WO2016129166A1 - オイルミスト検出装置 - Google Patents

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WO2016129166A1
WO2016129166A1 PCT/JP2015/083348 JP2015083348W WO2016129166A1 WO 2016129166 A1 WO2016129166 A1 WO 2016129166A1 JP 2015083348 W JP2015083348 W JP 2015083348W WO 2016129166 A1 WO2016129166 A1 WO 2016129166A1
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light
oil mist
detection
unit
transparent member
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PCT/JP2015/083348
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English (en)
French (fr)
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知多佳 真鍋
英二 高橋
要 荒木
秀剛 高木
雄也 中本
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Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence

Definitions

  • the present invention relates to an oil mist detection device applicable to, for example, an oil-cooled (oil supply) compressor.
  • Oil mist is unavoidably included in the compressed gas generated by the oil-cooled (oil supply) compressor.
  • the oil mist is processed to be removed from the compressed gas by a filtration filter.
  • the oil mist cannot be completely removed from the compressed gas, and the amount of oil mist that can be removed from the compressed gas is reduced when the filter is deteriorated.
  • oil mist is an impurity when viewed from the compressed gas, the amount of oil mist contained in the compressed gas needs to be controlled.
  • the amount of oil mist may be strictly controlled, such as compressed air for medical use.
  • This apparatus detects the concentration of oil mist by irradiating a predetermined detection region with basic light and measuring the intensity of reflected / scattered light generated when the basic light strikes oil mist present in the detection region (for example, see Patent Document 1).
  • the performance of the filter for removing oil mist is improved, the amount of oil mist contained in the compressed gas after the treatment for removing oil mist is extremely small, and the particle size of oil mist is extremely small. For this reason, in the case of the type in which the oil mist floating in the gas is measured by irradiating light like the oil mist detection device described in Patent Document 1, the oil mist may not be detected.
  • An object of the present invention is to provide an oil mist detection device capable of detecting oil mist even when the amount of oil mist floating in the gas is extremely small and the particle size of the oil mist is extremely small.
  • the oil mist detection device includes a transparent member having a transparent detection surface disposed in a gas in which oil mist is floating, and the transparent member having the detection surface as a front surface of the transparent member.
  • a light source unit that emits light toward the back surface at an angle at which light incident on the transparent member from the back surface is reflected by the detection surface, and light that is emitted from the light source unit toward the back surface,
  • a detector that detects scattered light from the light emitted from the back surface in a state of being reflected by the detection surface.
  • the oil mist can be detected even when the amount of the oil mist floating in the gas is extremely small and the particle size of the oil mist is very small.
  • FIG. 1 It is a mimetic diagram showing an oil mist detection device concerning a 1st embodiment of the present invention.
  • the oil mist detection apparatus shown in FIG. 1 it is a schematic diagram which shows the state which the oil mist has adhered to the detection surface. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on the 1st modification of 1st Embodiment. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on the 2nd modification of 1st Embodiment. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on the 3rd modification of 1st Embodiment.
  • FIG. 16 is a schematic diagram illustrating a state where the blocking member is slid from the state illustrated in FIG. 15 and the detection surface is exposed. It is a block diagram which shows the structure of the oil mist detection apparatus which concerns on 3rd Embodiment. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on 4th Embodiment. It is a schematic diagram which shows the structure of the sensor with which the oil mist detection apparatus which concerns on 4th Embodiment is equipped. It is a block diagram which shows the structure of the oil mist detection apparatus which concerns on 4th Embodiment.
  • FIG. 26 is a schematic diagram which shows the state which the oil mist has adhered to the detection surface. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on the 1st modification of 6th Embodiment. It is a schematic diagram which shows the oil mist detection apparatus which concerns on the 2nd modification of 6th Embodiment.
  • FIG. 30 is a schematic diagram illustrating an example of a state where the oil mist detection device illustrated in FIG. 29 is attached to a pipe. In the oil mist detection apparatus shown in FIG. 21, it is a schematic diagram which shows the state which has arrange
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1a according to the first embodiment.
  • the oil mist detection device 1a includes a transparent member 3, a light source unit 5, and a detection unit 7.
  • the transparent member 3 is a right-angle prism having a detection surface 30, a first inclined surface 31, and a second inclined surface 32.
  • the transparent member 3 is made of a transparent material such as glass or plastic. From the viewpoint of increasing the strength of the transparent member 3, optical glass is preferable. From the viewpoint of strength and heat resistance of the transparent member 3, quartz glass is preferable. From the viewpoint of the strength, heat resistance, and corrosion resistance of the transparent member 3, sapphire (Al 2 O 3 ) is preferable.
  • the detection surface 30 constitutes the front surface 11 of the transparent member 3.
  • the detection surface 30 is a transparent surface disposed in a gas in which oil mist is floating.
  • the first inclined surface 31 constitutes the back surface 12 of the transparent member 3, and has an inclination (for example, 45 degrees) with respect to the detection surface 30.
  • the first inclined surface 31 is a transparent surface into which the light L ⁇ b> 1 emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12 of the transparent member 3 enters the transparent member 3.
  • the second inclined surface 32 constitutes the back surface 12 of the transparent member 3 and has an inclination (for example, 45 degrees) with respect to the detection surface 30.
  • the angle between the first inclined surface 31 and the second inclined surface 32 is 90 degrees.
  • the second inclined surface 32 is a transparent surface from which the light L1 from the light source unit 5 enters the transparent member 3 from the first inclined surface 31, is totally reflected by the detection surface 30, and exits from the transparent member 3. .
  • the side surface of the transparent member 3 defined by the detection surface 30, the first inclined surface 31, and the second inclined surface 32 has a right-angled isosceles triangle shape.
  • the light source unit 5 When the light source unit 5 has the detection surface 30 as the front surface 11 of the transparent member 3, the light L 1 incident on the transparent member 3 from the back surface 12 of the transparent member 3 is reflected at the detection surface 30 toward the back surface 12. To emit light L1. The case where the light L1 incident on the transparent member 3 from the back surface 12 of the transparent member 3 is totally reflected by the detection surface 30 will be described.
  • the light source unit 5 includes, for example, an LED that emits ultraviolet light as a light emitting unit.
  • the light L ⁇ b> 1 is expressed as being emitted from the light source unit 5, the light beam is actually emitted from the light source unit 5.
  • the detection unit 7 emits light L1 emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12 of the transparent member 3 from the back surface 12 (second inclined surface 32) in a state where the light L1 is totally reflected by the detection surface 30.
  • Scattered light L2 (FIG. 2) is detected from the incoming light.
  • the light L1 from the light source unit 5 and the scattered light L2 have the same wavelength.
  • the light L1 from the light source unit 5 is applied to the oil mist M (FIG. 2) to generate fluorescent scattered light L2
  • the light L1 from the light source unit 5 and the scattered light L2 have different wavelengths.
  • the oil mist M is irradiated with ultraviolet rays, it often emits fluorescence depending on the type of oil. In the first embodiment, description will be made assuming that the scattered light L2 is fluorescence.
  • the detection unit 7 includes a filter 70 and a light receiving unit 71 that receives the scattered light L2 that has passed through the filter 70.
  • the scattered light L2 is allowed to pass through, but has a wavelength selection characteristic that blocks the light L1 from the light source unit 5 totally reflected by the detection surface 30.
  • a filter 70 is used.
  • the location where the oil mist detection device 1a is installed is not a dark place, the wavelength that allows the scattered light L2 to pass but blocks the other light including the light L1 from the light source unit 5 totally reflected by the detection surface 30
  • a filter 70 having a selection characteristic is used.
  • the light receiving unit 71 includes, for example, a photodiode.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a state where the oil mist M is attached to the detection surface 30 in the oil mist detection device 1a shown in FIG.
  • the light L1 emitted from the light source unit 5 is totally reflected by the detection surface 30 and travels toward the light receiving unit 71. However, since the light L1 is blocked by the filter 70, it does not reach the light receiving unit 71. As shown in FIG. 2, when the oil mist M adheres to the detection surface 30, the light L ⁇ b> 1 emitted from the light source unit 5 (in other words, a part of the light beam) is applied to the oil mist M. Scattered light L2 is generated by this irradiation. A part of the scattered light L2 passes through the filter 70 and is received by the light receiving unit 71.
  • Light L1 is incident on the transparent member 3 from the back surface 12 of the transparent member 3 with the oil mist M adhering to the detection surface 30, and the light is scattered by the oil mist M when reflected by the detection surface 30.
  • L2 occurs. Accordingly, if the light L1 emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12 of the transparent member 3 is reflected by the detection surface 30, the scattered light L2 can be detected from the light emitted from the back surface 12.
  • the oil mist M is attached to the detection surface 30.
  • the oil mist detection device 1a does not detect the oil mist M floating in the gas, but detects the oil mist M adhering to the detection surface 30.
  • the oil mist M is floating in the gas, the amount of the oil mist M adhering to the detection surface 30 increases as time passes. Therefore, the oil mist M can be detected even if the amount of the oil mist M floating in the gas is extremely small and the particle size of the oil mist M is very small.
  • the filter 70 is provided. Therefore, only the scattered light L2 can be selectively received. Therefore, the degree of freedom of the place where the light receiving unit 71 is disposed can be increased.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1b according to a first modification of the first embodiment.
  • the oil mist detection device 1b is different from the oil mist detection device 1a shown in FIGS. 1 and 2 as follows.
  • the back surface 12 of the transparent member 3 has a facing surface 33 that connects the first inclined surface 31 and the second inclined surface 32 and faces the detection surface 30.
  • the side surface of the transparent member 3 defined by the detection surface 30, the first inclined surface 31, the opposing surface 33, and the second inclined surface 32 has a trapezoidal shape.
  • the detection unit 7 is disposed to face the facing surface 33.
  • the light receiving unit 71 receives light emitted from the facing surface 33 to the outside of the transparent member 3. This light is not the light L1 totally reflected by the detection surface 30, but a part of the scattered light L2.
  • the first modification is based on the assumption that the location where the oil mist detection device 1b is installed is not a dark place.
  • the filter 70 has a wavelength selection characteristic that allows the scattered light L2 to pass therethrough but blocks light other than the scattered light L2.
  • the light totally reflected by the detection surface 30 goes out of the transparent member 3 from the second inclined surface 32, so that the detection unit 7 has the light L ⁇ b> 1 totally reflected by the detection surface 30.
  • the scattered light L2 can be detected without being affected by the above.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1c according to a second modification of the first embodiment.
  • the difference between the oil mist detection device 1c and the oil mist detection device 1b shown in FIG. 3 is that the detection unit 7 does not include the filter 70.
  • the filter 70 is unnecessary.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1d according to a third modification of the first embodiment.
  • the oil mist detection device 1d is different from the oil mist detection device 1c shown in FIG. 4 as follows.
  • the light L1 that has entered the transparent member 3 from the first inclined surface 31 is repeatedly reflected a plurality of times by the detection surface 30 and the opposing surface 33, and exits the transparent member 3 from the second inclined surface 32.
  • the area of the detection surface 30, the area of the opposing surface 33, the distance between the detection surface 30 and the opposing surface 33, and the like are determined.
  • a concave portion whose bottom surface is the opposing surface 33 is formed on the back surface 12.
  • the transparent member 3 has a surface 34 to a surface 39 in addition to the detection surface 30, the first inclined surface 31, the second inclined surface 32, and the opposing surface 33.
  • the surface 34 has an inclination of 90 degrees with respect to the detection surface 30, and connects the detection surface 30 and the first inclined surface 31.
  • the surface 35 faces the detection surface 30 and is connected to the first inclined surface 31.
  • the surface 36 has an inclination of 90 degrees with respect to the opposing surface 33, and connects the opposing surface 33 and the surface 35.
  • the surface 37 has an inclination of 90 degrees with respect to the detection surface 30, and connects the detection surface 30 and the second inclined surface 32.
  • the surface 38 faces the detection surface 30 and is connected to the second inclined surface 32.
  • the surface 39 has an inclination of 90 degrees with respect to the facing surface 33, and connects the facing surface 33 and the surface 38.
  • the oil mist detection device 1d According to the oil mist detection device 1d according to the third modification, the light L1 that has entered the transparent member 3 is repeatedly reflected a plurality of times by the detection surface 30 and the opposed surface 33, so that the amount of generated scattered light L2 is increased. can do. For this reason, even when the amount of oil mist M adhering to the detection surface 30 is very small, the oil mist M can be detected. Therefore, according to the third modification, the sensitivity of the oil mist detection device 1d can be improved.
  • FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a first example in a state where the oil mist detection device 1 d is attached to the pipe 100.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing the second example.
  • the oil mist detection device 1d includes a casing 9 that houses the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit 7 with the detection surface 30 exposed to the outside.
  • a hole 101 passing through the pipe 100 is formed in a part of the pipe 100, and the oil mist detection device 1 d is attached to the hole 101 in a state where the detection surface 30 can come into contact with the gas G passing through the pipe 100.
  • the detection surface 30 is arranged in parallel with the direction in which the gas G flows through the pipe 100.
  • the detection surface 30 is arranged in the direction in which the gas G flows through the pipe 100.
  • the detection unit 7 detects oil scattered on the detection surface 30 by detecting the scattered light L2 generated by irradiating the oil mist M attached to the detection surface 30 with the light L1 from the light source unit 5. A signal indicating the mist M is generated.
