WO2017220319A1 - Arrangement having a carrier and having a housing body, and method for producing an arrangement having a component - Google Patents

Arrangement having a carrier and having a housing body, and method for producing an arrangement having a component Download PDF

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WO2017220319A1
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housing body
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Eckart Schellkes
Florian Grabmaier
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Robert Bosch Gmbh
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Abstract

An arrangement (1) having a carrier (3) and having a housing body (4) is disclosed. The carrier (3) is arranged on the housing body (4) and delimits a cavity (9) for receiving at least one component (16). In the cavity (9), there is provided a passivation (19) composed of a first material in a first region (21) and of a second material in a second region (22) which differs from the first region (21). The first material has a higher modulus of elasticity and/or higher hardness than the second material, wherein the first region (21) covers a partial surface (20) of the carrier (3), and the second region (22) covers a partial surface (14) of the housing body (4). The component (16) is arranged in the second region (22).

Description

Beschreibung  description
Titel title
Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper, und Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit einem Bauelement  Arrangement with a carrier and a housing body, and method for producing a device with a component
Die Erfindung betrifft im Allgemeinen ein Gehäuse für Bauelemente. The invention generally relates to a housing for components.
Insbesondere betrifft die Erfindung ein Gehäuse für elektronische und/oder mikromechanische Bauelemente, wobei das Gehäuse einen Träger und einen Gehäusekörper mit einer Kavität aufweist, die beispielsweise zum Aufnehmen eines Sensorelements vorgesehen ist. In particular, the invention relates to a housing for electronic and / or micromechanical components, wherein the housing has a carrier and a housing body with a cavity which is provided, for example, for receiving a sensor element.
Stand der Technik State of the art
Gehäuse für elektronische Bauelemente unterliegen je nach Verwendungszweck verschiedenen Anforderungen, die sich aus der Art der in dem Gehäuse angeordneten Bauelemente ergeben. Gehäuse für Sensoren sind bekannt. Housings for electronic components are subject to different requirements depending on the purpose, resulting from the nature of the arranged in the housing components. Housings for sensors are known.
In der DE 10 201 1 084 582 B3 werden eine mikromechanische Sensorvorrichtung mit Moldverpackung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren beschrieben. Die Sensorvorrichtung umfasst ein Substrat, einen auf dem DE 10 201 1 084 582 B3 describes a micromechanical sensor device with mold packaging and a corresponding production method. The sensor device comprises a substrate, one on the
Substrat angebrachten Schaltungschip und eine Moldverpackung, in welcher der Schaltungschip verpackt ist. Die Moldverpackung hat eine Kavität oberhalb des Schaltungschips, in der ein Sensorchip vorgesehen ist, sowie innerhalb der Kavität ein Durchgangsloch, durch das eine elektrische Verbindung des Substrate mounted circuit chip and a Moldverpackung in which the circuit chip is packaged. The Moldverpackung has a cavity above the circuit chip in which a sensor chip is provided, and within the cavity, a through hole through which an electrical connection of the
Sensorchips geführt ist. Sensor chip is guided.
Ferner ist es wünschenswert, ein Gehäuse bereitzustellen, das gleichzeitig unterschiedlichen Typen von Bauelementen, wie beispielsweise Sensoren und elektronische Komponenten für die Sensoren, gerecht wird. Die Bauelemente sollen dabei ausreichend gegenüber Umwelteinflüssen geschützt werden, wobei ferner eine Möglichkeit für eine sichere Kontaktierung des jeweiligen Further, it is desirable to provide a housing that simultaneously accommodates different types of devices, such as sensors and electronic components for the sensors. The components should be sufficiently protected against environmental influences, wherein Furthermore, a possibility for a secure contact of the respective
Bauelements gewährleistet sein muss. Außerdem soll bei Bedarf ein Component must be guaranteed. In addition, if necessary, a
ausreichender Zugang zum Bauelement ermöglicht werden. So ist bei einem Sensorelement, damit eine Messung durchgeführt werden kann, in der Regel ein Medienzugang zum Sensorelement erforderlich. Auch ist zu beachten, dass Sensorelemente vergleichsweise empfindlich bezüglich einem zwischen Gehäuse und Träger vorkommenden thermomechanischen und mechanischen Stress sein können. sufficient access to the device are made possible. Thus, with a sensor element, so that a measurement can be carried out, a media access to the sensor element is usually required. It should also be noted that sensor elements can be comparatively sensitive to a thermomechanical and mechanical stress occurring between the housing and the carrier.
Es besteht somit der Bedarf nach einem Gehäuse für Bauelemente, bei dem jedes Bauelement ausreichend passiviert ist und gegen Umwelteinflüsse geschützt ist und gleichzeitig kein negativer Einfluss, wie thermomechanischer und mechanischer Stress, auf das Bauelement ausgeübt wird. There is thus a need for a housing for components, in which each component is sufficiently passivated and is protected against environmental influences and at the same time no negative influence, such as thermo-mechanical and mechanical stress, is exerted on the component.
Offenbarung der Erfindung Disclosure of the invention
Es werden eine Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper nach dem unabhängigen Patentanspruch 1 und ein Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit einem Bauelement gemäß dem nebengeordneten There are an arrangement with a support and a housing body according to independent claim 1 and a method for producing an arrangement with a device according to the independent
Patentanspruch 9 bereitgestellt. Claim 9 provided.
Weitere Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Further embodiments are specified in the dependent claims.
Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper geschaffen, wobei der Gehäusekörper auf dem Träger angeordnet ist und eine Kavität zum Aufnehmen von zumindest einem Bauelement begrenzt. In der Kavität ist eine Passivierung aus einem ersten Material in einem ersten Bereich und aus einem zweiten Material in einem zweiten Bereich vorgesehen, wobei der zweite Bereich unterschiedlich ist zum ersten Bereich. Dabei hat das erste Material einen im Vergleich zu dem zweiten Material höheren Elastizitätsmodul und/oder eine höhere Härte. Ferner bedeckt der erste Bereich eine Teilfläche des Trägers, und der zweite Bereich bedeckt eine Teilfläche des Gehäusekörpers. Das Bauelement ist im zweiten Bereich angeordnet. Mit einer solchen Anordnung kann die Passivierung von Bauelementen erheblich verbessert werden, wobei eine zweiteilige Passivierung geschaffen wird, die in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich der Passivierung jeweils unterschiedlichen Anforderungen an die Passivierung gerecht werden kann. So kann ein zweiteiliger Verguss angewendet werden, mit dem sich gegenseitig ausschließende Anforderungen selektiv durch zwei Stoffe realisieren lassen. Ferner kann die Robustheit von Kavitätspackages im Vergleich zum Stand der Technik deutlich gesteigert werden. According to a first aspect of the invention, an arrangement is provided with a carrier and a housing body, wherein the housing body is arranged on the carrier and defines a cavity for receiving at least one component. In the cavity, a passivation of a first material in a first region and of a second material in a second region is provided, wherein the second region is different from the first region. In this case, the first material has a higher modulus of elasticity and / or a higher hardness compared to the second material. Further, the first area covers a partial area of the carrier, and the second area covers a partial area of the case body. The component is arranged in the second region. With such an arrangement, the passivation of components can be significantly improved, whereby a two-part passivation is created, which can meet in the first region and the second region of the passivation respectively different requirements for the passivation. Thus, a two-part encapsulation can be applied, with which mutually exclusive requirements can be selectively realized by two substances. Furthermore, the robustness of Kavitätspackages can be significantly increased compared to the prior art.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform bildet die Kavität eine zu dem Träger führende Durchgangsöffnung aus, die wenigstens teilweise mit dem ersten Material gefüllt ist. According to a preferred embodiment, the cavity forms a passage opening leading to the carrier, which is at least partially filled with the first material.
