置９と、電極ガイド部材１０と、を備えている。電源６は、例えば直流発電機を含み、加工用電極３と被加工物５との間に電位差を印加可能である。なお、電源６は、直流電流ではなく、パルス電流を流すようになっていてもよい。電解液供給装置７は、例えばポンプやディスペンサを含み、加工用電極３に電解液Ｗ（加工液）を供給可能である。なお、図１及び後述する図５、７、８、１０、１２、１４では、電解液Ｗの流れる方向を矢印で示している。電解液供給量調整装置８は、例えば開度調整可能なバルブ又は開閉制御可能なバルブを含み、電解液供給装置７から加工用電極３に供給される電解液の流量（供給量）を調整可能である。
　なお、電解液Ｗは、電解加工の効率化を図る観点から、硝酸又は硝酸ナトリウムを含んでいてもよい。
　電極送り装置９は、被加工物５（特に加工孔５ａ）に対する加工用電極３の軸線方向での相対位置を調整可能である。電極送り装置９は、例えばアクチュエータを含み、加工用電極３の基端側を把持しながら、被加工物５に対する加工用電極３の送り量を調整可能である。電極ガイド部材１０は、図３に示されるように、貫通孔１０ａを有し、該貫通孔１０ａに加工用電極３を通すことで、被加工物５の加工孔５ａの形成位置へと加工用電極３を導くようになっている。
　図１に示されるように、加工用電極３（３Ａ～３Ｇ）は、円筒形状等の筒形状の外筒部３ａを有し、軸線Ｌｅに沿うように延在している。なお、以下の説明では、括弧中の符号を一括して引用する場合に、括弧の前の符号を用いることがある。また、加工用電極３は、例えば角筒形状等であってもよい。
　加工用電極３は、例えば、ステンレス、銅又はチタン等の可撓性を有する導電性材料から構成されている。加工用電極３の外径は例えば１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である。加工用電極３は、図１に示されるように、外筒部３ａの外周面が軸線方向の全域にわたり、電気絶縁層４により覆われている。電気絶縁層４は、例えば電気絶縁性を有する樹脂（ポリエステル系樹脂等）により構成されている。なお、電気絶縁層４は、加工用電極３の先端面３ｃを覆ってはいないので、先端面３ｃは露出している。加工用電極３の基端側は電源６に接続可能であり、被加工物５もまた電源６に接続可能である。
　加工用電極３の内部には、図１に示されるように、加工用電極３の軸線Ｌｅに沿うように延在する少なくとも１つの内部流路３ｂが形成されている。内部流路３ｂは、加工用電極３の基端側から先端側に向かって、電解液Ｗを流通可能であり、図３に示されるように、加工用電極３の基端側にて電解液供給装置７に接続可能である。電解液供給量調整装置８は、図３に示されるように、加工用電極３の内部流路３ｂと電解液供給装置７との間に設けられ、上述のように、電解液供給装置７から各加工用電極３の内部流路３ｂへの電解液Ｗの供給量を調節可能になっている。
　加工用電極３の先端側に位置する先端面３ｃは、図１に示されるように、電解液Ｗを噴出するための内部流路３ｂの出口開口３ｄが少なくとも１つ形成されている。出口開口３ｄから噴出した電解液Ｗは、図１に示されるように、加工用電極３の先端面３ｃと被加工物５の加工孔５ａの内面５ｂとの間や、電気絶縁層４の外周と加工孔５ａの内面５ｂとの間を通った後、加工孔５ａの開口から外部に排出される。加工用電極３は、電解液Ｗの液圧により加工孔５ａの内面５ｂに接触しないように支持されている。
　上述したように、幾つかの実施形態に係る電解加工方法１は、上述したステップＳ１０１と、上述したステップＳ１０２と、上述したステップＳ１０３と、を備えている。
　ここで、本発明者らにより鋭意検討の結果、加工用電極３の先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電流密度の分布、または、電解液Ｗの流速分布の少なくとも一方を偏心させることで、曲り形状の加工孔５ａを形成できることが明らかになった。
