WO2018147553A1 - 대상물 처리 장치 - Google Patents

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WO2018147553A1
WO2018147553A1 PCT/KR2017/015679 KR2017015679W WO2018147553A1 WO 2018147553 A1 WO2018147553 A1 WO 2018147553A1 KR 2017015679 W KR2017015679 W KR 2017015679W WO 2018147553 A1 WO2018147553 A1 WO 2018147553A1
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seating
plasma generating
plasma
rotating
unit
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PCT/KR2017/015679
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한동희
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주식회사 필옵틱스
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B35/20—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
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    • H05H2245/00—Applications of plasma devices
    • H05H2245/40—Surface treatments
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to an object treating apparatus, and more particularly, to an object treating apparatus that can be used to treat a surface of an object so that a film can be easily attached to the object.
  • the glass material is not easy to apply color to the surface compared to the plastic, it is common to use a method of attaching a film of a specific color to one surface of the glass substrate.
  • a process of coating a thin film using plasma on the surface of the glass substrate may be performed to facilitate adhesion of the glass substrate and the film.
  • the conventional glass substrate processing apparatus may fail to uniformly coat the thin film on the curved portion of the glass substrate constituting the housing, so that the film may not be strongly attached to the organic substrate.
  • An object of the present invention is to provide an object treatment apparatus capable of irradiating a plasma uniformly to an object.
  • the present invention provides an object processing apparatus for easily performing a plasma treatment on a curved surface formed on an object so that the film can be more stably attached to the object.
  • An object processing apparatus is an object processing apparatus for coating a thin film with a plasma on an object consisting of a curved portion and a flat portion, a seat member on which the object is seated, a body member positioned to be spaced apart from the seating member, A plasma generating member coupled to the body member to generate a plasma, a rotation module for rotating the plasma generating member in multiple directions so that the plasma generating member can be positioned at various angles with respect to the object, and the body member and the seating member And a first plasma generating unit comprising a moving module to allow at least one of the relative movements.
  • the rotation module is coupled to the body member is rotated in the first direction and the first rotation member and one side is coupled to the first rotation member, the other side the plasma generating member is coupled to the plasma generating member is And a second rotating member configured to rotate in a second direction perpendicular to the first direction with respect to the first rotating member.
  • the moving module is coupled to any one selected from the body member and the seating member lifting member for lifting any one selected from the body member and the seating member, coupled to one side of the lifting member to the lifting member And a first moving member moving in a third direction and a second moving member coupled to one side of the first moving member to move the first moving member in a fourth direction orthogonal to the third direction. .
  • the first plasma generating unit may further include a heat generating member installed inside the seating member to generate heat.
  • the stage unit is formed in a plate shape, the upper surface is divided into a plurality of zones, the seating member is disposed in each of the plurality of zones, the first plasma generating unit is located adjacent, rotated in the left and right directions It may include.
  • a loading unit positioned adjacent to the stage unit to seat the object on the seating member, at least one heat generating unit positioned adjacent to the stage unit to heat the object seated on the seating member, the stage unit
  • An unloading unit which is located adjacent to and separates the object from the seating member and transfers the object to the outside, and a second plasma generating unit which is positioned adjacent to the stage unit to coat the thin film with plasma on the planar portion of the object.
  • the first plasma generating unit included in the object treating apparatus according to the present invention includes a rotating module and a plasma generating member.
  • the plasma generating member may be rotated by the rotating module to be orthogonal to the tangential tangent of the curved portion of the object. Therefore, the plasma can be evenly radiated to the curved portion of the object. Therefore, the film adhesion reliability can be remarkably improved in the process of attaching the film to the object.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating a first plasma generating unit included in an object treating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a view showing a case in which the moving module is installed in the seating member.
  • FIG 3 is a diagram illustrating a state in which plasma is irradiated to an object in a state where the plasma generating member is rotated by the rotating module.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an object treating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating a first plasma generating unit included in an object treating apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a case in which a moving module is installed in a seating member.
