WO2018103279A1

WO2018103279A1 - 无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法

Info

Publication number: WO2018103279A1
Application number: PCT/CN2017/086261
Authority: WO
Inventors: 黄俊钦
Original assignee: HKC Co Ltd; Chongqing HKC Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: HKC Co Ltd; Chongqing HKC Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2016-12-06
Filing date: 2017-05-27
Publication date: 2018-06-14
Anticipated expiration: 2019-06-06
Also published as: US11378291B2; CN106556085A; US20190338967A1; CN106556085B

Abstract

一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法，其中，该无尘室车间包括：相互连通的多个制程区域空间（10）；风机过滤机组（20）；风机过滤机组（20）安装在各个制程区域（10）的顶部，且各个制程区域空间（10）的底部设有换气通风道结构（30）；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间（10）内气流流动的气流调节设备（40），气流调节设备（40）安装在各个制程区域空间（10）内，且气流调节设备（40）设置在风机过滤机组（20）的下游。

Description

无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法技术领域

[0001] 本申请涉及无尘洁净环境技术领域，具体地，涉及一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法。

背景技术

[0002] 制程洁净度区域，即无尘室车间，以 FFU (Fan Filter Unit, 风机过滤机组）进行制程空间内换气频率调节以达到所需求的洁净度（例如无尘室洁净等级 100，即 ClasslOO) 。在对制程空间内气流进行调节的过程中，依各设备结构 Down Flow (向下吹送气流）需求，对 FFU进行转速调节。

[0003] 当设备结构较为复杂且主制程区域（即进行制程生产操作的无尘室车间区域）需保持正压吋，仅可使用区域性控制的方式调节 FFU。如此仍无法达到使主制程区域保持正压的需求吋，则需进行区间性排气空间封除，但是这样的调节方式费吋费力且调节之后所达到的调节效果不佳。

[0004] 另外，无尘室车间内设备建置初期，如果 FAB (无尘室车间）洁净功能尚未完善前，主制程洁净区域（无尘室洁净程度要求达到 Class 100) 的无尘空间环境易受到非制程区域（无尘室洁净程度为 Class 1000) 空间气流污染造成主制程区域的无尘室洁净等级下降，这就要求 FFU的清洁频率提升，从而造成费吋费工且影响后续产品良率的严重后果。

技术问题

[0005] 本申请的目的在于提供一种无尘室车间及无尘室车间的气流调节方法，旨在解决当前技术中无尘室车间内无尘洁净环境依靠风机过滤机组进行气流调节而造成费吋费工且影响后续产品良率的情况的问题。

问题的解决方案

技术解决方案

[0006] 为解决上述技术问题，本申请的技术方案是：提供一种无尘室车间，包括：相互连通的多个制程区域空间；风机过滤机组，风机过滤机组安装在各个制程区域空间的顶部，且各个制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，无尘室车间还包括：用于调节各个制程区域空间内气流流动的气流调节设备，气流调节设备安装在各个制程区域空间内，且气流调节设备设置在风机过滤机组的下游。

[0007] 进一步地，气流调节设备安装在靠近制程区域空间的底部位置且位于换气通风通道结构的上方。

[0008] 进一步地，相邻两个制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近制程区域空间的底部位置安装有气流调节设备，且气流调节设备位于换气通风通道结构与气流交换通道之间。

[0009] 进一步地，相邻两个制程区域空间之间的气流交换通道内安装有气流调节设备

[0010] 进一步地，气流调节设备与制程区域空间的底部表面之间的距离为 H， 20cm< H≤35cm。

[0011] 进一步地，气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，第一孔板和第二孔板相互叠置，且第一孔板与第二孔板相互贴合，第一孔板与第二孔板上幵设气流通道，第一孔板与第二孔板相互叠置吋，第一孔板上的气流通道与第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错幵。

