WO2018142897A1

WO2018142897A1 - 光電センサ

Info

Publication number: WO2018142897A1
Application number: PCT/JP2018/000815
Authority: WO
Inventors: 俊樹越; 功野原; 慎二飯島
Original assignee: アズビル株式会社
Priority date: 2017-01-31
Filing date: 2018-01-15
Publication date: 2018-08-09
Also published as: JP2018124139A

Abstract

光電センサ１は、送信信号に応じた光を発光する複数の発光素子１０１と、発光素子１０１と対となって設けられ、光を受光する受光素子１０２と、発光素子１０１毎に設けられ、送信信号を伝送し、発光素子１０１に出力する信号伝送ケーブル１０３と、受光素子毎１０２に設けられ、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送する信号伝送ケーブル１０４と、信号伝送ケーブル１０３毎に設けられ、送信信号を生成して該当する信号伝送ケーブル１０３に出力する信号生成部１０７３と、動作させる信号生成部１０７３を選択する選択部１０７４と、信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部１０７６とを備えた。

Description

光電センサ

　この発明は、物体の有無を検出する光電センサに関する。

　従来から、例えば半導体装置等の製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）を検出するため、複数の光電センサを連結して用いている。また、光電センサの設置箇所が狭い場合、光ファイバを用いた光ファイバ型光電センサが用いられる（例えば特許文献１参照）。この光ファイバ型光電センサでは、発光素子により発光された光を光ファイバで導いて検出領域に照射し、検出領域を通過した光を光ファイバで受光素子まで導き、物体の有無を検出する。この光ファイバ型光電センサを用いることで、通常の光電センサでは設置できない狭い箇所であっても光ファイバを設置可能であり、物体検出が可能となる。

特開２００５－１０６５２３号公報

　しかしながら、通常、光ファイバは直線のまま使用されるのではなく、設置箇所に応じて折り曲げられて使用される。そのため、光ファイバの断線や光量の変動が生じ、正確に物体検出ができないという課題があった。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる光電センサを提供することを目的としている。

　この発明に係る光電センサは、入力された送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子と、発光素子と対となって設けられ、光を受光する受光素子と、発光素子毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された発光素子に出力する第１信号伝送ケーブルと、受光素子毎に設けられ、一端に接続された受光素子により受光された光を示す受信信号を伝送する第２信号伝送ケーブルと、第１信号伝送ケーブル毎に設けられ、送信信号を生成して該当する第１信号伝送ケーブルに出力する信号生成部と、動作させる信号生成部を選択する信号生成制御部と、第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部とを備えたことを特徴とする。

　この発明によれば、上記のように構成したので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる。

この発明の実施の形態１に係る光電センサの構成例を示す図である。この発明の実施の形態１における制御部の構成例を示す図である。図３Ａ、図３Ｂは、この発明の実施の形態１における発光素子と信号伝送ケーブルとの接続方法の一例を示す斜視図であり、図３Ａは光学レンズ及び被膜部を取除いた状態を示す図であり、図３Ｂは外観を示す図である。この発明の実施の形態１における信号伝送ケーブルとアンプ部との接続方法の一例を説明する図である。この発明の実施の形態１における信号生成部により生成されて出力される送信信号の一例を示す図である。この発明の実施の形態１における発光素子及び受光素子の位置関係の一例を示す図である。この発明の実施の形態１における表示部による表示例を示す図である。この発明の実施の形態２に係る光学センサシステムの構成例を示す図である。

　以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
　図１はこの発明の実施の形態１に係る光電センサ１の構成例を示す図である。
　光電センサ１は、例えば半導体装置等の製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）の有無を検出する。以下では、光電センサ１が透過形である場合を示す。この光電センサ１は、図１に示すように、複数の発光素子１０１、複数の受光素子１０２、複数の信号伝送ケーブル（第１信号伝送ケーブル）１０３、複数の信号伝送ケーブル（第２信号伝送ケーブル）１０４及び本体部１０５を備えている。また、本体部１０５には、複数のアンプ部１０６、制御部１０７、通信部１０８及び表示部１０９が搭載されている。図１では、Ｎ系統の発光素子１０１（１０１－１～１０１－Ｎ）、受光素子１０２（１０２－２～１０２－Ｎ）、信号伝送ケーブル１０３（１０３－１～１０３－Ｎ）、信号伝送ケーブル１０４（１０４－１～１０４－Ｎ）及びアンプ部１０６（１０６－１～１０６－Ｎ）を備えた場合を示している。