  • an object treating apparatus 1000 may apply a thin film to plasma on an object 10 including a curved portion 10b and a flat portion 10a.
  • An object treating apparatus 1000 to be coated (see FIG. 4), and includes a first plasma generating unit 100.
  • the object 10 may be, for example, formed in a rectangular planar portion (10a).
  • the curved portion 10b of the object 10 may be formed at each of the corners of both sides of the rectangular planar portion 10a.
  • the curved portion 10b may be formed at three or all four corners of the rectangular planar portion 10a.
  • the shape of the object 10 is not limited to the above, and may be applied to all objects 10 including curved surfaces.
  • the material of the object 10 may be, for example, glass or plastic, but may be made of another material.
  • the object 10 may be applied to a housing constituting the rear surface of the portable device, and a film may be attached to the object 10 subjected to plasma by optically clear adhesive (OCA).
  • OCA optically clear adhesive
  • the film may be a film provided with a decoration function and anti-scattering function.
  • the first plasma generating unit 100 includes, for example, a seating member 110, a body member 120, a plasma generating member 130, a rotation module 140, and a moving module 150.
  • the object 10 may be seated on the seating member 110.
  • the seating member 110 may be formed such that the seating recess 111 is inserted into one side thereof.
  • the object 10 seated in the seating groove 111 may not be separated from the seating member 110 by its own weight or external force.
  • the mounting member 110 may adsorb the object 10 by, for example, vacuum adsorption.
  • a vacuum suction hole (not shown) may be formed on the bottom surface of the seating recess 111.
  • the vacuum suction holes may be connected to a vacuum pump not shown. When the vacuum pump is operated, the object 10 may be prevented from being separated from the seating member 110 by a vacuum suction method.
  • the plasma generating member 130 to be described later may be coupled to the body member 120.
  • the body member 120 may be, for example, formed in a stick shape and positioned up and down with respect to the ground, but is not limited thereto.
  • the bracket 120a may be formed at one side of the body member 120.
  • Rotation module 140 to be described later may be connected to the body member 120 by a bracket (120a).
  • the body member 120 may be fixed to the ground. Alternatively, the body member 120 may be moved in multiple directions by the moving module 150 to be described later.
  • the plasma generating member 130 may coat the thin film with the plasma on the object 10.
  • the plasma generating member 130 may generate plasma to irradiate the curved portion 10b from the object 10.
  • the rotation module 140 may rotate the plasma generating member 130 in multiple directions so that the plasma generating member 130 may be positioned at various angles with respect to the object 10.
  • the rotation module 140 may rotate the plasma generating member 130 in two axes.
  • the rotation module 140 for this purpose may include, for example, a first rotation member 141 and a second rotation member 142.
  • the first rotating member 141 may be coupled to the body member 120 to rotate in the first direction.
  • the second rotating member 142 is coupled to the first rotating member 141 on one side and the plasma generating member 130 is coupled to the other side so that the plasma generating member 130 is connected to the first rotating member 141. It can be made to rotate in the second direction perpendicular to the first direction with respect to.
  • the first rotating member 141 and the second rotating member 142 may be, for example, a servo motor. However, the first rotating member 141 and the second rotating member 142 may be any ones as long as they generate a rotational force.
  • the plasma generating member 130 may be freely rotated in multiple directions with respect to the body member 120 by the first rotating member 141 and the second rotating member 142. Therefore, as shown in FIG. 3, the plasma generating member 130 may irradiate the plasma in a direction orthogonal to the virtual tangent of the curved portion 10b of the object 10 by the rotation module 140. Therefore, the plasma may be evenly applied to the curved portion 10b of the object 10. Therefore, the film adhesion reliability can be remarkably improved in the process of attaching the film to the object 10.
  • the movement module 150 may allow at least one of the body member 120 and the seating member 110 to be relatively moved.
  • the moving module 150 may include, for example, a lifting member 153, a first moving member 151, and a second moving member 152.
  • the elevating member 153 may be coupled to any one selected from the body member 120 and the seating member 110 to elevate any one selected from the body member 120 and the seating member 110.
