WO2018070048A1 - 顕微鏡装置、及び対物レンズユニット - Google Patents

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WO2018070048A1
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和正 青山
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株式会社ニコン
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    • G02B7/16Rotatable turrets

Definitions

  • the present invention relates to a microscope apparatus and an objective lens unit.
  • a microscope apparatus for observing a sample for example, an apparatus including a base, a support attached to the base, a stage member supported by the support, and a revolver support unit is known (for example, Patent Documents). 1).
  • the revolver support unit has a revolver to which a plurality of objective lenses can be attached, and selects an objective lens used for observation by rotating the revolver. Further, the revolver support portion is provided in the focusing device.
  • a drive unit for moving the revolver support unit in the vertical direction via the focusing device is disposed on the base.
  • a base a support member disposed upright on the base, an objective lens unit including an objective lens holding member that is supported by the support member and holds the objective lens;
  • the objective lens unit is provided with a microscope device including a driving source that moves the objective lens holding member up and down and a driving mechanism that transmits the driving force of the driving source to the objective lens holding member.
  • an attachment / detachment mechanism that can be attached to and detached from the base of the microscope apparatus, an objective lens holding member to which the objective lens is attached, a drive source that moves the objective lens holding member up and down,
  • An objective lens unit includes a drive mechanism that transmits a driving force of a drive source to an objective lens holding member, and is attached to a support member that stands on a base.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5. It is a figure which shows the state which lowered the link stick
  • Embodiments described below provide a microscope apparatus and an objective lens unit that can observe a sample with high accuracy.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of the microscope apparatus 100.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of the microscope apparatus 100 in a state where some components are removed from the microscope apparatus of FIG. 1 and assembled.
  • the microscope apparatus 100 is an inverted microscope, for example.
  • the microscope apparatus 100 includes a base unit 10, a support column 20, a revolver unit 200 (revolver support unit 30 and drive mechanism 40) that is an objective lens unit, a stage member 50, a first illumination system (illumination device) 60, A second illumination system (illumination device) 70.
  • the base unit 10 includes a base 11, a lens barrel 12, an eyepiece lens 13, an operation unit 14, and a connection unit 15.
  • the base 11 is placed on a placement surface such as a table.
  • the base 11 houses optical elements (not shown) such as a reflection mirror, a relay lens, a filter, and a prism, and extends from the optical axis AX of the objective lens 32 arranged at the observation position to the lens barrel 12.
  • the optical path of the observation system is formed.
  • These optical elements form part of the imaging optical system together with the optical elements in the lens barrel 12, the eyepiece lens 13, and the objective lens 32.
  • the lens barrel 12 is detachably provided on the base 11. In FIG. 1, the lens barrel 12 is shown in a state in which it is detached upward from the base 11. In the lens barrel 12, various optical elements such as a plurality of lenses, filters, and prisms are accommodated. These optical elements form part of the imaging optical system as described above.
  • the eyepiece 13 is attached to the upper part of the lens barrel 12.
  • the eyepiece 13 can be exchanged for the lens barrel 12.
  • the configuration of the eyepiece 13 is arbitrary.
  • the eyepiece 13 is used for a user to confirm an image visually.
  • the image may be obtained by an imaging element (image sensor) such as a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) or a CCD (Charge Coupled Device) instead of the eyepiece 13, or an optical path of the imaging optical system One of them may be branched and one of them may be connected to the eyepiece lens 13 and the other may be connected to the above-described imaging device.
  • the image acquired by the image sensor may be displayed on a display device such as a liquid crystal display device, or may be captured in a processing device such as a personal computer for image processing.
  • the operation unit 14 is provided on the base 11.
  • the operation unit 14 is disposed on the side surface of the base 11 so that the operation unit 14 can be operated by hand while the user is looking into the eyepiece lens 13, for example.
  • the operation unit 14 is rotatably provided, and sets the drive amount of the drive mechanism 40 according to the rotation position (or rotation amount), and switches between driving and stopping of the electric drive source 41 of the drive mechanism 40. It is possible. Accordingly, the height (position in the Z direction) of the revolver support portion 30 can be adjusted by operating the operation portion 14.
  • the operation unit 14 is not limited to being rotatable.
  • a button for electrically driving the drive mechanism 40 so as to move the revolver support 30 upward or downward may be provided.
  • connection part 15 is a terminal that is formed in an exposed state on the upper surface of the base 11 and can be electrically connected.
  • the connection portion 15 is disposed at a connection portion with the support column 20.
  • the connecting portion 15 of the base 11 is provided on the back region side of the upper surface of the base 11 or on the upper surface of the base 11 on the back side with respect to the observer side (user side).
  • the back surface side of the top surface of the base 11 or the top surface of the base 11 and the back side with respect to the observer side is a region on the ⁇ X side with respect to the center of the top surface of the base 11. This is a region including a portion where the connection portion 15 shown in FIG. 1 is provided.
  • connection portion 15 is provided on the back region side of the upper surface portion of the base 11 or on the upper surface portion of the base 11 and on the back side with respect to the observer side, so that a spacer 90 (described later) is provided. Since the base side connection portion 93 that can be connected to the connection portion 15 is also provided, the connection is performed based on the mounting position of the spacer 90 (the mounting position where the spacer 90 does not get in the way when the spacer 90 is mounted on the microscope apparatus 100). The part 15 can be arranged.
  • the connecting portion 15 is electrically connected to the substrate M disposed in the base 11 via the lead wire 15a. In addition, the substrate M is electrically connected to the operation unit 14 via the lead wire 15b.
  • the substrate M includes, for example, a CPU (Central Processing UNIT) or a memory, and constitutes a control unit for each member including the drive mechanism 40.
  • the substrate M receives information operated by the operation unit 14 via the lead wire 15b, and connects a signal for controlling the driving mechanism 40 and power for driving the driving mechanism 40 via the lead wire 15a. To the unit 15.
  • the support column 20 includes a support column lower portion (support member) 20 b that is arranged upright on the base 11. Moreover, the support
  • the support column 20 (the support column lower portion 20 b) is arranged to extend upward (+ Z direction) from the base 11 (support column spacer 91). Moreover, the support
  • the lower surface of the column 20 (column lower portion 20b) is provided with a fixing screw 20a that is screw-coupled to a screw hole 11a provided on the upper surface of the base 11 or a screw hole 91b provided on the upper surface of the column spacer 91 ( (See FIG. 1).
  • the top surface of the base 11 is provided with a pin 11 b that can be inserted into a hole (not shown) provided on the lower surface of the support column 20 (support lower portion 20 b) or the lower surface of the support spacer 91. By inserting the pin 11b into a hole (not shown), the column 20 (column lower portion 20b) is positioned with respect to the base 11.
  • the fixing screw 20a is screwed to the screw hole 11a or the screw hole 91b, so that the support column 20 (the support column lower portion 20b) is attached to the base 11.
  • pillar lower part support member is a member which supports a part of illumination support
  • the support column 20 has a connection portion 21 on the lower surface.
  • the connection portion 21 contacts the connection portion 15 of the base 11 and is electrically connected to the connection portion 15.
  • the connection portion 21 comes into contact with a support-side connection portion 94 described later and the support-side connection portion 94. Electrically connected.
  • the column side connection part 94 is electrically connected to the connection unit 15 of the base 11.
  • connection portion 21 is electrically connected to a drive source of the drive mechanism 40 via a lead wire (not shown) or the like.
  • the connecting portion 21 may be electrically connected to a first illumination system 60 or a stage member 50, which will be described later, and may transmit a signal for controlling them or supply power for driving.
  • the above-mentioned connection parts 15 and 21 can apply the arbitrary shapes which enable an electrical connection at the time of mounting
  • the revolver unit 200 (the revolver support unit 30 and the drive mechanism 40) is attached to the side surface on the + X side of the support column 20 (the support column lower portion 20b) and extends from the support column 20 (the support column lower portion 20b) in the + X direction.
  • the side surface on the + X side of the support column 20 is a surface facing the direction in which the eyepiece 13 is installed, and corresponds to the observer side at the time of observation. Therefore, the revolver unit 200 is disposed in a space sandwiched between the support column 20 and the eyepiece lens 13 (lens barrel 12) in the X direction. The details of the revolver unit 200 will be described later with reference to another drawing.
  • the stage member 50 is attached to the side surface on the + X side of the support column 20 (the support column lower portion 20b) above the revolver unit 200.
  • the stage member 50 holds a sample.
  • the stage member 50 includes a through hole penetrating in the vertical direction (Z direction).
  • the sample is held on the stage member 50 in a state where it is placed on a transparent plate material such as a glass plate or in a state where it is accommodated in a transparent container such as a glass container. At this time, the glass plate or the glass container is held by the stage member 50 so that the sample is placed in the above-described through hole.
  • the stage member 50 may include a jig for holding a glass plate or a glass container in a predetermined position.
  • the stage member 50 may be movable in the X direction and the Y direction (horizontal direction or direction orthogonal to the optical axis AX). Further, the stage member 50 may be movable in the vertical direction (Z direction) or in the direction along the optical axis AX. Such movement of the stage member 50 may be performed manually by the user or using a drive source such as an electric motor. When the drive source is used, the control signal related to the movement amount and the supply of power to the drive source may be performed from the base 11 via the connection portion 21 of the support column 20. Further, an operation unit that operates the movement of the stage member 50 may be provided on the base 11.
  • the first illumination system 60 is attached to the upper part of the support column 20.
  • the exit side of the first illumination system 60 is disposed above the stage member 50.
  • the first illumination system 60 performs transmitted illumination on the sample held on the stage member 50.
  • the first illumination system 60 includes, for example, a light source that emits white light or visible light (light having a broad wavelength) such as a halogen lamp or a white LED, a relay lens that guides light emitted from the light source, various filters, and an aperture stop. And an illumination optical system having optical elements such as a field stop.
  • the first illumination system 60 emits illumination light along the optical axis AX, but is not limited thereto, and the illumination light may be emitted in a state inclined with respect to the optical axis AX.
  • the illumination light emitted from the first illumination system 60 illuminates the sample from above (+ Z side).
  • Transmitted light (observation light) that has passed through the sample is guided to the eyepiece 13 through an optical path in the base 11 and the lens barrel 12 via an objective lens 32 described later.
  • the user can observe the sample held on the stage member 50 with illumination light from the first illumination system 60 by looking into the eyepiece lens 13.
  • the first illumination system 60 may not include a light source.
  • the light source may be disposed outside the first illumination system 60 to supply illumination light to the first illumination system 60 through an optical fiber or the like. Further, whether or not the first illumination system 60 is provided is arbitrary, and the first illumination system 60 may not be provided.
  • the second illumination system 70 is attached to the side surface on the ⁇ X side of the support column 20 (the support column lower portion 20b).
  • the exit side of the second illumination system 70 is disposed below the stage member 50 and the revolver unit 200.
  • the support column 20 is provided with a through-hole for allowing light from the second illumination system 70 to pass through.
  • the second illumination system 70 performs epi-illumination on the sample held on the stage member 50.
  • the second illumination system 70 irradiates the fluorescent material with activation light or excitation light when the microscope apparatus 100 is used as a fluorescence microscope.
  • the second illumination system 70 can be exchanged for either epi-illumination or fluorescence observation.
  • the second illumination system 70 When the second illumination system 70 performs epi-illumination, the second illumination system 70 emits white light or visible light (wavelength broad light), such as a halogen lamp or a white LED, and the light source. And an illumination optical system having optical elements such as a relay lens for guiding light, various filters, an aperture stop, and a field stop. Further, the second illumination system 70 includes a mirror 72. When the second illumination system 70 performs epi-illumination, for example, a half mirror is used as the mirror 72. The mirror 72 is disposed on the optical axis AX and is accommodated in an optical unit 72 a provided on the lower side of the revolver unit 200.
  • the illumination light emitted from the second illumination system 70 is reflected by the mirror 72 and illuminates the sample from below ( ⁇ Z side).
  • the reflected light from the sample by the illumination light is transmitted through the mirror 72 and is guided to the eyepiece 13 through an optical path in the base 11 and the lens barrel 12 via an objective lens 32 described later.
  • the user can observe the sample held on the stage member 50 with illumination light from the second illumination system 70 by looking into the eyepiece lens 13.
  • the second illumination system 70 may not include a light source for epi-illumination.
  • the light source may be disposed outside the second illumination system 70 to supply illumination light to the second illumination system 70 through an optical fiber or the like.
  • the second illumination system 70 activates the fluorescent material contained in the sample held by the stage member 50 or activates the fluorescent material to emit fluorescence. Either one of the generated excitation lights is emitted. Note that either the activation light or the excitation light is emitted from a third illumination system 80 described later.