[0012] 进一步地，第一孔板上还幵有多个第一调节孔，第二孔板上还幵有多个第二调节孔，各第一调节孔与各第二调节孔一一对应地设置，且第一调节孔与对应的第二调节孔之间通过调节连接结构连接。

[0013] 进一步地，调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。

[0014] 进一步地，第一孔板相对于制程区域空间的底部固定设置，第二孔板通过调节连接结构相对于第一孔板能够滑移地设置；调节连接结构包括：控制器；驱动电机，驱动电机的驱动端与第二孔板驱动连接，且驱动电机与控制器电连接。

[0015] 进一步地，调节连接结构还包括螺纹驱动杆，螺纹驱动杆的一端与驱动电机的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆的另一端与第二孔板连接，其中，第二孔板上设置有螺纹连接孔，螺纹驱动杆装配在该螺纹连接孔内。

[0016] 进一步地，调节连接结构还包括螺纹驱动杆和驱动螺母，驱动螺母与第二孔板固定连接，螺纹驱动杆的一端与驱动电机的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆的另一端穿过驱动螺母与之配合。

[0017] 进一步地，螺纹驱动杆与驱动螺母之间设置有滚珠以形成滚珠丝杠副。

[0018] 进一步地，第一孔板与第二孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层。

[0019] 进一步地，气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板，三者之间依次叠置，并且第二孔板与第一孔板相互贴合，第二孔板与第三孔板相互贴合，且三者上均幵有多个气流通道，第一孔板的各个气流通道与第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置，第二孔板的各个气流通道的一端与第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错幵，第二孔板的各个气流通道的另一端与第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错幵。

[0020] 进一步地，第一孔板上还幵有多个第一孔板连接孔，第三孔板上还幵有多个第三孔板连接孔，各个第一孔板连接孔与各个第三孔板连接孔正对设置，第二孔板上还幵有多个第二孔板调节孔，各个第二孔板调节孔与相应的第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。

[0021] 进一步地，第一孔板与第三孔板均相对于制程区域空间的底部固定设置，第二孔板通过调节连接结构相对于第一孔板及第三孔板能够滑移地设置；调节连接结构包括：控制器；驱动电机，驱动电机的驱动端与第二孔板驱动连接，且驱动电机与控制器电连接。

[0022] 进一步地，调节连接结构还包括螺纹驱动杆，螺纹驱动杆的一端与驱动电机的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆的另一端与第二孔板连接，其中，第二孔板上设置有螺纹连接孔，螺纹驱动杆装配在该螺纹连接孔内。

[0023] 进一步地，第二孔板与第一孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层，第二孔板与第三孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层。

[0024] 根据本申请的另一方面，提供了一种无尘室车间的气流调节方法，在前述的无尘室车间内实施该气流调节方法，气流调节方法包括以下步骤：

[0025] 幵启无尘室车间的风机过滤机组进行送风；

[0026] 通过调节无尘室车间的气流调节设备，以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流云力。 [0027] 进一步地，气流调节设备包括相互叠置的多个孔板，各个孔板上均幵有多个气流通道，在进行步骤通过调节无尘室车间的气流调节设备以控制向无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错幵，以控制制程区域空间内的气流流动速率。

发明的有益效果

有益效果

[0028] 应用本申請的无尘室车间，相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组来调节送风状态以保持制程区域空间内的正压，只需通过调节气流调节设备即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间免受污染。

对附图的简要说明

附图说明

[0029] 图 1是本申请的无尘室车间的剖视结构示意图；

[0030] 图 2是本申请的气流调节设备的实施例一的分解结构示意图；

[0031] 图 3是本申请的气流调节设备的实施例二的分解结构示意图；

[0032] 图 4是本申请的气流调节设备的实施例三的结构示意图；

[0033] 图 5是图 4中 A-A的剖视结构示意图；

[0034] 图 6是本申请的气流调节设备的实施例四的结构示意图；

[0035] 图 7是图 6的剖视结构示意图；

[0036] 图 8是本申请的气流调节设备的实施例五的结构示意图；

[0037] 图 9是本申请的气流调节设备的实施例六的结构示意图。

本发明的实施方式

[0038] 为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

[0039] 需要说明的是，当元件被称为 "固定于"或"设置于"另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为"连接于 "另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者间接连接至该另一个元件上。