　より具体的に以下に説明する。ここで、図１に示すように、加工孔５ａが曲がる方向とは反対方向を曲り方向の上流側（図中軸線Ｌｓより左側）と、加工孔５ａが曲がる方向を曲り方向の下流側（図中軸線Ｌｓより右側）と定義する。先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電流密度の分布を、加工孔５ａの曲り方向下流側に偏心させると、曲り方向上流側の先端面３ｃと加工孔５ａの内面５ｄ（５ｂ）との間を流れる電流に比べて、曲り方向下流側の先端面３ｃと加工孔５ａの内面５ｃ（５ｂ）との間を流れる電流が多くなるので、その分だけ加工孔５ａの内面５ｂの加工量が大きくなる。このため、図５、７、８、１０に加工線Ｌｍで示されるように、被加工物５は、曲り方向上流側に位置する内面５ｄに比べて、曲り方向下流側に位置する内面５ｃが深く加工される。したがって、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電流密度の分布を偏心させることで、曲り形状の加工孔５ａを形成できる。
　また、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、出口開口３ｄから噴出される電解液Ｗの流速分布を、加工孔５ａの曲り方向下流側に偏心させると、曲り方向上流側の先端面３ｃと加工孔５ａの内面５ｄとの間を流れる電解液Ｗの流量に比べて、曲り方向下流側の先端面３ｃと加工孔５ａの内面５ｃとの間を流れる電解液Ｗの流量が多くなるので、その分だけ電解加工によりイオン交換が行われて加工孔５ａの内面５ｃから溶出したイオンが内在する電解液Ｗを排出でき、電解加工速度が向上する。このため、図１２、１４に加工線Ｌｍで示されるように、被加工物５は、曲り方向上流側に位置する内面５ｄに比べて、電解加工の効率が低下しない曲り方向下流側に位置する内面５ｃが深く加工される。したがって、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電解液Ｗの電流密度の分布を偏心させることで、曲り形状の加工孔５ａを形成できる。
　そこで、幾つかの実施形態では、電解液Ｗを噴出させるステップＳ１０１において、図４～１５を参照して後述するように、加工用電極３の先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、加工用電極３の先端面３ｃの電流密度の分布、または、出口開口３ｄから噴出される電解液Ｗの流速分布の少なくとも一方を加工孔５ａの曲り方向下流側（図１中軸心Ｃｓを通る先端面３ｃに垂直な軸線Ｌｓより右側）に偏心させる。
　これにより、上述した原理に基づいて、加工孔５ａは、加工用電極３に例えば流体導出部などを設けなくても、電流密度分布又は流速分布の偏心方向に向かって湾曲する。ここで、被加工物５の、曲り方向上流側に位置する内面５ｄに比べて、曲り方向下流側に位置する内面５ｃは深く加工されるので、該内面５ｃと加工用電極３の先端面３ｃとの間の間隔が広がり、該間隔を流れる電解液Ｗの液圧が低下する。加工用電極３は、周囲を流れる電解液Ｗの液圧により、上述した電解液Ｗの液圧が低下した方に、先端部が曲がるように促されて、被加工物５を上述した偏心した方向に加工していく。したがって、上記の方法によれば、電極（加工用電極３）の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔（加工孔５ａ）の形成を容易に行うことができる。
　以下、先端面３ｃにおける電流密度の分布を偏心させて曲り孔を形成する方法（図４～１０参照）、および、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布を偏心させて曲り孔を形成する方法（図１１～１４参照）について、この順に詳述する。
（電流密度分布を偏心させる曲り孔形成方法）
　図４は、図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極３の先端面の構成を示している。図５は、図４に示す加工用電極３を用いて加工孔５ａを形成する様子を示す図である。
