WO2018092246A1 - 標本観察装置 - Google Patents

標本観察装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2018092246A1
WO2018092246A1 PCT/JP2016/084153 JP2016084153W WO2018092246A1 WO 2018092246 A1 WO2018092246 A1 WO 2018092246A1 JP 2016084153 W JP2016084153 W JP 2016084153W WO 2018092246 A1 WO2018092246 A1 WO 2018092246A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical system
light
pupil
image
transmission part
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/084153
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
鈴木良政
大平まゆみ
Original Assignee
オリンパス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by オリンパス株式会社 filed Critical オリンパス株式会社
Priority to PCT/JP2016/084153 priority Critical patent/WO2018092246A1/ja
Priority to JP2018550943A priority patent/JP6784773B2/ja
Publication of WO2018092246A1 publication Critical patent/WO2018092246A1/ja
Priority to US16/409,985 priority patent/US10983055B2/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • G01N21/6458Fluorescence microscopy
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0032Optical details of illumination, e.g. light-sources, pinholes, beam splitters, slits, fibers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0076Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus capable of observing and acquiring an image of a colorless and transparent specimen.
  • Patent Document 1 An apparatus disclosed in Patent Document 1 is an apparatus that can observe and acquire an image of a colorless and transparent specimen.
  • the apparatus of Patent Document 1 includes a phase difference objective lens, a laser light source, a scanning unit, a first detector, a second detector, and a ring slit.
  • the first detector detects light emitted from the sample surface.
  • the second detector detects transmitted light from the sample surface.
  • a phase difference objective lens and a ring slit are arranged in an optical path. Therefore, the optical image detected by the second detector is a phase difference image.
  • the optical image detected by the first detector is a fluorescent image.
  • phase difference observation method has a feature that a contrast image can be obtained even with thin cells having a small amount of phase modulation.
  • the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a specimen observation apparatus that can acquire an image of a colorless and transparent specimen without using a phase difference observation method.
  • the sample observation apparatus of the present invention is: A light source unit, an illumination optical system, a detection optical system, a light detection element, and an image processing device,
  • the illumination optical system and the detection optical system are arranged to face each other across the sample, The light emitted from the light source unit enters the illumination optical system, A light spot is formed between the illumination optical system and the detection optical system by the illumination optical system,
  • a scanning means is arranged in the optical path from the light source unit to the light detection element, The scanning means relatively moves the light spot and the specimen,
  • An optical member is disposed in at least one of the illumination optical system and the detection optical system,
  • the illumination optical system and the detection optical system are arranged so that an image of the pupil of the illumination optical system is formed at the pupil position of the detection optical system, The image of the pupil of the illumination optical system is decentered with respect to the pupil of the detection optical system due to refraction caused by the sample,
  • the illumination optical system, the detection optical system, and the optical member are configured such that the amount of
  • the present invention it is possible to provide a sample observation apparatus that can acquire an image of a colorless and transparent sample without using a phase difference observation method.
  • DELTA deviation
  • the sample observation device of this embodiment includes a light source unit, an illumination optical system, a detection optical system, a light detection element, and an image processing device, and the illumination optical system and the detection optical system sandwich the sample.
  • the light emitted from the light source unit that is disposed opposite to the light enters the illumination optical system, and a light spot is formed between the illumination optical system and the detection optical system by the illumination optical system, from the light source unit to the light detection element.
  • Scanning means is disposed in the optical path, the scanning means relatively moves the light spot and the specimen, an optical member is disposed in at least one of the illumination optical system and the detection optical system, and the illumination optical system and the detection optical system are
  • the pupil image of the illumination optical system is arranged to be formed at the pupil position of the detection optical system, and the image of the pupil of the illumination optical system is decentered with respect to the pupil of the detection optical system due to refraction generated in the sample.
  • Illumination optical system, detection optical system and optical member By the eccentric is configured to amount of light passing through the pupil of the detection optical system is changed, the image processing apparatus, from the detection result of the light detecting element, and generating an image of the specimen.
  • FIG. 1 is a diagram showing a sample observation apparatus of the present embodiment.
  • the specimen observation device 1 includes a light source unit 2, an illumination optical system 3, a detection optical system 4, a light detection element 5, and an image processing device 6.
  • the illumination optical system 3 and the detection optical system 4 are arranged to face each other with the sample 7 interposed therebetween.
  • the light source unit 2 has a point light source or a surface light source.
  • An example of the point light source is a laser.
  • Examples of the surface light source include an LED, a mercury lamp, and a xenon lamp.
  • the light source unit 2 emits substantially the same light as the light emitted from the point light source by the combination of the surface light source and the minute aperture.
  • illumination light Light emitted from the light source unit 2 enters the light beam separating means 10.
  • incident illumination light is divided into transmitted light and reflected light and emitted.
  • a division by light intensity As a method of dividing the light into two, there are a division by light intensity, a division by a difference in polarization direction, and a division by a difference in wavelength.
  • the illumination light reflected by the light beam separating means 10 enters the illumination optical system 3.
  • a light spot is formed between the illumination optical system 3 and the detection optical system 4 by the illumination optical system 3.
  • a sample 7 is disposed between the illumination optical system 3 and the detection optical system 4.
  • the illumination light may be light emitted from a point light source.
  • the light emitted from the light source unit 2 is the light emitted from the point light source. Therefore, in the sample observation device 1, a light spot is formed.
  • a microscope optical system In the specimen observation apparatus 1, a microscope optical system is used. Therefore, in the specimen observation apparatus 1, a microscope objective lens 8 (hereinafter referred to as “objective lens 8”) is used as the illumination optical system 3.
  • the specimen 7 is illuminated with a light spot. In this case, only one point on the specimen 7 is illuminated. In order to illuminate the entire specimen 7, the light spot and the specimen 7 must be moved relative to each other. By arranging scanning means in the optical path from the light source unit 2 to the light detection element 5, the light spot and the sample 7 can be moved relative to each other.
  • an optical scanning unit 9 is disposed in the optical path between the light source unit 2 and the illumination optical system 3 as scanning means.
  • the optical scanning unit 9 is composed of two optical deflection elements. Examples of the light deflection element include a galvanometer scanner, a polygon scanner, and an acoustic light deflection element.
  • the optical scanning unit 9 In the optical scanning unit 9, light incident on the optical scanning unit 9 is deflected in two orthogonal directions, for example, the X direction and the Y direction. In this way, the optical scanning unit 9 generates a scanning pattern.
  • a pupil projection optical system 11 is disposed between the optical scanning unit 9 and the objective lens 8.
  • the pupil projection optical system 11 includes a lens 12 and a lens 13.
  • the pupil projection optical system 11 makes the optical scanning unit 9 and the pupil of the objective lens 8 conjugate.
  • both the deflection surface of one deflection element and the deflection surface of the other deflection element are conjugate with the pupil of the objective lens 8.
  • the scanning pattern generated by the optical scanning unit 9 is projected onto the pupil of the objective lens 8. Based on this scanning pattern, the light spot moves on the specimen 7. At this time, only the light spot moves, and the sample 7 does not move.
  • the light spot and the sample 7 move relative to each other within a plane orthogonal to the optical axis.
  • the specimen can be scanned with the light spot discretely or continuously.
  • imaging light The light transmitted through the specimen 7 (hereinafter referred to as “imaging light”) enters the detection optical system 4.
  • imaging light As described above, in the sample observation device of the present embodiment, it is only necessary that an optical member is disposed in at least one of the illumination optical system and the detection optical system. In the sample observation device 1, the optical member 15 is disposed in the detection optical system 4.
  • the detection optical system 4 includes a pupil projection lens 14, an optical member 15, a lens 16, and a lens 17.
  • a pupil projection lens 14 for example, a condenser lens of a microscope can be used.
  • the imaging light incident on the detection optical system 4 passes through the pupil projection lens 14 and the optical member 15 and enters the lens 16.
  • the imaging light incident on the lens 16 passes through the lens 17 and reaches the light receiving surface of the light detection element 5.
  • the pupil position of the pupil projection lens 14 and the position of the light detection element 5 are not conjugate.
  • the pupil position of the pupil projection lens 14 and the position of the light detection element 5 may be conjugated.
  • the optical scanning unit 9 and the pupil position of the objective lens 8 are conjugate.
  • the pupil position of the objective lens 8 and the pupil position of the pupil projection lens 14 are conjugate.
  • the illumination light is deflected. In this deflection, the angle formed by the illumination light and the optical axis changes. However, the position of the illumination light does not change in a plane orthogonal to the optical axis. If the position of the optical scanning unit 9 and the light detecting element 5 is conjugated, the light detecting element 5 changes the incident angle of the imaging light incident on the light receiving surface, but the incident position on the light receiving surface does not change. .
  • the light detection element 5 photoelectric conversion is performed.
  • the imaging light is converted into an electrical signal, whereby an image signal of the specimen 7 is generated.
  • the image signal of the sample 7 is input to the image processing device 6.
  • various processes are performed.
  • the illumination optical system 3 and the detection optical system 4 are arranged so that the pupil image of the illumination optical system 3 is formed at the pupil position of the detection optical system 4. Therefore, an image of the pupil of the objective lens 8 is formed at the pupil position of the pupil projection lens 14.
  • the pupil position of the objective lens 8 and the pupil position of the pupil projection lens 14 are conjugate.
  • the pupil image of the illumination optical system 3 is decentered with respect to the pupil of the detection optical system 4 due to refraction generated in the sample 7.
  • the illumination optical system 3, the detection optical system 4, and the optical member 15 are comprised so that the light quantity which passes the pupil of the detection optical system 4 may change by decentration.
  • a change in shape (change in inclination) in the sample is converted into a change in image displacement of the illumination optical system.
  • a change in the amount of light passing through the pupil of the detection optical system is caused by a change in the image shift of the illumination optical system. That is, a change in shape in the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the sample observation apparatus of the present embodiment does not require the use of a modulator unlike the modulation contrast method. Therefore, it is not necessary to adjust the position of the opening member with respect to the modulator. As a result, the position adjustment of the opening member is simplified.
  • the objective lens can be a bright field observation objective lens. Therefore, various observation methods (for example, observation methods such as bright field observation, fluorescence observation, and polarization observation) can be easily performed with the same objective lens.
  • the sample observation device of the present embodiment preferably further includes a second light detection element for detecting radiation emitted from the sample, and preferably detects fluorescence with the second light detection element.
  • Part of the reflected light or fluorescence is incident on the illumination optical system 3.
  • the light incident on the illumination optical system 3 passes through the pupil projection optical system 11 and the optical scanning unit 9 and enters the light beam separating means 10.
  • the light incident on the light beam separating means 10 passes through the light beam separating means 10 and is collected by the confocal lens 18.
  • a confocal pinhole 19 is disposed at the condensing position. The light that has passed through the confocal pinhole 19 is detected by the photodetector 20.
  • the photodetector 20 is a second photodetector element.
  • the light detector 20 detects light and fluorescence reflected from the sample 7. Therefore, a reflected image of the specimen 7 and a fluorescent image of the specimen 7 can be obtained.
  • photoelectric conversion is performed.
  • the light that has passed through the confocal pinhole 19 is converted into an electrical signal, whereby an image signal of the sample 7 is generated.
  • the image signal at this time is a confocal image signal.
  • the specimen observation apparatus of the present embodiment includes the photodetector 20, it is possible to observe a shaded specimen image and fluorescent image with a single illumination. Further, by superimposing the image of the shaded sample image and the image of the fluorescence image, the two images can be observed simultaneously. In this case, it is possible to accurately overlay two images.
  • the scanning means is not limited to this. Another scanning means will be described.
  • FIG. 2A is a diagram showing the scanning means of the first example.
  • scanning in one direction is performed by moving the light spot
  • scanning in the other direction is performed by moving the stage. Therefore, in the scanning means of the first example, the light spot and the specimen move together.
  • an optical scanning unit is disposed in the optical path between the light source unit and the illumination optical system.
  • the optical scanning unit is composed of one optical deflection element.
  • a moving stage 32 is placed on the holding member 31. The specimen is placed on the moving stage 32.
  • the illumination light 30 is moved in the X direction by the light deflection element. Further, the sample is moved in the Y direction by the moving stage 32. By doing so, the specimen can be scanned with the light spot discretely or continuously.
  • FIG. 2B is a diagram showing a scanning unit of the second example.
  • scanning in one direction and scanning in the other direction are both performed by moving the stage. Therefore, in the scanning means of the second example, the light spot does not move but only the sample moves.
  • the moving stage 32 and the moving stage 33 are placed on the holding member 31.
  • the specimen is placed on the moving stage 33.
  • An optical scanning unit is not disposed in the optical path between the light source unit and the illumination optical system.
  • the illumination light 30 does not move. Instead, the sample is moved in the Y direction by the moving stage 32, and the sample is moved in the X direction by the moving stage 33. By doing so, the specimen can be scanned with the light spot discretely or continuously.
  • FIG. 3 is a diagram showing a sample observation apparatus provided with the scanning means of the third example.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the specimen observation device 40 includes a light source unit 41, an illumination optical system 3, a detection optical system 4, a light detection element 5, and an image processing device 6.
  • the sample observation device 40 includes a confocal substrate 42 as the scanning unit of the third example.
  • the confocal substrate 42 is disposed in the optical path between the light source unit 41 and the illumination optical system 3.
  • the light source unit 41 has a point light source or a surface light source.
  • the light emitted from the light source unit 41 may be either light emitted from a point light source or light emitted from a surface light source.
  • the light emitted from the light source unit 41 is assumed to be light emitted from a point light source.
  • the light emitted from the light source unit 41 becomes substantially parallel light by the collimator lens 44.
  • the substantially parallel light is reflected by the beam splitter 45 and applied to the confocal substrate 42.
  • the confocal substrate 42 can be rotated around a shaft 43 by a motor (not shown).
  • FIG. 4 is a diagram showing the structure of the confocal substrate.
  • the confocal substrate 42 is a circular flat plate and includes a light shielding part 42a and a transmission part 42b.
  • the light shielding part 42a is made of an opaque member, for example, a metal plate.
  • the transmission part 42b is a space (hole) formed in the metal plate.
  • the confocal substrate 42 may be made of, for example, a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding part 42a is formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate.
  • the transmission part 42b is a glass plate itself.
  • the size of the transmission part 42b is very small. Therefore, substantially the same light as the light emitted from the point light source is emitted from the transmission part 42b.
  • a plurality of transmission parts 42b are formed.
  • the diameter of the light irradiated to the confocal substrate 42 is set so as to include a plurality of transmission parts 42b. Therefore, substantially the same light as the light emitted from the point light source is emitted from a plurality of locations on the confocal substrate 42.
  • the light emitted from the confocal substrate 42 passes through the imaging lens 46 and enters the objective lens 8.
  • the light incident on the objective lens 8 is applied to the sample 7.
  • the position of the confocal substrate 42 and the position of the specimen 7 are conjugate. Therefore, a plurality of light spots are generated on the specimen 7.
  • the confocal substrate 42 is rotatable around the axis 43.
  • a plurality of light spots formed on the specimen 7 move.
  • the specimen can be continuously scanned with the light spot.
  • the light transmitted through the specimen 7 is incident on the light receiving surface of the light detection element 5 through the detection optical system 4.
  • the sample observation device 40 a plurality of light spots are generated on the sample 7. Therefore, the position of the light detection element 5 is conjugate with the position of the sample 7.
  • the light reflected by the sample 7 and the fluorescence generated by the sample 7 pass through the objective lens 8 and the imaging lens 46 and enter the confocal substrate 42. These lights pass through the transmission part 42 b and the beam splitter 45 and are collected by the lens 47.
  • a photodetector 48 is disposed at the condensing position.
  • the light collected by the lens 47 is detected by the photodetector 48.
  • the transmission part 42b can be regarded as a pinhole. Therefore, a confocal image signal is obtained from the photodetector 48.
  • the optical member 15 will be described.
  • the optical member 15 is an opening member having a light shielding part or a light reducing part and a transmission part.
  • the structure of the opening member will be described.
  • FIGS. 5A and 5B The configuration of the opening member is shown in FIGS. 5A and 5B.
  • FIG. 5A shows an opening member made of an opaque member
  • FIG. 5B shows an opening member made of a transparent member.
  • the opening member 50 includes a light shielding part 50a1 and a transmission part 50b. Further, the opening member 50 has a light shielding part 50a2.
  • the light shielding portions 50a1 and 50a2 are made of an opaque member, for example, a metal plate.
  • the transmission part 50b is a gap (hole) formed in the metal plate.
  • connection parts 50a3 are formed between the light shielding part 50a1 and the light shielding part 50a2. Therefore, the transmission part 50b is divided into three.
  • Each shape of the transmission part 50b is substantially fan-shaped (discrete ring zone shape). Note that the number of connection portions 50a3 is not limited to three.
  • the opening member 50 is arranged so that the light shielding part 50a1 includes the optical axis of the illumination optical system. Further, the outer edge 50c of the light shielding part 50a1 is located at a position away from the optical axis of the illumination optical system by a predetermined distance. Therefore, the center of the light beam of the illumination light incident on the opening member 50 is shielded by the light shielding portion 50a1. Here, the boundary between the light shielding part 50a1 and the transmission part 50b becomes the outer edge 50c of the light shielding part 50a1.
  • the light shielding part 50a2 is located on the outer side (the direction away from the optical axis) than the light shielding part 50a1 and the transmission part 50b.
  • the boundary between the transmission part 50b and the light shielding part 50a2 is the inner edge 50d of the light shielding part 50a2.
  • the transmission part 50b is located outside the outer edge 50c of the light shielding part 50a1.
  • the boundary between the light shielding part 50a1 and the transmission part 50b is the inner edge of the transmission part 50b.
  • the boundary between the transmission part 50b and the light shielding part 50a2 is the outer edge of the transmission part 50b. Therefore, 50c shows the outer edge of the light shielding part 50a1 and the inner edge of the transmission part 50b, and 50d shows the inner edge of the light shielding part 50a2 and the outer edge of the transmission part 50b.
  • the reflectance of the surface is kept low. Therefore, light reflection hardly occurs in the light shielding portions 50a1 and 50a2 and the connection portion 50a3.
  • the light shielding portions 50a1 and 50a2 and the connection portion 50a3 are subjected to antireflection processing, for example, black plating processing.
  • the imaging light is incident on the optical member 15, for example, the opening member 50.
  • 50a1 will be described as an example.
  • a part of the imaging light is applied to the light shielding part 50a1.
  • reflected light is generated in the light shielding portion 50a1.
  • the imaging light is light that has passed through the specimen 7, the light intensity is high.
  • the reflectance of the light shielding part 50a1 is high, the light intensity of the reflected light generated by the light shielding part 50a1 also increases. In this case, reflected light having a high intensity is returned to the surface of the sample 7. This light becomes flare.
  • the illumination light and the reflected light from the light shielding portion 50a1 interfere with each other on the specimen surface.
  • interference fringes are generated on the sample 7 surface. Therefore, interference fringes are affected on the sample 7 image.
  • the reflectance in the light shielding part 50a1 the light intensity of the reflected light generated in the light shielding part 50a1 can be reduced. As a result, generation of flare and interference fringes can be suppressed.
  • the opening member 50 ' includes a light shielding part 50'a1 and a transmission part 50'b. Further, the opening member 50 'has a light shielding part 50'a2.
