WO2018016118A1 - 分析システム、クリーニングシステム及びクリーニング方法 - Google Patents

分析システム、クリーニングシステム及びクリーニング方法 Download PDF

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WO2018016118A1
WO2018016118A1 PCT/JP2017/009326 JP2017009326W WO2018016118A1 WO 2018016118 A1 WO2018016118 A1 WO 2018016118A1 JP 2017009326 W JP2017009326 W JP 2017009326W WO 2018016118 A1 WO2018016118 A1 WO 2018016118A1
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WO
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unit
cleaning agent
detection target
analysis system
introduction
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/009326
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English (en)
French (fr)
Inventor
高田　安章
峻 熊野
Original Assignee
株式会社日立製作所
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
    • G01N27/622—Ion mobility spectrometry
    • G01N27/623—Ion mobility spectrometry combined with mass spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples

Definitions

  • the present invention relates to an analysis system, a cleaning system, and a cleaning method having a function of removing substances remaining in the system.
  • Patent Document 1 states that “the air-feeding part that peels the sample attached to the object, the suction part that sucks the sample peeled off from the object, and the conical fine particle concentrating part are concentrated on the sucked sample.
  • Particulate collecting part to be collected a large-capacity suction part provided above the particulate concentrating part, a particulate collecting filter provided at a small radius part of the particulate concentrating part, and a small part of the particulate concentrating part
  • a heating unit that heats the particulate collection filter provided in a radius portion, and a small capacity that continuously sucks the sample collected by the particulate collection filter and vaporized by the heating from the back surface of the particulate collection filter
  • a control unit A database
  • Japanese Patent Laid-Open No. 2004-228688 has a “detection means for detecting the size (vertical and horizontal dimensions) of an inspection object, and 15 m from a plurality of air nozzles on the surface of the inspection object depending on the size of the inspection object detected by the detection means.
  • a deposit inspection apparatus and an inspection method are disclosed (selecting an air nozzle capable of injecting an air jet of at least / s and performing air jet injection) (see summary).
  • the analysis system (analyzer) described in Patent Document 1 and Patent Document 2 can detect dangerous substances.
  • the analysis system since the analysis system is used in a place such as an airport, for example, consideration must be given differently from a general analysis device used in a laboratory or an analysis center. For example, if a so-called false alarm occurs when a non-hazardous particle is mistakenly determined as a dangerous substance, a careful check must be performed on the person or baggage, resulting in increased convenience. descend. Therefore, an analyzer that frequently generates false alarms is not socially acceptable.
  • Error As described above, a substance that is not dangerous due to an error is determined as a dangerous substance.
  • Residue When some of the dangerous materials detected in the past remain in the analysis system, and false alarms occur due to the detection of the residue at an unexpected timing.
  • the frequency at which dangerous goods are actually detected is low in places where actual devices such as airports are used.
  • a check using an evaluation reagent containing a trace amount of dangerous substances is performed in order to confirm the operation status and sensitivity of the analysis system. If this evaluation reagent remains in the analysis system, the evaluation reagent may reach the analysis unit at an unintended timing. As a result, a false alarm is generated. Further, if the analysis system is left as it is after the dangerous substance is actually detected, the dangerous substance remaining in the analysis system may reach the analysis unit, and a false alarm may be issued. Therefore, it is important to clean the analysis system after detection of dangerous substances and to remove the evaluation reagent used for checking the analysis system.
  • the so-called baking that decomposes and cleans the analysis system or heats and removes the place where the detection target substance remains is removed. Is done.
  • disassembly cleaning and baking require 20-30 minutes to restore the analytical system to a reusable state.
  • the analysis system becomes unusable. For this reason, for example, when an analysis system is used for detection of dangerous goods at an airport or the like, the inspection throughput decreases, and many users wait.
  • the present invention has been made in view of such a background, and an object of the present invention is to realize simple cleaning that prevents and reduces false alarms.
  • one means of the present invention includes an introduction unit in which a granular detection target substance is introduced together with an air stream, an analysis unit that analyzes the introduced detection target substance, and the detection target substance A negative pressure generating part that generates a negative pressure to be sucked into the analysis part, and a cleaning agent introduction part for introducing a cleaning agent is provided between the introduction part and the analysis part.
  • another means of the present invention includes an introduction part in which a granular substance to be analyzed is introduced together with an air flow, and a negative pressure generation part that generates a negative pressure, and the introduction part and the negative pressure generation
  • a cleaning agent introducing portion for introducing a cleaning agent is provided between the two portions.
  • Still another means of the present invention includes an introduction unit in which a granular detection target substance is introduced together with an air flow, an analysis unit that analyzes the introduced detection target substance, and the detection target substance is sucked into the analysis unit.
  • the negative pressure generating unit that generates negative pressure, the introduction unit, the cleaning agent introduction unit that introduces a cleaning agent between the analysis unit, and the information acquired from the analysis unit, the acquired
  • a control unit that controls the cleaning agent introduction unit based on the information, and when the control unit detects the detection of the detection target substance based on the information acquired from the analysis unit, the cleaning agent introduction unit
  • the cleaning agent is introduced into the introduction unit, the analysis unit performs analysis, and the control unit detects the detection of the detection target substance based on information acquired from the analysis unit. That the ring material introduction part for introducing the cleaning agent into the introduction part, the detection target substance and repeating until no detected.
  • Other solutions are described in the embodiments.
  • FIG. (1) which shows the effect of the analysis system which concerns on this embodiment.
  • FIG. (2) which shows the effect of the analysis system which concerns on this embodiment.
  • FIG. (3) which shows the effect of the analysis system which concerns on this embodiment.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of an analysis system according to the first embodiment.
  • cleaning that is a feature of the present embodiment will be described.
  • the compressed air A is ejected from the nozzle 2.
  • fine particles adhering to the surface of the inspection object are peeled off.
  • inspection objects such as hands, clothes, cards C, bags, etc., but here, representatively, the hand (not shown) and fine particles attached to the cards C are analyzed when the card C is held over. An example will be described.
  • the suction port 3 has a negative pressure due to suction by the suction pump 201.
  • Fine particles hereinafter referred to as a detection target substance
  • the intake port 3 is connected to an exhaust fan 6 via an L-shaped introduction pipe (introduction part) 4 and a cyclone (concentration part, cyclone type enrichment part) 5.
  • a cleaning agent introducing portion 1 is provided in the vicinity of the intake port 3.
  • the introduction tube 4 has an L shape, but the shape of the introduction tube 4 is not limited to the L shape.
  • the detection target substance introduced into the cyclone 5 from the intake port 3 through the introduction pipe 4 comes into contact with the inner wall surface of the cyclone 5 and loses momentum.
  • the detection target substance that has lost its momentum falls toward the primary filter 7 provided in the vaporizer 8 by gravity. The movement of the detection target substance in the cyclone 5 will be described later.
  • the primary filter 7 is heated by a heater (not shown) provided in the vaporizer 8.
  • the detection target substance that has fallen on the primary filter 7 is heated and vaporized by the heater.
  • Vapor generated by vaporization is analyzed by a gas analyzer such as a gas chromatograph, ion mobility, mass spectrometer (analyzer) 20 or the like.
  • a gas analyzer judges whether the component made into the detection object was detected by comparing the obtained analysis result with the data of the gas component stored in the database which is not illustrated. Then, when a component to be detected is detected, the gas analyzer performs notification (for example, an alarm is issued) that the component to be detected is detected.
  • the vapor generated in the vaporizer 8 is introduced into the mass spectrometer 20 by an intake pump (negative pressure generating unit) 201.
  • a secondary filter 202 is provided in a pipe for introducing steam.
  • a high voltage of several kV is applied between the needle electrode 203 and the counter electrode 204 to generate a corona discharge D at the tip of the needle electrode 203. Ions generated by the corona discharge D, for example, oxygen molecular ions react with the vapor generated in the vaporizer 8 to ionize the components of the vapor.
  • the component of the ionized vapor is introduced into the vacuum unit 209 through the differential exhaust unit 208 having the first pore 205, the second pore 206, and the third pore 207.
  • the differential exhaust unit 208 and the vacuum unit 209 are exhausted by vacuum pumps 210a to 210c such as a roughing pump and a turbo molecular pump.
  • the differential exhaust unit 208 may be provided with an ion guide such as an octopole 211. Ions introduced into the vacuum unit 209 are captured by the electric field generated by the quadrupole rod 213 and the confinement wire 215 constituting the analyzer 212.
  • the quadrupole rod 213 changes the resonance frequency of the captured ions by changing the amplitude of the applied high frequency. Ions that match the frequency of the high frequency applied to the excitation electrode 214 provided in the analyzer 212 overcome the electric field of the confinement wire 215. Further, the ions are discharged in the direction of the ion detector 217 by the electric field generated by the lead wire 216 provided in the analyzer 212. As a result, ions that match the frequency of the high frequency applied to the excitation electrode 214 are detected by the ion detector 217. A signal (analysis result) detected by the ion detector 217 is sent to the data processing device (analysis unit) 31.
  • the data processing device 31 stores information on components to be detected in a database (not shown).
  • the data processing device 31 collates the analysis result with the database to determine the presence or absence of the component that is the detection target.
  • cleaning is performed autonomously. That is, when it is determined that the component that is the detection target is detected in the data processing device 31, the information is sent to the control device (control unit) 32.
  • the control apparatus 32 controls the cleaning agent introduction part 1, and generates a cleaning agent. Since the cleaning is performed autonomously, the control device 32 and the cleaning agent introducing unit 1 may be connected by a signal line L.
