WO2017170293A1 - センサターゲットとこのターゲットを備えた可動部ユニット、並びに電動アクチュエータ - Google Patents

センサターゲットとこのターゲットを備えた可動部ユニット、並びに電動アクチュエータ Download PDF

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卓志 松任
慎介 平野
篤史 池田
石河　智海
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    • G01D2205/22—Detecting rotary movement by converting the rotary movement into a linear movement

Definitions

  • the present invention relates to a sensor target, a movable unit including the target, and an electric actuator.
  • a link mechanism composed of a plurality of link members is connected to a movable part (that is, a stroke axis) that performs linear motion, and the angle of the link member is determined.
  • a method of detecting the position of the movable part by detecting see Patent Document 2.
  • the position detection device using the link mechanism increases the number of parts necessary for position detection. An increase in the number of parts leads to an increase in product size. Therefore, when considering this type of electric actuator as a series for the above-described reason, it is difficult to say that the position detection device using the link mechanism has an appropriate configuration.
  • the position detection device may be configured with a sensor target and a non-contact sensor that detects the target in a non-contact manner.
  • the mounting position of the sensor target with respect to the movable portion is important. . That is, even if the position of the sensor target can be detected using a non-contact sensor, if the position of the sensor target deviates from a preset position, the position of the actuator head to be finally obtained can be accurately known. This is because there is a possibility that it cannot be done.
  • the present invention enables the sensor target to be attached to the movable part without backlash, and detects the position of the actuator head easily and with high accuracy, thereby reducing the size and series of the electric actuator at a low cost. This is a technical problem to be solved.
  • this target constitutes an electric actuator that converts the rotational motion generated by driving the motor into a linear motion in a direction parallel to the output shaft of the motor and outputs it, and is arranged in parallel with the output shaft to perform the linear motion.
  • a sensor target in which a magnet holder that holds a magnet is provided with a pair or a plurality of pairs of fitting claws that fit on the outer peripheral surface of the movable part. If it is a sensor target comprised in this way, an operator can attach a magnet to a movable part by what is called a snap fit, for example using the elasticity of a fitting nail
  • the position of the magnet can be detected in a non-contact manner with a magnetic sensor. It is possible to reduce the size of the electric actuator including the above. Of course, if it can be attached to the movable part with such a simple structure and simple work, the manufacturing cost and work cost can be kept low, which is preferable for the series of electric actuators.
  • the magnet holder may include a fitting claw and a fitting concave portion provided on the opposite side of the fitting claw from which the magnet is fitted. Good.
  • the fitting recess in this way, the magnet can be easily attached to the magnet holder. Further, by providing a fitting recess on the side opposite to the protruding side of the fitting claw, the magnet mounting position (circumferential position) with respect to the movable part can be matched with the sensor target mounting position (circumferential position). Since it can, positioning can also be performed sensuously.
  • the fitting recess has a pair of side wall portions, a first holding portion formed integrally with the pair of side wall portions, and the pair of side wall portions and the first holding portion. It may be composed of a second clamping part formed on the body and capable of clamping the magnet between the first clamping part.
  • the sensor target according to the present invention has a fitting recess having an opening on the side opposite to the first holding part, and the magnet and the second holding part are fitted from the opening side. It may be one that can be inserted toward the recess.
  • the magnet can be further attached to the fitting recess. It will be easy.
  • the attachment of the magnet is further improved by providing an opening around the fitting recess and allowing the magnet and the second clamping portion to be inserted from the opening.
  • the sensor target according to the above description can be suitably provided as a movable part unit including, for example, this sensor target and a movable part to which the sensor target is attached by fitting.
  • the movable unit according to the present invention may be one in which a notch is provided in the movable part and a sensor target is fitted in the notch.
  • the notch in the movable part By providing the notch in the movable part in this way, the contact surface between the notch and the magnet holder is different from the outer peripheral surface of the movable part (usually a perfect circular shape in cross section), so-called non-circular shape in cross section. Become. Therefore, by attaching the sensor target to the notch via the fitting claw, the notch acts as a rotation stop for the sensor target and the magnet constituting the target. Therefore, it is possible to accurately detect the position of the magnet while preventing the magnet from being displaced in the circumferential direction during or after the attachment.
  • the sensor target and the movable part are in contact with each other even in the axial direction (that is, the linear motion direction of the movable part). Accordingly, it is possible to prevent the magnet from being displaced in the axial direction, and this also makes it possible to accurately detect the position of the magnet.
  • the movable unit according to the above description can be suitably provided as an electric actuator including, for example, the movable unit and a magnetic sensor that is disposed around the movable unit and detects the position of the magnet. is there.
  • the electric actuator according to the present invention further includes a motor and a motion conversion mechanism that converts the rotational motion generated by driving the motor into a linear motion in a direction parallel to the output shaft of the motor. Also good.
  • the movable unit constitutes a motion conversion mechanism.
  • the position of the actuator head can be detected easily and with high accuracy by attaching the sensor target to the movable part without backlash, it is possible to achieve downsizing of the electric actuator, and thus series, at low cost. Is possible.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a cross section taken along line AA in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a cross section taken along line BB in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a cross section taken along the line CC of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a cross section taken along the line CC of FIG.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of a cross section taken along line DD in FIG.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line EE in FIG.
  • It is a perspective view of a ball screw axis in the state where a magnet was attached. It is a perspective view of a ball screw axis.
  • It is a perspective view of the sensor target which consists of a magnet and a magnet holder.
  • It is sectional drawing of FIG. 11 in the state which the ball screw axis advanced.
  • It is a control block diagram of an electric actuator. It is a longitudinal cross-sectional view of the electric actuator which concerns on other embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an assembled state of an electric actuator according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an external perspective view showing the assembled state of the electric actuator
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the electric actuator. It is.
  • the electric actuator 1 of the present embodiment includes a drive unit 2 that generates a driving force, a motion conversion mechanism unit 3 that converts a rotational motion from the drive unit 2 into a linear motion, and a drive unit 2.
  • a driving force transmission unit 4 that transmits a driving force to the motion conversion mechanism unit 3; a motion conversion mechanism support unit 5 that supports the motion conversion mechanism unit 3; an operation unit 6 that outputs the motion of the motion conversion mechanism unit 3; And a lock mechanism unit 7 that prevents the conversion mechanism unit from being driven.
  • the drive unit 2 includes a motor unit 8 and a speed reduction mechanism unit 9.
  • each part constituting the electric actuator 1 has a case, and the components are accommodated in each case.
  • the motor unit 8 has a motor case 11 that houses a motor for generating a driving force (driving motor 10), and the reduction mechanism unit 9 has a reduction gear case 17 that houses a reduction gear mechanism 16.
  • the driving force transmission unit 4 includes a transmission gear case 29 that accommodates the transmission gear mechanism 28, and the motion conversion mechanism support unit 5 includes a bearing case 41 that accommodates the support bearing 40.
  • the motor unit 8 and the speed reduction mechanism unit 9, the speed reduction mechanism unit 9 and the driving force transmission unit 4, and the driving force transmission unit 4 and the motion conversion mechanism support unit 5 are configured to be detachable from each other together with the case.
  • the shaft case 50 is configured to be detachable from the bearing case 41.
  • the motor unit 8 mainly includes a drive motor (for example, a DC motor) 10 for driving the motion conversion mechanism unit 3 and a motor case 11 that houses the drive motor 10.
  • the motor case 11 includes a bottomed cylindrical case main body 12 in which the driving motor 10 is accommodated, and a protrusion 13 protruding outward from the bottom 12 a of the case main body 12.
  • the protrusion 13 is formed with a hole 13 a that communicates with the internal space of the case body 12.
  • the hole 13 a is sealed by a resin sealing member 14 that covers the outer surface of the protrusion 13.
  • the driving motor 10 is inserted into the case body 12 through the opening 12d. At this time, the end surface of the drive motor 10 in the insertion direction is in contact with the bottom 12 a of the case body 12.
  • a fitting hole 12c is formed at the center of the bottom portion 12a, and a drive projecting from the protrusion 10b is caused by fitting the protrusion 10b on the back side in the insertion direction of the driving motor 10 into the fitting hole 12c. It is possible to avoid a situation in which the rear end (left end portion in FIG. 1) of the output shaft 10 a of the motor 10 interferes with the bottom portion 12 a of the motor case 11.
  • the inner peripheral surface of the peripheral wall portion 12b of the case main body 12 is tapered from the opening portion 12d side toward the bottom portion 12a side, and is driven when the driving motor 10 is inserted into the case main body 12. It is comprised so that the outer peripheral surface of the insertion direction back side of the motor 10 for a motor may contact the inner peripheral surface of the surrounding wall part 12b.
  • the drive motor 10 is supported by contact with the inner peripheral surface of the case body 12 and fitting with the fitting hole 12c in a state of being accommodated in the case body 12.
  • the case main body 12 is provided with a pair of bus bars 15 for connecting the driving motor 10 to a power source.
  • One end 15a of each bus bar 15 is connected to the motor terminal 10c by caulking, and the other end 15b is exposed to the outside from the case body 12 (see FIGS. 2 and 3).
  • the other end 15b of the bus bar 15 exposed to the outside is connected to a power source.
  • the speed reduction mechanism 9 is mainly composed of a speed reduction gear mechanism 16 that reduces and outputs the driving force of the drive motor 10 and a speed reduction gear case 17 that houses the speed reduction gear mechanism 16.
  • the reduction gear mechanism 16 includes a planetary gear reduction mechanism 18 that includes a plurality of gears and the like. The detailed configuration of the planetary gear speed reduction mechanism 18 will be described later.
  • the reduction gear case 17 is provided with an accommodation recess 17 a for accommodating the planetary gear reduction mechanism 18 from the side opposite to the drive motor 10.
  • the reduction gear case 17 is configured so that a motor adapter 19 can be attached.
  • the motor adapter 19 is a cylindrical member, and a projection 10d on the output side (right side in FIG. 1) of the drive motor 10 is inserted into the inner peripheral surface thereof, so that the drive motor 10 is fitted into the motor adapter 19 (inside Fitted).
  • the reduction gear case 17 is formed with a fitting hole 17b into which the motor adapter 19 is fitted.
  • the motor adapter 19 is inserted into the fitting hole 17b from the drive motor 10 side so that the reduction gear case 17 is fitted.
  • a motor adapter 19 is attached.
  • the reduction gear case 17 is configured to be able to be fitted to the motor case 11 and is configured to be able to be fitted to a transmission gear case 29 described later disposed on the side opposite to the motor case 11.
  • a portion arranged on the motor case 11 side is fitted into the opening 12 d side of the motor case 11, and a portion arranged on the transmission gear case 29 side is fitted onto the transmission gear case 29.
  • the reduction gear case 17 is fastened to the drive motor 10 together with the motor adapter 19 by the bolt 21 (see FIGS. 3 and 6) in a state of being fitted to the motor case 11.
  • the speed reduction gear case 17 has a motor terminal 10c protruding from the drive motor 10 in a state in which the speed reduction gear case 17 and the motor case 11 are fitted to the drive motor 10 side, and a state crimped to the motor terminal 10c.
  • a recess 17c for avoiding interference between the one end 15a of the bus bar 15 and the reduction gear case 17 is formed.
  • a mounting groove 17 d for mounting the O-ring 20 is formed on the outer peripheral surface of the reduction gear case 17 on the small-diameter outer peripheral surface that fits with the inner peripheral surface of the motor case 11.
  • the motion conversion mechanism unit 3 includes a ball screw 22 in this embodiment.
