WO2016129052A1 - ひずみ測定方法、及びひずみ測定システム - Google Patents

ひずみ測定方法、及びひずみ測定システム Download PDF

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WO2016129052A1
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reflector
displacement meter
laser displacement
laser
light
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PCT/JP2015/053617
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English (en)
French (fr)
Inventor
秀雄 石丸
田中　誠
栄 今田
智昭 北村
Original Assignee
中国電力株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures

Definitions

  • the present invention relates to a strain measuring method and a strain measuring system.
  • Patent Document 1 as a method of detecting a crack in a longitudinal welded portion of a high-temperature pipe for a thermal power plant, the amount of strain fluctuation that varies with the pressure inside the tube in the vicinity of the longitudinal welded portion and on the same circumference as the portion concerned. Is measured with a strain gauge, the difference between the strain fluctuations at these two locations is obtained, and a plurality of sample tubes having the same shape as the high-temperature pipe to be inspected are prepared. Form cracks, measure the difference in strain variation in the pipe base near the longitudinal weld and the same circumference as the high temperature pipe to be inspected, and numerically analyze the presence or absence of cracks and crack depth.
  • an optical strain gauge that is attached to a measurement object, can reflect light, and includes a plurality of reflection surfaces whose angles change with strain deformation of the measurement object, and a plurality of reflection surfaces Angle change of multiple reflective surfaces by irradiating light, detecting reflected light reflected from multiple reflective surfaces, and comparing reflected light reflected from multiple reflective surfaces before and after strain deformation of the measurement object
  • An optical strain measurement device includes an angle measurement unit that measures the distortion and a strain calculation unit that calculates the strain of the measurement object from the angle change measured by the angle measurement unit.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and provides a strain measuring method and a strain measuring system capable of accurately measuring the strain generated on the surface of the object to be measured with a simple configuration. It is aimed.
  • One aspect of the present invention for achieving the above object is a method for measuring strain generated on the surface of the object to be measured, wherein the measurement object part on the surface of the object to be measured is sandwiched on the surface of the object to be measured.
  • 1 reflector and 2nd reflector are arrange
  • the amount of change in the first route which is the route, is measured by the first laser displacement meter, and the strain generated in the measurement target region is obtained based on the amount of change in the first route.
  • distortion generated on the surface of the object to be measured can be accurately measured with a simple configuration using a laser displacement meter and a reflector.
  • the laser displacement meter including the light emitting unit and the light receiving unit
  • the laser displacement meter can be installed in any structure in the building, the degree of freedom of installation location is high, and the measurement method of the present invention is applied to various environments. Can do.
  • Another aspect of the present invention is the measurement method described above, wherein the first reflector and the second reflector have the first laser beam, the first reflector, the second reflector, and the structure.
  • the third reflector, the second reflector, and the first reflector that are provided on the surface of the object are sequentially reflected by the first reflector and are arranged so as to enter the light receiving unit.
  • the first laser beam emitted from the light emitting unit of the first laser displacement meter toward the first reflector enter the light receiving unit through such a path
  • the first laser beam is reflected by the simple configuration. While being able to enter into the light-receiving part of a 1st laser displacement meter with the path
  • Another aspect of the present invention is the above-described measuring method, wherein the second laser displacement meter is attached to the structure so that the light emitting portion and the light receiving portion are both located in the vicinity of the light emitting portion of the first laser displacement meter.
  • a fourth reflector provided on the surface of the object to be measured in the vicinity of the first reflector with the second laser light emitted from the light emitting portion of the second laser displacement meter toward the object to be measured.
  • the amount of change in the second path which is the path of the second laser light, when reflected by the second laser displacement meter and incident on the light receiving portion of the second laser displacement meter is measured by the second laser displacement meter, and the first path Based on the amount of change and the amount of change in the second path, the strain generated in the measurement target region is obtained.
  • the strain generated in the measurement target portion is obtained by taking into account the amount of change in the second route among the amount of change in the first route (the amount not due to distortion), and thus the strain in the measurement target portion. Strain can be measured with high accuracy.
  • Another aspect of the present invention is the measurement method described above, wherein both the light emitting portion and the light receiving portion are in the vicinity of a portion where the first laser light reflected by the second reflector is incident on the structure.
  • a third laser displacement meter is provided in the structure so as to be positioned, and the third laser light emitted from the light emitting portion of the third laser displacement meter toward the object to be measured is placed near the second reflector.
  • the amount of change in the third path which is the path of the third laser light, when reflected by the fifth reflector provided on the surface of the object to be measured and incident on the light receiving portion of the third laser displacement meter, Measure with a third laser displacement meter, and determine the strain generated in the measurement target region based on the change amount of the first path and the change amount of the third path.
  • the strain generated in the measurement target portion is obtained by taking into account the amount of the change amount of the first route among the change amount of the first route (the amount not caused by the strain). Strain can be measured with high accuracy.
  • Another aspect of the present invention is the above-described measuring method, wherein the second laser displacement meter is attached to the structure so that the light emitting portion and the light receiving portion are both located in the vicinity of the light emitting portion of the first laser displacement meter. And the second laser light is reflected by a reflector provided on the surface of the object to be measured in the vicinity of the first reflector and is incident on the light receiving portion of the second laser displacement meter, The second laser light emitted from the light emitting part of the laser displacement meter toward the object to be measured is reflected by a fourth reflector provided on the surface of the object to be measured in the vicinity of the first reflector, and the first laser beam is reflected.
  • the amount of change in the second path which is the path of the second laser light when entering the light receiving part of the two laser displacement meter, is measured by the second laser displacement meter, and both the light emitting part and the light receiving part are The first laser beam reflected by the second reflector enters the structure.
  • a third laser displacement meter is provided in the structure so as to be positioned in the vicinity of the portion to be operated, and the third laser light emitted from the light emitting portion of the third laser displacement meter toward the object to be measured is reflected in the second reflection.