　図６及び図９は、図４と同様に、一実施形態に係る加工用電極３の先端面の構成を示している。図７及び図１０は、それぞれ、図６及び図９に示す加工用電極３を用いて加工孔５ａを形成する様子を示す図である。図８は、先端にテーパ面３ｇ，３ｈが形成された加工用電極３を用いて加工孔５ａを形成する様子を示す図である。
　幾つかの実施形態では、図４～１０に示されるように、先端面３ｃのうち出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａが、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心した加工用電極３（３Ａ～３Ｄ）を用いることで、先端面３ｃにおける電流密度の分布を軸心Ｃｓに対して偏心させる。この場合、加工孔５ａは、軸心Ｃｓに対する該領域の図心Ｃａのずれ方向に曲がって形成される。
　図４、５に示される実施形態では、加工用電極３Ａは、外筒部３ａの径方向内側に１つの内部流路３ｂが形成され、先端面３ｃに内部流路３ｂに連通する１つの出口開口３ｄが形成されている。加工用電極３Ａは、図４に示されるように、出口開口３ｄが先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して図中左側に偏心して配置されている。このため、図４に示されるように、先端面３ｃのうち出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａは、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、図中右側に偏心している。
　図６、７に示される実施形態では、加工用電極３Ｂは、外筒部３ａの径方向内側に２つの内部流路３ｂが形成され、先端面３ｃに各々の内部流路３ｂに連通する２つの出口開口３ｄが形成されている。図６に示されるように、図中右側に位置する出口開口３ｄは、図中左側に位置する出口開口３ｄに比べて、径が小さく形成されている。このため、図６に示されるように、先端面３ｃのうち出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａが、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、図中右側に偏心している。
　図８に示される実施形態では、加工用電極３Ｃは、加工用電極３Ａと同様の構成を有しており、先端に、縦断面視において、先端に向かうにつれて徐々に外形寸法が小さくなるようなテーパ面３ｇ，３ｈが形成されている。この場合には、テーパ面３ｇ，３ｈが形成されることにより、加工用電極３Ｃの先端面３ｃの近傍を流れる電解液Ｗが、電気絶縁層４の外周と加工孔５ａの内面５ｂとの間に流れ込むことが容易になるので、電解加工の効率低下を防止できる。このテーパ面３ｇ，３ｈは、他の加工用電極３（３Ｂ，３Ｄ～３Ｇ）にも適用可能である。
　図８に示すように、加工用電極３Ｃのテーパ面３ｇ，３ｈと、先端面３ｃの軸線Ｌｓに垂直な面と、の間の傾斜角をそれぞれθ１，θ２とすると、外筒部３ａが肉厚Ｔ１を有する厚肉側（図中右側）の傾斜角θ１の方が、外筒部３ａが肉厚Ｔ１より薄い肉厚Ｔ２を有する薄肉側の傾斜角θ２より小さく形成されている。テーパ面の傾斜角が大きい場合には、テーパ面の傾斜角が小さい場合に比べて、多量の電解液Ｗを、電気絶縁層４の外周と加工孔５ａの内面５ｂとの間に流すことができる。また、テーパ面の傾斜角が小さい場合には、傾斜角が大きい場合に比べて、全体的にテーパ面と被加工物５の内面５ｃ，５ｄとの間隔が短くなるので、テーパ面における電流密度が被加工物５の内面５ｃ，５ｄに与える作用が大きく、被加工物５の内面５ｃ，５ｄを深く加工できる。なお、図８に示される実施形態では、先端面３ｃの全面にわたってテーパ面３ｇ，３ｈが形成されていたが、テーパ面３ｇ，３ｈは、周方向における少なくとも一部に形成されていてもよい。周方向における曲り方向下流側にのみテーパ面３ｇを形成することで、曲り方向下流側に電解液Ｗの流速分布を偏心させることができる。