  • the ball screw 22 includes a ball screw nut 23 as a rotating body, a ball screw shaft 24 as a linearly movable part (that is, a stroke axis), a large number of balls 25, and a top 26 as a circulation member. Yes.
  • Helical grooves 23 a and 24 a are formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut 23 and the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24, respectively.
  • a ball 25 is filled between the spiral grooves 23a and 24a, and a top 26 is incorporated, whereby two rows of balls 25 circulate.
  • the ball screw nut 23 receives the driving force generated by the driving motor 10 and rotates in either the forward or reverse direction.
  • the rotation of the ball screw shaft 24 is restricted by a pin 27 as a rotation restricting member provided at the rear end portion (the right end portion in FIG. 1).
  • a pin 27 as a rotation restricting member provided at the rear end portion (the right end portion in FIG. 1).
  • FIG. 1 shows a state in which the ball screw shaft 24 is disposed at an initial position where it is most retracted to the right side in the drawing.
  • the ball screw shaft 24 is arranged in parallel with the output shaft 10 a of the driving motor 10, and the rotational motion transmitted from the driving motor 10 via the driving force transmitting unit 4 is output by the ball screw shaft 24 to the output shaft 10 a. Is converted into a linear motion in the axial direction parallel to the.
  • the forward end portion (the left end portion in FIG. 1) of the ball screw shaft 24 functions as an operation portion (actuator head) 6 that operates an operation target.
  • the driving force transmission unit 4 mainly includes a transmission gear mechanism 28 that transmits driving force and rotational motion from the driving motor 10 of the driving unit 2 to the ball screw 22 that constitutes the motion conversion mechanism unit 3, and the transmission gear mechanism 28. It is comprised with the transmission gear case 29 to accommodate.
  • the transmission gear mechanism 28 includes a drive gear 30 on the drive side, a driven gear 31 on the driven side that meshes with the drive gear 30, and a gear boss 32.
  • a gear boss 32 is fitted into the rotation center of the drive gear 30 by press fitting or the like.
  • the drive gear 30 is rotatably supported by two rolling bearings 33 and 34 mounted on the transmission gear case 29 and a bearing case 41 described later via the gear boss 32.
  • the driven gear 31 is fixed by being fitted to the outer peripheral surface of the ball screw nut 23 by press fitting or the like.
  • the transmission gear case 29 has an accommodating recess 29a in which the drive gear 30 and the driven gear 31 are accommodated. Further, the transmission gear case 29 is formed with an insertion hole 29b for inserting the gear boss 32, and a bearing mounting surface 29c on which one rolling bearing 33 supporting the gear boss 32 is mounted on the inner peripheral surface of the insertion hole 29b. Is formed. Further, the transmission gear case 29 has an annular protrusion 29 d that fits with the inner peripheral surface of the reduction gear case 17. A mounting groove 29e for mounting the O-ring 35 is formed on the outer peripheral surface (fitting surface) of the annular protrusion 29d. Further, a groove-like fitting recess 29 f that fits with the bearing case 41 is formed on the surface of the transmission gear case 29 on the bearing case 41 side.
  • the transmission gear case 29 has a cylindrical portion 29g that protrudes toward the tip end side (left side in FIG. 1) of the ball screw shaft 24.
  • the cylindrical portion 29g is a portion disposed so as to cover the periphery of the ball screw shaft 24 in a state where the driven gear 31 is accommodated in the transmission gear case 29 and the ball screw 22 is assembled thereto.
  • a boot 36 that prevents foreign matter from entering the transmission gear case 29 is attached between the cylindrical portion 29 g and the ball screw shaft 24.
  • the boot 36 is made of resin or rubber, and includes a large-diameter end portion 36a, a small-diameter end portion 36b, and a bellows portion 36c that extends and contracts in the axial direction.
  • the large-diameter end portion 36a is fastened and fixed to the mounting portion of the outer peripheral surface of the cylindrical portion 29g by the boot band 37, and the small-diameter end portion 36b is fastened and fixed to the mounting portion of the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24 by the boot band 38.
  • the cylindrical portion 29g is provided with a vent hole 29h for venting inside and outside when the boot 36 expands and contracts.
  • the motor case 11 is integrally provided with a boot cover 39 disposed around the boot 36.
  • the motion conversion mechanism support 5 is mainly composed of a support bearing 40 that supports the ball screw 22 that is the motion conversion mechanism 3, and a bearing case 41 that houses the support bearing 40.
  • the support bearing 40 is constituted by a back-to-back double row angular ball bearing mainly including an outer ring 42, an inner ring 43, and a double row ball 44 interposed therebetween.
  • the support bearing 40 is housed in a sleeve 45 formed integrally with the bearing case 41, and is fixed by a retaining ring 46 attached to the inner peripheral surface of the sleeve 45. Further, the fixed position of the support bearing 40 is press-fitted to the rear end side (right side in FIG. 1) of the ball screw shaft 24 with respect to the outer peripheral surface of the ball screw nut 23 from the driven gear 31.
  • the support bearing 40 and the driven gear 31 fixed to the outer peripheral surface of the ball screw nut 23 are axially moved by a restriction projection 23b provided on the driven gear 31 side of the ball screw nut 23 and a restriction member 47 mounted on the support bearing 40 side. Movement is restricted.
  • the restricting member 47 is composed of a pair of semicircular arc members, and is mounted on the outer peripheral surface of the ball screw nut 23 in a state in which these are combined in an annular shape. Further, on the outer peripheral surface of the ball screw nut 23, a pressing collar 48 for holding the regulating member 47 and a retaining ring 49 for preventing the pressing collar 48 from falling off in the axial direction are mounted.
  • a protrusion 41a that fits with the fitting recess 29f of the transmission gear case 29 is provided on the transmission gear case 29 side of the bearing case 41. Further, on the transmission gear case 29 side of the bearing case 41, there is provided a gear boss accommodating portion 41 b in which a part of the gear boss 32 protruding from the transmission gear case 29 is accommodated when the bearing case 41 is fitted to the transmission gear case 29. Yes.
  • a bearing mounting surface 41c for mounting the rolling bearing 34 that supports the gear boss 32 is formed on the inner peripheral surface of the gear boss housing portion 41b.
  • a bottomed cylindrical shaft case 50 that accommodates the rear end side (right end side in FIG. 1) of the ball screw shaft 24 is a bolt 51 (see FIG. 3). (See Fig.).
  • a mounting groove 50 a for mounting the O-ring 52 is formed on the contact surface of the shaft case 50 with the bearing case 41.
  • a guide groove 50b into which both ends of the pin 27 provided on the ball screw shaft 24 are inserted is formed on the inner peripheral surface of the shaft case 50 so as to extend in the axial direction.
  • Guide collars 53 are rotatably mounted at both ends of the pin 27. When the ball screw shaft 24 advances and retracts in the axial direction, the guide collar 53 moves while rotating along the guide groove 50b.
  • FIG. 5 and FIG. 5 is a cross-sectional view of the cross section taken along the line AA in FIG. 1 as viewed from the direction of the arrow A
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the planetary gear reduction mechanism 18.
  • the planetary gear reduction mechanism 18 includes a ring gear 55, a sun gear 56, a plurality of planetary gears 57, a planetary gear carrier 58 (see FIG. 1), and a planetary gear holder 59 (see FIG. 1).
  • the ring gear 55 has a plurality of protrusions 55a protruding in the axial direction, and the housing recess 17a of the reduction gear case 17 is provided with the same number of engagement recesses 17f as the protrusions 55a (see FIG. 1).
  • a sun gear 56 is disposed in the center of the ring gear 55, and the output shaft 10a of the driving motor 10 is press-fitted into the sun gear 56.
  • Each planetary gear 57 is disposed between the ring gear 55 and the sun gear 56 so as to mesh with the ring gear 55 and the sun gear 56.
  • Each planetary gear 57 is rotatably supported by a planetary gear carrier 58 and a planetary gear holder 59.
  • the planetary gear carrier 58 has a cylindrical portion 58a at the center thereof, and the cylindrical portion 58a is press-fitted between the outer peripheral surface of the gear boss 32 and the inner peripheral surface of the rolling bearing 33 as described above (see FIG. 1). reference).
  • An annular collar 75 is mounted between the inner peripheral surface of the other rolling bearing 34 and the outer peripheral surface of the gear boss 32.
  • the sun gear 56 connected to the output shaft 10a of the driving motor 10 rotates, and accordingly, each planetary gear 57 rotates. While revolving along the ring gear 55.
  • the planetary gear carrier 58 is rotated by the revolving motion of the planetary gear 57.
  • the rotational motion of the drive motor 10 is decelerated and transmitted to the drive gear 30, and the rotational torque as the drive force is transmitted to the drive gear 30 in an increased state.
  • the driving force is transmitted through the planetary gear speed reduction mechanism 18, the driving force transmitted to the ball screw shaft 24 and, consequently, the output of the ball screw shaft 24 can be greatly obtained.
  • the motor 10 can be reduced in size.
  • FIGS. 1, 7, and 8. 7 is an exploded perspective view of the shaft case 50 and the lock mechanism portion 7 attached to the shaft case 50
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the section along the line BB in FIG. .
  • the lock mechanism unit 7 includes a lock member 60, a slide screw nut 61, a slide screw shaft 62, a lock member fixing plate 63, a lock motor (for example, a DC motor) 64 as a lock drive source, and a spring 65.
  • the lock mechanism unit 7 is assembled by the following procedure, for example. First, the lock member 60 is fastened to the sliding screw nut 61 with a bolt 84 (see FIG. 7) via the lock member fixing plate 63. Next, the locking motor 64 is accommodated in a holder portion 66 provided in the shaft case 50, and the slide screw shaft 62 is attached to the output shaft 64 a of the locking motor 64 protruding from the holder portion 66.
  • a spring 65 is disposed on the outer periphery of the sliding screw shaft 62, and a sliding screw nut 61 to which a lock member 60 is attached is screwed onto the sliding screw shaft 62 and attached. In this way, the assembly of the lock mechanism unit 7 is completed.
  • the holder portion 66 is formed in a bottomed cylindrical shape, and a cap 67 is attached to the side opposite to the bottom portion 66a.
  • the locking motor 64 contacts the bottom 66 a of the holder portion 66 and the inner surface of the cap 67. Further, in this state, the projection 64 b on the output side (left side in FIG. 1) of the locking motor 64 is fitted into the fitting hole 66 c formed in the bottom 66 a of the holder portion 66.
  • the locking motor 64 is provided in the peripheral wall portion 66b of the holder portion 66. By being inserted, the rotation of the locking motor 64 is restricted. As described above, when the lock motor 64 is accommodated in the holder portion 66, the lock motor 64 is held by the holder portion 66, and the entire lock mechanism portion 7 is held.
  • the cap 67 is formed with a hole 67a through which a cable 68 connected to the motor terminal 64d of the locking motor 64 is inserted (see FIG. 8).
  • the holder portion 66 is integrally provided as a part of the shaft case 50. Of course, the holder portion 66 is formed separately from the shaft case 50 and attached to the bearing case 41. It doesn't matter.
  • Lock mechanism housing recesses 66d and 41f are respectively formed in the portion of the shaft case 50 where the holder portion 66 is provided and the portion of the bearing case 41 opposite thereto, and the lock mechanism housing recess 41f on the bearing case 41 side penetrates. A hole 41g is formed. As shown in FIG. 1, in the state where the shaft case 50 is attached to the bearing case 41, the output shaft 64 a of the locking motor 64 protruding from the holder portion 66 and the sliding screw shaft are placed in the lock mechanism housing recesses 66 d and 41 f.