  • the light shielding portions 50'a1 and 50'a2 and the transmission portion 50'b are made of a transparent member such as a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding portions 50'a1 and 50'a2 are formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate. On the other hand, nothing is applied to the transmission part 50'b. Therefore, the transmission part 50'b is the glass plate itself.
  • the shape of the transmission part 50 ′ b is an annular shape. This is because it is not necessary to hold the light-shielding part 50'a2. For this reason, in the opening member 50 ', no connection portion is formed between the light shielding portion 50'a1 and the light shielding portion 50'a2.
  • the main difference between the opening member 50 ′ and the opening member 50 is the material and the presence / absence of a connecting portion. Therefore, detailed description of the light shielding portions 50'a1 and 50'a2 and the transmission portion 50'b is omitted.
  • the light shielding portion 50a2 of the opening member 50, the connection portion 50a3, and the light shielding portion 50'a2 of the opening member 50 ' are not necessarily required.
  • the luminous flux diameter (diameter) of the illumination light may be made to coincide with the outer edge of the transmission part 50b and the outer edge of the transmission part 50'b.
  • the opening members 50 and 50 ' include the light shielding portions 50a1 and 50'a1 and the transmission portions 50b and 50'b. Therefore, from the opening members 50 and 50 ′, substantially annular or annular (hereinafter, appropriately referred to as “annular”) illumination light is emitted.
  • the detection optical system has an optical member, and the optical member is an opening member having a light shielding part or a light reducing part and a transmission part, and the opening member is a light shielding part or
  • the light reduction part is disposed so as to include the optical axis of the detection optical system, the transmission part is located outside the outer edge of the light shielding part or the light reduction part, and between the inner edge of the transmission part and the outer edge of the transmission part, An image of the outer edge of the pupil of the illumination optical system is preferably formed.
  • an optical member is disposed in at least one of the illumination optical system and the detection optical system.
  • an optical member is arranged in the detection optical system.
  • the opening member 50 'shown in FIG. 5B is used as the optical member.
  • the opening member 50 ' includes a light shielding part 50'a1, a light shielding part 50'a2, and a transmission part 50'b.
  • the opening member 50 ′ is arranged so that the light shielding portion 50 ′ a 1 includes the optical axis of the detection optical system 4.
  • the transmission part 50'b is located outside the outer edge of the light shielding part 50'a1.
  • FIG. 6A is a diagram showing how light is refracted at a sample position
  • FIG. 6B is a diagram showing a relationship between an image of a pupil of an illumination optical system and an aperture member. 6A and 6B show the case where no specimen exists. When the sample does not exist, the case where the sample exists but the surface is flat is included.
  • FIG. 7A is a diagram showing how light is refracted at a sample position
  • FIG. 7B is a diagram showing a relationship between an image of a pupil of an illumination optical system and an aperture member.
  • 7A and 7B show a case where a specimen exists.
  • the case where the specimen exists is a case where the surface of the specimen is inclined (non-flat). Therefore, when the sample exists but the surface is flat, it is not included when the sample exists.
  • the pupil position of the pupil projection lens 14, that is, the pupil image of the objective lens formed at the position of the optical member 15 is as shown in FIG. 6B.
  • a circle (circumference) indicated by reference numeral 58 is an outer edge image of the objective lens, and an inner side of the circle (circumference) is an image of a pupil of the objective lens.
  • the shape of the transmission part 56 is a ring
  • the shape of the light shielding part 57 is a circle
  • the shape of the outer edge image 58 is a circle.
  • the transmission portion 56, the light shielding portion 57, and the outer edge image 58 are concentric. Further, the center of the transmission part 56, the center of the light shielding part 57, and the center of the outer edge image 58 coincide with each other.
  • the center of the transmission part 56 is the center of a circle forming the outer edge 56a of the transmission part (since the transmission part 56 is a ring, the center of the transmission part 56 is the circle forming the inner edge 56b of the transmission part. It is also the center).
  • the outer edge image 58 is located on the outer side (in the direction away from the optical axis) than the inner edge 56b of the transmission part, and is located on the inner side (in the direction approaching the optical axis) than the outer edge 56a of the transmission part.
  • the outer edge image 58 of the pupil of the objective lens is formed between the inner edge 56b of the transmission part and the outer edge 56a of the transmission part.
  • the region of the light beam passing through the transmission part 56 is an area between the inner edge 56b of the transmission part and the outer edge image 58. And the area of this whole area
  • the pupil image of the objective lens formed at the position of the optical member 15 is as shown in FIG. 7B.
  • the circle (circumference) indicated by reference numeral 58 is an outer edge image, and the inside of the circle (circumference) is an image of the pupil of the objective lens.
  • the shape of the transmission part 56 is a ring
  • the shape of the light shielding part 57 is a circle
  • the shape of the outer edge image 58 is a circle.
  • the transmission part 56 and the light shielding part 57 and the outer edge image 58 are not concentric.
  • the center of the transmission part 56 and the center of the light shielding part 57 do not coincide with the center of the outer edge image 58. That is, the center of the outer edge image 58 is shifted leftward in the drawing with respect to the center of the transmission part 56 and the center of the light shielding part 57.
  • the region of the light beam passing through the transmission part 56 is an area between the inner edge 56b of the transmission part and the outer edge image 58. And the area of this whole area
  • the outer edge image 58 is located outside the inner edge 56b of the transmission part.
  • the light shielding portion 57 is located inside the outer edge image 58. This is because the inclination of the sample surface is small.
  • the light shielding portion 57 is located inside the outer edge image 58. For this reason, even when a sample is present, if the inclination of the surface of the sample is small, the brightness of the sample image is the same as when the sample is not present.
  • the deviation of the center of the outer edge image 58 from the center of the transmission part 56 is further increased.
  • a part of the outer edge image 58 is positioned inside the inner edge 56b of the transmission part.
  • a part of the outer edge image 58 is positioned outside the outer edge 56a of the transmission part.
  • a part of the outer edge image 58 is located inside the light shielding portion 57.
  • the amount of light passing through the optical member 15 increases according to the amount of eccentricity of the pupil of the illumination optical system.
  • the change in the shape of the sample is converted into the change in the deviation of the image of the pupil of the illumination optical system. Then, a change in the amount of the light beam passing through the transmission unit provided in the detection optical system is caused by a change in the deviation of the pupil image of the illumination optical system. That is, a change in the shape of the sample can be detected as a change in brightness of the imaging light. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the illumination optical system has an objective lens
  • the detection optical system has a pupil projection lens
  • R0 is the length from the optical axis of the detection optical system to the inner edge of the transmission part
  • R1 is the length from the optical axis of the detection optical system to the outer edge of the transmission part
  • Rill is the pupil radius of the illumination optics
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • conditional expression (1) When the conditional expression (1) is satisfied, a change in the shape of the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • conditional expression (1) if (Rill ⁇ ⁇ R0) becomes too large, conditional expression (1) will not be satisfied. In this case, the size of the light shielding portion becomes too small. Therefore, the state where the brightness of the sample image does not change becomes long. In this case, it becomes difficult to detect a subtle change in the shape of the sample as a change in brightness.
  • conditional expression (1) is not satisfied.
  • the distance from the outer edge of the transmission part to the outer edge image becomes too narrow.
  • an annular light shielding portion (for example, the light shielding portion 50b 'in FIG. 5B) is positioned inside the outer edge image. As a result, the amount of light passing through the pupil of the objective lens is reduced. As a result, the sample image becomes dark.
  • the illumination optical system has an objective lens
  • the detection optical system has a pupil projection lens
  • R0 is the length from the optical axis of the detection optical system to the inner edge of the transmission part
  • R1 is the length from the optical axis of the detection optical system to the outer edge of the transmission part
  • Rill is the pupil radius of the illumination optics
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • conditional expression (2) If the lower limit value of conditional expression (2) is not reached, the distance from the inner edge to the outer edge image of the transmission part becomes too wide. In this case, it is difficult to make a difference in the amount of the light beam passing through the pupil of the pupil projection lens between the case where the deviation of the pupil image of the illumination optical system is zero and the case where it is not zero. Therefore, it becomes difficult to detect a change in the shape of the specimen as a change in brightness. As a result, it becomes difficult to obtain a shaded sample image. Or, the contrast of the specimen image is deteriorated.
  • conditional expression (2) When the upper limit of conditional expression (2) is exceeded, the transmission part is always located outside the pupil image of the objective lens. Therefore, a change in shape in the sample cannot be detected as a change in brightness. Therefore, the upper limit value of conditional expression (2) is not exceeded.
  • conditional expression (3) When the lower limit value of conditional expression (3) is not reached, the transmission part is positioned inside the pupil image of the objective lens. Therefore, it becomes difficult to detect a change in the shape of the specimen as a change in brightness. Therefore, it does not fall below the lower limit value of conditional expression (3).
  • conditional expression (2 ′) may be satisfied instead of conditional expression (2).
  • conditional expression (2) 0.8 ⁇ R0 / (Rill ⁇ ⁇ ) ⁇ 1 (2 ′)
  • conditional expression (2 ′′) instead of conditional expression (2).
  • conditional expression (3 ′) is preferably satisfied instead of conditional expression (3).
  • conditional expression (3 ′′) instead of conditional expression (3).
  • the sample observation device of the present embodiment preferably satisfies the following conditional expression (4).
  • Tin ⁇ Tout (4) Tin is the transmittance near the inner edge of the transmission part, Tout is the transmittance near the outside of the transmission part, It is.
  • conditional expression (4) it is possible to reduce the state in which the amount I of the light flux does not change even if the deviation of the pupil image of the illumination optical system changes. As a result, a more detailed change in the shape of the specimen can be detected as a change in brightness.
  • the optical member is arranged in the detection optical system.
  • the optical member may be disposed in the illumination optical system.
  • a case where an optical member is arranged in the illumination optical system will be described.
  • the opening member 50 'shown in FIG. 5B is used as the optical member.
  • the opening member 50 ' includes a light shielding part 50'a1, a light shielding part 50'a2, and a transmission part 50'b.
  • the opening member 50 ′ is arranged so that the light shielding portion 50 ′ a 1 includes the optical axis of the detection optical system 4.
  • the transmission part 50'b is located outside the outer edge of the light shielding part 50'a1.
  • FIG. 8A is a diagram showing how light is refracted at the specimen position
  • FIG. 8B is a diagram showing the relationship between the pupil of the detection optical system and the image of the aperture member
  • FIG. 8C is a diagram showing how the light beam passes through the pupil of the detection optical system.
  • FIG. FIG. 8A, FIG. 8B, and FIG. 8C have shown the case where a sample does not exist. When the sample does not exist, the case where the sample exists but the surface is flat is included.
  • FIG. 9A is a diagram showing how light is refracted at the specimen position
  • FIG. 9B is a diagram showing the relationship between the pupil of the detection optical system and the image of the aperture member
  • FIG. 9C is a diagram showing the state of the light beam passing through the pupil of the detection optical system.
  • FIG. 9A, 9B, and 9C show a case where a specimen exists.
  • the case where the specimen exists is a case where the surface of the specimen is inclined (non-flat). Therefore, when the sample exists but the surface is flat, it is not included when the sample exists.
  • FIG. 8A When the specimen does not exist, as shown in FIG. 8A, the light incident on the holding member 55 and the light emitted from the holding member 55 have the same traveling direction. As a result, an image of the aperture member formed at the pupil position of the pupil projection lens 14 is as shown in FIG. 8B.
  • a circle (circumference) indicated by reference numeral 62 is the outer edge of the pupil of the pupil projection lens, and the inside of the circle (circumference) is the pupil of the pupil projection lens.
  • the shape of the transmissive portion image 60 is a ring
  • the shape of the light shielding portion image 61 is a circle
  • the shape of the outer edge 62 is a circle.
  • the transmission portion image 60, the light shielding portion image 61, and the outer edge 62 are concentric. Further, the center of the image 60 of the transmission part, the center of the image 61 of the light shielding part, and the center of the outer edge 62 coincide with each other.
  • the light shielding portion image 61 is, for example, an image of the light shielding portions 50a1 and 50'a1 in the opening member 50 and the opening member 50 '.
  • the center of the transmission portion image 60 is the center of the circle forming the outer edge image 60a of the transmission portion (since the transmission portion image 60 is a ring, the center of the transmission portion image 60 is the transmission portion. It is also the center of the circle that forms the image 60b of the inner edge of the part).
  • the inner edge image 60b of the transmission part is located on the inner side (the direction closer to the optical axis) than the outer edge 62. Further, the outer edge image 60 a of the transmission part is located on the outer side (the direction away from the optical axis) than the outer edge of the outer edge 62. As described above, in the sample observation device of the present embodiment, the inner edge image 60 b of the transmission part is formed on the inner side of the outer edge 62, and the outer edge image 60 a of the transmission part is formed on the outer side of the outer edge 62.
  • the region of the light beam passing through the pupil of the pupil projection lens is a region between the inner edge image 60b and the outer edge 62 of the transmission part, as shown in FIG. 8C.
  • corresponds to the brightness of a sample image.
  • the image of the aperture member formed at the pupil position of the pupil projection lens is as shown in FIG. 9B.
  • the circle (circumference) indicated by reference numeral 62 is the outer edge of the objective lens pupil, and the inner side of the circle (circumference) is the objective lens pupil.
  • the shape of the image 60 of the transmission part is a ring
  • the shape of the image 61 of the light shielding part is a circle
  • the shape of the outer edge 62 is a circle.
  • the image 60 of the transmission part, the image 61 of the light shielding part, and the outer edge 62 are not concentric.
  • the center of the image 60 of the transmission part and the center of the image 61 of the light shielding part do not coincide with the center of the outer edge 62. That is, with respect to the center of the outer edge 62, the center of the image 60 of the transmission part and the center of the image 61 of the light shielding part are shifted leftward in the drawing.
  • the region of the light beam passing through the pupil of the pupil projection lens is a region between the inner edge image 60b and the outer edge 62 of the transmission part as shown in FIG. 9C. And the area of this whole area
  • the inner edge image 60 b of the transmission part is located inside the outer edge 62.
  • the image 61 of the light shielding part is located inside the outer edge 62. This is because the inclination of the sample surface is small.
  • the image 61 of the light shielding part is located inside the outer edge 62. For this reason, even when a sample is present, if the inclination of the surface of the sample is small, the brightness of the sample image is the same as when the sample is not present.
  • transmission part image deviation the deviation of the center of the transmission part image 60 with respect to the center of the pupil of the pupil projection lens.
  • transmission part image deviation a part of the inner edge image 60 b of the transmission portion is positioned outside the outer edge 62.
  • a part of the image 60 a of the outer edge of the transmissive portion is positioned inside the outer edge 62.
  • a part of the image 61 of the light shielding part is located outside the outer edge 62.
  • a change in shape (change in inclination) in the sample is converted into a change in image shift of the transmission part.
  • a change in the amount of luminous flux passing through the pupil of the pupil projection lens is caused by a change in the image shift of the transmission part. That is, a change in shape in the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the sample observation apparatus of the present embodiment does not require the use of a modulator unlike the modulation contrast method. Therefore, it is not necessary to adjust the position of the opening member with respect to the modulator. As a result, the position adjustment of the opening member is simplified.
  • the objective lens can be a bright field observation objective lens. Therefore, various observation methods (for example, observation methods such as bright field observation, fluorescence observation, and polarization observation) can be easily performed with the same objective lens.
  • FIG. 10A is a graph showing the relationship between the shift amount ⁇ and the area S.
  • FIG. 10B is a diagram illustrating a shift of the image of the aperture member with respect to the pupil of the objective lens.
  • R′0 is the length from the optical axis of the illumination optical system to the inner edge of the transmission part
  • R′1 is the length from the optical axis of the illumination optical system to the outer edge of the transmission part
  • RPL is the pupil radius of the pupil projection lens
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • the transmittance of the transmission part is set to 100%.
  • the numerical value on the horizontal axis normalizes the shift amount ⁇ by the pupil radius RPL of the pupil projection lens.
  • the numerical value on the vertical axis is normalized by the area ( ⁇ (RPL 2 ⁇ (R 0 ⁇ ⁇ ) 2 )) when the deviation amount ⁇ is zero.
  • the area S indicates the range of light flux that passes through the pupil of the pupil projection lens. Therefore, the area S can be replaced with the amount I of light flux. Therefore, in FIG. 10A, I is used as a variable on the vertical axis.
  • the shift amount ⁇ is zero.
  • the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member is as shown in FIG. Therefore, as indicated by the arrow A, the amount I of light flux is 1.
  • the shift amount ⁇ is not zero.
  • the relationship between the pupil of the pupil projection lens and the image of the aperture member is as shown in FIG. 10B (B).
  • the position of the image of the light shielding portion is different in the pupil of the pupil projection lens, but both are located inside the outer edge of the pupil of the pupil projection lens.
  • the image of the light shielding part is located. Therefore, as indicated by the arrow B, the amount I of light flux is 1.
  • the amount I of light flux is larger than 1.
  • the amount I of the light flux changes between the arrow B and the arrow C according to the change in the deviation amount ⁇ . Therefore, according to the sample observation device of the present embodiment, a change in the shape of the sample can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • “inner image of the inner edge of the transmissive part is formed inside the outer edge of the pupil of the pupil projection lens”, as shown in FIG. 10B (B).
  • an optical element for changing the beam diameter is arranged between the light source and the scanning means.
  • FIG. 11 is a diagram showing another sample observation apparatus of the present embodiment.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the sample observation device 70 includes a light source unit 71 and a light beam diameter changing member 72.
  • the detection optical system 4 includes the optical member 15.
  • the optical member 15 is an opening member having a light shielding part or a light reducing part and a transmission part.
  • an image of the outer edge of the pupil of the illumination optical system is formed between the inner edge of the transmission part and the outer edge of the transmission part. Therefore, the change in the shape of the sample can be converted into a change in the displacement of the pupil image of the illumination optical system.
  • the illumination light passes through the pupil of the illumination optical system.
  • the outer edge of the pupil of the illumination optical system is replaced with the outer edge of the illumination light beam.
  • an image of the outer edge of the illumination beam is formed between the inner edge of the transmissive part and the outer edge of the transmissive part. It will be good.
  • a microscope optical system is used. Therefore, a dry microscope objective lens or an immersion microscope objective lens is used as the objective lens 8.
  • the state where the dry microscope objective lens is used is referred to as a first state, and the state where the immersion microscope objective lens is used is referred to as a second state.
  • the objective lens 8 is changed from the dry microscope objective lens to the immersion microscope objective lens.
  • the numerical aperture of the immersion microscope objective lens is larger than the numerical aperture of the dry microscope objective lens. Therefore, if the diameter of the illumination light beam emitted from the light source unit 71 remains the same as that in the first state, in the second state, the image of the outer edge of the pupil of the illumination optical system is the inner edge of the transmission part and the transmission part. It will not be formed between the outer edge. As a result, in the second state, it becomes difficult to convert the change in the shape of the sample into the change in the shift of the image of the pupil of the illumination optical system.
  • the light beam diameter changing member 72 can be inserted into the optical path in the optical path from the light source unit 71 to the light beam separating means 10.
  • the light beam diameter changing member 72 has an opening. The size of the opening is set smaller than the diameter of the illumination light beam emitted from the light source unit 71 in the first state.
  • the light beam diameter changing member 72 is inserted into the optical path.
  • the diameter of the illumination light beam emitted from the light source unit 71 can be made smaller than the diameter of the illumination light beam in the first state.