　図９、１０に示される実施形態では、加工用電極３Ｄは、外筒部３ａの径方向内側に２つの内部流路３ｂが形成されているが、一方の内部流路３ｂ（図中右側の内部流路３ｂ）は導電性部材１１ａにより閉塞されており、出口開口を有しない。即ち、２つの内部流路３ｂのうち図中左側の内部流路３ｂのみが出口開口３ｄを有する。よって、先端面３ｃのうち出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａが先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心している。なお、図６、７に示されるような、互いの径が異なる２つの内部流路３ｂの一方を閉塞する構成にしてもよい。
　上記の方法によれば、内部流路３ｂが一部閉塞される前は、軸心Ｃｓに対して出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａが偏心していない場合でも、内部流路３ｂを先端面３ｃにおいて導電性部材１１ａにより一部閉塞することで、該導電性部材１１ａに電流が流れるので、軸心Ｃｓに対して該領域の図心Ｃａを偏心させることができる。このため、軸心Ｃｓに対して該領域の図心Ｃａがずれた方向に、加工用電極３Ｃの電流密度の分布を偏心させることができるので、該領域の図心Ｃａがずれた方向に加工孔５ａを曲げて形成可能である。
　ここで、図４、６、９に示されるように、加工用電極３の先端面３ｃは、基準線Ｌｄによって、加工孔５ａの曲り方向下流側の第１領域Ｆ１と、該曲り方向上流側の第２領域Ｆ２との二つに分割される。ここで、基準線Ｌｄは、先端面３ｃにおいて、軸心Ｃｓを通り、かつ、図心Ｃａと、軸心Ｃｓと、を通る直線に垂直な直線である。
　図４、６、９に示されるように、先端面３ｃのうち出口開口３ｄを除く領域の図心Ｃａが、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心した第１領域Ｆ１側は、第２領域Ｆ２側に比べて、先端面３ｃにおける導電可能な面積が大きく、電流が流れやすい。このため、上述した図１、４～１０に示される実施形態では、加工用電極３（３Ａ～３Ｄ）の先端面３ｃのうち、第２領域Ｆ２側における電流密度の平均値に比べて、第１領域Ｆ１側における電流密度の平均値の方が大きくなるような電流密度の分布が形成される。
（流速分布を偏心させる曲り孔形成方法）
　図１１は、図１に示すＡ－Ａ線に沿う概略的な断面図であり、一実施形態に係る加工用電極３の先端面の構成を示している。図１２は、図１１に示す加工用電極３を用いて加工孔５ａを形成する様子を示す図である。
　図１３は、図１１と同様に、一実施形態に係る加工用電極３の先端面の構成を示している。図１４は、図１３に示す加工用電極３を用いて加工孔５ａを形成する様子を示す図である。
　幾つかの実施形態では、図１１～１４に示されるように、出口開口３ｄの図心Ｃｏが、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心した加工用電極３（３Ｅ，３Ｆ）を用いることで、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布を軸心Ｃｓに対して偏心させる。この場合、加工孔５ａは、軸心Ｃｓに対する出口開口３ｄの図心Ｃｏのずれ方向に曲がって形成される。
　図１１、１２に示されるように、加工用電極３Ｅは、外筒部３ａの径方向内側に１つの内部流路３ｂが形成され、先端面３ｃに内部流路３ｂに連通する１つの出口開口３ｄが形成されている。加工用電極３Ｅの出口開口３ｄは、略半円形状であり、先端面３ｃにおける出口開口３ｄの図心Ｃｏは、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、図中右側に偏心している。
　図１１に示されるように、出口開口３ｄの図心Ｃｏが、先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心した第１領域Ｆ１側は、第２領域Ｆ２側に比べて、先端面３ｃにおける電解液Ｗを噴出するための出口開口３ｄの開口面積が大きく、出口開口３ｄから電解液Ｗを大量に噴出させることができる。このため、上述した図１１、１２に示される実施形態では、加工用電極３Ｅの先端面３ｃのうち、第２領域Ｆ２における電解液Ｗの平均流速に比べて、第１領域Ｆ１における電解液Ｗの平均流速の方が大きくなるような電解液Ｗの流速分布が形成される。