  • the drive gear 30 is disposed in the direction in which the lock member 60 moves forward, and the drive gear 30 is formed with an engagement hole 30a with which the tip of the lock member 60 can be engaged.
  • FIG. 9 which is a cross-sectional view of the cross section taken along the line CC in FIG. 1 as viewed from the direction of the arrow C
  • the engagement holes 30a are provided at a plurality of locations along the circumferential direction of the drive gear 30. Yes.
  • the lock member 60 is engaged with any one of these engagement holes 30 a, so that the rotation of the drive gear 30 is restricted.
  • the inclined surface 30b may be formed in the entrance part of each engagement hole 30a (refer FIG. 9).
  • the bearing case 41 is equipped with a lock sensor 69 for detecting the locked state (see FIG. 8).
  • the lock sensor 69 is a contact sensor having a contact 69a made of an elastic member such as a leaf spring. When the lock member 60 moves forward and engages with the engagement hole 30a (when in a locked state), It is detected that the lock member 60 is in a locked state by pressing the contact 69a.
  • the lock mechanism unit 7 having the above configuration performs the following operation, for example. That is, in a state where no electric power is supplied to the lock motor 64, the lock member 60 is held at the advanced position by the spring 65, and the tip end portion of the lock member 60 is engaged with the engagement hole 30 a of the drive gear 30. Is in a locked state. From this state, when power is supplied to the drive motor 10 to start driving the ball screw shaft 24, power is also supplied to the lock motor 64, and the lock motor 64 moves the lock member 60 backward. To drive. As a result, the sliding screw shaft 62 rotates. On the other hand, the sliding screw nut 61 is restricted from rotating by the insertion of the flat end of the locking member 60 into the through hole 41g.
  • the screw nut 61 moves backward against the urging force of the spring 65, and the lock member 60 also moves backward integrally therewith. Thereby, the front-end
  • the lock member 60 is held in the retracted position, and the drive gear 30 is held in an unlocked state.
  • the rotation of the drive gear 30 is restricted by the lock member 60, so that the ball screw shaft 24 is held in a state where it does not advance or retreat.
  • the position of the ball screw shaft 24 can be held at a predetermined position.
  • the above configuration is particularly suitable when an electric actuator is applied to an application that requires position holding.
  • the lock member 60 is moved backward by driving the lock motor 64, but the lock motor 64 may be driven to advance the lock member 60. Further, the lock member 60 can be moved forward or backward by rotating the lock motor 64 forward and backward.
  • the electric actuator 1 is equipped with a position detection device for detecting the position of the operation unit 6 provided on the ball screw shaft 24 in the stroke direction.
  • a position detection device for detecting the position of the operation unit 6 provided on the ball screw shaft 24 in the stroke direction.
  • a permanent magnet 73 (see FIG. 1) as a sensor target provided on the ball screw shaft 24 and a boot cover 39 that covers the boot 36 are non-contacted to detect the position of the permanent magnet 73 in the stroke direction.
  • a magnetic sensor 70 as a sensor is disposed (see FIGS. 2 and 3).
  • the magnetic sensor 70 is provided on a boot cover 39 formed integrally with the motor case 11. Specifically, as shown in FIG. 10, a portion of the motor case 11 in which the drive motor 10 is accommodated (case body 12) and the vicinity of the connection portion between the boot cover 39 and the outside of the motor case 11. An open sensor case 76 is provided. And the sensor base 71 which attached the two magnetic sensors 70 to this sensor case 76 is fastened and fixed with the volt
  • the magnetic sensor 70 is disposed on the radially outer side of the ball screw shaft 24 so that the detection surface 70a of the magnetic sensor 70 faces the permanent magnet 73 when viewed from the direction shown in FIG. Yes.
  • the magnetic sensor 70 is covered with the boot cover 39, the sensor case 76, and the sensor base 71.
  • the magnetic sensor 70 is disposed at an intermediate position in the axial direction (stroke direction) of the boot cover 39 (see FIG. 11). At this time, in terms of the positional relationship with the permanent magnet 73, the magnetic sensor 70 may be disposed within the stroke range of the permanent magnet 73 attached to the ball screw shaft 24 (see FIGS. 11 and 15).
  • Arbitrary types can be used as the magnetic sensor 70, and among them, a magnetic sensor of a type capable of detecting the direction and magnitude of a magnetic field using the Hall effect, such as a Hall IC or a linear Hall IC, can be suitably used.
  • the sensor base 71 (particularly, the base plate 71a in contact with the magnetic sensor 70 of the sensor base 71), the sensor case 76, and the boot cover 39 are all preferably made of a non-magnetic material.
  • a non-magnetic material For example, it is made of resin.
  • a permanent magnet 73 serving as a sensor target is disposed on a ball screw shaft 24 as a movable part. Specifically, as shown in FIG. 1, a permanent magnet 73 is disposed between the operation portion 6 and the spiral groove 24 a of the ball screw shaft 24.
  • the permanent magnet 73 is disposed in a portion of the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24 covered with the boot 36.
  • the boot 36 is always present between the magnetic sensor 70 and the permanent magnet 73.
  • the arrangement of the non-contact sensor (magnetic sensor 70) and the sensor target (permanent magnet 73) according to the present invention is not limited to this. If possible, the sensor target may be disposed on the ball screw shaft 24 on the side closer to the operation unit 6 than the mounting portion of the boot 36.
  • FIG. 12 shows a perspective view of the ball screw shaft 24 (ball screw shaft unit) in a state where a sensor target including the permanent magnet 73 is attached at a predetermined position in the axial direction.
  • FIG. 13 shows a perspective view of the ball screw shaft 24 alone. As shown in these figures, a notch 241 is formed at a predetermined position in the axial direction of the ball screw shaft 24, and a sensor target is attached to the notch 241. The shape of the notch 241 is appropriately set according to the shape of the magnet holder 74 to be attached.
  • a flat surface 241a obtained by cutting the ball screw shaft 24 at a virtual plane passing through a position shifted in the radial direction from the center of the ball screw shaft 24, and a flat surface positioned on both sides in the axial direction of the flat surface 241a.
  • a pair of axial end surfaces 241b and 241b that form a shape rising from the surface 241a in the radial direction of the ball screw shaft 24 constitute a notch 241.
  • the sensor target includes a permanent magnet 73 and a magnet holder 74 that holds the permanent magnet 73.
  • the magnet holder 74 is provided with a pair or a plurality of pairs (four pairs in the illustrated example) of fitting claws 741 that can be fitted to the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24, in this embodiment, the notch 241.
  • a fitting recess 742 into which the permanent magnet 73 can be fitted is provided on the side opposite to the protruding side of the fitting claw 741.
  • the fitting claw 741 has a shape following the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24 to be attached (see FIGS. 10 and 14B). For example, by pressing the magnet holder 74 from the notch 241 side, Each pair of fitting claws 741 is deformed (elastically deformed) in a direction away from each other, and is restored to its original position in contact with the flat surface 241a of the notch 241.
  • the fitting recess 742 is formed separately from the pair of side wall parts 743, the first holding part 744 formed integrally with the pair of side wall parts 743, and the pair of side wall parts 743 and the first holding part 744.
  • a second clamping part 745 capable of clamping the permanent magnet 73 between the first clamping part 744 and the first clamping part 744.
  • only one side in the axial direction of the substantially rectangular four sides surrounding the fitting recess 742 is open, and the permanent magnet 73 and the second clamping portion are opened from the side of the opening 746 (see FIG. 14A). 745 can be inserted toward the fitting recess 742.
  • the pair of side wall parts 743 are shaped so as to approach each other toward the tip side (see FIG. 14B). Thereby, the movement to the outer side of the radial direction of the permanent magnet 73 fitted by the fitting recessed part 742 is controlled.
  • the material of the magnet holder 74 having the above configuration is basically arbitrary as long as it can be fitted to the ball screw shaft 24 accompanied by elastic deformation of the pair or plural pairs of fitting claws 741.
  • the permanent magnet 73 has a direction perpendicular to the both end faces 73a and 73b as a magnetization direction. That is, it is in a state of being magnetized so that one end face 73a is an N pole and the other end face 73b is an S pole.
  • shaft 24 corresponds with the linear motion direction of the ball screw axis
  • the shape of the permanent magnet 73 is not particularly limited. However, the permanent magnet 73 moves in a limited space (the boot cover 39 or the inner space of the cylindrical portion 29g of the transmission gear case 29) as in this embodiment. In view of the fact that the boots 36 are arranged to be extendable and retractable, it is desirable that the boots 36 have a shape that does not protrude as much as possible from the ball screw shaft 24 when attached to the ball screw shaft 24 (see FIG. 10). As an example, as shown in FIG. 14A, for example, a surface of the outer surface of the permanent magnet 73 that is exposed when held by the magnet holder 74 has a partial cylindrical surface shape.
  • the position detection device configured as described above, when the ball screw shaft 24 moves back and forth, the position of the permanent magnet 73 with respect to the magnetic sensor 70 changes (see FIGS. 11 and 15), and accordingly, the magnetic sensor 70 The magnetic field at the location also changes. Therefore, the change in the magnetic field (for example, the direction and strength of the magnetic flux density) is detected by the magnetic sensor 70, so that the position of the permanent magnet 73 in the stroke direction and the stroke of the operation unit 6 provided on one end side of the ball screw shaft 24. The direction position can be acquired.
  • the change in the magnetic field for example, the direction and strength of the magnetic flux density
  • a control signal is sent from the controller 81 of the control device 80 to the drive motor 10.
  • the target value is, for example, a stroke value calculated by the ECU based on the operation amount when the operation amount is input to the host ECU.
  • the driving motor 10 Upon receiving the control signal, the driving motor 10 starts to rotate, and this driving force is transmitted to the ball screw shaft 24 through the planetary gear reduction mechanism 18, the drive gear 30, the driven gear 31, and the ball screw nut 23. As a result, the ball screw shaft 24 advances (or retracts) in a direction parallel to the output shaft 10a of the drive motor 10. Thereby, the operation target arranged on the tip end side (actuator head side) of the ball screw shaft 24 is operated.
  • the stroke value (axial position) of the ball screw shaft 24 is detected by the magnetic sensor 70.
  • the detection value detected by the magnetic sensor 70 is sent to the comparison unit 82 of the control device 80, and the difference between the detection value and the target value is calculated. Then, the drive motor 10 is driven until the detected value matches the target value.
  • the electric actuator 1 of this embodiment is applied to, for example, shift-by-wire, the shift position Can be reliably controlled.
  • the sensor target according to the present embodiment is attached to the ball screw shaft 24 as a movable part that outputs linear motion, and includes a permanent magnet 73 and a magnet holder 74 that holds the permanent magnet 73.
  • the magnet holder 74 is provided with a pair or a plurality of pairs of fitting claws 741 that can be fitted to the outer peripheral surface of the ball screw shaft 24 (see FIG. 14A).
  • the permanent magnet 73 can be attached to the ball screw shaft 24 by a so-called snap fit by using the elasticity of the mating claws 741 to be paired (FIG. 10).
  • the permanent magnet 73 can be securely attached to the ball screw shaft 24 without looseness, and excellent detection accuracy can be obtained as compared with the prior art. Further, since it can be attached without using an adhesive or a screw, a very simple work is sufficient, and workability is also good. Moreover, since the position of the permanent magnet 73 can be detected in a non-contact manner by the magnetic sensor 70 by using a sensor target having the permanent magnet 73, the number of parts required for position detection is reduced compared to the conventional case.