  • a third path which is a path of the third laser light when reflected by a fifth reflector provided on the surface of the object to be measured near the body and incident on the light receiving portion of the third laser displacement meter.
  • the amount of change is measured by the third laser displacement meter, and the strain generated in the measurement target portion is obtained based on the amount of change in the first route, the amount of change in the second route, and the amount of change in the third route. I will do it.
  • the strain generated in the measurement target part can be measured with high accuracy, so that the strain generated in the measurement target part can be measured with high accuracy.
  • the amount of change in the second route and the amount of change in the third route do not match It is possible to accurately measure the strain generated in the target site.
  • the reflective surface of the first reflector and the reflective surface of the second reflector have, for example, a structure in which a sapphire glass is coated on the surface of a mirror-finished metal film.
  • the reflecting surface of the third reflector is made of, for example, a metal plate or a ceramic plate.
  • the reflective surface of the third reflector has a structure in which, for example, a surface of a metal film that has been mirror-finished is coated with sapphire glass.
  • the reflection surface of the fourth reflector is made of, for example, a metal plate or a ceramic plate.
  • the reflective surface of the fourth reflector has a structure in which, for example, a surface of a metal film that has been subjected to mirror finishing is coated with sapphire glass.
  • the reflecting surface of the fifth reflector is made of, for example, a metal plate or a ceramic plate.
  • the reflecting surface of the fifth reflector has a structure in which, for example, a surface of a metal film that has been subjected to mirror finishing is coated with sapphire glass.
  • the object to be measured is, for example, a high-temperature pipe of a thermal power plant, and the structure is a part of a building in which the thermal power plant is accommodated.
  • distortion generated on the surface of the object to be measured can be accurately measured with a simple configuration.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a schematic configuration of a strain measurement system 1.
  • FIG. 2 is a configuration diagram of a laser displacement meter 100 shown as an example of a first laser displacement meter 10, a second laser displacement meter 20, and a third laser displacement meter 30.
  • FIG. It is a figure explaining the measurement principle of a laser displacement meter. It is a figure explaining the measuring method of distortion.
  • FIG. 1 shows a schematic configuration of a strain measurement system 1 described as an embodiment.
  • the strain measuring system 1 measures the strain generated on the surface of the object 2 to be measured, which becomes a high temperature at the time of measurement, such as a steel boiler reburning steam pipe (hereinafter also referred to as high temperature piping) of a thermal power plant.
  • high temperature piping steel boiler reburning steam pipe
  • strain generated on the pipe surface due to creep damage or the like is measured at any time during operation of the power generation facility.
  • the DUT 2 has a crack 3 that has occurred in the past and a weld 4 that is formed when the crack 3 is repaired.
  • the surface of the object to be measured 2 is covered with the heat insulating material 5, the heat insulating material 5 is removed and the surface of the object to be measured 2 is exposed in a partial region in the vicinity of the welded portion 4 which is a strain measurement target portion. I am letting.
  • the first reflector 12a and the second reflector 12b are arranged on the surface of the DUT 2 near the weld 4 with the weld 4 interposed therebetween.
  • Each of the first reflector 12a and the second reflector 12b has an inclined reflective surface on the + z side.
  • the first reflector 12a and the second reflector 12b are arranged with their respective reflecting surfaces facing each other.
  • the light emitting unit 11 and the light receiving unit 14 of the first laser displacement meter 10 are provided at a position on the surface of the DUT 2 that is a predetermined distance away from the first reflector 12a in the + z direction.
  • a third reflector 13 is provided on the surface of the DUT 2 at a position away from the second reflector 12b by a predetermined distance in the + z direction.
  • the first laser displacement meter 10 is fixed to a predetermined position of a building structure 6 (roof, beam, wall, etc.) in which a thermal power plant is accommodated, for example.
  • the first laser displacement meter 10, the first reflector 12a, the second reflector 12b, and the third reflector 13 constitute a first measurement system.
  • the first laser displacement meter 10 emits laser light (hereinafter referred to as first laser light) emitted from the light emitting unit 11 of the first laser displacement meter 10 toward the first reflector 12a.
  • the first reflector 12a is reflected toward the second reflector 12b, the second reflector 12b is incident on the third reflector 13, and after being reflected by the third reflector 13, the above path is reversed.
  • the amount of change in the path of the first laser beam (hereinafter referred to as the first path) when it is incident on the light receiving unit 14 of the first laser displacement meter 10 is measured.
  • the first laser displacement meter 10 can measure the amount of change in the first path by using reflected light (regular reflection component, diffuse reflection component) generated when the first laser beam is reflected from the surface of the structure 6.
  • reflected light regular reflection component, diffuse reflection component
  • the surface of the structure 6 may function as the reflecting surface of the third reflector 13.
  • a light emitting unit 21 and a light receiving unit 23 of the second laser displacement meter 20 are provided in the vicinity of the light emitting unit 11 of the first laser displacement meter 10.
  • the second laser displacement meter 20 is fixed to, for example, a building structure 6 (roof, beam, wall, etc.) in which a thermal power plant is accommodated.
  • a fourth reflector 22 is provided in the vicinity of the first reflector 12a on the surface of the DUT 2 with its reflecting surface directed in the + z direction.
  • the second laser displacement meter 20 and the fourth reflector 22 constitute a second measurement system.
  • the second laser displacement meter 20 emits laser light (hereinafter referred to as second laser light) emitted from the light emitting unit 21 of the second laser displacement meter 20 toward the fourth reflector 22.
  • the amount of change in the path of the second laser light (hereinafter referred to as the second path) when the fourth reflector 22 reflects the light toward the light receiving part 23 of the second laser displacement meter 20 and enters the light receiving part 23. Measure.
  • the second laser displacement meter 20 measures the amount of change in the second path using reflected light (regular reflection component, diffuse reflection component) generated when the second laser beam is reflected from the surface of the DUT 2.
