WO2016140149A1 - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016140149A1
WO2016140149A1 PCT/JP2016/055739 JP2016055739W WO2016140149A1 WO 2016140149 A1 WO2016140149 A1 WO 2016140149A1 JP 2016055739 W JP2016055739 W JP 2016055739W WO 2016140149 A1 WO2016140149 A1 WO 2016140149A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
position detection
detection device
coil
measured
gap
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/055739
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
吉之 秋山
準二 小野塚
高橋 司
加藤 剛
信章 五来
Original Assignee
日立オートモティブシステムズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日立オートモティブシステムズ株式会社 filed Critical 日立オートモティブシステムズ株式会社
Priority to CN201680012151.6A priority Critical patent/CN107407578A/zh
Priority to EP16758843.3A priority patent/EP3267157A4/en
Priority to JP2017503450A priority patent/JPWO2016140149A1/ja
Priority to US15/554,698 priority patent/US20180080801A1/en
Publication of WO2016140149A1 publication Critical patent/WO2016140149A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/22Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02BINTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
    • F02B39/00Component parts, details, or accessories relating to, driven charging or scavenging pumps, not provided for in groups F02B33/00 - F02B37/00
    • F02B39/16Other safety measures for, or other control of, pumps
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77Specific profiles
    • G01D2205/776Cam-shaped profiles

Abstract

 本発明の目的は、取付、温度変化による空隙の変化或いは、温度変化によるコイル特性の変化の影響を受け難い、渦電流式位置センサを提供することにある。 被測定物4が回転方向6Aに回転しても、センサ2の参照コイル8Aと被測定物4の参照面9Aの空隙7Aは変化せず、センシングコイル8Bと被測定物4のセンシング面9Bの空隙7Bは変化する構成とし、それぞれのコイル8A、8Bと被測定物4の空隙7の変化を磁場の変化で信号出力し、参照コイル8Aとセンシングコイル8Bの信号の差分を検出することにより、被測定物4の位置を検出する構成とする。