  • an image of the outer edge of the pupil of the illumination optical system is formed between the inner edge of the transmissive part and the outer edge of the transmissive part.
  • the invention is not limited thereto. It is sufficient that the diameter of the illumination light beam emitted from the light source unit 71 can be changed in accordance with the change in the numerical aperture of the illumination optical system. Further, it is only necessary that the diameter of the illumination light beam emitted from the light source unit 71 can be changed in accordance with the change in the numerical aperture of the detection optical system.
  • the change in the shape of the sample is converted into the change in the image shift of the transmission part.
  • the A change in the amount of luminous flux passing through the pupil of the pupil projection lens is caused by a change in the image shift of the transmission part. That is, a change in shape in the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • FIG. 12A is a diagram showing an aperture member in which the transmittance of the transmissive portion continuously changes
  • FIG. 12B is a graph showing the relationship between the shift amount ⁇ and the amount I of the light beam passing through the pupil of the pupil projection lens.
  • the opening member 80 includes a light shielding part 81, a light shielding part 82, and a transmission part 83.
  • the light shielding parts 81 and 82 and the transmission part 83 are made of a transparent member, for example, a glass plate.
  • the light shielding portions 81 and 82 are formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate.
  • the transmittance of the light shielding part 81 and the transmittance of the light shielding part 82 are both 0%.
  • the transmittance changes continuously. Therefore, for example, a reflection film (absorption film) whose transmittance continuously changes is formed in the transmission portion 83.
  • the direction in which the transmittance changes is a direction from the center toward the periphery (from the light shielding unit 81 side to the light shielding unit 82 side). Further, the transmittance changes so that the transmittance gradually increases from the center toward the periphery.
  • the shape of the light shielding part 81 is a circle, and the shape of the light shielding part 82 is a ring.
  • the shape of the transmission part 83 is a ring.
  • the circumference 84 corresponds to the inner edge of the transmission portion 83. Further, the circumference 85 corresponds to the outer edge of the transmission part 83. At the circumference 84 and the circumference 85, the distance from each point on the circumference to the optical axis of the illumination optical system is the same. Therefore, R 0 is the length from the optical axis of the illumination optical system to the circumference 84. R 1 has a length from the optical axis of the illumination optical system to the circumference 85.
  • the light shielding part 82 is formed so as to include the outer edge of the pupil image of the objective lens. Therefore, the transmission part 83 is located inside the outer edge of the pupil image of the objective lens. At this time, the transmission part 83 is formed so as to satisfy at least the conditional expression (1). Therefore, even if the specimen is colorless and transparent, a shadow image with high contrast can be obtained. Further, the direction of occurrence of the shadow is not limited.
  • the transmittance at the transmission portion varies depending on the location.
  • the opening member 80 is an opening member that satisfies the conditional expression (3). Therefore, according to the observation apparatus of this embodiment using such an aperture member, as the shift amount ⁇ increases, the region with a high transmittance moves to the outside of the image of the pupil of the objective lens. As shown in FIG. 5, the change in the amount I of the luminous flux when the deviation amount ⁇ changes can be increased. As a result, the inclination of the sample surface can be detected with high sensitivity. That is, a subtle change in the shape of the specimen can be detected as a change in brightness.
  • the transmission part is disposed asymmetrically with respect to the optical axis of the illumination optical system.
  • FIGS. 13A and 13B An opening member having such a transmission part will be described.
  • the structure of the opening member is shown in FIGS. 13A and 13B.
  • FIG. 13A is a diagram illustrating an opening member in which a light shielding portion is formed outside the transmissive portion
  • FIG. 13B is a diagram illustrating an opening member in which the light shielding portion is not formed outside the transmissive portion. Note that a light reduction unit may be used instead of the light shielding unit.
  • the opening member 90 includes a light shielding part 90a1, a light shielding part 90a2, and a transmission part 90b.
  • the light shielding part 90a1 and the light shielding part 90a2 are distinguished from each other. However, it is not necessary to distinguish between the two. Therefore, the light shielding part 90a1 and the light shielding part 90a2 may be configured by a single member.
  • the light shielding portion 90a1 and the light shielding portion 90a2 are made of an opaque member, for example, a metal plate.
  • the transmission part 90b is a space (hole) formed in the metal plate.
  • the light shielding portions 90a1 and 90a2 and the transmission portion 90b are made of a transparent member, for example, a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding part 90a1 and the light shielding part 90a2 are formed by, for example, applying a light shielding paint on a glass plate.
  • nothing is applied to the transmission part 90b. Therefore, the transmission part 90b is a glass plate itself.
  • the light shielding portion 90a1 is formed so as to include the optical axis AX i of the illumination optical system.
  • the shape of the light shielding portion 90a1 is defined by the first outer edge 90c and the second outer edge 90d. Both ends of the first outer edge 90c are connected via a second outer edge 90d.
  • the first outer edge 90c is a part of the circumference
  • the second outer edge 90d is a straight line.
  • the shape of the light shielding portion 90a1 is a shape obtained by cutting off a part of a circle, and is a so-called D-cut shape.
  • the shape of the transmission part 90b is defined by the outer edge 90e and the inner edge 90f. Both ends of the outer edge 90e are connected via an inner edge 90f.
  • the outer edge 90e is a part of the circumference
  • the inner edge 90f is a straight line.
  • the shape of the transmission part 90b is a shape obtained by cutting off a part of a circle, and has an arcuate shape.
  • the shape of the light shielding part 90a2 is a ring.
  • the light shielding portion 90a2 is not necessarily provided, but the outer edge 90e becomes clearer by providing the light shielding portion 90a2 outside the light shielding portion 90a1. Thereby, even if the diameter of the light beam incident on the opening member 90 is larger than the outer edge 90e, the light beam incident on the opening member 90 is restricted by the outer edge 90e when passing through the transmission part 90b.
  • the maximum diameter of the light beam emitted from the opening member 90 is a diameter determined by the outer edge 90e. As a result, it is not necessary to match the diameter of the light beam incident on the opening member 90 with high accuracy with respect to the outer edge 90e as compared to the opening member 90 'described below.
  • the opening member 90 ' As shown in FIG. 13B, the opening member 90 'has a light shielding portion 90'a1.
  • the light shielding portion 90 ′ a 1 can be formed of an opaque member, for example, a metal plate.
  • the light shielding portion 90'a1 may be formed of a transparent member, such as a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding portion 90'a1 is formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate.
  • the light shielding portion 90′a1 is formed so as to include the optical axis AX i of the detection optical system.
  • the shape of the light shielding portion 90′a1 is defined by the first outer edge 90′c and the second outer edge 90′d. Both ends of the first outer edge 90′c are connected via a second outer edge 90′d.
  • the first outer edge 90′c is a part of the circumference
  • the second outer edge 90′d is a straight line.
  • the shape of the light-shielding portion 90′a1 is a shape obtained by cutting a part of a circle, and is a so-called D-cut shape.
  • the shape of the transmission part 90'b is defined by the outer edge 90'e and the inner edge 90'f. Both ends of the outer edge 90'e are connected via an inner edge 90'f.
  • the outer edge 90'e is part of the circumference and the inner edge 90'f is a straight line.
  • the shape of the transmission part 90 ′ b is a shape obtained by cutting out a part of a circle and is in the shape of an arc.
  • the shapes of the transmissive part 90b and the transmissive part 90′b are both cut out from a circle. Therefore, it can be said that both the transmissive part 90b and the transmissive part 90′b are arranged asymmetrically with respect to the optical axis AX i of the illumination optical system.
  • the transmission portion 90 ′ b does not physically exist. Therefore, the outer edge of the transmission part 90'b does not physically exist. Further, in the case where the opening member 90 ′ is made of a transparent member, if the transparent member has the same shape as the light shielding portion 90 ′ a 1, the transmissive portion 90 ′ b does not physically exist. Therefore, the outer edge of the transmission part 90'b does not physically exist.
  • the transmission part 90'b physically exists.
  • the edge of the transparent member becomes the outer edge of the transmission part 90'b
  • the outer edge of the transmission part 90'b physically exists.
  • the transmission part 90'b is transparent, it is optically the same as when the opening member 90 'is made of a metal plate. Therefore, even when the transparent member has a circular shape, it is difficult to say that the outer edge of the transmission portion 90 ′ b physically exists.
  • the diameter of the light beam incident on the opening member 90 may be matched with the first outer edge 90'c.
  • the outermost side of the light beam is the outer edge of the transmission part 90'b.
  • the inner edge of the transmission part 90'b is the same as the second outer edge 90'd. From the above, the shape of the transmissive portion 90'b can be defined using the outermost side of the light beam and the second outer edge 90'd.
  • an optical member is disposed in at least one of the illumination optical system and the detection optical system. Therefore, the aperture member 90 and the aperture member 90 'may be disposed in the detection optical system. In this case, the transmission part is disposed asymmetrically with respect to the optical axis of the detection optical system.
  • the operation caused by the opening member 90 and the opening member 90 ' will be described.
  • a case where an optical member is arranged in the detection optical system will be described.
  • the state at the pupil position of the pupil projection lens has been described.
  • the state of the objective lens at the pupil position will be described.
  • the second outer edge 90d or the inner edge 90f is a boundary that separates the light shielding portion 90a1 and the transmission portion 90b.
  • an axis perpendicular to the boundary is defined as a first axis
  • an axis parallel to the boundary is defined as a second axis.
  • the first axis is the left-right axis in the page
  • the second axis is the up-down axis in the page. In the following description, description will be made using the first axis and the second axis.
  • FIG. 14A is a diagram showing how light is refracted at the specimen position
  • FIG. 14B is a diagram showing the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member
  • FIG. 14C is a diagram showing how the light beam passes through the pupil of the objective lens. It is.
  • FIG. 14A no specimen exists. When the sample does not exist, the case where the sample exists but the surface is flat is included.
  • FIG. 15A is a diagram showing how light is refracted at the specimen position
  • FIG. 15B is a diagram showing the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member
  • FIG. 15C is a diagram showing the state of the light beam passing through the pupil of the objective lens. It is.
  • the slope of the specimen surface rises to the right, that is, the specimen surface increases from the left side to the right side of the first axis.
  • FIG. 16A is a diagram showing how light is refracted at the specimen position
  • FIG. 16B is a diagram showing the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member
  • FIG. 16C is a diagram showing how the light beam passes through the pupil of the objective lens. It is.
  • the slope of the surface of the sample is downwardly sloping, that is, the surface of the sample is lowered from the left side of the first axis toward the right side.
  • the case where the specimen exists is a case where the surface of the specimen is inclined (non-flat). Therefore, when the sample exists but the surface is flat, it is not included when the sample exists.
  • FIG. 14A When the specimen does not exist, as shown in FIG. 14A, the light incident on the holding member 55 and the light emitted from the holding member 55 have the same traveling direction. As a result, an image 100 of the aperture member formed at the pupil position of the objective lens is as shown in FIG. 14B.
  • a circle (circumference) indicated by reference numeral 103 is an outer edge of the objective lens pupil, and an inner side of the circle (circumference) is the objective lens pupil.
  • the shape of the image 101 of the transmission part is a bow
  • the shape of the pupil 103 of the objective lens is a circle.
  • the image 101 of the transmission part is positioned so as to include a part of the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the image 102 of the light shielding part is positioned so as to cover the entire pupil 103 of the objective lens except for the area of the image 101 of the transmission part.
  • the inner edge image 101a of the transmissive part is located on the inner side (direction approaching the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. Further, the image 101b of the outer edge of the transmissive part is located on the outer side (in the direction away from the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. As described above, in the sample observation device of the present embodiment, the inner edge image 101a of the transmission portion is formed inside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens, and the transmission portion is formed outside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. An outer edge image 101b is formed.
  • the region 104 of the light beam passing through the pupil 103 of the objective lens is a region between the inner edge image 101a of the transmission part and the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the area of the entire region 104 corresponds to the brightness of the sample image.
  • both ends of the image 101a at the inner edge of the transmission part are located outside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. For this reason, the entire inner edge image 101a of the transmission part is not located inside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. However, most of the image 101a at the inner edge of the transmission part is located inside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. Therefore, even in such a state, it is assumed that an image 101a of the inner edge of the transmissive portion is formed inside the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the light traveling direction differs between the light incident on the holding member 55 and the light emitted from the sample.
  • FIG. 15A the surface of the specimen increases from the left side to the right side of the first axis.
  • the light emitted from the sample is refracted in the direction approaching the optical axis.
  • FIG. 15B an image of the aperture member formed at the pupil position of the objective lens is as shown in FIG. 15B.
  • the circle (circumference) indicated by reference numeral 103 is the outer edge of the objective lens pupil, and the inner side of the circle (circumference) is the objective lens pupil.
  • the shape of the image 101 of the transmission part is a bow
  • the shape of the pupil 103 of the objective lens is a circle.
  • the image 101 of the transmission part is positioned so as to include a part of the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the image 102 of the light shielding part is positioned so as to cover the entire pupil of the objective lens except for the area of the image 101 of the transmission part.
  • the inner edge image 101a of the transmissive part is located on the inner side (direction approaching the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. Further, the image 101b of the outer edge of the transmissive part is located on the outer side (in the direction away from the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the image 100 of the aperture member is shifted to the left along the first axis with respect to the pupil 103 of the objective lens. Therefore, as shown in FIG. 15C, the distance from the image 101a of the inner edge of the transmission part to the outer edge of the pupil 103 of the objective lens is narrower than that of FIG. 14C. In this case, the area of the region 104 is smaller than the area of the region 104 in FIG. 14C. Therefore, the brightness of the sample image in FIG. 15C is darker than the brightness of the sample image in FIG. 14C.
  • the brightness of the sample image becomes dark.
  • the inclination of the surface of the specimen becomes gentle, the light emitted from the specimen is separated from the optical axis. In this case, the brightness of the sample image becomes brighter.
  • FIG. 16A the surface of the specimen is lowered from the left side to the right side of the first axis.
  • the light emitted from the specimen is refracted in the direction away from the optical axis.
  • FIG. 16B an image of the aperture member formed at the pupil position of the objective lens is as shown in FIG. 16B.
  • the circle (circumference) indicated by reference numeral 103 is the outer edge of the objective lens pupil, and the inner side of the circle (circumference) is the objective lens pupil.
  • the shape of the image 101 of the transmission part is a bow
  • the shape of the pupil 103 of the objective lens is a circle.
  • the image 101 of the transmission part is positioned so as to include a part of the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the image 102 of the light shielding part is positioned so as to cover the entire pupil of the objective lens except for the area of the image 101 of the transmission part.
  • the inner edge image 101a of the transmissive part is located on the inner side (direction approaching the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens. Further, the image 101b of the outer edge of the transmissive part is located on the outer side (in the direction away from the optical axis) than the outer edge of the pupil 103 of the objective lens.
  • the image 100 of the aperture member is shifted to the right along the first axis with respect to the pupil 103 of the objective lens. Therefore, as shown in FIG. 16C, the distance from the inner edge image 101a of the transmission part to the outer edge of the pupil 103 of the objective lens is wider than that in FIG. 14C. In this case, the area of the region 104 is larger than the area of the region 104 in FIG. 14C. Therefore, the brightness of the sample image in FIG. 16C becomes brighter than the brightness of the sample image in FIG. 14C.
  • FIG. 17A is a graph showing the relationship between the shift amount ⁇ H1 and the amount I of the light beam passing through the pupil of the pupil projection lens.
  • FIG. 17B is a diagram illustrating a deviation of the image of the aperture member with respect to the pupil of the objective lens.
  • the shift amount ⁇ H1 is the shift amount of the image of the aperture member with respect to the pupil of the objective lens, and the shift amount in the direction along the first axis and the light flux amount I pass through the pupil of the pupil projection lens. This is the amount of light flux.
  • the image of the aperture member moves in the direction of the arrow in the order of (A), (B), and (C) with respect to the pupil of the objective lens.
  • the direction in which the image of the opening member is displaced is the direction along the first axis.
  • L′ 0 is the length from the optical axis of the illumination optical system to a predetermined position
  • L′ 1 is the length from the optical axis of the illumination optical system to the outer edge of the transmission part, and the length on the line connecting the optical axis of the illumination optical system and a predetermined position
  • the predetermined position is a position where the length from the optical axis of the illumination optical system is the smallest among the positions on the inner edge of the transmission part
  • RPL is the pupil radius of the pupil projection lens
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • the transmittance of the transmission part is set to 100%.
  • the numerical value on the horizontal axis normalizes the deviation amount ⁇ H1 by the pupil radius RPL of the pupil projection lens.
  • the area S indicates the range of light flux that passes through the pupil of the pupil projection lens. Therefore, the area S can be replaced with the amount I of light flux. Therefore, in FIG. 17A, I is used as a variable on the vertical axis.
  • the deviation amount ⁇ H1 is zero.
  • the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member is as shown in FIG. Therefore, the amount I of the luminous flux is the amount indicated by the arrow B.
  • the shift amount ⁇ H1 is not zero.
  • the relationship between the pupil of the objective lens and the image of the aperture member is as shown in FIG.
  • the region located in the pupil of the objective lens in the region of the image of the transmission part is smaller than that in the case where the shift amount ⁇ H1 is zero. Therefore, the amount I of the luminous flux is the amount indicated by the arrow A.
  • the amount I of the luminous flux is the amount indicated by the arrow C.
  • the amount of the light beam I changes in response to changes in deviation amount delta H1. Therefore, according to the sample observation device of the present embodiment, a change in the shape of the sample can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the brightness of the sample image differs depending on whether the sample is present or not. Furthermore, the brightness of the sample image changes according to the direction of inclination of the surface of the sample and the degree of inclination.
  • a change in the shape of the sample is converted into a change in the image shift of the transmission part.
  • a change in the amount of luminous flux passing through the pupil of the pupil projection lens is caused by a change in the image shift of the transmission part. That is, a change in shape in the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the sample observation apparatus of the present embodiment does not require the use of a modulator unlike the modulation contrast method. Therefore, it is not necessary to adjust the position of the opening member with respect to the modulator. As a result, the position adjustment of the opening member is simplified. Further, by using no modulator, the objective lens can be a bright field observation objective lens. Therefore, various observation methods can be easily performed with the same objective lens.
  • the direction of occurrence of the shadow is determined by the position of the image of the transmission part with respect to the pupil of the objective lens.
  • the position of the image of the transmission part can be freely changed.
  • the direction can be changed freely.
  • the transmission unit is disposed asymmetrically with respect to the optical axis of the detection optical system and satisfies the following conditional expression (5).
  • L0 is the length from the optical axis of the detection optical system to a predetermined position
  • L1 is the length from the optical axis of the detection optical system to the outer edge of the transmission part, the length on the line connecting the optical axis of the detection optical system and a predetermined position
  • the predetermined position is a position where the length from the optical axis of the illumination optical system is the smallest among the positions on the inner edge of the transmission part
  • Rill is the pupil radius of the illumination optics
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • the transmission part is disposed asymmetrically with respect to the optical axis of the illumination optical system, a shadow is generated in the sample image. Therefore, a sample image with a three-dimensional effect can be obtained.
  • the transmission unit is disposed asymmetrically with respect to the optical axis of the detection optical system and satisfies the following conditional expression (6).