Dazu kann vorteilhaft für den ersten Bereich ein Material gewählt werden, dass im Vergleich zu anderen Materialien beziehungsweise zum zweiten Material besser für den Schutz einer Teilfläche des Trägers geeignet ist und For this purpose, a material can be advantageously selected for the first region that is better suited for protecting a partial surface of the carrier than other materials or for the second material, and
dementsprechend einen hinreichend hohen Elastizitätsmodul und/oder eine entsprechend hohe Härte aufweist. Weiterhin lässt sich auf eine solche Weise eine besondere robuste Passivierung des Trägers erreichen. Accordingly, it has a sufficiently high modulus of elasticity and / or a correspondingly high hardness. Furthermore, a special robust passivation of the carrier can be achieved in such a way.
Ferner kann der Gehäusekörper einen die Kavität begrenzenden Vorsprung ausbilden, wobei das Bauelement auf dem Vorsprung angeordnet ist und das zweite Material den Vorsprung bedeckt. Further, the housing body may form a cavity defining projection, wherein the component is disposed on the projection and the second material covers the projection.
Dabei kann vorteilhaft das zweite Material so gewählt werden, dass die Teilfläche des Gehäusekörpers beziehungsweise ein darauf befindliches Bauelement geschützt wird, welches gleichzeitig möglichst wenig thermodynamischen und mechanischen Stress ausgesetzt wird. Insbesondere wird ein In this case, advantageously, the second material can be chosen so that the partial surface of the housing body or a component located thereon is protected, which is exposed at the same time as little as possible thermodynamic and mechanical stress. In particular, a
stressempfindliches Bauelement, dass gegenüber einem Kunststoff des Trägers einen anderen Ausdehnungskoeffizienten und/oder eine andere Biegsamkeit besitzt, nicht auf dem Träger montiert, wodurch thermische Belastungen, wie sie beispielsweise während des Auflötens entstehen, und mechanischer und thermomechanischer Stress auf das Bauelement vermieden werden. Ferner kann das Bauelement im zweiten Bereich hinreichend gut gegenüber einer Umgebungsbelastung, wie beispielsweise eindringende Feuchte, geschützt werden. Stress-sensitive device that has a different coefficient of expansion and / or a different flexibility compared to a plastic of the carrier, not mounted on the support, whereby thermal stresses, such as arise during soldering, and mechanical and thermo-mechanical stress on the device can be avoided. Further, the device in the second region sufficiently well against a Environmental stress, such as penetrating moisture, are protected.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist das Bauelement im zweiten Bereich als Sensorelement, insbesondere als Drucksensor, ausgebildet. According to one embodiment of the invention, the component in the second region is designed as a sensor element, in particular as a pressure sensor.
Dadurch kann vorteilhaft eine Sensorvorrichtung verwirklicht werden, bei der die Beibehaltung der Sensorkennlinie gewährleistet ist, indem einer negativen Beeinflussung der Sensorkennlinie insbesondere bei der Montage vorgebeugt werden kann. Insbesondere können hierbei die Vorteile eines Premoldgehäuses genutzt werden, bei dem der Sensor auf einem zumeist sehr steifen As a result, a sensor device can advantageously be realized in which the retention of the sensor characteristic curve is ensured, in that a negative influence on the sensor characteristic can be prevented, in particular during assembly. In particular, in this case the advantages of a premold housing can be used, in which the sensor is usually very stiff on one
Kunststoffboden montiert ist, während die anderen Seiten des Sensors lediglich von einer geeigneten, schonenden Passivierung umgeben werden. Plastic bottom is mounted, while the other sides of the sensor are surrounded only by a suitable, gentle passivation.
Ferner kann zwischen dem Sensorelement und einer Außenseite des Furthermore, between the sensor element and an outside of the
Gehäusekörpers eine Fluidverbindung im zweiten Material und/oder im Housing body fluid communication in the second material and / or in the
Gehäusekörper ausgebildet sein. Be formed housing body.
Dadurch können bei Bedarf Teile des Sensorelements frei bleiben, wobei vorteilhaft eine Sensorvorrichtung mit einfach realisierten Zuführungsöffnungen beispielsweise zum Zuführen eines Gasdrucks zum Sensor bereitgestellt wird. Insbesondere ist hierbei eine Zuführungsöffnung einfacher realisierbar als bei einem reinen Moldgehäuse, wo das Bauelement bzw. der Sensor von dem Gehäusekörper umgeben ist. As a result, if necessary parts of the sensor element remain free, wherein advantageously a sensor device is provided with simply realized feed openings, for example for supplying a gas pressure to the sensor. In particular, in this case a feed opening is easier to implement than in a pure mold housing, where the component or the sensor is surrounded by the housing body.
Bevorzugt ist im Gehäusekörper ein weiteres Bauelement eingebettet. Preferably, another component is embedded in the housing body.
Dieses Bauelement, das bevorzugt so gewählt ist, dass es keinen Medienzugang benötigt, kann dadurch besonders gut gegenüber Umwelteinflüssen geschützt werden, da es direkt vom Gehäusekörper umgeben wird. This device, which is preferably chosen so that it does not require media access, can be particularly well protected against environmental influences, since it is surrounded directly by the housing body.