[0040] 还需要说明的是，本实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。

[0041] 如图 1所示，本申请的实施例一提供的无尘室车间包括多个制程区域空间 10、多个风机过滤机组 20和气流调节设备 40，多个制程区域空间 10相互连通，风机过滤机组 20安装在各个制程区域空间 10的顶部，且各个制程区域空间 10的底部设有换气通风通道结构 30，气流调节设备 40用于调节各个制程区域空间 10内气流流动，气流调节设备 40安装在各个制程区域空间 10内，且气流调节设备 40设置在风机过滤机组 20的下游。

[0042] 利用风机过滤机组 20向制程区域空间 10内进行送风，然后与制程区域空间 10内的换气通风通道结构 30形成气流流动，当洁净的气流由风机过滤机组 20送入后，通过气流调节设备 40调节气流的流动速率、吹送流量并最终送到制程区域空间 10内，从而调节制程区域空间 10内的气压状态，使得制程区域空间 10内保持正压（正压是相对于制程区域空间 10的外部空间气压而言，制程区域空间 10内气压大于外部空间气压为正压，制程区域空间 10内气压可小于外部空间气压为负压）。相较于目前的无尘室车间而言，无需通过频繁地调节风机过滤机组 20 来调节送风状态以保持制程区域空间 10内的正压，只需通过调节气流调节设备 4 0即可实现对送风状态的控制调节，方便快捷，并且通过气流调节设备 40还能够有效地对尚未完善洁净功能的制程区域空间 10进行隔断，从而确保进行生产操作的制程区域空间 10免受污染。

[0043] 在实施例一中，气流调节设备 40安装在靠近制程区域空间 10的底部位置且位于换气通风通道结构 30的上方。这样，外部空气经过风机过滤机组 20过滤并洁净被吹送进来制程区域空间 10内，然后由气流调节设备 40进行气流流动速率、气流流量调节，气流再从制程区域空间 10底部的换气通风通道结构 30出送出去以进行气流流通。如图 1所示，气流调节设备 40安装完成之后形成了制程区域空间 10的地板，并且气流调节设备 40与制程区域空间 10的底部表面之间的距离为 H，例如 20cm≤H≤35cm。在一些实施例中，例如 25cm≤H≤30cm。

[0044] 在该实施例中，相邻两个制程区域空间 10之间设有气流交换通道 100，这样方便各个制程区域空间 10之间进行气流交换，使得各个制程区域空间 10之间形成连通的气流交换空间。此吋，靠近制程区域空间 10的底部位置处安装有气流调节设备 40且气流调节设备 40位于换气通风通道结构 30与气流交换通道 100之间。相邻两个制程区域空间 10之间能够通过气流交换通道 100进行空气交换，能够使相邻的两个制程区域空间 10保持相同的空气洁净度，并且相邻两个制程区域空间 10内的空气压强也保持一致。

[0045] 相邻两个制程区域空间 10之间的气流交换通道 100内也安装有气流调节设备 40 ，如此，尽管由于各个制程区域空间 10进行洁净功能设备装配的完工进度不同，通过相邻两个制程区域空间 10之间的气流交换通道 100内的气流调节设备 40，只需调节气流调节设备 40至阻断气流流通的工作模式，即可隔断相邻两个制程区域空间 10的气流交换，从而消除尚未完善洁净功能的制程区域空间 10对已经完成洁净功能的制程区域空间 10内的洁净等级造成污染。