  • the concentration of oil mist M is measured in this embodiment.
  • the oil mist M adhering to the detection surface 30 is detected.
  • the amount of oil mist M detected by the detection unit 7 becomes an integrated value of the oil mist M attached to the detection surface 30 until the time when the concentration of the oil mist M is measured.
  • the increase amount per unit time of the oil mist M adhering to the detection surface 30 (time change rate of the amount of the oil mist M adhering to the detection surface 30) is the oil mist M contained in the gas G in the unit time. It is proportional to the number of particles.
  • FIG. 8 is a graph created based on them.
  • the horizontal axis indicates the time (elapsed time) that has elapsed since the detection surface 30 started to contact the gas G flowing through the pipe 100.
  • the vertical axis indicates the amount of oil mist M (detected amount) adhering to the detection surface 30.
  • the detected amount of oil mist M is 0 (almost 0) even if time elapses. This indicates that the gas G does not contain the oil mist M over the entire elapsed time.
  • the detected amount of oil mist M increases linearly as time elapses. This indicates that the oil G contains a certain concentration of oil mist M over the entire period of the elapsed time.
  • the detected amount of oil mist M increases during the entire elapsed time.
  • the graph of the third example has three slopes. Of all the elapsed time periods, the slope of the graph is larger than the slope of the graph of the second example in the initial period. This indicates that the concentration of oil mist M in the initial period is higher than the concentration of oil mist M in the second example. In the middle period, the slope of the graph is smaller than the slope of the graph of the second example. This indicates that the concentration of oil mist M in the middle period is lower than the concentration of oil mist M in the second example. In the last period, the slope of the graph is greater than the slope of the initial period. This indicates that the concentration of oil mist M in the last period is higher than the concentration of oil mist M in the initial period.
  • the amount of oil mist M adhering to the detection surface 30 is measured at regular time intervals.
  • the amount of oil mist M detected in the current measurement is V1
  • the amount of oil mist M detected in the previous measurement is V2
  • a certain time is T.
  • the value obtained by the equation (V1-V2) / T represents the slope of the graph shown in FIG. 8, that is, the time change rate of the amount of oil mist M adhering to the detection surface 30.
  • FIG. 9 is a block diagram showing a configuration of the oil mist detection device 1d shown in FIG.
  • the block diagram which shows the structure of oil mist detection apparatus 1a, 1b, 1c is the same as FIG.
  • the oil mist detection device 1d includes the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit 7, and further includes a control unit 13, an input unit 14, and an output unit 15.
  • the control unit 13 includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like, and includes a data storage unit 130 and a first calculation unit 131 as functional blocks.
  • the data storage unit 130 stores first data and second data in advance. The first data and the second data will be described.
  • FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the first data. It shows that the amount of oil mist M adhering to the detection surface 30 increases as the intensity of the scattered light L2 increases.
  • the numbers in FIG. 10 are values for convenience and are not values collected by experiments.
  • the time change rate of the amount of the oil mist M adhering to the detection surface 30 is proportional to the concentration of the oil mist M floating in the gas G.
  • the concentration of the oil mist M increases.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the second data. It is shown that the concentration of oil mist M increases as the time change rate increases.
  • the numbers in FIG. 11 are values for convenience and are not values collected by experiments.
  • the first calculation unit 131 is detected by the detection unit 7 at the first timing and at the second timing when a predetermined period has elapsed from the first timing and the intensity of the scattered light L2 detected by the detection unit 7. Based on the intensity of the scattered light L2, the first data, and the second data, the concentration of the oil mist M floating in the gas G during a predetermined period is calculated.
  • the amount V2 of mist M is known.
  • the amount V1 of the oil mist M adhering to the detection surface 30 at the second timing is known.
  • T is the predetermined period
  • the time change rate of the amount of the oil mist M adhering to the detection surface 30 can be obtained from the equation represented by (V1-V2) / T. From this time change rate and the second data shown in FIG. 11, the concentration of the oil mist M floating in the gas G during a predetermined period is known.
  • the input unit 14 is a device for inputting commands (commands), data, and the like from the outside to the oil mist detection device 1d, and is, for example, a touch panel or a keyboard.
  • the output unit 15 is a device for outputting the command and data input from the input unit 14 and the concentration of the oil mist M calculated by the control unit 13, for example, a display device of an LCD (liquid crystal display), For example, a printing apparatus such as a printer.
  • a display device of an LCD liquid crystal display
  • the concentration of the oil mist M can be measured.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1e according to the second embodiment.
  • the oil mist detection device 1e differs from the oil mist detection device 1d shown in FIG. 5 in the following points.
  • the detection unit 7 includes a two-dimensional image sensor that images the detection surface 30 and the scattered light L ⁇ b> 2 (FIG. 5) via the facing surface 33.
  • FIG. 13 is a block diagram showing a configuration of an oil mist detection device 1e according to the second embodiment.
  • the oil mist detection device 1e according to the second embodiment includes the configuration illustrated in FIG. 9 and further includes a second calculation unit 132.
  • the second calculation unit 132 is one of functional blocks included in the control unit 13.
  • the second calculation unit 132 is based on the detection surface 30 captured by the detection unit 7 including the two-dimensional image sensor and the two-dimensional image of the scattered light L2, and the number of oil mists M attached to the detection surface 30. And the size of each oil mist M is calculated.
  • FIG. 14 is an explanatory diagram for explaining an image of the detection surface 30 and the scattered light L2 captured by the detection unit 7.
  • a white region included in the image Im of the detection surface 30 indicates a portion where the scattered light L2 is generated, that is, a portion where the oil mist M is attached.
  • a region other than the white region is a black region. This is because the place where the oil mist detection device 1e is installed is a dark place.
  • the second calculation unit 132 calculates the number of oil mists M adhering to the detection surface 30 by performing a process of detecting a white area in the image Im and counting the detected number. Further, the second calculation unit 132 calculates the size of each oil mist M attached to the detection surface 30 by performing a process of calculating the area of each detected white region.
  • the intensity of the scattered light L2 detected by the light receiving unit 71 (FIGS. 1 to 5) of the first embodiment is the same, a relatively large number of oil mists M are attached to the detection surface 30 and are relatively large. A small number of oil mists M may adhere to the detection surface 30.
  • the oil mist M adhering to the detection surface 30 is large, there may be a problem (deterioration or failure) in the filtration filter (not shown) for removing the oil mist M.
  • the measurer can remove the oil mist M based on this. It can be determined whether there is a problem with the filter.
  • FIG. 15 is a schematic diagram illustrating an oil mist detection device 1f according to the third embodiment.
  • the oil mist detection device 1f will be described with respect to differences from the oil mist detection device 1d shown in FIG.
  • the oil mist detection device 1 f includes a blocking member 16 (shutter) that blocks the detection surface 30 from the gas G by covering the detection surface 30.
  • the blocking member 16 is a metal plate, a glass plate, or a plastic plate.
  • the blocking member 16 is slidably mounted along the inner wall of the pipe 100 so as to expose the detection surface 30. This sliding is realized by the moving mechanism 19 (FIG. 17).
  • FIG. 16 is a schematic diagram showing a state where the blocking member 16 is slid and the detection surface 30 is exposed.
  • FIG. 17 is a block diagram showing a configuration of an oil mist detection device 1f according to the third embodiment.
  • the oil mist detection device 1f according to the third embodiment includes the configuration illustrated in FIG. 9 and further includes a blocking member 16, a moving mechanism 19, and a blocking control unit 133.
  • the moving mechanism 19 moves the blocking member 16 along the inner wall of the pipe 100 (FIGS. 15 and 16). As a result, the detection surface 30 is covered by the blocking member 16, and the detection surface 30 is blocked from the gas G flowing through the pipe 100, and the detection surface 30 is not covered by the blocking member 16. Can be switched between the exposed state exposed in the gas G flowing through the pipe 100.
  • the moving mechanism 19 includes a linear motion mechanism that slides the rail and the blocking member 16 on the rail.
  • the moving mechanism 19 is not limited to the above configuration.
  • the moving mechanism 19 may include a shaft, a blocking member 16 fixed to the shaft, and a rotating mechanism that rotates the shaft.
  • the rotating mechanism rotates the shaft to move the blocking member 16 along the circumferential direction of the inner wall of the pipe 100, thereby switching between the blocking state and the exposed state.
  • the blocking member 16 can be rotated by a hinge attached to the end of the blocking member 16, and the blocking member 16 is in the exposed state in the upright state, and the blocking member 16 is in the tilted state. Put it in a state.
  • the blocking control unit 133 is one of functional blocks included in the control unit 13.
  • the blocking control unit 133 switches between the blocking state and the exposure state by controlling the moving mechanism 19. That is, when the detection unit 7 detects the scattered light L2 in order to measure the concentration of the oil mist M, the cutoff control unit 133 performs control so that the cutoff member 16 does not cover the detection surface 30, and the concentration of the oil mist M Therefore, when the detection unit 7 does not detect the scattered light L2, the blocking member 16 performs control to cover the detection surface 30.
  • the detection unit 7 detects it.
  • the intensity of the scattered light L2 is not increased. For this reason, the difference between the intensity of the scattered light L2 detected by the detection unit 7 at the first timing and the intensity of the scattered light L2 detected by the detection unit 7 at the second timing does not occur.
  • the concentration of the oil mist M cannot be measured using the data storage unit 130 and the first calculation unit 131. In order to be able to measure the concentration of the oil mist M, maintenance for removing the oil mist M adhering to the detection surface 30 is required.
  • the detection surface 30 when the concentration of the oil mist M is not measured, the detection surface 30 is covered with the blocking member 16. Therefore, according to the third embodiment, since the intensity of the scattered light L2 can be delayed, the number of maintenance can be reduced.
  • a plurality of oil mist detectors 1f may be attached to the pipe 100. According to this, among the plurality of oil mist detection devices 1f, first, the concentration of the oil mist M is measured using the first oil mist detection device 1f.
  • the shut-off control unit 133 performs control to cover the detection surface 30 with the shut-off member 16 in each of the plurality of oil mist detection devices 1f, and detects the concentration of the oil mist M using the first oil mist detection device 1f. At this time, control is performed so that the detection surface 30 of the first oil mist detection device 1 f is not covered with the blocking member 16.
  • the cutoff controller 133 When the intensity and the thickness of the oil mist M adhering to the detection surface 30 of the first oil mist detection device 1f are increased and the intensity of the scattered light L2 is saturated, the cutoff controller 133 next The concentration of oil mist M is measured using the oil mist detection device 1f. Similarly, when the intensity of the scattered light L2 is saturated by increasing the area and thickness of the oil mist M adhering to the detection surface 30 of the n-th oil mist detection device 1f, the cutoff controller 133 next In addition, the concentration of the oil mist M is measured using the (n + 1) th oil mist detection device 1f.
  • the oil mist M adhering to the detection surface 30 is removed until all of the plurality of oil mist detection devices 1f become unusable. Since maintenance is not required, maintenance intervals can be extended.
  • FIG. 18 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1g according to the fourth embodiment.
  • the oil mist detection device 1g will be described with respect to differences from the oil mist detection device 1f shown in FIG.
  • the oil mist detection device 1g includes a sensor 17 that measures the concentration of the oil mist M floating in the gas G flowing through the pipe 100.
  • the sensor 17 is held at the center of the vertical cross section of the pipe 100 by a holding member 18 attached to the inner wall of the pipe 100.
  • the sensor 17 is, for example, a dust sensor capable of measuring PM2.5 class dust.
  • the dust sensor is a sensor that can measure the concentration of dust and smoke particles (for example, cigarette smoke) in the air, and the concentration of oil mist M in the gas G is measured by the dust sensor.
  • FIG. 19 is a schematic diagram showing the configuration of the sensor 17.
  • the sensor 17 includes a light source unit 170 and a light receiving unit 171.
  • the light source unit 170 includes, for example, a diode that emits infrared light.
  • the light receiving unit 171 is, for example, a phototransistor.
  • the light receiving unit 171 is disposed at a position where the infrared light emitted from the light source unit 170 is not directly received, and receives light reflected by the infrared light emitted from the light source unit 170.
  • FIG. 20 is a block diagram showing a configuration of an oil mist detection device 1g according to the fourth embodiment.
  • the oil mist detection device 1g according to the fourth embodiment includes the configuration illustrated in FIG. 17, and further includes the sensor 17 and the switching control unit 134.
  • the switching control unit 134 changes the means for measuring the concentration of the oil mist M from the sensor 17 to the detection unit 7, Switching to the combination of the data storage unit 130 and the first calculation unit 131, the concentration of the oil mist M calculated using the combination of the detection unit 7, the data storage unit 130 and the first calculation unit 131 is equal to or higher than the first value. Is greater than the predetermined second value, the means for measuring the concentration of the oil mist M is switched from the combination of the detection unit 7, the data storage unit 130, and the first calculation unit 131 to the sensor 17.
  • the measurement of the concentration of the oil mist M using the combination of the detection unit 7, the data storage unit 130, and the first calculation unit 131 uses the oil mist M attached to the detection surface 30. For this reason, as described in the third embodiment, when the area and thickness of the oil mist M adhering to the detection surface 30 increases, the concentration of the oil mist M cannot be measured, and the oil adhering to the detection surface 30 Maintenance to remove mist M is required.