  • reflected light regular reflection component, diffuse reflection component
  • the surface of the DUT 2 may function as the reflecting surface of the fourth reflector 22.
  • a light emitting unit 31 and a light receiving unit 33 of the third laser displacement meter 30 are provided in the vicinity of the third reflector 13.
  • the third laser displacement meter 30 is fixed to, for example, a building structure 6 (roof, beam, wall, etc.) in which a thermal power plant is accommodated.
  • a fifth reflector 32 is provided in the vicinity of the second reflector 12b on the surface of the object to be measured 2 with its reflecting surface directed in the + z direction.
  • the third laser displacement meter 30 and the fifth reflector 32 constitute a third measurement system.
  • the third laser displacement meter 30 emits laser light (hereinafter referred to as third laser light) emitted from the light emitting portion 31 of the third laser displacement meter 30 toward the fifth reflector 32.
  • the amount of change in the path of the third laser light (hereinafter referred to as the third path) when the light is reflected by the fifth reflector 32 toward the light receiving part 33 of the third laser displacement meter 30 and is incident on the light receiving part 33. Measure.
  • the third laser displacement meter 30 measures the amount of change in the third path using reflected light (regular reflection component, diffuse reflection component) generated when the third laser beam is reflected from the surface of the DUT 2.
  • reflected light regular reflection component, diffuse reflection component
  • the surface of the DUT 2 may function as the reflecting surface of the fifth reflector 32.
  • the first reflector 12a, the second reflector 12b, the fourth reflector 22, and the fifth reflector 32 have stable properties even when the side facing the DUT 2 is at a high temperature (about 600 ° C.). It is made of a material that has properties (not deformed or melted).
  • the reflecting surfaces of the first reflector 12a, the second reflector 12b, the fourth reflector 22, and the fifth reflector 32 are all made of a material that is difficult for water droplets or the like to adhere thereto.
  • the reflecting surfaces of the first reflector 12a and the second reflector 12b are made of, for example, a mirror-finished metal film (platinum film or the like), and the surface of the metal film has sapphire to prevent corrosion and dirt.
  • the reflective surfaces of the third reflector 13, the fourth reflector 22, and the fifth reflector 32 are made of, for example, a metal plate (SUS plate, platinum plate, etc.) or a ceramic plate. .
  • the laser displacement meter (the first laser displacement meter 20, the second laser displacement meter 20, the third laser displacement meter 30) is, for example, a time difference method laser displacement meter or a part of high-precision triangulation method laser displacement.
  • the reflecting surfaces of the third reflector 13, the fourth reflector 22, and the fifth reflector 32 are made of a mirror-finished metal film (platinum film or the like), and the surface of the metal film Further, it may be coated with sapphire glass or the like to prevent corrosion and dirt.
  • FIG. 2 shows an example of a laser displacement meter (first to third laser displacement meters 10, 20, 30) (hereinafter referred to as a laser displacement meter 100).
  • the laser displacement meter 100 includes a processor 111, an input device 112, an output device 113, a laser drive circuit 114, a light emitting element 115, a light receiving element 116, a displacement detection circuit 117, and an optical element 118.
  • the processor 111 is configured using, for example, a microcomputer, an MPU (Micro Processing Unit), a CPU (Central Processing Unit), and the like, and inputs information detected by the overall control of the laser displacement meter and the displacement detection circuit 117. Various arithmetic processes are performed.
  • the input device 112 is a user interface (such as operation buttons and a touch panel) that accepts various input operations on the laser displacement meter 100.
  • the output device 113 is a user interface (such as a liquid crystal panel) that outputs various measurement results.
  • the laser driving circuit 114 includes a circuit (ACC (Automatic Current Control) circuit, APC (Automatic Power Control) circuit, etc.) that generates a driving current for the light emitting element 115.
  • ACC Automatic Current Control
  • APC Automatic Power Control
  • the light emitting element 115 is a component of the light emitting units 11, 21, 23, and is configured using a semiconductor laser element (laser diode or the like).
  • the light receiving element 116 is a constituent element of the light receiving units 14, 23, and 33, and is configured using PSD (Position (Sensitive Detector), CMOS (Complementary metal Oxide Semi-conductor), or the like.
  • the displacement detection circuit 117 includes an amplifier circuit for a signal output from the light receiving device 116, and outputs information indicating the displacement of the DUT 2.
  • the optical element 118 includes, for example, a light projecting lens that condenses the laser light emitted from the light emitting element 115 and a light receiving lens that condenses the laser light incident on the light receiving element 116.
  • the measurement principle (triangular distance measuring method) of the laser displacement meter 100 will be described with reference to FIG.
  • the laser light emitted from the light emitting element 115 is condensed by the light projecting lens 118 and irradiated to the object 2 to be measured.
  • Laser light (regular reflection component or diffuse reflection component) reflected from the DUT 2 is collected by the light receiving lens 118 and forms a spot on the light receiving surface of the light receiving element 116. Since the spot moves when the DUT 2 moves, information indicating the displacement of the DUT 2 can be obtained by detecting the position of the spot.
  • the above measurement principle is only an example, and the laser displacement meter 100 may be based on another measurement principle.
  • the measurement by the first measurement system, the measurement by the second measurement system, and the measurement by the third measurement system are executed. It is done by carrying out.
  • the first path described above is reflected by the first reflector 12a and the second reflector 12b, which is reflected by the first reflector 12a of the laser beam emitted from the light emitting portion 11 of the first laser displacement meter 10 and incident on the first reflector 12a.
  • Is the sum ( L + d1 + d2) of the path L of the laser light incident on and the path d2 of the laser light reflected by the second reflector 12b and incident on the third reflector 13.
  • Route L 1st route-2nd route-3rd route ... Formula 1
  • the amount of change in the path L that is, the amount of strain generated on the surface of the DUT 2 can be obtained from the following equation.