  • the elevating member 153 may be coupled to the lower side of the body member 120 to be elevated.
  • the elevating member 153 may be coupled to the lower side of the seating member 110 to be elevated.
  • the lifting member 153 may be, for example, any one selected from a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, and a linear motor, but is not limited thereto.
  • the first moving member 151 may be coupled to one side of the elevating member 153 to move the elevating member 153 in a third direction.
  • the second moving member 152 may be coupled to one side of the first moving member 151 to move the first moving member 151 in a fourth direction orthogonal to the third direction.
  • the structure for the relative movement of the first moving member 151 and the second moving member 152 for example, forming a rail groove on the upper side of the second moving member 152 and the lower side of the first moving member 151
  • the rail may be formed to be inserted into the rail groove in, but is not limited thereto.
  • the second moving member 152 may be, for example, a shaft in which a screw is formed.
  • the screw may be screwed through the first moving member 151.
  • a motor not shown may be coupled to the screw to rotate the screw, and the second moving member 152 may linearly reciprocate along the screw.
  • the object treating apparatus 1000 may further include a heat generating member 112.
  • the heat generating member 112 may be installed inside the seating member 110 to generate heat.
  • the heat generating member 112 may be, for example, a heat generating coil.
  • the heating coil may convert the electrical energy into thermal energy to heat the seating member 110.
  • the plasma treatment may be smoothly performed.
  • the seating member 110 may be heated by the heating coil so that the seating member 110 may have a specific temperature. Accordingly, the object 10 seated on the seating member 110 may also be heated so that the plasma treatment process may be performed more smoothly.
  • the object processing apparatus 1000 may further include a stage unit 300.
  • the stage unit 300 may be formed in a plate shape, and the upper surface may be divided into a plurality of zones.
  • the seating members 110 may be disposed in the plurality of zones, and the above-described first plasma generating unit 100 may be adjacent to each other.
  • the stage unit 300 may be rotated in the left and right directions.
  • a rotary motor not shown, may be disposed below the stage unit 300.
  • the object 10 may be supplied to or separated from the mounting member 110, and the object 10 may be heated.
  • various processes may be implemented on the stage unit 300, thereby minimizing the movement of the object 10, thereby shortening the processing time of the object 10. Therefore, since a large number of objects 10 can be processed per unit time, productivity can be improved.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an object processing apparatus 1000 according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the object treating apparatus 1000 includes a loading unit 400, a heat generating unit 600, an unloading unit 500, and a second plasma generating unit 200. can do.
  • the loading unit 400 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to seat the object 10 on the seating member 110.
  • the heat generating unit 600 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to apply heat to the object 10 seated on the seating member 110.
  • the heat generating unit 600 may be, for example, to generate heat toward the object 10 by converting gas, electricity, and the like into thermal energy in a general apparatus.
  • the unloading unit 500 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to separate the object 10 from the seating member 110 and transfer the object 10 to the outside. Since the unloading unit 500 and the loading unit 400 may be a device that moves by holding the object 10 in a general apparatus, a detailed description thereof will be omitted.
  • the second plasma generating unit 200 may be positioned adjacent to the stage unit 300 to coat a thin film with a plasma on the planar portion 10a (see FIG. 3) of the object 10.
  • the second plasma generation unit 200 may also have the same structure as the above-described first plasma generation unit 100.
  • the second plasma generating unit 200 may be a general plasma generator that irradiates the plasma to the planar portion 10a of the object 10 by way of another example.
  • the object 10 is positioned on the plurality of seating members 110 of the stage unit 300, and as the stage unit 300 rotates, the loading unit 400, the heat generating unit 600, and the unloading unit Various processes may be quickly performed by the 500, the first plasma generating unit 100, and the second plasma generating unit 200.