Nach einer vorteilhaften Ausführungsform weist der erste Bereich eine geringere Dicke als der zweite Bereich auf, wobei das erste Material beispielsweise ein Epoxidharz oder einen Lack aufweist. Somit kann vorteilhaft der erste Teil der zweiteiligen Passivierung den Träger mit einem harten und dünnen Verguss schützen. Dabei hält der dichte und harte Verguss im Vergleich zu weicherem Material schädigendes Medium deutlich länger von den empfindlichen Strukturen fern. Insbesondere kann im ersten Bereich eine geringe Durchlässigkeit gegenüber Medien wie Luft, Feuchte, und Abgasen, Halogeniden, Basen oder Säuren erreicht werden. Ferner sorgt die dünne Auftragung dafür, dass keine thermomechanischen Spannungen zu Rissen und Ablösungen führen, die bei einem größeren Volumen ansonsten zu erwarten wären. According to an advantageous embodiment, the first region has a smaller thickness than the second region, wherein the first material comprises, for example, an epoxy resin or a lacquer. Thus, advantageously, the first part of the two-part passivation can protect the carrier with a hard and thin encapsulation. The dense and hard encapsulation keeps media damaging much longer away from the sensitive structures compared to softer material. In particular, in the first range, a low permeability to media such as air, moisture, and exhaust gases, halides, bases or acids can be achieved. Furthermore, the thin application ensures that no thermomechanical stresses lead to cracks and delamination, which would otherwise be expected for a larger volume.
Das zweite Material kann ein Gel, insbesondere ein Silikongel, aufweisen. The second material may comprise a gel, in particular a silicone gel.
Ein solches Material besitzt gegenüber Kunststoffen, wie beispielsweise Such a material has over plastics, such as
Epoxiden, den Vorteil, dass es als Vollverguss über das Bauelement einsetzbar ist. Dadurch, dass es im zweiten Bereich eingesetzt wird, können ferner im zweiten Bereich eine stressinduzierte Kennlinienveränderungen ebenso wie durch thermomechanischen Stress entstehende Risse und Delamination vermieden werden. Epoxides, the advantage that it can be used as a full potting over the device. In addition, the fact that it is used in the second area, stress-induced characteristic changes as well as cracks and delamination due to thermo-mechanical stress can be avoided in the second area.
Insgesamt kann somit der zweite Teil der zweiteiligen Passivierung sowohl das Sensorelement als auch das Volumen der Kavität mit einem inkompressiblen Verguss aus weichen Material mit niedrigem E-Modul schützen. Die Overall, therefore, the second part of the two-part passivation can protect both the sensor element and the volume of the cavity with an incompressible casting of soft material with a low modulus of elasticity. The
Inkompressibilität ist bei vielen Anwendungen eine Voraussetzung zur Incompressibility is a prerequisite for many applications
Gewährleistung einer unbeeinflussten Signalübertragung, und die Weichheit trägt dazu bei, eine Beeinflussung durch thermomechanische Spannungen auf das Sensorelement zu vermeiden. Ensuring an unaffected signal transmission, and the softness helps to avoid an influence by thermo-mechanical stresses on the sensor element.
Der Gehäusekörper kann beispielsweise durch Kunststoffumspritzen hergestellt sein. The housing body may be made for example by plastic injection molding.
Dadurch kann der Gehäusekörper auf effiziente Weise hergestellt werden, wobei gleichzeitig, durch den Kunststoff, weiterhin ein guter Schutz der Bauelemente gegenüber Umgebungseinflüssen gewährleistet werden kann. Es kann auf vorteilhafte Weise eine Fertigung eines Mold-Premold-Gehäuses mit umspritzten Bauteilen auf einer Leiterplatte oder einem Leadframe als Träger mit einer Premoldkavität und einer zweiteiligen Passivierung verwirklicht werden. Thereby, the housing body can be manufactured in an efficient manner, while at the same time, by the plastic, further a good protection of the components against environmental influences can be ensured. It may advantageously be a production of a mold-premold housing with overmolded Components are realized on a circuit board or a leadframe as a carrier with a Premoldkavität and a two-part passivation.
Nach einer Ausführungsform kann ferner vorgesehen sein, dass das Bauelement durch eine Drahtverbindung mit einem elektrischen Anschluss auf dem Träger verbunden ist, wobei der Anschluss im ersten Bereich angeordnet ist und von dem ersten Material bedeckt ist, wobei der Drahtbond durch den ersten Bereich und durch den zweiten Bereich geführt ist. According to one embodiment, it may further be provided that the component is connected by a wire connection to an electrical connection on the carrier, wherein the connection is arranged in the first region and is covered by the first material, wherein the wire bond passes through the first region and through the first region second area is guided.
Insbesondere in einer Kombination mit dem oben genannten dünnen, harten Verguss im ersten Bereich kann diese Ausführungsform besonders vorteilhaft bei einer empfindlichen Leiterplatte als Träger eingesetzt werden, wobei auf der Leiterplatte Bondbereiche zur Kontaktierung des im zweiten Bereich In particular, in a combination with the above-mentioned thin, hard casting in the first region, this embodiment can be used particularly advantageous in a sensitive circuit board as a carrier, wherein on the circuit board bond areas for contacting the in the second area
angeordneten Bauelements vorgesehen sein können. Dabei wird aufgrund der dünnen, lokalen Auftragung im Bondfußbereich das harte Medium vom arranged component can be provided. Due to the thin, local application in the Bondfußbereich the hard medium of
Sensorelement, dessen Funktion durch thermomechanischen Stress gestört werden kann ferngehalten. Die zweiteilige Passivierung kann vorteilhaft sowohl einen dichten Schutz der Leiterplatte und der Bondverbindung auf der Sensor element whose function can be disturbed by thermomechanical stress kept away. The two-part passivation can advantageously both a dense protection of the printed circuit board and the bonding connection on the
Leiterplatte vor Medien wie Abgasen und Halogeniden bereitstellen, ohne einen negativen Einfluss eines harten Materials auszuüben. Provide printed circuit board in front of media such as exhaust gases and halides, without exerting a negative influence of a hard material.
Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit einem Bauelement geschaffen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Bereitstellen eines Trägers, Ummolden des Trägers mit einem Moldmaterial, so dass eine Kavität ausgeformt wird, wobei die Kavität bis zu einer Oberseite des Trägers reicht, Platzieren eines Bauelements in der Kavität, Einbringen eines ersten Materials in die Kavität, wobei das erste Material auf die Oberfläche des Trägers in der Kavität aufgebracht wird, und Aufbringen eines zweiten Materials in die Kavität, wobei das Bauelement von dem zweiten Material bedeckt wird und wobei das zweite Material einen im Vergleich zu dem ersten Material niedrigeren Elastizitätsmodul und/oder eine höhere Härte aufweist. According to a second aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing a device with a device, the method comprising the steps of: providing a carrier, encasing the carrier with a molding material so as to form a cavity, the cavity extending to one Top of the carrier ranges, placing a device in the cavity, introducing a first material into the cavity, wherein the first material is applied to the surface of the carrier in the cavity, and applying a second material in the cavity, wherein the device of the second Material is covered and wherein the second material has a lower modulus of elasticity and / or a higher hardness compared to the first material.
