WO2016189682A1 - 付着物除去方法および、付着物除去装置 - Google Patents

付着物除去方法および、付着物除去装置 Download PDF

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Definitions

  • the management device main body 90 includes a frame unit 102 and a beam unit 104 placed on the frame unit 102.
  • the frame portion 102 has a hollow structure, and a pallet accommodating device 92 is disposed in the frame portion 102, and an upper end portion of the pallet accommodating device 92 is exposed on the upper surface of the frame portion 102.
  • the holding chuck 128 has two holding claws 132, and the suction nozzle 60 is held in the body cylinder 64 by bringing the two holding claws 132 close to each other. By separating the holding claws 132, the held suction nozzle 60 is detached.
  • an air flow path 136 is formed in the main body portion 134 of the holding chuck 128. One end of the air flow path 136 opens between the two holding claws 132, and the other end is connected to the air supply device 130. For this reason, in the state where the holding chuck 128 holds the suction nozzle 60, air is blown toward the inside of the suction nozzle 60 by supplying air to the air flow path 136 by the air supply device 130.
  • the suction nozzle 60 is rotated, and air is blown toward the suction nozzle 60 by the operation of the air blowing device 164, whereby moisture on the sliding surface of the suction pipe 68 is removed.
  • the suction nozzle 60 rotates again and air is blown out into the suction nozzle 60 by the operation of the air supply device 130.
  • the pushing of the suction pipe 68 into the body cylinder 64, the rotation of the suction nozzle 60, and the blowing of air into the suction nozzle 60 by the operation of the air supply device 130 are repeated a predetermined number of times. Executed.
  • the 1st air blow part 210 is an example for performing a 1st gas blow process.
  • the 2nd air blow part 212 is an example for performing a 2nd gas blow process.
  • the adsorption tube abutting portion 214 is an example for executing a moving process.
  • moisture is used as the deposit to be removed.
  • other various deposits specifically, for example, oil, dust, electronic components or parts thereof, solder, adhesives, etc. Etc. can be adopted.
  • the deposits are removed by blowing air, but the deposits can be removed by blowing other gases, specifically, for example, a gas such as nitrogen. is there.

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Abstract

本発明のノズル乾燥装置(100)では、保持チャック(128)に保持された吸着ノズル(60)が、ハウジング(160)の内部に挿入され、エアブロー装置(164)の作動により吸着ノズルに向かってエアが吹き付けられる。また、保持チャックに保持された吸着ノズルの吸着管(68)が当接テーブル(162)に当接されることで、吸着管が胴体筒(64)の内部に押し込まれる。つまり、吸着管の胴体筒の内部への押し込みによって、吸着管と胴体筒とを摺動させることで、胴体筒の内部から水部を排出させ、その排出された水分をエアの吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、吸着管と胴体筒との間に侵入した水分を適切に除去することが可能となる。

Description

付着物除去方法および、付着物除去装置