Description

位置検出装置
 本発明は、移動する非測定物の位置を測定する位置検出装置に係り、特に非接触で測定可能な位置検出装置に関する。
 従来、エンジンが吸入する空気を過給するターボの羽を検出する位置検出装置において、コイルを利用した渦電流式の検出装置がターボセンサとして知られている。ターボセンサは、被測定物であるターボの羽とコイルとの空隙の距離に応じた振幅の信号を出力する。これにより、コンプレッサ又はタービンの羽根車の回転数をターボセンサによって検出する構成が提案されている。
 しかしながら、ターボセンサは当該ターボセンサ上を通過するコンプレッサの羽根車における複数の羽根車を検出し、前記ターボセンサは、タービン及び前記コンプレッサを連結する連結軸の1回転当りのパルス信号を出力する。低回転域において過給機の回転数を精度良く検出できる点においては有用であるが、高回転域においては前記ターボセンサから出力される信号の周波数が非常に高くなる。従って、制御装置での処理の為に、前記ターボセンサの信号出力を分周器で変換する必要があり、部品点数の増大によるコスト高を招くという問題があった。
 この点を考慮して、低回転域においても前記過給機の回転数を精度良く検出でき、且つ、高回転域でも前記制御装置への負荷を低減できる構成として、例えば、特許文献1に記載の構成がある。
 特許文献1に記載の構成においては、ターボセンサが、過給機の羽根車における大羽根の通過に応じて第1振幅の第1信号を出力し、小羽根の通過に応じて第2振幅の第2信号を出力して、前記過給機の回転数を高精度に認識し、且つ、前記制御装置が、前記第1又は第2信号の何れか一方に基づいて前記過給機の回転数を認識するので、前期ターボセンサからの信号の周波数を低下させることができ、従って、前記制御装置への負荷を低減できる。
特開2013-234591号公報
 しかしながら、特許文献1に記載の構成は、ターボセンサと被測定物であるターボの羽根の製造上の空隙の誤差、例えばターボセンサの取り付け位置、ターボの羽根車の中心軸の位置等のずれによる空隙の差、或いは、線膨張係数差による、高温と低温での空隙の差、或いは温度変化によりコイルの特性が変化し、前記第1振幅または、第2振幅が変動し、第1振幅と第2振幅とを区別できなくなり、前記過給機の回転数の誤認識を招くという問題があった。
 本発明は、振幅を精度良く検出することができる位置検出装置の提供を目的とする。
 本発明の位置検出装置は、例えば、第1のコイルと被測定物の空隙は変化せず、第2のコイルと被測定物の空隙は変化する構成とし、それぞれのコイルと被測定物の空隙の変化を磁場の変化で信号出力し、第1のコイルと第2のコイルの信号の差分を検出する構成からなる。
 本発明によれば、振幅を精度良く検出することができる位置検出装置の提供が可能となる。
 なお、上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出する構成図である。 本発明に係る参照コイルとセンシングコイルの差分を検出する回路の構成図である。 本発明に係るシールド材を配した位置検出装置の構成図である。 本発明に係る参照コイルのセンサとセンシングコイルのセンサが別体の回転位置を検出する構成図である。 本発明に係る被測定物の移動方向と異なる方向に空隙を変化させる回転位置を検出する構成図である。 本発明に係る被測定物の移動方向と異なる方向に空隙を変化させる回転位置を検出する構成図の内センシング面が低い場合を示す。 本発明に係る被測定物の移動方向と異なる方向に空隙を変化させる回転位置を検出する構成図の内センシング面が中位の場合を示す。 本発明に係る被測定物の移動方向と異なる方向に空隙を変化させる回転位置を検出する構成図の内センシング面が高い場合を示す。 本発明に係るロッド状の被測定物の位置を検出する構成図である。 本発明に係るロッド状の被測定物の位置を検出し、参照面をセンサに内蔵する位置を検出する構成図である。 本発明に係るロッド状の被測定物の位置を検出し、ロッドを円錐状にする事により、ロッドが回転しても、位置を検出する構成図である。 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの特性が交差する空隙となる形状の構成図である。(角度a) 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの特性が交差する空隙となる形状の構成図である。(角度b) 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの特性が交差する空隙となる形状の構成図である。(角度c) 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置(角度a、角度b、角度c)と、参照コイルの空隙1とセンシングコイルの空隙2の関係特性が交差するグラフである。 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置(角度a、角度b、角度c)と、出力117関係を示すグラフである。 