Nach einer bevorzugten Ausführungsform wird das zweite Material auch auf das erste Material aufgebracht. Ferner wird bevorzugt, dass das erste Material in einer dünneren Schicht als das zweite Material aufgebracht wird. According to a preferred embodiment, the second material is also applied to the first material. It is further preferred that the first material is applied in a thinner layer than the second material.
Weiterhin kann das erste Material die gesamte Oberfläche des Trägers in der Kavität bedecken, und das zweite Material kann das gesamte Bauelement bedecken. Furthermore, the first material may cover the entire surface of the carrier in the cavity, and the second material may cover the entire device.
Insgesamt können durch die Aspekte der Erfindung Vorteile von sowohl einem Moldgehäuse, bei dem die Bauelemente auf einem Träger, beispielsweise einer Leiterplatte, aufgebaut werden und dann mit Kunststoff umspritzt werden, als auch einem Premoldgehäuse, bei dem zunächst ein Träger umspritzt wird, wobei Bereiche beispielswiese für die elektrische Kontaktierung freigehalten werden und das Bauelement danach hinzugefügt und kontaktiert wird, vorteilhaft genutzt werden, wobei durch die Aspekte der Erfindung eine verbesserte Passivierung bereitgestellt wird. Mit anderen Worten, es kann eine Kombination aus beiden oben genannten Gehäusearten bereitgestellt werden, das heißt, bestückte Bauelemente können umspritzt werden und Aussparungen freigehalten werden, um danach weitere Bauelemente hinzuzufügen, und gleichzeitig kann die Passivierung für alle Bauelemente auf eine Weise sichergestellt werden, bei der auf die Funktion der Bauelemente besonders Rücksicht genommen wird. Overall, the aspects of the invention advantages of both a mold housing, in which the components are mounted on a support, such as a circuit board, and then molded with plastic, as well as a premold housing, in which a carrier is first encapsulated, with areas beispielswiese are kept for electrical contacting and the device is then added and contacted, can be advantageously used, wherein the aspects of the invention, an improved passivation is provided. In other words, a combination of both of the above-mentioned types of housing may be provided, that is, assembled components may be overmolded and recesses may be kept free to thereafter add further components, and at the same time passivation for all components may be ensured in a manner which takes particular account of the function of the components.
Dabei können Bauelemente, die eine geringe Stressempfindlichkeit aufweisen und keinen Gaszugang benötigen, eingemoldet werden, wohingegen ein stressempfindliches Sensorelement in einer ausgeformten Premoldkavität aufgebaut wird. Dadurch wird der Schutz der eingemoldeten Bauelemente vor Umwelteinflüssen erreicht und gleichzeitig sichergestellt, dass das In this case, components which have a low sensitivity to stress and require no gas access can be gold-plated, whereas a stress-sensitive sensor element is constructed in a molded premold cavity. As a result, the protection of the molded components is achieved against environmental influences while ensuring that the
Sensorelement eine Verbindung zur Außenwelt hat, da es in der Premoldkavität angeordnet ist. Sensor element has a connection to the outside world, since it is located in the Premoldkavität.
Insbesondere kann vorteilhaft ein Mold-Premold-Gehäuse auf Leiterplattenbasis realisiert werden, um Bauelemente, die keinen Medienzugang benötigen, im Moldkörper zu schützen, und gleichzeitig einen Premoldbereich zu erzeugen, in dem ein Sensorelement mit einer zweiteiligen Passivierung vor Medieneinflüssen geschützt wird. Die Aspekte der Erfindung lassen sich sowohl mit einem Leadframe als auch mit einem Substrat als Träger realisieren. In particular, a circuit board-based mold-premold housing can advantageously be realized in order to protect components which do not require media access in the molding body, and at the same time to produce a premold region in which a sensor element with a two-part passivation is protected against media influences. The aspects of the invention can be realized both with a leadframe and with a substrate as a carrier.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Preferred embodiments of the present invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings. Show it:
Fig. 1 eine schematische Querschnittsansicht einer Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper, gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, 1 shows a schematic cross-sectional view of an arrangement with a carrier and a housing body, according to a first embodiment of the invention,
Fig. 2 eine schematische Draufsicht einer Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper, gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, 2 shows a schematic plan view of an arrangement with a carrier and a housing body, according to a second embodiment of the invention,
Fig. 3 eine schematische Querschnittsansicht einer Anordnung mit einem Träger und einem Gehäusekörper, gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung, und Fig. 3 is a schematic cross-sectional view of an arrangement with a carrier and a housing body, according to a third embodiment of the invention, and
Fig. 4 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Herstellen einer Anordnung mit einem Bauelement, nach einer Ausführungsform der Erfindung. 4 shows a flow diagram of a method for producing a device with a component, according to an embodiment of the invention.
Beschreibung von Ausführungsformen Description of embodiments
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente. In the figures, like reference numerals designate the same or functionally identical elements.
Die Fig. 1 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer als Fig. 1 shows a schematic cross-sectional view of a
Sensoranordnung 2 ausgestalteten Anordnung 1 mit einem Träger 3 und einem Gehäusekörper 4 gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Der Träger 3 dient als Substrat für den Gehäusekörper 4, und der Gehäusekörper hat eine Oberseite 6 und eine Unterseite 5, wobei die Unterseite 5 den Träger 3 zum Großteil bedeckt. Der Träger 3 kann prinzipiell als Leadframe oder Leiterplatte ausgestaltet sein, wobei nach der hier gezeigten Ausführungsform der Träger 3 eine Leiterplatte ist, die mit einer Vielzahl von elektronischen Bauelementen 7 bestückt ist, wovon in der Zeichnung ein Bauelement 7 exemplarisch dargestellt ist. Das Bauelement 7 wird von dem Gehäusekörper 4 ummantelt und ist mit der Leiterplatte, d.h. dem Träger 3, mittels leitender Verbindungen 8 elektrisch verbunden. Die leitenden Verbindungen 8 weisen beispielsweise Drahtbonds auf. Nach der hier gezeigten Ausführungsform ist der Gehäusekörper 4 aus einem Kunststoff gefertigt und bildet ein Chipgehäuse für das Bauelement 7. Dabei kann der Gehäusekörper 4 beispielsweise durch Spritzguss gefertigt sein. Da das Bauelement 7 durch den Gehäusekörper 4 ummantelt wird, der somit als ein Moldgehäuse fungiert, wie in der Zeichnung dargestellt, ist das Bauelement 7 im Gehäusekörper 4 vor Umgebungseinflüssen geschützt. Sensor assembly 2 configured arrangement 1 with a support 3 and a housing body 4 according to a first embodiment of the invention. The carrier 3 serves as a substrate for the housing body 4, and the housing body has an upper side 6 and a lower side 5, the lower side 5 largely covering the carrier 3. The carrier 3 can in principle be configured as a leadframe or printed circuit board, wherein according to the embodiment shown here, the carrier 3 a printed circuit board is, which is equipped with a variety of electronic components 7, of which in the drawing, a component 7 is shown as an example. The component 7 is encased by the housing body 4 and is electrically connected to the circuit board, ie the support 3, by means of conductive connections 8. The conductive connections 8 have, for example, wire bonds. According to the embodiment shown here, the housing body 4 is made of a plastic material and forms a chip housing for the component 7. In this case, the housing body 4 can be manufactured, for example, by injection molding. Since the component 7 is encased by the housing body 4, which thus acts as a mold housing, as shown in the drawing, the component 7 is protected in the housing body 4 from environmental influences.