  • the data processing device 31 and the control device 32 may be an integrated device.
  • typical parameters for detecting the explosive fine particles are as follows. -The pressure of the compressed air A injected from the nozzle 2 is 0.2 MPa. The flow rate of the gas sucked from the intake port 3 by the exhaust fan 6 is 50 L / min. -The temperature of the vaporizer 8 and the primary filter 7 is 200 degreeC. -The flow rate of the gas introduced into the mass spectrometer 20 by the intake pump 201 is about 1 L / min.
  • the temperature of the vaporizer 8 and the primary filter 7 is preferably about 230 ° C. This is because illegal drugs often have low vapor pressure, and the temperature is higher than explosives for vaporization.
  • Cleaning is performed when an alarm as described above is issued, or when an evaluation reagent is used for operation check when the analysis system Z is installed or started. That is, the cleaning is performed because the detection target substance remaining in the analysis system Z may be detected at an unintended timing and cause a false alarm for the reason described above.
  • the cleaning agent introduction unit 1 is provided in the vicinity of the intake port 3. Then, in order to remove the detection target substance remaining on the inner wall surface of the cyclone 5, a cleaning agent is generated from the cleaning agent introduction unit 1, and this cleaning agent is taken into the analysis system Z through the intake port 3 through the introduction pipe 4. .
  • the cleaning agent that has reached the cyclone 5 hits the inner wall surface of the cyclone 5 and peels and removes the detection target substance remaining on the inner wall surface of the cyclone 5.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the gas flow inside the cyclone. 2, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the gas taken in from the intake port 3 is directed downward of the cyclone 5 having a conical shape while forming a spiral air flow F1 along the inner wall surface of the cyclone 5.
  • an air flow F ⁇ b> 2 that is upward is generated at the center of the spiral air flow F ⁇ b> 1.
  • the upward airflow F2 is exhausted through the exhaust fan 6.
  • the detection target substance P taken in from the intake port 3 performs a spiral motion according to the air flow F1 in the cyclone 5.
  • the trajectory of the detection target substance P moves away from the air flow F ⁇ b> 1 and contacts the inner wall surface of the cyclone 5.
  • the detection target substance P in contact with the inner wall surface of the cyclone 5 loses momentum and is guided to the vaporizer 8 by gravity. In this way, the detection target substance P is sorted and concentrated in the cyclone 5. At this time, a part of the detection target substance P that has contacted the inner wall surface of the cyclone 5 remains in place.
  • the symbol G is a cleaning agent.
  • the cleaning agent G introduced from the cleaning agent introduction unit 1 draws the same trajectory as the detection target substance P and collides with the inner wall surface of the cyclone 5. By the action of the collision, the cleaning target G can remove the detection target substance P remaining on the inner wall surface of the cyclone 5.
  • the trajectory of the detection target substance P in the cyclone 5 is determined by the size of the detection target substance P, the size of the cyclone 5, and the gas flow rate. Therefore, by adjusting these parameters, the particle size of the detection target substance P collected by the cyclone 5 can be determined.
  • the parameters of the cyclone 5 are adjusted so that explosive fine particles having a diameter of 10 ⁇ m to 100 ⁇ m, which is a typical size of explosive fine particles, can be efficiently collected.
  • the size of the cleaning agent G is preferably about the same as that of the detection target substance P.
  • the cleaning agent G moves along the air flow F1.
  • the cleaning agent G does not collide with the inner wall surface of the cyclone 5 and is discharged together with the exhaust through the exhaust fan 6. Under such conditions, even if the cleaning agent G is used, the cleaning effect is poor.
  • the cleaning agent G when the cleaning agent G is larger than 100 ⁇ m (when the cleaning agent G is larger than the explosive fine particles), the cleaning agent G that has reached the cyclone 5 is applied to the inner wall surface of the cyclone 5 before performing a sufficient spiral motion in the cyclone 5. It will collide. That is, when the cleaning agent G reaches the cyclone 5, it collides with the inner wall surface at an early stage (near the entrance of the cyclone 5), and immediately falls toward the vaporizer 8. For this reason, in the case of the cleaning agent G having a large particle size, the collision part of the cleaning agent G is biased (because only the vicinity of the inlet of the cyclone 5 can be cleaned), which is not suitable for cleaning the entire inner wall surface of the cyclone 5. On the other hand, in the case of the cleaning agent G having a small particle diameter, as described above, since the mass is small, a sufficient cleaning effect cannot be exhibited.
  • the size of the cleaning agent G is preferably about the same as the detection target substance P to be collected by the cyclone 5.
  • the size of the cleaning agent G is preferably about 10 to 100 ⁇ m in diameter, which is the same as the explosive fine particles. That is, the cleaning agent G is desirably the same size as the explosive fine particles. Even if the cleaning agent G is not as large as the detection target substance P, the user may adjust the parameters of the cyclone 5 so that the cleaning agent G collides with the inner wall surface of the cyclone 5 all over. Good. The specific gravity (density) of the cleaning agent G will be described later.
  • the cleaning agent G when a fibrous material is used as the cleaning agent G, the cleaning effect is higher than that of the particulate cleaning agent G.
  • the fibrous cleaning agent G has a larger surface area than the particulate cleaning agent G. Therefore, it is considered that the fibrous cleaning agent G exerts a force on a wider range when contacting the inner wall of the cyclone 5 and efficiently removes the residue. That is, it is an image in which the fibrous cleaning agent G wipes off dirt on the inner wall surface of the cyclone 5.
  • the fibrous cleaning agent G has various thicknesses, lengths and shapes. Therefore, it is difficult to define a particularly suitable shape for the fibrous cleaning agent G.
  • the cleaning effect can be obtained.
  • the material of the fiber is preferably cotton, pulp or the like, but any other material that is not decomposed by the vaporizer 8 can be used.
  • the cleaning effect of the inner wall surface of the cyclone 5 is mainly described.
  • the cleaning agent G contributes to the cleaning of all places on the path (the inside of the introduction pipe 4 and the like) through which the detection target substance P passes.
  • an impactor for collecting the detection target substance P contained in the gas by rapidly changing the gas flow may be used.
  • the cleaning method for the analysis system Z according to the present embodiment is also effective for removing the detection target substance P remaining in the impactor.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the cleaning agent introduction unit.
  • the cleaning agent introduction unit 1 includes a storage unit 101, an introduction pipe 102, a vibration generator (vibration generation unit) 103, valves 104 and 105, and a suction pipe 106.
  • the cleaning agent G is stored in the storage unit 101.
  • the storage portion 101 is connected to the intake port 3 (introduction tube 4) through the introduction tube 102.
  • a suction pipe 106 having an open end for sucking air from the outside is attached to the storage portion 101. In order to avoid moisture absorption of the cleaning agent G at the open end of the suction pipe 106, it may be connected to a dry air cylinder (not shown) or the like.
  • the suction pipe 106 is provided with a valve 104.
  • the cleaning agent G is slightly floating inside the storage unit 101.
  • the suction port 3 has a negative pressure due to suction by the suction pump 201 (see FIG. 1). Therefore, when the valve 104 is opened, air is sucked from the suction pipe 106, and the cleaning agent G that is flowing in the storage unit 101 by the flow of this air flows into the intake port 3 (introduction pipe 4) through the introduction pipe 102. be introduced.
  • a vibration generator 103 is provided in the storage unit 101. Then, the amount of the cleaning agent G that flies inside the storage unit 101 due to the vibration generated by the vibration generator 103 is increased. This facilitates the introduction of the cleaning agent G into the analysis system Z. Note that the vibration generator 103 may be omitted.
  • a valve 105 is provided in the introduction pipe 102 in order to prevent the cleaning agent G from reaching the intake port 3 at an unexpected timing. The valve 105 may be omitted.
  • the material of the cleaning agent G is preferably a material that does not generate a gas that interferes with measurement even when the cleaning agent G reaches the heated vaporizer 8.
  • inorganic substances such as silica sand, sand particles, and metal fine particles are suitable as the cleaning agent G because they are less likely to generate gas due to heating.
  • the size of the cleaning agent G is preferably about the same as that of the detection target substance P (see FIG. 2) such as explosive fine particles, but is not limited thereto. If the specific gravity of the cleaning agent G is larger than that of the detection target substance P, the size of the cleaning agent G may be reduced according to the specific gravity.
  • the specific gravity of the cleaning agent G is smaller than that of the detection target substance P, the size of the cleaning agent G may be increased according to the specific gravity.
  • the detection target substance P is explosive fine particles and a metal powder is used as the cleaning agent G
  • the cleaning agent G has a specific gravity larger than that of the explosive fine particles.
  • FIG. 4 is a flowchart showing a cleaning procedure according to the present embodiment. Reference is made to FIG. 1 as appropriate.
  • cleaning is performed in the same procedure.
  • detection measurement of the detection target substance P (see FIG. 2) using the analysis system Z is executed (S101).
  • the control apparatus 32 determines whether the component of the detection target substance P was detected based on the information acquired from the data processing apparatus 31 (S102).
  • the control device 32 returns the process to step S101 and repeats the detection measurement of the detection target substance P.
  • the control device 32 starts cleaning the analysis system Z by starting the introduction of the cleaning agent G (S103).
  • the data processing device 31 determines whether or not the component of the detection target substance P has been detected (S104).
  • the control device 32 returns the process to step S103 and repeats the cleaning.
