WO2016198502A1 - Optoelektronisches bauelement und herstellungsverfahren dafür - Google Patents

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Definitions

  • the invention relates to an optoelectronic component ge ⁇ Frankfurtss claim 1 and a method for producing an optoelectronic component according to claim 12th
  • DE 10 2009 036 621 A1 discloses a method for producing an optoelectronic semiconductor component, wherein an optoelectronic semiconductor chip with a through-connection is embedded in a molded body.
  • the semiconductor chip has a first contact on a lower side and a second contact on an upper side.
  • the second contact is electrically conductively connected to an upper contact surface of the plated-through hole. In this way, the second electrical contact of the upper side of the semiconductor chip is guided onto the underside of the shaped body.
  • the object of the invention is to provide an improved optoelectronic component and an improved method for producing an optoelectronic component.
  • the via is better anchored in the molding. This is achieved in that the through-connection is formed in such a way that at least in a Ab ⁇ section between the first and the second contact surface of the via on a straight line a shaped body angeord- is net. Thus, a displacement of the feedthrough with respect to the shaped body is at least made difficult, in particular avoided.
  • the via is in the form of a folded or bent band. As a result, a strong anchoring of the via in the molding is achieved.
  • the formation in the form of the band provides a relatively large cross-sectional area of the conductor for a low electrical resistance.
  • the through-connection is formed in the form of a spiral.
  • the spiral shape allows a relatively large elasticity.
  • the spiral shape is relatively insensitive to damage.
  • the spiral shape may be arranged with a longitudinal axis parallel to an axis of the via or perpendicular to the axis of the via.
  • the parallel arrangement offers a high stability.
  • the vertical arrangement provides a large effective Lei ⁇ processing cross-sectional area.
  • the plated-through hole is formed in the form of at least two or more line elements connected to one another mechanically.
  • the line elements may be in the form of wires or bands.
  • the ends of the line elements can form the first and the second contact surface.
  • the plinsele ⁇ elements can be twisted as a mechanical connection, for example. Twisted conduit elements, in particular in the form of wires or bands are inexpensive and easy to manufacture.
  • a stable anchoring of the twisted line elements can be achieved in the molding.
  • a relatively large effective line cross-section can be provided by a corresponding number of line elements.
  • the formation of the via in the form of a bent or folded band or in the form of a spiral or in the form of connected line elements allows the formation of a flexible, in particular an elastically and / or plastically deformable contact element.
  • the plated-through hole has at least one recess, which is formed, for example, in the form of a depression, a bulge or a hole.
  • the recess is filled with the shaped body ⁇ ge. In this way, a strong anchoring of the
  • the designed in the form of a strip via at least two sections, in particular three sections, which are disposed substantially paral lel ⁇ each other and are connected to one another via at least one interim ⁇ rule portion. In this way, a stable formation of the via at the same time stable anchoring in the molding is achieved.
  • the band is meander-shaped. As a result, a further improved anchoring of the strip is achieved in the molding.
  • the invention relates to methods for producing the optoelectronic component.
  • FIG. 1 to 6 show various process steps for the manufacture ⁇ development of the optoelectronic component
  • FIG. 7 shows a view onto an underside of the component
  • FIG. 8 shows a view of the top of the component
  • FIG. 9 shows a through-contact in the form of a folded band
  • FIG. 10 shows a through-connection in the form of a bent band
  • FIG. 11 shows a through-connection in the form of three wires twisted together
  • FIG. 12 shows a plated-through hole in the form of a through-hole arranged perpendicularly to the upper side of the molded body
  • FIG. 13 shows a through-connection in the form of a spiral, which is arranged parallel to the upper side of the shaped body
  • FIG. 14 shows a through-connection in the form of a meandering band with a semiconductor chip
  • FIG. 15 shows a schematic side view of a meander band
  • FIG. 16 shows a component with a semiconductor chip and a meander band
  • FIG. 17 shows a through-hole in the form of a band folded in Z-shape
  • FIG. 18 shows a through-connection in the form of three mutually twisted bands
  • FIG. 19 shows a plated-through hole in the form of a through-connection in the form of a ribbon spiral arranged perpendicularly to the upper side of the molded body
  • FIG. 20 shows a through-connection in the form of a band spiral, which is arranged parallel to the upper side of the shaped body
  • FIG. 21 shows a schematic cross section through an arrangement with two optoelectronic components with feedthroughs in the form of Z-shaped bands, FIG.
  • Figure 23 is a bottom view of the device of Figure 22.
  • FIG. 1 shows a schematic sectional view of a first method step for producing an optoelectronic component.
  • a carrier 1 is provided.
  • the carrier 1 can be formed, for example, of metal, such as copper or aluminum, or of ceramic or of a semiconductor material or of plastic.
  • the carrier 1 can also be designed in the form of a film.
  • optoelectronic components 2 which are formed in ⁇ example in the form of a laser diode or a lichtemittie ⁇ generating diode or in the form of a photo sensor attached.
  • a plated-through hole 3 is fastened to the carrier 1.
  • the plated-through holes 3 have a recess 50.
  • a Kle ⁇ coating can be used, which is applied to the top of the Trä ⁇ gers 1.
  • the optoelectronic semiconductor chip 2 may be arranged on the carrier 1 in such a way that a light-emitting side rests on the carrier 1.
  • a molding material is subsequently introduced ⁇ 4, in which the semiconductor chip 2 and the fürANDie ⁇ stanchions are embedded on the support 3. 1
  • the recesses 50 are filled with molding compound 4 at least partially.
  • the Ausneh ⁇ rules 50 may be formed in the form of holes, bulges or dents. Each via can have at least one recess 50. This will be a stronger anchoring of the via 3 in the molding compound 4 achieved.
  • the molding compound 4 can be applied by forming, wrapping, for example by means of spraying, casting, printing, laminating a film or the like. This method is shown in FIG. Depending on both the semiconductor chip 2 and the plated-through holes 3 with the molding material 4 can be filled from the ge ⁇ embodiment selected here, as shown in FIG. 2
  • the molding compound 4 may consist of a plastic material, such as epoxy or silicone or have.
  • the thickness of the molding can be adapted to the thickness of the semiconductor chip 2 even at the herstel ⁇ lung 5, in ⁇ which a mold on the semiconductor chip 2 and the throughput contacts 3 is placed, and the molding material is filled in the gaps.
  • the via is flexible in the length or the height to adapt to different thicknesses semi ⁇ conductor chips in the molding process and embed in the molding.
  • the plated-through hole can be elastic or plastically deformable.
  • Through holes 3 are embedded in a molded body 5. If the thickness of the molded body 5 is larger than the thickness of the semiconductor chip 2, a removal of the supernatant form of mass 4 is still necessary after the curing of Formmas ⁇ se 4, to obtain the arrangement shown in FIG. 3.
  • a first side 6 of the semiconductor chip 2 and a first clock-Kon ⁇ surface 7 of plated-through holes 3 on a first side of the shaped body 5 is arranged, and free from the molding.
  • a second side 8 of the semiconductor chips 2 rests on the Trä ⁇ ger. 1
  • a second contact surface 9 of the fürierun- gen 3 is on a second side of the shaped body 5 angeord ⁇ net and is located on the carrier 1 on.
  • the first and the second side 7, 9 are arranged on opposite sides of the shaped body 5. Side surfaces of the semiconductor chips 2 and side surfaces of the plated-through holes 3 are embedded in the molded body 5. Due to the recesses 50, the fürkon ⁇ takttechniken 3 are more firmly anchored in the shaped body 5, because a molded body 5 is disposed on a straight line between the first and second electrical contact surfaces 7.9.
  • a second electrical contact 13 may be provided which has been applied to the second side 8 of the semiconductor chip before the semiconductor chips 2 are mounted. Depending on the design of the second electrical contact 13 can be applied ⁇ step in a later process.
  • a first electrical contact 10 is applied to the first sides 6 of the semiconductor chips 2.
  • a metal / semiconductor contact can be applied to the first sides 6 of the semiconductor chips. This is advantageous if in the removal of the protruding molding material and semiconductor material was removed from the sides 6 of the semiconductor chips.
  • the semiconductor chips 2 have already when embedded in the shaped body 5 at first sides th to 6 first electrical contacts 10, so that on ⁇ brin supply of the first electrical contacts 10 in the process step of Fig. 4 is no longer necessary ,
  • a further first electrical contact 11 is applied to the first contact surface 7 of the plated-through holes 3.
  • the first electrical contact 10 and the further ers ⁇ te electrical contact 11 are formed for example in the form of a metal ⁇ layer.
  • the further electrical contact 11 can also extend laterally beyond the through-connection 3 as far as the molded body 5.
  • the metal layer of the first and further first contacts 10,11 can be made by a combination of Nati ⁇ on deposition and patterning techniques.
  • deposition methods such as vapor deposition, decomposition Dusting or electroplating can be used in conjunction with photolithographic structuring and dry etching or wet chemical etching.
  • printing processes such as screen printing, ink jet printing or aerosol jet printing can optionally be used with a subsequent sintering step.
  • combinations of the described methods can also be used.