Der Gehäusekörper 4 bildet ferner eine Kavität 9 aus, die durch Seitenwände 10, d.h. Innenwände des Gehäusekörpers 4, begrenzt wird. In einer Draufsicht können die begrenzenden Seitenwände 10, wie in der Fig. 2 gezeigt wird, am Außenumfang der Kavität 9 durchgehend miteinander verbunden sein. In der in Fig. 1 gezeigten Querschnittsansicht hat die Kavität 9 teilweise einen The housing body 4 further defines a cavity 9 defined by side walls 10, i. Inner walls of the housing body 4, is limited. In a plan view, the limiting side walls 10, as shown in Fig. 2, be connected to each other at the outer periphery of the cavity 9. In the cross-sectional view shown in Fig. 1, the cavity 9 has a part
stufenförmigen Querschnitt, indem der Gehäusekörper 4 so geformt ist, dass die Kavität 9 ferner durch einen in die Kavität 9 hineinragenden Vorsprung 1 1 begrenzt wird. In der Querschnittsansicht sind ferner eine Unterseite 13, eine Oberseite 14, und eine Seitenwand 15 des Vorsprungs 1 1 sichtbar. Step-shaped cross-section, by the housing body 4 is formed so that the cavity 9 is further limited by a projecting into the cavity 9 projection 1 1. In the cross-sectional view, a bottom 13, a top 14, and a side wall 15 of the projection 1 1 are also visible.
Der Vorsprung 1 1 des Gehäusekörpers 4 bedeckt eine Teilfläche des Trägers 3, wobei die Unterseite 13 des Vorsprungs 1 1 einen Teil der Unterseite 5 des Gehäusekörpers darstellt. Die Seitenwand 15 des Vorsprungs 1 1 verläuft parallel zur Seitenwand bzw. Innenwand 10 des Gehäusekörpers 4, wobei der The projection 1 1 of the housing body 4 covers a partial surface of the support 3, wherein the bottom 13 of the projection 1 1 is a part of the bottom 5 of the housing body. The side wall 15 of the projection 1 1 extends parallel to the side wall or inner wall 10 of the housing body 4, wherein the
Gehäusekörper jedoch nicht auf eine solche Gestalt beschränkt ist. Die Kavität 9 hat ferner eine Öffnung an der Oberseite 6 des Gehäusekörpers 4. Ferner bildet die Kavität 9 eine zum Träger 3 führende Durchgangsöffnung 12 aus, so dass der Träger 4 in einem unter der Durchgangsöffnung 12 liegenden Bereich nicht vom Gehäusekörper 4 bedeckt wird. Housing body, however, is not limited to such a shape. Furthermore, the cavity 9 forms a passage opening 12 leading to the carrier 3, so that the carrier 4 is not covered by the housing body 4 in a region located below the passage opening 12.
Die Kavität 9 dient dazu, ein Bauelement 16 aufzunehmen, das nicht direkt auf der Leiterplatte 3 platziert ist. Das Bauelement 16 ist auf der Oberseite 14 des Vorsprungs 1 1 angeordnet und mittels einer Drahtverbindung 17 mit der Leiterplatte 3 verbunden. Auf der Leiterplatte 3 sind ferner zugehörige Bondfüße 18 als Anschlüsse für die Drahtbonds 17 vorgesehen. Die Bondfüße 18 sind Elemente einer in der Zeichnung nicht näher dargestellten Struktur des Aufbaus der Leiterplatte 3. Das Bauelement 16 in der Kavität 9 ist hier ein Sensorelement, das ein mikromechanisches Sensorelement aufweisen kann. Insbesondere kann das Bauelement 16 ein Drucksensor sein. Die zugehörige Elektronik des The cavity 9 serves to receive a component 16 which is not placed directly on the printed circuit board 3. The device 16 is disposed on the top 14 of the projection 1 1 and by means of a wire connection 17 with the PCB 3 connected. On the circuit board 3 associated bond feet 18 are also provided as connections for the wire bonds 17. The bonding feet 18 are elements of a structure of the construction of the printed circuit board 3 which is not shown in greater detail in the drawing. The component 16 in the cavity 9 is here a sensor element which may have a micromechanical sensor element. In particular, the component 16 may be a pressure sensor. The associated electronics of the
Sensorelements ist zumindest teilweise auf der Leiterplatte 3 platziert. Die Elektronik weist beispielsweise das Bauelement 7 auf und kann ferner noch weitere Elemente aufweisen, die der Einfachheit in der Zeichnung nicht näher dargestellt sind. Diese können auch im Bereich der Durchgangsöffnung 12 auf der Leiterplatte 3 vorgesehen sein. Sensor element is at least partially placed on the circuit board 3. The electronics have, for example, the component 7 and may also have other elements that are not shown in detail for simplicity in the drawing. These can also be provided in the region of the passage opening 12 on the printed circuit board 3.