 本発明は、部品を保持するための部品保持体に付着した付着物を除去するための付着物除去方法、および、付着物除去装置に関する。
 吸着ノズル、メカチャック等の部品保持体では、部品の適切な保持を担保するべく、部品保持体に付着している付着物の除去が行われる。下記特許文献には、部品保持体に付着している付着物を除去するための技術の一例が記載されている。
特開2011-3679号公報 特開2011-78881号公報
 上記特許文献に記載の技術によれば、部品保持体から付着物を、ある程度、除去することが可能となる。ただし、部品保持体では、部品を保持するための保持部と、保持部を保持する本体部とが相対移動可能となっているため、それら保持部と本体部との間の付着物は、除去し難い場合がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、保持部と本体部との間の付着物を適切に除去することである。
 上記課題を解決するために、本願に記載の付着物除去方法は、部品を保持するための保持部と、前記保持部を保持する本体部とを備え、前記保持部と前記本体部とが相対移動可能な部品保持体に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、当該付着物除去方法が、保持具に保持された前記部品保持体に向かって気体を吹き付ける第1気体ブロー工程と、前記保持部と前記本体部とを相対移動させる移動工程とを含むことを特徴とする。
 また、上記課題を解決するために、本願に記載の付着物除去装置は、エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備え、前記吸着管と前記保持筒とが相対移動可能な吸着ノズルに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、当該付着物除去装置が、筒状のハウジングと、保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第1気体ブロー装置と、前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出す第2気体ブロー装置と、前記ハウジングに設けられ、前記吸着ノズルの吸着管を当接させるための当接部とを備え、前記第1気体ブロー装置により前記吸着管の内部に気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させ、前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を前記当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させるとともに、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを前記ハウジングの内部に移動させた状態で、前記第2気体ブロー装置により前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出すことで、前記吸着ノズルに付着した付着物を除去することを特徴とする。
 本願に記載の付着物除去方法では、保持具に保持された部品保持体に向かって気体が吹き付けられる。また、部品保持体に気体が吹き付けられる際に、保持部と本体部とが相対移動する。つまり、保持部と本体部との相対移動をさせながら、付着物を気体の吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、保持部と本体部との間の付着物を適切に除去することが可能となる。
 また、本願に記載の付着物除去装置では、保持具に保持された吸着ノズルに向かって気体が吹き付けられる。また、吸着ノズルに気体が吹き付けられる際に、吸着管の当接部への当接、および、第1気体ブロー装置による気体の吹き付けにより、吸着管と保持筒とが相対移動する。つまり、吸着管が保持筒の内部で進退する。これによって、吸着管の保持筒の進退をさせながら、付着物を気体の吹き付けにより除去することが可能となる。これにより、吸着管と保持筒との間の付着物を適切に除去することが可能となる。
電子部品装着装置を示す斜視図である。 吸着ノズルを示す斜視図である。 ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。 ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。 第1実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。 第1実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。 ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。 第2実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。 第2実施例のノズル乾燥装置を示す断面図である。
 以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
 <電子部品装着装置の構成>
 図1に、電子部品装着装置10を示す。電子部品装着装置10は、1つのシステムベース12と、そのシステムベース12の上に隣接された2台の電子部品装着機(以下、「装着機」と略す場合がある)14とを有している。なお、装着機14の並ぶ方向をX軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。
 各装着機14は、主に、装着機本体20、搬送装置22、装着ヘッド移動装置(以下、「移動装置」と略す場合がある)24、装着ヘッド26、供給装置28、ノズルステーション30を備えている。装着機本体20は、フレーム部32と、そのフレーム部32に上架されたビーム部34とによって構成されている。
 搬送装置22は、2つのコンベア装置40,42を備えている。それら2つのコンベア装置40,42は、互いに平行、かつ、X軸方向に延びるようにフレーム部32に配設されている。2つのコンベア装置40,42の各々は、電磁モータ(図示省略)によって各コンベア装置40,42に支持される回路基板をX軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置(図示省略)によって保持される。