　図１３、１４に示される実施形態では、加工用電極３Ｆは、外筒部３ａの内壁同士を繋ぎ外筒部３ａの内部を２分割する間仕切部３ｆを含んでいる。加工用電極３Ｆは、間仕切部３ｆにより、外筒部３ａの径方向内側に２つの内部流路３ｂが形成されているが、このうち一方の内部流路３ｂ（図中左側の内部流路３ｂ）は先端面３ｃにおいて閉塞部材１１によって閉塞されており、他方の内部流路３ｂのみが出口開口３ｄを有している。このように、２つの内部流路３ｂのうち一方を閉塞部材１１により閉塞することで、先端面３ｃのうち出口開口３ｄの図心Ｃｏが先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して偏心している。図１３、１４に示される実施形態では、閉塞部材１１は断面形状が半円状の非導電性部材１１ｂにより構成される。なお、閉塞部材１１は互いの径が異なる２つの内部流路３ｂの一方を閉塞するようになっていてもよく、少なくとも１つの内部流路３ｂの一部を閉じるようになっていてもよい。
　上記の方法によれば、内部流路３ｂが一部閉塞される前は、軸心Ｃｓに対して出口開口３ｄの図心Ｃｏが偏心していない場合でも、内部流路３ｂを一部閉塞することで、軸心Ｃｓに対して出口開口３ｄの図心Ｃｏを偏心させることができる。このため、軸心Ｃｓに対して出口開口３ｄの図心Ｃｏがずれた方向に、出口開口３ｄから噴出される電解液Ｗの流速分布を偏心させることができるので、出口開口３ｄの図心Ｃｏがずれた方向に加工孔５ａを曲げて形成可能である。
　なお、間仕切部３ｆが外筒部３ａの内部を３以上の複数の分割するように構成され、間仕切部３ｆにより分割された内部流路３ｂのうちの少なくとも１つが閉塞されていてもよい。また、内部流路３ｂを閉塞する閉塞部材１１は導電性部材１１ａにより構成されていてもよい。間仕切部３ｆによって複数に分割された内部流路３ｂのうちの少なくとも１つを閉塞部材１１により閉塞することで、加工用電極３の先端面３ｃの軸心Ｃｓに対して、先端面３ｃにおける電流密度の分布や、電解液Ｗの流速分布を加工孔５ａの曲り方向下流側に偏心させることを容易に行うことができる。
　なお、図１３～１４に示した実施形態では、先端面３ｃに設けた閉塞部材１１により内部流路３ｂを部分的に閉塞することで、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布を軸心Ｃｓに対して偏心させるようになっていたが、閉塞部材１１は内部流路３ｂの途中に設けてもよい。
　図１５は、一実施形態に係る加工用電極３Ｇの断面図である。同図に示すように、加工用電極３Ｇの軸方向に直交する断面内において、内部流路３ｂの図心Ｃｆは加工用電極３Ｇの軸心Ｃｅに対して偏心している。なお、内部流路３ｂの図心Ｃｆを加工用電極３Ｇの軸心Ｃｅに対して偏心するように、加工用電極３Ｇの軸方向に直交する断面内における、内部流路３ｂの形状を出口開口３ｄの形状とは異なる形状にしてもよい。
　上記の方法によれば、加工用電極３Ｇの軸方向に直交する断面内において、内部流路３ｂの図心Ｃｆは加工用電極３Ｆの軸心Ｃｅに対して偏心しているので、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布は、軸心Ｃｅに対して内部流路３ｂの図心Ｃｆがずれた方向に偏心する。よって、内部流路３ｂの図心Ｃｆがずれた方向に加工孔５ａを曲げて形成可能である。
　上述した幾つかの実施形態では、加工用電極３Ｇの軸方向に直交する断面内において、内部流路３ｂの図心Ｃｆを加工用電極３Ｆの軸心Ｃｅに対して偏心させることで、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布を軸心Ｃｓに対して偏心させていたが、加工用電極３に複数の内部流路３ｂが形成されている場合に、各々の内部流路３ｂを通る電解液Ｗの流速に差異を設けることで、先端面３ｃにおける電解液Ｗの流速分布を軸心Ｃｓに対して偏心させてもよい。