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの対向する参照面とセンシング面をリブ状の形状とした構成図である。 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの対向する参照面とセンシング面をリブ状の形状とし、更に絶縁材を介して分離した構成図である。 本発明に係る円盤状の被測定物の回転位置を検出し、参照コイルとセンシングコイルの対向する参照面とセンシング面をリブ状の形状とし、参照コイルとセンシングコイルにそれぞれコアを内装した構成図である。 本発明に係るロッド状の被測定物の位置を検出し、センシング面を階段状とした構成図である。
 以下、本発明に係る実施例を、図面を用いて説明する。なお、各図において、同一の構造である部分については、同一の符号を付け、説明を省略する。
 (実施の形態1)
 図1乃至図2を用いて、本実施例に係る位置検出装置の構成について説明する。図1は、本実施例に係る位置検出装置1の構成図である。図2は、本実施例に係る位置検出装置1の参照コイル8Aとセンシングコイル8Bとの差分を検出する回路100を示す図である。
 図1において、センサ2は、被測定物4の参照面9A、センシング面9Bに面した参照コイル8Aと、センシングコイル8Bを備えている。センサ2はセンサ取付部3に固定されており、動かない。また、被測定物4は、被測定物支持部5により支持されているが、回転方向6Aの向きに回転する。
 被測定物4の参照面9Aとセンサ2との空隙7Aは、参照面9Aが真円の外周面である為、被測定物4が回転方向6Aに回転しても一定である。他方、被測定物4のセンシング面9Bとセンサ2との空隙7Bは、センシング面9Bがだ円の外周面である為、被測定物4が回転方向6Aに回転すると変化する。
 つまり、被測定物4が回転方向6Aに回転した場合、上記の参照面9Aとセンシング面9Bとセンサ2との空隙7A、7Bは、被測定物4の角度位置に応じて同一の空隙から徐々に差のある空隙に変化する。
 図2において、前記参照コイル8Aと前記センシングコイル8Bは、抵抗104Aと抵抗104B及び参照-センシングコイルバランス調整ボリューム105によりブリッジ回路6の構成となっている。
 ブリッジ回路6は上流にある発信機101より交流電圧を受ける。参照コイル8Aとセンシングコイル8Bは、それぞれの被測定物4との空隙7A、7Bによりインダクタンスが変化し、ひいてはそれぞれのインピーダンスが変化する。参照コイル8Aのインピーダンスとセンシングコイル8Bのインピーダンスの中間電圧と、抵抗104Aと抵抗104B及び参照-センシングコイルバランス調整ボリュームの合成抵抗との中間電圧を差動増幅回路108のオペアンプ107へ入力してその差分を検出する。
 オペアンプ108の出力は、発信機101からの同期信号110を受けて検波する検波回路111のオペアンプ109へ入力される。オペアンプ109の出力は、基準電圧112を抵抗113とオフセット調整ボリュームで分圧された電圧と共に出力117をオフセットするオフセット回路116のオペアンプ115へ入力される。
 以上の回路構成にする事により、被測定物4の任意の位置において、参照-センシングコイルバランス調整ボリューム105により、オペアンプ107の出力が0となるように調整し、参照コイル8Aとセンシングコイル8Bの個別バラツギのキャンセルを行う事が出来る。また、オフセット回路116のオフセット調整ボリューム114や、発信機101の周波数調整ボリューム102やゲイン調整ボリューム103を調整することにより、出力117を調整する事が出来る。
 図1の位置検出装置1や図2の回路100の構成とすることにより、センサ2は参照面9Aとセンシング面9Bの相対的な差分を検出し出力117を出力する。この為、被測定物支持部5と被測定物4の位置ずれによりセンサ2との空隙7が変化して絶対位置が変化しても出力117は影響を受け難い。また、温度変化により同様にセンサ2と被測定物4の空隙7が変化しても出力117は影響を受け難い。更には、参照コイル8Aとセンシングコイル8Bが温度変化によりインピーダンス特性が変化した時もその差分を検出する為、出力117は影響を受け難い。
 (実施の形態2)
 図3に示すように、図1の位置検出装置1の参照コイル8A、センシングコイル8Bを周囲を覆うようにシールド10を配置する事により、被測定物4に以外の方向からの外乱の影響を避ける事が可能である。シールドの材質は、軟磁性材で構成すると磁化の影響を受けにくくなる。
 (実施の形態3)
 図4は、参照コイル8Aとセンシングコイル8Bをそれぞれセンサ2A、センサ2Bと別々のセンサに配した例である。被測定物4のセンサ2A側を真円として参照面9Aとし、センサ2B側をだ円としてセンシング面9Bとした構成であり、実施の形態1と同様の効果を得られる。
 (実施の形態4)