  • the concentration of the oil mist M is high, the time required for the area and thickness of the oil mist M adhering to the detection surface 30 to increase is short. Accordingly, when the concentration of the oil mist M is not measured, even if the detection surface 30 is covered with the blocking member 16, if the concentration of the oil mist M is high, the area and thickness of the oil mist M adhering to the detection surface 30 is increased. It takes a short time to grow.
  • the concentration of the oil mist M is measured using the sensor 17. To do.
  • the concentration of the oil mist M is relatively low and cannot be measured using the sensor 17 (in other words, when the concentration of the oil mist M is smaller than the first value)
  • the detection unit 7 The concentration of the oil mist M is measured using a combination of the data storage unit 130 and the first calculation unit 131.
  • the oil mist detection device 1g uses the sensor 17 to measure the concentration of the oil mist M.
  • the oil mist detection device 1g uses the detection unit 7, the data storage unit 130, and the first calculation unit 131 to determine the concentration of the oil mist M. taking measurement.
  • the concentration of the oil mist M measured using the detection unit 7, the data storage unit 130, and the first calculation unit 131 is high during the operation of the compressor, the oil mist detection device 1 g Switch to Mist M concentration measurement.
  • FIG. 21 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1h according to the fifth embodiment.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a state where the oil mist M is attached to the detection surface 30 in the oil mist detection device 1h shown in FIG.
  • the oil mist detection device 1h differs from the oil mist detection device 1a shown in FIG. 1 in the following points.
  • the light source unit 5 receives light from the light emitting element 50 and light from the light emitting element 50, and generates polarized light that is linearly polarized in the parallel direction D1 (an example of a predetermined direction) with respect to the paper surface of FIGS. Plate 51 (an example of a first polarizing member).
  • the light source unit 5 emits the linearly polarized light generated by the polarizing plate 51 as light L ⁇ b> 1 directed to the back surface 12.
  • the light emitting element 50 is, for example, an LED that emits ultraviolet light.
  • the polarizing plate 51 is a transmissive polarizing plate that transmits linearly polarized light in the parallel direction D1 with respect to the paper surfaces of FIGS. 21 and 22 among the light from the light emitting element 50.
  • the detection unit 7 includes a polarizing plate 72 (an example of a second polarizing member) that blocks the linearly polarized light from the light emitted from the back surface 12, and a light receiving unit that receives the scattered light L ⁇ b> 2 that has passed through the polarizing plate 72. 71.
  • a polarizing plate 72 an example of a second polarizing member
  • the polarizing plate 72 is a transmissive polarizing plate that transmits linearly polarized light in the vertical direction D2 with respect to the paper surface of FIGS. Therefore, the polarizing plate 72 prevents the linearly polarized light in the parallel direction D1 from being transmitted.
  • the polarizing plate 51 is a polarizing plate that transmits linearly polarized light in the vertical direction D2
  • the polarizing plate 72 is a polarizing plate that transmits linearly polarized light in the parallel direction D1.
  • the linearly polarized light is changed to elliptically polarized light.
  • the elliptically polarized light is transmitted through the polarizing plate 72.
  • the polarizing plate 72 is a polarizing plate that transmits s-polarized light
  • the polarizing plate 51 is a polarizing plate that transmits s-polarized light
  • the polarizing plate 72 is a polarizing plate that transmits p-polarized light.
  • the detection surface 30 is defined as a boundary surface, and a plane including the normal of the detection surface 30 and the light L1 (incident light) emitted from the light source unit 5 is defined as an incident surface (not shown).
  • the p-polarized light is linearly polarized light that vibrates in parallel with the incident surface on the incident surface.
  • the s-polarized light is linearly polarized light that vibrates in a direction perpendicular to the incident surface.
  • the linearly polarized light in a predetermined direction is reflected as it is when reflected at a portion of the detection surface 30 where the oil mist M is not attached (that is, reflected in a state in which the predetermined direction is maintained). ) Therefore, this linearly polarized light cannot pass through the polarizing plate 72.
  • the linearly polarized light in a predetermined direction is reflected at a portion of the detection surface 30 where the oil mist M adheres, the linearly polarized light is not maintained and becomes scattered light L2. Since the scattered light L ⁇ b> 2 includes polarized light having various vibration directions, a part of the scattered light L ⁇ b> 2 incident on the polarizing plate 72 can pass through the polarizing plate 72.
  • the light receiving unit 71 does not receive the linearly polarized light (linearly polarized light in a predetermined direction) reflected by the detection surface 30, and does not receive the scattered light L2. Only light can be selectively received.
  • the light receiving unit 71 can selectively receive the scattered light L2, so that the linearly polarized light reflected by the detection surface 30 is reflected. It will not be affected.
  • the fifth embodiment includes a first modification and a second modification.
  • FIG. 23 is a schematic diagram illustrating an oil mist detection device 1 i according to a first modification of the fifth embodiment.
  • the oil mist detection device 1i is different from the oil mist detection device 1h shown in FIGS. 21 and 22 as follows.
  • the back surface 12 of the transparent member 3 has a facing surface 33 that connects the first inclined surface 31 and the second inclined surface 32 and faces the detection surface 30.
  • the side surface of the transparent member 3 defined by the detection surface 30, the first inclined surface 31, the opposing surface 33, and the second inclined surface 32 has a trapezoidal shape.
  • the facing surface 33 is formed by cutting a part of the back surface 12 of the transparent member 3 in parallel with the detection surface 30. Therefore, according to the oil mist detection device 1i, the transparent member 3 can be reduced in size and weight.
  • FIG. 24 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1j according to a second modification of the fifth embodiment.
  • the oil mist detection device 1j uses the transparent member 3 shown in FIG. For this reason, according to the oil mist detection device 1j, the light L1 that has entered the transparent member 3 is repeatedly reflected by the detection surface 30 and the facing surface 33 a plurality of times, as in the oil mist detection device 1d shown in FIG. Therefore, the amount of scattered light L2 generated can be increased.
  • Oil mist detection devices 1h to 1j are arranged in a pipe serving as a gas flow path in which oil mist M is floating. This will be described using the oil mist detection device 1j shown in FIG. 24 as an example.
  • FIG. 25 is a schematic diagram illustrating an example of a state in which the oil mist detection device 1 j is attached to the pipe 100.
  • FIG. 25 is the same as FIG. 6 except that the oil mist detection device 1d shown in FIG. 6 is replaced with the oil mist detection device 1j, and a description thereof will be omitted.
  • FIG. 26 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1k according to the sixth embodiment.
  • FIG. 27 is a schematic diagram showing a state where the oil mist M is attached to the detection surface 30 in the oil mist detection device 1k shown in FIG.
  • the oil mist detection device 1k is different from the oil mist detection device 1a shown in FIG. 1 in the following points.
  • the light source unit 5 includes a light emitting element 50 and a diaphragm unit 52.
  • the light emitting element 50 is, for example, an LED that emits ultraviolet light.
  • the diaphragm unit 52 has a function of narrowing light from the light emitting element 50.
  • the oil mist detection device 1k includes an optical system 8 including a lens 80 and a lens 81.
  • the lens 80 is disposed between the diaphragm unit 52 and the first inclined surface 31, and converts the light L1 that has passed through the diaphragm unit 52 into parallel light. This parallel light is reflected by the detection surface 30.
  • the lens 81 is disposed between the second inclined surface 32 and the detection unit 7 and condenses the parallel light reflected by the detection surface 30.
  • the optical system 8 has a function of collecting the light emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12 and reflected by the detection surface 30.
  • the detection unit 7 includes a light receiving unit 71 and a light shielding plate 73.
  • the light shielding plate 73 (an example of a light shielding member) is disposed on the optical axis of the lens 81 and between the lens 81 and the light receiving unit 71. Of the surfaces of the light shielding plate 73, the surface facing the lens 81 side is the light shielding surface 73a.
  • the focal point of the optical system 8 is located on the light shielding surface 73a. Therefore, the optical system 8 forms the light source image of the light source unit 5 on the light shielding surface 73a.
  • the light receiving unit 71 includes a light receiving surface 71 a disposed on the optical axis of the lens 81.
  • the light receiving unit 71 is positioned behind the light shielding surface 73a when viewed from the traveling direction of the light emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12, reflected by the detection surface 30, and collected by the optical system 8.
  • the area of the light receiving surface 71a is larger than the area of the light shielding surface 73a.
  • the light receiving surface 71 a has an area capable of receiving light transmitted through the lens 81. Therefore, the light receiving surface 71a can receive the scattered light L2 that is not shielded by the light shielding surface 73a out of the scattered light L2 that has passed through the lens 81.
  • the light shielding surface 73a Since the light shielding surface 73a has a role of preventing the light source image from reaching the light receiving surface 71a, the area of the light shielding surface 73a is larger than the area of the light source image. As described above, the light shielding surface 73 a has a role of shielding light emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12, reflected by the detection surface 30, and collected by the optical system 8. The light source image may be formed in front of or behind the light blocking surface 73a. The light shielding surface 73a needs to have a size that shields all the light L1 reflected by the detection surface 30 in a state where the oil mist M is not attached to the detection surface 30.
  • the light emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12, reflected by the detection surface 30, and condensed by the optical system 8 is The light is blocked by the light blocking surface 73a and is not received by the light receiving surface 71a. Since the light receiving surface 71a has a larger area than the light shielding surface 73a and the scattered light L2 is generated in various directions, a part of the scattered light L2 passes through the optical system 8 and is received by the light receiving surface 71a. Can do. Therefore, the light receiving surface 71a selectively receives only the scattered light L2 without receiving the light emitted from the light source unit 5 toward the back surface 12, reflected by the detection surface 30, and collected by the optical system 8. it can.
  • FIG. 28 is a schematic diagram illustrating an oil mist detection device 1m according to a first modification of the sixth embodiment.
  • FIG. 28 is the same as FIG. 27 except that the transparent member 3 shown in FIG. 27 is replaced with the transparent member 3 shown in FIG.
  • the effect of the transparent member 3 shown in FIG. 23 has already been described in the description of FIG.
  • FIG. 29 is a schematic diagram showing an oil mist detection device 1n according to a second modification of the sixth embodiment.
  • the oil mist detection device 1n uses the transparent member 3 shown in FIG. Therefore, according to the oil mist detection device 1n, the light L1 that has entered the transparent member 3 is repeatedly reflected by the detection surface 30 and the opposing surface 33 a plurality of times, as in the oil mist detection device 1d shown in FIG. Therefore, the amount of scattered light L2 generated can be increased.
  • FIG. 30 is a schematic diagram illustrating an example of a state in which the oil mist detection device 1n is attached to the pipe 100.
  • FIG. 30 is the same as FIG. 6 except that the oil mist detection device 1d shown in FIG. 6 is replaced with the oil mist detection device 1n, and a description thereof will be omitted.
  • the oil mist detection devices 1h, 1i, 1j, 1k, 1m, and 1n according to the fifth and sixth embodiments also measure the oil mist concentration described in the first embodiment (FIGS. 8 to 11), Control for covering and non-covering the detection surface 30 by the blocking member 16 described in the third embodiment (FIGS. 15 to 17) and switching control described in the fourth embodiment (FIGS. 18 to 20) can be applied. That is, the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit 7 shown in FIGS. 9, 17, and 20 are replaced with the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit of the oil mist detection devices 1 h, 1 i, 1 j, 1 k, 1 m, 1 n. It can be replaced with part 7.
  • the imaging by the two-dimensional image sensor described in the second embodiment can also be applied to the oil mist detection devices 1h, 1i, 1k, and 1m according to the fifth and sixth embodiments. That is, the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit 7 shown in FIG. 13 can be replaced with the transparent member 3, the light source unit 5, and the detection unit 7 of the oil mist detection devices 1h, 1i, 1k, and 1m.
  • positioned the two-dimensional image sensor 74 instead of the light-receiving part 71 is shown in FIG.
  • the second inclined surface 32 is a surface from which the light L1 reflected once by the detection surface 30 goes out of the transparent member 3.
  • the two-dimensional image sensor 74 images the detection surface 30 and the scattered light L2 through the second inclined surface 32.
  • the second inclined surface 32 is a surface from which the light L1 reflected a plurality of times by the detection surface 30 exits from the transparent member 3.
  • FIG. 12 shows a case where the light L1 emitted from the light source unit 5 is reflected by the detection surface 30 a plurality of times, similarly to FIGS. 24 and 29.
  • two oil mists M exist in the optical path of light L1.
  • the oil mist M when the oil mist M is irradiated with ultraviolet rays, it often emits fluorescence, depending on the type of oil.
  • the oil mist detection devices 1h, 1i, 1j, 1k, 1m, and 1n when the light L1 emitted from the light source unit 5 is ultraviolet light, there is a possibility that scattered fluorescent light L2 is generated. Is expensive.
  • the oil mist detection device includes a transparent member having a transparent detection surface arranged in a gas in which oil mist is floating, and the transparent member when the detection surface is a front surface of the transparent member.
  • the light incident on the transparent member from the back surface of the light source unit emits light toward the back surface at an angle reflected by the detection surface, and the light emitted from the light source unit toward the back surface, And a detector that detects scattered light from the light emitted from the back surface while being reflected by the detection surface.