  • the electric actuator 1 including the target and the ball screw shaft 24 can be made compact. Of course, if it can be attached to the ball screw shaft 24 with such a simple configuration and simple work, the manufacturing cost and the work cost can be kept low, which is preferable for the series construction of the electric actuator 1.
  • each pair of fitting claws 741 can be easily expanded by being pushed into the ball screw shaft 24.
  • the mounting workability to the target mounting position (notch portion 241) of 24 can be further enhanced.
  • the electric actuator 1 which does not have the deceleration mechanism part 9 and the lock mechanism part 7 can be comprised.
  • the electric actuator 1 shown in FIG. 17 eliminates the speed reduction mechanism portion 9 and directly connects the motor portion 8 and the driving force transmission portion 4 as compared with the electric actuator 1 shown in FIG. 7 is replaced with one without the holder portion 66 to which 7 is attached.
  • the rolling bearing 33 on the transmission gear case 29 side that press-fits the gear boss 32 and supports the gear boss 32 is omitted.
  • the motor adapter 19 to which the output shaft 10a of the drive motor 10 is attached has a different shape that matches the fitting shape of the mating member because the mating mating member changes from the reduction gear case 17 to the transmission gear case 29. It has changed.
  • Other configurations are the same as those of the embodiment shown in FIG.
  • the electric actuator 1 of the embodiment shown in FIG. 17 is the same as that of the embodiment shown in FIG. 1 except that the driving force from the driving motor 10 is directly transmitted to the driving force transmission unit 4 without going through the speed reduction mechanism unit 9. Since the operation is basically controlled in the same manner, a description of the control and operation is omitted.
  • the electric actuator 1 shown in FIG. 1 and the electric actuator 1 shown in FIG. 17 many other parts can be configured with common parts only by replacing some parts, and at low cost.
  • a series can be realized.
  • the inner diameter of the motor case 11 on the opening 12d side, the outer diameter of the reduction gear case 17 on the motor case 11 side, and the outer diameter of the transmission gear case 29 on the reduction gear case 17 side are all the same diameter.
  • the motor case 11 can be fitted to both the reduction gear case 17 and the transmission gear case 29. For this reason, even if the speed reduction mechanism unit 9 is omitted, the motor unit 8 and the driving force transmission unit 4 can be connected to each other only by replacing the motor adapter 19 with another one.
  • the ball screw shaft 24 is also the same as that of the previous embodiment. Exactly the same can be used. Therefore, the magnetic sensor 70 and the sensor target (permanent magnet 73 and magnet holder 74) constituting the position detection device can be exactly the same as those in the previous embodiment, and thereby the position detection device is mounted. In this case, the series of the electric actuator 1 can be achieved at a low cost.
  • the shaft case 50 is changed according to the presence or absence of the lock mechanism unit 7.
  • the shaft case 50 is changed to a shape or size different depending on the length of the ball screw shaft 24. May be.
  • the motion conversion mechanism unit 3 is not limited to the ball screw 22 but may be a sliding screw device.
  • the ball screw 22 is preferable from the viewpoint of reducing the rotational torque and reducing the size of the drive motor 10.
  • the structure which used the double row angular ball bearing was illustrated as the support bearing 40 which supports the motion conversion mechanism part 3 in the above-mentioned embodiment, not only this but a pair of single row angular ball bearing is used. You may use it in combination.
  • the support bearing 40 is not limited to the angular ball bearing, and other double-row bearings using, for example, deep groove ball bearings can also be applied.
  • the reduction mechanism unit 9 may be a reduction mechanism other than the planetary gear reduction mechanism 18. Further, the driving force transmission unit 4 may also function as a speed reduction mechanism by changing the gear ratio between the drive gear 30 and the driven gear 31.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it is needless to say that the present invention can be implemented in various forms without departing from the gist of the present invention. , And includes all equivalents to the equivalent meanings recited in the claims and within the scope of the claims.

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Abstract

本発明に係るセンサターゲットは、モータ１０の出力軸１０ａと平行に配設されて出力軸１０ａと平行な向きの直線運動を行う可動部２４に取付けられるもので、磁石７３と、磁石７３を保持する磁石ホルダ７４とを備える。磁石ホルダ７４に、可動部２４の外周面に嵌合可能な一対又は複数対の嵌合爪７４１が設けられている。

Description

センサターゲットとこのターゲットを備えた可動部ユニット、並びに電動アクチュエータ
　本発明は、センサターゲットとこのターゲットを備えた可動部ユニット、並びに電動アクチュエータに関する。
　近年、車両等の省力化、低燃費化を目的とした電動化が進んでおり、例えば、自動車の自動変速機やブレーキ、ステアリング等の操作をモータなど電動機の力で行うシステムが開発され、市場に投入されている。このような用途に使用されるアクチュエータとして、電動機の駆動により生じた回転運動を直線方向の運動に変換するボールねじ機構を用いた電動アクチュエータが知られている（特許文献１を参照）。
　また、この種のアクチュエータにおいては、上述した直線運動を出力する操作部（すなわちアクチュエータヘッド）のストローク量又はストローク方向の位置を制御することが重要となる。そこで、上記ストローク量又はストローク方向の位置を検出するための手段として、例えば直線運動を行う可動部（すなわちストローク軸）に複数のリンク部材からなるリンク機構を連結して、上記リンク部材の角度を検出することで、可動部の位置を検出する方法がある（特許文献２を参照）。
特許第５２４３０１８号公報 特許第５４１７１３２号公報
　このように、可動部に連結したリンクの角度を検出すれば、例えばモータの回転角を利用して可動部の位置を算出する場合に比べて直接的に可動部の位置情報を取得できるので、構成部品のガタ等の問題が少なく検出精度の向上が期待できる。しかしながら、リンク機構を用いた位置検出装置だと、位置検出に必要な部品点数が増加する。部品点数の増加は製品の大型化につながる。そのため、この種の電動アクチュエータを上述した理由でシリーズ化することを考えた場合、上記リンク機構を用いた位置検出装置は必ずしも適切な構成であるとは言い難い。
　また、リンク機構を用いた位置検出装置であっても、リンク部材のバックラッシは避けようがないため、依然として十分な位置検出精度を得ることは難しい。