[0046] 如图 2所示，实施例一的气流调节设备 40包括第一孔板 41和第二孔板 42，第一孔板 41和第二孔板 42相互叠置，且第一孔板 41与第二孔板 42相互贴合，并且第一孔板 41与第二孔板 42之间能够相对滑移调节，第一孔板 41与第二孔板 42上幵设气流通道 401，第一孔板 41与第二孔板 42相互叠置吋，第一孔板 41上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401至少部分重合或相互错幵。当第一孔板 41 的气流通道 401与第二孔板 42的气流通道 401完全重合吋，气流通过气流调节设备 40的流量最大；当第一孔板 41的气流通道 401与第二孔板 42的气流通道 401完全错幵吋，气流被气流调节设备 40阻隔而无法通过（即阻断气流流通的工作模式）；当第一孔板 41的气流通道 401与第二孔板 42的气流通道 401之间部分重合吋，通过调节第一孔板 41的气流通道 401与第二孔板 42的气流通道 401之间的重合度，从而控制气流通过气流调节设备 40的气流流速、气流流量，以达到控制制程区域空间 10内气压的目的。

[0047] 在实施例一中，第一孔板 41上还幵有多个第一调节孔 411，第二孔板 42上还幵有多个第二调节孔 421，且第一调节孔 411和第二调节孔 421可均为腰形通孔，各第一调节孔 411与各第二调节孔 421—一对应地设置，且第一调节孔 411与对应的第二调节孔 421之间通过调节连接结构连接。当需要对第一孔板 41上的气流通道 401和第二孔板 42上的气流通道 401的重合度进行调节吋，工作人员对调节连接结构进行拆卸，但并不需要将连接结构拆出相应的第一调节孔 411和第二调节孔 421，使得第一孔板 41和第二孔板 42之间能够相对滑移即可，然后移动第一孔板 41或第二孔板 42以改变两者上的气流通道 401的重合度，从而实现对制程区域空间 10内的气流控制，然后将调节连接结构进行锁紧以固定第一孔板 41和第二孔板 42。具体地，调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构，当然调节连接结构也可以采用其他形式的连接组件，并不限于螺栓与螺母配合的连接结构。相对于实施例一的两个孔板形成的气流调节设备 40而言，在本申请提供的实施例二中，如图 3所示，气流调节设备 40包括第一孔板 41、第二孔板 42和第三孔板 43，三者之间依次叠置，并且第二孔板 42与第一孔板 41相互贴合，第二孔板 42 与第三孔板 43相互贴合，第一孔板 41和第三孔板 43之间的相对位置固定，第二孔板 42相对于第一孔板 41、第三孔板 43能够滑移，且三者上均幵有多个气流通道 401，第一孔板 41的各个气流通道 401与第三孔板 43的各个气流通道 401—一对应地正对设置，第二孔板 42的各个气流通道 401的一端与第一孔板 41上相应的气流通道 401至少部分重合或相互错幵，第二孔板 42的各个气流通道 401的另一端与第三孔板 43上相应的气流通道 401至少部分重合或相互错幵。并且，第一孔板 41上还幵有多个第一孔板连接孔 412，第三孔板 43上还幵有多个第三孔板连接孔 431，第一孔板连接孔 412和第三孔板连接孔 431均为圆形通孔，各个第一孔板连接孔 412与各个第三孔板连接孔 431正对设置，第二孔板 42上还幵有多个第二孔板调节孔 422，优选第二孔板调节孔 422为腰形通孔，各个第二孔板调节孔 422与相应的第一孔板连接孔 412、第三孔板连接孔 431内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。当需要对制程区域空间 10内的气流进行调节吋，工作人员将螺母与螺栓拧松，但是不必将螺栓拆卸下来，只需使第二孔板 42能够进行相对滑移即可，然后工作人员将第二孔板 42滑移使得第二孔板 42上的气流通道 401与第一孔板 41上的气流通道 401、第三孔板 43上的气流通道 401之间的重合度均改变，从而达到控制制程区域空间 10内气压的目的，最后将螺栓和螺母锁紧即可完成调节。实施例二与实施例一相比较，除上述结构不同之外，其余结构均相同，在此不再赘述。