  • the molded body 5 with the semiconductor chips 2 and the plated-through holes 3 is released from the carrier 1 and fixed with the first side 6 or the first contact surface 7 on a second carrier 12, as shown in FIG.
  • the second carrier 12 may be formed according to the first carrier 1.
  • the semiconductor chip 2 already have a second electrical contact 13 on the second side 8 or the second electrical contacts 13 are of the semiconductor chip 2, which faces a via hole 3 and is adjacent to, be applied ⁇ in an edge region of the second side.
  • a second dielectric layer 14 is applied in such a way on the second contact surface 9 of the fürmorie ⁇ stanchions 3 and the molded body 5 and the second electrical contact 13 of the semiconductor chip 2, that in each case a second electrical contact 13 of a semiconductor chip 2 via the second electrically conductive Layer 14 is electrically conductively connected to an adjacent via 3.
  • the second electrically conductive layer 14 can be produced by a combination of deposition and patterning methods.
  • deposition methods such as vapor deposition, sputtering or electroplating can be used in conjunction with photolithographic structuring and dry etching or wet-chemical etching.
  • printing processes such as screen printing, ink jet printing or aerosol jet printing can optionally be used with a subsequent sintering step.
  • combinations of the described methods can also be used.
  • the second side 8 of the semiconductor chips 2, which is a radiation emittie ⁇ -saving side of the semiconductor chip a conversion layer can be applied ⁇ 15th
  • the arrangement according to FIG. 6 is singulated, wherein the dividing line is shown schematically in the form of dashed lines 16. The separation can be done by sawing, grinding, laser cutting or breaking.
  • the second carrier 12 is removed.
  • Figure 7 shows a perspective view of an optoelectronic component 16, was prepared according to the method of the fi gures ⁇ 1 to 6.
  • figure 7 is a bottom ⁇ side of the semiconductor device after removing the two-th carrier 12 is shown.
  • On the underside of the first electrical contact 10 of the semiconductor chip 2 is arranged.
  • the molded body 5 surrounds the semiconductor chip 2 laterally.
  • further first electrical contacts 11 of two plated-through holes 3 are arranged on the underside.
  • two vias 3 are provided for the semiconductor chip 2, and thus two further first electrical contacts 11 are arranged on the underside of the Bauelemen ⁇ tes 16.
  • the two further first electrical contacts 11 of the two plated-through holes 3 can be combined to form an electrical connection by means of a further contact layer, which is applied to the underside of the molded body 5.
  • Figure 8 shows the top of the device 16 in a schematic perspective view.
  • the upper side represents the side in the illustrated embodiment, is emitted via the radiation or radiation is received as a photo sensor in the Ausbil ⁇ dung.
  • the semiconductor chip 2 has two second electrical contacts 13, which are electrically conductively connected via corresponding second electrical layers 14, each having a plated-through hole 3.
  • the two second electrical layers 14 of the two plated-through holes 3 may also be formed in the form of a common second electrical layer 14.
  • the semiconductor chip 2 may also have only a second electrical contact 13. In this embodiment, only one via 3 is then provided.
  • On the top of the conversion layer 15 is arranged, which is laterally surrounded by the form ⁇ body 5. Depending form can be dispensed with the conversion layer 15 to be an emission side, or a Einstrahlseite of the opto-electro ⁇ African semiconductor chips 2 are arranged on the selected execution.
  • the vias 3 are shown only schematically. With reference to the following figures, possible embodiments of the plated through holes are described in more detail.
  • the band 17 has a first portion 18, which is arranged in the installed state parallel to the top of the molding or the component.
  • the first section 18 is connected to a second section 20 via a first intermediate section 19.
  • the second portion 20 is parallel to the first cut from ⁇ 18.
  • the first intermediate section 19 may be arranged perpendicular to the first section 18.
  • the first intermediate portion 19 can be curved, folded or arranged in egg ⁇ nem predetermined angle other than 90 ° to the first portion 18th
  • the second section 20 is connected via a two ver ⁇ ⁇ th intermediate section 21 with a third portion 22nd
  • the second intermediate portion 21 may be formed and arranged in accordance with the first intermediate portion 19.
  • the third section 20 is arranged parallel to the first and second sections 18, 20.
  • the folded band 17 may be made of a metal.
  • the folded tape 17 may have white ⁇ tere recesses 23rd
  • the further recesses 23 may be in the form of holes, bulges of the band or Recesses to be formed up to a certain percentage of the layer thickness of the belt. In a simple embodiment, the further recess 23 is formed as a continuous hole of the belt 17.
  • the first section 18 represents a first contact surface of the through-connection, which is arranged on the upper side of the shaped body.
  • the third section 22 represents a second contact surface of the through-connection, which is arranged on the underside of the molded body.
  • the spaces between the sections 18,20,22 represent recesses 50.
  • FIG. 10 shows a through-contact in the form of a bent band 24.
  • the bent band 24 has a first end region 25 and a second end region 26, which are arranged, for example, parallel to one another.
  • the first Endbe ⁇ rich 25 represents a first contact surface of the fürjorie ⁇ tion and is arranged in the installed state at the top of the molding.
  • the second end region 26 represents a second contact surface of the plated through-hole and is in the installed state at the bottom of the molded body angeord ⁇ net.
  • the arcuate band 24 may comprise at least one or more further Ausneh ⁇ rules 23rd
  • the further recesses 23 may be indentations, bulges or through holes.
  • the bent band may be made of a metal.
  • FIG. 11 shows a further embodiment of a through-connection in the form of electrically conductive wires 27, 28, 29 as line elements.
  • the wires have, for example, a circular cross-section.
  • the wires are ⁇ extension region 30 in a Verbin, which is arranged in the center of the reasonable length of the wires, mechanically connected to each other, particular twisted together.
  • the wires are gebo ⁇ gene around each other, so that the wires are held together form-fitting manner in the connection area.
  • the selected version tion form can also be only two wires or more than three wires twisted together as a via provided.
  • the first ends 31 of the wires 27, 28, 29 represent a first contact surface of the via.
  • Second ends 32 of the wires 27, 28, 29 illustrate a second contact ⁇ surface of the via.
  • the first ends 31 are in the range of Top of the shaped body 5 is arranged.
  • the second ends 32 of the wires 27, 28, 29 are arranged in the region of the underside of the molded body.
  • the wires are made of metal or a metal alloy, for example.
  • the space between the wires 27,28,29 represents a recess 50.
  • FIG. 12 shows a further embodiment of a through-connection, which is designed in the form of a spiral 33.
  • the spiral 33 has a first turn 34.
  • the spiral 33 has a last turn 35 at the opposite end.
  • the first winding 34 represents a first contact surface of the through-connection and is arranged in the installed state in the region of the upper side of the molded body 5.
  • the last turn 35 represents a second contact surface of the through-contacting ⁇ tion and is arranged in the installed state on the underside of the shaped body 5.
  • the spiral 33 is formed of a wire wound around a longitudinal axis. The free spaces between see the turns of the spiral 33 represent recesses 50.
  • FIG. 13 shows a further embodiment of the through-connection, which is designed in the form of a spiral 33.
  • the spiral 33 is disposed with a longitudinal ⁇ axis 38 parallel to the top or to the bottom of the mold ⁇ body. 5
  • upper turn portions 36 form a first contact surface of the feedthrough.
  • Lower turn portions 37 disposed opposite to the upper turn portions 36 form a second contact surface of the via.
  • the upper turn portions 36 are arranged on the upper side of the molded body 5.
  • the lower winding sections 37 are arranged on the underside of the molded body 5.
  • Fi ⁇ gur 13 the molded body 5 is shown schematically.
  • the spaces between the turns of the spiral 33 represent recesses 50.
  • FIG. 14 shows a schematic representation of optoelectronic semiconductor chips 2 which are arranged in a grid on a carrier 1.
  • the semiconductor chip 2 in the form of a via is Switzerlandbandes depending ⁇ wells 39 arranged on the carrier. 1
  • the meandering bands 39 are in
  • a meander band 39 has a first portion 40, which is connected via a first intermediate portion 41 to a second portion.
  • the second section 42 merges via a second intermediate section 43 into a third section 44.
  • the third portion 44 is disposed parallel to the first and second portions 40, 42 and disposed in the height position between the first and second portions 40, 42.
  • the third section 44 merges via a third intermediate section 45 into a fourth section 46.
  • the fourth section 46 is disposed between the second and third sections 42, 44.
  • the fifth section 48 is at the same height as the first section 40 angeord ⁇ net.
  • the first intermediate portion 41 and the second intermediate portion 43 are arranged parallel to each other.
  • the fourth intermediate portion 47 is parallel to the first interim financial ⁇ section 41 is arranged.
  • the third intermediate portion 44 is disposed between the second and fourth intermediate portions 43, 47.
  • the third intermediate section 45 is guided obliquely upward from an end region of the third section 44 to an initial region of the fourth section 46.
  • the second section 42 constitutes a first contact ⁇ surface of the via.
  • the fifth section 48 provides a second contact surface of the via is.
  • Figure 15 shows a schematic side view of a club ⁇ isolated Guranderbandes 39 according to figure 14 in a longitudinal direction.