  • the second illumination system 70 includes a laser light source that emits light having a wavelength corresponding to activation light or excitation light, and optical components such as a relay lens that guides light emitted from the laser light source, various filters, an aperture stop, and a field stop.
  • An illumination optical system having elements.
  • the mirror 72 is, for example, a dichroic mirror.
  • the dichroic mirror reflects light having the wavelength of activation light or excitation light and transmits the wavelength of fluorescence. For example, if the light emitted from the second illumination system 70 is the activation light, the activation light is reflected by the mirror 72 and irradiates the sample from below ( ⁇ Z side). After the activation light irradiation or simultaneously with the activation light irradiation, excitation light is emitted from a third illumination system 80 to be described later to irradiate the sample.
  • Fluorescent substance in the sample is excited by irradiation with activation light and excitation light to emit fluorescence.
  • This fluorescence passes through the mirror 72, passes through the optical path in the base 11 and the lens barrel 12, and is guided to the eyepiece 13 through the objective lens 32 described later.
  • the user can observe the fluorescence generated from the sample by looking into the eyepiece lens 13.
  • the activation light may be emitted from the third illumination system 80 and the excitation light may be emitted from the second illumination system 70.
  • the activation light and the excitation light may be switched and emitted from the second illumination system 70 by switching the light source in the second illumination system 70 without using the third illumination system 80.
  • the second illumination system 70 may not include a light source that emits activation light or excitation light.
  • the light source may be disposed outside the second illumination system 70 to supply activation light or excitation light to the second illumination system 70 through an optical fiber or the like. Further, whether or not the second illumination system 70 is provided is arbitrary, and the second illumination system 70 may not be provided.
  • the microscope apparatus 100 is used with the support column 20 mounted on the base 11. As described above, when the microscope apparatus 100 is used as a fluorescence microscope, the position of the stage member 50 is determined. When it is desired to lift upward, a spacer 90 is disposed between the base 11 and the support column 20 as shown in FIG. 2, the support column 20 is fixed to the upper surface of the base 11 by a fastening member (not shown) such as a bolt. When the spacer 90 is mounted, the base 20 is removed by removing the fastening member. 11 can be removed from the column 20.
  • a fastening member not shown
  • a support portion 12 a is provided on the ⁇ X side of the lens barrel 12, and supports a supported portion 50 a provided on the + X side of the stage member 50.
  • the supported portion 50a is supported by the support portion 12a, thereby suppressing shaking or vibration of the stage member 50.
  • the support portion 12a and the supported portion 50a are fixed by a fastening member (not shown) such as a bolt.
  • the spacer 90 is mounted, the supported portion 50a is removed from the support portion 12a by removing the fastening member. be able to.
  • a support spacer 91 and a stage spacer 92 are used as the spacer 90.
  • the spacer 90 is used when the third illumination system 80 is attached to the microscope apparatus 100, or when the stage member 50 is adjusted upward (+ Z direction) with respect to the base unit 10, and the Z direction of both spacers is used.
  • the dimensions of are the same.
  • the support spacer 91 is disposed between the base 11 and the support 20.
  • the support spacer 91 has a base side connection part 93 and a support side connection part 94.
  • the base side connection portion 93 is a terminal that is electrically connected to the connection portion 15 of the base 11 when the support spacer 91 is attached to the base 11.
  • the column-side connection portion 94 is a terminal that is electrically connected to the connection portion 21 of the column 20 when the column 20 is attached to the column spacer 91.
  • the support spacer 91 includes a lead wire 91c that electrically connects the base side connection portion 93 and the support side connection portion 94.
  • a lead wire 91c that electrically connects the base side connection portion 93 and the support side connection portion 94.
  • the stage spacer 92 is formed in a rectangular plate shape, for example.
  • the stage spacer 92 is disposed between the support portion 12 a of the lens barrel 12 and the supported portion 50 a of the stage member 50.
  • the stage spacer 92 is disposed on the + X side of the revolver unit 200.
  • the stage spacer 92 can suppress the swing or vibration of the stage member 50 by supporting the supported portion 50a even when the stage member 50 is lifted upward by the mounting of the support spacer 91. .
  • the support spacer 91 includes a fixing screw 91a that can be screw-coupled to the screw hole 11a of the base 11 on the lower surface, and a screw hole 91b that can be screw-coupled to the fixing screw 20a of the support column 20 on the upper surface. ing.
  • the pillar spacer 91 is positioned with respect to the base 11 by inserting the pin 11 b of the base 11 into a hole (not shown) on the lower surface of the pillar spacer 91.
  • a pin 91 d that can be inserted into a hole (not shown) provided on the lower surface of the support column 20 is provided on the upper surface of the support spacer 91.
  • the column 20 is positioned with respect to the column spacer 91.
  • the fixing screw 91a is screw-coupled to the screw hole 11a
  • the fixing screw 20a is screw-coupled to the screw hole 91b, whereby the column 20 is attached to the base 11 via the column spacer 91.
  • the stage spacer 92 is also positioned by using pins or holes.
  • the space between the stage spacer 92 and the support portion 12a of the lens barrel 12 and the space between the stage spacer 92 and the supported portion 50a of the stage member 50 are fixed in the same manner as the column spacer 91 described above, for example. It is fixed by a fastening member (not shown) such as a screw.
  • the revolver unit 200, the stage member 50, the first illumination system 60, and the second illumination system 70 are attached to the support column 20. Therefore, when removing the support column 20 from the base 11 and attaching the support column 20 to the support spacer 91, the revolver unit 200, the stage member 50, the first illumination system 60, and the second illumination system 70 are connected to each other. 20 is removed and attached together. Further, the revolver unit 200, the stage member 50, and the second illumination system 70 are attached to the lower column 20b. Therefore, the column lower part 20b can be separated from the column upper part supporting the first illumination system 60 while holding the revolver unit 200, the stage member 50, and the second illumination system 70. The base 11 and the objective lens unit (revolver unit 200) can be separated.
  • a third illumination system (illumination device) 80 can be attached to the support spacer 91.
  • the third illumination system 80 is attached to the side surface of the support spacer 91 on the ⁇ X side.
  • the third illumination system 80 is disposed below ( ⁇ Z side) the second illumination system 70.
  • the support spacer 91 is provided with a through hole through which light from the third illumination system 80 passes.
  • the third illumination system 80 includes a laser light source that emits light having a wavelength corresponding to activation light or excitation light, and optical components such as a relay lens that guides light emitted from the laser light source, various filters, an aperture stop, and a field stop.
  • the third illumination system 80 has a mirror 82.
  • a dichroic mirror is used as the mirror 82 in the same manner as the mirror 72 of the second illumination system 70 described above.
  • the mirror 82 is disposed on the optical axis AX and is accommodated in an optical unit 82 a provided on the lower side of the optical unit 72 a including the mirror 72.
  • the excitation light is reflected by the mirror 82 and then passes through the mirror 72 (or the mirror 72 is retracted from the optical axis AX), and below. Irradiate the sample from (-Z side). Fluorescence from the fluorescent material in the sample passes through the mirror 82, passes through the optical path in the base 11 and the lens barrel 12, and is guided to the eyepiece 13 through the objective lens 32 described later. The point that the user can observe the fluorescence generated from the sample by looking into the eyepiece lens 13 is as described above.
  • the activation light and the excitation light may be switched and emitted from the third illumination system 80 by switching the light source in the third illumination system 80 without using the second illumination system 70.
  • the third illumination system 80 may not include a light source.
  • the light source may be disposed outside the second illumination system 70 to supply white light, activation light, or excitation light to the third illumination system 80 through an optical fiber or the like. Further, even when the support spacer 91 is mounted, whether or not the third illumination system 80 is provided is optional, and the third illumination system 80 may not be provided.
  • the third illumination system 80 may perform epi-illumination on the sample held on the stage member 50.
  • the third illumination system 80 can be exchanged for either epi-illumination or fluorescence observation.
  • the 3rd illumination system 80 performs epi-illumination, the structure similar to the above-mentioned 2nd illumination system 70 is applied. At that time, for example, a half mirror is used as the mirror 82.
  • FIG. 3 is a perspective view illustrating an example of the revolver unit 200 according to the embodiment.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view showing the revolver unit 200 in an exploded manner. As shown in FIGS. 3 and 4, the revolver unit 200 includes a revolver support portion 30 and a drive mechanism 40.
  • the revolver support unit 30 supports a revolver (objective lens holding member) 31.
  • the revolver 31 is equipped with a plurality of objective lenses 32.
  • the revolver 31 is provided so as to be rotatable in a direction around an axis inclined from the Z axis, for example.
  • any one of the plurality of objective lenses 32 can be disposed on the optical axis AX (observation position).
  • the revolver 31 may be equipped with an aberration correction lens in addition to the plurality of objective lenses 32.
  • the revolver 31 may be equipped with an objective lens (aberration correction objective lens) 39 having a function of correcting aberrations in addition to the plurality of objective lenses 32.
  • the aberration correction objective lens 39 is an objective lens on which, for example, a lens that corrects chromatic aberration, a lens that corrects spherical aberration, a lens that corrects astigmatism, a lens that corrects field curvature, and the like are mounted. As the types of aberrations that can be corrected increase, the number of lenses mounted on one aberration correction objective lens 39 increases. For this reason, the aberration correcting objective lens 39 is heavier than the objective lens 32.
  • One or more aberration correction objective lenses 39 can be attached to one revolver 31.
  • the revolver 31 may be rotated manually by the user or may be rotated by a drive source such as an electric motor.
  • the drive source is disposed on the revolver support unit 30, for example.
  • the supply of the control signal and power to the drive source may be performed from the base 11 through the support column 20 as in the drive mechanism 40 described later.
  • the operation unit may be disposed on the base 11 or may be disposed on a remote control unit or the like separated from the microscope apparatus 100.
  • the revolver 31 has an arbitrary configuration for holding the rotational position, and holds the selected objective lens 32 on the optical axis AX.
  • the revolver support part 30 has a revolver mounting part 33 and a driving force receiving part 34.
  • the revolver 31 is mounted on the revolver mounting portion 33.
  • the revolver mounting portion 33 can fix the revolver 31 with a fixing member (not shown) such as a bolt, and can be replaced with another revolver by removing the bolt.
  • the revolver 31 is maintained in a rotatable state even when attached to the revolver attachment portion 33.
  • the driving force receiving portion 34 is attached to the side surface on the ⁇ Y side of the revolver mounting portion 33.
  • the driving force receiving portion 34 has a portion protruding in the ⁇ Y direction. This protruding portion is a portion that receives a driving force from the driving mechanism 40.
  • the revolver mounting portion 33 has a through hole 33 b for allowing light from the second illumination system 70 to pass therethrough.
  • the revolver mounting portion 33 is held on the support column 20 via the base portion 35 and the guide portion 36.
  • the base portion 35 is attached to the + X side surface of the support column 20 by a fixing member (not shown) such as a bolt.
  • the guide portion 36 is attached to the side surface on the + X side of the base portion 35 by a fixing member (not shown) such as a bolt.
  • the + X side of the guide portion 36 has a shape that fits a part of the revolver mounting portion 33 and guides the revolver mounting portion 33 in the vertical direction (optical axis AX direction).
  • the revolver mounting portion 33 is held by the support column 20 so as to be movable in the vertical direction by the guide portion 36.
  • a bearing part 37 is arranged between the revolver mounting part 33 and the guide part 36.
  • the bearing portions 37 are respectively arranged at two locations sandwiching the revolver mounting portion 33 in the Y direction.
  • the bearing portion 37 has a form in which a plurality of roller bearings are arranged in the vertical direction while alternately changing the direction.
  • a protruding portion 33 a On the side surface of the revolver mounting portion 33 on the + Y side and the ⁇ Y side, a protruding portion 33 a extending in the vertical direction is provided.
  • Each of the projecting portions 33 a comes into contact with the bearing portion 37, thereby smoothly moving the revolver mounting portion 33.
  • the bearing portion 37 guides the protruding portion 33a, thereby restricting the revolver mounting portion 33 from moving in the X direction.
  • the revolver support portion 30 is movable in the vertical direction as described above, and moves in the vertical direction by receiving a driving force from the driving mechanism 40 described later by the driving force receiving portion 34. That is, by moving the revolver support part 30 in the vertical direction, the objective lens 32 can be moved closer to or away from the stage member 50 (see FIG. 1 or FIG. 2). Further, as shown in FIG. 4, a screw 36 a protruding in the + X direction is provided on the surface on the + X side between the two guide portions 36. The screw 36a is inserted into an elongated hole (not shown) in the vertical direction provided on the ⁇ X side surface of the revolver mounting portion 33.