  • the oil mist detection device does not detect oil mist floating in the gas, but detects oil mist adhering to the detection surface.
  • oil mist is floating in the gas
  • the amount of oil mist adhering to the detection surface increases as time passes. For this reason, even if the amount of oil mist floating in the gas is extremely small and the particle size of the oil mist is extremely small, the oil mist can be detected.
  • a data storage unit that preliminarily stores second data indicating the relationship between the time change rate of the amount of mist and the concentration of oil mist floating in the gas, and is detected by the detection unit at a first timing.
  • a first calculating unit that calculates the concentration of oil mist floating in the gas during the predetermined period.
  • the concentration of oil mist floating in the gas can be calculated.
  • the blocking member when the scattered light is detected by the blocking member that blocks the detection surface from the gas by covering the detection surface, the blocking member is controlled not to cover the detection surface.
  • a blocking control unit that controls the blocking member to cover the detection surface when the detection unit does not detect the scattered light.
  • the amount of oil mist adhering to the detection surface increases with time. As the area and thickness of the oil mist adhering to the detection surface increases, the intensity of the scattered light saturates. Therefore, even if the oil mist adheres to the detection surface, the intensity of the scattered light detected by the detection unit Does not grow. For this reason, the difference between the intensity of the scattered light detected by the detection unit at the first timing and the intensity of the scattered light detected by the detection unit at the second timing does not occur, so the detection unit, the data storage unit, and The concentration of oil mist cannot be measured using the first calculation unit. In order to be able to measure the concentration of oil mist, maintenance is required to remove the oil mist adhering to the detection surface.
  • the detection surface can be covered with the blocking member. Therefore, according to this configuration, since the scattered light intensity can be delayed, the number of maintenance operations can be reduced.
  • a sensor for measuring the concentration of oil mist floating in the gas and means for measuring the concentration when the concentration measured using the sensor is smaller than a first predetermined value.
  • the sensor is switched to the combination of the detection unit, the data storage unit, and the first calculation unit, and the concentration calculated using the combination is a predetermined second value that is equal to or greater than the first value.
  • a switching control unit for switching the means for measuring the concentration from the combination to the sensor when larger.
  • the concentration of oil mist is measured using a sensor.
  • the concentration of oil mist is relatively high (in other words, when the oil mist concentration is higher than the second value)
  • the concentration of oil mist is measured using a sensor.
  • the detection unit, the data storage unit, and The concentration of oil mist is measured using a combination of the first calculation units.
  • the light emitted from the light source unit is ultraviolet light, and the light emitted from the light source unit is applied to the oil mist adhering to the detection surface, whereby the scattered light of the fluorescence is emitted.
  • the back surface of the transparent member is a surface on which light emitted from the light source unit toward the back surface enters the transparent member, and the first inclined surface has an inclination with respect to the detection surface.
  • An opposing surface that is parallel to the detection surface, and a surface on which light reflected by the detection surface exits from the transparent member, and a second inclined surface that is inclined with respect to the detection surface; The detection unit detects the scattered light that has emerged from the facing surface.
  • the light reflected by the detection surface goes out of the transparent member from the second inclined surface, so that the detection unit does not receive the influence of the light reflected by the detection surface and emits scattered light. Can be detected.
  • the light that has entered the transparent member from the first inclined surface is repeatedly reflected a plurality of times on the detection surface and the opposing surface, and is then out of the transparent member from the second inclined surface. Get out.
  • the light entering the transparent member is repeatedly reflected a plurality of times on the detection surface and the opposing surface, so that the amount of scattered light generated can be increased. For this reason, even when the amount of oil mist adhering to the detection surface is very small, the oil mist can be detected. Therefore, according to this configuration, the sensitivity of the oil mist detection device can be improved.
  • the transparent member has a recess formed on the back surface, the bottom surface of which is the opposite surface.
  • the distance between the detection surface and the opposing surface can be shortened, so that the number of reflections repeated between the detection surface and the opposing surface can be increased, and the amount of scattered light generated can be increased.
  • the detection unit includes a two-dimensional image sensor that images the detection surface and the scattered light through the facing surface, and the oil mist detection device is further imaged by the two-dimensional image sensor. And a second calculation unit that calculates the number of oil mists attached to the detection surface and the size of each oil mist based on the detection surface and the two-dimensional image of the scattered light.
  • the light source unit includes a light emitting element, and a first polarizing member that receives light from the light emitting element and generates linearly polarized light in a predetermined direction, and the first polarizing member
  • the linearly polarized light generated in step (2) is emitted as light directed toward the back surface
  • the detection unit includes a second polarizing member that blocks the linearly polarized light out of the light emitted from the back surface, and the first And a light receiving unit that receives the scattered light transmitted through the two polarizing members.
  • the linearly polarized light in a predetermined direction is reflected as it is when reflected at a portion of the detection surface where oil mist is not attached (that is, reflected in a state in which the predetermined direction is maintained). . Therefore, this linearly polarized light cannot pass through the second polarizing member.
  • the linearly polarized light in a predetermined direction is reflected at a portion of the detection surface where the oil mist is attached, the linearly polarized light is not maintained and becomes scattered light. Since the scattered light includes polarized light having various vibration directions, a part of the scattered light incident on the second polarizing member can pass through the second polarizing member.
  • the light receiving unit can selectively receive only the scattered light without receiving the linearly polarized light (linearly polarized light in a predetermined direction) reflected by the detection surface.
  • the optical system further includes an optical system that collects light emitted from the light source unit toward the back surface and reflected by the detection surface, and the detection unit transmits the light collected by the optical system.
  • a light-shielding member having a light-shielding surface for shielding light, and a light-receiving surface having an area larger than the area of the light-shielding surface, and is located behind the light-shielding surface when viewed from the traveling direction of the light condensed by the optical system.
  • a light receiving unit that receives the scattered light that has passed through the optical system by the light receiving surface.
  • the light emitted from the light source part toward the back, reflected by the detection surface, and collected by the optical system is shielded by the light shielding surface, and thus is not received by the light receiving surface. Since the light receiving surface has a larger area than the light blocking surface and scattered light is generated in various directions, a part of the scattered light can pass through the optical system and be received by the light receiving surface. Therefore, according to this configuration, the light receiving unit can selectively receive only the scattered light without receiving the light emitted from the light source unit toward the back surface and reflected by the detection surface.
  • the optical system forms a light source image of the light source unit on the light shielding surface.
  • This configuration is when the focal point of the optical system is located on the light shielding surface.
  • the area of the light shielding surface can be reduced as compared with the case where the light source image is not formed on the light shielding surface. Therefore, according to this configuration, the amount of scattered light that can be received by the light receiving unit can be increased.