  • the spaces between the sections 42,46,45,44,48 represent recesses 50.
  • a semiconductor chip 2 and a meander band 39 of FIG. 14 are respectively processed into a component 16 according to the method described with reference to FIGS. 1 to 6, as shown schematically in FIG. 16.
  • 16 shows a view in a transverse direction of the meander band 39.
  • a meander band 39 and a semiconductor chip 2 are embedded in a shaped body 5.
  • the formation of the fürorialie ⁇ tion in the form of a Guranderbandes allows cost-effective manufacture, wherein the meander is safely and reliably ⁇ permeable anchored in the shaped body 5.
  • the meander 39 can have further recesses ⁇ From 23rd
  • the further recesses 23 may be in the form of bulges, depressions or through holes.
  • the meander band 39 is flexible, in particular elastically or plastically deformable, and can adapt in height to semiconductor chips 2 of different thicknesses.
  • 17 shows a schematic representation of a plated-through hole in the form of a folded strip 17.
  • the strip 17 has a first section 18 which, in the installed state, is parallel to the upper side of the molded body or of the component is arranged.
  • the first section 18 is connected via a first intermediate section 19 with a second section 20 verbun ⁇ the.
  • the second portion 20 is parallel to the first cut from ⁇ 18.
  • the first intermediate section 19 may be arranged perpendicular to the first section 18.
  • the first intermediate portion 19 can be curved, folded or arranged in egg ⁇ nem predetermined angle other than 90 ° to the first portion 18th
  • the folded strip has a Z-shape in cross-section.
  • the folded band 17 may be made of a metal.
  • the folded band 17 may have further recesses 23.
  • the further recesses 23 may be formed in the form of holes, bulges of the band or recesses up to a certain percentage of the layer thickness of the band. In a simple embodiment, the further recess 23 is formed as a continuous hole of the band 17.
  • the first section 18 represents a first contact surface of the through-connection, which is arranged on the upper side of the shaped body.
  • the second section 20 represents a second contact surface of the through-connection, which is arranged on the underside of the shaped body.
  • FIG. 18 shows a further embodiment of a through-connection in the form of electrically conductive strips 67, 68,
  • the bands have, for example, a rectangular cross-section.
  • the bands are mechanically connected to each other in a connecting region 30 which is arranged in the middle of the length of the bands, in particular twisted together.
  • the bands are gebo ⁇ gene around each other, so that the bands are held together form-fitting manner in the connection area. Depending on the selected embodiment, only two bands or more than three bands can be twisted together as a via.
  • the first ends 31 of the bands 67, 68, 69 constitute a first contact surface of the plated through-hole.
  • Second ends 32 of the bands 67, 68, 69 constitute a second contact surface of the plated-through hole first ends 31 of the bands in the region of the top of the molded body 5 is arranged.
  • the second ends 32 of the bands 67, 68, 69 are arranged in the region of the underside of the molded body.
  • the bands are made of metal or a metal alloy, for example.
  • the free spaces between the bands 67, 68, 69 represent a recess 50.
  • FIG. 19 shows a further embodiment of a through-connection formed in the form of a second spiral 73.
  • the second spiral 73 is formed of a band.
  • the second spiral 73 has a first turn 34.
  • the spiral 73 has a last turn 35 at the opposite end.
  • the first turn 34 represents a first clock-Kon ⁇ surface of the via and is in the installed state in the region of the top of the shaped body 5 angeord ⁇ net.
  • the last turn 35 represents a second contact surface of the plated through hole and is arranged in the installed state on the underside of the molded body 5.
  • the second Spi ⁇ rale 73 is formed from a wound around a longitudinal axis band. The free spaces between the turns of the second spiral 73 represent recesses 50.
  • FIG. 20 shows a further embodiment of the through-connection, which is designed in the form of a second spiral 73.
  • the second coil 73 is disposed with a longitudinal axis 38 parallel to the top or to Un ⁇ underside of the shaped body. 5
  • 36 form upper turn portions, a first contact surface of the clocking of fürkon ⁇ .
  • Lower turn portions 37 which are disposed opposite to the upper turn portions 36, form a second contact surface of the via.
  • the upper turn portions 36 are arranged on the upper side of the molded body 5.
  • the lower win ⁇ tion sections 37 are arranged on the underside of the shaped body 5.
  • the molded body 5 is shown schematically.
  • Figure 21 shows two optoelectronic components 16, which were prepared ge ⁇ Telss the process steps that were described with reference to Figures 1 to 6 above.
  • a band 17 folded in Z-shape is provided as a via.
  • the shapes of vias described with reference to the preceding figures can be used to produce optoelectronic devices with fürmindt réelle.
  • the method described with reference to FIGS. 1 to 6 can also be used for embedding the optoelectronic component and the introduction of at least two plated-through holes, wherein the component has the first electrical contact 10 and the second electrical contact 13 on the upper side, wherein the first electrical contact and the second electrical contact via two corresponding through ⁇ contacts in the molded body are guided on a bottom.
  • FIG. 22 shows, in a schematic arrangement, an optoelectronic component 16 which has on an upper side ei ⁇ NEN first and a second electrical contact 10, 13, which are spaced from each other and electrically isolated from each other.
  • the two electrical contacts are for loading ⁇ drive of the device 16 is used.
  • the first electrical contact 10 is electrically conductively connected via a second electrical layer 14 to a plated-through hole 3.
  • the via 3 is embedded in the molding 5 and guided to a lower side of the molding 5.
  • a further first electrical contact 11 is arranged, which is electrically conductively connected to the feedthrough 3.
  • the second electrical contact 13 is electrically conductively connected via a further second electrical layer 14 to a further through-connection 3.
  • the further feedthrough 3 is embedded in the shaped body 5 and guided to a first side of the shaped body 5.
  • a further first electrical contact 11 is arranged, which is electrically conductively connected to the feedthrough 3.
  • the via 3 may be realized in one of the forms described in the preceding examples.
  • the plated-through hole can be in the form of a bent or folded strip or in the form of a spiral or in the form of connected line elements.
  • FIG. 23 shows a bottom view of the component 16 of FIG. 22 with a view of the two further first electrical contacts 11 of the two plated-through holes 3.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauelement (16) aufweisend: - einen Formkörper (5), - einen Halbleiterchip (2), - eine elektrische Durchkontaktierung (3), die eine elektrisch leitende Verbindung durch den Formkörper darstellt, wobei die Durchkontaktierung und der Halbleiterchip nebeneinander im Formkörper eingebettet sind, wobei ein elektrischer Kontakt (13) des Halbleiterchips auf einer Oberseite des Halbleiterchips ausgebildet ist, wobei eine erste Kontaktfläche (7) der Durchkontaktierung auf der Unterseite des Formkörpers ausgebildet ist, wobei eine zweite Kontaktfläche (9) der Durchkontaktierung auf der Oberseite des Formkörpers ausgebildet ist, wobei die zweite Kontaktfläche mit dem elektrischen Kontakt des Halbleiterchips elektrisch leitend verbunden ist, wobei die Durchkontaktierung in der Weise ausgebildet ist, dass wenigstens in einem Abschnitt zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche auf einer Geraden zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche ein Formkörper angeordnet ist. Zudem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen des optoelektronischen Bauelementes.

Description

OPTOELEKTRONISCHES BAUELEMENT UND
HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
BESCHREIBUNG Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauelement ge¬ mäß Patentanspruch 1 und ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelementes gemäß Patentanspruch 12.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE 10 2015 109 333.2, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Aus DE 10 2009 036 621 AI ist ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauelements bekannt, wobei ein optoelektronischer Halbleiterchip mit einer Durchkontak- tierung in einen Formkörper eingebettet wird. Der Halbleiterchip weist auf einer Unterseite einen ersten Kontakt und auf einer Oberseite einen zweiten Kontakt auf. Der zweite Kontakt ist mit einer oberen Kontaktfläche der Durchkontaktierung elektrisch leitend verbunden. Auf diese Weise wird der zweite elektrische Kontakt der Oberseite des Halbleiterchips auf die Unterseite des Formkörpers geführt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein verbessertes optoelektronisches Bauelement und ein verbessertes Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelementes bereitzustellen .
Die Aufgabe der Erfindung wird durch das Bauelement gemäß Pa- tentanspruch 1 und durch das Verfahren gemäß Patentanspruch 12 gelöst.
Ein Vorteil des vorgeschlagenen Bauelementes besteht darin, dass die Durchkontaktierung besser im Formkörper verankert ist. Dies wird dadurch erreicht, dass die Durchkontaktierung in der Weise ausgebildet ist, dass wenigstens in einem Ab¬ schnitt zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche der Durchkontaktierung auf einer Geraden ein Formkörper angeord- net ist. Somit kann eine Verschiebung der Durchkontaktierung gegenüber dem Formkörper zumindest erschwert, insbesondere vermieden werden. In einer Ausführungsform ist die Durchkontaktierung in Form eines gefalteten oder gebogenen Bandes ausgebildet. Dadurch wird eine starke Verankerung der Durchkontaktierung im Formkörper erreicht. Zudem wird durch die Ausbildung in Form des Bandes eine relativ große Leitungsquerschnittsfläche für ei- nen geringen elektrischen Widerstand bereitgestellt.