　発光素子１０１は、当該発光素子１０１が接続された信号伝送ケーブル１０３により伝送された送信信号に応じ、当該送信信号を変換した光を発光するチップＬＥＤ又はフォトＩＣ等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。

　受光素子１０２は、発光素子１０１と対となって設けられ、光を受光するフォトダイオード等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。なお、受光素子１０２は、物体の有無を検出する検出領域を挟んで、対となる発光素子１０１に対向配置される。この受光素子１０２により受光された光を示す受信信号は、当該受光素子１０２が接続された信号伝送ケーブル１０４に出力される。受信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。

　信号伝送ケーブル１０３は、発光素子１０１毎に設けられ、一端に発光素子１０１が接続され、他端がアンプ部１０６（本体部１０５）に接続される。信号伝送ケーブル１０３は、信号ライン１０３１、グランドライン１０３２、及び、信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２を被膜する絶縁体１０３３を有している（図３参照）。また必要に応じて、電源ライン（不図示）も追加される。この信号伝送ケーブル１０３は、アンプ部１０６により増幅された送信信号を伝送して発光素子１０１に出力する。送信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。

　信号伝送ケーブル１０４は、受光素子１０２毎に設けられ、一端に受光素子１０２が接続され、他端がアンプ部１０６（本体部１０５）に接続される。信号伝送ケーブル１０４は、信号ライン１０４１（不図示）、グランドライン１０４２（不図示）、及び、信号ライン１０４１及びグランドライン１０４２を被膜する絶縁体１０４３（不図示）を有している。この信号伝送ケーブル１０４は、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送してアンプ部１０６に出力する。

　アンプ部１０６は、対となる信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４毎に設けられ、制御部１０７の後述する信号生成部１０７３により生成された送信信号を増幅する。このとき、アンプ部１０６は、電圧である送信信号を電流に変換する場合もある。なお、各アンプ部１０６における増幅量は、ＰＣ等により、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置関係に基づいて適切な値に設定される。このアンプ部１０６により増幅された送信信号は、当該アンプ部１０６に接続された信号伝送ケーブル１０３に出力される。また、アンプ部１０６は、当該アンプ部１０６に接続された信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号をフィルタリング等でノイズを除去した後に増幅する。このとき、アンプ部１０６は、電流である受信信号を電圧に変換する場合もある。このアンプ部１０６により増幅された受信信号は、制御部１０７に出力される。アンプ部１０６は、主にアナログ回路で構成される。

　制御部１０７は、アンプ部１０６、通信部１０８及び表示部１０９を制御する。この制御部１０７は、システムＬＳＩ等の処理回路や、メモリ等に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ等により実現される。制御部１０７は、図２に示すように、記憶部１０７１、モード設定部１０７２、複数の信号生成部１０７３、信号生成制御部１０７４、複数の信号復調部１０７５、及び物体検出部１０７６を備えている。図２では、信号生成部１０７３及び信号復調部１０７５をそれぞれ１つのみ示している。

　記憶部１０７１は、信号生成部１０７３で用いるビット列を構成するための情報を格納する。例えば、記憶部１０７１は、上記情報として、各信号伝送ケーブル１０３のＩＤを示す情報を格納する。また、記憶部１０７１は、上記情報に代えて、信号伝送ケーブル１０３毎に異なるビット列そのものを示す情報を格納してもよい。なお、記憶部１０７１は必須の構成ではなく、制御部１０７から取り除いてもよい。

　モード設定部１０７２は、光電センサ１を使用する使用者による入力に応じ、光電センサ１の運用モードを調整モード又は通常モードに設定する。
　調整モードは、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置決めを行うためのモードである。この調整モードでは、信号生成制御部１０７４は、ある特定の発光素子１０１及び当該発光素子１０１と対となる受光素子１０２の位置決めが完了するまでは、当該発光素子１０１に接続された信号伝送ケーブル１０３のみに送信信号を出力し続けるように信号生成部１０７３を制御する。
　通常モードは、検出領域における物体の有無を検出するためのモードである。この通常モードでは、信号生成制御部１０７４は、予め設定されたタイミング及び順序で、対象とする信号伝送ケーブル１０３を選択して当該信号伝送ケーブル１０３に送信信号を出力するように信号生成部１０７３を制御する。複数の信号伝送ケーブル１０４間の距離が十分離れているのであれば、相互干渉の問題が発生しないので、複数の信号伝送ケーブル１０３に対して同時に送信信号を出力してもよい。