  • the light emitted from the light source unit is ultraviolet light, and the light emitted from the light source unit is applied to the oil mist adhering to the detection surface, whereby the scattered light of the fluorescence is emitted. appear.
  • This configuration is when the scattered light becomes fluorescent.
  • the back surface of the transparent member is a surface on which light emitted from the light source unit toward the back surface enters the transparent member, and the first inclined surface has an inclination with respect to the detection surface.
  • An opposing surface that is parallel to the detection surface, and a surface on which light reflected by the detection surface exits from the transparent member, and a second inclined surface that is inclined with respect to the detection surface; The detection unit detects the scattered light that has come out of the second inclined surface.
  • the light reflected from the detection surface comes out from the second inclined surface, but the light receiving unit can selectively receive the scattered light, so that it is not affected by the light reflected from the detection surface.
  • the light that has entered the transparent member from the first inclined surface is repeatedly reflected a plurality of times on the detection surface and the opposing surface, and is then out of the transparent member from the second inclined surface. Get out.
  • the light entering the transparent member is repeatedly reflected a plurality of times on the detection surface and the opposing surface, so that the amount of scattered light generated can be increased. For this reason, even when the amount of oil mist adhering to the detection surface is very small, the oil mist can be detected. Therefore, according to this configuration, the sensitivity of the oil mist detection device can be improved.
  • the transparent member has a recess formed on the back surface, the bottom surface of which is the opposite surface.
  • the distance between the detection surface and the opposing surface can be shortened, so that the number of reflections repeated between the detection surface and the opposing surface can be increased, and the amount of scattered light generated can be increased.
  • the back surface of the transparent member is a surface on which light emitted from the light source unit toward the back surface enters the transparent member, and the first inclined surface has an inclination with respect to the detection surface.
  • a light that is reflected once by the detection surface is a surface that goes out of the transparent member, and has a second inclined surface that is inclined with respect to the detection surface.
  • the oil mist detection apparatus further includes a two-dimensional image sensor that images the detection surface and the scattered light via an inclined surface, and the oil mist detection device further includes two detection surfaces and two scattered light images captured by the two-dimensional image sensor.
  • a second calculation unit is provided that calculates the number of oil mists adhering to the detection surface and the size of each oil mist based on the three-dimensional image.
  • the light source unit emits light toward the back surface at an angle at which light incident on the transparent member from the back surface is totally reflected by the detection surface.
  • the detection unit detects scattered light generated by irradiating the oil mist attached to the detection surface with the light from the light source unit, and generates a signal indicating the oil mist attached to the detection surface.

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Abstract

　オイルミスト検出装置（１ａ）は、オイルミスト（Ｍ）が浮遊している気体（Ｇ）中に配置される透明な検出面（３０）を有する透明部材（３）と、検出面（３０）を透明部材（３）の正面（１１）としたとき、透明部材（３）の背面（１２）から透明部材（３）に入射した光（Ｌ１）が、検出面（３０）で反射される角度で、背面（１２）に向けて光（Ｌ１）を出射する光源部（５）と、光源部（５）から背面（１２）に向けて出射された光（Ｌ１）が、検出面（３０）で反射されている状態で、背面（１２）から出てきた光の中から、散乱光（Ｌ２）を検出する検出部（７）と、を備える。

Description

オイルミスト検出装置
　本発明は、例えば、油冷式（給油式）の圧縮機に適用できるオイルミスト検出装置に関する。
　油冷式（給油式）の圧縮機によって生成された圧縮気体には、オイルミストが不可避的に含まれる。オイルミストは、濾過フィルタによって圧縮気体から除去する処理がされる。しかし、圧縮気体からオイルミストを完全に除去することはできず、また、濾過フィルタが劣化すると圧縮気体から除去できるオイルミストの量が少なくなる。圧縮気体から見れば、オイルミストは不純物なので、圧縮気体に含まれるオイルミストの量が管理される必要がある。例えば、医療用の圧縮空気のように、オイルミストの量が厳しく管理されている場合がある。
　オイルミスト量の測定は、ＪＩＳ(Japanese Industrial Standards)のＢ８３９２－２で規定されているろ紙を用いる方法が一般的である。この方法について簡単に説明する。この方法は、所定の仕様のろ紙によって圧縮気体を濾過し、溶媒によってろ紙に捕集されたオイルミストを抽出し、分光分析によって溶媒中に含まれるオイルミストの濃度を測定し、測定された濃度をオイルミストの量に換算する。この方法によれば、オイルミストの量を正確に測定できるが、圧縮気体をサンプリングする工程等があり、測定に時間を要するので、オイルミスト量をリアルタイムに測定できない。
　そこで、オイルミスト量をリアルタイムに測定できる装置が提案されている。この装置は、基本光を所定の検出領域に照射し、その検出領域に存在するオイルミストに基本光が当たって生じる反射／散乱光の強度を測定することにより、オイルミストの濃度を検出する（例えば、特許文献１参照）。
　オイルミストを除去する濾過フィルタの性能が向上することにより、オイルミストを除去する処理がされた後の圧縮気体に含まれるオイルミストの量は極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径は極めて小さい。このため、上記特許文献１に記載のオイルミスト検出装置のように、気体中に浮遊するオイルミストに光を照射して測定するタイプの場合、オイルミストを検出できないおそれがある。
特許第３９５７６３９号公報（段落００１９）
　本発明は、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出できるオイルミスト検出装置を提供することを目的とする。
　本発明に係るオイルミスト検出装置は、オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備える。
　本発明によれば、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出できる。
　上記並びにその他の本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
本発明の第１実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図１に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。 第１実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第１実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の第１例を示す模式図である。 同第２例を示す模式図である。 配管を流れる気体に検出面が接触することを開始してから経過した時間（経過時間）と、検出面に付着しているオイルミストの量（検出量）との関係の具体例を示すグラフである。 第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。 散乱光の強度と検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータを説明する説明図である。 時間変化率とオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを説明する説明図である。 第２実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第２実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。 第２実施形態に係るオイルミスト検出装置に備えられる第１の検出部によって撮像された検出面及び散乱光の画像を説明する説明図である。 第３実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図１５に示す状態から、遮断部材がスライド移動され、検出面が露出している状態を示す模式図である。 第３実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。 第４実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第４実施形態に係るオイルミスト検出装置に備えられるセンサーの構成を示す模式図である。 第４実施形態に係るオイルミスト検出装置の構成を示すブロック図である。 第５実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図２１に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。 第５実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第５実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図２４に示すオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。 第６実施形態に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図２６に示すオイルミスト検出装置において、検出面にオイルミストが付着している状態を示す模式図である。 第６実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 第６実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置を示す模式図である。 図２９に示すオイルミスト検出装置が、配管に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。 図２１に示すオイルミスト検出装置において、受光部の替わりに、二次元イメージセンサーを配置した状態を示す模式図である。
　以下、図面に基づいて、本発明の第１～第６実施形態を詳細に説明する。図１は、第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ａは、透明部材３、光源部５及び検出部７を備える。
　透明部材３は、検出面３０、第１の傾斜面３１及び第２の傾斜面３２を有する直角プリズムである。透明部材３は、ガラス、プラスチック等の透明な物質により構成される。透明部材３の強度を高くする観点からは、光学ガラスが好ましい。透明部材３の強度及び耐熱性の観点からは、石英ガラスが好ましい。透明部材３の強度、耐熱性及び耐腐食性の観点からは、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）が好ましい。
　検出面３０は、透明部材３の正面１１を構成する。検出面３０は、オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な面である。
　第１の傾斜面３１は、透明部材３の背面１２を構成し、検出面３０に対して傾き（例えば４５度）を有する。第１の傾斜面３１は、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、透明部材３に入る透明な面である。
　第２の傾斜面３２は、透明部材３の背面１２を構成し、検出面３０に対して傾き（例えば４５度）を有する。第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２との角度は、９０度である。第２の傾斜面３２は、第１の傾斜面３１から透明部材３に入り、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１が透明部材３から外に出る透明な面である。
　検出面３０、第１の傾斜面３１及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、直角二等辺三角形の形状を有する。
　光源部５は、検出面３０を透明部材３の正面１１としたとき、透明部材３の背面１２から透明部材３に入射した光Ｌ１が、検出面３０で反射される角度で、背面１２に向けて光Ｌ１を出射する。透明部材３の背面１２から透明部材３に入射した光Ｌ１が、検出面３０で全反射される場合で説明するが、これに限定されず、検出面３０で反射されればよい。光源部５は、発光部として、例えば、紫外線を発光するＬＥＤを含む。なお、光源部５から一本の光Ｌ１が出射されている表現をしているが、実際は、光源部５から光束が出射される。
　検出部７は、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、検出面３０で全反射されている状態で、その背面１２（第２の傾斜面３２）から出てきた光の中から、散乱光Ｌ２（図２）を検出する。
　一般に、光源部５からの光Ｌ１と散乱光Ｌ２とは、波長が同じである。光源部５からの光Ｌ１がオイルミストＭ（図２）に照射されることにより、蛍光の散乱光Ｌ２が発生する場合、光源部５からの光Ｌ１と散乱光Ｌ２とは、波長が異なる。紫外線をオイルミストＭに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発する場合が多い。第１実施形態では、散乱光Ｌ２が蛍光であるとして説明する。
　検出部７は、フィルタ７０と、フィルタ７０を通過した散乱光Ｌ２を受光する受光部７１と、を含む。オイルミスト検出装置１ａが設置されている箇所が暗所である場合、散乱光Ｌ２を通過させるが、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１を遮断する波長選択特性を有するフィルタ７０が用いられる。オイルミスト検出装置１ａが設置されている箇所が暗所でない場合、散乱光Ｌ２を通過させるが、検出面３０で全反射された、光源部５からの光Ｌ１を含む他の光を遮断する波長選択特性を有するフィルタ７０が用いられる。受光部７１は、例えば、フォトダイオードを含む。
　図２は、図１に示すオイルミスト検出装置１ａにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。
　図１及び図２に示すように、光源部５から出射された光Ｌ１は、検出面３０で全反射されて、受光部７１に向かう。しかし、その光Ｌ１は、フィルタ７０により遮断されるので、受光部７１まで到達しない。図２に示すように、検出面３０にオイルミストＭが付着している場合、光源部５から出射された光Ｌ１（言い換えれば、光束の一部）は、オイルミストＭに照射される。この照射により散乱光Ｌ２が発生する。散乱光Ｌ２の一部は、フィルタ７０を通過して受光部７１により受光される。
　検出面３０にオイルミストＭが付着している状態で、透明部材３の背面１２から透明部材３に光Ｌ１を入射させ、その光を検出面３０で反射させたとき、オイルミストＭによって散乱光Ｌ２が発生する。従って、光源部５から透明部材３の背面１２に向けて出射された光Ｌ１が、検出面３０で反射されている状態で、背面１２から出てきた光の中から散乱光Ｌ２が検出できれば、検出面３０にオイルミストＭが付着していることになる。
　第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａは、気体中に浮遊するオイルミストＭを検出するのではなく、検出面３０に付着しているオイルミストＭを検出する。気体中にオイルミストＭが浮遊しているとき、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量は、時間の経過に従って多くなる。このため、気体中に浮遊するオイルミストＭの量が極めて少なく、かつ、オイルミストＭの粒径が極めて小さくても、オイルミストＭを検出することができる。
　また、第１実施形態に係るオイルミスト検出装置１ａによれば、検出面３０で反射された、光源部５からの光Ｌ１が受光される位置に受光部７１を配置しても、フィルタ７０があるので、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。従って、受光部７１が配置される場所の自由度を高めることができる。