 移動装置24は、XYロボット型の移動装置である。移動装置24は、スライダ50をX軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)と、Y軸方向にスライドさせる電磁モータ(図示省略)とを備えている。スライダ50には、装着ヘッド26が取り付けられており、その装着ヘッド26は、2つの電磁モータの作動によって、フレーム部32上の任意の位置に移動させられる。
 装着ヘッド26は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド26の下端面には、吸着ノズル60が設けられている。吸着ノズル60は、図2に示すように、胴体筒64とフランジ部66と吸着管68と掛止ピン70とによって構成されている。胴体筒64は、円筒状をなし、フランジ部66は、胴体筒64の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管68は、細いパイプ状をなし、胴体筒64の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒64に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン70は、胴体筒64の径方向に延びるように、胴体筒64の上端部に設けられている。吸着ノズル60は、掛止ピン70を利用して、装着ヘッド26にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。また、装着ヘッド26には、バネ(図示省略)が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド26に取り付けられる吸着ノズル60の吸着管68に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管68は、装着ヘッド26に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒64の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。
 また、吸着ノズル60は、負圧エア,正圧エア通路を介して、正負圧供給装置(図示省略)に通じている。各吸着ノズル60は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド26は、吸着ノズル60を昇降させるノズル昇降装置(図示省略)を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド26は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。
 供給装置28は、フィーダ型の供給装置であり、図1に示すように、複数のテープフィーダ72を有している。テープフィーダ72は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ72は、送り装置(図示省略)によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置28は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。
 ノズルステーション30は、ノズルトレイ76を有している。ノズルトレイ76には、複数の吸着ノズル60が収容されている。このノズルステーション30では、装着ヘッド26に取り付けられている吸着ノズル60と、ノズルトレイ76に収容されている吸着ノズル60との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ76は、ノズルステーション30に着脱可能であり、ノズルトレイ76に収容された吸着ノズル60の回収,ノズルトレイ76への吸着ノズル60の補給等を装着機14の外部において行うことが可能である。
 <装着機による装着作業>
 装着機14では、上述した構成によって、搬送装置22に保持された回路基板に対して、装着ヘッド26によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機14の制御装置(図示省略)の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ72は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド26が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル60によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド26は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
 装着機14では、上述したように、テープフィーダ72によって供給された電子部品を、吸着ノズル60によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル60に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル60を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル60の管理が行われる。
 <ノズル管理装置の構成>
 ノズル管理装置80は、図3に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ76をノズル管理装置80内に収納、若しくは、ノズル管理装置80からノズルトレイ76を取り出すための扉82が設けられている。その扉82の上方には、各種情報を表示するパネル86等が配設されている。
 ノズル管理装置80は、図4に示すように、管理装置本体90、パレット収容装置92、ノズル移載装置94、ノズル検査装置96、ノズル洗浄装置98、ノズル乾燥装置100を有している。なお、図4は、ノズル管理装置80の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置80の内部構造を示している。
 (a)管理装置本体
 管理装置本体90は、フレーム部102と、そのフレーム部102に上架されたビーム部104とによって構成されている。フレーム部102は、中空構造とされており、フレーム部102内にパレット収容装置92が配設され、パレット収容装置92の上端部が、フレーム部102の上面に露出している。