　そこで、例えば位置検出装置を、センサターゲットと、このターゲットを非接触に検出する非接触センサとで構成することも考えられるが、この場合には、可動部に対するセンサターゲットの取付け位置が重要となる。すなわち、たとえ非接触センサを用いてセンサターゲットの位置を検出できたとしても、センサターゲットの位置が予め設定した位置からずれていた場合、最終的に得るべきアクチュエータヘッドの位置を正確に知ることができないおそれがあるためである。
　以上の事情に鑑み、本発明は、ガタなくセンサターゲットを可動部に取り付け可能として、簡易かつ高精度にアクチュエータヘッドの位置を検出することにより、電動アクチュエータの小型化ひいてはシリーズ化を低コストに達成することを解決すべき技術的課題とする。
　前記課題の解決は、本発明に係るセンサターゲットによって達成される。すなわちこのターゲットは、モータの駆動により生じた回転運動をモータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換して出力する電動アクチュエータを構成し、出力軸と平行に配設されて直線運動を行う可動部に取り付けられるセンサターゲットであって、磁石と、磁石を保持する磁石ホルダとを備え、磁石ホルダに、可動部の外周面に嵌合可能な一対又は複数対の嵌合爪が設けられている点をもって特徴付けられる。
　本発明では、磁石を保持する磁石ホルダに、可動部の外周面に嵌合する一対又は複数対の嵌合爪を設けてなるセンサターゲットを構成した。このように構成したセンサターゲットであれば、例えば対となる嵌合爪の弾性を利用して作業者がいわゆるスナップフィットで磁石を可動部に取付けることができる。よって、ガタなく確実に磁石を可動部に取付けることができ、従来技術と比べて優れた検出精度を得ることが可能となる。また、接着剤やねじなどを用いずに取付けられるので、非常に簡便な作業で足り、作業性も良好である。また、磁石を有するセンサターゲットを用いることにより、磁気センサで非接触に磁石の位置を検出することができるので、従来に比べて位置検出に必要な部品の数を減らして、このターゲット及び可動部を備える電動アクチュエータのコンパクト化を図ることが可能となる。もちろん、このように簡易な構成でかつ簡便な作業で可動部に取付け可能であれば、製作コスト並びに作業コストを低く抑えることもできるので、電動アクチュエータのシリーズ化にとっても好ましい。
　また、本発明に係るセンサターゲットは、磁石ホルダが、嵌合爪と、嵌合爪の突出側とは反対側に設けられ磁石が嵌合されている嵌合凹部とを有するものであってもよい。
　このように嵌合凹部を設けることで、磁石ホルダに対する磁石の取付けが容易になる。また、嵌合爪の突出側と反対の側に嵌合凹部を設けることで、可動部に対する磁石の取付け位置（円周方向位置）をセンサターゲットの取付け位置（円周方向位置）に合わせることができるので、位置決めも感覚的に行うことができる。
　また、本発明に係るセンサターゲットは、嵌合凹部が、一対の側壁部と、一対の側壁部と一体に形成される第一の挟持部と、一対の側壁部及び第一の挟持部と別体に形成されて第一の挟持部との間に磁石を挟持可能な第二の挟持部とで構成されているものであってもよい。
　また、この場合、本発明に係るセンサターゲットは、嵌合凹部が、第一の挟持部とは反対の側に開口部を有し、開口部の側から磁石と第二の挟持部を嵌合凹部に向けて挿入可能としているものであってもよい。
　このように、磁石を挟持する一対の挟持部のうち一方（第二の挟持部）を、他方（第一の挟持部）と別体に形成することで、嵌合凹部に対する磁石の取付けがさらに簡単になる。この場合、特に嵌合凹部の周囲に開口部を設けて、この開口部の側から磁石と第二の挟持部を挿入可能とすることで、さらに磁石の取付け性が向上する。
　以上の説明に係るセンサターゲットは、例えばこのセンサターゲットと、センサターゲットが嵌合により取付けられている可動部とを備えた可動部ユニットとして好適に提供することが可能である。
　また、この場合、本発明に係る可動部ユニットは、可動部に切欠き部が設けられており、切欠き部にセンサターゲットが嵌合されているものであってもよい。
　このように可動部に切欠き部を設けることで、切欠き部と磁石ホルダとの当接面は可動部の外周面（通常、断面真円形状）とは異なる、いわゆる断面非真円形状となる。よって、切欠き部に嵌合爪を介してセンサターゲットを取付けることにより、この切欠き部が、センサターゲット及びこのターゲットを構成する磁石の回り止めとして作用する。よって、取付け時又は取付け後の磁石の円周方向へのずれを防止して、磁石の位置を正確に検出することが可能となる。また、可動部に切欠き部を設けてこの切欠き部にセンサターゲットを取付けた場合、センサターゲットと可動部とは軸方向（すなわち可動部の直線運動方向）でも当接することになる。従って、磁石の軸方向へのずれを防止することができ、これによっても磁石の位置を正確に検出することが可能となる。
　また、以上の説明に係る可動部ユニットは、例えばこの可動部ユニットと、可動部の周囲に配設され、磁石の位置を検出する磁気センサとを備える電動アクチュエータとして好適に提供することが可能である。
　あるいは、この場合、本発明に係る電動アクチュエータは、モータと、モータの駆動により生じた回転運動をモータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換する運動変換機構とをさらに備えるものであってもよい。この場合、可動部ユニットは、運動変換機構を構成する。
　本発明によれば、ガタなくセンサターゲットを可動部に取付けることで、簡易かつ高精度にアクチュエータヘッドの位置を検出することができるので、電動アクチュエータの小型化ひいてはシリーズ化を低コストに達成することが可能となる。
本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図である。 電動アクチュエータの外観斜視図である。 電動アクチュエータの分解斜視図である。 モータケースを開口部側から見た図である。 図１のＡ－Ａ線に沿った断面を矢印Ａの向きから見た横断面図である。 減速機構部の分解斜視図である。 軸ケースと、これに取付けられるロック機構部の分解斜視図である。 図１のＢ－Ｂ線に沿った断面を矢印Ｂの向きから見た横断面図である。 図１のＣ－Ｃ線に沿った断面を矢印Ｃの向きから見た横断面図である。 図１のＤ－Ｄ線に沿った断面を矢印Ｄの向きから見た横断面図である。 図１０のＥ－Ｅ線に沿った断面を矢印Ｅの向きから見た断面図である。 磁石が取付けられた状態のボールねじ軸の斜視図である。 ボールねじ軸の斜視図である。 磁石及び磁石ホルダからなるセンサターゲットの斜視図である。 磁石及び磁石ホルダからなるセンサターゲットの正面図である。 ボールねじ軸が前進した状態における図１１の断面図である。 電動アクチュエータの制御ブロック図である。 本発明の他の実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図である。
　以下、添付の図面に基づき、本発明について説明する。なお、本発明を説明するための各図面において、同一の機能もしくは形状を有する部材や構成部品等の構成要素については、判別が可能な限り同一符号を付すことにより一度説明した後ではその説明を省略する。
　図１は、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの組み立て状態を示す縦断面図、図２は、前記電動アクチュエータの組み立て状態を示す外観斜視図、図３は、前記電動アクチュエータの分解斜視図である。
　図１に示すように、本実施形態の電動アクチュエータ１は、駆動力を発生させる駆動部２と、駆動部２からの回転運動を直線運動に変換する運動変換機構部３と、駆動部２から運動変換機構部３へ駆動力を伝達する駆動力伝達部４と、運動変換機構部３を支持する運動変換機構支持部５と、運動変換機構部３の運動を出力する操作部６と、運動変換機構部の駆動を防止するロック機構部７とを備える。駆動部２は、モータ部８と減速機構部９とで構成されている。
　上記電動アクチュエータ１を構成する各部分は、それぞれケースを有し、各ケース内に構成部品が収容されている。具体的に、モータ部８は、駆動力発生用のモータ（駆動用モータ１０）を収容するモータケース１１を有し、減速機構部９は、減速ギヤ機構１６を収容する減速ギヤケース１７を有する。また、駆動力伝達部４は、伝達ギヤ機構２８を収容する伝達ギヤケース２９を有し、運動変換機構支持部５は、支持軸受４０を収容する軸受ケース４１を有する。本実施形態では、モータ部８と減速機構部９、減速機構部９と駆動力伝達部４、駆動力伝達部４と運動変換機構支持部５は、互いにケースごと連結分離可能に構成されている。さらに、軸受ケース４１に対しては、軸ケース５０が連結分離可能に構成されている。以下、電動アクチュエータ１を構成する各部の詳細な構成について説明する。
　モータ部８は主に、運動変換機構部３を駆動させるための駆動用モータ（例えばＤＣモータ）１０と、駆動用モータ１０を収容するモータケース１１とで構成されている。モータケース１１は、内部に駆動用モータ１０が収容される有底円筒状のケース本体１２と、ケース本体１２の底部１２ａから外部に突出する突出部１３とを有する。突出部１３は、ケース本体１２の内部空間と連通する孔部１３ａが形成されている。この孔部１３ａは、突出部１３の外面を覆う樹脂製の封止部材１４によって封止されている。
　駆動用モータ１０は、ケース本体１２の開口部１２ｄから内部に挿入された状態にある。この際、駆動用モータ１０の挿入方向奥側の端面がケース本体１２の底部１２ａに当接している。また、底部１２ａの中央部には嵌合孔１２ｃが形成されており、この嵌合孔１２ｃに駆動用モータ１０の挿入方向奥側の突起１０ｂが嵌合することで、突起１０ｂから突出する駆動用モータ１０の出力軸１０ａの後端（図１の左端部）がモータケース１１の底部１２ａと干渉する事態を回避可能としている。さらに、ケース本体１２の周壁部１２ｂの内周面は、開口部１２ｄ側から底部１２ａ側に向かってテーパ状に縮径しており、駆動用モータ１０がケース本体１２内に挿入されると駆動用モータ１０の挿入方向奥側の外周面が周壁部１２ｂの内周面に接触するように構成されている。このように、駆動用モータ１０は、ケース本体１２内に収容された状態で、ケース本体１２の内周面との接触と嵌合孔１２ｃとの嵌合によって支持される。
　また、モータケース１１を開口部１２ｄ側から見た図４に示すように、ケース本体１２には、駆動用モータ１０を動力電源に接続するための一対のバスバー１５が取付けられている。各バスバー１５の一端部１５ａはモータ端子１０ｃに対して加締めることで接続され、他端部１５ｂはケース本体１２から外部に露出している（図２、図３を参照）。この外部に露出するバスバー１５の他端部１５ｂが動力電源に接続される。
　図１に示すように、減速機構部９は主に、駆動用モータ１０の駆動力を減速して出力する減速ギヤ機構１６と、減速ギヤ機構１６を収容する減速ギヤケース１７とで構成されている。減速ギヤ機構１６は、複数の歯車等からなる遊星歯車減速機構１８で構成される。なお、遊星歯車減速機構１８の詳細な構成については後述する。
　減速ギヤケース１７には、遊星歯車減速機構１８を駆動用モータ１０とは反対の側から収容するための収容凹部１７ａが設けられている。また、減速ギヤケース１７には、モータアダプタ１９が取付け可能に構成されている。モータアダプタ１９は筒状の部材で、その内周面に駆動用モータ１０の出力側（図１の右側）の突起１０ｄが挿入されることでモータアダプタ１９に駆動用モータ１０が嵌合（内嵌）されている。減速ギヤケース１７には、モータアダプタ１９が嵌合される嵌合孔１７ｂが形成されており、この嵌合孔１７ｂに対してモータアダプタ１９を駆動用モータ１０側から挿入することで減速ギヤケース１７にモータアダプタ１９が取付けられている。
　減速ギヤケース１７は、モータケース１１に対して嵌合可能に構成されると共に、モータケース１１とは反対の側に配置される後述の伝達ギヤケース２９に対して嵌合可能に構成されている。減速ギヤケース１７のうち、モータケース１１側に配置される部分がモータケース１１の開口部１２ｄ側に内嵌されると共に、伝達ギヤケース２９側に配置される部分が伝達ギヤケース２９に外嵌されている。この場合、減速ギヤケース１７は、モータケース１１に対して嵌合された状態でモータアダプタ１９と一緒にボルト２１（図３、図６を参照）によって駆動用モータ１０に締結される。減速ギヤケース１７の駆動用モータ１０側には、減速ギヤケース１７とモータケース１１とが嵌合された状態で、駆動用モータ１０から突出するモータ端子１０ｃ及びこのモータ端子１０ｃに加締められた状態のバスバー１５の一端部１５ａと減速ギヤケース１７との干渉を回避するための凹部１７ｃが形成されている。また、減速ギヤケース１７の外周面のうちモータケース１１の内周面と嵌合する小径外周面には、Ｏリング２０を装着するための装着溝１７ｄが形成されている。
　運動変換機構部３は、本実施形態ではボールねじ２２で構成される。ボールねじ２２は、回転体としてのボールねじナット２３と、直線運動する可動部（すなわちストローク軸）としてのボールねじ軸２４と、多数のボール２５、及び循環部材としてのこま２６とで構成されている。ボールねじナット２３の内周面とボールねじ軸２４の外周面にそれぞれ螺旋状溝２３ａ，２４ａが形成されている。両螺旋状溝２３ａ，２４ａの間にボール２５が充填され、こま２６が組み込まれ、これにより２列のボール２５が循環する。