  • L0 is the length from the optical axis of the detection optical system to a predetermined position
  • L1 is the length from the optical axis of the detection optical system to the outer edge of the transmission part, the length on the line connecting the optical axis of the detection optical system and a predetermined position
  • the predetermined position is a position where the length from the optical axis of the illumination optical system is the smallest among the positions on the inner edge of the transmission part
  • Rill is the pupil radius of the illumination optics
  • is the value obtained by dividing the focal length of the pupil projection lens by the focal length of the objective lens, It is.
  • the transmission part is arranged asymmetrically with respect to the optical axis of the illumination optical system, a shadow is generated in the sample image. Therefore, a sample image with a three-dimensional effect can be obtained.
  • conditional expression (6) when the image of the aperture member shifts in the direction along the first axis, the amount of change in the amount of light is substantially the same when shifted to the left and when shifted to the right. Become. That is, the change in the amount of light when shifted in the left direction and the change in the amount of light when shifted in the right direction are symmetric.
  • an opening member different from the opening member it is preferable to have an opening member different from the opening member and to have a moving mechanism that moves the opening member and the other opening member.
  • the size and position of the image of the transmission part can be changed. That is, by changing the opening member to a different opening member, the length from the optical axis to the inner edge of the transmission part and the length from the optical axis to the outer edge of the transmission part can be freely changed. For this reason, it is possible to create an illumination state in which the shadow is generated best depending on the specimen.
  • phase difference observation can be performed, and by using the aperture member shown in FIGS. 5A and 5B, observation by the sample observation apparatus of the present embodiment can be performed. That is, observation with the sample observation apparatus of the present embodiment and phase difference observation can be performed without exchanging the objective lens. Note that, even with methods such as differential interference observation and Hoffman modulation contrast observation, observation with the sample observation apparatus of the present embodiment and these observations can be similarly performed without exchanging the objective lens.
  • the illumination optical system has an optical member, and the optical member is an opening member having a light shielding portion or a light reduction portion and a transmission portion, and the opening member is at a predetermined position.
  • the light shielding unit or the dimming unit is disposed so as to include the optical axis of the illumination optical system, and the predetermined position is a position between the light source unit and the scanning unit, or a pupil position of the illumination optical system, and the transmission unit. Is located outside the outer edge of the light-shielding part or the light-reducing part, and an image of the inner edge of the transmission part is formed inside the outer edge of the pupil of the detection optical system, and is located outside the outer edge of the pupil of the detection optical system. It is preferable that an image of the outer edge of the transmission part is formed.
  • FIG. 18 is a diagram showing another sample observation device of the present embodiment.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the sample observation device 110 includes an optical member 111.
  • the optical member 111 is an opening member having a light shielding part or a light reducing part and a transmission part.
  • the optical member 111 for example, the opening member 50, the opening member 50 ', the opening member 90, or the opening member 90' described above can be used.
  • the optical member 111 is disposed at a predetermined position.
  • the predetermined position is a position between the light source and the scanning unit or a pupil position of the illumination optical system.
  • the optical member 111 is disposed between the light source unit 2 and the optical scanning unit 9.
  • the optical member 111 is arranged such that the light shielding part or the light reducing part includes the optical axis of the illumination optical system. Therefore, the shape of the illumination light emitted from the optical member 111 is an annular shape.
  • the position between the light source unit 2 and the optical scanning unit 9 is a conjugate position with the pupil position of the illumination optical system 3. Therefore, it can be considered that the optical member 111 is disposed at the pupil position of the illumination optical system 3.
  • the pupil position of the illumination optical system 3 is conjugate with the pupil position of the detection optical system 4. Therefore, an image of the optical member 111 is formed on the pupil 112 of the detection optical system.
  • the optical member is arranged in the illumination optical system. That is, as shown in FIG. 17A, in the sample observation apparatus of the present embodiment, the amount I of light flux changes between the arrow B and the arrow C according to the change in the deviation amount ⁇ . Therefore, according to the sample observation device of the present embodiment, a change in the shape of the sample can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • the light detection element is disposed at a position conjugate with the sample.
  • the photodetection element can be reduced in size.
  • FIG. 19 is a diagram showing a light intensity distribution of illumination light.
  • the illumination light 120 is illumination light in which the light intensity is unevenly distributed.
  • the shape of the illumination light 120 is a circle.
  • the light intensity is different between the center 121 of the light beam and the periphery 122 of the light beam.
  • the light intensity at the center 121 is smaller than the light intensity at the periphery 122. Further, the light intensity increases from the center 121 toward the periphery 122. Therefore, the change in the light flux passing through the pupil of the pupil projection lens due to the inclination of the surface of the sample can be increased.
  • aperture members are arranged in both the illumination optical system and the detection optical system.
  • an illumination side aperture member is disposed in the illumination optical system
  • a detection side aperture member is disposed in the detection optical system.
  • both the illumination side opening member and the detection side opening member have a some permeation
  • FIG. 20A is a view showing the illumination side opening member
  • FIG. 20B is a view showing the detection side opening member.
  • the illumination-side opening member 130 includes a light shielding portion 130a1 and a transmission portion 130b. Further, the opening member 130 has a light shielding portion 130a2.
  • the light shielding parts 130a1 and 130a2 and the transmission part 130b are made of a transparent member, for example, a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding portions 130a1 and 130a2 are formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate.
  • the transmission part 130b is a glass plate itself.
  • the shape of the light shielding portion 130a1 is a circle.
  • the shape of the transmission part 130b is a belt-like shape, specifically an annular shape.
  • a plurality of light shielding portions 130a1 are formed. Therefore, a plurality of transmission parts 130b are also generated. Specifically, four transmission parts 130b are formed. The four transmission parts 130b are two-dimensionally arranged. The illumination side opening member 130 is disposed at the position of the optical member.
  • the detection-side opening member 140 includes a light shielding part 140a and a transmission part 140b.
  • the light shielding part 140a and the transmission part 140b are made of a transparent member, for example, a glass plate or a resin plate.
  • the light shielding part 140a is formed by, for example, applying a light shielding paint on a glass plate. On the other hand, nothing is applied to the transmission part 140b. Therefore, the transmission part 140b is a glass plate itself.
  • the outer shape of the transmission part 140b is similar to the outer shape of the transmission part 130b. Specifically, since the outer shape of the transmissive portion 130b is a circle, the outer shape of the transmissive portion 140b is also a circle.
  • a plurality of transmission portions 140b are formed in the detection-side opening member 140. Specifically, four transmission parts 140b are formed. The four transmission parts 140b are two-dimensionally arranged. The detection side aperture member 140 is disposed at the pupil position of the pupil projection lens.
  • one transmission part 130b and one transmission part 140b are paired.
  • the pair of transmissive portions 130b and transmissive portions 140b are arranged so that their centers are conjugated.
  • the upper right transmission part 130b of the illumination side opening member 140 and the lower left transmission part 140b of the observation side opening member 140 are paired. Further, when the image of the upper right transmissive part 130b is formed at the position of the lower left transmissive part 140b, the center of the lower left transmissive part 140b and the image of the upper right transmissive part 130b coincide.
  • an image of the inner edge of the transmissive portion 130b is formed inside the outer edge of the transmissive portion 140b, and an image of the outer edge of the transmissive portion 130b is formed outside the outer edge of the transmissive portion 140b. For this reason, the above-described operational effect is similarly generated when a pair of transmission part 130b and transmission part 140b is used.
  • the change in the shape of the sample is converted into the change in the image shift of the transmission part.
  • a change in the amount of luminous flux passing through the pupil of the pupil projection lens is caused by a change in the image shift of the transmission part. That is, a change in shape in the specimen can be detected as a change in brightness. As a result, a shaded sample image can be obtained even if the sample is colorless and transparent.
  • FIG. 21 is a diagram showing a configuration of another opening member.
  • the opening member 270 includes a first light shielding part 271, a second light shielding part 272, a third light shielding part 273, a first transmission part 274, and a second transmission part 275.
  • the third light shielding portion 273 is not always necessary.
  • the opening member 270 may be disposed in either the illumination optical system or the detection optical system. Here, it is assumed that the aperture member 270 is disposed in the detection optical system.
  • the opening member 270 is arranged so that the first light shielding portion 271 includes the optical axis of the detection optical system.
  • the first transmission part 274 is located outside the outer edge of the first light shielding part 271, and the second light shielding part 272 is located outside the outer edge of the first transmission part 274, and the second transmission part
  • the part 275 is located outside the outer edge of the second light shielding part 272.
  • the first light shielding part 271, the second light shielding part 272, the third light shielding part 273, the first transmission part 274, and the second transmission part 275 are made of a transparent member, for example, a glass plate or a resin plate. Yes.
  • the first light shielding part 271, the second light shielding part 272, and the third light shielding part 273 are formed, for example, by applying a light shielding paint on a glass plate.