　幾つかの実施形態では、上述した電解加工システム２の上述した電解液供給量調整装置８は、１つの加工用電極３に形成された複数の内部流路３ｂそれぞれへの電解液Ｗの供給量を調整可能に構成されている。この場合には、電解液供給量調整装置８による内部流路３ｂを通る電解液Ｗの流速分布の偏心にともない、出口開口３ｄから噴出される電解液Ｗの流速分布が偏心するので、内部流路３ｂを通る電解液Ｗの流速分布が偏心した方向に加工孔５ａを曲げて形成可能である。
　幾つかの実施形態にかかる孔あき部材５Ａの製造方法は、上述した幾つかの実施形態にかかる電解加工方法１により、被加工物５に加工孔５ａを形成して孔あき部材５Ａを製造するステップを備えている。すなわち、孔あき部材５Ａの製造方法は、上述したステップＳ１０１と、上述したステップＳ１０２と、上述したステップＳ１０３と、を備えている。この場合には、上述した電解加工方法１により、電極（加工用電極３）の構成の複雑化を回避しながら、曲り孔（加工孔５ａ）の形成を容易に行うことができるので、加工孔５ａを有する孔あき部材５Ａを容易に製造することができる。
　なお、図３に示されるように、孔あき部材５Ａは、加工孔５ａとしての曲り形状の冷却孔を有するガスタービン動翼５Ｂであってもよい。ガスタービン動翼５Ｂでは、加工孔５ａはガスタービン動翼５Ｂを冷却する冷却媒体を流通させる冷却孔として使用される。この場合には、加工孔５ａ（冷却孔）の曲り形状をガスタービン動翼５Ｂの幾何形状に沿って湾曲させたりすることができる。また、図３に示される実施形態では、加工孔５ａはガスタービン動翼５Ｂの下端側（図中上側）から上端側（図中下側）までにわたって貫通する貫通孔であるが、ガスタービン動翼５Ｂの内部に設けられた冷却流路と外部とを連通させるように圧力面、負圧面又は後縁部に開口する任意の貫通孔であってもよく、また、貫通しない深孔でもよい。
　本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、上述した実施形態に変形を加えた形態や、これらの形態を適宜組み合わせた形態も含む。
１　　　　　　　　電解加工方法
２　　　　　　　　電解加工システム
３，３Ａ～３Ｇ　　　加工用電極
３ａ　　　　　　　　　外筒部
３ｂ　　　　　　　　　内部流路
３ｃ　　　　　　　　　先端面
３ｄ　　　　　　　　　　出口開口
３ｆ　　　　　　　　　間仕切部
３ｇ，３ｈ　　　　　　　　　テーパ面
４　　　　　　　　　電気絶縁層
５　　　　　　　　　被加工物
５Ａ　　　　　　　　　孔あき部材
５Ｂ　　　　　　　　　　ガスタービン動翼
５ａ　　　　　　　　　加工孔
５ｂ～５ｄ　　　　　　内面
６　　　　　　　　　電源
７　　　　　　　　　電解液供給装置
８　　　　　　　　　電解液供給量調整装置
９　　　　　　　　　電極送り装置
１０　　　　　　　　電極ガイド部材
１１　　　　　　　　閉塞部材
１１ａ　　　　　　　　導電性部材
１１ｂ　　　　　　　　非導電性部材
Ｃａ　　　　　　　先端面のうち出口開口を除く領域の図心
Ｃｅ　　　　　　　加工用電極の図心
Ｃｆ　　　　　　　内部流路の図心
Ｃｏ　　　　　　　出口開口の図心
Ｃｓ　　　　　　　先端面の軸心
Ｆ１　　　　　　　第１領域
Ｆ２　　　　　　　第２領域
Ｌｄ　　　　　　　基準線
Ｌｅ　　　　　　　加工用電極の軸線
Ｌｍ　　　　　　　加工線
Ｌｓ　　　　　　　先端面の軸線
Ｔ１，Ｔ２　　　　肉厚
Ｗ　　　　　　　　電解液
θ１，θ２　　　　傾斜角

Claims (14)

  1. 　電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成する電解加工方法であって、
    　加工用電極の内部流路に電解液を流通させ、前記加工用電極の先端面に設けられた前記内部流路の出口開口から前記電解液を噴出させるステップと、