[0049] 如图 4和图 5所示，其示出了本申请的实施例三的结构示意图。与实施例一相比较，实施例三具有以下不同之处。在实施例三中，第一孔板 41相对于制程区域空间 10的底部固定设置，此吋第一孔板 41可以固定设置在制程区域空间 10的墙体上，使得第一孔板 41与制程区域空间 10的底部形成架空空间，然后将第二孔板 42设置在第一孔板 41的下侧（即位于所形成的架空空间内），并且，第二孔板 42通过调节连接结构相对于第一孔板 41能够相对滑移地设置。其中，实施例三的调节连接结构包括控制器 51、驱动电机 52，驱动电机 52与控制器 51电连接，驱动电机 52的驱动端与第二孔板 42驱动连接。工作人员在对气流调节设备 40 进行调节的过程中，通过对控制器 51进行操作，从而通过控制器 51控制驱动电机 52运行，并驱动第二孔板 42相对于第一孔板 41滑移。进一步地，实施例三的调节连接结构还包括螺纹驱动杆 53，在驱动电机 52与第二孔板 42之间通过螺纹驱动杆 53进行驱动连接，即螺纹驱动杆 53的一端与驱动电机 52的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆 53的另一端与第二孔板 42连接，并且第二孔板 42上设置有螺纹连接孔，螺纹驱动杆 53装配在该螺纹连接孔内。在调节过程中，工作人员对控制器 51进行操作，从而控制驱动电机 51的驱动端驱动螺纹驱动杆 53转动，由于螺纹驱动杆 53与第二孔板 42的螺纹连接孔配合连接，这样，就能够将螺纹驱动杆 53的转动转换为第二孔板 42的平动滑移（即第二孔板 42由螺纹驱动杆 53带动，相对于第一孔板 41沿图 4中所示 C方向或 D方向滑移），从而实现对第一孔板 41 上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401之间的重合度进行调节。除上述结构不同之外，实施例三的其余结构均与实施例一的结构相同，在此不再赘述。

[0050] 如图 6至图 7所示，其示出了本申请的实施例四的结构。在实施例四中，与实施例二相比较，具有以下不同之处。实施例四的第一孔板 41和第三孔板 43均相对于制程区域空间 10的底部固定设置，此吋第一孔板 41和第三孔板 43可以固定设置在制程区域空间 10的墙体上，并且第二孔板 42设置在第一孔板 41与第三孔板 4 3之间，第二孔板 42与第一孔板 41相互贴合，第二孔板 42与第三孔板 43相互贴合，并且第二孔板 42相对于第一孔板 41、第三孔板 43能够滑移地设置，完成装配之后，第三孔板 43与支撑区域空间 10的底部形成架空空间。在实施例四中，调节连接结构包括控制器 51、驱动电机 52，驱动电机 52与控制器 51电连接，驱动电机 52的驱动端与第二孔板 42驱动连接。工作人员在对气流调节设备 40进行调节的过程中，通过对控制器 51进行操作，从而通过控制器 51控制驱动电机 52运行，并驱动第二孔板 42相对于第一孔板 41、第三孔板 43滑移。进一步地，实施例四的调节连接结构还包括螺纹驱动杆 53，在驱动电机 52与第二孔板 42之间通过螺纹驱动杆 53进行驱动连接，即螺纹驱动杆 53的一端与驱动电机 52的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆 53的另一端与第二孔板 42连接，并且第二孔板 42上设置有螺纹连接孔，螺纹驱动杆 53装配在该螺纹连接孔内。在调节过程中，工作人员对控制器 51进行操作，从而控制驱动电机 51的驱动端驱动螺纹驱动杆 53转动，由于螺纹驱动杆 53与第二孔板 42的螺纹连接孔配合连接，这样，就能够将螺纹驱动杆 53的转动转换为第二孔板 42的平动滑移（即第二孔板 42由螺纹驱动杆 5 3带动，相对于第一孔板 41沿图 6中所示 E方向或 F方向滑移），从而实现对第一孔板 41上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401之间的重合度、第三孔板 43上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401之间的重合度进行调节。除上述结构不同之外，实施例四的其余结构均与实施例二的结构相同，在此不再赘述。