　ボールねじナット２３は、駆動用モータ１０で発生させた駆動力を受けて正逆何れかの方向に回転する。一方、ボールねじ軸２４は、その後端部（図１の右端部）に設けられた回転規制部材としてのピン２７によって回転が規制されている。このため、ボールねじナット２３が回転すると、ボール２５が両螺旋状溝２３ａ，２４ａ及びこま２６に沿って循環し、ボールねじ軸２４がその軸方向に沿って直線運動を行う。図１は、ボールねじ軸２４が最も図の右側へ後退した初期位置に配置された状態を示している。このボールねじ軸２４は、駆動用モータ１０の出力軸１０ａと平行に配置されており、駆動力伝達部４を介して駆動用モータ１０から伝達された回転運動はボールねじ軸２４によって出力軸１０ａと平行な軸方向の直線運動に変換される。この場合、ボールねじ軸２４の前進方向の先端部（図１の左端部）が、操作対象を操作する操作部（アクチュエータヘッド）６として機能する。
　駆動力伝達部４は主に、駆動部２が有する駆動用モータ１０から運動変換機構部３を構成するボールねじ２２へ駆動力及び回転運動を伝達する伝達ギヤ機構２８と、伝達ギヤ機構２８を収容する伝達ギヤケース２９とで構成されている。伝達ギヤ機構２８は、駆動側のドライブギヤ３０と、これと噛み合う従動側のドリブンギヤ３１、及びギヤボス３２を有する。
　ドライブギヤ３０の回転中心部にはギヤボス３２が圧入等により嵌合されている。ドライブギヤ３０は、このギヤボス３２を介して伝達ギヤケース２９と後述する軸受ケース４１それぞれに装着される２つの転がり軸受３３，３４によって回転可能に支持されている。一方、ドリブンギヤ３１は、ボールねじナット２３の外周面に圧入等により嵌合されることで固定されている。駆動用モータ１０からの駆動力が遊星歯車減速機構１８を介してドライブギヤ３０に伝達されると、ドライブギヤ３０とドリブンギヤ３１との噛み合いにより上記駆動力がドリブンギヤ３１に伝達される。これによりドリブンギヤ３１とボールねじナット２３が一体的に回転し、ボールねじ軸２４がその長手方向に沿って前進又は後退する。
　伝達ギヤケース２９は、ドライブギヤ３０およびドリブンギヤ３１が収容される収容凹部２９ａを有する。また、伝達ギヤケース２９には、ギヤボス３２を挿通するための挿通孔２９ｂが形成され、挿通孔２９ｂの内周面には、ギヤボス３２を支持する一方の転がり軸受３３が装着される軸受装着面２９ｃが形成されている。また、伝達ギヤケース２９は、減速ギヤケース１７の内周面と嵌合する環状突起２９ｄを有する。この環状突起２９ｄの外周面（嵌合面）には、Ｏリング３５を装着するための装着溝２９ｅが形成されている。また、伝達ギヤケース２９の軸受ケース４１側の面には、軸受ケース４１と嵌合する溝状の嵌合凹部２９ｆが形成されている。
　また、伝達ギヤケース２９は、ボールねじ軸２４の先端部側（図１の左側）へ突出する円筒部２９ｇを有する。この円筒部２９ｇは、伝達ギヤケース２９内にドリブンギヤ３１が収容され、これにボールねじ２２が組み付けられた状態で、ボールねじ軸２４の周囲を覆うように配置される部分である。円筒部２９ｇとボールねじ軸２４の間には、伝達ギヤケース２９内への異物侵入を防止するブーツ３６が取付けられる。ブーツ３６は樹脂製又はゴム製であり、大径端部３６ａと小径端部３６ｂとこれらを繋いで軸方向に伸縮する蛇腹部３６ｃで構成されている。大径端部３６ａが円筒部２９ｇの外周面の取付け部位にブーツバンド３７によって締め付け固定され、小径端部３６ｂがボールねじ軸２４の外周面の取付け部位にブーツバンド３８によって締め付け固定される。円筒部２９ｇには、ブーツ３６が伸縮したときに内外で通気させるための通気孔２９ｈが設けられている。また、上記モータケース１１には、ブーツ３６の周囲に配置されるブーツカバー３９が一体に設けられている。
　運動変換機構支持部５は主に、運動変換機構部３であるボールねじ２２を支持する支持軸受４０と、支持軸受４０を収容する軸受ケース４１とで構成されている。支持軸受４０は、本実施形態では、外輪４２と内輪４３とこれらの間に介在する複列のボール４４を主要な構成要素とする背面合わせの複列アンギュラ玉軸受で構成される。
　支持軸受４０は、軸受ケース４１と一体に形成されたスリーブ４５内に収容され、スリーブ４５の内周面に装着された止め輪４６で固定されている。また、支持軸受４０の固定位置は、ボールねじナット２３の外周面に対して上記ドリブンギヤ３１よりもボールねじ軸２４の後端側（図１の右側）に圧入嵌合されている。ボールねじナット２３の外周面に固定される支持軸受４０とドリブンギヤ３１は、ボールねじナット２３のドリブンギヤ３１側に設けられた規制突起２３ｂと、支持軸受４０側に装着された規制部材４７によって軸方向の移動が規制される。規制部材４７は、一対の半円弧状部材で構成され、これらを環状に組み合わせた状態でボールねじナット２３の外周面に装着される。さらに、ボールねじナット２３の外周面には、規制部材４７を保持する押さえ用カラー４８と、この押さえ用カラー４８の軸方向の脱落を防止する止め輪４９が装着される。
　軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側には、伝達ギヤケース２９の嵌合凹部２９ｆと嵌合する突条部４１ａが設けられている。また、軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側には、軸受ケース４１が伝達ギヤケース２９と嵌合した状態で、伝達ギヤケース２９から突出するギヤボス３２の一部が収容されるギヤボス収容部４１ｂが設けられている。このギヤボス収容部４１ｂの内周面には、ギヤボス３２を支持する転がり軸受３４を装着するための軸受装着面４１ｃが形成されている。
　軸受ケース４１の伝達ギヤケース２９側とは反対側には、ボールねじ軸２４の後端部側（図１の右端部側）を収容する有底筒状の軸ケース５０がボルト５１（図３を参照）で締結可能に構成されている。軸ケース５０の軸受ケース４１との当接面には、Ｏリング５２を装着するための装着溝５０ａが形成されている。また、軸ケース５０の内周面には、ボールねじ軸２４に設けられたピン２７の両端部が挿入される案内溝５０ｂが軸方向に延在するように形成されている。ピン２７の両端部にはそれぞれガイドカラー５３が回転可能に装着されており、ボールねじ軸２４が軸方向に進退する際、ガイドカラー５３が案内溝５０ｂに沿って回転しながら移動する。
　図３に示すように、上記モータケース１１、減速ギヤケース１７、伝達ギヤケース２９、軸受ケース４１の各ケースの半径方向外側周辺には、これらを組み立て締結するためのボルト５４を挿通するボルト挿通孔１１ａ，１７ｅ，２９ｉ，４１ｄが設けられている。さらに、伝達ギヤケース２９と軸受ケース４１の両方の半径方向外側周辺には、組立てられた電動アクチュエータ１を設置場所に取付けるための貫通孔２９ｊ，４１ｅが設けられている。
　ここで、図１、図５および図６に基づき遊星歯車減速機構１８について説明する。図５は、図１のＡ－Ａ線に沿った断面を矢印Ａの向きから見た横断面図、図６は、遊星歯車減速機構１８の分解斜視図である。
　遊星歯車減速機構１８は、リングギヤ５５と、サンギヤ５６と、複数の遊星ギヤ５７と、遊星ギヤキャリア５８（図１を参照）と、遊星ギヤホルダ５９（図１を参照）から構成される。リングギヤ５５は、軸方向に突出する複数の凸部５５ａを有し、減速ギヤケース１７の収容凹部１７ａには凸部５５ａと同数の係合凹部１７ｆが設けられている（図１を参照）。減速ギヤケース１７の係合凹部１７ｆにリングギヤ５５の凸部５５ａを位相合わせした状態で組み込むことにより、リングギヤ５５が減速ギヤケース１７に対して回り止めされて収容されている。
　リングギヤ５５の中央にサンギヤ５６が配置され、サンギヤ５６には駆動用モータ１０の出力軸１０ａが圧入嵌合される。また、リングギヤ５５とサンギヤ５６との間には各遊星ギヤ５７がこれらリングギヤ５５及びサンギヤ５６と噛み合うように配置されている。各遊星ギヤ５７は、遊星ギヤキャリア５８と遊星ギヤホルダ５９によって回転可能に支持されている。遊星ギヤキャリア５８はその中央部に円筒部５８ａを有し、円筒部５８ａは上述の如くギヤボス３２の外周面と転がり軸受３３の内周面との間に圧入嵌合されている（図１を参照）。なお、他方の転がり軸受３４の内周面とギヤボス３２の外周面との間には、環状のカラー７５が装着されている。
　上記の如く構成された遊星歯車減速機構１８は、駆動用モータ１０が回転駆動すると、駆動用モータ１０の出力軸１０ａに連結されたサンギヤ５６が回転し、これに伴って各遊星ギヤ５７が自転しながらリングギヤ５５に沿って公転する。そして、この遊星ギヤ５７の公転運動により遊星ギヤキャリア５８が回転する。これより、駆動用モータ１０の回転運動が減速されてドライブギヤ３０に伝達されると共に、駆動力としての回転トルクが増加した状態でドライブギヤ３０に伝達される。このように、遊星歯車減速機構１８を介して駆動力が伝達されることで、ボールねじ軸２４に伝達される駆動力、ひいてはボールねじ軸２４の出力が大きく得られるようになるので、駆動用モータ１０の小型化を図ることが可能となる。
　続いて、図１、図７および図８に基づき、ロック機構部７の詳細を説明する。図７は、軸ケース５０と、これに取付けられるロック機構部７の分解斜視図、図８は、図１のＢ－Ｂ線に沿った断面を矢印Ｂの向きから見た横断面図である。
　ロック機構部７は、ロック部材６０と、滑りねじナット６１と、滑りねじ軸６２と、ロック部材固定板６３と、ロック用駆動源としてのロック用モータ（例えばＤＣモータ）６４と、ばね６５を主な構成とする。ロック機構部７は例えば以下の手順で組み立てられる。まず、ロック部材６０を、滑りねじナット６１に対してロック部材固定板６３を介してボルト８４（図７を参照）で締結する。次いで、ロック用モータ６４を、軸ケース５０に設けられたホルダ部６６内に収容し、ホルダ部６６から突出するロック用モータ６４の出力軸６４ａに滑りねじ軸６２を取付ける。そして、滑りねじ軸６２の外周にばね６５を配置すると共に、ロック部材６０が取付けられた滑りねじナット６１を滑りねじ軸６２に対して螺合して装着する。このようにして、ロック機構部７の組み立てが完了する。
　ホルダ部６６は、有底筒状に形成され、その底部６６ａとは反対側にキャップ６７が装着されている。ロック用モータ６４がホルダ部６６内に挿入され、キャップ６７を装着した状態で、ロック用モータ６４は、ホルダ部６６の底部６６ａとキャップ６７の内面に当接する。また、この状態で、ロック用モータ６４の出力側（図１の左側）の突起６４ｂがホルダ部６６の底部６６ａに形成された嵌合孔６６ｃに嵌合する。ロック用モータ６４の本体外周面とホルダ部６６の周壁部６６ｂの内周面はいずれも円筒形ではない同じ形状に形成されているため、ホルダ部６６の周壁部６６ｂ内にロック用モータ６４が挿入されることで、ロック用モータ６４の回転が規制される。このように、ホルダ部６６にロック用モータ６４が収容されることで、ホルダ部６６によってロック用モータ６４が保持され、ロック機構部７全体が保持される。また、キャップ６７には、ロック用モータ６４のモータ端子６４ｄに接続されるケーブル６８を挿通するための孔部６７ａが形成されている（図８を参照）。なお、ホルダ部６６は、本実施形態では軸ケース５０にその一部として一体的に設けられているが、もちろんホルダ部６６を軸ケース５０と別体に形成して、軸受ケース４１に取付けるようにしてもかまわない。
　軸ケース５０のホルダ部６６が設けられた部分とこれに対向する軸受ケース４１の部分には、それぞれロック機構収容凹部６６ｄ，４１ｆが形成され、軸受ケース４１側のロック機構収容凹部４１ｆには貫通孔４１ｇが形成されている。図１に示すように、軸ケース５０が軸受ケース４１に取付けられた状態で、ロック機構収容凹部６６ｄ，４１ｆ内には、ホルダ部６６から突出するロック用モータ６４の出力軸６４ａ、滑りねじ軸６２、滑りねじナット６１、ロック部材固定板６３、ばね６５およびロック部材６０の一部が収容され、貫通孔４１ｇ内には、ロック部材６０の先端部側が挿入される。また、軸ケース５０が軸受ケース４１に取付けられた状態では、ばね６５がホルダ部６６の底部６６ａとロック部材固定板６３との間で軸方向に圧縮され、この圧縮されたばね６５によってロック部材６０は前進する方向（図１の左側）へ常時付勢されている。
　ロック部材６０が前進する方向にはドライブギヤ３０が配置されており、ドライブギヤ３０にはロック部材６０の先端部が係合可能な係合孔３０ａが形成されている。図１のＣ－Ｃ線に沿った断面を矢印Ｃの向きから見た横断面図である図９に示すように、係合孔３０ａは、ドライブギヤ３０の周方向にわたって複数箇所に設けられている。ロック部材６０はこれらの係合孔３０ａのうちのいずれかに係合されることで、ドライブギヤ３０の回転が規制される。また、各係合孔３０ａの入口部には傾斜面３０ｂが形成されていてもよい（図９を参照）。このように係合孔３０ａを形成することで、この傾斜面３０ｂに沿ってロック部材６０が係合孔３０ａにスムーズに挿入される効果が期待できる。
　軸受ケース４１には、ロック状態を検知するためのロックセンサ６９が装着されている（図８を参照）。ロックセンサ６９は、板バネ等の弾性部材で構成された接触子６９ａを有する接触式センサであり、ロック部材６０が前進して係合孔３０ａに係合されると（ロック状態になると）、ロック部材６０が接触子６９ａを押すことで、ロック状態となったことが検知される。