  • the opening member 270 is a member in which the first transmission part 274 is provided in the light shielding part 50'a1 of the opening member 50 'shown in FIG. 5B.
  • a plurality of objective lenses can be used.
  • an objective lens having a large numerical aperture and an objective lens having a small numerical aperture are selectively used according to the observation purpose.
  • An objective lens having a large numerical aperture has a larger luminous flux diameter of illumination light than an objective lens having a small numerical aperture.
  • the aperture member has one transmission part and the position and width of the transmission part are provided for an objective lens having a large numerical aperture.
  • the imaging light may not pass through the transmission part.
  • first transmission part 274 is located inside the second transmission part 275. Therefore, the first transmission part 274 is used for an objective lens having a small numerical aperture, and the second transmission part 275 is used for an objective lens having a large numerical aperture. By doing so, it is possible to obtain a colorless and transparent sample image with a different objective lens even though the number of aperture members is one.
  • an optical member and a diffusing member are arranged in the detection optical system, and the diffusing member is arranged in the vicinity of the optical member on the light detection element side with respect to the optical member.
  • An objective lens with a small magnification has a wider observation field of view than an objective lens with a large magnification. Therefore, the imaging light from the periphery of the observation field enters the detection optical system at a large angle with respect to the optical axis and reaches the optical member. Even in the imaging light that has passed through the transmission part of the optical member, the angle of the light beam with respect to the optical axis is large.
  • the imaging light does not pass through the lens if the angle of the light beam with respect to the optical axis is large. In this case, the imaging light cannot be detected by the light detection element.
  • the diffusing member When the diffusing member is disposed on the light detection element side of the optical member and in the vicinity of the optical member, the light beam is diffused at various angles by the diffusing member. Therefore, a part of the imaging light that has passed through the transmission part of the optical member can be detected by the light detection element. Therefore, even when an objective lens with a low magnification is used or when the observation field of view is wide, an image of a colorless and transparent sample can be acquired.
  • FIG. 2 shows an image of a specimen acquired by the specimen observation apparatus of the present embodiment.
  • FIG. 22A is an image of a specimen acquired by the specimen observation apparatus of this embodiment.
  • FIG. 22B is an image of a sample acquired by the phase difference observation method.
  • the magnification of the objective lens used is 10 times and the numerical aperture is 0.25.
  • the wavelength of the laser beam is 488 nm.
  • the specimen is an iPS cell.
  • the present invention is suitable for a sample observation apparatus that can acquire an image of a colorless and transparent sample without using a phase difference observation method.

Abstract

位相差観察法を使わずに、無色透明な標本の像を取得できる標本観察装置を提供する。 標本観察装置1は、光源ユニット2と、照明光学系3と、検出光学系4と、光検出素子5と、画像処理装置6と、を備え、照明光学系3によって、照明光学系3と検出光学系4との間に光スポットが形成され、光源ユニット2から光検出素子5までの光路中に、光走査ユニット9が配置され、光走査ユニット9は、光スポットと標本7とを相対移動させ、照明光学系3と検出光学系4の少なくとも一方に光学部材15が配置され、照明光学系3と検出光学系4は、照明光学系3の瞳の像が検出光学系4の瞳位置に形成されるように配置され、照明光学系3の瞳の像は、標本7で生じた屈折によって、検出光学系4の瞳に対して偏心し、照明光学系3、検出光学系4及び光学部材15は、偏心によって、検出光学系4の瞳を通過する光量が変化するように構成されている。

Description

標本観察装置
 本発明は、無色透明な標本の像の観察や取得が可能な装置に関する。
 無色透明な標本の像の観察や取得が行える装置として、特許文献1に開示された装置がある。
 特許文献1の装置は、位相差対物レンズと、レーザ光源と、走査手段と、第1の検出器と、第2の検出器と、リングスリットと、を有する。第1の検出器は、標本面からの放射光を検出する。第2の検出器は、標本面からの透過光を検出する。
 特許文献1の装置では、光路中に、位相差対物レンズとリングスリットとが配置されている。よって、第2の検出器で検出する光学像は、位相差像になる。標本が蛍光色素で染色されている場合、標本から蛍光が発生する。よって、第1の検出器で検出する光学像は、蛍光像になる。
特開2010-54601号公報
 特許文献1の装置では、位相差像が形成されるので、無色透明な標本の像の観察や取得が行える。位相差像の形成では、位相差観察法が用いられる。位相差観察法は、位相変調量の小さく薄い細胞でもコントラスト画像を得られる、という特徴を持つ。
 しかしながら、例えば、標本が厚みを有する細胞の場合、細胞の輪郭が白く輝くアーティファクトが発生する。輪郭が白く輝く現象はハローと呼ばれ、光学像の分解能を低下させる要因になる。ただし、ハローを減らすことは、理論的に困難であることが知られている(K. Yamamoto and A. Taira, J. Microsc. 129, 49 (1983) )。
 本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、位相差観察法を使わずに、無色透明な標本の像を取得できる標本観察装置を提供することを目的とする。
 上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の標本観察装置は、
 光源ユニットと、照明光学系と、検出光学系と、光検出素子と、画像処理装置と、を備え、
 照明光学系と検出光学系とは、標本を挟んで対向して配置され、
 光源ユニットから出射した光は、照明光学系に入射し、
 照明光学系によって、照明光学系と検出光学系との間に光スポットが形成され、
 光源ユニットから光検出素子までの光路中に、走査手段が配置され、
 走査手段は、光スポットと標本とを相対移動させ、
 照明光学系と検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置され、
 照明光学系と検出光学系は、照明光学系の瞳の像が検出光学系の瞳位置に形成されるように配置され、
 照明光学系の瞳の像は、標本で生じた屈折によって、検出光学系の瞳に対して偏心し、
 照明光学系、検出光学系及び光学部材は、偏心によって、検出光学系の瞳を通過する光量が変化するように構成され、
 画像処理装置は、光検出素子の検出結果から、標本の画像を生成することを特徴とする。
 本発明によれば、位相差観察法を使わずに、無色透明な標本の像を取得できる標本観察装置を提供することができる。
本実施形態の標本観察装置を示す図である。 第1例の走査手段を示す図である。 第2例の走査手段を示す図である。 第3例の走査手段を備えた標本観察装置を示す図である。 共焦点基板の構造を示す図である。 不透明な部材で構成された開口部材を示す図である。 透明な部材で構成された開口部材を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 照明光学系の瞳の像と開口部材との関係を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 照明光学系の瞳の像と開口部材との関係を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 検出光学系の瞳と開口部材の像との関係を示す図である。 検出光学系の瞳を通過する光束の様子を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 検出光学系の瞳と開口部材の像との関係を示す図である。 検出光学系の瞳を通過する光束の様子を示す図である。 ずれ量Δと瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量Iとの関係を示すグラフである。 対物レンズの瞳に対する開口部材の像のずれを示す図である。 本実施形態の別の標本観察装置を示す図である。 透過部の透過率が連続的に変化している開口部材を示す図である。 ずれ量Δと瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量Iとの関係を示すグラフである。 透過部の外側に遮光部が形成されている開口部材図である。 透過部の外側に遮光部が形成されていない開口部材を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図である。 対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図である。 対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。 標本位置における光の屈折の様子を示す図である。 対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図である。 対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。 ずれ量ΔH1と瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量Iの関係を示すグラフである。 対物レンズの瞳に対する開口部材の像のずれを示す図である。 本実施形態の別の標本観察装置を示す図である。 照明光の光強度分布を示す図である。 照明側開口部材を示す図である。 検出側開口部材を示す図である。 別の開口部材の構成を示す図である。 本実施形態の標本観察装置で取得した標本の画像である。 位相差観察法で取得した標本の画像である。
 以下に、本発明に係る標本観察装置の実施形態及び実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態及び実施例によりこの発明が限定されるものではない。
 本実施形態の標本観察装置は、光源ユニットと、照明光学系と、検出光学系と、光検出素子と、画像処理装置と、を備え、照明光学系と検出光学系とは、標本を挟んで対向して配置され、光源ユニットから出射した光は、照明光学系に入射し、照明光学系によって、照明光学系と検出光学系との間に光スポットが形成され、光源ユニットから光検出素子までの光路中に、走査手段が配置され、走査手段は、光スポットと標本とを相対移動させ、照明光学系と検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置され、照明光学系と検出光学系は、照明光学系の瞳の像が検出光学系の瞳位置に形成されるように配置され、照明光学系の瞳の像は、標本で生じた屈折によって、検出光学系の瞳に対して偏心し、照明光学系、検出光学系及び光学部材は、偏心によって、検出光学系の瞳を通過する光量が変化するように構成され、画像処理装置は、光検出素子の検出結果から、標本の画像を生成することを特徴とする。
 図1は、本実施形態の標本観察装置を示す図である。標本観察装置1は、光源ユニット2と、照明光学系3と、検出光学系4と、光検出素子5と、画像処理装置6と、を備える。標本観察装置1では、照明光学系3と検出光学系4とは、標本7を挟んで対向して配置されている。
 光源ユニット2は、点光源、又は、面光源を有する。点光源としては、例えば、レーザがある。面光源としては、例えば、LED、水銀ランプ、キセノンランプがある。
 面光源は、微小開口と共に用いられる。微小開口としては、例えば、ピンホールがある。面光源と微小開口の組み合わせによって、点光源から出射した光と実質的に同じ光が、光源ユニット2から出射する。
 光源ユニット2から出射した光(以下、「照明光」という)は、光線分離手段10に入射する。光線分離手段10では、入射した照明光が、透過光と反射光とに分かれて出射する。2つの光に分ける方法としては、光強度による分割、偏光方向の違いによる分割、波長の違いによる分割がある。
 光線分離手段10で反射された照明光は、照明光学系3に入射する。照明光学系3によって、照明光学系3と検出光学系4との間に光スポットが形成される。照明光学系3と検出光学系4との間には、標本7が配置されている。光スポットの位置に標本7の位置を一致させることで、標本7を光スポットで照明することができる。
 光スポットが形成されるためには、照明光が、点光源から出射した光であれば良い。上述のように、光源ユニットで2から出射する光は、点光源から出射した光である。よって、標本観察装置1では、光スポットが形成される。
 標本観察装置1では、顕微鏡光学系が用いられている。よって、標本観察装置1では、照明光学系3として、顕微鏡対物レンズ8(以下、「対物レンズ8」という)が用いられている。
 上述のように、標本7は光スポットで照明される。この場合、標本7上の1点しか照明されない。標本7の全体を照明するためには、光スポットと標本7を相対移動させなくてはならない。光源ユニット2から光検出素子5までの光路中に、走査手段を配置することで、光スポットと標本7を相対移動させることができる。
 標本観察装置1では、走査手段として、光源ユニット2と照明光学系3との間の光路に、光走査ユニット9が配置されている。光走査ユニット9は、2つの光偏向素子で構成されている。光偏向素子としては、ガルバノメータスキャナ、ポリゴンスキャナ、音響光偏向素子がある。
 光走査ユニット9では、光走査ユニット9に入射した光が、直交する2方向、例えば、X方向とY方向に偏向される。このように、光走査ユニット9で、走査パターンが生成される。
 光走査ユニット9と対物レンズ8との間には、瞳投影光学系11が配置されている。瞳投影光学系11は、レンズ12とレンズ13とで構成されている。瞳投影光学系11によって、光走査ユニット9と対物レンズ8の瞳とが共役になっている。
 2つの光偏向素子が近接している場合、一方の偏向素子の偏向面から他方の偏向素子の偏向面までの間の任意の位置が、対物レンズ8の瞳位置と共役になっている。2つの偏向素子の間にレンズが配置されている場合、一方の偏向素子の偏向面と他方の偏向素子の偏向面の両方が、対物レンズ8の瞳と共役になっている。
 光走査ユニット9で生成された走査パターンは、対物レンズ8の瞳に投影される。この走査パターンに基づいて、光スポットが標本7上を移動していく。このとき、光スポットだけが移動し、標本7は移動しない。
 このように、標本観察装置1では、光軸と直交する面内で、光スポットと標本7とが相対移動する。その結果、離散的又は連続的に、標本を光スポットで走査することができる。
 標本7を透過した光(以下、「結像光」という)は、検出光学系4に入射する。上述のように、本実施形態の標本観察装置では、照明光学系と検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置されていれば良い。標本観察装置1では、光学部材15が検出光学系4に配置されている。
 検出光学系4は、瞳投影レンズ14、光学部材15、レンズ16、及びレンズ17を有する。瞳投影レンズ14として、例えば、顕微鏡のコンデンサレンズを用いることができる。
 検出光学系4に入射した結像光は、瞳投影レンズ14と光学部材15を通過して、レンズ16に入射する。レンズ16に入射した結像光は、レンズ17を通過して、光検出素子5の受光面に到達する。
 標本観察装置1では、瞳投影レンズ14の瞳位置と光検出素子5の位置とは、共役になっていない。瞳投影レンズ14の瞳位置と光検出素子5の位置とを共役にしても良い。上述のように、光走査ユニット9と対物レンズ8の瞳位置とが共役になっている。更に、対物レンズ8の瞳位置と瞳投影レンズ14の瞳位置とが共役になっている。瞳投影レンズ14の瞳位置と光検出素子5の位置とを共役にすることで、光走査ユニット9と光検出素子5の位置とを共役にすることができる。
 光走査ユニット9では、照明光の偏向が行われる。この偏向では、照明光と光軸とのなす角が変化する。ただし、光軸と直交する面内では、照明光の位置は変化しない。光走査ユニット9と光検出素子5の位置とが共役にしておくと、光検出素子5では、受光面に入射する結像光の入射角度は変化するが、受光面における入射位置は変化しなくなる。
 光検出素子5では、光電変換が行われる。結像光は電気信号に変換され、これにより、標本7の画像信号が生成される。標本7の画像信号は、画像処理装置6に入力される。画像処理装置6では、様々な処理が行われる。
 標本観察装置1では、照明光学系3と検出光学系4は、照明光学系3の瞳の像が検出光学系4の瞳位置に形成されるように配置されている。よって、対物レンズ8の瞳の像が、瞳投影レンズ14の瞳位置に形成される。このように、標本観察装置1では、対物レンズ8の瞳位置と瞳投影レンズ14の瞳位置とが共役になっている。
 よって、標本観察装置1では、照明光学系3の瞳の像は、標本7で生じた屈折によって、検出光学系4の瞳に対して偏心する。そして、照明光学系3、検出光学系4及び光学部材15は、偏心によって、検出光学系4の瞳を通過する光量が変化するように構成されている。
 このように、本実施形態の標本観察装置では、標本における形状の変化(傾斜の変化)が、照明光学系の像のずれの変化に変換される。そして、照明光学系の像のずれの変化によって、検出光学系の瞳を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 しかも、本実施形態の標本観察装置では、変調コントラスト法のように変調器を用いる必要がない。そのため、変調器に対する開口部材の位置調整が不要になる。その結果、開口部材の位置調整が簡素になる。更に、変調器を用いないことで、対物レンズは明視野観察法の対物レンズを使用できる。よって、同じ対物レンズで、様々な観察方法(例えば、明視野観察や、蛍光観察や、偏光観察等の観察方法)が手軽に行える。
 本実施形態の標本観察装置は、標本からの放射光を検出するための第2の光検出素子を更に備え、第2の光検出素子で蛍光の検出を行うことが好ましい。
 標本7に照明光が照射されると、標本7で反射光が生じる。また、標本が蛍光染色されている場合、標本7から蛍光が発生する。よって、これらの光を用いて光学像を形成することができる。
 反射光や蛍光の一部は、照明光学系3に入射する。照明光学系3に入射した光は、瞳投影光学系11と光走査ユニット9を通過して、光線分離手段10に入射する。
 光線分離手段10に入射した光は、光線分離手段10を通過して、共焦点レンズ18で集光される。集光位置には、共焦点ピンホール19が配置されている。共焦点ピンホール19を通過した光は、光検出器20で検出される。
 光検出器20は、第2の光検出素子である。光検出器20では、標本7から反射した光や蛍光が検出される。よって、標本7の反射像や標本7の蛍光像を得ることができる。
 光検出器20では、光電変換が行われる。共焦点ピンホール19を通過した光は電気信号に変換され、これにより、標本7の画像信号が生成される。この時の画像信号は、共焦点画像の信号である。
 本実施形態の標本観察装置では、光検出器20を備えているので、一度の照明で、陰影のある標本像と蛍光像とを、観察することが可能である。また、陰影のある標本像の画像と蛍光像の画像とを重ね合わせることで、2つの像を同時に観察することができる。この場合、2つの画像を正確に重ね合わせることが可能である。
 標本観察装置1では、走査手段として、2つの光偏向素子が用いられている。しかしながら、走査手段はこれに限られない。別の走査手段について説明する。
 第1例の走査手段について説明する。図2Aは、第1例の走査手段を示す図である。第1例の走査手段では、一方の方向の走査を光スポットの移動で行い、他方の方向の走査をステージの移動で行う。よって、第1例の走査手段では、光スポットと標本が共に移動する。
 第1例の走査手段では、光源ユニットと照明光学系との間の光路に、光走査ユニットが配置されている。光走査ユニットは、1つの光偏向素子で構成されている。また、保持部材31上に、移動ステージ32が載置されている。標本は、移動ステージ32上に載置されている。
 第1例の走査手段では、光偏向素子によって、照明光30をX方向に移動させる。また、移動ステージ32によって、標本をY方向に移動させる。このようにすることで、離散的又は連続的に、標本を光スポットで走査することができる。
 第2例の走査手段について説明する。図2Bは、第2例の走査手段を示す図である。第2例の走査手段では、一方の方向の走査と他方の方向の走査を、共にステージの移動で行う。よって、第2例の走査手段では、光スポットは移動せず、標本のみが移動する。
 第2例の走査手段では、保持部材31上に、移動ステージ32と移動ステージ33とが載置されている。標本は、移動ステージ33上に載置されている。光源ユニットと照明光学系との間の光路に、光走査ユニットは配置されていない。
 第2例の走査手段では、照明光30は移動しない。その代わりに、移動ステージ32によって標本をY方向に移動させると共に、移動ステージ33によって標本をX方向に移動させる。このようにすることで、離散的又は連続的に、標本を光スポットで走査することができる。
 第3例の走査手段について説明する。図3は、第3例の走査手段を備えた標本観察装置を示す図である。図1と同じ構成には、図1と同じ番号を付し、説明は省略する。
 標本観察装置40は、光源ユニット41と、照明光学系3と、検出光学系4と、光検出素子5と、画像処理装置6と、を備える。標本観察装置40は、第3例の走査手段として、共焦点基板42を有する。共焦点基板42は、光源ユニット41と照明光学系3との間の光路に、配置されている。
 光源ユニット41は、点光源、又は、面光源を有する。光源ユニット41から出射した光は、点光源から出射した光と面光源から出射した光のどちらでも良い。ここでは、光源ユニット41から出射した光は、点光源から出射した光とする。
 光源ユニット41から出射した光は、コリメータレンズ44により、略平行な光となる。略平行になった光は、ビームスプリッタ45で反射されて、共焦点基板42に照射される。共焦点基板42は、モータ(不図示)によって、軸43の周りに回転可能になっている。
 図4は、共焦点基板の構造を示す図である。共焦点基板42は円形の平板であって、遮光部42aと透過部42bとを備えている。遮光部42aは不透明な部材、例えば、金属板で構成されている。透過部42bは金属板に形成された空隙(孔)である。
 共焦点基板42は、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されていても良い。遮光部42aは、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。一方、透過部42bには何も塗布されていない。よって、透過部42bはガラス板そのものである。
 透過部42bの大きさは、非常に小さい。よって、透過部42bからは、点光源から出射した光と実質的に同じ光が出射する。また、透過部42bは、複数形成されている。共焦点基板42に照射される光の径は、複数の透過部42bを含むように設定されている。そのため、共焦点基板42の複数の箇所から、点光源から出射した光と実質的に同じ光が出射する。