  • Change amount of the route L change amount of the first route ⁇ change amount of the second route ⁇ change amount of the third route Equation 2
  • the influence of the change amount of the second route and the change amount of the third route can be removed from the change amount of the route L. For this reason, even when the distance (d1 ′ or d2 ′) between the DUT 2 and the structure 6 changes due to a change in temperature or the like, the amount of change in the path L can be accurately measured. . Accordingly, it is possible to accurately measure the amount of change in the distance between the first reflector 12a and the second reflector 12b, that is, the distortion generated in the measurement target portion.
  • the amount of change in the second route and the amount of change in the third route are measured separately as not necessarily matching.
  • the amount of change in the second route and the amount of change in the third route are measured.
  • the amount of change of the route L may be obtained based on one of the amount of change of the second route and the amount of change of the third route and the displacement of the first route. In that case, the route L may be obtained from the following equation 2 or equation 3 instead of equation 1.
  • Change amount of route L change amount of first route ⁇ 2 ⁇ (change amount of second route) Equation 3
  • Change amount of the route L change amount of the first route ⁇ 2 ⁇ (change amount of the third route) (4)
  • the strain generated on the surface of the object to be measured can be accurately measured with a simple configuration using the laser displacement meter and the reflector.
  • a laser displacement meter (including the light emitting unit and light receiving unit) is provided at a location away from the object to be measured, so even if the object to be measured is at a high temperature, it is not affected by heat, and laser displacement is performed at room temperature.
  • the strain can be measured with high accuracy.
  • the laser displacement meter including the light emitting unit and the light receiving unit
  • the installation location is highly flexible, and the strain measurement system 1 of the present embodiment has various environments. Can be applied to.
  • the above description is for facilitating understanding of the present invention, and does not limit the present invention.
  • the present invention can be changed and improved without departing from the spirit thereof, and the present invention includes equivalents thereof.
  • a laser displacement meter is used to measure the path change, but the path change may be measured using a laser distance meter.
  • 1 strain measurement system 2 object to be measured, 3 crack, 4 welded part, 5 heat insulating material, 6 structure, 10 first laser displacement meter, 11 light emitting part, 12a first reflector, 12b second reflector, 13th 3 reflectors, 14 light receiving parts, 20 second laser displacement meter, 21 light emitting part, 22 fourth reflector, 23 light receiving part, 30 third laser displacement meter, 31 light emitting part, 32 fifth reflector, 33 light receiving part

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

　被測定物２の表面の測定対象部位を挟んで、上記表面に第１反射体１２ａ及び第２反射体１２ｂを配置し、被測定物２の表面から所定距離離れた構造物６に第１レーザ変位計１０を設け、第１レーザ変位計１０の発光部１１から第１反射体１２ａに出射した第１レーザ光を、第１反射体１２ａと第２反射体１２ｂとを結ぶ経路を通過させて第１レーザ変位計１０の受光部１４に入射させた場合における第１行路の変化量を、第１レーザ変位計１０により測定し、構造物６に第２レーザ変位計２０を設け、第２レーザ変位計２０の発光部２１から被測定物２に向けて出射した第２レーザ光を被測定物２の表面又は当該表面に設けられた反射体２２で反射させて第２レーザ変位計の受光部２３に入射させた場合における第２行路の変化量を、第２レーザ変位計２０により測定し、第１行路の変化量と第２行路の変化量とに基づき、測定対象部位に生じるひずみを求める。