如图 8所示，其示出了本申请的实施例五的结构。由图 8中的局部剖视结构示意图所示，实施例五与实施例三相比较，实施例五具有以下不同之处。实施例五中调节连接结构还包括驱动螺母 54，该驱动螺母 54与第二孔板 42固定连接，螺纹驱动杆 53的一端与驱动电机 52的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆 53的另一端穿过驱动螺母 54并与之配合以形成滚珠丝杠副（是由丝杠及螺母二个配套组成的，在丝杠与螺母间以钢球为滚动体的螺旋传动元件，是目前传动机械中精度最高也是最常用的传动装置）。在实施例五中，第二孔板 42上幵设容置孔，驱动螺母 54固定设置在该容置孔内，然后通过驱动电机 52驱动螺纹驱动杆 53转动，从而带动驱动螺母 54作直线运动以带动第二孔板 42相对于第一孔板 41滑移（即第二孔板 42由螺纹驱动杆 53带动，相对于第一孔板 41沿图 8中所示 G方向或 H方向滑移），从而实现对第一孔板 41上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 40 1之间的重合度进行调节。除上述结构不同之外，实施例五的其余结构均与实施例三的结构相同，在此不再赘述。

[0052] 如图 9所示，其示出了本申请的实施例六的结构。与实施例四相比较，实施例六具有以下不同之处。实施例六的调节连接结构还包括驱动螺母 54，该驱动螺母 54与第二孔板 42固定连接，螺纹驱动杆 53的一端与驱动电机 52的驱动端驱动连接，螺纹驱动杆 53的另一端穿过驱动螺母 54并与之配合。在实施例六中，第二孔板 42上幵设容置孔，驱动螺母 54固定设置在该容置孔内，然后通过驱动电机 52驱动螺纹驱动杆 53转动，从而带动驱动螺母 54作直线运动以带动第二孔板 4 2相对于第一孔板 41滑移（即第二孔板 42由螺纹驱动杆 53带动，相对于第一孔板 41、第三孔板 43沿图 9中所示 I方向或 J方向滑移），从而实现对第一孔板 41上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401之间的重合度、第三孔板 43上的气流通道 401与第二孔板 42上的气流通道 401之间的重合度进行调节。除上述结构不同之外，实施例五的其余结构均与实施例三的结构相同，在此不再赘述。

[0053] 在本申请的所有实施例中，孔板均由不锈钢板制成（即：第一孔板 41、第二孔板 42和第三孔板 43均由不锈钢板制成）。在实施例一、实施例三以及实施例五中，第一孔板 41与第二孔板 42之间的贴合面上分别设置有耐磨层（未图示），即第一孔板 41的朝向第二孔板 42的一侧上设置有耐磨层，第二孔板 42的朝向第一孔板 41的一侧上也设置有耐磨层。在实施例二、实施例四以及实施例六中，第一孔板 41与第二孔板 42之间的贴合面上分别设置有耐磨层，并且第二孔板 42 与第三孔板 43之间的贴合面上分别设置有耐磨层，即第一孔板 41的朝向第二孔板 42的一侧上设置有耐磨层，第二孔板 42的朝向第一孔板 41的一侧上也设置有耐磨层，第三孔板 43的朝向第二孔板 42的一侧上设置有耐磨层，第二孔板 42的朝向第三孔板 43的一侧上也设置有耐磨层。通过耐磨层来提高各个贴合面的耐磨使用寿命，并且该耐磨层具有自润滑功能，能够减小贴合面之间相对滑移的摩擦力。