Abstract

본 기재의 대상물 처리 장치는 곡면 부분과 평면 부분으로 이루어진 대상물에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치에 있어서, 대상물이 안착되는 안착 부재, 상기 안착 부재로부터 이격되게 위치된 몸체 부재, 상기 몸체 부재에 결합되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 부재, 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 대상물에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재를 다방향으로 회전시키는 회전 모듈 및 상기 몸체 부재와 상기 안착 부재 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 하는 이동 모듈을 포함하는 제1 플라즈마 발생 유닛을 포함한다.

Description

대상물 처리 장치
본 발명은 대상물 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물에 필름을 용이하게 부착할 수 있도록 대상물의 표면을 처리하는데 사용할 수 있는 대상물 처리 장치에 관한 것이다.
최근에는 스마트폰의 성능이 점차 상향 평준화되고 있다. 제조사는 다른 스마트폰의 성능과 비교하여 자사의 스마트폰이 차별화할 수 있도록 외관을 미려하게 하여 출시하고 있다. 예컨대, 제조사는 스마트폰의 후면에 강화 유리 소재 등의 하우징을 적용하여 출시하고 있다.
다만, 유리 소재는 플라스틱과 비교하여 표면에 색상을 적용하기가 용이하지 않으므로, 특정 색상으로 이루어진 필름을 유리 기판의 일면에 부착하는 방법을 사용하는 것이 일반적이다. 여기서, 유리 기판과 필름의 부착이 용이하도록 유리 기판의 표면에 플라즈마를 사용하여 박막을 코팅하는 공정이 실시될 수 있다.
한편, 최근에 스마트폰의 파지감이 향상될 수 있도록 하우징의 양측면에 곡면을 적용한다. 그러나, 종래의 유리 기판 처리 장치는 하우징을 구성하는 유리 기판의 곡면 부분에 박막을 균일하게 코팅하지 못하는 경우가 발생되어 필름이 유기 기판에 강하게 부착되지 않을 수 있다.
본 발명의 목적은 대상물에 플라즈마를 균일하게 조사할 수 있는 대상물 처리 장치를 제공하는 것에 있다.
특히, 대상물에 형성된 곡면에도 플라즈마 처리가 용이하게 이루어지도록 하여 대상물에 필름을 보다 안정적으로 부착시킬 수 있도록 하기 위한 대상물 처리 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상물 처리 장치는 곡면 부분과 평면 부분으로 이루어진 대상물에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치에 있어서, 대상물이 안착되는 안착 부재, 상기 안착 부재로부터 이격되게 위치된 몸체 부재, 상기 몸체 부재에 결합되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 부재, 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 대상물에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재를 다방향으로 회전시키는 회전 모듈 및 상기 몸체 부재와 상기 안착 부재 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 하는 이동 모듈을 포함하는 제1 플라즈마 발생 유닛을 포함한다.
한편, 상기 회전 모듈은, 상기 몸체 부재에 결합되어 제1 방향으로 회전되는 제1 회전 부재 및 일측에는 상기 제1 회전 부재가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 제1 회전 부재에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 하는 제2 회전 부재를 포함할 수 있다.
한편, 상기 이동 모듈은, 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나를 승강시키는 승강 부재, 상기 승강 부재의 일측에 결합되어 상기 승강 부재를 제3 방향으로 이동시키는 제1 이동 부재 및 상기 제1 이동 부재의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재를 이동시키는 제2 이동 부재;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛은, 상기 안착 부재의 내부에 설치되어 열을 발생시키는 발열 부재를 더 포함할 수 있다.
한편, 판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획되고, 상기 복수의 구역에 상기 안착 부재가 각각 배치되며, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛이 인접하게 위치되고, 좌우방향으로 회전되는 스테이지 유닛을 포함할 수 있다.