Description

ひずみ測定方法、及びひずみ測定システム
　この発明は、ひずみ測定方法、及びひずみ測定システムに関する。
　特許文献１には、火力発電プラント用高温配管の長手溶接部の亀裂を検出する方法として、長手溶接部近傍および当該個所と同一円周上の管母材に管内圧力にともない変化するひずみ変動量をひずみゲージで測定し、これら２箇所のひずみ変動量の差を求め、検査すべき高温配管と同じ形状のサンプル管を複数個用意し、これらサンプル管毎に長手溶接部近傍に深さの異なる亀裂を形成し、検査すべき高温配管と同様に長手溶接部近傍および当該個所と同一円周上の管母材における各ひずみ変動量の差を測定し、数値解析により亀裂の有無と亀裂の深さを算出し、高温配管におけるひずみ変動量を数値解析によって求めた亀裂の深さとひずみ変動量の差との関係と比較することにより高温配管の長手溶接部の亀裂の有無と深さを測定することが記載されている。
　特許文献２には、測定対象物に取り付けられ、光を反射可能であり且つ記測定対象物のひずみ変形に伴って角度が変化する複数の反射面を備える光学ひずみゲージと、複数の反射面に光を照射し、複数の反射面から反射された反射光を検出し、測定対象物のひずみ変形前後において複数の反射面から反射された反射光を比較することにより、複数の反射面の角度変化を測定する角度測定部と、角度測定部により測定された角度変化から、測定対象物のひずみを算出するひずみ算出部とを備えた光学的ひずみ測定装置が開示されている。
特開２００２－２８６４４４号公報 特開２０１１－１６３８９６号公報
　特許文献１に開示されているように、火力発電プラント用配管の亀裂の測定は、金属や半導体のひずみ量に応じた電気抵抗値の変化を利用したひずみゲージを用いて行われている。しかし火力発電プラントにおけるボイラ配管等の配管は６００℃以上の高温となるため、とくに実機運転中はひずみケージの出力が安定せず、十分な測定精度が得られないという課題があった。
　本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、被測定物の表面に生じたひずみを簡素な構成にて精度よく測定することが可能な、ひずみ測定方法、及びひずみ測定システムを提供することを目的としている。
　上記目的を達成するための本発明の一つは、被測定物の表面に生じるひずみの測定方法であって、被測定物の表面の測定対象部位を挟んで、前記被測定物の表面に第１反射体及び第２反射体を配置し、前記被測定物の表面から所定距離離れた構造物に第１レーザ変位計を設け、前記第１レーザ変位計の発光部から前記第１反射体に向けて出射した第１レーザ光を、前記第１反射体と前記第２反射体とを結ぶ経路を通過させて前記第１レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第１レーザ光の行路である第１行路の変化量を、前記第１レーザ変位計により測定し、前記第１行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求めることとする。
　本発明によれば、レーザ変位計と反射体とを用いた簡素な構成により、被測定物の表面に生じるひずみを精度よく測定することができる。またレーザ変位計（発光部及び受光部を含む）は被測定物から離れた場所に設けているので、被測定物が高温になる場合でも熱の影響を受けることがなく、常温下でレーザ変位計により精度よくひずみを測定することができる。またレーザ変位計（発光部及び受光部を含む）は建屋内の任意の構造物に設置することができるので、設置場所の自由度が高く、本発明の測定方法は様々な環境に適用することができる。
　本発明の他の一つは、上記測定方法であって、前記第１反射体及び前記第２反射体を、前記第１レーザ光が、前記第１反射体、前記第２反射体、前記構造物の表面に設けられた第３反射体、前記第２反射体、及び前記第１反射体で順次反射されて前記受光部に入射するように配置することとする。
　第１レーザ変位計の発光部から第１反射体に向けて出射した第１レーザ光をこのような経路で受光部に入射させることで、第１レーザ光を、簡素な構成にて第１反射体と第２反射体との間を通る経路で第１レーザ変位計の受光部に入射させることができるとともに、測定対象部位に生じるひずみを精度よく求めることができる。
　本発明の他の一つは、上記測定方法であって、その発光部及び受光部がいずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に第２レーザ変位計を設け、前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を、前記第２レーザ変位計により測定し、前記第１行路の変化量及び前記第２行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求めることとする。
　本発明によれば、第１行路の変化量のうち第２行路の変化量に起因する分（ひずみに起因しない分）を考慮して測定対象部位に生じるひずみを求めるので、測定対象部位に生じるひずみを精度よく測定することができる。
　本発明の他の一つは、上記測定方法であって、その発光部及び受光部がいずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に第３レーザ変位計を設け、前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を、前記第３レーザ変位計により測定し、前記第１行路の変化量、及び前記第３行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求めることとする。
　本発明によれば、第１行路の変化量のうち第３行路の変化量に起因する分（ひずみに起因しない分）を考慮して測定対象部位に生じるひずみを求めるので、測定対象部位に生じるひずみを精度よく測定することができる。
　本発明の他の一つは、上記測定方法であって、その発光部及び受光部がいずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に第２レーザ変位計を設け、前記第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍において前記被測定物の表面に設けられた反射体で反射されて前記第２レーザ変位計の受光部に入射し、前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を、前記第２レーザ変位計により測定し、その発光部及び受光部がいずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に第３レーザ変位計を設け、前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を、前記第３レーザ変位計により測定し、前記第１行路の変化量、前記第２行路の変化量、及び前記第３行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求めることとする。
　本発明によれば、第１行路の変化量のうち、第２行路の変化量に起因する分（ひずみに起因しない分）又は第３行路の変化量に起因する分（ひずみに起因しない分）を考慮して測定対象部位に生じるひずみを求めるので、測定対象部位に生じるひずみを精度よく測定することができ、とくに第２行路の変化量と第３行路の変化量が一致しない場合でも、測定対象部位に生じるひずみを精度よく測定することができる。
　尚、前記第１反射体の反射面及び前記第２反射体の反射面は、例えば、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する。
　また前記第３反射体の反射面は、例えば、金属板又はセラミックス板で構成されている。また前記第３反射体の反射面は、例えば、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する。