 (b)パレット収容装置
 パレット収容装置92は、複数のパレット載置棚106と、支持アーム108とを含む。パレット載置棚106は、ノズルパレット110を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚106が、フレーム部102の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット110には、複数の吸着ノズル60が収容される。また、支持アーム108は、アーム移動装置(図示省略)の作動により、複数のパレット載置棚106の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚106に接近・離間する。これにより、パレット載置棚106へのノズルパレット110の収納、パレット載置棚106からのノズルパレット110の取出しが、支持アーム108によって行われる。なお、パレット載置棚106から取り出されたノズルパレット110は、支持アーム108が上方に移動することで、フレーム部102の上面側に移動する。
 (c)ノズル移載装置
 ノズル移載装置94は、ノズルトレイ76とノズルパレット110との間で吸着ノズル60を移載するための装置であり、ビーム部104に配設されている。ノズル移載装置94は、移載ヘッド120とヘッド移動装置122とを有している。移載ヘッド120の下端面には、下方を向いた状態のカメラ126と、吸着ノズル60を保持するための保持チャック128と、エア供給装置130とが取り付けられている。
 保持チャック128は、図5に示すように、2本の保持爪132を有しており、それら2本の保持爪132を接近させることで、吸着ノズル60を胴体筒64において保持し、2本の保持爪132を離間させることで、保持した吸着ノズル60を離脱する。また、保持チャック128の本体部134には、エア流路136が形成されている。そのエア流路136の一端部は、2本の保持爪132の間に開口しており、他端部は、エア供給装置130に接続されている。このため、保持チャック128が吸着ノズル60を保持した状態において、エア供給装置130によってエア流路136にエアを供給することで、吸着ノズル60の内部に向かってエアが吹き出される。これにより、吸着ノズル60の胴体筒64から、エアが吹きこまれ、吸着管68の先端部からエアが吹き出される。さらに、保持チャック128は、自身を自転させる自転装置(図7参照)138を有している。これにより、保持チャック128に保持された吸着ノズル60が自転する。
 また、ヘッド移動装置122は、図4に示すように、移載ヘッド120をフレーム部102の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるXYZ型の移動装置である。なお、フレーム部102の前方側の上面には、ノズルトレイ76をセットするための固定ステージ131が設けられており、固定ステージ131にセットされたノズルトレイ76と、パレット収容装置92の支持アーム108に支持されたノズルパレット110との間で、吸着ノズル60が移載される。
 (d)ノズル検査装置
 ノズル検査装置96は、カメラ140とロードセル142とジョイント146とを有している。カメラ140は、上方を向いた状態でフレーム部102の上面に配設されており、カメラ140を用いて、吸着ノズル60の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が保持チャック128によって保持され、その保持チャック128に保持された吸着ノズル60が、下方からカメラ140によって撮像される。これにより、吸着ノズル60の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル60の先端部の状態が検査される。
 また、ロードセル142は、カメラ140の隣に配設されており、ロードセル142を用いて、吸着ノズル60の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル60が保持チャック128によって保持され、その保持チャック128に保持された吸着ノズル60の先端部がロードセル142に当接される。吸着ノズル60の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル142により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル60の先端部の伸縮状態が検査される。
 また、ジョイント146は、エア供給装置130の下面に配設され、そのエア供給装置130からエアが供給される。そして、エア供給装置130からジョイント146に供給されるエアを用いて、吸着ノズル60のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント146が、ヘッド移動装置122の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110との何れかに載置された吸着ノズル60の上方に移動する。そして、ジョイント146が、検査対象の吸着ノズル60に接続され、エア供給装置130からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル60のエア流量検査が行われる。
 なお、フレーム部102の上面には、複数の廃棄ボックス148が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル60は、廃棄ボックス148に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル60は、ノズルトレイ76若しくは、ノズルパレット110に戻される。
 (e)ノズル洗浄装置
 ノズル洗浄装置98は、吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置92の隣に配設されている。ノズル洗浄装置98は、洗浄・乾燥機構150と洗浄パレット移動機構152とを備えている。洗浄・乾燥機構150は、内部において吸着ノズル60の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構152は、洗浄パレット158が露出する露出位置(図4で洗浄パレット158が図示されている位置)と、洗浄・乾燥機構150の内部との間で、洗浄パレット158を移動させる機構である。