  • the revolver support portion 30 has a vertical movement range (stroke) set by a screw 36a and a long hole. This moving range is set so that, for example, an upper limit is reached before a cam 43 of the drive mechanism 40 described later rotates and reaches the maximum diameter portion 43b. This prevents damage to the drive mechanism 40 or the revolver support portion 30 and the like.
  • stroke vertical movement range
  • the revolver support section 30 has an autofocus section 38 that automatically adjusts the vertical height (position in the optical axis AX direction) of the objective lens 32 (revolver 31).
  • the autofocus unit 38 drives a drive mechanism 40 to be described later so that the sample is placed at the focus position of the objective lens 32 selected by the revolver 31.
  • the autofocus unit 38 is, for example, a focus detection light source (not shown) that emits infrared light for measurement, and a non-detection device that detects reflected light reflected by a sample or a glass plate from the infrared light emitted from the focus detection light source. And the illustrated sensor. Examples of the light source include an LED light source, an LD light source, and a laser light source.
  • the autofocus unit 38 is not essential, and may be disposed on the microscope in a state separated from the revolver support unit 30.
  • the autofocus unit 38 detects reflected light reflected from the sample by the infrared light emitted from the focus detection light source, and drives the drive mechanism 40 so that the sample is placed at the focus position of the objective lens 32.
  • the objective lens 32 is moved along the optical axis AX.
  • the configuration of the autofocus unit 38 is arbitrary and is not limited to the above configuration. Further, a switch for determining whether or not to operate the autofocus unit 38 may be disposed on the base 11 or may be disposed on a remote control unit or the like remote from the microscope apparatus 100. Examples of the light source include lasers, LEDs, and LDs (laser diodes).
  • the driving mechanism 40 is fixed to a base portion 35 attached to the support column 20 by a fixing member (not shown) such as a bolt. Therefore, the drive mechanism 40 can be replaced by removing the fixing member. Further, in the present embodiment, the drive mechanism 40 is disposed on the ⁇ Y side of the revolver support portion 30, but is not limited to this depending on the configuration of the microscope.
  • FIG. 5 is a side view showing an example of the drive mechanism 40.
  • 6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • the drive mechanism 40 includes a drive source 41, a gear train 42, a cam 43, a link rod 44, a cam follower 45, a contact portion 46, a frame 47, and a pin 49.
  • the pin 49 is shown in FIG.
  • the drive source 41 is supported by the frame 47.
  • the drive source 41 generates a drive force for moving the revolver support unit 30 in the vertical direction (optical axis AX direction).
  • As the drive source 41 for example, an electric motor or the like is used.
  • the drive source 41 is electrically connected to the connection portion 21 (see FIG. 1) of the support column 20 through, for example, wiring.
  • the drive source 41 is electrically connected to the substrate M (see FIG. 1) disposed inside the base 11.
  • the drive source 41 has an output shaft 41a that is rotationally driven.
  • the gear train 42 transmits the driving force generated by the driving source 41 to the cam 43.
  • the plurality of gears constituting the gear train 42 are supported by the frame 47 so as to be rotatable around an axis parallel to the Y direction.
  • the gear train 42 transmits the output shaft 41a to the cam 43 at a predetermined reduction ratio by using a plurality of gears.
  • the gear train 42 includes an output shaft gear 42a, a first transmission gear 42b, a second transmission gear 42c, a third transmission gear 42d, and a cam rotation gear 42e.
  • the output shaft gear 42a, the first transmission gear 42b, the second transmission gear 42c, the third transmission gear 42d, and the cam rotation gear 42e constituting the gear train 42 are supported by the frame 47 in a state where they are sequentially meshed.
  • the output shaft gear 42a is fixed to the output shaft 41a and rotates integrally with the output shaft 41a.
  • the first transmission gear 42b and the second transmission gear 42c are fixed to a common shaft 42f.
  • the first transmission gear 42b, the second transmission gear 42c, and the shaft 42f rotate together.
  • the first transmission gear 42b has a larger outer diameter than the output shaft gear 42a.
  • the second transmission gear 42c has a smaller outer diameter than the first transmission gear 42b.
  • the first transmission gear 42b meshes with the output shaft gear 42a. Therefore, when the output shaft 41a rotates, the rotation is transmitted from the output shaft gear 42a to the first transmission gear 42b, and the second transmission gear 42c also rotates integrally with the rotation of the first transmission gear 42b.
  • the second transmission gear 42c meshes with the third transmission gear 42d.
  • the third transmission gear 42d is rotatably supported by a shaft (not shown).
  • the third transmission gear 42d has a larger outer diameter than the second transmission gear 42c.
  • the third transmission gear 42d rotates as the second transmission gear 42c rotates.
  • the third transmission gear 42d meshes with the cam rotation gear 42e.
  • the cam rotation gear 42e is rotatably supported by a shaft (not shown).
  • the cam rotation gear 42e has a smaller outer diameter than the third transmission gear 42d.
  • the cam rotation gear 42e is fixed to the cam 43 and rotates together with the cam 43.
  • the cam 43 is rotatably supported by the frame 47 by a shaft (not shown) that supports the cam rotation gear 42e. Therefore, the cam 43 can rotate around the Y axis.
  • the cam 43 rotates at a predetermined reduction ratio via the gear train 42 as the output shaft 41a rotates.
  • the reduction ratio is adjusted by the outer diameter (number of teeth) of each gear constituting the gear train 42 or the number of gears used. For example, when the output shaft 41a rotates at several thousand rpm, the reduction ratio is set such that the cam 43 is from several rpm to several tens of rpm.
  • the distance (radius) from the rotation center C1 of the cam 43 gradually increases around the Y axis from the minimum diameter portion 43a to the maximum diameter portion 43b.
  • a stepped portion 43c is formed between the maximum diameter portion 43b and the minimum diameter portion 43a.
  • the rate of change of the radius from the minimum diameter part 43a to the maximum diameter part 43b is set to be constant, it is not limited to this.
  • a form in which the change rate of the radius is large near the minimum diameter portion 43a or the maximum diameter portion 43b and the change rate of the radius is small in the middle portion may be adopted.
  • the link rod 44 is a rod-shaped member, and is arranged to extend in the X direction above the gear train 42.
  • One end side (base end side) of the link rod 44 in the longitudinal direction is supported by the frame 47 by the shaft portion 44a.
  • the link bar 44 is rotatable around the Y axis around the shaft portion 44a. Therefore, the link rod 44 is rotatable in the direction in which the other end side (front end side) in the longitudinal direction moves the driving force receiving portion 34 of the revolver support portion 30 up and down.
  • the link bar 44 is set so that the length in the X direction fits in the frame 47. As a result, a part of the link bar 44 does not protrude from the drive mechanism 40.
  • the cam follower 45 is attached in a state protruding from the tip end side of the link rod 44 in the Y direction.
  • the cam follower 45 is disposed above (+ Z side) the cam 43, descends due to the gravity of the link bar 44, and contacts the cam 43.
  • the cam follower 45 moves in the vertical direction (Z direction) by being pushed by the peripheral surface of the cam 43 as the cam 43 rotates. Since the cam follower 45 is provided integrally with the link rod 44, the cam follower 45 moves in the vertical direction, whereby the link rod 44 rotates around the Y axis about the shaft portion 44a.
  • the center C2 of the cam follower 45 is arranged so as to be shifted in the X direction with respect to the rotation center C1 of the cam 43.
  • the cam follower 45 is a columnar or cylindrical member, and is attached to the link bar 44 so as to be rotatable. As a result, when the cam 43 rotates, the cam follower 45 rotates as the peripheral surface of the cam 43 moves. Therefore, friction between the cam follower 45 and the cam 43 can be reduced, and the operation of the cam follower 45 can be reduced. Can be made smooth.
  • the cam follower 45 is not limited to being rotatable, and may be a cam follower that does not rotate. Further, the cam follower 45 as shown in the figure may not be provided, and a part (for example, an intermediate part) of the link bar 44 may be used as an engaging member with the cam. In this case, it is not necessary to use a rotatable member as shown in the figure, and it may be, for example, a plate-like member fixed to the link bar 44.
  • the contact portion 46 is attached in a state protruding from the distal end side of the link rod 44 in the Y direction.
  • the contact portion 46 is disposed on the link rod 44 at a position farther from the shaft portion 44 a than the cam follower 45, that is, on the tip side of the cam follower 45. Therefore, the contact portion 46 is arranged along with the cam follower 45 in the longitudinal direction of the link rod 44.
  • the contact portion 46 is integrated with the link rod 44 and the cam follower 45 and moves in the rotation direction around the shaft portion 44 a of the link rod 44.
  • the contact portion 46 is arranged in contact with the driving force receiving portion 34 of the revolver support portion 30.
  • the contact portion 46 receives the weight of the revolver support portion 30 through the driving force receiving portion 34. Therefore, when the contact portion 46 moves upward by the rotation of the link rod 44, it is possible to apply an upward force to the driving force receiving portion 34 and move the revolver support portion 30 upward. . Further, since the contact portion 46 is disposed on the tip side of the cam follower 45, the amount of movement of the contact portion 46 in the vertical direction is larger than that of the cam follower 45. Therefore, the link bar 44 enlarges the amount of movement of the cam follower 45 and transmits it to the contact portion 46.
  • the contact portion 46 is a columnar or cylindrical member, like the cam follower 45, and is rotatably attached to the link rod 44.
  • the contact portion 46 moves upward, the contact portion 46 moves on the orbit around the shaft portion 44a of the link rod 44 as described above.
  • the revolver support part 30 (driving force receiving part 34) moves in the vertical direction (Z direction).
  • the moving direction of the contact portion 46 and the driving force receiving portion 34 is different, but when the contact portion 46 moves upward due to the rotation of the contact portion 46, the driving force receiving portion 34 It touches while rotating. Thereby, the friction between the contact part 46 and the driving force receiving part 34 can be reduced, and the operation of the contact part 46 can be made smooth.
  • the contact portion 46 is not limited to being rotatable, and may be a contact portion that does not rotate. Further, the contact portion 46 as shown in the figure may not be provided, and a part (for example, a tip portion) of the link rod 44 may be used as the contact portion. Further, the cam follower 45 may also serve as the contact portion 46. In this case, the cam follower 45 may be an engaging member that does not rotate as described above.
  • the frame 47 is formed in a rectangular plate shape, for example.
  • the frame 47 is attached to the base 35 (see FIG. 4) by a fixing member such as a bolt. Thereby, the frame 47 is fixed to the support column 20 via the base portion 35.
  • each member constituting the drive mechanism 40 is fixed to the support column 20.
  • each member of the drive mechanism 40 can be disposed at a position fixed to the support column 20.
  • the pin 49 is a rod-shaped member, and extends from the revolver mounting portion 33 of the revolver support portion 30 and is arranged in a state of being inserted into a recess 43 d formed on the + Y side surface of the cam 43.
  • the pin 49 limits the amount by which the revolver support 30 is lifted during transportation or when the user lifts the revolver support 30 by hand. Accordingly, the revolver support portion 30 is restricted from moving to the upper limit of the stroke, and the gear train 42 or the cam 43 can be prevented from being damaged (for example, a dent is formed) even if the revolver support portion 30 is dropped from that position.
  • the rotation of the cam 43 may be regulated by the pin 49. Further, for example, a configuration may be applied in which the rotation amount or rotation position of the cam 43 is detected by a sensor or the like, and the drive of the drive source 41 is stopped when the cam follower 45 reaches the maximum diameter portion 43b.
  • a contact-type limit switch that operates at a position where the tip end portion of the link bar 44 is most raised is arranged, and when the limit switch is operated (that is, when the cam follower 45 reaches the maximum diameter portion 43b), the drive source 41 is provided.
  • a configuration for stopping the driving may be applied.
  • the above-described sensor or limit switch either a contact type or a non-contact type may be used.
  • the revolver unit 200 described above can move the revolver support portion 30 (that is, the selected objective lens 32) in the vertical direction by operating the operation portion 14 provided on the base 11. For example, by driving the drive source 41 by the operation unit 14 and rotating the cam 43, the height of the cam follower 45 is determined according to the rotational position of the cam 43, and the link rod 44 according to the height of the cam follower 45 is determined. The height of the contact portion 46 is set according to the rotational position.
  • the revolver support part 30 moves in the vertical direction according to the height of the contact part 46, and the selected objective lens 32 can be moved to a desired position along the optical axis AX. In other words, the focus position of the selected objective lens 32 can be adjusted by operating the operation unit 14.