  • the control device 32 returns the process to step S101, and next The detection target substance P, that is, another card C is inspected.
  • the cleaning procedure of the present embodiment can be applied to cleaning during the operation test of the analysis system Z.
  • the control device 32 passes the signal line L to the cleaning agent introducing unit 1 in step S103.
  • a signal may be sent to drive the cleaning agent introduction unit 1.
  • cleaning is performed when the detection target substance P is detected.
  • cleaning may be performed periodically.
  • cleaning is performed periodically, but cleaning may also be performed when the detection target substance P is detected.
  • the detection target substance P (explosive fine particles and evaluation reagents) remaining in the place where the detection target substance P passes in the analysis system Z can be easily obtained without disassembling the analysis system Z or the like. Can be removed. In connection with this, the false alarm resulting from a residue can be reduced.
  • work after detecting the detection target substance P can be completed speedily. As a result, the inspection can be resumed quickly. As a result, it is possible to prevent so-called security congestion, in which convenience is reduced due to congestion of security areas such as airport inspection stations.
  • the cleaning agent introducing portion 1 is provided in the vicinity of the intake port 3, not only the cyclone 5 but also the introduction pipe 4 can be cleaned.
  • the analysis system Z includes the cyclone 5, the analysis system Z that is often used can have the effect of the cleaning agent introducing unit 1 of the present embodiment.
  • the analysis system Z that is commonly used in general is an analysis system Z that can efficiently analyze the detection target substance P by concentrating the detection target substance P.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of the cleaning agent introducing unit according to the second embodiment.
  • the same components as those in FIG. also, refer to FIG. 1 as appropriate.
  • FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the intake port 3 of the analysis system Za.
  • a mesh (mesh portion) 111 is provided on the bottom surface of the storage portion 101a.
  • the valve 105 provided in the introduction pipe 102 is opened, and the cleaning agent G is dropped by gravity through the mesh 111.
  • a vibration generator 103 is provided in the storage portion 101a.
  • the vibration generator 103 can be omitted.
  • the coarseness of the mesh 111 to be used is a size corresponding to the size of the cleaning agent G.
  • the coarseness of the mesh 111 is preferably adjusted so that the cleaning agent G passes through the mesh 111 at a desired speed.
  • the analysis system Za according to the second embodiment it becomes easier to introduce the cleaning agent G into the analysis system Z than the analysis system Z according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of the cleaning agent introducing unit according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is an enlarged view of the vicinity of the inlet 3 of the analysis system Zb.
  • FIG. 6 shows the configuration of the cleaning agent introducing portion 1b when a fibrous material is used as the cleaning agent Ga.
  • the fibrous cleaning agent Ga may be housed in the housing portions 101 and 101a shown in FIG. 3 and FIG. 5, but as a simpler method, as shown in FIG. Is provided in the vicinity of the air inlet 3.
  • the fiber generating member 121 is, for example, cotton, wiping paper, wiping cloth, cloth such as pulp, or paper gauze.
  • the fiber generation member 121 holds fibers.
  • the roller (fiber generating unit) 122 rubs the fiber generating member 121, the fibers are loosened from the fiber generating member 121, and a fibrous cleaning agent Ga is generated.
  • the roller 122 is preferably provided with irregularities so that fibers are easily generated.
  • the roller 122 is introduced into the intake port 3 (introduction pipe 4). Thereby, the fibrous cleaning agent Ga adhering to the roller 122 may be introduced into the introduction pipe 4.
  • the fibers (cleaning agent Ga) that are frayed in the fiber generating member 121 are taken into the analysis system Z by the negative pressure in the intake port 3. . Thereafter, the detection target substance P (see FIG. 2) in which the fibrous cleaning agent Ga adheres to the inner wall surface of the cyclone 5 is removed.
  • the fibers When the fibers are firmly held in the fiber generating member 121 shown in FIG. 6 and a sufficient amount of fibers are not generated only by the flow of gas sucked from the intake port 3 by the exhaust fan 6 (see FIG. 1), The following may be used. That is, the amount of fibers generated from the fiber generating member 121 may be increased by spraying the compressed air A from the nozzle 2 (see FIG. 1) and applying the compressed air A to the fiber generating member 121.
  • the fiber generating member 121 may be any material that generates a fibrous material such as a frayed end of a leather material, in addition to a cloth or paper gauze shape.
  • roller 122 may not be used as long as it generates fibers from the fiber generating member 121.
  • a rubbing portion (not shown) that generates a transition by rubbing the fiber generating member 121 may be provided.
  • a fibrous cleaning agent Ga having a high removal effect can be easily generated and introduced into the analysis system Z.
  • FIG. 7 is a view showing the periphery of the intake port 3, the introduction pipe 4, and the cyclone 5 in the analysis system Zc according to the fourth embodiment.
  • Other configurations in the analysis system Zc are the same as those shown in FIG. In FIG. 7, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. If the cleaning operation according to the present embodiment is performed many times, the primary filter 7 may be blocked.
  • magnetic powder having a diameter of several ⁇ m is used as the cleaning agent G (see FIG. 2), and a magnet 401 is provided between the cyclone 5 and the vaporizer 8. .
  • the magnetic powder that is the cleaning agent G is adsorbed by the magnet 401, the amount of the cleaning agent G that reaches the primary filter 7 can be reduced. Thereby, obstruction
  • FIG. 8 is a diagram illustrating the periphery of the card insertion portion 500, the introduction tube 4, and the cyclone 5 in the analysis system Zd according to the fifth embodiment.
  • Other configurations in the analysis system Zd are the same as those shown in FIG.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the card insertion part 500 in order to efficiently take in the detection target substance P (see FIG. 2) adhering to the surface of the card C, the card insertion part 500 that is also the cleaning agent introduction part 1d is provided.
  • the card insertion part 500 shown in FIG. 8 has shown the cross-sectional schematic.
  • the inside of the card insertion portion 500 is sealed by the housing 502 except for the card insertion port 503 and the intake port 3. That is, the card insertion part 500 has a space 512 for accommodating the card C.
  • the compressed air A1 is ejected from a nozzle (injection unit) 501 installed in the vertical direction with respect to the card C.
  • the fiber generating member 511 When cleaning is performed, the fiber generating member 511 is inserted into the card insertion portion 500 as shown in FIG. And fiber is generated from the fiber generation member 511 by injecting compressed air A1 from the nozzle 501 in the state in which the fiber generation member 511 is inserted. Then, the generated fiber is taken into the cyclone 5 to clean the introduction pipe 4 and the inner wall surface of the cyclone 5.
  • the shape of the fiber generating member 511 does not necessarily have to be similar to the card C, and may be such that the fiber generating member 511 is provided at the tip of a stick like a cotton swab. In FIG. 8, the fiber generating member 511 is inserted. However, the present invention is not limited to this, and a member in which the particulate cleaning agent G is blown off by the compressed air A1 may be inserted.
  • the cleaning agent introduction unit 1d using the card insertion unit 500 that can efficiently collect the detection target substance P from the card C can be realized.
  • FIG. 9 is a diagram showing the periphery of the intake port 3, the introduction pipe 4, and the cyclone 5 in the analysis system Ze according to the sixth embodiment.
  • Other configurations in the analysis system Ze are the same as those shown in FIG.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the cleaning agent introducing portion 1 e may be provided in the introduction tube 4.
  • the cleaning agent introduction unit 1 e is installed near the entrance of the cyclone 5.
  • the present invention is not limited to this, and the cleaning agent introduction unit 1 e is installed anywhere in the introduction pipe 4. Also good.
  • the cleaning agent introduction part 1e is provided in the vicinity of the cyclone 5, so that the cleaning effect of the cyclone 5 can be improved.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating the periphery of the intake port 3, the introduction pipe 4, and the cyclone 5 in the analysis system Zf according to the seventh embodiment.
  • Other configurations in the analysis system Zf are the same as those shown in FIG.
  • the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
  • the cleaning agent introduction unit 1 shown in FIG. 10 is provided with an airflow generation unit 601.
  • the airflow generation unit 601 is installed in, for example, the suction pipe 106 (see FIG. 3).
  • the airflow generation unit 601 may be a fan that sends outside air to the cleaning agent introduction unit 1 or may be a high-pressure gas generation device that injects a high-pressure gas into the cleaning agent introduction unit 1.
  • the cleaning agent introduction unit 1 shown in FIG. 3 introduces the cleaning agent G into the introduction tube 4 using the negative pressure in the introduction tube 4.
  • the cleaning agent introduction unit 1 shown in FIG. 10 introduces the cleaning agent G (see FIG. 2) into the introduction pipe 4 also using the airflow generated by the airflow generation unit 601.
  • the cleaning agent G can be positively introduced into the introduction pipe 4.
  • the efficiency of introducing the cleaning agent G (see FIG. 2) into the analysis system Z (see FIG. 1) can be improved.
  • FIGS. 11 to 13 are diagrams showing the effects of the analysis system according to this embodiment. Reference is made to FIG. 1 as appropriate.
  • the analysis system Z the result of inspecting the card C to which explosive fine particles called RDX (Research Department Explosive) are attached as a detection target substance is shown in FIG.
  • RDX Research Department Explosive
  • FIG. 12 shows a signal when the generated fibrous cleaning agent Ga removes the explosive fine particles remaining on the inner wall surface of the cyclone 5.
  • a signal after supplying the fibrous cleaning agent Ga is detected as a signal indicated by reference numeral 303 in FIG.