　信号生成部１０７３は、信号伝送ケーブル１０３毎に設けられ、送信信号を生成して、該当する信号伝送ケーブル１０３に接続されたアンプ部１０６に出力する。
　また、受光素子１０２が外乱光の存在する場所に設置される場合や、受光素子１０２により受光された光の発光元である発光素子１０１を特定する必要がある場合には、各信号生成部１０７３は、送信信号を信号伝送ケーブル１０３毎に固有な信号としてもよい。すなわち、各信号生成部１０７３は、送信信号として、該当する信号伝送ケーブル１０３に固有なビット列から成る数ビットのオンオフ信号を生成する。この際、例えば、制御部１０７に記憶部１０７１が設けられている場合には、各信号生成部１０７３は、当該記憶部１０７１に格納された情報から得られたビット列で変調を掛けることで、上記オンオフ信号を生成可能である。また、上記ビット列は、ＣＲＣ（Ｃｙｃｌｉｃ　Ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ　Ｃｈｅｃｋ）等の誤り検出符号を付加して構成してもよい。

　信号生成制御部１０７４は、動作させる信号生成部１０７３を選択する。
　光電センサ１が調整モードの場合には、信号生成制御部１０７４は、ある特定の信号生成部１０７３を選択する。また、上記信号生成部１０７３により生成された送信信号の出力先である発光素子１０１及び当該発光素子１０１と対となる受光素子１０２の位置決めが完了した場合には、信号生成制御部１０７４は、次の信号生成部１０７３に切替える。
　また、光電センサ１が通常モードの場合には、信号生成制御部１０７４は、予め設定された時間間隔及び順序で、１つの又は複数の信号生成部１０７３を切替えながら選択する。Ｎ個の信号生成部１０７３の切替えは、例えば１つの信号生成部１０７３に対して１ｍｓの選択時間を設け、信号伝送ケーブル１０３を介して発光素子１０１を発光させる時間を０．３ｍｓ程度とすること等が考えられる。信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４のケーブル長さが数ｍである場合、ケーブル長さ１ｍに対して数ｎｓの伝搬遅延時間が発生する程度であるため、発光時間に対して選択時間に余裕を持たせることができる。
　なお上記では、信号生成制御部１０７４は、予め設定された時間間隔及び順序で、信号生成部１０７３を切替えるものとした。しかしながら、これに限らず、信号生成制御部１０７４は、選択した信号生成部１０７３により生成された送信信号の出力先である発光素子１０１を用いて物体の検知ができた時点で次の信号生成部１０７３を選択するようにしてもよい。

　信号復調部１０７５は、信号伝送ケーブル１０４毎に設けられ、該当する信号伝送ケーブル１０４に接続されたアンプ部１０６により増幅された受信信号を復調する。この際、信号復調部１０７５は、アンプ部１０６により増幅された受信信号のビット列を、対となる信号生成部１０７３で送信信号を生成する際に用いたビット列と比較する。そして、信号復調部１０７５は、両方のビット列が完全に一致又はある一定以上の割合で一致している場合に、当該送信信号の出力先である発光素子１０１を発光元と判断する。この信号復調部１０７５により復調された（発光素子１０１が発光元と判断された）受信信号は、物体検出部１０７６に出力される。また、対となる信号生成部１０７３と信号復調部１０７５は、互いに同期をとっており、信号生成部１０７３が送信信号を出力した後、所定時間内に信号復調部１０７５で当該送信信号に対応する受信信号が検出されない場合には、その旨を物体検出部１０７６に通知する。なお、送信信号を信号伝送ケーブル１０３毎に固有な信号としない場合には、信号復調部１０７５は不要であり、制御部１０７から取り除いてもよい。この場合、物体検出部１０７６が信号生成制御部１０７４の選択した信号生成部１０７３を特定できればよい。