　第１実施形態には、第１～第３変形例がある。図３は、第１実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｂを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｂが、図１及び図２に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる点は、以下の通りである。
　透明部材３の背面１２は、第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２とをつなぎ、検出面３０と対向している対向面３３を有する。検出面３０、第１の傾斜面３１、対向面３３及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、台形形状を有する。
　検出部７は、対向面３３と対向して配置されている。受光部７１は、対向面３３から透明部材３の外に出る光を受光する。この光は、検出面３０で全反射された光Ｌ１でなく、散乱光Ｌ２の一部である。
　第１変形例は、オイルミスト検出装置１ｂが設置されている箇所が暗所でない場合を前提とする。フィルタ７０は、散乱光Ｌ２を通過させるが、散乱光Ｌ２以外の光を遮断する波長選択特性を有する。
　第１変形例によれば、検出面３０で全反射された光は、第２の傾斜面３２から透明部材３の外に出るので、検出部７は、検出面３０で全反射された光Ｌ１の影響を受けないで、散乱光Ｌ２を検出することができる。
　図４は、第１実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｃを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｃが、図３に示すオイルミスト検出装置１ｂと異なる点は、検出部７がフィルタ７０を備えていないことである。オイルミスト検出装置１ｃが設置されている箇所が暗所である場合、フィルタ７０は不要である。
　図５は、第１実施形態の第３変形例に係るオイルミスト検出装置１ｄを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｄが、図４に示すオイルミスト検出装置１ｃと異なる点は、以下の通りである。
　第１の傾斜面３１から透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されて、第２の傾斜面３２から透明部材３の外に出る。これを実現するために、検出面３０の面積、対向面３３の面積、及び、検出面３０と対向面３３との距離等が定められている。
　透明部材３には、対向面３３が底となる凹部が背面１２に形成されている。これにより、検出面３０と対向面３３との距離を短くできるので、検出面３０と対向面３３との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
　透明部材３は、検出面３０、第１の傾斜面３１、第２の傾斜面３２及び対向面３３に加えて、面３４～面３９を有する。面３４は、検出面３０に対して９０度の傾きを有しており、検出面３０と第１の傾斜面３１とをつなぐ。面３５は、検出面３０と対向しており、第１の傾斜面３１とつながっている。面３６は、対向面３３に対して９０度の傾きを有しており、対向面３３と面３５とをつなぐ。
　面３７は、検出面３０に対して９０度の傾きを有しており、検出面３０と第２の傾斜面３２とをつなぐ。面３８は、検出面３０と対向しており、第２の傾斜面３２とつながっている。面３９は、対向面３３に対して９０度の傾きを有しており、対向面３３と面３８とをつなぐ。
　第３変形例に係るオイルミスト検出装置１ｄによれば、透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。このため、検出面３０に付着しているオイルミストＭが微量な場合でもオイルミストＭを検出することができる。従って、第３変形例によれば、オイルミスト検出装置１ｄの感度を向上させることができる。
　オイルミスト検出装置１ａ～１ｄは、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄを例にして説明する。図６は、オイルミスト検出装置１ｄが、配管１００に取り付けられた状態の第１例を示す模式図である。図７は、同第２例を示す模式図である。
　オイルミスト検出装置１ｄは、検出面３０を外部に露出させた状態で、透明部材３、光源部５及び検出部７を収容するケーシング９を備える。配管１００の一部に配管１００を貫通する穴部１０１が形成されており、検出面３０が配管１００を通る気体Ｇと接触可能な状態で、オイルミスト検出装置１ｄが、穴部１０１に取り付けられている。図６では、気体Ｇが配管１００を流れる方向と平行に、検出面３０が配置されている。図７では、気体Ｇが配管１００を流れる方向に向いて検出面３０が配置されている。
　光源部５からの光Ｌ１（図５）は、検出面３０で全反射されなくても、反射されれば、散乱光Ｌ２（図５）を発生させることができる。しかしながら、光源部５からの光Ｌ１が検出面３０で全反射されることが好ましい理由を説明する。
　検出部７は、光源部５からの光Ｌ１が検出面３０に付着しているオイルミストＭに照射されることにより発生した散乱光Ｌ２を検出することにより、検出面３０に付着しているオイルミストＭを示す信号を生成する。
　しかし、光Ｌ１の一部が、透明部材３を通過し、検出面３０を介して、配管１００を流れる気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭに照射されると、それにより散乱光が生じる。この散乱光の一部が、透明部材３を介して検出部７で検出されると、上記信号に対してノイズとなる。光源部５からの光Ｌ１が検出面３０で全反射されると、そのノイズの発生を防ぐことができる。
　次に、オイルミストＭの濃度の測定について説明する。まず、本実施形態において、オイルミストＭの濃度が測定できる原理について説明する。本実施形態では、検出面３０に付着しているオイルミストＭが検出される。検出部７によって検出されるオイルミストＭの量は、オイルミストＭの濃度を測定する時点までに、検出面３０に付着したオイルミストＭの積算値となる。検出面３０に付着するオイルミストＭの単位時間あたりの増加量（検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率）は、単位時間において気体Ｇに含まれているオイルミストＭの粒子数に比例する。図８は、それらを基にして作成したグラフである。横軸は、配管１００を流れる気体Ｇに検出面３０が接触することを開始してから経過した時間（経過時間）を示す。縦軸は、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量（検出量）を示す。
　（ａ）で示す第１例では、時間が経過しても、オイルミストＭの検出量は、０（ほぼ０）である。これは、経過時間の全期間において、気体ＧにオイルミストＭが含まれていないことを示している。
　（ｂ）で示す第２例では、時間が経過するに従って、オイルミストＭの検出量が直線的に増加する。これは、経過時間の全期間において、気体Ｇに一定濃度のオイルミストＭが含まれていることを示している。
　（ｃ）で示す第３例では、経過時間の全期間において、オイルミストＭの検出量が増加している。第３例のグラフは、三つの傾きを有する。経過時間の全期間のうち、初期の期間において、グラフの傾きは、第２例のグラフの傾きより大きい。これは、初期の期間でのオイルミストＭの濃度が、第２例でのオイルミストＭの濃度より高いことを示す。途中の期間において、グラフの傾きは、第２例のグラフの傾きより小さい。これは、途中の期間でのオイルミストＭの濃度が、第２例でのオイルミストＭの濃度より低いことを示す。最後の期間において、グラフの傾きは、初期の期間の傾きより大きい。これは、最後の期間でのオイルミストＭの濃度が、初期の期間でのオイルミストＭの濃度より高いことを示す。
　検出面３０に付着しているオイルミストＭの量が、一定時間の間隔で測定される。今回の測定で検出されたオイルミストＭの量をＶ１、前回の測定で検出されたオイルミストＭの量をＶ２、一定時間をＴとする。（Ｖ１－Ｖ２）／Ｔで示す式で得られる値は、図８に示すグラフの傾き、すなわち、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率を表している。
　図８のグラフの傾きが大きいと、オイルミストＭの検出量の増加量が多く、グラフの傾きが小さいと、オイルミストＭの検出量の増加量が少なくなる。オイルミストＭの濃度が高いと、オイルミストＭの検出量の増加量が多く、オイルミストＭの濃度が低いと、オイルミストＭの検出量の増加量が少ないので、グラフの傾き（検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率）は、オイルミストＭの濃度と比例する関係にある。
　以上説明した原理を基にして、オイルミストＭの濃度を測定する構成について説明する。図９は、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄの構成を示すブロック図である。なお、オイルミスト検出装置１ａ，１ｂ，１ｃの構成を示すブロック図は、図９と同じである。オイルミスト検出装置１ｄは、上述したように、透明部材３、光源部５及び検出部７を備え、さらに、制御部１３、入力部１４及び出力部１５を備える。
　制御部１３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等により構成され、機能ブロックとして、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を備える。
　データ記憶部１３０は、第１のデータ及び第２のデータを予め記憶する。第１のデータ及び第２のデータについて説明する。
　検出面３０に付着しているオイルミストＭの量が増えると、散乱光Ｌ２の発生量が増えるので、検出部７によって検出される散乱光Ｌ２の強度が大きくなる。散乱光Ｌ２の強度と、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量との関係を示す第１のデータが、実験により収集される。図１０は、第１のデータを説明する説明図である。散乱光Ｌ２の強度が大きくなると、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量が増えていることが示されている。図１０中の数字は、便宜上の値であり、実験により収集された値ではない。
　上述したように、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率は、気体Ｇ中に浮遊しているオイルミストＭの濃度と比例する。時間変化率が大きいと、オイルミストＭの濃度が高くなる。時間変化率とオイルミストＭの濃度との関係を示す第２のデータが、実験により収集される。図１１は、第２のデータを説明する説明図である。時間変化率が大きくなると、オイルミストＭの濃度が高くなっていることが示されている。図１１中の数字は、便宜上の値であり、実験により収集された値ではない。
　第１の算出部１３１は、第１のタイミングで、検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第１のタイミングから所定期間が経過した第２のタイミングで、検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第１のデータと、第２のデータとを基にして、所定期間中に気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度を算出する。
　詳しく説明すると、第１のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と図１０に示す第１のデータとから、第１のタイミングの時点において、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量Ｖ２が分かる。同様に、第２のタイミングの時点において、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量Ｖ１が分かる。Ｔを上記所定期間とすると、（Ｖ１－Ｖ２）／Ｔで示す式から、検出面３０に付着しているオイルミストＭの量の時間変化率が求まる。この時間変化率と図１１に示す第２のデータとから所定期間中に気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度が分かる。
　入力部１４は、外部からコマンド（命令）やデータ等をオイルミスト検出装置１ｄに入力するための装置であり、例えば、タッチパネルやキーボード等である。
　出力部１５は、入力部１４から入力されたコマンドやデータ及び制御部１３で演算されたオイルミストＭの濃度等を出力するための装置であり、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の表示装置や、例えば、プリンタ等の印刷装置である。
　以上説明したように、第１実施形態によれば、気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの検出に加えて、オイルミストＭの濃度を測定することができる。
　第２実施形態を説明する。図１２は、第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｅは、以下の点で、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと異なる。検出部７は、対向面３３を介して、検出面３０及び散乱光Ｌ２（図５）を撮像する二次元イメージセンサーを含む。
　図１３は、第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅの構成を示すブロック図である。第２実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｅは、図９に示す構成を備え、さらに、第２の算出部１３２を備える。
　第２の算出部１３２は、制御部１３が有する機能ブロックの一つである。第２の算出部１３２は、二次元イメージセンサーを含む検出部７によって撮像された検出面３０及び散乱光Ｌ２の二次元画像を基にして、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数及び各オイルミストＭの大きさを算出する。
　図１４は、検出部７によって撮像された検出面３０及び散乱光Ｌ２の画像を説明する説明図である。検出面３０の画像Ｉｍ中に含まれる白領域は、散乱光Ｌ２が発生した箇所、すなわち、オイルミストＭが付着している箇所を示している。検出面３０の画像Ｉｍにおいて、白領域以外は黒領域である。これは、オイルミスト検出装置１ｅが設置されている場所が暗所だからである。
　第２の算出部１３２は、画像Ｉｍ中の白領域を検出する処理をし、検出した数をカウントすることにより、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数を算出する。また、第２の算出部１３２は、検出した白領域のそれぞれについて面積を計算する処理をすることにより、検出面３０に付着している各オイルミストＭの大きさを算出する。
　第１実施形態の受光部７１（図１～図５）で検出される散乱光Ｌ２の強度が同じでも　比較的小さい多数のオイルミストＭが検出面３０に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストＭが検出面３０に付着している場合とがある。検出面３０に付着しているオイルミストＭが大きいとき、オイルミストＭを除去するための濾過フィルタ（不図示）に問題（劣化や故障）がある可能性がある。第２実施形態によれば、検出面３０に付着しているオイルミストＭの数及び各オイルミストＭの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストＭを除去するための濾過フィルタに問題が生じているか判断することができる。
　なお、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いてオイルミストＭの濃度を測定する場合、検出部７に含まれる二次元イメージセンサーを用いて、散乱光Ｌ２の強度が測定される。
　第３実施形態を説明する。図１５は、第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｆは、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄと異なる点を説明する。
　オイルミスト検出装置１ｆは、検出面３０を覆うことによって、検出面３０を気体Ｇから遮断する遮断部材１６（シャッタ）を備える。遮断部材１６は、金属板、ガラス板又はプラスチック板である。遮断部材１６は、検出面３０を露出させるために、配管１００の内壁に沿ってスライド可能に、配管１００内に取り付けられている。このスライドは、移動機構１９（図１７）によって実現される。図１６は、遮断部材１６がスライド移動され、検出面３０が露出している状態を示す模式図である。
　図１７は、第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆの構成を示すブロック図である。第３実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｆは、図９に示す構成を備え、さらに、遮断部材１６、移動機構１９及び遮断制御部１３３を備える。
　移動機構１９は、遮断部材１６を配管１００（図１５、図１６）の内壁に沿って移動させる。これにより、検出面３０が遮断部材１６によって覆われて、検出面３０が配管１００を流れる気体Ｇから遮断された遮断状態と、検出面３０が遮断部材１６によって覆われないことにより、検出面３０が配管１００を流れる気体Ｇ中に露出している露出状態と、に切り換えることができる。
　移動機構１９は、レール及び遮断部材１６をレール上でスライドさせる直線運動機構を備える。移動機構１９は、上記構成に限定されない。例えば、軸と、軸に固定された遮断部材１６と、軸を回転させる回転機構と、を備える移動機構１９でもよい。この移動機構１９では、回転機構が軸を回転させて、遮断部材１６を配管１００の内壁の周方向に沿って移動させることにより、上記遮断状態と上記露出状態とを切り換る。また、例えば、遮断部材１６の端部に取り付けられた蝶番によって、遮断部材１６を回動可能にし、遮断部材１６を起立させた状態で上記露出状態にし、遮断部材１６を倒した状態で上記遮断状態にする。
　遮断制御部１３３は、制御部１３が有する機能ブロックの一つである。遮断制御部１３３は、移動機構１９を制御することにより、上記遮断状態と露出状態とに切り換える。すなわち、遮断制御部１３３は、オイルミストＭの濃度を測定するために、検出部７によって散乱光Ｌ２を検出するとき、遮断部材１６が検出面３０を覆わない制御をし、オイルミストＭの濃度を測定していので、検出部７によって散乱光Ｌ２を検出しないとき、遮断部材１６が検出面３０を覆う制御をする。
　第３実施形態の主な効果を説明する。気体Ｇ中にオイルミストＭが浮遊していれば、時間の経過に従って検出面３０に付着するオイルミストＭの量が多くなる。検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなると、散乱光Ｌ２の強度が飽和するので、それ以上、オイルミストＭが検出面３０に付着しても、検出部７によって検出される散乱光Ｌ２の強度が大きくならない。このため、第１のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度と、第２のタイミングで検出部７によって検出された散乱光Ｌ２の強度との差が生じなくなるので、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いたオイルミストＭの濃度の測定をすることができない。オイルミストＭの濃度を測定できるようにするためには、検出面３０に付着しているオイルミストＭを除去するメンテナンスが必要となる。
　第３実施形態では、オイルミストＭの濃度を測定しないとき、遮断部材１６で検出面３０を覆う。従って、第３実施形態によれば、散乱光Ｌ２の強度が飽和した状態になることを遅らせることができるので、メンテナンスの回数を少なくすることができる。
　一つのオイルミスト検出装置１ｆを配管１００に取り付けているが、複数のオイルミスト検出装置１ｆを配管１００に取り付けてもよい。これによれば、複数のオイルミスト検出装置１ｆのうち、まず、１番目のオイルミスト検出装置１ｆを使用してオイルミストＭの濃度を測定する。遮断制御部１３３は、複数のオイルミスト検出装置１ｆのそれぞれにおいて、検出面３０を遮断部材１６で覆う制御をし、１番目のオイルミスト検出装置１ｆを使用してオイルミストＭの濃度を検出するとき、１番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０が遮断部材１６で覆われない制御をする。遮断制御部１３３は、１番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなることにより、散乱光Ｌ２の強度が飽和すると、次に、２番目のオイルミスト検出装置１ｆを用いてオイルミストＭの濃度を測定する。以降同様に、遮断制御部１３３は、ｎ番目のオイルミスト検出装置１ｆの検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなることにより、散乱光Ｌ２の強度が飽和すると、次に、ｎ＋１番目のオイルミスト検出装置１ｆを用いてオイルミストＭの濃度を測定する。
