WO2018186385A1 - Cible de pulvérisation cylindrique et son procédé de production - Google Patents

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昭史 三島
加藤　慎司
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三菱マテリアル株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering

Abstract

La présente invention comprend : une étape de traitement de surface dans laquelle un matériau de liaison de traitement de surface est appliqué à une surface circonférentielle interne, c'est-à-dire une surface de liaison, d'une cible cylindrique (2), et/ou une surface circonférentielle externe, c'est-à-dire une surface de liaison, d'un tube de support cylindrique (3), pour former une couche de traitement de surface (11); et une étape de liaison qui est réalisée après l'étape de traitement de surface, et dans laquelle un espace entre la cible cylindrique (2) et le tube de support (3) inséré dans la cible cylindrique est rempli d'un matériau de liaison de remplissage, et ledit matériau de liaison de remplissage est durci. Le point de fusion et la température de solidus du matériau de liaison de traitement de surface dépassent le point de fusion et la température de solidus du matériau de liaison de remplissage.
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