 共焦点基板42から出射した光は、結像レンズ46を通過して、対物レンズ8に入射する。対物レンズ8に入射した光は、標本7に照射される。標本観察装置40では、共焦点基板42の位置と標本7の位置とが共役になっている。そのため、標本7上に、複数の光スポットが生成される。
 上述のように、共焦点基板42は、軸43の周りに回転可能になっている。共焦点基板42を回転させると、標本7上に形成された複数の光スポットが移動する。その結果、連続的に、標本を光スポットで走査することができる。
 標本7を透過した光は、検出光学系4を介して、光検出素子5の受光面に入射する。標本観察装置40では、標本7上に、複数の光スポットが生成される。よって、光検出素子5の位置は、標本7の位置と共役になっている。
 標本7で反射された光や、標本7で発生した蛍光は、対物レンズ8、結像レンズ46を通過して、共焦点基板42に入射する。これらの光は、透過部42bとビームスプリッタ45を通過して、レンズ47で集光される。
 集光位置には、光検出器48が配置されている。レンズ47で集光された光は、光検出器48で検出される。透過部42bは、ピンホールと見なすことができる。よって、光検出器48から、共焦点画像の信号が得られる。
 光学部材15について説明する。光学部材15は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材である。開口部材の構造について説明する。
 開口部材の構成を図5A、図5Bに示す。図5Aは不透明な部材で構成された開口部材を示し、図5Bは透明な部材で構成された開口部材を示している。
 図5Aに示すように、開口部材50は、遮光部50a1と透過部50bとを有する。更に、開口部材50は遮光部50a2を有する。遮光部50a1と50a2は不透明な部材、例えば、金属板で構成されている。透過部50bは金属板に形成された空隙(孔)である。
 開口部材50では、遮光部50a1を保持するために、遮光部50a1と遮光部50a2との間に接続部50a3が3つ形成されている。そのため、透過部50bは3つに分かれている。透過部50bの各々の形状は略扇状(離散的な輪帯形状)になっている。なお、接続部50a3の数は3つに限定されない。
 開口部材50は、遮光部50a1が照明光学系の光軸を含むように配置されている。また、遮光部50a1の外縁50cは、照明光学系の光軸から所定の距離だけ離れた位置にある。よって、開口部材50に入射した照明光は、光束の中心が遮光部50a1によって遮光される。ここで、遮光部50a1と透過部50bとの境が、遮光部50a1の外縁50cになる。
 遮光部50a2は、遮光部50a1や透過部50bよりも外側(光軸から離れる方向)に位置している。ここで、透過部50bと遮光部50a2との境が、遮光部50a2の内縁50dになる。
 透過部50bは、遮光部50a1の外縁50cよりも外側に位置している。ここで、遮光部50a1と透過部50bとの境が、透過部50bの内縁になる。また、透過部50bと遮光部50a2との境が、透過部50bの外縁になる。よって、50cは、遮光部50a1の外縁と透過部50bの内縁とを示し、50dは、遮光部50a2の内縁と透過部50bの外縁とを示している。
 遮光部50a1、50a2及び接続部50a3では、表面の反射率が低く抑えられている。よって、遮光部50a1、50a2及び接続部50a3では、光の反射がほとんど生じない。開口部材50に金属板が用いられた場合、遮光部50a1、50a2及び接続部50a3には、反射防止処理、例えば、黒メッキ処理が施されている。
 結像光は、光学部材15、例えば、開口部材50に入射する。以下、50a1を例に説明する。結像光の一部は、遮光部50a1に照射される。この照射によって、遮光部50a1では、反射光が生じる。
 結像光は標本7を透過した光なので、光強度が大きい。遮光部50a1の反射率が高いと、遮光部50a1で発生した反射光の光強度も大きくなる。この場合、強度の大きな反射光が標本7面に戻される。この光はフレアになる。
 更に、時間的コヒーレンスの高い光源、例えば、レーザを用いた場合、標本面で、照明光と遮光部50a1からの反射光とが干渉する。その結果、標本7面に干渉縞が発生する。そのため、標本7の像に干渉縞の影響がでてしまう。遮光部50a1における反射率を低くすることで、遮光部50a1で生じる反射光の光強度を小さくすることができる。その結果、フレアの発生や干渉縞の発生を抑制することができる。
 また、図5Bに示すように、開口部材50’は、遮光部50’a1と透過部50’bとを有する。更に、開口部材50’は遮光部50’a2を有する。遮光部50’a1、50’a2及び透過部50’bは透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されている。遮光部50’a1と50’a2は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。一方、透過部50’bには何も塗布されていない。よって、透過部50’bはガラス板そのものである。
 開口部材50’では、透過部50’bの形状は円環になっている。これは、遮光部50’a2を保持する必要が無いからである。そのため、開口部材50’では、遮光部50’a1と遮光部50’a2との間に接続部は形成されていない。
 なお、開口部材50’と開口部材50との主な違いは、材料と接続部の有無である。よって、遮光部50’a1、50’a2及び透過部50’bについての詳細な説明は省略する。
 なお、開口部材50の遮光部50a2と接続部50a3や開口部材50’の遮光部50’a2は、必ずしも必要ではない。例えば、照明光の光束径(直径)を、透過部50bの外縁や透過部50’bの外縁と一致させるようにすれば良い。
 以上のように、開口部材50、50’は遮光部50a1、50’a1と透過部50b、50’bとを備えている。よって、開口部材50、50’からは、略円環状又は円環状(以下、適宜、「円環状」という)の照明光が出射する。
 本実施形態の標本観察装置では、検出光学系が光学部材を有し、光学部材は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材であって、開口部材は、遮光部又は減光部が検出光学系の光軸を含むように配置され、透過部は、遮光部又は減光部の外縁よりも外側に位置し、透過部の内縁と透過部の外縁との間に、照明光学系の瞳の外縁の像が形成されることが好ましい。
 光学部材15によって生じる作用について説明する。本実施形態の標本観察装置では、照明光学系と検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置されている。ここでは、検出光学系に光学部材が配置されている場合について説明する。光学部材には、図5Bに示した開口部材50’が用いられている。
 開口部材50’は、遮光部50’a1と、遮光部50’a2と、透過部50’bと、を有する。開口部材50’は、遮光部50’a1が検出光学系4の光軸を含むように配置されている。透過部50’bは、遮光部50’a1の外縁よりも外側に位置している。
 図6Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図6Bは照明光学系の瞳の像と開口部材との関係を示す図である。図6Aと図6Bは、標本が存在しない場合を示している。標本が存在しない場合には、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合が含まれる。
 図7Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図7Bは照明光学系の瞳の像と開口部材との関係を示す図である。図7Aと図7Bは、標本が存在する場合を示している。標本が存在する場合とは、標本の表面が傾斜している(非平坦になっている)場合である。よって、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合は、標本が存在する場合に含まれない。
 標本が存在しない場合、図6Aに示すように、保持部材55へ入射する光と保持部材55から出射する光とは、光の進行方向が同じになる。その結果、瞳投影レンズ14の瞳位置、すなわち、光学部材15の位置に形成される対物レンズの瞳の像は、図6Bに示すようになる。なお、符号58で示す円(円周)は対物レンズの外縁像で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳の像になる。
 図6Bに示すように、透過部56の形状は円環で、遮光部57の形状は円で、外縁像58の形状は円である。そして、透過部56と、遮光部57と、外縁像58とが同心状になっている。また、透過部56の中心と、遮光部57の中心と、外縁像58の中心とは一致している。
 ここで、透過部56の中心とは、透過部の外縁56aを形作る円の中心のことである(透過部56は円環なので、透過部56の中心は、透過部の内縁56bを形作る円の中心でもある)。
 外縁像58は、透過部の内縁56bよりも外側(光軸から離れる方向)に位置すると共に、透過部の外縁56aよりも内側(光軸に近づく方向)に位置している。このように、本実施形態の標本観察装置では、透過部の内縁56bと透過部の外縁56aとの間に、対物レンズの瞳の外縁像58が形成される。
 ここで、外縁像58よりも外側の光は、対物レンズ8から出射しないので、透過部56を通過しない。よって、透過部56を通過する光束の領域は、透過部の内縁56bから外縁像58までの間の領域になる。そして、この領域全体の面積が、標本像の明るさに対応する。
 一方、標本が存在する場合、図7Aに示すように、保持部材55へ入射する光と保持部材55から出射する光とは、光の進行方向が異なる。その結果、光学部材15の位置に形成される対物レンズの瞳の像は、図7Bに示すようになる。図7Bにおいても、符号58で示す円(円周)は外縁像で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳の像になる。
 図7Bに示すように、透過部56の形状は円環で、遮光部57の形状は円で、外縁像58の形状は円である。ただし、透過部56及び遮光部57と、外縁像58とは同心状になっていない。また、透過部56の中心及び遮光部57の中心と、外縁像58の中心とは一致していない。すなわち、透過部56の中心及び遮光部57の中心に対して、外縁像58の中心は紙面内の左方向にずれている。
 図7Bにおいても、外縁像58よりも外側の光は、対物レンズ8から出射しないので、透過部56を通過しない。よって、透過部56を通過する光束の領域は、透過部の内縁56bから外縁像58までの間の領域になる。そして、この領域全体の面積が、標本像の明るさに対応する。
 ここで、外縁像58は、透過部の内縁56bよりも外側に位置している。言い換えると、図7Bでは、遮光部57は、外縁像58の内側に位置している。これは、標本の表面の傾斜が小さいからである。一方、標本が存在しない場合でも、遮光部57は、外縁像58の内側に位置している。そのため、標本が存在する場合であっても、標本の表面の傾斜が小さいと、標本像の明るさは、標本が存在しない場合と同じになる。
 しかしながら、標本の表面の傾斜が更に大きくなると、透過部56の中心に対する外縁像58の中心のずれが更に大きくなる。この場合、外縁像58の一部が、透過部の内縁56bよりも内側に位置するようになる。また、外縁像58の一部が、透過部の外縁56aよりも外側に位置するようになる。言い換えると、外縁像58の一部が、遮光部57の内側に位置する。その結果、透過部56を通過する光束の領域は大きく変化する。すなわち、標本が存在しない場合と、標本像の明るさが異なる。
 このように、標本観察装置1では、照明光学系の瞳の偏心した量に応じて、光学部材15を通過する光量が増加する。
 以上のように、本実施形態の標本観察装置では、標本における形状の変化が、照明光学系の瞳の像のずれの変化に変換される。そして、照明光学系の瞳の像のずれの変化によって、検出光学系に設けた透過部を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を結像光の明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 本実施形態の標本観察装置では、照明光学系が対物レンズを有し、検出光学系が瞳投影レンズを有し、以下の条件式(1)を満たすことが好ましい。
 (Rill×β-R0)/(R1-Rill×β)<1   (1)
 ここで、
 R0は、検出光学系の光軸から透過部の内縁までの長さ、
 R1は、検出光学系の光軸から透過部の外縁までの長さ、
 Rillは、照明光学系の瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 条件式(1)を満足することで、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 なお、(Rill×β-R0)が大きくなりすぎると、条件式(1)を満足しなくなる。この場合、遮光部の大きさが小さくなりすぎる。そのため、標本像の明るさが変化しない状態が長くなってしまう。この場合、標本における細やかな形状の変化を、明暗の変化として検出することが難しくなる。
 また、(R1-Rill×β)が小さくなり過ぎると、条件式(1)を満足しなくなる。この場合、透過部の外縁から外縁像までの間隔が狭くなりすぎる。照明光学系の瞳の像のずれが大きくなると、外縁像よりも内側に円環状の遮光部(例えば、図5Bの遮光部50b’)が位置するようになる。そのため、対物レンズの瞳を通過する光束が少なくなる。その結果、標本像が暗くなる。
 本実施形態の標本観察装置では、照明光学系が対物レンズを有し、検出光学系が瞳投影レンズを有し、以下の条件式(2)、(3)を満たすことが好ましい。
 0.7≦R0/(Rill×β)<1   (2)
 1<R1/(Rill×β)≦2   (3)
 ここで、
 R0は、検出光学系の光軸から透過部の内縁までの長さ、
 R1は、検出光学系の光軸から透過部の外縁までの長さ、
 Rillは、照明光学系の瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 条件式(2)の下限値を下回ると、透過部の内縁から外縁像までの間隔が広くなり過ぎる。この場合、照明光学系の瞳の像のずれが0の場合と0でない場合とで、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量に差がつきにくくなくなる。そのため、標本における形状の変化を、明暗の変化として検出することが困難になる。その結果、陰影のある標本像を得ることが困難になる。あるいは、標本像のコントラストが悪くなってしまう。
 条件式(2)の上限値を上回ると、透過部が、常に対物レンズの瞳の像の外側に位置する。そのため、標本における形状の変化を、明暗の変化として検出することができない。よって、条件式(2)の上限値を上回ることはない。
 条件式(3)の下限値を下回ると、透過部が、対物レンズの瞳の像の内側に位置する。そのため、標本における形状の変化を、明暗の変化として検出することが困難になる。よって、条件式(3)の下限値を下回ることはない。
 条件式(3)の上限値を上回らないようにすることで、透過部よりも外側の部分を通過する光束を少なくできる。そのため、フレアやゴーストの発生を防止できる。
 なお、条件式(2)に代えて、以下の条件式(2’)を満足すると良い。
 0.8≦R0/(Rill×β)<1   (2’)
 さらに、条件式(2)に代えて、以下の条件式(2”)を満足するとなお良い。
 0.9≦R0/(Rill×β)<1   (2”)
 なお、条件式(3)に代えて、以下の条件式(3’)を満足すると良い。
 1<R1/(Rill×β)≦1.5   (3’)
 さらに、条件式(3)に代えて、以下の条件式(3”)を満足するとなお良い。
 1<R1/(Rill×β)≦1.3   (3”)
 本実施形態の標本観察装置は、以下の条件式(4)を満たすことが好ましい。
 Tin<Tout   (4)
 ここで、
 Tinは、透過部の内縁近傍における透過率、
 Toutは、透過部の外側近傍における透過率、
である。
 条件式(4)を満足することで、照明光学系の瞳の像のずれが変化しても光束の量Iが変化しない状態を少なくすることができる。その結果、標本におけるより細やかな形状の変化を、明暗の変化として検出することができる。
 以上、検出光学系に光学部材が配置されている場合について説明した。ただし、光学部材は、照明光学系に配置されていても良い。照明光学系に光学部材が配置されている場合について説明する。光学部材には、図5Bに示した開口部材50’が用いられている。
 開口部材50’は、遮光部50’a1と、遮光部50’a2と、透過部50’bと、を有する。開口部材50’は、遮光部50’a1が検出光学系4の光軸を含むように配置されている。透過部50’bは、遮光部50’a1の外縁よりも外側に位置している。
 図8Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図8Bは検出光学系の瞳と開口部材の像との関係を示す図、図8Cは検出光学系の瞳を通過する光束の様子を示す図である。図8A、図8B、図8Cは、標本が存在しない場合を示している。標本が存在しない場合には、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合が含まれる。
 図9Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図9Bは検出光学系の瞳と開口部材の像との関係を示す図、図9Cは検出光学系の瞳を通過する光束の様子を示す図である。図9A、図9B、図9Cは、標本が存在する場合を示している。標本が存在する場合とは、標本の表面が傾斜している(非平坦になっている)場合である。よって、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合は、標本が存在する場合に含まれない。
 標本が存在しない場合、図8Aに示すように、保持部材55へ入射する光と保持部材55から出射する光とは、光の進行方向が同じになる。その結果、瞳投影レンズ14の瞳位置に形成される開口部材の像は、図8Bに示すようになる。なお、符号62で示す円(円周)は瞳投影レンズの瞳の外縁で、円(円周)の内側が瞳投影レンズの瞳になる。
 図8Aに示すように、透過部の像60の形状は円環で、遮光部の像61の形状は円で、外縁62の形状は円である。そして、透過部の像60と、遮光部の像61と、外縁62とが同心状になっている。また、透過部の像60の中心と、遮光部の像61の中心と、外縁62の中心とは一致している。遮光部の像61は、例えば、開口部材50や開口部材50’における遮光部50a1や50’a1の像である。
 ここで、透過部の像60の中心とは、透過部の外縁の像60aを形作る円の中心のことである(透過部の像60は円環なので、透過部の像60の中心は、透過部の内縁の像60bを形作る円の中心でもある)。
 そして、透過部の内縁の像60bは、外縁62よりも内側(光軸に近づく方向)に位置している。また、透過部の外縁の像60aは、外縁62の外縁よりも外側(光軸から離れる方向)に位置している。このように、本実施形態の標本観察装置では、外縁62よりも内側に、透過部の内縁の像60bが形成され、外縁62よりも外側に、透過部の外縁の像60aが形成される。
 ここで、外縁62よりも外側の光は、瞳投影レンズの瞳を通過しない(瞳投影レンズから出射しない)。よって、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の領域は、図8Cに示すように、透過部の内縁の像60bから外縁62までの間の領域になる。そして、この領域全体の面積が、標本像の明るさに対応する。
 一方、標本が存在する場合、図9Aに示すように、保持部材55へ入射する光と保持部材55から出射する光とは、光の進行方向が異なる。その結果、瞳投影レンズの瞳位置に形成される開口部材の像は、図9Bに示すようになる。なお、図9Bにおいても、符号62で示す円(円周)は対物レンズの瞳の外縁で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳になる。
 図9Bに示すように、透過部の像60の形状は円環で、遮光部の像61の形状は円で、外縁62の形状は円である。ただし、透過部の像60及び遮光部の像61と、外縁62とは同心状になっていない。また、透過部の像60の中心及び遮光部の像61の中心と、外縁62の中心とは一致していない。すなわち外縁62の中心に対して、透過部の像60の中心及び遮光部の像61の中心は紙面内の左方向にずれている。
 また、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の領域は、図9Cに示すように、透過部の内縁の像60bから外縁62までの間の領域になる。そして、この領域全体の面積が、標本像の明るさに対応する。
 ここで、図9Bでは、透過部の内縁の像60bは、外縁62の内側に位置している。言い換えると、図9Bでは、遮光部の像61は、外縁62の内側に位置している。これは、標本の表面の傾斜が小さいからである。一方、標本が存在しない場合でも、遮光部の像61は、外縁62の内側に位置している。そのため、標本が存在する場合であっても、標本の表面の傾斜が小さいと、標本像の明るさは、標本が存在しない場合と同じになる。
 しかしながら、標本の表面の傾斜が更に大きくなると、瞳投影レンズの瞳の中心に対する透過部の像60の中心のずれ(以下、適宜、「透過部の像のずれ」という)が更に大きくなる。この場合、後述(図10B)するように、透過部の内縁の像60bの一部が、外縁62よりも外側に位置するようになる。また、透過部の外縁の像60aの一部が、外縁62よりも内側に位置するようになる。言い換えると、遮光部の像61の一部が、外縁62の外側に位置する。その結果、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の領域は大きく変化する。すなわち、標本が存在しない場合と、標本像の明るさが異なる。
 このように、本実施形態の標本観察装置では、標本における形状の変化(傾斜の変化)が、透過部の像のずれの変化に変換される。そして、透過部の像のずれの変化によって、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 しかも、本実施形態の標本観察装置では、変調コントラスト法のように変調器を用いる必要がない。そのため、変調器に対する開口部材の位置調整が不要になる。その結果、開口部材の位置調整が簡素になる。更に、変調器を用いないことで、対物レンズは明視野観察法の対物レンズを使用できる。よって、同じ対物レンズで、様々な観察方法(例えば、明視野観察や、蛍光観察や、偏光観察等の観察方法)が手軽に行える。
 照明光学系に光学部材が配置されている場合、瞳投影レンズの瞳に対して、光学部材の像、すなわち、開口部材の像がずれる。ずれ量Δを、瞳投影レンズの瞳に対する開口部材の像のずれ量とし、面積Sを、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の面積とする。ずれ量Δを変化させると、面積Sも変化する。図10Aは、ずれ量Δと面積Sとの関係を示すグラフである。図10Bは、対物レンズの瞳に対する開口部材の像のずれを示す図である。
 図10Aでは、R’0×β=0.97×RPL、R’1×β=1.15×RPLで、計算を行っている。ここで、
 R’0は、照明光学系の光軸から透過部の内縁までの長さ、
 R’1は、照明光学系の光軸から透過部の外縁までの長さ、
 RPLは、瞳投影レンズの瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 また、透過部の透過率は100%にしている。また、図10Aにおいて、横軸の数値は、ずれ量Δを瞳投影レンズの瞳の半径RPLで規格化している。また、縦軸の数値は、ずれ量Δが0のときの面積(π(RPL-(R0×β)))で規格化している。
 なお、面積Sは瞳投影レンズの瞳を通過する光束の範囲を示している。よって、面積Sは光束の量Iに置き換えることができる。そこで、図10Aでは、縦軸の変数としてIを用いている。
 標本が存在しない場合(あるいは、標本の表面が平坦な場合)、ずれ量Δは0である。この場合、対物レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図10Bの(A)のようになる。よって、矢印Aで示すように、光束の量Iは1になる。
 次に、標本が存在する場合、ずれ量Δは0でない。ここで、標本の表面の傾斜が小さいと、瞳投影レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図10Bの(B)のようになる。しかしながら、図10Bの(A)と図10Bの(B)とでは、遮光部の像の位置は瞳投影レンズの瞳内において異なっているものの、どちらも、瞳投影レンズの瞳の外縁の内側に遮光部の像が位置している。そのため、矢印Bで示すように、光束の量Iは1になる。
 一方、標本の表面の傾斜が大きいと、瞳投影レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図10Bの(C)のようになる。この場合、遮光部の像の一部が瞳投影レンズの瞳の外側に位置する状態になる。そのため、矢印Cで示すように、光束の量Iは1よりも大きくなる。
 このように、本実施形態の標本観察装置では、矢印Bから矢印Cまでの間で、ずれ量Δの変化に応じて光束の量Iが変化する。そのため、本実施形態の標本観察装置によれば、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 なお、「瞳投影レンズの瞳の外縁よりも内側に、透過部の内縁の像が形成される」には、図10Bの(B)で示すように、瞳投影レンズの瞳の外縁よりも内側に、透過部の内縁の像が全部含まれる場合のみならず、図10Bの(C)で示すように、透過部の内縁の像が一部含まれる場合も含まれる。
 本実施形態の標本観察装置では、光源と走査手段の間に、光束径を変化させる光学素子を配置されていることが好ましい。
 本実施形態の別の標本観察装置について説明する。図11は、本実施形態の別の標本観察装置を示す図である。図1と同じ構成には、図1と同じ番号を付し、説明は省略する。
 標本観察装置70は、光源ユニット71と、光束径変更部材72と、を有する。標本観察装置70では、検出光学系4が光学部材15を有している。光学部材15は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材である。
 標本観察装置70では、透過部の内縁と透過部の外縁との間に、照明光学系の瞳の外縁の像が形成される。よって、標本における形状の変化を、照明光学系の瞳の像のずれの変化に変換することができる。
 照明光は、照明光学系の瞳を通過する。以下の説明では、照明光学系の瞳の外縁を、照明光束の外縁に置き換えて説明する。標本における形状の変化が、照明光学系の瞳の像のずれの変化に変換されるためには、透過部の内縁と透過部の外縁との間に、照明光束の外縁の像が形成されれば良いことになる。
 標本観察装置70では、顕微鏡光学系が用いられている。よって、対物レンズ8として、乾燥系の顕微鏡対物レンズや、液浸系の顕微鏡対物レンズが用いられる。乾燥系の顕微鏡対物レンズが用いられた状態を第1の状態とし、液浸系の顕微鏡対物レンズが用いられた状態を第2の状態とする。
 第1の状態で、透過部の内縁と透過部の外縁との間に、照明光束の外縁の像が形成されているとする。第1の状態から第2の状態に変更すると、対物レンズ8が、乾燥系の顕微鏡対物レンズから液浸系の顕微鏡対物レンズに変わる。