　この変形例によれば、複数のオイルミスト検出装置１ｆを順番に使用することにより、複数のオイルミスト検出装置１ｆの全てが使用不能になるまで、検出面３０に付着したオイルミストＭを除去するメンテナンスが不要なので、メンテナンスの間隔を延ばすことができる。
　第４実施形態を説明する。図１８は、第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｇは、図１５に示すオイルミスト検出装置１ｆと異なる点を説明する。
　オイルミスト検出装置１ｇは、配管１００を流れる気体Ｇ中に浮遊するオイルミストＭの濃度を測定するセンサー１７を備える。センサー１７は、配管１００の内壁に取り付けられた保持部材１８によって、配管１００の縦断面の中央部で保持されている。
　センサー１７は、例えば、ＰＭ２．５クラスのホコリを測定できるホコリセンサーである。ホコリセンサーは、空気中のホコリ及び煙粒子（例えば、たばこの煙）の濃度を測定できるセンサーであり、ホコリセンサーによって、気体Ｇ中のオイルミストＭの濃度を測定する。
　図１９は、センサー１７の構成を示す模式図である。センサー１７は、光源部１７０及び受光部１７１を備える。
　光源部１７０は、例えば、赤外線を発光するダイオードを含む。受光部１７１は、例えば、フォトトランジスタである。受光部１７１は、光源部１７０が出射した赤外線を直接受光しない位置に配置され、光源部１７０が出射した赤外線によって反射された光を受光する。
　図２０は、第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇの構成を示すブロック図である。第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇは、図１７に示す構成を備え、さらに、センサー１７及び切換制御部１３４を備える。
　切換制御部１３４は、センサー１７を用いて測定されたオイルミストＭの濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、オイルミストＭの濃度を測定する手段を、センサー１７から検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせに切り替え、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いて算出されたオイルミストＭの濃度が第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、オイルミストＭの濃度を測定する手段を、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせからセンサー１７に切り替える。
　検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いたオイルミストＭの濃度の測定は、検出面３０に付着したオイルミストＭを利用する。このため、第３実施形態で説明したように、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなると、オイルミストＭの濃度が測定できくなり、検出面３０に付着したオイルミストＭを除去するメンテナンスが必要となる。
　オイルミストＭの濃度が高いと、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなるまでに要する時間が短い。従って、オイルミストＭの濃度を測定しないときに、検出面３０を遮断部材１６で覆っても、オイルミストＭの濃度が高ければ、検出面３０に付着しているオイルミストＭの面積及び厚みが大きくなるまでに要する時間は短い。
　そこで、第４実施形態では、オイルミストＭの濃度が比較的高いとき（言い換えれば、オイルミストＭの濃度が上記第２の値より大きいとき）、センサー１７を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。これに対して、オイルミストＭの濃度が比較的低く、センサー１７を用いて測定できないレベルの濃度のとき（言い換えれば、オイルミストＭの濃度が上記第１の値より小さいとき）、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１の組み合わせを用いてオイルミストＭの濃度が測定される。
　第４実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｇの使用態様としてはいくつか考えられる。圧縮機の運転直後において、オイルミストＭの濃度が高いとき、オイルミスト検出装置１ｇは、センサー１７を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。圧縮機の運転が安定し、オイルミストＭの濃度が低くなったとき、オイルミスト検出装置１ｇは、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いてオイルミストＭの濃度を測定する。また、圧縮機の運転中、検出部７、データ記憶部１３０及び第１の算出部１３１を用いて測定したオイルミストＭの濃度が高いとき、オイルミスト検出装置１ｇは、センサー１７を用いたオイルミストＭの濃度の測定に切り換える。
　第５実施形態を説明する。図２１は、第５実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈを示す模式図である。図２２は、図２１に示すオイルミスト検出装置１ｈにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｈは、以下の点で、図１に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる。
　光源部５は、発光素子５０と、発光素子５０からの光が入射し、図２１及び図２２の紙面に対して、平行方向Ｄ１（予め定められた方向の一例）の直線偏光を生成する偏光板５１（第１の偏光部材の一例）と、を含む。光源部５は、偏光板５１で生成された直線偏光を、背面１２に向けた光Ｌ１として出射する。
　発光素子５０は、例えば、紫外線を発光するＬＥＤである。偏光板５１は、発光素子５０からの光のうち、図２１及び図２２の紙面に対して、平行方向Ｄ１の直線偏光を透過する透過型偏光板である。
　検出部７は、背面１２から出てきた光の中から、上記直線偏光を遮光する偏光板７２（第２の偏光部材の一例）と、偏光板７２を透過した散乱光Ｌ２を受光する受光部７１と、を含む。
　偏光板７２は、図２１及び図２２の紙面に対して、垂直方向Ｄ２の直線偏光を透過させる透過型偏光板である。よって、偏光板７２は、平行方向Ｄ１の直線偏光が透過することを阻止する。なお、偏光板５１が垂直方向Ｄ２の直線偏光を透過させる偏光板の場合、偏光板７２は、平行方向Ｄ１の直線偏光を透過させる偏光板となる。
　直線偏光が検出面３０で反射される際に、直交する２つの偏光成分の位相変化が異なれば、直線偏光から楕円偏光に変化する。楕円偏光は、偏光板７２を透過する。これを防止するには、例えば、偏光板５１がｐ偏光を透過させる偏光板のとき、偏光板７２はｓ偏光を透過させる偏光板であり、偏光板５１がｓ偏光を透過させる偏光板のとき、偏光板７２はｐ偏光を透過させる偏光板である。このような組み合わせにすれば、直線偏光が検出面３０で反射される際に、直線偏光から楕円偏光に変化することを防止できる。
　ｓ偏光及びｐ偏光について簡単に説明する。検出面３０を境界面とし、検出面３０の法線、及び、光源部５が出射した光Ｌ１（入射光）を含む平面を入射面（不図示）とする。ｐ偏光とは、入射面において入射面と平行に振動する直線偏光である。ｓ偏光とは、入射面と垂直な方向に振動する直線偏光である。
　予め定められた方向の直線偏光は、検出面３０のうち、オイルミストＭが付着していない箇所で反射されたとき、そのまま反射される（すなわち、予め定められた方向を維持した状態で反射される）。よって、この直線偏光は、偏光板７２を透過できない。
　これに対して、予め定められた方向の直線偏光は、検出面３０のうち、オイルミストＭが付着している箇所で反射されたとき、直線偏光が維持されず、散乱光Ｌ２となる。散乱光Ｌ２には、振動方向が様々な方向の偏光が含まれるので、偏光板７２に入射した散乱光Ｌ２の一部は、偏光板７２を透過することができる。
　従って、第５実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈによれば、受光部７１は、検出面３０で反射された直線偏光（予め定められた方向の直線偏光）を受光せずに、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。
　第２の傾斜面３２からは、検出面３０で反射された直線偏光が出てくるが、受光部７１は、散乱光Ｌ２を選択的に受光できるので、検出面３０で反射された直線偏光の影響を受けることはない。
　第５実施形態には、第１変形例及び第２変形例がある。図２３は、第５実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｉを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｉが、図２１及び図２２に示すオイルミスト検出装置１ｈと異なる点は、以下の通りである。
　透明部材３の背面１２は、第１の傾斜面３１と第２の傾斜面３２とをつなぎ、検出面３０と対向している対向面３３を有する。検出面３０、第１の傾斜面３１、対向面３３及び第２の傾斜面３２により規定される、透明部材３の側面は、台形形状を有する。
　対向面３３は、検出面３０と平行に透明部材３の背面１２の一部を切断することにより形成される。従って、オイルミスト検出装置１ｉによれば、透明部材３を小型化及び軽量化できる。
　図２４は、第５実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｊを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｊは、透明部材３として、図５に示す透明部材３を用いる。このため、オイルミスト検出装置１ｊによれば、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと同様に、透明部材３に入った光Ｌ１が、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
　オイルミスト検出装置１ｈ～１ｊ（図２１～図２４）は、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図２４に示すオイルミスト検出装置１ｊを例にして説明する。図２５は、オイルミスト検出装置１ｊが、配管１００に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。図２５は、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄをオイルミスト検出装置１ｊに換えた以外は、図６と同様なので、説明を省略する。
　第６実施形態を説明する。図２６は、第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｋを示す模式図である。図２７は、図２６に示すオイルミスト検出装置１ｋにおいて、検出面３０にオイルミストＭが付着している状態を示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｋは、以下の点で、図１に示すオイルミスト検出装置１ａと異なる。
　光源部５は、発光素子５０及び絞り部５２を含む。発光素子５０は、例えば、紫外線を発光するＬＥＤである。絞り部５２は、発光素子５０からの光を絞る機能を有する。
　オイルミスト検出装置１ｋは、レンズ８０及びレンズ８１を含む光学系８を備える。レンズ８０は、絞り部５２と第１の傾斜面３１との間に配置され、絞り部５２を通過した光Ｌ１を平行光にする。この平行光が検出面３０で反射される光となる。レンズ８１は、第２の傾斜面３２と検出部７との間に配置され、検出面３０で反射された平行光を集光する。このように光学系８は、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射された光を集光する機能を有する。
　検出部７は、受光部７１及び遮光板７３を含む。遮光板７３（遮光部材の一例）は、レンズ８１の光軸上であって、レンズ８１と受光部７１との間に配置されている。遮光板７３の面のうち、レンズ８１側を向いている面が遮光面７３ａとなる。光学系８の焦点は、遮光面７３ａに位置する。よって、光学系８は、光源部５の光源像を遮光面７３ａに結像させる。
　受光部７１は、レンズ８１の光軸上に配置された受光面７１ａを含む。受光部７１は、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光の進行方向から見て、遮光面７３ａの後方に位置する。受光面７１ａの面積は、遮光面７３ａの面積より大きい。受光面７１ａは、レンズ８１を透過した光を受光できる面積を有する。従って、受光面７１ａは、レンズ８１を透過した散乱光Ｌ２のうち、遮光面７３ａで遮光されなかった散乱光Ｌ２を受光することができる。
　遮光面７３ａは、上記光源像が受光面７１ａに届かないようにする役割を有するので、遮光面７３ａの面積は、光源像の面積より大きい値となる。このように、遮光面７３ａは、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光を遮光する役割を有する。なお、光源像が遮光面７３ａの前方又は後方に形成される態様でもよい。遮光面７３ａは、検出面３０にオイルミストＭが付着していない状態において、検出面３０で反射された光Ｌ１を全て遮光する大きさを有する必要がある。
　以上説明したように、第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｋによれば、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光は、遮光面７３ａにより遮光され、受光面７１ａで受光されない。受光面７１ａは遮光面７３ａより大きい面積を有し、かつ、散乱光Ｌ２は様々な方向に発生するので、散乱光Ｌ２の一部は、光学系８を通過し、受光面７１ａで受光することができる。従って、受光面７１ａは、光源部５から背面１２に向けて出射され、検出面３０で反射され、光学系８で集光された光を受光せずに、散乱光Ｌ２のみを選択的に受光できる。
　第６実施形態には、第１変形例及び第２変形例がある。図２８は、第６実施形態の第１変形例に係るオイルミスト検出装置１ｍを示す模式図である。図２８は、図２７に示す透明部材３を、図２３に示す透明部材３に換えた以外は、図２７と同じである。図２３に示す透明部材３による効果は、図２３の説明で既に説明しているので省略する。
　図２９は、第６実施形態の第２変形例に係るオイルミスト検出装置１ｎを示す模式図である。オイルミスト検出装置１ｎは、透明部材３として、図５に示す透明部材３を用いる。このため、オイルミスト検出装置１ｎによれば、図５に示すオイルミスト検出装置１ｄと同様に、透明部材３に入った光Ｌ１は、検出面３０と対向面３３とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光Ｌ２の発生量を多くすることができる。
　オイルミスト検出装置１ｋ，１ｍ，１ｎ（図２６～図２９）は、オイルミストＭが浮遊している気体の流路となる配管に配置される。これを、図２９に示すオイルミスト検出装置１ｎを例にして説明する。図３０は、オイルミスト検出装置１ｎが、配管１００に取り付けられた状態の一例を示す模式図である。図３０は、図６に示すオイルミスト検出装置１ｄをオイルミスト検出装置１ｎに換えた以外は、図６と同様なので、説明を省略する。
　第５実施形態及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎにも、第１実施形態で説明したオイルミスト濃度の測定（図８～図１１）、第３実施形態で説明した遮断部材１６によって検出面３０を覆う制御及び覆わない制御（図１５～図１７）、並びに、第４実施形態で説明した切り替え制御（図１８～図２０）を適用できる。すなわち、図９、図１７及び図２０に示す透明部材３、光源部５及び検出部７を、オイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎの透明部材３、光源部５及び検出部７に置き換えることができる。
　第５実施形態及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｋ，１ｍにも、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像（図１２～図１４）を適用できる。すなわち、図１３に示す透明部材３、光源部５及び検出部７を、オイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｋ，１ｍの透明部材３、光源部５及び検出部７に置き換えることができる。例えば、図２１に示すオイルミスト検出装置１ｈにおいて、受光部７１の替わりに、二次元イメージセンサー７４を配置した状態を示す模式図を、図３１に示す。
　第２の傾斜面３２は、検出面３０で一回反射された光Ｌ１が透明部材３から外に出る面となる。二次元イメージセンサー７４は、第２の傾斜面３２を介して、検出面３０及び散乱光Ｌ２を撮像する。
　オイルミスト検出装置１ｊ（図２４）及びオイルミスト検出装置１ｎ（図２９）に、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像を適用できない理由を説明する。オイルミスト検出装置１ｊ，１ｎにおいて、第２の傾斜面３２は、検出面３０で複数回反射された光Ｌ１が透明部材３から外に出る面となる。図１２は、図２４及び図２９と同様に、光源部５から出射された光Ｌ１が検出面３０で複数回反射される場合を示している。図１２を参照して、光Ｌ１の光路に、２つのオイルミストＭが存在している。第２の傾斜面３２を介して、検出面３０を見た場合、これらのオイルミストＭの位置する方向が同じとなり、これらのオイルミストＭを区別できない。このため、オイルミスト検出装置１ｊ及びオイルミスト検出装置１ｎでは、第２実施形態で説明した二次元イメージセンサーによる撮像を適用できないのである。光源部５から出射された光Ｌ１が検出面３０で一回反射されて、透明部材３の外に出る構造の場合、このような問題が生じない。
　第１実施形態で説明したように、紫外線をオイルミストＭに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発することが多い。第５及び第６実施形態に係るオイルミスト検出装置１ｈ，１ｉ，１ｊ，１ｋ，１ｍ，１ｎにおいて、光源部５から出射される光Ｌ１が紫外線のとき、蛍光の散乱光Ｌ２が発生する可能性が高い。
（実施形態の纏め）
　本実施形態に係るオイルミスト検出装置は、オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備える。
　検出面にオイルミストが付着している状態で、透明部材の背面から透明部材に光を入射させ、その光を検出面で反射させたとき、オイルミストによって散乱光が発生する。従って、光源部から透明部材の背面に向けて出射された光が、検出面で反射されている状態で、背面から出てきた光の中から散乱光が検出できれば、検出面にオイルミストが付着していることになる。紫外線をオイルミストに照射すると、オイルの種類によるが、蛍光を発する場合が多い。この場合、散乱光は蛍光となる。
　本実施形態に係るオイルミスト検出装置は、気体中に浮遊するオイルミストを検出するのではなく、検出面に付着しているオイルミストを検出する。気体中にオイルミストが浮遊しているとき、検出面に付着しているオイルミストの量は、時間の経過に従って多くなる。このため、気体中に浮遊するオイルミストの量が極めて少なく、かつ、オイルミストの粒径が極めて小さくても、オイルミストを検出することができる。
　上記構成において、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と前記検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータ、及び、前記検出面に付着しているオイルミストの量の時間変化率と前記気体中に浮遊しているオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを予め記憶するデータ記憶部と、第１のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のタイミングから前記所定期間が経過した第２のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のデータと、前記第２のデータとを基にして、前記所定期間中に前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出する第１の算出部と、をさらに備える。
　この構成によれば、気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出することができる。
　上記構成において、前記検出面を覆うことによって、前記検出面を前記気体から遮断する遮断部材と、前記検出部によって前記散乱光を検出するとき、前記遮断部材が前記検出面を覆わない制御をし、前記検出部によって前記散乱光を検出しないとき、前記遮断部材が前記検出面を覆う制御をする遮断制御部と、をさらに備える。