한편, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물을 상기 안착 부재에 안착시키는 로딩 유닛, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재에 안착된 대상물에 열을 가하는 적어도 하나의 발열 유닛, 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재로부터 대상물을 분리하여 외부로 이송하는 언로딩 유닛 및 상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물의 평면 부분에 플라즈마로 박막을 코팅하는 제2 플라즈마 발생 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛은 회전 모듈과 플라즈마 발생 부재를 포함한다. 플라즈마 발생 부재는 회전 모듈에 의하여 대상물의 곡면 부분의 가상의 접선과 직교하도록 회전될 수 있다. 따라서, 대상물의 곡면 부분에 플라즈마가 골고루 조사될 수 있다. 그러므로, 대상물에 필름을 부착하는 공정에서 필름 부착 신뢰성이 현저하게 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛을 도시한 사시도이다.
도 2는 이동 모듈이 안착 부재에 설치되는 경우를 도시한 도면이다.
도 3은 플라즈마 발생 부재가 회전 모듈에 의해 회전된 상태에서 대상물에 플라즈마를 조사하는 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치를 도시한 도면이다.
<부호의 설명>
1000: 대상물 처리 장치
100: 제1 플라즈마 발생 유닛
110: 안착 부재
111: 안착홈
112: 발열 부재
120: 몸체 부재
130: 플라즈마 발생 부재
140: 회전 모듈
141: 제1 회전 부재
142: 제2 회전 부재
150: 이동 모듈
151: 제1 이동 부재
152: 제2 이동 부재
153: 승강 부재
200: 제2 플라즈마 발생 유닛
300: 스테이지 유닛
400: 로딩 유닛
500: 언로딩 유닛
600: 발열 유닛
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함하는 것을 의미할 수 있다.
도 1는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치에 포함된 제1 플라즈마 발생 유닛을 도시한 사시도이고, 도 2는 이동 모듈이 안착 부재에 설치되는 경우를 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000, 도 4 참조)는 곡면 부분(10b)과 평면 부분(10a)으로 이루어진 대상물(10)에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치(1000, 도 4 참조)로써, 제1 플라즈마 발생 유닛(100)을 포함한다.
여기서, 대상물(10)은 일례로 평면 부분(10a)이 직사각형으로 형성될 수 있다. 그리고, 대상물(10)의 곡면 부분(10b)은 직사각형의 평면 부분(10a)의 양측 모서리 각각에 형성될 수 있다. 이와 다르게, 곡면 부분(10b)은 직사각형의 평면 부분(10a)의 3개의 모서리 또는 4개의 모서리 모두에 형성된 것도 가능할 수 있다. 다만, 대상물(10)의 형상이 이와 같은 것으로 한정하지는 않으며, 곡면을 포함하는 모든 대상물(10)에 적용될 수 있다.
대상물(10)의 소재는 일례로 유리 또는 플라스틱일 수 있으나, 다른 소재로 이루어진 것도 가능할 수 있다. 그리고, 상기 대상물(10)은 휴대기기의 후면을 구성하는 하우징에 적용될 수 있고, 플라즈마 처리된 대상물(10)에는 광학 투명 접착 테이프(OCA: Optically clear adhesive) 등에 의하여 필름이 부착될 수 있다. 또한 상기 필름은 데코레이션 기능과 비산 방지 기능 등이 부여된 필름일 수 있다.
제1 플라즈마 발생 유닛(100)은 일례로 안착 부재(110), 몸체 부재(120), 플라즈마 발생 부재(130), 회전 모듈(140) 및 이동 모듈(150)을 포함한다.
안착 부재(110)에는 대상물(10)이 안착될 수 있다. 안착 부재(110)는 일측에 안착홈(111)이 인입되도록 형성될 수 있다. 안착홈(111)에 안착된 대상물(10)은 자중이나 외력에 의해 안착 부재(110)로부터 분리되지 않을 수 있다.
또한 안착 부재(110)는 대상물(10)을 일례로 진공 흡착으로 흡착할 수 있다. 이를 위하여 안착홈(111)의 바닥면에는 진공 흡착홀(미도시)이 형성될 수 있다. 진공 흡착홀들은 미도시된 진공 펌프와 연결될 수 있다. 상기 진공 펌프가 동작되면, 대상물(10)이 진공 흡착 방식에 의해 안착 부재(110)로부터 분리되는 것이 방지될 수 있다.