　上記構成のロック機構部７は、例えば以下に述べる動作を行う。すなわち、ロック用モータ６４に電力が供給されていない状態では、ロック部材６０はばね６５によって前進した位置に保持されており、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａに係合したロック状態にある。この状態から、ボールねじ軸２４の駆動を開始するために駆動用モータ１０に電力が供給されると、ロック用モータ６４にも電力が供給され、ロック用モータ６４はロック部材６０を後退させる方向に駆動する。これにより、滑りねじ軸６２が回転し、一方、滑りねじナット６１は貫通孔４１ｇに対するロック部材６０の平板状先端部の挿入によって回転が規制されているため、滑りねじ軸６２が回転すると、滑りねじナット６１がばね６５の付勢力に抗して後退し、これと一体的にロック部材６０も後退する。これにより、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａから離脱し、ロック状態が解除される。こうして、ボールねじ軸２４を駆動させている間は、ロック部材６０が後退した位置に保持され、ドライブギヤ３０がロックされない状態に保持される。
　その後、駆動用モータ１０への電力供給が遮断され、ボールねじ軸２４の駆動が停止すると、ロック用モータ６４への電力供給も遮断される。これにより、ロック部材６０を後退させておくための駆動力が生じなくなるため、ロック部材６０はばね６５によって前進する方向へ押し動かされる。そして、ロック部材６０の先端部がドライブギヤ３０の係合孔３０ａに係合することでロック状態となり、ドライブギヤ３０の回転が規制される。
　このように、ロック部材６０によってドライブギヤ３０の回転が規制されることで、ボールねじ軸２４が進退しない状態で保持される。これにより、操作対象装置側からボールねじ軸２４側へ外力が入力されたとしても、ボールねじ軸２４の位置を所定の位置に保持しておくことができる。上記構成は、特に位置保持が必要なアプリケーションに電動アクチュエータを適用する場合に好適である。
　本実施形態では、ロック用モータ６４を駆動させることにより、ロック部材６０を後退させるようにしているが、反対に、ロック部材６０を前進させるために、ロック用モータ６４を駆動させてもよい。また、ロック用モータ６４を正逆回転させることで、ロック部材６０を前進させたり後退させたりすることも可能である。
　電動アクチュエータ１には、ボールねじ軸２４に設けられた操作部６のストローク方向の位置を検出するための位置検出装置が搭載される。この位置検出装置は、ボールねじ軸２４に設けられるセンサターゲットとしての永久磁石７３（図１を参照）と、ブーツ３６を覆うブーツカバー３９に、永久磁石７３のストローク方向の位置を検出する非接触センサとしての磁気センサ７０が配設されている（図２及び図３を参照）。
　ここで、磁気センサ７０は、モータケース１１と一体的に形成されたブーツカバー３９に設けられている。具体的には、図１０に示すように、モータケース１１のうち駆動用モータ１０が収容される部分（ケース本体１２）とブーツカバー３９との連結部近傍に、モータケース１１の外側に向けて開口したセンサケース７６が設けられている。そして、このセンサケース７６に、二個の磁気センサ７０を取付けたセンサベース７１がボルト７２で締結固定されている（図３を参照）。これにより、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９を介して永久磁石７３と対向した状態となる。正確には、磁気センサ７０の検知面７０ａが、図１０に示す向きから見て、永久磁石７３と向かい合う状態となるように、磁気センサ７０がボールねじ軸２４の半径方向外側に配設されている。この場合、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９とセンサケース７６、及びセンサベース７１とで覆われた状態となる。
　また、磁気センサ７０は、ブーツカバー３９の軸方向（ストローク方向）中間位置に配設されている（図１１を参照）。この際、永久磁石７３との位置関係でいえば、ボールねじ軸２４に取付けられる永久磁石７３のストローク範囲内（図１１及び図１５を参照）に磁気センサ７０を配設するのがよい。
　磁気センサ７０としては、任意のタイプが使用でき、その中でもホールＩＣ、リニアホールＩＣなどホール効果を利用して磁場の向き及び大きさを検出可能なタイプの磁気センサが好適に使用可能である。
　また、磁気センサ７０の周囲を覆うセンサベース７１（特にセンサベース７１のうち磁気センサ７０と接するベースプレート７１ａ）、センサケース７６、及びブーツカバー３９は何れも非磁性材料で形成されるのがよく、例えば樹脂で形成される。
　一方、センサターゲットとなる永久磁石７３は、可動部としてのボールねじ軸２４に配設されている。詳細には、図１に示すように、ボールねじ軸２４のうち操作部６と螺旋状溝２４ａとの間に永久磁石７３が配設されている。
　また、磁気センサ７０との位置関係でみると、図１１に示すように、永久磁石７３は、ボールねじ軸２４の外周面のうちブーツ３６で覆われた部分に配設されている。これにより磁気センサ７０と永久磁石７３との間には常にブーツ３６が存在した状態になっている。もちろん、本発明に係る非接触センサ（磁気センサ７０）とセンサターゲット（永久磁石７３）との配置態様はこれには限られない。可能であればボールねじ軸２４のうちブーツ３６の取付け部位よりも操作部６に近い側にセンサターゲットを配置してもよい。
　図１２は、軸方向所定位置に永久磁石７３を含むセンサターゲットが取付けられた状態のボールねじ軸２４（ボールねじ軸ユニット）の斜視図を示している。また、図１３は、ボールねじ軸２４単体の斜視図を示している。これらの図に示すように、ボールねじ軸２４の軸方向所定位置には切欠き部２４１が形成されており、この切欠き部２４１にセンサターゲットが取付けられている。切欠き部２４１の形状は、取付け対象となる磁石ホルダ７４の形状に応じて適宜設定される。本図示例では、ボールねじ軸２４の中心から半径方向にずれた位置を通る仮想平面でボールねじ軸２４を切断して得られる平坦面２４１ａと、平坦面２４１ａの軸方向両側に位置して平坦面２４１ａからボールねじ軸２４の半径方向に立ち上がった形状をなしている一対の軸方向端面２４１ｂ，２４１ｂとで切欠き部２４１が構成されている。
　図１４Ａと図１４Ｂは、永久磁石７３を含むセンサターゲットの斜視図と正面図をそれぞれ示している。これらの図に示すように、センサターゲットは、永久磁石７３と、永久磁石７３を保持する磁石ホルダ７４とを備える。磁石ホルダ７４には、ボールねじ軸２４の外周面、本実施形態であれば切欠き部２４１に嵌合可能な一対又は複数対（図示例では四対）の嵌合爪７４１が設けられている。また、嵌合爪７４１の突出側と反対の側に、永久磁石７３を嵌合可能な嵌合凹部７４２が設けられている。
　嵌合爪７４１は取付け対象となるボールねじ軸２４の外周面に倣った形状をなしており（図１０及び図１４Ｂを参照）、例えば切欠き部２４１の側から磁石ホルダ７４を押し込むことで、各対の嵌合爪７４１が互いに離間する向きに変形（弾性変形）し、切欠き部２４１の平坦面２４１ａに当接した状態で、元の位置に復元するようになっている。
　嵌合凹部７４２は、一対の側壁部７４３と、一対の側壁部７４３と一体に形成される第一の挟持部７４４と、一対の側壁部７４３及び第一の挟持部７４４と別体に形成されて第一の挟持部７４４との間に永久磁石７３を挟持可能な第二の挟持部７４５とで構成されている。この場合、嵌合凹部７４２を囲む略矩形状の四方のうち軸方向一方の側のみが開口しており、この開口部７４６（図１４Ａを参照）の側から永久磁石７３と第二の挟持部７４５を嵌合凹部７４２に向けて挿入可能としている。
　また、一対の側壁部７４３は、その先端側に向かうにつれて互いに近づく形状をなしている（図１４Ｂを参照）。これにより、嵌合凹部７４２に嵌合された永久磁石７３の半径方向外側への移動を規制している。
　上記構成の磁石ホルダ７４の材質は、一対又は複数対の嵌合爪７４１の弾性変形を伴うボールねじ軸２４への嵌合が可能な限りにおいて基本的に任意であるが、例えば永久磁石７３がその周囲に形成する磁場に及ぼす影響を考慮した場合、非磁性材料で形成するのがよく、嵌合爪７４１の弾性変形性を併せて考慮した場合、樹脂製とするのがよい。
　また、永久磁石７３は、その両端面７３ａ，７３ｂに直交する向きを着磁方向としている。すなわち、一方の端面７３ａがＮ極、他方の端面７３ｂがＳ極となるように着磁された状態にある。これにより、ボールねじ軸２４に取付けられた状態における永久磁石７３の着磁方向が、ボールねじ軸２４の直線運動方向に一致している（図１１を参照）。
　なお、永久磁石７３の形状については特に問わないが、本実施形態のように限られたスペース（ブーツカバー３９ないし伝達ギヤケース２９の円筒部２９ｇの内側空間）を移動すること、及び当該スペースにはブーツ３６が伸縮自在に配設されている点に鑑みた場合、ボールねじ軸２４に取付けた状態でボールねじ軸２４から極力突出しない形状（図１０を参照）とすることが望ましい。その一例として、例えば図１４Ａに示すように、永久磁石７３の外表面のうち、磁石ホルダ７４に保持された状態で露出する面が部分円筒面形状をなすものを挙げることができる。
　以上のように構成された位置検出装置において、ボールねじ軸２４が進退すると、磁気センサ７０に対する永久磁石７３の位置が変化し（図１１及び図１５を参照）、これに伴って磁気センサ７０の配設箇所における磁場も変化する。よって、この磁場（例えば磁束密度の向き及び強さ）の変化を磁気センサ７０によって検出することで、永久磁石７３のストローク方向位置ひいてはボールねじ軸２４の一端側に設けられた操作部６のストローク方向位置を取得することができる。
　続いて、図１６に基づき、磁気センサ７０を用いたフィードバック制御について説明する。
　図１６に示すように、目標値が制御装置８０に送られると、制御装置８０のコントローラ８１から駆動用モータ１０に制御信号が送られる。なお、この目標値は、例えば、車両上位のＥＣＵに操作量が入力された際に、その操作量に基づいてＥＣＵが演算したストローク値である。
　制御信号を受け取った駆動用モータ１０は回転駆動を開始し、この駆動力が上記遊星歯車減速機構１８、ドライブギヤ３０、ドリブンギヤ３１、ボールねじナット２３を介してボールねじ軸２４に伝達される。その結果、ボールねじ軸２４が駆動用モータ１０の出力軸１０ａと平行な向きに前進（又は後退）する。これにより、ボールねじ軸２４の先端部側（アクチュエータヘッド側）に配置される操作対象が操作される。
　このとき、磁気センサ７０によってボールねじ軸２４のストローク値（軸方向位置）が検出される。磁気センサ７０によって検知された検出値は制御装置８０の比較部８２に送られ、検出値と上記目標値との差分が算出される。そして、検出値が目標値と一致するようになるまで、駆動用モータ１０を駆動させる。このように、磁気センサ７０によって検出されたストローク値がフィードバックされてボールねじ軸２４の位置が制御されることで、本実施形態の電動アクチュエータ１を、例えば、シフトバイワイヤに適用した場合、シフト位置を確実にコントロールすることができる。
　本実施形態の電動アクチュエータ１の構成および動作については以上の通りである。以下、本実施形態の電動アクチュエータ１に関して、本発明の作用効果を説明する。
　上述のように、本実施形態に係るセンサターゲットは、直線運動を出力する可動部としてのボールねじ軸２４に取付けられるものであって、永久磁石７３と、この永久磁石７３を保持する磁石ホルダ７４とを備え、磁石ホルダ７４に、ボールねじ軸２４の外周面に嵌合可能な一対又は複数対の嵌合爪７４１を設けてなる（図１４Ａを参照）。このように構成したセンサターゲットであれば、対となる嵌合爪７４１の弾性を利用して作業者がいわゆるスナップフィットで永久磁石７３をボールねじ軸２４に取付けることができる（図１０）。よって、ガタなく確実に永久磁石７３をボールねじ軸２４に取付けることができ、従来技術と比べて優れた検出精度を得ることが可能となる。また、接着剤やねじなどを用いずに取付けられるので、非常に簡便な作業で足り、作業性も良好である。また、永久磁石７３を有するセンサターゲットを用いることにより、磁気センサ７０で非接触に永久磁石７３の位置を検出することができるので、従来に比べて位置検出に必要な部品の数を減らして、このターゲット及びボールねじ軸２４を備える電動アクチュエータ１のコンパクト化を図ることが可能となる。もちろん、このように簡易な構成でかつ簡便な作業でボールねじ軸２４に取付け可能であれば、製作コスト並びに作業コストを低く抑えることもできるので、電動アクチュエータ１のシリーズ化にとっても好ましい。なお、電動アクチュエータ１のシリーズ化に伴う多品種展開の具体例としては、二輪車を含む自動車用の電動パーキングブレーキ機構や、電動油圧ブレーキ機構、電動シフト切替機構、電動パワーステアリングのほか、２ＷＤ／４ＷＤ電動切替機構、船外機用（船舶推進機用）の電動シフト切替機構などを例示することができる。