  • FIG. 7 is a diagram showing an example of the operation of the drive mechanism 40 and a state in which the link bar 44 is lowered.
  • FIG. 7 shows a state where the cam follower 45 is in contact with the minimum diameter portion 43 a of the cam 43.
  • the cam follower 45 is in contact with the minimum diameter portion 43 a of the cam 43.
  • the link bar 44 is arranged at the rotational position where the tip end side is lowered most. Accordingly, the contact portion 46 on the distal end side of the link bar 44 is also in the lowest position.
  • FIG. 8 is a diagram schematically showing an example of a state where the revolver support portion 30 is lowered.
  • the shape or arrangement of each member is schematically shown, and some members are omitted.
  • FIG. 8 shows the position of the revolver support portion 30 when the cam follower 45 is in contact with the minimum diameter portion 43 a of the cam 43 as shown in FIG. 7.
  • the contact portion 46 is at the lowest position as described above. Therefore, the revolver support part 30 is lowered to the position supported by the contact part 46 by its own weight, and is in the most lowered state. In this state, the objective lens 32 is farthest from the stage member 50 (sample).
  • the drive amount of the drive source 41 (the amount of rotation of the cam 43) is set in advance according to the amount of operation of the operation unit 14 (for example, the amount of rotation).
  • the rotation direction of the cam 43 is clockwise in FIG. 7 and counterclockwise in FIG.
  • the position of the cam follower 45 is also changed from the minimum diameter portion 43a by the rotation of the cam 43, and moves upward as the outer diameter of the cam 43 gradually increases.
  • the cam follower 45 locks the stepped portion 43c. Therefore, the rotation of the cam 43 is restricted.
  • the link rod 44 is also rotated upward on the tip side, and the contact portion 46 is raised.
  • the revolver support portion 30 is raised along the guide portion 36 by applying an upward force to the driving force receiving portion 34 as the contact portion 46 rises.
  • the selected objective lens 32 moves along the optical axis AX in a direction approaching the stage member 50 (sample).
  • FIG. 9 is a view showing an example of the operation of the drive mechanism 40 and showing a state where the link rod 44 is raised.
  • FIG. 9 shows a state where the cam follower 45 is in contact with the maximum diameter portion 43 b of the cam 43.
  • the cam follower 45 is in contact with the maximum diameter portion 43 b of the cam 43.
  • the link bar 44 is arranged at the rotational position where the tip end side is most elevated. Accordingly, the contact portion 46 on the distal end side of the link bar 44 is also at the highest position.
  • FIG. 10 is a diagram schematically showing an example of a state where the revolver support portion 30 is raised.
  • FIG. 10 similarly to FIG. 8 described above, the shape or arrangement of each member is schematically shown, and some members are omitted.
  • FIG. 10 shows the position of the revolver support portion 30 when the cam follower 45 is in contact with the maximum diameter portion 43 b of the cam 43 as shown in FIG. 9.
  • the contact portion 46 is at the highest position as described above.
  • the revolver support portion 30 is in the most elevated state when the driving force receiving portion 34 is pushed upward by the contact portion 46. In this state, the objective lens 32 is closest to the stage member 50 (sample).
  • the objective lens 32 can be moved along the optical axis AX by operating the operation unit 14. Therefore, for example, the user moves the objective lens 32 by operating the operation unit 14 while looking into the eyepiece lens 13 (see FIGS. 1 and 2), and places the objective lens 32 at a desired focus position with respect to the sample. It becomes possible to arrange.
  • the drive mechanism 40 is driven based on the detection result of the autofocus unit 38 to adjust the position of the revolver support unit 30 (objective lens 32). Is possible.
  • the spacer 90 can be attached to the microscope apparatus 100 and the revolver support portion 30 can be arranged away from the base 11, but even when the spacer 90 is attached, the drive mechanism 40. Is disposed on the support column 20, the distance from the drive mechanism 40 to the revolver support unit 30 does not change. That is, the distance between the base on which the drive unit is arranged and the revolver moved by the drive unit as in Patent Document 1 does not increase. Accordingly, the distance between the base and the revolver before and after the arrangement of the spacers is the same, and the lateral swing of the revolver relative to the base does not increase. This makes it possible to observe the sample with high accuracy.
  • a drive unit is accommodated in the base 11, the drive unit moves the focusing device up and down, and a revolver support unit for mounting the revolver on the focusing device is disposed.
  • the spacer is disposed between the revolver support and the focusing device.
  • the distance between the drive mechanism 40 (drive source 41) and the revolver support unit 30 (objective lens 32) is shorter than in the conventional configuration. Since the drive source 41, the drive mechanism 40, and the revolver support portion 30 are disposed in the column lower portion 20b, the vertical movement of the revolver 31 that is an objective lens holding member can be stabilized. Further, in this embodiment, the positional relationship between the drive source 41 and the revolver support portion 30 does not change even when the spacer 90 is mounted, and the members of the member due to changes in the environmental temperature before and after the spacer 90 is disposed, for example.
  • the focus position of the objective lens 32 is not shifted due to the environmental temperature before and after the spacer 90 is arranged. This makes it possible to observe the sample with high accuracy.
  • the drive force transmission mechanism to the revolver support unit 30 must be extended by the spacer 90 when the spacer 90 is mounted.
  • the transmission path becomes longer.
  • deformation due to thermal expansion of the members constituting the transmission path due to changes in the environmental temperature or the like may increase, and the position of the objective lens 32 may shift.
  • the transmission path of the driving force from the driving source 41 to the revolver support portion 30 is short, so that deformation of the member due to changes in environmental temperature is small, It can suppress that the position of the objective lens 32 fluctuates. That is, the phenomenon that the focus position of the objective lens 32 is shifted due to the environmental temperature is less likely to occur. This makes it possible to observe the sample with high accuracy.
  • the spacer 90 is mounted between the revolver support unit 30 and the transmission mechanism.