몸체 부재(120)에는 후술할 플라즈마 발생 부재(130)가 결합될 수 있다. 몸체 부재(120)는 일례로 스틱 형상으로 이루어져서 지면에 대해 상하방향으로 위치된 것일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
몸체 부재(120)의 일측에는 브라켓(120a)이 형성될 수 있다. 후술할 회전 모듈(140)은 브라켓(120a)에 의해 몸체 부재(120)에 연결될 수 있다. 이러한 몸체 부재(120)는 지면에 고정될 수 있다. 이와 다르게, 몸체 부재(120)는 후술할 이동 모듈(150)에 의해 다방향으로 이동될 수 있다.
플라즈마 발생 부재(130)는 대상물(10)에 플라즈마로 박막을 코팅할 수 있다. 예를 들어 플라즈마 발생 부재(130)는 플라즈마를 발생시켜서 대상물(10)에서 곡면 부분(10b)에 조사할 수 있다.
회전 모듈(140)은 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 상기 대상물(10)에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재(130)를 다방향으로 회전시킬 수 있다.
예를 들어, 회전 모듈(140)은 플라즈마 발생 부재(130)를 2축으로 회전시킬 수 있다. 이를 위한 회전 모듈(140)은 일례로, 제1 회전 부재(141), 제2 회전 부재(142)를 포함할 수 있다.
제1 회전 부재(141)는 상기 몸체 부재(120)에 결합되어 제1 방향으로 회전될 수 있다.
제2 회전 부재(142)는 일측에는 상기 제1 회전 부재(141)가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재(130)가 상기 제1 회전 부재(141)에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 할 수 있다. 이러한 제1 회전 부재(141)와 제2 회전 부재(142)는 일례로 서보 모터일 수 있으나, 이에 한정하지 않으며 회전력을 발생시키는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다.
플라즈마 발생 부재(130)는 이와 같은 제1 회전 부재(141)와 제2 회전 부재(142)에 의하여 몸체 부재(120)에 대해 다방향으로 자유롭게 회전될 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이 플라즈마 발생 부재(130)가 회전 모듈(140)에 의하여 대상물(10)의 곡면 부분(10b)의 가상의 접선과 직교하는 방향으로 플라즈마를 조사할 수 있다. 따라서, 대상물(10)의 곡면 부분(10b)에 플라즈마가 골고루 조사될 수 있다. 그러므로, 대상물(10)에 필름을 부착하는 공정에서 필름 부착 신뢰성이 현저하게 향상될 수 있다.
이동 모듈(150)은 상기 몸체 부재(120)와 상기 안착 부재(110) 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 할 수 있다. 이러한 이동 모듈(150)은 일례로 승강 부재(153), 제1 이동 부재(151) 및 제2 이동 부재(152)를 포함할 수 있다.
승강 부재(153)는 상기 몸체 부재(120) 및 상기 안착 부재(110) 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재(120) 및 상기 안착 부재(110) 중 선택된 어느 하나를 승강시킬 수 있다. 예를 들어, 승강 부재(153)는 몸체 부재(120)의 하측에 승강 가능하도록 결합될 수 있다. 이와 다르게, 승강 부재(153)은 안착 부재(110)의 하측에 승강 가능하도록 결합될 수 있다.
이러한 승강 부재(153)는 일례로 유압 실린더, 공압 실린더 및 선형 모터 중 선택된 어느 하나일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
제1 이동 부재(151)는 상기 승강 부재(153)의 일측에 결합되어 상기 승강 부재(153)를 제3 방향으로 이동시킬 수 있다.
제2 이동 부재(152)는 상기 제1 이동 부재(151)의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재(151)를 이동시킬 수 있다.