　また前記第４反射体の反射面は、例えば、金属板又はセラミックス板で構成されている。また前記第４反射体の反射面は、例えば、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する。
　また前記第５反射体の反射面は、例えば、金属板又はセラミックス板で構成されている。また前記第５反射体の反射面は、例えば、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する。
　また前記被測定物は、例えば、火力発電プラントの高温配管であり、前記構造物は、前記火力発電プラントが収容されている建屋の一部である。
　その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄、及び図面により明らかにされる。
　本発明によれば、被測定物の表面に生じたひずみを簡素な構成にて精度よく測定することができる。
ひずみ測定システム１の概略的な構成を示す図である。 第１レーザ変位計１０、第２レーザ変位計２０、及び第３レーザ変位計３０の一例として示すレーザ変位計１００の構成図である。 レーザ変位計の測定原理を説明する図である。 ひずみの測定方法を説明する図である。
　以下、本発明の一実施形態について図面とともに説明する。
　図１に一実施形態として説明するひずみ測定システム１の概略的な構成を示している。ひずみ測定システム１は、火力発電プラントの鋼製ボイラ再燃蒸気管等（以下、高温配管とも称する。）の、測定時に高温となる被測定物２の表面に生じるひずみを測定する。尚、火力発電プラントにおいては、発電設備の寿命延伸等を目的として、クリープ損傷等に起因して配管表面に生じるひずみの測定が発電設備の運転中に随時行われる。
　図１に示すように、被測定物２は、過去に生じた亀裂３並びに当該亀裂３の補修時に形成された溶接部４を有する。被測定物２の表面は保温材５によって被覆されているが、ひずみの測定対象部位である溶接部４の近傍の一部領域においては保温材５を除去して被測定物２の表面を露出させている。
　溶接部４近傍の被測定物２の表面には、溶接部４を挟んで第１反射体１２ａ及び第２反射体１２ｂが配置されている。第１反射体１２ａ及び第２反射体１２ｂは、いずれも＋ｚ側に斜面形状の反射面を有している。第１反射体１２ａ及び第２反射体１２ｂは、夫々の反射面を対向させて配置されている。
　被測定物２の表面の、第１反射体１２ａから＋ｚ方向に所定距離だけ離れた位置には、第１レーザ変位計１０の発光部１１及び受光部１４が設けられている。また被測定物２の表面の第２反射体１２ｂから＋ｚ方向に所定距離だけ離れた位置には、第３反射体１３が設けられている。第１レーザ変位計１０は、例えば、火力発電プラントが収容されている建屋の構造物６（屋根、梁、壁等）の所定位置に固定されている。
　第１レーザ変位計１０、第１反射体１２ａ、第２反射体１２ｂ、及び第３反射体１３は、第１測定系を構成している。第１測定系において、第１レーザ変位計１０は、第１レーザ変位計１０の発光部１１から第１反射体１２ａに向けて出射したレーザ光（以下、第１レーザ光と称する。）を、第１反射体１２ａで第２反射体１２ｂに向けて反射させ、第２反射体１２ｂで第３反射体１３に向けて入射させ、第３反射体１３で反射させた後、以上の経路を逆に辿って第１レーザ変位計１０の受光部１４に入射させた場合における第１レーザ光の行路（以下、第１行路と称する。）の変化量を測定する。
　尚、第１レーザ変位計１０が、第１レーザ光が構造物６の表面で反射する際に生じる反射光（正反射成分、拡散反射成分）を利用して第１行路の変化量を測定可能なタイプのものである場合には、構造物６の表面を第３反射体１３の反射面として機能させるようにしてもよい。
　同図に示すように、第１レーザ変位計１０の発光部１１の近傍には、第２レーザ変位計２０の発光部２１と受光部２３が設けられている。第２レーザ変位計２０は、例えば、火力発電プラントが収容されている建屋の構造物６（屋根、梁、壁等）に固定されている。また被測定物２の表面の第１反射体１２ａの近傍には、その反射面を＋ｚ方向に向けて第４反射体２２が設けられている。
　第２レーザ変位計２０及び第４反射体２２は、第２測定系を構成している。第２測定系において、第２レーザ変位計２０は、第２レーザ変位計２０の発光部２１から第４反射体２２に向けて出射したレーザ光（以下、第２レーザ光と称する。）を、第４反射体２２で第２レーザ変位計２０の受光部２３に向けて反射させて受光部２３に入射させた場合における第２レーザ光の行路（以下、第２行路と称する。）の変化量を測定する。
　尚、第２レーザ変位計２０が、第２レーザ光が被測定物２の表面で反射する際に生じる反射光（正反射成分、拡散反射成分）を利用して第２行路の変化量を測定可能なタイプのものである場合には、被測定物２の表面を第４反射体２２の反射面として機能させるようにしてもよい。
　同図に示すように、第３反射体１３の近傍には、第３レーザ変位計３０の発光部３１と受光部３３が設けられている。第３レーザ変位計３０は、例えば、火力発電プラントが収容されている建屋の構造物６（屋根、梁、壁等）に固定されている。また被測定物２の表面の第２反射体１２ｂの近傍には、その反射面を＋ｚ方向に向けて第５反射体３２が設けられている。
　第３レーザ変位計３０及び第５反射体３２は、第３測定系を構成している。第３測定系において、第３レーザ変位計３０は、第３レーザ変位計３０の発光部３１から第５反射体３２に向けて出射したレーザ光（以下、第３レーザ光と称する。）を、第５反射体３２で第３レーザ変位計３０の受光部３３に向けて反射させて受光部３３に入射させた場合における第３レーザ光の行路（以下、第３行路と称する。）の変化量を測定する。
　尚、第３レーザ変位計３０が、第３レーザ光が被測定物２の表面で反射する際に生じる反射光（正反射成分、拡散反射成分）を利用して第３行路の変化量を測定可能なタイプのものである場合には、被測定物２の表面を第５反射体３２の反射面として機能させるようにしてもよい。
　第１反射体１２ａ、第２反射体１２ｂ、第４反射体２２、及び第５反射体３２は、いずれも被測定物２に面する側が、高温下（６００℃程度）でも性状が安定している（変形や溶融等しない）性質の素材を用いて構成されている。また、第１反射体１２ａ、第２反射体１２ｂ、第４反射体２２、及び第５反射体３２の反射面は、いずれも水滴等が付着しにくい性質の素材を用いて構成されている。第１反射体１２ａ、第２反射体１２ｂの反射面は、例えば、鏡面加工が施された金属膜（白金膜等）で構成され、金属膜の表面には、腐食や汚れ防止のためにサファイアガラス等でコーティング処理され、第３反射体１３、第４反射体２２、及び第５反射体３２の反射面は、例えば、金属板（ＳＵＳ板，白金板等）やセラミックス板で構成されている。尚、レーザ変位計（第１レーザ変位計２０、第２レーザ変位計２０、第３レーザ変位計３０）として、例えば、時間差方式のレーザ変位計や一部の高精度な三角測量方式のレーザ変位計を用いる場合は、第３反射体１３、第４反射体２２、及び第５反射体３２の反射面は、鏡面加工が施された金属膜（白金膜等）で構成され、金属膜の表面に腐食や汚れ防止のためにサファイアガラス等でコーティング処理されていてもよい。
　図２に、レーザ変位計（第１乃至第３レーザ変位計１０，２０，３０）の一例（以下、レーザ変位計１００と称する。）を示している。同図に示すように、レーザ変位計１００は、プロセッサ１１１、入力装置１１２、出力装置１１３、レーザ駆動回路１１４、発光素子１１５、受光素子１１６、変位検出回路１１７、及び光学素子１１８を備える。
　プロセッサ１１１は、例えば、マイクロコンピュータ、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等を用いて構成され、レーザ変位計の統括的な制御や、変位検出回路１１７により検出される情報を入力とした各種演算処理等を行う。入力装置１１２は、レーザ変位計１００に対する各種入力操作を受け付けるユーザインタフェース（操作ボタンやタッチパネル等）である。出力装置１１３は、各種測定結果を出力するユーザインタフェース（液晶パネル等）である。