 通常、液浸系の顕微鏡対物レンズの開口数は、乾燥系の顕微鏡対物レンズの開口数よりも大きい。そのため、光源ユニット71から出射する照明光束の径が、第1の状態における光束径のままだと、第2の状態では、照明光学系の瞳の外縁の像は、透過部の内縁と透過部の外縁との間に形成されなくなる。その結果、第2の状態では、標本における形状の変化を、照明光学系の瞳の像のずれの変化に変換することが困難になる。
 標本観察装置70では、光源ユニット71から光線分離手段10までの間の光路において、光束径変更部材72の光路への挿入が可能になっている。光束径変更部材72は、開口部を有する。開口部の大きさは、第1の状態において光源ユニット71から出射する照明光束の径よりも小さく設定されている。
 第1の状態から第2の状態への変更に伴い、光束径変更部材72を光路中に挿入する。これにより、光源ユニット71から出射する照明光束の径を、第1の状態における照明光束の径よりも小さくすることができる。これにより、第2の状態でも、照明光学系の瞳の外縁の像は、透過部の内縁と透過部の外縁との間に形成される。その結果、第2の状態でも、標本における形状の変化を、照明光学系の瞳の像のずれの変化に変換することが可能になる。
 以上、対物レンズ8が、乾燥系の顕微鏡対物レンズから液浸系の顕微鏡対物レンズに変わった場合について説明したが、これに限られない。照明光学系の開口数の変更に合わせて、光源ユニット71から出射する照明光束の径が変化できれば良い。また、検出光学系の開口数の変更に合わせて、光源ユニット71から出射する照明光束の径が変化できれば良い。
 このように、本実施形態の標本観察装置では、照明光学系の開口数や検出光学系の開口数が変化しても、標本における形状の変化が、透過部の像のずれの変化に変換される。そして、透過部の像のずれの変化によって、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 開口部材の変形例について説明する。図12Aは透過部の透過率が連続的に変化している開口部材を示す図、図12Bはずれ量Δと瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量Iとの関係を示すグラフである。
 図12Aに示すように、開口部材80は、遮光部81と、遮光部82と、透過部83とを有する。遮光部81、82及び透過部83は透明な部材、例えば、ガラス板で構成されている。遮光部81と82は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。図12Bに示すように、遮光部81の透過率と、遮光部82の透過率は、共に0%である。
 透過部83では、透過率が連続的に変化している。そのために、透過部83には、例えば、透過率が連続的に変化する反射膜(吸収膜)が形成されている。ここで、透過率が変化する方向は、中心から周辺(遮光部81側から遮光部82側)に向かう方向である。また、透過率は、中心から周辺に向かって、透過率が徐々に大きくなるように変化している。
 遮光部81の形状は円で、遮光部82の形状は円環である。透過部83の形状は円環である。
 開口部材80では、円周84が透過部83の内縁に該当する。また、円周85が透過部83の外縁に該当する。円周84と円周85では、円周上の各点から照明光学系の光軸までの距離は同じである。よって、R0は、照明光学系の光軸から円周84までの長さになる。R1は、照明光学系の光軸から円周85までの長さになる。
 遮光部82は、対物レンズの瞳の像の外縁を含むように形成されている。そのため、透過部83は、対物レンズの瞳の像の外縁よりも内側に位置する。このとき、透過部83は、少なくとも条件式(1)を満足するように形成されている。よって、標本が無色透明であっても、コントラストが高い陰影像を得ることができる。また、陰影の発生方向が限定されない。
 更に、開口部材80では、透過部における透過率が場所によって異なる。そして、開口部材80は、条件式(3)を満足する開口部材である。したがって、このような開口部材を用いた本実施形態の観察装置によれば、ずれ量Δの増大に伴って、透過率の大きい領域が対物レンズの瞳の像の外側に移動するため、図12Bに示すように、ずれ量Δが変化したときの光束の量Iの変化を大きくすることができる。その結果、高い感度で標本の表面の傾斜を検出することができる。すなわち、標本における細やかな形状の変化を、明暗の変化として検出することができる。
 本実施形態の標本観察装置では、透過部は、照明光学系の光軸に対して非対称に配置されていることが好ましい。
 このような透過部を持つ開口部材について説明する。開口部材の構成を、図13A、図13Bに示す。図13Aは透過部の外側に遮光部が形成されている開口部材示す図、図13Bは透過部の外側に遮光部が形成されていない開口部材を示す図である。なお、遮光部の代わりに減光部を用いても良い。
 まず、開口部材90について説明する。図13Aに示すように、開口部材90は、遮光部90a1と、遮光部90a2と、透過部90bと、を有する。なお、図13Aでは、説明上、遮光部90a1と遮光部90a2とを区別して描いている。しかしながら、両者を区別しなくても良い。よって、遮光部90a1と遮光部90a2は単一の部材で構成されていても良い。
 開口部材90では、遮光部90a1と遮光部90a2は不透明な部材、例えば、金属板で構成されている。この場合、透過部90bは金属板に形成された空隙(孔)である。あるいは、遮光部90a1、90a2及び透過部90bは透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されている。この場合、遮光部90a1と遮光部90a2は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。一方、透過部90bには何も塗布されていない。よって、透過部90bはガラス板そのものである。
 遮光部90a1は、照明光学系の光軸AXiを含むように形成されている。遮光部90a1の形状は、第1の外縁90cと第2の外縁90dとで規定される。第1の外縁90cの両端は、第2の外縁90dを介して繋がっている。図13Aでは、第1の外縁90cは円周の一部で、第2の外縁90dは直線である。第1の外縁90cと第2の外縁90dとで示されるように、遮光部90a1の形状は円の一部を切り取った形状で、いわゆるDカット状になっている。
 透過部90bの形状は、外縁90eと内縁90fとによって規定される。外縁90eの両端は、内縁90fを介して繋がっている。図13Aでは、外縁90eは円周の一部で、内縁90fは直線である。外縁90eと内縁90fとで示されるように、透過部90bの形状は円の一部を切り取った形状で、弓状になっている。
 遮光部90a2の形状は円環である。遮光部90a2は必ずしも設ける必要はないが、遮光部90a1よりも外側に遮光部90a2を設けることで、外縁90eがより明確になる。これにより、開口部材90に入射させる光束の径を外縁90eより大きくしても、開口部材90に入射した光束は、透過部90bを通過する際に外縁90eによって制限を受ける。
 そのため、開口部材90から出射する光束の最大径は、外縁90eによって決まる径になる。その結果、次に述べる開口部材90’に比べると、開口部材90に入射させる光束の径を、外縁90eに対して高い精度で一致させる必要がない。
 次に、開口部材90’について説明する。図13Bに示すように、開口部材90’は遮光部90’a1を有する。開口部材90’では、開口部材90と同様に、遮光部90’a1は不透明な部材、例えば、金属板で構成することができる。あるいは、遮光部90’a1は透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成しても良い。遮光部90’a1は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。
 遮光部90’a1は、検出光学系の光軸AXiを含むように形成されている。遮光部90’a1の形状は、第1の外縁90’cと第2の外縁90’dとで規定される。第1の外縁90’cの両端は、第2の外縁90’dを介して繋がっている。図13Bでは、第1の外縁90’cは円周の一部で、第2の外縁90’dは直線である。第1の外縁90’cと第2の外縁90’dとで示されるように、遮光部90’a1の形状は円の一部を切り取った形状で、いわゆるDカット状になっている。
 透過部90’bの形状は、外縁90’eと内縁90’fとによって規定される。外縁90’eの両端は、内縁90’fを介して繋がっている。図13Bでは、外縁90’eは円周の一部で、内縁90’fは直線である。外縁90’eと内縁90’fとで示されるように、透過部90’bの形状は円の一部を切り取った形状で、弓状になっている。
 以上のように、透過部90bと透過部90’bの形状は、いずれも、円の一部を切り取った形状になっている。そのため、透過部90bと透過部90’bは、いずれも、照明光学系の光軸AXiに対して非対称に配置されているということができる。
 なお、開口部材90’を金属板で構成する場合、透過部90’bは物理的に存在しない。そのため、透過部90’bの外縁が物理的に存在しなくなる。また、開口部材90’を透明な部材で構成する場合、透明部材の形状を遮光部90’a1の形状と同じにすると、透過部90’bは物理的に存在しない。そのため、透過部90’bの外縁が物理的に存在しなくなる。
 一方、透明な部材の形状を円にすると、透過部90’bが物理的に存在する。この場合、透明部材の縁が透過部90’bの外縁になるので、透過部90’bの外縁が物理的に存在する。しかしながら、透過部90’bは透明であるので、光学的には、開口部材90’を金属板で構成した場合と実質的に同じである。よって、透明な部材の形状を円にした場合も、透過部90’bの外縁が物理的に存在しているとは言い難い。
 そこで、開口部材90’を用いる場合は、開口部材90に入射させる光束の径を、第1の外縁90’cと一致させるようにすれば良い。この場合、光束の最も外側が透過部90’bの外縁になる。また、透過部90’bの内縁は第2の外縁90’dと同じである。以上のことから、光束の最も外側と第2の外縁90’dとを用いて、透過部90’bの形状を規定することができる。
 上述のように、本実施形態の標本観察装置では、照明光学系と検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置されている。よって、開口部材90や開口部材90’は、検出光学系に配置されていても良い。この場合、透過部は、検出光学系の光軸に対して非対称に配置されていることになる。
 開口部材90や開口部材90’によって生じる作用について説明する。ここでは、検出光学系に光学部材が配置されている場合について説明する。前述の開口部材50’を用いた例では、瞳投影レンズの瞳の位置での様子を説明した。以下の説明では、対物レンズの瞳の位置での様子について説明する。
 対物レンズの瞳と開口部材の像との関係について説明する。なお、以下の説明では、図13Aに示す開口部材90と同じ構造を持つ開口部材が用いられているものとする。
 開口部材90において、第2の外縁90dあるいは内縁90fは、遮光部90a1と透過部90bとを区切る境界である。ここで、この境界に対して垂直な軸を第1の軸とし、境界と平行な軸を第2の軸とする。図13Aでは、第1の軸は紙面内の左右方向の軸で、第2の軸は紙面内の上下方向の軸になる。以下の説明では、第1の軸と第2の軸を用いて説明する。
 図14Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図14Bは対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図、図14Cは対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。図14Aでは、標本は存在していない。標本が存在しない場合には、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合が含まれる。
 図15Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図15Bは対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図、図15Cは対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。図15Aでは、標本の表面の傾斜は右肩上がり、すなわち、標本の表面は第1の軸の左側から右側に向かって高くなっている。
 図16Aは標本位置における光の屈折の様子を示す図、図16Bは対物レンズの瞳と開口部材の像との関係を示す図、図16Cは対物レンズの瞳を通過する光束の様子を示す図である。図16Aでは、標本の表面の傾斜は右肩下がり、すなわち、標本の表面は第1の軸の左側から右側に向かって低くなっている。
 標本が存在する場合とは、標本の表面が傾斜している(非平坦になっている)場合である。よって、標本は存在するものの、その表面が平坦になっている場合は、標本が存在する場合に含まれない。
 標本が存在しない場合、図14Aに示すように、保持部材55へ入射する光と保持部材55から出射する光とは、光の進行方向が同じになる。その結果、対物レンズの瞳位置に形成される開口部材の像100は、図14Bに示すようになる。なお、符号103で示す円(円周)は対物レンズの瞳の外縁で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳になる。
 図14Bに示すように、透過部の像101の形状は弓状で、対物レンズの瞳103の形状は円である。ここで、透過部の像101は、対物レンズの瞳103の外縁の一部を含むように位置している。一方、遮光部の像102は、透過部の像101の領域を除いて対物レンズの瞳103全体を覆うように位置している。
 そして、透過部の内縁の像101aは、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側(光軸に近づく方向)に位置している。また、透過部の外縁の像101bは、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側(光軸から離れる方向)に位置している。このように、本実施形態の標本観察装置では、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側に、透過部の内縁の像101aが形成され、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側に、透過部の外縁の像101bが形成される。
 ここで、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側の光は、対物レンズの瞳103を通過しない(対物レンズ103から出射しない)。よって、対物レンズの瞳103を通過する光束の領域104は、図14Cに示すように、透過部の内縁の像101aから対物レンズの瞳103の外縁までの間の領域になる。そして、この領域104全体の面積が、標本像の明るさに対応する。
 なお、透過部の内縁の像101aの両端は、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側に位置している。そのため、透過部の内縁の像101aは、全部が対物レンズの瞳103の外縁よりも内側に位置しているわけではない。しかしながら、透過部の内縁の像101aのほとんどは、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側に位置している。よって、このような状態であっても、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側に、透過部の内縁の像101aが形成されているものとする。
 一方、標本が存在する場合、図15Aや図16Aに示すように、保持部材55へ入射する光と標本から出射する光とは、光の進行方向が異なる。
 図15Aでは、標本の表面は、第1の軸の左側から右側に向かって高くなっている。そして、標本から出射する光は光軸に近づく方向に屈折されている。その結果、対物レンズの瞳位置に形成される開口部材の像は、図15Bに示すようになる。なお、図15Bにおいても、符号103で示す円(円周)は対物レンズの瞳の外縁で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳になる。
 図15Bに示すように、透過部の像101の形状は弓状で、対物レンズの瞳103の形状は円である。ここで、透過部の像101は、対物レンズの瞳103の外縁の一部を含むように位置している。一方、遮光部の像102は、透過部の像101の領域を除いて対物レンズの瞳全体を覆うように位置している。
 そして、透過部の内縁の像101aは、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側(光軸に近づく方向)に位置している。また、透過部の外縁の像101bは、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側(光軸から離れる方向)に位置している。
 しかしながら、標本が存在しない場合に比べると、開口部材の像100は、対物レンズの瞳103に対して第1の軸に沿って左方向にずれている。そのため、図15Cに示すように、透過部の内縁の像101aから対物レンズの瞳103の外縁までの間隔が、図14Cに比べて狭くなっている。この場合、領域104の面積は、図14Cにおける領域104の面積に比べて小さくなる。そのため、図15Cにおける標本像の明るさは、図14Cにおける標本像の明るさに比べて暗くなる。
 なお、標本の表面の傾斜が急になると、標本から出射する光は光軸に対して近づく。この場合、標本像の明るさは暗くなる。逆に、標本の表面の傾斜が緩やかになると、標本から出射する光は光軸に対して離れる。この場合、標本像の明るさは明るくなる。
 図16Aでは、標本の表面は、第1の軸の左側から右側に向かって低くなっている。そして、標本から出射する光は光軸から離れる方向に屈折されている。その結果、対物レンズの瞳位置に形成される開口部材の像は、図16Bに示すようになる。なお、図16Bにおいても、符号103で示す円(円周)は対物レンズの瞳の外縁で、円(円周)の内側が対物レンズの瞳になる。
 図16Bに示すように、透過部の像101の形状は弓状で、対物レンズの瞳103の形状は円である。ここで、透過部の像101は、対物レンズの瞳103の外縁の一部を含むように位置している。一方、遮光部の像102は、透過部の像101の領域を除いて対物レンズの瞳全体を覆うように位置している。
 そして、透過部の内縁の像101aは、対物レンズの瞳103の外縁よりも内側(光軸に近づく方向)に位置している。また、透過部の外縁の像101bは、対物レンズの瞳103の外縁よりも外側(光軸から離れる方向)に位置している。
 しかしながら、標本が存在しない場合に比べると、開口部材の像100は対物レンズの瞳103に対して第1の軸に沿って右方向にずれている。そのため、図16Cに示すように、透過部の内縁の像101aから対物レンズの瞳103の外縁までの間隔が、図14Cに比べて広くなっている。この場合、領域104の面積は、図14Cにおける領域104の面積に比べて大きくなる。そのため、図16Cにおける標本像の明るさは、図14Cにおける標本像の明るさに比べて明るくなる。
 なお、標本の表面の傾斜が急になると、標本から出射する光は光軸から離れる。この場合、標本像の明るさは明るくなる。逆に、標本の表面の傾斜が緩やかになると、標本から出射する光は光軸に対して近づく。この場合、標本像の明るさは暗くなる。
 図17Aは、ずれ量ΔH1と瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量Iの関係を示すグラフである。図17Bは、対物レンズの瞳に対する開口部材の像のずれを示す図である。ここで、ずれ量ΔH1は、対物レンズの瞳に対する開口部材の像のずれ量であって、第1の軸に沿う方向におけるずれ量、光束の量Iは、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量である。
 図17Bでは、対物レンズの瞳に対して、(A)、(B)、(C)の順で、矢印の方向に開口部材の像が移動している。また、開口部材の像がずれる方向は第1の軸に沿う方向である。
 図17Aでは、L’0×β=0.8×RPL、L’1×β=1.1×RPLで、計算を行っている。ここで、
 L’0は、照明光学系の光軸から所定の位置までの長さ、
 L’1は、照明光学系の光軸から透過部の外縁までの長さであって、照明光学系の光軸と所定の位置とを結ぶ線上における長さ、
 所定の位置は、透過部の内縁上の位置のうち、照明光学系の光軸からの長さが最小となる位置、
 RPLは、瞳投影レンズの瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 また、透過部の透過率は100%にしている。また、図17Aにおいて、横軸の数値は、ずれ量ΔH1を瞳投影レンズの瞳の半径RPLで規格化している。また、縦軸の数値は、ずれ量ΔH1が0のときの面積、
 S0=RPL2×θ-RPL×L’0×β×sinθ、ただしθ=cos-1(L’0×β/RPL)
で規格化している。
 なお、面積Sは瞳投影レンズの瞳を通過する光束の範囲を示している。よって、面積Sは光束の量Iに置き換えることができる。そこで、図17Aでは、縦軸の変数としてIを用いている。
 標本が存在しない場合(あるいは、標本の表面が平坦な場合)、ずれ量ΔH1は0である。この場合、対物レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図17Bの(B)のようになる。よって、光束の量Iは矢印Bで示す量になる。
 次に、標本が存在する場合、ずれ量ΔH1は0でない。ここで、標本の表面が第1の軸の左側から右側に向かって高いと、対物レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図17Bの(A)のようになる。この場合、透過部の像の領域のうち、対物レンズの瞳内に位置する領域は、ずれ量ΔH1が0である場合に比べて少なくなる。そのため、光束の量Iは矢印Aで示す量になる。
 一方、標本の表面が第1の軸の左側から右側に向かって低いと、対物レンズの瞳と開口部材の像との関係は、図17Bの(C)のようになる。この場合、透過部の像の領域のうち、対物レンズの瞳内に位置する領域は、ずれ量ΔH1が0である場合に比べて多くなる。そのため、光束の量Iは矢印Cで示す量になる。
 このように、本実施形態の標本観察装置では、ずれ量ΔH1の変化に応じて光束の量Iが変化する。そのため、本実施形態の標本観察装置によれば、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 透過部が照明光学系の光軸に対して非対称に配置されている場合について説明した。透過部が検出光学系の光軸に対して非対称に配置されている場合でも、上述した作用効果が得られる。
 以上のように、本標本観察装置では、標本が存在する場合と標本が存在しない場合とで、標本像の明るさが異なる。更に、標本の表面の傾斜の方向や傾斜の緩急に応じて、標本像の明るさが変化する。
 これにより、本実施形態の標本観察装置では、標本における形状の変化が、透過部の像のずれの変化に変換される。そして、透過部の像のずれの変化によって、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 しかも、本実施形態の標本観察装置では、変調コントラスト法のように変調器を用いる必要がない。そのため、変調器に対する開口部材の位置調整が不要になる。その結果、開口部材の位置調整が簡素になる。更に、変調器を用いないことで、対物レンズは明視野観察法の対物レンズを使用できる。よって、同じ対物レンズで、様々な観察方法が手軽に行える。
 また、陰影の発生方向は、対物レンズの瞳に対する透過部の像の位置で決まるが、本実施形態の標本観察装置では、透過部の像の位置は自由に変えることができるので、陰影の発生方向を自由に変えることができる。
 本実施形態の標本観察装置では、透過部は、検出光学系の光軸に対して非対称に配置され、以下の条件式(5)を満たすことが好ましい。
 L0<Rill×β<L1   (5)
 ここで、
 L0は、検出光学系の光軸から所定の位置までの長さ、
 L1は、検出光学系の光軸から透過部の外縁までの長さであって、検出光学系の光軸と所定の位置とを結ぶ線上における長さ、
 所定の位置は、透過部の内縁上の位置のうち、照明光学系の光軸からの長さが最小となる位置、
 Rillは、照明光学系の瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 透過部が照明光学系の光軸に対して非対称に配置されているので、標本像に陰影が発生する。そのため、立体感のある標本像が得られる。
 本実施形態の標本観察装置では、透過部は、検出光学系の光軸に対して非対称に配置され、以下の条件式(6)を満たすことが好ましい。
 0.2<(Rill×β-L0)/(L1-Rill×β)<10   (6)
 ここで、
 L0は、検出光学系の光軸から所定の位置までの長さ、
 L1は、検出光学系の光軸から透過部の外縁までの長さであって、検出光学系の光軸と所定の位置とを結ぶ線上における長さ、
 所定の位置は、透過部の内縁上の位置のうち、照明光学系の光軸からの長さが最小となる位置、
 Rillは、照明光学系の瞳の半径、
 βは、瞳投影レンズの焦点距離を対物レンズの焦点距離で割った値、
である。
 透過部が照明光学系の光軸に対して非対称に配置されているいので、標本像に陰影が発生する。そのため、立体感のある標本像が得られる。
 条件式(6)を満足することで、開口部材の像が第1の軸に沿う方向にずれる場合に光量の変化量が、左方向にずれたときと右方向にずれたときとで略同じなる。すなわち、左方向にずれたときの光量変化と右方向にずれたときの光量変化とが対称になる。
 本実施形態の標本観察装置では、開口部材とは別の開口部材を有し、開口部材と別の開口部材とを移動させる移動機構を有することが好ましい。
 このようにすることで、透過部の像の大きさや位置を変化させることができる。すなわち、開口部材を異なる開口部材に変更することで、光軸から透過部の内縁までの長さや光軸から透過部の外縁までの長さを、自由に変化させることができる。そのため、標本に応じて、陰影が最も良く発生するような照明状態を作り出すことができる。
 さらに、位相差用対物レンズを使用する場合は以下の効果がある。照明開口に位相差観察用のリングスリットを用いれば位相差観察ができ、図5Aや図5Bに示す開口部材を用いることで、本実施形態の標本観察装置による観察ができる。つまり、対物レンズを交換することなく、本実施形態の標本観察装置による観察と位相差観察とができる。なお、微分干渉観察やホフマンモジュレーションコントラスト観察などの方法でも、同様に対物レンズを交換することなく、本実施形態の標本観察装置による観察とこれらの観察ができる。
 本実施形態の標本観察装置では、照明光学系が光学部材を有し、光学部材は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材であって、開口部材は、所定の位置に、遮光部又は減光部が照明光学系の光軸を含むように配置され、所定の位置は、光源ユニットと走査手段との間の位置、又は照明光学系の瞳位置であり、透過部は、遮光部又は減光部の外縁よりも外側に位置し、検出光学系の瞳の外縁よりも内側に、透過部の内縁の像が形成され、検出光学系の瞳の外縁よりも外側に、透過部の外縁の像が形成されることが好ましい。
 本実施形態の別の標本観察装置について説明する。図18は、本実施形態の別の標本観察装置を示す図である。図1と同じ構成には、図1と同じ番号を付し、説明は省略する。