여기서, 제1 이동 부재(151)와 제2 이동 부재(152)의 상대 이동을 위한 구조는 일례로 제2 이동 부재(152)의 상측에 레일홈을 형성하고 제1 이동 부재(151)의 하측에 레일홈에 삽입될 수 있는 레일을 형성한 것일 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 그리고, 제2 이동 부재(152)는 일례로 스크류가 형성된 샤프트가 결합된 것일 수 있다. 예를 들어, 그리고, 스크류가 제1 이동 부재(151)를 관통하면서 나사결합될 수 있다. 미도시된 모터는 스크류에 결합되어 스크류를 회전시키고, 제2 이동 부재(152)가 스크류를 따라 직선 왕복 이동될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 발열 부재(112)를 더 포함할 수 있다. 발열 부재(112)는 상기 안착 부재(110)의 내부에 설치되어 열을 발생시킬 수 있다.
이러한 발열 부재(112)는 일례로 발열 코일일 수 있다. 발열 코일은 전기 에너지를 열 에너지로 변환하여 안착 부재(110)를 가열할 수 있다. 일반적으로 플라즈마 처리 공정시 대상물(10)의 온도가 특정 온도이면 플라즈마 처리가 원활하게 실시될 수 있다.
이와 같이 안착 부재(110)가 발열 코일에 의해 가열되어 안착 부재(110)가 특정 온도가 될 수 있다. 이에 따라, 안착 부재(110)에 안착된 대상물(10)도 가열되어 플라즈마 처리 공정이 더욱 원활하게 진행될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 스테이지 유닛(300)을 더 포함할 수 있다.
스테이지 유닛(300)은 판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획될 수 있다. 상기 안착 부재(110)가 상기 복수의 구역에 각각 배치되며, 전술한 제1 플라즈마 발생 유닛(100)이 인접하게 위치될 수 있다. 스테이지 유닛(300)은 좌우방향으로 회전될 수 있다. 이러한 스테이지 유닛(300)의 하측에는 미도시된 회전 모터가 배치될 수 있다.
스테이지 유닛(300)의 각각의 구역들에서 다양한 공정들이 실시될 수 있다. 예를 들어, 대상물(10)이 안착 부재(110)로 공급되거나 분리될 수 있고, 대상물(10)이 가열될 수 있다. 이와 같이 다양한 공정이 스테이지 유닛(300) 상에서 구현됨으로써, 대상물(10)의 이동을 최소화하여 대상물(10) 처리 작업 시간이 단축될 수 있다. 그러므로, 단위 시간당 많은 개수의 대상물(10)을 처리할 수 있으므로, 생산성이 향상될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)의 상세한 구조를 일례를 들어 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)를 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 대상물 처리 장치(1000)는 로딩 유닛(400), 발열 유닛(600), 언로딩 유닛(500) 및 제2 플라즈마 발생 유닛(200)을 포함할 수 있다.
로딩 유닛(400)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 대상물(10)을 상기 안착 부재(110)에 안착시킬 수 있다.
발열 유닛(600)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재(110)에 안착된 대상물(10)에 열을 가할 수 있다. 발열 유닛(600)은 일례로 일반적인 장치에서 가스, 전기 등을 열 에너지로 변환하여 대상물(10)을 향하여 열을 발생시키는 것일 수 있다.
언로딩 유닛(500)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재(110)로부터 대상물(10)을 분리하여 외부로 이송할 수 있다. 언로딩 유닛(500) 및 로딩 유닛(400)은 일반적인 장치에서 대상물(10)을 파지하여 이동하는 장치일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 상기 스테이지 유닛(300)에 인접하게 위치되어 상기 대상물(10)의 평면 부분(10a, 도 3 참조)에 플라즈마로 박막을 코팅할 수 있다. 제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 전술한 제1 플라즈마 발생 유닛(100)과 동일한 구조인 것도 가능할 수 있다. 이와 다르게, 제2 플라즈마 발생 유닛(200)은 다른 일례로 선형 노즐로 대상물(10)의 평면 부분(10a)에 플라즈마를 조사하는 일반적인 플라즈마 발생기인 것도 가능할 수 있다.