  • the fiber generating member 121 was inserted again into the air inlet 3 in order to confirm the cleaning effect by the fibrous cleaning agent Ga (that is, paper waste). Then, as shown in FIG. 13, no signal derived from the explosive residue was detected, and it was confirmed that the analysis system Z was sufficiently cleaned.
  • the fibrous cleaning agent Ga is used in FIGS. 11 to 13, the same effect can be obtained with the cleaning agents Ga of the first embodiment, the second embodiment, and the fourth to seventh embodiments described later. Obtainable.
  • the analysis system Z is disassembled and cleaned and baked as described above. Therefore, in the conventional methods, it takes about 20 to 30 minutes to remove the residue in the cyclone 5 and the introduction pipe 4.
  • the cleaning in the cyclone 5 and the introduction pipe 4 is completed in about 30 seconds to 1 minute without performing disassembly cleaning and baking.
  • the cleaning method according to the present embodiment it is possible to obtain a cleaning effect equivalent to that of disassembly cleaning and baking without performing disassembly cleaning and baking.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and includes various modifications.
  • the above-described embodiment has been described in detail for easy understanding of the present invention, and is not necessarily limited to having all the configurations described.
  • a part of the configuration of a certain embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of a certain embodiment.
  • the cleaning agent introduction portions 1, 1a, 1b, 1d, and 1e are installed in the analysis system Z that performs component analysis of the detection target substance P (explosive fine particles), but suction is performed. If there is, it is not limited to this. Further, the concentration unit such as the cyclone 5 may not be provided.
  • the control device 32 may be provided with a monitor that displays an analysis result obtained by the data processing device 31.
  • control lines and information lines are those that are considered necessary for explanation, and not all control lines and information lines are necessarily shown on the product. In practice, it can be considered that almost all configurations are connected to each other.

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Abstract

簡便なクリーニングを実現するため、粒状の検出対象物質が気流とともに導入される吸気口（３）と、導入された検出対象物質を濃縮するサイクロン（５）と、導入された検出対象物質を分析する質量分析計（２０）と、質量分析計（２０）に含まれ、検出対象物質が吸気口（３）から質量分析計（２０）に吸引されるよう負圧を発生する吸気ポンプ（２０１）と、を有し、吸気口（３）と、サイクロン（５）との間の導入管（４）上に、導入管（４）にクリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部（１）が備えられることを特徴とする。

Description

分析システム、クリーニングシステム及びクリーニング方法
　本発明は、システムに残留している物質を除去する機能を有する分析システム、クリーニングシステム及びクリーニング方法の技術に関する。
　検査対象物に付着した微粒子を分析することが、生産プロセスの管理や、環境汚染状況の把握等といった様々な分野で求められている。最近、特にテロ対策の分野で、検査対象（例えば、手、服、カバン等）に付着する微粒子を迅速に分析する分析システムが重要性を増してきている。爆発物等の危険物を取り扱うと、周囲に危険物に由来する微粒子が飛散することが知られている。従って、検査対象物に爆発物等の危険物の微粒子が付着していれば、その検査対象物に係わる人物が危険物を取り扱った可能性が高いと判断することができる。
　特許文献１には、「対象に付着した試料を剥離させる送気部と、前記対象から剥離した試料を吸引する吸気部と、円錐状の微粒子濃縮部を有し前記吸引した試料を濃縮して捕集する微粒子捕集部と、前記微粒子濃縮部の上部に設けられた大容量の吸引部と、前記微粒子濃縮部の小半径部に設けられた微粒子捕集フィルタと、前記微粒子濃縮部の小半径部に設けられた前記微粒子捕集フィルタを加熱する加熱部と、前記微粒子捕集フィルタに捕集され前記加熱によって気化された試料を前記微粒子捕集フィルタの裏面から連続的に吸引する小容量の吸引部と、前記吸引された試料を導入してイオン化するイオン源部と、前記イオン源部で生成されたイオンを質量分析する質量分析部と、前記イオン源部と前記質量分析部を制御する制御部と、検出対象物質に由来する質量スペクトルデータを保持するデータベース部と、前記質量分析部による試料の質量分析結果と前記データベース部に保持された質量スペクトルデータとを照合して前記検出対象物質の有無を判定する判定部と、を備えることを特徴とする」分析装置及び分析方法が記載されている（請求項１参照）。
　特許文献２には、「検査対象物の大きさ（縦、横寸法）を検出する検出手段を有し、検出手段により検出した検査対象物の大きさによって、複数のエアノズルから検査物表面に１５ｍ／ｓ以上のエアジェットを噴射できるエアノズルを選択してエアジェット噴射する」付着物検査装置及び検査方法が開示されている（要約参照）。
特許第５６９０８４０号明細書 特開２０１３－８３４７２号公報
　特許文献１や特許文献２に記載されている分析システム（分析装置）は、危険物の検出を行うことが可能である。ところで、分析システムは、例えば空港のような場所で使用されるため、研究室や分析センタ等で使用される一般的な分析装置とは異なった配慮をしなくてはならない。例えば、危険ではない微粒子を誤って危険物と判定する、いわゆる誤報が発生すると、その人物や手荷物に対して入念なチェックを行わなければならない等、検査に時間がかかり、その結果、利便性が低下する。従って、誤報が頻繁に発生するような分析装置は社会的に受け入れられない。
　発明者らの経験によれば、誤報の要因は、主に以下の２つがあると考えられる。
（１）誤り：前記したように、誤りにより危険ではない物質を危険物と判断する場合。
（２）残留：過去に検出した危険物の一部が分析システム内に残留しており、予期せぬタイミングで残留物が検出されることにより誤報を生じる場合。
　前記（１）の誤りによる誤報を減らすには、分析システムの性能を向上させて選択性を高め、検査対象となっている微粒子の識別能力を上げることで対策が可能である。一方、（２）の、残留に起因する誤報を低減することは、対策が難しい。なぜなら、検出対象となる危険物そのものが検出されている限り、分析システムの性能を向上させても無意味だからである。すなわち、分析システムが残留している微粒子を検知するための装置であることから、分析システムの性能を向上させただけでは、残留物に由来する誤報を減らすことはできない。
　空港等の実際の装置の使用場所において、実際に危険物が検出される頻度は低い。しかしながら、分析システムの設置や起動の際には、分析システムの動作状況や感度を確認するために、極微量の危険物を含む評価用試薬を用いたチェックが行われる。この評価用試薬が分析システム内に残留すると、意図せぬタイミングで、評価用試薬が分析部に到達する場合がある。この結果、誤報が発報される要因になる。また、実際に危険物が検出された後に、分析システムをそのままにしておくと、分析システム内に残留している危険物が分析部に到達し、誤報が発報されるおそれがある。