In einer weiteren Ausführungsform ist die Durchkontaktierung in Form einer Spirale ausgebildet. Die Spiralform ermöglicht eine relativ große Elastizität. Zudem ist die Spiralform re- lativ unempfindlich gegenüber Beschädigungen. Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann die Spiralform mit einer Längsachse parallel zu einer Achse der Durchkontaktierung o- der senkrecht zur Achse der Durchkontaktierung angeordnet sein. Die parallele Anordnung bietet eine hohe Stabilität. Die senkrechte Anordnung bietet eine große effektive Lei¬ tungsquerschnittsfläche .
In einer weiteren Ausführungsform ist die Durchkontaktierung in Form von wenigstens zwei oder mehreren, miteinander mecha- nisch verbundenen Leitungselementen ausgebildet. Die Leitungselemente können in Form von Drähten oder Bändern ausgebildet sein. Die Enden der Leitungselemente können dabei die erste und die zweite Kontaktfläche bilden. Die Leitungsele¬ mente können als mechanische Verbindung z.B. verdrillt sein. Verdrillte Leitungselemente insbesondere in Form von Drähten oder Bänder sind kostengünstig und einfach herzustellen. Zudem kann eine stabile Verankerung der verdrillten Leitungselemente im Formkörper erreicht werden. Weiterhin kann ein relativ großer effektiver Leitungsquerschnitt durch eine ent- sprechende Anzahl von Leitungselementen bereitgestellt werden . Die Ausbildung der Durchkontaktierung in Form eines gebogenen oder gefalteten Bandes oder in Form einer Spirale oder in Form von verbundenen Leitungselementen ermöglicht die Ausbildung eines flexiblen, insbesondere eines elastisch und/oder plastisch verformbaren Kontaktelementes.
In einer weiteren Ausführungsform weist die Durchkontaktierung wenigstens eine Ausnehmung auf, die beispielsweise in Form einer Vertiefung, einer Ausbuchtung oder eines Loches ausgebildet ist. Die Ausnehmung ist mit dem Formkörper ge¬ füllt. Auf diese Weise wird eine starke Verankerung der
Durchkontaktierung im Formkörper erreicht.
In einer weiteren Ausführung weist die in Form eines Bandes ausgebildete Durchkontaktierung wenigstens zwei Abschnitte, insbesondere drei Abschnitte auf, die im Wesentlichen paral¬ lel zueinander angeordnet sind und über wenigstens einen Zwi¬ schenabschnitt miteinander verbunden sind. Auf diese Weise wird eine stabile Ausbildung der Durchkontaktierung bei gleichzeitig stabiler Verankerung im Formkörper erreicht.
In einer weiteren Ausbildung ist das Band mäanderförmig ausgebildet. Dadurch wird eine weitere verbesserte Verankerung des Bandes im Formkörper erreicht.
Zudem betrifft die Erfindung Verfahren zur Herstellung des optoelektronischen Bauelementes.
Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden, wobei
Figuren 1 bis 6 verschiedene Verfahrensschritte zur Herstel¬ lung des optoelektronischen Bauelementes, Figur 7 eine Ansicht auf eine Unterseite des Bauelementes,
Figur 8 eine Ansicht auf die Oberseite des Bauelementes, Figur 9 eine Durchkontaktierung in Form eines gefalteten Bandes,
Figur 10 eine Durchkontaktierung in Form eines gebogenen Bandes,
Figur 11 eine Durchkontaktierung in Form von drei miteinander verdrillten Drähten,
Figur 12 eine Durchkontaktierung in Form einer senkrecht zur Oberseite des Formkörpers angeordneten Durchkontaktierung,
Figur 13 eine Durchkontaktierung in Form einer Spirale, die parallel zur Oberseite des Formkörpers angeordnet ist, Figur 14 eine Durchkontaktierung in Form eines Mäanderbandes mit einem Halbleiterchip,
Figur 15 eine schematische Seitenansicht eines Mäanderbandes, Figur 16 ein Bauelement mit einem Halbleiterchip und einem Mäanderband,
Figur 17 eine Durchkontaktierung in Form eines in Z-Form gefalteten Bandes,
Figur 18 eine Durchkontaktierung in Form von drei miteinander verdrillten Bändern,
Figur 19 eine Durchkontaktierung in Form einer senkrecht zur Oberseite des Formkörpers angeordneten Durchkontaktierung in Form einer Bandspirale, Figur 20 eine Durchkontaktierung in Form einer Bandspirale, die parallel zur Oberseite des Formkörpers angeordnet ist,
Figur 21 einen schematischen Querschnitt durch eine Anordnung mit zwei optoelektronischen Bauelementen mit Durchkontaktie- rungen in Form von Z-förmigen Bändern,
Figur 22 eine Ansicht von oben auf eine weitere Ausführungs¬ form eines optoelektronischen Bauelementes, und
Figur 23 eine Ansicht von unten auf das Bauelement der Figur 22 darstellt.
Figur 1 zeigt in einer schematischen Schnittdarstellung einen ersten Verfahrensschritt zur Herstellung eines optoelektronischen Bauelementes. Es wird ein Träger 1 bereitgestellt. Der Träger 1 kann beispielsweise aus Metall, wie zum Beispiel Kupfer oder Aluminium, oder aus Keramik oder aus einem Halbleitermaterial oder aus Kunststoff gebildet sein. Der Trä- ger 1 kann auch in Form einer Folie ausgebildet sein. Auf dem Träger 1 werden optoelektronische Bauelemente 2, die bei¬ spielsweise in Form einer Laserdiode oder einer lichtemittie¬ renden Diode oder in Form eines Fotosensors ausgebildet sind, befestigt. Zudem wird eine Durchkontaktierung 3 auf dem Trä- ger 1 befestigt. Die Durchkontaktierungen 3 weisen eine Ausnehmung 50 auf. Zur Befestigung kann beispielsweise eine Kle¬ beschicht verwendet werden, die auf der Oberseite des Trä¬ gers 1 aufgebracht ist. Der optoelektronische Halbleiterchip 2 kann in der Weise auf dem Träger 1 angeordnet sein, dass eine lichtemittierende Seite auf dem Träger 1 aufliegt.
Anschließend wird auf den Träger 1 eine Formmasse 4 aufge¬ bracht, in die die Halbleiterchips 2 und die Durchkontaktie¬ rungen 3 eingebettet werden. Zudem werden die Ausnehmungen 50 mit Formmasse 4 wenigstens teilweise aufgefüllt. Die Ausneh¬ mungen 50 können in Form von Löchern, Ausbuchtungen oder Einbuchtungen ausgebildet sein. Jede Durchkontaktierung kann wenigstens eine Ausnehmung 50 aufweisen. Dadurch wird eine stärkere Verankerung der Durchkontaktierung 3 in der Formmasse 4 erreicht. Die Formmasse 4 kann durch Umformen, Umhüllen, beispielsweise mittels Spritzen, Gießen, Drucken, Laminieren einer Folie oder dergleichen, aufgebracht werden. Dieser Ver- fahrensstand ist in Figur 2 dargestellt. Abhängig von der ge¬ wählten Ausführungsform können dabei sowohl die Halbleiterchips 2 als auch die Durchkontaktierungen 3 mit der Formmasse 4 überfüllt werden, wie in Figur 2 dargestellt ist. Die Formmasse 4 kann aus einem Kunststoffmaterial , z.B. Epoxid oder aus Silikon bestehen oder aufweisen.
Zudem kann die Dicke des Formkörpers 5 schon bei der Herstel¬ lung an die Dicke der Halbleiterchips 2 angepasst werden, in¬ dem ein Formwerkzeug auf die Halbleiterchips 2 und die Durch- kontaktierungen 3 aufgelegt wird und in die Zwischenräume das Formmaterial eingefüllt wird. Bei dieser Ausführung ist es von Vorteil, wenn die Durchkontaktierung in der Länge bzw. der Höhe flexibel ist, um sich an unterschiedlich dicke Halb¬ leiterchips beim Formprozess und einbetten in den Formkörper anpassen zu können. Die Durchkontaktierung kann elastisch o- der plastisch verformbar ausgebildet sein.