　気体中にオイルミストが浮遊していれば、時間の経過に従って検出面に付着するオイルミストの量が多くなる。検出面に付着しているオイルミストの面積及び厚みが大きくなると、散乱光の強度が飽和するので、それ以上、オイルミストが検出面に付着しても、検出部によって検出される散乱光の強度が大きくならない。このため、第１のタイミングで検出部によって検出された散乱光の強度と、第２のタイミングで検出部によって検出された散乱光の強度との差が生じなくなるので、検出部、データ記憶部及び第１の算出部を用いたオイルミストの濃度の測定をすることができない。オイルミストの濃度を測定できるようにするためには、検出面に付着しているオイルミストを除去するメンテナンスが必要となる。
　この構成では、検出部、データ記憶部及び第１の算出部を用いたオイルミストの濃度の測定をしないとき、遮断部材で検出面を覆うことができる。従って、この構成によれば、散乱光の強度が飽和した状態になることを遅らせることができるので、メンテナンスの回数を少なくすることができる。
　上記構成において、前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を測定するセンサーと、前記センサーを用いて測定された前記濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、前記濃度を測定する手段を、前記センサーから前記検出部、前記データ記憶部及び前記第１の算出部の組み合わせに切り替え、前記組み合わせを用いて算出された前記濃度が前記第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、前記濃度を測定する手段を、前記組み合わせから前記センサーに切り替える切換制御部と、をさらに備える。
　この構成によれば、オイルミストの濃度が比較的高いとき（言い換えれば、オイルミスト濃度が上記第２の値より大きいとき）、センサーを用いてオイルミストの濃度を測定する。これに対して、オイルミストの濃度が比較的低く、センサーを用いて測定できないレベルの濃度のとき（言い換えれば、オイルミスト濃度が上記第１の値より小さいとき）、検出部、データ記憶部及び第１の算出部の組み合わせを用いてオイルミストの濃度を測定する。
　上記構成において、前記光源部から出射される光は、紫外線であり、前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生し、前記検出部は、前記散乱光を通過させ、前記光源部から出射された光を遮断する波長選択特性を有するフィルタと、前記フィルタを通過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む。
　この構成によれば、検出面で反射された、光源部からの光が受光される位置に受光部を配置しても、フィルタがあるので、散乱光のみを選択的に受光できる。従って、受光部が配置される場所の自由度を高めることができる。
　上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出する。
　この構成によれば、検出面で反射された光は、第２の傾斜面から透明部材の外に出るので、検出部は、検出面で反射された光の影響を受けないで、散乱光を検出することができる。
　上記構成において、前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る。
　この構成によれば、透明部材に入った光は、検出面と対向面とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光の発生量を多くすることができる。このため、検出面に付着しているオイルミストが微量な場合でもオイルミストを検出することができる。従って、この構成によれば、オイルミスト検出装置の感度を向上させることができる。
　上記構成において、前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている。
　この構成によれば、検出面と対向面との距離を短くできるので、検出面と対向面との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光の発生量を多くすることができる。
　上記構成において、前記検出部は、前記対向面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、前記オイルミスト検出装置は、さらに、前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える。
　散乱光の強度が同じでも　比較的小さい多数のオイルミストが検出面に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストが検出面に付着している場合とがある。検出面に付着しているオイルミストが大きいとき、オイルミストを除去するためのフィルタに問題（劣化や故障）がある可能性がある。この構成によれば、検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストを除去するためのフィルタに問題が生じているか判断することができる。
　上記構成において、前記光源部は、発光素子と、前記発光素子からの光が入射し、予め定められた方向の直線偏光を生成する第１の偏光部材と、を含み、前記第１の偏光部材で生成された前記直線偏光を、前記背面に向けた光として出射し、前記検出部は、前記背面から出てきた光の中から、前記直線偏光を遮光する第２の偏光部材と、前記第２の偏光部材を透過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む。
　予め定められた方向の直線偏光は、検出面のうち、オイルミストが付着していない箇所で反射されたとき、そのまま反射される（すなわち、予め定められた方向を維持した状態で反射される）。よって、この直線偏光は、第２の偏光部材を透過できない。
　これに対して、予め定められた方向の直線偏光は、検出面のうち、オイルミストが付着している箇所で反射されたとき、直線偏光が維持されず、散乱光となる。散乱光には、振動方向が様々な方向の偏光が含まれるので、第２の偏光部材に入射した散乱光の一部は、第２の偏光部材を透過することができる。
　従って、この構成によれば、受光部は、検出面で反射された直線偏光（予め定められた方向の直線偏光）を受光せずに、散乱光のみを選択的に受光できる。
　上記構成において、前記光源部から前記背面に向けて出射され、前記検出面で反射された光を集光する光学系をさらに備え、前記検出部は、前記光学系で集光された前記光を遮光する遮光面を有する遮光部材と、前記遮光面の面積より大きい面積の受光面を有し、前記光学系で集光された前記光の進行方向から見て、前記遮光面より後方に位置し、前記光学系を通過した前記散乱光を前記受光面で受光する受光部と、を含む。
　光源部から背面に向けて出射され、検出面で反射され、光学系で集光された光は、遮光面により遮光されるので、受光面で受光されない。受光面は遮光面より大きい面積を有し、かつ、散乱光は様々な方向に発生するので、散乱光の一部は光学系を通過し、受光面で受光することができる。従って、この構成によれば、受光部は、光源部から背面に向けて出射され、検出面で反射された光を受光せずに、散乱光のみを選択的に受光できる。
　上記構成において、前記光学系は、前記光源部の光源像を前記遮光面に結像させる。
　この構成は、光学系の焦点が遮光面に位置する場合である。この場合、遮光面上で光源像が結像されるので、遮光面上で光源像を結像させない場合と比べて、遮光面の面積を小さくできる。従って、この構成によれば、受光部で受光できる散乱光の光量を多くすることができる。
　上記構成において、前記光源部から出射される光は、紫外線であり、前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生する。
　この構成は、散乱光が蛍光となる場合である。
　上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記検出部は、前記第２の傾斜面から出てきた前記散乱光を検出する。
　第２の傾斜面からは、検出面で反射された光が出てくるが、受光部は、散乱光を選択的に受光できるので、検出面で反射された光の影響を受けることはない。
　上記構成において、前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る。
　この構成によれば、透明部材に入った光は、検出面と対向面とで複数回反射が繰り返されるので、散乱光の発生量を多くすることができる。このため、検出面に付着しているオイルミストが微量な場合でもオイルミストを検出することができる。従って、この構成によれば、オイルミスト検出装置の感度を向上させることができる。
　上記構成において、前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている。
　この構成によれば、検出面と対向面との距離を短くできるので、検出面と対向面との間で繰り返される反射の回数を多くでき、散乱光の発生量を多くすることができる。
　上記構成において、前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面で一回反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、前記受光部は、前記第２の傾斜面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、前記オイルミスト検出装置は、さらに、前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える。
　散乱光の強度が同じでも　比較的小さい多数のオイルミストが検出面に付着している場合と、比較的大きい少数のオイルミストが検出面に付着している場合とがある。検出面に付着しているオイルミストが大きいとき、オイルミストを除去するためのフィルタに問題（劣化や故障）がある可能性がある。この構成によれば、検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさが分かるので、これを基にして、測定者は、オイルミストを除去するためのフィルタに問題が生じているか判断することができる。
　なお、検出面で一回反射された光が、第２の傾斜面から透明部材の外に出る構造にした理由は、発明を実施するための形態の欄で説明する。
　上記構成において、前記光源部は、前記背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で全反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する。
　光源部からの光は、検出面で全反射されなくても、反射されれば、散乱光を発生させることができる。しかしながら、光源部からの光が検出面で全反射されることが好ましい理由を説明する。
　検出部は、光源部からの光が検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより発生した散乱光を検出し、検出面に付着しているオイルミストを示す信号を生成する。
　しかし、その光の一部が、透明部材を通過し、検出面を介して、気体中に浮遊するオイルミストに照射されると、それにより散乱光が生じる。この散乱光の一部が、透明部材を介して検出部で検出されると、上記信号に対してノイズとなる。光源部からの光が検出面で全反射されると、そのノイズの発生を防ぐことができる。
　この出願は、２０１５年２月１２日に出願された日本国特許出願特願２０１５－０２５５１４、及び、２０１５年７月１７日に出願された日本国特許出願特願２０１５－１４３３４０を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
　本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。

Claims (18)

  1. 　オイルミストが浮遊している気体中に配置される透明な検出面を有する透明部材と、
    　前記検出面を前記透明部材の正面としたとき、前記透明部材の背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する光源部と、
    　前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記検出面で反射されている状態で、前記背面から出てきた光の中から、散乱光を検出する検出部と、を備えるオイルミスト検出装置。
  2. 　前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と前記検出面に付着しているオイルミストの量との関係を示す第１のデータ、及び、前記検出面に付着しているオイルミストの量の時間変化率と前記気体中に浮遊しているオイルミストの濃度との関係を示す第２のデータを予め記憶するデータ記憶部と、
    　第１のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のタイミングから前記所定期間が経過した第２のタイミングで、前記検出部によって検出された前記散乱光の強度と、前記第１のデータと、前記第２のデータとを基にして、前記所定期間中に前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を算出する第１の算出部と、をさらに備える請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
  3. 　前記検出面を覆うことによって、前記検出面を前記気体から遮断する遮断部材と、
    　前記検出部によって前記散乱光を検出するとき、前記遮断部材が前記検出面を覆わない制御をし、前記検出部によって前記散乱光を検出しないとき、前記遮断部材が前記検出面を覆う制御をする遮断制御部と、をさらに備える請求項２に記載のオイルミスト検出装置。
  4. 　前記気体中に浮遊するオイルミストの濃度を測定するセンサーと、
    　前記センサーを用いて測定された前記濃度が予め定められた第１の値より小さいとき、前記濃度を測定する手段を、前記センサーから前記検出部、前記データ記憶部及び前記第１の算出部の組み合わせに切り替え、前記組み合わせを用いて算出された前記濃度が前記第１の値以上の予め定められた第２の値より大きいとき、前記濃度を測定する手段を、前記組み合わせから前記センサーに切り替える切換制御部と、をさらに備える請求項３に記載のオイルミスト検出装置。
  5. 　前記光源部から出射される光は、紫外線であり、
    　前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生し、
    　前記検出部は、前記散乱光を通過させ、前記光源部から出射された光を遮断する波長選択特性を有するフィルタと、前記フィルタを通過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
  6. 　前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
    　前記検出部は、前記対向面から出てきた前記散乱光を検出する請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
  7. 　前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項６に記載のオイルミスト検出装置。
  8. 　前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項７に記載のオイルミスト検出装置。
  9. 　前記検出部は、前記対向面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、
    　前記オイルミスト検出装置は、さらに、
    　前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える請求項６に記載のオイルミスト検出装置。
  10. 　前記光源部は、発光素子と、前記発光素子からの光が入射し、予め定められた方向の直線偏光を生成する第１の偏光部材と、を含み、前記第１の偏光部材で生成された前記直線偏光を、前記背面に向けた光として出射し、
    　前記検出部は、前記背面から出てきた光の中から、前記直線偏光を遮光する第２の偏光部材と、前記第２の偏光部材を透過した前記散乱光を受光する受光部と、を含む請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
  11. 　前記光源部から前記背面に向けて出射され、前記検出面で反射された光を集光する光学系をさらに備え、
    　前記検出部は、前記光学系で集光された前記光を遮光する遮光面を有する遮光部材と、前記遮光面の面積より大きい面積の受光面を有し、前記光学系で集光された前記光の進行方向から見て、前記遮光面より後方に位置し、前記光学系を通過した前記散乱光を前記受光面で受光する受光部と、を含む請求項１に記載のオイルミスト検出装置。
  12. 　前記光学系は、前記光源部の光源像を前記遮光面に結像させる請求項１１に記載のオイルミスト検出装置。
  13. 　前記光源部から出射される光は、紫外線であり、
    　前記光源部から出射された光が前記検出面に付着しているオイルミストに照射されることにより、蛍光の前記散乱光が発生する請求項１０に記載のオイルミスト検出装置。
  14. 　前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面と平行に対向している対向面と、前記検出面で反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
    　前記検出部は、前記第２の傾斜面から出てきた前記散乱光を検出する請求項１０に記載のオイルミスト検出装置。
  15. 　前記第１の傾斜面から前記透明部材に入った光は、前記検出面と前記対向面とで複数回反射が繰り返されて、前記第２の傾斜面から前記透明部材の外に出る請求項１４に記載のオイルミスト検出装置。
  16. 　前記透明部材には、前記対向面が底となる凹部が前記背面に形成されている請求項１５に記載のオイルミスト検出装置。
  17. 　前記透明部材の前記背面は、前記光源部から前記背面に向けて出射された光が、前記透明部材に入る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第１の傾斜面と、前記検出面で一回反射された光が前記透明部材から外に出る面となり、前記検出面に対して傾きを有する第２の傾斜面と、を含み、
    　前記受光部は、前記第２の傾斜面を介して、前記検出面及び前記散乱光を撮像する二次元イメージセンサーを含み、
    　前記オイルミスト検出装置は、さらに、
    　前記二次元イメージセンサーによって撮像された前記検出面及び前記散乱光の二次元画像を基にして、前記検出面に付着しているオイルミストの数及び各オイルミストの大きさを算出する第２の算出部を備える請求項１０に記載のオイルミスト検出装置。
  18. 　前記光源部は、前記背面から前記透明部材に入射した光が、前記検出面で全反射される角度で、前記背面に向けて光を出射する請求項１～１７のいずれか一項に記載のオイルミスト検出装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112818886A (zh) * 2021-02-09 2021-05-18 广州富港万嘉智能科技有限公司 飘尘检测方法、可读存储介质、飘尘检测机及智能食品机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0249889A (ja) * 1988-08-11 1990-02-20 Sekiyu Kodan 水中油・ガス漏洩検知装置
JPH08327528A (ja) * 1995-05-30 1996-12-13 Fujitsu Ltd 塵埃測定装置、塵埃測定方法、および成膜方法
JP2000241344A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Hamamatsu Photonics Kk 透明基板上の表面検査装置
JP2007163511A (ja) * 2007-02-07 2007-06-28 Denso Corp 雨滴検知装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0249889A (ja) * 1988-08-11 1990-02-20 Sekiyu Kodan 水中油・ガス漏洩検知装置
JPH08327528A (ja) * 1995-05-30 1996-12-13 Fujitsu Ltd 塵埃測定装置、塵埃測定方法、および成膜方法
JP2000241344A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Hamamatsu Photonics Kk 透明基板上の表面検査装置
JP2007163511A (ja) * 2007-02-07 2007-06-28 Denso Corp 雨滴検知装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112818886A (zh) * 2021-02-09 2021-05-18 广州富港万嘉智能科技有限公司 飘尘检测方法、可读存储介质、飘尘检测机及智能食品机

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