　従って、危険物検出後の分析システムのクリーニングや、分析システムのチェックに使用する評価用試薬の除去は重要である。
　一般的に、分析システム内に残留する微粒子や、評価用試薬等の検出対象物質を除去するために、分析システムの分解清掃や、検出対象物質が残留する場所を加熱して除去する、いわゆるベーキングが行われる。しかしながら、分解清掃やベーキングは、分析システムを再使用可能な状態まで復帰させるのに、２０～３０分を要する。その間、分析システムが使えない状態になる。そのため、例えば、空港等で分析システムを危険物の検出のために用いている場合等において、検査のスループットが低下し、多くの利用客が待たされることになる。
　また、カード等の検査対象物が載置される吸気口付近をエアーガンによる圧縮空気でクリーニングする手法もある。しかしながら、この手法では、吸気口付近しかクリーニングされず、分析システム内部には依然として検出対象物質が残留しているため、残留による誤報の発報を防ぐことができない。
　このような背景に鑑みて本発明がなされたのであり、本発明は、誤報を防止・低減する簡便なクリーニングを実現することを課題とする。
　前記した課題を解決するため、本発明の一の手段は、粒状の検出対象物質が気流とともに導入される導入部と、導入された前記検出対象物質を分析する分析部と、前記検出対象物質が前記分析部に吸引されるよう負圧を発生する負圧発生部と、を有し、前記導入部と、前記分析部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部が備えられることを特徴とする。
　また、本発明の他の手段は、粒状の分析対象の物質が気流とともに導入される導入部と、負圧を発生する負圧発生部と、を有し、前記導入部と、前記負圧発生部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部が備えられることを特徴とする。
　そして、本発明のさらに他の手段は、粒状の検出対象物質が気流とともに導入される導入部と、導入された前記検出対象物質を分析する分析部と、前記検出対象物質が前記分析部に吸引されるよう負圧を発生する負圧発生部と、前記導入部と、前記分析部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部と、前記分析部から情報を取得し、取得した前記情報を基に、前記クリーニング剤導入部を制御する制御部と、を有し、前記制御部が、前記分析部から取得した情報によって、前記検出対象物質の検出を検知すると、前記クリーニング剤導入部から前記クリーニング剤を前記導入部に導入し、前記分析部が、分析を行い、前記制御部が、前記分析部から取得した情報によって、前記検出対象物質の検出を検知すると、前記クリーニング剤導入部から前記クリーニング剤を前記導入部に導入することを、前記検出対象物質が検出されなくなるまで繰り返すことを特徴とする。
　その他の解決手段は、実施形態において記載する。
　本発明によれば、誤報を防止・低減する簡便なクリーニングを実現することができる。
第１実施形態に係る分析システムの構成例を示す図である。 サイクロン内部の気体の流れを模式的に示した図である。 クリーニング剤導入部の一例を示す図である。 本実施形態に係るクリーニングの手順を示すフローチャートである。 第２実施形態に係るクリーニング剤導入部の構成を示す図である。 第３実施形態に係るクリーニング剤導入部の構成を示す図である。 第４実施形態に係る分析システムの構成を示す図である。 第５実施形態に係る分析システムの構成を示す図である。 第６実施形態に係る分析システムの構成を示す図である。 第７実施形態に係る分析システムの構成を示す図である。 本実施形態に係る分析システムの効果を示す図（その１）である。 本実施形態に係る分析システムの効果を示す図（その２）である。 本実施形態に係る分析システムの効果を示す図（その３）である。
　次に、本発明を実施するための形態（「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
［第１実施形態］
＜分析システムの構成＞
　図１は、第１実施形態に係る分析システムの構成例を示す図である。
　まず、クリーニングシステムでもある分析システムＺの構成や、分析システムＺにおける分析手法を外観した後、本実施形態における特徴であるクリーニングについて説明する。
　利用者が、分析システムＺにおける載置部９に、検査対象物を載置すると、ノズル２から圧縮空気Ａが噴射される。この圧縮空気Ａによって、検査対象物の表面に付着した微粒子（検出対象物質）が剥離される。検査対象物は、手、服、カードＣ、カバン等、様々なものがあるが、ここでは代表して、カードＣをかざす際に手（不図示）や、カードＣに付着した微粒子を分析する例について説明する。
　また、吸気口３は、吸気ポンプ２０１による吸引により負圧になっている。
　圧縮空気Ａによる気流と、吸気ポンプ２０１による気流によって、手やカードＣから剥離した微粒子（以下、検出対象物質と称する）は吸気口（導入部）３から分析システムＺに導入される。吸気口３は、Ｌ字型の導入管（導入部）４、サイクロン（濃縮部、サイクロン型濃縮部）５を介して、排気ファン６に接続されている。また、吸気口３の近傍には、クリーニング剤導入部１が設けられている。なお、本実施形態では導入管４がＬ字型を有しているものとしているが、導入管４の形状はＬ字型に限らない。
　吸気口３から、導入管４を介して、サイクロン５に導入された検出対象物質はサイクロン５の内壁面に接触し、運動量を失う。そして、運動量を失った検出対象物質は、重力により気化器８の中に設けられた一次フィルタ７に向けて落下する。サイクロン５における検出対象物質の運動については後記する。
　一次フィルタ７は、気化器８に設けられているヒータ（不図示）により加熱されている。一次フィルタ７に落下した検出対象物質は、このヒータによって加熱され気化される。気化により発生した蒸気はガスクロマトグラフ、イオンモビリティ、質量分析計（分析部）２０等のガス分析器で分析される。そして、ガス分析器は、得られた分析結果が、図示しないデータベースに格納されているガス成分のデータと比較されることで、検出目的とする成分が検出されたか否かを判断する。そして、ガス分析器は、検出目的とする成分が検出された場合、検出目的とする成分が検出された旨の通知（例えば、警報の発報）を行う。
　ここで、ガス分析器として質量分析計２０を使用する場合を説明する。
　気化器８で発生した蒸気は、吸気ポンプ（負圧発生部）２０１により質量分析計２０に導入される。質量分析計２０を保護するため、蒸気を導入する配管には二次フィルタ２０２が設けられていることが好ましい。そして、針電極２０３と対向電極２０４との間に数ｋＶの高電圧が印加され、針電極２０３の先端にコロナ放電Ｄを発生させる。コロナ放電Ｄにより生成されたイオン、例えば、酸素分子イオンが気化器８で発生した蒸気と反応し、蒸気の成分をイオン化する。
　イオン化された蒸気の成分は、第一細孔２０５、第二細孔２０６、第三細孔２０７を有する差動排気部２０８を介して真空部２０９に導入される。差動排気部２０８や真空部２０９は、粗引きポンプやターボ分子ポンプ等の真空ポンプ２１０ａ～２１０ｃにより排気されている。また、差動排気部２０８のイオン透過率を向上させるため、差動排気部２０８にはオクタポール２１１等のイオンガイドが設けられるとよい。真空部２０９に導入されたイオンは、アナライザ２１２を構成する四重極ロッド２１３や閉じ込めワイヤ２１５により生じる電場により捕捉される。
　四重極ロッド２１３は、印加される高周波の振幅を変化させることで捕捉されたイオンの共鳴周波数を変化させる。アナライザ２１２に備えられている励起電極２１４に印加する高周波の周波数と一致したイオンは、閉じ込めワイヤ２１５の電場を乗り越える。さらに、該イオンは、アナライザ２１２に備えられている引き出しワイヤ２１６により生じる電場により、イオン検出器２１７の方向に排出される。この結果、励起電極２１４に印加する高周波の周波数と一致したイオンがイオン検出器２１７で検出される。イオン検出器２１７によって検出された信号（分析結果）はデータ処理装置（分析部）３１に送られる。
　データ処理装置３１には、検出対象となっている成分の情報がデータベース（不図示）に格納されている。データ処理装置３１は、分析結果をデータベースと照合することで、検出対象となっている成分の有無を判定する。検出対象となっている成分が検出されると、クリーニングが自律的に行われる。すなわち、データ処理装置３１において検出対象となっている成分が検出されたと判定されると、その情報は制御装置（制御部）３２へ送られる。そして、制御装置３２は、クリーニング剤導入部１を制御して、クリーニング剤を発生させる。
　クリーニングが自律的に行われるために、制御装置３２とクリーニング剤導入部１との間は信号ラインＬで接続されるとよい。
　なお、データ処理装置３１と、制御装置３２とは一体の装置であってもよい。
　図１に示した構成において、検査対象が爆薬微粒子である場合、この爆薬微粒子を検出するための典型的なパラメータは、以下の通りである。
・ノズル２から噴射する圧縮空気Ａの圧力が０．２ＭＰａ。
・排気ファン６により吸気口３から吸引されるガスの流量が５０Ｌ／ｍｉｎ。
・気化器８及び一次フィルタ７の温度が２００℃。
・吸気ポンプ２０１により質量分析計２０に導入されるガスの流量が１Ｌ／ｍｉｎ程度。
　これらのパラメータは、一例であり、検出する対象が異なる場合には、対象に応じて各パラメータが最適化される。例えば、密輸防止の目的で違法薬物を検出する場合、気化器８及び一次フィルタ７の温度は２３０℃程度が好ましい。違法薬物は蒸気圧が低いものが多く、気化させるには爆発物より温度を高くするためである。
　前記したような警報が発報された場合や、分析システムＺの設置や起動の際の動作確認のため評価用試薬を用いた場合、クリーニングが行われる。つまり、前記した理由で分析システムＺ内に残留している検出対象物質が意図せぬタイミングで検出され誤報を生じさせる恐れがあるため、クリーニングが行われる。