    　前記電解液を前記加工用電極の前記出口開口から噴出させながら、前記加工用電極と前記被加工物との間に電位差を印加するステップと、
    　前記被加工物に前記曲り形状の加工孔を形成するステップと、を備え、
    　前記電解液を噴出させるステップでは、前記加工用電極の前記先端面の軸心に対して、前記加工用電極の先端面の電流密度の分布、または、前記出口開口から噴出される前記電解液の流速分布の少なくとも一方を前記加工孔の曲り方向下流側に偏心させる
    ことを特徴とする電解加工方法。
  2. 　前記先端面のうち前記出口開口を除く領域の図心は、前記先端面の前記軸心に対して偏心しており、
    　前記軸心に対する前記領域の前記図心のずれ方向に前記加工孔を曲げて形成する
    　ことを特徴とする請求項１に記載の電解加工方法。
  3. 　前記内部流路は前記先端面において導電性部材により一部閉塞されることで、前記先端面のうち前記出口開口を除く領域の図心が前記軸心に対して偏心していることを特徴とする請求項２に記載の電解加工方法。
  4. 　前記出口開口の図心は、前記先端面の前記軸心に対して偏心しており、
    　前記軸心に対する前記出口開口の前記図心のずれ方向に前記加工孔を曲げて形成する
    ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の電解加工方法。
  5. 　前記内部流路は一部閉塞されることで、前記出口開口の前記図心が前記軸心に対して偏心していることを特徴とする請求項４に記載の電解加工方法。
  6. 　前記内部流路は間仕切部により複数に分割されており、前記複数に分割された前記内部流路のうちの少なくとも１つが閉塞される
    　ことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の電解加工方法。
  7. 　前記加工用電極の軸方向に直交する断面内において、前記内部流路の図心は前記加工用電極の軸心に対して偏心している
    ことを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の電解加工方法。
  8. 　前記加工用電極の先端には、周方向における少なくとも一部に、先端に向かうにつれて外形寸法が小さくなるようなテーパ面が形成されている
    ことを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の電解加工方法。
  9. 　前記電解液は、硝酸又は硝酸ナトリウムを含むことを特徴とする請求項１乃至８の何れか一項に記載の電解加工方法。
  10. 　請求項１乃至９の何れか一項に記載の方法により前記被加工物に前記加工孔を形成して孔あき部材を製造するステップを備えることを特徴とする孔あき部材の製造方法。
  11. 　前記孔あき部材は、前記加工孔としての曲り形状の冷却孔を有するガスタービン動翼であることを特徴とする請求項１０に記載の孔あき部材の製造方法。
  12. 　電解加工により被加工物に曲り形状の加工孔を形成するための加工用電極であって、
    　前記加工用電極の軸方向に沿って電解液を流通可能に構成されている内部流路と、
    　前記電解液を噴出するための前記内部流路の出口開口が形成された先端面と、を備え、
    　前記先端面のうち前記出口開口を除いた領域の図心、または、前記出口開口の図心の少なくとも一方は、前記先端面の軸心に対して偏心している
    　ことを特徴とする加工用電極。
  13. 　請求項１２に記載の前記加工用電極を少なくとも備え、
    　前記加工用電極を用いた電解加工により前記被加工物に前記加工孔を形成可能に構成されている
    　ことを特徴とする電解加工システム。
  14. 　１つの前記加工用電極に形成された複数の前記内部流路それぞれへの前記電解液の供給量を調整可能に構成されている電解液供給量調整装置をさらに備える
    　ことを特徴とする請求項１３に記載の電解加工システム。
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