　レーザ駆動回路１１４は、発光素子１１５の駆動電流を生成する回路（ＡＣＣ（Automatic Current Control)回路、ＡＰＣ（Automatic Power Control）回路等）を備える。
　発光素子１１５は、発光部１１，２１，２３の構成要素であり、半導体レーザ素子（レーザダイオード等）を用いて構成されている。受光素子１１６は、受光部１４，２３，３３の構成要素であり、ＰＳＤ（Position Sensitive Detector）やＣＭＯＳ（Complementary metal Oxide Semi-conductor）等を用いて構成されている。
　変位検出回路１１７は、受光装置１１６が出力する信号の増幅回路等を含み、被測定物２の変位を示す情報を出力する。光学素子１１８は、例えば、発光素子１１５から出射したレーザ光を集光する投光レンズや受光素子１１６に入射するレーザ光を集光する受光レンズを含む。
　図３とともにレーザ変位計１００の測定原理（三角測距方式）について説明する。同図において、発光素子１１５から出射したレーザ光は、投光レンズ１１８で集光されて被測定物２に照射される。被測定物２から反射されたレーザ光（正反射成分又は拡散反射成分）は、受光レンズ１１８で集光されて受光素子１１６の受光面にスポットを結ぶ。そして被測定物２が移動すると上記スポットも移動するので、上記スポットの位置を検出することで被測定物２の変位を示す情報を得ることができる。尚、以上の測定原理は一例に過ぎず、レーザ変位計１００として他の測定原理によるものを採用してもよい。
　続いて、図４とともに、以上の構成からなるひずみ測定システム１によって行われる、測定対象部位に生じるひずみの具体的な測定方法について説明する。
　被測定物２の表面に生じるひずみの測定は、第１測定系による測定、第２測定系による測定、及び第３測定系による測定を実行し、これらの測定結果に基づき、以下に説明する演算を実施することにより行われる。
　まず前述した第１行路は、第１レーザ変位計１０の発光部１１から出射して第１反射体１２ａに入射するレーザ光の行路ｄ１、第１反射体１２ａで反射して第２反射体１２ｂに入射するレーザ光の行路Ｌ、及び第２反射体１２ｂで反射して第３反射体１３に入射するレーザ光の行路ｄ２の総和（＝Ｌ＋ｄ１＋ｄ２）である。
　また前述した第２行路は、第２レーザ変位計２０の発光部２１から出射して第４反射体２２に入射し、第４反射体で反射して第２レーザ変位計２０の受光部２３に入射するまでのレーザ光の行路（＝ｄ１’）である。
　また前述した第３行路は、第３レーザ変位計３０の発光部３１から出射して第５反射体３２に入射し、第５反射体３２で反射して第３レーザ変位計３０の受光部３３に入射するレーザ光の行路（＝ｄ２’）である。
　ここで前述したように、第２レーザ変位計２０の発光部２１及び受光部２３は第１レーザ変位計１０の発光部１１の近傍に設けられており、また第４反射体２２は第１反射体１２ａ近傍に設けられているので、ｄ１’＝ｄ１と見なすことができる。また前述したように、第３レーザ変位計３０の発光部３１及び受光部３３は第３反射体１３の近傍に設けられており、また第５反射体３２は、第２反射体１２ｂの近傍に設けられているので、ｄ２’＝ｄ２と見なすことができる。従って、第１反射体１２ａで反射して第２反射体１２ｂに入射するまでのレーザ光の行路Ｌは次式から求めることができる。
　行路Ｌ＝第１行路－第２行路－第３行路　・・・式１
　従って、行路Ｌの変化量、即ち被測定物２の表面に生じるひずみの量は次式から求めることができる。
　行路Ｌの変化量
　　　＝第１行路の変化量－第２行路の変化量－第３行路の変化量
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・式２
　上式により、行路Ｌの変化量から、第２行路の変化量及び第３行路の変化量の影響を除去することができる。このため、気温の変化等の何らかの要因で被測定物２と構造物６との間の距離（ｄ１’又はｄ２’）が変化した場合でも、行路Ｌの変化量を精度よく測定することができる。従って、第１反射体１２ａと第２反射体１２ｂとの間の距離の変化量、即ち、測定対象部位に生じたひずみを精度よく測定することができる。
　尚、以上では、第２行路の変化量と第３行路の変化量とが必ずしも一致しないものとしてこれらを個別に測定するようにしているが、例えば、第２行路の変化量と第３行路の変化量とが一致するとみなせるような場合は、第２行路の変化量及び第３行路の変化量のいずれか一方と第１行路の変位とに基づき行路Ｌの変化量を求めてもよい。その場合は式１に代えて次の式２又は式３から行路Ｌを求めればよい。
　　行路Ｌの変化量
　　　　＝第１行路の変化量－２×（第２行路の変化量）・・・式３
　　行路Ｌの変化量
　　　　＝第１行路の変化量－２×（第３行路の変化量）・・・式４
　以上に説明したように、本実施形態のひずみ測定システム１によれば、レーザ変位計と反射体とを用いた簡素な構成により、被測定物の表面に生じるひずみを精度よく測定することができる。またレーザ変位計（発光部及び受光部を含む）を被測定物から離れた場所に設けているので、被測定物が高温になる場合でも熱の影響を受けることがなく、常温下でレーザ変位計により精度よくひずみを測定することができる。またレーザ変位計（発光部及び受光部を含む）は建屋内の任意の構造物に設置することができるので、設置場所の自由度が高く、本実施形態のひずみ測定システム１は、様々な環境に適用することができる。
　ところで、以上の説明は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。例えば、以上に説明したひずみ測定システム１では、行路の変化量の測定にレーザ変位計を用いているが、レーザ距離計を用いて行路の変化量を測定するようにしてもよい。
１　ひずみ測定システム、２　被測定物、３　亀裂、４　溶接部、５　保温材、６　構造物、１０　第１レーザ変位計、１１　発光部、１２ａ　第１反射体、１２ｂ　第２反射体、１３　第３反射体、１４　受光部、２０　第２レーザ変位計、２１　発光部、２２　第４反射体、２３　受光部、３０　第３レーザ変位計、３１　発光部、３２　第５反射体、３３　受光部

Claims (18)

  1. 　被測定物の表面に生じるひずみの測定方法であって、
    　被測定物の表面の測定対象部位を挟んで、前記被測定物の表面に第１反射体及び第２反射体を配置し、
    　前記被測定物の表面から所定距離離れた構造物に第１レーザ変位計を設け、
    　前記第１レーザ変位計の発光部から前記第１反射体に向けて出射した第１レーザ光を、前記第１反射体と前記第２反射体とを結ぶ経路を通過させて前記第１レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第１レーザ光の行路である第１行路の変化量を、前記第１レーザ変位計により測定し、
    　前記第１行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求める
    　ひずみ測定方法。
  2. 　請求項１に記載のひずみ測定方法であって、
    　前記第１反射体及び前記第２反射体を、前記第１レーザ光が、前記第１反射体、前記第２反射体、前記構造物の表面に設けられた第３反射体、前記第２反射体、及び前記第１反射体で順次反射されて前記受光部に入射するように配置する
    　ひずみ測定方法。
  3. 　請求項２に記載のひずみ測定方法であって、
    　その発光部及び受光部がいずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に第２レーザ変位計を設け、
    　前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を、前記第２レーザ変位計により測定し、