In der Kavität 9 ist eine Passivierung 19 vorgesehen, die sowohl zum Passivieren des Bauelements, d.h. Sensorelements 16 als auch zum Passivieren eines Teils der Leiterplatte 3, der im Bereich der Durchgangsöffnung 12 der Kavität 9 liegt, dient. Dazu weist die Passivierung 19 einen ersten Bereich 21 aus einem ersten Material und einen zweiten Bereich 22 aus einem zweiten Material auf. Der erste Bereich 21 der Passivierung 19 bedeckt eine Teilfläche der Leiterplatte 3, die nicht bereits durch die Unterseite 5 des Gehäusekörpers 4 bedeckt wird. Der zweite Bereich 22 der Passivierung 19 bedeckt eine Teilfläche 14 des In the cavity 9 a passivation 19 is provided which is suitable for both passivating the device, i. Sensor element 16 and for passivating a portion of the circuit board 3, which is located in the region of the passage opening 12 of the cavity 9, is used. For this purpose, the passivation 19 has a first region 21 made of a first material and a second region 22 made of a second material. The first region 21 of the passivation 19 covers a partial surface of the printed circuit board 3, which is not already covered by the underside 5 of the housing body 4. The second region 22 of the passivation 19 covers a partial surface 14 of the
Gehäusekörpers 10, genauer gesagt, unter anderem die Oberseite 14 des Vorsprungs 1 1 . Ferner bedeckt der zweite Bereich 21 auch einen Teil der Seitenfläche 10. Auf diese Weise wird das auf dem Vorsprung 1 1 angeordnete Sensorelement 16 im zweiten Passivierungsbereich 19 angeordnet Housing body 10, more specifically, including the top 14 of the projection 1 1. Furthermore, the second region 21 also covers part of the side surface 10. In this way, the sensor element 16 arranged on the projection 11 is arranged in the second passivation region 19
beziehungsweise im zweiten Material eingebettet. In der gezeigten or embedded in the second material. In the shown
Ausführungsform erstreckt sich der zweite Bereich 22 der Passivierung 19 ferner auch über den ersten Bereich 21 hinweg, so dass der erste Bereich 21 und der zweite Bereich 22 eine gemeinsame Grenzfläche 20 aufweisen, die nach dieser Ausführungsform parallel zur Leiterplatte 3 verläuft. Dadurch kann die Embodiment, the second region 22 of the passivation 19 also extends beyond the first region 21, so that the first region 21 and the second region 22 have a common interface 20, which according to this embodiment is parallel to the printed circuit board 3. This allows the
Passivierung 19 besonders einfach hergestellt werden und die Robustheit erhöht werden. Die Dicke di des ersten Bereichs 21 ist kleiner als die Dicke d2 des zweiten Bereichs 22. Insbesondere ist die Dicke d2 des zweiten Bereichs 22 so gewählt, dass der zweite Bereich 22 das Sensorelement 16 umgibt, wohingegen der erste Bereich 21 den Träger 3 abdeckt. Die beiden Bereiche 21 , 22 der Passivierung 19 können alle denkbaren geeigneten Formen annehmen, die sich nach der Art, Anzahl, und Anordnung der zu schützenden Bauelemente richten. Dabei ist der Begriff„Bereich" in diesem Zusammenhang nicht auf die Beschreibung einer zweidimensionalen Ausdehnung beschränkt, wie bereits durch die oben genannte Ausführungsform deutlich wird. Ferner bedeutet„unterschiedlich", dass die Bereiche höchstens gemeinsame Grenzflächen, aber keine identischen Volumenbereiche aufweisen. Passivation 19 are made very easy and the robustness can be increased. The thickness di of the first region 21 is smaller than the thickness d2 of the second region 22. Specifically, the thickness d2 of the second region 22 is selected such that the second region 22 surrounds the sensor element 16, whereas the first region 21 covers the carrier 3. The two regions 21, 22 of the passivation 19 can take any conceivable suitable forms, which depend on the type, number, and arrangement of the components to be protected. Here, the term "area" in this context is not limited to the description of a two-dimensional extent, as already apparent from the above embodiment, and "different" means that the areas have at most common interfaces but no identical volume areas.
Das erste Material weist beispielsweise Epoxidharz oder Lack auf, und das zweite Material weist beispielsweise ein Gel, insbesondere ein Silikongel, auf. The first material comprises, for example, epoxy resin or lacquer, and the second material comprises, for example, a gel, in particular a silicone gel.
Die Kavität 9 ist als eine sogenannte Premoldkavität ausgestaltet, wobei der Gehäusekörper 4 als ein Premold-Package oder Premoldgehäuse fungiert, das eine durch die Unterseite 5 des Gehäusekörpers 4 bedeckte Fläche des Trägers 3 schützt. Da ferner das Bauelement 7 in dem Gehäusekörper 4 eingemoldet ist, wird somit durch die Anordnung 1 und insbesondere durch den Gehäusekörper 4 ein Mold-Premold-Gehäuse mit zweiteiliger Passivierung verwirklicht. The cavity 9 is designed as a so-called premold cavity, wherein the housing body 4 acts as a premold package or premold housing which protects a surface of the support 3 covered by the underside 5 of the housing body 4. Further, since the component 7 is molded in the housing body 4, a Mold-Premold housing with two-part passivation is thus realized by the arrangement 1 and in particular by the housing body 4.
Die Fig. 2 zeigt eine schematische Draufsicht einer Anordnung 24 mit einem Träger 3 und einem Gehäusekörper 4, gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung. Die Anordnung 24 entspricht im Wesentlichen der Anordnung 1 in Fig. 1. Im Unterschied zu der ersten Ausführungsform nach Fig. 1 ist der Träger 3 nach der zweiten Ausführungsform als Leadframe, d.h. als Anschlussrahmen ausgebildet. Der Leadframe 3 ist unter dem Gehäusekörper 4 angeordnet, wobei dies nach der in Fig. 2 gezeigten Draufsicht einer Position hinter dem 2 shows a schematic plan view of an arrangement 24 with a carrier 3 and a housing body 4, according to a second embodiment of the invention. The arrangement 24 substantially corresponds to the arrangement 1 in Fig. 1. In contrast to the first embodiment according to Fig. 1, the carrier 3 according to the second embodiment as a leadframe, i. designed as a connection frame. The leadframe 3 is arranged under the housing body 4, this being according to the plan view shown in FIG. 2 of a position behind the
Gehäusekörper 4, bezüglich einer Richtung in die Blattebene hinein, entspricht. Wie in der Fig. 2 gezeigt wird, hat der Leadframe 3 eine Vielzahl von Housing body 4, with respect to a direction in the leaf level, corresponds. As shown in FIG. 2, the leadframe 3 has a plurality of
Anschlüssen 25, die in der Zeichnung lediglich schematisch dargestellt werden. Die Anschlüsse 25 können bei einer Variante dieser Ausführungsform zur Montage der Anordnung 24 dienen, sind aber grundsätzlich nicht auf eine bestimmte Gestalt beschränkt. Ports 25, which are shown only schematically in the drawing. The terminals 25 may serve in a variant of this embodiment for mounting the assembly 24, but are not limited in principle to a particular shape.
Die Anordnung 24 weist ferner eine Vielzahl von in dem Gehäusekörper 4 eingemoldeten Bauelementen 7, 26 auf, wobei in der Zeichnung der Übersicht halber zwei Bauelemente 7, 26 beispielhaft dargestellt sind. Nicht explizit dargestellt ist die elektronische Verbindung auf der Leiterplatte zwischen den Bauelementen 7, 26 einerseits und dem Sensorelement 16 andererseits. Wie ferner in der Fig. 2 gezeigt wird, bilden die Seitenwände 10 der Kavität ein geschlossenes Rechteck. Die Form und Anordnung der Kavität 9 und der Durchgangsöffnung 12 ist aber nicht auf eine bestimmte Form beschränkt und kann je nach Anwendung angepasst werden. So ist nach dieser The arrangement 24 furthermore has a multiplicity of components 7, 26 molded in the housing body 4, two components 7, 26 being shown by way of example in the drawing for the sake of clarity. Not explicitly shown is the electronic connection on the circuit board between the components 7, 26 on the one hand and the sensor element 16 on the other. As further shown in Fig. 2, the side walls 10 of the cavity form a closed rectangle. The shape and arrangement of the cavity 9 and the through hole 12 is not limited to a particular shape and can be adjusted depending on the application. So is after this
Ausführungsform die Breite bi2 der Durchgangsöffnung 12 ist kleiner als die Breite bg der Kavität 9. Nach anderen Ausführungsformen kann die Breite der Durchgangsöffnung 12 aber auch der Breite der Kavität 9 entsprechen. Embodiment, the width bi2 of the through hole 12 is smaller than the width bg of the cavity 9. According to other embodiments, the width of the through hole 12 but also the width of the cavity 9 correspond.