  • the distance gets longer.
  • the revolver support unit 30 is moved by one drive mechanism 40, but the present invention is not limited to this.
  • two or more drive mechanisms 40 may be mounted on the revolver unit 200.
  • two or more drive mechanisms 40 may be controlled simultaneously, or one drive mechanism 40 may be used as a main drive mechanism, and another drive mechanism 40 may be used for sub or backup.
  • the drive mechanism 40 uses the gear train 42 to transmit the drive force of the drive source 41 to the cam 43, but the present invention is not limited to this.
  • the driving force may be transmitted using a belt or a chain.
  • the driving force can be transmitted to the cam 43 at a predetermined reduction ratio by setting the outer diameter of the pulley or sprocket on the driving side and the driven side, respectively.
  • the drive mechanism 40 rotates the link rod 44 by the cam 43 to raise and lower the contact portion 46, but is not limited thereto.
  • the driving force receiving portion 34 of the revolver support portion 30 may be pushed directly upward by the cam surface of the cam 43 without using the link rod 44.
  • the drive mechanism 40 transmits the driving force of the drive source 41 to the revolver support unit 30 using members such as the gear train 42, the cam 43, and the link rod 44.
  • the driving force of the driving source 41 may be transmitted to the revolver support unit 30 using a rack and a pinion gear.
  • the output shaft 41a of the drive source 41 is transmitted to the pinion gear, the bar-shaped rack movable in the vertical direction and the pinion gear are engaged, and the drive source 41 is driven to move the rack in the vertical direction.
  • the revolver support portion 30 can be raised and lowered as the rack is raised and lowered.
  • the rack is attached to the revolver support portion 30, and the drive source 41 is driven to rotate the pinion gear, whereby the revolver support portion 30 integral with the rack is provided.
  • the structure which raises / lowers may be sufficient.
  • the drive source 41 and the pinion gear may be disposed on the revolver support unit 30, and a rack may be disposed on the frame 47 of the drive mechanism 40, for example.
  • AX optical axis
  • 10 base
  • 11 base
  • 12 lens barrel
  • 13 eyepiece
  • 14 operation unit
  • 21 connection unit
  • 20 connection unit
  • 20 connection unit
  • 20 connection unit
  • 20 connection unit
  • 20 connection unit
  • 20 20 b
  • Lower part (support member) 30
  • Revolver support portion 31
  • 32 ... Objective lens
  • 33. 34 drive force receiving portion, 36, guide, 40, drive mechanism, 41, drive source, 41a, output shaft, 42, gear train, 43, cam.
  • First illumination system (illumination device), 0 ... 2nd illumination system (illumination device), 72, 82 ... mirror, 80 ... 3rd illumination system (illumination device), 82a ... optical unit, 90 ... spacer, 91 ... Support spacer, 92 ... Stage spacer, 93 ... Base side connection, 94 ... Support side connection, 100 ... Microscope device, 200 ... Revolver unit (objective lens unit)

Landscapes

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Abstract

【課題】試料を高精度に観察する。 【解決手段】顕微鏡装置は、基台と、基台上に立設して配置される支持部材と、支持部材に支持され、対物レンズを保持する対物レンズ保持部材を備える対物レンズユニットと、を備え、対物レンズユニットは、対物レンズ保持部材を上下動させる駆動源と駆動源の駆動力を対物レンズ保持部材に伝達する駆動機構とを備える。

Description

顕微鏡装置、及び対物レンズユニット
 本発明は、顕微鏡装置、及び対物レンズユニットに関する。
 試料を観察する顕微鏡装置として、例えば、基台と、基台に装着される支柱と、支柱に支持されるステージ部材と、レボルバ支持部と、を備えるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。レボルバ支持部は、複数の対物レンズが装着可能なレボルバを有し、レボルバを回転させることで観察に用いる対物レンズを選択する。また、レボルバ支持部は、焦準装置に設けられる。基台には、焦準装置を介してレボルバ支持部を上下方向に移動するための駆動部が配置される。
米国特許第6239905号明細書
 本発明の第1態様に従えば、基台と、基台上に立設して配置される支持部材と、支持部材に支持され、対物レンズを保持する対物レンズ保持部材を備える対物レンズユニットと、を備え、対物レンズユニットは、対物レンズ保持部材を上下動させる駆動源と駆動源の駆動力を前記対物レンズ保持部材に伝達する駆動機構とを備える顕微鏡装置が提供される。
 本発明の第2態様に従えば、顕微鏡装置の基台に対して着脱可能とする着脱機構と、対物レンズが装着される対物レンズ保持部材と、対物レンズ保持部材を上下動させる駆動源と、駆動源の駆動力を対物レンズ保持部材に伝達する駆動機構と、を備え、基台に立設する支持部材に装着される、対物レンズユニットが提供される。
本実施形態に係る顕微鏡装置を分解して示す分解斜視図である。 スペーサを挿入前の顕微鏡装置の一例を示す斜視図である。 本実施形態に係る対物レンズユニットの一例を示す斜視図である。 対物レンズユニットを分解して示す分解斜視図である。 駆動機構の一例を示す側面図である。 図5のA-A線に沿った断面図である。 リンク棒を下げた状態を示す図である。 レボルバ支持部が下降した一例を模式的に示す図である。 リンク棒を上げた状態を示す図である。 レボルバ支持部が上昇した一例を模式的に示す図である。
 上記した特許文献1に記載の顕微鏡装置では、ステージ部材の高さ位置を調整するため、基台と支柱との間にスペーサを配置することが可能である。しかしながら、スペーサを配置した場合、駆動部が配置されている基台と駆動部によって移動させられるレボルバ間の距離が長くなる。このため、スペーサを配置した構成では、基台に対するレボルバのXY方向(横方向)の揺れが大きくなる。その結果、対物レンズの位置が所望の位置からずれる場合があり、試料の観察精度に影響を及ぼすことになる。
 以下に説明する実施形態は、試料を高精度に観察することが可能な顕微鏡装置、及び対物レンズユニットを提供している。
 実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。また、図面においては、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。また、各図面においては、XYZ座標系を適宜用いて方向を示している。X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、矢印の方向が+方向(例、+X方向)であり、その反対方向が-方向(例、-X方向)であるとする。
 図1は、顕微鏡装置100の一例を示す分解斜視図である。図2は、図1顕微鏡装置から一部の構成部品を取り外して組み立てた状態の顕微鏡装置100の一例を示す斜視図である。図1及び図2に示すように、顕微鏡装置100は、例えば、倒立顕微鏡である。顕微鏡装置100は、ベース部10と、支柱20と、対物レンズユニットであるレボルバユニット200(レボルバ支持部30及び駆動機構40)と、ステージ部材50と、第1照明系(照明装置)60と、第2照明系(照明装置)70と、を備える。
 ベース部10は、基台11と、鏡筒12と、接眼レンズ13と、操作部14と、接続部15と、を有する。基台11は、例えば、テーブル上などの載置面に載置される。また、基台11内には、反射ミラー、リレーレンズ、フィルタ、及びプリズムなどの不図示の光学素子が収容されており、観察位置に配置された対物レンズ32の光軸AXから鏡筒12にわたって観察系の光路を形成している。これらの光学素子は、鏡筒12内の光学素子、接眼レンズ13、及び対物レンズ32とともに結像光学系の一部を形成する。鏡筒12は、基台11に着脱可能に設けられる。図1において、鏡筒12は、基台11から上方に外れた状態で表記されている。鏡筒12内には、複数のレンズ、フィルタあるいはプリズムなどの各種光学素子が収容されている。これらの光学素子は、上記のように結像光学系の一部を形成する。
 接眼レンズ13は、鏡筒12の上部に装着される。接眼レンズ13は、鏡筒12に対して交換可能である。なお、接眼レンズ13の構成は、任意である。接眼レンズ13は、ユーザーが目視により画像を確認するために用いられる。なお、図示しないが、接眼レンズ13に代えて画像をCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)またはCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子(イメージセンサ)により取得してもよいし、結像光学系の光路の一部を分岐させて一方を接眼レンズ13に接続し、かつ、他方を上記した撮像素子に接続してもよい。また、撮像素子により取得した画像は、液晶表示装置などのディスプレイ装置に表示させてもよいし、パーソナルコンピュータなどの処理装置に取り込んで画像処理などを行ってもよい。
 操作部14は、基台11に設けられる。操作部14は、例えば、ユーザーが接眼レンズ13を覗いている状態において手で操作可能なように基台11の側面に配置される。操作部14は、回転可能に設けられており、回転位置(または回転量)に応じて駆動機構40の駆動量を設定したり、駆動機構40の電動駆動源41の駆動及び停止を切り替えたりすることが可能である。これにより、操作部14を操作することでレボルバ支持部30の高さ(Z方向の位置)を調整することができる。なお、操作部14は、回転可能であることに限定されない。例えば、レボルバ支持部30を上方または下方に移動させるように駆動機構40を電動駆動するボタンが設けられてもよい。
 接続部15は、基台11の上面に露出した状態で形成され、電気的な接続が可能な端子である。接続部15は、支柱20との接続部分に配置される。また、基台11の接続部15は、基台11上面部の背面領域側、あるいは基台11上面部であって観察者側(ユーザ側)に対して奥側に設けられる。なお、基台11上面部の背面領域側、あるいは基台11上面部であって観察者側に対して奥側は、基台11上面部の中央部に対して-X側の領域であり、図1に示す接続部15が設けられている部分を含む領域である。このように、接続部15が基台11上面部の背面領域側、あるいは基台11上面部であって観察者側に対して奥側に設けられることにより、後述するスペーサ90(後述する)にも接続部15と接続可能な基台側接続部93が設けられることから、スペーサ90の装着位置(顕微鏡装置100にスペーサ90を装着した際にスペーサ90が邪魔にならない装着位置)を基準として接続部15を配置できる。また、接続部15は、基台11内に配置された基板Mとリード線15aを介して電気的に接続される。また、基板Mは、リード線15bを介して操作部14に電気的に接続される。基板Mは、例えばCPU(Central Processing UNIT)あるいはメモリ等を含み、駆動機構40を含めた各部材の制御部を構成する。基板Mは、操作部14で操作された情報がリード線15bを介して入力され、駆動機構40を制御する信号、及び駆動機構40を駆動するための電力などを、リード線15aを介して接続部15に出力する。