Nach einem Aushärten der Formmasse 4 wird die Anordnung gemäß Figur 3 erhalten, bei der die Halbleiterchips 2 und die
Durchkontaktierungen 3 in einen Formkörper 5 eingebettet sind. Ist die Dicke des Formkörpers 5 größer als die Dicke der Halbleiterchips 2, so ist nach dem Aushärten der Formmas¬ se 4 noch ein Abtragen der überstehenden Formmasse 4 erforderlich, um die Anordnung gemäß Fig. 3 zu erhalten. Dabei ist eine erste Seite 6 der Halbleiterchips 2 und eine erste Kon¬ taktfläche 7 der Durchkontaktierungen 3 auf einer ersten Seite des Formkörpers 5 angeordnet und frei von dem Formkörper. Eine zweite Seite 8 der Halbleiterchips 2 liegt auf dem Trä¬ ger 1 auf. Eine zweite Kontaktfläche 9 der Durchkontaktierun- gen 3 ist auf einer zweiten Seite des Formkörpers 5 angeord¬ net und liegt auf dem Träger 1 auf. Die erste und die zweite Seite 7,9 sind auf gegenüber liegenden Seiten des Formkörpers 5 angeordnet. Seitenflächen der Halbleiterchips 2 und Seiten- flächen der Durchkontaktierungen 3 sind in den Formkörper 5 eingebettet. Aufgrund der Ausnehmungen 50 sind die Durchkon¬ taktierungen 3 stärker im Formkörper 5 verankert, da auf einer Geraden zwischen der ersten und der zweiten elektrischen Kontaktfläche 7,9 ein Formkörper 5 angeordnet ist. Auf der zweiten Seite 8 der Halbleiterchips 2 kann ein zweiter elektrischer Kontakt 13 vorgesehen sein, der vor der Montage der Halbleiterchips 2 auf die zweite Seite 8 der Halbleiter¬ chips aufgebracht wurde. Je nach Ausführung kann der zweite elektrische Kontakt 13 auch in einem späteren Verfahrens¬ schritt aufgebracht werden.
Anschließend wird, wie in Figur 4 dargestellt, ein erster elektrischer Kontakt 10 auf die ersten Seiten 6 der Halb- leiterchips 2 aufgebracht. Zudem kann vor dem Aufbringen des ersten Kontaktes 10 auf die ersten Seiten 6 der Halbleiterchips ein Metall/Halbleiterkontakt auf die ersten Seiten 6 der Halbleiterchips aufgebracht werden. Dies ist dann von Vorteil, wenn bei dem Abtragend der überstehenden Formmasse auch Halbleitermaterial von den Seiten 6 der Halbleiterchips entfernt wurde.
In einer weiteren Ausführung weisen die Halbleiterchips 2 bereits beim Einbetten in den Formkörper 5 auf den ersten Sei- ten 6 erste elektrische Kontakte 10 auf, so dass eine Auf¬ bringung der ersten elektrischen Kontakte 10 bei dem Verfahrensschritt der Fig. 4 nicht mehr erforderlich ist.
Zudem wird auf die erste Kontaktfläche 7 der Durchkontaktie- rungen 3 ein weiterer erster elektrischer Kontakt 11 aufgebracht. Der erste elektrische Kontakt 10 und der weitere ers¬ te elektrische Kontakt 11 sind z.B. in Form einer Metall¬ schicht ausgebildet. Der weitere elektrische Kontakt 11 kann sich auch seitlich über die Durchkontaktierung 3 hinaus bis auf den Formkörper 5 erstrecken. Die Metallschicht der ersten und weiteren ersten Kontakte 10,11 kann durch eine Kombinati¬ on von Abscheide- und Strukturierungsverfahren hergestellt werden. Dabei können Abscheideverfahren wie Aufdampfen, Zer- stäuben oder Galvanik im Zusammenspiel mit fotolithographischer Strukturierung und Trockenätzen oder nasschemischem Ätzen eingesetzt werden. Zudem können Druckverfahren wie Siebdruck, Tintenstrahldruck oder Aerosolstrahldruck gegebenen- falls mit einem nachfolgenden Sinterschritt verwendet werden. Zudem können auch Kombinationen der beschriebenen Verfahren verwendet werden.
Anschließend wird der Formkörper 5 mit den Halbleiterchips 2 und den Durchkontaktierungen 3 vom Träger 1 gelöst und mit der ersten Seite 6 bzw. der ersten Kontaktfläche 7 auf einem zweiten Träger 12 befestigt, wie in Figur 5 dargestellt. Der zweite Träger 12 kann gemäß dem ersten Träger 1 ausgebildet sein. Die Halbleiterchips 2 weisen bereits einen zweiten elektrischen Kontakt 13 auf der zweiten Seite 8 auf oder die zweiten elektrischen Kontakte 13 werden in einem Randbereich der zweiten Seite 8 der Halbleiterchips 2, die einer Durchkontaktierung 3 zugewandt ist bzw. benachbart ist, aufge¬ bracht. Weiterhin wird eine zweite elektrische Schicht 14 in der Weise auf die zweite Kontaktfläche 9 der Durchkontaktie¬ rungen 3 und den Formkörper 5 und den zweiten elektrischen Kontakt 13 der Halbleiterchips 2 aufgebracht, dass jeweils ein zweiter elektrischer Kontakt 13 eines Halbleiterchips 2 über die zweite elektrisch leitende Schicht 14 mit einer be- nachbarten Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden ist .
Die zweite elektrisch leitende Schicht 14 kann durch eine Kombination von Abscheide- und Strukturierungsverfahren her- gestellt werden. Dabei können Abscheideverfahren wie Aufdampfen, Zerstäuben oder Galvanik im Zusammenspiel mit fotolithographischer Strukturierung und Trockenätzen oder nasschemischem Ätzen eingesetzt werden. Zudem können Druckverfahren wie Siebdruck, Tintenstrahldruck oder Aerosolstrahldruck ge- gebenenfalls mit einem nachfolgenden Sinterschritt verwendet werden. Zudem können auch Kombinationen der beschriebenen Verfahren verwendet werden. Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann auf die zweite Seite 8 der Halbleiterchips 2, die eine Strahlung emittie¬ rende Seite der Halbleiterchips darstellt, eine Konversions¬ schicht 15 aufgebracht werden. In einem weiteren Verfahrens- schritt wird die Anordnung gemäß Figur 6 vereinzelt, wobei die Trennlinie in Form von gestrichelten Linien 16 schematisch dargestellt ist. Die Vereinzelung kann durch Sägen, Schleifen, Laserschneiden oder Brechen durchgeführt werden. Zudem wird der zweite Träger 12 entfernt.
Figur 7 zeigt in einer perspektivischen Darstellung ein optoelektronisches Bauelement 16, das gemäß dem Verfahren der Fi¬ guren 1 bis 6 hergestellt wurde. In Figur 7 ist eine Unter¬ seite des Halbleiterbauelements nach dem Entfernen des zwei- ten Trägers 12 dargestellt. Auf der Unterseite ist der erste elektrische Kontakt 10 des Halbleiterchips 2 angeordnet. Der Formkörper 5 umgibt den Halbleiterchip 2 seitlich. Zudem sind auf der Unterseite weitere erste elektrische Kontakte 11 von zwei Durchkontaktierungen 3 angeordnet. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind zwei Durchkontaktierungen 3 für den Halbleiterchip 2 vorgesehen und somit auch zwei weitere erste elektrische Kontakte 11 auf der Unterseite des Bauelemen¬ tes 16 angeordnet. Abhängig von der gewählten Ausführung können die zwei weiteren ersten elektrischen Kontakte 11 der zwei Durchkontaktierungen 3 mittels einer weiteren Kontaktschicht, die auf der Unterseite des Formkörpers 5 aufgebracht ist, zu einem elektrischen Anschluss zusammengefasst werden.
Figur 8 zeigt die Oberseite des Bauelementes 16 in einer schematischen perspektivischen Darstellung. Die Oberseite stellt in der dargestellten Ausführung die Seite dar, über die Strahlung emittiert wird oder Strahlung bei der Ausbil¬ dung als Fotosensor empfangen wird. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Halbleiterchip 2 zwei zweite elektrische Kontakte 13 auf, die über entsprechende zweite elektrische Schichten 14 mit jeweils einer Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden sind. Abhängig von der gewählten Ausführung können die zwei zweiten elektrischen Schichten 14 der zwei Durchkontaktierungen 3 auch in Form einer gemeinsamen zweiten elektrischen Schicht 14 ausgebildet sein.
Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann der Halb- leiterchip 2 auch nur einen zweiten elektrischen Kontakt 13 aufweisen. In dieser Ausführungsform ist dann auch nur eine Durchkontaktierung 3 vorgesehen. Auf der Oberseite ist die Konversionsschicht 15 angeordnet, die seitlich von dem Form¬ körper 5 umgeben ist. Abhängig von der gewählten Ausführungs- form kann auf die Konversionsschicht 15 verzichtet werden und eine Abstrahlseite oder eine Einstrahlseite des optoelektro¬ nischen Halbleiterchips 2 angeordnet sein.
In den Figuren 1 bis 8 sind die Durchkontaktierungen 3 nur schematisch dargestellt. Anhand der folgenden Figuren werden mögliche Ausführungsformen der Durchkontaktierungen genauer beschrieben .