Die Fig. 3 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Anordnung 1 mit einem Träger 3 und einem Gehäusekörper 4, gemäß einer dritten 3 shows a schematic cross-sectional view of an arrangement 1 with a carrier 3 and a housing body 4, according to a third
Ausführungsform der Erfindung. Die Anordnung 1 nach Fig. 3 entspricht im Wesentlichen der Anordnung in Fig. 1. Im Unterschied zu Fig. 1 ist in der Fig. 3 zusätzlich ein Fluidverbindung 23 dargestellt, die als eine durch den zweitenEmbodiment of the invention. The arrangement 1 according to FIG. 3 essentially corresponds to the arrangement in FIG. 1. In contrast to FIG. 1, in FIG. 3 additionally a fluid connection 23 is shown, which as one through the second
Bereich 22 führende Durchgangsöffnung ausgestaltet ist. Mit anderen Worten, das zweite Material ist in einem Teilbereich des zweiten Bereichs 22 über dem Sensorelement 16 ausgespart. Dadurch können beispielsweise von dem Area 22 leading through hole is configured. In other words, the second material is recessed in a partial region of the second region 22 above the sensor element 16. As a result, for example, from the
Sensorelement 16 zu fühlende Druckwellen oder Druckveränderungen besser übertragen werden. Nach anderen Ausführungsformen wird auf eine separateSensor element 16 to be transmitted pressure waves or pressure changes are better transmitted. According to other embodiments, is based on a separate
Fluidverbindung 23 verzichtet, wobei das zweite Material selbst als Träger der Übertragung dient bzw. so gewählt wird, dass das zu detektierende Medium nicht auf nachteilhafte Weise abgeschirmt wird. Die Fig. 4 zeigt ein Verfahren zum Herstellen einer Anordnung mit einem Fluid connection 23 is omitted, wherein the second material itself serves as a carrier of the transfer or is chosen so that the medium to be detected is not shielded in a disadvantageous manner. FIG. 4 shows a method for producing an arrangement with a
Bauelement, nach einer Ausführungsform der Erfindung. Das Verfahren weist grundsätzlich die folgend dargestellten Schritte auf. In einem Schritt S100 wir ein Träger bereitgestellt. Der Trägers kann ein Leadframe oder eine Leiterplatte sein. Dabei kann der Träger eine geeignete Strukturierung in Form von Leitungen oder darauf platzierten Anschlüssen und Bauelementen aufweisen. In einem Schritt Component, according to an embodiment of the invention. The method basically has the following steps. In a step S100 we provide a carrier. The carrier may be a leadframe or a printed circuit board. In this case, the carrier may have a suitable structuring in the form of lines or terminals and components placed thereon. In one step
S101 wird der Träger mit einem Moldmaterial ummoldet, wobei ferner eine Kavität ausgeformt wird. Die Kavität dient zur Aufnahme weiterer Bauelemente. Insbesondere kann in der Kavität ein Bauelement aufgenommen werden, dass in der Kavität auf dem Gehäusekörper statt auf dem Träger angeordnet ist. Die Kavität reicht bis zur Oberfläche des Trägers. In einem Schritt S102 wird dann ein Bauelement in der Kavität platziert. In einem Schritt S103 wird ein erstes Material in die Kavität eingebracht, wobei das erste Material auf die Oberfläche des Trägers aufgebracht wird. In einem Schritt S104 wird ein zweites Material in die Kavität eingebracht, wobei ein Bauelement, das in der Kavität platziert ist, von dem zweiten Material bedeckt wird. Dabei werden die Materialien so gewählt, dass das zweite Material einen im Vergleich zu dem ersten Material niedrigeren Elastizitätsmodul und/oder eine höhere Härte aufweist. S101, the carrier is repolished with a molding material, wherein a cavity is further formed. The cavity serves to accommodate further components. In particular, a component can be accommodated in the cavity that is arranged in the cavity on the housing body instead of on the carrier. The cavity extends to the surface of the carrier. In a step S102, then a component placed in the cavity. In a step S103, a first material is introduced into the cavity, wherein the first material is applied to the surface of the carrier. In a step S104, a second material is introduced into the cavity, wherein a component, which is placed in the cavity, is covered by the second material. In this case, the materials are selected so that the second material has a lower modulus of elasticity and / or a higher hardness compared to the first material.
Es versteht sich, das die Reihenfolge der Schritte bei Bedarf variiert werden kann und sich nicht streng nach der in Fig. 4 dargestellten Reihenfolge richten muss. Grundsätzlich kommt es auf die gewählten Materialen und deren It will be understood that the order of the steps may be varied as needed and not strictly according to the order shown in FIG. Basically, it depends on the selected materials and their
Passivierungseigenschaft und eventuellen Einfluss auf die bedeckten oder eingebetteten Elemente und Flächen an. So ist es beispielsweise denkbar, dass zunächst mittels einer Maske der zweite Bereich erzeugt wird, und dann das erste Material aufgebracht wird. In einer solchen Ausführungsform kann auch im ersten Bereich eine als Öffnung gestaltete Fluidverbindung vorgesehen sein. Ferner ist beispielsweise auch denkbar, obwohl dies in der obigen Beschreibung nicht explizit so angegeben wird, dass zunächst ein Gehäusekörper geformt wird, und danach die Kavität in dem Gehäusekörper ausgeformt wird. Passivation property and eventual influence on the covered or embedded elements and surfaces. For example, it is conceivable that the second area is first produced by means of a mask, and then the first material is applied. In such an embodiment, a fluid connection designed as an opening may also be provided in the first region. Furthermore, it is also conceivable, for example, although this is not explicitly stated in the above description, that first a housing body is formed, and then the cavity is formed in the housing body.