 図5は、センサ2と被測定物4との空隙の変化を被測定物の半径方向ではなく、回転軸方向に設けた例であり、センシング面が被測定物4の回転方向6Aに回転した時の位置に応じて、センシング面(低)9B-1、センシング面(中)9B-2、センシング面(高)9B-3と連続して変化させることにより、空隙7Bを変化させるものである。図5-1、図5-2、図5-3のように被測定物4が回転した時に、空隙7Bが変化する。
 (実施の形態5)
 図6は、位置の検出方向を回転方向から直線方向にした構成であり、移動方向6Bに被測定物4が移動し、センサ2がその位置を検出するものである。本構成においても実施の形態1同様の効果が得られる。
 (実施の形態6)
 図6-1は、図6と同様位置の検出方向を直線方向にした構成であるが、参照面9Aを被測定物4上ではなく、センサ2内に配する事により、空隙7Aは一定の空隙を保持し、被測定物4にはセンシング面9Bのみ配する。被測定物4の移動方向6Bへの移動量に応じて空隙7Bが変化する構成となっている。つまり、被測定物4が移動方向6Bに移動した場合、上記の参照面9Aとセンシング面9Bとセンサ2との空隙7A、7Bは、被測定物4の位置に応じて同一の空隙から徐々に差のある空隙に変化する。本構成においても実施の形態1同様の効果が得られる。尚、参照面9Aをセンサ取付部3の一部を利用して構成しても良い。
 (実施の形態7)
 また、図7は、被測定物4は円筒状の円筒部4Aと円錐状の円錐部4Bからなり、被測定物支持部5の穴5Aを被測定物4の円筒部4Aが貫通するように配置された形態を示す。被測定物4を円筒や円錐状に形成することにより、被測定物4が移動方向6Bと垂直な面内で回転しても、参照コイル8Bと参照面9Bとの空隙7Bは変化せず、参照面9Aをセンサ2内に配する事により、被測定物4が回転しても位置検出が可能な構成となっている。尚、参照面9Aをセンサ取付部3の一部を利用した構成としても良い。
 (実施の形態8)
 図8、9、10は、参照面9Aの一端からの角度a、角度b、角度cの位置に被測定物4がある図を示している。また、図11は被測定物4の角度と被測定物4とセンサ2との空隙の関係を示したグラフである。空隙1はセンサ2と参照面9A、空隙2はセンサ2とセンシング面9Bとの空隙を示す。
 本構成の様に、空隙1と空隙2が交差する特性とすることにより、回転角度に応じた感度を大きくする事が出来る。更に、角度bの位置を基準として前記参照-センシングコイルバランス調整ボリュームを調整することにより参照面9Aとセンシング面9Bが同一、つまり空隙1と空隙2が同一となり、角度b位置に被測定物4が位置する時の、位置ずれや温度変化による空隙の変化に対してロバスト性が高くなる。
 尚、図13のように参照面9Aとセンシング面9Bをリブ状に配することにより、参照コイル9Aとセンシングコイル9Bの検出性を向上させる構成や、図14の様に参照面9Aとセンシング面9Bを被磁性材である絶縁材11で分離して検出性を向上させる構成、或いは参照面9Aの材質とセンシング面9Bの材質を変更して参照コイル8Aとセンシングコイル8Bを異なる感度構成としても良い。
 また、図15のように参照コイル8Aとセンシングコイル8Bにそれぞれコア13A、13Bを内装して感度向上を図っても良い。
 (実施の形態9)
 図16は、位置の検出方向を直線方向にした構成であり、参照面9Bを階段状に構成し、センサ2がその位置を検出するものである。本構成においても実施の形態1同様の効果が得られる。
 なお、本発明は上記した各実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例又は変更例の構成の一部を他の実施例又は変更例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例又は変更例の構成に他の実施例又は変更例の構成を加えることも可能である。また、各実施例又は変更例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
 1…位置検出装置、2…センサ、3…センサ取付部、4…被測定物、4A…被測定物円筒部、4B…被測定物円錐部、5…被測定物支持部、5A被測定物支持部穴部、6A…回転方向、6B…移動方向、7…空隙、7A…空隙1、7B…空隙2、8A…参照コイル、8B…センシングコイル、9A…参照面、9B…センシング面、9B-1…センシング面(低)、9B-2…センシング面(中)、9B-3…センシング面(高)、10…シール
ド、11A…角度a、11B…角度b、11C…角度c、12…絶縁材、13A…コア、13B…コア、100…検出回路、101…発信機、102…周波数調整ボリューム、103…ゲイン調整ボリューム、104A…抵抗1、104B…抵抗2、105…参照-センシングコイルバランス調整ボリューム、106…ブリッジ回路、107…オペアンプ1、108…差動増幅回路、109…オペアンプ2、110…同期信号、111…検波回路、112…基準電圧、113…抵抗、114…オフセット調整ボリューム、115…オペアンプ3、116…オフセット回路、117…出力