    　前記第１行路の変化量及び前記第２行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求める
    　ひずみ測定方法。
  4. 　請求項２に記載のひずみ測定方法であって、
    　その発光部及び受光部がいずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に第３レーザ変位計を設け、
    　前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を、前記第３レーザ変位計により測定し、
    　前記第１行路の変化量、及び前記第３行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求める
    　ひずみ測定方法。
  5. 　請求項２に記載のひずみ測定方法であって、
    　その発光部及び受光部がいずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に第２レーザ変位計を設け、
    　前記第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍において前記被測定物の表面に設けられた反射体で反射されて前記第２レーザ変位計の受光部に入射し、
    　前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を、前記第２レーザ変位計により測定し、
    　その発光部及び受光部がいずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に第３レーザ変位計を設け、
    　前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を、前記第３レーザ変位計により測定し、
    　前記第１行路の変化量、前記第２行路の変化量、及び前記第３行路の変化量に基づき、前記測定対象部位に生じるひずみを求める
    　ひずみ測定方法。
  6. 　被測定物の表面に生じるひずみを測定するシステムであって、
    　被測定物の表面の測定対象部位を挟んで前記被測定物の表面に配置される、第１反射体及び第２反射体と、
    　前記被測定物の表面から所定距離離れた構造物に設けられる第１レーザ変位計と、
    　を備え、
    　前記第１レーザ変位計は、前記第１レーザ変位計の発光部から前記第１反射体に向けて出射した第１レーザ光を、前記第１反射体と前記第２反射体とを結ぶ経路を通過させて前記第１レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第１レーザ光の行路である第１行路の変化量を測定する
    　ひずみ測定システム。
  7. 　請求項６に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第１反射体及び前記第２反射体は、前記第１レーザ光が、前記第１反射体、前記第２反射体、前記構造物の表面に設けられた第３反射体、前記第２反射体、及び前記第１反射体で順次反射されて前記受光部に入射するように配置されている
    　ひずみ測定システム。
  8. 　請求項６に記載のひずみ測定システムであって、
    　その発光部及び受光部が、いずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に設けられる、第２レーザ変位計を更に備え、
    　前記第２レーザ変位計は、前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を測定する
    　ひずみ測定システム。
  9. 　請求項６に記載のひずみ測定システムであって、
    　その発光部及び受光部が、いずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に設けられる、第３レーザ変位計を更に備え、
    　前記第３レーザ変位計は、前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を測定する
    　ひずみ測定システム。
  10. 　請求項６に記載のひずみ測定システムであって、
    　その発光部及び受光部が、いずれも前記第１レーザ変位計の発光部の近傍に位置するように前記構造物に設けられる、第２レーザ変位計と、
    　その発光部及び受光部が、いずれも前記第２反射体で反射された前記第１レーザ光が前記構造物に入射する部位の近傍に位置するように前記構造物に設けられる、第３レーザ変位計とを、更に備え、
    　前記第２レーザ変位計は、前記第２レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第２レーザ光を、前記第１反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第４反射体で反射させて前記第２レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第２レーザ光の行路である第２行路の変化量を測定し、
    　前記第３レーザ変位計は、前記第３レーザ変位計の発光部から前記被測定物に向けて出射した第３レーザ光を、前記第２反射体の近傍の前記被測定物の表面に設けられた第５反射体で反射させて前記第３レーザ変位計の受光部に入射させた場合における前記第３レーザ光の行路である第３行路の変化量を測定する
    　ひずみ測定システム。
  11. 　請求項６乃至１０のいずれか一項に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第１反射体の反射面及び前記第２反射体の反射面は、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する、
    　ひずみ測定システム。
  12. 　請求項７又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第３反射体の反射面は、金属板又はセラミックス板で構成されている
    　ひずみ測定システム。
  13. 　請求項７又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第３反射体の反射面は、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する、
    　ひずみ測定システム。
  14. 　請求項８又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第４反射体の反射面は、金属板又はセラミックス板で構成されている
    　ひずみ測定システム。
  15. 　請求項８又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第４反射体の反射面は、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する、
    　ひずみ測定システム。
  16. 　請求項９又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第５反射体の反射面は、金属板又はセラミックス板で構成されている
    　ひずみ測定システム。
  17. 　請求項９又は１０に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記第５反射体の反射面は、鏡面加工が施された金属膜の表面にサファイアガラスをコーティングした構造を有する、
    　ひずみ測定システム。
  18. 　請求項６乃至１０のいずれか一項に記載のひずみ測定システムであって、
    　前記被測定物は、火力発電プラントの高温配管であり、前記構造物は、前記火力発電プラントが収容されている建屋の一部である
    　ひずみ測定システム。
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