Claims

Ansprüche claims
1 . Anordnung (1 ) mit einem Träger (3) und einem Gehäusekörper (4), der auf dem Träger (3) angeordnet ist und eine Kavität (9) zum Aufnehmen von zumindest einem Bauelement (16) begrenzt, wobei in der Kavität (9) eine Passivierung (19) aus einem ersten Material in einem ersten Bereich (21 ) und aus einem zweiten Material in einem zum ersten Bereich (21 ) 1 . Arrangement (1) with a carrier (3) and a housing body (4), which is arranged on the carrier (3) and delimits a cavity (9) for receiving at least one component (16), wherein in the cavity (9) a passivation (19) of a first material in a first region (21) and of a second material in a first region (21)
unterschiedlichen zweiten Bereich (22) vorgesehen ist, wobei das erste Material einen im Vergleich zu dem zweiten Material höheren  different second region (22) is provided, wherein the first material in comparison to the second material higher
Elastizitätsmodul und/oder eine höhere Härte aufweist, wobei der erste Bereich (21 ) eine Teilfläche des Trägers (3) bedeckt und der zweite Bereich (22) eine Teilfläche (14) des Gehäusekörpers (4) bedeckt, wobei das  Young's modulus and / or a higher hardness, wherein the first region (21) covers a partial surface of the carrier (3) and the second region (22) covers a partial surface (14) of the housing body (4), wherein the
Bauelement (16) im zweiten Bereich (22) angeordnet ist.  Component (16) in the second region (22) is arranged.
2. Anordnung (1 ) nach Anspruch 1 , wobei die Kavität (9) eine zu dem Träger (3) führende Durchgangsöffnung (12) ausbildet, die wenigstens teilweise mit dem ersten Material gefüllt ist, und wobei der Gehäusekörper (4) ferner einen die Kavität (9) begrenzenden Vorsprung (1 1 ) ausbildet, wobei das Bauelement2. Arrangement (1) according to claim 1, wherein the cavity (9) forms a to the carrier (3) leading through opening (12) which is at least partially filled with the first material, and wherein the housing body (4) further comprises a Cavity (9) limiting projection (1 1) is formed, wherein the component
(16) auf dem Vorsprung (1 1 ) angeordnet ist und das zweite Material den Vorsprung (1 1 ) bedeckt. (16) on the projection (1 1) is arranged and the second material, the projection (1 1) covered.
3. Anordnung (1 ) nach Anspruch 1 oder 2, wobei im Gehäusekörper (4) ein weiteres Bauelement (7) eingebettet ist. 3. Arrangement (1) according to claim 1 or 2, wherein in the housing body (4), a further component (7) is embedded.
4. Anordnung (1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Bereich (21 ) eine geringere Dicke (di) als der zweite Bereich (22) aufweist. 4. Arrangement (1) according to one of the preceding claims, wherein the first region (21) has a smaller thickness (di) than the second region (22).
5. Anordnung (1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der 5. Arrangement (1) according to one of the preceding claims, wherein the
Gehäusekörper (4) durch Kunststoffumspritzen hergestellt ist. Housing body (4) is made by plastic molding.
6. Anordnung (1 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Bauelement (16) im zweiten Bereich (22) als Sensorelement, insbesondere als Drucksensor, ausgebildet ist. 6. Arrangement (1) according to one of the preceding claims, wherein the component (16) in the second region (22) as a sensor element, in particular as a pressure sensor is formed.
7. Anordnung (1 ) nach Anspruch 7, wobei zwischen dem Sensorelement und einer Außenseite eine Fluidverbindung (23) im zweiten Material und/oder im Gehäusekörper (4) ausgebildet ist. 7. Arrangement (1) according to claim 7, wherein between the sensor element and an outer side, a fluid connection (23) in the second material and / or in the housing body (4) is formed.
8. Anordnung (1 ) nach einem der Ansprüche 3 bis 7, wobei das Bauelement (16) durch eine Drahtverbindung (17) mit einem elektrischen Anschluss auf dem Träger (3) verbunden ist, wobei der Anschluss (18) im ersten Bereich (21 ) angeordnet ist und von dem ersten Material bedeckt ist, wobei der Drahtbond durch den ersten Bereich (21 ) und durch den zweiten Bereich (22) geführt ist. 8. Arrangement (1) according to one of claims 3 to 7, wherein the component (16) by a wire connection (17) with an electrical connection on the support (3) is connected, wherein the terminal (18) in the first region (21 ) and covered by the first material, the wire bond being passed through the first region (21) and through the second region (22).
9. Verfahren zum Herstellen einer Anordnung (1 ) mit einem Bauelement (16), mit den Schritten: 9. A method for producing an assembly (1) with a component (16), comprising the steps of:
- Bereitstellen eines Trägers (3),  Providing a carrier (3),
- Ummolden des Trägers (3) mit einem Moldmaterial, so dass eine Kavität (9) ausgeformt wird, wobei die Kavität (9) bis zu einer Oberseite (6) des Trägers (3) reicht,  - Ummolden the carrier (3) with a molding material, so that a cavity (9) is formed, wherein the cavity (9) extends to an upper side (6) of the carrier (3),
- Platzieren eines Bauelements (16) in der Kavität (9),  Placing a component (16) in the cavity (9),
- Einbringen eines ersten Materials in die Kavität (9), wobei das erste  - Introducing a first material in the cavity (9), wherein the first
Material auf die Oberfläche des Trägers (3) in der Kavität (9) aufgebracht wird, und  Material is applied to the surface of the carrier (3) in the cavity (9), and
- Aufbringen eines zweiten Materials in die Kavität (9), wobei das  - Applying a second material in the cavity (9), wherein the
Bauelement (16) von dem zweiten Material bedeckt wird, wobei das zweite Material einen im Vergleich zu dem ersten Material niedrigeren Elastizitätsmodul und/oder eine höhere Härte aufweist.  Component (16) is covered by the second material, wherein the second material has a lower modulus of elasticity and / or a higher hardness compared to the first material.
10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei das zweite Material auch auf das erste Material aufgebracht wird. 10. The method of claim 9, wherein the second material is also applied to the first material.
1 1 . Verfahren nach einem der Ansprüche 9 oder 10, wobei das erste Material in einer dünneren Schicht als das zweite Material aufgebracht wird. 1 1. A method according to any one of claims 9 or 10, wherein the first material is applied in a thinner layer than the second material.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 1 1 , wobei das erste Material die gesamte Oberfläche des Trägers (3) in der Kavität (9) bedeckt, und wobei das zweite Material das gesamte Bauelement (16) bedeckt. 12. The method of claim 9, wherein the first material covers the entire surface of the carrier in the cavity, and wherein the second material covers the entire device.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, wobei als erstes Material ein13. The method according to any one of claims 9 to 12, wherein as the first material a
Epoxidharz oder ein Lack verwendet wird, und wobei für das zweite Material ein Gel, insbesondere ein Silikongel verwendet wird. Epoxy resin or a lacquer is used, and wherein for the second material, a gel, in particular a silicone gel is used.
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