 (f)ノズル乾燥装置
 ノズル乾燥装置100は、吸着ノズル60の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット158の隣に配設されている。ノズル乾燥装置100は、図5に示すように、ハウジング160と当接テーブル162とエアブロー装置164とを有している。ハウジング160は、概して有底円筒状をなしている。当接テーブル162は、支柱部166と当接部168とを含む。支柱部166は、概して棒状をなし、ハウジング160の底部の略中央に立設されている。当接部168は、概して円板状をなし、支柱部166の上端部に固定されている。
 エアブロー装置164は、ハウジング160の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング160の側壁には、2つの貫通穴170,172が形成されている。第1の貫通穴170は、当接テーブル162の上端と略同じ高さにおいて、ハウジング160の径方向に延びるように、ハウジング160の側壁を貫通している。なお、第1の貫通穴170は、ハウジング160の外壁面から内壁面に向かって斜め上方に貫通している。一方、第2の貫通穴172は、第1の貫通穴170の上方において、ハウジング160の径方向、かつ水平方向に延びるように、ハウジング160の側壁を貫通している。そして、第1の貫通穴170および、第2の貫通穴172に、配管176,178を介して、エアブロー装置164が接続されている。これにより、エアブロー装置164は、貫通穴170,172を介して、ハウジング160の内部に向かってエアを吹き出す。
 (g)吸着ノズルの洗浄および乾燥
 ノズル洗浄装置98により、吸着ノズル60の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル60が、ノズル移載装置94によって、ノズルトレイ76若しくは、ノズルパレット110から、洗浄パレット158に移載される。そして、洗浄パレット158が、洗浄パレット移動機構152の作動により、洗浄・乾燥機構150の内部に移動し、洗浄・乾燥機構150の内部において、吸着ノズル60の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構150による吸着ノズル60の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット158が、洗浄パレット移動機構152の作動により、露出位置に移動する。
 この際、吸着ノズル60は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構150内では、洗浄パレット158に搭載された状態で吸着ノズル60の乾燥が行われるため、吸着ノズル60に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル60では、上述したように、胴体筒64と吸着管68とが相対移動可能となっており、胴体筒64と吸着管68との間に水が浸入するため、胴体筒64と吸着管68との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒64と吸着管68との間に水分が残存した吸着ノズル60は、上記ロードセル142を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル142を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル60の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒64と吸着管68との間に水分が残存した吸着ノズル60では、水分によって胴体筒64と吸着管68との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル142により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル60の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル60は、不良ノズルと判定される虞がある。
 このようなことに鑑みて、ノズル管理装置80では、洗浄・乾燥機構150による吸着ノズル60の洗浄および乾燥が完了すると、ノズル乾燥装置100を用いて、吸着ノズル60の再乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構150により洗浄・乾燥された吸着ノズル60が、洗浄パレット158から保持チャック128によって保持される。次に、保持チャック128が、ヘッド移動装置122の作動により、ノズル乾燥装置100の上方に移動し、下降する。これにより、保持チャック128に保持された吸着ノズル60が、図5に示すように、ノズル乾燥装置100のハウジング160の内部に挿入される。なお、吸着ノズル60の吸着管68が、当接テーブル162の当接部168に当接しない箇所まで、保持チャック128は下降する。
 そして、エアブロー装置164が作動され、貫通穴170,172からハウジング160の内部に向かってエアが吹き出される。この際、保持チャック128は自転装置138の作動により自転する。これにより、保持チャック128に保持された吸着ノズル60も自転し、吸着ノズル60の周囲全体にエアが吹き付けられる。また、保持チャック128が自転している際に、エア供給装置130の作動によりエア流路136にエアが供給され、吸着ノズル60の内部に向かってエアが吹き出される。このため、吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しによって、吸着管68が胴体筒64に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、吸着管68の胴体筒64に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。このように、ハウジング160の内部に挿入された状態の吸着ノズル60の内部にエアが吹き出されるとともに、吸着ノズル60が自転されることで、胴体筒64と吸着管68との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。