　特に、複数対の嵌合爪７４１を設けてなる磁石ホルダ７４を樹脂で形成すれば、ボールねじ軸２４への押し込みにより、各対の嵌合爪７４１が容易に押し広げられるので、ボールねじ軸２４のターゲット取付け位置（切欠き部２４１）への取付け作業性をさらに高めることができる。
　なお、減速機構部９とロック機構部７が必要ない場合は、図１７に示すように、減速機構部９とロック機構部７とを有しない電動アクチュエータ１を構成することができる。図１７に示す電動アクチュエータ１は、図１に示す電動アクチュエータ１と比べて、減速機構部９をなくして、モータ部８と駆動力伝達部４を直接連結し、軸ケース５０を、ロック機構部７を取付けるホルダ部６６のないものに取り換えている。この場合、駆動用モータ１０の出力軸１０ａは、減速機構部９がないので、ギヤボス３２に圧入嵌合し、ギヤボス３２を支持する伝達ギヤケース２９側の転がり軸受３３は省略している。また、駆動用モータ１０の出力軸１０ａが取付けられるモータアダプタ１９は、嵌合する相手部材が減速ギヤケース１７から伝達ギヤケース２９に変わるので、相手部材の嵌合形状に合った別の形状のものに換えている。その他の構成は、図１に示す実施形態と同様である。なお、図１７に示す実施形態の電動アクチュエータ１は、駆動用モータ１０からの駆動力が減速機構部９を介さずに駆動力伝達部４に直接伝達される以外、図１に示す実施形態と基本的に同様に制御されて動作するので、制御および動作に関する説明は省略する。
　このように、図１に示す電動アクチュエータ１と図１７に示す電動アクチュエータ１とでは、一部の部品を取り換えるだけで、その他の多くの部品を共通の部品で構成することができ、低コストでシリーズ化を実現できる。特に、上述の実施形態では、モータケース１１の開口部１２ｄ側の内径と、減速ギヤケース１７のモータケース１１側の外径、および伝達ギヤケース２９の減速ギヤケース１７側の外径は、いずれも同じ径に形成されており、モータケース１１は減速ギヤケース１７と伝達ギヤケース２９のいずれに対しても嵌合可能に構成されている。このため、減速機構部９を省略しても、モータアダプタ１９を別のものに換えるだけで、モータ部８と駆動力伝達部４を互いに連結することができる。さらに言えば、ボールねじ軸２４を収容する軸ケース５０、ブーツカバー３９、及び伝達ギヤケース２９（の円筒部２９ｇ）を変更することなくそのまま使用できるので、ボールねじ軸２４についても先の実施形態と全く同じものを使用することができる。従って、位置検出装置を構成する磁気センサ７０及びセンサターゲット（永久磁石７３及び磁石ホルダ７４）も先の実施形態の際と全く同じものを使用することができ、これにより位置検出装置を搭載する場合においても、電動アクチュエータ１のシリーズ化を低コストに達成することが可能となる。
　また、以上の実施形態では、減速機構部９とロック機構部７の両方とも有するものと両方とも有しないものを例に説明したが、いずれか一方を有する電動アクチュエータを構成することも可能である。また、上述の例では、ロック機構部７の有無に応じて軸ケース５０を変更しているが、軸ケース５０を、ボールねじ軸２４の長さに応じて異なる形状又はサイズのものに変更してもよい。
　運動変換機構部３は、ボールねじ２２に限らず、滑りねじ装置であってもよい。ただし、回転トルクを低減して、駆動用モータ１０を小型化する観点からすれば、ボールねじ２２の方が好適である。また、上述の実施形態では、運動変換機構部３を支持する支持軸受４０として、複列のアンギュラ玉軸受を使用した構成を例示したが、これに限らず、一対の単列のアンギュラ玉軸受を組み合せて使用してもよい。また、支持軸受４０には、アンギュラ玉軸受に限らず、例えば、深溝玉軸受等を用いた他の複列軸受を適用することも可能である。
　減速機構部９は、遊星歯車減速機構１８以外の減速機構でもよい。また、ドライブギヤ３０とドリブンギヤ３１とのギヤ比を変えることで、駆動力伝達部４が減速機構としての機能を兼ねるようにしてもよい。
　また、本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。

Claims (8)

  1. 　モータの駆動により生じた回転運動を前記モータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換して出力する電動アクチュエータを構成し、前記出力軸と平行に配設されて前記直線運動を行う可動部に取付けられるセンサターゲットであって、
    　磁石と、前記磁石を保持する磁石ホルダとを備え、
    　前記磁石ホルダに、前記可動部の外周面に嵌合可能な一対又は複数対の嵌合爪が設けられていることを特徴とするセンサターゲット。
  2. 　前記磁石ホルダは、前記嵌合爪と、前記嵌合爪の突出側とは反対側に設けられ前記磁石が嵌合されている嵌合凹部とを有する請求項１に記載のセンサターゲット。
  3. 　前記嵌合凹部は、一対の側壁部と、前記一対の側壁部と一体に形成される第一の挟持部と、前記一対の側壁部及び前記第一の挟持部と別体に形成されて前記第一の挟持部との間に前記磁石を挟持可能な第二の挟持部とで構成されている請求項２に記載のセンサターゲット。
  4. 　前記嵌合凹部は、前記第一の挟持部とは反対の側に開口部を有し、前記開口部の側から前記磁石と前記第二の挟持部を前記嵌合凹部に向けて挿入可能としている請求項２又は３に記載のセンサターゲット。
  5. 　請求項１～４の何れかに記載のセンサターゲットと、このセンサターゲットが嵌合により取付けられている前記可動部とを備えた可動部ユニット。
  6. 　前記可動部に切欠き部が設けられており、前記切欠き部に前記センサターゲットが嵌合されている請求項５に記載の可動部ユニット。
  7. 　請求項５又は６に記載の可動部ユニットと、前記可動部の周囲に配設され、前記磁石の位置を検出する磁気センサとを備える電動アクチュエータ。
  8. 　前記モータと、前記モータの駆動により生じた回転運動を前記モータの出力軸と平行な向きの直線運動に変換する運動変換機構とをさらに備える請求項７に記載の電動アクチュエータ。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108781021B (zh) * 2016-03-30 2021-03-26 Ntn株式会社 电动致动器
JP2019148299A (ja) * 2018-02-27 2019-09-05 Ntn株式会社 ねじ軸、送りねじ機構及び電動アクチュエータ
JP6669184B2 (ja) * 2018-03-14 2020-03-18 Tdk株式会社 シャフトユニットおよびその製造方法、位置検出装置、ならびに磁気部材
EP3620754B1 (en) * 2018-09-06 2022-01-05 KNORR-BREMSE Systeme für Nutzfahrzeuge GmbH A magnet holder and stroke sensor with the magnet holder
JP7018045B2 (ja) * 2019-09-06 2022-02-09 ジェコー株式会社 アクチュエータ及び排気バルブ駆動装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04141611A (ja) * 1990-10-02 1992-05-15 Canon Inc レンズ駆動装置を有する光学機器
JP2005009996A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Sakae Tsushin Kogyo Kk 磁気式ポテンショメータ
JP2014232035A (ja) * 2013-05-29 2014-12-11 アイシン精機株式会社 直動機構の変位検知装置、及び該装置を備えた車両の後輪操舵装置
JP2015117787A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 Ntn株式会社 電動アクチュエータ
WO2017038318A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 ポジションセンサ

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5417132B2 (ja) 1972-05-17 1979-06-27
JPS5172137A (ja) 1974-12-18 1976-06-22 Shinko Seiki Jinkokishima
DE60017300T2 (de) * 1999-02-25 2005-12-22 Denso Corp., Kariya Bürstenhalteranordnung für einen Gleichstrommotor
EP2457787A1 (en) * 2004-06-30 2012-05-30 HI-LEX Corporation, Inc. An electric cable drive device
DE102006028479B4 (de) * 2006-03-07 2012-06-06 Deere & Company Getriebeschaltstelle zum Herstellen einer drehfesten Verbindung zwischen mindestens einem Zahnrad und einer Welle
DE102006010945A1 (de) * 2006-03-09 2007-09-13 Minebea Co., Ltd. Positionsgeber für ein Stellelement, Linearmotor und Verfahren zum Herstellen eines Linearmotors
DE102006027857B4 (de) * 2006-06-16 2009-11-26 Stabilus Gmbh Klappenantrieb
JP5243018B2 (ja) 2007-12-27 2013-07-24 Ｎｔｎ株式会社 電動リニアアクチュエータ
JP2009243516A (ja) * 2008-03-28 2009-10-22 Aisin Aw Co Ltd レンジ切換え装置
US8516916B2 (en) * 2009-06-16 2013-08-27 Marine Canada Acquisition Inc. Linear actuator
JP5417132B2 (ja) 2009-11-26 2014-02-12 Ｎｔｎ株式会社 電動アクチュエータ
CN105162282B (zh) * 2010-08-23 2019-01-04 株式会社美姿把 带减速机构的马达
JP5734065B2 (ja) * 2011-04-12 2015-06-10 東洋電装株式会社 ジョイスティック装置
US10451982B2 (en) * 2013-01-23 2019-10-22 Nikon Research Corporation Of America Actuator assembly including magnetic sensor system for vibrationless position feedback
CN104210535B (zh) 2013-05-29 2017-10-24 爱信精机株式会社 直线运动机构的位移检测装置及车辆后轮转向装置
CN107878194A (zh) * 2013-10-08 2018-04-06 本田制锁有限公司 反力发生装置
US10088040B2 (en) * 2014-06-17 2018-10-02 Ghsp, Inc. Shifter with electromagnetic park lock system
US9529378B2 (en) * 2014-11-21 2016-12-27 Dura Operating, Llc Vehicle shifter assembly
US10168249B2 (en) * 2016-05-17 2019-01-01 GM Global Technology Operations LLC Magnetic transmission park position sensor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04141611A (ja) * 1990-10-02 1992-05-15 Canon Inc レンズ駆動装置を有する光学機器
JP2005009996A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Sakae Tsushin Kogyo Kk 磁気式ポテンショメータ
JP2014232035A (ja) * 2013-05-29 2014-12-11 アイシン精機株式会社 直動機構の変位検知装置、及び該装置を備えた車両の後輪操舵装置
JP2015117787A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 Ntn株式会社 電動アクチュエータ
WO2017038318A1 (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 ポジションセンサ

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