　物体検出部１０７６は、光電センサ１が通常モードの場合において、信号復調部１０７５により復調された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する。すなわち、物体検出部１０７６は、信号復調部１０７５により復調された受信信号に基づいて、受光レベルが閾値以下である受光素子１０２が存在すると判断した場合に、検出領域に透明体等の物体が有ると判断する。また、信号復調部１０７５により該当する受信信号が検出されないと通知された場合には、検出領域に物体が有ると判断する。この物体検出部１０７６により検出された物体の有無を示す信号は、通信部１０８又は表示部１０９のうちの少なくとも一方に出力される。
　なお、制御部１０７は、光電センサ１が調整モードの場合には、信号復調部１０７５により出力された受信信号をそのまま表示部１０９に出力する。

　通信部１０８は、外部装置との間で通信を行う。なお、通信部１０８と外部装置との間の接続は、有線（ＲＳ－４８５又はイーサネット（登録商標）等）でも無線でもよい。この通信部１０８は、制御部１０７により出力された信号を外部装置に送信し、また、外部装置により送信された信号を受信する。

　表示部１０９は、制御部１０７により出力された信号に応じた表示を行う。ここで、表示部１０９は、制御部１０７により受信信号が出力された場合には、当該受信信号が示す光の受光レベルを表示する。また、表示部１０９は、制御部１０７の物体検出部１０７６により物体の有無を示す信号が出力された場合には、当該物体の有無を表示する。

　次に、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続方法の一例について、図３を参照しながら説明する。
　発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３は、図３に示すように、配線が成された回路基板１１０を介して導通されている。すなわち、発光素子１０１は回路基板１１０上にはんだ付け又は接合により接続され、信号伝送ケーブル１０３は信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２の一端が回路基板１１０上にはんだ付け又は接合により接続されている。また、発光素子１０１の上部には、光学レンズ１１１が装着される。また、発光素子１０１、信号伝送ケーブル１０３の一端及び回路基板１１０は、被膜部１１２により覆われる。

　なお、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続は上記に限らない。例えば、市販のコネクタのオス側に発光素子１０１が接続され、メス側に信号伝送ケーブル１０３が接続されてもよい。このような構成により、発光素子１０１を信号伝送ケーブル１０３に対して容易に着脱可能となり、発光素子１０１が劣化した場合に信号伝送ケーブル１０３の配線はそのままに発光素子１０１だけを交換可能となる。

　また上記では、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続方法について示したが、受光素子１０２と信号伝送ケーブル１０４との接続方法についても同様であり、その説明を省略する。

　次に、信号伝送ケーブル１０３とアンプ部１０６との接続方法の一例について、図４を参照しながら説明する。
　アンプ部１０６では、基板上に、複数のコネクタのオス側１０６１が接続されている。一方、信号伝送ケーブル１０３の信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２の他端には、上記コネクタのメス側１０３４が接続されている。そして、メス側１０３４がオス側１０６１に接続されることで、アンプ部１０６と信号伝送ケーブル１０３とが導通される。このような構成により、信号伝送ケーブル１０３をアンプ部１０６（本体部１０５）に対して容易に着脱可能となる。

　なお上記では、信号伝送ケーブル１０３とアンプ部１０６との接続方法について示したが、信号伝送ケーブル１０４とアンプ部１０６との接続方法についても同様であり、その説明を省略する。

　次に、各信号生成部１０７３により生成されて出力される送信信号の一例について、図５を参照しながら説明する。図５では、３系統の信号生成部１０７３（１０７３－１～１０７３－３）が、予め設定された時間間隔で該当する発光素子１０１（１０１－１～１０１－３）に順に送信信号を生成して出力する場合を示している。

　この場合、まず、信号生成制御部１０７４は、動作させる信号生成部１０７３として、信号生成部１０７３－１を選択する。そして、信号生成部１０７３－１は、発光素子１０１－１に対する送信信号ｆ１を生成する。図５では、信号生成部１０７３－１は、送信信号ｆ１として、数ビットのオンオフ信号を生成している。そして、信号生成部１０７３－１は、生成した送信信号ｆ１を、時間Ｔ１の間にアンプ部１０６－１を介して信号伝送ケーブル１０３－１に出力する。その後、発光素子１０１－１は送信信号ｆ１を変換した光を発光し、受光素子１０２－１は光の受光を行い、制御部１０７は信号伝送ケーブル１０４－１及びアンプ部１０６－１を介して受信信号の検出を行う。