　図１に示した構成において、特に検出対象物質が残留しやすいのは、導入管４と一次フィルタ７であるが、導入管４のクリーニング方法や、一次フィルタ７の簡便な交換方法は、特許文献２に記載されている。
　しかしながら、発明者らが詳細に検討を行った結果、サイクロン５の内壁面にも検出対象物質が残留する可能性があることがわかった。サイクロン５の内壁面に残留する検出対象物質を除去するには、サイクロン５を分解してクリーニングするか、サイクロン５の外側にヒータを設けてベーキングする方法が用いられる。しかしながら、これらの方法では時間がかかり、利便性が悪い。
　そこで、本実施形態に係る分析システムＺでは、吸気口３の近傍にクリーニング剤導入部１が設けられる。そして、サイクロン５の内壁面に残留する検出対象物質を除去するため、クリーニング剤導入部１からクリーニング剤が発生し、このクリーニング剤が吸気口３から導入管４を介して分析システムＺに取り込まれる。サイクロン５に到達したクリーニング剤は、サイクロン５の内壁面に当たり、サイクロン５の内壁面に残留している検出対象物質を剥離し除去する。
　図２は、サイクロン内部の気体の流れを模式的に示した図である。図２において、図１と同様の構成については、図１と同一の符号を付して説明を省略する。
　吸気口３（図１参照）から取り込まれた気体は、サイクロン５の内壁面に沿って螺旋状の気流Ｆ１を形成しながら円錐の形状を有しているサイクロン５の下方に向かう。サイクロン５の下部では、螺旋状の気流Ｆ１の中心部で上方に向かう気流Ｆ２が生じている。そして、上方に向かう気流Ｆ２は排気ファン６を介して排気される。
　また、吸気口３から取り込まれた検出対象物質Ｐは、サイクロン５内の気流Ｆ１に従って、螺旋運動を行う。このとき、遠心力が作用することで検出対象物質Ｐの軌道が気流Ｆ１から外れていき、サイクロン５の内壁面に接触する。サイクロン５の内壁面に接触した検出対象物質Ｐは運動量を失い、重力により気化器８に導かれる。このようにして、検出対象物質Ｐは、サイクロン５において、選別され、濃縮される。この際、サイクロン５の内壁面に接触した検出対象物質Ｐの一部は、その場に残留する。
　図２において、符号Ｇはクリーニング剤である。クリーニング剤導入部１から導入されたクリーニング剤Ｇは、検出対象物質Ｐと同様の軌道を描き、サイクロン５の内壁面に衝突する。この衝突の作用により、クリーニング剤Ｇがサイクロン５の内壁面に残留する検出対象物質Ｐを除去することができる。
　サイクロン５内における検出対象物質Ｐの軌道は、検出対象物質Ｐの大きさ、サイクロン５のサイズ、及び気体の流量によって決まる。このため、これらのパラメータを調整することにより、サイクロン５により捕集される検出対象物質Ｐの粒径を決めることができる。
　検出対象物質Ｐが爆薬微粒子である場合、爆薬微粒子の典型的な大きさである直径１０μｍから１００μｍの爆薬微粒子を効率よく捕集できるようにサイクロン５のパラメータが調整される。
　そして、クリーニング剤Ｇの大きさは、検出対象物質Ｐと同程度であることが望ましい。
　検出対象物質Ｐが爆薬微粒子である場合、かつ、クリーニング剤Ｇが、爆薬微粒子より小さい場合、例えば、クリーニング剤Ｇが１０μｍより小さいと、クリーニング剤Ｇは気流Ｆ１に沿って移動してしまう。その結果、クリーニング剤Ｇは、サイクロン５の内壁面に衝突せず排気ファン６を介して排気と共に排出されてしまう。このような条件では、クリーニング剤Ｇを用いてもクリーニングの効果は乏しい。
　逆に、クリーニング剤Ｇが１００μｍより大きいと（クリーニング剤Ｇが爆薬微粒子より大きいと）、サイクロン５に到達したクリーニング剤Ｇはサイクロン５内で十分な螺旋運動を行う前にサイクロン５の内壁面に衝突してしまう。つまり、クリーニング剤Ｇはサイクロン５内に到達すると、早い段階（サイクロン５の入口付近）で内壁面に衝突し、すぐに気化器８に向かって落下してしまう。
　このため、大きな粒子径のクリーニング剤Ｇの場合、クリーニング剤Ｇの衝突箇所が偏るため（サイクロン５の入口付近しかクリーニングできないため）、サイクロン５の内壁面全体をクリーニングするには不向きである。
　一方、粒子径が小さいクリーニング剤Ｇの場合、前記したように、質量が小さいため、十分なクリーニング効果を発揮することができない。
　従って、前記したように、クリーニング剤Ｇの大きさは、サイクロン５で捕集しようとする検出対象物質Ｐと同程度がよい。例えば、検出対象物質Ｐとして爆薬微粒子を検出する目的の分析システムＺである場合、クリーニング剤Ｇの大きさは、爆薬微粒子と同程度の直径１０μｍから１００μｍ程度が好ましい。つまり、クリーニング剤Ｇは、爆薬微粒子と同じ大きさであることが望ましい。なお、クリーニング剤Ｇが、検出対象物質Ｐと同程度の大きさでなくても、クリーニング剤Ｇがサイクロン５の内壁面にくまなく衝突するように、ユーザはサイクロン５のパラメータを調整してもよい。
　なお、クリーニング剤Ｇの比重（密度）については後記する。
　また、発明者らが詳細に検討した結果、クリーニング剤Ｇとして繊維状のものが用いられると、粒子状のクリーニング剤Ｇよりクリーニング効果が高いことが分かった。繊維状のクリーニング剤Ｇは、粒子状のクリーニング剤Ｇより表面積が大きい。そのため、繊維状のクリーニング剤Ｇは、サイクロン５の内壁に接触した際に、より広い範囲に力を及ぼし、残留物を効率よく除去するためと考えられる。すなわち、繊維状のクリーニング剤Ｇが、サイクロン５の内壁面の汚れを拭き取っているイメージである。繊維状のクリーニング剤Ｇには様々な太さ、長さ、形のものが混ざっている。そのため、繊維状のクリーニング剤Ｇについて、特に好適な形状を規定することは困難である。一例を挙げれば、直径１０～３０μｍ、長さ１００～２００μｍ程度であればクリーニング効果が得られる。繊維の材質は、綿、パルプ等が好適であるが、他にも気化器８で分解しない素材であれば使用することができる。
　また、本実施形態ではサイクロン５の内壁面のクリーニング効果を中心に記載している。しかし、本実施形態に係る分析システムＺの構成によれば、クリーニング剤Ｇは検出対象物質Ｐが通る道筋（導入管４の内部等）について、すべての場所のクリーニングに寄与する。検出対象物質Ｐの捕集法は、本実施形態に記載したサイクロン５のみならず、気体の流れを急激に変えることで気体に含まれる検出対象物質Ｐを捕集するインパクタが用いられてもよい。本実施形態に係る分析システムＺのクリーニング方法はインパクタに残留する検出対象物質Ｐの除去にも効果的である。
　次に、クリーニング剤導入部１の具体的な構成について説明する。
　図３は、クリーニング剤導入部の一例を示す図である。
　クリーニング剤導入部１は、収納部１０１、導入管１０２、振動発生器（振動発生部）１０３、バルブ１０４，１０５、吸入管１０６を備えている。
　クリーニング剤Ｇは収納部１０１に収められている。収納部１０１は、導入管１０２を介して吸気口３（導入管４）に接続されている。収納部１０１には、外部から空気を吸入するための開放端を有する吸入管１０６が取り付けられている。吸入管１０６において、開放端にクリーニング剤Ｇの吸湿を避けるため、乾燥空気ボンベ（図示せず）等に接続されてもよい。吸入管１０６にはバルブ１０４が設けられている。クリーニング剤Ｇは、収納部１０１の内部でわずかに舞っている状態となっている。
　また、前記したように、吸気口３は、吸気ポンプ２０１（図１参照）による吸引により負圧になっている。従って、バルブ１０４を開弁すると、吸入管１０６から空気が吸入され、この空気の流れにより収納部１０１内を舞っているクリーニング剤Ｇが導入管１０２を介して吸気口３（導入管４）に導入される。吸気口３（導入管４）から導入されるクリーニング剤Ｇの量を調整するため、収納部１０１に振動発生器１０３が設けられる。そして、振動発生器１０３による振動で収納部１０１内を舞うクリーニング剤Ｇの量が増やされる。これにより、クリーニング剤Ｇの分析システムＺへの導入が容易となる。
　なお、振動発生器１０３は省略されてもよい。また、予期せぬタイミングでクリーニング剤Ｇが吸気口３に到達することを防止するため、導入管１０２にバルブ１０５が備えられている。なお、バルブ１０５は省略されてもよい。
　クリーニング剤Ｇの材質は、クリーニング剤Ｇが加熱された気化器８に到達しても測定を妨害するガスを発生させない材質がよい。例えば、シリカサンド、砂粒、金属微粒子等の無機質の物質は、加熱によるガスを発生させる可能性が低いため、クリーニング剤Ｇとして好適である。クリーニング剤Ｇの大きさは、前記したように、例えば、爆薬微粒子等の検出対象物質Ｐ（図２参照）と同程度が好ましいが、これに限らない。検出対象物質Ｐよりもクリーニング剤Ｇの比重が大きければ、比重に応じてクリーニング剤Ｇのサイズを小さくすればよい。逆に、検出対象物質Ｐよりもクリーニング剤Ｇの比重が小さければ、比重に応じてクリーニング剤Ｇのサイズを大きくすればよい。例えば、検出対象物質Ｐが爆薬微粒子であり、クリーニング剤Ｇとして金属粉末を使う場合、爆薬微粒子よりクリーニング剤Ｇの比重が大きいため、クリーニング剤Ｇは数μｍ程度の大きさとすることが好ましい。
（フローチャート）
　図４は、本実施形態に係るクリーニングの手順を示すフローチャートである。適宜、図１を参照する。なお、以降の第２～第７実施形態においても同様の手順でクリーニングが行われる。
　まず、分析システムＺを用いた検出対象物質Ｐ（図２参照）の検出測定が実行される（Ｓ１０１）。
　そして、制御装置３２は、データ処理装置３１から取得した情報を基に検出対象物質Ｐの成分が検出されたか否かを判定する（Ｓ１０２）。
　ステップＳ１０２の結果、検出対象物質Ｐの成分が検出されない場合（Ｓ１０２→Ｎｏ）、制御装置３２は、ステップＳ１０１へ処理を戻し、検出対象物質Ｐの検出測定を繰り返す。
　ステップＳ１０２の結果、検出対象物質Ｐの成分が検出された場合（Ｓ１０２→Ｙｅｓ）、制御装置３２は、クリーニング剤Ｇの導入を開始することで、分析システムＺのクリーニングを実行する（Ｓ１０３）。
　そして、データ処理装置３１は、検出対象物質Ｐの成分が検出されたか否かを判定する（Ｓ１０４）。
　ステップＳ１０４の結果、検出対象物質Ｐの成分が検出された場合（Ｓ１０４→Ｙｅｓ）、すなわち、検出対象物質Ｐが残留している場合、制御装置３２はステップＳ１０３へ処理を戻し、クリーニングを繰り返す。