Figur 9 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Durch- kontaktierung in Form eines gefalteten Bandes 17. Das Band 17 weist einen ersten Abschnitt 18 auf, der im verbauten Zustand parallel zur Oberseite des Formkörpers bzw. des Bauelementes angeordnet ist. Der erste Abschnitt 18 ist über einen ersten Zwischenabschnitt 19 mit einem zweiten Abschnitt 20 verbun- den. Der zweite Abschnitt 20 ist parallel zum ersten Ab¬ schnitt 18 angeordnet. Der erste Zwischenabschnitt 19 kann senkrecht zum ersten Abschnitt 18 angeordnet sein. Der erste Zwischenabschnitt 19 kann auch gebogen, gefaltet oder in ei¬ nem festgelegten Winkel ungleich 90° zum ersten Abschnitt 18 angeordnet sein. Der zweite Abschnitt 20 ist über einen zwei¬ ten Zwischenabschnitt 21 mit einem dritten Abschnitt 22 ver¬ bunden. Der zweite Zwischenabschnitt 21 kann gemäß dem ersten Zwischenabschnitt 19 ausgebildet und angeordnet sein. Der dritte Abschnitt 20 ist parallel zum ersten und zum zweiten Abschnitt 18, 20 angeordnet. Das gefaltete Band 17 kann aus einem Metall gefertigt sein. Das gefaltete Band 17 kann wei¬ tere Ausnehmungen 23 aufweisen. Die weiteren Ausnehmungen 23 können in Form von Löchern, Ausbuchtungen des Bandes oder Ausnehmungen bis zu einem gewissen Prozentsatz der Schichtdicke des Bandes ausgebildet sein. In einer einfachen Ausführung ist die weitere Ausnehmung 23 als durchgängiges Loch des Bandes 17 ausgebildet.
Der erste Abschnitt 18 stellt eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar, die an der Oberseite des Formkörpers angeordnet ist. Der dritte Abschnitt 22 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar, die an der Unter- seite des Formkörpers angeordnet ist. Die Freiräume zwischen den Abschnitten 18,20,22 stellen Ausnehmungen 50 dar.
Figur 10 zeigt eine Durchkontaktierung in Form eines gebogenen Bandes 24. Das gebogene Band 24 weist einen ersten Endbe- reich 25 und einen zweiten Endbereich 26 auf, die beispielsweise parallel zueinander angeordnet sind. Der erste Endbe¬ reich 25 stellt eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktie¬ rung dar und ist im verbauten Zustand an der Oberseite des Formkörpers angeordnet. Der zweite Endbereich 26 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar und ist im verbauten Zustand an der Unterseite des Formkörpers angeord¬ net. Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann das gebogene Band 24 wenigstens eine oder mehrere weitere Ausneh¬ mungen 23 aufweisen. Die weiteren Ausnehmungen 23 können Ein- buchtungen, Ausbuchtungen oder durchgehende Löcher sein. Das gebogene Band kann aus einem Metall hergestellt sein. Der Freiraum zwischen dem ersten und dem zweiten Endbereich 25,26 stellt eine Ausnehmung 50 dar. Figur 11 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Durchkontaktierung in Form von elektrisch leitenden Drähten 27, 28, 29 als Leitungselementen. Die Drähte weisen z.B. einen kreisförmigen Querschnitt auf. Die Drähte sind in einem Verbin¬ dungsbereich 30, der in der Mitte der Länge der Drähte ange- ordnet ist, mechanisch miteinander verbunden, insbesondere miteinander verdrillt. Dabei sind die Drähte umeinander gebo¬ gen, so dass die Drähte im Verbindungsbereich formschlüssig zusammen gehalten werden. Abhängig von der gewählten Ausfüh- rungsform können auch nur zwei Drähte oder mehr als drei Drähte miteinander verdrillt als Durchkontaktierung vorgesehen sein. Die ersten Enden 31 der Drähte 27, 28, 29 stellen eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar. Zweite Enden 32 der Drähte 27, 28, 29 stellen eine zweite Kontakt¬ fläche der Durchkontaktierung dar. Im montierten Zustand sind die ersten Enden 31 im Bereich der Oberseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die zweiten Enden 32 der Drähte 27, 28, 29 sind im Bereich der Unterseite des Formkörpers angeordnet. Die Drähte sind z.B. aus Metall oder einer Metalllegierung hergestellt. Der Freiraum zwischen den Drähten 27,28,29 stellt eine Ausnehmung 50 dar.
Figur 12 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Durchkon- taktierung, die in Form einer Spirale 33 ausgebildet ist. Die Spirale 33 weist eine erste Windung 34 auf. Zudem weist die Spirale 33 am gegenüberliegenden Ende eine letzte Windung 35 auf. Die erste Windung 34 stellt eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar und ist im verbauten Zustand im Be- reich der Oberseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die letzte Windung 35 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontak¬ tierung dar und ist im verbauten Zustand auf der Unterseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die Spirale 33 ist aus einem um eine Längsachse gewundenen Draht gebildet. Die Freiräume zwi- sehen den Windungen der Spirale 33 stellen Ausnehmungen 50 dar .
Figur 13 zeigt eine weitere Ausführungsform der Durchkontaktierung, die in Form einer Spirale 33 ausgebildet ist. Bei dieser Anwendung ist jedoch die Spirale 33 mit einer Längs¬ achse 38 parallel zur Oberseite bzw. zur Unterseite des Form¬ körpers 5 angeordnet. Dabei bilden obere Windungsabschnitte 36 eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung. Untere Windungsabschnitte 37, die gegenüberliegend zu den oberen Windungsabschnitten 36 angeordnet sind, bilden eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung. Im verbauten Zustand sind die oberen Windungsabschnitte 36 an der Oberseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die unteren Windungsabschnitte 37 sind an der Unterseite des Formkörpers 5 angeordnet. In Fi¬ gur 13 ist schematisch der Formkörper 5 eingezeichnet. Die Freiräume zwischen den Windungen der Spirale 33 stellen Ausnehmungen 50 dar.
Figur 14 zeigt in einer schematischen Darstellung optoelektronische Halbleiterchips 2, die in einem Raster auf einem Träger 1 angeordnet sind. Neben den Halbleiterchips 2 ist je¬ weils eine Durchkontaktierung in Form eines Mäanderbandes 39 auf dem Träger 1 angeordnet. Die Mäanderbänder 39 sind in
Form eines zusammenhängenden Bandes 51 ausgebildet. Zwischen den Reihen von Halbleiterchips 2 sind Bänder 51 angeordnet. Die Bänder 51 sind aus einem elektrisch leitenden Material, insbesondere aus einem Metall oder einer Metalllegierung ge- bildet. Ein Mäanderband 39 weist einen ersten Abschnitt 40 auf, der über einen ersten Zwischenabschnitt 41 zu einem zweiten Abschnitt verbunden ist. Der zweite Abschnitt 42 geht über einen zweiten Zwischenabschnitt 43 in einen dritten Abschnitt 44 über. Der dritte Abschnitt 44 ist parallel zu dem ersten und dem zweiten Abschnitt 40, 42 angeordnet und in der Höhenposition zwischen dem ersten und dem zweiten Abschnitt 40, 42 angeordnet. Der dritte Abschnitt 44 geht über einen dritten Zwischenabschnitt 45 in einen vierten Abschnitt 46 über. Der vierte Abschnitt 46 ist zwischen dem zweiten und dem dritten Abschnitt 42, 44 angeordnet. Der vierte Ab¬ schnitt 46 ist über einen vierten Zwischenabschnitt 47 mit einem fünften Abschnitt 48 verbunden. Der fünfte Abschnitt 48 ist auf der gleichen Höhe wie der erste Abschnitt 40 angeord¬ net. Der erste Zwischenabschnitt 41 und der zweite Zwischen- abschnitt 43 sind parallel zueinander angeordnet. Der vierte Zwischenabschnitt 47 ist parallel zum ersten Zwischenab¬ schnitt 41 angeordnet. Der dritte Zwischenabschnitt 44 ist zwischen dem zweiten und dem vierten Zwischenabschnitt 43, 47 angeordnet. Zudem ist der dritte Zwischenabschnitt 45 ausge- hend von einem Endbereich des dritten Abschnittes 44 schräg nach oben zu einem Anfangsbereich des vierten Abschnittes 46 geführt. Der zweite Abschnitt 42 stellt eine erste Kontakt¬ fläche der Durchkontaktierung dar. Der fünfte Abschnitt 48 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar. Mithilfe eines Bandes 51 mit mehreren Mäanderbändern 39 kön¬ nen mehrere Halbleiterchips 2 einer Reihe bei einem Verarbei- tungsprozess gleichzeitig in den Formkörper eingebettet wer- den und entsprechend elektrisch mit den Mäanderbändern 39 kontaktiert werden. Nach dem Einbetten der Bänder 51 in den Formkörper und der elektrischen Kontaktierung der Halbleiterchips 2, die gemäß dem Prozess der Figuren 1 bis 6 erfolgt, werden die Bänder 51 in einzelne Mäanderband 39, wobei jedes Band 51 Schnittlinien 60 unterteilt wird.
Figur 15 zeigt eine schematische Seitenansicht eines verein¬ zelten Mäanderbandes 39 gemäß Figur 14 in einer Längsrichtung. Die Freiräume zwischen den Abschnitten 42,46,45,44,48 stellen Ausnehmungen 50 dar.