 支柱20は、基台11上に立設して配置される支柱下部(支持部材)20bを備える。また、支柱下部20bは、後述する支柱用スペーサ(スペーサ90)91を介して、基台11に取り付けられる。支柱20(支柱下部20b)は、基台11(支柱用スペーサ91)から上方(+Z方向)に延びて配置される。また、支柱20(支柱下部20b)は、スペーサ90を介さずに基台11に取り付け可能である。図2に示すように、支柱20(支柱下部20b)は、基台11の上面に取り付けられている。支柱20(支柱下部20b)の下面には、基台11の上面に設けられたネジ孔11aあるいは支柱用スペーサ91の上面に設けられたネジ孔91bにネジ結合する固定ネジ20aを備えている(図1参照)。また、基台11の上面には、支柱20(支柱下部20b)の下面あるいは支柱用スペーサ91の下面に設けられた孔部(不図示)に挿入可能なピン11bを備えている。このピン11bが不図示の孔部に挿入されることにより、支柱20(支柱下部20b)が基台11に対して位置決めされる。この状態で、固定ネジ20aがネジ孔11aあるいはネジ孔91bとネジ結合することにより、支柱20(支柱下部20b)が基台11に取り付けられる。なお、支柱下部支持部材である20bは、第1照明系(照明装置)60を備える照明支柱の一部、あるいは照明支柱を支持する部材である
 支柱20は、下面に接続部21を有する。接続部21は、支柱20が基台11に直接装着される場合(図2に示す場合)、基台11の接続部15に接触して接続部15と電気的に接続される。また、接続部21は、支柱20が支柱用スペーサ91を介して基台11に装着される場合(図1に示す場合)、後述の支柱側接続部94に接触して支柱側接続部94と電気的に接続される。なお、後述するが、支柱用スペーサ91において、支柱側接続部94は基台11の接続部15と電気的に接続される。これにより、支柱20は、支柱用スペーサ91を用いる場合であっても、接続部21と、基台11の接続部15との間で電気的な接続を確保する。
 また、接続部21は、不図示のリード線等を介して駆動機構40の駆動源に電気的に接続されている。また、接続部21は、後述する第1照明系60あるいはステージ部材50などと電気的に接続され、これらを制御する信号の伝達、あるいは駆動用の電力供給を行ってもよい。なお、上記した接続部15、21は、支柱20の装着時に電気的な接続を可能とする任意の形状を適用することができる。例えば、支柱20の装着時に平面部どうしが接触することで電気的な接続を確保してもよいし、例えば、一方をピン形状として他方を孔形状とすることにより、支柱20の装着時にピンが孔に挿入されることで電気的な接続を確保してもよい。
 レボルバユニット200(レボルバ支持部30及び駆動機構40)は、支柱20(支柱下部20b)の+X側の側面に取り付けられ、支柱20(支柱下部20b)から+X方向に延びて配置される。支柱20の+X側の側面は、接眼レンズ13が設置されている方向に向いた面であり、観察時における観察者側に相当する。従って、レボルバユニット200は、X方向における支柱20と接眼レンズ13(鏡筒12)との間に挟まれた空間内に配置される。なお、レボルバユニット200の詳細については、別の図面を用いて後述する。
 ステージ部材50は、レボルバユニット200の上方において、支柱20(支柱下部20b)の+X側の側面に取り付けられる。ステージ部材50は、試料を保持する。ステージ部材50は、上下方向(Z方向)に貫通する貫通孔を備えている。試料は、ガラス板等の透明な板材に載置された状態、あるいは、ガラス容器などの透明な容器に収容された状態でステージ部材50に保持される。このとき、ガラス板あるいはガラス容器等は、上記した貫通孔に試料が配置されるようにステージ部材50に保持される。なお、ステージ部材50は、ガラス板あるいはガラス容器等を所定位置に保持するための治具を備えてもよい。
 また、ステージ部材50は、X方向及びY方向(水平方向あるいは光軸AXに直交する方向)に移動可能であってもよい。また、ステージ部材50は、上下方向(Z方向)あるいは光軸AXに沿った方向に移動可能であってもよい。このようなステージ部材50の移動は、ユーザーが手動で行ってもよいし、電動モータ等の駆動源を用いて行ってもよい。駆動源を用いる場合、移動量等に関する制御信号、及び駆動源への電力の供給は、支柱20の接続部21を介して基台11から行ってもよい。また、ステージ部材50の移動を操作する操作部が基台11に設けられてもよい。
 第1照明系60は、支柱20の上部に取り付けられる。第1照明系60の出射側は、ステージ部材50の上方に配置される。第1照明系60は、ステージ部材50に保持された試料に対して透過照明を行う。第1照明系60は、例えば、ハロゲンランプあるいは白色LEDなどの白色光あるいは可視光(波長がブロードな光)を出射する光源と、光源から出射した光を案内するリレーレンズ、各種フィルタ、開口絞り、及び視野絞りなどの光学素子を有する照明光学系と、を備える。なお、第1照明系60は、光軸AXに沿って照明光を出射するが、これに限定されず、光軸AXに対して傾斜した状態で照明光を出射してもよい。
 第1照明系60から出射した照明光は、試料を上方(+Z側)から照明する。試料を透過した透過光(観察光)は、後述する対物レンズ32を介して、基台11及び鏡筒12内の光路を通り、接眼レンズ13に導かれる。ユーザーは、接眼レンズ13を覗くことにより、ステージ部材50に保持された試料を第1照明系60からの照明光により観察可能である。また、撮像素子を具えた撮像装置を配置することで、撮像素子での観察光の受光を行うことも可能である。なお、第1照明系60は、光源を備えなくてもよい。例えば、光源は第1照明系60の外部に配置されて光ファイバ等により照明光を第1照明系60に供給してもよい。また、第1照明系60を備えるか否かは任意であり、第1照明系60はなくてもよい。
 第2照明系70は、支柱20(支柱下部20b)の-X側の側面に取り付けられる。第2照明系70の出射側は、ステージ部材50及びレボルバユニット200の下方に配置される。支柱20には、第2照明系70からの光を通すための貫通孔を備えている。第2照明系70は、ステージ部材50に保持された試料に対して落射照明を行う。また、第2照明系70は、落射照明を行う他に、顕微鏡装置100を蛍光顕微鏡として使用する場合、蛍光物質に対する活性化光あるいは励起光の照射を行う。第2照明系70は、落射照明用あるいは蛍光観察用のいずれかに交換可能である。
 第2照明系70が落射照明を行う場合、第2照明系70は、例えば、ハロゲンランプあるいは白色LEDなどの白色光あるいは可視光(波長がブロードな光)を出射する光源と、光源から出射した光を案内するリレーレンズ、各種フィルタ、開口絞り、及び視野絞りなどの光学素子を有する照明光学系と、を備える。また、第2照明系70は、ミラー72を有する。第2照明系70が落射照明を行う場合、ミラー72は、例えばハーフミラーが用いられる。ミラー72は、光軸AX上に配置され、レボルバユニット200の下側に設けられる光学ユニット72a内に収容されている。
 第2照明系70から出射した照明光は、ミラー72で反射して試料を下方(-Z側)から照明する。この照明光による試料からの反射光は、ミラー72を透過し、後述する対物レンズ32を介して、基台11及び鏡筒12内の光路を通り、接眼レンズ13に導かれる。ユーザーは、接眼レンズ13を覗くことにより、ステージ部材50に保持された試料を第2照明系70からの照明光により観察可能である。なお、第2照明系70は、落射照明用の光源を備えなくてもよい。例えば、光源は第2照明系70の外部に配置されて光ファイバ等により照明光を第2照明系70に供給してもよい。
 また、顕微鏡装置100を蛍光顕微鏡として使用する場合、第2照明系70は、ステージ部材50に保持される試料に含まれる蛍光物質を活性化する活性化光、あるいは蛍光物質を励起して蛍光を生じさせる励起光のいずれか一方を出射する。なお、活性化光あるいは励起光のいずれか他方は、後述する第3照明系80から出射する。第2照明系70は、活性化光あるいは励起光に相当する波長の光を出射するレーザ光源と、レーザ光源から出射した光を案内するリレーレンズ、各種フィルタ、開口絞り、及び視野絞りなどの光学素子を有する照明光学系と、を備える。
 第2照明系70が活性化光あるいは励起光を出射する場合、ミラー72は、例えばダイクロイックミラーが用いられる。ダイクロイックミラーは、活性化光あるいは励起光の波長の光を反射し、蛍光の波長を透過する。例えば、第2照明系70から出射する光を活性化光とすると、この活性化光は、ミラー72で反射されて、下方(-Z側)から試料に照射する。活性化光の照射の後、あるいは活性化光の照射と同時に、後述する第3照明系80から励起光を出射して試料に照射する。
 試料内の蛍光物質は、活性化光及び励起光の照射により励起して蛍光を発する。この蛍光は、ミラー72を透過し、後述する対物レンズ32を介して、基台11及び鏡筒12内の光路を通り、接眼レンズ13に導かれる。ユーザーは、接眼レンズ13を覗くことにより、試料から生じた蛍光を観察可能である。なお、第3照明系80から活性化光を出射し、第2照明系70から励起光を出射してもよい。また、第3照明系80を用いずに、第2照明系70で光源を切り替えることにより、第2照明系70から活性化光及び励起光を切り替えて出射してもよい。
 なお、第2照明系70は、活性化光あるいは励起光を出射する光源を備えなくてもよい。例えば、光源は第2照明系70の外部に配置されて光ファイバ等により活性化光あるいは励起光を第2照明系70に供給してもよい。また、第2照明系70を備えるか否かは任意であり、第2照明系70はなくてもよい。
 顕微鏡装置100は、図2に示すように、基台11に支柱20が装着されて使用されるが、上記したように、顕微鏡装置100を蛍光顕微鏡として使用する場合や、ステージ部材50の位置を上方に持ち上げたい場合には、図1に示すように、基台11と支柱20との間にスペーサ90を配置する。なお、図2に示すように、支柱20は、基台11の上面にボルト等の不図示の締結部材により固定されており、スペーサ90を装着する場合は、この締結部材を外すことにより基台11から支柱20を取り外すことができる。
 また、図2に示すように、鏡筒12の-X側には支持部12aが設けられており、ステージ部材50の+X側に設けられた被支持部50aを支持している。このように、支持部12aによって被支持部50aを支持することにより、ステージ部材50の揺れあるいは振動を抑制している。支持部12aと被支持部50aとは、ボルト等の不図示の締結部材により固定されており、スペーサ90を装着する場合は、この締結部材を外すことにより支持部12aから被支持部50aを取り外すことができる。
 図1に示すように、スペーサ90は、支柱用スペーサ91と、ステージ用スペーサ92とが使用される。スペーサ90は、顕微鏡装置100に対して第3照明系80を装着する場合、または、ベース部10に対してステージ部材50を上方(+Z方向)に調整する場合に使用され、両スペーサのZ方向の寸法は同じである。
 支柱用スペーサ91は、基台11と支柱20との間に配置される。支柱用スペーサ91は、基台側接続部93と、支柱側接続部94とを有する。基台側接続部93は、支柱用スペーサ91が基台11に装着された場合に、基台11の接続部15に電気的に接続される端子である。支柱側接続部94は、支柱用スペーサ91に支柱20が装着された場合に、支柱20の接続部21に電気的に接続される端子である。
 また、支柱用スペーサ91は、基台側接続部93と支柱側接続部94とを電気的に接続するリード線91cを備えている。これにより、支柱用スペーサ91を基台11と支柱20との間に装着した際、接続部15と基台側接続部93とが接続され、また、支柱側接続部94と接続部21とが接続される。その結果、基板Mからの制御信号及び電力供給は、基台側接続部93、リード線91c、及び支柱側接続部94を介して接続部21に送られ、上記のように駆動機構40あるいはその他の部材の制御が可能となっている。
 ステージ用スペーサ92は、例えば矩形の板状に形成される。ステージ用スペーサ92は、鏡筒12の支持部12aとステージ部材50の被支持部50aとの間に配置される。ステージ用スペーサ92は、レボルバユニット200の+X側に配置される。ステージ用スペーサ92は、支柱用スペーサ91の装着によってステージ部材50が上方に持ち上げられる場合であっても被支持部50aを支持することによりステージ部材50の揺れまたは振動を抑制することが可能となる。
 支柱用スペーサ91は、下面に、基台11のネジ孔11aとネジ結合可能な固定ネジ91aを備えており、また、上面に、支柱20の固定ネジ20aとネジ結合可能なネジ孔91bを備えている。支柱用スペーサ91の下面の孔部(不図示)に基台11のピン11bが挿入されることにより、支柱用スペーサ91が基台11に対して位置決めされる。さらに、支柱用スペーサ91の上面には、支柱20の下面に設けられた孔部(不図示)に挿入可能なピン91dを備えている。このピン91dが支柱20の下面の孔部に挿入されることにより、支柱20が支柱用スペーサ91に対して位置決めされる。この状態で、固定ネジ91aがネジ孔11aとネジ結合し、かつ、固定ネジ20aがネジ孔91bとネジ結合することにより、支柱20が支柱用スペーサ91を介して基台11に取り付けられる。なお、詳細な説明は省略するが、ステージ用スペーサ92においてもピンあるいは孔部を用いることにより位置決めを行っている。
 また、ステージ用スペーサ92と鏡筒12の支持部12aとの間、及び、ステージ用スペーサ92とステージ部材50の被支持部50aとの間は、例えば、上記した支柱用スペーサ91と同様に固定ネジ等の不図示の締結部材により固定される。
 なお、支柱20は、レボルバユニット200、ステージ部材50、第1照明系60、及び第2照明系70が取り付けられている。したがって、支柱20を基台11から取り外す際、及び支柱20を支柱用スペーサ91に取り付ける際には、これらレボルバユニット200、ステージ部材50、第1照明系60、及び第2照明系70が、支柱20と一体となって取り外し及び取り付けが行われる。また、支柱下部20bには、レボルバユニット200、ステージ部材50、及び第2照明系70が取り付けられている。したがって、支柱下部20bは、レボルバユニット200、ステージ部材50、及び第2照明系70を保持したまま、第1照明系60を支持する支柱上部と分離可能である。基台11と対物レンズユニット(レボルバユニット200)は分離可能である。
 支柱用スペーサ91には、図1に示すように、第3照明系(照明装置)80を装着可能である。第3照明系80は、支柱用スペーサ91の-X側の側面に取り付けられる。第3照明系80は、第2照明系70の下方(-Z側)に配置される。支柱用スペーサ91には、第3照明系80からの光を通すための貫通孔を備えている。顕微鏡装置100を蛍光顕微鏡として使用する場合、第3照明系80は、上記したように、ステージ部材50に保持される試料に含まれる蛍光物質を活性化する活性化光、あるいは蛍光物質を励起して蛍光を生じさせる励起光のいずれか一方を出射する。
 第3照明系80は、活性化光あるいは励起光に相当する波長の光を出射するレーザ光源と、レーザ光源から出射した光を案内するリレーレンズ、各種フィルタ、開口絞り、及び視野絞りなどの光学素子を有する照明光学系と、を備える。また、第3照明系80は、ミラー82を有する。第3照明系80が活性化光あるいは励起光を出射する場合、上記した第2照明系70のミラー72と同様に、ミラー82は、例えばダイクロイックミラーが用いられる。ミラー82は、光軸AX上に配置され、ミラー72を含む光学ユニット72aの下側に設けられる光学ユニット82a内に収容されている。
 例えば、第3照明系80から出射する光を励起光とすると、この励起光は、ミラー82で反射された後にミラー72を透過して(あるいはミラー72を光軸AXから退避させて)、下方(-Z側)から試料に照射する。試料内の蛍光物質からの蛍光は、ミラー82を透過し、後述する対物レンズ32を介して、基台11及び鏡筒12内の光路を通り、接眼レンズ13に導かれる。ユーザーが、接眼レンズ13を覗くことにより、試料から生じた蛍光を観察可能である点は上記のとおりである。
 なお、第2照明系70を用いずに、第3照明系80で光源を切り替えることにより、第3照明系80から活性化光及び励起光を切り替えて出射してもよい。また、第3照明系80は、光源を備えなくてもよい。例えば、光源は第2照明系70の外部に配置されて光ファイバ等により白色光、活性化光あるいは励起光を第3照明系80に供給してもよい。また、支柱用スペーサ91を装着した場合であっても、第3照明系80を備えるか否かは任意であり、第3照明系80はなくてもよい。