　ステップＳ１０４の結果、検出対象物質Ｐの成分が検出されない場合（Ｓ１０４→Ｎｏ）、すなわち、検出対象物質Ｐの残留物がクリーニングにより除去された場合、制御装置３２はステップＳ１０１へ処理を戻し、次の検出対象物質Ｐ、つまり、別のカードＣの検査を行う。
　このように、検出対象物質Ｐの成分が検出された場合のみ、クリーニングを実行することで、次の検査に影響を与えることを極力少なくすることができる。
　なお、検出対象物質Ｐを、分析システムＺの動作試験に用いる評価用試薬とすることで、本実施形態のクリーニング手順を分析システムＺの動作試験時のクリーニングに適用することができる。
　クリーニングを自律的に実施するためには、ステップＳ１０２においてデータ処理装置３１が検出対象物質Ｐの成分を検出した場合、ステップＳ１０３において制御装置３２が、信号ラインＬを介してクリーニング剤導入部１に信号を送り、クリーニング剤導入部１を駆動させるようにするとよい。
　なお、本実施形態では、検出対象物質Ｐが検知されるとクリーニングが行われているが、定期的にクリーニングが行われるようにしてもよい。あるいは、定期的にクリーニングが行われるが、検出対象物質Ｐが検知された際にもクリーニングが行われるようにしてもよい。
　本実施形態によれば、分析システムＺの分解等を行わなくても、分析システムＺにおいて、検出対象物質Ｐが通過する箇所に残留する検出対象物質Ｐ（爆薬微粒子や評価用試薬）を容易に除去できる。これにともない、残留物に起因する誤報を低減することができる。
　また、本実施形態によれば、検出対象物質Ｐを検出後のクリーニング作業をスピーディに済ませることができる。その結果、迅速に検査を再開することができる。これにより、空港検査場等のセキュリティエリアが混雑することで利便性が低下する、いわゆるセキュリティ渋滞を防ぐことができる。
　また、クリーニング剤導入部１が吸気口３の近傍に備えられることで、サイクロン５のみならず、導入管４のクリーニングも可能となる。
　また、分析システムＺが、サイクロン５を備えていることにより、一般的によく使用されている分析システムＺが、本実施形態のクリーニング剤導入部１の効果を有することができる。一般的によく使用されている分析システムＺとは、検出対象物質Ｐを濃縮することによって、効率的な検出対象物質Ｐの分析を行うことが可能な分析システムＺである。
［第２実施形態］
　図５は、第２実施形態に係るクリーニング剤導入部の構成を示す図である。図５において、図３と同様の構成要素に対しては同一の符号を付して説明を省略する。また、適宜図１を参照する。
　図５は、分析システムＺａの吸気口３付近の拡大図である。
　クリーニング剤導入部１ａでは、収納部１０１ａの底面にメッシュ（メッシュ部）１１１が設けられている。クリーニング剤Ｇが吸気口３に導入される際には、導入管１０２に設けたバルブ１０５を開弁し、メッシュ１１１を介して重力によってクリーニング剤Ｇを落下させる。クリーニング剤Ｇを落下させやすくするため、収納部１０１ａには振動発生器１０３が設けられている。なお、振動発生器１０３は省略可能である。使用するメッシュ１１１の目の粗さは、クリーニング剤Ｇの大きさに応じた大きさとなる。クリーニング剤Ｇがメッシュ１１１を所望のスピードで通過するよう、メッシュ１１１の目の粗さが調整されるのが好ましい。
　第２実施形態に係る分析システムＺａによれば、第１実施形態に係る分析システムＺよりもクリーニング剤Ｇの分析システムＺへの導入が容易となる。
［第３実施形態］
　図６は、第３実施形態に係るクリーニング剤導入部の構成を示す図である。図６において、図３と同様の構成要素に対しては同一の符号を付して説明を省略する。また、適宜、図１を参照する。
　図６は、分析システムＺｂの吸気口３付近の拡大図である。
　図６では、クリーニング剤Ｇａとして繊維状のものを用いる場合のクリーニング剤導入部１ｂの構成を示す。
　この場合、図３や図５に示した収納部１０１，１０１ａの中に繊維状のクリーニング剤Ｇａを収納してもよいが、より簡便な方法として、図６に示すように、繊維発生部材１２１を吸気口３の付近に設ける。繊維発生部材１２１とは、具体的に言えば、例えば、コットン、拭きとり紙、拭き取り布、パルプ等の布製あるいは紙製のガーゼ状のものである。繊維発生部材１２１には、繊維が保持されている。そして、クリーニング時に、例えば、ローラ（繊維発生部）１２２が繊維発生部材１２１をこすることにより、繊維発生部材１２１から繊維がほつれ、繊維状のクリーニング剤Ｇａが生じる。なお、繊維が発生しやすいように、ローラ１２２は凹凸が設けられているものが望ましい。また、ローラ１２２が繊維発生部材１２１をこすった後、ローラ１２２は吸気口３（導入管４）内に導入される。これにより、ローラ１２２に付着している繊維状のクリーニング剤Ｇａが導入管４に導入されてもよい。
　繊維がほつれた状態の繊維発生部材１２１が吸気口３に挿入されると、繊維発生部材１２１においてほつれた状態の繊維（クリーニング剤Ｇａ）が吸気口３における負圧によって分析システムＺ内に取り込まれる。その後、繊維状のクリーニング剤Ｇａがサイクロン５の内壁面等に付着した検出対象物質Ｐ（図２参照）をとり除く。
　図６に示した繊維発生部材１２１に繊維が強固に保持されており、排気ファン６（図１参照）による吸気口３から吸引される気体の流れだけでは十分な量の繊維が発生しない場合、以下のようにしてもよい。すなわち、ノズル２（図１参照）から圧縮空気Ａが噴射され、この圧縮空気Ａが繊維発生部材１２１に当てられることで繊維発生部材１２１からの繊維の発生量を増やしてもよい。
　なお、繊維発生部材１２１は、布製あるいは紙製ガーゼ状のものの他に、革製のものにおいて、端部がほつれている等、繊維状のものが発生するものであればよい。
　なお、繊維発生部材１２１から繊維を発生するものであれば、ローラ１２２でなくてもよい。例えば、繊維発生部材１２１を摺擦することで遷移を発生する摺擦部（不図示）が備えられてもよい。
　第３実施形態によれば、除去効果の高い繊維状のクリーニング剤Ｇａを容易に発生させ、分析システムＺに導入することができる。
［第４実施形態］
　図７は、第４実施形態に係る分析システムＺｃのうち、吸気口３、導入管４、サイクロン５まわりを示す図である。分析システムＺｃにおける、その他の構成は図１に示すものと同様である。また、図７において、図１と同様の構成については、図１と同一の符号を付して説明を省略する。
　本実施形態に係るクリーニング作業を何度も実行すると、一次フィルタ７が閉塞してしまうおそれがある。
　これを防止するため、第４実施形態に係る分析システムＺｃでは、クリーニング剤Ｇ（図２参照）として直径数μｍの磁性粉体を用いると共に、サイクロン５と気化器８の間に磁石４０１を設ける。クリーニング剤Ｇである磁性粉体は磁石４０１に吸着されるため、一次フィルタ７へ到達するクリーニング剤Ｇの量を低減できる。
　これにより、クリーニング剤Ｇによる一次フィルタ７の閉塞を防止することができる。また、クリーニング剤Ｇの回収が容易となり、クリーニング剤Ｇを繰り返し使用することが可能となる。
［第５実施形態］
　図８は、第５実施形態に係る分析システムＺｄのうち、カード挿入部５００、導入管４、サイクロン５まわりを示す図である。分析システムＺｄにおける、その他の構成は図１に示すものと同様である。また、図８において、図１と同様の構成については、図１と同一の符号を付して説明を省略する。
　第５実施形態では、カードＣの表面に付着する検出対象物質Ｐ（図２参照）を効率よく取り込むため、クリーニング剤導入部１ｄでもあるカード挿入部５００を設けている。なお、図８に示すカード挿入部５００は断面概略図を示している。実際には、カード挿入部５００の内部は、カード挿入口５０３及び吸気口３以外は筺体５０２によって密閉している。すなわち、カード挿入部５００は、カードＣを収容する空間５１２を有している。ユーザがカードＣをカード挿入部５００に挿入すると、カードＣに対して上下方向に設置されているノズル（噴射部）５０１から圧縮空気Ａ１が噴射される。ノズル５０１がカードＣの両面に向けられ、かつ、導入管４に向けて設けられることで、カードＣに付着する検出対象物質Ｐを効率よくサイクロン５に取り込むことができる。
　クリーニングが行われる場合、図８に示すように、カード挿入部５００に繊維発生部材５１１が挿入される。そして、繊維発生部材５１１が挿入されている状態でノズル５０１から圧縮空気Ａ１が噴射されることで、繊維発生部材５１１から繊維が発生する。そして、発生した繊維がサイクロン５に取り込まれることで、導入管４及びサイクロン５の内壁面をクリーニングする。繊維発生部材５１１の形状は、必ずしもカードＣに類似していなくてもよく、綿棒のように、棒の先に繊維発生部材５１１を設けたようなものでもよい。また、図８では繊維発生部材５１１が挿入されているが、これに限らず、粒子状のクリーニング剤Ｇが圧縮空気Ａ１によって吹き飛ばされる部材が挿入されるようにしてもよい。
　第５実施形態に係る分析システムＺｄによれば、カードＣから効率的に検出対象物質Ｐを収集できるカード挿入部５００を利用したクリーニング剤導入部１ｄを実現することができる。
［第６実施形態］
　図９は、第６実施形態に係る分析システムＺｅのうち、吸気口３、導入管４、サイクロン５まわりを示す図である。分析システムＺｅにおける、その他の構成は図１に示すものと同様である。また、図９において、図１と同様の構成については、図１と同一の符号を付して説明を省略する。
　図９に示すように、クリーニング剤導入部１ｅは、導入管４に設けられる構成としてもよい。なお、図９では、クリーニング剤導入部１ｅは、サイクロン５の入口近くに設置されているが、これに限らず、導入管４に設けられていれば、どこにクリーニング剤導入部１ｅが設置されてもよい。
　第６実施形態に係る分析システムＺｅによれば、サイクロン５の近傍にクリーニング剤導入部１ｅが備えられることで、サイクロン５のクリーニング効果を向上させることができる。
［第７実施形態］
　図１０は、第７実施形態に係る分析システムＺｆのうち、吸気口３、導入管４、サイクロン５まわりを示す図である。分析システムＺｆにおける、その他の構成は図１に示すものと同様である。また、図１０において、図１と同様の構成については、図１と同一の符号を付して説明を省略する。