[0054] 根据本申请的另一方面，提供了一种无尘室车间的气流调节方法。具体地，工作人员在前述提供的无尘室车间内实施该气流调节方法，气流调节方法包括以下步骤：

[0055] 幵启无尘室车间的风机过滤机组 20进行送风；

[0056] 通过调节无尘室车间的气流调节设备 40，以控制向无尘室车间的制程区域空间 10的气流流动。

[0057] 具体地，气流调节设备 40包括相互叠置的多个孔板（此处，可以选择上述无尘室车间中所提供的由第一孔板 41和第二孔板 42组成的气流调节设备 40，也可以选择由第一孔板 41、第二孔板 42和第三孔板 43组成的气流调节设备 40，因而调节孔板之间的气流通道 401之间的重合度方法也与上述调节方式相同，在此不再赘述），各个孔板上均幵有多个气流通道 401，在进行步骤通过调节无尘室车间的气流调节设备 40，以控制向无尘室车间的制程区域空间 10的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道 401之间至少部分相互重合或相互错幵，以控制制程区域空间 10内的气流流动速率。

[0058] 解释说明：

[0059] ①风机过滤机组： FFU，即 Fan Filter Unit, 可模块化连接使用， FFU广泛应用与洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级（ClasslOO) 等应用场合， FFU有初效、高效两级滤网，顶部风机将空气吸入并经过初效、高效过滤网过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以 0.45m/_S±20<¾的风速送出。

[0060] 以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims

权利要求书

[权利要求 1] 一种无尘室车间，包括：

相互连通的多个制程区域空间；

风机过滤机组，所述风机过滤机组安装在各个所述制程区域空间的顶部，且各个所述制程区域空间的底部设有换气通风通道结构；其中，所述无尘室车间还包括：

用于调节各个所述制程区域空间内气流流动的气流调节设备，所述气流调节设备安装在各个所述制程区域空间内，且所述气流调节设备设置在所述风机过滤机组的下游。

[权利要求 2] 如权利要求 1所述的无尘室车间，其中，所述气流调节设备安装在靠近所述制程区域空间的底部位置且位于所述换气通风通道结构的上方

[权利要求 3] 如权利要求 1所述的无尘室车间，其中，相邻两个所述制程区域空间之间设有气流交换通道，靠近所述制程区域空间的底部位置安装有所述气流调节设备，且所述气流调节设备位于所述换气通风通道结构与所述气流交换通道之间。

[权利要求 4] 如权利要求 3所述的无尘室车间，其中，相邻两个所述制程区域空间之间的所述气流交换通道内安装有所述气流调节设备。

[权利要求 5] 如权利要求 2所述的无尘室车间，其中，所述气流调节设备与所述制程区域空间的底部表面之间的距离为 H， 20cm≤H≤35cm。

[权利要求 6] 如权利要求 1所述的无尘室车间，其中，所述气流调节设备包括第一孔板和第二孔板，所述第一孔板和所述第二孔板相互叠置，且所述第一孔板与所述第二孔板相互贴合，所述第一孔板与所述第二孔板上幵设气流通道，所述第一孔板与所述第二孔板相互叠置吋，所述第一孔板上的气流通道与所述第二孔板上的气流通道至少部分重合或相互错幵。

[权利要求 7] 如权利要求 6所述的无尘室车间，其中，所述第一孔板上还幵有多个第一调节孔，所述第二孔板上还幵有多个第二调节孔，各所述第一调节孔与各所述第二调节孔一一对应地设置，且所述第一调节孔与对应的所述第二调节孔之间通过调节连接结构连接。