Ein Halbleiterchip 2 und ein Mäanderband 39 der Figur 14 werden gemäß dem Verfahren, das anhand der Figuren 1 bis 6 beschrieben wurde jeweils zu einem Bauelement 16 verarbeitet, wie in Figur 16 schematisch dargestellt. Fig. 16 zeigt eine Ansicht in einer Querrichtung des Mäanderbandes 39. Dabei sind ein Mäanderband 39 und ein Halbleiterchip 2 in einen Formkörper 5 eingebettet. Die Ausbildung der Durchkontaktie¬ rung in Form eines Mäanderbandes ermöglicht eine kostengüns- tige Herstellung, wobei das Mäanderband 39 sicher und zuver¬ lässig im Formkörper 5 verankert ist. Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann das Mäanderband 39 weitere Aus¬ nehmungen 23 aufweisen. Die weiteren Ausnehmungen 23 können in Form von Ausbuchtungen, Vertiefungen oder durchgehenden Löchern ausgebildet sein. Das Mäanderband 39 ist flexibel, insbesondere elastisch oder plastisch verformbar und kann sich in der Höhe an unterschiedlich dicke Halbleiterchips 2 anpassen . Fig. 17 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Durchkontaktierung in Form eines gefalteten Bandes 17. Das Band 17 weist einen ersten Abschnitt 18 auf, der im verbauten Zustand parallel zur Oberseite des Formkörpers bzw. des Bauelementes angeordnet ist. Der erste Abschnitt 18 ist über einen ersten Zwischenabschnitt 19 mit einem zweiten Abschnitt 20 verbun¬ den. Der zweite Abschnitt 20 ist parallel zum ersten Ab¬ schnitt 18 angeordnet. Der erste Zwischenabschnitt 19 kann senkrecht zum ersten Abschnitt 18 angeordnet sein. Der erste Zwischenabschnitt 19 kann auch gebogen, gefaltet oder in ei¬ nem festgelegten Winkel ungleich 90° zum ersten Abschnitt 18 angeordnet sein. In der dargestellten Ausführung weist das gefaltete Band im Querschnitt eine Z-Form auf. Das gefaltete Band 17 kann aus einem Metall gefertigt sein. Das gefaltete Band 17 kann weitere Ausnehmungen 23 aufweisen. Die weiteren Ausnehmungen 23 können in Form von Löchern, Ausbuchtungen des Bandes oder Ausnehmungen bis zu einem gewissen Prozentsatz der Schichtdicke des Bandes ausgebildet sein. In einer einfa- chen Ausführung ist die weitere Ausnehmung 23 als durchgängiges Loch des Bandes 17 ausgebildet. Der erste Abschnitt 18 stellt eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar, die an der Oberseite des Formkörpers angeordnet ist. Der zweite Abschnitt 20 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar, die an der Unterseite des Formkörpers angeordnet ist. Die Freiräume zwischen den Abschnitten
18,19,20 stellen Ausnehmungen 50 dar.
Figur 18 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Durchkon- taktierung in Form von elektrisch leitenden Bändern 67, 68,
69 als Leitungselementen. Die Bänder weisen z.B. einen recht- eckförmigen Querschnitt auf. Die Bänder sind in einem Verbindungsbereich 30, der in der Mitte der Länge der Bänder angeordnet ist, mechanisch miteinander verbunden, insbesondere miteinander verdrillt. Dabei sind die Bänder umeinander gebo¬ gen, so dass die Bänder im Verbindungsbereich formschlüssig zusammen gehalten werden. Abhängig von der gewählten Ausführungsform können auch nur zwei Bänder oder mehr als drei Bänder miteinander verdrillt als Durchkontaktierung vorgesehen sein. Die ersten Enden 31 der Bänder 67, 68, 69 stellen eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar. Zweite Enden 32 der Bänder 67, 68, 69 stellen eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar. Im montierten Zustand sind die ersten Enden 31 der Bänder im Bereich der Oberseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die zweiten Enden 32 der Bänder 67, 68, 69 sind im Bereich der Unterseite des Formkörpers angeordnet. Die Bänder sind z.B. aus Metall oder einer Metalllegierung hergestellt. Die Freiräume zwischen den Bändern 67,68,69 stellen eine Ausnehmung 50 dar.
Figur 19 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Durchkon- taktierung, die in Form einer zweiten Spirale 73 ausgebildet ist. Die zweite Spirale 73 ist aus einem Band gebildet. Die zweite Spirale 73 weist eine erste Windung 34 auf. Zudem weist die Spirale 73 am gegenüberliegenden Ende eine letzte Windung 35 auf. Die erste Windung 34 stellt eine erste Kon¬ taktfläche der Durchkontaktierung dar und ist im verbauten Zustand im Bereich der Oberseite des Formkörpers 5 angeord¬ net. Die letzte Windung 35 stellt eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung dar und ist im verbauten Zustand auf der Unterseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die zweite Spi¬ rale 73 ist aus einem um eine Längsachse gewundenen Band ge- bildet. Die Freiräume zwischen den Windungen der zweiten Spirale 73 stellen Ausnehmungen 50 dar.
Figur 20 zeigt eine weitere Ausführungsform der Durchkontaktierung, die in Form einer zweiten Spirale 73 ausgebildet ist. Bei dieser Anwendung ist jedoch die zweite Spirale 73 mit einer Längsachse 38 parallel zur Oberseite bzw. zur Un¬ terseite des Formkörpers 5 angeordnet. Dabei bilden obere Windungsabschnitte 36 eine erste Kontaktfläche der Durchkon¬ taktierung. Untere Windungsabschnitte 37, die gegenüberlie- gend zu den oberen Windungsabschnitten 36 angeordnet sind, bilden eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung. Im verbauten Zustand sind die oberen Windungsabschnitte 36 an der Oberseite des Formkörpers 5 angeordnet. Die unteren Win¬ dungsabschnitte 37 sind an der Unterseite des Formkörpers 5 angeordnet. In Figur 20 ist schematisch der Formkörper 5 eingezeichnet. Die Freiräume zwischen den Windungen der Spirale 33 stellen Ausnehmungen 50 dar. Figur 21 zeigt zwei optoelektronische Bauelemente 16, die ge¬ mäß den Verfahrensschritten hergestellt wurden, die anhand der Figuren 1 bis 6 oben beschrieben wurden. In diesem Ausführungsbeispiel ist ein in Z-Form gefaltetes Band 17 als Durchkontaktierung vorgesehen. Wie oben ausgeführt, können als Durchkontierung auch die anhand der vorhergehenden Figuren beschriebenen Formen von Durchkontaktierungen verwendet werden, um optoelektronische Bauelemente mit Durchkontaktie¬ rungen herzustellen.
Das anhand der Figuren 1 bis 6 beschriebene Verfahren kann auch zur Einbettung des optoelektronischen Bauelementes und der Einbringung von wenigstens zwei Durchkontaktierungen verwendet werden, wobei das Bauelement den ersten elektrischen Kontakt 10 und den zweiten elektrischen Kontakt 13 auf der Oberseite aufweist, wobei der erste elektrische Kontakt und der zweite elektrische Kontakt über zwei entsprechende Durch¬ kontaktierungen im Formkörper auf eine Unterseite geführt sind .
Figur 22 zeigt in einer schematischen Anordnung ein optoelektronisches Bauelement 16, das auf einer oberen Seite ei¬ nen ersten und einen zweiten elektrischen Kontakt 10, 13 aufweist, die voneinander beabstandet und elektrisch voneinander isoliert sind. Die zwei elektrischen Kontakte werden zum Be¬ treiben des Bauelementes 16 verwendet. Der erste elektrische Kontakt 10 ist über eine zweite elektrische Schicht 14 mit einer Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden. Die Durchkontaktierung 3 ist in den Formkörper 5 eingebettet und bis zu einer unteren Seite des Formkörpers 5 geführt. Auf der unteren Seite des Formkörpers 5 ist ein weiterer erster elektrischer Kontakt 11 angeordnet, der mit der Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden ist. Der zweite elektrische Kontakt 13 ist über eine weitere zweite elektrische Schicht 14 mit einer weiteren Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden. Die weitere Durchkontaktierung 3 ist in den Formkörper 5 eingebettet und bis zu einer ersten Seite des Formkörpers 5 geführt. Auf der ersten Seite des Formkör- pers 5 ist ein weiterer erster elektrischer Kontakt 11 angeordnet, der mit der Durchkontaktierung 3 elektrisch leitend verbunden ist. Die Durchkontaktierung 3 kann in einer der in den vorhergehenden Beispielen beschriebenen Formen realisiert sein. Insbesondere kann die Durchkontaktierung in Form eines gebogenen oder gefalteten Bandes oder in Form einer Spirale oder in Form von verbundenen Leitungselementen ausgebildet sein . Figur 23 zeigt eine Ansicht von unten auf das Bauelement 16 der Figur 22 mit Blick auf die zwei weiteren ersten elektrischen Kontakte 11 der zwei Durchkontaktierungen 3.
Obwohl die Erfindung im Detail durch das bevorzugte Ausfüh- rungsbeispiel näher illustriert und beschrieben wurde, so ist die Erfindung nicht durch die offenbarten Beispiele einge¬ schränkt und andere Variationen können vom Fachmann hieraus abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlassen .
BEZUGSZEICHENLISTE
1 Träger
2 optoelektronischer Halbleiterchip
3 Durchkontaktierung
4 Formmasse
5 Formkörper
6 erste Seite
7 erste Kontaktfläche
8 zweite Seite
9 zweite Kontaktfläche
10 erster elektrischer Kontakt
11 weiterer erster elektrischer Kontakt
12 zweiter Träger
13 zweiter elektrischer Kontakt
14 zweite elektrische Schicht
15 Konversionschicht
16 Bauelement
17 gefaltetes Band
18 erster Abschnitt
19 erster Zwischenabschnitt
20 zweiter Abschnitt
21 zweiter Zwischenabschnitt
22 dritter Abschnitt
23 weitere Ausnehmung
24 gebogenes Band
25 erster Endbereich
26 zweiter Endbereich
27 erster Draht
28 zweiter Draht
29 dritter Draht
30 Verbindungsbereich
31 erstes Ende
32 zweites Ende
33 Spirale
34 erste Windung
35 letzte Windung
36 obere Windungsabschnitte untere Windungsabschnitte
Längsachse
Mäanderband
erster Abschnitt
erster Zwischenabschnitt zweiter Abschnitt
zweiter Zwischenabschnitt dritter Abschnitt
dritter Zwischenabschnitt vierter Abschnitt
vierter Zwischenabschnitt fünfter Abschnitt
Ausnehmung
Band
Schnittlinie
erstes Band
zweites Band
drittes Band
zweite Spirale

Claims

PATENTA S PRÜCHE
1. Optoelektronisches Bauelement (16) aufweisend:
einen Formkörper (5) ,
einen Halbleiterchip (2),
eine elektrische Durchkontaktierung (3) , die eine
elektrisch leitende Verbindung durch den Formkörper (5) darstellt, wobei die Durchkontaktierung (3) und der Halb¬ leiterchip (2) nebeneinander und beabstandet im Formkörper (5) eingebettet sind, wobei ein elektrischer Kontakt (13) des Halbleiterchips (2) auf einer Oberseite des Halbleiterchips (2) ausgebildet ist, wobei eine erste Kontaktfläche der Durchkontaktierung (3) an der Unterseite des Formkörpers (5) angeordnet ist, wobei eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung (3) an einer Oberseite des Formkörpers (5) angeordnet ist, wobei die zwei¬ te Kontaktfläche (9) mit dem elektrischen Kontakt (13) des Halbleiterchips elektrisch leitend verbunden ist, wo¬ bei die Durchkontaktierung (3) in der Weise ausgebildet ist, dass wenigstens in einem Abschnitt zwischen der ers¬ ten und der zweiten Kontaktfläche (7, 9) auf einer Gera¬ den zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche ein Formkörper (5, 50) angeordnet ist.
2. Bauelement nach Anspruch 1, wobei die Durchkontaktierung in Form eines gebogenen oder gefalteten Bandes (17, 24, 39) ausgebildet ist, wobei ein erster Abschnitt des Ban¬ des (17, 24, 39) die erste Kontaktfläche bildet, wobei ein zweiter Abschnitt des Bandes (17, 24, 39) die zweite Kontaktfläche bildet, und wobei die zwei Abschnitte über einen Verbindungsabschnitt miteinander verbunden sind, wobei das Band (17, 24, 39) zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche flexibel, insbesondere elastisch oder plastisch verformbar ausgebildet ist.
3. Bauelement nach Anspruch 1, wobei die Durchkontaktierung eine Spiralform (33) aufweist, wobei ein erstes Ende (34) der Spiralform (33) die erste Kontaktfläche bildet, und wobei ein zweites Ende (35) der Spiralform (33) die zwei¬ te Kontaktfläche bildet.
4. Bauelement nach Anspruch 1, wobei die Durchkontaktierung eine Spiralform (33) aufweist, wobei die Spiralform pa¬ rallel mit einer Längsachse quer, insbesondere parallel zu einer Oberseite des Formkörpers (5) angeordnet ist, wobei obere Windungsabschnitte (36) eine erste Kontakt¬ fläche der Durchkontaktierung bilden, wobei untere Windungsabschnitte (37), die gegenüberliegend zu den oberen Windungsabschnitten (36) angeordnet sind, eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung bilden.
5. Bauelement nach Anspruch 1, wobei die Durchkontaktierung in Form von wenigstens zwei miteinander mechanisch verbundenen, insbesondere verdrillten Leitungselementen (27, 28, 29; 67, 68, 69) ausgebildet ist, wobei die Enden (31, 32) der Leitungselemente (27, 28, 29; 67, 68, 69) die erste und die zweite Kontaktfläche (31,32) bilden.
6. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Durchkontaktierung (17, 24, 39) eine Ausnehmung (23, 50), insbesondere ein Loch aufweist, das mit Formkörper (5) wenigstens teilweise gefüllt ist.
7. Bauelement nach einem der Ansprüche 2 oder 5, wobei das Band (17, 39, 51) wenigstens zwei Abschnitte, insbesonde¬ re drei Abschnitte (18, 20, 22; 42, 44, 46, 48) aufweist, wobei die wenigstens zwei Abschnitte (18, 20, 22; 42, 44, 46, 48) im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind und über wenigstens einen Zwischenabschnitt (18, 20, 22; 42, 44, 46, 48) miteinander verbunden sind.
8. Bauelement nach Anspruch 7, wobei das Band (51,39) mäan- derförmig (39) ausgebildet ist.
9. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine weitere elektrische Durchkontaktierung (3) vorgese- hen ist, wobei die weitere elektrische Durchkontaktierung (3) eine elektrisch leitende Verbindung durch den Formkörper (5) darstellt, wobei die weitere Durchkontaktie¬ rung (3) beabstandet zum Halbleiterchip und zur Durchkontaktierung (3) im Formkörper (5) eingebettet ist, wobei ein weiterer elektrischer Kontakt (10) des Halbleiterchips (2) auf der Oberseite des Halbleiterchips (2) aus¬ gebildet ist, wobei eine weitere erste Kontaktfläche (11) der weiteren Durchkontaktierung (3) an der Unterseite des Formkörpers (5) angeordnet ist, wobei eine weitere zweite Kontaktfläche (9) der weiteren Durchkontaktierung (3) an der Oberseite des Formkörpers (5) ausgebildet ist, wobei die weitere zweite Kontaktfläche (9) mit dem weiteren zweiten elektrischen Kontakt (13) des Halbleiterchips (2) elektrisch leitend verbunden ist, wobei die weitere
Durchkontaktierung (3) in der Weise ausgebildet ist, dass wenigstens in einem Abschnitt zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche (7, 9) auf einer Geraden zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche ein Formkörper (5, 50) angeordnet ist.
10. Bauelement nach Anspruch 9, wobei die weitere Durchkon¬ taktierung in Form eines gebogenen oder gefalteten Bandes (17,24,39) oder in Form einer Spirale (33,73) oder in Form von verdrillten Leitungselementen (27,28,29;
67,68,69) ausgebildet ist.
11. Bauelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Halbleiterchip (2) einen ersten elektrischen Kontakt (10) auf einer Unterseite aufweist.
12. Verfahren zum Herstellen eines Bauelementes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Halbleiterchip mit wenigstens einer Durchkontaktierung in einen Formkörper eingebettet wird, wobei die Durchkontaktierung eine elektrisch leitende Verbindung von einer Oberseite zu einer Unterseite des Formkörpers darstellt, wobei die
Durchkontaktierung und der Halbleiterchip nebeneinander und beabstandet im Formkörper eingebettet werden, wobei ein zweiter elektrischer Kontakt des Halbleiterchips auf einer Oberseite des Halbleiterchips ausgebildet wird, wo¬ bei eine erste Kontaktfläche des Durchkontaktes auf der Unterseite des Formkörpers angeordnet wird, wobei eine zweite Kontaktfläche der Durchkontaktierung auf der Oberseite des Formkörpers angeordnet wird, wobei die zweite Kontaktfläche mit dem zweiten elektrischen Kontakt des Halbleiterchips elektrisch leitend verbunden wird, wobei die Durchkontaktierung in der Weise ausgebildet wird, dass wenigstens in einem Abschnitt zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche auf einer Geraden zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche ein Formkörper angeordnet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei die Durchkontaktierung in Form eines gefalteten Bandes ausgebildet wird, wobei ein erster Abschnitt des Bandes die erste Kontaktfläche bildet, wobei ein zweiter Abschnitt des Bandes die zweite Kontaktfläche bildet, und wobei die zwei Abschnitte über einen Verbindungsabschnitt miteinander verbunden sind, wobei das Band zwischen der ersten und der zweiten Kontaktfläche flexibel, insbesondere elastisch oder plas¬ tisch verformbar ist.
14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Durchkontaktierung eine Spiralform aufweist, wobei die Spiralform mit einer Längsachse parallel oder senkrecht zwischen der Oberseite und der Unterseite des Formkörpers angeordnet wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Durchkontaktierung in Form von wenigstens zwei miteinander mechanisch verbundenen, insbesondere verdrillten Leitungselementen ausgebildet wird, wobei Enden der Drähte die erste und die zweite Kontaktfläche bilden.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, wobei
Durchkontaktierung eine Ausnehmung, insbesondere ein Loch aufweist, das mit Formkörper gefüllt wird.
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