　図１０に示すクリーニング剤導入部１は、気流発生部６０１が設けられている。気流発生部６０１は、例えば、吸入管１０６（図３参照）等に設置されている。気流発生部６０１は、外気をクリーニング剤導入部１に送り込むファンでもよいし、クリーニング剤導入部１に高圧の気体を噴射する高圧気体発生装置としてもよい。
　図３に示すクリーニング剤導入部１は、導入管４における負圧を利用してクリーニング剤Ｇを導入管４に導入している。これに対して、図１０に示すクリーニング剤導入部１は気流発生部６０１によって発生する気流も利用してクリーニング剤Ｇ（図２参照）を導入管４に導入している。
　第７実施形態によれば、積極的にクリーニング剤Ｇを導入管４に導入することができる。
　第７実施形態によれば、クリーニング剤Ｇ（図２参照）の分析システムＺ（図１参照）への導入の効率性を向上させることができる。
［効果］
　次に、本実施形態に係る分析システムＺの効果について、図１１～図１３を用いて説明する。
　図１１～図１３は、本実施形態に係る分析システムの効果を示す図である。適宜、図１を参照する。
　まず、分析システムＺにおいて、検出対象物質としてＲＤＸ（Research Department Explosive）という爆薬微粒子が付着したカードＣを検査した結果を図１１に示す。ユーザが、カードＣをかざすと、ノズル２から噴射される圧縮空気ＡによりカードＣに付着した爆薬微粒子が剥離・回収される。その結果、図１１の符号３０１に示すように、データ処理装置３１において、ＲＤＸに由来する信号が検出されている。この場合、爆薬微粒子は吸気口３の付近に飛び散って残留している。そこで、吸気口３の付近に残留している爆薬微粒子をクリーニングするため、エアーガンを用いて吸気口３付近に気体が当てられる。このクリーニングは一般的に行われている手法である。そして、エアーガンによって、除去された吸気口３付近の残留物が分析システムＺにより検出される（図１１の符号３０２）。
　その後、実験者が市販の紙製のウェスを吸気口３にかざし、ノズル２から３０秒間、断続的に噴射される圧縮空気Ａに、この紙製のウェスをあてた。この結果、当該紙製のウェスから繊維がほつれる。そして、ほつれた繊維が繊維状のクリーニング剤Ｇａ（図６参照）となり、吸気口３から吸入される。
　そして、発生した繊維状のクリーニング剤Ｇａがサイクロン５の内壁面に残留している爆薬微粒子を除去した際の信号を図１２に示す。
　繊維状のクリーニング剤Ｇａ投入後の信号が、図１２の符号３０３に示す信号として検出される。
　図１２に示す処理の後、繊維状のクリーニング剤Ｇａ（すなわち、紙製のウェス）によるクリーニング効果を確認するため、改めて繊維発生部材１２１が吸気口３に挿入された。すると、図１３に示すように、爆薬の残留物に由来する信号は検出されず、分析システムＺが十分に清浄になったことが確認された。
　なお、図１１～図１３では、繊維状のクリーニング剤Ｇａを使用しているが、第１実施形態、第２実施形態、後記する第４～第７実施形態のクリーニング剤Ｇａでも同様の効果を得ることができる。
　このように、本実施形態によれば、これまでのエアーガンによるクリーニングでは十分に除去されなかった残留物を除去することができる。
　また、これまでは、サイクロン５内や、導入管４内の残留物を除去するためには、前記したように、分析システムＺの分解清掃や、ベーキングが行われる。そのため、これまでの手法では、サイクロン５内や、導入管４内の残留物を除去するため、２０分から３０分程度を要する。しかしながら、本実施形態に係る分析システムＺは、分解清掃やベーキングを行わなくても、３０秒から１分程度でサイクロン５内や、導入管４内のクリーニングが完了する。
　言い換えれば、本実施形態に係るクリーニング手法によれば、分解清掃や、ベーキングを行わなくても、分解清掃や、ベーキングと同等のクリーニング効果を得ることができる。
　本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明したすべての構成を有するものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、適宜、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
　本実施形態では、クリーニング剤導入部１，１ａ，１ｂ，１ｄ，１ｅが検出対象物質Ｐ（爆薬微粒子）の成分分析を行う分析システムＺに設置されているが、吸引が行われているものであれば、これに限らない。また、サイクロン５等の濃縮部が備えられていなくてもよい。
　また、制御装置３２には、データ処理装置３１による分析結果を表示するモニタが設けられていてもよい。
　また、前記した各構成、機能、データ処理装置３１、制御装置３２等は、それらの一部又はすべてを、例えば集積回路で設計すること等によりハードウェアで実現してもよい。
　また、各実施形態において、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしもすべての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には、ほとんどすべての構成が相互に接続されていると考えてよい。
　１，１ａ～１ｄ　クリーニング剤導入部
　２，５０１　ノズル（噴射部）
　３　　　吸気口（導入部）
　４　　　導入管（導入部）
　５　　　サイクロン（濃縮部、サイクロン型濃縮部）
　６　　　排気ファン
　７　　　一次フィルタ
　８　　　気化器
　２０　　質量分析計（分析部）
　３１　　データ処理装置（分析部）
　３２　　制御装置（制御部）
　１０１，１０１ａ　収納部
　１０２　導入管
　１０３　振動発生器（振動発生部）
　１０４，１０５　バルブ
　１０６　吸入管
　１１１　メッシュ（メッシュ部）
　１２１，５１１　繊維発生部材
　１２２　ローラ（繊維発生部）
　４０１　磁石
　５００　カード挿入部
　５０２　筺体
　５０３　カード挿入口
　５１２　空間
　６０１　気流発生部
　Ａ，Ａ１　圧縮空気
　Ｃ　　　カード
　Ｇ，Ｇａ　クリーニング剤
　Ｌ　　　信号ライン
　Ｐ　　　検出対象物質
　Ｚ，Ｚａ～Ｚｆ　分析システム（クリーニングシステム）

Claims (12)

  1. 　粒状の検出対象物質が気流とともに導入される導入部と、
    　導入された前記検出対象物質を分析する分析部と、
    　前記検出対象物質が前記分析部に吸引されるよう負圧を発生する負圧発生部と、
    　を有し、
    　前記導入部と、前記分析部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部が備えられる
    　ことを特徴とする分析システム。
  2. 　前記クリーニング剤導入部は、
    　前記導入部の近傍に備えられる
    　ことを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  3. 　前記クリーニング剤導入部は、
    　前記クリーニング剤を収納している収納部と、
    　前記収納部を振動させる振動発生部と、
    　を有することを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  4. 　前記クリーニング剤導入部は、
    　前記収納部の下部に、前記クリーニング剤が通過するメッシュ部
    　を有していることを特徴とする請求項３に記載の分析システム。
  5. 　前記クリーニング剤は、繊維状物質である
    　ことを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  6. 　繊維発生部を有し、
    　繊維発生部によって、繊維発生部材から前記繊維状物質が発生する
    　ことを特徴とする請求項５に記載の分析システム。
  7. 　前記クリーニング剤は、磁性物質であり、
    　前記分析部の上流に磁石が設けられている
    　ことを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  8. 　前記導入部は、
    　検査対象物を収容する空間を有し、
    　前記空間に対し、圧縮空気を噴射する噴射部
    　を有することを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  9. 　前記導入部と、前記分析部との間に前記検出対象物質を濃縮する濃縮部が備えられ、
    　前記クリーニング剤導入部は、前記導入部と、前記濃縮部との間に備えられる
    　ことを特徴とする請求項１に記載の分析システム。
  10. 　前記濃縮部は、遠心力によって、前記検出対象物質を選別し、濃縮するサイクロン型濃縮部である
    　ことを特徴とする請求項９に記載の分析システム。
  11. 　粒状の分析対象の物質が気流とともに導入される導入部と、
    　負圧を発生する負圧発生部と、
    　を有し、
    　前記導入部と、前記負圧発生部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部が備えられる
    　ことを特徴とするクリーニングシステム
  12. 　粒状の検出対象物質が気流とともに導入される導入部と、
    　導入された前記検出対象物質を分析する分析部と、
    　前記検出対象物質が前記分析部に吸引されるよう負圧を発生する負圧発生部と、
    　前記導入部と、前記分析部との間に、クリーニング剤を導入するクリーニング剤導入部と、
    　前記分析部から情報を取得し、取得した前記情報を基に、前記クリーニング剤導入部を制御する制御部と、
    　を有し、
    　前記制御部が、
    　前記分析部から取得した情報によって、前記検出対象物質の検出を検知すると、
    　前記クリーニング剤導入部から前記クリーニング剤を前記導入部に導入し、
    　前記分析部が、
    　分析を行い、
    　前記制御部が、
    　前記分析部から取得した情報によって、前記検出対象物質の検出を検知すると、
    　前記クリーニング剤導入部から前記クリーニング剤を前記導入部に導入する
    　ことを、前記検出対象物質が検出されなくなるまで繰り返す
    　ことを特徴とするクリーニング方法。
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