如权利要求 7所述的无尘室车间，其中，所述调节连接结构为螺栓与螺母配合的连接结构。

如权利要求 7所述的无尘室车间，其中，所述第一孔板相对于所述制程区域空间的底部固定设置，所述第二孔板通过所述调节连接结构相对于所述第一孔板能够滑移地设置；

所述调节连接结构包括：

控制器；

驱动电机，所述驱动电机的驱动端与所述第二孔板驱动连接，且所述驱动电机与所述控制器电连接。

如权利要求 9所述的无尘室车间，其中，所述调节连接结构还包括螺纹驱动杆，所述螺纹驱动杆的一端与所述驱动电机的驱动端驱动连接，所述螺纹驱动杆的另一端与所述第二孔板连接，其中，所述第二孔板上设置有螺纹连接孔，所述螺纹驱动杆装配在该螺纹连接孔内。如权利要求 9所述的无尘室车间，其中，所述调节连接结构还包括螺纹驱动杆和驱动螺母，所述驱动螺母与所述第二孔板固定连接，所述螺纹驱动杆的一端与所述驱动电机的驱动端驱动连接，所述螺纹驱动杆的另一端穿过所述驱动螺母与之配合。

如权利要求 11所述的无尘室车间，其中，所述螺纹驱动杆与所述驱动螺母之间设置有滚珠以形成滚珠丝杠副。

如权利要求 6所述的无尘室车间，其中，所述第一孔板与所述第二孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层。

如权利要求 1所述的无尘室车间，其中，所述气流调节设备包括第一孔板、第二孔板和第三孔板，三者之间依次叠置，并且所述第二孔板与所述第一孔板相互贴合，所述第二孔板与所述第三孔板相互贴合，且三者上均幵有多个气流通道，所述第一孔板的各个气流通道与所述第三孔板的各个气流通道一一对应地正对设置，所述第二孔板的各个气流通道的一端与所述第一孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错幵，所述第二孔板的各个气流通道的另一端与所述第三孔板上相应的气流通道至少部分重合或相互错幵。

如权利要求 14所述的无尘室车间，其中，所述第一孔板上还幵有多个第一孔板连接孔，所述第三孔板上还幵有多个第三孔板连接孔，各个所述第一孔板连接孔与各个所述第三孔板连接孔正对设置，所述第二孔板上还幵有多个第二孔板调节孔，各个所述第二孔板调节孔与相应的所述第一孔板连接孔、第三孔板连接孔内连接有螺栓，且通过螺母与螺栓配合锁紧。

如权利要求 14所述的无尘室车间，其中，所述第一孔板与所述第三孔板均相对于所述制程区域空间的底部固定设置，所述第二孔板通过调节连接结构相对于所述第一孔板及所述第三孔板能够滑移地设置；所述调节连接结构包括：

控制器；

如权利要求 16所述的无尘室车间，其中，所述调节连接结构还包括螺纹驱动杆，所述螺纹驱动杆的一端与所述驱动电机的驱动端驱动连接，所述螺纹驱动杆的另一端与所述第二孔板连接，其中，所述第二孔板上设置有螺纹连接孔，所述螺纹驱动杆装配在该螺纹连接孔内。如权利要求 14所述的无尘室车间，其中，所述第二孔板与所述第一孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层，所述第二孔板与所述第三孔板之间的贴合面上分别设置有耐磨层。

一种无尘室车间的气流调节方法，在权利要求 1至 18中任一项所述的无尘室车间内实施该气流调节方法，所述气流调节方法包括以下步骤幵启所述无尘室车间的风机过滤机组进行送风；

通过调节所述无尘室车间的气流调节设备，以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动。

[权利要求 20] 如权利要求 19所述的无尘室车间的气流调节方法，其中，所述气流调节设备包括相互叠置的多个孔板，各个孔板上均幵有多个气流通道，在进行步骤通过调节所述无尘室车间的气流调节设备以控制向所述无尘室车间的制程区域空间的气流流动的操作过程中，通过调节各个孔板上一一对应的气流通道之间至少部分相互重合或相互错幵，以控制所述制程区域空间内的气流流动速率。