　時間Ｔ１が経過した後、信号生成制御部１０７４は、動作させる信号生成部１０７３として、信号生成部１０７３－２を選択する。そして、信号生成部１０７３－２は、発光素子１０１－２に対する送信信号ｆ２を生成する。図５では、送信信号ｆ２のビット列が、送信信号ｆ１のビット列とは異なっている。そして、信号生成部１０７３－２は、生成した送信信号ｆ２を、時間Ｔ２の間にアンプ部１０６－２を介して信号伝送ケーブル１０３－２に出力する。その後、発光素子１０１－２は送信信号ｆ２を変換した光を発光し、受光素子１０２－２は光の受光を行い、制御部１０７は信号伝送ケーブル１０４－２及びアンプ部１０６－２を介して受信信号の検出を行う。
　時間Ｔ２が経過した後、信号伝送ケーブル１０３－３に対しても同様の処理を行う。

　このように、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を用いて発光素子１０１及び受光素子１０２との間で信号の入出力を行うことで、通常の光電センサでは設置できない狭い箇所であっても信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を設置可能であり、物体検出が可能となる。また、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４は、任意に折り曲げられても、信号の伝送が可能である。そのため、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４が設置箇所に応じて折り曲げられて使用される場合でも、光ファイバ型光電センサに対し、正確に物体検出が可能となる。

　また、発光素子１０１が劣化した場合に、発光素子１０１又は信号伝送ケーブル１０３より先のみを交換するだけでよく、本体部１０５の交換は不要であるため、メンテナンス時における部品交換コストを低減できる。受光素子１０２が劣化した場合にも同様である。

　また、各信号生成部１０７３が信号伝送ケーブル１０３毎に異なるビット列から成る送信信号を生成することで、制御部１０７は、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号のビット列から、当該受光された光がどの発光素子１０１により発光された光であるかを特定可能となる。
　なお、各信号生成部１０７３では、信号伝送ケーブル１０３毎に時分割に送信信号を出力している。そのため、受光素子１０２により光が受光されたタイミングから、当該受光された光がどの発光素子１０１により発光された光であるかを特定することもできる。

　また、各信号生成部１０７３が送信信号ｆ１～ｆ３を出力する時間Ｔ１～Ｔ３は、信号生成制御部１０７４で設定可能である。例えば、送信信号ｆ１～ｆ３自体の送信時間を０．２～０．３ｍｓ程度とし、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４の伝搬遅延時間がケーブル長さ１ｍに対して数ｎｓであることを考慮すると、時間Ｔ１～Ｔ３は１ｍｓ程度等とすることが考えられる。これにより、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４のケーブル長による遅延等を考慮した時間Ｔ１～Ｔ３を設定可能となる。
　なお、複数の信号伝送ケーブル１０４の間隔が十分離れているか、又は各信号生成部１０７３が生成する送信信号を信号伝送ケーブル１０３毎に固有の信号にしておけば、信号生成制御部１０７４が複数の信号生成部１０７３を選択して、複数の信号生成部１０７３が複数の信号伝送ケーブル１０３から同時に送信信号を出力しても、相互干渉を起こすことが無くなる。

　次に、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置関係の一例について、図６を参照しながら説明する。図６では、３系統の発光素子１０１（１０１－１～１０１－３）及び受光素子１０２（１０２－１～１０２－３）の位置関係を示している。
　図６では、発光素子１０１－１と受光素子１０２－１との間の距離Ｌ１に対し、発光素子１０１－２と受光素子１０２－２との間の距離Ｌ２が長い。そのため、発光素子１０１－１に出力する送信信号の強度は、発光素子１０１－２に出力する送信信号の強度に対して弱くても、受光素子１０２－１は十分に受光が可能である。しかしながら、図６のように、発光素子１０１－１と発光素子１０１－２との間の距離Ｗ１が近い場合には、相互干渉を生じる可能性があるため、非常に強い送信信号を発光素子１０１－２に出力するのは望ましくない。一方で、図６では、発光素子１０１－３と発光素子１０１－２との間の距離Ｗ２は離れており、且つ、発光素子１０１－３と受光素子１０２－３との間の距離Ｌ３は非常に離れている。そのため、発光素子１０１－３に出力する送信信号の強度は強くすることが望ましい。