 また、第3照明系80は、ステージ部材50に保持された試料に対して落射照明を行ってもよい。第3照明系80は、落射照明用あるいは蛍光観察用のいずれかに交換可能である。第3照明系80が落射照明を行う場合、上記した第2照明系70と同様の構成が適用される。その際、ミラー82は、例えばハーフミラーが用いられる。
 続いて、レボルバユニット200について説明する。レボルバユニット200は、支柱20の+X側の側面に取り付けられる。図3は、実施形態に係るレボルバユニット200の一例を示す斜視図である。図4は、レボルバユニット200を分解して示す分解斜視図である。図3及び図4に示すように、レボルバユニット200は、レボルバ支持部30と、駆動機構40とを備える。
 レボルバ支持部30は、レボルバ(対物レンズ保持部材)31を支持する。レボルバ31は、複数の対物レンズ32が装着される。レボルバ31は、例えば、Z軸から傾斜した軸周り方向に回転可能に設けられる。レボルバ31を回転させることにより、複数の対物レンズ32のうちのいずれかの対物レンズ32を光軸AX上(観察位置)に配置することができる。これにより、複数の対物レンズ32は、切り替え可能である。レボルバ31は、複数の対物レンズ32に加えて、収差補正用レンズが装着されてもよい。
 レボルバ31は、複数の対物レンズ32に加えて、収差を補正する機能を有する対物レンズ(収差補正用対物レンズ)39が装着されてもよい。収差補正用対物レンズ39は、例えば色収差を補正するレンズや、球面収差を補正するレンズ、非点収差を補正するレンズ、像面湾曲を補正するレンズ等が搭載された対物レンズである。補正可能な収差の種類が多くなるほど、1つの収差補正用対物レンズ39に搭載されるレンズの数が多くなる。このため、収差補正用対物レンズ39は、対物レンズ32に比べて、重量が大きくなっている。収差補正用対物レンズ39は、1つのレボルバ31に1つ又は複数装着することができる。
 レボルバ31は、ユーザーの手動により回転してもよいし、電動モータ等の駆動源によって回転してもよい。駆動源は、例えば、レボルバ支持部30に配置される。この駆動源への制御信号や電力の供給は、後述する駆動機構40と同様に、基台11から支柱20を介して行ってもよい。また、電動モータ等でレボルバ31を回転させる場合、操作部は基台11に配置されてもよいし、顕微鏡装置100から離れたリモートコントロールユニット等に配置されてもよい。なお、レボルバ31は、回転位置を保持する任意の構成を有しており、選択した対物レンズ32を光軸AX上に保持している。
 レボルバ支持部30は、レボルバ装着部33と、駆動力受部34とを有する。レボルバ装着部33は、レボルバ31が装着される。レボルバ装着部33は、ボルトなどの不図示の固定部材によりレボルバ31を固定可能であり、また、ボルトを取り外すことにより他のレボルバと交換可能である。なお、レボルバ31は、レボルバ装着部33に装着された状態であっても回転可能な状態が維持される。駆動力受部34は、レボルバ装着部33の-Y側の側面に取り付けられる。駆動力受部34は、-Y方向に突出する部分を有している。この突出部分は、駆動機構40からの駆動力を受ける部分である。また、レボルバ装着部33は、第2照明系70からの光を通過させるための貫通孔33bを有している。
 レボルバ装着部33は、基部35及びガイド部36を介して支柱20に保持される。基部35は、支柱20の+X側の側面にボルトなどの不図示の固定部材により取り付けられる。ガイド部36は、基部35の+X側の側面にボルトなどの不図示の固定部材により取り付けられる。ガイド部36の+X側は、レボルバ装着部33の一部を嵌め入れて、レボルバ装着部33を上下方向(光軸AX方向)にガイドする形状を備えている。レボルバ装着部33は、ガイド部36により上下方向に移動可能な状態で支柱20に保持されている。
 レボルバ装着部33とガイド部36との間には、ベアリング部37が配置される。ベアリング部37は、レボルバ装着部33をY方向に挟む2か所にそれぞれ配置される。ベアリング部37は、複数のローラベアリングが向きを交互に変えながら上下方向に並んで配置される形態を有する。レボルバ装着部33の+Y側及び-Y側の側面には、上下方向に延びる突出部33aが設けられている。この突出部33aのそれぞれがベアリング部37に接触することにより、レボルバ装着部33の移動を円滑にしている。また、ベアリング部37が突出部33aをガイドすることにより、レボルバ装着部33がX方向に移動することを規制している。
 レボルバ支持部30は、上記のように上下方向に移動可能であり、後述する駆動機構40からの駆動力を駆動力受部34で受けることにより、上下方向に移動する。すなわち、レボルバ支持部30が上下方向に移動することにより、対物レンズ32をステージ部材50(図1または図2参照)に対して近接または離間させることが可能である。また、図4に示すように、2つのガイド部36の間における+X側の面には、+X方向に突出するビス36aが設けられている。このビス36aは、レボルバ装着部33の-X側の面に設けられた上下方向の長穴(不図示)に挿入される。レボルバ支持部30は、ビス36a及び長穴によって上下方向の移動範囲(ストローク)が設定される。この移動範囲は、例えば、後述する駆動機構40のカム43が回転して最大径部43bに達する前に上限となるように設定される。これにより、駆動機構40あるいはレボルバ支持部30等の破損を防止している。
 また、レボルバ支持部30は、対物レンズ32(レボルバ31)の上下方向の高さ(光軸AX方向の位置)を自動的に調整するオートフォーカス部38を有している。オートフォーカス部38は、レボルバ31によって選択された対物レンズ32のフォーカス位置に試料が配置されるように、後述する駆動機構40を駆動する。オートフォーカス部38は、例えば、計測用の赤外光を出射する不図示の焦点検出用光源と、焦点検出用光源から出射した赤外光が試料やガラスプレートで反射した反射光を検出する不図示のセンサと、を備えている。光源の種類としては、LED光源、LD光源、レーザ光源等があげられる。また、このオートフォーカス部38は必須のものではなく、レボルバ支持部30と分離された状態で顕微鏡に配置されてもよい。
 オートフォーカス部38は、焦点検出用光源から出射した赤外光が試料に反射した反射光をセンサで検出して、対物レンズ32のフォーカス位置に試料が配置されるように駆動機構40を駆動して対物レンズ32を光軸AXに沿って移動させる。なお、オートフォーカス部38の構成は任意であり、上記した構成に限定されない。また、オートフォーカス部38を動作させるか否かのスイッチは、基台11に配置されてもよいし、顕微鏡装置100から離れたリモートコントロールユニット等に配置されてもよい。光源としては、レーザ、LED、LD(レーザーダイオード)があげられる。
 駆動機構40は、図4に示すように、支柱20に取り付けられた基部35にボルト等の不図示の固定部材により固定される。従って、固定部材を外すことにより駆動機構40を交換可能である。また、本実施の形態では駆動機構40は、レボルバ支持部30の-Y側に配置されるが、顕微鏡の構成によってはこれに限定されるものではない。
 図5は、駆動機構40の一例を示す側面図である。図6は、図5のA-A線に沿った断面図である。図5及び図6に示すように、駆動機構40は、駆動源41と、歯車列42と、カム43と、リンク棒44と、カムフォロア45と、接触部46と、フレーム47と、ピン49と、を有する。なお、ピン49は、図6において記載している。
 駆動源41は、フレーム47に支持される。駆動源41は、レボルバ支持部30を上下方向(光軸AX方向)に移動させるための駆動力を発生させる。駆動源41は、例えば、電動モータ等が用いられる。駆動源41は、例えば、配線等を介して支柱20の接続部21(図1参照)と電気的に接続される。これにより、駆動源41は、基台11の内部に配置された基板M(図1参照)と電気的に接続される。駆動源41は、回転駆動する出力軸41aを有する。
 歯車列42は、駆動源41で生じた駆動力をカム43に伝達する。歯車列42を構成する複数の歯車は、Y方向に平行な軸周りに回転可能な状態でフレーム47に支持される。歯車列42は、複数の歯車を用いることにより、出力軸41aに対して所定の減速比でカム43に伝達する。歯車列42は、図5に示すように、出力軸ギア42aと、第1伝達ギア42bと、第2伝達ギア42cと、第3伝達ギア42dと、カム回転ギア42eと、を有する。歯車列42を構成する出力軸ギア42a、第1伝達ギア42b、第2伝達ギア42c、第3伝達ギア42d、及びカム回転ギア42eは、順次噛み合った状態でフレーム47に支持されている。
 出力軸ギア42aは、出力軸41aに固定され、出力軸41aと一体に回転する。第1伝達ギア42b及び第2伝達ギア42cは、共通の軸42fに固定される。これら第1伝達ギア42b、第2伝達ギア42c、及び軸42fは、一体となって回転する。第1伝達ギア42bは、出力軸ギア42aより外径が大きい。また、第2伝達ギア42cは、第1伝達ギア42bより外径が小さい。第1伝達ギア42bは、出力軸ギア42aに噛み合っている。従って、出力軸41aが回転すると、出力軸ギア42aから第1伝達ギア42bに回転が伝達され、第1伝達ギア42bの回転により第2伝達ギア42cも一体となって回転する。
 第2伝達ギア42cは、第3伝達ギア42dに噛み合っている。第3伝達ギア42dは、不図示の軸によって回転可能に支持されている。第3伝達ギア42dは、第2伝達ギア42cより外径が大きい。第3伝達ギア42dは、第2伝達ギア42cが回転することにより回転する。
 第3伝達ギア42dは、カム回転ギア42eに噛み合っている。カム回転ギア42eは、不図示の軸によって回転可能に支持されている。カム回転ギア42eは、第3伝達ギア42dより外径が小さい。また、カム回転ギア42eは、カム43に固定されており、カム43と一体となって回転する。
 カム43は、カム回転ギア42eを支持する不図示の軸によって回転可能にフレーム47に支持される。従って、カム43は、Y軸周りに回転可能である。カム43は、上記した出力軸41aが回転することにより、歯車列42を介して所定の減速比で回転する。なお、減速比は、歯車列42を構成する各歯車の外径(歯数)、あるいは使用する歯車の数によって調整される。例えば、出力軸41aが数千rpmで回転する場合に、カム43を数rpmから数十rpmとなるような減速比が設定される。
 カム43は、最小径部43aから最大径部43bにかけて、回転中心C1からの距離(半径)がY軸周りに徐々に大きくなっている。最大径部43bと最小径部43aとの間には、段部43cが形成される。なお、最小径部43aから最大径部43bまでの半径の変化率は一定に設定されているが、これに限定されない。例えば、最小径部43aあるいは最大径部43bの近傍では半径の変化率が大きく、中間部分では半径の変化率が小さくなるような形態であってもよい。
 リンク棒44は、棒状の部材であって、歯車列42の上方においてX方向に延びて配置される。リンク棒44は、長手方向の一端側(基端側)が軸部44aによってフレーム47に支持される。リンク棒44は、軸部44aを中心としてY軸周りに回転可能である。従って、リンク棒44は、長手方向の他端側(先端側)がレボルバ支持部30の駆動力受部34を上下させる方向に回転可能である。リンク棒44は、X方向の長さがフレーム47に収まるように設定される。これにより、駆動機構40からリンク棒44の一部が突出しないようにしている。
 カムフォロア45は、リンク棒44の先端側からY方向に突出した状態で取り付けられる。カムフォロア45は、カム43の上方(+Z側)に配置され、リンク棒44の重力により下降しており、カム43に接触する。カムフォロア45は、カム43の回転に伴ってカム43の周面に押されることにより、上下方向(Z方向)に移動する。カムフォロア45は、リンク棒44と一体で設けられるため、カムフォロア45が上下方向に移動することにより、リンク棒44が軸部44aを中心としてY軸周りに回転する。カムフォロア45の中心C2は、カム43の回転中心C1に対してX方向にずれて配置される。
 また、カムフォロア45は、円柱状または円筒状の部材であって、リンク棒44に対して回転可能に取り付けられている。これにより、カム43が回転する場合、カム43の周面が移動することに伴ってカムフォロア45が回転するので、カムフォロア45とカム43との間の摩擦を低減することができ、カムフォロア45の動作を円滑にすることができる。なお、カムフォロア45は、回転可能とすることに限定されず、回転しないカムフォロアであってもよい。また、図示のようなカムフォロア45はなくてもよく、リンク棒44の一部(例えば中間部分)をカムとの係合部材として用いてもよい。この場合、図示のような回転可能な部材とする必要は無く、リンク棒44に固定して配置された、例えば板状の部材でもよい。
 接触部46は、リンク棒44の先端側からY方向に突出した状態で取り付けられる。接触部46は、リンク棒44のうち、カムフォロア45よりも軸部44aから離れた位置、つまり、カムフォロア45より先端側に配置される。したがって、接触部46は、カムフォロア45とともにリンク棒44の長手方向に並んで配置される。接触部46は、リンク棒44及びカムフォロア45と一体となって、リンク棒44の軸部44aを中心とした回転方向に移動する。
 接触部46は、レボルバ支持部30の駆動力受部34に接触した状態で配置される。接触部46は、駆動力受部34を介してレボルバ支持部30の重量を受け止めている。従って、リンク棒44の回転により接触部46が上方に移動することで、駆動力受部34に対して上方向の力を加え、レボルバ支持部30を上方に移動させることが可能となっている。また、接触部46は、カムフォロア45よりも先端側に配置されるため、カムフォロア45よりも、接触部46の上下方向の移動量が大きくなる。よって、リンク棒44は、カムフォロア45の移動量を拡大して接触部46に伝達している。
 また、接触部46は、カムフォロア45と同様に、円柱状または円筒状の部材であって、リンク棒44に対して回転可能に取り付けられている。なお、接触部46は、上方に移動する場合、上記したようにリンク棒44の軸部44aを中心とした周回軌道上を移動する。一方、レボルバ支持部30(駆動力受部34)は上下方向(Z方向)に移動する。このように、接触部46と駆動力受部34とは移動方向が異なるが、接触部46が回転可能であることにより、接触部46が上方に向けて移動する場合、駆動力受部34に対して回転しながら接触する。これにより、接触部46と駆動力受部34との間の摩擦を低減することができ、接触部46の動作を円滑にすることができる。なお、接触部46は、回転可能とすることに限定されず、回転しない接触部であってもよい。また、図示のような接触部46はなくてもよく、リンク棒44の一部(例えば先端部分)を接触部として用いてもよい。さらに、カムフォロア45が接触部46を兼ねていてもよい。この場合、カムフォロア45は上記の様に回転しない係合部材としてもよい。
 フレーム47は、例えば矩形板状に形成される。フレーム47は、ボルトなどの固定部材により基部35(図4参照)に取り付けられる。これにより、フレーム47は、基部35を介して支柱20に固定される。フレーム47が支柱20に固定されることにより、駆動機構40を構成する各部材が支柱20に固定される。このように、フレーム47を基部35に装着することで、駆動機構40の各部材を支柱20に対して固定した位置に配置することができる。
 ピン49は、棒状の部材であって、レボルバ支持部30のレボルバ装着部33から延びて、カム43の+Y側の面に形成された凹部43dに差し込まれた状態で配置される。ピン49は、輸送時やレボルバ支持部30をユーザーが手で持ち上げたときに、レボルバ支持部30が持ち上がる量を制限する。これにより、レボルバ支持部30がストローク上限まで動くことが規制され、その位置から落下しても歯車列42あるいはカム43が損傷する(例えば、打痕が生じるなど)ことを防止できる。