전술한 바와 같이 대상물(10)이 스테이지 유닛(300)의 복수의 안착 부재(110)에 위치되고, 스테이지 유닛(300)이 회전함에 따라 로딩 유닛(400), 발열 유닛(600), 언로딩 유닛(500), 제1 플라즈마 발생 유닛(100) 및 제2 플라즈마 발생 유닛(200)에 의해 다양한 공정이 신속하게 실시될 수 있다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (6)

  1. 곡면 부분과 평면 부분으로 이루어진 대상물에 플라즈마로 박막을 코팅하는 대상물 처리 장치에 있어서,
    대상물이 안착되는 안착 부재;
    상기 안착 부재로부터 이격되게 위치된 몸체 부재;
    상기 몸체 부재에 결합되어 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생 부재;
    상기 플라즈마 발생 부재가 상기 대상물에 대하여 다양한 각도로 위치될 수 있도록 상기 플라즈마 발생 부재를 다방향으로 회전시키는 회전 모듈; 및
    상기 몸체 부재와 상기 안착 부재 중 적어도 어느 하나가 상대 이동될 수 있게 하는 이동 모듈;을 포함하는 제1 플라즈마 발생 유닛을 포함하는 대상물 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전 모듈은,
    상기 몸체 부재에 결합되어 제1 방향으로 회전되는 제1 회전 부재; 및
    일측에는 상기 제1 회전 부재가 결합되고, 타측에는 상기 플라즈마 발생 부재가 결합되어 상기 플라즈마 발생 부재가 상기 제1 회전 부재에 대하여 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 회전되게 하는 제2 회전 부재;를 포함하는 대상물 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 이동 모듈은,
    상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나에 결합되어 상기 몸체 부재 및 상기 안착 부재 중 선택된 어느 하나를 승강시키는 승강 부재;
    상기 승강 부재의 일측에 결합되어 상기 승강 부재를 제3 방향으로 이동시키는 제1 이동 부재; 및
    상기 제1 이동 부재의 일측에 결합되어 상기 제3 방향에 직교하는 제4 방향으로 상기 제1 이동 부재를 이동시키는 제2 이동 부재;를 포함하는 대상물 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 플라즈마 발생 유닛은,
    상기 안착 부재의 내부에 설치되어 열을 발생시키는 발열 부재를 더 포함하는 대상물 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    판형상으로 이루어지고, 상면이 복수의 구역으로 분획되고, 상기 복수의 구역에 상기 안착 부재가 각각 배치되며, 상기 제1 플라즈마 발생 유닛이 인접하게 위치되고, 좌우방향으로 회전되는 스테이지 유닛을 포함하는 대상물 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물을 상기 안착 부재에 안착시키는 로딩 유닛;
    상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재에 안착된 대상물에 열을 가하는 적어도 하나의 발열 유닛;
    상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 안착 부재로부터 대상물을 분리하여 외부로 이송하는 언로딩 유닛; 및
    상기 스테이지 유닛에 인접하게 위치되어 상기 대상물의 평면 부분에 플라즈마로 박막을 코팅하는 제2 플라즈마 발생 유닛;을 포함하는 대상물 처리 장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060577A (ja) * 1999-08-19 2001-03-06 Matsushita Electric Works Ltd プラズマ処理システム及びプラズマ処理方法
KR20090079540A (ko) * 2008-01-18 2009-07-22 주식회사 코미코 기판 지지 장치 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101376091B1 (ko) * 2012-09-21 2014-03-19 (주) 엠에이케이 곡면 처리용 플라즈마 처리장치
KR101566657B1 (ko) * 2015-04-08 2015-11-05 한동희 기판 처리 장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060577A (ja) * 1999-08-19 2001-03-06 Matsushita Electric Works Ltd プラズマ処理システム及びプラズマ処理方法
KR20090079540A (ko) * 2008-01-18 2009-07-22 주식회사 코미코 기판 지지 장치 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101376091B1 (ko) * 2012-09-21 2014-03-19 (주) 엠에이케이 곡면 처리용 플라즈마 처리장치
KR101566657B1 (ko) * 2015-04-08 2015-11-05 한동희 기판 처리 장치 및 방법

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