　このように、各発光素子１０１に出力する送信信号の適切な強度は、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置関係により異なる。そこで、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置決めを行った後、例えばＰＣを用いて、その位置関係に基づいて、各アンプ部１０６に対して該当する発光素子１０１に出力する送信信号に対する増幅量を設定する。これにより、最適な条件での物体検出が可能となる。

　次に、表示部１０９による表示例について図７を参照しながら説明する。
　図７に示す表示部１０９では、受光素子１０２と同数の表示窓１０９１（１０９１－１～１０９１－Ｎ）が設けられ、各受光素子１０２での受光レベルをゲージで表示している。

　この表示部１０９は、主に発光素子１０１及び受光素子１０２の位置決めを行う際に使用される。位置決めを行う場合には、制御部１０７は、ある特定の発光素子１０１及び当該発光素子１０１と対となる受光素子１０２の位置決めが完了するまでは、当該発光素子１０１に接続された信号伝送ケーブル１０３のみに送信信号を出力し続ける。そして、表示部１０９は、各受光素子１０２での受光レベルを表示する。これにより、図７に示すように、特定の発光素子１０１による発光に対する各受光素子１０２での受光結果を観測できる。よって、複数の発光素子１０１による相互干渉の有無を判断でき、各発光素子１０１及び各受光素子１０２を相互干渉のない最適な設置とすることができる。

　また、光電センサ１が通常モードである場合には、表示部１０９は、例えば、物体検出部１０７６により出力された物体の有無を示す信号に基づき、物体が無い場合には表示窓１０９１のレベルゲージを０％とし、物体が有る場合には表示窓１０９１のレベルゲージを１００％とする。

　以上のように、この実施の形態１によれば、入力された送信信号に応じた光を発光する複数の発光素子１０１と、発光素子１０１と対となって設けられ、光を受光する受光素子１０２と、発光素子１０１毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された発光素子１０１に出力する信号伝送ケーブル１０３と、受光素子１０２毎に設けられ、一端に接続された受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送する信号伝送ケーブル１０４と、信号伝送ケーブル１０３毎に設けられ、送信信号を生成して信号伝送ケーブル１０３に出力する信号生成部１０７３と、動作させる信号生成部１０７３を選択する信号生成制御部１０７４と、信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部１０７６とを備えたので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる。

　また、従来では、複数の光電センサを連結して用いている。この場合、各光電センサの通信が煩雑となり高速化ができず、また、電源ライン及び信号ラインの配線の引き回しが煩雑になるという課題があった。
　それに対し、実施の形態１に係る光電センサ１では、単一の本体部１０５に複数のセンサ素子（発光素子１０１及び受光素子１０２）を信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を介して接続する構成としている。その結果、各センサ素子でのセンシングに対する処理の高速化を図ることができ、また、配線の引き回しも容易となる。

　なお上記では、光電センサ１が透過形である場合を示した。しかしながら、これに限らず、光電センサ１は反射型でもよい。また、反射型の場合には、対となる発光素子１０１及び受光素子１０２と、対となる信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を、それぞれ一体にまとめることが可能である。この場合、対となる発光素子１０１及び受光素子１０２は筐体に収納され、対となる信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４は被膜部により覆われる。

実施の形態２．
　実施の形態１では単体の光電センサ１を用いた場合を示した。それに対し、実施の形態２では、複数の光電センサ１を有する光電センサシステムについて説明する。
　図８はこの発明の実施の形態２に係る光電センサシステムの構成例を示す図である。
　光電センサシステムは、図８に示すように、複数の光電センサ１及び統合サーバ２を備えている。

　光電センサ１は、実施の形態１と同様のセンサである。なお、通信部１０８は、光電センサシステムに設けられた他の光電センサ１又は統合サーバ２との間で通信を行う。
　また、実施の形態２における信号生成制御部１０７４ｂは、実施の形態１における信号生成制御部１０７４が有する機能に加え、通信部１０８により受信された信号に基づいて、信号生成部１０７３の動作タイミングを制御する機能を有している。すなわち、信号生成制御部１０７４ｂは、通信部１０８により受信された信号に基づいて、物体が検出された他の光電センサ１の設置箇所から、自身の光電センサ１が設置された箇所に上記物体が流れるタイミングを判断し、そのタイミングに応じて信号生成部１０７３を動作させる。

　統合サーバ２は、各光電センサ１の通信部１０８により送信された信号を収集し、各光電センサ１を管理する。例えば、統合サーバ２は、各光電センサ１から収集した信号を各光電センサ１に通知する。この際、統合サーバ２は、ある特定の光電センサ１に対し上記信号を送信し、当該信号を受け取った光電センサ１は自身に関係する情報のみを受け取り、隣接する光電センサ１に上記信号を送信する。以降、各光電センサ１で上記信号の受け渡しを行うことで、統合サーバ２から各光電センサ１に対して上記信号を通知する。

　これにより、光電センサ１同士又は光電センサ１と統合サーバ２との間で相互に通信可能となる。その結果、例えば、製造工程毎に設置された光電センサ１が、工程の流れを理解し、自己が物体検出すべきタイミングを判断可能となり、省電力化が可能となる。

　なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。

　この発明に係る光電センサは、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できるよう構成したので、例えば製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）を検出する光電センサ及び光電センサシステム等に用いるのに適している。

１　光電センサ
２　統合サーバ
１０１　発光素子
１０２　受光素子
１０３　信号伝送ケーブル（第１信号伝送ケーブル）
１０４　信号伝送ケーブル（第２信号伝送ケーブル）
１０５　本体部
１０６　アンプ部
１０７　制御部
１０８　通信部
１０９　表示部
１１０　回路基板
１１１　光学レンズ
１１２　被膜部
１０３１　信号ライン
１０３２　グランドライン
１０３３　絶縁体
１０３４　コネクタのメス側
１０４１　信号ライン
１０４２　グランドライン
１０４３　絶縁体
１０６１　コネクタのオス側
１０７１　記憶部
１０７２　モード設定部
１０７３　信号生成部
１０７４，１０７４ｂ　信号生成制御部
１０７５　信号復調部
１０７６　物体検出部
１０９１　表示窓

Claims

　入力された送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子と、
　前記発光素子と対となって設けられ、光を受光する受光素子と、
　前記発光素子毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された前記発光素子に出力する第１信号伝送ケーブルと、
　前記受光素子毎に設けられ、一端に接続された前記受光素子により受光された光を示す受信信号を伝送する第２信号伝送ケーブルと、
　前記第１信号伝送ケーブル毎に設けられ、送信信号を生成して該当する前記第１信号伝送ケーブルに出力する信号生成部と、
　動作させる前記信号生成部を選択する信号生成制御部と、
　前記第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部と
　を備えた光電センサ。
　前記信号生成制御部は、予め設定された時間間隔で、動作させる前記信号生成部を選択する
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記信号生成部は、前記第１信号伝送ケーブルに固有なビット列から成る送信信号を生成する
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記信号生成部、前記信号生成制御部及び前記物体検出部は本体部に搭載され、
　前記第１信号伝送ケーブル及び前記第２信号伝送ケーブルは、他端が前記本体部に対して着脱可能である
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記発光素子は前記第１信号伝送ケーブルの一端に対して着脱可能である
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記受光素子は前記第２信号伝送ケーブルの一端に対して着脱可能である
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　対となる前記発光素子及び前記受光素子を収納する筐体と、
　対となる前記第１信号伝送ケーブル及び前記第２信号伝送ケーブルを覆う被膜部とを備えた
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記第１信号伝送ケーブル毎に設けられ、一端が接続された前記信号生成部により生成された送信信号を増幅し、他端に接続された前記第１信号伝送ケーブルに出力するアンプ部を備えた
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号又は前記物体検出部により検出された物体の有無を示す表示を行う表示部を備えた
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
　前記物体検出部により検出された物体の有無を示す信号を外部装置に送信し、外部装置により送信された信号を受信する通信部を備えた
　ことを特徴とする請求項１記載の光電センサ。