 また、ピン49によりカム43の回転を規制してもよい。また、例えば、カム43の回転量あるいは回転位置をセンサ等で検出し、カムフォロア45が最大径部43bに達した段階で駆動源41の駆動を停止させる構成が適用されてもよい。また、リンク棒44の先端部が最も上昇した位置で動作する接触型のリミットスイッチを配置し、このリミットスイッチが動作した段階(すなわちカムフォロア45が最大径部43bに達した段階)で駆動源41の駆動を停止させる構成が適用されてもよい。上記したセンサまたはリミットスイッチは、接触型あるいは非接触型のいずれが使用されてもよい。
 上記したレボルバユニット200は、基台11に設けられた操作部14を操作することにより、レボルバ支持部30(すなわち選択した対物レンズ32)を上下方向に移動可能である。例えば、操作部14によって駆動源41を駆動し、カム43を回転させることにより、カム43の回転位置に応じてカムフォロア45の高さが決定され、カムフォロア45の高さに応じたリンク棒44の回転位置により接触部46の高さが設定される。接触部46の高さに応じてレボルバ支持部30が上下方向に移動し、選択した対物レンズ32を光軸AXに沿った所望の位置に移動させることができる。すなわち、操作部14を操作することにより、選択した対物レンズ32のフォーカス位置を調整することができる。
 図7は、駆動機構40の動作の一例を示し、リンク棒44が下がった状態を示す図である。図7は、カム43の最小径部43aにカムフォロア45が当接した状態を示している。図7に示す状態では、カムフォロア45がカム43の最小径部43aに接触している。これにより、リンク棒44は、先端側が最も下降した回転位置に配置される。従って、リンク棒44の先端側にある接触部46も、最も下降した位置となる。
 図8は、レボルバ支持部30が下降した状態の一例を模式的に示す図である。図8では、各部材の形状あるいは配置を模式的に示しており、一部の部材については省略して示している。図8は、図7で示すように、カムフォロア45がカム43の最小径部43aに接触している場合のレボルバ支持部30の位置を示している。図8に示すように、カムフォロア45がカム43の最小径部43aに接触していると、上記したように接触部46は最も低い位置となる。従って、レボルバ支持部30は、自重によって接触部46で支持される位置まで下降し、最も下降した状態となる。なお、この状態では、対物レンズ32が最もステージ部材50(試料)から離れている。
 図8に示す状態から操作部14を操作して駆動源41を駆動すると、出力軸41aの回転を歯車列42に伝達し、カム43を回転させる。なお、駆動源41の駆動量(カム43の回転量)は、操作部14を操作する量(例えば回転量)に応じて予め設定されている。カム43の回転方向は、図7では時計回りであり、図8では反時計回りである。カム43の回転によりカムフォロア45の位置も最小径部43aから変更され、カム43の外径が徐々に拡大することに伴って上方に移動していく。なおカム43は、上記した回転方向と逆の方向(図7では反時計回りの方向、図8では時計回りの方向)に回転駆動力を受けた場合、カムフォロア45が段部43cを係止するのでカム43の回転を規制する。
 カムフォロア45が上昇することにより、リンク棒44も先端側が上向きに回転し、接触部46が上昇する。レボルバ支持部30は、接触部46の上昇に伴って駆動力受部34に上向きの力が付与され、ガイド部36に沿って上昇する。これにより、選択された対物レンズ32は、光軸AXに沿ってステージ部材50(試料)に近づく方向に移動する。
 図9は、駆動機構40の動作の一例を示し、リンク棒44が上がった状態を示す図である。図9は、カム43の最大径部43bにカムフォロア45が当接した状態を示している。図9に示す状態では、カムフォロア45がカム43の最大径部43bに接触している。これにより、リンク棒44は、先端側が最も上昇した回転位置に配置される。従って、リンク棒44の先端側にある接触部46も、最も上昇した位置となる。
 図10は、レボルバ支持部30が上昇した状態の一例を模式的に示す図である。図10では、上記した図8と同様に、各部材の形状あるいは配置を模式的に示しており、一部の部材については省略して示している。図10は、図9で示すように、カムフォロア45がカム43の最大径部43bに接触している場合のレボルバ支持部30の位置を示している。図10に示すように、カムフォロア45がカム43の最大径部43bに接触していると、上記したように接触部46は最も高い位置となる。従って、レボルバ支持部30は、接触部46で駆動力受部34が上方に押されることにより、最も上昇した状態となる。なお、この状態では、対物レンズ32が最もステージ部材50(試料)に近づいている。
 なお、図9及び図10に示す状態からさらにカム43を回転させても、ビス36a(図3参照)がレボルバ装着部33の長穴の上端に達して、レボルバ支持部30の上方への移動、すなわち、リンク棒44の上方への移動が規制される。その結果、カム43の回転が規制され、段部43cを超えないので、一旦上昇したレボルバ支持部30が急に下降することはない。また、レボルバ支持部30を下降させる際は、操作部14を操作してカム43を上記と逆向き(図9では反時計回り、図10では時計回り)に回転させることで接触部46を下降させる。レボルバ支持部30は、接触部46の下降に伴って自重により下降する。
 このように、操作部14を操作することにより対物レンズ32を光軸AXに沿って移動させることができる。従って、ユーザーは、例えば、接眼レンズ13(図1及び図2参照)を覗きながら、操作部14を操作することにより対物レンズ32を移動させ、試料に対して所望のフォーカス位置に対物レンズ32を配置することが可能となる。なお、オートフォーカス部38(図3及び図4参照)を駆動させる場合、オートフォーカス部38の検出結果により駆動機構40を駆動し、レボルバ支持部30(対物レンズ32)の位置を調整することが可能である。
 本実施形態では、上記のように、顕微鏡装置100にスペーサ90を装着してレボルバ支持部30を基台11から離れて配置可能であるが、スペーサ90を装着した場合であっても駆動機構40が支柱20に配置されるため、駆動機構40からレボルバ支持部30までの距離が変化しない。すなわち、特許文献1のように駆動部が配置されている基台と駆動部によって移動させられるレボルバ間の距離が長くなることがない。従って、スペーサの配置前後での基台とレボルバ間の距離は同じであり、基台に対するレボルバの横方向の揺れが大きくなることがない。これにより、試料を高精度に観察することが可能となる。
 また、具体的には、例えば、駆動部を基台11内に収容し、駆動部が焦準装置を上下に移動させ、この焦準装置にレボルバを装着するレボルバ支持部が配置される従来の構成では、スペーサは、レボルバ支持部と焦準装置の間に配置される。これにより、振動によるXY方向の揺れへの影響が大きくなることに加え、環境温度の変化などにより伝達経路を構成する部材の熱膨張による変形の影響が大きくなる場合も有り、対物レンズ32のXY方向の位置がずれてしまう可能性がある。これに対して、本実施形態では、スペーサ90を装着しない時でも、従来の構成と比較して駆動機構40(駆動源41)とレボルバ支持部30(対物レンズ32)との間の距離が短く、これら駆動源41、駆動機構40、及びレボルバ支持部30が支柱下部20bに配置されるので、対物レンズ保持部材であるレボルバ31の上下動を安定させることができる。また、本実施形態では、スペーサ90の装着時であっても駆動源41とレボルバ支持部30との間の位置関係が変わることはなく、スペーサ90の配置前後における環境温度の変化などによる部材の変形による影響に変化がなく、対物レンズ32のXY方向の位置が変動するのを抑制できる。すなわち、スペーサ90の配置前後での環境温度によって対物レンズ32のフォーカス位置がずれてしまう現象が生じることがない。これにより、試料を高精度に観察することが可能となる。
 また、例えば、駆動部を基台11内に収容した従来の構成では、スペーサ90の装着時にレボルバ支持部30までの駆動力の伝達機構をスペーサ90の分だけ延長しなければならず、駆動力の伝達経路が長くなる。これにより、環境温度の変化などにより伝達経路を構成する部材の熱膨張による変形が大きくなり、対物レンズ32の位置がずれてしまう可能性がある。これに対して、本実施形態では、スペーサ90の装着時であっても駆動源41からレボルバ支持部30までの駆動力の伝達経路が短いので、環境温度の変化などによる部材の変形が小さく、対物レンズ32の位置が変動するのを抑制できる。すなわち、環境温度によって対物レンズ32のフォーカス位置がずれてしまう現象が生じにくくなる。これにより、試料を高精度に観察することが可能となる。
 また、駆動部を基台11内に収容した上記構成で、例えばスペーサ90をレボルバ支持部30と伝達機構との間に配置する場合は、スペーサ90の装着時にレボルバ支持部30と伝達機構間の距離が長くなる。これに対し、本実施形態では、スペーサ90の装着時あるいはスペーサ90を取り外す際であっても伝達機構とレボルバ支持部間の位置関係の変更が不要であり、スペーサ90の装着あるいは取り外しに他の作業が不要であり、ユーザーの取扱性を向上させることができる。
 以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、本実施形態の構成の一部は省略されることがある。例えば、上記した実施形態では、一つの駆動機構40によりレボルバ支持部30を移動しているが、これに限定されない。例えば、2以上の駆動機構40をレボルバユニット200に搭載してもよい。この場合、2以上の駆動機構40を同時に制御してもよく、または、一つの駆動機構40をメインの駆動機構として用い、他の駆動機構40をサブまたはバックアップ用として用いてもよい。
 また、上記した実施形態では、駆動機構40が歯車列42を用いて駆動源41の駆動力をカム43に伝達しているが、これに限定されない。例えば、ベルトあるいはチェーンを用いて駆動力を伝達してもよい。この場合、駆動源41の出力軸41aに駆動プーリあるいは駆動スプロケットが取り付けられ、カム43に従動プーリあるいは従動スプロケットが取り付けられ、両者間をベルトあるいはチェーンで架け渡された構成であってもよい。なお、プーリあるいはスプロケットの外径を駆動側と従動側とでそれぞれ設定することにより、所定の減速比で駆動力をカム43に伝達することが可能である。
 また、上記した実施形態では、駆動機構40が、カム43によってリンク棒44を回転させて接触部46を昇降させているが、これに限定されない。例えば、リンク棒44を用いずに、カム43のカム面によってレボルバ支持部30の駆動力受部34を直接上方に押すような構成であってもよい。
 また、上記した実施形態では、駆動機構40が、歯車列42、カム43、及びリンク棒44としった部材を用いて駆動源41の駆動力をレボルバ支持部30に伝達しているが、これに限定されない。例えば、ラックとピニオンギアとを用いて、駆動源41の駆動力をレボルバ支持部30に伝達してもよい。例えば、駆動源41の出力軸41aをピニオンギアに伝達し、上下方向に移動可能な棒状のラックとピニオンギアとを噛み合わせ、駆動源41を駆動することによりラックを上下方向に移動させる。このラックの上端をレボルバ支持部30の駆動力受部34の下面に接触させることにより、ラックの昇降に伴ってレボルバ支持部30を昇降させることが可能である。
 また、駆動機構40としてラックとピニオンギアとを用いる場合、例えば、レボルバ支持部30にラックを取り付け、駆動源41を駆動してピニオンギアを回転させることにより、ラックと一体のレボルバ支持部30を昇降させる構成であってもよい。この場合、レボルバ支持部30に駆動源41及びピニオンギアを配置して、例えば駆動機構40のフレーム47にラックが配置されてもよい。
 AX・・・光軸、10・・・ベース部、11・・・基台、12・・・鏡筒、13・・・接眼レンズ、14・・・操作部、15,21・・・接続部、20・・・支柱、20b・・・支柱下部(支持部材)30・・・レボルバ支持部、31・・・レボルバ(対物レンズ保持部材)、32・・・対物レンズ、33・・・レボルバ装着部、34・・・駆動力受部、36・・・ガイド、40・・・駆動機構、41・・・駆動源、41a・・・出力軸、42・・・歯車列、43・・・カム、43a・・・最小径部、43b・・・最大径部、43c・・・段部、44・・・リンク棒、44a・・・軸部、45・・・カムフォロア、46・・・接触部、47・・・フレーム、49・・・ピン、50・・・ステージ部材、60・・・第1照明系(照明装置)、70・・・第2照明系(照明装置)、72,82・・・ミラー、80・・・第3照明系(照明装置)、82a・・・光学ユニット、90・・・スペーサ、91・・・支柱用スペーサ、92・・・ステージ用スペーサ、93・・・基台側接続部、94・・・支柱側接続部、100・・・顕微鏡装置、200・・・レボルバユニット(対物レンズユニット)

Claims (11)

  1.  基台と、
     前記基台上に立設して配置される支持部材と、
     前記支持部材に支持され、対物レンズを保持する対物レンズ保持部材を備える対物レンズユニットと、を備え、
     前記対物レンズユニットは、前記対物レンズ保持部材を上下動させる駆動源と前記駆動源の駆動力を前記対物レンズ保持部材に伝達する駆動機構とを備える、顕微鏡装置。
  2.  前記支持部材は、標本を配置するステージ部材をさらに支持する、請求項1に記載の顕微鏡装置。
  3.  前記支持部材は、照明装置を備える照明支柱の一部、あるいは照明支柱を支持する部材である、請求項1又は請求項2に記載の顕微鏡装置。
  4.  前記基台と前記対物レンズユニットは分離可能である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。
  5.  前記基台と前記対物レンズユニットは分離可能であり、
     前記基台と前記対物レンズユニットとを分離した状態において前記基台と前記対物レンズユニットとの間に配置可能なスペーサを有し、
     前記対物レンズユニットは、前記スペーサを介して前記基台上に配置される、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。
  6.  前記スペーサを介して前記基台に前記対物レンズユニットが配置された状態において、前記スペーサは、前記基台と前記対物レンズユニットとの間を電気的に接続する接続部を備える、請求項5に記載の顕微鏡装置。
  7.  前記基台の接続部は、前記基台上面部であって観察者側に対して奥側に設けられる、請求項6に記載の顕微鏡装置。
  8.  前記スペーサを介して前記基台に前記支持部材を配置した状態において、前記基台と前記対物レンズユニットとの間に光学ユニットを配置可能である、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。
  9.  前記顕微鏡装置は、倒立顕微鏡である、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。
  10.  顕微鏡装置の基台に対して着脱可能とする着脱機構と、
     対物レンズが装着される対物レンズ保持部材と、
     前記対物レンズ保持部材を上下動させる駆動源と、
     前記駆動源の駆動力を前記対物レンズ保持部材に伝達する駆動機構と、を備え、
     前記基台に立設する支持部材に装着される、対物レンズユニット。
  11.  前記駆動機構は、前記支持部材に沿って前記対物レンズユニットの移動を案内するガイドを有する、請求項10に記載の対物レンズユニット。
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