Claims (14)

  1.  被測定物に所定の空隙をもって取り付けられる位置検出装置であって、
     前記被測定物は前記所定の空隙を変化させる機構を有し、
     前記変化を内部に有するコイルのインダクタンスの変化として検出する位置検出装置。
  2.  請求項1に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、連続的な変化をさせる機構であることを特徴とする位置検出装置。
  3.  請求項2に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、階段状あるいは歯車形状あるいは凹凸形状からなることを特徴とする位置検出装置。
  4.  請求項2に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、一つの被測定物に2種以上の空隙の変化をさせる機構であることを特徴とする位置検出装置。
  5.  請求項4に記載の位置検出装置であって、
     前記機構の2種以上の空隙の変化を、センシングコイルと参照用コイルの2つのコイルで検出されるインダクタンスの変化の差分として検出することを特徴とする位置検出装置。
  6.  請求項5に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、一方が円形状で他方が楕円形状であり、
     前記円形状の機構変化を前記参照用コイルで検出し、前記楕円形状の機構変化を前記センシングコイルで検出することを特徴とする位置検出装置。
  7.  請求項4に記載の位置検出装置であって、
     前記被測定物の移動方向と異なる方向に空隙を変化させる機構を設けたことを特徴とする位置検出装置。
  8.  請求項4に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、複数のリブ形状からなることを特徴とする位置検出装置。
  9.  請求項4に記載の位置検出装置であって、
     前記機構は、絶縁材を介して一方と他方の材料が異なることを特徴とする位置検出装置。
  10.  請求項1に記載の位置検出装置であって、
     前記インダクタンスの変化を検出する面と異なる面をシールド材で覆うことを特徴とする位置検出装置。
  11.  請求項10に記載の位置検出装置であって、
     前記シールド材は、軟磁性体からなることを特徴とする位置検出装置。
  12.  請求項5に記載の位置検出装置であって、
     前記センシングコイルと前記参照用コイルとを一体にしたことを特徴とする位置検出装置。
  13.  請求項5に記載の位置検出装置であって、
     前記参照用コイルは、前記被測定物とは異なる箇所の空隙を検出し、
     前記センシングコイルは、前記被測定物の空隙の変化を検出することを特徴とする位置検出装置。
  14.  請求項5に記載の位置検出装置であって、
     前記空隙の変化の検出の出力特性は、前記参照用コイルと前記センシングコイルとで交差する特性を有することを特徴とする位置検出装置。
PCT/JP2016/055739 2015-03-05 2016-02-26 位置検出装置 WO2016140149A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201680012151.6A CN107407578A (zh) 2015-03-05 2016-02-26 位置检测装置
EP16758843.3A EP3267157A4 (en) 2015-03-05 2016-02-26 Position detection device
JP2017503450A JPWO2016140149A1 (ja) 2015-03-05 2016-02-26 位置検出装置
US15/554,698 US20180080801A1 (en) 2015-03-05 2016-02-26 Position detection device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015-043102 2015-03-05
JP2015043102 2015-03-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016140149A1 true WO2016140149A1 (ja) 2016-09-09

Family

ID=56848923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/055739 WO2016140149A1 (ja) 2015-03-05 2016-02-26 位置検出装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20180080801A1 (ja)
EP (1) EP3267157A4 (ja)
JP (1) JPWO2016140149A1 (ja)
CN (1) CN107407578A (ja)
WO (1) WO2016140149A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017149975A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 位置検出装置
JP2018096729A (ja) * 2016-12-09 2018-06-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 位置検出装置のセンサコイルユニット
JP2018155769A (ja) * 2018-05-24 2018-10-04 日立金属株式会社 ターボチャージャ
US20190264764A1 (en) * 2016-08-02 2019-08-29 Trw Automotive U.S. Llc Brake pad wear sensor

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6926502B2 (ja) * 2017-02-10 2021-08-25 日立金属株式会社 ターボ用回転センサ及びターボチャージャ
DE102019122360B4 (de) * 2018-08-22 2024-02-01 Tdk Corporation Positionserfassungssystem
US11204258B2 (en) * 2018-09-14 2021-12-21 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Apparatus for sensing rotating device
CN110307789B (zh) * 2019-07-19 2021-09-07 哈尔滨工业大学 一种基于磁悬浮的浮子周向角位移可控装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001004728A (ja) * 1999-09-02 2001-01-12 Micro Magune Kk 磁気検出装置
JP2002162252A (ja) * 2000-09-18 2002-06-07 Mitsubishi Electric Corp 回転位置検出装置
JP2007033100A (ja) * 2005-07-25 2007-02-08 Pulstec Industrial Co Ltd 光学式位置検出装置
WO2015165456A1 (de) * 2014-04-30 2015-11-05 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur erkennung einer rotorlage eines elektromotors, ein target zur bestimmung der rotorlage des elektromotors und ein elektromotor