 標本観察装置110は、光学部材111を有する。光学部材111は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材である。光学部材111として、例えば、上述の、開口部材50、開口部材50’、開口部材90、又は開口部材90’を用いることができる。
 光学部材111は、所定の位置に配置されている。所定の位置は、光源と走査手段との間の位置、又は照明光学系の瞳位置である。標本観察装置110では、光学部材111は、光源ユニット2と光走査ユニット9との間に配置されている。
 光学部材111は、遮光部又は減光部が照明光学系の光軸を含むように配置されている。そのため、光学部材111から出射する照明光の形状は、円環状になっている。
 光源ユニット2と光走査ユニット9との間の位置は、照明光学系3の瞳位置と共役な位置である。よって、光学部材111は、照明光学系3の瞳位置に配置されていると見なすことができる。また、照明光学系3の瞳位置は、検出光学系4の瞳の位置と共役である。よって、光学部材111の像が、検出光学系の瞳112に形成される。
 光学部材が照明光学系に配置されている場合については、既に説明した。すなわち、図17Aに示すように、本実施形態の標本観察装置では、矢印Bから矢印Cまでの間で、ずれ量Δの変化に応じて光束の量Iが変化する。そのため、本実施形態の標本観察装置によれば、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 本実施形態の標本観察装置では、光検出素子は、標本と共役な位置に配置されていることが好ましい。
 光検出素子を小型化することができる。
 図19は、照明光の光強度分布を示す図である。照明光120は、光強度が不均一に分布している照明光である。開口部材に入射する直前では、照明光120の形状は円である。
 照明光120では、光束の中央121と光束の周辺122とで光強度が異なる。中央121における光強度は、周辺122における光強度よりも小さい。また、光強度は、中央121から周辺122に向かって大きくなっている。そのため、標本の表面の傾斜による瞳投影レンズの瞳を通過する光束の変化を大きくすることができる。
 本実施形態の別の標本観察装置では、照明光学系と検出光学系の両方に、開口部材を配置している。ここで、照明光学系には照明側開口部材が配置され、検出光学系には検出側開口部材が配置されている。そして、照明側開口部材と検出側開口部材は、共に複数の透過部を有している。
 図20Aは照明側開口部材を示す図、図20Bは検出側開口部材を示す図である。
 照明側開口部材130は、図20Aに示すように、遮光部130a1と透過部130bとを有する。更に、開口部材130は遮光部130a2を有する。
 遮光部130a1、130a2及び透過部130bは透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されている。遮光部130a1と130a2は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。一方、透過部130bには何も塗布されていない。よって、透過部130bはガラス板そのものである。
 遮光部130a1の形状は円である。一方、透過部130bの形状は帯状で、具体的には円環になっている。
 照明側開口部材130では、遮光部130a1が複数形成されている。そのため、透過部130bも複数生成されている。具体的には、4つの透過部130bが形成されている。そして、4つの透過部130bは、2次元状に配置されている。照明側開口部材130は、光学部材の位置に配置されている。
 一方、検出側開口部材140は、図20Bに示すように、遮光部140aと透過部140bとを有する。遮光部140aと透過部140bは透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されている。
 遮光部140aは、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。一方、透過部140bには何も塗布されていない。よって、透過部140bはガラス板そのものである。
 透過部140bの外形は、透過部130bの外形と相似形になっている。具体的には、透過部130bの外形は円なので、透過部140bの外形も円になっている。
 検出側開口部材140では、透過部140bが複数形成されている。具体的には、4つの透過部140bが形成されている。そして、4つの透過部140bは、2次元状に配置されている。検出側開口部材140は、瞳投影レンズの瞳位置に配置されている。
 また、1つの透過部130bと1つの透過部140bは、対をなしている。そして、1対の透過部130bと透過部140bとは、互いの中心が共役になるように配置されている。
 例えば、照明側開口部材140の右上の透過部130bと、観察側開口部材140の左下の透過部140bとが対をなしている。また、左下の透過部140bの位置に、右上の透過部130bの像が形成されたとき、左下の透過部140bの中心と右上の透過部130bの像とは一致する。
 また、透過部140bの外縁よりも内側に、透過部130bの内縁の像が形成され、透過部140bの外縁よりも外側に、透過部130bの外縁の像が形成される。そのため、上述の作用効果が、1対の透過部130bと透過部140bを用いた場合にも同様に生じる。
 その結果、本実施形態の標本観察装置では、標本における形状の変化が、透過部の像のずれの変化に変換される。そして、透過部の像のずれの変化によって、瞳投影レンズの瞳を通過する光束の量に変化が生じる。すなわち、標本における形状の変化を明暗の変化として検出できる。その結果、標本が無色透明であっても、陰影のある標本像を得ることができる。
 更に、本実施形態の標本観察装置では、対物レンズの瞳の周辺を通過する光だけでなく、対物レンズの瞳の中心を通過する光も結像に寄与することになる。そのため、より明るい陰影像を得ることができる。
 図21は、別の開口部材の構成を示す図である。開口部材270は、第1の遮光部271、第2の遮光部272、第3の遮光部273、第1の透過部274及び第2の透過部275を有する。第3の遮光部273は、必ずしも必要ではない。
 開口部材270は、照明光学系と検出光学系のどちらに配置されても構わない。ここでは、検出光学系に開口部材270が配置されているものとする。
 開口部材270は、第1の遮光部271が検出光学系の光軸を含むように配置される。第1の透過部274は、第1の遮光部271の外縁よりも外側に位置し、第2の遮光部272は、第1の透過部274の外縁よりも外側に位置し、第2の透過部275は、第2の遮光部272の外縁よりも外側に位置している。
 第1の遮光部271、第2の遮光部272、第3の遮光部273、第1の透過部274及び第2の透過部275は透明な部材、例えば、ガラス板や樹脂板で構成されている。第1の遮光部271や、第2の遮光部272や第3の遮光部273は、例えば、遮光塗料をガラス板上に塗布することで形成されている。
 一方、第1の透過部274や第2の透過部275には何も塗布されていない。よって、第1の透過部274や第2の透過部275はガラス板そのものである。開口部材270は、図5Bに示す開口部材50’の遮光部50’a1に第1の透過部274を設けたものになる。
 本実施形態の標本観察装置では、複数の対物レンズを使用することができる。例えば、観察目的に応じて、開口数が大きい対物レンズと開口数が小さい対物レンズを使い分ける。開口数が大きい対物レンズでは、開口数が小さい対物レンズに比べて、照明光の光束径が大きくなる。
 開口部材の透過部の数が一つで、透過部の位置や幅が、開口数が大きい対物レンズ用に設けられているとする。このような開口部材だと、開口数が大きい対物レンズを開口数が小さい対物レンズに交換したときに、透過部を結像光が通過しなくなる恐れがある。
 開口部材270では、2つの透過部、すなわち、第1の透過部274と第2の透過部275とが設けられている。第1の透過部274は、第2の透過部275の内側に位置している。よって、第1の透過部274を開口数が小さい対物レンズ用とし、第2の透過部275を開口数が大きい対物レンズ用にする。このようにすることで、開口部材数が1つであるにもかかわらず、異なる対物レンズによる無色透明な標本の像を取得できる。
 本実施形態の標本観察装置では、検出光学系に光学部材と拡散部材が配置され、拡散部材は、光学部材よりも光検出素子側で、光学部材の近傍に配置されていることが好ましい。
 倍率が小さい対物レンズでは、倍率が大きい対物レンズに比べて、観察視野が広くなる。そのため、観察視野の周辺からの結像光は、光軸に対して大きな角度で検出光学系に入射し、光学部材に到達する。光学部材の透過部を通過した結像光でも、光軸に対する光線の角度が大きくなっている。
 光学部材と光検出素子との間にレンズが配置されている場合、光軸に対する光線の角度が大きいと、結像光がレンズを通過しなくなる。この場合、結像光を光検出素子で検出することができなくなる。
 拡散部材が、光学部材よりも光検出素子側で、光学部材の近傍に配置されていると、光線は拡散部材によって様々な角度に拡散される。そのため、光学部材の透過部を通過した結像光の一部を、光検出素子で検出することができる。従って、倍率が小さい対物レンズを用いた場合、又は、観察視野が広い場合でも、無色透明な標本の像を取得することができる。
 本実施形態の標本観察装置で取得した標本の画像を示す。図22Aは、本実施形態の標本観察装置で取得した標本の画像である。図22Bは、位相差観察法で取得した標本の画像である。
 使用した対物レンズの倍率は10倍で、開口数は0.25である。レーザ光の波長は488nmである。標本は、iPS細胞である。
 図22Aに示すように、本実施形態の標本観察装置では、標本が厚みを有する細胞であっても、ハローの発生が少ない。よって、本実施形態の標本観察装置における画像では、コロニー表面の細かい凹凸構造がよく分かる。
 これに対して、位相差観察法における画像では、図22Bに示すように、ハローが大きく発生している。そのため、コロニーの表面の構造が不鮮明になっている。
 以上のように、本発明は、位相差観察法を使わずに、無色透明な標本の像を取得できる標本観察装置に適している。
 1 標本観察装置
 2 光源ユニット
 3 照明光学系
 4 検出光学系
 5 光検出素子
 6 画像処理装置
 7 標本
 8 対物レンズ
 9 光走査ユニット
 10 光線分離手段
 11 瞳投影光学系
 12、13 レンズ
 14 瞳投影レンズ
 15 光学部材
 16、17 レンズ
 18 共焦点レンズ
 19 共焦点ピンホール
 20 光検出器
 30 照明光
 31 保持部材
 32、33 移動ステージ
 40 標本観察装置
 41 光源ユニット
 42 共焦点基板
 42a 遮光部
 42b 透過部
 43 軸
 44 コリメータレンズ
 45 ビームスプリッタ
 46 結像レンズ
 47 レンズ
 48 光検出器
 50、50’ 開口部材
 50a1、50a2、50’a1、50’a2 遮光部
 50b、50’b 透過部
 50a3 接続部
 50c 遮光部の外縁(透過部の内縁)
 50d 遮光部の内縁(透過部の外縁)
 55 保持部材
 56 透過部
 56a 透過部の外縁
 56b 透過部の内縁
 57 遮光部
 58 外縁像
 60 透過部の像
 60a 透過部の外縁の像
 60b 透過部の内縁の像
 61 遮光部の像
 62 外縁
 70 標本観察装置
 71 光源ユニット
 72 光束径変更部材
 80 開口部材
 81 遮光部
 82 遮光部
 83 透過部
 84、85 円周
 90、90’ 開口部材
 90a1、90a2、90’a1 遮光部
 90b、90’b 透過部
 90c、90’c 第1の外縁
 90d、90’d 第2の外縁
 90e、90’e 外縁
 90f、90’f 内縁
 100 開口部材の像
 101 透過部の像
 101a 透過部の内縁の像
 101b 透過部の外縁の像
 102 遮光部の像
 103 対物レンズの瞳
 104 光束の領域
 110 標本観察装置
 111 光学部材
 112 検出光学系の瞳
 120 照明光
 121 光束の中央
 122 光束の周辺
 130 照明側開口部材
 130a1、130a2 遮光部
 130b 透過部
 140 検出側開口部材
 140a 遮光部
 140b 透過部
 270 開口部材
 271 第1の遮光部
 272 第2の遮光部
 273 第3の遮光部
 274 第1の透過部
 275 第2の透過部
 AXi 光軸

Claims (12)

  1.  光源ユニットと、照明光学系と、検出光学系と、光検出素子と、画像処理装置と、を備え、
     前記照明光学系と前記検出光学系とは、標本を挟んで対向して配置され、
     前記光源ユニットから出射した光は、前記照明光学系に入射し、
     前記照明光学系によって、前記照明光学系と前記検出光学系との間に光スポットが形成され、
     前記光源ユニットから前記光検出素子までの光路中に、走査手段が配置され、
     前記走査手段は、前記光スポットと前記標本とを相対移動させ、
     前記照明光学系と前記検出光学系の少なくとも一方に光学部材が配置され、
     前記照明光学系と前記検出光学系は、前記照明光学系の瞳の像が前記検出光学系の瞳位置に形成されるように配置され、
     前記照明光学系の瞳の像は、標本で生じた屈折によって、前記検出光学系の瞳に対して偏心し、
     前記照明光学系、前記検出光学系及び前記光学部材は、前記偏心によって、前記検出光学系の瞳を通過する光量が変化するように構成され、
     前記画像処理装置は、前記光検出素子の検出結果から、前記標本の画像を生成することを特徴とする標本観察装置。
  2.  前記検出光学系が前記光学部材を有し、
     前記光学部材は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材であって、
     前記開口部材は、前記遮光部又は前記減光部が前記検出光学系の光軸を含むように配置され、
     前記透過部は、前記遮光部又は前記減光部の外縁よりも外側に位置し、
     前記透過部の内縁と前記透過部の外縁との間に、前記照明光学系の瞳の外縁の像が形成されることを特徴とする請求項1に記載の標本観察装置。
  3.  前記照明光学系が対物レンズを有し、
     前記検出光学系が瞳投影レンズを有し、
     以下の条件式(1)を満たすことを特徴とする請求項2に記載の標本観察装置。
     (Rill×β-R0)/(R1-Rill×β)<1   (1)
     ここで、
     R0は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の内縁までの長さ、
     R1は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の外縁までの長さ、
     Rillは、照明光学系の瞳の半径、
     βは、前記瞳投影レンズの焦点距離を前記対物レンズの焦点距離で割った値、
    である。
  4.  前記照明光学系が対物レンズを有し、
     前記検出光学系が瞳投影レンズを有し、
     以下の条件式(2)、(3)を満たすことを特徴とする請求項2に記載の標本観察装置。
     0.7≦R0/(Rill×β)<1   (2)
     1<R1/(Rill×β)≦2   (3)
     ここで、
     R0は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の内縁までの長さ、
     R1は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の外縁までの長さ、
     Rillは、照明光学系の瞳の半径、
     βは、前記瞳投影レンズの焦点距離を前記対物レンズの焦点距離で割った値、
    である。
  5.  以下の条件式(4)を満足することを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の標本観察装置。
     Tin<Tout   (4)
     ここで、
     Tinは、前記透過部の内縁近傍における透過率、
     Toutは、前記透過部の外側近傍における透過率、
    である。
  6.  前記透過部は、前記検出光学系の光軸に対して非対称に配置され、以下の条件式(5)を満たすことを特徴とする請求項2に記載の標本観察装置。
     L0<Rill×β<L1   (5)
     ここで、
     L0は、前記検出光学系の光軸から所定の位置までの長さ、
     L1は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の外縁までの長さであって、前記検出光学系の光軸と前記所定の位置とを結ぶ線上における長さ、
     前記所定の位置は、透過部の内縁上の位置のうち、照明光学系の光軸からの長さが最小となる位置、
     Rillは、前記照明光学系の瞳の半径、
     βは、前記瞳投影レンズの焦点距離を前記対物レンズの焦点距離で割った値、
    である。
  7.  前記透過部は、前記検出光学系の光軸に対して非対称に配置され、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項2又は6に記載の標本観察装置。
     0.2<(Rill×β-L0)/(L1-Rill×β)<10   (6)
     ここで、
     L0は、前記検出光学系の光軸から所定の位置までの長さ、
     L1は、前記検出光学系の光軸から前記透過部の外縁までの長さであって、前記検出光学系の光軸と前記所定の位置とを結ぶ線上における長さ、
     前記所定の位置は、透過部の内縁上の位置のうち、照明光学系の光軸からの長さが最小となる位置、
     Rillは、前記照明光学系の瞳の半径、
     βは、前記瞳投影レンズの焦点距離を前記対物レンズの焦点距離で割った値、
    である。
  8.  前記開口部材とは別の開口部材を有し、
     前記開口部材と前記別の開口部材とを移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の標本観察装置。
  9.  光源と走査手段の間に、光束径を変化させる光学素子を配置されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の標本観察装置。
  10.  前記照明光学系が前記光学部材を有し、
     前記光学部材は、遮光部又は減光部と、透過部と、を有する開口部材であって、
     前記開口部材は、所定の位置に、前記遮光部又は前記減光部が前記照明光学系の光軸を含むように配置され、
     前記所定の位置は、前記光源ユニットと前記走査手段との間の位置、又は前記照明光学系の瞳位置であり、
     前記透過部は、前記遮光部又は前記減光部の外縁よりも外側に位置し、
     前記検出光学系の瞳の外縁よりも内側に、前記透過部の内縁の像が形成され、
     前記検出光学系の瞳の外縁よりも外側に、前記透過部の外縁の像が形成されることを特徴とする請求項1に記載の標本観察装置。
  11.  前記光検出素子は、前記標本と共役な位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の標本観察装置。
  12.  前記標本からの放射光を検出するための、第2の光検出素子を更に備え、
     前記第2の光検出素子で蛍光の検出を行うことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の標本観察装置。
PCT/JP2016/084153 2016-11-17 2016-11-17 標本観察装置 WO2018092246A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/084153 WO2018092246A1 (ja) 2016-11-17 2016-11-17 標本観察装置
JP2018550943A JP6784773B2 (ja) 2016-11-17 2016-11-17 標本観察装置
US16/409,985 US10983055B2 (en) 2016-11-17 2019-05-13 Sample observation apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2016/084153 WO2018092246A1 (ja) 2016-11-17 2016-11-17 標本観察装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/409,985 Continuation US10983055B2 (en) 2016-11-17 2019-05-13 Sample observation apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018092246A1 true WO2018092246A1 (ja) 2018-05-24

Family

ID=62145329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/084153 WO2018092246A1 (ja) 2016-11-17 2016-11-17 標本観察装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10983055B2 (ja)
JP (1) JP6784773B2 (ja)
WO (1) WO2018092246A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017175303A1 (ja) * 2016-04-05 2017-10-12 オリンパス株式会社 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
WO2018092248A1 (ja) * 2016-11-17 2018-05-24 オリンパス株式会社 標本形状測定装置
TWI704530B (zh) * 2019-01-29 2020-09-11 財團法人資訊工業策進會 注視度判斷裝置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014178294A1 (ja) * 2013-04-30 2014-11-06 オリンパス株式会社 標本観察装置及び標本観察方法
WO2015098242A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 オリンパス株式会社 標本観察装置および標本観察方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007139201A1 (ja) * 2006-05-31 2007-12-06 Olympus Corporation 生体試料撮像方法および生体試料撮像装置
JP5132480B2 (ja) 2008-08-26 2013-01-30 オリンパス株式会社 顕微鏡
JP6234072B2 (ja) * 2013-06-05 2017-11-22 オリンパス株式会社 非線形光学顕微鏡装置
JP6210754B2 (ja) * 2013-06-24 2017-10-11 オリンパス株式会社 走査型光学顕微鏡

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014178294A1 (ja) * 2013-04-30 2014-11-06 オリンパス株式会社 標本観察装置及び標本観察方法
WO2015098242A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 オリンパス株式会社 標本観察装置および標本観察方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6784773B2 (ja) 2020-11-11
JPWO2018092246A1 (ja) 2019-10-10
US20190271644A1 (en) 2019-09-05
US10983055B2 (en) 2021-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10133050B2 (en) Sample observation device and sample observation method
JP4760564B2 (ja) パターン形状の欠陥検出方法及び検出装置
WO2016125281A1 (ja) 構造化照明顕微鏡、観察方法、及び制御プログラム
US10983055B2 (en) Sample observation apparatus
GB2321517A (en) Confocal microscopic equipment for measuring solid shapes
US10302928B2 (en) Sample observation device
CN109073875B (zh) 用于可选择角度地照明的照明模块
WO2017119118A1 (ja) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
JP4645113B2 (ja) 光検査方法及び光検査装置並びに光検査システム
US10697764B2 (en) Sample shape measuring apparatus for calculating a shape of a sample disposed between an illumination optical system and an observation optical system
US5907396A (en) Optical detection system for detecting defects and/or particles on a substrate
WO2016185581A1 (ja) 標本形状測定方法及び標本形状測定装置
JPH0289016A (ja) 走査型顕微鏡
JP6226577B2 (ja) 共焦点レーザ走査型顕微鏡
CN115605795A (zh) 图像观察装置及其照明光学系统
US10310247B2 (en) Sample observation device and sample observation method
US20190265022A1 (en) Sample shape measuring apparatus
WO2016132563A1 (ja) 標本観察装置及び標本観察方法
TWI437263B (zh) 觀察光學系及雷射加工裝置
JP7112686B2 (ja) 標本観察装置
WO2018207255A1 (ja) 合焦機能を備えた標本観察装置
JP2007148084A (ja) 焦点検出装置
WO2018198335A1 (ja) 標本観察装置
JP2019020633A (ja) 光学ユニット、顕微鏡装置、及び、オートフォーカス装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16921552

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018550943

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16921552

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1