 また、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動によるエアの吹き出しが所定時間、行われると、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動によるエアの吹き出しが停止され、保持チャック128がヘッド移動装置122の作動により下降される。これにより、図6に示すように、保持チャック128に保持された吸着ノズル60の吸着管68の先端部が、当接テーブル162の当接部168に当接し、吸着管68が胴体筒64の内部に向かって押し込まれる。
 そして、吸着管68が胴体筒64の内部に押し込まれた後に、保持チャック128がヘッド移動装置122の作動により上昇され、吸着管68と当接部168とが離間する。次に、再度、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しが行われる。つまり、吸着管68が胴体筒64の内部に押し込こまれることで、胴体筒64内部に水分が残存している場合に、その水分が吸着管68の摺動面に付着する。そして、吸着ノズル60の内部に向かってエアが吹き出されることで、吸着管68が胴体筒64から突出し、水分が付着した摺動面が露出する。この際、吸着ノズル60が自転され、エアブロー装置164の作動により吸着ノズル60に向かってエアが吹き付けられることで、吸着管68の摺動面の水分が除去される。このように、吸着管68が胴体筒64の内部に押し込まれた後に、再度、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しが行われることで、胴体筒64の内部の水分を確実に除去することが可能となる。なお、吸着管68の胴体筒64内部への押し込みと、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しとは、予め設定された回数、繰り返して実行される。
 このように、ノズル乾燥装置100では、吸着管68の胴体筒64内部への押し込みと、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しとが複数回、繰り返されることで、胴体筒64と吸着管68との間に侵入した水分が好適に除去される。そして、ノズル乾燥装置100による乾燥が完了した吸着ノズル60は、ヘッド移動装置122の作動により、ノズルトレイ76とノズルパレット110との何れかに戻される。
 さらに、ノズル管理装置80は、図7に示すように、制御装置200を備えている。制御装置200は、コントローラ202と複数の駆動回路206とを備えている。複数の駆動回路206は、パレット収容装置92、ノズル検査装置96、ノズル洗浄装置98、エア供給装置130、エアブロー装置164に接続されている。コントローラ202は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路206に接続されている。これにより、パレット収容装置92、ノズル移載装置94等の作動が、コントローラ202によって制御される。また、コントローラ202は、第1エアブロー部210と第2エアブロー部212と吸着管当接部214とを有している。第1エアブロー部210は、エアブロー装置164の作動により吸着ノズル60に向かってエアを吹き出すための機能部である。第2エアブロー部212は、エア供給装置130の作動により吸着ノズル60の内部に向かってエアを吹き出すための機能部である。吸着管当接部214は、保持チャック128を下降させ、吸着管68を当接テーブル162に当接させるための機能部である。
 <第2実施例>
 第1実施例のノズル乾燥装置100には、図5に示すように、当接テーブル162が設けられているが、第2実施例のノズル乾燥装置220には、図8に示すように、当接テーブル162が設けられていない。このようなノズル乾燥装置220での吸着ノズル60の乾燥手法について、以下に説明する。なお、第2実施例のノズル乾燥装置220は、当接テーブル162が無いことを除いて、第1実施例のノズル乾燥装置100と同じ構成である。このため、ノズル乾燥装置100と同じ機能の構成要素については、同じ符号を用い、それらの説明は省略する。
 第2実施例のノズル乾燥装置220により吸着ノズル60の乾燥が行われる場合には、まず、第1実施例のノズル乾燥装置100と同様に、保持チャック128に保持された吸着ノズル60がハウジング160の内部に挿入され、エアブロー装置164の作動により、ハウジング160の内部に向かってエアが吹き出される。この際、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しが行われる。
 吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しが、所定時間、行われると、保持チャック128が上昇される。これにより、保持チャック128に保持された吸着ノズル60がハウジング160の上方に移動する。そして、保持チャック128が、ハウジング160の側壁の上方に移動され、下降される。これにより、保持チャック128に保持された吸着ノズル60の吸着管68が、図9に示すように、ハウジング160の側壁の上端に当接し、吸着管68が胴体筒64の内部に押し込まれる。
 そして、吸着管68が胴体筒64の内部に押し込まれると、保持チャック128が移動され、保持チャック128に保持された吸着ノズル60が、ハウジング160内に挿入される。この際、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しが、行われる。つまり、第2実施例のノズル乾燥装置220では、ハウジング160の側壁の上端が、第1実施例の当接テーブル162として機能しており、吸着管68の胴体筒64内部への押し込みと、吸着ノズル60の自転、および、エア供給装置130の作動による吸着ノズル60内部へのエアの吹き出しとが行われる。これにより、第2実施例のノズル乾燥装置220においても、第1実施例のノズル乾燥装置100と同様の効果を奏することが可能となる。
 ちなみに、上記実施例において、吸着ノズル60は、部品保持体および、吸着ノズルの一例である。胴体筒64は、本体部および、保持筒の一例である。吸着管68は、保持部および、吸着管の一例である。ノズル乾燥装置100は、付着物除去装置の一例である。保持チャック128は、保持具の一例である。エア供給装置130は、第2気体ブロー装置の一例である。ハウジング160は、ハウジングの一例である。当接テーブル162は、当接部の一例である。エアブロー装置164は、第1気体ブロー装置の一例である。ノズル乾燥装置220は、付着物除去装置の一例である。第1エアブロー部210は、第1気体ブロー工程を実行するための一例である。第2エアブロー部212は、第2気体ブロー工程を実行するための一例である。吸着管当接部214は、移動工程を実行するための一例である。
 なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明が吸着ノズル60に付着した水分を除去する方法および、装置に適用されているが、メカチャックに付着した水分を除去する方法および、装置に、本発明を適用することが可能である。詳しくは、メカチャックは、通常、複数の爪部と、それら複数の爪部を接近・離間可能に保持する本体部とから構成されており、複数の爪部が接近することで、部品を保持し、それら複数の爪部が離間することで、保持された部品を離脱する。そして、メカチャックにエアが吹き付けられる際に、爪部を当接部に当接させることで、爪部と本体部とを相対移動させ、爪部と本体部との間に侵入した水分を除去することが可能となる。また、爪部を当接部に当接させることなく、エア,電磁モータ等により、爪部と本体部とを相対移動させることも可能である。
 また、上記実施例では、除去する付着物として、水分が採用されているが、他の種々の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を採用することが可能である。さらに言えば、上記実施例では、エアの吹き付けにより付着物が除去されているが、他の気体、具体的には、例えば、窒素等のガスの吹き付けにより、付着物を除去することが可能である。
 また、例えば、上記実施例では、吸着ノズル60の吸着管68が、当接テーブル162若しくは、ハウジング160の側壁の上端に当接されているが、吸着管68を胴体筒64の内部に押し込むことが可能な個所であれば、種々の箇所に吸着管68を当接させることが可能である。
 また、上記実施例では、胴体筒64と吸着管68との間に残存している水分を好適に除去する方法および、装置に適用されているが、その周辺に存在する種々の付着物の除去にも適用することが可能である。例えば、胴体筒64と吸着管68を相対移動させれば、その間に存在する付着物の付着力を弱くさせることができ、エア等の吹き付けにより除去しやすくなるからである。
 60:吸着ノズル(部品保持体)  64:胴体筒(本体部)(保持筒)  68:吸着管(保持部)  100:ノズル乾燥装置(付着物除去装置)  128:保持チャック(保持具)  130:エア供給装置(第2気体ブロー装置)  160:ハウジング  162:当接テーブル(当接部)  164:エアブロー装置(第1気体ブロー装置)  220:ノズル乾燥装置(付着物除去装置)

Claims (6)

  1.  部品を保持するための保持部と、前記保持部を保持する本体部とを備え、前記保持部と前記本体部とが相対移動可能な部品保持体に付着した付着物を除去する付着物除去方法であって、
     当該付着物除去方法が、
     保持具に保持された前記部品保持体に向かって気体を吹き付ける第1気体ブロー工程と、
     前記保持部と前記本体部とを相対移動させる移動工程と
     を含むことを特徴とする付着物除去方法。
  2.  前記部品保持体が、
     エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備えた吸着ノズルであって、
     前記吸着管が、前記保持部として機能し、
     前記部品保持体が、前記本体部として機能することを特徴とする請求項1に記載の付着物除去方法。
  3.  前記移動工程が、
     前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させる工程であることを特徴とする請求項2に記載の付着物除去方法。
  4.  前記保持具が、
     保持している前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第1気体ブロー装置を備え、
     当該付着物除去方法が、
     前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に、前記第1気体ブロー装置によって気体を吹き出す第2気体ブロー工程を、さらに含むことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の付着物除去方法。
  5.  前記第2気体ブロー工程が、
     前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に、前記第1気体ブロー装置によって気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させる工程であることを特徴とする請求項4に記載の付着物除去方法。
  6.  エアの吸引により部品を吸着保持するための吸着管と、前記吸着管の先端部を突出させた状態で内部において前記吸着管を保持する保持筒とを備え、前記吸着管と前記保持筒とが相対移動可能な吸着ノズルに付着した付着物を除去する付着物除去装置であって、
     当該付着物除去装置が、
     筒状のハウジングと、
     保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管の内部に向かって気体を吹き出す第1気体ブロー装置と、
     前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出す第2気体ブロー装置と、
     前記ハウジングに設けられ、前記吸着ノズルの吸着管を当接させるための当接部と
     を備え、
     前記第1気体ブロー装置により前記吸着管の内部に気体を吹き出すことで、前記吸着管を前記保持筒の外部に向かって移動させ、前記保持具に保持された前記吸着ノズルの吸着管を前記当接部に当接させることで、前記吸着管を前記保持筒の内部に向かって移動させるとともに、前記保持具によって保持された前記吸着ノズルを前記ハウジングの内部に移動させた状態で、前記第2気体ブロー装置により前記ハウジングの内部に向かって気体を吹き出すことで、前記吸着ノズルに付着した付着物を除去することを特徴とする付着物除去装置。
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