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3356896A (en) * 1964-12-16 1967-12-05 Motorola Inc Electronic device
US3465238A (en) * 1967-10-02 1969-09-02 Jacob Marlow Position and velocity detecting apparatus
GB2131178B (en) * 1982-11-30 1986-05-21 Peutec Limited Piston position transducer
JPS6017364A (ja) * 1983-07-11 1985-01-29 Fanuc Ltd 電動機速度検出方式
US4752732A (en) * 1985-03-14 1988-06-21 Baker-Hughes Angular displacement sensor
EP1037017B1 (en) * 1999-03-15 2003-12-17 Atsutoshi Goto Inductive position detector
US6305234B1 (en) * 2000-01-27 2001-10-23 Edward L. Thies Absolute encoder
JP2004012308A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Smc Corp コイルを利用した位置測定装置、フロート式流量計および位置測定方法
JP4206713B2 (ja) * 2002-09-05 2009-01-14 株式会社デンソー 指示計器
DE102005051536A1 (de) * 2005-04-27 2006-11-09 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co Kg Berührungslos arbeitender Wirbelstromsensor und Verfahren zur Detektion von Messobjekten
DE102005021300B4 (de) * 2005-05-09 2007-08-16 Vs Sensorik Gmbh Drehgeber
FR2937126B1 (fr) * 2008-10-10 2010-12-31 Continental Automotive France Dispositif de mesure par effet hall
JP5133199B2 (ja) * 2008-10-28 2013-01-30 株式会社ミツトヨ 誘導検出型ロータリーエンコーダ
DE102012222202A1 (de) * 2012-12-04 2014-06-05 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Überwachung einer Rotation eines Verdichterrades
DE102013207621B4 (de) * 2013-04-26 2015-04-09 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Winkelmessung, insbesondere berührungslos, mit Einzelsensoren

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001004728A (ja) * 1999-09-02 2001-01-12 Micro Magune Kk 磁気検出装置
JP2002162252A (ja) * 2000-09-18 2002-06-07 Mitsubishi Electric Corp 回転位置検出装置
JP2007033100A (ja) * 2005-07-25 2007-02-08 Pulstec Industrial Co Ltd 光学式位置検出装置
WO2015165456A1 (de) * 2014-04-30 2015-11-05 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zur erkennung einer rotorlage eines elektromotors, ein target zur bestimmung der rotorlage des elektromotors und ein elektromotor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3267157A4 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017149975A1 (ja) * 2016-02-29 2017-09-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 位置検出装置
JPWO2017149975A1 (ja) * 2016-02-29 2018-10-18 日立オートモティブシステムズ株式会社 位置検出装置
US20190264764A1 (en) * 2016-08-02 2019-08-29 Trw Automotive U.S. Llc Brake pad wear sensor
JP2018096729A (ja) * 2016-12-09 2018-06-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 位置検出装置のセンサコイルユニット
JP2018155769A (ja) * 2018-05-24 2018-10-04 日立金属株式会社 ターボチャージャ

Also Published As

Publication number Publication date
EP3267157A4 (en) 2018-10-17
JPWO2016140149A1 (ja) 2017-06-22
EP3267157A1 (en) 2018-01-10
US20180080801A1 (en) 2018-03-22
CN107407578A (zh) 2017-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016140149A1 (ja) 位置検出装置
US9207100B2 (en) Magnetic position sensor with field direction measurement and flux collector
US11143524B2 (en) Displacement sensor
US10330498B2 (en) Sensor arrangement for the contactless sensing of angles of rotation on a rotating part
US10732009B2 (en) Angle sensing in an off-axis configuration
JP5613839B2 (ja) 移動する物体の絶対的な位置特定のための方法及び装置
US20170115320A1 (en) Magnetic sensing system and method for detecting shaft speed
US7135857B2 (en) Serially connected magnet and hall effect position sensor with air gaps between magnetic poles
US20170115134A1 (en) Angle Sensor
CN110617840B (zh) 用于使用具有磁化配置的磁体进行角度感测的系统和方法
US11448659B2 (en) AMR speed and direction sensor for use with magnetic targets
JP2020112579A (ja) 回転検出装置及びその製造方法
US6636036B1 (en) Sensor with signal amplitude adaptive hysteresis
US20190101416A1 (en) Rotation detection device
JPH03506071A (ja) 回転角検出測定装置
JP4521808B2 (ja) エンコーダ
JP6619974B2 (ja) エンコーダ
WO2011012843A1 (en) Proximity sensor
WO2017149975A1 (ja) 位置検出装置
JP6882530B2 (ja) センサ装置
JP5959686B1 (ja) 磁気検出装置
US20200149926A1 (en) Encoder With Toothed Structure and Apparatus Having the Same
CN212158666U (zh) 一种旋转件位置传感器感应板
RU2398241C1 (ru) Способ определения скорости движения
JP2019124545A (ja) 回転角度検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16758843

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017503450

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15554698

Country of ref document: US

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2016758843

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE